CN111020478B - 掩膜板组件及一种蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种掩膜板组件，包括金属框架和设置于所述金属框架上的掩膜条，所述掩膜条包括开设有多个蒸镀孔的蒸镀区和位于所述蒸镀区四周的四个边缘区，至少一个所述边缘区上开设有多个通孔。在不减小掩膜条边缘区宽度的前提下，通过在边缘区设置通孔，减小重量，减小掩膜条的下垂量，也减小了框架的翘曲量。

Description

掩膜板组件及一种蒸镀设备

技术领域

本发明涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种掩膜板组件及一种蒸镀设备。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode)屏因其具有对比度高、能够自发光及柔性显示等优点而得到了越来越广泛的应用。目前，真空热蒸镀是制备OLED器件的一种行之有效的方法，在这种成膜方式中，Mask(掩膜板)是用于将有机材料精确蒸镀到设计位置的必备物品，通常由Frame(框架)和Sheet(掩膜条)两部分焊接而成，其中Frame起主体支撑作用，而Sheet用于使材料蒸镀到设计位置，其因蒸镀材料的不同一般又分为两种，一种是Open Mask(开口的金属掩膜板)，一种是FMM(精细金属掩膜板)。前者用于蒸镀可整面覆盖的材料，如空穴传输层、阴极等，后者用于蒸镀像素发光层，如R/G/B等层。

由于Frame并非刚体，上层Sheet的设计和张网方式对其下垂量和Frame的平坦度影响较大。当受限于Panel(面板)尺寸和玻璃排版而使得Mask在边缘位置不得不有较宽的区域时，Mask Sheet重力较大，下垂量也较大。若是为了保证Mask下垂量在规格内而使用较大的张网力，又会导致Frame变形翘曲严重，这些最终会导致实际蒸镀的膜层边界Shadow(阴影)较大，引起信赖性失效或显示不良。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种掩膜板组件及蒸镀设备，解决掩膜板边缘区域较大，由于重力大而下垂量大的问题。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种掩膜板组件，包括金属框架和设置于所述金属框架上的掩膜条，所述掩膜条包括开设有多个蒸镀孔的蒸镀区和位于所述蒸镀区四周的四个边缘区，至少一个所述边缘区上开设有多个通孔。

可选的，至少一个所述边缘区沿第一方向由外向内设置有第一子区域和第二子区域，所述第一子区域与所述金属框架连接，所述第二子区域设置有所述多个通孔，其中，所述第一方向为与相应的所述边缘区的延伸方向相垂直的方向。

可选的，至少一个所述边缘区上沿其延伸方向均匀设置有多个所述通孔。

可选的，所述通孔在平行于所述掩膜条的方向上的截面为第一矩形，所述蒸镀孔在平行于所述掩膜条的方向上的截面为第二矩形，所述第一矩形在第一方向上的长度与所述第二矩形在第二方向上的长度相同，所述第二方向为相应的所述边缘区的延伸方向。

可选的，一个所述边缘区上的所述通孔的数量与在第二方向上排布的一列所述蒸镀孔的数量相同，所述第二方向为相应的所述边缘区的延伸方向。

可选的，还包括用于遮挡所述通孔的遮挡条，所述遮挡条设置于所述掩膜条面向所述金属框架的一侧，且所述遮挡条的两端固定于所述金属框架相对的两个边框上。

可选的，每个所述边框的内侧边缘处开设有凹槽，所述遮挡条的两端固定于所述凹槽内，所述遮挡条与所述掩膜条接触的一面和所述边框与所述掩膜条连接的一面位于同一平面。

本发明还提供一种蒸镀设备，包括上述的掩膜板组件。

本发明的有益效果是：在不减小掩膜条边缘区宽度的前提下，通过在边缘区设置通孔，减小重量，减小掩膜条的下垂量，也减小了框架的翘曲量。

附图说明

图1表示相关技术中掩膜条的结构示意图；

图2表示本发明实施例中掩膜条结构示意图；

图3表示本发明实施例中掩膜板组件结构示意图；

图4表示本发明实施中掩膜板组件部分结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗-+示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

如图1所示，panel(面板)尺寸为140.02*64.79，一般的情况下，1500*925half上排版在925方向(frame内框877mm)能排列5个panel(面板)，rib1(掩膜条的蒸镀区上相邻两行蒸镀孔之间的距离)为16mm，rib(框架的边缘的宽度)为33.27mm，此时掩膜条1的下垂量为max 250μm，框架的翘曲量为80μm。panel尺寸为149.292*68.904，在925方向能排列4个面板，rib1为12.54mm，rib为63.5mm，此时掩膜条的下垂量max 320μm，框架的翘曲量120μm。这是因为掩膜条的实材区域面积较大，掩膜条的重力较大，下垂量也较大。若是为了保证掩膜条的下垂量在规格内而使用较大的张网力，又会导致框架变形翘曲严重，这些最终会导致实际蒸镀的膜层边界Shadow(阴影)较大，引起信赖性失效或显示不良。

针对上述技术问题，本实施例提供一种掩膜板组件，通过在掩膜条的较宽的边缘区域设置通孔，以实现减重的目的，这样可以不减小掩膜条的边缘区域的宽度，就不会导致框架的翘曲形变，设置通孔减重，则可以减小下垂量。

具体的，如图2-图4所示，本实施例提供一种掩膜板组件，包括金属框架2和设置于所述金属框架2上的掩膜条1，所述掩膜条1包括开设有多个蒸镀孔1.1的蒸镀区和位于所述蒸镀区四周的四个边缘区，至少一个所述边缘区上开设有多个通孔1.2。

采用上述技术方案，在不减小所述边缘区的宽度的前提下，在较宽的边缘区上设置通孔1.2以减重，实现减小下垂量的目的，同时由于没有减小边缘区的宽度，不需要使用较大的张网力，则不会导致金属框架2的翘曲形变。

本实施例中，至少一个所述边缘区沿第一方向由外向内设置有第一子区域1.3和第二子区域1.4，所述第一子区域1.3与所述金属框架2连接，所述第二子区域1.4设置有所述多个通孔1.2，其中，所述第一方向为与相应的所述边缘区的延伸方向相垂直的方向。

所述金属框架2和所述掩膜条1通过焊接的方式固定连接在一起，所述第一子区域1.3即为所述金属框架2的焊接区，所述第二子区域1.4位于所述金属框架2的内部，没有支撑，所以会由于重量大而下垂量大，在所述第二子区域1.4设置通孔1.2减重，则会减小下垂量。

本实施例的一具体实施方式中的掩膜板组件中所述设置有所述通孔1.2的所述边缘区在垂直于其延伸方向的方向上的宽度为65mm左右(63mm-67mm)，但并不限于此。

本实施例中，至少一个所述边缘区上沿其延伸方向均匀设置有多个所述通孔1.2。

均匀设置多个所述通孔1.2，可以使得所述边缘区的相应的各个部分的应力均匀。

本实施例的一具体实施方式中，每个所述通孔1.2在第一方向上的长度与所述蒸镀孔1.1在第二方向上的长度相同，所述第二方向为相应的所述边缘区的延伸方向。

本实施例中的一具体实施方式中，一个所述边缘区上的所述通孔1.2的数量与在第二方向上排布的一列所述蒸镀孔1.1的数量相同，所述第二方向为相应的所述边缘区的延伸方向。

采用上述技术方案，在第二方向上才能实现向内部传递拉力，在能传递拉力的情况下尽量减少实材区域，可以最大限制的减小相应的所述边缘区的重量。

需要说明的是，所述通孔1.2的尺寸和位置不限，可以依据具体的面板和玻璃基板的排布来决定。

本实施例中，所述掩膜板组件还包括用于遮挡所述通孔1.2的遮挡条3，所述遮挡条3设置于所述掩膜条1面向所述金属框架2的一侧，且所述遮挡条3的两端固定于所述金属框架2相对的两个边框上。

所述遮挡条3可以遮挡所述通孔1.2，避免了蒸镀材料从所述通孔1.2中漏出，造成蒸镀材料的浪费，也避免了对后段工序腔室造成particle(颗粒)污染。

本实施例中，每个所述边框的内侧边缘处开设有凹槽，所述遮挡条3的两端固定于所述凹槽内，所述遮挡条3与所述掩膜条1接触的一面和所述边框与所述掩膜条1连接的一面位于同一平面。

所述遮挡条3与所述边框可以通过插接的方式连接，也可以通过焊接等其他方式连接，但是所述遮挡条3与所述掩膜条1之间的距离大于或等于所述边框与所述掩膜条1之间的距离，避免所述遮挡条3将所述掩膜条1顶起，以影响所述掩膜条1与所述金属框架2之间的连接稳定性。

本实施例中的一具体实施方式中，所述遮挡条3与所述掩膜条1接触的一面和所述边框与所述掩膜条1连接的一面位于同一平面，所述遮挡条3与所述掩膜条1接触可以有效的防止蒸镀材料从所述通孔1.2漏出，同时可以对所述掩膜条1的边缘起到支撑作用。

本实施例还提供一种蒸镀设备，包括上述的掩膜板组件。

在掩膜条1的至少一个边缘区设置通孔1.2，减小掩膜条1的重量，从而减小张网所需拉力，减小掩膜条1的下垂量和金属框架2的翘曲量，保证精度。

所述遮挡条3的设置，位于掩膜条1的下方，用于遮挡所述通孔1.2，从而避免有机材料蒸镀到背板上，引发不良。

需要说明的是，所述遮挡条3主要起到遮挡所述通孔1.2的作用，所以所述这档条3的拉力可以尽量小，甚至可以为零。

以上为本发明较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明保护范围。

Claims (6)

1.一种掩膜板组件，其特征在于，包括金属框架和设置于所述金属框架上的掩膜条，所述掩膜条包括开设有多个蒸镀孔的蒸镀区和位于所述蒸镀区四周的四个边缘区，至少一个所述边缘区上开设有多个通孔；

至少一个所述边缘区沿第一方向由外向内设置有第一子区域和第二子区域，所述第一子区域与所述金属框架连接，所述第二子区域设置有所述多个通孔，其中，所述第一方向为与相应的所述边缘区的延伸方向相垂直的方向；

还包括用于遮挡所述通孔的遮挡条，所述遮挡条设置于所述掩膜条面向所述金属框架的一侧，且所述遮挡条的两端固定于所述金属框架相对的两个边框上。

2.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，至少一个所述边缘区上沿其延伸方向均匀设置有多个所述通孔。

3.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，所述通孔在平行于所述掩膜条的方向上的截面为第一矩形，所述蒸镀孔在平行于所述掩膜条的方向上的截面为第二矩形，所述第一矩形在第一方向上的长度与所述第二矩形在第二方向上的长度相同，所述第二方向为相应的所述边缘区的延伸方向。

4.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，一个所述边缘区上的所述通孔的数量与在第二方向上排布的一列所述蒸镀孔的数量相同，所述第二方向为相应的所述边缘区的延伸方向。

5.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，每个所述边框的内侧边缘处开设有凹槽，所述遮挡条的两端固定于所述凹槽内，所述遮挡条与所述掩膜条接触的一面和所述边框与所述掩膜条连接的一面位于同一平面。

6.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-5任一项所述的掩膜板组件。

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