TW201443547A - 遮罩 - Google Patents

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Abstract

一種遮罩，包含：一板狀本體，包含複數個開口；以及一變型部，包含至少一個第一彎曲部，該至少一個第一彎曲部係沿一第一方向自該板狀本體突出且沿一第二方向縱向延伸。

Description

遮罩
各實例性實施例係關於製造技術，更具體而言，係關於一種遮罩。
精細金屬遮罩(fine metal mask；FMM)係一種用於在一相對大的基板上沈積一有機材料之遮罩。為利用一沈積製程製造一有機發光顯示器裝置，精細金屬遮罩(FMM)通常以與欲被沈積成一薄膜等之預期圖案相同之圖案而被圖案化於一基板上。
傳統上，已藉由例如金屬蝕刻(metal etching)製程、雷射製程、光刻(photolithography)製程、電積成形(electro forming)製程等各種方法來製造精細金屬遮罩。此外，經常藉由於一平面上定位一圖案來製造精細金屬遮罩。此外，所製成之精細金屬遮罩通常被張緊並焊接至一遮罩框架(mask frame)以供用於一沈積製程。因施加至精細金屬遮罩之張力，精細金屬遮罩之一整體厚度通常會小於被張緊之前。因此，在執行上述張緊焊接(tension welding)製程之後執行一清潔製程時，精細金屬遮罩可能會因耐用性之降低而受損或破損，而耐用性之降低至少部分地係由精細金屬遮罩厚度之減小所致。為此，隨著精細金屬遮罩尺 寸之增大，與厚度及耐用性降低相關之問題加劇。
在此背景技術部分中所揭露之上述資訊僅用於增強對本發明背景之理解，因此其可包含不形成在本國對於此項技術中之通常知識者而言所習知之先前技術之資訊。
各實例性實施例提供一種遮罩，該遮罩經配置以在一張緊狀態下耦合至一框架時防止厚度減小。
在下文之詳細說明中將闡述各附加態樣，且部分地，該等附加態樣藉由本揭露內容將變得顯而易見，抑或可藉由實踐本發明而被得知。
根據各實例性實施例，一種遮罩包含：一板狀本體，包含複數個開口；以及一變型部(modified portion)，包含至少一個第一彎曲部，該至少一個第一彎曲部係沿一第一方向自該板狀本體突出且沿一第二方向縱向延伸。
根據各實例性實施例，一種遮罩包含：一板狀本體，包含複數個開口；以及一變型部，包含複數個自該板狀本體突出之突出部。該等突出部係設置於一圖案中。
根據各實例性實施例，儘管一遮罩可能被張緊、該遮罩之變形部可能被伸展，且因此該遮罩之長度及/或寬度可能變形，但該遮罩之厚度可不減小，而是實質上保持此厚度。因此，整個遮罩之厚度實質上得到保持以具有幾乎相同之初始厚度，藉此提高耐用性。為此，可防止(或降低)在張緊焊接(tension welding)製程、沈積製程、及/或一清潔製程期間因遮罩之耐用性問題而引起之損壞或破損。遮罩耐用性之提高亦增加了遮罩在生產製程中之使用時間。此亦可用於降低製造成本，繼而可降低消費者用於有機發光二極體顯示器裝置之費用。
根據各實例性實施例，當遮罩被張緊焊接時，即使可能施加一相對大之張力至遮罩時，遮罩亦能抵抗所施加之外力。因此，即使為製造一大面積之有機發光二極體顯示器而可能增大遮罩之長度及/或寬度，亦可穩定地保持遮罩之總體形狀。如此一來，可保持遮罩在例如一沈積製程期間之可靠性。
上述概括說明及以下詳細說明係為實例性的及解釋性的，且旨在對所申請之本發明提供進一步之解釋。
100、200、300、400、500‧‧‧遮罩
110‧‧‧本體
111a、111b‧‧‧開口
120、220、320、420、520‧‧‧變形部
121‧‧‧第一彎曲部
121a~121e‧‧‧彎曲部
121a’~121e’‧‧‧彎曲部
222‧‧‧第二彎曲部
323‧‧‧第三彎曲部
423‧‧‧第四彎曲部
523‧‧‧第五彎曲部
A-A’、B-B’、C-C’、D-D’、E-E’‧‧‧截面線
P1‧‧‧第一尺寸
P2‧‧‧第二尺寸
P3‧‧‧第三尺寸
P4‧‧‧第四尺寸
P7‧‧‧第七尺寸
P8‧‧‧第八尺寸
P9‧‧‧第九尺寸
P10‧‧‧第十尺寸
所包含之附圖係用於提供對本發明之進一步理解，且被併入並構成本說明書之一部分，該等附圖例示本發明之實例性實施例並與本說明一起用於解釋本發明之原理。
第1圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之立體圖；第2圖係為根據各實例性實施例，第1圖之遮罩中之一變形開口之立體圖；第3A圖係為根據各實例性實施例，沿截面線A-A’截取之第2圖之遮罩之剖視圖；第3B圖至第3E圖分別係為根據各實例性實施例之例示性遮罩之各種其他變形部之剖視圖； 第4A圖至第4E圖分別係為根據各實例性實施例之例示性遮罩之各種其他變形部之剖視圖；第5圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之立體圖；第6A圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之平面圖；第6B圖係為根據各實例性實施例，沿截面線B-B’截取之第6A圖之遮罩之剖視圖；第6C圖係為根據各實例性實施例，沿截面線C-C’截取之第6A圖之遮罩之剖視圖；第7A圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之平面圖；第7B圖係為根據各實例性實施例，沿截面線D-D’截取之第7A圖之遮罩之剖視圖；第8A圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之平面圖；以及第8B圖係為根據各實例性實施例，沿截面線E-E’截取之第8A圖之遮罩之剖視圖。
在用於解釋之以下說明中，將闡述諸多具體細節以提供對各種實例性實施例之一透徹理解。然而，顯然各種實例性實施例無需此等具體細節亦可實施或可以一或多種等效配置形式實施。在其他情況下，以方塊圖之形式顯示眾所習知之結構及裝置，以避免不必要地使各種實例性實施例模糊不清。
在附圖中，為清晰起見及便於說明，可誇大各層、 膜、面板、區域等之尺寸及相對尺寸。此外，相同之參考編號指示相同之元件。
當闡述一元件或層係位於另一元件或層「上」、「連接至」或「耦合至」另一元件或層時，該元件或層可直接位於該另一元件或層上、直接連接或耦合至該另一元件或層，抑或可存在中間元件或層。然而，當闡述一元件或層「直接」位於另一元件或層「上」、「直接連接至」或「直接耦合至」另一元件或層時，則不存在中間元件或層。為解釋本發明，「X、Y及Z中之至少一者」及「選自由X、Y及Z所組成之群組中之至少一者」可被解釋為僅有X、僅有Y、僅有Z、或X、Y、及Z中之二或多者之任意組合(例如，XYZ、XYY、YZ、及ZZ)。通篇中相同之編號指代相同之元件。本文中所用之用語「及/或」包含相關列出項其中之一或多個項之任意及所有組合。
儘管本文中可能使用用語「第一」、「第二」等來描述各種元件、組件、區域、層、及/或區段，然而此等元件、組件、區域、層、及/或區段不應受限於此等用語。此等用語係用於區分各個元件、組件、區域、層、及/或區段。因此，在不背離本發明之教示內容之條件下，下文中所論述之一第一元件、組件、區域、層、及/或區段亦可被稱為一第二元件、組件、區域、層、及/或區段。
在本文中，為便於說明，可使用空間相對關係用語，例如「在...之下(beneath)」、「在...下面(below)」、「下方的(lower)」、「在...之上(above)」、「上方的(upper)」等來闡述附 圖所例示之一個元件或特徵與另一(其他)元件或特徵之關係。該等空間相對關係用語旨在除圖中所示取向以外亦包含該裝置在使用、操作、及/或製造過程中之各種不同取向。舉例而言，若圖中之該裝置被翻轉，則被描述為在其他元件或特徵「下面」或「之下」之元件此時將被取向為在其他元件或特徵「之上」。因此，實例性用語「在...下面」可既包含上方亦包含下方之取向。此外，該裝置亦可具有其他取向(例如，旋轉90度或其他取向)，且因此本文中所用之空間相對關係用語將相應地進行解釋。
本文所用用語係用於描述特定實施例，而並非旨在限制本發明。除非上下文中清楚地另外指明，否則本文所用之單數形式「一(a、an)」及「該(the)」旨在亦包含複數形式。此外，當在本說明書中使用用語「包括(comprise、comprising)」及/或「包含(includes、including)」時，係用於指明所述特徵、整數、步驟、操作、元件、組件及/或其群組之存在，但不排除一或多個其他特徵、整數、步驟、操作、元件、組件及/或其群組之存在或添加。
本文中參照剖面圖闡述各種實例性實施例，該等剖面圖係為理想化實例性實施例及/或中間結構之示意圖。因此，可預期會因例如製造技術及/或容差而偏離圖示形狀。因此，本文中所揭露之各實例性實施例不應被視為僅限於各區域之特定所示形狀，而是包含由例如製造而引起之形狀偏差。舉例而言，被例示為矩形之一被植入區域(implanted region)通常具有圓的或彎曲的特徵及/或在其邊緣具有一植入濃度梯度，而非係為自被植入區域至未被植入區域為一二元變化。同樣地，一由植入而形成之隱 埋區域(buried region)可於該隱埋區域與進行植入時所經之表面間之區域中形成一定程度之植入。因此，在圖中所例示之區域係為示意性的，且其形狀並非旨在例示一裝置之一區域之實際形狀，亦非旨在限制本發明。
除非另外定義，否則本文所用之全部用語(包括技術及科學用語)之意義皆與本發明所屬技術領域中之通常知識者所通常理解之意義相同。該等用語(例如在常用字典中所定義之用語)應被解釋為具有與其在相關技術背景中之意義一致之意義，且除非本文中進行明確定義，否則不應將其解釋為具有理想化或過於正式之意義。
第1圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之立體圖。
參照第1圖，一遮罩100包含一本體110及一變形部120。本體110可具有一板狀，該板狀包含穿透本體110而形成之複數個開口(或孔)111a。板狀本體110之一第一尺寸可沿一第一方向延伸，而板狀本體110之一第二尺寸可沿一第二方向延伸。為此，板狀本體之一厚度可沿一第三方向延伸。應注意，第一方向、第二方向、以及第三方向可彼此垂直(或實質上垂直)。
根據各實例性實施例，本體110可由任意具有足夠剛性(stiffness)之適當金屬材料形成。換言之，本體110可由一具有足夠剛性水準之金屬材料形成，俾當本體110藉由例如一焊接製程而耦合至一遮罩框架(圖中未示出)時，可防止或至少最小化通常至少部分地由上述焊接製程導致之變形。亦設想，可選擇金屬材料以防止(或降低)至少部分地由本體110自身之質量 (或重量)而導致之變形。舉例而言，本體110可由鉻(Cr)、銅(Cu)、鎳(Ni)、鎂(Mg)、鐵(Fe)、錫(Sn)、鈦(Ti)、鋁(Al)、不銹鋼(SUS)等、及/或其一或多種化合物及/或由其形成之層形成。
根據各實例性實施例，一開口111a之尺寸可被確定成對應於在用於製造一顯示器裝置(例如一有機發光二極體(organic light emitting diode；OLED)裝置)之基板上形成之一畫素之尺寸。應注意，一典型之有機發光二極體顯示器裝置可包含複數個畫素，各該畫素包含三個子畫素，例如一綠色子畫素、一藍色子畫素、及一紅色子畫素；然而，可利用任意其他適當之顏色(例如黃色、品紅色、白色等)及/或任意其他適當數量之子畫素。為此，開口111a之尺寸可被確定成與包含上述子畫素配置之畫素之尺寸相對應。儘管開口111a被例示成界定多邊形之開口(例如矩形開口)，但設想開口111a可界定任意其他適當形狀之開口，例如卵形開口、六邊形開口等。
第2圖係為根據各實例性實施例，第1圖之遮罩中之一變形開口之立體圖。
如第2圖所示，開口111b可於本體110上形成一圖案。可形成圖案化之開口111b，以在與例如一電積成形方法相結合地使用時獲得精密圖案化(minute patterning)及表面調平效果(surface leveling effect)。然而，設想可利用例如一蝕刻方法、一雷射處理(laser processing)方法等任意附加或替代之方法來製造開口111b。當藉由蝕刻來製造開口111b時，可利用光阻劑 (photoresist)而於一薄板上形成一包含與開口111b相同之圖案之光阻層(resist layer)，抑或可藉由在附裝(或耦合)一包含該圖案之膜於該薄板之一表面上之後蝕刻該薄板而形成。如同開口111a一樣，設想開口111b可界定任意適當形狀之開口，例如矩形開口、六邊形開口、卵形開口等。
參照第1圖及第2圖，根據各實例性實施例，變形部120可包含複數個第一彎曲部121。儘管被描述為第一「彎曲」部121(其在下文中將變得更加顯而易見)，但第一「彎曲」部121之一軸向橫截面(例如，沿一在第二方向上延伸之截面線截取之一橫截面)可包含以弧形形成之特徵及/或以直線形成之特徵。在各實例性實施例中，一第一彎曲部121沿第三方向自本體110之表面實質上突出，並沿第一方向縱向延伸。舉例而言，第一彎曲部121可經配置以沿第一方向縱向延伸而自本體110之一側橫穿至另一側。如同開口111a、111b一樣，第一彎曲部121可不自本體110之一側至另一側縱向延伸，而是可設置於遮罩100之複數個所確定部分中。可選擇遮罩100之此等所確定部分以抵消稍後在例如遮罩100被焊接至一遮罩框架時施加至遮罩100之張力及/或重力。
根據各實例性實施例，本體110可包含任意適當數量之第一彎曲部121。當變形部120包含複數個第一彎曲部121時，該等第一彎曲部121可彼此間隔開一第一尺寸(或間距)P1。為此，儘管各該第一彎曲部121被顯示為具有一相同之軸向橫截面配置，但設想第一彎曲部121中之一或多者可包含不同之軸向 橫截面形狀。為此，第一彎曲部之軸向橫截面形狀可根據沿其一縱向維度之位置而變化。舉例而言，第一彎曲部可包含為一第一軸向橫截面形狀之一第一子部分、為一第二軸向橫截面形狀之一第二子部分、以及為一第一軸向橫截面形狀之一第三子部分。為此，第一彎曲部121可包含具有任意適當數量之軸向橫截面形狀之任意適當數量之子部分。此外，各種子部分之軸向橫截面形狀可彼此混合。應注意，可利用橫截面形狀之差異來確保在遮罩被焊接至一遮罩框架時遮罩之張力均勻。此外，儘管開口111a、111b被顯示於本體110的位於各第一彎曲部121間之部分中，但開口111a、111b可另外(或作為另一選擇)與第一彎曲部121相關聯地定位。
繼續參照第1圖及第2圖，第一彎曲部121可形成於本體110之未形成有開口111a、111b之部分中。舉例而言，當開口111a、111b係形成於橫穿本體110之一假想線中時，一第一彎曲部121可形成於位於一第一假想線中之一第一開口111a、111b與位於鄰近該第一假想線之另一假想線中之另一開口111a、111b之間。當開口111a、111b形成一圖案時，彎曲部121可形成於開口111a、111b之間。如此一來，開口111a、111b可彼此間隔開一第二尺寸(或間距)P2。具體參照第2圖，開口111b之圖案可進一步彼此間隔開一第三尺寸(或間距)P3。
儘管第1圖及第2圖例示第一彎曲部121自本體110之實質上一側至本體110之實質上另一側縱向延伸，但設想，第一彎曲部121可形成於本體110之一或多個所確定區域中。亦即， 第一彎曲部121可不自遮罩100之實質上一側至實質上另一側縱向延伸。舉例而言，儘管圖中未示出，但第一彎曲部121可僅形成於本體110之一中心區域中。作為另一實例，第一彎曲部121可僅形成於與本體110之一或多個邊緣鄰近之一區域中。然而，亦設想，第一彎曲部121可設置於本體110之任意適當數量之部分(或區域)中，且第一彎曲部121可縱向延伸而橫穿本體110之一部分或自本體110之一側(或實質上一側)至另一側(或實質上另一側)縱向延伸。為此，第一彎曲部121中之某些第一彎曲部可自本體110之一側(或實質上一側)至另一側(或實質上另一側)縱向延伸，而第一彎曲部121中之其他第一彎曲部可不自本體110之一側(或實質上一側)至另一側(或實質上另一側)延伸。
根據各實例性實施例，形成於該結構中之變形部120可由與本體110相同之材料形成。然而，設想，變形部120亦可由一不同於本體110之材料製成。舉例而言，變形部120之材料可包含一或多種金屬(例如鉻(Cr)、銅(Cu)、鎳(Ni)、鎂(Mg)、鐵(Fe)、錫(Sn)、鈦(Ti)、鋁(Al)、不銹鋼(SUS)等)，或其一或多種化合物及/或由其形成之層。亦設想，變形部120可由任意適當之聚合物形成。該聚合物可係由分子組成之一化合物，其中一種或多種構成單元係藉由彼此連接之化學鍵而進行聚合。
如上所述，第一彎曲部121之橫截面可包含以弧形形成之特徵及/或以直線形成之特徵，以下將結合第3A圖至第3E圖更詳細地闡述其實例。第3A圖係為根據各實例性實施例，沿截 面線A-A’截取之第2圖所示遮罩之剖視圖。第3B圖至第3E圖分別係為根據各實例性實施例之例示性遮罩之各種其他變形部之剖視圖。應注意，第3A圖至第3E圖僅供作為第一彎曲部121之軸向橫截面之實例，因此，設想可利用第一彎曲部121之任意其他適當之橫截面形狀。
參照第3A圖至第3E圖，變形部120之一軸向橫截面之一形狀可係一半圓形、一半橢圓形、一多邊形等。舉例而言，如第3A圖所示，第一彎曲部121之形狀可係半圓形。如第3B圖所示，第一彎曲部121b之形狀可係半卵形。在第3D圖中，第一彎曲部121d之形狀被顯示為三角形。在第3E圖中，第一彎曲部121e之形狀被例示為梯形。此外，如第3C圖所示，變形部120之鄰近本體110之一部分可係彎曲的，而一頂部可係平坦的。換言之，變形部120可包含一平台狀(plateau-like)構形之第一彎曲部121c。
如第3A圖至第3E圖各圖所示，各種彎曲部121及121b-121e分別自相對應之遮罩之本體110之一表面沿同一方向(例如，第三方向)實質上突出。儘管圖中未示出，但各種彎曲部121及121b-121e可經配置以沿與第三方向相反之一方向實質上突出(例如，自本體110之一底面實質上突出)，例如沿一「負的」第三方向而實質上突出。為此，變形部120可包含一沿第三方向實質上突出之第一彎曲部121及一沿負的第三方向實質上突出之第二第一彎曲部121，以下將結合第4A至第4E圖對其作更詳細之闡述。
第4A圖至第4E圖分別係為根據各實例性實施例之例示性遮罩之各種其他變形部之剖視圖。
如第4A圖至第4E圖所示，變形部120可被形成為包含至少一個沿第三方向(例如，沿一向上方向)實質上延伸之第一彎曲部(例如，彎曲部121a、121b、121c、121d、或121e)以及至少一個沿負的第三方向(例如，沿一向下方向)實質上突出之第二彎曲部(例如，彎曲部121a’、121b’、121c’、121d’、或121e’)。如此一來，當遮罩100包含複數個變形部120時，第一彎曲部(例如，彎曲部121a、121b、121c、121d、或121e)可與第二彎曲部(例如，彎曲部121a’、121b’、121c’、121d’、或121e’)交替形成。
再次參照第1圖，在遮罩100耦合至一遮罩框架(圖中未示出)之前，變形部120之形狀可保持其自本體110突出之形狀。然而，當遮罩100被張緊並耦合至遮罩框架時，變形部120可逐漸被一或多個外力拉伸並因此而變形。舉例而言，當遮罩100被張緊並耦合至遮罩框架時，變形部120可被展平。亦即，當遮罩100被張緊時，變形部120可被拉伸，因此自本體110突出之各突出部(例如，第一彎曲部121)之突出程度降低，但材料之厚度並未減小。設想，第一彎曲部121可被展平以與本體110之其他部分實質上共面。因此，遮罩100之厚度可被保持為實質上相同於板狀材料之初始厚度。如此一來，可增大整體之耐用性，此可防止(或降低)因與例如一張緊焊接製程、一沈積製程、一清潔製程等相關之耐用性問題而引起之損壞或破損。
根據各實例性實施例，遮罩100之構形使生產製程使用時間至少部分地因遮罩100之耐用性提高而增加。為此，因可減少額外遮罩100之數量，故可降低製造成本。藉由製造成本之降低，可降低例如一利用遮罩100製造之有機發光二極體顯示器之成本，此可降低消費者之費用。此外，當遮罩100被張緊焊接至一遮罩框架時，即使可能施加一相對大之張力至遮罩100，遮罩100亦可抵抗外力所產生之厚度減小效果。結果，當欲製造一大面積之有機發光二極體顯示器時，即使遮罩100之一整體尺寸可能增大，亦可穩定地保持遮罩100之板狀材料之厚度，此可在一或多個沈積製程期間提高遮罩100之可靠性。
根據各實例性實施例，一遮罩可包含以矩陣狀形成之突出部及/或開口。以下，將結合第5圖、第6A圖至6C圖、第7A圖、第7B圖、第8A圖、及第8B圖對其予以更詳細闡述。
第5圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之立體圖。
參照第5圖，一遮罩200可包含一變形部220。變形部220可包含至少一個第一彎曲部121及至少一個第二彎曲部222。儘管被描述為第一及第二「彎曲」部121及222，但一軸向橫截面(例如，沿在第二方向上延伸之一截面線截取之第一「彎曲」部121之一橫截面以及沿在第一方向上延伸之一截面線截取之第二「彎曲」部222之一橫截面)可包含以弧形形成之特徵及/或以直線形成之特徵。
在各實例性實施例中，第一彎曲部121沿第三方向自本體110之表面實質上突出，且沿第一方向縱向延伸。第二彎 曲部222沿第三方向自本體110實質上突出，且沿第二方向縱向延伸。如上所述，第一方向、第二方向、以及第三方向可彼此垂直(或實質上垂直)。
如第5圖所示，遮罩200可包含複數個第一彎曲部121及複數個第二彎曲部222。如此一來，第一彎曲部121可彼此間隔開第一尺寸P1，而第二彎曲部222可彼此間隔開一第四尺寸(或間距)P4。為此，該等第一彎曲部121可與該等第二彎曲部222彼此相交，使得本體110之某些部分可由二個第一彎曲部121及二個第二彎曲部222各自之子部分限定。如此一來，本體110之受限定部可以尺寸P4在第一方向延伸並以尺寸P1在第二方向延伸。為此，開口111b可形成於本體110之受限定部中之一或多個中。在各實例性實施例中，第二彎曲部222之構形係實質上類似於第一彎曲部121之構形(無縱向延伸方向)，因此，為避免使本文中所述之實例性實施例模糊不清，將不再予以贅述。
儘管顯示第一部分121與第二部分222彼此相交，但亦設想該等第一部分121及第二部分222中之一或多者可包含複數個間隔開之子部分，該等子部分依據一第五尺寸及/或第六尺寸(或間距)而彼此間隔開。如此一來，第一部分121與第二部分222可不彼此相交。此外，在第5圖中，儘管第一彎曲部121及第二彎曲部222係形成於整個本體110之上方，但設想第一彎曲部121及第二彎曲部222亦可形成於本體110之所確定區域中，例如一中心區域、鄰近本體110之一或多個邊緣之一或多個區域等。此外，儘管圖中未示出，但第一及/或第二彎曲部121及222 中之第一多個彎曲部可沿第三方向突出，而第一及/或第二彎曲部121及222中之第二多個彎曲部可沿負的第三方向突出。如此一來，第一及/或第二彎曲部121及222中之第一多個彎曲部可與第一及/或第二彎曲部121及222中之第二多個彎曲部交替形成。此外，為避免使本文所述之實例性實施例模糊不清，不再予以贅述，因此，可參照第1圖、第2圖、第3A圖至第3E圖、及第4A圖至第4E圖，以及本揭露內容之相應部分來理解第一彎曲部121及第二彎曲部222之構形之其餘部分。
根據各實例性實施例，遮罩200包含形成於第一方向及第二方向上之變形部220。因此，當在第一方向及/或第二方向上張緊遮罩200時，遮罩200之板材料之厚度可得到保持，但遮罩200所佔據之一總面積可能增大。因此，設想，第一彎曲部121及第二彎曲部222可被展平以與本體110之其他部分實質上共面。因此，遮罩100之厚度可被保持為實質上相同於板狀材料之初始厚度。如此一來，可提高整體之耐用性，此可防止(或降低)因與例如一張緊焊接製程、一沈積製程、一清潔製程等相關之耐用性問題而引起之損壞或破損。
根據各實例性實施例，遮罩200之構形可更使生產製程使用時間至少部分地因遮罩200之耐用性提高而增加。為此，因可減少額外遮罩200之數量，故可降低製造成本。藉由製造成本之降低，可降低例如利用遮罩200製造之一有機發光二極體顯示器之成本，此可降低消費者之費用。此外，當遮罩200被張緊焊接至一遮罩框架時，即使可能施加一相對大之張力至遮罩200， 遮罩200亦可抵抗外力所產生之厚度減小效果。結果，當欲製造一大面積之有機發光二極體顯示器時，即使遮罩200之一整體尺寸可能增大，亦可穩定地保持遮罩200之板狀材料之厚度，此可在一或多個沈積製程期間增大遮罩200之可靠性。
如上所述，一遮罩之突出部可設置於本體110之選 定區域中，開口(或孔)亦可如此。以下，將結合第6A圖至第6C圖、第7A圖、第7B圖、第8A圖、及第8B圖對此予以更詳細闡述。此外，亦應注意，在第6A圖至第6C圖、第7A圖、第7B圖、第8A圖、及第8B圖中所例示之遮罩之突出部及開口係以矩陣狀之形式設置。
第6A圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之平面圖。第6B圖及第6C圖分別係為沿相應之截面線B-B’及C-C’截取之第6A圖所示遮罩之剖視圖。
參照第6A圖，繪示一遮罩300一本體110以及一變形部320。應注意，本體110係實質上相同於第1圖、第2圖、及第5圖所例示之本體110，因此為避免使本文中所述之實例性實施例模糊不清，不再予以贅述。
根據實例性實施例，變形部320包含複數個第三彎曲部323，該等第三彎曲部323沿第三方向自本體110實質上突出。如此一來，該等第三彎曲部323可設置成一圖案或矩陣狀構形，此在下文中將變得更加顯而易見。在各實例性實施例中，第三彎曲部323之軸向橫截面形狀可係選自一半圓形、一錐形、包含任意適當多邊形基底之一棱柱等中之一形狀。儘管各該第三彎 曲部323被顯示為界定相同之軸向橫截面構形，但設想彎曲部323中之一或多者可顯示出一或多個不同之軸向橫截面構形。為此，儘管被描述為第三「彎曲」部323，但第三「彎曲」部323之軸向橫截面可包含以弓形形成之特徵及/或以直線形成之特徵。
如第6A圖所示，該等第三彎曲部323形成一例示性圖案，該例示性圖案包含設置於沿第一方向延伸之假想第一線中之五個第三彎曲部323、以及設置於沿第二方向延伸之假想第二線中之五個第三彎曲部323。亦即，本體110包含總共二十五個第三彎曲部323。如此一來，各第三彎曲部323可彼此間隔開沿第一方向延伸之一第七尺寸(或間距)P7，並彼此間隔開沿第二方向延伸之一第八尺寸(或間距)P8。然而，設想，本體110可包含任意適當數量及/或構形之突出部。
根據各實例性實施例，遮罩300可包含複數個開口111b，該等開口111b可與第2圖及第5圖中之開口111b類似地進行配置。因此，為避免使本文中所述之實例性實施例模糊不清，不再予以贅述。然而，應注意，第三彎曲部323可設置於在第一方向及第二方向間隔開之各對開口111b間之一空間中。舉例而言，各第三彎曲部323可設置於在第一方向及第二方向間隔開之各對開口111b間之一中心區域中。換言之，一第三彎曲部323可設置於在各對相鄰設置之開口111b之間延伸之二條假想對角線之交叉點處，該等相鄰設置之開口111b沿在第一方向與第二方向之間延伸之各對角線方向彼此間隔開。如此一來，如第6B圖及第6C圖所示，第三彎曲部323可不位於在第一方向及第二方向上鄰 設之各開口111b之間。舉例而言，如第6B圖及第6C圖所示，不於沿在第一方向上延伸之同一假想線設置之第三彎曲部323之間設置開口111b。然而，應注意，沿同一假想對角線設置之各開口111b可設置於沿同一假想對角線設置之第三彎曲部323之間。
儘管圖中未示出，但第三彎曲部323可不設置於實質上整個本體110之上方。換言之，第三彎曲部323之設置可限於本體110之一或多個選定區域中。舉例而言，該等選定區域可係為一中心區域、鄰近本體110之一或多個邊緣設置之一或多個區域等。舉例而言，本體110可包含設置於沿第一方向延伸之各假想線中之三個第三彎曲部323、以及設置於沿第二方向延伸之各假想線中之三個第三彎曲部323，俾使本體包含僅設置於本體110之一中心區域中之九個第三彎曲部323。作為另一實例，本體可包含鄰近本體110之一或多個邊緣設置之一或多個第三彎曲部323，俾不於本體110之一中心區域中設置第三彎曲部323。然而，設想可利用任意其他適當設置及/或數量之突出部(例如，第三彎曲部323)。
根據各實例性實施例，遮罩300包含變形部320，變形部320包含可選擇性地設置於遮罩300中之第三彎曲部323。因此，當在第一方向及/或第二方向上張緊遮罩300時，可保持遮罩300之板材料之厚度，但遮罩300所佔據之一總面積可能增大。因此，設想第三彎曲部323可被展平以與本體110之其他部分實質上共面。因此，遮罩100之厚度可被保持為實質上相同於板狀材料之初始厚度。如此一來，可提高整體之耐用性，此可防止(或 降低)因與例如一張緊焊接製程、一沈積製程、一清潔製程等相關之耐用性問題而引起之損壞或破損。
根據各實例性實施例，遮罩300之構形可更使生產製程使用時間至少部分地因遮罩300之耐用性提高而增加。為此，因可減少額外遮罩300之數量，故可降低製造成本。藉由製造成本之降低，可降低例如一利用遮罩300製造之有機發光二極體顯示器之成本，此可降低消費者之費用。此外，當遮罩300被張緊焊接至一遮罩框架時，即使可能施加一相對大之張力至遮罩300，遮罩300亦可抵抗外力所產生之厚度減小效果。結果，當欲製造一大面積之有機發光二極體顯示器時，即使遮罩300之一整體尺寸可能會增加，亦可穩定地保持遮罩300之板狀材料之厚度，此可提高在一或多個沈積製程期間遮罩300之可靠性。
根據各實例性實施例，遮罩300包含形成於第一方向及第二方向上之變形部320。因此，當在第一方向及/或第二方向上張緊遮罩300時，可保持遮罩300之板材料之厚度，但遮罩300所佔據之一總面積可能會增大。因此，設想第三彎曲部323可被展平以與本體110之其他部分實質上共面。因此，遮罩100之厚度可被保持為實質上相同於板狀材料之初始厚度。如此一來，可提高整體之耐用性，此可防止(或降低)因與例如一張緊焊接製程、一沈積製程、一清潔製程等相關之耐用性問題而引起之損壞或破損。
根據各實例性實施例，遮罩300之構形可更使生產製程使用時間至少部分地因遮罩300之耐用性提高而增加。為此， 因可減少額外遮罩300之數量，故可降低製造成本。藉由製造成本之降低，可降低例如一利用遮罩300製造之有機發光二極體顯示器之成本，此可降低消費者之費用。此外，當遮罩300被張緊焊接至一遮罩框架時，即使可能施加一相對大之張力至遮罩300，遮罩300亦可抵抗外力所產生之厚度減小效果。結果，當欲製造一大面積之有機發光二極體顯示器時，即使遮罩300之一整體尺寸可能會增加，亦可穩定地保持遮罩300之板狀材料之厚度，此可提高在一或多個沈積製程期間遮罩300之可靠性。
如上所述，第三彎曲部323可配置成一或多種替代軸向橫截面形狀，以下將結合第7A圖及第7B圖對其中之一者予以更詳細闡述。第7A圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之平面圖。第7B圖係為沿截面線D-D’截取之第7A圖所示遮罩之剖視圖。
參照第7A圖及第7B圖，遮罩400可實質上相同於第6A圖至第6C圖中之遮罩300；然而，遮罩400可除變形部320以外亦包含變形部420或包含變形部420以取代變形部320。在各實例性實施例中，變形部420包含一或多個第四彎曲部423，第四彎曲部423可包含與具有任意適當多邊形基底之棱柱或棱錐(例如，如第7A圖及第7B圖所示之一四棱錐)相對應之軸向橫截面形狀。然而，設想可利用任意其他適當之軸向橫截面構形，例如三棱柱/三棱錐、四棱柱/四棱錐、五棱柱/五棱錐等等。應注意，遮罩400之特徵之其餘部分可實質上類似於遮罩100、遮罩200、及/或遮罩300中之一或多者，因此，為避免使本文中所述之實例性實施例模糊不清，不再予以贅述。為此，應注意，遮罩400之 特徵、功能、及所產生之有益效果可類似於結合遮罩100、遮罩200、及/或遮罩300中之一或多者所達成者。
如上所述，突出部(例如，第三彎曲部323)及/或開口(例如，開口111b)之矩陣構形可配置成任意適當矩陣狀或其他適當圖案化形式。現在，結合第8A圖及第8B圖更詳細地闡述一實例性替代(或附加)矩陣狀構形。第8A圖係為根據各實例性實施例之一遮罩之平面圖。第8B圖係為沿截面線E-E’截取之第8圖所示遮罩之一剖視圖。應注意，第8A圖及第8B圖之遮罩500除突出部及開口之設置以外可實質上類似於第6A圖至第6C圖之遮罩300。因此，為避免使本文中所述之實例性實施例模糊不清，以下將闡述其不同之處。
參照第8A圖及第8B圖，遮罩500包含本體110，本體110包含變形部520及開口111b。變形部520包含一或多個第五彎曲部523。根據各實例性實施例，第五彎曲部523中之至少某些彎曲部係在第一方向上彼此間隔開第七尺寸P7，並在第二方向上彼此間隔開第八尺寸P8。為此，第五彎曲部523中之至少某些第五彎曲部係在第一方向上與第五彎曲部523之其他第五彎曲部間隔開第九尺寸(或間距)P9。此外，第五彎曲部523中之至少某些第五彎曲部係在第二方向上與第五彎曲部523之其他第五彎曲部間隔開第十尺寸(或間距)P10。如此一來，第五彎曲部523可彼此錯開，此可使第五彎曲部523形成菱形狀之構形。
根據各實例性實施例，開口111b可設置於至少某些菱形狀構形之一中心區域中。因此，各開口111b可鄰近各第五彎 曲部523而設置，該等第五彎曲部523在第二方向上設置於開口111b之上方及下方、並在第二方向上設置於開口111b之左側及右側。如此一來，第五彎曲部523中之至少某些第五彎曲部可相關於沿第二方向延伸並包含沿相同之假想線設置之開口111b之假想線而設置，而第五彎曲部523中之其他第五彎曲部可相關於沿第二方向延伸但不包含沿相應之假想線設置之開口111b之假想線而設置。為此，第五彎曲部523中之至少某些第五彎曲部可相關於沿第一方向延伸並包含沿相同之假想線設置之開口111b之假想線而設置，而第五彎曲部523中之其他第五彎曲部可相關於沿第一方向延伸但不包含沿相應之假想線設置之開口111b之假想線而設置。
應注意，遮罩500之特徵之其餘部分可實質上類似於遮罩100、遮罩200、遮罩300及/或遮罩400中之一或多者，因此，為避免使本文中所述之實例性實施例模糊不清，不再予以贅述。為此，應注意，遮罩500之特徵、功能、及所產生之有益效果可類似於結合遮罩100、遮罩200、遮罩300及/或遮罩400中之一或多者所達成者。
儘管本文中已闡述某些實例性實施例及其實施方式，但根據本說明，其他實施例及潤飾將顯而易見。因此，本發明並非僅限於此等實施例，而是受限於申請專利範圍以及各種顯而易見之潤飾及等效配置之更寬廣範圍。
100‧‧‧遮罩
110‧‧‧本體
111a‧‧‧開口
120‧‧‧變形部
121‧‧‧第一彎曲部
P1‧‧‧第一尺寸
P2‧‧‧第二尺寸

Claims (18)

  1. 一種遮罩，包含：一板狀本體，包含複數個開口；以及一變型部(modified portion)，包含至少一個第一彎曲部，該至少一個第一彎曲部係沿一第一方向自該板狀本體突出且沿一第二方向縱向延伸。
  2. 如請求項1所述之遮罩，其中：該至少一個第一彎曲部係為複數個第一彎曲部其中之一；該等第一彎曲部係彼此間隔開；以及該等開口係位於各對該等第一彎曲部之間。
  3. 如請求項1所述之遮罩，其中該至少一個第一彎曲部係設置於該板狀本體之一或多個限定區域(limited area)中。
  4. 如請求項3所述之遮罩，其中該一或多個限定區域係對應於該板狀本體之一中心區域。
  5. 如請求項3所述之遮罩，其中該一或多個限定區域係鄰近該板狀本體之一或多個邊緣而設置。
  6. 如請求項1所述之遮罩，其中該第一彎曲部之一軸向橫截面之形狀係為一半圓形、一半橢圓形、或一多邊形。
  7. 如請求項1所述之遮罩，其中該變型部更包含：至少一個第二彎曲部，沿該第一方向自該板狀本體突出，且沿一第三方向縱向延伸，其中該第二方向與該第三方向實質上相互垂直。
  8. 如請求項7所述之遮罩，其中：該至少一個第二彎曲部係為複數個第二彎曲部其中之一；該等第二彎曲部係彼此間隔開；以及該等開口係被設置於各對該等第二彎曲部之間。
  9. 如請求項7所述之遮罩，其中該等第二彎曲部係設置於該板狀本體之一或多個限定區域中。
  10. 如請求項9所述之遮罩，其中該一或多個限定區域係對應於該板狀本體之一中心區域。
  11. 如請求項9所述之遮罩，其中該一或多個限定區域係鄰近該板狀本體之一或多個邊緣而設置。
  12. 如請求項7所述之遮罩，其中該等第二彎曲部其中之至少某些第二彎曲部之一軸向橫截面之形狀係為一半圓形、一半橢圓形、或一多邊形。
  13. 如請求項1-12中任一項所述之遮罩，其中該第一方向係自該板狀本體向上或向下延伸。
  14. 如請求項1所述之遮罩，其中：該變型部包含至少二第一彎曲部；該二第一彎曲部至少其中之一係沿該第一方向突出；以及該二第一彎曲部至少其中之一係沿該第一方向之一相反方向突出。
  15. 如請求項1所述之遮罩，其中該變型部包含以下至少其中之一：鉻、銅、鎳、鎂、鐵、錫、鈦、鋁、及不銹鋼。
  16. 如請求項1所述之遮罩，其中該變型部係由一聚合物形成。
  17. 如請求項1所述之遮罩，其中該變型部係由與該板狀本體相同或不同之一材料形成。
  18. 如請求項1-12中任一項所述之遮罩，其中該變型部經配置以在張力下伸展以：實質上保持該板狀本體之一厚度；以及增大該板狀本體之至少一個其他尺寸。
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