JP6682006B2 - 蒸着用マスク及びこれを用いたoledパネル - Google Patents
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Description
<式1>
k=H2(T−H1)
(前記式において、
前記Tは、前記非有効領域で測定された蒸着用マスクの厚さであり、
前記H1は、前記複数個の貫通ホールのうち、隣接した2つの貫通ホールの間におけるブリッジの厚さが最大である地点において、前記連結部を基準に前記第1面方向への厚さであり、
前記H2は、前記隣接した2つの貫通ホールの間におけるブリッジの厚さが最大である地点において、前記連結部を基準に前記第2面方向への厚さである。)によって計算されたk値は、0.65〜1未満である。
<式2>
α=2B/(d1+d2)
(前記式2において、
前記d1は、前記第1ハーフエッチング部と該第1ハーフエッチング部に隣接した有効領域との間における非有効領域で測定された金属板の幅であり、
前記d2は、前記第2ハーフエッチング部と該第2ハーフエッチング部に隣接した有効領域との間における非有効領域で測定された金属板の幅であり、
前記Bは、前記有効領域の中間地点で測定された金属板の幅である。)によって計算された捩れ指数αは、0.85〜1.15である。
k=H2(T−H1)
α=2B/(d1+d2)
前記d1は、前記第1ハーフエッチング部と該第1ハーフエッチング部に隣接した有効領域との間の非有効領域において測定された金属板の幅であり、
前記d2は、前記第2ハーフエッチング部と該第2ハーフエッチング部に隣接した有効領域との間の非有効領域において測定された金属板の幅であり、
前記Bは、前記有効領域の中間地点で測定された金属板の幅である。
Claims (10)
- 金属板を含む蒸着用マスクであって、
前記金属板は、
複数個の貫通ホール及び該複数個の貫通ホールの間におけるブリッジを含む有効領域と、
前記有効領域の外周に配置される非有効領域と、を含み、
前記貫通ホールは、第1面上の第1面孔と前記第1面に対向する第2面上の第2面孔とが出会う連結部に形成され、
前記金属板は、
前記非有効領域に配置され、前記金属板の長さ方向の一端の近くに位置する第1ハーフエッチング部と、
前記一端と反対する他端の近くに位置する第2ハーフエッチング部と、を含み、
前記第1ハーフエッチング部の深さ及び前記第2ハーフエッチング部の深さは、前記第1面から前記貫通ホールまでの深さより大きく、前記第2面孔の深さより小さく、
前記第1ハーフエッチング部及び前記第2ハーフエッチング部は、前記第1面に形成され、
前記第1ハーフエッチング部及び前記第2ハーフエッチング部は、
前記有効領域と前記非有効領域との境界に位置している前記第2面孔の終端をつなぐ垂直方向の仮想の線と平行な直線部と、
前記直線部の両端をつなぐように前記直線部からみて水平方向外側に延在する曲線部と、を含み、
前記金属板を0.7kgfの力で前記長さ方向に引っ張った時、下記式2
<式2>
α=2B/(d1+d2)
(前記式2において、
前記d1は、前記第1ハーフエッチング部と該第1ハーフエッチング部に隣接した有効領域との間における非有効領域で測定された金属板の幅であり、
前記d2は、前記第2ハーフエッチング部と該第2ハーフエッチング部に隣接した有効領域との間における非有効領域で測定された金属板の幅であり、
前記Bは、前記有効領域の中間地点で測定された金属板の幅である。)
によって計算された捩れ指数αは、0.85〜1.15である、蒸着用マスク。 - 前記曲線部は、均等な曲率を有する、請求項1に記載の蒸着用マスク。
- 前記曲線部は、位置によって異なる曲率を有する、請求項1に記載の蒸着用マスク。
- 前記ブリッジは、
前記金属板の前記第1面上の前記第1面孔の間を支持する第1ブリッジ部と、
前記金属板の前記第2面上の前記第2面孔の間を支持する第2ブリッジ部と、を含み、
前記第1面における前記第1ブリッジ部の幅は、前記第2面における前記第2ブリッジ部の幅より大きい、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。 - 前記第1ブリッジ部の幅は、20μm〜50μmであり、
前記第2ブリッジ部の幅は、0.5μm〜7μmである、請求項4に記載の蒸着用マスク。 - 前記第2面孔の幅は、前記第1面孔の幅より大きい、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。
- 鉄−ニッケル合金を含む、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。
- 厚さが10μm〜30μmである、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。
- 前記第1面孔の深さは、前記蒸着用マスクの厚さとの関係比率が1:(3〜30)である、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。
- 前記連結部の終端の任意の地点と前記第2面孔の終端の任意の地点とをつなぐ傾斜角は、20°〜70°の範囲である、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の蒸着用マスク。
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