JP2000192224A

JP2000192224A - 蒸着用マスクおよび選択的蒸着方法

Info

Publication number: JP2000192224A
Application number: JP10367826A
Authority: JP
Inventors: Haruo Tanaka; 治夫田中
Original assignee: Rohm Co Ltd
Current assignee: Rohm Co Ltd
Priority date: 1998-12-24
Filing date: 1998-12-24
Publication date: 2000-07-11

Abstract

(57)【要約】【課題】被蒸着部材に高い精度で容易に信頼性の高い
選択的蒸着を行なうことのできる蒸着用マスクおよび選
択的蒸着方法を提供する。【解決手段】シャドーマスク２がアノードＡＮＯおよ
び赤色発光層Ｒに接触しない状態で、シャドーマスク２
の概略的な位置合わせを行なう。その後、シャドーマス
ク２の当接部２ｃをアノードＡＮＯに押しつける。この
状態で、シャドーマスク２の精密な位置合わせを行な
う。逃げ部２ｂが設けられているため、精密な位置合わ
せに際し、赤色発光層Ｒがシャドーマスク２に接触する
ことはない。精密な位置合わせが終了すると、そのまま
の状態で、緑色発光層Ｇの材料となる有機材料を、シャ
ドーマスク２をマスクとして選択的に蒸着させる。該有
機材料は、シャドーマスク２に設けられた蒸着用貫通穴
２ａを透過して蒸着される。これにより、ストライプ状
の緑色発光層Ｇが形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は蒸着用マスクおよ
び選択的蒸着方法に関し、特に、当接禁止部分を有する
被蒸着部材に選択的に蒸着を行なう技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】画像表示装置のひとつとして、有機ＥＬ
（エレクトロルミネッセンス）を利用したフルカラー画
像表示装置が提案されている。図１２に、このような画
像表示装置に用いられる表示パネルＤＰの構成を模式的
に示す。

【０００３】表示パネルＤＰはガラス基板ＧＬを備えて
いる。ガラス基板ＧＬの上に、多数のアノードＡＮＯが
ストライプ状に配置されている。アノードＡＮＯの上
に、アノードＡＮＯと直交する方向にストライプ状に、
赤色発光層Ｒ、緑色発光層Ｇ、青色発光層Ｂが、この順
に繰り返し配置されている。赤色発光層Ｒ、緑色発光層
Ｇ、青色発光層Ｂの上に、これら各発光層に沿うように
カソードＣＲ，ＣＧ，ＣＢが配置されている。

【０００４】一本のアノードＡＮＯと１組のカソードＣ
Ｒ，ＣＧ，ＣＢとに挟まれた１組の赤色発光層Ｒ、緑色
発光層Ｇ、青色発光層Ｂが、単位発光素子ＵＬを構成し
ている。すなわち、表示パネルＤＰは、多数の単位発光
素子ＵＬを行列配置したものである。

【０００５】単位発光素子ＵＬを構成する赤色発光層
Ｒ、緑色発光層Ｇ、青色発光層Ｂの各輝度を調整するこ
とにより、単位発光素子ＵＬを任意の色で発光させるこ
とができる。行列配置された多数の単位発光素子ＵＬ
を、それぞれ任意の色で発光させることにより、所望の
フルカラー画像を表示することができる。

【０００６】このような表示パネルＤＰを製造する従来
の手順の一部を、図１３Ａないし図１３Ｄに示す。ま
ず、図１３Ａに示すように、ガラス基板ＧＬの下に多数
のアノードＡＮＯをストライプ状に形成したものを用意
し、アノードＡＮＯに押しつけるように金属製のシャド
ーマスクＭ１を配置する。赤色発光層Ｒの材料となる有
機材料を、シャドーマスクＭ１を用いて選択的に蒸着さ
せることにより、図１３Ｂに示すように、ストライプ状
の赤色発光層Ｒを形成する。

【０００７】つぎに、図１３Ｃに示すように、赤色発光
層Ｒに押しつけるように別のシャドーマスクＭ２を配置
する。緑色発光層Ｇの材料となる有機材料を、シャドー
マスクＭ２を用いて選択的に蒸着させることにより、図
１３Ｄに示すように、ストライプ状の緑色発光層Ｇを形
成する。同様にして、さらに別のシャドーマスク（図示
せず）を用いてストライプ状の青色発光層Ｂを形成す
る。このようにして、アノードＡＮＯと直交する方向に
ストライプ状に、赤色発光層Ｒ、緑色発光層Ｇ、青色発
光層Ｂが、この順に繰り返し配置されるよう形成され
る。

【０００８】この後、カソードの材料を、さらに別のシ
ャドーマスク（図示せず）を用いて選択的に蒸着させる
ことにより、図１２に示すように、赤色発光層Ｒ、緑色
発光層Ｇ、青色発光層Ｂに沿うように、カソードＣＲ，
ＣＧ，ＣＢを形成する。

【０００９】このように、各発光層およびカソードを形
成する際シャドーマスクを用いて選択的に蒸着すること
で、フォトレジストを用いたエッチングの困難な有機材
料を用いた各発光層、および当該発光層形成後に形成さ
れるカソードを、容易に形成することができる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような表示パネルＤＰの従来の製造方法には、次のよう
な問題点があった。蒸着により形成される素子の精度を
確保するためには、位置合わせ精度およびパタニング精
度を確保することが要求される。すなわち、下地に対す
るシャドーマスクの位置をできるだけ正確に調整すると
ともに、蒸着の際シャドーマスクを下地にできるだけ近
接させておく必要がある。

【００１１】一方、シャドーマスクの面積はかなり大き
いため、シャドーマスクと下地との距離を一定に保つの
は困難である。そこで、蒸着の際、シャドーマスクを下
地に密着させるようにしている。したがって、シャドー
マスクを下地に密着させたまま位置調整を行ないそのま
ま蒸着処理を実施すれば、容易に、蒸着により形成され
る素子の精度を確保することができる。

【００１２】しかし、これでは位置調整の際、下地に傷
をつけてしまうおそれがある。たとえば、図１３Ｃに示
すように、シャドーマスクＭ２の位置調整を行なう場
合、既に形成した赤色発光層Ｒに傷をつけてしまうおそ
れがある。これでは、製品の信頼性を確保することはで
きない。

【００１３】このような事態を避けるために、位置調整
の際にはシャドーマスクと下地とを離しておき、蒸着の
際シャドーマスクを下地に密着させるよう構成すること
もできる。しかし、シャドーマスクと下地とを離したま
ま正確な位置調整を行なうのは困難である。また、製造
装置の構造や動作が複雑となり製品のコストが高くなっ
てしまう。

【００１４】この発明は、このような問題点を解決し、
被蒸着部材に高い精度で容易に信頼性の高い選択的蒸着
を行なうことのできる蒸着用マスクおよび選択的蒸着方
法を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段、発明の作用および効果】
請求項１の蒸着用マスクは、被蒸着部材に選択的に蒸着
を行なうための蒸着用マスクにおいて、被蒸着部材の当
接可能部分に当接する当接部と、被蒸着部材の当接禁止
部分に当接しないように形成された逃げ部と、被蒸着部
材の被蒸着部に対応する部分に設けられた蒸着用貫通穴
とを備えたことを特徴とする。

【００１６】したがって、蒸着用マスクの当接部を被蒸
着部材の当接可能部分に密着させたまま、被蒸着部材と
蒸着マスクとの位置調整を行なっても、被蒸着部材の当
接禁止部分に蒸着マスクが当接することはない。このた
め、被蒸着部材の当接禁止部分に傷をつけることなく正
確な位置合わせを行なうことができる。また、該位置合
わせ後にそのまま蒸着をおこなえば、被蒸着部材に蒸着
用マスクを密着させた状態で蒸着を行なうことができ
る。このため、製造装置の構造や動作を複雑にすること
なく、高精度のパタニングを行なうことができる。すな
わち、被蒸着部材に高い精度で容易に信頼性の高い選択
的蒸着を行なうことができる。

【００１７】請求項２の蒸着用マスクは、当該蒸着用マ
スクを平板材料を用いて構成し、逃げ部は、当該平板材
料の一方の面に凹部を形成したものであることを特徴と
する。

【００１８】したがって、たとえば、金属材料で構成さ
れた平板材料の一方の面にエッチングで凹部を形成する
等、平板材料の一方の面に凹部を形成するだけで、容易
に、被蒸着部材に高い精度で容易に信頼性の高い選択的
蒸着を行なうことができる蒸着用マスクを形成すること
ができる。

【００１９】請求項３の蒸着用マスクは、逃げ部の少な
くとも一部を貫通させて蒸着用貫通穴とすることによ
り、当該蒸着用貫通穴を介して被蒸着部材の当接禁止部
分の少なくとも一部に蒸着を行なうことができるよう構
成したことを特徴とする。

【００２０】したがって、たとえば、同一部分に重ねて
蒸着を行なう等、当接禁止部分の少なくとも一部に蒸着
を行なう場合であっても、高い精度で容易に信頼性の高
い選択的蒸着を行なうことができる。

【００２１】請求項４の蒸着用マスクは、逃げ部の有効
逃げ高さを、要求されるパタニング精度および蒸発源か
らの最大傾斜角度に基づいて決定したことを特徴とす
る。

【００２２】したがって、蒸発源からの最大傾斜角度が
既知であれば、逃げ部の有効逃げ高さを調整すること
で、所望のパタニング精度を容易に実現することができ
る。

【００２３】請求項５の蒸着用マスクは、蒸着用貫通穴
の蒸発源側の開口寸法を、当該蒸着用貫通穴の投影寸法
より大きくしたことを特徴とする。

【００２４】したがって、蒸発源からの最大傾斜角度が
大きい場合であっても、蒸着用マスクの厚さの影響を低
減し、高精度のパタニングを行なうことが可能となる。

【００２５】請求項６の選択的蒸着方法は、被蒸着部材
に選択的に蒸着を行なう方法であって、当接部と、被蒸
着部材の当接禁止部分に当接しないように形成された逃
げ部と、被蒸着部材の被蒸着部に対応する部分に設けら
れた蒸着用貫通穴と、を備えた蒸着用マスクを用意し、
当該蒸着用マスクの当接部を被蒸着部材の当接可能部分
に当接させた状態で、被蒸着部材に対する蒸着用マスク
の位置合わせおよび蒸着を行なうことを特徴とする。

【００２６】したがって、蒸着用マスクの当接部を被蒸
着部材の当接可能部分に密着させたまま、被蒸着部材と
蒸着マスクとの位置調整を行なっても、被蒸着部材の当
接禁止部分に蒸着マスクが当接することはない。このた
め、被蒸着部材の当接禁止部分に傷をつけることなく正
確な位置合わせを行なうことができる。また、該位置合
わせ後にそのまま蒸着をおこなうので、被蒸着部材に蒸
着用マスクを密着させた状態で蒸着を行なうことができ
る。このため、製造装置の構造や動作を複雑にすること
なく、高精度のパタニングを行なうことができる。すな
わち、被蒸着部材に高い精度で容易に信頼性の高い選択
的蒸着を行なうことができる。

【００２７】請求項７の選択的蒸着方法は、被蒸着部材
に対する蒸着用マスクの位置合わせを行なう際、被蒸着
部材と蒸着用マスクとが接触しない状態で概略位置合わ
せを行ない、その後、蒸着用マスクの当接部を被蒸着部
材の当接可能部分に当接させた状態で精密位置合わせを
行なうことを特徴とする。

【００２８】したがって、被蒸着部材の当接禁止部分が
蒸着用マスクの逃げ部内に収まる位置にくるように概略
位置合わせを行ない、その後精密位置合わせを行なうこ
とで、高精度の位置合わせを実現することができる。ま
た、非接触で行なう概略位置合わせは高速化することが
できるので、位置合わせに要する総時間を短縮すること
が可能となる。このため、高速で高精度の位置合わせを
実現することが可能となる。

【００２９】

【発明の実施の形態】図１Ａは、この発明の一実施形態
による蒸着用マスクであるシャドーマスク２の要部断面
を示す図面である。図１Ｂは、図１Ａのシャドーマスク
２をＶ１から見た平面構成を示す図面である。シャドー
マスク２は、後述する緑色発光層Ｇの材料となる有機材
料を選択的に蒸着させるためのマスクである（図６Ｃ参
照）。

【００３０】シャドーマスク２は、平板材料である金属
製の平板、たとえばステンレス薄板を用いて形成されて
いる。シャドーマスク２には、板厚方向（図１Ａの上下
方向）に貫通するように、緑色発光層Ｇの材料となる有
機材料の蒸発粒子を通すための蒸着用貫通穴２ａが複数
個設けられている。つまり、蒸着用貫通穴２ａは、緑色
発光層Ｇの配置パターンに合わせて形成されている。蒸
着用貫通穴２ａは、たとえば、エッチングにより形成さ
れる。

【００３１】シャドーマスク２の上面（図１Ａにおける
上側面）には、凹状に形成された逃げ部２ｂが複数個設
けられている。逃げ部２ｂは、後述する赤色発光層Ｒの
配置パターンに合わせて形成されている。逃げ部２ｂの
深さは、赤色発光層Ｒの厚さより若干程度、たとえば１
０μｍ程度、深くなるように形成されている。逃げ部２
ｂの平面寸法、たとえば、幅ＷＲは、赤色発光層Ｒの幅
より若干程度、たとえば６０μｍ程度、広くなるように
形成されている。逃げ部２ｂは、たとえば、エッチング
により形成される。

【００３２】シャドーマスク２の上面のうち、逃げ部２
ｂおよび蒸着用貫通穴２ａが設けられている部分以外の
部分が、当接部２ｃである。

【００３３】図２Ａは、この発明の他の実施形態による
蒸着用マスクであるシャドーマスク４の要部断面を示す
図面である。図２Ｂは、図２Ａのシャドーマスク４をＶ
１から見た平面構成を示す図面である。シャドーマスク
４は、後述する青色発光層Ｂの材料となる有機材料を選
択的に蒸着させるためのマスクである（図７Ａ参照）。

【００３４】シャドーマスク４は、上述のシャドーマス
ク２と同様に、金属製の平板、たとえばステンレス薄板
を用いて形成されている。シャドーマスク４には、板厚
方向（図２Ａの上下方向）に貫通するように、青色発光
層Ｂの材料となる有機材料の蒸発粒子を通すための蒸着
用貫通穴４ａが複数個設けられている。つまり、蒸着用
貫通穴４ａは、青色発光層Ｂの配置パターンに合わせて
形成されている。蒸着用貫通穴４ａは、たとえば、エッ
チングにより形成される。

【００３５】シャドーマスク４の上面（図２Ａにおける
上側面）には、凹状に形成された逃げ部４ｂ、４ｃが、
それぞれ複数個設けられている。逃げ部４ｂは、赤色発
光層Ｒの配置パターンに合わせて形成されている。逃げ
部４ｂの深さは、赤色発光層Ｒの厚さより若干程度、た
とえば１０μｍ程度、深くなるように形成されている。
逃げ部４ｂの平面寸法、たとえば、幅ＷＲは、赤色発光
層Ｒの幅より若干程度、たとえば６０μｍ程度、広くな
るように形成されている。

【００３６】逃げ部４ｃは、緑色発光層Ｇの配置パター
ンに合わせて形成されている。逃げ部４ｃの深さは、緑
色発光層Ｇの厚さより若干程度、たとえば１０μｍ程
度、深くなるように形成されている。逃げ部４ｃの平面
寸法、たとえば、幅ＷＧは、緑色発光層Ｇの幅より若干
程度、たとえば６０μｍ程度、広くなるように形成され
ている。

【００３７】逃げ部４ｂ、４ｃは、たとえば、エッチン
グにより形成される。なお、この実施形態においては、
逃げ部４ｂ、４ｃを同一工程でエッチングするよう構成
している。したがって、逃げ部４ｂ、４ｃを同一深さと
している。

【００３８】シャドーマスク４の上面のうち、逃げ部４
ｂ、４ｃおよび蒸着用貫通穴４ａが設けられている部分
以外の部分が、当接部４ｄである。

【００３９】図３Ａは、この発明のさらに他の実施形態
による蒸着用マスクであるシャドーマスク６の要部断面
を示す図面である。図３Ｂは、図３Ａのシャドーマスク
６をＶ１から見た平面構成を示す図面である。シャドー
マスク６は、後述するカソードＣＲ，ＣＧ，ＣＢの材料
となる配線材料を選択的に蒸着させるためのマスクであ
る（図７Ｃ参照）。

【００４０】シャドーマスク６は、上述のシャドーマス
ク２、４と同様に、金属製の平板、たとえばステンレス
薄板を用いて形成されている。シャドーマスク６の上面
（図３Ａにおける上側面）には、凹状に形成された逃げ
部６ｄ、６ｅ、６ｆが、それぞれ複数個設けられてい
る。

【００４１】逃げ部６ｄは、赤色発光層Ｒの配置パター
ンに合わせて形成されている。逃げ部６ｄの深さは、後
述するように、赤色発光層Ｒの厚さよりも有効逃げ高さ
ｃ１程度だけ深くなるように形成されている。逃げ部６
ｄの平面寸法、たとえば、幅ＷＲは、赤色発光層Ｒの幅
より若干程度、たとえば６０μｍ程度、広くなるように
形成されている。

【００４２】逃げ部６ｅ、６ｆは、それぞれ、緑色発光
層Ｇ、青色発光層Ｂの配置パターンに合わせて形成され
ている。逃げ部６ｅ、６ｆの深さは、それぞれ、緑色発
光層Ｇ、青色発光層Ｂの厚さよりも有効逃げ高さｃ１程
度だけ深くなるように形成されている。逃げ部６ｅ、６
ｆの平面寸法、たとえば、幅ＷＧ、ＷＢは、それぞれ、
緑色発光層Ｇ、青色発光層Ｂの幅より若干程度、たとえ
ば６０μｍ程度、広くなるように形成されている。

【００４３】逃げ部６ｄ、６ｅ、６ｆは、たとえば、エ
ッチングにより形成される。なお、この実施形態におい
ては、逃げ部６ｄ、６ｅ、６ｆを同一工程でエッチング
するよう構成している。したがって、逃げ部６ｄ、６
ｅ、６ｆを同一深さとしている。

【００４４】シャドーマスク６の上面のうち、逃げ部６
ｄ、６ｅ、６ｆが設けられている部分以外の部分が、当
接部６ｇである。

【００４５】シャドーマスク６の逃げ部６ｄ、６ｅ、６
ｆの一部を、それぞれ板厚方向（図３Ａの上下方向）に
貫通させて、カソードＣＲ，ＣＧ，ＣＢの材料となる配
線材料の蒸発粒子を通すための蒸着用貫通穴６ａ、６
ｂ、６ｃが、複数個設けられている。つまり、蒸着用貫
通穴６ａ、６ｂ、６ｃは、カソードＣＲ，ＣＧ，ＣＢの
配置パターンに合わせて形成されている。

【００４６】蒸着用貫通穴６ａ、６ｂ、６ｃは、たとえ
ば、エッチングにより形成される。なお、この実施形態
においては、蒸着用貫通穴６ａ、６ｂ、６ｃを同一工程
でエッチングするよう構成している。

【００４７】上述のように、シャドーマスク６の逃げ部
６ｄの深さは、赤色発光層Ｒの厚さよりも有効逃げ高さ
ｃ１程度だけ深くなるように形成されている。図４は、
シャドーマスク６の逃げ部６ｄ近傍の拡大図である。図
５は、図４に示す最大傾斜角度θを説明するための図面
である。

【００４８】後述するように（図７Ｃ参照）、カソード
ＣＲ，ＣＧ，ＣＢの材料となる配線材料を蒸着する際に
は、ガラス基板ＧＬの下面にアノードＡＮＯ、赤色発光
層Ｒ、緑色発光層Ｇ、青色発光層Ｂを蒸着したもの（便
宜上、これを基板８と呼ぶ。）にシャドーマスク６を下
方から所定位置に密着させて固定しておく。

【００４９】図５に示すように、基板８に垂直な回転軸
ＲＡが設定され、基板８は、この回転軸ＲＡの回りに回
転するよう構成されている。基板８の最大回転半径はｒ
である。カソードＣＲ，ＣＧ，ＣＢの材料となる配線材
料の蒸発源１０と基板８との、回転軸ＲＡ方向の距離は
ｈである。蒸発源１０と回転軸ＲＡとの距離はｄであ
る。なお、この実施形態においては、回転軸ＲＡを、鉛
直方向に伸びる軸としている。

【００５０】最大傾斜角度θとは、蒸発源１０から蒸発
した粒子が基板８に到達するとき、回転軸ＲＡに対し最
大限どの程度傾いて到達するかを表わす角度である。図
５の場合、最大傾斜角度θは、次式、 θ＝ｔａｎ^-1（（ｒ＋ｄ）／ｈ）で表わされる。

【００５１】たとえば、最大回転半径ｒ＝１５ｃｍ距離ｄ＝１０ｃｍ距離ｈ＝５０ｃｍとすれば、最大傾斜角度θ≒２６．６となる。

【００５２】図４に示すように、要求されるパタニング
精度をδとすれば、逃げ部６ｄの有効逃げ高さｃ１は、
要求されるパタニング精度δ、および上述の最大傾斜角
度θに基づいて、次式、ｃ１＝δ／ｔａｎθ にしたがって、求めることができる。

【００５３】たとえば、上述（最大傾斜角度θ≒２６．
６）の場合、パタニング精度δ＝５μｍとすれば、有効逃げ高さｃ１＝１０μｍとなる。したがって、この場合、有効逃げ高さｃ１を１
０μｍ程度に設定すれば、５μｍ程度の精度でパタニン
グできることになる。

【００５４】つぎに、上述のシャドーマスク２、４、６
を使用して図１２に示す表示パネルＤＰを製造する手順
を、図６Ａないし図７Ｄを用いて説明する。まず、図６
Ａに示すように、ガラス基板ＧＬの下に多数のアノード
ＡＮＯを、Ｘ方向を長手方向とするストライプ状に形成
したものを用意し、アノードＡＮＯに押しつけるように
金属製のシャドーマスクＭ１を配置する。なお、この実
施形態においては、説明の便宜上、金属製のシャドーマ
スクが押しつけられても、アノードＡＮＯには傷がつか
ないものとする。

【００５５】赤色発光層Ｒの材料となる有機材料を、シ
ャドーマスクＭ１を用いて選択的に蒸着させる。該有機
材料は、シャドーマスクＭ１に設けられた蒸着用貫通穴
Ｍ１ａを透過して蒸着される。これにより、図６Ｂに示
すように、紙面に直交する方向を長手方向とするストラ
イプ状の赤色発光層Ｒが形成される。

【００５６】つぎに、緑色発光層Ｇの材料となる有機材
料を選択的に蒸着させるためのシャドーマスク２を用意
し、シャドーマスク２がアノードＡＮＯおよび赤色発光
層Ｒに接触しない状態で、シャドーマスク２の概略的な
位置合わせを行なう。

【００５７】概略位置合わせの後、図６Ｃに示すよう
に、シャドーマスク２の当接部２ｃを、被蒸着部材の当
接可能部分であるアノードＡＮＯに押しつける。この状
態で、シャドーマスク２の精密な位置合わせを行なう。
適当な大きさの逃げ部２ｂが設けられているため、精密
な位置合わせに際し、被蒸着部材の当接禁止部分である
赤色発光層Ｒがシャドーマスク２に接触することはな
い。

【００５８】精密な位置合わせが終了すると、そのまま
の状態で、緑色発光層Ｇの材料となる有機材料を、シャ
ドーマスク２を用いて選択的に蒸着させる。該有機材料
は、シャドーマスク２に設けられた蒸着用貫通穴２ａを
透過して被蒸着部材の被蒸着部に蒸着される。これによ
り、図６Ｄに示すように、赤色発光層Ｒに平行なストラ
イプ状の緑色発光層Ｇが形成される。

【００５９】つぎに、青色発光層Ｂの材料となる有機材
料を選択的に蒸着させるためのシャドーマスク４を用意
し、シャドーマスク４がアノードＡＮＯ、赤色発光層Ｒ
および緑色発光層Ｇに接触しない状態で、シャドーマス
ク４の概略的な位置合わせを行なう。

【００６０】概略位置合わせの後、図７Ａに示すよう
に、シャドーマスク４の当接部４ｄをアノードＡＮＯに
押しつける。この状態で、シャドーマスク４の精密な位
置合わせを行なう。適当な大きさの逃げ部４ｂ、４ｃが
設けられているため、精密な位置合わせに際し、被蒸着
部材の当接禁止部分である赤色発光層Ｒおよび緑色発光
層Ｇがシャドーマスク４に接触することはない。

【００６１】精密な位置合わせが終了すると、そのまま
の状態で、青色発光層Ｂの材料となる有機材料を、シャ
ドーマスク４を用いて選択的に蒸着させる。該有機材料
は、シャドーマスク４に設けられた蒸着用貫通穴４ａを
透過して被蒸着部材の被蒸着部に蒸着される。これによ
り、図７Ｂに示すように、赤色発光層Ｒおよび緑色発光
層Ｇに平行なストライプ状の青色発光層Ｂが形成され
る。

【００６２】このようにして、アノードＡＮＯと直交す
る方向にストライプ状に、赤色発光層Ｒ、緑色発光層
Ｇ、青色発光層Ｂが、この順に繰り返し配置されるよう
形成される。

【００６３】つぎに、カソードＣＲ，ＣＧ，ＣＢの材料
を選択的に蒸着させるためのシャドーマスク６を用意
し、シャドーマスク６がアノードＡＮＯ、赤色発光層
Ｒ、緑色発光層Ｇおよび青色発光層Ｂに接触しない状態
で、シャドーマスク６の概略的な位置合わせを行なう。

【００６４】概略位置合わせの後、図７Ｃに示すよう
に、シャドーマスク６の当接部６ｇをアノードＡＮＯに
押しつける。この状態で、シャドーマスク６の精密な位
置合わせを行なう。適当な大きさの逃げ部６ｄ、６ｅ、
６ｆが設けられているため、精密な位置合わせに際し、
被蒸着部材の当接禁止部分である赤色発光層Ｒ、緑色発
光層Ｇおよび青色発光層Ｂがシャドーマスク６に接触す
ることはない。

【００６５】精密な位置合わせが終了すると、そのまま
の状態で、カソードＣＲ，ＣＧ，ＣＢの材料を、シャド
ーマスク６を用いて選択的に蒸着させる。該材料は、シ
ャドーマスク６に設けられた蒸着用貫通穴６ａ、６ｂ、
６ｃを透過して被蒸着部材の被蒸着部に蒸着される。こ
れにより、図７Ｄに示すように、赤色発光層Ｒ、緑色発
光層Ｇ、青色発光層Ｂに沿ってこれらの直下に、カソー
ドＣＲ，ＣＧ，ＣＢがストライプ状に形成される。

【００６６】この後、絶縁膜形成工程、配線層形成工
程、シーリング工程等を経て、表示パネルＤＰが製造さ
れる。

【００６７】このように、上述の実施形態においては、
たとえば、シャドーマスク２は、アノードＡＮＯに当接
する当接部２ｃと、赤色発光層Ｒに当接しないように形
成された逃げ部２ｂと、蒸着用貫通穴２ａとを備えてい
る。

【００６８】したがって、シャドーマスク２の当接部２
ｃをアノードＡＮＯに密着させたまま、ガラス基板ＧＬ
とシャドーマスク２との位置調整を行なっても、赤色発
光層Ｒにシャドーマスク２が当接することはない。この
ため、赤色発光層Ｒに傷をつけることなく正確な位置合
わせを行なうことができる。また、該位置合わせ後にそ
のまま蒸着をおこなえば、アノードＡＮＯにシャドーマ
スク２を密着させた状態で蒸着を行なうことができる。
このため、表示パネルの製造装置の構造や動作を複雑に
することなく、高精度のパタニングを行なうことができ
る。すなわち、ガラス基板ＧＬに高い精度で容易に信頼
性の高い選択的蒸着を行なうことができる。

【００６９】また、たとえば、シャドーマスク２は、ス
テンレス薄板を用いて構成されており、逃げ部２ｂは、
当該ステンレス薄板の上面に凹部を形成したものであ
る。したがって、ステンレス薄板の上面に、たとえばエ
ッチングで凹部を形成するだけで、容易に、逃げ部２ｂ
を形成することができる。

【００７０】また、上述の実施形態においては、たとえ
ば、ガラス基板ＧＬに対するシャドーマスク２の位置合
わせを行なう際、アノードＡＮＯおよび赤色発光層Ｒと
シャドーマスク２とが接触しない状態で概略位置合わせ
を行ない、その後、シャドーマスク２の当接部２ｃをア
ノードＡＮＯに当接させた状態で精密位置合わせを行な
うようにしている。

【００７１】したがって、赤色発光層Ｒがシャドーマス
ク２の逃げ部２ｂ内に収まる位置にくるように概略位置
合わせを行ない、その後精密位置合わせを行なうこと
で、高精度の位置合わせを実現することができる。ま
た、非接触で行なう概略位置合わせは高速化することが
できるので、位置合わせに要する総時間を短縮すること
が可能となる。このため、高速で高精度の位置合わせを
実現することが可能となる。

【００７２】これら種々の特徴は、シャドーマスク４、
６についても、同様である。

【００７３】さらに、シャドーマスク６は、たとえば、
逃げ部６ｄの少なくとも一部を貫通させて蒸着用貫通穴
６ａとすることにより、当該蒸着用貫通穴６ａを介し
て、赤色発光層Ｒを覆うようにカソードＣＲの蒸着を行
なうことができるよう構成されている。

【００７４】したがって、このように、赤色発光層Ｒに
重ねてカソードＣＲを蒸着するような場合であっても、
高い精度で容易に信頼性の高い選択的蒸着を行なうこと
ができる。

【００７５】また、逃げ部６ｄの有効逃げ高さｃ１を、
要求されるパタニング精度δおよび蒸発源１０からの最
大傾斜角度θに基づいて決定するようにしている。

【００７６】したがって、蒸発源１０からの最大傾斜角
度θが既知であれば、逃げ部６ｄの有効逃げ高さｃ１を
調整することで、所望のパタニング精度δを容易に実現
することができる。

【００７７】これらの特徴は、逃げ部６ｅ、６ｆについ
ても同様である。

【００７８】つぎに、図８Ａに、この発明のさらに他の
実施形態による蒸着用マスクであるシャドーマスク１２
の要部断面を示す。図８Ｂは、図８Ａのシャドーマスク
１２をＶ１から見た平面構成を示す図面である。シャド
ーマスク１２は、上述のシャドーマスク２（図１Ａ、図
１Ｂ参照）と同様に、緑色発光層Ｇの材料となる有機材
料を選択的に蒸着させるためのマスクであり、該シャド
ーマスク２とほぼ同様の構成を有する。

【００７９】ただし、シャドーマスク２と異なり、シャ
ドーマスク１２においては、蒸着用貫通穴１２ａが段付
き状になっている。つまり、蒸着用貫通穴１２ａの蒸発
源１０（図５参照）側（図８Ａにおける下側面）の開口
寸法を、当該蒸着用貫通穴１２ａの投影寸法より大きく
なるようにしている。

【００８０】図１１Ａは、このようなシャドーマスク１
２を用いて蒸着を行なう場合における最大傾斜角度θの
影響を説明するための図面である。図１１Ｂは、上述の
シャドーマスク２を用いて蒸着を行なう場合における最
大傾斜角度θの影響を説明するための図面である。

【００８１】図１１Ａおよび図１１Ｂから、シャドーマ
スク１２を用いて蒸着を行なう場合、蒸発粒子の付着し
にくい部分の寸法ｅ２が、シャドーマスク２を用いて蒸
着を行なう場合の当該寸法ｅ１に比し、小さくなってい
ることが分かる。これは、蒸発粒子の付着の妨げとなる
有効厚さが、シャドーマスク２においてはｔ１であるの
に対し、シャドーマスク１２においてはｔ２（＜ｔ１）
となっているからである。

【００８２】したがって、蒸発源１０からの最大傾斜角
度θ（図５参照）が大きい場合であっても、蒸着用マス
ク１２の厚さの影響を低減し、高精度のパタニングを行
なうことが可能となる。

【００８３】上述のシャドーマスク４（図２Ａ、図２Ｂ
参照）およびシャドーマスク６（図３Ａ、図３Ｂ参照）
についても、シャドーマスク２の場合と同様に、蒸着用
貫通穴の蒸発源１０側の開口寸法を、当該蒸着用貫通穴
の投影寸法より大きくなるよう構成することができる。

【００８４】シャドーマスク４の蒸着用貫通穴４ａの蒸
発源１０側の開口寸法を、当該蒸着用貫通穴４ａの投影
寸法より大きくなるよう構成したシャドーマスク１４の
構造を、図９Ａおよび図９Ｂに示す。

【００８５】シャドーマスク１４においては、蒸着用貫
通穴１４ａが段付き状になっており、蒸着用貫通穴１４
ａの蒸発源１０側（図９Ａにおける下側面）の開口寸法
が、当該蒸着用貫通穴１４ａの投影寸法より大きくなっ
ていることが分かる。

【００８６】また、シャドーマスク６の蒸着用貫通穴６
ａ、６ｂ、６ｃの蒸発源１０側の開口寸法を、当該蒸着
用貫通穴６ａ、６ｂ、６ｃの投影寸法より大きくなるよ
う構成したシャドーマスク１６の構造を、図１０Ａおよ
び図１０Ｂに示す。

【００８７】シャドーマスク１６においては、蒸着用貫
通穴１６ａ、１６ｂ、１６ｃが段付き状になっており、
蒸着用貫通穴１６ａ、１６ｂ、１６ｃの蒸発源１０側
（図１０Ａにおける下側面）の開口寸法が、当該蒸着用
貫通穴１６ａ、１６ｂ、１６ｃの投影寸法より大きくな
っていることが分かる。

【００８８】なお、上述の各実施形態においては、説明
の便宜のため、フルカラー画像表示装置に用いられる表
示パネルＤＰを構成する有機ＥＬ（エレクトロルミネッ
センス）発光素子として、アノードとカソードとの間に
発光層のみを挟み込んだ構成の有機ＥＬ発光素子を例に
説明したが、有機ＥＬ発光素子としては、実際には、ア
ノードとカソードとの間に、正孔輸送層および発光素子
を挟み込んだ構成のもの、正孔輸送層、発光素子および
電子輸送層を挟み込んだ構成のもの、正孔注入層、正孔
輸送層、発光素子および電子輸送層を挟み込んだ構成の
もの等が多く用いられる。これらのいかなる場合にも、
本発明を適用することができる。

【００８９】また、上述の各実施形態においては、有機
ＥＬを利用したフルカラー画像表示装置に用いられる表
示パネルＤＰとして、アノードＡＮＯと直交する方向に
ストライプ状に、赤色発光層Ｒ、緑色発光層Ｇ、青色発
光層Ｂが、この順に繰り返し配置されるような構成の表
示パネルＤＰを製造する場合を例に説明したが、この発
明は、このような表示パネルＤＰの製造に限定されるも
のではない。

【００９０】有機ＥＬを利用したフルカラー画像表示装
置に用いられる表示パネルＤＰとして、たとえば、赤色
発光層Ｒ、緑色発光層Ｇ、青色発光層Ｂを積層した表示
パネルを製造する場合にも、にも本発明を適用すること
ができる。

【００９１】また、この発明は、有機ＥＬを利用したフ
ルカラー画像表示装置に用いられる表示パネルの製造に
限定されるものではなく、被蒸着部材に選択的に蒸着を
行なう作業全般に適用することができる。

【００９２】なお、上述の各実施形態においては、蒸着
用マスクとしてステンレス薄板を用いたが、蒸着用マス
クはこれに限定されるものではない。蒸着用マスクとし
てステンレス薄板以外の金属製の平板を用いることもで
きる。また、蒸着用マスクとして金属製の平板以外の平
板材料を用いることができる。さらに、蒸着用マスクと
して平板材料以外の材料を用いることもできる。

【００９３】また、上述の各実施形態においては、被蒸
着部材に対する蒸着用マスクの位置合わせを行なう際、
被蒸着部材と蒸着用マスクとが接触しない状態で概略位
置合わせを行ない、その後、蒸着用マスクの当接部を被
蒸着部材の当接可能部分に当接させた状態で精密位置合
わせを行なうよう構成したが、この発明はこれに限定さ
れるものではない。たとえば、蒸着用マスクの当接部を
被蒸着部材の当接可能部分に当接させた状態で概略位置
合わせおよび精密位置合わせを行なうよう構成すること
もできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１Ａは、この発明の一実施形態による蒸着用
マスクであるシャドーマスク２の要部断面を示す図面で
ある。図１Ｂは、図１Ａのシャドーマスク２をＶ１から
見た平面構成を示す図面である。

【図２】図２Ａは、この発明の他の実施形態による蒸着
用マスクであるシャドーマスク４の要部断面を示す図面
である。図２Ｂは、図２Ａのシャドーマスク４をＶ１か
ら見た平面構成を示す図面である。

【図３】図３Ａは、この発明のさらに他の実施形態によ
る蒸着用マスクであるシャドーマスク６の要部断面を示
す図面である。図３Ｂは、図３Ａのシャドーマスク６を
Ｖ１から見た平面構成を示す図面である。

【図４】シャドーマスク６の逃げ部６ｄ近傍の拡大図で
ある。

【図５】図４に示す最大傾斜角度θを説明するための図
面である。

【図６】図６Ａ〜Ｄは、シャドーマスク２、４、６を使
用して図１２に示す表示パネルＤＰを製造する手順を説
明するための要部断面図である。

【図７】図７Ａ〜Ｄは、シャドーマスク２、４、６を使
用して図１２に示す表示パネルＤＰを製造する手順を説
明するための要部断面図である。

【図８】図８Ａは、この発明のさらに他の実施形態によ
る蒸着用マスクであるシャドーマスク１２の要部断面を
示す図面である。図８Ｂは、図８Ａのシャドーマスク１
２をＶ１から見た平面構成を示す図面である。

【図９】図９Ａは、この発明のさらに他の実施形態によ
る蒸着用マスクであるシャドーマスク１４の要部断面を
示す図面である。図９Ｂは、図９Ａのシャドーマスク１
４をＶ１から見た平面構成を示す図面である。

【図１０】図１０Ａは、この発明のさらに他の実施形態
による蒸着用マスクであるシャドーマスク１６の要部断
面を示す図面である。図１０Ｂは、図１０Ａのシャドー
マスク１６をＶ１から見た平面構成を示す図面である。

【図１１】図１１Ａは、シャドーマスク１２を用いて蒸
着を行なう場合における最大傾斜角度θの影響を説明す
るための図面である。図１１Ｂは、シャドーマスク２を
用いて蒸着を行なう場合における最大傾斜角度θの影響
を説明するための図面である。

【図１２】画像表示装置に用いられる表示パネルＤＰの
構成を模式的に示した図面である。

【図１３】図１３Ａ〜Ｄは、表示パネルＤＰを製造する
従来の手順を説明するための要部断面図である。

【符号の説明】

２・・・・・シャドーマスク２ａ・・・・蒸着用貫通穴２ｂ・・・・逃げ部２ｃ・・・・当接部ＡＮＯ・・・アノードＧ・・・・・緑色発光層Ｒ・・・・・赤色発光層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被蒸着部材に選択的に蒸着を行なうための
蒸着用マスクにおいて、被蒸着部材の当接可能部分に当接する当接部と、被蒸着部材の当接禁止部分に当接しないように形成され
た逃げ部と、被蒸着部材の被蒸着部に対応する部分に設けられた蒸着
用貫通穴と、を備えたこと、を特徴とする蒸着用マスク。
【請求項２】請求項１の蒸着用マスクにおいて、当該蒸着用マスクを、平板材料を用いて構成し、前記逃げ部は、当該平板材料の一方の面に凹部を形成し
たものであること、を特徴とするもの。
【請求項３】請求項１ないし請求項２のいずれかの蒸着
用マスクにおいて、前記逃げ部の少なくとも一部を貫通させて前記蒸着用貫
通穴とすることにより、当該蒸着用貫通穴を介して前記
被蒸着部材の当接禁止部分の少なくとも一部に蒸着を行
なうことができるよう構成したこと、を特徴とするもの。
【請求項４】請求項３の蒸着用マスクにおいて、前記逃げ部の有効逃げ高さを、要求されるパタニング精
度および蒸発源からの最大傾斜角度に基づいて決定した
こと、を特徴とするもの。
【請求項５】請求項１ないし請求項４のいずれかの蒸着
用マスクにおいて、前記蒸着用貫通穴の蒸発源側の開口寸法を、当該蒸着用
貫通穴の投影寸法より大きくしたこと、を特徴とするもの。
【請求項６】被蒸着部材に選択的に蒸着を行なう方法で
あって、当接部と、被蒸着部材の当接禁止部分に当接しないよう
に形成された逃げ部と、被蒸着部材の被蒸着部に対応す
る部分に設けられた蒸着用貫通穴と、を備えた蒸着用マ
スクを用意し、当該蒸着用マスクの当接部を被蒸着部材の当接可能部分
に当接させた状態で、被蒸着部材に対する蒸着用マスク
の位置合わせおよび蒸着を行なうこと、を特徴とする選択的蒸着方法。
【請求項７】請求項６の選択的蒸着方法において、前記被蒸着部材に対する前記蒸着用マスクの位置合わせ
を行なう際、被蒸着部材と蒸着用マスクとが接触しない
状態で概略位置合わせを行ない、その後、蒸着用マスク
の当接部を被蒸着部材の当接可能部分に当接させた状態
で精密位置合わせを行なうこと、を特徴とするもの。