KR100814181B1 - 유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 - Google Patents
유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100814181B1 KR100814181B1 KR1020070049437A KR20070049437A KR100814181B1 KR 100814181 B1 KR100814181 B1 KR 100814181B1 KR 1020070049437 A KR1020070049437 A KR 1020070049437A KR 20070049437 A KR20070049437 A KR 20070049437A KR 100814181 B1 KR100814181 B1 KR 100814181B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- layer
- organic
- organic layer
- light emitting
- forming
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 228
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 115
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 77
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 70
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 49
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 26
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 10
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 9
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 21
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 21
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 3
- -1 first electrode Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical group [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
- H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
Abstract
Description
Claims (41)
- 기판 상에 복수 종류의 발광색의 발광부를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조 방법이며,기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와,증착에 의해 유기층을 형성하는 유기층 형성 단계와,발광색의 종류에 따른 발광층의 각각을 원하는 영역에 형성하는 발광층 형성 단계와,제2 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 유기층 형성 단계에서, 각도 증착 방법에 의해 상기 유기층을 형성하고, 상기 발광층의 각각은 상기 기판의 수직 방향의 증착 각도로 증착하는 제조 방법.
- 기판 상에 복수 종류의 발광색의 발광부를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조 방법이며,기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와,각 발광색에 공통된 제1 유기층을 증착에 의해 각 발광 영역에 동시에 형성하는 제1 유기층 형성 단계와,발광색마다 상이한 제2 유기층을 원하는 영역에 증착에 의해 형성하는 제2 유기층 형성 단계와,발광색의 종류에 따른 발광층의 각각을 원하는 영역에 형성하는 발광층 형성 단계와,제2 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 제1 유기층은 각도 증착 방법에 의해 형성되고, 상기 제2 유기층은 상기 기판의 수직 방향의 증착 각도로 증착되는 제조 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제2 유기층 중에 적어도 하나는 상기 제1 유기층과 상이한 유기 재료로 이루어지는 제조 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제2 유기층은 각각 상이한 유기 재료로 이루어지는 제조 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제2 유기층은 동일한 유기 재료로 이루어지고 상이한 두께를 갖는 제조 방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제2 유기층 형성 단계는 상기 제1 유기층 형성 단계 후에 수행되는 제조 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 발광층의 각각은 상기 기판의 수직 방향의 증착 각도로 증착되는 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 전극은 상기 기판의 수직 방향의 증착 각도로 증착되는 제조 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제2 유기층은 홀 수송층인 제조 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제2 유기층은 전자 수송층인 제조 방법.
- 기판 상에 복수 종류의 발광색의 발광부를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널이며,기판에 형성된 제1 전극과,증착에 의해 형성된 유기층과,발광색의 종류에 따라서 원하는 영역에 각각 형성된 발광층과,제2 전극을 포함하고,상기 유기층은 각도 증착 방법에 의해 형성되고, 상기 발광층의 각각은 상기 기판의 수직 방향의 증착 각도로 증착되는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 기판 상에 복수 종류의 발광색이 발광부를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널이며,기판 상에 형성된 제1 전극과,증착에 의해 각 발광 영역에 동시에 일괄하여 형성된 제1 유기층과,원하는 영역에 각각 형성된 발광색마다 상이한 제2 유기층과,발광색의 종류에 따라서 원하는 영역에 각각 형성된 발광층과,제2 전극을 포함하고,상기 제1 유기층은 각도 증착 방법에 의해 형성되고, 상기 제2 유기층은 상기 기판의 수직 방향의 증착 각도로 증착되는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제12항에 있어서, 상기 제2 유기층의 적어도 하나는 상기 제1 유기층과 상이한 유기 재료로 이루어지는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제12항에 있어서, 상기 제2 유기층은 각각 상이한 유기 재료로 이루어지는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제12항에 있어서, 상기 제2 유기층은 각각 동일한 유기 재료로 이루어지고 상이한 두께를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제13항에 있어서, 상기 제2 유기층은 상기 제1 유기층 상에 형성되는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제12항에 있어서, 상기 발광층의 각각은 상기 기판의 수직 방향의 증착 각도 로 증착되는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 제2 전극은 상기 기판의 수직 방향의 증착 각도로 증착되는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제12항에 있어서, 상기 제2 유기층은 홀 수송층인 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제12항에 있어서, 상기 제2 유기층은 전자 수송층인 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 기판 상에 복수 종류의 발광색의 발광부를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조 방법이며,기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와,각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 일괄하여 각도 증착에 의해 형성하는 단계 및 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 형성하는 단계를 갖는 유기층 형성 단계와,발광색의 종류에 따른 발광층을 상기 발광색의 종류에 대응하는 발광 영역에 형성하는 발광층 형성 단계와,제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 제조 방법.
- 제21항에 있어서, 상기 유기층 형성 단계에서, 상기 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 일괄하여 각도 증착에 의해 형성하는 공정은 상기 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 형성하는 단계에 앞서 실행되는 제조 방법.
- 제21항에 있어서, 상기 유기층 형성 단계에서, 상기 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 형성하는 단계는, 상기 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 일괄하여 각도 증착에 의해 형성하는 단계에 앞서 실행되는 제조 방법.
- 제21항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층과 상기 각 발광색마다 공통된 층 두께의 유기층은 동일한 유기 재료로 이루어지는 제조 방법.
- 기판 상에 복수 종류의 발광색의 발광부를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조 방법이며,기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와,발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 발광 영역에 형성하는 단계 및 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 일괄하여 각도 증착에 의해 형성하는 단계를 갖는 제1 유기층 형성 단계와,상기 제1 유기층 형성 단계의 실행 후, 발광색의 종류에 따른 발광색의 각각 에 대응하는 발광 영역에 형성하는 발광층 형성 단계와,상기 발광층 형성 단계의 실행 후, 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 제조 방법.
- 제25항에 있어서, 상기 제1 유기층 형성 단계에서, 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 일괄하여 각도 증착에 의해 형성하는 단계는 상기 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 형성하는 단계에 앞서 실행되는 제조 방법.
- 제25항에 있어서, 상기 제1 유기층 형성 단계에서, 상기 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 형성하는 단계는 상기 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 일괄하여 각도 증착에 의해 형성하는 단계에 앞서 실행되는 제조 방법.
- 기판 상에 복수 종류의 발광색의 발광부를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조 방법이며,기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계와,발광색의 종류에 따른 발광층을 대응하는 발광 영역에 형성하는 발광층 형성 단계와,상기 발광층 형성 단계의 실행 후, 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 발광 영역에 형성하는 단계 및 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 일괄하여 각도 증착에 의해 형성하는 단계를 갖는 제2 유기층 형성 단계와,상기 제2 유기층 형성 단계의 실행 후, 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 제조 방법.
- 제28항에 있어서, 상기 제2 유기층 형성 단계에서, 상기 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 일괄하여 각도 증착에 의해 형성 단계는 상기 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 형성하는 단계에 앞서 실행되는 제조 방법.
- 제28항에 있어서, 상기 제2 유기층 형성 단계에서, 상기 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 형성하는 단계는 상기 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 일괄하여 각도 증착에 의해 형성 단계에 앞서 실행되는 제조 방법.
- 제25항 내지 제27항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 유기층은 홀 수송층인 제조 방법.
- 제28항 내지 제30항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 유기층은 전자 수송층인 제조 방법.
- 기판 상에 복수 종류의 발광색의 발광부를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널이며,기판 상에 형성된 제1 전극과,상기 제1 전극이 형성된 기판 상의 대응하는 발광 영역에 각도 증착에 의해 형성된 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층과 발광색의 종류에 따른 층 두께의 유기층을 갖는 제1 유기층과,상기 제1 유기층 상에 발광색의 종류에 대응한 발광 영역에 각각 형성된 발광층과,상기 발광층 상에 형성된 제2 전극을 포함하는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제33항에 있어서, 상기 제1 유기층은 각도 증착에 의해 각 발광색마다 공통된 층 두께의 유기층과, 상기 유기층 상에 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 포함하는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제34항에 있어서, 상기 제1 유기층은 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층과, 상기 유기층 상에 각도 증착에 의해 형성되어 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 포함하는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제33항 내지 제35항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 발광층 상의 대응하는 발광 영역에, 발광색의 종류에 따른 층 두께의 제2 유기층을 더 포함하는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 기판 상에 복수 종류의 발광색의 발광부를 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널이며,기판 상에 형성된 제1 전극과,상기 제1 전극이 형성된 기판 상의 대응하는 발광 영역에, 발광색의 종류에 대응한 발광 영역에 형성된 발광층과,상기 발광층이 형성된 기판 상의 대응하는 발광 영역에, 각도 증착에 의해 형성된 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층과 발광색의 종류에 따른 층 두께의 유기층을 갖는 제2 유기층과,상기 발광층 상에 형성된 제2 전극을 포함하는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제37항에 있어서, 상기 제2 유기층은 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층과 상기 유기층 상에 각도 증착에 의해 형성된 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층을 포함하는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제37항에 있어서, 상기 제2 유기층은 각도 증착에 의해 형성된 각 발광색에 공통된 층 두께의 유기층과 상기 유기층 상에 형성된 발광색마다 상이한 층 두께의 유기층을 포함하는 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제33항 내지 제35항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 유기층은 홀 수송층 인 유기 전계발광 디스플레이 패널.
- 제37항 내지 제39항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 유기층은 전자 수송층인 유기 전계발광 디스플레이 패널.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000044629A JP3687953B2 (ja) | 2000-02-22 | 2000-02-22 | 有機エレクトロルミネセンス表示パネル及びその製造方法 |
JPJP-P-2000-00044629 | 2000-02-22 | ||
JPJP-P-2000-00081931 | 2000-03-23 | ||
JP2000081931A JP3698405B2 (ja) | 2000-02-22 | 2000-03-23 | 有機エレクトロルミネセンス表示パネル及びその製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020010008566A Division KR100804921B1 (ko) | 2000-02-22 | 2001-02-21 | 유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070057749A KR20070057749A (ko) | 2007-06-07 |
KR100814181B1 true KR100814181B1 (ko) | 2008-03-14 |
Family
ID=26585844
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020010008566A KR100804921B1 (ko) | 2000-02-22 | 2001-02-21 | 유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
KR1020070049437A KR100814181B1 (ko) | 2000-02-22 | 2007-05-22 | 유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020010008566A KR100804921B1 (ko) | 2000-02-22 | 2001-02-21 | 유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6811808B2 (ko) |
JP (2) | JP3687953B2 (ko) |
KR (2) | KR100804921B1 (ko) |
Families Citing this family (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030148024A1 (en) * | 2001-10-05 | 2003-08-07 | Kodas Toivo T. | Low viscosity precursor compositons and methods for the depositon of conductive electronic features |
JP2001185350A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 被着用マスク、その製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 |
JP3687953B2 (ja) * | 2000-02-22 | 2005-08-24 | 東北パイオニア株式会社 | 有機エレクトロルミネセンス表示パネル及びその製造方法 |
KR100649722B1 (ko) * | 2000-04-21 | 2006-11-24 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 일렉트로루미네센스 표시소자의 패터닝장치 및 이를이용한 패터닝방법 |
JP2002175878A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-06-21 | Sanyo Electric Co Ltd | 層の形成方法及びカラー発光装置の製造方法 |
US6975304B1 (en) * | 2001-06-11 | 2005-12-13 | Handspring, Inc. | Interface for processing of an alternate symbol in a computer device |
DE10133686C2 (de) * | 2001-07-11 | 2003-07-17 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Organisches, elektrolumineszierendes Display und dessen Herstellung |
DE10133685B4 (de) * | 2001-07-11 | 2006-05-18 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Organisches, elektrolumineszierendes Display und dessen Herstellung |
JP2004095330A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Tohoku Pioneer Corp | 電子部品を覆う保護膜の形成方法および保護膜を備えた電子機器 |
JP4595946B2 (ja) * | 2003-01-28 | 2010-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | 発光体とその製造方法及び電気光学装置並びに電子機器 |
JP3966283B2 (ja) | 2003-01-28 | 2007-08-29 | セイコーエプソン株式会社 | 発光体とその製造方法及び製造装置、電気光学装置並びに電子機器 |
US20040151829A1 (en) * | 2003-01-31 | 2004-08-05 | Eastman Kodak Company | Optimizing OLED emission |
JP4230258B2 (ja) | 2003-03-19 | 2009-02-25 | 東北パイオニア株式会社 | 有機elパネル、有機elパネルの製造方法 |
JP4651918B2 (ja) | 2003-05-21 | 2011-03-16 | 東北パイオニア株式会社 | 有機elパネルの製造方法 |
US20040258957A1 (en) * | 2003-06-18 | 2004-12-23 | Pei-Chuan Yeh | Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof |
JP4123106B2 (ja) * | 2003-08-22 | 2008-07-23 | ソニー株式会社 | 有機el素子 |
JP4439260B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2010-03-24 | 三洋電機株式会社 | 表示装置の製造方法 |
KR100611756B1 (ko) * | 2004-06-18 | 2006-08-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 및 그의 제조 방법 |
KR100721554B1 (ko) | 2004-07-22 | 2007-05-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 및 그의 제조 방법 |
JP4823629B2 (ja) * | 2004-09-24 | 2011-11-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
EP1820372B1 (en) * | 2004-09-24 | 2016-04-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
JP4384107B2 (ja) * | 2004-10-25 | 2009-12-16 | キヤノン株式会社 | 有機発光素子アレイ |
JP4928073B2 (ja) * | 2004-11-16 | 2012-05-09 | グローバル・オーエルイーディー・テクノロジー・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー | 有機elパネルの製造方法および有機elパネル |
TWI284992B (en) * | 2005-01-21 | 2007-08-01 | Nat Univ Chung Cheng | Method of fabricating organic light emitting diode array |
US20060240281A1 (en) * | 2005-04-21 | 2006-10-26 | Eastman Kodak Company | Contaminant-scavenging layer on OLED anodes |
US8102111B2 (en) | 2005-07-15 | 2012-01-24 | Seiko Epson Corporation | Electroluminescence device, method of manufacturing electroluminescence device, and electronic apparatus |
DE102005054609B4 (de) * | 2005-11-09 | 2010-10-07 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Herstellung von Licht emittierenden Elementen mit organischen Verbindungen |
JP2007265763A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Canon Inc | フルカラー有機elパネル |
TWI323047B (en) * | 2006-11-28 | 2010-04-01 | Univ Nat Taiwan | The method for forming electronic devices by using protection layers |
KR100858819B1 (ko) * | 2007-04-06 | 2008-09-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광 소자의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 유기발광 소자 |
US8513678B2 (en) | 2007-05-18 | 2013-08-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device |
US20090006198A1 (en) * | 2007-06-29 | 2009-01-01 | David George Walsh | Product displays for retail stores |
KR101394934B1 (ko) * | 2007-12-05 | 2014-05-15 | 엘지디스플레이 주식회사 | 발광 디스플레이 패널의 제조방법 |
JP2010272300A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Canon Inc | 有機el表示装置の製造方法 |
WO2011018110A1 (en) * | 2009-08-12 | 2011-02-17 | X-Fab Semiconductor Foundries Ag | Method of manufacturing an organic light emitting diode by lift-off |
JP2011204801A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Toshiba Mobile Display Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス装置 |
JP5032687B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-09-26 | 株式会社神戸製鋼所 | Al合金膜、Al合金膜を有する配線構造、およびAl合金膜の製造に用いられるスパッタリングターゲット |
JP2014123628A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Japan Display Inc | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法 |
USRE45712E1 (en) * | 2013-03-18 | 2015-10-06 | Photonics Electronics Technology Research Association (PETRA) | Signal conversion device |
USD707193S1 (en) * | 2013-09-16 | 2014-06-17 | Photonics Electronics Technology Research Association (PETRA) | Signal conversion device |
USRE45741E1 (en) * | 2013-03-18 | 2015-10-13 | Photonics Electronics Technology Research Association (PETRA) | Signal conversion device |
USD706733S1 (en) * | 2013-09-16 | 2014-06-10 | Photonics Electronics Technology Research Association (PETRA) | Signal conversion device |
JP2013175485A (ja) * | 2013-06-11 | 2013-09-05 | Rohm Co Ltd | 有機el素子 |
TWD164808S (zh) * | 2013-08-06 | 2014-12-11 | 璨圓光電股份有限公司 | 半導體發光元件之部分 |
TWD161479S (zh) * | 2013-08-06 | 2014-07-01 | 璨圓光電股份有限公司 | 半導體發光元件之部分 |
TWD161478S (zh) * | 2013-08-06 | 2014-07-01 | 璨圓光電股份有限公司 | 半導體發光元件之部分 |
WO2015026139A1 (ko) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | 주식회사 엘지화학 | 유기물 마스크를 포함하는 적층체 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조방법 |
CN104752459B (zh) * | 2013-12-25 | 2018-04-03 | 清华大学 | 有机发光二极管阵列 |
CN104752630B (zh) * | 2013-12-25 | 2017-04-12 | 清华大学 | 有机发光二极管阵列的制备方法 |
CN104752611B (zh) * | 2013-12-25 | 2017-09-01 | 清华大学 | 有机发光二极管阵列 |
CN104752457B (zh) * | 2013-12-25 | 2018-01-19 | 清华大学 | 有机发光二极管阵列的制备方法 |
CN114512617A (zh) * | 2020-11-17 | 2022-05-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种发光器件、显示装置和发光器件的制作方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990068005A (ko) * | 1998-01-22 | 1999-08-25 | 가네꼬 히사시 | 다색 유기 전계발광 패널 및 그 제조 방법 |
KR20000006490A (ko) * | 1998-06-26 | 2000-01-25 | 이데이 노부유끼 | 유기전계발광소자 |
KR20010083205A (ko) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | 추후보충 | 유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5104695A (en) * | 1989-09-08 | 1992-04-14 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for vapor deposition of material onto a substrate |
US5151629A (en) * | 1991-08-01 | 1992-09-29 | Eastman Kodak Company | Blue emitting internal junction organic electroluminescent device (I) |
US5294869A (en) * | 1991-12-30 | 1994-03-15 | Eastman Kodak Company | Organic electroluminescent multicolor image display device |
US5395740A (en) * | 1993-01-27 | 1995-03-07 | Motorola, Inc. | Method for fabricating electrode patterns |
JP2797883B2 (ja) * | 1993-03-18 | 1998-09-17 | 株式会社日立製作所 | 多色発光素子とその基板 |
JPH0794278A (ja) * | 1993-09-21 | 1995-04-07 | Fuji Electric Co Ltd | 有機薄膜発光素子 |
US5409783A (en) * | 1994-02-24 | 1995-04-25 | Eastman Kodak Company | Red-emitting organic electroluminescent device |
US5701055A (en) * | 1994-03-13 | 1997-12-23 | Pioneer Electronic Corporation | Organic electoluminescent display panel and method for manufacturing the same |
US5641611A (en) * | 1995-08-21 | 1997-06-24 | Motorola | Method of fabricating organic LED matrices |
US5688551A (en) * | 1995-11-13 | 1997-11-18 | Eastman Kodak Company | Method of forming an organic electroluminescent display panel |
US5645948A (en) * | 1996-08-20 | 1997-07-08 | Eastman Kodak Company | Blue organic electroluminescent devices |
US5904961A (en) * | 1997-01-24 | 1999-05-18 | Eastman Kodak Company | Method of depositing organic layers in organic light emitting devices |
JPH10319870A (ja) * | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Nec Corp | シャドウマスク及びこれを用いたカラー薄膜el表示装置の製造方法 |
JP2993476B2 (ja) * | 1997-09-18 | 1999-12-20 | 日本電気株式会社 | 有機el素子およびその製造方法 |
US6013538A (en) * | 1997-11-24 | 2000-01-11 | The Trustees Of Princeton University | Method of fabricating and patterning OLEDs |
US6004685A (en) * | 1997-12-23 | 1999-12-21 | Hewlett-Packard Company & The Board Of Regents Of The University Of Texas System | LED doped with periflanthene for efficient red emission |
TW420964B (en) * | 1998-02-25 | 2001-02-01 | Toppan Printing Co Ltd | Organic electroluminescence display substrate, method of manufacturing it and organic electroluminescent display element |
US6384529B2 (en) * | 1998-11-18 | 2002-05-07 | Eastman Kodak Company | Full color active matrix organic electroluminescent display panel having an integrated shadow mask |
US6020078A (en) * | 1998-12-18 | 2000-02-01 | Eastman Kodak Company | Green organic electroluminescent devices |
US6468676B1 (en) * | 1999-01-02 | 2002-10-22 | Minolta Co., Ltd. | Organic electroluminescent display element, finder screen display device, finder and optical device |
JP4136185B2 (ja) * | 1999-05-12 | 2008-08-20 | パイオニア株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス多色ディスプレイ及びその製造方法 |
US6392339B1 (en) * | 1999-07-20 | 2002-05-21 | Xerox Corporation | Organic light emitting devices including mixed region |
-
2000
- 2000-02-22 JP JP2000044629A patent/JP3687953B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2000-03-23 JP JP2000081931A patent/JP3698405B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-02-21 KR KR1020010008566A patent/KR100804921B1/ko active IP Right Review Request
- 2001-02-22 US US09/789,586 patent/US6811808B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-03-20 US US10/391,560 patent/US20030185970A1/en not_active Abandoned
-
2004
- 2004-07-02 US US10/882,169 patent/US7187120B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2007
- 2007-05-22 KR KR1020070049437A patent/KR100814181B1/ko active IP Right Review Request
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990068005A (ko) * | 1998-01-22 | 1999-08-25 | 가네꼬 히사시 | 다색 유기 전계발광 패널 및 그 제조 방법 |
KR20000006490A (ko) * | 1998-06-26 | 2000-01-25 | 이데이 노부유끼 | 유기전계발광소자 |
KR20010083205A (ko) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | 추후보충 | 유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030185970A1 (en) | 2003-10-02 |
US20010019245A1 (en) | 2001-09-06 |
KR20070057749A (ko) | 2007-06-07 |
JP2001267071A (ja) | 2001-09-28 |
JP3687953B2 (ja) | 2005-08-24 |
US7187120B2 (en) | 2007-03-06 |
KR100804921B1 (ko) | 2008-02-20 |
JP2001237068A (ja) | 2001-08-31 |
JP3698405B2 (ja) | 2005-09-21 |
US20040245922A1 (en) | 2004-12-09 |
KR20010083205A (ko) | 2001-08-31 |
US6811808B2 (en) | 2004-11-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100814181B1 (ko) | 유기 전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 | |
JP3813217B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造方法 | |
KR100986787B1 (ko) | 성막용 마스크, 유기 el 패널, 및 유기 el 패널의제조 방법 | |
US7677944B2 (en) | Organic EL device manufacturing method and organic EL device | |
US20070188093A1 (en) | Organic electroluminescent display panel | |
JP2000235894A (ja) | 有機el素子とその製造方法 | |
US7221094B2 (en) | Electroluminescent device and method of manufacturing the same | |
KR100421720B1 (ko) | 전자 발광 소자와 그 제조방법 | |
JP2001230073A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及びその製造方法 | |
JP3901719B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
JP2002208489A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル及びその製造方法 | |
WO2011070681A1 (ja) | 有機elパネル及びその製造方法 | |
JP2000123978A (ja) | 有機el素子およびその製造方法 | |
JP2001148289A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
JP3926314B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
WO2010084586A1 (ja) | 有機elパネル及びその製造方法 | |
JP3901675B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
JP4060876B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル | |
JP3901699B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 | |
JP2001291580A (ja) | 有機電界発光装置 | |
KR100311307B1 (ko) | 풀칼라 유기 전기 발광 소자의 제조 방법 | |
JP4060875B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル | |
CN113644211A (zh) | 一种像素结构、显示面板及其制备方法、显示装置 | |
JPH03283294A (ja) | 薄膜エレクトロルミネセンス装置 | |
JPH11251058A (ja) | 有機電界発光素子の製造方法と製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
G170 | Re-publication after modification of scope of protection [patent] | ||
J202 | Request for trial for correction [limitation] | ||
J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR CORRECTION REQUESTED 20080812 Effective date: 20091029 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130227 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140220 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150224 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160218 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170220 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180219 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200218 Year of fee payment: 13 |