KR100986787B1 - 성막용 마스크, 유기 ｅｌ 패널, 및 유기 ｅｌ 패널의제조 방법 - Google Patents

성막용 마스크, 유기 ｅｌ 패널, 및 유기 ｅｌ 패널의제조 방법 Download PDF

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Abstract

유기 EL 표시 패널에서 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 데 있어서, 유기 EL 표시 패널의 표시 영역의 최외측 가장 자리 부근에서의 표시 성능 열화를 방지해야 한다. 성막용 마스크는 발광 영역 형성부를 덮도록 발광층을 포함하는 유기층의 성막 패턴을 형성하는 데 이용된다. 이 성막용 마스크는 성막 패턴에 따른 복수의 개구부를 구비하며, 발광 영역을 형성하는 유기층의 성막에는 사용되지는 않지만, 개구부를 포함한 영역 외측에 형성된 의사 개구부도 구비한다. 이 의사 개구부는 표시 영역의 외측에 대응하는 위치에 형성되며, 접착 영역의 내측에서 유기층의 의사 패턴을 형성한다.

Description

성막용 마스크, 유기 ＥＬ 패널, 및 유기 ＥＬ 패널의 제조 방법{FILM FORMATION MASK, ORGANIC EL PANEL, AND METHOD OF MANUFACTURING THE ORGANIC EL PANEL}
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 성막용 마스크를 도시하는 설명도.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 성막용 마스크를 도시하는 평면도.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 성막용 마스크를 도시하고 의사 개구부의 치수를 나타내는 설명도.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 성막용 마스크의 작용을 도시하는 설명도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시 형태에 따른 성막용 마스크를 이용한 유기 EL 패널의 제조 방법을 도시하는 설명도.
도 6은 본 발명의 실시 형태에 따라 형성된 유기 EL 패널을 도시하고, 기판 단부 부근의 영역을 도시하는 단면도.
도 7은 본 발명의 실시 형태에 따른 유기 EL 패널의 제조 방법을 도시하고, 유기 EL 패널의 작용을 나타내는 설명도.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다른 실시 형태에 따라 형성된 여러개의 성막용 마스크를 도시하는 설명도.
도 9는 본 발명의 다른 실시 형태에 따라 형성된 성막용 마스크를 이용하여 발광 영역을 상이한 색으로 도포함으로써 처리된 유기 EL 패널을 도시하는 설명도.
도 10a 내지 도 10c는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 상이한 성막용 마스크로 형성된 여러개의 상이한 의사 패턴을 도시하는 설명도.
도 11a와 도 11b는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 성막용 마스크를 도시하는 설명도.
도 12a 내지 도 12c는 본 발명의 다른 실시 형태에 따라 형성된 여러개의 상이한 성막용 마스크를 도시하는 설명도.
도 13은 본 발명의 다른 실시 형태에 따라 형성된 성막용 마스크를 도시하는 설명도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 기판
2 : 하부 전극
3 : 절연막
4 : 유기층
5 : 상부 전극
6 : 접착제
7 : 밀봉 부재
10∼16 : 성막용 마스크
10A∼16A : 개구부
10D∼16D : 의사 개구부
20, 20R, 20G, 20B, 21, 22 : 의사 패턴
30R, 30G, 30B : 성막 패턴
40R, 40G, 40B : 발광 영역
E : 표시 영역(표시 영역의 최외측 가장자리)
W : 개구부 폭
Wd : 의사 개구부 폭
본 발명은 성막용 마스크과, 이 성막용 마스크에 의해 형성된 유기 EL(ElectroLuminescent) 패널, 및 이 유기 EL 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
본 출원은 일본 특허 출원 제2003-74888호를 우선권으로 주장하며, 이 문헌은 여기에서의 인용에 의해 본 명세서에 포함되는 것으로 한다.
유기 EL 패널은, 기판 상에 (유기 EL 소자의 발광 영역에 기초해서) 면 발광 요소를 형성하고, 하나 이상의 면 발광 요소를 배열하여 표시 영역을 형성함으로써 제조된다. 발광 영역은, 기판 상에 각종 구조의 하부 전극을 형성한 다음, 그 위에 유기 발광층을 포함하는 유기층의 성막 패턴을 형성한 후, 그 위에 상부 전극을 형성함으로써 형성된다. 성막 패턴의 형성에는 패턴 형상에 따른 개구부를 구비한 성막용 마스크가 이용되며, 마스크 증착법 등에 의해서 원하는 패턴이 성막된다.
성막용 마스크를 이용하여 유기층 성막 패턴을 형성하는 공정은 다음과 같이 설명할 수 있다. 즉, 유기 EL 소자의 발광 영역은 일반적으로 기판 상에 형성된 절연막으로 구획되고, 이 발광 영역보다 약간 넓은 개구 폭을 갖는 개구부를 구비한 성막용 마스크에 의해, 발광 영역 상에 유기층의 성막 패턴이 형성된다. 특히 복수 색상을 표시하는 경우에는, 상이한 발광색마다 원하는 패턴에 대응하여 개구부를 갖는 성막용 마스크를 이용해야 한다. 이 마스크를 적절한 타이밍에 교환하거나 슬라이드함으로써, 유기 발광층 상에 상이한 색을 도포할 수 있다(일본 특허 공개 2002-367787호 공보 참조).
여기서 말하는 유기층은 유기 발광층 및 기타 층(EL층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 수송층, 정공 주입층 및 전자 주입층)을 가리킨다. 유기층이 대개 다층 구조로 된 경우에도, 유기 발광층은 단층으로 포함한다. 통상, (각각 단일 재료로 형성되고 동일 기판 상에 설치되는)정공 수송층, 전자 수송층 등에 관해서도, 발광색마다 각 영역의 막 두께를 제어하기 위해서 발광색마다 다른 패턴을 갖는 성막용 마스크가 이용되는 경우가 있다(일본 특허 공개 2001-237068호 공보 참조).
또, 복수개의 색을 표시하는 방식으로서는, 상이한 발광색을 도포하는 전술한 방식 이외에, 백색이나 청색 등의 단색 유기층을 형성하여 컬러 필터나 형광 재료에 따른 색 변환층을 조합시키는 방식(CF 방식, CCM 방식)이 있다. 또한, 단색의 유기층의 특정 영역에 전자파를 조사하는 등으로 다색 발광을 실현하는 방식[포토블리칭 방식(Photobleaching Method)]이 있지만, 이 경우에도, 각 색상을 커버하기 위해 상이한 색을 도포하지 않더라도, 표시 영역의 특정 패턴에 유기층을 형성하기 위해서 원하는 패턴을 갖는 성막용 마스크가 이용되는 경우가 있다.
그러나, 단색 표시 방식의 경우에도, 발광 영역에 대응한 소정 패턴(통상은 스트라이프형 패턴)을 구비하는 성막용 마스크가 이용된다. 이 때에도, 개구부의 과밀화로 인한 마스크 강도의 열화를 피하기 위해서, 개구부 피치(2개의 인접한 개구의 간격)를 크게 하고, 그에 따라 성막 공정을 복수회로 분할하여 표시 패널의 표시 영역에 유기층의 성막 패턴을 형성하고 있다(일본 특허 공개 2000-48954호 공보 참조).
기판 상에 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 성막용 마스크를 이용할 때(즉, 마스크를 기판 상에 설치할 때에), 마스크 주변에 텐션을 가함으로써, 마스크의 이완을 막아, 마스크 전체가 평면 상태로 유지되게 한다. 그러나, 텐션을 마스크 주변에 가함으로써, 개구부의 형태에 상관없이 성막용 마스크의 최외측 개구부가 변형될 것이다. 그리고, 이와 같이 변형된 개구부를 통해 기판 상에 성막 패턴이 성막되면, 표시 영역의 최외측 가장자리 부근에서 성막 패턴에 혼란이 생겨, 표시 영역의 최외측 가장자리 부근에서 표시 성능이 열화되어 버린다. 이에 따라, 표시 영역 전역에서 적정한 표시를 할 수 없게 된다고 하는 문제가 생긴다.
더욱이, 각 유기 EL 소자의 유기층은 주위의 대기와의 피할 수 없는 접촉으로 인해 열화된다고 알려져 있는데, 주위 대기 중에 존재하는 수분이나 산소가 그러한 열화를 일으킬 수 있기 때문이다. 이 열화를 막기 위해서, 일반적으로 유기 EL 패널의 표시 영역 전체를 밀봉 부재로 덮는다. 표시 영역보다 외측의 기판 상에 표시 영역을 둘러싸도록 접착제를 도포하여, 밀봉 부재의 외주에 형성된 접착면을 이 접착제 도포 영역 위에 밀착시킴으로써, 기판 상에 형성되는 유기 EL 패널의 표시 영역 전체를 대기로부터 차단하고 있다.
그러나, 이러한 밀봉에 이용되는 접착제에도 유기층을 열화시킬 수 있는 수분이나 산소 등이 포함되어 있어, 이 접착제가 유기층에 접촉한 경우에는, 수분이나 산소 등이 유기층에 전파되어 이것을 열화시킬 수 있다. 특히, 도포되는 접착제의 양이 과다하게 되면, 밀봉 부재의 접착면을 압박했을 때에 표시 영역측에 접착제가 퍼져 버려, 접착제와 표시 영역의 외측 가장자리가 접촉할 가능성이 있다. 이 경우에는, 표시 영역의 최외측 가장자리 부근에서 표시 성능이 열화되어, 표시 영역 전역에서 적정한 표시를 할 수 없게 된다고 하는 문제가 생긴다.
본 발명은 이러한 문제에 해소하고자 하며, 본 발명의 목적은 성막용 마스크를 이용하여 기판 상에 유기층의 성막 패턴을 형성함으로써 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 데에 있어서, 형성되는 표시 패널의 표시 영역의 최외측 가장자리 부근에서의 표시 성능 열화를 방지하는 것이다.
본 발명의 일 양상에 있어서, 한 쌍의 전극 사이에, 유기 발광층을 포함하는 유기층이 개재된 유기 EL 소자를 기판 상에 형성할 때에 상기 유기층의 패턴을 성막하는 성막용 마스크로서, 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 성막 패턴에 대응하여 배열된 개구부를 구비하고, 상기 유기층을 형성하는데 이용되지는 않지만, 상기 개구부를 포함한 영역 외측에 설치된 의사 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 성막용 마스크가 제공된다.
본 발명의 다른 양상에 있어서, 한 쌍의 전극 사이에, 유기 발광층을 포함하는 유기층이 개재된 유기 EL 소자를 기판 상에 형성한 유기 EL 패널로서, 상기 기판 상에, 상기 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 상기 유기층의 성막 패턴이 형성되고, 상기 발광 영역을 포함한 영역 외측에 상기 유기층의 의사 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 EL 패널이 제공된다.
본 발명의 또다른 양상에 있어서, 한 쌍의 전극 사이에, 유기 발광층을 포함하는 유기층이 개재된 유기 EL 소자를 기판 상에 형성하는 유기 EL 패널의 제조 방법으로서, 상기 기판 상에 상기 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 상기 유기층의 성막 패턴을 성막하는 공정에 있어서, 상기 발광 영역을 포함한 영역 외측의 기판 상에 상기 유기층의 의사 패턴을 성막하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 패널의 제조 방법이 제공된다.
본 발명의 상기 목적 및 다른 목적과 이점은 첨부하는 도면을 참조하여 다음의 설명으로부터 분명해질 것이다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 성막용 마스크를 도시하는 설명도이다. 성막용 마스크(10)는 한 쌍의 전극 사이에, 유기 발광층을 포함하는 유기층이 개재된 유기 EL 소자를 기판 상에 형성할 때에 유기층의 소정의 패턴을 성막하는 데 이용된다. 여기서 말하는 유기층이란, 유기 발광층의 단층 또는 복층, 혹은 유기 발광층과 그 주변에 형성되는 유기층의 하나 내지 전부를 포함하는 것이다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 투명 유리로 이루어진 기판(1) 상에 ITO 등으로 이루어진 복수의 하부 전극(2)이 소정의 전극 구조(예컨대 스트라이프형 전극 등)로 형성되고, 그 위에 절연막(3)에 의해서 복수의 발광 영역 형성부(3R, 3G, 3B)가 구획되어 있다. 성막용 마스크(10)는 이 발광 영역 형성부(3R, 3G, 3B)를 덮도록 발광층을 포함하는 유기층의 성막 패턴을 형성하는 데 이용된다. 첨부 도면에 도시한 실시 형태에서는 각 열마다 적색 발광 영역 형성부(3R), 녹색 발광 영역 형성부(3G), 청색 발광 영역 형성부(3B)가 형성되어 있고, 성막용 마스크(10)는 그 중의 한 색의 발광 영역 형성부에 대하여 발광 영역을 형성하는 성막 패턴을 성막하는 데 이용되며, 이 성막 패턴에 따른 복수의 개구부(10A)를 갖는다.
그리고, 이 실시 형태에 사용된 성막용 마스크(10)는 이 마스크의 각 측면에 하나씩, 개구부(10A)를 포함하는 영역의 외측에 2개의 의사 개구부(10D)를 구비하며, 이 의사 개구부는 발광 영역을 형성하는 유기층의 성막에 사용되지 않는다. 이 의사 개구부(10D)는 표시 패널의 표시 영역(E) 외측의 기판(1) 상에 있어, 접착제 도포 영역(F)의 내측에 유기층의 의사 패턴(20)을 형성한다. 의사 패턴(false pattern)(20)이란, 발광 영역을 형성하는 유기층과 동일한 재료에 의해서 형성되는 패턴이면서, 발광 영역에는 관여하지 않는 성막 패턴을 가리킨다.
도 2는 성막용 마스크(10)의 평면도이다. 전술한 바와 같이, 성막용 마스크(10)는 개구부(10A)와 의사 개구부(10D)를 구비하고 있다. 성막용 마스크(10)의 개구부(10A)는 성막용 마스크(10)를 유기 EL 소자를 형성하는 기판 상에 배치했을 때에, 표시 패널의 표시 영역(E) 내측에 배치되고, 의사 개구부(10D)는 표시 영역(E) 외측에 배치된다. 도 2에 도시한 예에서는, 개구부(10A)의 좌우 양측에 의사 개구부(10D)를 마련하고 있지만, [개구부(10A)를 포함한] 영역의 단 한측(좌측 또는 우측)에만 그러한 의사 개구부를 마련하여도 좋다.
실제로, 이 실시 형태의 성막용 마스크(10)는 스트라이프형의 개구부(10A)가 미리 정해진 피치(P)에 따라 형성되어 있다. 이 피치(P)에 있어서, 개구부(10A)가 2색 이상의 상이한 발광색을 유기 발광층에 도포하는 데 이용되는 경우에, P = n·PE(n: 상이한 색 수, PE: 발광 영역 피치)이다. 또한, 각 개구부(10A)의 폭(W)은 전술한 각 발광 영역 형성부(3R, 3G, 3B)의 폭보다 넓게 설정된다. 마스크 증착에 의한 성막 공정에서는 몇가지 오차 요인(증착류의 확대 등에 의한 패턴의 흐려짐, 성막용 마스크의 조작 편차, 마스크 개구부의 형성 정밀도 오차 등)에 기초한 성막 오차가 있다. 그에 따라, 폭(W)을 발광 영역 형성부의 폭보다 넓게 함으로써, 이 성막에 오차가 최대일 경우에도 성막 패턴이 발광 영역 형성부를 벗어나지 않을 수 있다.
그리고, 이 실시 형태에서, 성막용 마스크(10)에는 이 마스크(10)의 최외측 개구부(10A)에서 피치(P)만큼 떨어진 위치에 2개의 의사 개구부(10D)를 형성하고 있다. 그리고, 각 의사 개구부(10D)의 폭(Wd)은 각 개구부(10A)의 폭(W)보다 더 좁다. 이것은, 후술하는 바와 같이 성막용 마스크(10)를 거리 P/n씩 슬라이드시켜 의사 개구부(10D)에 의한 의사 패턴(20)을 형성할 때에, 형성된 의사 패턴(20)이 성막 패턴과 겹치지 않도록 하기 위해서이다. 이 때의 폭(Wd) 설정에 있어서도, 각 의사 패턴(20)이 조금도 겹치지 않도록 하기 위해서는, 앞서 말한 오차 요인(증착류의 확대 등에 의한 패턴의 흐려짐, 성막용 마스크의 조작 편차, 마스크 개구부의 형성 정밀도 오차 등)에 기초한 성막 오차를 고려할 필요가 있다. 즉, 각 의사 개구부(10D)의 폭(Wd)을 각 개구부(10A)의 폭(W)보다 좁게 하는 정도로 성막 오차를 최대한 고려한 값을 부가함으로써, 조금도 겹치지 않는 의사 패턴(20)을 형성할 수 있다.
도 3은 성막용 마스크(10)의 의사 개구부(10D)의 치수 예를 나타내는 것이다. 도시하는 바와 같이, 의사 개구부(10D)는 표시 영역(E)의 외측 기판(1) 상에 위치하여, 접착제 도포 영역(F) 내측에 유기층의 의사 패턴(20)을 형성하므로, 그 길이를 접착제 도포 영역(F)의 내연(Fo)과의 관계로 고려해야 하는 경우가 있다. 이 예에서는, 기판(1)의 각 코너부에 대응시켜 의사 개구부(10D)의 길이를 개구부(10A)의 길이보다 ΔL만큼 짧게 형성하고 있다. 이로써, 충분한 접착제 도포 영역(F)을 확보하면서 이 접착제 도포 영역(F)과, 의사 개구부(10D)에 의해서 형성되는 의사 패턴(20)이 겹치지 않도록 하고 있다.
도 4는 본 발명의 실시 형태의 성막용 마스크(10)의 작용을 도시하는 설명도이다. 이러한 성막용 마스크(10)는 기판(1) 상에 발광 영역을 형성하는 성막 패턴을 형성하기 위해서 기판(1) 상에 배치된다. 이 때에, 성막용 마스크(10)가 이완되지 않도록, 주변에 텐션(T)이 가해진다. 본 발명의 실시 형태의 성막용 마스크(10)에 의하면, 개구부(10A)의 최외측에 형성된 의사 개구부(10D)가 텐션(T)에 의한 변형을 흡수하여 그 폭이 넓어진다(Wd<Wdt). 이로써, 발광 영역의 성막 패턴을 형성하기 위한 개구부(10A)의 폭(W)은 텐션(T)이 가해지더라도 변형되지 않는다. 따라서, [성막용 마스크(10)에 의해 형성되는]유기 EL 패널은 표시 영역의 최외측 가장자리 부근에서도 성막 패턴의 혼란이 없고, 표시 영역 전역에서 양호한 표시 성능을 얻을 수 있다.
도 5a 내지 도 5d는 이러한 성막용 마스크(10)를 이용한 유기 EL 패널의 제조 방법을 도시하는 설명도이다. 실제로, 유기 EL 패널은 유기 EL 소자의 복수개의(또는 단 하나의) 발광 영역을 면 발광 영역으로서 기판 상에 배열함으로써 형성된다. 여기서는, 성막용 마스크(10)를 이용하여 유기 발광층을 발광색마다 상이한 색으로 도포하는 공정에 관해서 설명하지만, 성막용 마스크(10)를 이용한 유기 EL 패널의 제조 방법으로서는 이것에 한하지 않고, 유기 발광층 이외의 유기층의 성막 패턴을 필요에 따라 각 색의 발광 영역에 따라서 형성하는 경우(예컨대, 발광색에 대응하여 막 두께를 제어하는 경우)에도 적용할 수 있다. 또, 이하의 설명에서는, 3색(R, G, B)의 분할 도포에 의하여 성막하는 경우를 설명하지만, 이에 한하지 않고, 적어도 2색 이상의 발광 영역을 형성하기 위해서 분할 도포하여 성막하는 경우에도 적용할 수 있고, 나아가서는, 단색을 여러 번으로 분할 도포하여 성막하는 경우에도 적용할 수 있다.
도 5a는 첫번째 색(적색)의 성막 스트라이프(30R)을 성막하는 공정을 나타내고 있다. 여기서는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 기판(1) 상에 하부 전극(2)과 절연막(3)이 포토리소그래피 공정 등으로 패터닝되어, 절연막(3)에 의해 구획된 발광 영역(40R, 40G, 40B)이 형성된다. 그 위에는 필요에 따라서 유기 발광층의 기초층이 되는 유기층(예컨대, 정공 주입층, 정공 수송층 등)이 성막되어 있다. 그리고, 발광 영역(40R)에 대응하여 성막 마스크(10)의 개구부(10A)가 설정되어, 발광 영역(40R) 상에 첫번째 색(적색)의 유기 발광층의 성막 스트라이프(30R)가 성막된다. 이 때, 성막용 마스크(10)는 의사 개구부(10D)를 구비하기 때문에, 발광 영역을 포함한 영역 외측의 기판(1) 상에는 동일한 유기 발광층 재료로 이루어진 의사 패턴(20R)이 성막된다.
도 5b와 도 5c는 두번째 색(녹색), 세번째 색(청색)의 성막 스트라이프(30G, 30B)을 성막하는 공정을 나타내고 있다. 이들 공정 각각에서는, 성막용 마스크(10)를 거리 P/3만큼 이동시켜, 각각의 공정에서 발광 영역(40G, 40B) 상에 두번째 색, 세번째 색의 유기 발광층의 성막 스트라이프(30G, 30B)가 성막된다. 그리고, 이 때, 각각 동일한 유기 발광 재료로 이루어진 의사 패턴(20G, 20B)이 발광 영역을 포함한 영역 외측의 기판(1) 상에 형성된다.
그 후에는, (필요에 따라서) 다른 유기층을 성막한 후 상부 전극을 그 위치에 형성한다. 그리고, 도 5d에 나타내는 바와 같이, 기판의 주위에 접착제(6)를 도포하여 밀봉 부재의 접착면을 밀착시킨다.
도 6은 이러한 제조 방법에 의해서 형성된 본 발명의 실시 형태에 따른 유기 EL 패널을 도시하는 설명도(기판 단부 부근의 단면도)이다. 도시하는 바와 같이, 이 유기 EL 패널에 있어서는 기판(1) 상에 복수의 하부 전극(2)이 패터닝되고, 이 하부 전극(2) 상에 (형성되는)발광 영역(40R, 40G, 40B)을 구획하도록 절연막(3)이 패터닝되고, 발광 영역(40R, 40G, 40B) 상에 유기층(4)이 적층되고, 또한 그 위에 복수의 상부 전극(5)이 적층되어 있다. 이로써, 발광 영역(40R, 40G, 40B)마다 기판(1) 상에 형성되는 유기 EL 소자는 하부 전극(2)과 상부 전극(5)으로 이루어지는 한 쌍의 전극 사이에 유기층(4)이 개재된 구조로 되어 있다. 여기서, 기판(1)을 투명 기판으로 형성하여, 하부 전극을 ITO 등의 투명 전극으로 함으로써, 도시한 바와 같이 기판(1) 측에서부터 빛을 추출하는 유기 EL 패널(하부 에미션 방식)을 얻을 수 있지만, 이것에 한하지 않고, 상부 전극(5)을 투명 전극 기판(1)과 반대측으로부터 빛을 추출하는(상부 에미션 방식) 식으로 하여도 된다.
유기층(4)에는 표시 영역(E) 전체를 덮도록 정공 주입층(41)과 정공 수송층(42)이 성막되고, 그 위에는 성막용 마스크(10)를 이용하여, (유기 발광층이 되는)발광층(43)과 전자 수송층(44)이 성막된다. 즉, 성막용 마스크(10)에 있어서의 개구부(10A)의 폭(W)에 따른 폭을 갖는 발광층(43)과 전자 수송층(44)의 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)가 형성되게 된다. 도시한 예에서는, 개구부(10A)의 폭(W)의 설정에 의해서 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)는 연속되도록 형성되어 있지만, 그 가장자리부가 서로 겹치도록 형성하거나 혹은 절연막(3) 상에서 간격이 벌어지도록 폭(W)을 설정하여도 좋다. 이 예에서는 이 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B) 위에는 전자 주입층(45)이 균일하게 형성되어 있다.
그리고, 기판(1) 상의 표시 영역(E) 외측에는 의사 패턴(20R, 20G, 20B)이 형성된다. 여기서는, 발광층(43)과 전자 수송층(44)의 성막시에 성막용 마스크(10)를 이용하기 때문에, 발광층(43) 형성시에 성막된 패턴(21R, 21G, 21B)과 전자 수 송층(44) 형성시에 성막된 패턴(22R, 22G, 23B)에 따라 의사 패턴(20R, 20G, 20B)이 형성된다. 최외측 의사 패턴(20R)의 외측에 접착제(6)가 도포되고, 거기에 밀봉 부재(7)의 접착면(7a)이 압박되어, 기판(1) 상의 외주에 밀봉 부재(7)의 주변이 밀착된다.
유기층(4)의 형태에 있어서 전술한 예에서는 정공 주입층(41), 정공 수송층(42), 발광층(43), 전자 수송층(44), 전자 주입층(45)의 5층 구조를 갖지만, 발광층(43) 이외의 층을 (필요에 따라) 생략하여 1 내지 4층 구조로 하는 경우도 있다. 또한, 각 층은 각각 단층으로 형성되는 경우뿐만 아니라, 각 층을 다층으로 형성하는 경우도 있다. 나아가서는, 용도에 따라 다른 유기층(정공 장벽층, 전자 장벽층 등)을 적절하게 추가하는 경우도 있다.
그리고, 여기서는, 발광층(43)과 전자 수송층(44)을 성막용 마스크(10)를 이용하여 상이한 색으로 분할 도포하는 경우를 나타냈지만, 성막용 마스크(10)는 필요에 따라서 다른 유기층을 상이한 색으로 분할 도포하는 경우에도 사용할 수 있고, 이 경우에는, (상이한 색으로 분할 도포되는)유기층 재료의 의사 패턴이 표시 영역(E) 외측에 성막되게 된다.
도 7은 이러한 실시 형태에 따라, 유기 EL 패널의 제조 방법 및 유기 EL 패널의 작용을 도시하는 설명도이다. 도시하는 바와 같이, 의사 패턴(20R, 20G, 20B)은 표시 영역(E) 외측에 성막되기 때문에, 유기 EL 패널의 표시에는 영향을 주지 않는다. 그리고, 의사 패턴(20R, 20G, 20B)을, 발광 영역(40R, 40G, 40B)을 형성하는 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)와 분리된 위치에 배치함으로써, 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)의 최외측 부근의 영역과 접착제(6)가 접촉하는 것을 방지하는 방호벽으로서 작용하게 할 수 있다.
한편, 접착제(6)로부터는 유기 발광층을 열화시키는 하나의 인자라고 볼 수 있는 수분, 산소 가스 등이 발생하지만, 이들은 서로 접촉하는 전달 매체를 통해 침식해 나가기 때문에, 전달 매체가 서로 접촉하지 않고서 간격이 벌어져 있으면 침식을 방지할 수 있다. 즉, 접착제(6)의 표시 영역측으로의 이동을 방지하는 방호벽이 되는 의사 패턴(20R, 20G, 20B)을 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)의 최외측 부근의 영역에서 분리된 위치에 배치하여, 각각의 의사 패턴(20R, 20G, 20B)을 독립시킴으로써, 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)의 최외측 부근의 영역이 접착제의 접촉에 의해서 침식되어 열화되는 것을 방지할 수 있다.
이러한 작용을 얻기 위해서는, 형성되는 의사 패턴(20R, 20G, 20B)이 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)의 최외측 부근의 영역과 연속으로 형성되지 않는 치수적인 배려가 필요하다. 의사 패턴(20R, 20G, 20B)의 배치를 발광 영역(E)으로부터 상당히 분리시키는 것도 하나의 예이기는 하지만, 이에 의하면 표시 패널의 이용 효율(표시 영역 면적/패널 면적)이 악화되므로, 가능한 한 성막 스트라이트의 피치(P)와 동등한 피치만큼 분리한 위치에 의사 패턴을 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 패턴의 피치(P)보다 작게 설정한 경우에는, 그 만큼의 의사 개구부의 폭(Wd)을 좁게 하는 것이 바람직하다. 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)의 폭(W1)은 P/3보다 크게 함으로써, 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)의 가장자리부가 서로 겹치도록 형성되어 있다. 그렇게 하면, 의사 패턴(20R, 20G, 20B)을 간격(S)을 갖게 독립 배치시키기 위해서는, 의사 패턴(20R, 20G, 20B)의 폭(Wd1)을 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)의 폭(W1)보다 좁게 형성해야 한다.
그에 따라, 전술한 바와 같이, 성막용 마스크(10)의 의사 개구부(10D)의 폭(Wd)을 개구부(10A)의 폭(W)보다 좁게 설정하고 있다. 의사 패턴(20R, 20G, 20B)의 폭(Wd1)이 의사 개구부(10D)의 폭(Wd)에 의해서 설정되기는 해도, 설정된 의사 개구부(10D)의 폭(Wd)과 형성된 의사 패턴의 폭(Wd1)은 같은 값으로 되지 않는다. 이것은 몇가지 오차 요인(증착류의 확대 등에 의한 패턴의 흐려짐, 성막용 마스크의 조작 편차, 마스크 개구부의 형성 정밀도 오차 등)에 기초한 성막 오차가 존재하기 때문이다. 이들을 고려하여, 의사 패턴(20R, 20G, 20B)이 겹치지 않도록[간격(S)이 형성되도록], 의사 개구부(10D)의 폭(Wd)이 설정되게 된다.
전술한 실시 형태에서는 유기 EL 패널을 제조하는 공정에서, 성막용 마스크(10)를 간격 P/n[P: 개구부(10A)의 피치, n: 도포하는 색 수]만큼 슬라이드시킴으로써, 의사 패턴을 n라인 형성하는 경우를 설명하였지만, 본 발명의 실시 형태가 이것에 한정되지는 않는다. 예컨대, 도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다른 실시 형태의 성막용 마스크를 도시하는 설명도이다.
이 실시 형태는, 도 8a 내지 도 8c에 도시한 바와 같이, 상이한 색상으로 복수의 분할 도포를 각각 다른 성막용 마스크[11(R), 11(G), 11(B)]로 행한다. 성막용 마스크[11(R), 11(G), 11(B)]에는 각 성막 공정에서 발광 영역을 형성하는 성막 스트라이프에 대응하는 개구부(11A)가 전술한 실시 형태와 같은 식으로 피치(P)마다 형성되어 있다. 그리고, 각 성막용 마스크[11(R), 11(G), 11(B)]에 있어서 최외 측 개구부(11A) 외측에는, 이 최외측 개구부(11A)로부터 각각 간격(P1, P2, P3)(P2=P1+P/3, P3=P2+P/3)만큼 떨어진 위치에 의사 개구부(11D)가 형성되어 있다.
도 9는 이러한 성막용 마스크[11(R), 11(G), 11(B)]를 이용하여, 상이한 발광 영역에 상이한 색으로 도포한 유기 EL 패널을 도시하는 설명도이다. 이에 의하면, 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)를 각각 성막하는 공정에서, 각 성막 스트라이프(30R, 30G, 30B)에서 P1, P2, P3만큼 외측으로 떨어진 위치에 의사 개구부(11D)에 의한 패턴이 적층되고, 이로써 하나의 의사 패턴(21)을 형성할 수 있다. 이와 같이 적층된 의사 패턴(21)은 그 높이를 높게 할 수 있기 때문에, 접착제의 방호벽 효과를 보다 높일 수 있다. 또한, 한 곳에만 의사 패턴(21)을 형성하기 때문에, 패널의 공간 효율을 향상시킬 수 있다.
도 8a 내지 도 8c에 도시한 실시 형태는, 각각의 성막용 마스크[11(R), 11(G), 11(B)]에 있어서, 의사 개구부(11D)를 좌우 양측에 설치하여도 좋고, 좌우 어느 한 쪽에만 설치하여도 좋다. 또, 3개의 성막용 마스크[11(R), 11(G), 11(B)]의 전부에 의사 개구부(11D)를 형성하는 것은 아니며, 그 중에서 선택된 하나 또는 두개에 의사 개구부(11D)를 형성하여도 좋다. 나아가서는, 성막용 마스크[11(R), 11(G), 11(B)]에서, 하나는 좌우의 한 쪽에 의사 개구부(11D)를 형성하고, 다른 하나는 좌우의 다른 쪽에 의사 개구부(11D)를 형성하여도 좋다.
도 10a 내지 도 10c는 한 곳에 성막되는 의사 패턴(22)의 형태 예를 도시하는 설명도이다. 의사 개구부(11D)를 적절한 형태로 함으로써, 그것에 따른 의사 패턴(22)을 형성할 수가 있다. 도 10a는 접착제(6)의 도포 영역을 고려하여 의사 패턴(22)의 기판 코너부에서의 길이를 성막 스트라이프(30R)(30G, 30B)보다 ΔL만큼 짧게 한 것이다. 도 10b는 접착제의 방호벽 효과를 더욱 높이기 위해서, 의사 패턴(22)의 기판 코너부에서의 길이를 성막 스트라이프(30R)(30G, 30B)보다 ΔL만큼 길게 한 것이다. 도 10c는 필요한 영역에만(예컨대, 고가의 유기층 재료에 의한 의사 패턴을 필요한 부분에만 형성하기 위해서), 의사 패턴(22)(22A, 22B …)을 분할하여 형성한 것이다.
이하에서는, 도 11a 내지 도 13을 참조하여, 성막용 마스크의 다른 실시 형태를 설명하기로 한다. 도 11a는 전체 평면도이며, 도 11b는 도 11a의 부분(A 부분)의 확대도이다. 도 11a와 도 11b에 도시하는 실시 형태는 대형 기판 상에 복수의 패널을 형성할 때에 이용되는 성막용 마스크이다. 도 11a에 도시하는 바와 같이, 대형 성막용 마스크(12)는 각각 1 패널분에 대응하는 복수개의 마스크 단위(M)를 포함한다. 각 마스크 단위(M)에는 도 2의 실시 형태와 같은 개구부(12A)와 의사 개구부(12D)가 형성되어 있고, 이 복수개의 마스크 단위(M)가 종과 횡의 양 방향으로 배치되어 있다. 이러한 대형의 마스크에서는 특히 설치시의 이완 방지가 중요하여, 비교적 큰 텐션(T)이 가해지게 되는데, 도 11b에 도시하는 바와 같이, 텐션(T)에 의한 변형을 각 마스크 단위(M)의 외측의 의사 개구부(12D)가 흡수하기 때문에, 발광 영역을 형성하기 위한 개구부(12A)에는 변형이 생기지 않는다. 따라서, 각 패널에 있어서, 표시 영역 전체에서 정밀도가 높은 성막 패턴을 형성하는 것이 가능하게 되어, 표시 성능이 높은 패널을 얻을 수 있다.
전술한 실시 형태에서는 성막용 마스크(10, 11, 12)가 모두 스트라이프형의 개구부(10A, 11A, 12A)를 갖는 것으로 도시하고 설명하였지만, 개구부의 형태 자체는 특별히 스트라이프형에 한정되지 아니다. 도 12a 내지 도 12c는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 개구부를 갖는 성막용 마스크를 나타내고 있다. 도 12a에 도시한 성막용 마스크(13)는 표시 영역(E)에 대응하여 (도면에서)세로로 긴 직사각형의 개구로 이루어지는 개구부(13A)가 지그재그형으로 배열되어 있고, 표시 영역(E)의 외측에는 개구부(13A)의 배열의 연장으로서, 같은 형상의 의사 개구부(13D)가 배열되어 있다. 도 12b에 도시한 성막용 마스크(14)는 마찬가지로, 표시 영역(E)에 대응하여 (도면에서)세로로 긴 직사각형의 개구로 이루어지는 개구부(14A)가 지그재그형으로 배열되어 있고, 표시 영역(E)의 외측에는 단일의 세로로 긴 의사 개구부(14D)가 형성되어 있다. 도 12c에 도시한 성막용 마스크(15)는 표시 영역(E)에 대응하여 (도면에서)가로로 긴 직사각형의 개구로 이루어지는 개구부(15A)가 지그재그형으로 배열되어 있고, 표시 영역(E)의 외측에는, 개구부(15A)의 각 가로 열의 연장에 1개씩 개구를 대응시켜, 세로 일렬로 개구를 나란히 한 의사 개구부(15D)가 형성되어 있다.
이와 같이 의사 개구부의 형태는 특별히 한정되는 것이 아니라, 텐션 부가시의 변형을 흡수하는 기능과 표시 영역의 외측에 접착제의 방호벽으로서 기능하는 의사 패턴을 형성할 수 있는 기능을 얻을 수 있다면, 어떠한 형태라도 상관없다.
이상의 실시 형태는 발광색마다 혹은 단색에 있어서의 분할한 성막에서, 분할 도포를 하는 것을 전제로 하여 설명해 왔지만, 본 발명의 실시 형태로서는 이것에 한정되는 것이 아니다. 특히, 컬러 표시 패널의 형성 방식으로서는, 전술한 바와 같이, 성막용 마스크를 슬라이드하거나 교환함으로써 (2색 이상의)상이한 색으로 발광층을 분할 도포하는 방식(분할 도포 방식) 이외에, 백색이나 청색 등의 단색의 발광층에 (컬러 필터나 형광 재료에 따라)색 변환층을 조합시킨 CF 방식, CCM 방식, 단색의 발광층의 발광 영역에 전자파를 조사하는 등으로 복수 발광층을 실현하는 방식(포토블리칭 방식) 등을 예로 들 수 있지만, 이러한 분할 도포 방식 이외의 컬러 표시 패널 형성 방식에서는, 성막용 마스크를 여러 번 사용하는 분할 도포가 이루어지지 않는 경우가 있다.
이러한 경우에는, 도 13에 도시한 바와 같은 성막용 마스크(16)를 이용한다. 성막용 마스크(16)는 표시 영역(E)에 따른 개구부(16A)를 갖고, 개구부(16A)의 최외측보다 외측에 발광 영역에 있어서의 유기층의 형성에 사용되지 않는 의사 개구부(16D)가 형성되어 있다. 이에 따르면, 표시 영역(E) 전면에 유기층의 성막 패턴을 형성할 때에, 그 표시 영역(E)의 외측에 유기층에 의한 의사 패턴을 형성할 수 있어, 앞서 말한 CF 방식, CCM 방식, 포토블리칭 방식 등의 컬러 방식에 있어서도, 표시 영역의 외측에 (접착제를 차단하는)방호벽으로서 기능하는 의사 패턴을 형성할 수 있다.
또, 본 발명의 실시 형태에 따른 성막용 마스크, 유기 EL 패널, 및 유기 EL 패널의 제조 방법은 유기 EL 소자의 소자 구조에 의해서 한정되는 것이 아니라, 다색 발광 구조를 형성하기 위하여 기판 상에서 (각각 한 쌍의 전극 사이에 개재된)복수의 유기 발광층을 발광시킬 수 있다. 예컨대, (기판 상에) 하부 전극, 제1 유기 발광층, 제1 중간 전극, 제2 유기 발광층, 제2 중간 전극, 제3 유기 발광층 및 상부 전극을 적층할 수도 있다.
이상에 도시한 본 발명의 실시 형태에 따른 성막용 마스크, 유기 EL 패널, 유기 EL 패널의 제조 방법의 특징을 정리하면 다음과 같다.
첫째로, 성막용 마스크에 있어서, 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 성막 패턴에 따른 개구부를 구비하고, 이 개구부를 포함한 영역의 외측에, 발광 영역을 형성하는 유기층의 성막에 사용되지 않는 의사 개구부를 구비함으로써, 성막용 마스크를 설치할 때에 가해지는 텐션에 대하여, 의사 개구부가 그 텐션을 흡수하여 스스로를 변형시켜, 발광 영역에 대응한 개구부의 변형을 방지할 수 있다. 이로써, 발광 영역의 최외측 가장자리 부근에서의 성막 패턴에 혼란이 생기는 일이 없다.
둘째로는, 이러한 성막용 마스크를 이용함으로써, 성막용 마스크의 개구부에 의해서, 기판 상에 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 유기층의 성막 패턴이 형성되고, 의사 개구부에 의해서, 표시 영역의 최외측 가장자리보다 외측에 유기층의 의사 패턴이 형성된다. 이에 따르면, 전술한 작용과 더불어, 형성된 의사 패턴이 발광 영역을 둘러싸도록 도포되는 접착제에 대한 방호벽으로서 기능하여, 발광 영역의 최외측 가장자리가 접착제의 접촉에 의해 침식되는 것을 방지할 수 있다.
셋째로는, 이러한 유기 EL 패널의 제조 방법을 이용함으로써, 앞서 말한 작용과 더불어, 접착제의 방호벽으로서 기능하는 의사 패턴의 형성을 발광 영역을 형성하는 성막 패턴의 형성과 동시에 행할 수 있기 때문에, 기존의 제조 공정을 변경하지 않고서, 유효한 의사 패턴을 형성할 수 있다.
넷째로는, 전술한 성막용 마스크, 유기 EL 패널, 및 유기 EL 패널의 제조 방법에 있어서, 의사 개구부의 개구 폭을 개구부의 개구 폭보다 좁게 설정하여, 형성되는 의사 패턴의 폭을 발광 영역을 형성하는 성막 패턴의 폭보다 좁게 설정했기 때문에, 성막용 마스크를 개구부의 대략 폭분만큼 슬라이드시켜 성막 패턴을 분할 도포하는 경우에도, 그것과 동시에 형성되는 의사 패턴을 완전히 분리하여 형성할 수 있다. 이에 따르면, 분리하여 형성된 의사 패턴에 의해서, 접착제와의 접촉에 의해 전파되는 유기층의 열화 인자를 완전히 발광 영역으로부터 차단하는 것이 가능하게 되어, 의사 패턴에 의한 접착제의 방호벽 기능을 보다 확실하게 할 수 있다.
다섯째로는, 전술한 의사 개구부의 개구 폭 및 의사 패턴의 폭을, 패턴 성막시의 성막 오차를 고려하여 좁게 설정하기 때문에, 각종 오차 요인에 의해서 성막 오차가 생긴 경우에도, 형성되는 의사 패턴을 확실하게 분리시킬 수 있게 된다. 이로써, 또한, 접착제와의 접촉에 의해서 전파되는 유기층의 열화 인자를 완전히 발광 영역으로부터 차단하는 것이 가능하게 되어, 의사 패턴에 의한 접착제의 방호벽 기능을 보다 확실하게 할 수 있다.
여섯째로는, 전술한 성막용 마스크, 유기 EL 패널, 및 유기 EL 패널의 제조 방법에 있어서, 기판의 코너부에 대응시켜 의사 개구부의 길이를 개구부의 길이보다 짧게 형성하고, 형성되는 의사 개구부의 길이를 성막 패턴의 길이보다 짧게 형성했기 때문에, 기판의 코너부에서의 접착제의 형성 영역을 충분히 확보한 경우에도, 접착제의 형성 영역과 의사 패턴이 겹치는 일이 없고, 밀봉 부재의 접착을 확실하게 행할 수 있고, 의사 패턴의 방호벽으로서 기능을 확보할 수 있다.
일곱째로는, 전술한 성막용 마스크, 유기 EL 패널, 및 유기 EL 패널의 제조 방법에 있어서, 성막용 마스크의 개구부를 적어도 2색 이상을 유기 발광층에 분할 도포하는데 이용하여, 이 분할 도포에 의해서 발광 영역의 성막 패턴을 형성하기 때문에, 분할 도포시에 분할 도포 횟수에 따라 의사 개구부에 의한 의사 패턴을 여러 개 형성할 수 있다. 이에 따라, 복수의 의사 패턴이 발광 영역에 상이한 색을 도포하는 공정(분할 도포 공정) 중에 동시에 형성될 수 있다. 또, 접착제로부터 전파하여 오는 유기층 열화 인자를 복수의 의사 패턴에 의해서 확실하게 유기층으로부터 방호할 수 있다.
실시예
이하에서 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 그러한 특정예에 한정되지 않는다.
[성막용 마스크]
성막용 마스크의 형성 방법은 니켈 등을 포함하는 금속 박막을 에칭법이나 기계적 연마, 샌드블래스팅(sandblasting) 등을 이용하여 형성할 수 있다. 또한, 미세한 패턴 가공 정밀도가 우수하여, 성막용 마스크의 마스크 부분을 비교적 용이하게 두껍게 형성할 수 있는 전기 주조법을 이용해서 형성할 수 있다.
전기 주조법을 이용한 경우에는, 맨 처음에 금속제의 전주(電鑄) 모형(母型) 위에 포트리소그래피법 등으로 패터닝 레지스트를 형성한다. 이 패터닝 레지스트는 성막용 마스크의 개구부 패턴 및 의사 개구부 패턴에 대응하여 형성된다. 이어서, 전해액 속에서 성막용 마스크 재료를 전주 모형 위에 석출시켜 마스크 부분을 형성한 후, 패터닝 레지스트를 제거함으로써 원하는 개구부 패턴 및 의사 개구부 패턴을 갖춘 마스크 부분이 형성된다. 이 시점에서 마스크 부분을 전주 모형으로부터 떼어냄으로써 성막용 마스크를 얻을 수 있다.
성막용 마스크의 각 부분의 치수는 도 2(3색의 분할 도포를 행하는 경우)에서와 같이, 개구부의 폭(W)= 50 ㎛라고 하면, 개구부 사이의 피치(P) ≤3 ×5 ㎛로 설정된다. 의사 개구부의 폭(Wd)은 오차 요인으로서, 성막용 마스크와 기판의 간격에 의해 생기는 성막 공정의 흐려짐 양(e1)(증착류의 도달 오차 등), 성막용 마스크를 기판 상에 형성할 때에 생기는 조작 편차량(e2), 마스크 패턴의 형성 정밀도에 의한 오차량(e3)을 고려하여, 개구부의 폭(W)보다 좁게 설정된다. 즉, 각 의사 개구부의 폭(Wd) = W - (e1+e2+e3)에 의해 설정되어, W=50 ㎛, e1=e2=e3=5 ㎛라고 하면, 의사 개구부의 폭(Wd)=35 ㎛로 설정된다.
[유기 EL 패널]
유기 EL 패널의 각 부분의 구성예는 이하의 표 1과 같다.
구성 적용 재료예 기능
기판 유기 표시 기판(하부 에미션)
하부 전극 ITO, IZO, In2O3 양극(투명 전극)
절연막 폴리이미드
정공 주입층 CuPc 유기층
정공 수송층 NBP, PPD, m-MTDATA 유기층
발광층(R)
(G)
(B)
 Alq3 + DCM
Alq3 + 쿠마린
IDE120 + IDE102
BAIq + 파릴렌

유기 발광층
전자 수송층 Alq3, OXD-1 유기층
전자 주입층 LiO2, LiF 유기층
상부 전극 Al, Mg, Mg-Ag 음극
접착제 UV 경화성 수지
밀봉 부재 유리, 금속캡
[제조 방법]
기판 상에, 양극을 구성하는 하부 전극 재료를 증착, 스퍼터링 등으로 박막으로서 형성하여, 포토리소그래피 등에 의해서 원하는 전극 구조로 패터닝한다. 그 위에, 절연막 재료를 도포하여 포토리소그래피 등에 의해서 발광 영역 형성부를 패터닝한다. 그리고, 그 위에, 정공 주입층 재료 및 정공 수송층 재료를 순차 증착한다.
다음에, 성막용 마스크를 이용하여, 발광층 재료를 RGB마다 마스크 증착으로 성막하여, 발광 영역에 원하는 성막 패턴을 형성한다. 그 때에, 표시 영역의 외측에는 발광층 재료로 이루어진 의사 패턴이 동시에 형성되게 된다. 형성된 발광 영역의 성막 패턴 상에 전자 수송층 재료, 전자 주입층 재료를 순차 증착하고, 또한 그 위에 상부 전극 재료를 마스크 증착한다.
형성된 표시 영역의 최외측 가장자리 및 의사 패턴의 외측에 접착제를 도포하여, 그 접착제 도포 영역에 밀봉 부재의 접착면을 가압하여, 기판에 발광 영역 및 의사 패턴을 덮는 밀봉 부재를 밀착시킨다.
본 발명에 따른 효과는, 성막용 마스크를 이용하여 기판 상에 유기층의 성막 패턴을 성막함으로써 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 데에 있어서, 형성되는 발광 영역의 최외측 가장자리 부근에서 표시 성능 열화를 방지할 수 있다는 것이다.

Claims (18)

  1. 한 쌍의 전극 사이에, 유기 발광층을 포함하는 유기층이 개재된 유기 EL 소자를 기판 상에 형성할 때에 상기 유기층의 성막 패턴을 형성하는 성막용 마스크로서,
    상기 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 성막 패턴에 대응하여 배열된 개구부를 구비하고, 상기 개구부를 포함한 영역 외측에, 상기 유기층의 성막에 사용되지 않는 의사 개구부를 구비하는 성막용 마스크.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 의사 개구부 각각의 폭은 상기 개구부 각각의 폭보다 좁은 것인, 성막용 마스크.
  4. 삭제
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 기판의 코너부에 대응하여 상기 의사 개구부 각각의 길이가 상기 개구부 각각의 길이보다 짧은 것인, 성막용 마스크.
  6. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 개구부는 2색 이상의 상이한 발광색을 상기 유기 발광층에 도포하는데 이용되는 것인, 성막용 마스크.
  7. 한 쌍의 전극 사이에, 유기 발광층을 포함하는 유기층이 개재된 유기 EL 소자를 기판 상에 형성한 유기 EL 패널로서,
    상기 기판 상에 상기 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 상기 유기층의 성막 패턴이 형성되고, 상기 발광 영역을 포함한 영역 외측에 상기 유기층의 의사 패턴이 위치하는 것인, 유기 EL 패널.
  8. 제7항에 있어서, 상기 의사 패턴은 상기 성막 패턴을 형성하는 개구부를 갖는 성막용 마스크의 의사 개구부에 의해 형성되며, 상기 의사 개구부는 상기 개구부를 포함한 영역 외측에 위치하는 것인, 유기 EL 패널.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 성막 패턴은 상기 유기 발광층 상에서 2색 이상의 상이한 발광색을 도포함으로써 형성되는 것인, 유기 EL 패널.
  13. 한 쌍의 전극 사이에, 유기 발광층을 포함하는 유기층이 개재된 유기 EL 소자를 기판 상에 형성하는 유기 EL 패널의 제조 방법으로서,
    상기 기판 상에 상기 유기 EL 소자의 발광 영역을 형성하는 상기 유기층의 성막 패턴을 형성하는 공정에서, 상기 발광 영역을 포함하는 영역 외측의 기판 상에 상기 유기층의 의사 패턴을 형성하는 것인, 유기 EL 패널의 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 의사 패턴과 상기 성막 패턴은 상기 성막 패턴을 형성하는 개구부와 그 개구부를 포함하는 영역 외측에 위치한 의사 개구부를 갖는 성막용 마스크에 의해서 동시에 형성되는 것인, 유기 EL 패널의 제조 방법.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 제13항 또는 제14항에 있어서, 상기 유기 발광층 상에 2색 이상의 상이한 발광색을 도포하는 공정에서, 상기 의사 패턴과 상기 성막 패턴이 각 발광색마다 형성되는 것인, 유기 EL 패널의 제조 방법.
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