JP3966283B2 - 発光体とその製造方法及び製造装置、電気光学装置並びに電子機器 - Google Patents

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Description

本発明は、発光体とその製造方法及び製造装置、電気光学装置並びに電子機器に関するものである。
自発光素子であるＥＬ素子（特に、有機ＥＬ素子）を利用した表示体や光源等の発光体が従来から種々提案されており、このような発光体においては、カラー表示が可能な有機ＥＬ表示装置も公知である。そして、有機ＥＬ素子を製造する際には、例えば発光層形成材料及び正孔注入（PEDOT）／電子輸送層を形成する材料をインクとし、各々をＴＦＴ等の素子基板上にインクジェット方式でＲ・Ｇ・Ｂの各色のインクによりパターニングすることで、自発光フルカラーＥＬデバイスを製造する技術が特許文献１及び特許文献２に開示されている。
この種の有機ＥＬ表示装置でカラー表示を行うためには、光の三原色である赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に対応して、赤色に発光する有機ＥＬ素子（発光単位）と、緑色に発光する有機ＥＬ素子（発光単位）と、青色に発光する有機ＥＬ素子（発光単位）とで１画素を構成するのが通常であり、例えば、任意の画素を明るい白色とする場合には、その画素を構成する赤、緑及び青の各有機ＥＬ素子の全てを発光させればよく、また、１画素を構成する赤、緑及び青の各有機ＥＬ素子の発光輝度を適宜制御すれば、任意の画素を所望の色及び輝度で発色させることが可能である。そして、上記のように３色の有機ＥＬ素子を利用してカラー表示を行う場合、良好なホワイトバランスをとるのが重要であることが知られている。
特開平１０−１２３７７号公報 特開平１０−１５３９６７号公報
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
製品の出荷直後であれば、良好なホワイトバランスを維持することはできるものの、Ｒ・Ｇ・Ｂ毎で発光材料の経時劣化特性が異なるため、各色の経時変化によりホワイトバランスが崩れてしまい、白色発光させることを意図して各有機ＥＬ素子に所定の電流を供給したとしても、実際の発色は綺麗な白色にはならず、また、他の任意の色を任意の輝度で発色させようとしても、やはり意図した発色状態は得られないという問題があった。
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位（例えばＥＬ素子）を含んで構成される発光体（例えばＥＬ装置）において、経時変化が生じても良好な発光状態を得ることができる発光体、さらにはこの発光体の製造方法及び製造装置、電気光学装置並びに電子機器を提供することを目的としている。
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の発光体は、発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体であって、前記発光単位は、発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有し、所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整手段を備え、前記劣化調整手段は、前記所定種類の発光単位において前記発光特性の経時劣化に基づき、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、不純物が混合された前記発光層と前記正孔供給体との少なくともいずれか一方であることを特徴とするものである。
従って、本発明では、所定種類の発光単位における発光特性の経時劣化を調整して他の発光単位における経時劣化に合わせることで、発光特性に経時変化が生じても複数種類の発光単位間での劣化状態を同様にすることができ、複数種類の発光単位による色度バランスを一定に保つことが可能になる。
発光単位が発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有する場合、劣化調整手段としては、前記所定種類の発光単位において発光特性の経時劣化に基づいて厚さが調整された正孔供給体とする構成を採用できる。また、発光単位が発光層と該発光層に対して電子を供給する電子供給体とをそれぞれ有する場合、劣化調整手段としては、前記所定種類の発光単位において発光特性の経時劣化に基づいて厚さが調整された電子供給体とする構成を採用できる。さらに、発光単位が発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有する場合、劣化調整手段としては、前記所定種類の発光単位において発光特性の経時劣化に基づいて不純物が混合された前記発光層と前記正孔供給体との少なくともいずれか一方とする構成を採用できる。
劣化調整手段としては、前記複数種類の発光単位のうち、発光特性の経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する構成を採用できる。
これにより、本発明では、経時劣化度合いが小さい発光単位に対して経時劣化を調整して経時劣化度合いの大きい発光単位に合わせることができるので、発光特性に経時変化が生じても複数種類の発光単位間での劣化状態を同様にすることができ、複数種類の発光単位による色度バランスを一定に保つことが可能になる。
また、本発明の電気光学装置は、上記の発光体を表示装置として備えることを特徴としている。これにより、本発明では、経時変化が生じても良好な発光状態で表示可能な電気光学装置を得ることができる。
また、本発明の電子機器は、上記の発光体を表示装置として備えることを特徴としている。これにより、本発明では、経時変化が生じても良好な発光状態で表示可能な電子機器を得ることができる。
そして、本発明の発光体の製造方法は、発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体の製造方法であって、前記発光単位は、発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有し、所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整工程と、正孔供給材料を含む液状体を吐出して前記正孔供給体を形成する吐出工程とを有し、前記劣化調整工程では、前記吐出工程で吐出する前記液状体の液滴重量または液滴数を調整することにより、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、前記正孔供給体の厚さを調整することを特徴としている。
また、本発明の発光体の製造方法は、発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体の製造方法であって、前記発光単位は、発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有し、所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整工程を有し、前記劣化調整工程では、前記所定種類の発光単位において前記発光特性の経時劣化に基づき、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、前記発光層と前記正孔供給体との少なくともいずれか一方に不純物を混合することを特徴としている。
また、本発明の発光体の製造装置は、発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体の製造装置であって、所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整装置を有し、前記劣化調整装置は、前記所定種類の発光単位において前記発光特性の経時劣化に基づき、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、前記発光層と前記正孔供給体との少なくともいずれか一方に不純物を混合させることを特徴としている。
さらに、本発明の発光体の製造装置は、発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体の製造装置であって、前記発光単位は、発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有し、所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整装置と、正孔供給材料を含む液状体を吐出して前記正孔供給体を形成する吐出装置とを有し、前記劣化調整装置は、前記吐出装置から吐出する前記液状体の液滴重量または液滴数を制御して、前記所定種類の発光単位において前記発光特性の経時劣化に基づき、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、前記正孔供給体の厚さを調整する制御装置であることを特徴としている。
これにより、本発明では、所定種類の発光単位における発光特性の経時劣化を調整して他の発光単位における経時劣化に合わせることで、発光特性に経時変化が生じても複数種類の発光単位間での劣化状態を同様にすることができ、複数種類の発光単位による色度バランスを一定に保つことが可能になる。

発光単位が発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有する場合、劣化調整工程または劣化調整装置においては、前記所定種類の発光単位において前記発光特性の経時劣化に基づいて、前記正孔供給体の厚さを調整することが好ましい。
この場合、例えば他の発光単位に比較して経時劣化の度合いが小さい所定種類の発光単位において正孔供給体を薄く形成することで、経時劣化の度合いを大きくすることが可能となり、複数種類の発光単位間での劣化状態を同様にすることができる。
また、正孔供給材料を含む液状体を吐出して正孔供給体を形成する吐出工程または吐出装置を有する場合、劣化調整工程または劣化調整装置においては、吐出する液状体の液滴重量または液滴数を調整する構成を採用できる。
この場合、吐出する液状体の液滴重量または液滴数を調整することで、例えば、経時劣化の度合いが小さい所定種類の発光単位において正孔供給体を薄く形成することが可能になる。
以下、本発明の発光体とその製造方法及び製造装置、電気光学装置並びに電子機器の実施の形態を、図１ないし図１１を参照して説明する。本実施の形態は、赤の発色が可能な有機ＥＬ素子（発光単位）、緑の発色が可能な有機ＥＬ素子（発光単位）及び青の発色が可能な有機ＥＬ素子（発光単位）の３ドットを１画素とすることによりカラー表示を可能とした有機ＥＬ装置（発光体）としての表示装置（有機ＥＬ表示装置）に、本発明を適用したものである。なお、参照する各図において、図面上で認識可能な大きさとするために、縮尺は各層や各部材ごとに異なる場合がある。
（第１実施形態）
まず、ＥＬ装置を製造するための製造装置について説明する。
図１は、ＥＬ製造装置（デバイス製造装置）を構成する製膜装置（インクジェット装置）３０の概略的な外観斜視図である。製膜装置３０は、後述する発光材料や正孔輸送材料を含むインクをインクジェット方式で基板に吐出する構成となっている。
製膜装置３０は、ベース３２、第１移動手段３４、第２移動手段１６、図示しない電子天秤（重量測定手段）、液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド（吐出装置）２０、キャッピングユニット２２、クリーニングユニット２４等を有している。第１移動手段３４、電子天秤、キャッピングユニット２２、クリーニングユニット２４および第２移動手段１６は、それぞれベース３２上に設置されている。
第１移動手段３４は、好ましくはベース３２の上に直接設置されており、しかもこの第１移動手段３４は、Ｙ軸方向に沿って位置決めされている。これに対して第２移動手段１６は、支柱１６Ａ、１６Ａを用いて、ベース３２に対して立てて取り付けられており、しかも第２移動手段１６は、ベース３２の後部３２Ａにおいて取り付けられている。第２移動手段１６のＸ軸方向は、第１移動手段３４のＹ軸方向とは直交する方向である。Ｙ軸はベース３２の前部３２Ｂと後部３２Ａ方向に沿った軸である。これに対してＸ軸はベース３２の左右方向に沿った軸であり、各々水平である。
第１移動手段３４は、ガイドレール４０、４０を有しており、第１移動手段３４は、例えば、リニアモータを採用することができる。このリニアモータ形式の第１移動手段３４のスライダー４２は、ガイドレール４０に沿って、Ｙ軸方向に移動して位置決め可能である。テーブル４６は、ワークとしての基板２を位置決めして、しかも保持するものである。また、テーブル４６は、吸着保持手段５０を有しており、吸着保持手段５０が作動することにより、テーブル４６の穴４６Ａを通して、基板２をテーブル４６の上に吸着して保持することができる。テーブル４６には、インクジェットヘッド２０がインクを捨打ち或いは試し打ち（予備吐出）するための予備吐出エリア５２が設けられている。
第２移動手段１６は、支柱１６Ａ，１６Ａに固定されたコラム１６Ｂを有しており、このコラム１６Ｂは、リニアモータ形式の第２移動手段１６を有している。スライダー６０は、ガイドレール６２Ａに沿ってＸ軸方向に移動して位置決め可能であり、スライダー６０は、インク吐出手段としてのインクジェットヘッド２０を備えている。
スライダー４２は、θ軸用のモータ４４を備えている。このモータ４４は、例えばダイレクトドライブモータであり、モータ４４のロータはテーブル４６に固定されている。これにより、モータ４４に通電することでロータとテーブル４６は、θ方向に沿って回転してテーブル４６をインデックス（回転割り出し）することができる。
インクジェットヘッド２０は、揺動位置決め手段としてのモータ６２，６４，６６，６８を有している。モータ６２を作動すれば、インクジェットヘッド２０は、Ｚ軸に沿って上下動して位置決め可能である。このＺ軸はＸ軸とＹ軸に対して各々直交する方向（上下方向）である。モータ６４を作動すると、インクジェットヘッド２０は、Ｙ軸回りのβ方向に沿って揺動して位置決め可能である。モータ６６を作動すると、インクジェットヘッド２０は、Ｘ軸回りのγ方向に揺動して位置決め可能である。モータ６８を作動すると、インクジェットヘッド２０は、Ｚ軸回りのα方向に揺動して位置決め可能である。
このように、図１のインクジェットヘッド２０は、スライダー６０において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置決め可能であり、インクジェットヘッド２０のインク吐出面２０Ｐは、テーブル４６側の基板２に対して正確に位置あるいは姿勢をコントロールすることができる。なお、インクジェットヘッド２０のインク吐出面２０Ｐには、それぞれがインクを吐出する複数（例えば１２０個）の開口部としてのノズルが設けられている。
ここで、インクジェットヘッド２０の構造例について、図２を参照して説明する。インクジェットヘッド２０は、たとえば、ピエゾ素子（圧電素子）を用いたヘッドであり、図２（Ａ）に示すようにヘッド本体９０のインク吐出面２０Ｐには、複数のノズル９１が形成されている。これらのノズル９１に対してそれぞれピエゾ素子９２が設けられている。
図２（Ｂ）に示すようにピエゾ素子９２は、ノズル９１とインク室９３に対応して配置されており、例えば一対の電極（図示せず）の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そしてこのピエゾ素子９２に対して図２（Ｃ）に示すように印加電圧Ｖｈを印加することで、図２（Ｄ），（Ｆ）及び（Ｅ）に示すようにして、ピエゾ素子９２を矢印Ｑ方向に伸縮させることで、インクを加圧して所定量の液滴（インク滴）９９をノズル９１から吐出させるようになっている。これらピエゾ素子９２の駆動、即ちインクジェットヘッド２０からの液滴吐出は、劣化調整装置としての制御装置２５（図１参照）により制御される。
図１に戻り、電子天秤は、インクジェットヘッド２０のノズルから吐出されたインク滴の１滴の重量を測定して管理するために、例えば、インクジェットヘッド２０のノズルから、５０００滴分のインク滴を受ける。電子天秤は、この５０００滴のインク滴の重量を５０００で割ることにより、インク滴１滴の重量をほぼ正確に測定することができる。このインク滴の測定量に基づいて、インクジェットヘッド２０から吐出するインク滴の量を最適にコントロールすることができる。
続いて、製膜処理工程について説明する。
作業者がテーブル４６の前端側から基板２を第１移動手段３４のテーブル４６の上に給材すると、この基板２はテーブル４６に対して吸着保持されて位置決めされる。そして、モータ４４が作動して、基板２の端面がＹ軸方向に並行になるように設定される。
次に、インクジェットヘッド２０がＸ軸方向に沿って移動して、電子天秤の上部に位置決めされる。そして、指定滴数（指定のインク滴の数）の吐出を行う。これにより、電子天秤は、たとえば５０００滴のインクの重量を計測して、インク滴１滴当たりの重量を計算する。そして、インク滴の１滴当たりの重量が予め定められている適正範囲に入っているかどうかを判断し、適正範囲外であれば圧電素子９２に対する印加電圧の調整等を行って、インク滴の１滴当たりの重量を適正に収める。
インク滴の１滴当たりの重量が適正な場合には、基板２が第１移動手段３４よりＹ軸方向に適宜に移動して位置決めされるとともに、インクジェットヘッド２０が第２移動手段１６によりＸ軸方向に適宜移動して位置決めされる。そして、インクジェットヘッド２０は、予備吐出エリア５２に対して全ノズルからインクを予備吐出した後に、基板２に対してＹ軸方向に相対移動して（実際には、基板２がインクジェットヘッド２０に対してＹ方向に移動する）、制御装置２５の制御の下、基板２上の所定領域に対して所定のノズルから所定幅でインクを吐出する。インクジェットヘッド２０と基板２との一回の相対移動が終了すると、インクジェットヘッド２０が基板２に対してＸ軸方向に所定量ステップ移動し、その後、基板２がインクジェットヘッド２０に対して移動する間にインクを吐出する。そして、この動作を複数回繰り返すことにより、基板２上の製膜領域全体にインクを吐出して製膜することができる。
続いて、図３乃至図６を参照して、本発明に係る有機ＥＬ装置について説明する。図３は、有機ＥＬ装置を示すものであって、特にアクティブマトリクス型の有機ＥＬ装置に適用した実施の形態例を模式的に示す図である。また、この有機ＥＬ装置（発光体）１は、薄膜トランジスタを用いたアクティブ型の駆動方式を採用している。
有機ＥＬ装置１は、基板２の上に、回路素子としての薄膜トランジスタを含む回路素子部１４、画素電極（陽極）１１１、有機ＥＬ層（有機ＥＬ素子）を含む機能層１１０、電子供給体としての陰極１２、及び封止部３等を順次積層した構造からなる。
基板２としては、本例ではガラス基板が用いられる。本発明における基板としては、ガラス基板の他に、シリコン基板、石英基板、セラミックス基板、金属基板、プラスチック基板、プラスチックフィルム基板等、電気光学装置や回路基板に用いられる公知の様々な基板が適用される。
基板２上には、発光領域としての複数の画素領域（発光単位）Ａがマトリクス状に配列されており、カラー表示を行う場合、例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する画素領域Ａが所定の配列で並ぶ。各画素領域Ａには、画素電極１１１が配置され、その近傍には信号線１３２、電源線１３３、走査線１３１及び図示しない他の画素電極用の走査線等が配置されている。画素領域Ａの平面形状は、図に示す矩形の他に、円形、長円形など任意の形状が適用される。
また、封止部３は、水や酸素の侵入を防いで陰極１２あるいは機能層１１０の酸化を防止するものであり、基板２に塗布される封止樹脂、及び基板２に貼り合わされる封止基板３ｂ（封止缶）等を含む。封止樹脂の材料としては、例えば、熱硬化樹脂あるいは紫外線硬化樹脂等が用いられ、特に、熱硬化樹脂の１種であるエポキシ樹脂が好ましく用いられる。封止樹脂は、基板２の周縁に環状に塗布されており、例えば、マイクロディスペンサ等により塗布される。封止基板３ｂは、ガラスや金属等からなり、基板２と封止基板３ｂとは封止樹脂を介して張り合わされる。
図４は、上記有機ＥＬ装置１の回路構造を示している。
図４において、基板２上には、複数の走査線１３１と、走査線１３１に対して交差する方向に延びる複数の信号線１３２と、信号線１３２に並列に延びる複数の電源線１３３とが配線されている。また、走査線１３１及び信号線１３２の各交点毎に上記画素領域Ａが形成されている。
信号線１３２には、例えば、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン及びアナログスイッチを含むデータ側駆動回路１０３が接続されている。また、走査線１３１には、シフトレジスタ及びレベルシフタを含む走査側駆動回路１０４が接続されている。
画素領域Ａには、走査線１３１を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用の第１の薄膜トランジスタ１２３と、この薄膜トランジスタ１２３を介して信号線１３２から供給される画像信号を保持する保持容量１３５と、保持容量１３５によって保持された画像信号がゲート電極に供給される駆動用の第２の薄膜トランジスタ１２４と、この薄膜トランジスタ１２４を介して電源線１３３に電気的に接続したときに電源線１３３から駆動電流が流れ込む画素電極１１１（陽極）と、画素電極１１１と対向電極１２（陰極）との間に挟み込まれる機能層１１０とが設けられている。機能層１１０は、有機ＥＬ素子としての有機ＥＬ層を含む。
画素領域Ａでは、走査線１３１が駆動されて第１の薄膜トランジスタ１２３がオンとなると、そのときの信号線１３２の電位が保持容量１３５に保持され、この保持容量１３５の状態に応じて、第２の薄膜トランジスタ１２４の導通状態が決まる。また、第２の薄膜トランジスタ１２４のチャネルを介して電源線１３３から画素電極１１１に電流が流れ、さらに機能層１１０を通じて対向電極１２（陰極）に電流が流れる。そして、このときの電流量に応じて、機能層１１０が発光する。
図５は、上記有機ＥＬ装置１における表示領域の断面構造を拡大した図である。この図５には赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する３つの画素領域の断面構造が示されている。前述したように、有機ＥＬ装置１は、基板２上に、ＴＦＴなどの回路等が形成された回路素子部１４、画素電極（陽極）１１１、機能層１１０が形成された発光素子部１１、及び陰極１２が順次積層されて構成されている。この有機ＥＬ装置１では、機能層１１０から基板２側に発した光が、回路素子部１４及び基板２を透過して基板２の下側（観測者側）に出射されるとともに、機能層１１０から基板２の反対側に発した光が陰極１２により反射されて、回路素子部１４及び基板２を透過して基板２の下側（観測者側）に出射されるようになっている。
回路素子部１４には、基板２上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜２ｃが形成され、この下地保護膜２ｃ上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜１４１が形成されている。なお、半導体膜１４１には、ソース領域１４１ａ及びドレイン領域１４１ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐが導入されなかった部分がチャネル領域１４１ｃとなっている。さらに回路素子部１４には、下地保護膜２ｃ及び半導体膜１４１を覆う透明なゲート絶縁膜１４２が形成され、ゲート絶縁膜１４２上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極１４３（走査線）が形成され、ゲート電極１４３及びゲート絶縁膜１４２上には透明な第１層間絶縁膜１４４ａと第２層間絶縁膜１４４ｂが形成されている。ゲート電極１４３は半導体膜１４１のチャネル領域１４１ｃに対応する位置に設けられている。また、第１、第２層間絶縁膜１４４ａ、１４４ｂを貫通して、半導体膜１４１のソース、ドレイン領域１４１ａ、１４１ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール１４５，１４６が形成されている。
そして、第２層間絶縁膜１４４ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極１１１が所定の形状にパターニングされて形成され、一方のコンタクトホール１４５がこの画素電極１１１に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール１４６が電源線１３３に接続されている。
このようにして、回路素子部１４には、各画素電極１１１に接続された駆動用の薄膜トランジスタ１２３が形成されている。なお、回路素子部１４には、前述した保持容量１３５及びスイッチング用の薄膜トランジスタ１２４も形成されているが、図５ではこれらの図示を省略している。
発光素子部１１は、複数の画素電極１１１…上の各々に積層された機能層１１０と、機能層１１０同士の間に配されて各機能層１１０を区画するバンク部１１２とを主体として構成されている。機能層１１０上には陰極１２が配置されている。発光素子である有機ＥＬ素子は、画素電極１１１、陰極１２、及び機能層１１０等を含んで構成される。
ここで、画素電極１１１は、ＩＴＯにより形成されてなり、平面視略矩形にパターニングされて形成されている。この画素電極１１１の厚さは、５０〜２００ｎｍの範囲が好ましく、特に１５０ｎｍ程度がよい。
バンク部１１２は、図５に示すように、基板２側に位置する無機物バンク層１１２ａ（第１バンク層）と基板２から離れて位置する有機物バンク層１１２ｂ（第２バンク層）とが積層されて構成されている。無機物バンク層１１２ａは、例えば、ＳｉＯ２ 、ＴｉＯ２ 等の無機材料からなる。また、有機物バンク層１１２ｂは、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性のあるレジストから形成されている。
機能層１１０は、画素電極１１１上に積層された正孔供給体としての正孔輸送層（正孔注入／輸送層）１１０ａと、正孔輸送層１１０ａ上に隣接して形成された有機ＥＬ層（発光層）１１０ｂとから構成されている。
正孔輸送層１１０ａは、正孔を有機ＥＬ層１１０ｂに注入（供給）する機能を有するとともに、正孔を正孔輸送層１１０ａ内部において輸送する機能を有する。このような正孔輸送層１１０ａを画素電極１１１と有機ＥＬ層１１０ｂの間に設けることにより、有機ＥＬ層１１０ｂの発光効率、寿命等の素子特性が向上する。また、有機ＥＬ層１１０ｂでは、正孔輸送層１１０ａから注入された正孔と、陰極１２から注入（供給）される電子が有機ＥＬ層で再結合し、発光が得られる。なお、正孔輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いることができる。
有機ＥＬ層１１０ｂは、赤色（Ｒ）に発光する赤色有機ＥＬ層１１０ｂ１、緑色（Ｇ）に発光する緑色有機ＥＬ層１１０ｂ２、及び青色（Ｂ）に発光する青色有機ＥＬ層１１０ｂ３の発光波長帯域が互いに異なる３種類からなり、各有機ＥＬ層１１０ｂ１〜１１０ｂ３が所定の配列（例えばストライプ状）で配置されている。なお、詳細については後述するが、本実施の形態では、赤色有機ＥＬ層１１０ｂ１及び緑色有機ＥＬ層１１０ｂ２に隣接する正孔輸送層１１０ａ１、１１０ａ２は、青色有機ＥＬ層１１０ｂ３に隣接する正孔輸送層１１０ａ３よりも薄い膜厚で形成されている。
なお、必要に応じて、有機ＥＬ層１１０ａの上（陰極１２側）に電子注入層を形成し、これを含めて機能層１１０としてもよい。電子注入層は、陰極１２から有機ＥＬ層１１０ｂへの電子の注入を促進させる役割を有するものであり、リチウムを中心金属としたリチウムキノリノール錯体によって形成され、その厚さは例えば２〜５ｎｍの範囲が好ましく、特に２ｎｍ程度がよい。電子注入層に用いられる材料として、リチウムキノリノール錯体以外のものを用いてもよく、周期律表１Ａ族と、周期律表２Ａ族と、希土類との中から選択される金属元素、例えば、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓ、Ｍｇ、Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ、Ｌａ、Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕから選択される金属元素を有した錯体が好ましい。錯体の例としては、ナトリウムキノリノール錯体等が挙げられる。また、電子注入層においては、上記のリチウムキノリノール錯体が後述の液体材料に溶けた組成物インクを作成し、液体吐出法（インクジェット法）によって有機ＥＬ層１１０ｂ３に吐出することによって形成することができる。
陰極（対向電極）１２は、発光素子部１１の全面に形成されており、画素電極１１１と対になって機能層１１０に電流を流す役割を果たす。この陰極１２は、リチウム（Ｌｉ）イオンを還元できるものとして、本例ではカルシウム層１２ａとアルミニウム層１２ｂとが積層されて構成されている。このとき、発光層に近い側の陰極には仕事関数が低いものを設けることが好ましく、特にこの形態においては発光層１１０ｂに直接に接して発光層１１０ｂに電子を注入する役割を果たす。カルシウム層１２ａの厚さは、例えば２〜５０ｎｍの範囲が好ましい。また、アルミニウム層１２ｂは、有機ＥＬ層１１０ｂから発した光を基板２側に反射させるもので、Ａｌ膜の他、Ａｇ膜、ＡｌとＡｇの積層膜等からなることが好ましい。また、その厚さは、例えば１００〜１０００ｎｍの範囲が好ましい。更にアルミニウム層上にＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＳｉＮ等からなる酸化防止用の保護層を設けてもよい。
なお、本実施形態においては、リチウムイオンを還元できるものとしてカルシウム（Ｃａ）を採用したが、カルシウムに限定することなく、Ｍｇ、Ａｌを採用してもよい。
以上の構成では、各画素領域においては、基板２側から、画素電極（陽極）１１１、正孔輸送層１１０ａ、有機ＥＬ層１１０ｂ及び陰極１２の順に積層されている。そして、このように構成された有機ＥＬ装置１においては、各色の有機ＥＬ層１１０ｂでは、陰極１２のカルシウム層１２ａが有機ＥＬ層１１０ｂに直接に接して有機ＥＬ層１１０ｂに電子を注入する役割を果たす。
また、本実施形態の有機ＥＬ装置１は、蒸着法を用いて形成された電子注入層を備えた有機ＥＬ装置の場合と比較すると、同程度の発光特性及び発光寿命を得ることができる。
次に、上記有機ＥＬ装置１を製造する方法について図６（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。なお、基板２上には、それぞれ先の図５に示した、薄膜トランジスタを含む回路素子部１４、バンク部１１２（有機物バンク層１１２ａ、無機物バンク層１１２ｂ）、及び画素電極１１１がすでに形成されているものとする。
本例の製造方法は、（１）正孔輸送層形成工程、（２）有機ＥＬ層形成工程、（３）陰極形成工程、及び（４）封止工程等を有する。
なお、ここで説明する製造方法は一例であって、必要に応じてその他の工程が除かれたり追加されたりする。
（１）正孔輸送層形成工程
図６（ａ）に示すように、画素電極１１１が形成された基板２上に、正孔輸送層１１０ａを形成する。
正孔輸送層形成工程では、上述した製膜装置３０による液体吐出法を用いることにより、既述の正孔輸送層形成材料を含む組成物（液滴）を画素電極１１１上に吐出する。
液体吐出法による正孔輸送層の形成手順としては、液状体を吐出するためのインクジェットヘッド２０に、正孔輸送層１１０ａの材料を含有する組成物インクを充填し、インクジェットヘッド２０の吐出ノズルを、バンク部１１２の開口部内に位置する画素電極１１１に対向させ、ヘッド２０と基板２とを相対移動させながら、ノズルから１滴当たりの液量が制御されたインク滴を吐出する（吐出工程）。その後、吐出後のインク滴を乾燥処理して組成物インクに含まれる極性溶媒（液体材料）を蒸発させることにより、正孔輸送層が形成される。
ここで用いる組成物としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）等の混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることができる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン（ＤＭＩ）及びその誘導体、カルビト−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグリコールエーテル類等を挙げることができる。
より具体的な組成物の組成としては、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ＝１：２０）：１２．５２重量％、ＰＳＳ：１．４４重量％、ＩＰＡ：１０重量％、ＮＭＰ：２７．４８重量％、ＤＭＩ：５０重量％のものを例示できる。なお、組成物の粘度は２〜２０Ｐｓ程度が好ましく、特に４〜１５ｃＰｓ程度が良い。
ここで、本実施の形態では、発光特性の経時変化が異なる複数色（複数種類）の画素領域に対して、発光特性の経時劣化を調整するために、各色の経時劣化度合いに応じて正孔輸送層１１０ａの厚さを変えている。図７に、白色の色度をＣＩＥ色度座標にて（0.33,0.33）とした場合のＲ・Ｇ・Ｂそれぞれの必要輝度を示す。この図に示されるように、例えば白色輝度にて１５０ｃｄ／ｍ２の輝度を得るためには、赤色；３１４ｃｄ／ｍ２、緑色；６２９ｃｄ／ｍ２、青色；２０９ｃｄ／ｍ２の輝度がそれぞれ必要になる。また、経時劣化により白色輝度にて１００ｃｄ／ｍ２しか得られなくなった場合は、赤色；２０９ｃｄ／ｍ２、緑色；４１９ｃｄ／ｍ２、青色；１３９ｃｄ／ｍ２の輝度がそれぞれ必要になる。つまり、白色輝度は、有機ＥＬ装置に付与する電圧を上げることで経時劣化に対応可能であるが、ホワイトバランスを維持するためにはＲ・Ｇ・Ｂそれぞれの色の経時劣化が対応している必要がある。
図８に、各色に対応する正孔輸送層１１０ａ１〜１１０ａ３の厚さと経時劣化との関係を示す。この図に示されるように、同一の厚さ（ここでは７０ｎｍ）で正孔輸送層１１０ａ１〜１１０ａ３を形成した場合、青色の劣化度合いが他色に比較して大きい。すなわち、同じ厚さの正孔輸送層１１０ａ１〜１１０ａ３を用いて有機ＥＬ層１１０ｂ１〜１１０ｂ３を発光させた場合、青色が先に劣化するため、フルカラーパネルにおいては経時変化により赤色及び緑色により色度のバランスがシフトすることになる。これに対して、青色の正孔輸送層１１０ａ３の膜厚を７０ｎｍに維持しつつ、赤色及び緑色（所定種類の発光単位）の経時劣化を調整するために、赤色の正孔輸送層１１０ａ１及び緑色の正孔輸送層１１０ａ２の膜厚を５０ｎｍとすると、赤色及び緑色の劣化が速くなり寿命が低下することになるが、Ｒ・Ｇ・Ｂの経時劣化が同様になり、フルカラー時の色度バランスを一定にすることができる。なお、赤色及び緑色の寿命は低下するものの、青色の寿命に合わせるだけなので、有機ＥＬ装置１としての寿命に影響を及ぼすものではない。
従って、正孔輸送層形成工程においては、制御装置２５がピエゾ素子９２の駆動を制御することにより、最終的に青色の正孔輸送層１１０ａ３の膜厚が７０ｎｍ、赤色の正孔輸送層１１０ａ１の膜厚及び緑色の正孔輸送層１１０ａ２の膜厚が５０ｎｍとなるように、色に応じて吐出する液滴（液状体）の液滴重量または液滴数が制御される（劣化調整工程）。その後に乾燥処理及び熱処理を行い、画素電極１１１上に正孔輸送層１１０ａ１〜１１０ａ３を形成する。
なお、この正孔輸送層形成工程を含めこれ以降の工程は、水、酸素の無い雰囲気とすることが好ましい。例えば、窒素雰囲気、アルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。
（２）有機ＥＬ層形成工程
次に、図６（ｂ）に示すように、正孔輸送層１１０ａが積層された、例えば青色用の画素電極１１１上に、青色有機ＥＬ層１１０ｂ３を形成する。即ち、正孔輸送層１１０ａと同様に、例えば液滴吐出法などにより、有機ＥＬ層用材料を含む組成物インクを正孔輸送層１１０ａ上に吐出し、その後に乾燥処理及び熱処理して、バンク部１１２に形成された開口部内に青色有機ＥＬ層１１０ｂ３を形成する。
有機ＥＬ層形成工程では、正孔輸送層１１０ａの再溶解を防止するために、有機ＥＬ層形成の際に用いる組成物インクの溶媒として、正孔輸送層１１０ａに対して不溶な無極性溶媒を用いる。この場合、無極性溶媒に対する正孔輸送層１１０ａの表面の濡れ性を高めるために、有機ＥＬ層形成の前に表面改質工程を行うのが好ましい。表面改質工程は、例えば上記無極性溶媒と同一溶媒又はこれに類する溶媒を液体吐出法、スピンコート法又はディップ法等により正孔輸送層１１０ａ上に塗布した後に乾燥することにより行う。なお、ここで用いる表面改質用溶媒としては、組成物インクの無極性溶媒と同一なものとして例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を例示でき、組成物インクの無極性溶媒に類するものとしては、例えばトルエン、キシレン等を例示することができる。
また、液滴吐出法による有機ＥＬ層の形成手順としては、インクジェットヘッド２０に、例えば青色有機ＥＬ層の材料を含有する組成物インクを充填し、ヘッド２０の吐出ノズルを、バンク部１１２の開口部内に位置する青色用の正孔輸送層１１０ａに対向させ、ヘッド２０と基板２とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たりの液量が制御されたインク滴を吐出する。吐出されたインク滴は、正孔輸送層１１０ａ上に広がってバンク部１１２の開口部内に満たされる。続いて、吐出後のインク滴を乾燥処理することにより組成物インクに含まれる無極性溶媒が蒸発し、青色有機ＥＬ層１１０ｂ３が形成される。この後、青色有機ＥＬ層１１０ｂ３と同様に、赤色有機ＥＬ層の材料を含有する組成物インク及び緑色有機ＥＬ層の材料を含有する組成物インクを用いて、赤色有機ＥＬ層１１０ｂ１及び緑色有機ＥＬ層１１０ｂ２を形成する（図６（ｃ）参照）。
なお、有機ＥＬ層１１０ｂを構成する発光材料としては、フルオレン系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、その他ベンゼン誘導体に可溶な低分子有機ＥＬ材料、高分子有機ＥＬ材料等が挙げられる。例えば、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等も用いることができる。一方、無極性溶媒としては、正孔輸送層１１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。
ここで、液滴吐出法としては、上述したピエゾ方式以外にも帯電制御方式、加圧振動方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御してノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に超高圧を印加してノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進してノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散してノズルから吐出されない。また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。
上記液滴吐出技術のうち、ピエゾ方式は、材料に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えにくいという利点を有する。
（３）陰極形成工程
次に、図６（ｄ）に示すように、画素電極（陽極）１１１と対をなす対向電極（陰極）１２を形成する。即ち、有機ＥＬ層１１０ｂを含む基板２上の領域全面にカルシウム層１２ａとアルミニウム層１２ｂとを順次積層して陰極１２を形成する。これにより、赤色有機ＥＬ層１１０ｂ１、緑色有機ＥＬ層１１０ｂ２及び青色有機ＥＬ層１１０ｂ３が形成された領域を含む有機ＥＬ層１１０ｂの形成領域全体に、陰極１２が積層され、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する有機ＥＬ素子がそれぞれ形成される。
陰極１２は、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法で形成することが、熱による有機ＥＬ層１１０ｂの損傷を防止できる点で好ましい。
また陰極１２上に、酸化防止のためにＳｉＯ２ 、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。
（４）封止工程
最後に、有機ＥＬ素子（発光素子）が形成された基板２と封止基板３ｂ（図３参照）とを封止樹脂を介して封止する。例えば、熱硬化樹脂または紫外線硬化樹脂からなる封止樹脂を基板２の周縁部に塗布し、封止樹脂上に封止基板３ｂを配置する。封止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極１２にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部分から水や酸素等が陰極１２に侵入して陰極１２が酸化されるおそれがあるので好ましくない。
この後、基板２の配線に陰極１２を接続するとともに、基板２上あるいは外部に設けられる駆動ＩＣ（駆動回路）に回路素子部１４（図３参照）の配線を接続することにより、本例の有機ＥＬ装置１が完成する。
以上のように、本実施の形態では、正孔輸送層の膜厚を変えることで、赤色及び緑色における発光特性の経時劣化を、最も経時劣化度合いが大きい青色に合わせるように調整しているので、経時変化が生じても各色の経時劣化が同様になり、色度のバランスがシフトすることなく良好な発光状態を維持することが可能になる。従って、消費者が購入後にホワイトバランスを再調整したり、複雑な駆動回路を設ける必要がなくなる。また、本実施の形態では、正孔輸送層材料を含む液状体を液滴として吐出する際の液滴重量または液滴数を制御するという簡単な構成・工程により、上述した発光特性の経時劣化を調整できるので、装置構成を簡素化することが可能になるとともに、生産効率を向上させることも可能になる。
なお、本発明の電気光学装置は、上記有機ＥＬ装置（発光体）を表示装置として備えたものであり、具体的には、上述の有機ＥＬ装置以外にも、無機エレクトロルミネッセンス、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）等を挙げることができる。
（１）バンクによって囲まれた画素に対して、正孔輸送層形成材料をＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）画素それぞれに10ng×10shotの印字を行った。結果、Ｒ・Ｇ・Ｂ画素ともに膜厚は60nmであった。
（２）この状態にてＲ・Ｇ・Ｂそれぞれに発光層（有機ＥＬ層）を80nm成膜し、さらにこの上に陰極を真空蒸着法によって成膜して発光素子とした。
（３）この素子の寿命測定を行った結果、Ｒ・Ｇ・Ｂの各半減寿命は、Ｒ：1800h、Ｇ：3000h、Ｂで1000hであった。しかし、白色表示でカラーバランスがずれるため、白色が得られる時間は700hであった。
（４）次にバンクによって囲まれた画素に対して、正孔輸送層形成材料をそれぞれにＲ画素には10ng×8shot、Ｇ画素には10ng×6shot、Ｂ画素には10ng×10shotの液滴吐出を行った。結果、Ｒ・Ｇ・Ｂ画素の膜厚はＲ画素：50nm、Ｇ画素45nm、Ｂ画素：60nmとなった。
（５）この状態にてＲ・Ｇ・Ｂそれぞれに発光層を80nm成膜し、さらにこの上に陰極を真空蒸着法によって成膜して発光素子とした。
（６）この素子の寿命測定を行った結果、Ｒ・Ｇ・Ｂの各半減寿命は、Ｒ：1200h、Ｇ：1300h、Ｂで1000hであった。ただし、白色が得られる時間は940hであった。
（７）すなわち、Ｒ、Ｇの色毎の寿命は低下するものの、パネルとしての寿命は延びることが立証された。
（第２実施形態）
図９は、本発明における有機ＥＬ装置（発光体）を搭載した電子機器の一例としてのモバイル型パーソナルコンピューターを示す斜視図である。
モバイル型パーソナルコンピュータ２００は、キーボード２０１を備えた本体部２０２と、上記第１の実施の形態に係る有機ＥＬ装置（発光体）からなる表示ユニット２０３と、を備えている。
（第３実施形態）
図１０は、本発明における有機ＥＬ装置（発光体）を搭載した電子機器の一例としての携帯電話を示す斜視図である。
携帯電話３００は、複数の操作ボタン３０１と、受話口３０２と、送話口３０３と、上記第１の実施の形態に係る有機ＥＬ装置（発光体）３０４と、を備えている。
(第４の実施形態）
図１１は、本発明における有機ＥＬ装置（発光体）を搭載した電子機器の一例としてのディジタルスチルカメラを示す斜視図である。なお、外部機器との接続についても簡易的に示している。
ディジタルスチルカメラ４００は、ケース４０１と、その背後に設けられ、上記第１の実施の形態に係る有機ＥＬ装置（発光体）からなる表示パネル４０２と、ケース４０１の観察側 (図においては裏面側）に設けられる光学レンズやＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）等を含んだ受光ユニット４０３と、シャッタボタン４０４と、そのシャッタボタン４０４を押した時点におけるＣＣＤの撮像信号が転送・格納される回路基板４０５と、を備えている。この表示パネル４０２には、ＣＣＤ等の撮像素子により光電変換して生成された撮像信号に基づいて、表示が行われる。
また、このディジタルスチルカメラ４００にあっては、ケース４０１の側面にビデオ信号出力端子４０６と、データ通信用の入出力端子４０７とが設けられている。そして、図に示されるように、前者のビデオ信号出力端子４０６には、テレビモニタ５００が、また、後者のデータ通信用の入出力端子４０７にはパーソナルコンピュータ６００が、それぞれ必要に応じて接続され、所定の操作によって、回路基板４０５のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ５００や、パーソナルコンピュータ６００に出力される構成となっている。
なお、本発明における有機ＥＬ装置（発光体）を備えた電子機器としては、上記のものに限らず、他に例えば、テレビ、携帯用テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ＰＤＡ、携帯用ゲーム機、車載用オーディオ機器、自動車用計器、ＣＲＴ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、時計、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器などを挙げることができる。
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、経時劣化を調整（促進）すべき発光単位に対して、有機ＥＬ層１１０ｂを構成する発光材料や、正孔輸送層１１０ａを構成する正孔輸送層形成材料の少なくともいずれか一方（双方であってもよい）に不純物イオン（例えば、Ｆ−、Ｈ２ＰＯ４ −、Ｃｌ−、ＮＯ２−、Ｂｒ−、ＮＯ３ −、ＳＯ４−等のアニオン種、またはＬｉ＋、Ｎａ＋、ＮＨ４＋、Ｋ＋、Ｃａ２＋、Ｍａ２＋、Ｒｂ２＋、Ｃｓ＋、Ｂａ２＋等のカチオン種）を混合して、経時劣化度合いを促進させてもよい。この場合も、各色での経時劣化度合いを一様にすることができる。
また、陰極１２の厚さを発光単位に応じて変える（パターニングする）構成とすることも可能である。例えば、陰極１２はカルシウム層１２ａとアルミニウム層１２ｂとから形成されているが、経時劣化を調整（促進）すべき発光単位に対して、抵抗の大きいカルシウム層を厚く形成する構成としてもよい。この場合、抵抗が大きくなることで高い電圧が必要になり、効率低下により経時劣化の度合いを大きくすることができる。この場合、陰極１２（カルシウム層１２ａ）が劣化調整手段としての電子供給体となる。なお、電子供給体により発光特性の経時劣化を調整する方法としては、陰極以外にも、電子注入層を設ける場合には電子注入層の膜厚を発光単位に応じて変えることも可能である。
さらに、経時劣化を調整（促進）すべき発光単位に対応するバンク部のみ封止樹脂から延出させる構成とすることもできる。この構成では、延出したバンク部から水や酸素等が侵入して陰極が酸化するため、当該発光単位の経時劣化を促進することができる。
本発明に係る製造装置の概略的な外観斜視図である。 インクジェットヘッドの構造を示す図である。 本発明の有機ＥＬ装置の構成を模式的に示す図である。 アクティブマトリクス型有機ＥＬ装置の回路図である。 有機ＥＬ装置の表示領域の断面構造を示す拡大図である。 有機ＥＬ装置の製造方法を説明するための説明図である。 白色の色度とＲ・Ｇ・Ｂそれぞれの必要輝度との関係図である。 正孔輸送層の厚さと経時劣化との関係を示す図である。 有機ＥＬ装置を搭載した電子機器の一例としてのモバイル型パーソナルコンピューターを示す斜視図である。 有機ＥＬ表示装置を搭載した電子機器の一例としての携帯電話を示す斜視図である。 有機ＥＬ表示装置を搭載した電子機器の一例としてのディジタルスチルカメラを示す斜視図である。
符号の説明
Ａ 画素領域（発光単位）、１ 有機ＥＬ装置（発光体）、２ 基板、１２ 陰極（電子供給体、劣化調整手段）、１２ａ カルシウム層（電子供給体）、２０ インクジェットヘッド（吐出装置）、２５ 制御装置（劣化調整装置）、３０ 製膜装置、１１０ａ 正孔輸送層（正孔供給体、劣化調整手段）、１１０ｂ 有機ＥＬ層（発光層）

Claims (7)

  1. 発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体であって、
    前記発光単位は、発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有し、
    所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整手段を備え、
    前記劣化調整手段は、前記所定種類の発光単位において前記発光特性の経時劣化に基づき、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、不純物が混合された前記発光層と前記正孔供給体との少なくともいずれか一方であることを特徴とする発光体。
  2. 請求項１記載の発光体を表示装置として備えることを特徴とする電気光学装置。
  3. 請求項１記載の発光体を表示装置として備えることを特徴とする電子機器。
  4. 発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体の製造方法であって、
    前記発光単位は、発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有し、
    所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整工程と、
    正孔供給材料を含む液状体を吐出して前記正孔供給体を形成する吐出工程とを有し、
    前記劣化調整工程では、前記吐出工程で吐出する前記液状体の液滴重量または液滴数を調整することにより、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、前記正孔供給体の厚さを調整することを特徴とする発光体の製造方法。
  5. 発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体の製造方法であって、
    前記発光単位は、発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有し、
    所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整工程を有し、
    前記劣化調整工程では、前記所定種類の発光単位において前記発光特性の経時劣化に基づき、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、前記発光層と前記正孔供給体との少なくともいずれか一方に不純物を混合することを特徴とする発光体の製造方法。
  6. 発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体の製造装置であって、
    所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整装置を有し、
    前記劣化調整装置は、前記所定種類の発光単位において前記発光特性の経時劣化に基づき、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、前記発光層と前記正孔供給体との少なくともいずれか一方に不純物を混合させることを特徴とする発光体の製造装置。
  7. 発光特性の経時変化が異なる複数種類の発光単位を有する発光体の製造装置であって、
    前記発光単位は、発光層と該発光層に対して正孔を供給する正孔供給体とをそれぞれ有し、
    所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整する劣化調整装置と、
    正孔供給材料を含む液状体を吐出して前記正孔供給体を形成する吐出装置とを有し、
    前記劣化調整装置は、前記吐出装置から吐出する前記液状体の液滴重量または液滴数を制御して、前記所定種類の発光単位において前記発光特性の経時劣化に基づき、前記複数種類の発光単位のうち、経時劣化度合いが最も大きい発光単位に合わせて、前記所定種類の発光単位における前記発光特性の経時劣化を調整するように、前記正孔供給体の厚さを調整する制御装置であることを特徴とする発光体の製造装置。
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