WO2014030354A1 - 有機電子デバイスの製造方法および有機elデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(B)基板上に、第1開口部を規定する第1隔壁を、第1開口部の底に第1電極の少なくとも一部が露出するように形成する第1隔壁形成工程
(C)第1開口部内に第1有機材料を含む第1インク液滴を滴下して、第1有機機能膜を成膜する第1有機機能膜成膜工程
(D)第1有機機能膜形成工程を実行した後、第1隔壁上に、第1開口部に連通する第2開口部を規定する第2隔壁を形成する第2隔壁形成工程
(E)第2開口部の開口から、第1有機材料とは異なる第2有機材料を含む第2インク液滴を滴下して、露出している第1有機機能膜の表面を被覆するように、第2有機機能膜を成膜する第2有機機能膜成膜工程
(F)第2有機機能膜上に第2電極を形成する第2電極形成工程
ここで、本態様に係る製造方法の第2隔壁形成工程では、平面視において、第2隔壁における第2開口部を臨む側壁の底部端縁が、第1隔壁における第1開口部を臨む側壁の底部端縁と同位置あるいは当該底部端縁よりも後退した位置になるように、第2隔壁を形成する。
(i)従来技術の検証
上述のように、有機ELデバイスをはじめとする有機電子デバイスの製造では、インクジェット法などの塗布法を用いて有機機能膜を成膜する方法の採用が研究・開発されている。ここで、成膜対象となる有機機能膜としては、例えば、色素膜、発光材料膜、半導体膜などが挙げられる。このような塗布法を用いた成膜を採用する場合には、蒸着法などを用いる場合に比べて、種々のデバイスサイズへの対応、および量産性などの観点から優位である。
そこで、本発明者等は、リーク電流路が形成されるのを効果的に抑制して、優れたデバイス性能を得ることを可能とする有機電子デバイスの製造方法を構築するには、工程数の増加も視野に入れて、従来の方法を根本的に見直す必要があるとの認識に至った。そして、鋭意検討した結果、第1隔壁を形成し、導電性を有する第1有機機能膜を成膜した後、第1隔壁により規定される開口部の大きさと同等、あるいはそれよりも大きい開口サイズの開口部を規定する第2隔壁を第1隔壁上に形成して、その後に、第2有機機能膜を成膜する、という工程順から構成することが、有用な製造方法であるという結論に至った。
本発明の一態様に係る有機電子デバイスの製造方法は、次の(A)から(F)の工程を備える。
(B) 基板上に、第1開口部を規定する第1隔壁を、第1開口部の底に前記第1電極の少なくとも一部が露出するように形成する第1隔壁形成工程
(C) 第1開口部内に第1有機材料を含む第1インク液滴を滴下して、第1有機機能膜を成膜する第1有機機能膜成膜工程
(D) 第1有機機能膜形成工程を実行した後、第1隔壁上に、第1開口部に連通する第2開口部を規定する第2隔壁を形成する第2隔壁形成工程
(E) 第2開口部の開口から、第1有機材料とは異なる第2有機材料を含む第2インク液滴を滴下して、露出している第1有機機能膜の表面を被覆するように、第2有機機能膜を成膜する第2有機機能膜成膜工程
(F) 第2有機機能膜上に第2電極を形成する第2電極形成工程
そして、(D)第2隔壁形成工程では、平面視において、第2隔壁における第2開口部を臨む側壁の底部端縁が、第1隔壁における第1開口部を臨む側壁の底部端縁と同位置あるいは当該底部端縁よりも後退した位置になるように、第2隔壁を形成する。
(B-2) 当該第1隔壁膜を選択的に露光した後、第1現像液を用いて第1隔壁膜を現像して第1開口部を形成するサブ工程
また、(D)第2隔壁形成工程は、次の(D-1)および(D-2)のサブ工程を備える。
(D-2) 第2隔壁膜を選択的に露光した後、第2現像液を用いて第2隔壁膜を現像して第2開口部を形成するサブ工程
上記において、(D-1)のサブ工程では、第2隔壁材料として、第1有機機能膜がエッチング耐性を有する第2現像液を用いてエッチングが可能な材料を選択的に使用する。
また、(D)第2隔壁形成工程が次のサブ工程を備える。
ここで、(B-3)第1撥液処理サブ工程では、第1隔壁の上面の第1インク液滴に対する第1接触角が、第1隔壁の第1開口部を臨む側壁表面の第1インク液滴に対する第2接触角よりも大きくなるように、第1隔壁に対して前記撥液処理を施す。
第2隔壁の側壁表面の少なくとも一部を被覆することなく有機機能膜が成膜された場合にあっても、第1隔壁の上面ないしは側壁表面を少なくとも被覆できれば、デバイス性能の低下に直結しない。そのため、第2隔壁の側壁表面については、第1隔壁の側壁表面に比べて高い撥液性を付与することが望ましい。
(BB) 基板上に、第1開口部を規定する第1隔壁を、第1開口部の底に前記第1電極の少なくとも一部が露出するように形成する第1隔壁形成工程
(CC) 第1開口部内に第1有機材料を含む第1インク液滴を滴下して、第1有機機能膜を成膜する第1有機機能膜成膜工程
(DD) 第1有機機能膜形成工程を実行した後、第1隔壁上に、第1開口部に連通する第2開口部を規定する第2隔壁を形成する第2隔壁形成工程
(EE) 第2開口部の開口から、第1有機材料とは異なる第2有機材料を含む第2インク液滴を滴下して、露出している第1有機機能膜の表面を被覆するように、第2有機機能膜を成膜する第2有機機能膜成膜工程
(FF) 第2有機機能膜上に第2電極を形成する第2電極形成工程
(DD)第2隔壁形成工程では、平面視において、第2隔壁における第2開口部を臨む側壁の底部端縁が、第1隔壁における第1開口部を臨む側壁の底部端縁と同位置あるいは当該底部端縁よりも後退した位置になるように、第2隔壁を形成する。
1.有機電子デバイス71の製造方法
実施の形態1に係る有機電子デバイス71の製造方法について、図1および図2を用いて説明する。 図1および図2は、本実施の形態に係る有機電子デバイス71の製造過程を示す模式的な断面図である。以下では、本実施の形態に係る有機電子デバイス71の製造過程について、便宜上、<第1電極形成工程>、<第1隔壁形成工程>、<第1有機機能成膜工程>、<第2隔壁形成工程>、<第2有機機能膜成膜工程>、<第2電極形成工程>というように各工程に分けて説明をする。
図1の(a)部分に示すように、基板1を準備した後、基板1上に第1電極2を形成する。
次に、図1の(a)部分から(c)部分に示すように、基板1上における隣り合う第1電極2同士の間、および第1電極2の縁部分の上に、第1隔壁3を形成する。
図1の(a)部分に示すように、第1電極2が形成された領域を含む基板1上に、第1隔壁膜1003を積層形成する。第1隔壁膜1003を形成するための隔壁材料としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、フェノール系樹脂などの公知のレジスト材料からなる撥液性を有する感光性樹脂材料を採用することができる。
次に、積層形成された第1隔壁膜1003に対して、例えば、100℃程度の温度にて熱処理を施す。この熱処理により、隔壁材料に含まれる撥液成分は、第1隔壁膜1003の表面に向かって熱拡散する。そのため、熱処理後における第1隔壁膜1003の撥液成分の濃度は、表面から内部に向かって漸減したものとなる。
図1の(b)部分に示すように、基板1上における、第1電極2が露出するように規定される第1開口部7のパターンに合わせて、マスク10を配置して、選択的に露光11を行う。
上記のように、露光現像処理を行った後、第1隔壁3に対して、例えば200℃の温度にて熱処理を施すことにより、第1隔壁3の表面に吸着した余分な溶液などを蒸発させることができる。
次に、図1の(d)部分および(e)部分に示すように、有機電子デバイスの用途に応じて規定される第1有機機能膜5を構成する。第1有機機能膜5の形成に際しては、先ず、有機機能材料と溶媒とを所定比率で混合し、第1有機機能膜を形成するためのインクを調整する。
次に、図2の(a)部分から(c)部分に示すように、第1隔壁3の上に第2隔壁4を積層形成する。本実施形態における第2隔壁形成工程では、第1隔壁形成工程と同様にして、第2隔壁4を構成する隔壁材料として、撥液剤を含む感光性樹脂材料を選択的に用い、その形成に際してフォトリソグラフィー法を用いる。ただし、第2隔壁4の形成の際の現像サブ工程で用いる現像液には、第1隔壁形成工程と異なり、水系現像液を用いる。
図2の(a)部分に示すように、第1隔壁3の上面および第1有機機能膜5の表面を覆うように、例えば、スピンコート法を用いて、第2隔壁4を形成するための材料を含む第2隔壁膜1004を堆積させる。第2隔壁膜の膜厚は、例えば、1500nm程度とする。
上記のように堆積した第2隔壁膜1004に対して、例えば、100℃程度の温度にて熱処理を施す。この熱処理により、隔壁材料に含有された撥液成分は、第2隔壁膜1004の表面に向かって熱拡散する。よって、熱処理後における第2隔壁膜1004では、撥液成分の分布濃度が、表面から内部に向かって漸減した状態となる。
図2の(b)部分に示すように、第1開口部7の開口よりも大きいサイズで規定される露光パターンが形成されたマスク13を配置して、選択的に露光14を行う。ここで用いるマスク13の露光パターンは、第2隔壁4における第2開口部8の底の周縁4cが、平面視において、第1隔壁3における第1開口部7の底の周縁3cよりも後退した位置となるようなパターンとする。
上記のように露光現像処理を行った後、第2隔壁4に対して、例えば200℃の温度にて熱処理を施すことにより、第2隔壁4の表面に吸着した余分な溶液などを蒸発させることができる。
次に、第2有機機能膜6が備えるべき機能に応じた有機機能材料を準備し、当該有機機能材料と溶媒とを所定比率で混合し、第2有機機能膜6を形成するためのインクを調整する。調整した当該インクを、例えば、インクジェット法を用いて、インクジェットヘッド15からインク液滴として、第2開口部8の開口から内部へと滴下して、図2の(d)部分に示すように、第1有機機能膜の露出した表面を被覆するように液状体1006を塗布する。そして、図2の(e)部分に示すように、液状体1006に含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成することにより、第2有機機能膜6を形成することができる。
続いて、図2の(e)部分に示すように、第2有機機能膜6上、および第2隔壁4の露出表面(上面と側壁表面の一部と)に、例えば真空蒸着法またはスパッタリング法を用いて、金属材料からなる第2電極9を形成する。
2.効果
本実施の形態に係る有機電子デバイス71の製造方法を採用することで得られる効果について、図3を用いて説明する。図3は、上記製造方法を採用することで得られる有機電子デバイス71の一部構成を示す模式部分断面図である。
1.有機ELデバイス70の構成
本実施の形態に係る有機ELデバイスの製造方法についての説明を行う前に、当該製造方法を用いて製造しようとする有機ELデバイス70の構成について、図4を用い説明する。図4は、本発明の実施の形態に係る製造方法を用いて製造しようとする有機ELデバイス70の一部構成を示す模式部分断面図である。
基板44における基板本体部40は、有機ELデバイス70における背面基板であり、その表面には有機ELデバイス70をアクティブマトリクス方式で駆動するためのTFT(薄膜トランジスタ)を含むTFT層41が形成されている。TFT層41には、各TFTに対して外部から電力を供給するための給電電極42が形成されている。
平坦化膜43をZ軸方向に挿通して設けられたコンタクトホール54は、給電電極42と画素電極45とを電気的に接続するために設けられ、平坦化膜43のZ軸方向上面から下面まで挿通するように形成されている。コンタクトホール54は、X軸方向に配列されている開口部55同士の各間に位置するように形成されており、画素電極45が敷設されても残る凹部が第1隔壁46の一部で埋設された構成となっている。このように、第1隔壁46により残る凹部を埋めて平坦化しているのでは、コンタクトホール54がそのまま凹部として残って平坦化されないことでの、発光ムラ等の発生を避けるためである。
本実施の形態における画素電極45は陽極であり、有機EL素子60毎(各発光部毎)に対応し、開口部55内に形成される一の発光層51毎に形成されている。画素電極45は上記各態様に係る「第1電極」に相当する。
第1隔壁46および第2隔壁47から構成される隔壁層は、発光層51を形成する際、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各色に対応する発光層材料と溶媒を含むインク(液状体)が互いに混入することを防止する目的で設けられる。
正孔注入層48は、画素電極45から発光層51への正孔の注入を促進させる目的で設けられている。
正孔輸送層49は、画素電極45から注入された正孔の発光層51への正孔注入特性を調整する目的で設けられている。
発光層51は、正孔と電子の再結合により電界発光現象を生じる層であり、赤色(R),緑色(G),青色(B)のいずれかの色の波長域の光をキャリアの再結合により出射する発光層材料を含むように構成されている。
電子輸送層52は、陰極である共通電極52から注入された電子を発光層51へ効率よく輸送する目的で設けられる。電子輸送層52を、例えば、CT(Charge Transfer)錯体などの電子注入性を有するn型ドーパント材料と電子輸送性を有するホスト材料とで構成することが可能であり、この場合には、良好な電子輸送性を実現することが可能である。
共通電極53は陰極であり、上記各態様に係る「第2電極」に相当する。
なお、図4では図示を省略しているが、共通電極53のZ軸方向上方には、発光層51の劣化を抑制する目的で、当該発光層51への水分や空気等の浸入を抑制するために封止層が設けられている。本実施の形態に係る製造方法が対象とする有機ELデバイス70はトップエミッション型のデバイスであるため、封止層の形成に用いる材料としては、例えばSiN(窒化シリコン)、SiON(酸窒化シリコン)等の透光性材料を選択することが望ましい。
2.各部の構成材料
次に、上記で説明した各部を構成するための材料を例示する。なお、以下に記載する材料は、あくまでも一例であり、これ以外の材料を用いることも勿論可能である。
基板本体部40の構成材料としては、例えば、無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、アルミナ等の絶縁性材料などを用いることができる。
平坦化膜43の構成材料としては、例えば、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂などを用いることができる。
画素電極45の構成材料としては、例えば、Ag(銀)、Al(アルミニウム)、銀とパラジウムと銅との合金、銀とルビジウムと金との合金、MoCr(モリブデンとクロムの合金)、NiCr(ニッケルとクロムの合金)、ITO(酸化インジウムスズ)、IZO(酸化インジウム亜鉛)などを用いることができる。
第1隔壁46および第2隔壁47の構成材料としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などを用いることができる。
正孔注入層48の構成材料としては、例えば、MoOx(酸化モリブデン)、WOx(酸化タングステン)又はMoxWyOz(モリブデン-タングステン酸化物)等の金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物などを用いることができる。
正孔輸送層49の構成材料としては、例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体およびピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体などを用いることができる。
発光層51の構成材料としては、例えば、F8-F6(F8(ポリジオクチルフルオレン)とF6(ポリジヘキシルフルオレン)との共重合体)のほか、オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物およびアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体およびピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、8-ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、2-ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とIII族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質などを用いることができる。
電子輸送層52の構成材料としては、例えば、フッ化リチウム、フッ化ナトリウム等のアルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、n型ドーパント材料としてのアルカリ金属、アルカリ土類金属等とホスト材料としてのBCP(バソキュプロイン)やBphen(バソフェナントロリン)、Alq3(トリス(8-キノリノラト)アルミニウム)、NTCDA(ナフタレンテトラカルボン酸二無水物)等とからの構成物質などを用いることができる。
共通電極53の構成材料としては、例えば、ITO、IZO、又はAlなどの単体金属などを用いることができる。
3.有機ELデバイス70の製造方法
本実施の形態に係る有機ELデバイス70の製造方法について、図5および図6を用いて説明する。図5および図6は、本実施の形態に係る有機ELデバイス70の製造過程を示す模式的な断面図である。
図5の(a)部分に示すように、TFT層41および給電電極42が形成された基板本体部40を準備する。
図5の(c)部分に示すように、基板44上に、真空蒸着法またはスパッタリング法を用いて、金属材料からなる画素電極45を形成する。画素電極45は、150nm程度の金属層を構成に含むように形成され、画素単位で区画されている。なお、画素電極45は平坦化膜43におけるコンタクトホール54を臨む側壁表面にも沿って形成され、各給電電極42と電気接続される。
上記実施の形態1における<第1隔壁形成工程>と同様の工程を実行することにより、第1隔壁46を形成する。図5の(d)部分に示すように、第1隔壁46は、複数の第1開口部55を規定し、各開口部55の底部には、画素電極45が露出する。
上記実施の形態1における<第1有機機能膜成膜工程>と同様の工程を実行することにより、各第1開口部55の内部に正孔注入層48を形成する。図5の(e)部分に示すように、各第1開口部55内において、正孔注入層48は、画素電極45の上面に接する。
次に、上記実施の形態1における<第2隔壁形成工程>と同様の工程を実行することにより、各第1隔壁46の上面に第2隔壁47をそれぞれ積層形成する。図6の(a)部分に示すように、本実施の形態においても、第2隔壁47の断面における底面のサイズは、第1隔壁46の断面における上面のサイズよりも小さくなるように設定されている。
次に、上記実施の形態1における<第2有機機能膜成膜工程>と同様の工程を実行することにより、正孔注入層48上に正孔輸送層49を形成する。図6の(b)部分に示すように、正孔輸送層49は、正孔注入層48の表面全体を覆うように形成され、第1隔壁46および第2隔壁47の各側壁表面の一部に接する。
次に、発光層51を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、有機発光層用インクを調整する。そして、調整したインクを、例えば、インクジェット法を用いて、インクジェットヘッドからインク液滴として第2開口部56の内部へと滴下して、正孔輸送層49の表面全体を被覆するようにインク液状体を塗布形成する。
次に、電子輸送層52を構成する材料と溶媒を所定比率で混合し、電子輸送層52を形成するためのインクを調整する。そして、調整したインクを、例えば、インクジェット法を用いて、インクジェットヘッドからインク液滴として第2開口部56の内部へと滴下して、発光層51の表面全体を被覆するようにインク液状体を塗布形成する。
次に、例えば、真空蒸着法またはスパッタリング法を用いて、図6の(d)部分に示すように、第2隔壁47の上面および電子輸送層52の表面全体を覆うように、金属酸化物材料からなる共通電極53を形成する。
上記各態様に係る有機電子デバイスの製造方法および有機ELデバイスの製造方法の技術的な主たる特徴は、第1隔壁形成工程を実行した後であって、第2隔壁形成工程を実行する前に、第1有機機能膜成膜工程を実行することにある。このような工程順を順守した製造方法を採用することにより、隔壁における開口部を臨む側壁表面を第1有機機能膜が這い上がる現象を確実に抑制することができる。よって、上記のような製造方法を採用すれば、間に介挿されるべき第2有機機能膜を介さず、第1有機機能膜と第2電極との間でのリーク電流路が形成されてしまうという事態を確実に抑制することができる。
[その他]
以上、本発明の実施の形態に係る有機電子デバイスの製造方法および有機ELデバイスの製造方法について具体的に説明してきたが、上記実施の形態では、本発明の構成および作用・効果を分かり易く説明するために用いた例示であって、本発明は、その本質的な部分を備える限りにおいて、上記実施の形態に限定されない。
(適用対象)
本発明の有機電子デバイスの製造方法が適用対象とする有機電子デバイスは、上記実施の形態2の有機ELデバイスに限定されるものではない。例えば、有機ELデバイスの他には、例えば、有機薄膜トランジスタなどを適用対象とすることができる。具体的には、ドレイン電極ないしはソース電極とゲート電極とを一対の電極となして、当該一対の電極間に介層される有機半導体層を第1有機機能膜、ゲート絶縁体層を第2有機機能膜として、本発明を有用に利用することができる。このように、一対の電極間に、第1有機機能膜および第2有機機能膜が介挿された積層体をもつ有機電子デバイスに適用可能であって、上記同様の効果を得ることができる。
上記実施の形態1では、第1有機機能膜を、第1隔壁の側壁表面の一部を被覆するように、即ち、第1有機機能膜の上端縁が第1隔壁の側壁表面の上端よりも下側になるように成膜している。
上記実施の形態1では、第2有機機能膜を、第2隔壁の側壁表面の一部を被覆するように成膜することとしている。
上記実施の形態1では、第2隔壁を、第1隔壁の上面に対して、その一部を露出させるように形成することとしている。
(第1電極形成工程および第2電極形成工程)
上記実施の形態2においては、トップエミッション型の有機ELデバイスを製造対象として、その製造方法を説明した。これより、上記実施の形態2では、第2電極形成工程において、ITOやIZOなどの光透過性膜、あるいはアルミニウム(Al)などの金属材料からなり、膜厚が極薄い光透過性膜を共通電極として形成することとした。
上記実施の形態2においては、正孔注入層と正孔輸送層とからなる積層体を第1有機機能膜として説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、正孔注入層だけを第1有機機能膜としてもよく、あるいは、電子注入層と電子輸送層とからなる積層体を第1有機機能膜とし、第2機能層である発光層上に正孔輸送層および正孔注入層を順次積層させることも可能である。
2.第1電極
3,46.第1隔壁
4,47.第2隔壁
5.第1有機機能膜
6.第2有機機能膜
7、55.第1開口部
8,56.第2開口部
9.第2電極
45.画素電極
48.正孔注入層
49.正孔輸送層
50.第1機能層
51.第2機能層
53.共通電極
70.有機ELデバイス
71.有機電子デバイス
Claims (8)
- 基板上に第1電極を形成する第1電極形成工程と、
前記基板上に、第1開口部を規定する第1隔壁を、前記第1開口部の底に前記第1電極の少なくとも一部が露出するように形成する第1隔壁形成工程と、
前記第1開口部内に第1有機材料を含む第1インク液滴を滴下して、第1有機機能膜を成膜する第1有機機能膜成膜工程と、
前記第1有機機能膜形成工程を実行した後、前記第1隔壁上に、前記第1開口部に連通する第2開口部を規定する第2隔壁を形成する第2隔壁形成工程と、
前記第2開口部の開口から、前記第1有機材料とは異なる第2有機材料を含む第2インク液滴を滴下して、露出している前記第1有機機能膜の表面を被覆するように、第2有機機能膜を成膜する第2有機機能膜成膜工程と、
前記第2有機機能膜上に第2電極を形成する第2電極形成工程と、
を備え、
前記第2隔壁形成工程では、平面視において、前記第2隔壁における前記第2開口部を臨む側壁の底部端縁が、前記第1隔壁における前記第1開口部を臨む側壁の底部端縁と同位置あるいは当該底部端縁よりも後退した位置になるように、前記第2隔壁を形成し、
前記第2有機機能膜形成工程では、前記第2開口部内における前記第2有機機能膜の上端縁が、前記第2隔壁における前記第2開口部を臨む側壁の底部端縁と同位置あるいは当該底部端縁よりも上方となるように、前記第2インク液滴を滴下する
ことを特徴とする有機電子デバイスの製造方法。 - 前記第1隔壁形成工程は、
前記基板上に第1隔壁材料を含む第1隔壁膜を形成するサブ工程と、
前記第1隔壁膜の一部を選択的に露光し、第1現像液を用いて前記第1隔壁膜を現像して前記第1開口部をあけるサブ工程と、
を備え、
前記第2隔壁形成工程は、
前記第1隔壁上および前記第1有機機能膜上に、第2隔壁材料を含む第2隔壁膜を形成するサブ工程と、
前記第2隔壁膜の一部を選択的に露光し、第2現像液を用いて前記第2隔壁膜を現像して前記第2開口部をあけるサブ工程と、
を備え、
前記第2隔壁形成工程における前記第2隔壁膜を形成するサブ工程では、前記第2隔壁材料として、前記第1有機機能膜がエッチング耐性を有する前記第2現像液を用いエッチングが可能な材料を選択的に使用する
ことを特徴とする請求項1に記載の有機電子デバイスの製造方法。 - 前記第1隔壁形成工程における前記第1開口部をあけるサブ工程では、前記第1現像液として、アルカリ性現像液を使用し、
前記第2隔壁形成工程における前記第2開口部をあけるサブ工程では、前記第2現像液として、水系現像液を使用する
ことを特徴とする請求項2に記載の有機電子デバイスの製造方法。 - 前記第1隔壁形成工程は、前記第1隔壁に対してその表面に撥液処理を施す第1撥液処理サブ工程を含み、
前記第2隔壁形成工程は、前記第2隔壁に対してその表面に撥液処理を施す第2撥液処理サブ工程を含み、
前記第1撥液処理サブ工程では、前記第1隔壁の上面の前記第1インク液滴に対する第1接触角が、前記第1隔壁の前記第1開口部を臨む側壁表面の前記第1インク液滴に対する第2接触角よりも大きくなるように、前記第1隔壁に対して前記撥液処理を施し、
前記第2撥液処理サブ工程では、前記第2隔壁の上面の前記第2インク液滴に対する第3接触角が、前記第2隔壁の前記第2開口部を臨む側壁表面の前記第2インク液滴に対する第4接触角よりも大きくなるように、前記第2隔壁に対して前記撥液処理を施す
ことを特徴とする請求項1から請求項3の何れかに記載の有機電子デバイスの製造方法。 - 前記第1撥液処理サブ工程と前記第2撥液処理サブ工程とは、前記第2接触角、前記第1接触角、前記第4接触角、前記第3接触角の順に接触角が大きくなるように、前記第1隔壁および前記第2隔壁の各々に対して前記撥液処理を施す
ことを特徴とする請求項4に記載の有機電子デバイスの製造方法。 - 前記第1隔壁形成工程では、前記第1隔壁膜を形成するサブ工程において、撥液性を有する前記第1隔壁材料を用いることにより、その表面が撥液性を有する前記第1隔壁を形成し、
前記第2隔壁形成工程では、前記第2隔壁膜を形成するサブ工程において、撥液性を有する前記第2隔壁材料を用いることにより、その表面が撥液性を有する前記第2隔壁を形成する
ことを特徴とする請求項2に記載の有機電子デバイスの製造方法。 - 前記第1有機機能膜成膜工程では、その上端縁が前記第1隔壁の上面に到達しないように、前記第1有機機能膜を形成する
ことを特徴とする請求項1から請求項6の何れかに記載の有機電子デバイスの製造方法。 - 基板上に第1電極を形成する第1電極形成工程と、
前記基板上に、第1開口部を規定する第1隔壁を、前記第1開口部の底に前記第1電極の少なくとも一部が露出するように形成する第1隔壁形成工程と、
前記第1開口部内に第1有機材料を含む第1インク液滴を滴下して、第1有機機能膜を成膜する第1有機機能膜成膜工程と、
前記第1有機機能膜形成工程を実行した後、前記第1隔壁上に、前記第1開口部に連通する第2開口部を規定する第2隔壁を形成する第2隔壁形成工程と、
前記第2開口部の開口から、前記第1有機材料とは異なる第2有機材料を含む第2インク液滴を滴下して、露出している前記第1有機機能膜の表面を被覆するように、第2有機機能膜を成膜する第2有機機能膜成膜工程と、
前記第2有機機能膜上に第2電極を形成する第2電極形成工程と、
を備え、
前記第2隔壁形成工程では、平面視において、前記第2隔壁における前記第2開口部を臨む側壁の底部端縁が、前記第1隔壁における前記第1開口部を臨む側壁の底部端縁と同位置あるいは当該底部端縁よりも後退した位置になるように、前記第2隔壁を形成し、
前記第2有機機能膜形成工程では、前記第2開口部内における前記第2有機機能膜の上端縁が、前記第2隔壁における前記第2開口部を臨む側壁の底部端縁と同位置あるいは当該底部端縁よりも上方となるように、前記第2インク液滴を滴下し、
前記第1有機機能膜形成工程では、キャリア注入層およびキャリア輸送層の積層体を、前記第1有機機能膜として成膜し、
前記第2有機機能膜形成工程では、正孔と電子の再結合により電界発光現象を生じる発光層を、前記第2有機機能膜として成膜する
ことを特徴とする有機ELデバイスの製造方法。
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NENP | Non-entry into the national phase |
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122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
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