JP5899531B2 - 有機ｅｌ素子の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。

近年、固体蛍光性物質の電界発光現象を利用した発光素子である有機ＥＬ素子の研究・開発が進んでいる。有機ＥＬ素子は自発光を行うため視認性が高く、さらに完全固体素子であるため耐衝撃性に優れるなどの特徴を有する。有機ＥＬ素子は画素電極（陽極）および共通電極（陰極）の電極対の間に、キャリア（正孔と電子）の再結合による電界発光現象を行う有機発光層を含む機能層を積層して構成される。

上記機能層の製法の例として、蒸着方式と塗布方式（例えば、特許文献１）が存在する。塗布方式では、機能層材料を溶媒に溶解させてインク（塗布液）とし、そのインクをインクジェット法（液滴吐出法）等で基板上に塗布する。塗布後はインクから溶媒を蒸発乾燥させて有機発光層を形成する。したがって、塗布方式においてはプロセスを真空容器中で行なう必要がなく、量産化の点で好ましいとされている。

特開２００９−２６７２９９号公報

ところで、有機ＥＬ素子の発光特性は機能層における断面形状（以下、単に「機能層の膜形状」と記載する。）に敏感であるため、機能層を塗布方式で形成する際には、目標とする発光特性に応じた膜形状の機能層を形成することが求められる。
しかしながら、機能層の膜形状は、インクの沸点、表面張力、粘度といったインク物性によって変化し易いうえに、これらの物性間の相互関係が不明であるため、機能層の膜形状をコントロールすることは容易ではない。そこで、所望の膜形状を有する機能層を簡便に形成することができる技術が求められている。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、目標とする発光特性に応じた膜形状の機能層を簡便に形成することが可能な有機ＥＬ素子の製造方法の提供を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法は、第１電極が形成された素子基板を準備する素子基板準備工程と、機能層を構成する機能層材料と第１溶媒を溶媒として少なくとも含む機能層用インクを、前記第１電極上に塗布し、前記第１溶媒を蒸発乾燥させることにより前記機能層を形成する機能層形成工程と、前記機能層の上方に第２電極を形成する第２電極形成工程と、を含み、前記第１溶媒は、前記機能層材料と第２溶媒を溶媒として少なくとも含む試料用インクを試料用基板に塗布し、前記第２溶媒を蒸発乾燥させることにより試料用機能層を形成し、前記機能層を所望の断面形状とするための粘度が、前記第２溶媒の粘度から上昇させる方向にあるのか又は低下させる方向にあるのかを、前記第２溶媒の粘度、前記試料用機能層の断面形状および前記所望の断面形状との関係に基づき求め、前記第２溶媒と同等の沸点と表面張力であり、かつ、前記求めた方向にある粘度を有する溶媒として選択されたものである。

インクの沸点、表面張力、粘度といったインク物性はそれぞれ、インクに含まれる溶媒の沸点、表面張力、粘度に依存する。そこで、本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法では、機能層用インクに含まれる第１溶媒を以下の手順に沿って決定する。まず、第２溶媒を含む試料用インクにより試料用機能層を形成する。その上で、機能層を所望の断面形状とするための粘度が、第２溶媒の粘度から上昇させる方向にあるのか又は低下させる方向にあるのかを求める。そして、第２溶媒と同等の沸点と表面張力であり、かつ、上記求めた方向にある粘度を有する溶媒を第１溶媒として選択することにより、最終的に第１溶媒が決定される。

すなわち、本発明の一態様では、インク物性に影響する溶媒の沸点、表面張力、粘度のうち沸点および表面張力を可能な限り維持しながら、粘度のみが調整されるように溶媒を選択する。よって、沸点、表面張力、粘度の３要件を調整する場合と比較して、所望の膜形状を有する機能層を容易に形成することが可能になる。
したがって、本発明によれば、目標とする発光特性に応じた膜形状の機能層を簡便に形成することが可能な有機ＥＬ素子の製造方法の提供することができる。

実施の態様に係る有機ＥＬ表示パネルの構成を示す部分断面図である。 実施の態様に係る有機ＥＬ表示パネルの隔壁層の形状を示す模式図である。 実施の態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。 実施の態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。 塗布工程における溶媒の蒸発乾燥過程を説明するための模式断面図である。 駆動力と制動力の大小と、膜形状との関係を説明するための図である。 インクの粘度、溶媒の沸点、溶媒の表面張力の関係を示した図（インク物性マップ）である。 実施の態様における有機発光層用インクの構造を模式的に示す図である。 粘度調整済溶媒を決定するための手順を説明するための図である。 粘度調整済溶媒を決定するための手順を説明するための図である。 溶媒の粘度と膜形状との関係を示す図（膜形状マップ）である。 膜形状マップの作成方法を説明するための図である。 主骨格とこれに結合した置換基を有する各溶媒において、置換基を変更した場合の粘度の変化を示す図である。 本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置等を示す斜視図である。 本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置１０００の全体構成を示す図である。 本発明の一態様に係る有機ＥＬ発光装置２００を示す図である。

≪本発明の一態様の概要≫
本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法は、第１電極が形成された素子基板を準備する素子基板準備工程と、機能層を構成する機能層材料と第１溶媒を溶媒として少なくとも含む機能層用インクを、前記第１電極上に塗布し、前記第１溶媒を蒸発乾燥させることにより前記機能層を形成する機能層形成工程と、前記機能層の上方に第２電極を形成する第２電極形成工程と、を含み、前記第１溶媒は、前記機能層材料と第２溶媒を溶媒として少なくとも含む試料用インクを試料用基板に塗布し、前記第２溶媒を蒸発乾燥させることにより試料用機能層を形成し、前記機能層を所望の断面形状とするための粘度が、前記第２溶媒の粘度から上昇させる方向にあるのか又は低下させる方向にあるのかを、前記第２溶媒の粘度、前記試料用機能層の断面形状および前記所望の断面形状との関係に基づき求め、前記第２溶媒と同等の沸点と表面張力であり、かつ、前記求めた方向にある粘度を有する溶媒として選択されたものである。

本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法の特定の局面では、前記第２溶媒は、主骨格とこれに結合した置換基からなり、前記第１溶媒は、前記第２溶媒の前記主骨格と同一の主骨格を有する溶媒の中から選択される。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法の特定の局面では、前記機能層用インクには、さらに、第３溶媒が含まれ、前記機能層材料は、前記第１溶媒および前記第３溶媒に溶解している。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法の特定の局面では、前記機能層用インクには、さらに、第３溶媒が含まれ、前記機能層材料および前記第１溶媒は前記第３溶媒に溶解している。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法の特定の局面では、前記機能層用インクに含まれる溶媒は、前記第１溶媒のみである。

本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルは、上記本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法により製造された有機ＥＬ素子を用いたものである。
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置は、上記本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法により製造された有機ＥＬ素子を用いたものである。
本発明の一態様に係る有機ＥＬ発光装置は、上記本発明の一態様に係る有機ＥＬ素子の製造方法により製造された有機ＥＬ素子を用いたものである。

≪実施の態様≫
［全体構成］
図１は、実施の態様に係る有機ＥＬ表示パネル１００の構成を示す部分断面図である。有機ＥＬ表示パネル１００は、複数の有機ＥＬ素子１５が配されてなる。本実施の態様における有機ＥＬ表示パネル１００は、同図上側を表示面とする、いわゆるトップエミッション型である。

図１に示すように、基板１上には、ＴＦＴ層２、給電電極３、平坦化膜４、画素電極６、正孔注入層９が順次積層されている。正孔注入層９の上には、有機発光層１１の形成領域となる複数の開口部１７が形成された隔壁層７が設けられている。開口部１７の内部では、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、共通電極１４が順次積層されている。本実施の態様においては、正孔輸送層１０および有機発光層１１が本発明における機能層に相当する。

＜基板、ＴＦＴ層、給電電極＞
基板１は有機ＥＬ表示パネル１００における背面基板であり、その表面には有機ＥＬ表示パネル１００をアクティブマトリクス方式で駆動するためのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を含むＴＦＴ層２が形成されている。ＴＦＴ層２の上面には、各ＴＦＴに対して外部から電力を供給するための給電電極３が形成されている。

＜平坦化膜＞
平坦化膜４は、ＴＦＴ層２および給電電極３が配設されていることにより生じる表面段差を平坦に調整するために設けられており、絶縁性に優れる有機材料で構成されている。
＜コンタクトホール＞
コンタクトホール５は、給電電極３と画素電極６とを電気的に接続するために設けられ、平坦化膜４の表面から裏面にわたって形成されている。コンタクトホール５は、Ｙ方向に配列されている開口部１７の間に位置するように形成されており、隔壁層７により覆われた構成となっている。コンタクトホール５が隔壁層７により覆われていない場合には、コンタクトホール５の存在により、有機発光層１１が平坦な層とはならず、発光ムラ等の原因となる。これを避けるため、上記のような構成としている。

＜画素電極＞
画素電極６は陽極であり、開口部１７に形成される一の有機発光層１１毎に形成されている。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、画素電極６の材料としては高反射性材料が選択されている。画素電極６は本発明の第１電極に相当し、画素電極６が形成された状態の基板１が本発明の素子基板に相当する。

＜正孔注入層＞
正孔注入層９は、画素電極６から有機発光層１１への正孔の注入を促進させる目的で設けられている。
＜隔壁層＞
隔壁層７は、有機発光層１１を形成する際、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する有機発光層材料（本発明の機能層材料に相当する。）と溶媒を含むインクが互いに混入することを防止する機能を果たす。

コンタクトホール５の上方を覆うように設けられている隔壁層７は、全体的にはＸＹ平面またはＹＺ平面に沿った断面が台形の断面形状を有している。
図２は有機ＥＬ表示パネル１００を表示面側から見た隔壁層７の形状を模式的に示す図であり、説明の都合上、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、共通電極１４を取り除いた状態を示している。また、図１の部分断面図は、図２におけるＡ−Ａ’断面図に相当する。

まず、図２に示すように、有機ＥＬ表示パネル１００は、Ｒに対応する有機ＥＬ素子１５Ｒ、Ｇに対応する有機ＥＬ素子１５Ｇ、Ｂに対応する有機ＥＬ素子１５ＢがＸＹ方向に（行列状に）複数配列されてなる。有機ＥＬ素子１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂがそれぞれサブピクセルであり、当該有機ＥＬ素子１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。

隔壁層７に設けられた開口部１７は、有機ＥＬ素子１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂに対応してＸＹ方向に複数配列されている。開口部１７は、有機発光層１１が形成される領域であり、有機発光層１１の配置および形状は、開口部１７の配置および形状により規定される。開口部１７はＹ方向に長辺を有する矩形状であり、例えば、Ｘ方向（行方向）に沿った辺が約３０〜１３０［μｍ］、Ｙ方向（列方向）に沿った辺が約１５０〜６００［μｍ］の寸法で形成されている。

開口部１７には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色に対応する開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂがある。開口部１７ＲにはＲ、開口部１７ＧにはＧ、開口部１７ＢにはＢにそれぞれ対応する有機発光層１１が形成される。つまり、開口部１７Ｒが有機ＥＬ素子１５Ｒに、開口部１７Ｇが有機ＥＬ素子１５Ｇに、開口部１７Ｂが有機ＥＬ素子１５Ｂにそれぞれ対応することになる。また、開口部１７はＲ，Ｇ，Ｂの色単位に列毎に配列されており、同一列に属する開口部１７は同色に対応する開口部である。

コンタクトホール５は、Ｙ方向に配列された開口部１７の間、すなわち隔壁層７の下部に位置している。なお、上記で画素電極６は開口部１７に形成される一の有機発光層１１毎に形成されていることを述べたが、これはすなわち、画素電極６がサブピクセル毎に設けられていることを意味する。
＜正孔輸送層＞
図１の部分断面図に戻り、正孔輸送層１０は、画素電極６から注入された正孔を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。

＜有機発光層＞
有機発光層１１は、キャリアの再結合による発光を行う部位であり、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれかの色に対応する有機発光層材料を含むように構成されている。開口部１７ＲにはＲに対応する有機発光層材料、開口部１７ＧにはＧに対応する有機発光層材料、開口部１７ＢにはＢに対応する有機発光層材料をそれぞれ含む有機発光層１１が形成される。

本実施形態に係る正孔輸送層１０および有機発光層１１は、目標とする発光特性に応じた膜形状を有するように形成されたものである。そのため、このような正孔輸送層１０および有機発光層１１を有する有機ＥＬ素子１５が配されてなる有機ＥＬ表示パネル１００は、発光特性が良好である。目標とする発光特性に応じた膜形状を有するように、正孔輸送層１０および有機発光層１１を形成する方法は後ほど詳細に説明する。

＜電子輸送層＞
電子輸送層１２は、共通電極１４から注入された電子を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。
＜電子注入層＞
電子注入層１３は、共通電極１４から有機発光層１１への電子の注入を促進させる機能を有する。

＜共通電極＞
共通電極１４は陰極であり、本発明における第２電極に相当する。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、共通電極１４の材料としては光透過性材料が選択されている。
＜その他＞
図１には図示しないが、共通電極１４の上には、有機発光層１１が水分や空気等に触れて劣化することを抑制する目的で封止層が設けられる。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、封止層の材料としては、例えばＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）等の光透過性材料を選択する。

また、画素電極６と正孔注入層９との間に、各層間の接合性を良好にする目的でＩＴＯ層（酸化インジウムスズ層）、ＩＺＯ層（酸化インジウム亜鉛層）が設けられることもある。さらに、各開口部１７に形成される有機発光層１１を、すべて同色の有機発光層とすることもできる。
＜各層の材料＞
次に、上記で説明した各層の材料を例示する。言うまでもなく、以下に記載した材料以外の材料を用いて各層を形成することも可能である。

基板１：無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、アルミナ等の絶縁性材料
平坦化膜４：ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂
画素電極６：Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）、銀とパラジウムと銅との合金、銀とルビジウムと金との合金、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）
隔壁層７：アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂
有機発光層１１：Ｆ８−Ｆ６（Ｆ８（ポリジオクチルフルオレン）とＦ６（ポリジヘキシルフルオレン）との共重合体）のほか、特開平５−１６３４８８号公報に記載のオキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物およびアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体およびピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質
正孔注入層９：ＭｏＯｘ（酸化モリブデン）、ＷＯｘ（酸化タングステン）又はＭｏｘＷｙＯｚ（モリブデン−タングステン酸化物）等の金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物
正孔輸送層１０：トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体およびピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
電子輸送層１２：バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム
電子注入層１３：ニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体、ジフェキノン誘導体、ペリレンテトラカルボキシル誘導体、アントラキノジメタン誘導体、フレオレニリデンメタン誘導体、アントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリノン誘導体、キノリン錯体誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
共通電極１４：ＩＴＯ、ＩＺＯ
［製造方法］
ここでは、先に有機ＥＬ素子１５および有機ＥＬ表示パネル１００の全体的な製造方法を例示する。その後、塗布工程により成膜された機能層の膜形状、ならびに塗布工程で用いる機能層用インクについての詳細を説明する。

＜概略＞
まず、ＴＦＴ層２および給電電極３が形成された基板１を準備する（図３（ａ））。
その後、フォトレジスト法に基づき、ＴＦＴ層２および給電電極３の上に絶縁性に優れる有機材料を用いて、厚み約４［μｍ］の平坦化膜４を形成する。このとき、コンタクトホール５をＹ方向に隣接する各開口部１７の間の位置に合わせて形成する（図３（ｂ））。所望のパターンマスクを用いたフォトレジスト法を行うことで、平坦化膜４とコンタクトホール５を同時に形成することができる。なお、当然ながらコンタクトホール５の形成方法はこれに限定されない。例えば、一様に平坦化膜４を形成した後、所定の位置の平坦化膜４を除去して、コンタクトホール５を形成することもできる。

続いて、真空蒸着法またはスパッタ法に基づき、厚み１５０［ｎｍ］程度の金属材料からなる画素電極６を、給電電極３と電気接続させながら、サブピクセル毎に形成する。このように、基板１の上方に画素電極６を形成することにより、素子基板を準備する。この素子基板を準備する工程が、本発明の素子基板準備工程に相当する。
続いて、反応性スパッタ法に基づき、正孔注入層９を形成する（図３（ｃ））。

次に、隔壁層７をフォトリソグラフィー法に基づいて形成する。まず隔壁層材料として、感光性レジストを含むペースト状の隔壁層材料を用意する。この隔壁層材料を正孔注入層９上に一様に塗布する。この上に、図２に示した開口部１７のパターンに形成されたマスクを重ねる。続いてマスクの上から感光させ、隔壁層パターンを形成する。その後は、余分な隔壁層材料を水系もしくは非水系エッチング液（現像液）で洗い出す。これにより、隔壁層材料のパターニングが完了する。以上で有機発光層形成領域となる開口部１７が規定されるとともに、表面が少なくとも撥水性の隔壁層７が完成する（図３（ｄ））。

なお、隔壁層７の形成工程においては、さらに、後の工程において開口部１７に塗布する正孔輸送層用インクおよび有機発光層用インクに対する隔壁層７の接触角を調節する、もしくは、表面に撥水性を付与するために隔壁層７の表面を所定のアルカリ性溶液や水、有機溶媒等によって表面処理するか、プラズマ処理を施すこととしてもよい。
次に、正孔輸送層１０を構成する正孔輸送層材料と溶媒を所定比率で混合し、正孔輸送層用インクを調製する。正孔輸送層材料は本発明の機能層材料に相当し、正孔輸送層用インクは本発明の機能層用インクに相当する。この正孔輸送層用インクをヘッド部３０１に供給し、塗布工程に基づき、各開口部１７に対応するノズル３０３０から、正孔輸送層用インクからなる液滴１８を吐出する（図３（ｅ））。その後、正孔輸送層用インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると正孔輸送層１０が形成される（図４（ａ））。

次に、有機発光層１１を構成する有機発光層材料と溶媒を所定比率で混合し、有機発光層用インクを調製する。有機発光層用インクは本発明の機能層用インクに相当する。この有機発光層用インクも、正孔輸送層用インクと同様に、この有機発光層用インクをヘッド部３０１に供給し、塗布工程に基づき、開口部１７に対応するノズル３０３０から、有機発光層用インクからなる液滴１９を吐出する（図４（ｂ））。その後、有機発光層用インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると有機発光層１１が形成される（図４（ｃ））。正孔輸送層１０および有機発光層１１を形成する工程が、本発明における機能層形成工程に相当する。

次に、有機発光層１１の表面に、電子輸送層１２を構成する材料を真空蒸着法に基づいて成膜する。これにより、電子輸送層１２が形成される。続いて、電子注入層１３を構成する材料を蒸着法、スピンコート法、キャスト法などの方法により成膜し、電子注入層１３が形成される。そして、ＩＴＯ、ＩＺＯ等の材料を用い、真空蒸着法、スパッタ法等で成膜する。これにより共通電極１４が形成される（図４（ｄ））。共通電極１４を形成する工程が、本発明における第２電極形成工程に相当する。

なお、図示しないが、共通電極１４の表面には、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ等の光透過性材料をスパッタ法、ＣＶＤ法等で成膜することで、封止層を形成する。
以上の工程を経ることにより、有機ＥＬ素子１５、および有機ＥＬ素子１５がＸＹ方向に複数配された有機ＥＬ表示パネル１００が完成する。
＜塗布工程により成膜された機能層の膜形状＞
図５は、塗布工程における溶媒の蒸発乾燥過程を説明するための模式断面図である。ここでは、機能層として有機発光層を例に挙げて説明する。また、図５においては、簡略化のため、基板１、隔壁層７、有機発光層用インク１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ，１９Ｄ，１９Ｅのみを図示している。

図５（ａ）は、隔壁層７により構成される開口部に有機発光層用インク１９Ａが塗布された直後の状態を示している。有機発光層用インク１９Ａから溶媒が蒸発することにより、図５（ｂ）に示すように、有機発光層用インク１９Ｂ内における有機発光層材料の濃度に差が生じる。この濃度差により、図５（ｃ）において矢印で示すように、有機発光層用インク１９Ｃ内で溶媒が移動し、対流が発生する。

そして、溶媒の蒸発が進行した有機発光層用インク１９Ｄの内部では、粘度が上昇するのに伴って次第に対流が小さくなっていき（図５（ｄ））、さらに溶媒の蒸発が進むと、有機発光層用インク１９Ｅ内での対流は停止する（図５（ｅ））。最終的に溶媒が完全に蒸発乾燥することにより、有機発光層１１が成膜される（図５（ｆ））
有機発光層の膜形状は、図５（ｃ），（ｄ）で述べた対流において、溶媒がどの方向に流れ易いかに依存する。すなわち、有機発光層の膜形状は、有機発光層用インク内で濃度差が生じた場合に、溶媒を開口部の外側方向に向かって動かそうとする力である駆動力、もしくは、溶媒を開口部の中心方向に向かって動かそうとする力である制動力のどちらがより強く働くかによって決まる。

図６は、駆動力と制動力の大小と、膜形状との関係を説明するための図である。
図６における表の上段は有機発光層用インク１９Ｃ内部における駆動力と制動力の大小を、下段は有機発光層の膜形状をそれぞれ示している。なお、表の上段には有機発光層用インク１９Ｃ（図５（ｃ））を示しているが、有機発光層用インク１９Ｄ（図５（ｄ））でも同様である。

（ａ）は制動力が駆動力よりも大きい場合を示している。この場合、溶媒の蒸発乾燥過程において有機発光層材料が開口部の中央へ偏るため、成膜される有機発光層１１の膜形状は中央部が盛り上がった凸形状となる。
（ｂ）は駆動力と制動力が同程度である場合を示している。この場合、溶媒の蒸発乾燥過程において、有機発光層材料が開口部の中央部もしくは外側へ偏るということはない。その結果、成膜される有機発光層１１の膜形状は平坦となる。

（ｃ）は駆動力が制動力よりも大きい場合を示している。この場合、溶媒の蒸発乾燥過程において有機発光層材料が開口部の外側へ偏るため、成膜される有機発光層１１の膜形状は外側部分が膜厚な凹形状となる。
このように、駆動力と制動力の大小を調整することで、有機発光層の膜形状を制御することが可能であることがわかる。では、どのような場合に有機発光層の膜形状を制御する必要があるのか、具体例を挙げて説明する。

有機発光層１１の上面を平坦にしようとしているにも関わらず、製造工程中の何らかの原因により、正孔輸送層１０の膜形状が凹形状となってしまうという問題があるとする。この場合に、正孔輸送層１０の上面に塗布される有機発光層用インクを、制動力が駆動力よりも大きくなるようなインクに調整する。そうすると、製造工程に関するパラメータ（例えば、乾燥温度、乾燥時間等が挙げられる。）を変更することなく、上面が平坦な有機発光層１１を得ることができる。

この駆動力と制動力の大小は、有機発光層用インクに含まれる溶媒の粘度、沸点、表面張力をそれぞれ調整することにより制御することができる。溶媒の粘度、沸点、表面張力の３要件全てを意図的に調整することにより、駆動力と制動力の大小を制御することも可能である。しかしながら、本実施の態様では、沸点および表面張力を可能な限り維持しながら、粘度のみを意図的に調整するように、有機発光層用インクに含有させる溶媒を選択することとしている。これについて図７を用いて説明する。

図７は、インクの粘度、溶媒の沸点、溶媒の表面張力の関係を示した図（以下、インク物性マップと記載する。）である。インク物性マップにおいて、縦軸はそれぞれ、溶媒の沸点［℃］および表面張力［ｍＮ／ｍ］であり、丸のプロットは沸点を、四角のプロットは表面張力を示している。横軸は、溶媒Ａ〜Ｇのそれぞれに対し有機発光層材料を１．２［ｖｏｌ％］の濃度で溶解させることにより調製したインクの粘度［ｍＰａ・ｓ］を示している。有機発光層材料として、上記のＦ８−Ｆ６を用いた。ここで、有機発光層濃度が一定である場合には、インクの粘度は溶媒の粘度上昇に伴って上昇する。すなわち、インクの粘度の大小は、溶媒の粘度の大小とみなすことができる。なお、溶媒Ａ〜Ｇは「Ｃ₆Ｈ₅ＣＯＯＲ」（Ｒは任意の置換基である。）で表される芳香族系の溶媒である。

まず、溶媒Ｄと溶媒Ｅにおけるインクの粘度、溶媒の沸点、溶媒の表面張力の関係に着目し、インクに含まれる溶媒を溶媒Ｄから溶媒Ｅに変更する場合を考える。この場合、１３［ｍＰａ・ｓ］程度であったインクの粘度が約１７［ｍＰａ・ｓ］に変化するにも関わらず、沸点は同等であることがわかる。同様に、インクに含まれる溶媒を溶媒Ｄから溶媒Ｆに変更する場合、１３［ｍＰａ・ｓ］程度であったインクの粘度が約１８［ｍＰａ・ｓ］に変化するにも関わらず、表面張力は同等である。

このように、インクの粘度は変化するにも関わらず、沸点または表面張力が同等である溶媒の組合せがあることがわかる。本実施の態様においては、このことを利用することで、溶媒の沸点および表面張力を可能な限り維持しながら、粘度のみが調整されるようにしている。このようにすることで、沸点、表面張力、粘度の３要件全てを調整する場合と比較して、所望の膜形状を有する有機発光層を形成することが可能になる。したがって、目標とする発光特性に応じた膜形状の有機発光層を簡便に形成することができる。

次に、機能層用インクの構造、およびその調整方法について説明する。
＜機能層用インク＞
まず、機能層用インク、すなわち、正孔輸送層用インクおよび有機発光層用インクの構造について説明する。両インクとも基本的な概念は同じであるので、ここでは有機発光層用インクを例に挙げて説明する。

（機能層用インクの構造）
図８は、本実施の態様における有機発光層用インクの構造を模式的に示す図である。
本実施の態様における有機発光層用インクは、図８（ａ）に示す単一溶媒系と、図８（ｂ），（ｃ）に示す混合溶媒系の２種に大別される。
図８（ａ）に示す単一溶媒系有機発光層用インク２６（以下、単にインク２６と記載する。）においては、含まれる溶媒は溶媒αの１種のみであり、言うまでもなく有機発光層材料は溶媒αに溶解している。図８（ｂ）に示す第１の混合溶媒系有機発光層用インク２７（以下、単にインク２７と記載する。）においては、含まれる溶媒は溶媒Ｓ、溶媒Ｔの２種である。溶媒Ｓは本発明における第３溶媒に相当し、有機発光層材料は溶媒Ｓ、溶媒Ｔの両方に、すなわち第１溶媒と第３溶媒の両方に溶解している。図８（ｃ）に示す第２の混合溶媒系有機発光層用インク２８（以下、単にインク２８と記載する。）においては、含まれる溶媒は、溶媒Ｘ、溶媒Ｙ、溶媒Ｚの３種である。溶媒Ｘと溶媒Ｙからなる混合溶媒が本発明における第３溶媒に相当し、有機発光層材料および溶媒Ｚは溶媒Ｘと溶媒Ｙからなる混合溶媒に、すなわち、有機発光層材料および第１溶媒は第３溶媒に溶解している。

隔壁層７により構成される開口部にインク２６を塗布し、溶媒αを蒸発乾燥させることにより、有機発光層１１が成膜される。同様に、インク２７を開口部に塗布し、溶媒Ｓおよび溶媒Ｔを蒸発乾燥させることにより、有機発光層１１が成膜される。また、インク２８を開口部に塗布し、溶媒Ｘ、溶媒Ｙおよび溶媒Ｚを蒸発乾燥させることにより、有機発光層１１が成膜される。

インク２７において、有機発光層材料を溶解する機能を主に有する溶媒Ｓは、有機発光層材料を溶解する性質を有していることは勿論のことであるが、さらに、溶媒Ｔよりも高い沸点を有する。同様に、インク２８では、溶媒Ｘは溶媒Ｙ、溶媒Ｚよりも高い沸点を有する。ここで、本実施の態様においては、対流時の駆動力と制動力の大小を調整することで有機発光層の膜形状を制御している。仮に、有機発光層材料を溶解する機能を主に有する溶媒が他の溶媒よりも沸点が低いとした場合、有機発光層材料を溶解している溶媒が他の溶媒よりも先に蒸発してしまう結果、蒸発乾燥過程における早い段階で対流の停止が起きる。対流が停止するのに合わせて有機発光層材料の移動も停止するため、折角、所望の膜形状を得られるような有機発光層用インクを準備したとしてもその効果を十分に発揮できなくなってしまうおそれがある。

本実施の態様において、図８（ａ）〜（ｃ）に示す各インク２６〜２８には少なくとも粘度調整済溶媒が含まれている。この粘度調整済溶媒は、本発明における第１溶媒に相当する。以下、溶媒α、溶媒Ｔ、溶媒Ｚが粘度調整済溶媒であるとして説明する。この粘度調整済溶媒は、所望の膜形状を有する有機発光層を形成することを目的として、すなわち、駆動力と制動力が所望の大小関係となるようにすることを目的として選択された溶媒である。

（粘度調整済溶媒の決定）
図９，１０は、粘度調整済溶媒を決定するための手順を説明するための図である。図９（ａ），（ａ）’，（ｂ），（ｂ）’はインク２６の場合、図９（ｃ），（ｃ）’，（ｄ），（ｄ）’はインク２７の場合、図１０はインク２８の場合を示している。図９，１０においては、目標とする有機発光層の膜形状が平坦なものである場合を例に挙げて説明する。すなわち、有機発光層の膜形状が平坦となるようなインク２６，２７，２８を得たい場合を例に挙げる。

まず、インク２６の場合について説明する。図９（ａ）はインク２６の構造を、図９（ｂ）はインク２６の前駆体である単一溶媒系試料用インク２６’（以下、単に試料用インク２６’と記載する。）の構造を模式的に示す図である。試料用インク２６’は本発明における試料用インクに相当する。
図９（ｂ）’は、試料用インク２６’により形成される試料用有機発光層３１の膜形状を示しており、ここでは凹形状としている。試料用有機発光層３１は、具体的には、有機発光層材料と溶媒α’を溶媒として少なくとも含む試料用インク２６’を、試料用基板２９上の試料用隔壁層３０により構成される開口部内に塗布し、溶媒α’を蒸発乾燥させることにより形成したものである。試料用インク２６’には粘度調整用溶媒が含まれており、溶媒α’がこの粘度調整用溶媒に相当する。粘度調整用溶媒は本発明における第２溶媒に相当する。図９（ｂ）は、インク２６により形成される有機発光層１１の膜形状を示している。上述のように、ここでは目標とする有機発光層１１の膜形状が平坦であるため、ここでは有機発光層１１を平坦な膜形状として図示している。

粘度調整済溶媒の決定は以下のような手順に沿って行われる。まず、試料用有機発光層３１を形成する。次に、有機発光層１１を所望の膜形状とするための粘度が、粘度調整用溶媒の粘度から上昇させる方向にあるのか又は低下させる方向にあるのかを、粘度調整用溶媒の粘度、試料用有機発光層３１の膜形状および上記所望の膜形状との関係に基づき求める。そして、粘度調整用溶媒と同等の沸点と表面張力であり、かつ、上記で求めた方向にある粘度を有する溶媒を粘度調整済溶媒として選択することにより、最終的に粘度調整済溶媒が決定される。

具体的に図９（ａ），（ａ）’，（ｂ），（ｂ）’を用いて説明すると、図９（ａ）’示す試料用インク２６’を用いて、図９（ｂ）’示すように試料用有機発光層３１を形成する。次に、有機発光層１１を図９（ｂ）のような平坦な膜形状とするために必要な溶媒の粘度が、溶媒α’よりも高い方向にあるのか低い方向にあるのかを、溶媒α’含有の試料用インク２６’を用いると試料用有機発光層３１が凹形状となる事実と有機発光層１１の膜形状との関係に基づき求める。最後に、溶媒α’と同等の沸点と表面張力であり、かつ、上記で求めた方向にある粘度を有する溶媒を溶媒αとして選択する。

次に、有機発光層１１を所望の膜形状とするための粘度が、粘度調整用溶媒の粘度から上昇させる方向にあるのか又は低下させる方向にあるのかを求める方法を説明する。
（溶媒の粘度と膜形状との関係）
図１１は、溶媒の粘度と膜形状との関係を示す図（以下、膜形状マップと記載する。）である。

図１１に示す膜形状マップは、所定粘度における膜形状を数値化し、これを粘度の異なる複数の溶媒について行うことによりマッピングしたものである。まず、図１２を用いて膜形状マップの作成方法について説明する。
図１２は、膜形状マップの作成方法を説明するための図である。図１２では、粘度ｘを有する溶媒を用いた場合と、粘度ｙを有する溶媒を用いた場合を例に挙げて説明する。

図１２（ａ）は、粘度ｘに有機発光層材料（上記のＦ８−Ｆ６である。）を１．２［ｖｏｌ％］の濃度で溶解させることにより調製したインクを用いて、有機発光層材料からなる層を形成した場合の膜形状を示している。有機発光層材料からなる層は、平面視において矩形状かつライン状のものを、短辺方向の幅が６０［μｍ］、平均膜厚（短辺方向における両端部間の平均膜厚）が８０［ｎｍ］となるように形成した。図１２（ａ）において、横軸は有機発光層材料からなる層の短辺方向の幅を示し、縦軸は有機発光層材料からなる層の膜厚を示す。なお、特に言及しない場合は、他の図においても、有機発光層材料からなる層は上記の条件で形成した。

図１２（ａ）に示すように、粘度ｘを有する溶媒を用いた場合、有機発光層材料からなる層の膜形状は凹形状であることがわかる。図１２（ｂ）は、粘度ｙを有する溶媒を用いて有機発光層材料からなる層を形成した場合の膜形状を示している。粘度ｙを有する溶媒を用いた場合の膜形状はほぼ平坦形状であることがわかる。
次に、図１２（ａ），（ｂ）に示す各溶媒において、Ｌｅｆｔで示す地点の膜厚からＣｅｎｔｅｒで示す地点の膜厚を差し引いたもの（Ｃｅｎｔｅｒ−Ｌｅｆｔ間の膜厚差）、Ｒｉｇｈｔで示す地点の膜厚からＣｅｎｔｅｒで示す地点の膜厚を差し引いたもの（Ｃｅｎｔｅｒ−Ｒｉｇｈｔ間の膜厚差）、ｍＬｅｆｔで示す地点の膜厚からＣｅｎｔｅｒで示す地点の膜厚を差し引いたもの（Ｃｅｎｔｅｒ−ｍＬｅｆｔ間の膜厚差）、ｍＲｉｇｈｔで示す地点の膜厚からＣｅｎｔｅｒで示す地点の膜厚を差し引いたもの（Ｃｅｎｔｅｒ−ｍＲｉｇｈｔ間の膜厚差）を算出する。これらの値を、粘度を横軸に膜厚差を縦軸にとったグラフにプロットしたものが図１２（ｃ）に示すものである。図１２（ｃ）では、各溶媒におけるＣｅｎｔｅｒ−Ｌｅｆｔ間の膜厚差およびＣｅｎｔｅｒ−Ｒｉｇｈｔ間の膜厚差の平均値を四角（Ｌｅｆｔ−Ｒｉｇｈｔ）で、Ｃｅｎｔｅｒ−ｍＬｅｆｔ間の膜厚差およびＣｅｎｔｅｒ−ｍＲｉｇｈｔ間の膜厚差の平均値を丸（ｍＬｅｆｔ−ｍＲｉｇｈｔ）で示している。

図１２（ｃ）において、粘度ｘを有する溶媒のように膜形状が凹形状となる場合には、四角および丸で示すプロットがともにＣｅｎｔｅｒで示す線よりも上方に位置することがわかる。また、粘度ｙを有する溶媒のように膜形状がほぼ平坦形状となる場合には、２つのプロットがともにＣｅｎｔｅｒで示す線付近に位置することがわかる。図１２では図示していないが、膜形状が凸形状となる場合には、２つのプロットがともにＣｅｎｔｅｒで示す線よりも下方に位置することになる。

このように、溶媒の粘度と当該溶媒を用いて有機発光層材料からなる層を作成した場合における当該層の膜形状との関係についての情報を、粘度の異なる複数の溶媒について取得することにより、図１１に示す膜形状マップを作成することができる。
図１１に戻り、当図に示す膜形状マップの作成にあたっては、粘度が約１３［ｍＰａ・ｓ］、１５［ｍＰａ・ｓ］、１７．５［ｍＰａ・ｓ］、１８［ｍＰａ・ｓ］、２０［ｍＰａ・ｓ］、２２［ｍＰａ・ｓ］の溶媒を用いた。膜形状マップに示すように、溶媒の粘度を上昇させるにつれて膜形状が凹形状から凸形状へ変化することがわかる。これは、溶媒の粘度が上昇するほど、有機発光層用インク内で生じる対流において、駆動力よりも制動力が強く働くことが理由として考えられる。

したがって、図９（ａ），（ａ）’，（ｂ），（ｂ）’に戻って、有機発光層１１の膜形状を図９（ｂ）のような平坦とするための溶媒の粘度は、凹形状となる溶媒α’（図９（ｂ）’）の粘度よりも上昇させる方向にあることがわかる。このように、溶媒α’の粘度、試料用有機発光層３１の形状、および目標とする有機発光層１１の膜形状との関係を、膜形状マップを用いて照らし合わせることにより、有機発光層１１を所望の膜形状とするための粘度が、溶媒α’（粘度調整用溶媒）の粘度から上昇させる方向にあるのか又は低下させる方向にあるのかを求めることができる。

有機発光層１１の膜形状を平坦とするための溶媒の粘度が、凹形状となる溶媒α’の粘度よりも上昇させる方向にあることがわかったので、次は、溶媒α’と同等の沸点と表面張力であり、かつ、溶媒α’よりも粘度の高い溶媒を探索する。そして、探索された溶媒を溶媒αとして選択することにより、インク２６に用いる溶媒αが決定される。
以上、図９（ａ），（ａ）’，（ｂ），（ｂ）’を用いて、インク２６における粘度調整済溶媒（溶媒α）の決定方法について説明した。インク２７における溶媒Ｔ、およびインク２８における溶媒Ｚも同様の方法で決定することができる。以下、図９（ｃ），（ｃ）’，（ｄ），（ｄ）’を参照しながらインク２７の場合について、図１０を参照しながらインク２８の場合について簡単に説明する。

図９（ｃ）はインク２７の構造を、図９（ｃ）’はインク２７の前駆体である第１の混合溶媒系試料用インク２７’（以下、単に試料用インク２７’と記載する。）の構造を模式的に示す図である。試料用インク２７’は本発明における試料用インクに相当する。図９（ｄ）’は試料用インク２７’により形成される試料用有機発光層３２の膜形状を示しており、凹形状である。試料用有機発光層３２は、試料用インク２７’を試料用隔壁層３０により構成される開口部内に塗布し、溶媒Ｓおよび溶媒Ｔ’を蒸発乾燥させることにより形成したものである。溶媒Ｔ’が粘度調整用溶媒、すなわち、本発明における第２溶媒に相当する。また、ここでも目標とする有機発光層１１の膜形状は平坦である（図９（ｄ））。

図１１に示す膜形状マップより、有機発光層１１の膜形状を図９（ｄ）のような平坦とするための溶媒の粘度は、凹形状となる溶媒Ｔ’の粘度よりも上昇させる方向にあることがわかる。次に、溶媒Ｔ’と同等の沸点と表面張力であり、かつ、溶媒Ｔ’よりも粘度の高い溶媒を探索する。そして、探索された溶媒を溶媒Ｔとして選択することにより、インク２７に用いる溶媒Ｔが決定される。

図１０（ａ）はインク２８の構造を、図１０（ａ）’はインク２８の前駆体である第２の混合溶媒系試料用インク２８’（以下、単に試料用インク２８’と記載する。）の構造を模式的に示す図である。試料用インク２８’は本発明における試料用インクに相当する。図１０（ｂ）’は試料用インク２８’により形成される試料用有機発光層３３の膜形状を示しており、凸形状である。試料用有機発光層３３は、試料用インク２８’を試料用隔壁層３０により構成される開口部内に塗布し、溶媒Ｘ、溶媒Ｙおよび溶媒Ｚ’を蒸発乾燥させることにより形成したものである。溶媒Ｚ’が粘度調整用溶媒、すなわち、本発明における第２溶媒に相当する。また、ここでも目標とする有機発光層１１の膜形状は平坦である（図１０（ｂ））。

図１１に示す膜形状マップより、有機発光層１１の膜形状を図１０（ｂ）のような平坦とするための溶媒の粘度は、凸形状となる溶媒Ｚ’の粘度よりも低下させる方向にあることがわかる。次に、溶媒Ｚ’と同等の沸点と表面張力であり、かつ、溶媒Ｚ’よりも粘度の低い溶媒を探索する。そして、探索された溶媒を溶媒Ｚとして選択することにより、インク２８に用いる溶媒Ｚが決定される。

（粘度調整済溶媒の探索）
粘度調整用溶媒と同等の沸点と表面張力であり、かつ、目標とする方向にある粘度を有する溶媒の探索方法としては、例えば、粘度調整用溶媒が主骨格とこれに結合した置換基からなる場合に、当該主骨格と同一の主骨格を有する溶媒の中から粘度調整済溶媒を選択する方法が挙げられる。

図１３は、主骨格とこれに結合した置換基を有する各溶媒において、置換基を変更した場合の粘度の変化を示す図である。図１３に示す例においては、符号３４で示す「Ｃ₆Ｈ₅ＣＯＯ」の部分が主骨格であり、主骨格を除く部分３５，３６，３７，３８，３９が置換基である。図１３に示すように、同一の主骨格を有している溶媒であっても、主骨格に結合している置換基が異なれば溶媒の粘度は異なる。

粘度調整済溶媒の探索方法は、図１３に示すような、共通の主骨格を有する溶媒群の中から粘度調整済溶媒を選択する方法に限定されない。例えば、全く異なる化学構造を有する溶媒群の中から粘度調整済溶媒を選択することも、もちろん可能である。
（粘度調整用溶媒と粘度調整済溶媒との沸点差および表面張力差）
本実施の態様においては、粘度調整用溶媒と同等の沸点と表面張力を有する溶媒の中から粘度調整済溶媒を選択することとしている。ここで、「粘度調整済溶媒が粘度調整用溶媒と同等の沸点と表面張力を有する」には、粘度調整用溶媒と粘度調整済溶媒との間で沸点および表面張力が全く変化しない場合だけでなく、沸点および表面張力の差が、有機発光層１１の膜形状にさほど影響を与えない程度の差である場合も含まれる。例えば、粘度調整用溶媒と粘度調整済溶媒との間で沸点に差があるものの、この沸点の差によっては両溶媒の蒸発速度に差がさほど変化しないために、有機発光層１１の膜形状にさほど影響を与えないといった場合である。

［有機ＥＬ表示装置］
図１４は、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置等を示す斜視図である。図１４に示すように、有機ＥＬ表示装置１０００は有機ＥＬディスプレイであり、上述した有機ＥＬ表示パネル１００を備える。
図１５は、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示装置１０００の全体構成を示す図である。図１５に示すように、有機ＥＬ表示装置１０００は、有機ＥＬ表示パネル１００と、これに接続された駆動制御部２０とを備える。駆動制御部２０は、４つの駆動回路２１〜２４と制御回路２５とから構成されている。なお、実際の有機ＥＬ表示装置１０００では、有機ＥＬ表示パネル１００に対する駆動制御部２０の配置や接続関係については、これに限られない。

有機ＥＬ表示装置１０００が備える有機ＥＬ表示パネル１００を構成する有機ＥＬ素子においては、その正孔輸送層および有機発光層が目標とする発光特性に応じた膜形状となるように形成されている。したがって、有機ＥＬ表示装置１０００は画質が優れている。
[有機ＥＬ発光装置]
図１６は、本発明の一態様に係る有機ＥＬ発光装置２００を示す図であって、図１６（ａ）は縦断面図、図１６（ｂ）は横断面図である。図１６に示すように、有機ＥＬ発光装置２００は、本発明の一態様に係る製造方法により形成された複数の有機ＥＬ素子２１０と、有機ＥＬ素子２１０が上面に実装されたベース２２０と、ベース２２０にそれら有機ＥＬ素子２１０を挟むようにして取り付けられた一対の反射部材２３０と、から構成されている。各有機ＥＬ素子２１０は、ベース２２０上に形成された導電パターン（不図示）に電気的に接続されており、前記導電パターンにより供給された駆動電力によって発光する。各有機ＥＬ素子２１０から出射された光の一部は、反射部材２３０によって配光が制御される。

有機ＥＬ発光装置２００が備える有機ＥＬ素子２１０においては、その正孔輸送層および有機発光層が目標とする発光特性に応じた膜形状となるように形成されている。したがって、有機ＥＬ発光装置２００は発光特性が良好である。
［変形例・その他］
以上、実施の態様について説明したが、本発明は上記の実施の態様に限られない。例えば、以下のような変形例等が考えられる。

（１）上記の実施の態様においては、正孔輸送層および有機発光層を機能層とし、これらの層を塗布工程により形成することとしたが、本発明はこれに限定されない。正孔輸送層および有機発光層以外の正孔注入層、電子輸送層、電子注入層を塗布工程により形成することとしてもよい。例えば、電子注入層を塗布工程により形成する場合には、電子注入層が本発明における機能層となる。すなわち、第１電極（陽極）と第２電極（共通電極）との間に積層された層であって、塗布工程により形成される層が機能層となる。また、正孔輸送層を塗布工程で形成せず、有機発光層のみを塗布工程で形成する場合には、有機発光層のみが機能層となる。

（２）上記の実施の態様においては、有機ＥＬ素子が正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、および電子注入層を備える構成としたが、これらは必須の構成要件ではない。これらの層のうち、いずれかの層を欠いていることとしてもよい。
（３）上記の実施の態様において説明した有機ＥＬ素子および有機ＥＬ表示パネルの製造方法は単なる一例であり、例えば、真空成膜法を用いて成膜すると説明した層を、例えばインクジェット法等の塗布法によって形成することとしてもよいし、逆に、インクジェット法を用いて成膜すると説明した層を、例えば真空成膜法によって形成することとしてもよい。また、他の構成要素、例えば、正孔阻止層等を形成する工程が含まれていてもよい。

（４）上記の実施の態様においては、共通電極側から光を取り出す方式の有機ＥＬ素子の製造方法を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。この他の方式としては、例えば、陽極側から光を取り出す方式（いわゆるボトムエミッション型）、陽極側および共通電極側の両方から光を取り出す方式等がある。
（５）上記の実施の態様においては、隔壁層を井桁状（格子状）に形成し、隔壁層によって各サブピクセルの周囲を囲繞する、いわゆるピクセルバンク方式を例に挙げたが、本発明はこれに限定されない。複数のライン状の隔壁層を並設し、有機発光層をストライプ状に区画するラインバンク方式とすることもできる。

（６）上記の実施の態様においては、開口部の形状が角のとれた矩形状であるとしたが、このほか、例えば、正六角形、正方形、円形、楕円形等の形状とすることもできる。
（７）上記の実施の態様における有機ＥＬ表示パネルは、ＲＧＢ各色に対応する有機ＥＬ素子を有し、フルカラー表示に適用できるものであるとしたが、本発明はこれに限定されない。いずれか１色のみの有機ＥＬ素子を有する単色表示の有機ＥＬ表示パネルであってもよい。

本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは業務用の各種表示装置、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等に用いられる有機ＥＬパネルおよび有機ＥＬ表示装置等に好適に利用可能である。

１ 基板
２ ＴＦＴ層
３ 給電電極
４ 平坦化膜
５ コンタクトホール
６ 画素電極（陽極）
７ 隔壁層
９ 正孔注入層
１０ 正孔輸送層
１１ 有機発光層
１２ 電子輸送層
１３ 電子注入層
１４ 共通電極（陰極）
１５ 有機ＥＬ素子（サブピクセル）
１７ 開口部
１８ 正孔輸送層用インクからなる液滴
１９ 有機発光層用インクからなる液滴
１９Ａ、１９Ｂ、１９Ｃ、１９Ｄ、１９Ｅ 有機発光層用インク
２０ 駆動制御部
２１〜２４ 駆動回路
２５ 制御回路
２６ 単一溶媒系有機発光層用インク
２７ 第１の混合溶媒系有機発光層用インク
２８ 第２の混合溶媒系有機発光層用インク
２９ 試料用基板
３０ 試料用隔壁層
３１、３２、３３ 試料用有機発光層
３４ 主骨格
３５、３６、３７、３８、３９ 置換基
１００ 有機ＥＬ表示パネル
２００ 有機ＥＬ発光装置
２１０ 有機ＥＬ素子
２２０ ベース
２３０ 反射部材
３０１ ヘッド部
１０００ 有機ＥＬ表示装置
３０３０ ノズル

Claims (6)

1. 第１電極が形成された素子基板を準備する素子基板準備工程と、
   機能層を構成する機能層材料と第１溶媒を溶媒として少なくとも含む機能層用インクを、前記第１電極上に塗布し、前記第１溶媒を蒸発乾燥させることにより前記機能層を形成する機能層形成工程と、
   前記機能層の上方に第２電極を形成する第２電極形成工程と、を含み、
   前記第１溶媒は、
   前記機能層材料と第２溶媒を溶媒として少なくとも含む試料用インクを試料用基板に塗布し、前記第２溶媒を蒸発乾燥させることにより試料用機能層を形成し、
   前記機能層を所望の断面形状とするための粘度が、前記第２溶媒の粘度から上昇させる方向にあるのか又は低下させる方向にあるのかを、前記第２溶媒の粘度、前記試料用機能層の断面形状および前記所望の断面形状との関係に基づき求め、
   前記第２溶媒と同等の沸点または表面張力であり、かつ、前記求めた方向にある粘度を有する溶媒として選択されたものである、
   有機ＥＬ素子の製造方法。
2. 前記第２溶媒は、主骨格とこれに結合した置換基からなり、
   前記第１溶媒は、前記第２溶媒の前記主骨格と同一の主骨格を有する溶媒の中から選択される、
   請求項１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
3. 前記機能層用インクには、さらに、第３溶媒が含まれ、
   前記機能層材料は、前記第１溶媒および前記第３溶媒に溶解している、
   請求項１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
4. 前記機能層用インクには、さらに、第３溶媒が含まれ、
   前記機能層材料および前記第１溶媒は前記第３溶媒に溶解している、
   請求項１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
5. 前記機能層用インクに含まれる溶媒は、前記第１溶媒のみである、
   請求項１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
6. 前記機能層用インクと前記試料用インクとにおいて前記機能層材料の濃度は一定である請求項１から５の何れか１項に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。

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