CN102960066B - 有机发光面板及其制造方法以及有机显示装置 - Google Patents

有机发光面板及其制造方法以及有机显示装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及有机发光面板及其制造方法以及有机显示装置。像素部包括3个子像素(100a~100c)而构成。堤栏(105a)对子像素(100a)的有机发光层与相邻像素部中的子像素的有机发光层进行划分,同样地,堤栏(105d)对子像素(100c)的有机发光层与相邻像素部中的子像素的有机发光层进行划分。此外,堤栏(105b)对子像素(100a)的有机发光层与子像素(100b)的有机发光层进行划分,堤栏(105c)对子像素(100b)的有机发光层与子像素(100c)的有机发光层进行划分。在此,堤栏(105c)中子像素(100b)侧的表面部(105cb)的倾斜角度(θcb)以比其他倾斜角度(θaa、θba、θbb、θcc、θdc)大的角度而设定。

Description

有机发光面板及其制造方法以及有机显示装置
技术领域
本发明涉及有机发光面板及其制造方法以及有机显示装置。
背景技术
近年来,利用了有机材料的电场发光现象的显示装置的研究、开发得到开展。在该显示装置中,各像素部构成为具有阳极电极及阴极电极和介于其间的有机发光层。而且,在显示装置的驱动中,从阳极电极进行空穴注入,从阴极电极进行电子注入,在有机发光层内通过空穴与电子再结合而发光。
相邻像素部的有机发光层彼此之间通过由绝缘材料构成的分隔壁(堤栏)进行划分。有机发光层的形成例如通过在由分隔壁划分出的每个区域滴下包含有机发光材料的墨并使其干燥而进行。
但是,如上述那样形成的有机发光层的膜厚存在难以设定得均匀的问题。
在此,为了将有机发光层的膜厚设定得均匀,例如在专利文献1中,记载了如下技术:在分隔壁的表面部设置凸状部,通过其控制墨对于分隔壁的表面部的锁住(ピンニング)位置。即,通过采用在专利文献1中提出的技术,可以将一个像素部中的墨滴下时的附着位置控制于在表面部形成的凸状部,由此,可以确保某程度的膜厚均匀性。
专利文献1:特开2007-311235号公报
但是,对于显示装置中的有机发光面板,认为困难的是:采用由上述专利文献1提出的技术,预先掌握有机发光层的膜厚的偏倚,基于该偏倚以高精度在每个区域或者每个与分隔壁对应的表面部形成微细的凸状部。因此,在有机发光面板的区域整体,不容易将有机发光层的膜厚设定得均匀。
发明内容
本发明是为了实现上述课题的解决而提出的,其目的在于提供实现有机发光层在面板整个面的膜厚的均匀化、表面内的辉度不均少的显示装置及其制造方法。
因此,本发明的一方式所涉及的有机发光面板的特征为采用以下的结构。
本发明的一方式所涉及的有机发光面板,排列多个像素部而成,多个像素部的各像素部具有发光色相互不同且按顺序排列的多个发光部。各发光部包括:基底层,其包括第1电极;有机发光层,其与基底层对向地设置,涂敷包含与每种发光色对应的有机发光材料的墨而形成;以及第2电极,其相对于有机发光层形成于与基底层相反侧。并且,在基底层的上方,设置对多个发光部之中相邻的发光部进行划分、对各发光部进行规定的多个分隔壁;多个像素部包括对各自所属的多个发光部之中的预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同的像素部。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,因为对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,所以能够调整其制造时的滴下墨时的锁住位置。具体地,若使分隔壁的表面部的倾斜角度变大,则锁住高度升高,若使倾斜角度变小,则锁住高度降低。
而且,墨干燥后的有机发光层的膜厚与分隔壁中表面部的倾斜角度的大小具有相反的关系。具体地,与所述倾斜角度相对大的一方对应的有机发光层的膜厚将变薄,与所述倾斜角度小的一方对应的有机发光层的膜厚将变厚。
从而,在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,通过使对预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,能够防止有机发光层的膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性。
附图说明
图1是表示实施方式1所涉及的有机显示装置1的概略结构的框图。
图2是表示显示面板10中的一部分子像素100的示意剖面图。
图3是表示显示面板10中的堤栏105的示意俯视图。
图4是表示显示面板10中的子像素100a~100c和对各子像素100a~100c间进行划分的堤栏105a~105c的结构的示意剖面图。
图5(a)是表示堤栏侧面部的锥角小的情况下的锁住位置的示意剖面图,(b)是表示堤栏侧面部的锥角大的情况下的锁住位置的示意剖面图,(c)是表示堤栏侧面部的锥角小的情况下的干燥后的有机发光层的状态的示意剖面图,(d)是表示堤栏侧面部的锥角大的情况下的干燥后的有机发光层的状态的示意剖面图。
图6是汇总表示堤栏的表面部的倾斜角度(锥角)θ与锁住位置的高度H以及有机发光层的膜厚T的关系的图。
图7是表示样本1~3中的有机发光层的膜厚分布的图。
图8是表示样本4、5中的有机发光层的膜厚分布的图。
图9(a)~(c)是按顺序表示显示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖面图。
图10(a)~(c)是按顺序表示显示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖面图。
图11(a)、(b)是按顺序表示显示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖面图。
图12(a)是表示与墨1060a~1060c的涂敷以及干燥有关的工序顺序的示意流程图,(b)是表示与墨1060a~1060c的涂敷以及干燥有关的其他工序顺序的示意流程图。
图13是表示变形例1所涉及的制造方法中的主要部分工序的示意剖面图。
图14(a)、(b)是按顺序表示变形例2所涉及的制造方法中的主要部分工序的示意剖面图。
图15(a)、(b)是按顺序表示变形例2所涉及的制造方法中的主要部分工序的示意剖面图。
图16(a)是表示曝光、显影处理与堤栏的锥角的关系的图,(b)是表示所形成的堤栏的形状的AFM。
图17是表示实施方式2涉及的有机显示装置所具备的显示面板中的子像素300a~300c及非像素部300d、300e和堤栏305a~305e的结构的示意剖面图。
图18(a)~(c)是表示按顺序涂敷墨3060a~3060c的工序的示意剖面图。
图19是表示实施方式3涉及的有机显示装置所具备的显示面板中的子像素400a~400c及非像素部400d、400e和堤栏405a~405f的结构的示意剖面图。
图20是表示一并涂敷墨4060a~4060c时的状态的示意剖面图。
图21(a)、(b)是用于说明锥角的定义的示意剖面图。
图22是用于说明显示面板10中的区域10a1、10a2、10b的示意剖面图。
图23是表示包括有机显示装置1的装置的外观的一例的外观立体图。
图24是表示变形例3涉及的显示面板80所具备的堤栏805的结构的示意俯视图。
图25(a)、(b)是表示显示面板中的每个相邻子像素的有机发光层的膜厚分布的偏倚状态的示意剖面图。
图26(a)~(c)是表示有机发光层的形成时的蒸汽浓度分布和墨干燥工序中的膜形状的偏倚状态的示意剖面图。
符号说明
1:显示装置,10、30、40、80:显示面板,10a1:发光中央区域,10a2:发光周边区域,10b:虚设区域,20:驱动控制部,21~24:驱动电路,25:控制电路,100、100a~100c、300a~300c、400a~400c:子像素,101:基板,102:阳极电极,103:电极被覆层,104:空穴注入层,105、105a~105d、105x、105y、305a~305e、405a~405e、605、705、805:堤栏,106、106a、106c、106x、106y:有机发光层,107:电子注入层,108:阴极电极,109:封止层,300d、300e、400d、400e:非像素部,501~505:掩模,1000a~1000c、3000a~3000c、4000a~4000c:子像素预定区域,1050、1051a、1051b、1051e、1051f:堤栏材料层,1060a~1060c、1060x、1060y、3060a~3060c、4060a~4060c:墨、3000d、3000e、4000d、4000e:非像素预定区域。
具体实施方式
[本发明的一方式的概要]
本发明的一方式所涉及的有机发光面板排列多个像素部而成,多个像素部的各像素部具有发光色相互不同且按顺序排列的多个发光部。各发光部包括:基底层,其包括第1电极;有机发光层,其与基底层对向地设置,涂敷包含与每种发光色对应的有机发光材料的墨而形成;以及第2电极,其相对于有机发光层形成于与基底层相反侧。并且,在基底层的上方,设置对多个发光部之中相邻的发光部进行划分、对各发光部进行规定的多个分隔壁;多个像素部包括对各自所属的多个发光部之中的预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同的像素部。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,因为对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,所以能够调整其制造时的滴下墨时的锁住位置。具体地,若使分隔壁的表面部的倾斜角度变大,则锁住高度升高,若使倾斜角度变小,则锁住高度降低。
而且,墨干燥后的有机发光层的膜厚与分隔壁中表面部的倾斜角度的大小具有相反的关系。具体地,与所述倾斜角度相对大的一方对应的有机发光层的膜厚将变薄,与所述倾斜角度小的一方对应的有机发光层的膜厚将变厚。
从而,在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,通过使对预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,能够防止有机发光层的膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性。
另外,在上述中,所谓“倾斜角度”,为堤栏中的各侧面部与设置有堤栏的基底层(第1电极或者空穴注入层和/或空穴输送层、进而空穴注入输送层相当于此)的上表面所成的角度。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,可以采用以下构成:对预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同的所述像素部,其对所述多个发光部之中与预定发光部不同的其他发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,通过使对预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相互不同,能够防止有机发光层的膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性,这一点如上述说明所述。在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,与上述一并,通过使对其他发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等,关于在制造时不会产生膜厚的偏倚的发光部,能够防止膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性。由此,在多个像素部中,可得到良好的发光特性。
另外,上述的所谓“相等”,并不是意味着在数值方面必须完全相等,而是考虑了有机发光面板的制造上的尺寸误差等意义的相等。具体地,是在面板的中央部与外周部,在分别所属的像素部的发光效率的差异(辉度不均)在实用上可以允许的范围内,使倾斜角度相等之意。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,可以采用以下构成:在各像素部所具备的多个发光部,按排列顺序,至少包括位于一侧的第1发光部、位于中央侧的第2发光部和位于另一侧的第3发光部;多个像素部形成为连续而相邻。并且,在此情况下,多个像素部具有满足下述关系的像素部:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等,对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。
在上述构成中,在相邻的像素部与像素部之间,不介有非发光部(例如,配置有母线的部分),在按排列顺序执行与有机发光层的形成有关的墨涂敷的情况下,以上述分隔壁的倾斜角度的关系的满足作为条件,能够得到下述效果:能够有效地防止有机发光层的膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性。
此外,在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,也可以采用以下构成:在各像素部所具备的所述多个发光部,按排列顺序,至少包括位于一侧的第1发光部、位于中央侧的第2发光部和位于另一侧的第3发光部;在多个像素部的各相邻像素部之间,形成非像素部。而且,在该情况下,可以采用以下构成:在像素部与非像素部之间,形成对它们进行划分的分隔壁;多个像素部具有满足以下关系的像素部:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等,对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同。
在上述构成中,在相邻的像素部与像素部之间介有非发光部(例如,配置有汇流条的部分)的构成中,在按排列顺序执行与有机发光层的形成有关的墨涂敷的情况下,以上述分隔壁的倾斜角度的关系的满足作为条件,能够得到下述效果:能够有效地防止有机发光层的膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性。
此外,在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,也可以采用以下构成:在各像素部所具备的多个发光部,按排列顺序,至少包括位于一侧的第1发光部、位于中央侧的第2发光部和位于另一侧的第3发光部;在多个像素部的各相邻像素部之间,形成非像素部。而且,在该情况下,可以采用以下构成:在像素部与非像素部之间,形成对像素部与非像素部进行划分的分隔壁;多个像素部具有满足以下关系的像素部:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等,对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同。
在上述构成中,在相邻的像素部与像素部之间介有非发光部(例如,配置有母线(bus bar)的部分)的构成中,在不按排列顺序而一并执行与有机发光层的形成有关的墨涂敷的情况下,以上述分隔壁的倾斜角度的关系的满足作为条件,能够得到下述效果:能够有效地防止有机发光层的膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,也可以采用以下构成:非像素部不包括有机发光层,包括第2电极和具有与像素部中的第1电极相同材料而构成的第3电极,第2电极与第3电极电连接。
在有机发光面板中,作为配置于比有机发光层靠上方(光取出侧)的第2电极,通常使用具有光透射性的材料(例如,ITO和/或IZO等),但是这些材料电阻大。因此,在非像素部中,将第2电极与第3电极连接而实现电阻的降低,即使在面板尺寸大的情况下也难以产生电压下降,能够确保高的发光特性。第3电极例如为母线。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,可以采用以下构成:在对于所述预定发光部涂敷与有机发光层的形成有关的墨时,在与所述预定发光部相邻的2个区域所述墨的蒸汽浓度不同的情况下,对所述预定发光部进行规定的2个分隔壁之中位于所述墨的蒸汽浓度低侧的分隔壁的表面部的倾斜角度比位于所述墨的蒸汽浓度高侧的分隔壁的所述表面部的倾斜角度大。
在有机发光面板中,在与发光部相邻的2个区域中墨的蒸汽浓度不同的情况下,墨的蒸汽浓度低侧的一端部的有机发光层的膜厚具有本来比墨的蒸汽浓度高侧的另一端部的膜厚变得厚的倾向。由此具有在有机发光层的膜厚分布上产生偏倚的倾向。
但是,在上述构成中,因为位于墨的蒸汽浓度低侧的分隔壁的表面部的倾斜角度比位于墨的蒸汽浓度高侧的分隔壁的表面部的倾斜角度大,所以位于墨的蒸汽浓度低侧的分隔壁处的墨的锁住位置比位于墨的蒸汽浓度高侧的分隔壁处的墨的锁住位置相对地升高,其结果,能够抑制位于墨的蒸汽浓度低侧的分隔壁侧的有机发光层的膜厚,能够防止所述预定发光部的一端侧与另一端侧的膜厚的偏倚。
如上所述,在上述构成中,关于所述预定发光部能够防止有机发光层的膜厚的偏倚,各像素部中的发光特性变得良好。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,可以采用以下构成:所述预定发光部:在对于同一像素部的相邻2个发光部中的任一个发光部涂敷了与该发光部对应的墨且对于另一个发光部涂敷与该发光部对应的墨之前的状态下,被涂敷与该预定发光部对应的墨,位于所述另一个发光部侧的分隔壁的表面部的倾斜角度比位于所述一个发光部侧的分隔壁的表面部的倾斜角度大。
在有机发光面板中,在对于相邻2个发光部中的一个发光部涂敷了与该发光部对应的墨且对于另一个发光部涂敷与该发光部对应的墨之前的状态下,在涂敷与该预定发光部对应的墨的情况下,墨的蒸汽浓度在所述一个发光部侧比所述另一个发光部侧升高。因此,所述另一个发光部侧的端部处的有机发光层的膜厚比所述一个发光部侧的端部处的有机发光层的膜厚升高,有在膜厚上产生偏倚的倾向。
但是,在上述构成中,因为位于所述另一个发光部侧的分隔壁的表面部的倾斜角度比位于所述一个发光部侧的分隔壁的表面部的倾斜角度大,所以位于所述另一个发光部侧的分隔壁处的墨的锁住位置比位于所述一个发光部侧的分隔壁处的墨的锁住位置相对地升高,其结果,能够抑制位于所述另一个发光部侧的分隔壁侧的有机发光层的膜厚,能够防止在所述预定发光部一端侧与另一端侧的有机发光层的膜厚的偏倚。
如上所述,在上述构成中,关于所述预定发光部,能够防止有机发光层的膜厚的偏倚,各像素部中的发光特性变得良好。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,也可以采用以下构成:在对于所述预定发光部涂敷与有机发光层的形成有关的墨时,在与所述预定发光部相邻的2个区域,墨的蒸汽浓度不同;在对于与所述预定发光部不同的其他发光部涂敷墨时,在与所述预定发光部不同的其他发光部所相邻的2个区域,墨的蒸汽浓度相等。这样,在墨的蒸汽浓度相等的区域间,关于墨对于分隔壁的表面部的锁住位置,不会产生相对的差异,即使不对分隔壁的表面部的倾斜角度附加差异也不会在所形成的有机发光层的膜厚上产生偏倚。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,采用以下构成:多个像素部的各像素部具备多个发光部,该多个发光部通过从同一像素部内的一侧朝向另一侧依次涂敷与各发光色对应的所述墨、形成有机发光层而形成,至少具有位于一侧并在第1轮涂敷对应的墨的第1发光部、位于中央侧并在第2轮涂敷对应的墨的第2发光部和位于另一侧并在第3轮涂敷对应的墨的第3发光部,在采用这样的构成的情况下具有如下特征。在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,可以具有以下特征:多个像素部形成为连续而相邻;各像素部中:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等,对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。
上述构成对于以下构成具有效果:在相邻的像素部与像素部之间,不设置非像素部,此外各像素部中的墨涂敷按第1发光部、第2发光部、第3发光部的顺序进行。即,在对第1轮进行墨涂敷的第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁彼此间,对向的表面部的倾斜角度相互相等;在对第2轮进行墨涂敷的第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁彼此间,对向的表面部的倾斜角度不同;在对第3轮进行墨涂敷的第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁彼此间,对向的表面部的倾斜角度相互相等。由此,即使在由于墨的涂敷顺序而在墨的蒸汽浓度上产生差异的情况下,通过墨对于各分隔壁的表面部的锁住位置的相对调整,关于形成的有机发光层的膜厚,也能够在第1发光部、第2发光部及第3发光部中,有效地防止偏倚。
在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度比位于第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
此外,在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
进而,在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
在上述构成中,可以将各倾斜角度具体地设定在以下的范围内。
(a1)可以将对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为35°以上45°以下。
(a2)可以将对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为25°以上35°以下。
(a3)可以将对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度设定为25°以上35°以下。
(a4)可以将对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度设定为25°以上35°以下。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,采用以下构成:多个像素部的各像素部具备多个发光部,该多个发光部通过从同一像素部内的一侧朝向另一侧依次涂敷与各发光色对应的所述墨、形成有机发光层而形成,至少具有位于一侧并在第1轮涂敷对应的墨的第1发光部、位于中央侧并在第2轮涂敷对应的墨的第2发光部和位于另一侧并在第3轮涂敷对应的墨的第3发光部,在采用这样的构成的情况下具有以下特征。在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,具有以下特征:在多个像素部的各相邻像素部之间,形成非像素部;在像素部与非像素部之间,形成对像素部与非像素部进行划分的分隔壁;各像素部:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等,对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同。
上述构成对于以下构成具有效果:在相邻的像素部与像素部之间,设置非像素部,此外各像素部中的墨涂敷按第1发光部、第2发光部、第3发光部的顺序进行。即,在对第1轮进行墨涂敷的第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁彼此间,对向的表面部的倾斜角度相互相等;在对第2轮进行墨涂敷的第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁彼此间,对向的表面部的倾斜角度不同;此外在对第3轮进行墨涂敷的第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁彼此间,对向的表面部的倾斜角度相互不同。由此,即使在由于墨的涂敷顺序而在墨的蒸汽浓度上产生差异的情况下,通过墨对于各分隔壁的表面部的锁住位置的相对调整,关于形成的有机发光层的膜厚,也能够在第1发光部、第2发光部及第3发光部中,有效地防止偏倚。
在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度比位于第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大;对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度比位于第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
此外,在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度相等。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
此外,在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
进而,在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
在上述构成中,可以将各倾斜角度具体地设定在以下的范围内。
(b1)可以将对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为35°以上45°以下。
(b2)可以将对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为35°以上45°以下。
(b3)可以将对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为25°以上35°以下。
(b4)可以将对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为25°以上35°以下。
(b5)可以将对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度设定为25°以上35°以下。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,在上述构成中,采用以下构成:多个像素部的各像素部具备多个发光部,该多个发光部通过从同一像素部内的一侧到另一侧同时涂敷与各发光色对应的墨、形成有机发光层而形成,至少具有位于一侧并涂敷对应的墨的第1发光部、位于中央侧并涂敷对应的墨的第2发光部和位于另一侧并涂敷对应的墨的第3发光部,在这样的情况下具有以下特征。在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,具有以下特征:在多个像素部的各相邻像素部之间,形成非像素部;在像素部与非像素部之间,形成对像素部与非像素部进行划分的分隔壁;在各像素部中:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等,对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同。
上述构成对于以下构成具有效果:在相邻的像素部与像素部之间,设置非像素部;此外各像素部中的墨涂敷在第1发光部、第2发光部、第3发光部中一并同时进行。即,因为同时进行墨的涂敷且在相邻的像素部与像素部之间设置有非像素部,所以在涂敷墨时,关于位于中央侧的第2发光部,两侧的墨的蒸汽浓度相等;关于第1发光部及第3发光部,在各个发光部的两侧处的墨的蒸汽浓度上产生差异。基于这样的墨的蒸汽浓度的分布状态,在上述构成中,采用以下构成:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等,对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同。由此,即使在墨的涂敷时产生的墨的蒸汽浓度产生差异的情况下,通过墨对于各分隔壁的表面部的锁住位置的相对调整,关于形成的有机发光层的膜厚,在第1发光部、第2发光部及第3发光部中,也能够有效地防止偏倚。
在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度比位于第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大;对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度比位于第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
此外,在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度相等。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
此外,在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
并且,在上述构成中,具体地,可以采用以下构成:对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。由此,能够防止第1发光部、第2发光部及第3发光部的各有机发光层的膜厚的偏倚。
在上述构成中,可以将各倾斜角度具体地设定在以下的范围内。
(c1)可以将对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为35°以上45°以下。
(c2)可以将对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为35°以上45°以下。
(c3)可以将对第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为25°以上35°以下。
(c4)可以将对第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度设定为25°以上35°以下。
(c5)可以将对第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度设定为25°以上35°以下。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,可以采用以下构成:上述中的倾斜角度为分隔壁中所述对向的各表面部与形成有分隔壁的基底层的上表面所成的角度。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板中,可以采用以下构成:在基底层,包括形成于比第1电极靠下方的TFT(薄膜晶体管)层;在对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同的所述像素部中,第1电极与TFT层电连接。
此外,本发明的一方式所涉及的有机显示装置具备上述本发明的一方式所涉及的有机发光面板的任一个。因而,本发明的一方式所涉及的有机显示装置与上述同样,能够防止有机发光面板中的有机发光层的膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性。
本发明的一方式所涉及的有机发光面板的制造方法制造排列多个像素部而成的有机发光面板,包括以下的工序。
(第1工序)在基板上,形成包括第1电极的基底层。
(第2工序)在基底层上层叠感光性抗蚀剂材料。
(第3工序)通过对所层叠的感光性抗蚀剂材料层进行掩模曝光而进行图案形成,形成与各像素部中的多个发光部对应的多个开口,并且形成对相邻的发光部进行划分而对各发光部进行规定的多个分隔壁。
(第4工序)对于多个开口,分别滴下包含有机发光材料的墨并使其干燥,形成有机发光层。
(第5工序)在有机发光层的上方形成第2电极。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板的制造方法中,在第3工序中,将多个像素部的至少一部分像素部形成为,使对各自所属的多个发光部之中的预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同。
如果采用这样的制造方法,则通过使对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,能够调整在制造时的滴下墨时的锁住位置。具体地,若使分隔壁的表面部的倾斜角度变大,则锁住高度升高,若使倾斜角度变小,则锁住高度降低。
而且,在本发明的一方式所涉及的有机发光面板的制造方法中,基于墨干燥后的有机发光层的膜厚与分隔壁中表面部的倾斜角度的大小具有相反关系这样的关系,能够防止有机发光层的膜厚的偏倚,能够制造具有良好的发光特性的有机发光面板。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板的制造方法中,可以采用以下构成:在上述构成中,在第3工序中,在至少一部分像素部中形成为,对多个发光部之中与所述预定发光部不同的其他发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。
在采用该构成的情况下,通过使对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相互不同,能够在防止膜厚的偏倚的状态下形成有机发光层,能够制造具有良好的发光特性的有机发光面板,这一点如上述说明所述。在本发明的一方式所涉及的有机发光面板的制造方法中,与上述一并,通过使对其他发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等,关于原始在制造时不会产生膜厚的偏倚的发光部,能够防止膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性。由此,能够制造在全部像素部中具有良好的发光特性的有机发光面板。
另外,上述的所谓“相等”,如上所述,并不是意味着在数值方面必须完全相等,而是考虑了显示装置的制造上的尺寸误差等意义的相等。具体地,是在面板的中央部与外周部,在分别所属的像素部的发光效率的差异(辉度不均)在实用上可以允许的范围内,使倾斜角度相等之意。
在本发明的一方式所涉及的有机发光面板的制造方法中,在上述构成中,可以采用以下具体的构成:在第3工序中,关于感光性抗蚀剂材料的曝光,使向与对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部相当的部分的曝光量相互不同,由此使作为对象的分隔壁的各表面部的倾斜角度不同。由此,可以使对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,通过锁住位置的调整,能够形成没有膜厚的偏倚的有机发光层。因而,能够制造具有良好的发光特性的有机发光面板。
此外,在本发明的一方式所涉及的有机发光面板的制造方法中,在上述构成中,也可以采用以下的构成:在第3工序中,关于感光性抗蚀剂材料的曝光,通过使用掩模而使作为对象的分隔壁的各表面部的倾斜角度不同,所述掩模的、向与对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部相当的部分的光透射率相互不同。在采用这样的方法的情况下,也可以使对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,通过锁住位置的调整,能够形成没有膜厚的偏倚的有机发光层。因而,能够制造具有良好的发光特性的有机发光面板。
进而,在本发明的一方式所涉及的有机发光面板的制造方法中,在上述构成中,也可以采用以下构成:在第3工序中,关于与对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部相当的部分,在对感光性抗蚀剂材料进行曝光并显影后,对于与所述对向的表面部的某一方相当的部分追加进行曝光处理,由此使作为对象的分隔壁的各表面部的倾斜角度不同。在采用这样的方法的情况下,也可以使对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同,通过锁住位置的调整,能够形成没有膜厚的偏倚的有机发光层。因而,能够制造具有良好的发光特性的有机发光面板。
此外,本发明的一方式所涉及的有机显示装置具备采用上述本发明的一方式所涉及的制造方法的任一种而得到的有机发光面板。在具备使用这样的制造方法制造的有机发光面板的有机显示装置中,与上述同样,能够防止有机发光面板中的有机发光层的膜厚的偏倚,可得到良好的发光特性。
[实施方式]
以下,关于用于实施本发明的方式的一例,参照附图进行说明。
另外,在以下的说明中使用的方式是为了容易理解地对本发明的结构以及作用、效果进行说明而使用的例子,本发明除了其本质的特征部分以外不受以下的方式的任何限定。
(得到本发明所涉及的实施方式的经过)
本发明人对在[背景技术]中记载的有机发光面板以及具备该有机发光面板的有机显示装置进行锐意研究,结果得到以下的认知。
通常,如图25(a)所示,在基板901上,按每个子像素900a、900b、900c设置有阳极电极902以及覆盖该阳极电极902的电极被覆层903。并且,以覆盖电极被覆层903以及基板901的表面的方式,形成有空穴注入层904,在空穴注入层904上,按每个子像素900a、900b、900c层叠形成有发光色不同的有机发光层906a、906b、906c。有机发光层906a、906b、906c通过竖立设置于空穴注入层904上的堤栏905a~905d划分。
如图25(a)所示,在现有技术所涉及的有机发光面板中,按排列顺序配置于中央部的子像素900b的有机发光层906b有时膜厚会产生偏倚。具体地,产生有机发光层906b的在堤栏905c处的位置C3的高度比在堤栏905b处的位置C2的高度以及子像素900a中的有机发光层906a的在堤栏905b侧的位置C1的高度高的现象。
并且,作为另外的例子,如图25(b)所示,产生以下现象:子像素950b、950c中的各有机发光层956b、956c的堤栏955c、955d侧的各个位置C12、C14的高度比各有机发光层956b、956c的堤栏955b、955c侧的各个位置C11、C13的高度高。另外,如图25(b)所示,子像素950a中的有机发光层956a其堤栏955a侧的位置的高度与堤栏955b侧的位置的高度基本相等,膜厚并不产生大的偏倚。
关于上述现象,本发明人反复进行研究,结果推定为:有机发光层的膜厚的均匀性的低下如以下所说明,起因于墨干燥时的蒸汽浓度分布的不均匀。具体地,可以认为:如图26(a)所示,假定在被规定于堤栏905b与堤栏905c之间的区域涂敷有用于形成有机发光层的墨9060b的状态,在此时的蒸汽浓度分布如两点划线所示在图26(a)的右侧比左侧低时,因以下的关系有机发光层的膜厚会产生偏倚。
如图26(a)所示,在墨9060b刚刚滴下之后,墨9060b的表面轮廓L90成为子像素的中央部分突起的形状。在使其干燥的情况下,形式上可以认为:因上述的蒸汽浓度的分布,在蒸汽浓度低的一侧蒸发速度快,在蒸汽浓度高的一侧慢,所以变化为表面轮廓L91
但是,如图26(b)所示,在干燥过程中的墨9061b的内部,产生由虚线箭头L92所示的溶剂的移动。这是溶剂为了补充所蒸发的量而移动(为了将表面自由能设定为最小而移动)的情况,伴随着溶剂的移动,溶质(有机发光材料)也移动。因此,如图26(c)所示,在蒸汽浓度分布具有偏倚的情况下,形成表面轮廓L93越向右侧越突起的有机发光层906b。
如上所述,本发明人得到以下的推论:关于有机发光面板,因墨干燥时的蒸汽浓度分布的不均匀,所形成的有机发光层的膜厚的均匀性会下降。
而且,本发明人发现了如下的技术特征:通过在面板表面内使堤栏的表面部的倾斜角度不同,使墨在堤栏侧面部的锁住位置不同,结果会实现有机发光层的膜厚的均匀化。
[实施方式1]
1.显示装置1的概略结构
使用图1,对本实施方式所涉及的显示装置1的整体结构进行说明。
如图1所示,显示装置(有机显示装置)1具有显示面板部10和与其连接的驱动控制部20。显示面板部10是利用有机材料的场致发光现象的有机发光面板,在X-Y面方向2维排列有多个像素部。
另外,驱动控制部20包括4个驱动电路21~24和控制电路25。
另外,在实际的显示装置1中,关于驱动控制部20相对于显示面板部10的配置,并不限定于此。
2.显示面板10的结构
使用图2对于显示面板10的结构进行说明。另外,本实施方式所涉及的显示面板10,作为一例,采用顶部发光型的有机发光面板,将具备有机发光层的多个像素部配置为矩阵状,所述有机发光层具有红(R)、绿(G)、蓝(B)中的某一种发光色,但在图2中,抽取一个像素部中的一个子像素100进行描绘。
如图2所示,显示面板10在TFT基板(以下,简记为“基板”)101上,形成有阳极电极102,在阳极电极102上,依次层叠形成有电极被覆层103以及空穴注入输送层104。另外,阳极电极102以及电极被覆层103按每个子像素100以分离的状态形成。
在空穴注入输送层104上,竖立设置有包含绝缘材料且对子像素100彼此之间进行划分的堤栏(分隔壁)105。在各子像素100的由堤栏105划分的区域,形成有有机发光层106,在其上,按顺序层叠形成有电子注入层107、阴极电极108以及封止层109。
a)基板101
基板101以例如无碱玻璃、碱玻璃、无荧光玻璃、磷酸系玻璃、硼酸系玻璃、石英、丙烯酸系树脂、苯乙烯系树脂、聚碳酸酯系树脂、环氧系树脂、聚乙烯、聚酯、硅系树脂或者氧化铝等绝缘性材料为基础而形成。而且,在基板101上,虽然图示省略,但层叠形成有TFT层以及钝化膜,进而层叠形成有层间绝缘膜等。
b)阳极电极102
阳极电极102由包含导电性材料的单层或者将多层层叠而成的层叠体构成,使用例如Al(铝)和/或包含铝的合金、Ag(银)、APC(银、钯、铜的合金)、ARA(银、铷、金的合金)、MoCr(钼与铬的合金)、NiCr(镍与铬的合金)等形成。另外,在如本实施方式那样顶部发光型的情况下,优选用高反射性的材料形成。
c)电极被覆层103
电极被覆层103使用例如ITO(氧化铟锡)形成,被覆阳极电极102的Z轴方向上部的表面的至少一部分。
d)空穴注入输送层104
空穴注入输送层104是包含例如银(Ag)、钼(Mo)、铬(Cr)、钒(V)、钨(W)、镍(Ni)、铱(Ir)等的氧化物或者PEDOT(聚噻吩与聚苯乙烯磺酸的混合物)等导电性聚合物材料的层。在上述之中,包含氧化金属的空穴注入输送层104具有使空穴稳定或者辅助空穴的生成而对有机发光层106注入以及输送空穴的功能,具有较大的功函数。
在此,在由过渡金属的氧化物构成空穴注入输送层104的情况下,由于可取得多个氧化值,所以由此可以取得多个能级,其结果,空穴注入变得容易,可以降低驱动电压。
e)堤栏105
堤栏(分隔壁)105由树脂等有机材料形成,具有绝缘性。作为在堤栏105的形成中使用的有机材料的例子,可以列举丙烯酸系树脂、聚酰亚胺系树脂、酚醛清漆型酚醛树脂等。并且,堤栏105优选具有耐有机溶剂性。
进而,在堤栏105的形成中,由于实施蚀刻处理以及烘烤处理等,所以优选用对于这些处理不会过度变形、变质等耐性高的材料形成。另外,为了使其具有拨水性,也可以对侧面部进行氟处理。
另外,对于在堤栏105的形成中使用的绝缘材料,可以以上述的各材料为代表,使用特别是电阻率为105Ω·cm以上并且具有拨水性的材料。这是因为:在使用电阻率为105Ω·cm以下的材料的情况下,会成为阳极电极102与阴极电极108之间的泄漏电流或者相邻子像素100之间的泄漏电流的产生的原因,产生功耗增加等各种问题。
另外是因为:在使用亲水性的材料形成堤栏105的情况下,堤栏105的侧面部与空穴注入输送层104的表面的亲液性/拨液性的差异变小,难以使为了形成有机发光层106而包含有机物质的墨选择性地保持在堤栏105的开口部。
进而,对于堤栏105的结构,不仅可以采用图2所示的一层结构,而且也可以采用两层以上的多层结构。在该情况下,既可以在每层将上述材料组合,也可以按每层使用无机材料和有机材料。
f)有机发光层106
有机发光层106具有通过使从阳极电极102注入的空穴与从阴极电极108注入的电子再结合而产生激励状态从而发光的功能。在有机发光层106的形成中使用的材料,需要使用可以使用湿式印刷法制膜的发光性有机材料。
具体地,优选用例如专利公开公报(日本特开平5-163488号公报)中记载的类喔星(oxinoid)化合物、苝化合物、香豆素化合物、氮杂香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫环酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物(ァントラセン化合物)、芴化合物、荧蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、晕苯化合物、喹诺酮化合物及氮杂喹诺酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、(chrysene)化合物、菲化合物、环戊二烯化合物、茋化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、双氰亚甲基吡喃化合物、双氰亚甲基噻喃化合物、荧光素化合物、吡喃鎓化合物、噻喃鎓化合物、硒吡喃鎓化合物、碲吡喃鎓化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亚苯基化合物、噻吨化合物、蒽化合物(ァンスラセン化合物)、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羟基喹啉化合物的金属配合物、2,2’-联吡啶化合物的金属配合物、席夫碱与III族金属的配合物、8-羟基喹啉(喔星)金属配合物、稀土类配合物等荧光物质。
g)电子注入层107
电子注入层107具有将从阴极电极108注入的电子向有机发光层106输送的功能,例如,优选由钡、酞菁、氟化锂或者这些物质的组合形成。
h)阴极电极108
阴极电极108由例如ITO、IZO(氧化铟锌)等形成。在顶部发射型的显示面板10的情况下,优选由光透射性的材料形成。对于光透射性,优选将透射率设定为80%以上。
作为在阴极电极108的形成中使用的材料,除了上述的材料之外,也可以使用例如将包含碱金属、碱土类金属或者这些金属的卤化物的层与包含银的层按该顺序层叠而成的结构。在以上所述中,包含银的层既可以单独由银形成,也可以由银合金形成。另外,为了实现光取出效率的提高,也可以从该包含银的层的上方设置透明度高的折射率调整层。
i)封止层109
封止层109具有抑制有机发光层106等暴露于水分中或者暴露于空气中的功能,可使用例如SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料形成。在顶部发射型的显示面板10的情况下,优选由光透射性的材料形成。
3.堤栏105的构成
如图3所示,在本实施方式所涉及的显示面板10中,作为一例采用线状的堤栏105。具体地,堤栏105,分别在Y轴方向延伸形成,对在X轴方向相邻的像素部100之间进行划分。而且,子像素100形成为发光色按由堤栏105划分的每个区域不同,例如,以红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)各发光色的3个子像素的组合,构成一个像素部。
4.每区域的堤栏105的构成
关于每区域的堤栏105的构成,使用图4进行说明。另外,图4是对图1中的显示面板10以A-A’剖面进行剖切并将其一部分示意化的剖面端面图。
如图4所示,在像素部中,从X轴方向左侧按顺序,连续配置有子像素100a、子像素100b、子像素100c。另外,在本实施方式所涉及的显示面板10中,配置为像素部与像素部连续相邻。
子像素100a通过堤栏105a和堤栏105b规定,子像素100b通过堤栏105b和堤栏105c规定,子像素100c通过堤栏105b和堤栏105d规定。在堤栏105a、105b、105c、105d的各个中,其表面部105aa、105ba、105bb、105cb、105cc、105dc和作为基底层的空穴注入输送层104的表面分别形成角度θaa、θba、θbb、θcb、θcc、θdc。
在此,在本实施方式中,角度θaa、θba、θbb、θcb、θcc、θdc满足由以下的各式表示的关系。
(式1)θcb>θaa=θba=θbb=θcc=θdc
另外,在本实施方式中,优选:将各个角度θaa、θba、θbb、θcb、θcc、θdc设定在以下的范围。
(式2)25°<θaa=θba=θbb=θcc=θdc<35°
(式3)35°<θcb<45°
5.堤栏105的侧面部的倾斜角度θ与有机发光层106的膜厚的关系
使用图5以及图6对堤栏105的表面部的倾斜角度θ与有机发光层106的膜厚的关系进行说明。另外,在图5中,示意性描绘一个子像素的结构。
如图5(a)所示,堤栏105x的表面部的倾斜角度(堤栏105x的表面部与空穴注入输送层104的表面所成的角度)为角度θx,如图5(b)所示,堤栏105y的表面部的倾斜角度(堤栏105y的表面部与空穴注入输送层104的表面所成的角度)为角度θy。角度θx与角度θy满足以下的关系。
(式4)θy>θx
若向由各堤栏105x、105y划分的开口部滴下(涂敷)包含有机发光材料的墨1060x、1060y,则各锁住位置Px、Py的高度Hx、Hy成为以下的关系。
(式5)Hy>Hx
如图5(c)所示,若使墨1060x干燥,则因锁住位置Px的高度Hx相对较低,所以在所形成的有机发光层106x,子像素的中央部分突起,其膜厚成为厚度Tx。
另一方面,如图5(d)所示,若使墨1060y干燥,则因锁住位置Py的高度Hy相对较高,在所形成的有机发光层106y,子像素的中央部分凹陷,其膜厚成为厚度Ty。
厚度Tx与厚度Ty满足以下的关系。
(式6)Tx>Ty
将上述的关系汇总表示于图6。如图6所示,如果减小堤栏105的表面部的倾斜角度(锥角)θ,则锁住位置的高度H降低,结果所得到的有机发光层106的膜厚T变厚。相反,如果增大堤栏105的表面部的倾斜角度(锥角)θ,则锁住位置的高度H升高,结果所得到的有机发光层106的膜厚T变薄。
对于以上的事项,制作5个样本进行评价。将结果表示于图7以及图8。
如图7以及图8所示,相对于样本2的膜厚分布,在增大了锥角的样本3以及样本4中,锁住位置升高。另外,在图7以及图8中,横轴表示横方向,纵轴表示高度方向。
但是,在将堤栏的锥角(倾斜角度)增大到了50°的样本5中,与样本2相比膜厚的均匀性下降。
6.显示面板10的制造方法
对本实施方式所涉及的显示面板10的制造方法,使用图9、图10以及图11对作为特征的部分进行说明。另外,对于在以下省略说明的制造工序,可以采用作为以往技术而提出的各种工序。
首先,如图9(a)所示,在基板101的Z轴方向上表面,与各子像素预定区域1000a、1000b、1000c相对应,按顺序层叠形成阳极电极102和电极被覆层103。然后,从其上方,以覆盖表面整体的方式,层叠形成空穴注入输送层104。阳极电极102的形成通过下述过程进行:使用例如溅射法和/或真空蒸镀法制成包含Al或者其合金的薄膜或者Ag薄膜,然后使用光刻法对该薄膜进行图案形成。
另外,电极被覆层103的形成通过下述过程进行:例如,对于阳极电极102的表面,使用溅射法等制成ITO薄膜,并使用光刻法等对该ITO薄膜进行图案形成。然后,在空穴注入输送层104的形成中,首先,对于包含电极被覆层103的表面的基板101的表面,使用溅射法等制成金属膜。然后,使所形成的金属膜氧化,形成空穴注入输送层104。
接下来,如图9(b)所示,使用例如旋涂法等,以覆盖空穴注入输送层104上方的方式,形成堤栏材料层1050。在堤栏材料层1050的形成中,使用感光性抗蚀剂材料,具体地,如上所述,可以使用丙烯酸系树脂、聚酰亚胺系树脂、酚醛清漆型酚醛树脂等具有绝缘性的有机材料。
接下来,如图9(c)所示,在堤栏材料层1050的上方,配置在要形成堤栏的位置设有开口501a、501b、501c、501d的掩模501。在该状态下通过掩模501的开口501a、501b、501c、501d执行曝光。
另外,如图9(c)所示,相对于子像素预定区域1000a位于左侧的掩模501的开口501a其宽度Wa由要形成的堤栏105a的表面部105aa(参照图4)的下端的点Pa1、Pa2规定。
另一方面,位于子像素1000b与子像素1000c之间的掩模501的开口501c其宽度Wc1由要形成的堤栏105c的表面部105cb(参照图4)的上端的点Pc1和表面部105cc(参照图4)的底边部分的点Pc2规定。
接下来,如图10(a)所示,在堤栏材料层1050的上方,配置在与堤栏105c的表面部105cb(参照图4)相对应的位置设有开口502c的掩模502。然后,在该状态下通过掩模502的开口502c执行第2次曝光。
另外,如图10(a)所示,掩模502的开口502c的宽度Wc2由要形成的堤栏105c的表面部105cd的下端的点Pc3和上端的点Pc1规定。
接下来,如图10(b)所示,通过实施显影以及烘烤,形成堤栏105a、105b、105c、105d。堤栏105c的子像素预定区域1000b侧的表面部105cb如上所述,倾斜角度比堤栏105a、105b、105d的各表面部105aa、105ba、105bb、105dc以及堤栏105c的子像素预定区域1000c侧的表面部105cc大。
然后,如图10(c)所示,使用喷墨法等,对由堤栏105a与堤栏105b划分的开口部(子像素预定区域1000a),涂敷包含有机发光材料的墨1060a。
接着,如图11(a)所示,同样使用喷墨法等,对由堤栏105b与堤栏105c划分的开口部(子像素预定区域1000b),涂敷包含有机发光材料的墨1060b。在此,由于如上所述使堤栏105c的表面部105cb的倾斜角度比其他表面部的倾斜角度大,所以墨1060b的对于堤栏105c的表面部105cb的锁住位置Qcb变得比其他锁住位置Qaa、Qba、Qbb高。
接下来,如图11(b)所示,同样使用喷墨法等,对由堤栏105c与堤栏105d划分的开口部(子像素预定区域1000c),涂敷包含有机发光材料的墨1060c。在此,由于在与堤栏105d的右侧相邻的子像素预定区域已经进行了向相邻像素部的子像素预定区域的墨涂敷,所以关于墨1060c,在X轴方向,两侧的蒸汽浓度没有差异,即使不进行堤栏的表面部的倾斜角度的调整,也不会在有机发光层的膜厚上产生偏倚。
另外,虽然图示省略,但此后执行墨的干燥,然后按顺序层叠形成电子注入层107、阴极电极108以及封止层109等,由此形成显示面板10。
7.墨的涂敷工序和干燥工序
使用图12对墨的涂敷工序与干燥工序的关系进行说明。
如图12(a)所示,在本实施方式中,涂敷红色墨(墨1060a)(步骤S1),接着,涂敷绿色墨(墨1060b)(步骤S2),执行蓝色墨(墨1060c)的涂敷(步骤S3),然后集中执行墨干燥工序(步骤S4)。
与此相对,如图12(b)所示,也可以依次进行红色墨(墨1060a)的涂敷(步骤S11)和其干燥(步骤S12)的执行、接着绿色墨(墨1060b)的涂敷(步骤S21)和其干燥(步骤S22)的执行以及蓝色墨(墨1060c)的涂敷(步骤S31)和其干燥(步骤S32)的执行。在该情况下,堤栏105a、105b、105c、105d的各表面部105aa、105ba、105bb、105cb、105cc、105dc的各倾斜角度的关系可以设定为与上述相同。在该情况下,也可以抑制所形成的有机发光层106的膜厚的偏倚。
8.效果
如图4所示,在本实施方式所涉及的显示装置1的显示面板10中,将堤栏105c的子像素100c侧的表面部105cb的倾斜角度θcb设定得比其他表面部105aa、105ba、105bb、105cc、105dc的各倾斜角度θaa、θba、θbb、θcc、θdc大。因此,如图11(a)所示,在将墨1060b涂敷于子像素预定区域1000b时,其锁住位置Qcb变得比其他锁住位置Qaa、Qba、Qbb高。
相反,表面部105aa、105ba、105bb、105cc、105dc的各倾斜角度θaa、θba、θcc、θdc为相互相等。
因此,在显示面板10中,具有干燥后的有机发光层106的膜厚在子像素100a、100b、100c中变得均匀,辉度不均较小的效果。
另外,如果使用利用图9、图10以及图11说明的本实施方式所涉及的显示装置1的制造方法,则可以制造具有上述效果的显示装置1。
另外,如上所述,所谓“相等”,并不是数值方面完全相等之意,而是考虑了显示装置1的制造上的尺寸误差等。具体地,是下述含义:在显示面板10中,在分别所属的子像素100a、100b、100c的发光效率的差异(辉度不均)在实用上可以允许的范围内,将倾斜角度设定为相等。
[变形例1]
接下来,使用图13,对显示装置1的制造方法的变形例1进行说明。图13表示与图9(c)至图10(a)所示的工序对应的工序。
如图13所示,在空穴注入输送层104上层叠形成堤栏材料层1050,然后在其上方配置掩模503。在掩模503,设有光透射部503a、503b、503c1、503c2、503d。各光透射部503a、503b、503c1、503c2、503d与要形成堤栏105a、105b、105c、105d的位置对应地设置。
在本变形例1所涉及的显示装置1的制造方法中,与子像素预定区域1000a的左侧对应的区域的光透射部503a的宽度Wa由要形成的堤栏105a的表面部105aa、…(参照图4)的下端的点Pa1、Pa2规定。
另一方面,与子像素1000b和子像素1000c之间对应的区域的光透射部503c1的宽度Wc2由要形成的堤栏105c(参照图4)的下端的点Pc2及上端的点Pc1规定。此外,光透射部503c2由要形成的堤栏105c的表面部105cb(参照图4)的上端以及下端的点Pc3、Pc1规定。
在此,掩模503使用网板等掩模构成,光透射部503a、503b、5031c、503d与光透射部503c2的光透射率不同。具体地,光透射部503c2的光透射率比光透射部503a、503b、503c1、503d的光透射率大。
在配置有具有以上的结构的掩模503的状态下,在执行曝光、显影后,通过烘烤,可以形成图10(b)所示的堤栏105a、105b、105c、105d。即,在通过将光透射率设定得较大的光透射部503c2而曝光的位置,与通过其他光透射部503a、503b、503c1、503d而曝光的位置相比,如上述[式1]所示的关系,侧壁面的倾斜角度变大。
另外,之后的工序与上述实施方式等相同。
通过以上的制造方法,也可以制造显示装置1。
[变形例2]
接下来,使用图14以及图15,对显示装置1的制造方法的变形例2进行说明。图14以及图15表示与图9(c)至图10(b)所示的工序对应的工序。
如图14(a)所示,在空穴注入输送层104上层叠形成堤栏材料层1050,然后在其上方配置掩模504。在掩模504,与要形成堤栏105的各位置对应,设有开口504a、504c、504d。
开口504a、504c、504d以与在上述实施方式的制造方法中使用的掩模501的开口501a相同的宽度形成。
另一方面,在子像素预定区域1000b与子像素预定区域1000c之间要形成堤栏105c(参照图4)的位置设置的开口504c的宽度Wc3如图14(a)的由两点划线包围的部分所示,设定为比由堤栏105c的表面部105cb(参照图4)的上端及下端的点Pc2、Pc3规定的宽度大。具体地,在要将倾斜角度设定得较大的位置,使宽度增大。
在配置有图14(a)所示的方式的掩模504的状态下,执行第1次曝光、显影。由此,如图14(b)所示,在分别与开口504a、504b、504c、504d对应的位置,残留堤栏材料层1051a、1051b、1051c、1051d。
另外,如图14(b)所示,在执行了第1次曝光、显影的状态下,堤栏材料层1051a、1051b、1051c、1051d的各表面部的倾斜角度均等。在本变形例2中,不进行该时刻的烘烤。
接下来,如图15(a)所示,在形成有堤栏材料层1051a、1051b、1051c、1051d的状态下,在其上方配置掩模505。在掩模505,在与要形成的堤栏105a、105b、105c、105d的表面部对应的位置之中,仅在要将倾斜角度设定得较大的位置(堤栏105c的表面部105cb)设有开口505c。
在配置有掩模505的状态下,执行第2次曝光、显影,然后通过进行烘烤,可以形成图15(b)所示的堤栏105a、105b、105c、105d。
然后,通过执行与上述实施方式等同样的工序,可以制造显示装置1。
[制造方法的验证]
对于上述实施方式以及变形例1、2所涉及的各制造方法,以具体例对形成后的堤栏形状进行验证。使用图16对于其结果进行说明。
如图16(a)所示,越使曝光量增加,所形成的堤栏侧面部的倾斜角度变得越大。具体地,在将曝光量设定为200mJ而进行曝光、显影的情况下形成的堤栏侧面部的倾斜角度为23°,与此相对,在将曝光量设定为300mJ而进行曝光、显影的情况下形成的堤栏侧面部的倾斜角度为38°。对于该结果,在图16(b)所示的AFM(Atomic Force Microscope:原子力显微镜)中也示出。
进而,如图16(a)以及图16(b)所示,在将曝光量设定为200mJ而进行第1次曝光、显影,然后将曝光量设定为100mJ而进行第2次曝光、显影的情况下,所形成的堤栏侧面部的倾斜角度为50°。这可以认为是对应于上述变形例2所涉及的制造方法的情况,在增大堤栏侧面部的倾斜角度上是有效的。
另外,在图16(b)中,横轴表示横方向,纵轴表示高度方向。
[实施方式2]
关于实施方式2所涉及的显示装置的结构,使用图17及图18进行说明。
1.显示面板30的结构
如图17所示,显示面板30与上述实施方式1所涉及的显示面板10同样,在TFT基板(以下,简记为“基板”)101上,与子像素300a、300b、300c分别对应地,形成有阳极电极102,在阳极电极102上,依次层叠形成有电极被覆层103以及空穴注入输送层104。
在空穴注入输送层104上,竖立设置有包含绝缘材料且分别规定子像素300a、300b、300c的堤栏305a、305b、305c、305d。另外,在各子像素300a、300b、300c的由堤栏305a、305b、305c、305d划分的区域,依次层叠形成有有机发光层、电子注入层、阴极电极以及封止层(在图17中省略图示)。
在本实施方式所涉及的显示面板30中,以子像素300a、300b、300c的组合构成一个像素部这一点与上述实施方式1所涉及的显示面板10相同,但是在本实施方式所涉及的显示面板30中,在相邻的像素部与像素部之间设置有非像素部300d、300e。
具体地,如图17所示,在非像素部300d、300e中,设置有包含与阳极电极102相同材料的电极(母线)302和被覆该电极302的电极被覆层303。并且,在电极被覆层303上,延伸设置有空穴注入输送层104,并且虽然图示省略,但在其上形成有阴极电极108,电极302与阴极电极108电连接。另外,在非像素部300d、300e,不形成有机发光层106。通过采取这样的结构,可以实现由ITO等构成的阴极电极108的电阻的降低,可以抑制电压下降。
如图17所示,在本实施方式所涉及的显示面板30中,堤栏305a、305b、305c、305d的各自的表面部305aa、305ba、305bb、305cb、305cc、305dc与作为基底层的空穴注入输送层104的表面分别成角度θ3aa、θ3ba、θ3bb、θ3cb、θ3cc、θ3dc。
在此,在本实施方式中,角度θ3aa、θ3ba、θ3bb、θ3cb、θ3cc、θ3dc满足以下的各式所示的关系。
(式7)θ3cb>θ3aa=θ3ba=θ3bb=θ3cc
(式8)θ3dc>θ3aa=θ3ba=θ3bb=θ3cc
另外,在本实施方式中,优选将各个角度θ3aa、θ3ba、θ3bb、θ3cb、θ3cc、θ3dc设定在以下的范围。
(式9)25°<θ3aa=θ3ba=θ3bb=θ3cc<35°
(式10)35°<θ3cb<45°
(式11)35°<θ3dc<45°
之所以以上述式7、式8、式9、式10、式11的关系规定堤栏305a、305b、305c、305d的各自的表面部305aa、305ba、305bb、305cb、305cc、305dc的倾斜角度θ3aa、θ3ba、θ3bb、θ3cb、θ3cc、θ3dc,是由于在相邻的像素部与像素部之间配置非像素部300d、300e。关于此,以下结合与墨3060a、3060b、3060c的涂敷的关系进行说明。
2.显示面板30的制造方法
关于显示面板30的制造方法,抽取作为特征的工序,使用图18进行说明。另外,关于图18所示的工序以外的工序,与上述实施方式1相同。
如图18(a)所示,使用喷墨法等,对于由堤栏305a和堤栏305b划分的开口部(子像素预定区域3000a),涂敷包含有机发光材料的墨3060a。在墨3060a的涂敷时,因为在堤栏305a的左侧及堤栏305b的右侧未涂敷墨,所以蒸汽浓度的分布基本相同。
接着,如图18(b)所示,同样使用喷墨法等,对于由堤栏305b和堤栏305c划分的开口部(子像素预定区域3000b),涂敷包含有机发光材料的墨3060b。在此,由于如上所述将堤栏305c的表面部305cb的倾斜角度θ3cb(参照图17)设定为满足上述式7的关系(相对地增大),所以墨3060b的对于堤栏305c的表面部305cb的锁住位置Q3cb变得比其他锁住位置Q3aa、Q3ba、Q3bb高。
然后,如图18(c)所示,同样使用喷墨法等,对于由堤栏305c和堤栏305d划分的开口部(子像素预定区域3000c),涂敷包含有机发光材料的墨3060c。在此,在本实施方式中,由于在子像素预定区域3000c的右侧存在不进行墨涂敷的非像素部3000d,所以子像素预定区域3000c的右侧的蒸汽浓度比左侧变低。因此,关于堤栏305d,也使其子像素预定区域3000c侧的表面部305dc的倾斜角度θ3dc(参照图17)与堤栏305c的表面部305cb的倾斜角度θ3cb同样地,满足上述式7、式8的关系(相对地增大)。由此,墨3060c对于堤栏305d的表面部305dc的锁住位置Q3dc与墨3060b的锁住位置Q3cb同样地,也变高。
另外,虽然图示省略,但此后执行墨的干燥,然后按顺序层叠形成电子注入层、阴极电极以及封止层等,由此形成显示面板30。
通过采用以上的结构,即使在相邻的像素部与像素部之间设置非像素部300d、300e的情况下,也能够抑制全部的子像素300a、300b、300c中的有机发光层的膜厚的偏倚,能够形成高的发光特性的显示面板30。
另外,关于在本实施方式中省略了说明的事项,可以采用与上述实施方式1同样的构成。
[实施方式3]
关于实施方式3所涉及的显示装置的结构,使用图19及图20进行说明。
1.显示面板40的结构
如图19所示,显示面板40与上述实施方式1所涉及的显示面板10同样,在TFT基板(以下,简记为“基板”)101上,与子像素400a、400b、400c分别对应地,形成有阳极电极102,在阳极电极102上,依次层叠形成有电极被覆层103以及空穴注入输送层104。
在空穴注入输送层104上,竖立设置有包含绝缘材料且分别规定子像素400a、400b、400c的堤栏405a、405b、405c、405d。另外,在各子像素400a、400b、400c的由堤栏405a、405b、405c、405d划分的区域,依次层叠形成有有机发光层、电子注入层、阴极电极以及封止层(在图19中省略图示)。
在本实施方式涉及的显示面板40中,以子像素400a、400b、400c的组合构成一个像素部,在相邻的像素部与像素部之间设置有非像素部400d、400e。关于这些点,与上述实施方式2涉及的显示面板30相同。
如图19所示,与实施方式2同样,在非像素部400d、400e中,设置有包含与阳极电极102相同材料的电极(母线)402和被覆该电极402的电极被覆层403,并且在电极被覆层403上,延伸设置有空穴注入输送层104。并且,虽然图示省略,但在其上形成有阴极电极,电极402与阴极电极电连接。另外,在非像素部400d、400e,不形成有机发光层。通过采取这样的结构,与上述实施方式2同样,可以实现由ITO等构成的阴极电极的电阻的降低,可以抑制电压下降。
如图19所示,在本实施方式所涉及的显示面板40中,堤栏405a、405b、405c、405d的各自的表面部405aa、405ba、405bb、405cb、405cc、405dc与作为基底层的空穴注入输送层104的表面分别成角度θ4aa、θ4ba、θ4bb、θ4cb、θ4cc、θ4dc。
在此,在本实施方式中,角度θ4aa、θ4ba、θ4bb、θ4cb、θ4cc、θ4dc满足以下的各式所示的关系。
(式12)θ4aa>θ4ba=θ4bb=θ4cb=θ4cc
(式13)θ4dc>θ4ba=θ4bb=θ4cb=θ4cc
另外,在本实施方式中,优选将各个角度θ4aa、θ4ba、θ4bb、θ4cb、θ4cc、θ4dc设定在以下的范围。
(式14)25°<θ4ba=θ4bb=θ4cb=θ4cc<35°
(式15)35°<θ4aa<45°
(式16)35°<θ4dc<45°
之所以以上述式12、式13、式14、式15、式16的关系规定堤栏405a、405b、405c、405d的各自的表面部405aa、405ba、405bb、405cb、405cc、405dc的倾斜角度θ4aa、θ4ba、θ4bb、θ4cb、θ4cc、θ4dc,是由于在相邻的像素部与像素部之间配置非像素部400d、400e以及后述的墨4060a、4060b、4060c的涂敷方式。
2.显示面板40的制造方法
关于显示面板40的制造方法,抽取作为特征的工序,使用图20进行说明。另外,关于图20所示的工序以外的工序,与上述实施方式1相同。
如图20所示,在本实施方式中,对于子像素预定区域4000a、4000b、4000c的各个,使用喷墨法等同时涂敷墨4060a、4060b、4060c。在墨4060a、4060b、4060c的涂敷时,仅位于像素部的中央的子像素预定区域4000b在X轴方向的左右蒸汽浓度的分布没有差异。
另一方面,在子像素预定区域4000a中,在X轴方向左侧存在非像素部4000d,由此蒸汽浓度在左侧变得比右侧低。同样地,在子像素预定区域4000c中,在X轴方向右侧存在非像素部4000e,由此蒸汽浓度在右侧变得比左侧低。
在本实施方式中,在子像素预定区域4000a的左侧及子像素预定区域4000c的右侧,分别存在不进行墨涂敷的非像素部4000d、4000e,但是将堤栏405a的表面部405aa及堤栏405d的表面部405dc的各倾斜角度θ4aa、θ4dc设定得比其他的倾斜角度θ4ba、θ4bb、θ4cb、θ4cc大。因此,墨4060a对于堤栏405a的表面部405aa的的锁住位置Q4aa及墨4060c对于堤栏405d的表面部405dc的锁住位置Q4dc变得比其他的锁住位置Q4ba、Q4bb、Q4cb、Q4cc高。
另外,虽然图示省略,但此后执行墨的干燥,然后按顺序层叠形成电子注入层、阴极电极以及封止层等,由此形成显示面板40。
通过采用以上的结构,即使在相邻的像素部与像素部之间设置有非像素部400d、400e且一并涂敷墨4060a、4060b、4060c的情况下,也可以抑制全部的子像素400a、400b、400c中的有机发光层的膜厚的偏倚,能够形成高的发光特性的显示面板40。
另外,关于在本实施方式中省略了说明的事项,可以采用与上述实施方式1同样的构成。
[其他的事项]
首先,在上述实施方式1、2、3以及变形例1、2中,示意性表示为堤栏105、105a~105d、105x、105y、305a~305e、405a~405e的各表面部为平面,但关于堤栏的表面部,也可以未必为平面。例如,如图21(a)所示,在堤栏605的情况下,从点P61到点P62之间的面与从点P62到点P63之间的面交叉。在该情况下,墨涂敷时的锁住位置Qy1存在于从点P62到点P63之间的面。因此,在描绘通过点P62的假想直线L1时所形成的表面部的倾斜角度θy2在与锁住位置的关系上变得重要。
但是,在堤栏605的形成中,由于通过控制作为基底层的空穴注入输送层104与堤栏605的从点P61到点P62之间的面所成的角度θy1,角度θy2也可得到控制,所以实质上,通过控制倾斜角度θy1,可以得到上述的效果。即,在形成从点P71到点P72之间的面的角度θy11相对于图21(a)所示的角度θy1较大的堤栏705的情况下(图21(b)),如图21(b)所示,从点P72到点P73之间的面相对于假想直线L2所成的角度θy12也相对于图21(a)的角度θy2变大。
接下来,在上述实施方式1、2、3以及变形例1、2中,虽然没有对显示面板10、30、40中的上述结构的应用区域进行限定,但是可以对于显示面板的整个区域应用上述结构,也可以限定于一部分区域应用上述结构。如图22所示,可以将显示面板10在沿着其表面的方向形式上区分为配置于中央部的区域10a和配置于其周边的区域10b。在此,区域10a是将阳极电极连接于形成于其下部的TFT层的源极电极或者漏极电极、对发光起作用的区域,与此相对,区域10b是不将阳极电极连接于形成于其下部的TFT层的源极电极以及漏极电极的任何一个、对发光不起作用的区域。而且,在将区域10a进而在形成期间分为中央区域10a1和周边区域10a2的情况下,可以认为,从墨涂敷时的蒸汽浓度的分布状态来看,在周边区域10a2更会显著产生子像素内的有机发光层的膜厚的偏倚。
另外,可以考虑在周边区域10a2与区域10b合起来的区域设定面板的外周部的0.5%~几%左右(例如1%)的像素部。这依赖于考虑不进行堤栏的表面部的倾斜角度的调整的情况下的有机发光层的膜厚不均一。
在上述实施方式1、2、3以及变形例1、2中,为了容易理解地对本发明的结构以及作用效果进行说明而采用作为一例的各结构,本发明除了本质性的部分之外,并不限定于上述方式。例如,在上述实施方式中,如图2所示,作为一例采用了相对于有机发光层106在其Z轴方向下侧配置有阳极电极102的结构,但本发明并不限定于此,也可以采用相对于有机发光层106在其Z轴方向下侧配置有阴极电极108的结构。
在设定为相对于有机发光层106在其Z轴方向下侧配置阴极电极108的结构的情况下,由于为顶部发光构造,所以采用将阴极电极108设定为反射电极层且在其上形成电极被覆层103的结构。
另外,在上述实施方式1、2、3等中,没有表示显示装置1的具体的外观形状,但也可以设定为例如图23所示的系统一部分。另外,有机EL显示装置由于不需要液晶显示装置那样的背光源,所以适于薄型化,可以发挥从系统设计的观点来看优异的特性。
另外,在上述实施方式1、2、3以及变形例1、2中,作为堤栏105、105a~105d、105x、105y、305a~305e、405a~405e、605、705的方式,采用了图3所示的所谓线堤构造,但也可以采用图24所示的包括在Y轴方向延伸的堤栏要素805a和在X轴方向延伸的堤栏要素805b的像素堤栏805而构成显示面板80。
如图24所示,在采用像素堤栏805的情况下,通过对于规定各子像素800a、800b、800c的堤栏805,使其作为X轴方向以及Y轴方向的各外侧的侧壁部的倾斜角度增大,可以得到上述同样的效果。具体地,可以通过适宜调整由箭头B1、B2、B3、B4指示的表面部的倾斜角度而得到上述效果。
另外,在上述实施方式1、2、3以及变形例1、2中采用的堤栏的表面部的倾斜角度的调整可以个别地根据制造时的与有机发光层的形成有关的墨涂敷工序以及干燥工序中的蒸汽浓度分布而适宜改变。例如,在由于干燥装置的结构等而导致墨的干燥时的蒸汽流向为从面板外周部朝向面板中央部的方向的情况下,只要与有机发光层的膜厚变厚的位置对应地增大堤栏侧面部的倾斜角度即可。由此,可以将有机发光层的膜厚均匀化,可以降低面板整体的辉度不均。
另外,在上述实施方式1、2、3以及变形例1、2中,按每个发光色(红色、绿色、蓝色),在堤栏的表面部的倾斜角度(锥角)的设定上没有区别,但由于认为根据发光色,包含有机发光材料的墨的特性会变化,所以在该情况下,可以根据各发光色的墨特性规定对应的堤栏的表面部的倾斜角度。
本发明在实现辉度不均较少且具有较高的画质性能的有机发光面板以及有机显示装置上有用。

Claims (34)

1.一种有机发光面板,排列多个像素部而成,
所述多个像素部的各像素部具有发光色相互不同且按顺序排列的多个发光部;
各发光部包括:基底层,其包括第1电极;有机发光层,其与所述基底层对向地设置,涂敷包含与每种发光色对应的有机发光材料的墨而形成;以及第2电极,其相对于所述有机发光层形成于与所述基底层相反侧;
在所述基底层的上方,设置对所述多个发光部之中相邻的发光部进行划分、对各发光部进行规定的多个分隔壁;
所述多个像素部包括对各自所属的多个发光部之中的预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同的像素部,
所述倾斜角度为所述分隔壁中所述对向的各表面部与形成有所述分隔壁的所述基底层的上表面所成的角度。
2.根据权利要求1所述的有机发光面板,
对所述预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同的所述像素部,其对所述多个发光部之中与所述预定发光部不同的其他发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等。
3.根据权利要求1所述的有机发光面板,
在所述多个像素部的各像素部所具备的所述多个发光部,按所述排列的顺序,至少包括位于一侧的第1发光部、位于中央侧的第2发光部和位于另一侧的第3发光部;
所述多个像素部形成为连续而相邻;
所述多个像素部具有如下像素部,该像素部:
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同,
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等。
4.根据权利要求1所述的有机发光面板,
在所述多个像素部的各像素部所具备的所述多个发光部,按所述排列的顺序,至少包括位于一侧的第1发光部、位于中央侧的第2发光部和位于另一侧的第3发光部;
在所述多个像素部的各相邻像素部之间,形成非像素部;
在所述像素部与所述非像素部之间,形成对像素部与非像素部进行划分的分隔壁;
所述多个像素部具有如下像素部,该像素部:
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同,
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同。
5.根据权利要求1所述的有机发光面板,
在所述多个像素部的各像素部所具备的所述多个发光部,按所述排列的顺序,至少包括位于一侧的第1发光部、位于中央侧的第2发光部和位于另一侧的第3发光部;
在所述多个像素部的各相邻像素部之间,形成非像素部;
在所述像素部与所述非像素部之间,形成对像素部与非像素部进行划分的分隔壁;
所述多个像素部具有如下像素部,该像素部:
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等,
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同。
6.根据权利要求4或5所述的有机发光面板,
所述非像素部不包括所述有机发光层,包括所述第2电极和具有与所述第1电极相同材料而构成的第3电极,所述第2电极与所述第3电极电连接。
7.根据权利要求1所述的有机发光面板,
在对于所述预定发光部涂敷所述墨时,在与所述预定发光部相邻的2个区域,所述墨的蒸汽浓度不同;
对所述预定发光部进行规定的2个分隔壁之中位于所述墨的蒸汽浓度低侧的分隔壁的所述表面部的倾斜角度是锐角且比位于所述墨的蒸汽浓度高侧的分隔壁的所述表面部的倾斜角度大。
8.根据权利要求1所述的有机发光面板,
所述预定发光部:
在对于同一像素部中相邻2个发光部中的任一个发光部涂敷了与该发光部对应的所述墨且对于另一个发光部涂敷与该发光部对应的所述墨之前的状态下,被涂敷与该预定发光部对应的所述墨,
位于所述另一个发光部侧的分隔壁的表面部的倾斜角度是锐角且比位于所述一个发光部侧的分隔壁的表面部的倾斜角度大。
9.根据权利要求1所述的有机发光面板,
在对于所述预定发光部涂敷所述墨时,在与所述预定发光部相邻的2个区域,所述墨的蒸汽浓度不同;
在对于与所述预定发光部不同的其他发光部涂敷所述墨时,在与所述预定发光部不同的其他发光部所相邻的2个区域,所述墨的蒸汽浓度相等。
10.根据权利要求1所述的有机发光面板,
所述多个像素部的各像素部具备多个发光部,该多个发光部通过从同一像素部内的一侧朝向另一侧依次涂敷与各发光色对应的所述墨、形成所述有机发光层而形成,至少具有位于一侧并在第1轮涂敷对应的墨的第1发光部、位于中央侧并在第2轮涂敷对应的墨的第2发光部和位于另一侧并在第3轮涂敷对应的墨的第3发光部;
所述多个像素部形成为连续而相邻;
各像素部:
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同,
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等。
11.根据权利要求10所述的有机发光面板,
所述第2发光部的位于所述第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且比位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大。
12.根据权利要求11所述的有机发光面板,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且与对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。
13.根据权利要求12所述的有机发光面板,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且与所述第3发光部的、对该第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度相等。
14.根据权利要求13所述的有机发光面板,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为35度以上45度以下;
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为25度以上35度以下;
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度为25度以上35度以下;
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度为25度以上35度以下。
15.根据权利要求1所述的有机发光面板,
所述多个像素部的各像素部具备多个发光部,该多个发光部通过从同一像素部内的一侧朝向另一侧依次涂敷与各发光色对应的所述墨、形成所述有机发光层而形成,至少具有位于一侧并在第1轮涂敷对应的墨的第1发光部、位于中央侧并在第2轮涂敷对应的墨的第2发光部和位于另一侧并在第3轮涂敷对应的墨的第3发光部;
在所述多个像素部的各相邻像素部之间,形成非像素部;
在所述像素部与所述非像素部之间,形成对像素部与非像素部进行划分的分隔壁;
各像素部:
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同,
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同。
16.根据权利要求15所述的有机发光面板,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且比位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大;
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且比位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大。
17.根据权利要求16所述的有机发光面板,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等。
18.根据权利要求15所述的有机发光面板,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且与对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度相等。
19.根据权利要求18所述的有机发光面板,
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且与对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度相等。
20.根据权利要求18所述的有机发光面板,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第3发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为35度以上45度以下;
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为35度以上45度以下;
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为25度以上35度以下;
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为25度以上35度以下;
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为25度以上35度以下。
21.根据权利要求1所述的有机发光面板,
所述多个像素部的各像素部具备多个发光部,该多个发光部通过从同一像素部内的一侧到另一侧同时涂敷与各发光色对应的所述墨、形成所述有机发光层而形成,至少具有位于一侧并涂敷对应的墨的第1发光部、位于中央侧并涂敷对应的墨的第2发光部和位于另一侧并涂敷对应的墨的第3发光部;
在所述多个像素部的各相邻像素部之间,形成非像素部;
在所述像素部与所述非像素部之间,形成对像素部与非像素部进行划分的分隔壁;
各像素部:
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同,
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等,
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同。
22.根据权利要求21所述的有机发光面板,
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且比位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大;
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且比位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度大。
23.根据权利要求22所述的有机发光面板,
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度与对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等。
24.根据权利要求21所述的有机发光面板,
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且与对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度相等。
25.根据权利要求24所述的有机发光面板,
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度是锐角且与对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度相等。
26.根据权利要求25所述的有机发光面板,
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为35度以上45度以下;
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述非像素部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为35度以上45度以下;
对所述第1发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为25度以上35度以下;
对所述第3发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第2发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为25度以上35度以下;
对所述第2发光部进行规定的相邻2个分隔壁中位于所述第1发光部侧的分隔壁的对向的表面部的倾斜角度为25度以上35度以下。
27.根据权利要求1所述的有机发光面板,
在所述基底层,包括形成于比所述第1电极靠下方的TFT层;
在对预定发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度不同的所述像素部中,所述第1电极与所述TFT层电连接。
28.一种有机显示装置,
具备权利要求1~27中的任意一项所述的有机发光面板。
29.一种有机发光面板的制造方法,所述有机发光面板排列多个像素部而成,所述有机发光面板的制造方法包括:
第1工序,在基板上形成包括第1电极的基底层;
第2工序,在所述基底层上层叠感光性抗蚀剂材料;
第3工序,通过对所述层叠的感光性抗蚀剂材料层进行掩模曝光而进行图案形成,形成与各像素部中的多个发光部对应的多个开口,并且形成对相邻的所述发光部进行划分而对各发光部进行规定的多个分隔壁;
第4工序,对于所述多个开口,分别滴下包含有机发光材料的墨并使其干燥,形成有机发光层;以及
第5工序,在所述有机发光层的上方形成第2电极;
在所述第3工序中,将所述多个像素部的至少一部分像素部形成为,使对各自所属的多个发光部之中的预定发光部进行规定的相邻2个所述分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互不同,
所述倾斜角度为所述分隔壁中所述对向的各表面部与形成有所述分隔壁的所述基底层的上表面所成的角度。
30.根据权利要求29所述的有机发光面板的制造方法,
在所述第3工序中,在所述至少一部分像素部中形成为,对多个发光部之中与所述预定发光部不同的其他发光部进行规定的相邻2个分隔壁中对向的表面部的倾斜角度都是锐角且相互相等。
31.根据权利要求29所述的有机发光面板的制造方法,
在所述第3工序中,关于所述感光性抗蚀剂材料的曝光,使向与对所述预定发光部进行规定的相邻2个所述分隔壁中对向的表面部相当的部分的曝光量相互不同,由此使所述倾斜角度不同。
32.根据权利要求29所述的有机发光面板的制造方法,
在所述第3工序中,关于所述感光性抗蚀剂材料的曝光,通过使用掩模而使所述倾斜角度不同,所述掩模的、向与对所述预定发光部进行规定的相邻2个所述分隔壁中对向的表面部相当的部分的光透射率相互不同。
33.根据权利要求29所述的有机发光面板的制造方法,
在所述第3工序中,关于与对所述预定发光部进行规定的相邻2个所述分隔壁中对向的表面部相当的部分,在对所述感光性抗蚀剂材料进行曝光并显影后,对于与所述对向的表面部的某一方相当的部分追加进行曝光处理,由此使所述倾斜角度不同。
34.一种有机显示装置,
具备通过权利要求29~33中的任意一项所述的制造方法得到的有机发光面板。
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