CN102405687B - 有机el显示面板及其制造方法 - Google Patents

有机el显示面板及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102405687B
CN102405687B CN201080003023.8A CN201080003023A CN102405687B CN 102405687 B CN102405687 B CN 102405687B CN 201080003023 A CN201080003023 A CN 201080003023A CN 102405687 B CN102405687 B CN 102405687B
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode plate
battery lead
plate groups
function layer
lead plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201080003023.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102405687A (zh
Inventor
近藤哲郎
小野晋也
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Display Design And Development Contract Society
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Publication of CN102405687A publication Critical patent/CN102405687A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102405687B publication Critical patent/CN102405687B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
    • H10K10/40—Organic transistors
    • H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/123—Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301—Details of OLEDs
    • H10K2102/351—Thickness

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

本发明提供一种有机EL显示面板及其制造方法，在有机EL显示面板中，在各色子像素的阳极板(5)形成凹部(15a、15b、15c)，使形成在蓝色用的阳极板组所具有的各阳极板(5a)上的凹部(15a)的体积大于形成在绿色和红色用的阳极板组所具有的各阳极板(5b、5c)上的凹部(15b、15c)的体积，使进入到凹部(15a)的有机层(9)的量大于进入到凹部(15b、15c)的有机层(9)的量。由此，将蓝色子像素的凹部(15a)以外的区域中的有机层(9)的膜厚形成为小于绿色和红色子像素的凹部(15b、15c)以外的区域中的有机层(9)的膜厚。根据本发明的有机EL显示面板，能够一边以湿法方式形成有机层，一边容易地按各发光颜色而微调有机层的膜厚，获得优异的发光效率。

Description

有机EL显示面板及其制造方法
技术领域
本发明涉及排列有发光元件的发光显示面板及其制造方法，尤其涉及将有机电致发光元件(以下称为“有机EL元件”)排列成矩阵状的有机EL显示面板。
背景技术
近年来，作为发光型的显示器，在基板上沿着行列方向排列多个有机EL元件而成的有机EL显示面板作为小型电子设备的显示器而被实用化。各有机EL元件是具有在阳极和阴极这一对电极对之间配置有包含有机发光材料的发光层的基本构造，驱动时在一对电极对之间施加电压，随着从阳极注入到发光层的空穴与从阴极注入到发光层的电子的复合而进行发光的电流驱动型的发光元件。
该有机EL显示面板中，各有机EL元件进行自发光，因此视觉识别性高，并且由于是完全固体元件，因而耐冲击性优异。
在有机EL显示器中，一般而言，发光层按各EL元件而通过由绝缘材料构成的隔壁(堤)来隔开，由该隔壁规定发光层的形状。另外，在阳极和发光层之间，根据需要而插入空穴注入层、空穴输送层、空穴注入兼输送层这样的有机层。另外，在阴极和发光层之间也根据需要而插入电子注入层、电子输送层或电子注入兼输送层。
在全彩色显示的有机EL显示器中，这样的有机EL元件形成RGB各颜色的子像素，相邻的RGB的子像素相互配合而形成一个像素。
在形成各有机EL元件的发光层、电荷注入层时多使用湿法方式，所述湿法方式中，在基板上预先形成将相邻的各有机EL元件彼此隔开的隔壁，通过喷墨等方式涂覆含有高分子材料和/或薄膜形成性优良的低分子的墨水。通过该湿法方式，能够在大型面板中也较容易地形成有机层、发光层。
在典型的喷墨方式中，在作业台上载置作为涂覆对象的基板，以在该基板上沿着行列方向中的任一方向进行横穿的方式使喷墨头移动，从喷嘴向由基板上的隔壁区划出的元件形成区域排出含有用于形成有机层、发光层等的有机材料和溶剂的溶液(以下简称为“墨水”。)的液滴(参照专利文献1)。
在此，通常用于形成发光层的墨水根据颜色的不同而不同，但对于形成有机层的墨水，使用所有颜色通用的墨水。
在这样地制造有机EL面板时，需要按各颜色使各有机EL元件的特性基本上一致。因此，在以喷墨方式涂覆墨水的工序中，以液滴为单位从喷嘴对各像素提供墨水时，使对各元件排出的墨水的液滴数量相同，向各元件形成区域均匀地排出墨水，以使得相同颜色的各元件形成区域中的有机层的膜厚及发光层的膜厚一致。
在先技术文献
专利文献1：日本特开2003-241683号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是，适于提高各有机EL元件的发光效率的有机层的膜厚依赖于发光颜色的波长。
即，对于红色光、绿色光和蓝色光，由于其波长不同，有机EL元件内的最佳光路长度(共振条件)不同，因此在各颜色的子像素中，最好是与发光颜色的波长相匹配地对有机层的膜厚进行微调来提高发光效率。
但是，实际上在以湿法方式形成有机层时，难以按子像素的各颜色而对有机层的膜厚进行微调。具体而言，如上所述，含有有机层的材料的墨水在所有颜色中是通用的，对各子像素提供的有机层形成用的墨水量是固定的。例如，以喷墨方式涂覆有机层的墨水时，对各颜色的有机EL元件形成区域排出的墨水的液滴数量相同，并且同时使从喷嘴排出的墨水的每一滴的体积也是固定的。在此，在为喷墨方式时，也考虑通过按子像素的颜色改变要滴下的墨水液滴数量，从而调整有机层的膜厚，但提供给各子像素的墨水量仅能以墨水液滴为单位来进行改变，因此实际上依然难以按子像素的颜色微调有机层的膜厚。
本发明是鉴于上述课题而完成的发明，目的在于提供一种有机EL显示面板及其制造方法，其能够在有机EL显示面中，一边以湿法方式形成有机层，一边按各发光色容易地进行有机层的膜厚的微调，以具有优异的发光效率。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题，本发明的一种方式的有机EL显示面板，具备：第1电极板组，其包括呈线状的多个第1颜色用的第1电极板；第2电极板组，其与所述第1电极板组相邻地形成，包括呈线状的多个第2颜色用的第2电极板；第1隔壁，其沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成；第2隔壁，其沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成；第3隔壁，其沿着所述第2电极板组的与第1电极板组相反一侧的边缘而形成；第1有机功能层，其沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而形成在所述第1电极板组的上方；第2有机功能层，其沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而形成在所述第2电极板组的上方；以及对置电极，其设置在所述第1有机功能层和所述第2有机功能层的上方，所述第1电极板组所包括的各第1电极板和所述第2电极板组所包括的各第2电极板具有凹部，形成在所述第1电极板组所包括的各第1电极板上的凹部的体积大于形成在所述第2电极板组所包括的各第2电极板上的凹部的体积，所述第1电极板组所包括的各第1电极板的区域所对应的所述第1有机功能层的体积，与所述第2电极板组所包括的各第2电极板的区域所对应的所述第2有机功能层的体积相同或处于相同的邻近值的范围内，所述第1有机功能层的一部分进入到形成在所述第1电极板组所包括的各第1电极板上的凹部内的量多于所述第2有机功能层的一部分进入到形成在所述第2电极板组所包括的各第2电极板上的凹部内的量，由此使所述凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚小于所述凹部以外的区域中的所述第2有机功能层的膜厚。
或者，在第1阳极板组所包括的各第1阳极板设置凹部，使各第1阳极板上的第1有机功能层的体积与各第2阳极板上的第2有机功能层的体积相同或处于相同的邻近值的范围内，第1有机功能层的一部分进入到形成于第1阳极板组所包括的各第1电极板的凹部，由此使该凹部以外的区域中的第1有机功能层的膜厚小于各第2电极板上的第2有机功能层的膜厚。
在此，“各第1电极板上的第1有机功能层的体积与各第2电极板上的第2有机功能层的体积相同或处于相同的邻近值的范围内”指的是第1有机功能层的体积与第2有机功能层的体积实质上相同、第1有机功能层的体积与第2有机功能层的体积之差在数值上相对于第1有机功能层的体积在5％以内。
另外，本发明的一种方式的有机EL显示面板的制造方法，包括：第1工序，形成呈线状排列有多个第1颜色用的第1电极板的第1电极板组；第2工序，与所述第1电极板组相邻地形成呈线状排列有多个第2颜色用的第2电极板的第2电极板组；第3工序，沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成第1隔壁；第4工序，沿着所述第1电极板组和所述第2电极板组的相互相邻的边缘而形成第2隔壁；第5工序，沿着所述第2电极板组的与第1电极板组相反一侧的边缘而形成第3隔壁；第6工序，沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而在所述第1电极板组的上方连续地形成第1有机功能层；第7工序，沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而在所述第2电极板组的上方连续地形成第2有机功能层；以及第8工序，在所述第1有机功能层和所述第2有机功能层的上方形成对置电极，所述第1工序包括在所述各第1电极板形成凹部的工序，所述第2工序包括在所述各第2电极板形成凹部的工序，形成在所述第1电极板组所包括的各第1电极板上的凹部的体积大于形成在所述第2电极板组所包括的各第2电极板上的凹部的体积，使所述第1电极板组所包括的各第1阳极板的区域所对应的所述第1有机功能层的体积与所述第2阳极板组所包括的各第2阳极板的区域所对应的所述第2有机功能层的体积相同、或者处于相同的邻近值的范围内，进入到形成在所述第1阳极板组所包括的各第1阳极板上的凹部内的所述第1有机功能层的量，多于进入到形成在所述第2阳极板组所包括的各第2阳极板上的凹部内的所述第2有机功能层的量，由此使所述凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚形成为小于所述各第2电极板上的所述第2有机功能层的膜厚。
或者，在第1工序中设有在所述各第1电极板形成凹部的工序，使在第6工序中形成的第1有机功能层的体积与在第7工序中形成的第2有机功能层的体积相同或处于相同的邻近值的范围内，使第1有机功能层的一部分进入到形成于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部，使该凹部以外的区域中的第1有机功能层的膜厚形成为小于各第2电极板上的第2有机功能层的膜厚。
发明的效果
在上述方式中，当使形成于各第1电极板的凹部的体积变化时，则在通过湿法在各第1电极板的上方形成第1有机功能层时，墨水进入该凹部的量会发生变化，第1电极板的不设置凹部的区域上的第1有机功能层的膜厚也会发生变化。另外，同样地当使形成于各第2电极板的凹部的体积变化时，则在通过湿法在各第2电极板的上方形成第2有机功能层时，墨水进入该凹部的量会发生变化，第2电极板的不设置凹部的区域上的第2有机功能层的膜厚也会发生变化。
在此，形成于各第1电极板和第2电极板的凹部的体积可以用比从喷嘴排出的每一滴墨水的体积更微小的单位来进行调整。
因此，通过微调形成于第1电极板或第2电极板的凹部的体积，能够容易地微调第1电极板的不设置凹部的区域上的第1有机功能层的膜厚或第2电极板的不设置凹部的区域上的第2有机功能层的膜厚。
由此，能够按各颜色的子像素而与该子像素的发光颜色的波长相匹配且容易地将有机层的膜厚微调成使光有效地射出的最佳值，因此能够容易地制造发光效率优异的发光显示面板。并且，使发光效率提高也有助于低功耗化。
附图说明
图1是示意表示实施方式1的显示面板100的结构的剖视图。
图2是表示显示面板100的概略结构的立体图。
图3(a)是表示显示面板100的概略结构的俯视图、图3(b)是沿图3(a)的A-A线剖开而得到的剖视图、图3(c)是沿图3(a)的B-B线剖开而得到的剖视图。
图4是用于说明显示面板100的整体制造方法的图。
图5是表示刚在基板上涂覆有机层形成用的墨水后的状况的剖面示意图。
图6是示意表示实施方式2的显示面板100的结构的俯视图和剖视图。
图7是表示实施方式2的凹部15a、凹部15b、15c的形状的示意图。
图8是示意表示实施方式3的显示面板100的结构的俯视图和剖视图。
图9是表示实施方式4的显示面板100及其制造工序的示意剖视图。
图10是表示实施方式的显示装置200的整体结构的图。
图11是表示使用了显示装置200的电视系统的一例的外观形状。
标号说明
1基板
2TFT的SD电极
3层间绝缘膜
4TFT基板
5(5a～5c)阳极板
6(6a～6c)空穴注入层
7像素限制层
8a、8b、8c隔壁
9(9a～9c)有机层
10发光层
11阴极层
13接触孔
15(15a～15c)凹部
20a～20c有机EL元件
23(23a、23b)凹部
100显示面板
具体实施方式
<发明的方式>
在本发明的一种方式的有机EL显示面板中，具备：第1电极板组，其包括呈线状的多个第1颜色用的第1电极板；第2电极板组，其与所述第1电极板组相邻地形成，包括呈线状的多个第2颜色用的第2电极板；第1隔壁，其沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成；第2隔壁，其沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成；第3隔壁，其沿着所述第2电极板组的与第1电极板组相反一侧的边缘而形成；第1有机功能层，其沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而形成在所述第1电极板组的上方；第2有机功能层，其沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而形成在所述第2电极板组的上方；以及对置电极，其设置在所述第1有机功能层和所述第2有机功能层的上方，所述第1电极板组所包括的各第1电极板和所述第2电极板组所包括的各第2电极板具有凹部，形成在所述第1电极板组所包括的各第1电极板上的凹部的体积大于形成在所述第2电极板组所包括的各第2电极板上的凹部的体积，所述第1电极板组所包括的各第1电极板的区域所对应的所述第1有机功能层的体积，与所述第2电极板组所包括的各第2电极板的区域所对应的所述第2有机功能层的体积相同或处于相同的邻近值的范围内，所述第1有机功能层的一部分进入到形成在所述第1电极板组所包括的各第1电极板上的凹部内的量多于所述第2有机功能层的一部分进入到形成在所述第2电极板组所包括的各第2电极板上的凹部内的量，由此使所述凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚小于所述凹部以外的区域中的所述第2有机功能层的膜厚。
根据上述方式，通过对形成于第1阳极板的凹部和形成于第2阳极板上的凹部的体积进行微调，能够容易地微调第1阳极板的不设置凹部的区域上的第1有机功能层的膜厚、和第2阳极板的不设置凹部的区域上的第2有机功能层的膜厚，因此容易按各颜色与发光色的发光波长相匹配地对有机层的膜厚进行微调，有助于制造发光特性优异的发光显示面板。
在本发明的一种方式的有机EL显示面板的制造方法中，在第1工序中设有在各第1电极板形成凹部的工序，在第2工序中设有在各第2电极板形成凹部的步骤，使形成于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部的体积大于形成于第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部的体积，使第1电极板组所包括的各第1电极板的区域所对应的第1有机功能层的体积与第2电极板组所包括的各第2电极板的区域所对应的第2有机功能层的体积相同、或者处于相同的邻近值的范围内，使进入到形成于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部内的第1有机功能层的量大于进入到形成于第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部内的第2有机功能层的量，由此使该凹部以外的区域中的第1有机功能层的膜厚形成为小于各第2电极板上的第2有机功能层的膜厚。
根据上述方式，也能够通过对形成于第1电极板的凹部和形成于第2电极板的凹部的体积进行微调，从而容易地调整第1电极板的不设置凹部的区域上的第1有机功能层的膜厚、和第2电极板的不设置凹部的区域上的第2有机功能层的膜厚，容易按各颜色而与发光色的发光波长相匹配地对有机层的膜厚进行微调，有助于制造发光特性优异的发光显示面板。
在此，也可以在第1电极板组和第2电极板组的下方设置TFT层，在第1电极板组及第2电极板组与TFT层之间设置层间绝缘膜，在层间绝缘膜设置多个接触孔，使在第1电极板组所包括的各第1电极板和第2电极板组所包括的各第2电极板所设置的凹部沿着接触孔而设置，所述多个接触孔用于配置将第1电极板组所包括的各第1电极板及第2电极板组所包括的各第2电极板与TFT层连接的布线。
另外，也可以使第1电极板组所包括的各第1电极板经由接触孔而与TFT层所包括的SD电极接触的面积与第2电极板组所包括的各第2电极板经由接触孔而与TFT层所包括的SD电极接触的面积相同(或相同的邻近值)，使进入到设置于第1电极板组所包括的各第1电极板的所有凹部的第1有机功能层的体积大于进入到设置于第2电极板组所包括的各第2电极板的所有凹部的第2有机功能层的体积。
也可以在使形成于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部和形成于第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部的形状为上面的直径大于下面的直径的圆锥台形状时，使形成于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部的上面的直径大于形成于第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部的上面的直径，由此使形成于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部的体积大于形成于第2阳极板组所具有的各第2阳极板的凹部的体积。
在此，也可以使形成于第1阳极板组所包括的各第1阳极板的凹部的下面的直径大于形成于第2阳极板组所包括的各第2阳极板的凹部的下面的直径。
或者，也可以使形成于第1阳极板组所包括的各第1阳极板的凹部的下面的直径与形成于第2阳极板组所包括的各第2阳极板的凹部的下面的直径相同或者处于相同的邻近值的范围内(双方直径的差相当于直径在5％以内)。
也可以通过第1像素限制层覆盖设置于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部，在该第1像素限制层的上方形成第1有机功能层，通过第2像素限制层覆盖设置于第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部，在该第2像素限制层的上方形成第2有机功能层。
以喷墨式涂覆方法通过预定体积的液滴在第1电极板组的上方连续地形成第1有机功能层，以喷墨式涂覆方法通过与上述预定体积相同(或相同的邻近值)的体积的液滴在第2电极板组的上方连续地形成第2有机功能层，从而能够使第1电极板组所包括的各第1电极板的区域所对应的第1有机功能层的体积与第2电极板组所包括的各第2电极板的区域所对应的第2有机功能层的体积相同或者处于相同的邻近值的范围内。
根据本方式，与没有凹部的情况相比，能够使墨水厚度为n滴(n为自然数)时的墨水厚度与n+1滴时的墨水厚度的中间厚度。因此，能够使通过干燥墨水而形成的有机功能层的膜厚取为n滴时的墨水厚度与n+1滴时的墨水厚度的中间厚度。
在上述方式中，也可以将设置于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部的数量设定为多于设置于第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部的数量，使进入到设置于第1电极板组所包括的各第1电极板的所有凹部内的第1有机功能层的体积大于进入到设置于第2电极板组所包括的各第2电极板的所有凹部内的第2有机功能层的体积。
另外，在上述方式中，可以形成隔着第3隔壁与第2电极板组相邻、呈线状排列多个第3颜色用的第3电极板的第3电极板组，沿着第3电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成第4隔壁，沿着第3隔壁和第4隔壁之间而在第3电极板组的上方连续地形成第3有机功能层，在第3有机功能层的上方形成发出第3颜色的光的第3有机发光层，在第1电极板组、第2电极板组和第3电极板组的下方设置TFT层，在第1电极板组、第2电极板组、第3电极板组与TFT层之间设置层间绝缘膜，在该层间绝缘膜设置用于配置将第1电极板组、第2电极板组以及第3电极板组与TFT层连接的布线的接触孔，对置电极设置在第2有机功能层的上方，沿着接触孔而配置设置于第1电极板组、第2电极板组和第3电极板组所包括的各电极板的凹部，将形成于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部的体积设定为大于形成于第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部的体积、及形成于第3电极板组所包括的各第3电极的凹部的体积，将第1电极板组所包括的各第1电极板的区域所对应的第1有机功能层的体积设定为与第2电极板组所包括的各第2电极板的区域所对应的第2有机功能层的体积、及第3电极板组所包括的各第3电极的区域所对应的第3有机功能层的体积相同、或处于相同的邻近值的范围内，使进入到形成于第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部内的第1有机功能层的量多于进入到形成于第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部内的第2有机功能层的量、及进入到形成于第3电极板组所包括的各第3电极的凹部内的第3有机功能层的量，由此，使第1电极板上的凹部以外的区域中的第1有机功能层的膜厚小于第2电极板上的凹部以外的区域中的第2有机功能层的膜厚、及第3电极上的凹部以外的区域中的第3有机功能层的膜厚。
在此，在为发出与RGB这三种颜色对应的光的有机EL显示面板的情况下，由于蓝色具有最短的波长，因此优选第1颜色取为蓝色。
第1有机功能层、第2有机功能层和第3有机功能层既可以是电荷注入层或电荷输送层也可以是有机发光层。
也可以是电极板(第1电极板、第2电极板、第3电极板)为阳极，对置电极为阴极，或者电极板为阴极，对置电极为阳极。
也可以使用上述方式的有机EL显示面板构成显示装置。
另外，本发明的一种方式的有机EL显示面板，包括：第1电极板组，其呈线状地包括多个第1颜色用的第1电极板；第2电极板组，其与所述第1电极板组相邻地形成，包括呈矩阵状的多个第2颜色用的第2电极板；第1隔壁，其沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成；第2隔壁，其沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成；第3隔壁，其沿着所述第2电极板组的与第1电极板组相反一侧的边缘而形成；第1有机功能层，其沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而形成在所述第1电极板组的上方；第2有机功能层，其沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而形成在所述第2电极板组的上方；以及对置电极，其设置在所述第1有机功能层和所述第2有机功能层的上方，所述第1电极板组所包括的各第1电极板具有凹部，所述各第1电极板上的所述第1有机功能层的体积与所述各第2电极板上的所述第2有机功能层的体积相同或处于相同的邻近值的范围内，所述第1有机功能层的一部分进入到形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部，由此该凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚小于所述各第2电极板上的所述第2有机功能层的膜厚。
根据上述方式，通过对形成于第1电极板的凹部的体积进行微调，能够容易地微调第1电极板的不设置凹部的区域上的第1有机功能层的膜厚，因此容易按各颜色而发光色的发光波长相匹配地微调有机层的膜厚，有助于制造发光特性优异的发光显示面板。
另外，本发明的一种方式的有机EL显示面板的制造方法，包括：第1工序，形成呈线状排列多个第1颜色用的第1电极板的第1电极板组；第2工序，与所述第1电极板组相邻地呈线状排列多个第2颜色用的第2电极板的第2电极板组；第3工序，沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成第1隔壁；第4工序，沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成第2隔壁；第5工序，沿着所述第2电极板组的与第1电极板组相反一侧的边缘而形成第3隔壁；第6工序，沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而在所述第1电极板组的上方连续地形成第1有机功能层；第7工序，沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而在所述第2电极板组的上方连续地形成第2有机功能层；第8工序，在所述第1有机功能层和所述第2有机功能层的上方形成对置电极，所述第1工序包括在所述各第1电极板形成凹部的工序，在所述第6工序中形成的所述第1有机功能层的体积与在所述第7步骤中形成的所述第2有机功能层的体积相同或处于相同的邻近值的范围内，所述第1有机功能层的一部分进入到形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部中，由此该凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚小于所述各第2电极板上的所述第2有机功能层的膜厚。
根据上述方式，也能够通过对形成于第1电极板的凹部的体积进行微调，容易地微调第1电极板的不设置凹部的区域上的第1有机功能层的膜厚，因此容易按各颜色而与发光色的发光波长相匹配地微调有机层的膜厚，有助于制造发光特性优异的发光显示面板。
在此，也可以在第1电极板组和第2电极板组的下方设置TFT层，在第1电极板组、第2电极板组与TFT层之间设置层间绝缘膜，在层间绝缘膜设置用于配置将第1电极板组所包括的各第1电极板、第2电极板组所包括的各第2电极板与TFT层连接的布线的多个接触孔，沿着接触孔配置设置于第1电极板组所包括的各第1电极板和第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部。
<实施方式1>
(显示面板100的结构)
显示面板100是利用了有机材料的电致发光现象的有机EL面板。
图1是示意表示实施方式1的显示面板100的结构的剖视图。图2是表示显示面板100的概略结构的立体图。
在显示面板100中，像素(pixel)在纵横方向(X-Y方向)上呈矩阵状排列，各像素由相邻的RGB这三种色的子像素形成。图2所示的有机EL元件20a、20b、20c是排列在TFT基板4上的顶部发射型EL元件，有机EL元件20a相当于第1颜色(蓝色)的子像素，有机EL元件20b相当于第2颜色(绿色)的子像素，有机EL元件20c相当于第3颜色(红色)的子像素。
如图2所示，蓝色的有机EL元件20a在纵向(Y方向)上呈线状排列，绿色的有机EL元件20b与该有机EL元件20a相邻而在纵向(Y方向)上呈线状排列，进一步，红色的有机EL元件20c与该有机EL元件20b相邻而在纵向(Y方向)上呈线状排列。并且，由在横向(X方向)上相邻的3个有机EL元件20a、20b、20c形成一个像素。
图1示出沿纵向(Y方向)切开所排列的有机EL元件20a而得到的剖面，如图1所示，TFT基板4构成为在基板1的主面上依次形成TFT及线布线、层间绝缘膜3。并且，在TFT基板4上依次层叠有阳极板5、空穴注入层6、像素限制层7，进一步形成有隔壁8(在图1中未作图示、图2中的8a～8c)、有机层9、发光层10、阴极层11，从而形成有机EL元件20a、20b、20c。在图2中，未示出有机层9、发光层10、阴极层11。
基板1是成为显示面板100的基底部分的基板，可以使用无碱玻璃、钠钙玻璃、无荧光玻璃、磷酸类玻璃、硼酸类玻璃、石英、丙烯类树脂、苯乙烯类树脂、聚碳酸酯类树脂、环氧类树脂、聚乙烯、聚酯、硅酮系树脂或氧化铝等绝缘性材料形成。
在基板1的表面形成有用于以有源矩阵方式对面板整体的各有机EL元件20a～20c进行驱动的TFT和布线、SD电极等构成的TFT层。在图1中，标号2表示TFT的SD电极。
层间绝缘膜3由绝缘性优异的有机材料、例如聚酰亚胺、聚酰胺、丙烯酸类树脂材料形成，整体地覆盖基板1的上述TFT层。
在该层间绝缘膜3按各有机EL元件20a、20b、20c而形成有沿着厚度方向(Z方向)挖出的接触孔13。
该接触孔13为具有圆形下面的孔。图1所示的接触孔13的内面呈正锥形状地倾斜，该接触孔13为上面侧(开口侧)的孔径比下面侧的孔径大的圆锥台形状，但也可以形成为下面侧与上面侧的孔径相等的圆柱形状。另外，不言而喻，接触孔的下面的形状除了圆形之外，也可以采用椭圆形、矩形等形状。
在此，在蓝色的子像素中形成的接触孔13的体积(容积)被设定为大于在绿色和红色的子像素中形成的接触孔13的体积(容积)。
接着，参照图3(a)～(c)详细说明上述显示面板100的结构。图3(a)是表示显示面板100的概略结构的俯视图，图3(b)是沿图3(a)的A-A线剖开而得到的剖面，图3(c)是沿图3(a)的B-B线剖开而得到的剖面。在图3中也没有示出有机层9、发光层10和阴极层11。
如图3所示，在显示面板100中，在纵向(Y方向)上呈线状排列蓝色用的阳极板5a、空穴注入层6a而形成第1阳极板组，与该第1阳极板组相邻地在纵向(Y方向)上呈线状排列多个绿色用的阳极板5b、空穴注入层6b而形成第2阳极板组，与该第2阳极板组相邻地在纵向(Y方向)上呈线状排列多个红色用的阳极板5c、空穴注入层6c。
并且，沿着第1阳极板组的与第2阳极板组相反一侧的边缘而在纵向(Y方向)上形成有第1隔壁(隔壁8a)，沿着第1阳极板组和第2阳极板组的相互相邻的边缘而在纵向(Y方向)上形成有第2隔壁(隔壁8b)，沿着第2阳极板组和第3阳极板组的相互相邻的边缘而在纵向(Y方向)上形成有第3隔壁(隔壁8c)，沿着第3阳极板组的与第2阳极板组相反一侧的边缘而在纵向(Y方向)上形成有第4隔壁(隔壁8a)。
并且，沿着隔壁8a和隔壁8b之间而在第1阳极板组的上方形成有有机层9a，沿着隔壁8b和隔壁8c之间而在第2阳极板组的上方形成有有机层9b，沿着隔壁8c和隔壁8a之间而在第3阳极板组的上方形成有有机层9c。
在有机层9a的上方形成有发出蓝色光的发光层10，在有机层9b的上方形成有发出绿色光的发光层10，在有机层9c的上方形成有发出红色光的发光层10。
阳极板5在层间绝缘膜3上呈矩形状地形成在与各子像素相当的区域，其尺寸在任何子像素中均是相同的。
形成该阳极板5的材料优选是具有光反射性，除了Ag(银)之外，例如也可以使用Al或Al合金、银-钯-银的合金、银-铷-金的合金、MoCr(钼和铬的合金)、NiCr(镍和铬的合金)等。
空穴注入层6由钼、钨的氧化物在阳极板5上形成为与阳极板5同样的形状。
如图3(b)、图3(c)所示，阳极板5、空穴注入层6沿着接触孔13的内面而凹入，阳极板5在接触孔13的内部与TFT的SD电极2电连接。
像素限制层7为氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiN)、氮氧化硅(SiON)等的绝缘性无机膜。其厚度为10nm～200nm左右。
像素限制层7是在横向(X方向)上延长的线状的层，以覆盖纵向(Y方向)上相邻的有机EL元件的阳极板5、空穴注入层6彼此的间隙和接触孔13的内面的方式，在纵向(Y方向)上以等节距且等宽度地配置。
空穴注入层6和像素限制层7也沿着阳极板5形成，因此在空穴注入层6和像素限制层7的上面沿着接触孔13的内面而形成有凹部15。并且，如上所述，接触孔13的体积在蓝色的子像素中被设定为较大，因此形成在蓝色的子像素中的凹部15a的体积比形成在绿色和红色的子像素中的凹部15b、15c的体积大。
在图3中，凹部15a的上面和下面均形成为大于凹部15b、15c的上面和下面，但也可以使下面的尺寸(直径)为同等程度(即，两者直径的差相对于直径在5％左右)，使凹部15a的上面的尺寸(直径)大于凹部15b、15c的上面的尺寸，从而使凹部15a的体积大于凹部15b、15c的体积。
隔壁8(8a～8d)由绝缘性的有机材料(例如丙烯酸类树脂、聚酰亚胺类树脂、酚醛型苯酚树脂等)形成，形成为至少表面具有拨水性。各隔壁8a、8b、8c为在纵向(Y方向)上伸长的线状的图案，以通过相邻的有机EL元件20a、20b、20c彼此之间的方式在横向(X方向)上等节距地形成。各隔壁8a、8b、8c的剖面形状为梯形，隔壁宽度均匀。
有机层9在由相邻的隔壁8彼此夹着的区域以覆盖空穴注入层6、像素限制层7的方式形成。另外，发光层10在由相邻的隔壁8彼此夹着的区域形成在有机层9上。
并且，各空穴注入层6、各像素限制层7、各有机层9和各发光层10部分地进入上述凹部15。
有机层9是由相对于发光层10具有空穴注入效果的材料形成的空穴输送层，作为材料的具体例，可以举出4，4’-二[N-(萘基)-N-苯基-氨基]联苯(α-NPB或α-NPD)、N，N’-二(3-甲基苯基)-(1，1’-联苯)-4，4’-二胺(TPD)等的三芳胺类化合物。
阳极板5、空穴注入层6、有机层9使用3种颜色的有机EL元件20a、20b、20c所共用的材料，但发光层10在3种颜色的有机EL元件20a、20b、20c分别由发出蓝色光、绿色光、红色光的发光材料形成。
作为发光层10的材料，例如可以列举出日本特开平5-163488号公报中所记载的类喔星(oxinoid)化合物、苝化合物、香豆素化合物、氮杂香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫环酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物、芴化合物、荧蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、晕苯化合物、喹诺酮化合物及氮杂喹诺酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、(chrysene)化合物、菲化合物、环戊二烯化合物、茋化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、双氰亚甲基吡喃化合物、双氰亚甲基噻喃化合物、荧光素化合物、吡喃鎓化合物、噻喃鎓化合物、硒杂环己二烯鎓化合物、碲杂环己二烯鎓化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亚苯基化合物、噻吨化合物、蒽化合物、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羟基喹啉化合物的金属配合物、2，2’-联吡啶化合物的金属配合物、席夫碱与III族金属的配合物、8-羟基喹啉(喔星)金属配合物、稀土类配合物等荧光物质等。
阴极层11形成为一并覆盖三种颜色的有机EL元件20a、20b、20c的发光层10。阴极层11由具有光透射性的材料、例如ITO、IZO(铟锌氧化物)等形成。
虽然未在图中示出，但在阴极层11上设有封止层。该封止层例如由SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等光透射性的材料形成。
在这样的显示面板100中，如上所述，隔壁8的节距(pitch)和隔壁宽度是均等的，像素限制层7的节距和宽度也是均等的，隔壁8和像素限制层7所包围的子像素的尺寸是均等的。
(显示装置的结构例)
图10是表示使用了上述显示面板100的显示装置200的结构的图。
显示装置200具有显示面板100和与其连接的驱动控制部120。驱动控制部120具有4个驱动电路121～24和控制电路125。图11是表示使用了显示装置200的电视系统的一例的外观形状。
(显示面板100的制造方法)
首先，对于显示面板100的整体制造方法，参照图4说明是其一例。
说明制作TFT基板4的工序。
准备基板1，将其载置于溅射成膜装置的腔室内。
TFT层形成工序：
然后，向腔室内导入预定的溅射气体，基于反应性溅射法，形成包括TFT及布线、SD电极2的TFT层(图4的(a))
层间绝缘膜形成工序：
在基板1上以约4μm的厚度形成层间绝缘膜3，以覆盖上述TFT层(图4的(b))。此时，在层间绝缘膜3中，在SD电极2上形成接触孔13。可以旋涂公知的感光性有机材料(例如硅氧烷共聚型感光性聚酰亚胺)，通过使用图案掩模的光刻法进行图案化，由此形成具有这种接触孔13的层间绝缘膜3。
在此，接触孔13的开口形状形成为按照形成于图案掩模的开口形状的形状，因此通过调整图案掩模的开口形状，也能够调整接触孔13的开口形状。另外，可以通过作为图案掩模而使用半色调掩模，由此来调整接触孔13的内周面的倾斜。
此外，通过在形成了同样的层间绝缘膜之后以蚀刻来除去要形成接触孔的部位的方法，也可以形成接触孔13。
即，在层间绝缘膜上重叠涂覆光致抗蚀剂，在其上重叠与要形成的接触孔相匹配的图案掩模。接着，将用于从图案掩模上使光致抗蚀剂材料感光的预定波长的光照射在光致抗蚀剂上，之后以显影液进行显影，形成抗蚀剂图案。之后，用水类或非水类蚀刻液(剥离剂)洗掉多余的层间绝缘膜材料和未固化的光致抗蚀剂，从而在层间绝缘膜形成接触孔13。之后，用纯水洗净光致抗蚀剂的残渣而将其除去，从而完成图案化。
下面，说明在这样制作出的TFT基板4上形成各颜色的有机EL元件的工序。
阳极板制作工序：
在层间绝缘膜3上通过溅射法将阳极板5用的金属材料形成为例如50nm～400nm的预定厚度的薄膜，通过湿法刻蚀进行图案化，从而形成阳极板5。此时，阳极板5也形成在接触孔13的内面，因此阳极板5沿着接触孔13的内面凹入，也与SD电极2接触而电连接(图4的(c))。在该工序中，在各阳极板5a～5c也形成有凹部15a～15c。
空穴注入层制作工序：接着，在阳极板5上通过反应性溅射法使钼、钨等金属材料成膜，通过光刻法和湿法刻蚀进行图案化，从而形成空穴注入层6(图4的(d))。
像素限制层形成工序：
接着，通过CVD法使SiO2、SiN或SiON成膜，通过干法刻蚀进行图案化，从而形成像素限制层7(图4的(e))。
空穴注入层6和像素限制层7也成为沿着阳极板5部分地凹入到凹部15a～15c内的形态。
隔壁形成工序：
接着，作为隔壁材料例如将感光性的抗蚀剂材料或者含有氟类、丙烯类材料的抗蚀剂材料涂覆在层间绝缘膜3上，通过光刻法进行图案化，从而形成隔壁8a、8b、8c(图4的(f))。
在该隔壁形成工序中，为了调节隔壁8相对于接着涂覆的墨水的接触角、使表面具有拨水性，可以通过碱性溶液、水、有机溶剂等对隔壁8的表面进行表面处理或进行等离子体处理。
有机层(空穴输送层)制作工序：
接着以湿法方式形成有机层9(图4的(g))。
即，按预定比例混合作为有机层材料的有机材料和溶剂来制作有机层用的墨水，将该墨水涂覆在相邻的隔壁8彼此之间。即，通过公知的喷墨方式，沿着作为第1隔壁的隔壁8a和作为第2隔壁的隔壁8b之间、作为第2隔壁的隔壁8b和作为第3隔壁的隔壁8c之间、作为第3隔壁的隔壁8c和作为第4隔壁的隔壁8a之间而涂覆墨水。
图5是表示以湿法方式刚在基板上涂覆了有机层形成用的墨水之后的状况的剖面示意图。
在该图5中，各箭头表示从喷嘴对于基板1排出墨水液滴的位置。对于各子像素的阳极板5和空穴注入层6之上，在相同位置滴下相同液滴数量的墨水。在图5的例子中，对于各子像素形成区域，在7处部位滴下墨水。
所涂覆的墨水将空穴注入层6上整体地覆盖，也进入到因接触孔13而形成的凹部15中。
在此，从喷嘴排出的各墨水液滴的量是固定的，因此对于多个各子像素形成区域以同样的形成方式进行涂覆。涂覆在各阳极板5上的墨水量也是同等的，其偏差在5％以内。
作为将形成有机层9的墨水填充在堤之间的方法，除上述之外，也可以使用分配(dispenser)法、喷嘴涂层法、旋涂法、凹版印刷、凸版印刷等方法，无论哪种方法，在各阳极板5和空穴注入层6上涂覆的墨水的量在所有颜色的子像素中是同等的。
通过使这样形成的墨水层干燥来形成有机层9。
发光层形成工序：在该有机层9上以湿法方式形成发光层10。该工序与上述有机层形成工序同样地，将溶解有发光层形成用的材料的墨水涂覆在相邻的隔壁8彼此之间并使其干燥，由此来进行形成，但使用的发光层材料根据发光颜色不同而不同。
作为将形成有机层9的墨水填充在堤之间的方法，除上述之外，也可以使用分配法、喷嘴涂层法、旋涂法、凹版印刷、凸版印刷等方法。
接着，在发光层10的表面上以真空蒸镀法使ITO、IZO等材料成膜。由此形成阴极层11。进一步，在阴极层11的表面上以真空蒸镀法使SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料成膜，从而形成封止层。
通过以上的工序，形成所有的有机EL元件20a～20c，完成显示面板100。
(关于凹部15的体积和有机层9的膜厚)
在显示面板100中，形成在第1颜色即蓝色用的阳极板5a上的凹部15a的体积被设定为大于形成在第2颜色即绿色用的阳极板5b上的凹部15b的体积及形成在第3颜色即红色用的阳极板5c上的凹部15c的体积，各有机层9的一部分进入到该凹部15a、15b、15c。因凹部15a与凹部15b、15c的体积之差，蓝色子像素的有机层9形成为膜厚(凹部以外的区域中的膜厚)小于绿色子像素的有机层9和红色子像素的有机层9的膜厚。
因此，在显示面板100中，容易按子像素的颜色将有机层9的膜厚设定为与发光色的波长相匹配的适当值。
以下对形成在阳极板5上的凹部15的体积和有机层9的膜厚的关系进行详细的考察。
在1个子像素中，将阳极板5上的墨水填充区域(在图3的(a)中以标号5、6表示的区域)的面积设为S，将在1个子像素的阳极板5上填充的墨水(图5中的斜线区域C)的填充量设为V0。将有机层用的墨水的溶质浓度设为N，将形成在阳极板5上的凹部15的体积设为V1(将蓝色子像素的凹部15a的体积设为V1a、将绿色和红色子像素的凹部15b、15c的体积设为V1b、V1c)。
若在阳极板5不存在凹部，则在阳极板5上填充的墨水层的高度为V0/S，干燥后形成的有机层9的膜厚估计为NV0/S，但在阳极板5上形成有凹部15(体积V1)，所填充的墨水的一部分会灌入到该凹部15(在图5中，如斜线区域D那样墨水灌入凹部的整体内)，因此对于填充在阳极板5上的凹部15以外的区域的墨水的体积，减去该灌入量V1而变为(V0-V1)。
因此，墨水层的高度(图5中的H)变为V0/S的(V0-V1)/V1倍，墨水干燥后的膜厚(图5中的h)也变为NV0/S的(V0-V1)/V0倍。由此，有机层9的膜厚h变为N(V0-V1)/S。
在此，蓝色的子像素中的灌入量V1a比绿色和红色的子像素中的灌入量V1b大，因此在蓝色的子像素中形成在阳极板5的凹部15a以外的区域上的有机层9的膜厚将会比在绿色和红色的子像素中形成在阳极板5的凹部15b、15c以外的区域上的有机层9的膜厚小N(V1a-V1b)/S。
在此，各凹部15a、15b、15c的大小通过形成于层间绝缘膜3的接触孔的大小来规定，可以如后所述那样进行微调。因此，由于凹部的体积V1a、V1b能够以比墨水液滴1滴的体积小的单位进行调整，所以能够对各有机层9的膜厚进行微调。
作为与此相对的比较例，通过按子像素的颜色改变填充的墨水液滴的滴数的方法也能够调整膜厚，但与该比较例相比，在本实施方式中，能够使V1a与V1b相差极小，因此能够将蓝色的墨水厚度与绿色的墨水厚度之差取为极小的差(微差)。
接着，加入具体的数值例进行考察。
例如，在1个子像素中，将阳极板5上的墨水填充区域(图3(a)的标号5、6所示的区域)的尺寸取为纵300μm、横70μm时，阳极板5上的墨水填充区域的面积S＝2.1×10-8m2。
另外，将有机层用的墨水的溶质浓度N取为2vol％，喷墨头排出的每1滴的液滴量为30pL，在各子像素的阳极板5上各填充7滴时，填充在1个子像素的阳极板5上的墨水的填充量V0＝210pL(2.1×10-13m3)。
当阳极板5没有凹部时，则填充在阳极板5上的墨水层的高度H为V0/S＝10μm，干燥后形成的有机层9的膜厚h为NV0/S＝0.2μm，然而在此，在任一颜色的子像素中，均在阳极板5形成有圆柱状的凹部15a～15c。并且，凹部15a～15c的高度取为固定的4μm，对于直径，在绿色和红色子像素的凹部15b、15c取为直径30μm，在蓝色子像素的凹部15a增加5μm而取为直径35μm时，则在绿色和红色子像素中，凹部体积V1b＝2.826pL，在蓝色子像素中，凹部体积V1a＝3.847pL。
因此，绿色和红色子像素的有机层9的膜厚h为N(V0-V1b)/S＝0.1973μm，蓝色子像素的有机层9的膜厚h为N(V0-V1a)/S＝0.1963μm，其膜厚差为N(V1b-V1a)/S＝0.0010μm(1nm)。
这样，对于蓝色子像素中的有机层9的膜厚，与绿色子像素和红色子像素中的有机层9的膜厚相比，能够以微小单位进行调整以使其变薄。
另一方面，在比较例中，将在每一个子像素中填充的墨水液滴的滴数增减1滴时，所形成的有机层的膜厚增减0.0285μm，因此能够以0.0285μm为单位来调整膜厚。
如上所述，根据本实施方式的显示面板100的制作方法，通过比墨水液滴的体积更小地对形成于各色子像素的凹部15a、15b、15c的体积进行微调，由此能够比较容易地微调各色子像素的有机层9的膜厚，因此容易按子像素的各颜色将有机层9的膜厚设定为与发光色的波长相匹配的合适值，从而有效取出光。
<实施方式2>
图6是示意表示实施方式2的显示面板100的结构的俯视图和剖视图。
在上述实施方式1中，将蓝色子像素的凹部15a的体积V1a设定为大于绿色和红色子像素的凹部15b、15c的体积V1b，但在本实施方式中，通过在蓝色的有机EL元件20a中，在SD电极2上形成2个接触孔13，从而在蓝色子像素中使凹部15a的个数为2个。在绿色和红色子像素中，凹部15b、15c的个数依然为1个。
并且，将形成于蓝色子像素的2个凹部15a的合计体积设定为大于形成于绿色子像素的凹部15b的体积、及形成于红色子像素的凹部15c的体积。
在这样的实施方式2的显示面板100中，由于与上述实施方式1中说明过的同样的理由，也能够对有机层9的膜厚进行微调。
在要使各颜色的子像素中的接触孔与SD电极的接触电阻为固定的情况下，优选将蓝色子像素中的2个的凹部15a的下面(与SD电极2接触的底面)的合计面积、绿色子像素中的1个的凹部15b的下面(与SD电极2接触的底面)的面积、红色子像素中的1个的凹部15c的下面(与SD电极2接触的底面)的面积设定为相等。
当将各凹部15a、15b、15c的形状形成为上方的直径比下方的直径大的正锥状时，则能够一边使其下面的面积相等，一边将2个凹部15a的合计体积设定为大于凹部15b的体积及凹部15c的体积。
针对这一点，以下具体地进行说明。
图7(a)是表示形成于蓝色子像素的凹部15a的形状的示意图，图7(b)是表示形成于绿色子像素及红色子像素的凹部15b、15c的形状的示意图。
在该例子中，各凹部15a和凹部15b、15c的形状是上方的孔径比上方的孔径大的正锥状的圆锥台形状，各凹部的下面与SD电极2的上面相接。凹部15a的高度和凹部15b、15c的高度与层间绝缘膜的厚度T相同，各凹部15a、15b、15c的内面与SD电极2的上面所成的锥角α也是固定的。
当将凹部15a的下面的直径设为r、使2个凹部15a的下面面积的合计面积与凹部15b(15c)的下面的面积相等时，则凹部15b(15c)的下面的直径为
并且，1个凹部15a的体积由算式1来表达。
[ 1 4 r 2 + 1 2 rT tan &alpha; + 1 3 T 2 tan 2 &alpha; ] &pi;T ......算式1
另外，1个凹部15b的体积由算式2来表达。
[ 1 2 r 2 + 2 2 rT tan &alpha; + 1 3 T 2 tan 2 &alpha; ] &pi;T ......算式2
因此，从2个凹部15a的合计体积减去1个凹部15b的体积得到的体积差由算式3来表达。
[ 2 - 2 2 rT tan &alpha; + 1 3 T 2 tan 2 &alpha; ] &pi;T ......算式3
可知：若锥角α为正数(正锥)，则算式3的值也为正数，2个凹部15a的合计体积大于凹部15b(15c)的体积。
另外，可知：将锥角α设定得越大，则算式1、算式2、算式3的值也越大，因此凹部15a的体积、凹部15b的体积、以及从2个凹部15a的体积减去1个凹部15b的体积而得到的体积差也越大。
由此，通过调整锥角α的设定，能够调整上述体积差，因此也能够微调蓝色子像素中的有机层9的膜厚与绿色子像素及红色子像素中的有机层9的膜厚的差。
该锥角α通常为20～30°左右，但在锥角α为0时(各凹部为圆柱形状时)，算式3的值为0，2个凹部15a的合计体积与凹部15b(15c)的体积相同。
在此，将形成于蓝色子像素的接触孔的个数取为2、将形成于绿色和红色子像素的接触孔的个数取为1，但也可以将形成于蓝色子像素的接触孔的个数取为3，将将形成于绿色和红色子像素的接触孔的个数取为1个或2个。
<实施方式3>
在上述实施方式1、2中，在制造显示面板100的工序中，通过使有机层9的一部分进入到沿着接触孔13形成的阳极板5上的凹部15内，从而调整有机层9的膜厚，但在本实施方式中，将阳极板5上的凹部15设在不存在接触孔的部位。
此时，如下所述，也能够与实施方式1、2同样地将蓝色子像素中的有机层9的厚度微调成比绿色和红色子像素的有机层9的厚度小。
图8是表示实施方式3的显示面板100及其制造工序的示意剖视图。
在层间绝缘膜3的上面，在形成有阳极板5的区域中，形成有凹部23(23a、23b)。蓝色子像素的凹部23a被设定为体积比绿色子像素和红色子像素的凹部23b的体积大。并且，阳极板5沿着层间绝缘膜3的上面而形成，但阳极板5的一部分形成为沿着该凹部23的内面而凹入。
并且，在沿着阳极板5形成的空穴注入层6和像素限制层7的上面，沿着凹部23的内面而形成凹部15，有机层9的一部分进入到凹部15中。
凹部23a、23b不是接触孔，因此在凹部23a、23b的下面不存在TFT的SD电极，阳极板5在未图示的位置与TFT的SD电极连接。
在本实施方式中，也是以覆盖空穴注入层6、像素限制层7的方式涂覆墨水，并使其干燥而形成有机层9，但形成于蓝色子像素的凹部15a的体积比形成于绿色和红色子像素的凹部15b、15c的体积大，且其体积差能够微调，因此能够使蓝色子像素的有机层9的厚度比绿色和红色子像素的有机层9的厚度薄。并且，能够对其厚度进行微调。
因此，容易按R、G、B各颜色将有机层9的膜厚控制成适于有效地使光射出的值。
<实施方式4>
图9是表示实施方式4的显示面板100及其制造工序的示意剖视图。
(关于有机层的膜厚)
在实施方式1～3中，在任一颜色的子像素中均在阳极板5上形成凹部15a、15b、15c，使有机层9的一部分进入到这些凹部中，但在本实施方式中，在绿色和红色的子像素中，在阳极板5b、5c上不形成凹部15b、15c，而仅在蓝色子像素中在阳极板5a上形成凹部15a。
此时，在实施方式1中说明过的“有机层的膜厚”中，在绿色和红色子像素没有凹部，因此体积V1b＝0，但同样地对蓝色子像素的凹部体积V1a进行微调，由此能够将蓝色子像素的有机层9的厚度调整为比绿色和红色子像素的有机层9的厚度小微小量。
因此，能够按子像素的各颜色将有机层9的膜厚控制为适于使光有效地射出的值。
<变形例等>
在上述实施方式1～4中，将蓝色子像素中的有机层9的膜厚设定为比绿色子像素和红色子像素中的有机层9的膜厚薄，将绿色子像素和红色子像素中的有机层9的膜厚设定为相同，但也可以通过设定为与蓝色子像素中形成于阳极板5a的凹部15a的体积V1a相比，按绿色子像素中形成于阳极板5b的凹部15b的体积V1b、红色子像素中形成于阳极板5c的凹部15的体积V1c的顺序使两者的体积依次变小，从而设定为有机层9的膜厚按蓝色子像素、绿色子像素、红色子像素的顺序而依次变大。
在上述实施方式中，1个像素由3种颜色的子像素构成，但是在1个像素由2种颜色的子像素构成的情况下，也能够同样地通过仅在第1颜色的子像素的阳极板5形成凹部15，或者通过在第1颜色的子像素和第2颜色的子像素这两者的阳极板5形成凹部15来改变这两者的凹部15的体积，从而使第1颜色用的有机层9的膜厚小于第2颜色用的有机层9的膜厚，按子像素的各颜色而将有机层9的膜厚控制成适于有效地使各色光射出的值。
在上述实施方式中，示出了在阳极板5的上方作为有机层而以湿法方式形成空穴输送层的例子，但在作为有机层而以湿法方式形成空穴注入层、空穴注入兼输送层的情况下，也能够同样地对该有机层的膜厚进行微调，能够有效地使各发光颜色的光射出。
产业上的可利用性
本发明的制造方法适于作为便携电话用、电视机等的显示器而制造有机EL显示面板，对于制作发光效率良好的显示器是有效的。

Claims (26)

1.一种有机EL显示面板，具备：
第1电极板组，其包括呈线状的多个第1颜色用的第1电极板；
第2电极板组，其与所述第1电极板组相邻地形成，包括呈线状的多个第2颜色用的第2电极板；
第1隔壁，其沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成；
第2隔壁，其沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成；
第3隔壁，其沿着所述第2电极板组的与第1电极板组相反一侧的边缘而形成；
第1有机功能层，其沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而形成在所述第1电极板组的上方；
第2有机功能层，其沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而形成在所述第2电极板组的上方；
对置电极，其设置在所述第1有机功能层和所述第2有机功能层的上方；
TFT层，其设置在所述第1电极板组和所述第2电极板组的下方；
层间绝缘膜，其设置在所述第1电极板组及所述第2电极板组与TFT层之间；以及
多个接触孔，其设置于所述层间绝缘膜，用于配置将所述第1电极板组所包括的各第1电极板及所述第2电极板组所包括的各第2电极板与所述TFT层连接的布线，
所述第1电极板组所包括的各第1电极板和所述第2电极板组所包括的各第2电极板具有凹部，
在所述第1电极板组所包括的各第1电极板和所述第2电极板组所包括的各第2电极板所设置的凹部沿着所述接触孔而设置，
在所述第1电极板组所包括的各第1电极板所形成的凹部的体积大于在所述第2电极板组所包括的各第2电极板所形成的凹部的体积，
所述第1电极板组所包括的各第1电极板的区域所对应的所述第1有机功能层的体积，与所述第2电极板组所包括的各第2电极板的区域所对应的所述第2有机功能层的体积相同、或者处于相同的邻近值的范围内，
所述第1有机功能层的一部分进入到形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部内的量多于所述第2有机功能层的一部分进入到形成于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部内的量，由此使所述凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚小于所述凹部以外的区域中的所述第2有机功能层的膜厚。
2.根据权利要求1所述的有机EL显示面板，
所述第1电极板组所包括的各第1电极板经由所述接触孔与所述TFT层所包括的SD电极接触的面积，等于所述第2电极板组所包括的各第2电极板经由所述接触孔与所述TFT层所包括的SD电极接触的面积，
进入到设置于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的所有凹部内的所述第1有机功能层的体积，大于进入到设置于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的所有凹部内的所述第2有机功能层的体积。
3.根据权利要求1或2所述的有机EL显示面板，
设置于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的所述凹部的数量多于设置于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的所述凹部的数量，
进入到设置于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的所有所述凹部内的所述第1有机功能层的体积，大于进入到设置于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的所有所述凹部内的所述第2有机功能层的体积。
4.根据权利要求1或2所述的有机EL显示面板，
所述第1有机功能层和所述第2有机功能层为电荷注入层或电荷输送层。
5.根据权利要求1或2所述的有机EL显示面板，
所述第1有机功能层和所述第2有机功能层为有机发光层。
6.根据权利要求1或2所述的有机EL显示面板，
所述第1颜色为蓝色。
7.一种有机EL显示面板，具备：
第1电极板组，其包括呈线状的多个第1颜色用的第1电极板；
第2电极板组，其与所述第1电极板组相邻地形成，包括呈线状的多个第2颜色用的第2电极板；
第3电极板组，其与所述第2电极板组相邻地形成，包括呈线状的多个第3颜色用的第3电极板；
第1隔壁，其沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成；
第2隔壁，其沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成；
第3隔壁，其沿着所述第2电极板组和第3电极板组的相互相邻的边缘而形成；
第4隔壁，其沿着所述第3电极板组的与所述第2电极板组相反一侧的边缘而形成；
第1有机功能层，其沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而形成在所述第1电极板组的上方；
第2有机功能层，其沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而形成在所述第2电极板组的上方；
第3有机功能层，其沿着所述第3隔壁和所述第4隔壁之间而连续形成在所述第3电极板组的上方；
对置电极，其设置在所述第1有机功能层、所述第2有机功能层以及所述第3有机功能层的上方；
TFT层，其设置在所述第1电极板组、所述第2电极板组以及所述第3电极板组的下方；
层间绝缘膜，其设置在所述第1电极板组、所述第2电极板组以及所述第3电极板组与所述TFT层之间；以及
多个接触孔，其设置于所述层间绝缘膜，用于配置将所述第1电极板组所包括的各第1电极板、所述第2电极板组所包括的各第2电极板以及所述第3电极板组所包括的各第3电极板与所述TFT层连接的布线，
所述第1电极板组所包括的各第1电极板、所述第2电极板组所包括的各第2电极板以及所述第3电极板组所包括的各第3电极板具有凹部，所述凹部沿着所述接触孔而设置，
形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部的体积，大于形成于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部的体积及形成于所述第3电极板组所包括的各第3电极板的凹部的体积，
所述第1电极板组所包括的各第1电极板的区域所对应的所述第1有机功能层的体积，与所述第2电极板组所包括的各第2电极板的区域所对应的所述第2有机功能层的体积及所述第3电极板组所包括的各第3电极板的区域所对应的所述第3有机功能层的体积相同、或处于相同的邻近值的范围内，
进入到形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部内的所述第1有机功能层的量，大于进入到形成于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部内的所述第2有机功能层的量、及进入到形成于所述第3电极板组所包括的各第3电极板的凹部内的所述第3有机功能层的量，
由此使所述第1电极板上的所述凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚，小于所述第2电极板上的所述凹部以外的区域中的所述第2有机功能层的膜厚、及所述第3电极板上的所述凹部以外的区域中的所述第3有机功能层的膜厚。
8.根据权利要求7所述的有机EL显示面板，
所述第3有机功能层为电荷注入层或电荷输送层。
9.根据权利要求7所述的有机EL显示面板，
所述第3有机功能层是有机发光层。
10.根据权利要求1、2、7～9中的任一项所述的有机EL显示面板，
所述电极板是阳极，所述对置电极是阴极。
11.根据权利要求1、2、7～9中的任一项所述的有机EL显示面板，
所述电极板是阴极，所述对置电极是阳极。
12.一种显示装置，其具备权利要求1～9中的任一项所述的有机EL显示面板。
13.一种有机EL显示面板的制造方法，包括：
第1工序，形成呈线状排列多个第1颜色用的第1电极板的第1电极板组；
第2工序，与所述第1电极板组相邻地形成呈线状排列多个第2颜色用的第2电极板的第2电极板组；
第3工序，沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成第1隔壁；
第4工序，沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成第2隔壁；
第5工序，沿着所述第2电极板组的与第1电极板组相反一侧的边缘而形成第3隔壁；
第6工序，沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而在所述第1电极板组的上方连续地形成第1有机功能层；
第7工序，沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而在所述第2电极板组的上方连续地形成第2有机功能层；以及
第8工序，在所述第1有机功能层和所述第2有机功能层的上方形成对置电极，
所述第1工序包括在各所述第1电极板形成凹部的工序，
所述第2工序包括在各所述第2电极板形成凹部的工序，
在所述第1工序之前包括准备基板的工序、在所述基板上形成TFT层的工序、以及在所述TFT层上形成层间绝缘膜的工序，
在所述TFT层上形成层间绝缘膜的工序中，在所述层间绝缘膜设置多个接触孔，所述多个接触孔用于配置将所述第1电极板组所包括的各第1电极板及所述第2电极板组所包括的各第2电极板与所述TFT层连接的布线，
对于在所述第1工序中形成的各第1电极板和在所述第2工序中形成的各第2电极板，其一部分沿着所述接触孔的内面而设置，由此在各第1电极板和各第2电极板形成凹部，
形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部的体积大于形成于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部的体积，
使所述第1电极板组所包括的各第1电极板的区域所对应的所述第1有机功能层的体积与所述第2电极板组所包括的各第2电极板的区域所对应的所述第2有机功能层的体积相同、或者处于相同的邻近值的范围内，
进入到形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部内的所述第1有机功能层的量，多于进入到形成于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部内的所述第2有机功能层的量，由此使所述凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚形成为小于所述各第2电极板上的所述第2有机功能层的膜厚。
14.根据权利要求13所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述第1工序中形成于第1电极板组所包括的各第1电极板的所述凹部的数量，多于在所述第2工序中形成于第2电极板组所包括的各第2电极板的所述凹部的数量，
进入到设置于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的所有所述凹部内的所述第1有机功能层的体积，大于进入到设置于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的所有所述凹部内的所述第2有机功能层的体积。
15.根据权利要求13或14所述的有机EL显示面板的制造方法，
所述第1有机功能层和所述第2有机功能层为电荷注入层或电荷输送层。
16.根据权利要求13或14所述的有机EL显示面板的制造方法，
所述第1有机功能层和所述第2有机功能层为有机发光层。
17.根据权利要求13或14所述的有机EL显示面板的制造方法，
所述电极板为阳极，所述对置电极为阴极。
18.根据权利要求13或14所述的有机EL显示面板的制造方法，
所述电极板为阴极，所述对置电极为阳极。
19.一种有机EL显示面板的制造方法，包括：
第1工序，形成呈线状排列多个第1颜色用的第1电极板的第1电极板组；
第2工序，与所述第1电极板组相邻地形成呈线状排列多个第2颜色用的第2电极板的第2电极板组；
第3工序，与所述第2电极板组相邻地形成呈线状排列多个第3颜色用的第3电极板的第3电极板组；
第4工序，沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成第1隔壁；
第5工序，沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成第2隔壁；
第6工序，沿着所述第2电极板组和第3电极板组的相互相邻的边缘而形成第3隔壁；
第7工序，沿着所述第3电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成第4隔壁；
第8工序，沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而在所述第1电极板组的上方连续地形成第1有机功能层；
第9工序，沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而在所述第2电极板组的上方连续地形成第2有机功能层；
第10工序，沿着所述第3隔壁和所述第4隔壁之间而在所述第3电极板组的上方连续地形成第3有机功能层；以及
第11工序，在所述第1有机功能层、所述第2有机功能层以及所述第3有机功能层的上方形成对置电极，
在所述第1工序中形成的各第1电极板、在所述第2工序中形成的各第2电极板以及在所述第3工序中形成的各第3电极板具有凹部，
所述第1工序包括在所述各第1电极板形成凹部的工序，
所述第2工序包括在所述各第2电极板形成凹部的工序，
所述第3工序包括在所述各第3电极板形成凹部的工序，
在所述第1工序之前包括准备基板的工序、在所述基板上形成TFT层的工序、以及在所述TFT层上形成层间绝缘膜的工序，
在所述TFT层上形成层间绝缘膜的工序中，在所述层间绝缘膜设置多个接触孔，所述多个接触孔用于配置将所述第1电极板组所包括的各第1电极板、所述第2电极板组所包括的各第2电极板以及所述第3电极板组所包括的各第3电极板与TFT层连接的布线，
对于在所述第1工序中形成的各第1电极板、在所述第2工序中形成的各第2电极板以及在所述第3工序中形成的各第3电极板，其一部分沿着所述接触孔的内面而设置，由此在各第1电极板、各第2电极板以及各第3电极板形成凹部，
形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部的体积，形成为大于形成于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部的体积、及形成于所述第3电极板组所包括的各第3电极板的凹部的体积，
将所述第1电极板组所包括的各第1电极板的区域所对应的所述第1有机功能层的体积形成为与所述第2电极板组所包括的各第2电极板的区域所对应的所述第2有机功能层的体积及所述第3电极板组所包括的各第3电极板的区域所对应的所述第3有机功能层的体积相同、或者处于相同的邻近值的范围内，
使进入到形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部中的所述第1有机功能层的量多于进入到形成于所述第2电极板组所包括的各第2电极板的凹部内的所述第2有机功能层的量、及进入到形成于所述第3电极板组所包括的各第3电极板的凹部内的所述第3有机功能层的量，由此在所述凹部以外的所述第1电极板上的区域中，使所述第1有机功能层的膜厚形成为小于所述凹部以外的所述第2电极板上的区域的所述第2有机功能层及所述第3电极板上的区域的所述第3有机功能层的膜厚。
20.根据权利要求13、14、19中的任一项所述的有机EL显示面板的制造方法，
所述第1颜色为蓝色。
21.根据权利要求19所述的有机EL显示面板的制造方法，
所述第1有机功能层、所述第2有机功能层以及所述第3有机功能层为电荷注入层或电荷输送层。
22.根据权利要求19所述的有机EL显示面板的制造方法，
所述第1有机功能层、所述第2有机功能层以及所述第3有机功能层为有机发光层。
23.根据权利要求19所述的有机EL显示面板的制造方法，
所述电极板为阳极，所述对置电极为阴极。
24.根据权利要求19所述的有机EL显示面板的制造方法，
所述电极板为阴极，所述对置电极为阳极。
25.一种有机EL显示面板，具备：
第1电极板组，其包括呈线状的多个第1颜色用的第1电极板；
第2电极板组，其与所述第1电极板组相邻地形成，包括呈线状的多个第2颜色用的第2电极板；
第1隔壁，其沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成；
第2隔壁，其沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成；
第3隔壁，其沿着所述第2电极板组的与第1电极板组相反一侧的边缘而形成；
第1有机功能层，其沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而形成在所述第1电极板组的上方；
第2有机功能层，其沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而形成在所述第2电极板组的上方；
对置电极，其设置在所述第1有机功能层和所述第2有机功能层的上方；
TFT层，其设置在所述第1电极板组的下方；
层间绝缘膜，其设置在所述第1电极板组与所述TFT层之间；以及
接触孔，其设置于所述层间绝缘膜，用于配置将所述第1电极板组所包括的各第1电极板与所述TFT层连接的布线，
所述第1电极板组所包括的各第1电极板具有凹部，
设置于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的所述凹部沿着所述接触孔而设置，
所述各第1电极板上的所述第1有机功能层的体积与各所述第2电极板上的所述第2有机功能层的体积相同或处于相同的邻近值的范围内，
所述第1有机功能层的一部分进入到形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板上的凹部内，由此使所述凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚小于所述各第2电极板上的所述第2有机功能层的膜厚。
26.一种有机EL显示面板的制造方法，包括：
第1工序，形成呈线状排列多个第1颜色用的第1电极板的第1电极板组；
第2工序，与所述第1电极板组相邻地形成呈线状排列多个第2颜色用的第2电极板的第2电极板组；
第3工序，沿着所述第1电极板组的与第2电极板组相反一侧的边缘而形成第1隔壁；
第4工序，沿着所述第1电极板组和第2电极板组的相互相邻的边缘而形成第2隔壁；
第5工序，沿着所述第2电极板组的与第1电极板组相反一侧的边缘而形成第3隔壁；
第6工序，沿着所述第1隔壁和所述第2隔壁之间而在所述第1电极板组的上方连续地形成第1有机功能层；
第7工序，沿着所述第2隔壁和所述第3隔壁之间而在所述第2电极板组的上方连续地形成第2有机功能层；以及
第8工序，在所述第1有机功能层和所述第2有机功能层的上方形成对置电极，
所述第1工序包括在各所述第1电极板形成凹部的工序，
在所述第1工序之前包括准备基板的工序、在所述基板上形成TFT层的工序、以及在所述TFT层上形成层间绝缘膜的工序，
在所述TFT层上形成层间绝缘膜的工序中，在所述层间绝缘膜设置多个接触孔，所述多个接触孔用于配置将所述第1电极板组所包括的各第1电极板与所述TFT层连接的布线，
在所述第1工序中形成的各第1电极板的一部分沿着所述接触孔的内面而设置，由此在各第1电极板形成凹部，
在所述第6工序中形成的所述第1有机功能层的体积与在所述第7工序中形成的所述第2有机功能层的体积相同或处于相同的邻近值的范围内，
所述第1有机功能层的一部分进入到形成于所述第1电极板组所包括的各第1电极板的凹部内，由此使所述凹部以外的区域中的所述第1有机功能层的膜厚形成为小于所述各第2电极板上的所述第2有机功能层的膜厚。
CN201080003023.8A 2010-07-05 2010-07-05 有机el显示面板及其制造方法 Active CN102405687B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2010/004372 WO2012004823A1 (ja) 2010-07-05 2010-07-05 有機ｅｌ表示パネルとその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102405687A CN102405687A (zh) 2012-04-04
CN102405687B true CN102405687B (zh) 2015-02-25

Family

ID=45399027

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201080003023.8A Active CN102405687B (zh) 2010-07-05 2010-07-05 有机el显示面板及其制造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8466468B2 (zh)
JP (1) JP5524954B2 (zh)
KR (1) KR101661366B1 (zh)
CN (1) CN102405687B (zh)
WO (1) WO2012004823A1 (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102474939B (zh) 2009-11-04 2015-03-04 松下电器产业株式会社 显示面板装置及其制造方法
JP5982146B2 (ja) * 2011-06-16 2016-08-31 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 有機発光構造物、有機発光構造物の製造方法、有機発光表示装置、及び有機発光表示製造方法
WO2013018136A1 (ja) 2011-08-03 2013-02-07 パナソニック株式会社 表示パネルおよびその製造方法
CN103069477B (zh) 2011-08-09 2016-03-09 株式会社日本有机雷特显示器 图像显示装置
WO2013124916A1 (ja) * 2012-02-21 2013-08-29 パナソニック株式会社 有機発光デバイスとその製造方法
US9544997B2 (en) 2013-03-01 2017-01-10 Panasonic Corporation Multi-layered film, electronic device, and manufacturing methods thereof
JP6190709B2 (ja) * 2013-12-04 2017-08-30 株式会社ジャパンディスプレイ 有機エレクトロルミネッセンス表示装置
KR102201827B1 (ko) * 2014-09-16 2021-01-13 엘지디스플레이 주식회사 유기발광표시장치, 유기발광표시패널 및 그 제조방법
US10352621B2 (en) * 2015-09-04 2019-07-16 TSI Products, Inc. Dual axial fan with a thermal exchange component for a vehicle
CN105609534A (zh) * 2016-01-06 2016-05-25 京东方科技集团股份有限公司 一种oled显示基板及显示装置
US10295238B2 (en) * 2017-02-14 2019-05-21 Heatcraft Refrigeration Products Llc Cooling system
JP6914509B2 (ja) 2017-05-19 2021-08-04 株式会社Ｊｏｌｅｄ 表示装置
CN107768529A (zh) * 2017-10-17 2018-03-06 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 钙钛矿发光二极管及其制作方法
KR102560918B1 (ko) * 2017-12-29 2023-07-27 엘지디스플레이 주식회사 전계 발광 표시장치
US10879327B2 (en) 2018-07-09 2020-12-29 Joled Inc. Organic EL display panel and method of manufacturing the same, organic EL display device and electronic apparatus
JP7421284B2 (ja) 2019-08-09 2024-01-24 ＪＤＩ Ｄｅｓｉｇｎ ａｎｄ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ 合同会社 表示パネル、および、表示パネルの製造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101411002A (zh) * 2006-04-05 2009-04-15 夏普株式会社 有机电致发光显示装置及其制造方法
CN101572267A (zh) * 2008-05-01 2009-11-04 精工爱普生株式会社 有机电致发光装置
CN101681997A (zh) * 2008-02-28 2010-03-24 松下电器产业株式会社 有机电致发光显示屏

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05163488A (ja) 1991-12-17 1993-06-29 Konica Corp 有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子
US5443922A (en) 1991-11-07 1995-08-22 Konica Corporation Organic thin film electroluminescence element
US5294869A (en) * 1991-12-30 1994-03-15 Eastman Kodak Company Organic electroluminescent multicolor image display device
US6309801B1 (en) * 1998-11-18 2001-10-30 U.S. Philips Corporation Method of manufacturing an electronic device comprising two layers of organic-containing material
JP2003022035A (ja) * 2001-07-10 2003-01-24 Sharp Corp 有機ｅｌパネルおよびその製造方法
JP3627739B2 (ja) 2001-12-11 2005-03-09 セイコーエプソン株式会社 表示装置及び電子機器
KR100498849B1 (ko) 2001-12-11 2005-07-04 세이코 엡슨 가부시키가이샤 표시 장치 및 전자 기기
KR100570998B1 (ko) * 2004-06-30 2006-04-13 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 소자 및 그 형성 방법
JP4211804B2 (ja) 2006-05-19 2009-01-21 セイコーエプソン株式会社 デバイス、膜形成方法及びデバイスの製造方法
JP4328384B2 (ja) * 2007-05-30 2009-09-09 パナソニック株式会社 有機ｅｌディスプレイパネルおよびその製造方法
KR101367136B1 (ko) * 2007-07-27 2014-02-25 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101450887B1 (ko) * 2007-12-28 2014-10-14 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광표시장치
JP2010097697A (ja) * 2008-10-14 2010-04-30 Seiko Epson Corp 有機ｅｌ装置、有機ｅｌ装置の製造方法、及び電子機器
JP5574112B2 (ja) * 2009-12-22 2014-08-20 パナソニック株式会社 表示装置とその製造方法
KR101643011B1 (ko) 2010-05-07 2016-07-27 가부시키가이샤 제이올레드 유기 ｅｌ 표시 패널 및 그 제조 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101411002A (zh) * 2006-04-05 2009-04-15 夏普株式会社 有机电致发光显示装置及其制造方法
CN101681997A (zh) * 2008-02-28 2010-03-24 松下电器产业株式会社 有机电致发光显示屏
CN101572267A (zh) * 2008-05-01 2009-11-04 精工爱普生株式会社 有机电致发光装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012004823A1 (ja) 2012-01-12
US8466468B2 (en) 2013-06-18
JP5524954B2 (ja) 2014-06-18
KR101661366B1 (ko) 2016-09-29
JPWO2012004823A1 (ja) 2013-09-02
KR20130044114A (ko) 2013-05-02
US20120001186A1 (en) 2012-01-05
CN102405687A (zh) 2012-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102405687B (zh) 有机el显示面板及其制造方法
CN102165591B (zh) 显示装置及其制造方法
CN102165593B (zh) 显示装置及其制造方法
CN102577616B (zh) 有机发光面板及其制造方法、以及有机显示装置
CN102405539B (zh) 有机电致发光显示面板及其制造方法
US7091660B2 (en) Polymer organic light emitting diode
CN102577612B (zh) 有机发光面板及其制造方法、以及有机显示装置
CN102165592B (zh) 显示装置及其制造方法
CN102405686B (zh) 有机电致发光显示面板、具备该有机电致发光显示面板的有机电致发光显示装置以及有机电致发光显示面板的制造方法
CN102334384B (zh) 发光装置及其制造方法
US8604494B2 (en) Organic light-emitting panel for controlling an organic light emitting layer thickness, and organic display device
CN102577614B (zh) 有机发光面板及其制造方法以及有机显示装置
CN102960066B (zh) 有机发光面板及其制造方法以及有机显示装置
CN102577615B (zh) 有机发光面板及其制造方法以及有机显示装置
US9153628B2 (en) Display panel having an inter-layer insulation layer with planar and protruding regions
US8901546B2 (en) Organic light-emitting panel, manufacturing method thereof, and organic display device
CN102742357A (zh) 有机el显示面板、显示装置以及有机el显示面板的制造方法
CN104247071B (zh) 有机发光元件、有机el显示面板、有机el显示装置、和涂敷型器件、以及它们的制造方法
US20170069697A1 (en) Organic el display panel and organic el display device
CN104094670B (zh) 有机el面板及其制造方法
CN103583084B (zh) 发光元件以及晶体管
CN104126332B (zh) 有机发光器件及其制造方法
CN102449767A (zh) 有机el显示面板、显示装置以及有机el显示面板的制造方法
CN111435676A (zh) 有机el显示面板和制造有机el显示面板的方法
CN108417600A (zh) 有机el显示面板以及有机el显示面板的制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: JANPAN ORGANIC RATE DISPLAY CO., LTD.

Free format text: FORMER NAME: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO, LTD.

CP03 Change of name, title or address

Address after: Tokyo, Japan

Patentee after: JOLED Inc.

Address before: Osaka Japan

Patentee before: Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd.

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20231207

Address after: Tokyo, Japan

Patentee after: Japan Display Design and Development Contract Society

Address before: Tokyo, Japan

Patentee before: JOLED Inc.