JP4534011B2 - マスクアライメント法を用いたディスプレイの製造方法 - Google Patents
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Description
なお、このディスプレイ基板の移動が完了すれば、マグネットチャック等の固定手段を用いてディスプレイ基板110とマスク50との位置関係を固定するために両者を密着させる。その際に(ΔXm,ΔYm,Δθm)がずれるので、密着の工程を経てディスプレイ基板は(Xd、Yd、θd)の位置に動く。これにより、もともと所望していた相対位置関係に基板110とマスク50がアライメントされる。
A)新しいマスクが導入されるごとに1度テストランを行い、事前に上記位置ずれ量ΔXm,ΔYm,Δθmを測定しておく。
B)マスク蒸着ステージごとにレーザ変位計等を利用したアライメントモニタを設置し、オンラインフィードバックがかかるようにする。
1)マスクIDを読んで、それに対応した事前抽出済みの位置ずれ量をメモリから読み出す。
2)予定移動位置に上記位置ずれ量ΔXm,ΔYm,Δθmを加味した仮想位置を指定する。
3)CCDカメラで現在位置を読み取り、仮想位置に対しての位置ずれ量を計算する。
4)仮想位置に対して基板を移動させる。
5)マグネットチャックを行い、蒸着可能な状態にする。
6)予定移動位置に対して基板が正しく動いているか予定移動位置とマスクとの位置ずれ量をCCDカメラで再確認してOKであれば蒸着を開始する。
(2)図3(b)のようにディスプレイ基板110を搬入する。
(3)図3(c)のようにマスク50上にディスプレイ基板110を置く。
(4)CCDカメラ18によりマスク50とディスプレイ基板110のアライメントマークを認識し、両者の相対位置を測定する。
(5)(4)で測定したマスク50とディスプレイ基板110の相対位置から、両者の位置のずれを検出する。
(6)(5)で検出した位置のずれからディスプレイ基板110の移動すべき移動量を計算する。
(7)図3(d)のようにディスプレイ基板110を若干(100μm〜1mm程度)持ち上げる。
(8)図4(a)のようにディスプレイ基板110を(6)で計算した移動量に応じてマスク50の上方でマスク50と基板110がお互いに非接触状態にて移動させる。
(9)図4(b)のようにマスク50上にディスプレイ基板110を置く。
(10)CCDカメラ18によりマスク50とディスプレイ基板110のアライメントマークを認識し、両者の相対位置を測定する。
(11)(10)で測定したマスク50とディスプレイ基板110の相対位置から、両者の位置のずれを検出する。
(13)CCDカメラ18によりマスク50とディスプレイ基板110のアライメントマークを認識し、両者の相対位置を測定する。
(14)で測定したマスク50とディスプレイ基板110の相対位置から、両者の位置ずれ量ΔXm,ΔYm,Δθmを検出する。
ステップ(4)に戻る場合、再び、マスク50とディスプレイ基板110との位置合わせを行うことになるが、この場合、ステップ(6)においてステップ(14)で検出したマスクと基板の位置ずれ量ΔXm,ΔYm,Δθmを加味してディスプレイ基板110の移動すべき移動量を計算する。そして、ステップ(8)においては、ステップ(6)で計算された移動量に基づいてディスプレイ基板110を移動させる。この場合、ステップ(14)で検出された位置ずれ量ΔXm,ΔYm,Δθmが加味されてディスプレイ基板110が移動されているため、ステップ(11)で測定されるアライメント精度は許容範囲内である可能性が高くなる。そして、位置ずれ量ΔXm,ΔYm,Δθmは同一のマスクであれば、他のディスプレイ基板に対しても利用可能であるため、アライメントのやり直しの回数を減らし、ディスプレイの生産性を向上させるとともに、製造コスト削減に供することができる。特にマスクの面積が300mm×400mm等、1200cm2以上である場合、マスク自体の平面度が特に失われやすく、ステップ(12)の際に生じる位置ずれ量が大きくなりやすいが、このような場合、特に本発明は有用である。
10:支持ロッド
12:マグネットチャック
14:マスクホルダ
16: 基板ホルダ
18:CCDカメラ
50:マスク
110:ディスプレイ基板
112:隔壁
114:有機層
Claims (6)
- 平面内で移動、回転する第1の基板ホルダに載置されている複数の画素パターンを有する第1のディスプレイ基板と、
平面内で移動、回転する第2の基板ホルダに載置されている複数の画素パターンを有する第2のディスプレイ基板と、
平面内で移動、回転するマスクホルダに載置されている前記画素パターンに対応する穴部を有するマスクと、を準備する第1の工程と、
前記マスクと前記第1のディスプレイ基板とを位置合わせし、両者の位置関係を固定する前の状態における前記穴部と前記画素パターンとの位置関係を測定する第2の工程と、
前記マスクと前記第1のディスプレイ基板との位置関係を固定し、この状態における前記穴部と前記画素パターンとの位置関係を測定し、該測定した位置関係と、前記第2の工程において測定した位置関係との間の位置ずれ量を算出する第3の工程と、
前記マスクと同一のマスクを前記第2のディスプレイ基板に対して位置合わせを行う際に、前記マスクが配置される位置に対して、前記第3の工程で算出した前記位置ずれ量をフィードバックするとともに、前記位置ずれ量だけ前記第2の基板ホルダを移動させて、前記マスクと前記第2のディスプレイ基板との位置関係を補正する第4の工程と、
前記マスクと前記第2のディスプレイ基板とを前記第4の工程において補正した位置関係に固定する第5の工程と、
前記マスクの外側に配置された蒸着源より蒸着物を前記マスクの穴部を介して前記画素パターン上に被着させることにより、該画素パターン上に蒸着物層を形成する第6の工程と、
を備えたことを特徴とするディスプレイの製造方法。 - 前記第1のディスプレイ基板及び前記第2のディスプレイ基板は有機ELディスプレイ基板であり、前記蒸着物層は有機層である、請求項1に記載のディスプレイの製造方法。
- 前記有機層は、赤色光、緑色光及び青色光を発光する有機層を含む、請求項2に記載のディスプレイの製造方法。
- 前記マスクの面積は1200cm2以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のディスプレイの製造方法。
- 前記マスクは磁性体材料により形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のディスプレイの製造方法。
- 前記マスクの穴部は30〜250ppiの密度でマトリックス状に配列されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のディスプレイの製造方法。
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