KR20210088802A - 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 마스크 조립체;를 포함하는 표시 장치의 제조장치에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 개구부를 포함하는 마스크 프레임; 상기 개구부를 제1방향으로 가로지르는 제1중심부 및 상기 제1중심부에서 상기 제1방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제1돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제1지지부; 상기 개구부를 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 가로지르는 제2중심부 및 상기 제2중심부에서 상기 제2방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제2돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제2지지부; 및 상기 복수의 제1지지부 및 상기 복수의 제2지지부에 의해 지지되도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수의 패턴홀이 구비된 마스크 시트;를 포함하고, 서로 인접한 상기 복수의 제1지지부 및 서로 인접한 상기 복수의 제2지지부는 상기 복수의 패턴홀 중 일부를 차폐하여 증착 영역을 정의하는, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.

Description

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Apparatus for manufacturing a display apparatus and method for manufacturing a display apparatus}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시 장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있다. 표시 장치 분야는 부피가 큰 음극선관(Cathode Ray Tube: CRT)을 대체하는, 얇고 가벼우며 대면적이 가능한 평판 표시 장치(Flat Panel Display Device: FPD)로 급속히 변화해 왔다. 평판 표시 장치에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device: LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display Device: OLED), 그리고 전기 영동 표시 장치(Electrophoretic Display Device: EPD) 등이 있다.
최근에는 사용자가 증강 현실(Augmented Reality: AR) 또는 가상 현실(Virtual Reality: VR)을 실감할 수 있도록 머리에 쓰는 머리 착용 디스플레이(Head Mounted Display: HMD)가 개발되고 있다.
본 발명의 실시예들은 다양한 형태의 표시영역을 포함하는 표시 장치를 제작할 수 있는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는, 마스크 조립체;를 포함하는 표시 장치의 제조장치에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 개구부를 포함하는 마스크 프레임; 상기 개구부를 제1방향으로 가로지르는 제1중심부 및 상기 제1중심부에서 상기 제1방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제1돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제1지지부; 상기 개구부를 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 가로지르는 제2중심부 및 상기 제2중심부에서 상기 제2방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제2돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제2지지부; 및 상기 복수의 제1지지부 및 상기 복수의 제2지지부에 의해 지지되도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수의 패턴홀이 구비된 마스크 시트;를 포함하고, 서로 인접한 상기 복수의 제1지지부 및 서로 인접한 상기 복수의 제2지지부는 상기 복수의 패턴홀 중 일부를 차폐하여 증착 영역을 정의하는, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1돌출부는, 상기 제1중심부에서 상기 제2방향으로 돌출된 제1부분 및 상기 제1중심부에서 상기 제2방향과 반대되는 방향으로 돌출된 제2부분을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1중심부에서 상기 제1부분의 말단부까지 돌출된 제1거리는 상기 제1중심부에서 상기 제2부분의 말단부까지 돌출된 제2거리와 상이할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1부분 및 상기 제2부분는 각각 곡률부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1부분의 곡률 및 상기 제2부분의 곡률은 상이할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1중심부에, 상기 제1지지부 및 상기 제2지지부의 위치를 정렬하는 얼라인개구부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2돌출부는, 상기 제2중심부에서 돌출된 제3부분 및 상기 제2중심부에서 돌출되며, 상기 제3부분과 상기 제2방향으로 이격된 제4부분을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2중심부에서 제3부분의 말단부까지의 제3거리는 상기 제2중심부에서 상기 제4부분의 말단부까지의 제4거리와 동일할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3부분 및 상기 제4부분은 각각 곡률부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3부분 및 상기 제4부분의 제1이격거리는 상기 제1지지부의 상기 제2방향으로의 최대 폭과 동일할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3부분 및 상기 제4부분의 제1이격거리는 상기 제1지지부의 상기 제2방향으로의 최대 폭 보다 작을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3부분의 말단부 및 상기 제4부분의 말단부는 연결부를 통해 서로 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트는 상기 마스크 프레임에 복수 개로 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되어 증착 물질을 공급하는 소스부; 및 상기 마스크 조립체를 기준으로 상기 소스부와 반대편에 배치되어 상기 마스크 조립체를 디스플레이 기판에 근접시키는 자기력부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 마스크 조립체를 증착 물질을 공급하는 소스부와 대향하도록 챔버 내에 배치하는 단계; 디스플레이 기판을 상기 마스크 조립체를 기준으로 상기 소스부와 반대편에 배치하는 단계; 자기력부를 이용하여 상기 마스크 조립체를 상기 디스플레이 기판에 근접시키는 단계; 및 상기 소스부에서 분사되어 상기 마스크 조립체를 통과한 상기 증착 물질이 상기 디스플레이 기판에 증착하는 단계;를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 개구부를 포함하는 마스크 프레임; 상기 개구부를 제1방향으로 가로지르는 제1중심부 및 상기 제1방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제1돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제1지지부; 상기 개구부를 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 가로지르는 제2중심부 및 상기 제2방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제2돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제2지지부; 및 상기 복수의 제1지지부 및 상기 복수의 제2지지부에 의해 지지되도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수의 패턴홀이 구비된 마스크 시트;를 포함하고, 서로 인접한 상기 복수의 제1지지부 및 서로 인접한 상기 복수의 제2지지부는 상기 복수의 패턴홀 중 일부를 차폐하여 증착 영역을 정의하는, 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1돌출부는, 상기 제1중심부에서 상기 제2방향으로 돌출된 제1부분 및 상기 제1중심부에서 상기 제2방향과 반대되는 방향으로 돌출된 제2부분을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1중심부에서 상기 제1부분의 말단부까지 돌출된 제1거리는 상기 제2중심부에서 상기 제2부분의 말단부까지 돌출된 제2거리와 상이할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1부분 및 상기 제2부분는 각각 곡률부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1부분의 곡률 및 상기 제2부분의 곡률은 상이할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1중심부에, 상기 제1지지부 및 상기 제2지지부의 위치를 정렬하는 얼라인개구부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2돌출부는, 상기 제2중심부에서 돌출된 제3부분 및 상기 제2중심부에서 돌출되며, 상기 제3부분과 상기 제2방향으로 이격된 제4부분을 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2중심부에서 제3부분의 말단부까지의 제3거리는 상기 제2중심부에서 상기 제4부분의 말단부까지의 제4거리와 동일할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3부분 및 상기 제4부분은 각각 곡률부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3부분 및 상기 제4부분의 제1이격거리는 상기 제1지지부의 상기 제2방향으로의 최대 폭과 동일할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3부분 및 상기 제4부분의 제1이격거리는 상기 제1지지부의 상기 제2방향으로의 최대 폭 보다 작을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제3부분의 말단부 및 상기 제4부분의 말단부는 연결부를 통해 서로 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트는 상기 마스크 프레임에 복수 개로 구비될 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, 다양한 형태의 표시영역을 포함하는 표시 장치를 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 마스크 조립체에 돌출부를 각각 포함하는 제1지지부 및 제2지지부를 포함하여 증착 효율 및 증착 정밀성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 제1지지부, 제1외곽지지부, 제2지지부, 마스크 시트를 보여주는 평면도이다.
도 4a는 제1지지부를 도시한 평면도이다.
도 4b는 제1외곽지지부를 도시한 평면도이다.
도 5a는 제2지지부를 도시한 평면도이다.
도 5b는 제2외곽지지부를 도시한 평면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예와 비교하기 위한 비교예이다.
도 7a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2지지부를 도시한 평면도이다.
도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2외곽지지부를 도시한 평면도이다.
도 8a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제2지지부를 도시한 평면도이다.
도 8b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제2외곽지지부를 도시한 평면도이다.
도 9는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 10은 도 9의 A-A'선을 따라 취한 단면도이다.
도 11은 도 10에 도시된 중간층과 더미중간층의 배열을 보여주는 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 표시 장치의 제조장치(1000)를 보여주는 단면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(1500)를 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 표시 장치의 제조장치(1000)는 챔버(1100), 기판지지부(1200), 마스크지지부(1300), 소스부(1400), 마스크 조립체(1500), 자기력부(1600), 비젼부(1700), 및 압력조절부(1800)를 포함할 수 있다.
챔버(1100)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일측이 개구되도록 형성되어 디스플레이 기판(D)이 인출되거나 수납될 수 있다. 이 때, 개구된 챔버(1100) 부분에는 게이트 밸브 등을 포함하는 차폐부(1110)가 배치되어 선택적으로 개폐할 수 있다.
기판지지부(1200)는 디스플레이 기판(D)을 안착하여 지지할 수 있다. 이 때, 기판지지부(1200)는 디스플레이 기판(D)이 안착하여 디스플레이 기판(D)을 지지하거나 디스플레이 기판(D)의 일면을 흡착하거나 부착하여 지지할 수 있다. 일 실시예에서, 기판지지부(1200)는 챔버(1100) 내부에 고정된 브라켓 형태일 수 있다. 다른 실시예에서, 기판지지부(1200)는 디스플레이 기판(D)이 안착되며, 챔버(1100) 내부에서 선형 운동이 가능한 셔틀 형태일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판지지부(1200)는 챔버(1100) 내부에 고정되는 브라켓 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크지지부(1300)는 마스크 조립체(1500)가 안착될 수 있다. 이 때, 마스크지지부(1300)는 챔버(1100)의 내부에 배치될 수 있다. 마스크지지부(1300)는 마스크 조립체(1500)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이 경우, 마스크지지부(1300)는 마스크 조립체(1500)를 서로 상이한 방향으로 이동 가능하도록 별도의 구동부 내지는 얼라인 유닛 등을 구비할 수 있다.
소스부(1400)는 마스크 조립체(1500)와 대향하도록 배치될 수 있다. 이 때, 소스부(1400)는 증착 물질이 수납될 수 있으며, 증착 물질에 열을 가함으로써 증착 물질을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 따라서, 소스부(1400)는 증착 물질을 공급할 수 있다.
마스크 조립체(1500)는 마스크지지부(1300)에 의해 지지될 수 있다. 마스크 프레임(1510), 제1지지부(1530), 제2지지부(1550), 및 마스크 시트(1570)를 포함할 수 있다. 마스크 조립체(1500)와 관련된 상세한 설명은 후술하기로 한다.
자기력부(1600)는 마스크 조립체(1500)를 기준으로 소스부(1400)와 반대편에 배치될 수 있다. 이 때, 자기력부(1600)는 마스크 시트(1570)에 자기력을 가하여 디스플레이 기판(D) 측으로 마스크 조립체(1500)를 가력할 수 있다. 특히, 자기력부(1600)는 마스크 시트(1570)의 쳐짐을 방지할 뿐만 아니라, 마스크 시트(1570)를 디스플레이 기판(D)에 근접시킬 수 있다. 또한, 자기력부(1600)는 마스크 시트(1570)와 디스플레이 기판(D) 사이의 간격을 마스크 시트(1570)의 길이 방향에 대해 균일하게 유지시킬 수 있다.
비젼부(1700)는 챔버(1100)에 배치되며, 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1500)의 위치를 촬영할 수 있다. 비젼부(1700)는 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(1500)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(1700)에서 촬영된 이미지를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1500)의 위치를 파악할 수 있으며, 상기 이미지를 근거로 마스크지지부(1300)에서 마스크 조립체(1500)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
압력조절부(1800)는 챔버(1100)와 연결되어 챔버(1100) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들어, 압력조절부(1800)는 챔버(1100) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 또한, 압력조절부(1800)는 챔버(1100) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다.
압력조절부(1800)는 챔버(1100)와 연결되는 연결배관(1810)과 연결배관(1810)에 설치되는 펌프(1820)를 포함할 수 있다. 이 때, 펌프(1820)의 작동에 따라서 연결배관(1810)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(1100) 내부의 기체를 연결배관(1810)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.
도 2를 참조하면, 마스크 조립체(1500)는 마스크 프레임(1510), 제1지지부(1530), 제2지지부(1550), 및 마스크 시트(1570)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임(1510)은 개구부(1511)를 포함할 수 있다. 이 때, 증착 물질은 개구부(1511)를 통과할 수 있다. 한편, 마스크 프레임(1510)은 개구부(1511)를 둘러싸는 복수의 프레임들을 포함할 수 있다. 상기 복수의 프레임들은 제1방향(예를 들어, X 방향) 또는 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 연장될 수 있다.
마스크 프레임(1510)은 변형이 작은 소재인 강성이 큰 금속으로 제조될 수 있다.
제1지지부(1530)는 마스크 프레임(1510)에 배치될 수 있다. 제1지지부(1530)는 마스크 프레임(1510)에 인장된 상태로 고정될 수 있다. 이 때, 제1지지부(1530) 및 마스크 시트(1570)는 용접을 통하여 고정될 수 있다.
제1지지부(1530)는 복수개로 구비되어 마스크 프레임(1510)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1지지부(1530)는 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이 때, 제1지지부(1530)는 마스크 시트(1570)의 자중에 의한 휨 현상을 방지할 수 있으며, 마스크 프레임(1510)을 지지하는 역할을 할 수 있다.
제1지지부(1530)는 마스크 시트(1570)와 서로 상이한 재질로 구비될 수 있다. 예를 들어, 제1지지부(1530)는 오스테나이트계 스테인리스강(Austenitic Stainless Steels)을 포함할 수 있다.
제1지지부(1530)는 제1중심부(1531) 및 제1돌출부(1533)를 포함할 수 있다. 이 경우, 제1중심부(1531) 및 제1돌출부(1533)는 일체로 구비될 수 있다.
제1중심부(1531)는 플레이트 형태로 구비될 수 있다. 또한, 제1중심부(1531)는 개구부(1511)를 제1방향(예를 들어, X 방향)으로 가로지를 수 있다. 이 때, 복수의 제1지지부(1530)에 포함되는 제1중심부(1531)들은 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 이격되어 배치될 수 있다.
제1돌출부(1533)는 제1중심부(1531)에서 제1방향과 교차하는 방향(예를 들어, Y 방향 또는 -Y 방향)으로 돌출될 수 있다. 이 때, 제1돌출부(1533)는 제1방향(예를 들어, X 방향)을 따라 복수개로 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 제1돌출부(1533)는 제1방향(예를 들어, X 방향)을 따라 일정한 간격으로 배치될 수 있다. 다른 실시예에서, 제1돌출부(1533)는 제1방향(예를 들어, X 방향)을 따라 상이한 간격으로 배치될 수 있다. 이하에서는 복수의 제1돌출부(1533)가 제1방향(예를 들어, X 방향)을 따라 일정한 간격으로 배치된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
일 실시예에서, 제1돌출부(1533)는 제1중심부(1531)에서 일 방향으로 돌출될 수 있다. 다른 실시예에서, 제1돌출부(1533)는 제1중심부(1531)에서 일 방향 및 상기 일 방향과 반대되는 방향으로 돌출될 수 있다. 예를 들어, 제1돌출부(1533)는 제1중심부(1531)에서 제2방향(예를 들어, Y 방향) 및 제2방향과 반대되는 방향(예를 들어, -Y 방향)으로 돌출될 수 있다.
제2지지부(1550)는 마스크 프레임(1510)에 배치될 수 있다. 이 때, 제2지지부(1550)는 제1지지부(1530)와 동일한 재질을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제2지지부(1550)는 마스크 프레임(1510)에 삽입되도록 배치될 수 있다. 다른 실시예에서, 제2지지부(1550)는 마스크 프레임(1510)에 인장된 상태로 배치될 수 있다. 이하에서는 제2지지부(1550)가 마스크 프레임(1510)에 삽입된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2지지부(1550)는 복수개로 구비되어 마스크 프레임(1510)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2지지부(1550)는 제1방향(예를 들어, X 방향)으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 특히, 제2지지부(1550)는 서로 인접하는 마스크 시트(1570) 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 제2지지부(1550)는 마스크 시트(1570) 사이의 간격을 차폐할 수 있다. 제2지지부(1550)는 마스크 시트(1570)의 자중에 의한 휨 현상을 방지할 수 있으며, 마스크 프레임(1510)을 지지하는 역할을 할 수 있다.
제2지지부(1550)는 제2중심부(1551) 및 제2돌출부(1553)를 포함할 수 있다. 이 경우, 제2중심부(1551) 및 제2돌출부(1553)는 일체로 구비될 수 있다.
제2중심부(1551)는 개구부(1511)를 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 가로지를 수 있다. 이 때, 복수의 제2지지부(1550)에 포함되는 제2중심부(1551)들은 제1방향(예를 들어, X 방향)으로 이격되어 배치될 수 있다.
제2돌출부(1553)는 제2중심부(1551)에서 제2방향과 교차하는 방향(예를 들어, X 방향 또는 -X 방향)으로 돌출될 수 있다. 이 때, 제2돌출부(1553)는 제2방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 복수 개로 배치될 수 있다. 특히, 제2돌출부(1553)는 제1돌출부(1533)에 대응하여 배치될 수 있다.
일 실시예에서, 제2돌출부(1553)는 제2중심부(1551)에서 일 방향으로 돌출될 수 있다. 다른 실시예에서, 제2돌출부(1553)는 제2중심부(1551)에서 일 방향 및 상기 일 방향과 반대되는 방향으로 돌출될 수 있다. 예를 들어, 제2돌출부(1553)는 제2중심부(1551)에서 제1방향(예를 들어, X 방향) 또는 제1방향과 반대되는 방향(예를 들어, -X 방향)으로 돌출될 수 있다.
마스크 시트(1570)는 마스크 프레임(1510) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로 마스크 시트(1570)는 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 연장되어 배치될 수 있다. 이 때, 마스크 시트(1570)는 복수의 제1지지부(1530) 및 복수의 제2지지부(1550)에 의해 지지되도록 배치될 수 있다. 마스크 시트(1570)는 복수의 제1지지부(1530) 및 복수의 제2지지부(1550)에 의해 지지되므로, 마스크 시트(1570)의 자중에 의해 처지는 것을 방지할 수 있다.
마스크 시트(1570)는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 제조될 수 있다.
일 실시예에서, 마스크 시트(1570)의 폭은 개구부(1511)의 폭 보다 작을 수 있다. 예를 들어, 도 2를 참조하면, 마스크 시트(1570)의 제1방향(예를 들어, X 방향)으로의 폭은 개구부(1511)의 제1방향(예를 들어, X 방향)으로의 폭 보다 작을 수 있다. 이에 따라, 마스크 프레임(1510) 상에 복수의 마스크 시트(1570)가 배치될 수 있다. 이는 마스크 시트(1570)의 자중에 의해 처지는 것을 방지하기 위함일 수 있다. 이 때, 복수의 마스크 시트(1570)는 연속적으로 배열될 수 있다. 다른 실시예에서, 마스크 시트(1570)의 폭은 개구부(1511)의 폭 보다 클 수 있다. 이 경우, 예를 들어, 마스크 시트(1570)의 제1방향(예를 들어, X 방향)으로의 폭은 개구부(1511)의 제1방향(예를 들어, X 방향)으로의 폭 보다 클 수 있다. 이에 따라 마스크 시트(1570)는 마스크 프레임(1510) 상에 일체로 장착될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 시트(1570)의 폭이 개구부(1511)의 폭 보다 작은 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 시트(1570)는 복수의 패턴홀(1571)을 포함할 수 있다. 복수의 패턴홀(1571)은 마스크 시트(1570)에 제1방향(예를 들어, X 방향) 또는 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수의 패턴홀(1571)은 서로 일정한 간격으로 배치될 수 있다. 또한, 복수의 패턴홀(1571)은 마스크 시트(1570)에 전체적으로 배치될 수 있다. 이와 같은 경우, 자기력부(1600, 도 1 참조)에 의해 마스크 시트(1570)에 자기력을 가하면, 마스크 시트(1570)에 전체적으로 균일한 자기력이 가해질 수 있다. 따라서, 마스크 시트(1570)는 자기력에 의해 특정 부분만 변형되는 것을 방지할 수 있다.
마스크 조립체(1500)는 제1외곽지지부(1540) 및 제2외곽지지부(1560)를 더 포함할 수 있다.
제1외곽지지부(1540)는 마스크 프레임(1510)에 배치될 수 있다. 특히, 제1외곽지지부(1540)는 제1지지부(1530) 보다 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 마스크 프레임(1510)에 가깝게 배치될 수 있다. 따라서, 제1외곽지지부(1540)는 복수의 제1지지부(1530)들의 외곽에 배치될 수 있다. 이를 다시 말하면, 제1외곽지지부(1540)는 마스크 프레임(1510)의 개구부(1511) 중 코너에 대응하도록 배치될 수 있다. 또한, 제1외곽지지부(1540)는 제1지지부(1530)와 평행하도록 배치될 수 있다.
제1외곽지지부(1540)는 제1외곽중심부(1541) 및 제1외곽돌출부(1543)를 포함할 수 있다. 이 경우, 제1외곽중심부(1541) 및 제1외곽돌출부(1543)는 일체로 구비될 수 있다. 제1외곽중심부(1541) 및 제1외곽돌출부(1543)는 각각 제1중심부(1531) 및 제1돌출부(1533)와 동일 유사한 바 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 제1외곽돌출부(1543)는 제1외곽중심부(1541)에서 제1방향과 교차하는 방향(예를 들어, Y 방향 또는 -Y 방향)으로 돌출될 수 있다. 본 실시예에서, 제1외곽돌출부(1543)는 일 방향으로 돌출될 수 있다. 예를 들어, 제1외곽돌출부(1543)는 제2방향(예를 들어, Y 방향) 또는 제2방향과 반대되는 방향(예를 들어, -Y 방향)으로 돌출될 수 있다. 특히, 제1외곽돌출부(1543)는 마스크 프레임(1510)에서 개구부(1511)를 바라보는 방향으로 돌출될 수 있다.
제2외곽지지부(1560)는 마스크 프레임(1510)에 배치될 수 있다. 특히, 제2외곽지지부(1560)는 제2지지부(1550) 보다 제1방향(예를 들어, X 방향)으로 마스크 프레임(1510)에 가깝게 배치될 수 있다. 따라서, 제2외곽지지부(1560)는 복수의 제2지지부(1550)들의 외곽에 배치될 수 있다. 이를 다시 말하면, 제2외곽지지부(1560)는 마스크 프레임(1510)의 개구부(1511) 중 코너에 대응하도록 배치될 수 있다. 또한, 제2외곽지지부(1560)는 제2지지부(1550)와 평행하도록 배치될 수 있다.
제2외곽지지부(1560)는 제2외곽중심부(1561) 및 제2외곽돌출부(1563)를 포함할 수 있다. 이 경우, 제2외곽중심부(1561) 및 제2외곽돌출부(1563)는 일체로 구비될 수 있다. 제2외곽중심부(1561) 및 제2외곽돌출부(1563)는 각각 제2중심부(1551) 및 제2돌출부(1553)와 동일 유사한 바 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 제2외곽돌출부(1563)는 제2외곽중심부(1561)에서 제2방향과 교차하는 방향(예를 들어, X 방향 또는 -X 방향)으로 돌출될 수 있다. 본 실시예에서, 제2외곽돌출부(1563)는 일 방향으로 돌출될 수 있다. 예를 들어, 제2외곽돌출부(1563)는 제1방향(예를 들어, X 방향) 또는 제1방향과 반대되는 방향(예를 들어, -X 방향)으로 돌출될 수 있다. 특히, 제2외곽돌출부(1563)는 마스크 프레임(1510)에서 개구부(1511)를 바라보는 방향으로 돌출될 수 있다.
본 실시예에서, 증착 영역(S)은 서로 인접한 복수의 제1지지부(1530) 및 서로 인접한 복수의 제2지지부(1550)에 의해 정의될 수 있다. 이 때, 서로 인접한 복수의 제1지지부(1530) 및 서로 인접한 복수의 제2지지부(1550)는 마스크 시트(1570)의 복수의 패턴홀(1571) 중 일부를 차폐할 수 있다.
상기와 유사하게, 증착 영역(S)은 서로 인접한 제1지지부(1530)와 제1외곽지지부(1540) 및 서로 인접한 복수의 제2지지부(1550)에 의해 정의될 수 있다. 다른 예로, 증착 영역(S)은 서로 인접한 복수의 제1지지부(1530) 및 서로 인접한 제2지지부(1550)와 제2외곽지지부(1560)에 의해 정의될 수 있다. 또 다른 예로, 증착 영역(S)은 서로 인접한 제1지지부(1530)와 제1외곽지지부(1540) 및 서로 인접한 제2지지부(1550)와 제2외곽지지부(1560)에 의해 정의될 수 있다.
증착 영역(S)은 제1지지부(또는, 제1외곽지지부) 및 제2지지부(또는, 제2외곽지지부)의 형상에 따라 다양한 형상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 삼각형, 다각형, 타원 원 등의 형상을 포함할 수 있다. 또 다른 예로, 증착 영역(S)은 곡률을 포함할 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 제1지지부(1530), 제1외곽지지부(1540), 제2지지부(1550), 마스크 시트(1570)를 보여주는 평면도이다. 도 4a는 제1지지부(1530)를 도시한 평면도이다. 도 4b는 제1외곽지지부(1540)를 도시한 평면도이다. 도 5a는 제2지지부(1550)를 도시한 평면도이다. 도 5b는 제2외곽지지부(1560)를 도시한 평면도이다.
도 3을 참조하면, 마스크 조립체는 마스크 프레임, 제1지지부(1530), 제1외곽지지부(1540), 제2지지부(1550), 제2외곽지지부, 및 마스크 시트(1570)를 포함할 수 있다. 이 경우, 서로 인접한 제1지지부(1530)와 제1외곽지지부(1540) 및 서로 인접한 복수의 제2지지부(1550)는 증착 영역(S)을 정의할 수 있다.
마스크 시트(1570)는 복수의 패턴홀(1571)을 포함할 수 있다. 복수의 패턴홀(1571)은 마스크 시트(1570)에 제1방향(예를 들어, X 방향) 또는 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 배치될 수 있다. 이 때, 복수의 패턴홀(1571)은 증착 영역(S) 내부에 배치되는 제1패턴홀(1571a) 및 증착 영역(S)의 테두리에 배치되는 제2패턴홀(1571b)을 포함할 수 있다.
도 3 및 도 4a를 참조하면, 제1지지부(1530)는 제1중심부(1531) 및 제1돌출부(1533)를 포함할 수 있다.
제1중심부(1531)는 제1방향(예를 들어, X 방향)으로 연장되어 배치될 수 있다. 이 경우, 제1중심부(1531)는 제1지지부(1530) 및 제2지지부(1550)의 위치를 정렬하는 얼라인개구부(1530M)를 포함할 수 있다. 얼라인개구부(1530M)는 제1개구부(M1), 제2개구부(M2), 및 제3개구부(M3)를 포함할 수 있다.
제1개구부(M1)는 복수의 제1돌출부(1533) 사이에 대응하여 배치될 수 있다. 따라서, 제1지지부(1530)가 정확한 위치에 얼라인되어 있는지 여부를 확인할 수 있다.
제2개구부(M2) 및 제3개구부(M3)는 제2중심부(1551)를 사이에 두고 배치될 수 있으며, 제1돌출부(1533)에 대응하여 배치될 수 있다. 따라서, 제2지지부(1550)가 제1지지부(1530)에 대응하여 정확한 위치에 얼라인되어 있는지 여부를 확인할 수 있다.
본 실시예에서, 제1돌출부(1533)는 제1부분(1533a) 및 제2부분(1533b)을 포함할 수 있다. 제1부분(1533a)은 제1중심부(1531)에서 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 돌출될 수 있으며, 제2부분(1533b)은 제1중심부(1531)에서 제2방향과 반대되는 방향(예를 들어, -Y 방향)으로 돌출될 수 있다. 이 경우, 제1부분(1533a) 및 제2부분(1533b)은 서로 대응되도록 배치될 수 있다.
본 실시예에서, 제1중심부(1531)에서 제1부분(1533a)의 말단부까지 돌출된 제1거리(d1)는 제1중심부(1531)에서 제2부분(1533b)의 말단부까지 돌출된 제2거리(d2)와 상이할 수 있다. 이 때, 제1거리(d1)는 제1중심부(1531) 및 제1부분(1533a)의 경계로부터 제1부분(1533a)의 말단부까지의 최대거리로 정의될 수 있다. 이와 유사하게 제2거리(d2)는 제1중심부(1531) 및 제2부분(1533b)의 경계로부터 제2부분(1533b)의 말단부까지의 최대거리로 정의될 수 있다.
일 실시예에서, 제1부분(1533a) 또는 제2부분(1533b)은 곡률부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1부분(1533a)은 제1곡률부(1533aR), 제2부분(1533b)은 제2곡률부(1533bR)를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 제1부분(1533a) 또는 제2부분(1533b)은 직선부만을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1부분(1533a) 또는 제2부분(1533b)은 다각형일 수 있다. 그러나, 설명의 편의를 위하여 제1부분(1533a)은 제1곡률부(1533aR)를 포함하고, 제2부분(1533b)은 제2곡률부(1533bR)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
일 실시예에서, 제1곡률부(1533aR)의 곡률 및 제2곡률부(1533bR)의 곡률은 상이할 수 있다. 또한, 제1곡률부(1533aR)의 곡률반경은 제2곡률부(1533bR)의 곡률반경과 상이할 수 있다. 다른 실시예에서, 제1곡률부(1533aR)의 곡률 및 제2곡률부(1533bR)의 곡률은 동일할 수 있다. 또한, 제1곡률부(1533aR)의 곡률반경은 제2곡률부(1533bR)의 곡률반경과 동일할 수 있다. 그러나, 설명의 편의를 위하여 제1곡률부(1533aR)의 곡률은 제2곡률부(1533bR)의 곡률과 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
도 3 및 도 4b를 참조하면, 제1외곽지지부(1540)는 제1외곽중심부(1541) 및 제1외곽돌출부(1543)를 포함할 수 있다. 제1외곽중심부(1541)는 제1외곽중심부(1541) 및 제2지지부(1550)의 위치를 정렬하는 외곽개구부(1540M)를 포함할 수 있다. 외곽개구부(1540M)는 제1외곽개구부(m1), 제2외곽개구부(m2), 및 제3외곽개구부(m3)를 포함할 수 있다.
도 4b의 제1외곽중심부(1541), 제1외곽개구부(m1), 제2외곽개구부(m2), 및 제3외곽개구부(m3)는 도 4a의 제1중심부(1531), 제1개구부(M1), 제2개구부(M2), 및 제3개구부(M3)와 동일 유사한 바 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1외곽돌출부(1543)는 제1외곽중심부(1541)로부터 일 방향으로 돌출될 수 있다. 도 4b의 경우 제1외곽돌출부(1543)가 제2방향과 반대되는 방향(예를 들어, -Y 방향)으로 돌출된 경우를 도시하였다. 일 실시예에서, 제1외곽돌출부(1543)는 제1외곽곡률부(1540R)를 포함할 수 있다. 이 경우, 제1외곽곡률부(1540R)는 제1곡률부(1533aR) 또는 제2곡률부(1533bR)와 동일한 곡률을 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 제1외곽돌출부(1543)는 직선부만을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1외곽돌출부(1543)는 다각형일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1외곽돌출부(1543)가 제1외곽곡률부(1540R)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
도 3 및 도 5a를 참조하면, 제2지지부(1550)는 제2중심부(1551) 및 제2돌출부(1553)를 포함할 수 있다. 이 경우, 제2중심부(1551)는 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 연장되어 배치될 수 있으며, 제2돌출부(1553)는 제2중심부(1551)에 제2방향과 교차하는 방향(예를 들어, X 방향)으로 돌출될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제2돌출부(1553)는 제2중심부(1551)를 기준으로 대칭적으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2돌출부(1553)는 제2중심부(1551)를 기준으로 제1방향(예를 들어, X 방향) 및 제1방향과 반대되는 방향(예를 들어, -X 방향)으로 돌출될 수 있다. 따라서, 제1지지부(1530) 및 제2지지부(1550)에 의해 정의되는 증착 영역(S)들은 일정한 형상으로 구비될 수 있다.
본 실시예에서, 제2돌출부(1553)는 제3부분(1555) 및 제3부분(1555)과 제2방향으로 이격된 제4부분(1557)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제3부분(1555) 및 제4부분(1557)은 교대로 제2중심부(1551)에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제3부분(1555) 및 제4부분(1557)은 제2방향을 따라 교대로 배치될 수 있다. 따라서, 서로 인접한 복수의 제1지지부(1530) 및 서로 인접한 복수의 제2지지부(1550)에 의해 정의되는 증착 영역(S)들은 일정한 형상으로 구비될 수 있다.
일 실시예에서, 제2중심부(1551)에서 제3부분(1555)의 말단부까지의 제3거리(d3)는 제2중심부(1551)에서 제4부분(1557)의 말단부까지의 제4거리(d4)와 동일할 수 있다. 이 때, 제3거리(d3)는 제2중심부(1551) 및 제3부분(1555)의 경계로부터 제3부분(1555)의 말단부까지의 최대거리로 정의될 수 있다. 이와 유사하게 제4거리(d4)는 제2중심부(1551) 및 제4부분(1557)의 경계로부터 제4부분(1557)의 말단부까지의 최대거리로 정의될 수 있다. 특히, 제1지지부(1530)에서 제1거리(d1, 도 4a 참조)와 제2거리(d2, 도 4a 참조)가 상이할 경우, 제3거리(d3) 및 제4거리(d4)가 동일하다면 제2돌출부(1553)의 자중에 의한 처짐 또는 제2돌출부(1553)의 인장력에 의한 변형이 최소화될 수 있다. 다른 실시예에서, 제3거리(d3)는 제4거리(d4)와 상이할 수 있다. 그러나, 설명의 편의를 위하여 제3거리(d3) 및 제4거리(d4)는 동일한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
일 실시예에서, 제3부분(1555) 또는 제4부분(1557)은 곡률부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제3부분(1555)은 제3곡률부(1555R), 제4부분(1557)은 제4곡률부(1557R)를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 제3부분(1555) 또는 제4부분(1557)은 직선부만을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제3부분(1555) 또는 제4부분(1557)은 다각형일 수 있다. 그러나, 설명의 편의를 위하여 제3부분(1555)은 제3곡률부(1555R)를 포함하고, 제4부분(1557)은 제4곡률부(1557R)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
일 실시예에서, 제3곡률부(1555R)의 곡률 및 제4곡률부(1557R)의 곡률은 상이할 수 있다. 또한, 제3곡률부(1555R)의 곡률반경은 제4곡률부(1557R)의 곡률반경과 상이할 수 있다. 이 경우, 제3곡률부(1555R)의 곡률은 제1곡률부(1553aR)의 곡률과 동일할 수 있다. 또한, 제4곡률부(1557R)의 곡률은 제2곡률부(1553bR)의 곡률과 동일할 수 있다. 이와 유사하게 제4곡률부(1557R)의 곡률은 제1외곽곡률부(1540R)와 동일할 수 있다. 따라서, 증착 영역(S) 중 곡률부분은 제1지지부(1530) 및 제2지지부(1550)로 인해 연속적으로 구비될 수 있다. 예를 들어, 제1곡률부(1553aR)의 곡률 및 제3곡률부(1555R)의 곡률이 동일하므로 증착 영역(S) 중 곡률부분은 연속적으로 형성될 수 있다.
상기와 같이 제3곡률부(1555R)의 곡률 및 제1곡률부(1553aR)의 곡률이 동일한 경우, 제3부분(1555) 및 제4부분(1557)의 제1이격거리(dis1)는 제1지지부(1530)의 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로의 최대 폭과 동일할 수 있다. 이 때, 제3부분(1555) 및 제4부분(1557)의 제1이격거리(dis1)는 인접한 증착 영역(S) 사이에 대응될 수 있으며, 제1이격거리(dis1)는 제3부분(1555) 및 제4부분(1557) 사이의 이격된 최소 거리를 의미한다. 또한, 제3부분의 말단부(1555T) 및 제4부분의 말단부(1557T)까지의 제2이격거리(dis2)는 제1이격거리(dis1)와 동일할 수 있다. 다른 실시예에서, 제1이격거리(dis1) 및 제2이격거리(dis2)는 상이할 수 있다.
도 5b를 참조하면, 제2외곽지지부(1560)는 제2외곽중심부(1561) 및 제2외곽돌출부(1563)를 포함할 수 있다. 제2외곽돌출부(1563)는 제3외곽부분(1565) 및 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 이격된 제4외곽부분(1567)을 포함할 수 있다. 도 5b의 제2외곽중심부(1561), 제3외곽부분(1565), 및 제4외곽부분(1567)은 도 5a의 제2중심부(1551), 제3부분(1555), 및 제4부분(1557)과 각각 동일 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에 있어서, 제3외곽부분(1565) 및 제4외곽부분(1567)은 제2외곽중심부(1561)에 일측에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제3외곽부분(1565) 및 제4외곽부분(1567)은 모두 제1방향(예를 들어, X 방향)으로 돌출되어 배치될 수 있다. 다른 예로, 제3외곽부분(1565) 및 제4외곽부분(1567)은 모두 제1방향과 반대되는 방향(예를 들어, -X 방향)으로 돌출되어 배치될 수 있다.
마스크 시트(1570)의 복수의 패턴홀(1571) 중 일부는 상기와 같은 제1지지부(1530) 및 제2지지부(1550)에 의해 차폐될 수 있다. 따라서, 증착 영역(S)은 다양한 형상을 구비할 수 있다. 예를 들어, 증착 영역(S)은 곡률부를 포함할 수 있다. 다른 예로, 증착 영역(S)은 삼각형, 다각형, 타원, 원 등의 형상을 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1지지부(1530)는 제1돌출부(1533)를 포함하고, 제2지지부(1550)는 제2돌출부(1553)를 포함할 수 있다. 따라서, 제1지지부(1530) 및 제2지지부(1550)의 자중에 의한 처짐을 최소화할 수 있으며, 증착 효율 및 증착 정밀성을 향상시킬 수 있다.
만일 도 6a와 같이, 제1지지부(1530A)가 제1돌출부(1533A)를 포함하고, 제2지지부(1550A)가 제2돌출부를 포함하지 않는 경우, 증착 영역(S)의 형상을 유지하기 위해 제1돌출부(1533A)가 더욱 돌출될 수 있다. 이러한 경우, 마스크 시트(1570)의 변형량이 시뮬레이션 결과 최대 17.9㎛로 측정되었다. 이 때, 상기 변형량은 마스크 시트(1570)가 제1지지부(1530A) 및 제2지지부(1550A)에 고정되었을 때 마스크 시트(1570)의 상면이 뒤틀려 초기 마스크 시트(1570)의 상면으로부터 떨어진 거리의 최대 값을 의미한다. 그러나, 본 실시예의 경우, 도 6a의 비교예와 동일한 조건에서 시뮬레이션 결과 마스크 시트(1570)의 변형량이 최대 8.7㎛로 측정되었다. 즉, 본 실시예의 경우 마스크 시트(1570)의 변형량이 약 51% 감소하였다. 따라서, 본 실시예의 경우, 도 6a의 비교예 보다 마스크 시트(1570)의 변형 또는 처짐을 최소화하여 증착 효율 및 증착의 정밀성을 향상시킬 수 있다.
만일 도 6b와 같이, 제1지지부(1530B)가 제1돌출부를 포함하지 않고, 제2지지부(1550B)가 제2돌출부(1553B)를 포함하는 경우, 증착 영역(S)의 형상을 유지하기 위해 제2돌출부(1553B)가 더욱 돌출될 수 있다. 이러한 경우, 제2돌출부(1553B)의 자중에 의한 제2지지부(1550B)의 처짐 또는 제2지지부(1550B)에 가해지는 인장력에 의한 제2돌출부(1553B)의 변형이 증가할 수 있으며, 이에 의해 증착 효율 및 증착의 정밀성이 떨어질 수 있다.
예를 들어, 도 6b의 비교예의 경우 시뮬레이션 결과, 제2지지부(1550B)의 처짐량은 260㎛으로 측정되었다. 이 때, 상기 처짐량은 제2지지부(1550B)에 약 4.2kgf의 인장력을 가했을 때 초기 제2돌출부(1553B)의 상면으로부터 제2돌출부(1553B)의 상면이 떨어진 거리의 최대값을 의미한다. 그러나, 본 실시예의 경우, 도 6b의 비교예와 동일한 제2지지부 두께 및 오차범위 내의 인장력을 가했을 때 시뮬레이션 결과로, 제2지지부(1550, 도 3 참조)의 처짐량이 88㎛로 측정되었다. 즉, 본 실시예의 경우 제2지지부(1550)의 처짐량이 51% 감소하였다.
또한 도 6b에는 도시하지 않았으나, 제2외곽지지부에 약 10kgf의 인장력이 가해진 경우, 시뮬레이션 결과 제2외곽지지부의 처짐량은 1370㎛으로 측정되었다. 그러나, 본 실시예의 경우, 도 6b의 비교예와 동일한 제2지지부 두께 및 오차범위 내의 인장력을 가했을 때 시뮬레이션 결과로, 제2외곽지지부(1560, 도 4b 참조)의 처짐량이 217㎛으로 측정되었다. 즉 본 실시예의 경우 제2외곽지지부(1560)의 처짐량이 약 84% 감소하였다.
따라서, 본 실시예의 경우, 도 6b의 비교예 보다 제1지지부의 변형 및 처짐을 최소화하여 증착 효율 및 증착의 정밀성을 향상시킬 수 있다. 다시 말해서, 돌출부로 인한 쉐도우(shadow) 현상을 방지할 수 있다.
도 7a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2지지부(1550-1)를 도시한 평면도이다. 도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2외곽지지부(1560-1)를 도시한 평면도이다.
도 7a를 참조하면, 제2지지부(1550-1)는 제2중심부(1551-1) 및 제2돌출부(1553-1)를 포함할 수 있다. 제2돌출부(1553-1)는 제3부분(1555-1) 및 제4부분(1557-1)을 포함할 수 있다. 도 7a의 제2중심부(1551-1), 제3부분(1555-1), 및 제4부분(1557-1)은 도 5a의 제2중심부(1551), 제3부분(1555), 및 제4부분(1557)과 동일 유사한 바 중복된 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에 있어서, 제3부분(1555-1) 및 제4부분(1557-1)의 제1이격거리(dis1-1)는 제1지지부(1530, 도 3 참조)의 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로의 최대 폭 보다 작을 수 있다. 이 때, 제1이격거리(dis1-1)는 제3부분(1555-1) 및 제4부분(1557-1) 사이의 이격된 최소 거리를 의미한다. 이러한 경우, 제3부분의 말단부(1555T-1) 및 제4부분의 말단부(1557T-1)까지의 제2이격거리(dis2-1)는 제1이격거리(dis1-1) 보다 클 수 있다.
본 실시예의 경우, 제2돌출부(1553-1)가 제2중심부(1551-1)에 컨택되어 있는 부분을 최대화할 수 있다. 이에 따라, 증착 효율 및 증착의 정밀성이 향상될 수 있다.
도 7b를 참조하면, 제2외곽지지부(1560-1)는 제2외곽중심부(1561-1) 및 제2외곽돌출부(1563-1)를 포함할 수 있다. 제2외곽돌출부(1563-1)는 제3외곽부분(1565-1) 및 제4외곽부분(1567-1)을 포함할 수 있다. 도 7b의 제2외곽중심부(1561-1), 제3외곽부분(1565-1), 및 제4외곽부분(1567-1)은 도 5b의 제2외곽중심부(1561), 제3외곽부분(1565), 및 제4외곽부분(1567)과 동일 유사한 바 중복된 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에 있어서, 제3외곽부분(1565-1) 및 제4외곽부분(1567-1)의 제3이격거리(dis3-1)는 제1지지부(1530, 도 3 참조)의 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로의 최대 폭 보다 작을 수 있다. 이 때, 제3이격거리(dis3-1)는 제3외곽부분(1565-1) 및 제4외곽부분(1567-1) 사이의 이격된 최소 거리를 의미한다. 이러한 경우, 제3외곽부분의 말단부(1565T-1) 및 제4외곽부분의 말단부(1567T-1)까지의 제4이격거리(dis4-1)는 제3이격거리(dis3-1) 보다 클 수 있다.
도 8a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제2지지부(1550-2)를 도시한 평면도이다. 도 8b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 제2외곽지지부(1560-2)를 도시한 평면도이다.
도 8a를 참조하면, 제2지지부(1550-2)는 제2중심부(1551-2) 및 제2돌출부(1553-2)를 포함할 수 있다. 제2돌출부(1553-2)는 제3부분(1555-2) 및 제4부분(1557-2)을 포함할 수 있다. 도 8a의 제2중심부(1551-2), 제3부분(1555-2), 및 제4부분(1557-2)은 도 7a의 제2중심부(1551-1), 제3부분(1555-1), 및 제4부분(1557-1)과 동일 유사한 바 중복된 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에 있어서, 제3부분(1555-2)의 말단부 및 제4부분(1557-2)의 말단부는 연결부(1559-2)를 통해 연결될 수 있다. 따라서, 제3부분(1555-2) 및 제4부분(1557-2)은 서로 지지될 수 있다.
도 8b를 참조하면, 제2외곽지지부(1560-2)는 제2외곽중심부(1561-2) 및 제2외곽돌출부(1563-2)를 포함할 수 있다. 제2외곽돌출부(1563-2)는 제3외곽부분(1565-2) 및 제4외곽부분(1567-2)을 포함할 수 있다. 도 8b의 제2외곽중심부(1561-2), 제3외곽부분(1565-2), 및 제4외곽부분(1567-2)은 도 7b의 제2외곽중심부(1561-1), 제3외곽부분(1565-1), 및 제4외곽부분(1567-1)과 동일 유사한 바 중복된 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에 있어서, 제3외곽부분(1565-2)의 말단부 및 제4외곽부분(1567-2)의 말단부는 연결부(1569-2)를 통해 연결될 수 있다.
한편, 다시 도 1을 참조하면, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(1000)는 하기에서 설명할 표시 장치(미도시)를 제조하는데 사용될 수 있다. 구체적으로 압력조절부(1800)가 챔버(1100) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 만들면, 게이트밸브가 작동하여 챔버(1100)의 개구된 부분을 개방할 수 있다.
이후 외부에서 디스플레이 기판(D)을 챔버(1100) 외부에서 내부로 장입할 수 있다. 이 때, 디스플레이 기판(D)은 다양한 방식으로 챔버(1100)에 장입될 수 있다. 일 실시예에서, 디스플레이 기판(D)은 챔버(1100)의 외부에 배치된 로봇암 등을 통하여 챔버(1100)의 외부에서 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시예에서, 기판지지부(1200)가 셔틀 형태로 구비되는 경우, 기판지지부(1200)가 챔버(1100) 내부에서 챔버(1100) 외부로 반출된 후, 챔버(1100) 외부에 배치된 별도의 로봇암 등을 통하여 디스플레이 기판(D)을 기판지지부(1200)에 안착시키고 기판지지부(1200)가 챔버(1100) 외부에서 챔버(1100) 내부로 장입하는 것도 가능하다.
일 실시예에서, 마스크 조립체(1500)는 챔버(1100) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시예에서, 마스크 조립체(1500)는 디스플레이 기판(D)과 동일 유사하게 챔버(1100) 외부에서 챔버(1100) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 이러한 경우, 마스크 조립체(1500)는 증착 물질을 공급하는 소스부(1400)와 대향하도록 챔버(1100) 내에 배치될 수 있다.
디스플레이 기판(D)이 챔버(1100) 내부로 장입되면, 디스플레이 기판(D)은 기판지지부(1200)에 안착될 수 있다. 이러한 경우, 디스플레이 기판(D)은 마스크 조립체(1500)를 기준으로 소스부(1400)와 반대편에 배치할 수 있다. 이 때, 비젼부(1700)는 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1500)의 위치를 촬영할 수 있다. 특히 비젼부(1700)는 디스플레이 기판(D)의 제1얼라인마크 및 마스크 조립체(1500)의 제2얼라인마크를 촬영할 수 있다.
상기와 같이 촬영된 제1얼라인마크 및 제2얼라인마크를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1500)의 위치를 파악할 수 있다. 구체적으로 상기 제2얼라인마크는 제1지지부(1530)의 얼라인개구부(1530M)일 수 있다. 이 때, 표시 장치의 제조장치(1000)는 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1500)의 위치를 파악할 수 있다.
디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(1500)의 위치 파악이 완료되면, 마스크지지부(1300)는 마스크 조립체(1500)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
이후, 자기력부(1600)를 이용하여 마스크 조립체(1500)를 디스플레이 기판(D)에 근접시킬 수 있다.
이후 소스부(1400)가 작동하여 증착 물질을 마스크 조립체(1500) 측으로 공급하고, 마스크 조립체(1500)의 복수의 패턴홀(1571)을 통과한 증착 물질은 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이 때, 펌프(1820)는 챔버(1100) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 챔버(1100) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같은 경우, 증착 물질은 증착 영역(S)에 배치된 제1패턴홀(1571a)을 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 또한 증착 물질은 증착 영역(S)의 테두리에 배치된 제2패턴홀(1571b)의 일부를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이러한 경우 증착 영역(S)은 다양한 형상을 가질 수 있다.
따라서, 표시 장치의 제조장치(1000) 및 표시 장치의 제조방법은 다양한 형상을 갖는 표시 영역을 포함하는 표시 장치를 제조할 수 있다.
한편, 이하에서는 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(1000) 및 표시 장치의 제조방법을 통해 제조된 표시 장치에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 9는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 9를 참조하면, 표시 장치(1)는 기판(100) 상에 표시영역(DA) 및 표시영역(DA) 외곽에 비표시영역(NDA)을 정의할 수 있다. 표시영역(DA)은 발광부가 배치되고, 비표시영역(NDA)에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시영역(NDA)에는 패드부(미도시)가 배치될 수 있다.
본 실시예의 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치(1)는 다양한 표시영역(DA)의 형상을 구비할 수 있다. 예를 들어, 표시영역(DA)은 곡률부를 포함할 수 있다. 다른 예로, 표시영역(DA)은 직선부만을 포함하는 다각형 형상일 수 있다. 이하에서는 표시영역(DA)이 곡률부를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
표시영역(DA)은 상부곡률부(aR) 및 하부곡률부(bR)를 포함할 수 있다. 이 경우, 상부곡률부(aR) 및 하부곡률부(bR)의 곡률은 상이할 수 있다. 다른 예로, 상부곡률부(aR) 및 하부곡률부(bR)의 곡률은 동일할 수 있다.
도 10은 도 9의 A-A'선을 따라 취한 단면도이다. 도 11은 도 10에 도시된 중간층과 더미중간층의 배열을 보여주는 평면도이다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 표시 장치(1)는 디스플레이 기판(D), 디스플레이 기판(D) 상에 배치된 중간층(122) 및 더미중간층(O)과, 중간층(122) 및 더미중간층(O) 상에 배치된 대향전극(123)을 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(1)는 대향전극(123)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다.
디스플레이 기판(D)은 기판(100), 박막 트랜지스터(TFT), 평탄화층(107) 및 화소전극(121)을 포함할 수 있다.
기판(100)은 글라스이거나 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 등과 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다.
기판(100) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 평탄화층(107)이 형성되며, 이 평탄화층(107) 상에 유기 발광 소자(120)가 형성될 수 있다.
버퍼층(101)은 실리콘질화물, 실리콘산질화물 및 실리콘산화물과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 전술한 무기 절연물을 포함하는 단층 또는 다층일 수 있다.
이 버퍼층(101) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(102)이 형성된 후, 활성층(102)이 게이트 절연층(103)에 의해 매립된다. 활성층(102)은 소스 영역(102a)과 드레인 영역(102b)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(102c)을 더 포함한다.
이러한 활성층(102)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(102)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(102)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(102)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(102)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(102)은 버퍼층(101) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(102)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(102a) 및 드레인 영역(102b)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(103)의 상면에는 활성층(102)과 대응되는 게이트 전극(104)과 이를 매립하는 층간 절연층(105)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(105)과 게이트 절연층(103)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(105) 상에 소스 전극(106a) 및 드레인 전극(106b)을 각각 소스 영역(102a) 및 드레인 영역(102b)에 컨택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 평탄화층(107)이 형성되고, 이 평탄화층(107) 상부에 유기 발광 소자(120)의 화소전극(121)이 형성된다. 이 화소전극(121)은 평탄화층(107)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(106b)에 콘택된다. 상기 평탄화층(107)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 평탄화층(107)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
평탄화층(107) 상에 화소전극(121)을 형성한 후에는 이 화소전극(121) 및 평탄화층(107)을 덮도록 화소정의막(111)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소전극(121)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소전극(121) 상에 중간층(122) 및 대향전극(123)이 형성된다. 다른 실시예로, 대향전극(123)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향전극(123)은 중간층(122), 화소정의막(111) 및 더미중간층(O) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향전극(123)이 중간층(122), 화소정의막(111) 및 더미중간층(O) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소전극(121)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향전극(123)은 캐소드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소전극(121)과 대향전극(123)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소전극(121)과 대향전극(123)은 상기 중간층(122)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(122)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(122)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(122)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(122)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
이때, 상기와 같은 중간층(122)은 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다.
또한, 더미중간층(O)은 중간층(122)의 형성 시 화소정의막(111) 상에 형성될 수 있다. 구체적으로 제1패턴홀(1571a, 도 3 참조)을 통과한 증착물질이 디스플레이 기판(D)에 증착되어 중간층(122)을 형성할 때, 제2패턴홀(1571b, 도 3 참조)을 통과한 증착물질이 디스플레이 기판(D)에 증착되어 더미중간층(O)이 형성될 수 있다.
이러한 경우 더미중간층(O)과 중간층(122)은 서로 동일한 물질을 포함할 수 있다. 특히 더미중간층(O)과 중간층(122)은 각각 유기 발광층, 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 및 기능층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기와 같은 중간층(122)은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 중간층(122)은 표시영역(DA)을 형성할 수 있다. 특히 복수개의 중간층(122)은 다양한 형상의 표시영역(DA)을 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 중간층(122)은 표시영역(DA) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
상기와 같은 더미중간층(O)은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 더미중간층(O)은 표시영역(DA)의 테두리(또는 경계, 외곽)에 배치될 수 있다. 특히 복수개의 더미중간층(O)은 복수개의 중간층(122)의 외곽에 배치될 수 있다. 이 때, 복수개의 더미중간층(O)은 비표시영역(NDA)에 배치될 수 있다. 따라서 더미중간층(O)은 발광하지 않을 수 있다.
더미중간층(O) 중 적어도 하나의 면적은 하나의 중간층(122)의 면적과 상이하게 형성될 수 있다. 특히 더미중간층(O) 중 적어도 하나의 면적은 중간층(122)의 면적보다 작게 형성될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 부화소는 하나의 중간층(122)을 포함할 수 있다. 이때, 하나의 부화소를 형성하는 경우 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(1000)를 통하여 중간층(122) 및 더미중간층(O)을 형성할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(120)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(120)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(120)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(120)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(120)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(1)는 다양한 형상을 갖는 표시 영역을 구현하는 것이 가능하다.
이와 같은 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
d1, d2, d3, d4: 제1거리, 제2거리, 제3거리, 제4거리
dis1, dis1-1: 제1이격거리
dis2, dis2-1: 제2이격거리
dis3-1: 제3이격거리
dis4-1: 제4이격거리
1000: 표시 장치의 제조장치
1400: 소스부
1500: 마스크 조립체
1510: 마스크 프레임
1511: 개구부
1530M: 얼라인개구부
1530: 제1지지부
1531: 제1중심부
1533: 제1돌출부
1533a: 제1부분
1533b: 제2부분
1550, 1550-1, 1550-2: 제2지지부
1551, 1551-1, 1551-2: 제2중심부
1553, 1553-1, 1553-2: 제2돌출부
1555, 1555-1, 1555-2: 제3부분
1555T, 1555T-1: 제3부분의 말단부
1557, 1557-1, 1557-2: 제4부분
1557T, 1557T-1: 제4부분의 말단부
1559-2: 연결부
1570: 마스크 시트
1571: 복수의 패턴홀
1600: 자기력부

Claims (27)

  1. 마스크 조립체;를 포함하는 표시 장치의 제조장치에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    개구부를 포함하는 마스크 프레임;
    상기 개구부를 제1방향으로 가로지르는 제1중심부 및 상기 제1중심부에서 상기 제1방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제1돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제1지지부;
    상기 개구부를 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 가로지르는 제2중심부 및 상기 제2중심부에서 상기 제2방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제2돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제2지지부; 및
    상기 복수의 제1지지부 및 상기 복수의 제2지지부에 의해 지지되도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수의 패턴홀이 구비된 마스크 시트;를 포함하고,
    서로 인접한 상기 복수의 제1지지부 및 서로 인접한 상기 복수의 제2지지부는 상기 복수의 패턴홀 중 일부를 차폐하여 증착 영역을 정의하는, 표시 장치의 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1돌출부는,
    상기 제1중심부에서 상기 제2방향으로 돌출된 제1부분 및
    상기 제1중심부에서 상기 제2방향과 반대되는 방향으로 돌출된 제2부분을 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1중심부에서 상기 제1부분의 말단부까지 돌출된 제1거리는 상기 제1중심부에서 상기 제2부분의 말단부까지 돌출된 제2거리와 상이한, 표시 장치의 제조장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1부분 및 상기 제2부분는 각각 곡률부를 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1부분의 곡률 및 상기 제2부분의 곡률은 상이한, 표시 장치의 제조장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1중심부에, 상기 제1지지부 및 상기 제2지지부의 위치를 정렬하는 얼라인개구부를 더 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제2돌출부는,
    상기 제2중심부에서 돌출된 제3부분 및
    상기 제2중심부에서 돌출되며, 상기 제3부분과 상기 제2방향으로 이격된 제4부분을 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2중심부에서 제3부분의 말단부까지의 제3거리는 상기 제2중심부에서 상기 제4부분의 말단부까지의 제4거리와 동일한, 표시 장치의 제조장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제3부분 및 상기 제4부분은 각각 곡률부를 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제3부분 및 상기 제4부분의 제1이격거리는 상기 제1지지부의 상기 제2방향으로의 최대 폭과 동일한, 표시 장치의 제조장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제3부분 및 상기 제4부분의 제1이격거리는 상기 제1지지부의 상기 제2방향으로의 최대 폭 보다 작은, 표시 장치의 제조장치.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 제3부분의 말단부 및 상기 제4부분의 말단부는 연결부를 통해 서로 연결된, 표시 장치의 제조장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 시트는 상기 마스크 프레임에 복수 개로 구비된, 표시 장치의 제조장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되어 증착 물질을 공급하는 소스부; 및
    상기 마스크 조립체를 기준으로 상기 소스부와 반대편에 배치되어 상기 마스크 조립체를 디스플레이 기판에 근접시키는 자기력부;를 더 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  15. 마스크 조립체를 증착 물질을 공급하는 소스부와 대향하도록 챔버 내에 배치하는 단계;
    디스플레이 기판을 상기 마스크 조립체를 기준으로 상기 소스부와 반대편에 배치하는 단계;
    자기력부를 이용하여 상기 마스크 조립체를 상기 디스플레이 기판에 근접시키는 단계; 및
    상기 소스부에서 분사되어 상기 마스크 조립체를 통과한 상기 증착 물질이 상기 디스플레이 기판에 증착하는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 조립체는,
    개구부를 포함하는 마스크 프레임;
    상기 개구부를 제1방향으로 가로지르는 제1중심부 및 상기 제1방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제1돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제1지지부;
    상기 개구부를 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 가로지르는 제2중심부 및 상기 제2방향과 교차하는 방향으로 돌출된 제2돌출부를 포함하며, 상기 마스크 프레임에 서로 이격되도록 배치되는 복수의 제2지지부; 및
    상기 복수의 제1지지부 및 상기 복수의 제2지지부에 의해 지지되도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 복수의 패턴홀이 구비된 마스크 시트;를 포함하고,
    서로 인접한 상기 복수의 제1지지부 및 서로 인접한 상기 복수의 제2지지부는 상기 복수의 패턴홀 중 일부를 차폐하여 증착 영역을 정의하는, 표시 장치의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제1돌출부는,
    상기 제1중심부에서 상기 제2방향으로 돌출된 제1부분 및
    상기 제1중심부에서 상기 제2방향과 반대되는 방향으로 돌출된 제2부분을 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 제1중심부에서 상기 제1부분의 말단부까지 돌출된 제1거리는 상기 제2중심부에서 상기 제2부분의 말단부까지 돌출된 제2거리와 상이한, 표시 장치의 제조방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 제1부분 및 상기 제2부분는 각각 곡률부를 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 제1부분의 곡률 및 상기 제2부분의 곡률은 상이한, 표시 장치의 제조방법.
  20. 제15항에 있어서,
    상기 제1중심부에, 상기 제1지지부 및 상기 제2지지부의 위치를 정렬하는 얼라인개구부를 더 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  21. 제15항에 있어서,
    상기 제2돌출부는,
    상기 제2중심부에서 돌출된 제3부분 및
    상기 제2중심부에서 돌출되며, 상기 제3부분과 상기 제2방향으로 이격된 제4부분을 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 제2중심부에서 제3부분의 말단부까지의 제3거리는 상기 제2중심부에서 상기 제4부분의 말단부까지의 제4거리와 동일한, 표시 장치의 제조방법.
  23. 제21항에 있어서,
    상기 제3부분 및 상기 제4부분은 각각 곡률부를 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  24. 제21항에 있어서,
    상기 제3부분 및 상기 제4부분의 제1이격거리는 상기 제1지지부의 상기 제2방향으로의 최대 폭과 동일한, 표시 장치의 제조방법.
  25. 제21항에 있어서,
    상기 제3부분 및 상기 제4부분의 제1이격거리는 상기 제1지지부의 상기 제2방향으로의 최대 폭 보다 작은, 표시 장치의 제조방법.
  26. 제21항에 있어서,
    상기 제3부분의 말단부 및 상기 제4부분의 말단부는 연결부를 통해 서로 연결된, 표시 장치의 제조방법.
  27. 제15항에 있어서,
    상기 마스크 시트는 상기 마스크 프레임에 복수 개로 구비된, 표시 장치의 제조방법.
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