KR101622483B1 - 증착 마스크 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 증착 마스크는 증착 소스를 가지는 증착 공정에 사용되며, 제1 본체 및 제2 본체를 포함한다. 제1 본체는 복수의 제1 구멍이 형성되어 있는 제1 중첩 영역을 가진다. 제2 본체는 제1 본체와 서로 다른 방향으로 연장되며, 제2 중첩 영역을 가진다. 제2 중첩 영역에는 복수의 제2 구멍이 형성되어 있다. 제1 중첩 영역과 제2 중첩 영역이 서로 겹치며, 제1 구멍이 제2 중첩 영역에 투영되는 범위는 모두 제2 구멍의 범위를 벗어난다.

Description

증착 마스크{MASK FOR EVAPORATION DEPOSITION PROCESS}
본 발명은 증착 장치에 관한 것이며, 구체적으로 본 발명은 디스플레이 제조 공정에 사용되는 증착 마스크에 관한 것이다.
유기 전기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode) 또는 유기 발광 디스플레이는 OLED로 약칭하며, 초박형, 높은 휘도, 높은 발광효율, 높은 반응속도, 광시각, 자체발광으로 백라이트가 필요 없는 등 특징을 구비한다. OLED는 음극과 양극 사이에 마련되는 유기층을 구비한다. OLED는 유기 재료의 특징을 이용하여 에너지를 광파의 형식으로 방출한다. 간단하게 말하면 OLED는 유기 발광층을 구비한다. 유기 재료의 종류 및 조합의 변경을 통해 서로 다른 광을 방출하는 OLED를 형성한다.
OLED 제조 공정에 있어서, 예를 들어 기상 증착 또는 액상 증착, 도포 및 전기 도금 등 방식으로 막을 성형하며, 그 중에서 유기 막층은 진공 증착에 마스크를 배합하여 막성형 영역을 확정하는 방식으로 형성될 수 있다. 도 1a 내지 도 1c에서 나타낸 바와 같이, 통상적으로 마스크(90)는 상부시트(820)와 하부시트(810)에 가설되며, 상부시트(820) 및 하부시트(810)는 프레임(900)에 설치될 수 있다. 상부시트(820)와 하부시트(810) 및 기재(基材)(S)의 상부에 막성형 영역(M)을 형성한다. 그 중, 매번 증착 공정이 완성될 때마다 마스크(90)는 세정(예를 들어, 용액 중에 담가두거나 용액을 분사 및/또는 세정 설비로 세정함)을 거쳐 그 위에 부착된 증착 재료를 제거하며, 건조를 거쳐 다음 증착에 사용된다. 그러나 서로 가설되는 상부시트(820)와 하부시트(810)는 서로 독립된 부재이며, 만약 양자 사이에 접착이나 용접을 진행하지 않으면, 상부시트(820)와 하부시트(810)가 서로 겹치는 부분(A)에는 여전히 미세한 간극(g)이 발생한다. 마스크(90) 세정 시, 용액은 간극(g)에 유입될 수 있어, 간극(g)의 좁고 중첩된 부분의 면적으로 인해 용액으로 해당 중첩된 부분(A)을 충분히 세정하기 어려우며, 또한 간극(g) 내에 유입된 용액 및 진입될 수 있는 물질도 간극(g)을 통과할 수 없어, 세정 후 마스크(90)에서 제거되기 어렵다(즉 간극(g) 및 마스크(90)에 잔류물이 존재한다). 따라서 상부시트(820)와 하부시트(810)가 서로 겹치는 부분(A) 및 그 간극(g)에는 세정 후에도 막성형 재료가 과도하게 잔류할 수 있는 우려가 있으며, 그 외, 용액의 성분도 마스크(90)에 잔류할 수 있다. 이러한 잔류물은 오염물로 존재하며, 마스크(90)의 사용 수명에 영향을 미칠 수 있는 한편 증착 공정에 사용될 때 방출될 수 있어, 제조 품질에 영향을 미칠 수 있기에 제품 수율에 영향을 줄 수 있다.
본 발명은 세척이 용이한 장점을 가지는 증착 마스크를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명은 사용률이 높고 증착 완성품 수율을 제고시킬 수 있는 증착 마스크를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 증착 마스크는 증착 소스를 가지는 증착 공정에 사용되며, 제1 본체 및 제2 본체를 포함한다. 제1 본체는 복수의 제1 구멍이 형성되어 있는 제1 중첩 영역을 가진다. 제2 본체는 제1 본체와 서로 다른 방향으로 연장되며, 제2 중첩 영역을 가진다. 제2 중첩 영역에는 복수의 제2 구멍이 형성되어 있다. 제1 중첩 영역과 제2 중첩 영역이 서로 겹치며, 제1 구멍이 제2 중첩 영역에 투영되는 범위는 모두 제2 구멍의 범위를 벗어난다.
본 발명의 증착 마스크의 제1 본체 및 제2 본체는 서로 겹쳐 설치된다. 제1 본체와 제2 본체가 서로 겹쳐 설치될 때, 겹치는 부분은 제1 구멍 및 제2 구멍을 통해 홀을 형성한다.
본 발명의 증착 마스크의 제1 본체 및 제2 본체에 각각 제1 구멍 및 제2 구멍이 형성되며, 제1 본체와 제2 본체가 서로 겹쳐 설치되며, 그 중, 제1 본체와 제2 본체가 서로 겹쳐 설치될 때 제1 구멍 및 제2 구멍이 형성되는 부분이 서로 겹치는 방식으로 마련된다. 제1 구멍이 제2 중첩 영역에 투영되는 범위는 제2 구멍의 범위를 벗어난다.
세척이 용이한 장점을 가지는 증착 마스크를 제공하며, 사용률이 높고 증착 완성품 수율을 제고시킬 수 있는 증착 마스크가 제공될 수 있다.
도 1a는 종래 마스크의 분해도이다.
도 1b 및 도 1c는 각각 종래 마스크의 평면도 및 측면도이다.
도 2a와 도 2b는 본 발명의 증착 마스크의 실시예의 분해도이다.
도 3a와 도 3b는 각각 본 발명의 증착 마스크의 실시예의 사시도 및 평면도이다.
도 3c는 도 3a와 도 3b에서 나타낸 실시예의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 증착 마스크에서의 액체 유동을 보여주는 모식도이다.
도 5 내지 도 7 및 도 8a와 도 8b는 본 발명의 증착 마스크의 다른 실시예를 보여주는 모식도이다.
도 9a와 도 9b는 본 발명의 증착 마스크를 표시하는 사용예를 보여주는 모식도이다.
도 10은 본 발명의 증착 마스크의 다른 실시예를 보여주는 분해도이다.
도 11은 도 10에서 나타낸 실시예의 사용예를 보여주는 모식도이다.
본 발명은 증착 소스를 가지는 증착 공정에 사용되는 증착 마스크를 제공한다. 증착 공정에 있어서, 예를 들어 기재 표면에 막층을 형성할 수 있다. 바람직하게는, 본 발명의 증착 마스크는 유기 발광 디스플레이 (Organic Light Emitting Display, OLED) 또는 유기 전기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode) 의 막성형/증착 공정에서 기재의 특정 영역에 유기 발광층을 형성하는데 사용된다. 상기 특정 영역의 선택예로 예를 들어 디스플레이 패널의 표시 영역 또는 화소가 형성되는 영역일 수 있다. 증착 소스는 기재를 향해 증착 재료 예를 들어 기화된 유기 분자를 방출하며, 증착 재료는 증착 마스크를 투과하여 기재 위에 패턴화 또는 한정 영역의 유기 발광층을 형성한다.
매번 증착 공정이 완성될 때마다, 증착 마스크는 세정(예를 들어, 세정 설비로 세정)을 거쳐 그 위에 부착된 증착 재료를 제거하며, 건조를 거쳐 다음 증착에 사용된다. 본 발명의 증착 마스크는 그 자체의 구조를 통해 더욱 우수한 세정 효과를 얻는다.
도 2a에 나타낸 실시예와 같이, 증착 마스크(10)는 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)를 포함하며, 그 중, 제1 본체(100)는 제1 중첩 영역(150)을 구비하고, 제2 본체(200)는 제2 중첩 영역(250)을 구비한다. 제1 중첩 영역(150)에 복수의 제1 구멍(180)이 형성되고, 제2 중첩 영역(250)에 복수의 제2 구멍(280)이 형성된다. 여기에서, 바람직한 실시예에 있어서, 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)는 구체적으로 2개의 서로 다른 연장 방향을 가지는 본체이며, 바람직하게는 긴 막대형 금속편이다. 이러한 금속편에 복수의 제1 구멍(180) 또는 복수의 제2 구멍(280)이 형성되어 있다. 따라서 제1 중첩 영역(150)은 제1 본체(100)의 금속편에 이러한 제1 구멍(180)이 형성된 영역으로 볼 수 있으며, 제2 중첩 영역(250)은 제2 본체(200)의 금속편에 이러한 제2 구멍(280)이 형성된 영역으로 볼 수 있다. 복수의 제1 구멍(180) 또는 복수의 제2 구멍(280)은 제1 본체(100) 또는 제2 본체(200)에 집중 분포되는 것이 바람직하며, 그 중, 제1 본체(100) 또는 제2 본체(200) 상의 하나 또는 복수의 영역에 집중 분포되어, 하나 또는 복수의 제1 중첩 영역(150) 또는 제2 중첩 영역(250)을 형성할 수 있다. 제1 본체(100)와 제2 본체(200)가 서로 결합될 때, 제1 본체(100)의 적어도 하나의 제1 중첩 영역(150)과 제2 본체(200)의 적어도 하나의 제2 중첩 영역(250)은 서로 겹친다.
한편, 제1 구멍(180) 또는 제2 구멍(280)의 구멍 크기는 개구면적으로도 칭한다. 복수의 제1 구멍(180) 또는 제2 구멍(280)의 개구면적의 총합을 총 개구면적으로 칭한다. 구멍 크기, 수량 및 형상은 총개구면적을 결정할 수 있다.
도 3a에서 나타낸 바와 같이, 증착 마스크(10) 내에서 서로 결합된 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)는 서로 다른 방향으로 연장하는 것이 바람직하고, 또한 기하학적 범위를 이루는 것이 바람직하다. 예를 들어, 3개의 각각 다른 방향으로 연장하는 제1 본체 및 제2 본체는 삼각형 프레임을 구성하며, 삼각형 범위를 이룰 수 있으며, 또는 2개의 서로 이격되어 동일한 방향으로 연장하는 제1 본체(100) 및 2개의 서로 이격되어 제1 본체(100)와 수직으로 연장하는 제2 본체(200)는 직사각형 프레임을 구성하며, 직사각형 범위를 이룰 수 있으며, 또는 2개의 서로 이격되어 동일한 방향으로 연장하는 제1 본체(100) 및 3개의 서로 이격되어 제1 본체(100)와 수직으로 연장하는 제2 본체(200)는 T형 프레임을 구성하며 2개의 직사각형 범위를 이룰 수 있으며, 도 3a에 나타낸 바와 같다. 증착 진행 시, 기재의 노출된 부분은 프레임이 이루는 범위에 상당하며, 다시 말해서 해당 프레임은 기재의 막성형 영역을 확정하며 그 위에 재료를 증착한다. 도 3a에 나타낸 바와 같이, 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)가 서로 결합될 때, 제1 중첩 영역(150) 및 제2 중첩 영역(250)이 서로 겹치는 것이 바람직하다. 이때, 제1 본체(100)와 제2 본체(200)를 겹쳐 설치되며, 제1 중첩 영역(150) 및 제2 중첩 영역(250)이 겹칠 때, 제1 구멍(180)이 제2 중첩 영역(250)에 투영될 때 제2 구멍(280)의 범위를 벗어나며, 제2 구멍(280)이 제1 중첩 영역(150)에 투영될 때 제1 구멍(180)의 범위를 벗어난다. 다시 말해서, 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)가 서로 겹치는 부분(즉 중첩 구역(150/250))에 있어서, 제1 구멍(180) 및 제2 구멍(280)의 분포는 서로 어긋나며, 제1 중첩 영역(150) 및 제2 중첩 영역(250)이 겹칠 때 제1 구멍(180) 및 제2 구멍(280)이 직접 연통되지 않도록 하기에, 제1 구멍(180) 및 제2 구멍(280)은 제1 본체(100) 또는 제2 본체(200)에 가리워져서 중첩 영역(150/250)을 관통하는 서로 반대되는 양측 표면을 갖지 못하게 된다.
도 2b 및 도 3a 내지 도 3c에 나타낸 실시예를 예로 들어, 제1 본체(100)의 제1 중첩 영역(150) 내에 서로 간격을 두고 마련되는 복수의 제1 구멍(180)을 형성할 수 있으며, 제2 본체 내에 서로 간격을 두고 마련되는 복수의 제2 구멍(280)을 형성할 수 있으며, 이러한 제2 구멍(280)은 상기 제1 구멍(180)과 어긋난다. 어긋난 정도는 제1 구멍(180) 또는 제2 구멍(280)의 구멍 지름보다 큰 것이 바람직하다. 도 3c에 나타낸 바와 같이, 인접하는 구멍 예를 들어 인접하는 제1 구멍(180) 및 제2 구멍(280)이 어긋나는 거리(D)가 제1 구멍(180) 또는 제2 구멍(280)의 구멍 지름(d)보다 크며, 그 중, 거리(D)가 제1 구멍(180)(또는 제2 구멍(280)) 및 해당 제1 구멍(180)(또는 제2 구멍(280))과 제일 접근하는 제2 구멍(280)(또는 제1 구멍(180))의 거리와 대등하다. 또한 그 거리는 예를 들어 제1 구멍(180)의 중심에서 인접한 제2 구멍(280)의 중심까지의 길이에 대등하거나, 또는 제1 구멍(180)의 우측 경계선에서 인접한 제2 구멍(280)의 우측 경계선까지의 길이에 대등하다. 더 나아가서, 이러한 제1 구멍(180) 및 제2 구멍(280)이 제1 중첩 영역(150) 및 제2 중첩 영역(280)에서 겹쳐 형성한 영역(150/250)에서 어긋나며, 제1 구멍(180)이 제2 중첩 영역(250)에 투영되는 범위는 인접한 2개의 제2 구멍(280) 사이에 위치하며, 제2 구멍(280)이 제1 중첩 영역(150)에 투영되는 범위는 인접한 2개의 제1 구멍(180) 사이에 위치한다. 또한, 어긋나는 거리(D)를 구멍 지름(d)보다 크게 함으로써 제1 구멍(180)이 제2 중첩 영역(250)에 투영되는 범위가 제2 구멍(280)의 범위와 겹치지 않게 하도록 하는 것이 바람직하다. 도 3b 및 A-A 절개선에 의한 단면도 3c에서 나타낸 바와 같이, 상측에서 증착 마스크(10)를 관찰할 때, 예를 들어 제2 본체(200)가 제1 본체(100)의 상부에 위치하는 증착 마스크(10)일 경우, 제2 중첩 영역(250) 중의 제2 구멍(280)을 볼 수 있으며, 제2 구멍(280)을 통해 그 하부의 제1 본체(100)를 볼 수 있다. 제1 본체(100)가 제2 구멍(280)에서 노출되는 부분의 양측에 제1 구멍(180)이 위치하며, 제1 구멍(180)은 제2 본체(200)에 의해 가려진다(도 3b의 확대도 중 점선으로 표시). 반대로, 하측에서 증착 마스크(10)를 관찰할 때, 제1 중첩 영역(150) 중의 제1 구멍(180)을 볼 수 있으며, 제1 구멍(180)을 통해 그 상부의 제1 본체(200)를 볼 수 있다.
도 2b 및 도 3a 내지 도 3c에 나타낸 실시예를 예로 들어, 증착 마스크(10)의 설계 단계에 제1 중첩 영역(150), 제2 중첩 영역(250) 또는 제1 중첩 영역과 제2 중첩 영역이 겹치는 영역(150/250)이 대체로 사각형인 것을 알 수 있다. 설계 시, 해당 겹치는 영역 내에서 25개의 사각형 영역을 구획하여, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 이러한 사각형 영역에 의거하여 제1 중첩 영역(150) 및 제2 중첩 영역(250)에 겹치지 않게 제1 구멍(180) 및 제2 구멍(280)을 형성한다. 예를 들어 제1 구멍(180) 및 제2 구멍(280)이 제1 중첩 영역과 제2 중첩 영역이 겹치는 영역(150/250)에서 어긋하게 분포하도록, 홀수의 사각형 영역(예를 들어 제2 중첩 영역(250)의 제1열 또는 제1행의 제1, 제3, 제5칸)에 제2 구멍(280)을 형성하고 짝수의 사각 영역(예를 들어 제1 중첩 영역(150) 내의 제1열 또는 제1행의 제2 및 제4칸)에 제1 구멍(180)을 형성하며, 그 중 상기 제1 중첩 영역(150) 내의 제1열 또는 제1행이 제2 중첩 영역(250)의 제1열 또는 제1행에 대응되며, 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)가 서로 결합되고, 또한 해당 제1 중첩 영역(150) 및 해당 제2 중첩 영역(250)이 서로 겹칠 때, 제1 중첩 영역(150) 내의 제1열(또는 제1행)이 제2 중첩 영역(250)의 제1열(또는 제1행)의 상부 또는 하부에 위치한다. 다시 말해서, 가장자리 위치에 설치되는 경우를 제외하고, 각 제1 구멍(180)(또는 제1 구멍(180)이 제2 중첩 영역에 투영되는 범위)은 모두 복수의 제2 구멍(280)에 의해 둘러싸여 있으며, 반대로 말해도 역시 그러하다.
더 나아가서, 겹쳐 설치되는 제1 본체 및 제2 본체는 제1 중첩 영역(150) 및 제2 중첩 영역(250) 사이에 간극(G)을 형성하고 있다. 도 2b 및 도 3a와 도 3b에서 나타낸 실시예를 예로 들어, 간극(G)은 제1 본체(100)와 제2 본체(200)를 겹겹으로 쌓을 때, 제1 본체(100)와 제2 본체(200) 사이에서, 접착 또는 용접을 진행하지 않아 자연적으로 형성된 것이며, 미세한 틈새인 것이 바람직하다. 간극(G)은 제1 구멍(180) 및 제2 구멍(280)을 연통시킨다. 이와 같이, 제1 본체(100) 또는 제2 본체(200)의 표면에 액체가 존재할 경우, 액체는 제1 구멍(180) 또는 제2 구멍(280)에 침입하며, 모세 현상에 의해 간극(G)의 타측에 도달할 수 있으며, 즉 제1 본체(100)에서 제2 본체(200) 및 제2 구멍(280)에 유입될 수 있거나, 제2 본체(200)에서 제1 본체(210) 및 제1 구멍(180)에 유입될 수 있다. 다시 말해서, 본 실시예의 증착 마스크는 자체의 구조를 통해 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)와 같이, 액체가 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)가 겹치는 부분에서의 유통 및 분배를 촉진한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 액체가 세제일 경우, 본 실시예의 증착 마스크는 해당 구조를 통해 세제가 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)가 겹치는 부분으로 유통하도록 하여 더욱 우수한 세정 효과를 얻을 수 있으며, 또한 제1 구멍(180) 및 제2 구멍(280)의 배치를 통해 세제가 제1 구멍(180)/제2 구멍(280)에서 배출되도록 하여, 세제가 간극(G)에 잔류하는 것을 방지한다. 세정 후, 본 발명의 증착 마스크는 중첩 영역의 통과성으로 인해 비교적 짧은 시간 내에 건조할 수 있으며, 이를 통해 증착 마스크의 사용률도 제고시킨다.
다른 실시예에 있어서, 제1 구멍(180) 또는 제2 구멍(280)은 기타 형상 예를 들어 직사각형, 원형일 수 있다. 구멍의 형상은 그 성형 효율에 의해 결정될 수 있으며, 예를 들어 원형 구멍이 더욱 편리하면 원형을 제1 구멍(180) 및/또는 제2 구멍(280)의 형상으로 선택한다. 또한 제1 구멍(180) 또는 제2 구멍(280)의 (총)개구면적은 변경될 수 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 본체(100a) 및 제2 본체(200a)에 겹치지 않게 제1 구멍(180a) 및 제2 구멍(280a)을 형성하고, 제1 구멍(180a) 또는 제2 구멍(280a)의 개구면적은 그 형상 및 분포 방식으로 인해 상술한 실시예와 다소 다르다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 본체(100b) 및 제2 본체(200b)에 겹치지 않게 제1 구멍(180b) 및 제2 구멍(280b)을 형성하고, 제1 구멍(180b) 또는 제2 구멍(280b)의 개구면적은 그 형상 및 분포 방식에 의해 상술한 실시예와 다소 다르다. 도 5 내지 도 7에서 나타낸 실시예와 비교하여, 도 3b와 도 3c에서 나타낸 실시예에 있어서, 제1 구멍(180), 제2 구멍(280)은 비교적 큰 개구면적을 가지며, 중첩 영역(150/250)의 홀(제1 구멍 및 제2 구멍에 의해 형성)도 비교적 큰 총 개구면적을 형성한다. 본 발명의 실시예에 있어서, 도 3b와 도 3c의 개구의 길이*너비는 예를 들어 5 계측 단위*5 계측 단위 일 수 있다. 반대로, 도 3b와 도 3c에서 나타낸 실시와 비교하여, 예도 도 5 내지 도 7에서 나타낸 실시예에 있어서(도 5 및 도 6의 단면도는 도 7을 참조할 수 있음 ), 제1 구멍(180a), 제2 구멍(280a) 및 제1 구멍(180b), 제2 구멍(280b)은 제1 중첩 영역(150) 및 제2 중첩 영역(250)에서 도 3b와 도 3c에서 나타낸 실시와 비해 비교적 작은 개구면적을 가질 뿐만 아니라, 그 중 도 5 내지 도 7의 개구의 길이*너비는 예를 들어 6 계측 단위*4 계측 단위 일 수 있다. 일반적으로, 겹치는 부분(150/250)의 총 개구면적이 클수록 겹치는 부분(150/250) 중 실제로 제1 본체 부분 및 제2 본체 부분이 서로 겹치는 면적이 작으며, 그 외, 큰 개구면적 및 작은 겹침 면적은 원칙상에서 비교적 우수성 통과성(예를 들어, 액체가 겹치는 부분(150/250)에서의 비교적 우수한 통과성)을 반영한다. 바람직하게는 제1 구멍(180)의 총 개구면적 및 제2 구멍(280)의 총 개구면적의 합은 제1 중첩 영역(180)의 면적 또는 제2 중첩 영역(250)의 면적의 90%보다 작다.
또 다른 실시예에 있어서, 제1 구멍 및 제2 구멍의 개구면적 또는 총 개구면적은 다를 수 있다. 도 8a와 도 8b에 나타낸 바와 같이, 제1 구멍(180c)의 개구면적은 제2 구멍(280c)의 개구면적보다 작다. 그 중, 제1 구멍 및/또는 제2 구멍의 크기 또는 (총)개구면적은 증착 마스크(10)와 증착 소스 사이의 위치관계 예를 들어 제1 본체 및 제2본체와 증착 소스 사이의 거리에 의해 설계되거나, 및/또는 증착 마스크의 세정 방식 및/또는 세정 설비의 세정 모드에 따라 설계된다. 예를 들어, 증착 소스(C)를 향하는 제1 본체(100)는 비교적 작은 제1 구멍(180) 크기 또는 (총) 개구면적을 가지며, 제1 구멍(180c)의 크기 또는 (총) 개구면적은 제2 구멍(280c)의 크기 또는 (총) 개구면적보다 작아, 증착 재료가 증착 과정에 제2 본체에 부착되거나 심지어 증착하고자 하는 기판에 부착되는 것을 줄이는 것이 바람직하다. 도 8a와 도 8b에서는 제1 본체(100)를 하부에 마련하였지만, 이는 제1 본체(100)의 실제 위치를 한정하지 않는다.
본 발명의 제1 본체 및 제2 본체는 지지부재에 연결되는 것이 바람직하다. 도 9a와 도 9b에서 나타낸 바와 같이, 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)는 지지부재에 설치될 수 있으며, 이를 통해 그 연장 방향 및 기하학적 범위를 고정할 수 있으며, 그 중, 지지부재는 테두리(500)인 것이 바람직하다. 테두리(500)에 증착하고자 하는 기재 예를 들어 유리 기판(S)을 설치할 수 있다.
도 9a와 도 9b에 나타낸 실시예와 같이, 2개의 제1 본체(100)는 y축 방향으로 평형 연장되며, 3개의 제2 본체(200)는 x축 방향으로 평형 연장된다. 2개의 제1 본체(100) 및 3개의 제2 본체(200)는 z축에서의 위치가 서로 다르다. 예를 들어, 제2 본체(200)는 제1 본체(100) 상측에 위치하며, 또한 각 제2 본체(200)는 하부 2개 제1 본체(100)에 겹쳐 설치된다. 각 제1 본체(100)는 3개의 제1 중첩 영역(150)을 가지며 각각 3개의 제2 본체(200) 각각의 제2 중첩 영역(250)과 겹친다. 따라서 이러한 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)는 T형 프레임을 형성하며, 2개의 직사각형 범위를 이룬다.
또한, 제1 본체(100), 제2 본체(200) 및 테두리(500)는 z축에서 순서에 따라 결합지만, 이에 한정되지 않으며, 예를 들어 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)의 순서는 서로 뒤바뀔 수 있다. 제1 본체(100), 제2 본체(200) 및 테두리(500)의 도면에서의 상하 관계는 실제 조작시 삼자의 공간 상대 위치에 제한되지 않는다. 해당 실시예에 있어서, 테두리(500)는 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)의 단부 가장자리를 경과하며, 제1 본체(100) 또는 제2 본체(200)의 상대 양단은 테두리(500)의 상대 양측에 연결된다. 또한, 테두리(500)는 지지대(미도시)를 구비할 수 있다. 기판(S)은 지지대에 설치된다. 바람직하게는 기판(S)의 증착하고자 하는 일면은 지지대를 등지게 배치되며, 그 중 제1 본체(100) 및 제2 본체(200)는 기판(S)의 증착하고자 하는 일면을 향하여 테두리(500)에 결합되며, 기판(S)을 덮으며, 다시 말해서, 기판(S)은 제1 본체(100)와 제2 본체(200)(또는 증착 마스크) 및 테두리(500) 사이에 삽입 설치된다. 이때, 제1본체 및 제2 본체 중 지지대(510)를 멀리하는 본체는 증착 소스에 접근하는 본체로 정의하며, 예를 들어 제1 본체(100)가 증착 소스에 접근하는 본체이며, 증착 진행 시, 제1 본체(100)가 증착 소스를 향하는 일면 및 제2 본체(200)가 증착 소스를 향하지만 제1 본체(100)와 겹치지 않는 부분은 덮이지 않은 부분으로 직접 증착 재료를 받아들인다.
예를 들어, 기판(S)은 유리 기판일 수 있다. 유리 기판은 테두리(500) 및 제1 본체(100)와 제2 본체(200)(또는 증착 마스크) 사이에 마련되며, T형 프레임으로 구성된 2개의 직사각형 범위에 의해 막성형 영역을 확정한다. 각 직사각형 범위 즉 각 막성형 영역의 치수는 예를 들어 65인치 패널의 1850mm*1500mm의 크기일 수 있다. 증착 완료 시, G6 크기의 완제품 상에 2개의 직사각형 막 예를 들어 유기 막층이 형성된다.
다른 실시예에 있어서, 기판(S)은 예를 들어 흡착 장치를 통해 증착 챔버에서, 기판(S)의 비증착면을 통과하여 이를 증착 마스크의 상부에 고정할 수 있다. 증착 소스는 보통 증착 마스크의 하부에 위치하며, 증착 마스크 및 기판(S)을 향하는 방향으로 증착을 진행한다. 증착 마스크는 기판(S)에 밀착되지 않아도 되며, 다시 말해서, 증착 마스크는 기판(S) 와 간격을 두고 마련할 수 있다. 본 발명의 증착 마스크는 자체의 구조에 근거하여 짧은 시간 내에 우수한 세정효과를 얻을 수 있으며, 따라서, 증착 공정에 재투입하여 제품 수율을 제고시킬 수 있다.
도 10은 본 발명의 증착 마스크의 다른 실시예를 보여준다. 증착 마스크(10n)도 제1 본체(110) 및 제2 본체(220)를 포함하여, 그 중, 제1 본체(110)는 제1 중첩 영역(150)을 구비하고, 제2 본체(220)는 제2 중첩 영역(250)을 구비한다. 제1 중첩 영역(150)에 복수의 제1 구멍(180)을 형성하고, 제2 중첩 영역(250)에 복수의 제2 구멍(280)을 형성한다. 그 외, 제1 본체(110)의 제1 중첩 영역(150) 외의 부분에 추가로 홀(120)을 형성하여, 막성형 영역을 확정한다. 도 10에 나타낸 실시예에 있어서, 제1 본체(110)에는 복수의 홀(120)이 형성되어 있으며, 그 중, 이러한 홀(120)은 예를 들어 일정한 규칙적인 배열로 제1 본체(110)의 일부 영역을 차지할 수 있다. 또한 이러한 홀(120)의 치수는 화소 크기에 상당할 수 있으며, 행렬식으로 배열된다. 도 10에 나타낸 바와 같이, 제1 본체(110)에 복수의 홀(120)이 형성되는 영역은 격자 모양의 구조를 형성한다. 따라서, 제1 본체(110)는 막성형 영역을 확정하는 구조를 이용하며, 제1 본체(110)는 일종의 증착 방식을 제공하여 기재에 화소에 상응되는 유기층을 형성한다.
한편, 제2 본체(220)는 복수의 제2 중첩 영역(250)을 구비할 수 있다. 예를 들어 도 10에 나타낸 바와 같이, 이러한 제2 중첩 영역(250)은 제2 본체(220)의 연장 방향을 따라 배열되거나 또는 제2 본체(220)는 그 연장 방향을 따라 연장하는 중첩 영역(250')을 구비할 수 있다.
제1 본체(110) 및 제2 본체(220)의 사용에 관하여, 도 10 및 도 11에 나타낸 사용예와 같이, 복수의 제1 본체(110)는 y축 방향을 따라 평형 연장되며, 또한 x축 방향을 따라 나란히 배열된다. 제1 본체(110) 상의 근접된 양단 및 중간의 제1 중첩 영역(150)은 이로 인해 대체적으로 대치되며, 그 배열방향을 따라 구성되며, 다시 말해서 x축 방향에서 연장되는 중첩 영역(150')이다. 한편, 제2 본체(220)는 x축 방향에서 연장하는 중첩 영역(250')을 구비한다. 나란히 배열되는 복수의 제1 본체(110)는 제2 본체(200)에 겹쳐 설치될 수 있으며, 중첩 영역(150')과 중첩 영역(250')은 서로 겹치며, 이를 통해 중첩 영역(150'/250')은 홀을 구비한다. 상기와 같이, 이는 액체가 제1 본체(110) 및 제2 본체(220) 자체가 겹치는 부분에서의 유통 및 분배를 촉진한다. 액체가 세제일 경우, 본 발명의 증착 마스크는 해당 구조를 통해 더욱 우수한 세정 효과를 얻을 수 있다. 세정 후, 본 발명의 증착 마스크는 중첩 영역의 통과성으로 인해 비교적 짧은 시간 내에 건조할 수 있으며, 이를 통해 증착 마스크의 사용률도 제고시킨다.
본 발명은 상기 실시예에 대해 설명하였지만, 상기 실시예는 본 발명을 실시하기 위한 예시일 뿐이다. 이미 제시된 실시예는 본 발명의 범위를 초과하지 않았음을 밝히는 바이다. 반대로, 청구범위의 요지 및 범위에 포함되는 수정 및 동등한 설치는 모두 본 발명의 범위 내에 속한다.
10, 10n: 증착 마스크
100, 100a, 100b, 100c: 제1 본체
110: 제1 본체
120: 홀
150: 제1 중첩 영역
180: 제1 구멍
200, 200a, 200b, 200c: 제2 본체
220: 제2 본체
250: 제2 중첩 영역
280: 제2 구멍
500: 테두리
510: 지지대
520: 테두리 본체
G: 간극
D: 구멍 지름
S: 기판
C: 증착 소스
810: 상부시트
820: 하부시트
900: 프레임
90: 마스크
M: 막성형 영역
A: 서로 겹치는 부분
g: 간극

Claims (6)

  1. 증착 소스를 갖는 증착 공정에 사용되는 증착 마스크에 있어서,
    복수의 제1 구멍이 형성되어 있는 제1 중첩 영역을 갖는 제1 본체; 및
    상기 제1 본체와 서로 다른 방향으로 연장되며, 복수의 제2 구멍이 형성되어 있는 제2 중첩 영역을 갖는 제2 본체
    를 포함하며,
    상기 제1 중첩 영역과 상기 제2 중첩 영역은 서로 겹치며, 상기 제1 구멍이 상기 제2 중첩 영역에 투영되는 범위는 모두 상기 제2 구멍의 범위를 벗어나는 것인, 증착 마스크.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 구멍이 상기 제2 중첩 영역에 투영되는 범위는 서로 인접한 2개의 제2 구멍들 사이에 위치하는 것인, 증착 마스크.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 중첩 영역과 상기 제2 중첩 영역 사이에 간극이 형성되어 있으며, 상기 간극은 각각 상기 제1 구멍과 상기 제2 구멍을 연통하는 것인, 증착 마스크.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 구멍과 상기 제2 구멍 중 적어도 하나는 원형인 것인, 증착 마스크.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 본체는 상기 제2 본체에 비해 상기 증착 소스에 더 접근해 있으며, 상기 제1 구멍의 개구면적은 상기 제2 구멍의 개구면적보다 작은 것인, 증착 마스크.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 구멍의 총 개구면적 및 상기 제2 구멍의 총 개구면적의 합은 상기 제1 중첩 영역의 면적의 90%보다 작은 것인, 증착 마스크.
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