WO2019087287A1

WO2019087287A1 - 蒸着マスクおよび表示デバイスの製造方法

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Publication number: WO2019087287A1
Application number: PCT/JP2017/039296
Authority: WO
Inventors: 荘介田中
Original assignee: シャープ株式会社
Priority date: 2017-10-31
Filing date: 2017-10-31
Publication date: 2019-05-09
Also published as: CN111279012B; CN111279012A

Abstract

マスクフレーム（１１）の枠状部（１１ｃ）は、アライメントシート（１４）が固定される第１延伸部（１１ｃ１）および第２延伸部（１１ｃ２）よりも、第１延伸部（１１ｃ１）および第２延伸部（１１ｃ２）間の第３延伸部（１１ｃ３）の方が厚みが薄く、第３延伸部（１１ｃ３）とアライメントシート（１４）とは非接触である。

Description

蒸着マスクおよび表示デバイスの製造方法

　本発明は、蒸着マスクおよび表示デバイスの製造方法に関する。

　特許文献１に記載のように、蒸着マスクは、丈夫な枠状のフレームであるマスクフレームに、蒸着層を蒸着するための蒸着孔がパターン形成されたシート状のマスクシートが、架張した状態で固定される。

　図２２に示すように、枠状のマスクフレーム１１１は、枠状部１１１ｃと、枠状部１１１ｃを囲む外周部１１１ｂとを有する。

　枠状部１１１ｃは、フレーム開口１１１ａの周縁を囲む領域であり、マスクフレーム１１１に取り付けられる各シート状部材を固定するための領域である。枠状部１１１ｃは、フレーム開口１１１ａを介して対向配置されている第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２と、フレーム開口１１１ａを介して対向配置されている第３延伸部１１１ｃ３および第４延伸部１１１ｃ４を有する。

　シート部材であるカバーシート１１２は、第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２に形成されている溝１１１ｄ内に両端部が挿入されて溶接されている。シート部材であるハウリングシート１１３は、第３延伸部１１１ｃ３および第４延伸部１１１ｃ４に形成されている溝１１１ｅ内に両端部が挿入されて溶接されている。

　第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２における、溝１１１ｄに隣接する凸部の頭頂面１１１ｇと、第３延伸部１１１ｃ３および第４延伸部１１１ｃ４における、溝１１１ｅに隣接する凸部の頭頂面１１１ｈとは同じ高さとなっている。

　図２３に示すように、次に、シート状部材である２つのアライメントシート１１４が、フレーム開口１１１ａの両端に沿うように枠状部１１１ｃに取り付けられる。各アライメントシート１１４には、アライメントマーク１１４ａが設けられている。

　２つのアライメントシート１１４のうち、アライメントシート１１４Ａ１は、第３延伸部１１１ｃ３の一部を覆うように配置され、両端部がレーザにより溶接される。これにより、アライメントシート１１４Ａ１は、両端部に溶接された固定部１１４ｂが形成されて、第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２の頭頂面１１１ｇに固定される。

　２つのアライメントシート１１４のうち、アライメントシート１１４Ａ２は、第４延伸部１１１ｃ４の一部を覆うように配置され、両端部がレーザにより溶接される。これにより、アライメントシート１１４Ａ２は、両端部に溶接された固定部１１４ｂが形成されて、第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２の頭頂面１１１ｇに固定される。

　次に、シート状部材である複数のマスクシート１１５が、アライメントシート１１４Ａ１・１１４Ａ２間であって枠状部１１１ｃに取り付けられる。

　マスクシート１１５には、複数の蒸着孔が並んで設けられている有効部１１５ａが複数設けられている。蒸着孔は、被蒸着基板の画素それぞれに蒸着層を形成するための貫通孔である。マスクシート１１５は、マスクフレーム１１１における正確な位置に取り付ける必要があるため、アライメントシート１１４のアライメントマーク１１４ａを基準にして位置決めがされる。そして、マスクシート１１５は、両端部がレーザにより、第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２の頭頂面１１１ｇに溶接される。所定枚数のマスクシート１１５が第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２の頭頂面１１１ｇに固定されることで、蒸着マスクが完成する。

日本国公開特許公報「特開２０１０‐１３５２６９号」

　蒸着マスクは、蒸着マスクの製造時に発生した異物を取り除いたり、蒸着時に付着した蒸着粒子を取り除いたりするために洗浄される。

　ここで、アライメントシート１１４Ａ１のうち、両端部は、図２３の領域ＡＲ１０１に示すように、第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２の頭頂面１１１ｇと接触している。この領域ＡＲ１０１は、固定部１１４ｂにより固定されている。このため、アライメントシート１１４と、第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２の頭頂面１１１ｇとは密着しており異物が侵入しにくい。

　一方、第３延伸部１１１ｃ３のうち、アライメントシート１１４Ａ１が覆う頭頂面１１１ｈの一部領域ＡＲ１０２と、アライメントシート１１４Ａ１とは接触しているが、固定されていない。このため、異物が、アライメントシート１１４Ａ１と、第３延伸部１１１ｃ３の頭頂面１１１ｈとの間に侵入する。しかし、アライメントシート１１４Ａ１が覆う頭頂面１１１ｈと、アライメントシート１１４Ａ１とは接触しているため、洗浄液が流れにくく、異物が残りやすい。

　アライメントシート１１４Ａ２も同様に、第１延伸部１１１ｃ１および第２延伸部１１１ｃ２の頭頂面１１１ｇと接触している領域ＡＲ１０１は、固定されて密着しているため、異物は侵入しにくい。

　一方、アライメントシート１１４Ａ２のうち、第４延伸部１１１ｃ４を覆う領域ＡＲ１０２は、アライメントシート１１４Ａ２と、第４延伸部１１１ｃ４の頭頂面１１１ｈとは接触しているが、固定されていない。このため、異物が、アライメントシート１１４Ａ２と、第４延伸部１１１ｃ４の頭頂面１１１ｈとの間に侵入する。しかし、アライメントシート１１４Ａ２と、第４延伸部１１１ｃ４の頭頂面１１１ｈとは接触しているため、洗浄液が流れにくく、異物が残りやすい。

　異物が残っていると、次に、蒸着マスクを用いて蒸着をした際、当該残っている異物が、被蒸着基板に付着してしまう。

　本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、洗浄効果を高めた蒸着マスクを提供することである。

　上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る蒸着マスクは、フレーム開口が設けられたマスクフレームと、当該フレーム開口を覆うようにマスクフレームに固定される複数のシート状部材とを有する蒸着マスクであって、上記マスクフレームは、上記フレーム開口を枠状に囲む枠状部を有し、上記枠状部は、第１延伸部、第２延伸部、第３延伸部および第４延伸部を有し、上記第１延伸部および上記第２延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第１方向に延伸し、上記第３延伸部および上記第４延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第２方向に延伸し、上記複数のシート状部材は、上記第１方向に並んで設けられる複数のシート状部材のうち、端に位置する第１シート状部材を含み、上記第１シート状部材は、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定されており、上記第３延伸部の少なくとも一部を覆い、上記第３延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、上記第１シート状部材と非接触であることを特徴とする。

　上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る表示デバイスの製造方法は、フレーム開口が設けられたマスクフレームと、当該フレーム開口を覆うようにマスクフレームに固定される複数のシート状部材とを有する蒸着マスクの製造方法を含む表示デバイスの製造方法であって、上記マスクフレームは、上記フレーム開口を枠状に囲む枠状部を有し、上記枠状部は、第１延伸部、第２延伸部、第３延伸部および第４延伸部を有し、上記第１延伸部および上記第２延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第１方向に延伸し、上記第３延伸部および上記第４延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第２方向に延伸し、上記第３延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、上記第４延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、上記複数のシート状部材は、上記第１方向に並んで設けられる複数のシート状部材を含み、上記蒸着マスクの製造方法は、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、第１シート状部材を、上記第３延伸部の少なくとも一部を覆うと共に当該第３延伸部とは非接触となるように、上記第１方向の端であって、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定する工程と、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、第２シート状部材を、上記第４延伸部の少なくとも一部を覆うと共に当該第４延伸部とは非接触となるように、記第１シート状部材とは逆側の端であって、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定する工程と、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、被蒸着基板の画素に対応する複数の蒸着孔が設けられた複数のマスクシートを、上記第１シート状部材および上記第２シート状部材それぞれに設けられたアライメントマークを基準として、上記マスクフレームに固定する工程とを有し、上記蒸着マスクの製造方法によって製造された上記蒸着マスクを用いて、上記被蒸着基板の上記画素に蒸着層を形成する蒸着工程を有することを特徴とする。

　本発明の一態様によれば、洗浄効果を高めた蒸着マスクを提供することができるという効果を奏する。

実施形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程を表す図である。実施形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの基板の平面図である。図２の基板の有機ＥＬ表示パネル形成領域の断面図である。実施形態１に係る有機ＥＬ表示装置の蒸着層を形成する際の蒸着工程の様子を示す模式図である。実施形態１のアクティブ領域３の一部を拡大した図である。実施形態１に係る蒸着マスクの作製工程を表す図である。（ａ）は実施形態１の蒸着マスクにおけるマスクフレームの構成を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は実施形態１の蒸着マスクにおけるマスクフレームにカバーシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は実施形態１の蒸着マスクにおけるマスクフレームにハウリングシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は実施形態１の蒸着マスクにおけるマスクフレームにアライメントシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は図１０の（ａ）に示すアライメントシートの取付部近傍を拡大した平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は実施形態１の蒸着マスクにおけるマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は実施形態１の蒸着マスクを表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は実施形態１のマスクシートの平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す有効部の拡大図であり、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ‐Ｂ線断面図であり、（ｄ）は（ｂ）に示すＣ－Ｃ線断面図である。実施形態１の蒸着マスクの一部を、第２面側から見た様子を表す図である。実施形態１の蒸着工程において蒸着をしている際の蒸着マスクおよびＴＦＴ基板の断面図である。（ａ）は実施形態２の蒸着マスクにおけるマスクフレームにアライメントシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は図１７の（ａ）に示すアライメントシートの取付部近傍を拡大した平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は実施形態２の蒸着マスクにおけるマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。（ａ）は実施形態２の蒸着マスクを表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。実施形態２の蒸着マスクの一部を、第２面側から見た様子を表す図である。（ａ）は、従来の蒸着マスクのうち、マスクフレームに、カバーシートと、ハウリングシートとを取り付けた様子を表す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すＸ０‐Ｘ０線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ０‐Ｙ０線断面図である。（ａ）は、従来の蒸着マスクのうち、マスクフレームに、アライメントシートとマスクシートとを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すＸ０‐Ｘ０線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ０‐Ｙ０線断面図である。

　〔実施形態１〕
　（有機ＥＬ表示パネルの製造方法の概略）
　図１は、実施形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程を表す図である。図２は本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの基板１の平面図である。図３は図２の基板の有機ＥＬ表示パネル形成領域の断面図である。図３では、１枚のマザーガラスから有機ＥＬ表示パネルを１８面取りする場合の構成を示している。なお、１枚のマザーガラスから有機ＥＬ表示パネルを面取りする個数は１８個に限らず、１７個以下、または１９個以上であってもよい。

　基板１には有機ＥＬ表示パネル形成領域９が１８個配置されている。有機ＥＬ表示パネル形成領域９は、マザーガラスから切り出されることで個片化された後、有機ＥＬ表示パネルとなる領域である。

　基板１は、ＴＦＴ基板（被蒸着基板）２と、アクティブ領域３と、枠状バンク４と、封止層５とを有する。

　アクティブ領域３はマトリクス状に複数設けられる。アクティブ領域３は、例えばＲＧＢそれぞれの画素が形成される領域である。有機ＥＬ表示パネル形成領域９のうち、アクティブ領域３が形成されている領域が表示領域４３であり、有機ＥＬ表示パネル形成領域９のうち、アクティブ領域３を囲む周囲の領域が額縁領域４４である。なお、図２において、額縁領域４４は、有機ＥＬ表示パネル形成領域９のうちにおける破線で示した領域（アクティブ領域３）よりも外側の領域である。

　図１～図３に示すように、まず、ＴＦＴ工程Ｓ１１においてＴＦＴ基板２を作製する。ＴＦＴ基板２は、マザーガラスに、ポリイミドなどの材料でフレキシブル基板のベースとなるフィルムを形成し、その上に公知の方法により、各画素に配される画素回路に含まれるＴＦＴ（トランジスタ、駆動素子）、ゲート配線およびソース配線、その他各種の配線が形成され、パッシベーション膜（保護膜）、および層間絶縁膜（平坦化膜）などが形成され、さらにその無機絶縁膜上に、アノードとコンタクトを取った反射電極層、ＩＴＯ層及び発光領域を規定するための画素バンク（エッジカバー）が形成されることで作製される。

　これにより、アクティブ領域３に発光領域が形成される。

　パッシベーション膜はＴＦＴにおける金属膜の剥離を防止し、ＴＦＴを保護する。パッシベーション膜はマザーガラス上又は他の層を介して形成されており、ＴＦＴを覆っている。パッシベーション膜は、窒化シリコンや酸化シリコンなどからなる無機絶縁性膜である。

　層間絶縁膜は、パッシベーション膜上の凹凸を平坦化する。層間絶縁膜はパッシベーション膜上に形成されている。層間絶縁膜はアクリルなどの感光性樹脂またはポリイミドなどの熱可塑性樹脂からなる有機絶縁膜である。

　また、このアクティブ領域３を形成する際に、当該アクティブ領域３を枠状に囲む枠状バンク４もＴＦＴ基板２上に形成する。枠状バンク４は、アクリルなどの感光性樹脂またはポリイミドなどの熱可塑性樹脂からなる。

　次に、有機ＥＬ工程Ｓ１２において、ＴＦＴ基板２の各画素内（すなわち、ＴＦＴ工程Ｓ１１にて形成した画素バンクの開口部内）における反射電極層上に有機ＥＬ層を形成する。有機ＥＬ層は、発光層、正孔輸送層およびその他の機能層を含む。発光層は、画素毎に、例えば、赤色、緑色または青色等、異なる色の光を発光する。発光層及び正孔輸送層の少なくとも一方（以下、発光層等と称する場合がある）は、蒸着工程において、真空中で本実施形態に係る蒸着マスクを用いた蒸着により、各画素の所定の位置に形成される。

　発光層及び正孔輸送層等の画素毎に蒸着される蒸着層を形成するための蒸着工程で用いる蒸着マスクは、蒸着工程の前に、蒸着マスクの作製工程Ｓ２０により予め作製しておく。なお、蒸着マスクの作製工程Ｓ２０の詳細は後述する。また、この蒸着マスクを用いて形成する層は、発光層及び正孔輸送層に限定されず、画素毎に（すなわち画素バンクの開口部内に）形成される層であればよい。

　そして、有機ＥＬ層を介して反射電極と対向する透明電極を、有機ＥＬ層を覆うように形成する。

　そして、次に、封止工程Ｓ１３において、封止層５を形成する。封止層５は、一例として、無機膜６、有機膜７、および無機膜８が、ＴＦＴ基板２側からこの順に積層された３層構造とすることができる。枠状バンク４が形成されているため、有機膜７の膜厚を、例えば、１．０μｍ以上と厚く形成することができる。

　この封止層５を形成した後、フレキシブル工程Ｓ１４を行う。フレキシブル工程Ｓ１４では、基板のガラスを剥離して支持体となるフィルムなどを貼る。

　そして、次に、個片化工程Ｓ１５において、各有機ＥＬ表示パネル形成領域９が切り出される。これにより各有機ＥＬ表示パネル形成領域９が個片化される。これにより、可撓性を有し、異形の表示パネル（有機ＥＬ表示パネル）が形成される。

　次いで、実装工程Ｓ１６において、個片化された各有機ＥＬ表示パネル形成領域９にドライバ等の部材を実装する。これにより有機ＥＬ表示装置が完成する。

　図４は、本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示装置の発光層等（発光層及び正孔輸送層等の画素毎に蒸着される蒸着層）を形成する際の蒸着工程の様子を示す模式図である。

　発光層等を蒸着する蒸着工程では、ＴＦＴ基板２に、複数の貫通孔を有するマスクシート１５を設けた蒸着マスク１０を密着させ、真空下において、蒸着源７０で蒸発させた蒸着粒子Ｚ（例えば、有機発光材）をマスクシート１５越しにＴＦＴ基板２における画素に蒸着させる。これにより、ＴＦＴ基板２に、マスクシート１５の貫通孔に対応するパターンの蒸着パターンが形成される。

　図５は、実施形態１のアクティブ領域３の一部を拡大した図である。アクティブ領域３には、画像の表示に寄与する画素ｐｉｘがマトリクス状に並んで配置されている。画素ｐｉｘには、発光層８０が形成されている。画素ｐｉｘを囲む周囲の領域が画素バンクｂｋである。

　一例として、図５では、赤色光を発光する赤発光層８０Ｒが形成された赤画素Ｒｐｉｘと、緑色光を発光する緑発光層８０Ｇを有する緑画素Ｇｐｉｘと、青色光を発光する青発光層８０Ｂを有する青画素Ｂｐｉｘとがペンタイル配列となっている。しかし、画素配列は、特にペンタイル配列に限定されるものではなく、例えばストライプ配列等、他の配列であってもよい。

　なお、発光層８０の形状は、当該発光層８０が内部に形成される画素バンクｂｋの開口部の形状である。

　（蒸着マスク）
　次に、蒸着工程で用いる蒸着マスクの構成および蒸着マスクの作製工程Ｓ２０について説明する。

　図６は、実施形態１に係る蒸着マスクの作製工程を表す図である。

　図７の（ａ）は実施形態１の蒸着マスクにおけるマスクフレームの構成を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。

　図７に示すように、マスクフレーム１１は、フレーム開口１１ａが設けられている枠状部材である。マスクフレーム１１は、マスクシート等の複数のシート状部材のマスクを固定するため支持体である。例えば、マスクフレーム１１に、フレーム開口１１ａを覆うように固定されるシート状部材とは、後述するように、カバーシート１２（図８）と、ハウリングシート１３（図９）と、アライメントシート１４（図１０、図１１）と、マスクシート１５（図１２、図１３）等が挙げられる。

　マスクフレーム１１は、例えば、母材として、厚さ２０ｍｍ～３０ｍｍの熱膨張が極めて少ないインバー材等が用いられる。マスクフレーム１１は、マスクシートに比べて十分に厚く、マスクシートを架張して溶接した際にも十分な精度を確保できるよう、高い剛性を持っている。

　マスクフレーム１１は、例えば、正方形または長方形等の四角形である枠状部材である。本実施形態では、マスクフレーム１１は、長方形である。

　マスクフレーム１１は、フレーム開口１１ａを枠状に囲む枠状部１１ｃと、枠状部１１ｃの外周を囲む外周部１１ｂとを有する。

　枠状部１１ｃは、マスクフレーム１１に取り付けられるシート状部材と接触し、当該シート状部材を固定するための領域である。

　外周部１１ｂは枠状部１１ｃより厚みが薄い。外周部１１ｂは、枠状部１１ｃを補強するための領域であり、シート状部材と接触しなくてもよい。本実施形態では、外周部１１ｂは、シート状部材とは接触しない。

　枠状部１１ｃは、例えば、フレーム開口１１ａの周縁であって、フレーム開口１１ａを一周囲むように設けられている。

　枠状部１１ｃは、第１延伸部１１ｃ１、第２延伸部１１ｃ２、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４を有する。第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２は、フレーム開口１１ａを介して並んで対向配置されており、それぞれＹ方向（第１方向：紙面上下方向）に延伸している。第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４は、フレーム開口１１ａを介して並んで対向配置されており、それぞれＸ方向（第２方向：紙面左右方向）に延伸している。

　フレーム開口１１ａは、正方形および長方形等の四角形、または他の形状であってもよい。本実施形態では、フレーム開口１１ａは長方形である。そして、第１延伸部１１ｃ１、第２延伸部１１ｃ２、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４は、四角形の枠状となるように並んで設けられている。

　本実施形態では、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の延伸方向（Ｙ方向）は、フレーム開口１１ａおよびマスクフレーム１１の長手方向に平行な方向である。また、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４の延伸方向（Ｘ方向）は、フレーム開口１１ａおよびマスクフレーム１１の長手方向に直交する短手方向に平行な方向である。

　第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２間に設けられている。例えば、第３延伸部１１ｃ３は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれの一方の端部間に設けられており、第４延伸部１１ｃ４は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれの他方の端部間に設けられている。

　第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２には、Ｙ方向に並んで設けられる複数のカバーシート１２（図８）を固定するための溝１１ｄが並んで設けられている。溝１１ｄは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２に取り付けられるカバーシート１２（図８）毎に設けられており、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれに、フレーム開口１１ａを介して対向するによう、Ｙ方向に並んで設けられている。

　第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２は、溝１１ｄに隣接する領域は凸部になっており、当該凸部の頭頂面１１ｇは、Ｙ方向に並んで設けられている。頭頂面１１ｇは、アライメントシート１４（図１０、図１１）または、マスクシート１５（図１２、図１３）が固定される面である。頭頂面１１ｇは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれにおいて、溝１１ｄを介して、Ｙ方向に並んで設けられている。

　第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４には、Ｘ方向に並んで設けられる複数のハウリングシート１３（図９）を固定するための溝１１ｅが並んで設けられている。溝１１ｅは、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４に取り付けられるハウリングシート１３（図９）毎に設けられており、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４それぞれに、フレーム開口１１ａを介して対向するによう、Ｘ方向に並んで設けられている。

　第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４は、溝１１ｅに隣接する領域は凸部になっており、当該凸部は頭頂面１１ｈを有する。

　第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４は、溝１１ｅが設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の溝１１ｄが設けられている領域の厚さより薄い。

　また、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４は、頭頂面１１ｈが設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さより薄い。

　第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４は、後述するように、アライメントシート１４がマスクフレーム１１に固定された際、少なくとも一部が、アライメントシート１４に覆われる。

　図６の工程Ｓａ、図８に示すように、フレーム開口１１ａを覆うようにマスクフレーム１１に、複数のカバーシート１２をＹ方向に並び互いに平行になるように取り付ける（カバーシート取り付け工程）。

　カバーシート１２は、Ｙ方向に並んで枠状部１１ｃに固定されるシート状部材である。カバーシート１２は、後にマスクフレーム１１に取り付けられるマスクシート間の隙間を埋めたり、マスクシートに形成されたダミーパターンを塞いだりする役割を果たす。

　カバーシート１２は、例えば、母材として、厚さ３０μｍ～５０μｍのインバー材等が用いられる。カバーシート１２は、細長い形状であり、一方の端部から他方の端部にかけて直線状にＸ方向に延伸している。

　カバーシート１２をマスクフレーム１１に取り付ける際、両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、カバーシート１２の両端部を、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれに設けられた溝１１ｄ内に配置する。そして、カバーシート１２のうち、当該溝１１ｄ内に配置された部分を、レーザ等によって溶接することでカバーシート１２を枠状部１１ｃに固定する。これにより、各カバーシート１２は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれの溝１１ｄ内に固定される。そして、必要に応じて、カバーシート１２における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。

　図９の（ａ）は、実施形態１の蒸着マスクにおけるマスクフレームにハウリングシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。

　次に、図６の工程Ｓｂおよび図９に示すように、カバーシート１２が取り付けられたマスクフレーム１１に、ハウリングシート１３（サポートシートとも呼ばれる）を、Ｘ方向に並び互いに平行になるように取り付ける（ハウリングシート取り付け工程）。

　ハウリングシート１３は、Ｘ方向に並んで枠状部１１ｃに固定されるシート状部材である。ハウリングシート１３は、後にマスクフレーム１１に取り付けられるマスクシートを弛まないように支持したり、マスクシートに形成されたダミーパターンを塞いだりする役割を果たす。

　ハウリングシート１３は、例えば、母材として、厚さ３０μｍ～１００μｍのインバー材等が用いられる。ハウリングシート１３の幅は、例えば、８ｍｍ～１０ｍｍ程度であり、パネルが配置される基板上のレイアウトによって決定される。ハウリングシート１３は、細長い形状であり、一方の端部から他方の端部にかけて直線状に延伸している。

　ハウリングシート１３をマスクフレーム１１に取り付ける際、両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、ハウリングシート１３の両端部を、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４それぞれに設けられた溝１１ｅ内に配置する。そして、ハウリングシート１３のうち、当該溝１１ｅ内に配置された部分を、レーザ等によって溶接することで固定する。これにより、各ハウリングシート１３は、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４それぞれの溝１１ｅ内に固定される。そして、必要に応じて、ハウリングシート１３における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。

　図９の（ａ）に示すように、マスクフレーム１１に、複数のカバーシート１２と、複数のハウリングシート１３とを格子状に取り付けることにより、互いに対向するカバーシート１２と、互いに対向するハウリングシート１３とによって区画された開口部が並んで形成される。

　なお、マスクフレーム１１に、カバーシート１２とハウリングシート１３とを取り付ける順番を逆にして（図６の工程Ｓａと工程Ｓｂとを入れ替えて）、マスクフレーム１１に、先にハウリングシート１３を取り付けた後、次に、カバーシート１２を取り付けてもよい。

　この場合、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４における溝１１ｅが設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２における溝１１ｄが設けられている領域の厚さより厚くする必要がある。

　図１０の（ａ）は実施形態１の蒸着マスクにおけるマスクフレームにアライメントシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。図１１の（ａ）は図１０の（ａ）に示すアライメントシートの取付部近傍を拡大した平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。

　次に、図６の工程Ｓｃおよび図１０に示すように、アライメントマーク１４ａが形成されたアライメントシート１４を、アライメントマーク１４ａが所定位置に来るように、Ｙ方向に並び互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付ける（アライメントシート取り付け工程）。

　アライメントシート１４は、Ｙ方向に並んで枠状部１１ｃに固定されるシート状部材である。アライメントシート１４は、Ｙ方向に並んで枠状部１１ｃに固定されるシート状部材のうち両端に位置する。２つのアライメントシート１４のうち、第３延伸部１１ｃ３に近い側をアライメントシート１４Ａ１と称し、第４延伸部１１ｃ４に近い側をアライメントシート１４Ａ２と称する場合がある。

　アライメントマーク１４ａは、後に、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付けるときの位置決めをする基準となる。

　アライメントシート１４は、例えば、母材として、厚さ１０μｍ～５０μｍ、好ましくは２５μｍ程度のインバー材等が用いられる。アライメントシート１４は、カバーシート１２およびハウリングシート１３よりも幅が広い短冊状であり、一方の端部から他方の端部にかけてＸ方向に延伸している。

　アライメントシート１４をマスクフレーム１１に取り付ける際、両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、アライメントシート１４の両端部を、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれに設けられた頭頂面１１ｇに接触させ配置する。そして、アライメントシート１４のうち、当該頭頂面１１ｇに接触している部分をレーザ等によって溶接する。これにより、アライメントシート１４の両端部に溶接された固定部１４ｂが形成される。この固定部１４ｂによって、アライメントシート１４は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇに固定される。そして、必要に応じて、アライメントシート１４における溶接した部分（固定部１４ｂ）より外側の不要部分をカットする。

　これにより、各アライメントシート１４は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。本実施形態では、２つのアライメントシート１４が、それぞれ、マスクフレーム１１のフレーム開口１１ａの短辺に沿って互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられている。

　２つのアライメントシート１４は、同じ高さに設けられ（すなわち頭頂面１１ｇに設けられ）、Ｙ方向に並んで設けられるシート状部材（すなわち、複数のアライメントシート１４および複数のマスクシート１５）のうち、両端に位置するシート状部材である。また、本実施形態では、２つのアライメントシート１４は、異なる高さに設けられる（すなわち、頭頂面１１ｇおよび溝１１ｄの底面に設けられる）シート状部材であって、Ｙ方向に並んで設けられるシート状部材（すなわち、複数のアライメントシート１４、複数のマスクシート１５および複数のカバーシート１２）のうちでも、両端に位置するシート状部材である。

　このため、２つのアライメントシート１４は、枠状部１１ｃのうち、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２間に設けられている、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４のうち少なくとも一部を覆う。

　例えば、図１０および図１１に示すように、アライメントシート１４Ａ１を、第３延伸部１１ｃ３の少なくとも一部を覆うと共に当該第３延伸部１１ｃ３とは非接触となるように、Ｙ方向の端であって、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇに固定する。

　これにより、アライメントシート１４Ａ１は、固定されている、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇとは、領域ＡＲ１に示すように接触している。そして、アライメントシート１４Ａ１は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２間に設けられている第３延伸部１１ｃ３の少なくとも一部と重なっている。

　ここで、上述のように、第３延伸部１１ｃ３は、頭頂面１１ｈが設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さより薄い。

　図１１の（ａ）に示すように、枠状部１１ｃにおいて、第１延伸部１１ｃ１のうち頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さを厚さｔ１とし、第３延伸部１１ｃ３のうち頭頂面１１ｈが設けられている領域の厚さを厚さｔ２とすると、ｔ１＞ｔ２となっている。

　このため、第３延伸部１１ｃ３のうち、アライメントシート１４Ａ１が覆う頭頂面１１ｈの一部領域ＡＲ２と、アライメントシート１４Ａ１とは非接触となり、距離ｔ３だけ隙間が設けられている。

　アライメントシート１４Ａ２の方も同じように、図１０に示すように、アライメントシート１４Ａ２を、第４延伸部１１ｃ４の少なくとも一部を覆うと共に第４延伸部１１ｃ４とは非接触となるように、アライメントシート１４Ａ２とは逆側の端であって、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇに固定する。

　これにより、アライメントシート１４Ａ２は、固定されている、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇとは、領域ＡＲ１に示すように接触している。そして、アライメントシート１４Ａ２は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２間に設けられている第４延伸部１１ｃ４の少なくとも一部と重なっている。

　そして、上述のように、第４延伸部１１ｃ４は、頭頂面１１ｈが設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さより薄い。

　このため、第４延伸部１１ｃ４のうち、アライメントシート１４Ａ２が覆う頭頂面１１ｈの一部領域ＡＲ２と、アライメントシート１４Ａ２とは非接触となり、隙間が設けられている。

　図１２の（ａ）は実施形態１の蒸着マスクにおけるマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。

　図１３の（ａ）は実施形態１の蒸着マスク１０を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。

　次に、図６の工程Ｓｄ、図１２および図１３に示すように、マスクフレーム１１に、複数のマスクシート１５をＹ方向に並び互いに平行になるように取り付ける（マスクシート取り付け工程）。

　マスクシート１５は、Ｙ方向に並んで枠状部１１ｃに固定されるシート状部材である。マスクシート１５は、２つのアライメントシート１４Ａ１・１４Ａ２間に複数設けられる。

　マスクシート１５は、図２および図３に示したアクティブ領域３における画素内に蒸着層をパターン形成するため、例えば、ＲＧＢそれぞれに塗り分けるためのシートである。

　また工程Ｓｄの前に、工程Ｓ１０１として、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける前に、蒸着孔を複数並んで形成することで有効部ＹＡをマスクシート１５に形成しておく（有効部形成工程）。有効部ＹＡは、アクティブ領域３毎に、１つのマスクシート１５に複数形成する。この有効部ＹＡの詳細は後述する。

　マスクシート１５は、カバーシート１２およびハウリングシート１３よりも幅が広い短冊状であり、一方の端部から他方の端部にかけてＸ方向に延伸している。

　マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける際、両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、アライメントシート１４に形成されているアライメントマーク１４ａを基準に、有効部ＹＡを構成する蒸着孔が所定位置に来るように、マスクシート１５の両端部を、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれに設けられた頭頂面１１ｇに接触させ配置する。

　そして、マスクシート１５のうち、当該頭頂面１１ｇに接触している部分を、レーザ等によって溶接することで固定する。これにより、マスクシート１５は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれの頭頂面１１ｇに精度よく固定される。

　そして、図６の工程Ｓｅに示すように、マスクシート１５における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。

　次に、図６の工程Ｓｆに示すように、マスクシート１５が取り付けられた蒸着マスク１０を洗浄し、異物検査および精度検査等の各種のマスク検査を行う。この後、マスク検査にて問題がなかった蒸着マスク１０はストッカに格納され、必要に応じて、蒸着工程にて使用される蒸着装置に供給される。これにより、蒸着マスク１０が完成する。

　蒸着マスク１０は、蒸着マスク１０の製造時に発生した異物を取り除くために洗浄される。また、蒸着マスク１０を用いて蒸着した後、蒸着マスク１０に付着した蒸着粒子を取り除くために洗浄される。

　ここで、上述のように、アライメントシート１４Ａ１・１４Ａ２は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇに固定されており、領域ＡＲ１は接触している。この領域ＡＲ１では、アライメントシート１４Ａ１・１４Ａ２は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇと密着しているため、異物は、アライメントシート１４Ａ１・１４Ａ２は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇとの間には侵入しない。

　また、アライメントシート１４Ａ１は、Ｙ方向に並んで設けられているシート状部材のうち、一方の端に位置するため、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２間に設けられている第３延伸部１１ｃ３の少なくとも一部と重なっている。

　同様に、アライメントシート１４Ａ２は、Ｙ方向に並んで設けられているシート状部材のうち、他方の端に位置するため、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２間に設けられている第４延伸部１１ｃ４の少なくとも一部と重なっている。

　しかし、上述のように、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４は、頭頂面１１ｈが設けられている領域の厚さが、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さより薄い。

　このため、第３延伸部１１ｃ３のうち、アライメントシート１４Ａ１が覆う頭頂面１１ｈの領域ＡＲ２と、アライメントシート１４Ａ１とは非接触となり、隙間が設けられている。

　同様に、第４延伸部１１ｃ４のうち、アライメントシート１４Ａ２が覆う頭頂面１１ｈの領域ＡＲ２と、アライメントシート１４Ａ２とは非接触となり、隙間が設けられている。

　これにより、蒸着マスク１０を洗浄した際、洗浄液は、領域ＡＲ２における、アライメントシート１４Ａ１と、第３延伸部１１ｃ３の頭頂面１１ｈとの間を流れる。このため、領域ＡＲ２における、アライメントシート１４Ａ１と、第３延伸部１１ｃ３の頭頂面１１ｈとの間の洗浄効果を高めることができる。このため、領域ＡＲ２における、アライメントシート１４Ａ１と、第３延伸部１１ｃ３の頭頂面１１ｈとの間に、異物が残ってしまうことを防止することができる。

　同様に、蒸着マスク１０を洗浄した際、洗浄液は領域ＡＲ２における、アライメントシート１４Ａ２と、第４延伸部１１ｃ４の頭頂面１１ｈとの間を流れる。このため、領域ＡＲ２における、アライメントシート１４Ａ２と、第４延伸部１１ｃ４の頭頂面１１ｈとの間の洗浄効果を高めることができる。このため、領域ＡＲ２における、アライメントシート１４Ａ２と、第４延伸部１１ｃ４の頭頂面１１ｈとの間に、異物が残ってしまうことを防止することができる。

　これにより、洗浄残りによる異物が蒸着マスク１０を用いた蒸着時に、被蒸着基板（ＴＦＴ基板２）に付着してしまうことを防止することができる。この結果、完成したパネル品質の低下を防止することができる。

　（有効部ＹＡ）
　図１４は、実施形態１のマスクシート１５の構成を表す図である。図１４の（ａ）はマスクシート１５の平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す有効部の拡大図であり、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ‐Ｂ線断面図であり、（ｄ）は（ｂ）に示すＣ－Ｃ線断面図である。

　図１４の（ａ）に示すようにマスクシート１５は、短冊状であり、母材として、例えば、厚さ１０μｍ～５０μｍ、好ましくは２５μｍ程度のインバー材等が用いられている。マスクシート１５は、蒸着された蒸着層の厚みが不均一となることを防ぐため、厚みが薄いシートにより構成されている。

　マスクシート１５の両端部間には、マスクシート１５の長手方向に延伸する複数の有効部ＹＡが並んで形成されている。有効部ＹＡには、画素に対応した複数の蒸着孔Ｈが並んで形成されている。有効部ＹＡとは、蒸着孔Ｈが等ピッチで設けられている領域である。

　各有効部ＹＡの外形は、マスクシート１５を架張した際に加わる応力がなるべく均一となるよう異形ではなく、正方形または長方形であることが好ましい。本実施形態では、各有効部ＹＡの外形は長方形である。各有効部ＹＡは、ＴＦＴ基板２のアクティブ領域３毎に設けられており、有効部ＹＡ同士は離れて形成されている。

　蒸着孔Ｈは貫通孔である。マスクシート１５を通して発光層をＴＦＴ基板に蒸着する場合、蒸着孔Ｈは、有効部ＹＡにおいて、発光層が発光する色のうち何れかの色の光を発光する発光層の形成領域に対応して形成されている。例えば、アクティブ領域３に、赤色光を発光する発光層と、緑色光を発光する発光層と、青色光を発光する発光層とが形成される場合、蒸着孔Ｈは、赤色光を発光する発光層と、緑色光を発光する発光層と、青色光を発光する発光層とのうちいずれかの発光層のパターンと同じパターンで形成されている。

　マスクシート１５には、図６に示した工程Ｓ１０１にて、例えば以下のように蒸着孔Ｈが作製される。

　まず、インバー材等からなる長尺板の両面にネガ型もしくはポジ型の感光性レジスト材料を塗布し、両主面（第１面および第２面）にレジスト膜を形成する。

　次いで、露光マスクを用いて第１面および第２面のレジスト膜を露光および現像することで長尺板の両面にレジストパターンを形成する。次いで、第１面レジストパターンをマスクとして有効部ＹＡの第１面１５ｂ（蒸着時にＴＦＴ基板２と対向する面）をエッチングし（縁部の上面はエッチングしない）、有効部ＹＡの第１面１５ｂに開口Ｋをパターン形成する（この段階では貫通した蒸着孔とはならない）。

　次いで、エッチング耐性を有する耐性樹脂で第１面１５ｂを覆い、第２面１５ｃ（蒸着時にＴＦＴ基板２との対向面とは逆側となる面）レジストパターンをマスクとし、有効部ＹＡおよび縁部の下面をエッチングする。これにより、有効部ＹＡでは第２面１５ｃ側からの浸食によって蒸着孔Ｈ（貫通孔）が形成され、縁部の下面に複数の凹みが形成される。

　有効部ＹＡの複数の蒸着孔Ｈは、マスクシート１５の長手方向および短手方向（幅方向）にマトリクス状に又は斜め格子状に形成され、その開口Ｋ（上面の開口）は、基板の画素バンクの開口形状に対応するように、角が丸まった四角形形状もしくは円形又は楕円形の形状となる。有効部ＹＡでは、各蒸着孔Ｈに対して第１面１５ｂ側よりも第２面１５ｃ側のエッチングを広範かつ深く行うことで、陰になる部分（隣り合う２つの蒸着孔間の仕切りの高さ）を小さくし、基板に対する蒸着精度および蒸着効率を高めている。

　有効部ＹＡでは、横方向に隣り合う２つの開口Ｋの中心を通るＢ－Ｂラインで断面をとると、図１４の（ｃ）のように母材が最小（空洞が最大）の構成となり、縦方向に隣り合う２つの開口Ｋから等距離の点を通り、Ｂ－Ｂ線に平行なＣ－Ｃラインで断面をとると、図１４の（ｃ）（ｄ）のように母材が最大（空洞が最小）の構成（最大厚みは母材の厚みＴｉ）となる。これにより、マスクシート１５が作製される。

　図１５は、蒸着マスク１０の一部を、第２面１５ｃ側から見た様子を表す図である。図１６は、蒸着工程において蒸着をしている際の蒸着マスク１０およびＴＦＴ基板２の断面図である。

　図１５および図１６に示すように、複数の蒸着孔Ｈが並んで形成された有効部ＹＡは、有効部ＹＡは、アクティブ領域３に対応する形状であって、アクティブ領域３毎に設けられている。

　蒸着マスク１０は、カバーシート１２、ハウリングシート１３およびマスクシート１５が、この順に、蒸着源からＴＦＴ基板２に向かって並んでいる。そして、蒸着時、マスクシート１５の第１面１５ｂとＴＦＴ基板２とは密着しているため、マスクシート１５の有効部ＹＡとＴＦＴ基板２とが離れることで生じるシャドウの発生を防止している。

　〔実施形態２〕
　図１７の（ａ）は実施形態２の蒸着マスクにおけるマスクフレームにアライメントシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。

　図１８の（ａ）は図１７の（ａ）に示すアライメントシートの取付部近傍を拡大した平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。

　図１７および図１８に示すように、本実施形態では、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４には、複数のハウリングシート１３毎に溝１１ｅ（図１０および図１１）が設けられるのではなく、複数のハウリングシート１３を固定するための凹部１１ｆが、複数のハウリングシート１３に跨るように設けられている。

　図６に示した工程Ｓａ（カバーシート取り付け工程）にてマスクフレーム１１に複数のカバーシート１２を取り付けた後、工程Ｓｂ（ハウリングシート取り付け工程）にて、複数のハウリングシート１３を取り付ける。

　ここで、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４には、第１延伸部１１ｃ１との接続部から、第２延伸部１１ｃ２との接続部に至るまで延伸する凹部１１ｆが設けられている。それぞれの凹部１１ｆの底面は、凹凸が形成されておらず平面である。

　このため、各ハウリングシート１３を、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４それぞれの凹部１１ｆ内のうち、Ｘ方向の任意の位置に固定することができる。このため、蒸着するＴＦＴ基板２のアクティブ領域３（図２、図３）の形状に応じて、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４それぞれの凹部１１ｆに固定する各ハウリングシート１３のＸ方向の位置を調整することができる。

　第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４それぞれの凹部１１ｆの底面は、各ハウリングシート１３と接触している領域と、当該ハウリングシート１３に隣接する領域とは、同じ高さである。このため、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４は、凹部１１ｆの底面が設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さより薄い。

　すなわち、本実施形態では、複数のハウリングシート１３は、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４それぞれの凹部１１ｆを共有している。

　次に、図６の工程Ｓｃ（アライメントシート取り付け工程）にてアライメントシート１４をマスクフレーム１１に取り付ける。

　アライメントシート１４の両端部を、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれに設けられた頭頂面１１ｇに接触させ配置する。そして、アライメントシート１４のうち、当該頭頂面１１ｇに接触している部分を、レーザ等によって溶接することで固定する。これにより、アライメントシート１４は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれの頭頂面１１ｇに固定される。そして、必要に応じて、アライメントシート１４における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。

　図１７および図１８に示すように、アライメントシート１４Ａ１を、第３延伸部１１ｃ３の少なくとも一部を覆うと共に当該第３延伸部１１ｃ３とは非接触となるように、Ｙ方向の端であって、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇに固定する。

　これにより、アライメントシート１４Ａ１は、固定されている、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇと、領域ＡＲ１に示すように接触している。そして、アライメントシート１４Ａ１は、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２間に設けられている第３延伸部１１ｃ３の少なくとも一部と重なっている。

　ここで、上述のように、第３延伸部１１ｃ３は、凹部１１ｆの底面が設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さより薄い。

　図１８の（ａ）に示すように、枠状部１１ｃにおいて、第１延伸部１１ｃ１のうち頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さを厚さｔ１とし、第３延伸部１１ｃ３のうち凹部１１ｆの底面が設けられている領域の厚さｔ４とすると、ｔ１＞ｔ４となっている。

　このため、第３延伸部１１ｃ３のうち、アライメントシート１４Ａ１が覆う凹部１１ｆの底面の一部領域ＡＲ３と、アライメントシート１４Ａ１とは非接触となり、距離ｔ５だけ隙間が設けられている。

　アライメントシート１４Ａ２の方も同じように、図１７に示すように、アライメントシート１４Ａ２を、第４延伸部１１ｃ４の少なくとも一部を覆うと共に第４延伸部１１ｃ４とは非接触となるように、アライメントシート１４Ａ２とは逆側の端であって、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇに固定する。

　そして、上述のように、第４延伸部１１ｃ４は、凹部１１ｆの底面が設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さより薄い。

　このため、第４延伸部１１ｃ４のうち、アライメントシート１４Ａ２が覆う凹部１１ｆの底面の一部領域ＡＲ３と、アライメントシート１４Ａ２とは非接触となり、隙間が設けられている。

　次に、図６の工程Ｓｄ（マスクシート取り付け工程）にてマスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける。

　図１９の（ａ）は実施形態２の蒸着マスクにおけるマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。

　図２０の（ａ）は実施形態２の蒸着マスクを表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＸ１‐Ｘ１線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＹ１‐Ｙ１線断面図である。

　図１９に示すように、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける際、両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、アライメントシート１４に形成されているアライメントマーク１４ａを基準に、有効部ＹＡを構成する蒸着孔が所定位置に来るように、マスクシート１５の両端部を、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２それぞれに設けられた頭頂面１１ｇに接触させ配置する。

　また工程Ｓｄの前に、図６に示した工程Ｓ１０１として、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける前に、蒸着孔を複数並んで形成することで有効部ＹＡをマスクシート１５に形成しておく（有効部形成工程）。

　本実施形態では、有効部ＹＡは、複数のアクティブ領域３（図２、図３）に跨るように、複数のアクティブ領域３と重なる程度の面積を有する。このため、有効部ＹＡは、複数のハウリングシート１３と重なる。

　図２０に示すように、本実施形態では、この工程Ｓｄによって、マスクシート１５の有効部ＹＡに、第１領域ＹＡ１と、第２領域ＹＡ２とが設けられる。

　第１領域ＹＡ１は、アクティブ領域３（図２参照）毎に形成され、当該アクティブ領域３に対応する形状を有する。第２領域ＹＡ２は、有効部ＹＡにおける、第１領域ＹＡ１とは異なる領域であって、ハウリングシート１３と重なる領域である。

　そして、２つのアライメントシート１４Ａ１・１４Ａ２間に所定枚数のマスクシート１５を複数固定した後、図６の工程Ｓｅおよび図２０に示すように、マスクシート１５における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。

　次に、図６の工程Ｓｆに示すように、マスクシート１５が取り付けられた蒸着マスクを洗浄し、異物検査および精度検査等の各種のマスク検査を行う。この後、マスク検査にて問題がなかった蒸着マスク１０はストッカに格納され、必要に応じて、蒸着工程にて使用される蒸着装置に供給される。これにより、蒸着マスク１０が完成する。

　図２１は、実施形態２の蒸着マスクの一部を、第２面側から見た様子を表す図である。

　図２０および図２１に示すように、有効部ＹＡにおいて、第１領域ＹＡに含まれる蒸着孔は貫通しており、第２領域ＹＡ２に含まれる蒸着孔は、ハウリングシート１３により遮蔽されている。

　第１領域ＹＡに含まれる蒸着孔は、画素毎に、蒸着層をパターン形成するための蒸着孔である。第２領域ＹＡ２に含まれる蒸着孔は、画素毎に、蒸着層をパターン形成することに寄与しないダミーの蒸着孔である。

　蒸着工程において、マスクシート１５の有効部ＹＡのうち、第１領域ＹＡ１は、ＴＦＴ基板２のアクティブ領域３（図２及び図３参照）と重なり、第１領域ＹＡ１の外側である第２領域ＹＡ２及び有効部ＹＡを囲む縁部は、額縁領域４４（図２及び図３参照）と重なる。そして、蒸着源から発せられた蒸着粒子は、第１領域ＹＡ１に含まれる蒸着孔Ｈを通ってＴＦＴ基板２のアクティブ領域３の画素に蒸着する。このとき、マスクシート１５のうち第２領域ＹＡ２及び有効部ＹＡを囲む縁部は、ＴＦＴ基板２の額縁領域４４と重なるため、蒸着粒子は、第２領域ＹＡ２及び有効部ＹＡを囲む縁部によって遮蔽され、額縁領域４４には到達しない。

　上述のように、本実施形態では、第３延伸部１１ｃ３および第４延伸部１１ｃ４には、複数のハウリングシート１３毎に溝１１ｅ（図１０および図１１）が設けられるのではなく、複数のハウリングシート１３を固定するための凹部１１ｆが、複数のハウリングシート１３に跨るように設けられている。

　このため、ハウリングシート１３のＸ方向の位置を自由に調整することができる。

　加えて、マスクシート１５の有効部ＹＡは、複数のアクティブ領域に跨って重なる程度の面積を有する。

　このため、第１領域ＹＡ１の外形を規定する第２領域ＹＡ２の位置および形状は、ハウリングシート１３の位置および形状によって規定することができる。これにより、有効部ＹＡの外形は、アクティブ領域３の外形が変わっても変更する必要がない。従って、種々の外形を有する基板間で、有効部ＹＡが形成されたマスクシート１５と、マスクフレーム１１とを共通化することができる。

　例えば、４：３、１６：９、１８：９など、アスペクト比が異なるアクティブ領域３を形成するためのマスクシート１５を共通化することができる。

　また、上述のように、第３延伸部１１ｃ３は、凹部１１ｆの底面が設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さより薄い。

　このため、第３延伸部１１ｃ３のうち、アライメントシート１４Ａ１が覆う凹部１１ｆの底面の領域ＡＲ３と、アライメントシート１４Ａ１とは非接触となり、隙間が設けられている。

　これにより、蒸着マスク１０を洗浄した際、洗浄液は、領域ＡＲ３における、アライメントシート１４Ａ１と、第３延伸部１１ｃ３の頭頂面１１ｈとの間を流れる。このため、領域ＡＲ３における、アライメントシート１４Ａ１と、第３延伸部１１ｃ３の凹部１１ｆの底面との間の洗浄効果を高めることができる。これにより、領域ＡＲ３における、アライメントシート１４Ａ１と、第３延伸部１１ｃ３の凹部１１ｆの底面との間に異物が残ってしまうことを防止することができる。

　また、第４延伸部１１ｃ４も、凹部１１ｆの底面が設けられている領域の厚さは、第１延伸部１１ｃ１および第２延伸部１１ｃ２の頭頂面１１ｇが設けられている領域の厚さより薄い。

　これにより、蒸着マスク１０を洗浄した際、洗浄液は、領域ＡＲ３における、アライメントシート１４Ａ２と、第４延伸部１１ｃ４の頭頂面１１ｈとの間を流れる。このため、領域ＡＲ３における、アライメントシート１４Ａ２と、第４延伸部１１ｃ４の凹部１１ｆの底面との間の洗浄効果を高めることができる。これにより、領域ＡＲ３における、アライメントシート１４Ａ２と、第４延伸部１１ｃ４の凹部１１ｆの底面との間に異物が残ってしまうことを防止することができる。

　この結果、洗浄残りによる異物が蒸着マスク１０を用いた蒸着時に、被蒸着基板（ＴＦＴ基板２）に付着してしまうことを防止することができる。このため、完成したパネル品質の低下を防止することができる。

　また、実施形態１、２にかかるディスプレイは、表示素子を備えた表示パネルであれば、特に限定されるものではない。上記表示素子は、電流によって輝度や透過率が制御される表示素子であり、電流制御の表示素子としては、ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode：有機発光ダイオード）を備えた有機ＥＬ（Electro Luminescence：エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、又は無機発光ダイオードを備えた無機ＥＬディスプレイ等のＥＬディスプレイＱＬＥＤ（Quantum dot Light Emitting Diode：量子ドット発光ダイオード）を備えたＱＬＥＤディスプレイ等がある。

　〔まとめ〕
　態様１に係る蒸着マスクは、フレーム開口が設けられたマスクフレームと、当該フレーム開口を覆うようにマスクフレームに固定される複数のシート状部材とを有する蒸着マスクであって、上記マスクフレームは、上記フレーム開口を枠状に囲む枠状部を有し、上記枠状部は、第１延伸部、第２延伸部、第３延伸部および第４延伸部を有し、上記第１延伸部および上記第２延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第１方向に延伸し、上記第３延伸部および上記第４延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第２方向に延伸し、上記複数のシート状部材は、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、端に位置する第１シート状部材を含み、上記第１シート状部材は、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定されており、上記第３延伸部の少なくとも一部を覆い、上記第３延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、上記第１シート状部材と非接触であることを特徴とする。

　態様２に係る蒸着マスクでは、上記複数のシート状部材は、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、上記第１シート状部材とは逆側の端に位置する第２シート状部材を含み、上記第２シート状部材は、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定されており、上記第４延伸部の少なくとも一部を覆い、上記第４延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、上記第２シート状部材と非接触であってもよい。

　態様３に係る蒸着マスクでは、複数のシート部材は、上記第２方向に並んで設けられる複数のハウリングシートを含み、上記第３延伸部および上記第４延伸部には、上記複数のハウリングシートを固定するための溝が、上記ハウリングシート毎に設けられてもよい。

　態様４に係る蒸着マスクでは、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材は、上記第１延伸部および上記第２延伸部の上記頭頂面に固定されている複数のマスクシートを含み、上記各マスクシートは、表示に寄与する画素が並ぶアクティブ領域が複数設けられた被蒸着基板の当該画素に対応する複数の蒸着孔が並んで設けられている複数の有効部を有し、上記有効部は、上記アクティブ領域毎に設けられていてもよい。

　態様５に係る蒸着マスクでは、複数のシート部材は、上記第２方向に並んで設けられる複数のハウリングシートを含み、上記第３延伸部および上記第４延伸部には、上記複数のハウリングシートを固定するための凹部が、上記複数のハウリングシートに跨って設けられていてもよい。

　態様６に係る蒸着マスクでは、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材は、上記第１延伸部および上記第２延伸部の上記頭頂面に固定されている複数のマスクシートを含み、上記各マスクシートは、表示に寄与する画素が並ぶアクティブ領域が複数設けられた被蒸着基板の当該画素に対応する複数の蒸着孔が並んで設けられている有効部を有し、上記有効部は、上記複数のアクティブ領域に跨るように設けられていてもよい。

　態様７に係る蒸着マスクでは、上記第１延伸部、上記第２延伸部、上記第３延伸部、および、上記第４延伸部は、四角形となるように並んで設けられていてもよい。

　態様８に係る蒸着マスクでは、複数のシート部材は、上記第１方向に並んで設けられる複数のカバーシートを含み、上記第１延伸部および上記第２延伸部には、上記複数のカバーシートを固定するための溝が、上記カバーシート毎に設けられていてもよい。

　態様９に係る蒸着マスクでは、上記第１シート状部材および上記第２シート状部材は、それぞれ、被蒸着基板の画素に対応する複数の蒸着孔が設けられたマスクシートを上記マスクフレームに固定するときに基準となるアライメントマークが設けられたアライメントシートであってもよい。

　態様１０に係る表示デバイスの製造方法は、フレーム開口が設けられたマスクフレームと、当該フレーム開口を覆うようにマスクフレームに固定される複数のシート状部材とを有する蒸着マスクの製造方法を含む表示デバイスの製造方法であって、上記マスクフレームは、上記フレーム開口を枠状に囲む枠状部を有し、上記枠状部は、第１延伸部、第２延伸部、第３延伸部および第４延伸部を有し、上記第１延伸部および上記第２延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第１方向に延伸し、上記第３延伸部および上記第４延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第２方向に延伸し、上記第３延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、上記第４延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、上記複数のシート状部材は、上記第１方向に並んで設けられる複数のシート状部材を含み、上記蒸着マスクの製造方法は、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、第１シート状部材を、上記第３延伸部の少なくとも一部を覆うと共に当該第３延伸部とは非接触となるように、上記第１方向の端であって、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定する工程と、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、第２シート状部材を、上記第４延伸部の少なくとも一部を覆うと共に当該第４延伸部とは非接触となるように、記第１シート状部材とは逆側の端であって、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定する工程と、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、被蒸着基板の画素に対応する複数の蒸着孔が設けられた複数のマスクシートを、上記第１シート状部材および上記第２シート状部材それぞれに設けられたアライメントマークを基準として、上記マスクフレームに固定する工程とを有し、上記蒸着マスクの製造方法によって製造された上記蒸着マスクを用いて、上記被蒸着基板の上記画素に蒸着層を形成する蒸着工程を有することを特徴とする。

　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

１　基板
２　ＴＦＴ基板（被蒸着基板）
３　アクティブ領域
４　枠状バンク
５　封止層
６、８　無機膜
７　有機膜
９　有機ＥＬ表示パネル形成領域
１０　蒸着マスク
１１　マスクフレーム
１１ａ　フレーム開口
１１ｂ　外周部
１１ｃ　枠状部
１１ｃ１　第１延伸部
１１ｃ２　第２延伸部
１１ｃ３　第３延伸部
１１ｃ４　第４延伸部
１１ｆ　凹部
１１ｇ、１１ｈ　頭頂面
１２　カバーシート（シート状部材）
１３　ハウリングシート（シート状部材）
１４　アライメントシート（シート状部材）
１４Ａ１　アライメントシート（第１シート状部材、シート状部材）
１４Ａ２　アライメントシート（第２シート状部材、シート状部材）
１４ａ　アライメントマーク
１４ｂ　固定部
１５　マスクシート（シート状部材）
４３　表示領域
４４　額縁領域
７０　蒸着源
８０　発光層（蒸着層）
ＡＲ１、ＡＲ２、ＡＲ３　領域
ｂｋ　画素バンク
ＹＡ　有効部
ＹＡ１　有効部ＹＡの第１領域
ＹＡ２　有効部ＹＡの第２領域

Claims

　フレーム開口が設けられたマスクフレームと、当該フレーム開口を覆うようにマスクフレームに固定される複数のシート状部材とを有する蒸着マスクであって、
　上記マスクフレームは、上記フレーム開口を枠状に囲む枠状部を有し、
　上記枠状部は、第１延伸部、第２延伸部、第３延伸部および第４延伸部を有し、
　上記第１延伸部および上記第２延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第１方向に延伸し、
　上記第３延伸部および上記第４延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第２方向に延伸し、
　上記複数のシート状部材は、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、端に位置する第１シート状部材を含み、
　上記第１シート状部材は、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定されており、上記第３延伸部の少なくとも一部を覆い、
　上記第３延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、上記第１シート状部材と非接触であることを特徴とする蒸着マスク。
　上記複数のシート状部材は、上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、上記第１シート状部材とは逆側の端に位置する第２シート状部材を含み、
　上記第２シート状部材は、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定されており、上記第４延伸部の少なくとも一部を覆い、
　上記第４延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、上記第２シート状部材と非接触であることを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
　複数のシート部材は、上記第２方向に並んで設けられる複数のハウリングシートを含み、
　上記第３延伸部および上記第４延伸部には、上記複数のハウリングシートを固定するための溝が、上記ハウリングシート毎に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着マスク。
　上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材は、上記第１延伸部および上記第２延伸部の上記頭頂面に固定されている複数のマスクシートを含み、
　上記各マスクシートは、表示に寄与する画素が並ぶアクティブ領域が複数設けられた被蒸着基板の当該画素に対応する複数の蒸着孔が並んで設けられている複数の有効部を有し、
　上記有効部は、上記アクティブ領域毎に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の蒸着マスク。
　複数のシート部材は、上記第２方向に並んで設けられる複数のハウリングシートを含み、
　上記第３延伸部および上記第４延伸部には、上記複数のハウリングシートを固定するための凹部が、上記複数のハウリングシートに跨って設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着マスク。
　上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材は、上記第１延伸部および上記第２延伸部の上記頭頂面に固定されている複数のマスクシートを含み、
　上記各マスクシートは、表示に寄与する画素が並ぶアクティブ領域が複数設けられた被蒸着基板の当該画素に対応する複数の蒸着孔が並んで設けられている有効部を有し、
　上記有効部は、上記複数のアクティブ領域に跨るように設けられていることを特徴とする請求項５に記載の蒸着マスク。
　上記第１延伸部、上記第２延伸部、上記第３延伸部、および、上記第４延伸部は、四角形となるように並んで設けられていることを特徴とする請求項１～６の何れか１項に記載の蒸着マスク。
　複数のシート部材は、上記第１方向に並んで設けられる複数のカバーシートを含み、
　上記第１延伸部および上記第２延伸部には、上記複数のカバーシートを固定するための溝が、上記カバーシート毎に設けられていることを特徴とする請求項１～７の何れか１項に記載の蒸着マスク。
　上記第１シート状部材および上記第２シート状部材は、それぞれ、被蒸着基板の画素に対応する複数の蒸着孔が設けられたマスクシートを上記マスクフレームに固定するときに基準となるアライメントマークが設けられたアライメントシートであることを特徴とする請求項２に記載の蒸着マスク。
　フレーム開口が設けられたマスクフレームと、当該フレーム開口を覆うようにマスクフレームに固定される複数のシート状部材とを有する蒸着マスクの製造方法を含む表示デバイスの製造方法であって、
　上記マスクフレームは、上記フレーム開口を枠状に囲む枠状部を有し、
　上記枠状部は、第１延伸部、第２延伸部、第３延伸部および第４延伸部を有し、
　上記第１延伸部および上記第２延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第１方向に延伸し、
　上記第３延伸部および上記第４延伸部は、上記フレーム開口を介して並んで配置されており、それぞれ第２方向に延伸し、
　上記第３延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、
　上記第４延伸部は、上記第１延伸部および上記第２延伸部より厚みが薄く、
　上記複数のシート状部材は、上記第１方向に並んで設けられる複数のシート状部材を含み、
　上記蒸着マスクの製造方法は、
　上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、第１シート状部材を、上記第３延伸部の少なくとも一部を覆うと共に当該第３延伸部とは非接触となるように、上記第１方向の端であって、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定する工程と、
　上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、第２シート状部材を、上記第４延伸部の少なくとも一部を覆うと共に当該第４延伸部とは非接触となるように、上記第１シート状部材とは逆側の端であって、上記第１延伸部および上記第２延伸部の頭頂面に固定する工程と、
　上記第１方向に並んで設けられる上記複数のシート状部材のうち、被蒸着基板の画素に対応する複数の蒸着孔が設けられた複数のマスクシートを、上記第１シート状部材および上記第２シート状部材それぞれに設けられたアライメントマークを基準として、上記マスクフレームに固定する工程とを有し、
　上記蒸着マスクの製造方法によって製造された上記蒸着マスクを用いて、上記被蒸着基板の上記画素に蒸着層を形成する蒸着工程を有することを特徴とする表示デバイスの製造方法。