KR102495986B1 - 유기 발광 표시 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 화소 영역을 포함하는 기판; 상기 화소 영역에 제공되고 서로 다른 색상을 나타내는 복수의 부화소; 그리고 상기 각 부화소 간의 경계 영역에 위치하되 상기 각 부화소와 이격하여 배치되는 검사부;를 포함하며, 상기 검사부는 상기 복수의 부화소에서 인접하는 부화소의 발광 재료 중 적어도 하나의 발광 재료를 포함하는 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다.

Description

유기 발광 표시 장치 {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY DEVICE}
본 발명은 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치는 적색 화소, 청색 화소, 녹색 화소 및/또는 백색 화소 등의 복수의 화소(pixel)를 포함하며, 이들 화소를 조합하여 풀 컬러(full color)를 표현할 수 있다. 화소들은 다양한 형태로 배열될 수 있는데, 예를 들어 적어도 한 기본색의 화소들은 행 또는 열 방향으로의 스트라이프 형태로 배열될 수 있다.
각 화소는 유기 발광 소자(organic light emitting element)와 이를 구동하기 위한 복수의 박막 트랜지스터를 포함한다.
유기 발광 소자는 두 개의 전극으로서 애노드와 캐소드 및 그 사이의 유기 발광층을 포함한다. 유기 발광층은 적색, 녹색, 청색과 같은 삼원색 또는 다른 여러 가지 색의 빛을 낼 수 있다.
이러한 유기 발광층은 패턴 마스크 등을 사용하여 증착할 수 있다. 패턴 마스크는 유기 발광층에 대응하는 복수의 개구부가 형성되어 증착원을 구비한 챔버 등의 내부에서 기판 상에 정렬되고, 증착원으로부터 증발된 유기물이 패턴 마스크의 개구부를 통과해 기판 상에 증착되어 유기 발광층을 형성한다.
이러한 증착 과정에서 기판과 패턴 마스크 사이에 정렬 오차가 발생하는 것을 고려하여 서로 다른 색상을 나타내는 각 부화소의 경계 영역에는 얼라인 마진(Align Margin)을 고려한 영역이 포함된다.
이러한 얼라인 마진 영역에는 인접하는 각 부화소의 발광 재료가 중첩하여 증착될 수 있는데, 기판 또는 패턴 마스크 사이에 정렬 오차가 발생하면 각 부화소가 얼라인 마진 영역을 넘어 인접하는 다른 색상의 부화소 영역까지 침범하여 증착되는 미스 얼라인이 발생하고, 이는 공정 불량으로 이어지는 문제점이 있다.
그런데, 이와 같은 미스 얼라인 여부는 증착 공정이 모두 완료된 후 별도의 검사 공정에서 점등 검사 등을 통해서 확인할 수 있기 때문에, 제조에 소요되는 시간이 지연되고 불량 발생률을 저감시키기가 어려워서 생산 수율 저하 및 비용상의 손실이 큰 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 별도의 점등 검사 없이도 미스 얼라인 여부를 쉽게 확인할 수 있는 구조를 갖는 유기 발광 표시 장치를 제공하고자 한다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
일 측면에서, 본 발명은, 화소 영역을 포함하는 기판; 상기 화소 영역에 제공되고 서로 다른 색상을 나타내는 복수의 부화소; 그리고 상기 각 부화소 간의 경계 영역에 위치하되 상기 각 부화소와 이격하여 배치되는 검사부;를 포함하며, 상기 검사부는 상기 복수의 부화소에서 인접하는 부화소의 발광 재료 중 적어도 하나의 발광 재료를 포함하는 유기 발광 표시 장치를 제공한다.
이때, 상기 검사부는 상기 복수의 부화소와 동일한 층에 형성될 수 있다.
또한, 상기 검사부는, 상기 경계 영역에서 가상의 중심선을 따라 소정의 간격을 두고 분리 배치될 수 있다.
또한, 상기 검사부는, 상기 경계 영역에서 가상의 중심선을 따라 연결된 형태로 배치될 수 있다.
한편, 상기 검사부는, 일정한 간격으로 형성된 복수의 패턴을 포함할 수 있다.
이때, 상기 패턴의 수평 단면 형상은 정사각형, 마름모, 원형, 삼각형, 사각형, 타원형 및 다각형 중 적어도 하나일 수 있다.
또한, 상기 복수의 패턴은, 상기 경계 영역에서 가상의 중심선을 따라 형성된 제1패턴, 그리고 상기 가상의 중심선에 수직하는 방향을 따라 형성된 제2패턴을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 부화소간의 경계 영역에 미스 얼라인 여부를 체크할 수 있는 검사부가 배치되어, 유기 발광층 형성의 증착 정밀도를 효과적으로 향상시킬 수 있다.
또한, 제조 공정 중에도 미스 얼라인 여부를 쉽게 확인할 수 있기 때문에 불량률을 획기적으로 감소시킬 수 있고, 제조 공정 및 생산 시간 단축과 함께 수율 향상이 가능하여 우수한 생산성을 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 도 1에 도시한 하나의 부화소에 대한 확대 단면도를 나타낸 것이다.
도 3 내지 도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 포함되는 화소 영역의 다양한 예를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 8은 도 3의 A 부분을 확대하여 나타낸 것이다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에서 검사부에 포함되는 패턴 형상의 다양한 예를 나타낸 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “위에” 있다고 할 때 이는 다른 부분의 “바로 위에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 그리고 “~위에”라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것을 의미하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하지 않는다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 도면에 나타난 각 구성의 크기 및 두께 등은 설명의 편의를 위해 임의로 나타낸 것이므로, 본 발명은 도시한 바로 한정되지 않는다.
이하, 도면을 참고하여 본 발명에 대하여 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 것이고, 도 2는 도 1에 도시한 기판 중 하나의 부화소를 나타낸 확대 단면도이다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(100)는, 서로 다른 색상을 나타내는 복수의 부화소(SPx)를 포함하는 화소 영역(A10) 및 상기 화소 영역을 둘러싸는 주변 영역(A20)이 형성된 기판(10)을 포함한다.
또한, 도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 기판(10) 상에는 버퍼층(11), 박막 트랜지스터(20), 커패시터(30), 및 화소 전극(41)이 위치한다. 이때, 기판(10)은 유리와 같은 강성(rigid) 기판이거나 고분자 필름과 같은 가요성(flexible) 기판일 수 있다. 고분자 필름의 경우 유리 대비 높은 투습율과 산소 투과율을 가지므로 기판(10)이 고분자 필름으로 형성되는 경우에는 기판(10)과 버퍼층(11) 사이에 수분과 산소 침투를 억제하는 베리어층(도시하지 않음)이 위치할 수도 있다.
이때, 상기 버퍼층(11)은 무기막으로 형성되며, 예를 들어 SiO2 또는 SiNx를 포함할 수 있다. 또한, 상기 버퍼층(11)은 화소 회로를 형성하기 위한 평탄면을 제공하고, 화소 회로와 유기 발광 다이오드(40)로 수분과 이물이 침투하는 것을 억제한다.
다음으로, 박막 트랜지스터(20)와 커패시터(30)는 상기 버퍼층(11) 위에 형성된다. 이때, 상기 박막 트랜지스터(20)는 반도체층(21)과 게이트 전극(22) 및 소스/드레인 전극(23, 24)을 포함한다.
또한, 상기 반도체층(21)은 폴리실리콘 또는 산화물 반도체로 형성되며, 불순물이 도핑되지 않은 채널 영역(211)과, 채널 영역(211)의 양 옆으로 불순물이 도핑된 소스/드레인 영역(212, 213)을 포함한다. 반도체층(21)이 산화물 반도체로 형성되는 경우 반도체층(21)을 보호하기 위한 별도의 보호층이 추가될 수 있다.
다음, 상기 반도체층(21)과 게이트 전극(22) 사이에 게이트 절연막(12)이 위치하고, 상기 게이트 전극(22)과 소스/드레인 전극(23, 24) 사이에 층간 절연막(13)이 위치한다.
한편, 상기 커패시터(30)는 게이트 절연막(12) 상에 형성된 제1 축전판(31)과, 층간 절연막(13) 상에 형성된 제2 축전판(32)을 포함한다. 상기 제1 축전판(31)은 게이트 전극(22)과 같은 물질로 형성될 수 있고, 상기 제2 축전판(32)은 소스/드레인 전극(23, 24)과 같은 물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 제2 축전판(32)은 소스 전극(23)과 연결될 수 있다.
한편, 상기 도 2에 도시한 박막 트랜지스터(20)는 구동 박막 트랜지스터이며, 화소 회로는 스위칭 박막 트랜지스터(도시하지 않음)를 더 포함한다. 스위칭 박막 트랜지스터는 발광시키고자 하는 화소를 선택하는 스위칭 소자로 사용되고, 구동 박막 트랜지스터는 선택된 화소를 발광시키기 위한 전원을 해당 화소로 인가한다.
다음으로, 상기 소스/드레인 전극(23, 24)과 제2 축전판(32) 위로 평탄화층(14)이 위치한다. 상기 평탄화층(14)은 유기물 또는 무기물로 형성되거나 유기물과 무기물의 복합 형태로 구성될 수 있다. 또한, 상기 평탄화층(14)은 드레인 전극(24)의 일부를 노출시키는 비아 홀을 형성하며, 평탄화층(14) 위로 화소 전극(41)과 화소 정의막(15)이 형성된다.
또한, 상기 화소 전극(41)은 화소마다 개별로 형성되고, 비아 홀을 통해 박막 트랜지스터(20)의 드레인 전극(24)과 연결된다. 화소 정의막(15)은 화소 전극들(41) 사이에 형성되어 화소 영역을 구획하며, 개구부를 형성하여 화소 전극(41)을 노출시킨다. 노출된 화소 전극(41) 위로 유기 발광층(42)이 형성된다.
이때, 상기 유기 발광층(42)은 적색 발광층과 녹색 발광층 및 청색 발광층 가운데 어느 하나일 수 있다. 화소 전극(41)과 공통 전극(43) 중 어느 하나는 정공 주입 전극인 애노드(anode)이고, 다른 하나는 전자 주입 전극인 캐소드(cathode)이다. 애노드로부터 주입된 정공과 캐소드로부터 주입된 전자가 유기 발광층(42)에서 결합하여 여기자(exciton)를 생성하고, 여기자가 에너지를 방출하면서 발광이 이루어진다.
또한, 정공 주입층과 정공 수송층 가운데 적어도 한 층이 애노드와 유기 발광층(42) 사이에 위치할 수 있고, 전자 주입층과 전자 수송층 가운데 적어도 한 층이 캐소드와 유기 발광층(42) 사이에 위치할 수 있다. 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 및 전자 주입층은 제1 영역(A10) 전체에 형성될 수 있다.
한편, 화소 전극(41)과 공통 전극(43) 중 어느 하나는 반사막으로 형성되고, 다른 하나는 반투과막 또는 투명 도전막으로 형성될 수 있다. 이때, 상기 유기 발광층(42)에서 방출된 빛은 상기 반사막에서 반사되고, 반투과막 또는 투명 도전막을 투과하여 외부로 방출된다. 이때, 반투과막의 경우 유기 발광층(42)에서 방출된 빛의 일부가 반사막으로 재반사되어 공진 구조를 이룬다.
본 명세서에서, 도 2에 도시한 박막 트랜지스터(20)와 커패시터(30)의 구성은 하나의 예시일 뿐이며, 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시장치에 포함되는 기판(10)은 도시한 예로 한정되지 않는다.
도 3 내지 도 7에는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 포함되는 화소 영역(A10)의 다양한 예를 각각 개략적으로 나타내었다.
도 3 내지 도 7을 참고하면, 서로 다른 색상을 나타내는 복수의 부화소(SPx)는, 상기 각 부화소(SPx) 간의 경계 영역(A30)에 위치하되, 상기 각 부화소(SPx)와 이격하여 배치되는 검사부(200)를 포함한다.
먼저, 상기 복수의 부화소(SPx)는 기판(10) 상의 가로 방향(x축 방향) 및 상기 가로 방향과 교차하는 세로 방향(y축 방향)을 따라 일렬로 정렬되어 위치할 수 있다.
도 3 내지 도 7에는 상기 가로 방향과 세로 방향이 서로 직교하는 경우를 도시하였으나, 다른 한편으로, 복수의 부화소(SPx)는 가로 방향과 세로 방향 중 어느 한 방향을 따라 일직선 상에 위치하지 않고 지그재그 패턴으로 배열될 수도 있다.
또한, 복수의 부화소(SPx) 및 여기에 포함되는 복수의 유기 발광층(42) 각각은 모서리가 둥근 사각형, 트랙형, 삼각형, 마름모꼴 등 다양한 모양으로 형성될 수 있으며 특별히 한정되는 것은 아니다. 다만, 도 3 내지 도 7에서는 복수의 부화소(SPx)를 사각형으로 개략화하여 도시하였다.
그리고, 같은 색의 부화소(SPx)가 가로 방향과 세로 방향 중 어느 한 방향을 따라 정렬되고, 다른 색의 부화소(SPx)가 다른 한 방향을 따라 번갈아 위치할 수 있다. 또는, 적어도 두 색의 부화소(SPx)가 가로 방향 및 세로 방향을 따라 번갈아 위치할 수도 있다. 도 3에서는 같은 색의 부화소(SPx)가 세로 방향을 따라 정렬되고, 다른 색의 부화소(SPx)가 가로 방향을 따라 번갈아 위치하는 경우를 예로 들어 도시하였고, 도 4 내지 도 7에서는 다른 색의 부화소(SPx)가 가로 방향 및 세로 방향을 따라 번갈아 위치하는 경우를 예로 들어 도시하였다.
다음, 상기 검사부(200)는 서로 다른 색상을 나타내며 인접하는 각 부화소(SPx) 간의 경계 영역(A30)에 위치하고, 상기 각 부화소(SPx)의 경계선과 소정의 간격을 두고 이격 배치된다.
보다 구체적으로, 상기 각 부화소(SPx) 간의 간격은 대략 30㎛ 내지 40㎛ 정도일 수 있고, 상기 검사부(200)는, 각 부화소(SPx)의 경계선에서 적어도 5㎛ 이상의 간격을 두고 배치될 수 있다.
상기 검사부(200)는 본 발명의 유기 발광 표시 장치(100)에서 유기 발광층(42)을 증착하는 공정을 수행할 때, 증착 공정 중간에도 유기 발광층(42)의 증착이 제대로 이루어졌는지, 즉, 미스 얼라인 발생 여부를 체크할 수 있는 기능을 수행하는 것이다. 이를 통해, 미스 얼라인이 발생하는 경우, 즉각적인 증착 위치 보정이 가능하기 때문에 증착 공정 후 별도의 검사 공정을 거칠 필요가 없어 제조 공정을 단축 시킬 수 있다.
이때, 상기 검사부(200)는 화소 전극(41)이 반사율이 높은 금속 등의 재질로 이루어질 수 있는 것을 이용한 것이다. 즉, 상기 화소 전극(41) 상에 위치하는 유기 발광층(42)과 동일한 층에 각 부화소(SPx)를 형성하는 발광 재료 중 적어도 하나의 발광 재료를 이용하여 검사부(200)를 형성하면, 화소 전극(41)의 높은 반사성으로 인해 발광 재료가 증착된 부분의 증착 경계를 뚜렷하게 확인할 수 있다.
여기서, 상기 검사부(200)는, 인접하는 부화소(SPx)를 형성하며 서로 다른 색상을 나타내는 발광 재료가 서로 중첩하는 부분 없이 증착되어 형성될 수도 있고, 일부 영역이 중첩하여 증착되어 형성될 수도 있다. 즉, 상기 검사부(200)는 유기 발광층(42)의 증착 공정이 위치 오차 없이 제대로 증착 되었는지를 체크할 수 있는 눈금 역할을 할 수 있다면 그 형성 재료가 특정 색상을 나타내는 발광 재료로 특별히 한정되는 것은 아니다.
보다 구체적으로, 상기 검사부(200)는 서로 다른 색상을 나타내는 각 부화소(SPx) 간의 경계 영역(A30)에 가상의 중심선(C1, C2)을 따라 소정의 간격으로 배치될 수 있다. 상기 가상의 중심선(C1, C2)은 인접하는 각 부화소(SPx)의 경계선과 경계선의 중심점을 연결한 가상의 선으로 기판(10)상에 별도로 형성되지는 않으나, 검사부(200)를 형성하는 패턴 마스크 등에 형성하여 검사부(200)를 원하는 위치에 배치시키는 마커 역할을 할 수 있다.
이때, 상기 검사부(200)는 도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 정사각형 형상으로 형성될 수도 있고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 직사각형 형상으로 형성될 수도 있다. 이때, 상기 검사부(200)의 배치는, 상기 경계 영역(A30)에 가상의 중심선을 따라 소정의 간격을 두고 분리 배치될 수 있다. 보다 구체적으로 예를 들면, 도 3 내지 도 4 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 임의의 하나의 부화소(SPx)와 그와 이웃하는 하나의 부화소(SPx) 간의 경계 영역 내에 하나씩만 형성될 수도 있고, 도 5에 나타낸 바와 같이 복수개가 형성될 수도 있다. 또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 검사부(200)는, 각 부화소(SPx) 간의 경계 영역(A30)에서 가상의 중심선(C1, C2)을 따라 연결된 직선 형태로 형성될 수도 있다.
즉, 이러한 검사부(200)는 눈금 역할을 할 수만 있으면, 그 형상이나 배열 개수 등은 특별히 제한되지 않는다.
상기한 바와 같이, 검사부(200)가 서로 다른 색상을 나타내는 각 부화소(SPx) 간의 경계 영역(A30)에서 가상의 중심선(C1, C2)을 따라, 소정의 간격을 두고 분리 배치되거나 연결되어 배치되기 때문에 가상의 중심선(C1, C2)을 기준으로 어느 방향으로 어느 정도의 증착 오류가 발생하였는지를 한 눈에 알 수 있게 된다.
도 8에는 도 3의 A 부분의 일부를 확대하여 나타내었다.
도 8을 참조하면, 상기 검사부(200)는 일정한 간격으로 형성된 복수의 패턴(201)을 포함할 수 있다. 이와 같이, 검사부(200) 내에 보다 작은 크기로 복수의 패턴(201)을 형성하는 경우, 이들 패턴이 보다 미세한 눈금 역할을 하여 증착 공정의 미세한 증착 오차 까지도 체크할 수 있기 때문에 매우 유용하다.
이때, 상기 각 패턴(201)의 수평 단면 형상은, 도 9 내지 도 11에 나타낸 바와 같이, 정사각형, 마름모 및/또는 원형일 수도 있고, 도시하지는 않았으나, 삼각형, 사각형, 타원형 및 다각형 중 어느 하나의 형상일 수 있다. 즉, 상기 패턴의 수평 단면 형상은, 증착이 원하는 위치에 되었는지를 확인할 수 있도록 보다 미세한 눈금 역할을 할 수 있다면, 특별히 한정되는 것은 아니다.
또한, 상기 복수의 패턴에서 각 패턴(201)의 배열 구조는, 예를 들면, 상기 각 부화소 간의 경계 영역(A30)에서 가상의 중심선(C1)을 따라 형성된 제1패턴(201a), 그리고 상기 가상의 중심선(C1)에 수직하는 방향을 따라 형성된 제2패턴(201b)을 포함할 수 있다. 상기 각 패턴(201)의 배열 구조 역시, 눈금 역할을 수행할 수 있도록 배열된다면 특별히 한정되지 않는다.
도 9 내지 도 11과 같이, 경계 영역(A30)의 가상의 중심선(C1)을 따라 제1패턴(201a)이 형성되면 가로 방향(x 방향)의 패턴 위치를 체크하여 가로 방향의 증착이 패턴의 크기에 따라 구체적으로 어느 정도의 수치 범위만큼 증착 오차가 발생하였는지를 쉽게 체크할 수 있고, 가상의 중심선(C1)에 수직하는 방향을 따라 형성된 제2패턴(201b)을 이용하면 세로 방향(y 방향)의 패턴 위치를 체크하여 세로 방향의 증착이 패턴의 크기에 따라 구체적으로 어느 정도의 수치 범위만큼 증착 오차가 발생하였는지를 쉽게 체크할 수 있게 된다.
본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 상기한 바와 같이, 서로 다른 색상을 나타내는 각 부화소(SPx) 간의 경계 영역(A30)에 미스 얼라인 여부를 체크할 수 있는 검사부(200)를 포함하기 때문에, 증착 공정이 완료되지 않아도 각 부화소(SPx)의 발광 재료가 해당 위치에 제대로 증착 되었는지 확인할 수 있어 즉각적인 정렬 오차의 보정이 가능하므로 증착 불량이 발생하는 것을 미연에 방지할 수 있고, 제조 시간의 단축 및 제품의 생산 수율을 획기적으로 향상시킬 수 있다.
이상으로 본 발명에 관한 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 실시예로부터 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 용이하게 변경되어 균등하다고 인정되는 범위의 모든 변경을 포함한다.
10: 기판
SPx : 부화소
A10: 화소 영역
A30: 경계 영역
C1, C2 : 부화소 간의 경계선의 중심점을 연결한 가상의 중심선
100: 유기 발광 표시 장치
200: 검사부

Claims (7)

  1. 화소 영역을 포함하는 기판;
    상기 화소 영역에 제공되고 서로 다른 색상을 나타내는 복수의 부화소; 그리고
    상기 각 부화소 간의 경계 영역에 위치하되 상기 각 부화소와 이격하여 배치되는 검사부;
    를 포함하며,
    상기 검사부는 상기 복수의 부화소에서 인접하는 부화소의 발광 재료 중 적어도 하나의 발광 재료를 포함하고,
    상기 검사부는, 상기 경계 영역에서 가상의 중심선을 따라 소정의 간격을 두고 분리 배치된 복수의 패턴을 포함하고,
    상기 복수의 패턴은,
    상기 경계 영역에서 가상의 중심선을 따라 형성된 제1패턴, 그리고
    상기 가상의 중심선에 수직하는 방향을 따라 형성된 제2패턴을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검사부는 상기 복수의 부화소와 동일한 층에 형성되는 유기 발광 표시 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 패턴의 수평 단면 형상은,
    정사각형, 마름모, 원형, 삼각형, 사각형, 타원형 및 다각형 중 적어도 하나인 유기 발광 표시 장치.
  7. 삭제
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