KR100685930B1 - 유기 전계발광표시장치 및 이의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 발광용액의 오버플로우에 의한 인접한 전극간의 쇼트를 방지할 수 있는 유기 전계발광표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 다수개의 화소영역들을 갖는 기판; 상기 화소영역들을 포함한 상기 기판의 전면에 형성된 제 1 전극층; 상기 화소영역에 대응하는 제 1 전극층상에 형성된 유기발광층; 상기 유기발광층상에 형성된 제 2 전극층; 상기 각 화소영역의 둘레를 둘러싸며, 상기 제 1 전극층상에 형성된 다수개의 격벽들; 상기 각 격벽들의 상측으로부터 각 격벽들 사이의 공간으로 돌출되어, 상기 제 1 전극층과 간격을 두고 마주보는 돌출부; 상기 각 격벽들 사이에 마련된 공간의 제 1 전극층상에 형성되며, 가장자리가 상기 각 격벽의 돌출부에 의해서 가려지는 버스라인; 상기 버스라인의 가장자리와 상기 돌출부 사이에 마련된 공간에 형성되며, 상기 돌출부가 가리는 버스라인의 가장자리 면적보다 더 적은 면적을 가리는 더미층; 및, 상기 버스라인의 중심부에 형성되며, 상기 버스라인보다 더 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 포함하여 구성되는 것이다.

유기 전계발광표시장치, 발광용액, 오버플로우(overflow), 격벽

Description

유기 전계발광표시장치 및 이의 제조방법{A electro-Luminescence display device and a method for fabricating the same}

도 1은 종래의 유기 전계발광표시장치의 상판에 대한 구성도

도 2는 도 1의 Ⅰ~Ⅰ의 선상에 따른 단면도

도 3은 발광용액이 오버플로우된 상태를 설명하기 위한 도면

도 4는 발광용액의 오버플로우에 의한 제 2 전극층의 단락을 설명하기 위한 도 3의 Ⅱ~Ⅱ의 선상에 따른 단면도

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 상부 기판에 대한 구성도

도 6은 도 5의 Ⅲ~Ⅲ의 선상에 따른 단면도

도 7a 내지 도 7i는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도

도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치에서 발광용액이 화소영역간의 공간으로 침투하였을 경우, 상기 발광용액의 흐름을 설명하기 위한 도면

도 9는 도 8의 Ⅳ~Ⅳ의 선상에 따른 단면도

도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 상부 기판 에 대한 구성도

도 11은 도 10의 Ⅴ~Ⅴ의 선상에 따른 단면도

도 12a 내지 도 12g는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도

도 13은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치에서 발광용액(623)이 화소영역간의 공간으로 침투하였을 경우, 상기 발광용액의 흐름을 설명하기 위한 도면

도 14는 도 13의 Ⅵ~Ⅵ의 선상에 따른 단면도

＊도면의 주요부에 대한 부호 설명

509 : 공간 504 : 격벽

502 : 버스라인 505 : 돌출부

501 : 제 1 전극층 500 : 기판

503 : 더미층 507 : 제 2 전극층

506 : 유기 발광층 P : 화소영역

508 : 제 2 전극층으로부터 분리된 층

본 발명은 유기 전계발광표시장치에 관한 것으로, 특히 발광용액의 오버플로우에 의한 인접한 전극간의 쇼트를 방지할 수 있는 유기 전계발광표시장치 및 이의 제조방법에 대한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광(Electro-Luminescence)표시장치 등이 있다.

최근에 이와 같은 평판표시장치의 표시품질을 높이고 대화면화를 시도하는 연구들이 활발히 진행되고 있다. 이들 중 전계발광표시장치는 스스로 발광하는 자발광 소자이다. 전계발광표시장치는 전자 및 정공 등의 캐리어를 이용하여 형광물질을 여기시킴으로써 비디오 영상을 표시하게 된다. 이 전계발광표시장치는 사용하는 재료에 따라 무기 전계발광표시장치와 유기 전계발광표시장치로 크게 나뉘어진다. 상기 유기 전계발광표시장치은 100∼200V의 높은 전압을 필요로 하는 무기 전계발광표시장치에 비해 5∼20V 정도의 낮은 전압으로 구동됨으로써 직류 저전압 구동이 가능하다. 또한, 유기 전계발광표시장치는 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트비(contrast ratio) 등의 뛰어난 특징을 갖고 있으므로, 그래픽 디스플레이의 픽셀(pixel), 텔레비젼 영상 디스플레이나 표면 광원(Surface Light Source)의 픽셀로서 사용될 수 있으며, 얇고 가벼우며 색감이 좋기 때문에 차세대 평면 디스플레이로서 적합하다.

한편, 이러한 유기 전계발광표시장치의 구동방식으로는 별도의 박막트랜지스터를 구비하지 않는 패시브 매트릭스 방식(Passive matrix type)이 주로 이용되고 있다.

그러나, 상기 패시브 매트릭스 방식은 해상도나 소비전력, 수명 등에 많은 제한적인 요소를 가지고 있기 때문에, 고해상도나 대화면을 요구하는 차세대 디스플레이 제조를 위한 액티브 매트릭스형 전계발광표시장치가 연구/개발되고 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 유기 전계발광표시장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래의 유기 전계발광표시장치의 상판에 대한 구성도이고, 도 2는 도 1의 Ⅰ~Ⅰ의 선상에 따른 단면도이다.

종래의 유기 전계발광표시장치의 상부 기판(100)은 매트릭스 형태로 배열된 다수개의 화소영역(P)으로 정의되어 있으며, 상기 화소영역(P)을 포함한 상판의 전면에는 제 1 전극층(101)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 제 1 전극층(101)상에는 다수개의 격벽(104)들이 형성되어 있다. 상기 각 격벽(104)은 상기 각 화소영역(P)들간을 서로 격리시키기 위한 것으로, 이를 위해 상기 각 격벽(104)은 상기 각 화소영역(P)의 둘레를 둘러싸고 있다. 여기서, 상기 각 격벽(104)들은 서로 소정간격 이격되어 있기 때문에, 각 격벽(104)들 사이에는 공간(109)이 형성된다.

그리고, 상기 격벽(104)의 일측에는 상기 격벽(104)과 일체로 구성되는 돌출부(105)가 형성되어 있는데, 상기 돌출부(105)는 상기 격벽(104)들 사이에 형성된 공간(109)을 향해 돌출되어 있다. 따라서, 상기 격벽(104) 및 돌출부(105)로 이루어진 단면은 대략 'ㄱ' 형상을 가진다. 여기서, 상기 각 격벽(104)들의 돌출부 (105)는 서로 마주보도록 상기 공간(109)을 향해 돌출되어 있으므로, 상기 공간(109)은 상기 돌출부(105)에 의해 소정부분 가려지게 된다.

그리고, 상기 공간(109)의 내부에는 버스라인(102)이 형성된다. 상기 버스라인(102)은 전체적으로 격자형상을 가진다.

그리고, 상기 버스라인(102)의 가장자리와 상기 돌출부(105) 사이의 공간(109)에는 더미층(103)이 형성된다. 이때, 상기 더미층(103)간의 마주보는 간격은 상기 돌출부(105)간이 마주보는 간격보다 더 넓다. 즉, 상기 돌출부(105)가 가리는 버스라인(102)의 면적이 상기 더미층(103)이 가리는 버스라인(102)의 면적보다 더 크다. 다시말하면, 상기 돌출부(105)는 상기 더미층(103)보다 상기 버스라인(102)의 중심부쪽으로 더 돌출되어 있다. 따라서, 상기 더미층(103)과 돌출부(105)간에는 단차가 발생한다.

그리고, 상기 화소영역(P)의 제 1 전극층(101)상에는 유기 발광층(106)이 형성되어 있으며, 상기 유기 발광층(106)의 상부에는 제 2 전극층(107)이 형성되어 있다.

한편, 상기 더미층(103)과 돌출부(105)간의 단차에 의해 상기 제 2 전극층(107)은 각 더미층(103)과 돌출부(105)간에서 단선된다. 따라서, 상기 제 2 전극층(107)은 각 화소영역(P)마다 서로 분리되어 형성된다. 여기서, 도면의 도번 108은 상기 단차에 의해 제 2 전극층(107)으로부터 분리된 층이다.

이와 같이 구성된 종래의 유기 전계발광표시장치에서, 상기 제 1 전극층(101)은 상기 유기 발광층(106)에 홀(hole)을 주입하는 홀 주입전극으로 역할하고, 상기 제 2 전극은 상기 유기 발광층(106)에 전자(electron)를 주입하는 전자 주입전극으로 역할한다.

그러나, 종래의 유기 전계발광표시장치에는 다음과 같은 문제점이 있었다.

도 3은 발광용액이 오버플로우된 상태를 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 발광용액의 오버플로우에 의한 제 2 전극층의 단락을 설명하기 위한 도 3의 Ⅱ~Ⅱ의 선상에 따른 단면도이다.

즉, 상기 유기 발광층(106)은 발광용액(136)으로 이루어지는데, 상기 발광용액(136)은 잉크젯 방식의 도포장치(도시되지 않음)에 의해 상기 화소영역(P)에 선택적으로 도포된다. 그러나, 상기 발광용액(136)은 상기 주입장치의 노즐이 제대로 정렬되지 않게 되면, 도 3에 도시된 바와 같이, 화소영역(P)외에 다른 부분으로 떨어질 수 있다. 구체적으로 상기 발광용액(136)이 상기 화소영역(P)의 사이의 공간(109)(즉, 격벽(104)들 사이의 공간(109))에 떨어지게 되면 문제가 발생한다.

구체적으로, 상기 발광용액(136)은 액체이지만, 점성을 가지고 있기 때문에, 상기 공간(109)에 떨어졌을 때, 양 격벽(104) 방향으로 잘 퍼지지 못하게 되어 상기 발광용액이 상기 돌출부(105)상으로 오버플로우 되게 된다.

이와 같이, 상기 발광용액(136)이 오버플로우되면, 상기 공간(109)을 사이에 두고 서로 대향하는 돌출부(105)들간이 서로 상기 오버플로우된 발광용액(136)을 매개로 서로 연결된다. 그러면, 유기 발광층(106)상에 제 2 전극층(107)을 형성할 때, 상기 제 2 전극층(107)이 돌출부(105) 사이에서 단선되지 않게 된다. 따라서, 각 화소영역(P)의 유기 발광층(106)이 서로 단락되는 문제점이 발생된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 격벽 사이이 공간에 버스라인보다 더 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 형성함으로써, 발광용액이 상기 공간에 도포될 경우, 상기 발광용액이 상기 공간으로 잘 퍼지도록 하여 상기 공간의 일부분에서 상기 발광용액의 오버플로우를 방지할 수 있는 유기 전계발광표시장치 및 이의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기 전계발광표시장치는, 다수개의 화소영역들을 갖는 기판; 상기 화소영역들을 포함한 상기 기판의 전면에 형성된 제 1 전극층; 상기 화소영역에 대응하는 제 1 전극층상에 형성된 유기발광층; 상기 유기발광층상에 형성된 제 2 전극층; 상기 각 화소영역의 둘레를 둘러싸며, 상기 제 1 전극층상에 형성된 다수개의 격벽들; 상기 각 격벽들의 상측으로부터 각 격벽들 사이의 공간으로 돌출되어, 상기 제 1 전극층과 소정 간격을 두고 마주보는 돌출부; 상기 각 격벽들 사이에 마련된 공간의 제 1 전극층상에 형성되며, 가장자리가 상기 각 격벽의 돌출부에 의해서 가려지는 버스라인; 상기 버스라인의 가장자리와 상기 돌출부 사이에 마련된 공간에 형성되며, 상기 돌출부가 가리는 버스라인의 가장자리 면적보다 더 적은 면적을 가리는 더미층; 및, 상기 버스라인의 중심부에 형성되며, 상기 버스라인보다 더 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 또 다른 유기 전계 발광표시장치는, 다수개의 화소영역들을 갖는 기판; 상기 화소영역들을 포함한 상기 기판의 전면에 형성된 제 1 전극층; 상기 화소영역에 대응하는 제 1 전극층상에 형성된 유기발광층; 상기 유기발광층상에 형성된 제 2 전극층; 상기 각 화소영역의 둘레를 둘러싸며, 상기 제 1 전극층상에 형성된 다수개의 격벽들; 상기 각 격벽들의 일측으로부터 각 격벽들 사이의 공간으로 돌출되어, 상기 공간내의 제 1 전극층과 소정 간격을 두고 마주보는 돌출부; 상기 공간내의 제 1 전극층의 가장자리와 상기 돌출부 사이에 형성되며, 상기 돌출부가 가리는 상기 공간내의 제 1 전극층의 가장자리 면적보다 더 적은 면적을 가리는 더미층; 및, 상기 각 격벽들 사이에 마련된 공간내의 제 1 전극층상의 중심부에 형성되며, 상기 제 1 전극층보다 더 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 또 다른 유기 전계발광표시장치의 제조방법은, 다수개의 화소영역들을 갖는 기판을 준비하는 단계; 상기 화소영역들을 포함한 상기 기판의 전면에 제 1 전극층을 형성하는 단계; 상기 화소영역을 제외한 상기 제 1 전극층의 상부에 버스라인을 형성하는 단계; 상기 버스라인의 중심부에 위치하도록, 상기 버스라인상에 상기 버스라인보다 더 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 형성하는 단계; 상기 용액 분리층을 덮도록 상기 버스라인의 전면에 더미층을 형성하는 단계; 상기 화소영역의 둘레를 둘러싸도록 상기 제 1 전극층상에 격벽을 형성함과 아울러, 상기 격벽의 상측으로부터 돌출되어, 상기 더미층의 가장자리를 덮도록 돌출부를 형성하는 단계; 상기 격벽 및 돌출부를 마스크로 하여 노출되는 상기 더미층의 중심부를 식각하고, 이때 언더컷이 되 도록 상기 더미층을 식각하여 상기 용액 분리층을 노출시키는 홀을 단계; 상기 화소영역이 위치하는 제 1 전극층상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및, 상기 유기 발광층상에 제 2 전극층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 그 특징으로 한다.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 또 다른 유기 전계발광표시장치의 제조방법은, 다수개의 화소영역들을 갖는 기판을 준비하는 단계; 상기 화소영역들을 포함한 상기 기판의 전면에 제 1 전극층을 형성하는 단계; 상기 화소영역을 제외한 상기 제 1 전극층상에 상기 제 1 전극층보다 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 형성하는 단계; 상기 용액 분리층을 덮도록 상기, 상기 화소영역을 제외한 제 1 전극층상에 더미층을 형성하는 단계; 상기 화소영역의 둘레를 둘러싸도록 상기 제 1 전극층상에 격벽을 형성함과 아울러, 상기 격벽의 상측으로부터 돌출되어, 상기 더미층의 가장자리를 덮도록 돌출부를 형성하는 단계; 상기 격벽 및 돌출부를 마스크로 하여 노출되는 상기 더미층의 중심부를 식각하고, 이때 언더컷이 되도록 상기 더미층을 식각하여 상기 용액 분리층을 노출시키는 홀을 형성하는 단계; 상기 화소영역이 위치하는 제 1 전극층상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및, 상기 유기 발광층상에 제 2 전극층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 그 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 상부 기판에 대한 구성도이고, 도 6은 도 5의 Ⅲ~Ⅲ의 선상에 따른 단면도이다.

본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 상부 기판(500)은, 매트릭스 형태로 배열된 다수개의 화소영역(P)으로 정의되어 있으며, 상기 화소영역(P)을 포함한 기판(500)의 전면에는 제 1 전극층(501)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 제 1 전극층(501)상에는 다수개의 격벽(504)들이 형성되어 있다. 상기 각 격벽(504)은 상기 각 화소영역(P)들간을 서로 격리시키기 위한 것으로, 이를 위해 상기 각 격벽(504)은 상기 각 화소영역(P)의 둘레를 둘러싸고 있다. 여기서, 상기 각 격벽(504)들은 서로 소정간격 이격되어 있기 때문에, 각 격벽(504)들 사이에는 공간(509)이 형성된다.

그리고, 상기 격벽(504)의 일측에는 상기 격벽(504)과 일체로 구성되는 돌출부(505)가 형성되어 있는데, 상기 돌출부(505)는 상기 격벽(504)들 사이에 형성된 공간(509)을 향해 돌출되어 있다. 따라서, 상기 격벽(504) 및 돌출부(505)로 이루어진 단면은 대략 'ㄱ' 형상을 가진다. 여기서, 상기 각 격벽(504)들의 돌출부(505)는 서로 마주보도록 상기 공간(509)을 향해 돌출되어 있으므로, 상기 공간(509)은 상기 돌출부(505)에 의해 소정부분 가려지게 된다.

그리고, 상기 공간(509)의 내부에는 버스라인(502)이 형성된다. 상기 버스라인(502)은 전체적으로 격자형상을 가진다.

그리고, 상기 버스라인(502)의 가장자리와 상기 돌출부(505) 사이의 공간(509)에는 더미층(503)이 형성된다. 이때, 상기 더미층(503)간의 마주보는 간격은 상기 돌출부(505)간이 마주보는 간격보다 더 넓다. 즉, 상기 돌출부(505)가 가리는 버스라인(502)의 면적이 상기 더미층(503)이 가리는 버스라인(502)의 면적보다 더 크다. 다시말하면, 상기 돌출부(505)는 상기 더미층(503)보다 상기 버스라인(502)의 중심부쪽으로 더 돌출되어 있다. 따라서, 상기 더미층(503)과 돌출부(505)간에는 단차가 발생한다.

그리고, 상기 화소영역(P)의 제 1 전극층(501)상에는 유기 발광층(506)이 형성되어 있으며, 상기 유기 발광층(506)의 상부에는 제 2 전극층(507)이 형성된다.

한편, 상기 더미층(503)과 돌출부(505)간의 단차에 의해 상기 제 2 전극층(507)은 각 더미층(503)과 돌출부(505)간에서 단선된다. 따라서, 상기 제 2 전극층(507)은 각 화소영역(P)마다 서로 분리되어 형성된다. 여기서, 도면의 도번 108은 상기 단차에 의해 제 2 전극층(507)으로부터 분리된 층이다.

여기서, 상기 버스라인(502)의 중심부에는 용액 분리층(555)이 형성되어, 상기 공간(509)을 두 개로 나눈다. 상기 용액 분리층(555)은 상기 버스라인(502)보다 더 작은 표면에너지를 갖는다. 상기 표면에너지는 상기 버스라인(502)이 가장 크고, 다음으로 상기 용액 분리층(555)이 크며, 그 다음으로 이후 후술할 발광용액이 크다. 이에 대해서는 이후에 더 자세히 설명하기로 한다.

그리고, 상기 화소영역(P)의 제 1 전극층(501)상에는 유기 발광층(506)이 형성되어 있으며, 상기 유기 발광층(506)의 상부에는 제 2 전극층(507)이 형성된다.

이와 같이 구성된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치에서, 상기 제 1 전극층(501)은 상기 유기 발광층(506)에 홀(hole)을 주입하는 홀 주입전극으로 역할하고, 상기 제 2 전극층(507)은 상기 유기 발광층(506)에 전자 (electron)를 주입하는 전자 주입전극으로 역할한다.

한편, 상기 돌출부(505)는 상기 더미층(503)보다 상기 공간(509)을 향해 더 돌출되어 있어서, 상기 더미층(503)과 돌출부(505)간에는 단차가 발생하며, 상기 단차에 의해 상기 제 2 전극층(507)은 각 더미층(503)과 돌출부(505)간에서 단선된다. 따라서, 상기 제 2 전극층(507)은 각 화소영역(P)마다 서로 분리되어 형성된다. 여기서, 도 6의 도번 509는 상기 단차에 의해 제 2 전극층(507)으로부터 분리된 층이다.

이와 같이 구성된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 제조방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 7a 내지 도 7g는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도이다.

먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이, 매트릭스 형태로 배열된 다수개의 화소영역(P)들을 갖는 기판(500)을 준비하고, 상기 화소영역(P)들을 포함한 상기 기판(500)의 전면에 투명 도전성 금속(ITO; Indium Tin Oxide)을 증착하여, 제 1 전극층(501)을 형성한다.

이어서, 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 전극층(501)을 포함한 상기 기판(500)의 전면에 구리와 같은 전기전도도가 우수한 금속을 증착하고, 이를 포토 및 식각 공정을 통해 패터닝하여, 상기 제 1 전극층(501)상에 버스라인(502)을 형성한다. 이때, 상기 버스라인(502)은 상기 화소영역(P)을 제외한 부분, 및 이후 후술할 격벽이 형성될 부분을 제외한 제 1 전극층(501)상에 형성된다.

다음으로, 도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 버스라인(502)을 포함한 상기 기판(500)의 전면에 크롬을 증착하고, 이를 포토 및 식각 공정을 통해 패터닝하여, 상기 버스라인(502)의 중심부에 용액 분리층(555)을 형성한다.

이어서, 도 7d에 도시된 바와 같이, 상기 용액 분리층(555)을 포함한 상기 기판(500)의 전면에 산화 실리콘(SiO2)을 증착하고, 이를 포토 및 식각 공정을 통해 패터닝하여, 더미층(503)을 형성한다. 이때, 상기 더미층(503)은 상기 용액 분리층(555)을 덮도록 상기 버스라인(502)의 전면에 형성된다.

따라서, 상기 더미층(503)도 상기 버스라인(502)과 동일한 형상을 갖는다. 여기서, 상기 더미층(503)의 중심부는 상기 용액 분리층(555)으로 인해 종래의 더미층보다 더 높은 두께를 갖는다.

이어서, 도 7e에 도시된 바와 같이, 상기 더미층(503)을 포함한 상기 기판(500)의 전면에 폴리이미드를 증착하고, 이를 포토 및 식각 공정을 통해 패터닝하여, 제 1 전극층(501)상에 격벽(504)을 형성함과 동시에 상기 격벽(504)의 일측으로부터 돌출되는 돌출부(505)를 형성한다. 이때, 상기 격벽(504)은 각 화소영역(P)마다, 상기 화소영역(P)을 둘러싸도록 상기 제 1 전극층(501)상에 형성되며, 상기 돌출부(505)는 상기 격벽(504)의 일측으로부터 돌출되어 상기 더미층(503)의 가장자리를 덮도록 형성된다. 따라서, 상기 더미층(503)은 그의 중심부만이 외부로 노출된다.

다음으로, 도 7f에 도시된 바와 같이, 상기 돌출부(505)를 마스크로 하여 노출되는 상기 더미층(503)의 중심부를 식각한다. 이때, 상기 식각을 과도하게 진행 하여 상기 더미층(503)에 언더컷이 발생하도록 한다. 상기 식각작업이 완료된 후에는, 상기 격벽(504) 사이에 상기 제 1 전극층(501)을 노출시키는 공간(509)이 형성된다.

여기서, 상기 식각작업에서는 습식식각 방식이 사용되는데, 이는 상기 습식식각의 특성(즉, 상기 습식식각은 용액을 사용하기 때문에, 식각 진행이 등방적으로 이루어지며, 이로 인해 상기 마스크(여기서는, 돌출부(505))로 가려진 더미층(503)의 가장자리의 일부가 함께 식각되는 언더컷 현상이 발생한다.)을 이용하여, 상기 더미층(503)에 언더컷을 발생시킨다.

이어서, 상기 식각작업이 완료되면, 도 7g에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 전극층(501), 버스라인(502), 용액 분리층(555), 및 격벽(504)을 포함한 상기 기판(500)의 전면을 플라즈마 처리한다. 그러면, 상기 플라즈마에 노출된 제 1 전극층(501)의 표면은 친수성(親水性)을 지니게 되고, 상기 플라즈마에 노출된 격벽(504) 및 용액 분리층(555)의 표면은 소수성(疏水性)을 지니게 된다.

다음으로, 도 7h에 도시된 바와 같이, 잉크젯 방식의 도포장치를 사용하여, 상기 각 화소영역(P)에 위치한 제 1 전극층(501)상에 발광용액(536)을 도포하여, 유기 발광층(506)을 형성한다. 상기 발광용액(536)의 색은 R, G, B 중 어느 하나의 색을 나타낸다.

여기서, 상기 제 1 전극층(501)의 표면은 상기 플라즈마 처리에 의해 친수화되었기 때문에, 상기 발광용액(536)과 상기 제 1 전극층(501)의 표면과의 밀착력이 더욱 좋아진다. 한편, 상기 제 2 격벽(504)의 표면은 상기 플라즈마 처리에 의해 소수화되었기 때문에, 상기 발광용액(536)과 상기 격벽(504)의 표면과의 밀착력이 약화된다. 따라서, 상기 각 화소영역(P)에 위치한 제 1 전극층(501)에만 상기 유기 발광층(506)을 선택적으로 형성할 수 있다.

이어서, 도 7i에 도시된 바와 같이, 상기 유기 발광층(506)을 포함한 상기 기판(500)의 전면에 칼륨, 마그네슘, 또는 알루미늄과 같은 금속층을 증착하여, 음극전극인 제 2 전극층(507)을 형성한다. 이때, 상기 제 2 전극층(507)은 상기 각 화소영역(P)간에서 분리된다. 즉, 상기 제 2 전극층(507)은 상기 더미층(503)과 돌출부(505)간의 단차에 의해 상기 격벽(504) 사이에 위치한 공간(509)에서 분리된다.

따라서, 각 화소영역(P)은 독립적인 제 2 전극층(507)을 갖는다.

여기서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치에서 발광용액(536)이 화소영역(P)간의 공간(509)으로 침투하였을 경우, 상기 발광용액(536)의 오버플로우가 방지되는 원리를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치에서 발광용액이 화소영역간의 공간으로 침투하였을 경우, 상기 발광용액의 흐름을 설명하기 위한 도면이고, 도 9는 도 8의 Ⅳ~Ⅳ의 선상에 따른 단면도이다.

먼저, 도 9에 도시된 바와 같이, 화소영역(P)에 발광용액(536)을 주입하는 단계에서, 도포장치의 노즐이 오정렬되어, 상기 발광용액(536)이 상기 화소영역(P)간의 공간(509)으로 침투하였다고 하면, 상기 발광용액(536)은 상기 용액 분리층(555)과 버스라인(502)에 떨어지게 된다. 이때, 상기 용액 분리층(555)과 상기 버 스라인(502)간의 표면에너지 차에 의해, 상기 발광용액(536)은 상기 버스라인(502)쪽으로 이동하게 된다. 이를 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

즉, 상기 표면에너지는 상기 발광용액(536)이 그 재질에 얼마나 잘 접착되는냐를 나타내는 것으로, 상기 재질의 표면에너지가 클수록 상기 발광용액(536)이 더 잘 접착된다. 따라서, 상기 발광용액(536)은 상기 용액 분리층(555)보다 상기 버스라인(502)에 더 잘 접착된다. 이때, 상기 용액 분리층(555)에 상기 발광용액(536)이 떨어지면, 이때, 상기 버스라인(502)은 상기 발광용액(536)을 끌어당기게 된다. 즉, 상기 용액 분리층(555)과 상기 버스라인(502)간의 표면에너지차에 의해서, 상기 용액 분리층(555)에 떨어진 발광용액(536)은 상기 용액 분리층(555)의 좌우에 형성된 버스라인(502)으로 이끌리게 된다. 따라서, 상기 발광용액(536)이 돌출부(505)상으로 올라가지 않고, 상기 돌출부(505)의 하부에 있는 버스라인(502)쪽으로 이동하게 된다. 또한 버스라인(502)쪽으로 이동된 발광용액(536)은 상기 용액 분리층(555)이 미는 힘과 상기 버스라인(502)이 당기는 힘에 의해, 도 8에 도시된 화살표 방향으로 퍼지게 된다.

이에 의해서 상기 발광용액(536)이 상기 돌출부(505)간을 연결하는 것을 방지할 수 있다. 이는 결국, 상기 각 화소영역(P)간에서 제 2 전극층(507)간의 단락을 방지하게 된다.

한편, 상기 돌출부(505)와 상기 용액 분리층(555)간의 거리는 종래의 돌출부(105)와 버스라인(102)간의 거리와 동일하다. 즉, 상기 용액 분리층(555)으로 인해 상기 더미층(503)은 상기 용액 분리층(555)의 두께만큼 더 두꺼워지므로, 상기 더 미층(503)을 식각하였을 때 상기 돌출부(505)와 상기 용액 분리층(555)간의 거리는 종래의 돌출부(105)와 버스라인(102)간의 거리와 동일하게 된다. 따라서, 상기 본 발명에서의 공간(509)의 크기와 종래의 공간(509)의 크기는 거의 동일해진다. 한편, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 용액 분리층(555)의 각 측면들이 상기 격벽(504)쪽을 향해서 경사지도록 형성하여, 상기 공간내(509)에 침투된 발광용액(536)이 상기 격벽(504)쪽으로 더 잘 흘러가도록 유도할 수 있다.

이하, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 상부 기판에 대한 구성도이고, 도 11은 도 10의 Ⅴ~Ⅴ의 선상에 따른 단면도이다.

본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 상부 기판(600)은, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 매트릭스 형태로 배열된 다수개의 화소영역(P)으로 정의되어 있으며, 상기 화소영역(P)을 포함한 기판(600)의 전면에는 제 1 전극층(601)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 제 1 전극층(601)상에는 다수개의 격벽(604)들이 형성되어 있다. 상기 각 격벽(604)은 상기 각 화소영역(P)들간을 서로 격리시키기 위한 것으로, 이를 위해 상기 각 격벽(604)은 상기 각 화소영역(P)의 둘레를 둘러싸고 있다. 여기서, 상기 각 격벽(604)들은 서로 소정간격 이격되어 있기 때문에, 각 격벽(604)들 사이에는 공간(609)이 형성된다.

그리고, 상기 격벽(604)의 일측에는 상기 격벽(604)과 일체로 구성되는 돌출 부(605)가 형성되어 있는데, 상기 돌출부(605)는 상기 격벽(604)들 사이에 형성된 공간(609)을 향해 돌출되어 있다. 따라서, 상기 격벽(604) 및 돌출부(605)로 이루어진 단면은 대략 'ㄱ' 형상을 가진다. 여기서, 상기 각 격벽(604)들의 돌출부(605)는 서로 마주보도록 상기 공간(609)을 향해 돌출되어 있으므로, 상기 공간(609)은 상기 돌출부(605)에 의해 소정부분 가려지게 된다.

그리고, 상기 공간(609)의 내부에는 용액 분리층(666)이 형성된다. 상기 용액 분리층(666)은 전체적으로 격자형상을 가진다. 또한, 상기 용액 분리층(666)은 상기 격벽(604) 사이의 공간(609)에 형성된 제 1 전극층(601)의 중심부에 형성된다. 즉, 상기 용액 분리층(666)은 상기 공간(609)내의 제 1 전극층(601)을 완전히 가리지 않고, 상기 제 1 전극층(601)의 가장자리를 노출시키도록 형성된다.

이와 같이, 상기 용액 분리층(666)은 상기 공간(609)을 두 개로 나눈다. 그리고, 상기 용액 분리층(666)은 상기 제 1 전극층(601)보다 더 작은 표면에너지를 갖는다. 상기 표면에너지는 상기 제 1 전극층(601)이 가장 크고, 다음으로 상기 용액 분리층(666)이 크며, 그 다음으로 이후 후술할 발광용액이 가장 작다. 이에 대해서는 이후에 더 자세히 설명하기로 한다.

한편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치에서, 상기 용액 분리층(666)은 제 1 실시예의 버스라인(502)의 역할도 함께 한다.

그리고, 상기 공간(609)내의 제 1 전극층(601)의 가장자리와 상기 돌출부(605) 사이의 공간(609)에는 더미층(603)이 형성된다. 이때, 상기 더미층(603)간의 마주보는 간격은 상기 돌출부(605)간이 마주보는 간격보다 더 넓다. 즉, 상기 돌출 부(605)가 가리는 제 1 전극층(601)의 면적이 상기 더미층(603)이 가리는 제 1 전극층(601)의 면적보다 더 크다. 다시말하면, 상기 돌출부(605)는 상기 더미층(603)보다 상기 제 1 전극층(601)의 중심부를 향해 더 돌출되어 있다. 따라서, 상기 더미층(603)과 돌출부(605)간에는 단차가 발생한다.

그리고, 상기 화소영역(P)의 제 1 전극층(601)상에는 유기 발광층(606)이 형성되어 있으며, 상기 유기 발광층(606)의 상부에는 제 2 전극층(607)이 형성된다.

한편, 상기 더미층(603)과 돌출부(605)간의 단차에 의해 상기 제 2 전극층(607)은 각 더미층(603)과 돌출부(605)간에서 단선된다. 따라서, 상기 제 2 전극층(607)은 각 화소영역(P)마다 서로 분리되어 형성된다. 여기서, 도 11의 도번 608은 상기 단차에 의해 제 2 전극층(607)으로부터 분리된 층이다.

이와 같이 구성된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치에서, 상기 제 1 전극층(601)은 상기 유기 발광층(606)에 홀(hole)을 주입하는 홀 주입전극으로 역할하고, 상기 제 2 전극층(607)은 상기 유기 발광층(606)에 전자(electron)를 주입하는 전자 주입전극으로 역할한다.

한편, 상기 돌출부(605)는 상기 더미층(603)보다 상기 공간(609)을 향해 더 돌출되어 있어서, 상기 더미층(603)과 돌출부(605)간에는 단차가 발생하며, 상기 단차에 의해 상기 제 2 전극층(607)은 각 더미층(603)과 돌출부(605)간에서 단선된다. 따라서, 상기 제 2 전극층(607)은 각 화소영역(P)마다 서로 분리되어 형성된다. 여기서, 도 11의 도번 608은 상기 단차에 의해 제 2 전극층(607)으로부터 분리된 층이다.

이와 같이 구성된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 제조방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 12a 내지 도 12g는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도이다.

먼저, 도 12a에 도시된 바와 같이, 매트릭스 형태로 배열된 다수개의 화소영역(P)들을 갖는 기판(600)을 준비하고, 상기 화소영역(P)들을 포함한 상기 기판(600)의 전면에 투명 도전성 금속(ITO; Indium Tin Oxide)을 증착하여, 제 1 전극층(601)을 형성한다.

다음으로, 도 12b에 도시된 바와 같이, 제 1 전극층(601)을 포함한 상기 기판(600)의 전면에 크롬을 증착하고, 이를 포토 및 식각 고정을 통해 패터닝하여, 상기 제 1 전극층(601)상에 용액 분리층(666)을 형성한다. 이때, 상기 용액 분리층(666)은 이후 후술할 격벽 사이의 공간(609)내에 위치한 제 1 전극층(601)의 중심부에 위치하도록 형성된다.

이어서, 도 12c에 도시된 바와 같이, 상기 용액 분리층(666)을 포함한 상기 기판(600)의 전면에 산화 실리콘(SiO2)을 증착하고, 이를 포토 및 식각 공정을 통해 패터닝하여, 더미층(603)을 형성한다. 이때, 상기 더미층(603)은 상기 용액 분리층(666)을 완전히 덮도록 상기 제 1 전극층(601)상에 형성된다.

따라서, 상기 더미층(603)도 상기 용액 분리층(666)과 동일한 형상을 갖는다.

이어서, 도 12d에 도시된 바와 같이, 상기 더미층(603)을 포함한 상기 기판 (600)의 전면에 폴리이미드를 증착하고, 이를 포토 및 식각 공정을 통해 패터닝하여, 제 1 전극층(601)상에 격벽(604)을 형성함과 동시에 상기 격벽(604)의 일측으로부터 돌출되는 돌출부(605)를 형성한다. 이때, 상기 격벽(604)은 각 화소영역(P)마다, 상기 화소영역(P)을 둘러싸도록 상기 제 1 전극층(601)상에 형성되며, 상기 돌출부(605)는 상기 격벽(604)의 일측으로부터 돌출되어 상기 더미층(603)의 가장자리를 덮도록 형성된다. 따라서, 상기 더미층(603)은 그의 중심부만이 외부로 노출된다.

다음으로, 도 12e에 도시된 바와 같이, 상기 돌출부(605)를 마스크로 하여 노출되는 상기 더미층(603)의 중심부를 식각한다. 이때, 상기 식각을 과도하게 진행하여 상기 더미층(603)에 언더컷이 발생하도록 한다. 상기 식각작업이 완료된 후에는, 상기 격벽(604) 사이에 상기 제 1 전극층(601)을 노출시키는 공간(609)이 형성된다.

여기서, 상기 식각과정에서는 습식식각 방식이 사용되는데, 이는 상기 습식식각의 특성(즉, 상기 습식식각은 용액을 사용하기 때문에, 식각 진행이 등방적으로 이루어지며, 이로 인해 상기 마스크(여기서는, 돌출부(605))로 가려진 더미층(603)의 가장자리의 일부가 함께 식각되는 언더컷 현상이 발생한다.)을 이용하여, 상기 더미층(603)에 언더컷을 발생시킨다.

이어서, 상기 식각작업이 완료되면, 도 12f에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 전극층(601), 용액 분리층(666), 및 격벽(604)을 포함한 상기 기판(600)의 전면을 플라즈마 처리한다. 그러면, 상기 플라즈마에 노출된 제 1 전극층(601)의 표면은 친수성(親水性)을 지니게 되고, 상기 플라즈마에 노출된 격벽(604) 및 용액 분리층(666)의 표면은 소수성(疏水性)을 지니게 된다.

다음으로, 도 12g에 도시된 바와 같이, 잉크젯 방식의 도포장치를 사용하여, 상기 각 화소영역(P)에 위치한 제 1 전극층(601)상에 발광용액(623)을 도포함으로써, 유기 발광층(606)을 형성한다. 상기 발광용액(623)의 색은 R, G, B 중 어느 하나의 색을 나타낸다.

여기서, 상기 제 1 전극층(601)의 표면은 상기 플라즈마 처리에 의해 친수화되었기 때문에, 상기 발광용액(623)과 상기 제 1 전극층(601)의 표면과의 밀착력이 더욱 좋아진다. 한편, 상기 격벽(604)의 표면은 상기 플라즈마 처리에 의해 소수화되었기 때문에, 상기 발광용액(623)과 상기 격벽(604)의 표면과의 밀착력이 약화된다. 따라서, 상기 각 화소영역(P)에 위치한 제 1 전극층(601)에만 상기 유기 발광층(606)을 선택적으로 형성할 수 있다.

이어서, 도 12h에 도시된 바와 같이, 상기 유기 발광층(606)을 포함한 상기 기판(600)의 전면에 칼륨, 마그네슘, 또는 알루미늄과 같은 금속층을 증착하여, 음극전극인 제 2 전극층(607)을 형성한다. 이때, 상기 전극층은 상기 각 화소영역(P)간에서 분리된다. 즉, 상기 제 2 전극층(607)은 상기 더미층(603)과 상기 돌출부(605)간의 단차에 의해 상기 격벽(604) 사이에 위치한 공간(609)에서 분리된다.

도 13은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치에서 발광용액이 화소영역간의 공간으로 침투하였을 경우, 상기 발광용액의 흐름을 설명하기 위한 도면이고, 도 14는 도 13의 Ⅵ~Ⅵ의 선상에 따른 단면도이다.

먼저, 도 14에 도시된 바와 같이, 화소영역(P)에 발광용액(623)을 주입하는 단계에서, 도포장치의 노즐이 오정렬되어, 상기 발광용액(623)이 상기 화소영역(P)간의 공간(609)으로 침투하였다고 하면, 상기 발광용액(623)은 상기 용액 분리층(666)과 공간(609)내의 제 1 전극층(601)상에 떨어지게 된다. 이때, 상기 용액 분리층(666)과 상기 제 1 전극층(601)간의 표면에너지 차에 의해, 상기 발광용액(623)은 상기 제 1 전극층(601)쪽으로 이동하게 된다. 이를 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

즉, 상기 표면에너지는 상기 발광용액(623)이 그 재질에 얼마나 잘 접착되는냐를 나타내는 것으로, 상기 재질의 표면에너지가 클수록 상기 발광용액(623)이 더 잘 접착된다. 따라서, 상기 발광용액(623)은 상기 용액 분리층(666)보다 상기 제 1 전극층(601)에 더 잘 접착된다. 이때, 상기 용액 분리층(666)에 상기 발광용액(623)이 떨어지면, 이때, 상기 제 1 전극층(601)은 상기 발광용액(623)을 끌어당기게 된다. 즉, 상기 용액 분리층(666)과 상기 제 1 전극층(601)간의 표면에너지차에 의해서, 상기 용액 분리층(666)에 떨어진 발광용액(623)은 상기 용액 분리층(666)의 좌우에 형성된 제 1 전극층(601)으로 이끌리게 된다. 따라서, 상기 발광용액(623)이 돌출부(605)상으로 올라가지 않고, 상기 돌출부(605)의 하부에 있는 제 1 전극층(601)쪽으로 이동하게 된다. 또한, 제 1 전극층(601)쪽으로 이동된 발광용액(623)은 상기 용액 분리층(666)이 미는 힘과 상기 제 1 전극층(601)이 당기는 힘에 의해, 도 8에 도시된 화살표 방향으로 퍼지게 된다. 한편, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 용액 분리층(666)의 각 측면들이 상기 격벽(604)쪽을 향해서 경사지도록 형성하여, 상기 공간내(609)에 침투된 발광용액(636)이 상기 격벽(604)쪽으로 더 잘 흘러가도록 유도할 수 있다.

이에 의해서 상기 발광용액(623)이 상기 돌출부(605)간을 연결하는 것을 방지할 수 있다. 이는 결국, 상기 각 화소영역(P)간에서 제 2 전극층(607)간의 단락을 방지하게 된다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계발광표시장치에는 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명에서는 격벽에 의해서 형성되는 공간을 중심부를 가르도록, 상기 공간내에 용액 분리층을 형성하였다.

상기 용액 분리층은 상기 공간내에 형성된 버스라인보다 더 적은 표면에너지를 가지며, 발광용액보다는 더 큰 표면에너지를 갖는다. 따라서, 상기 공간상에 떨어진 발광용액은 상기 용액 분리층과 상기 버스라인간의 표면 에너지 차에 의해 공간의 가장자리에 위치한 격벽쪽으로 끌려들어가게 된다.

이에 의해, 상기 공간상에 침투한 발광용액이 한 곳에 몰리는 것을 방지할 수 있다.

Claims (10)

1. 다수개의 화소영역들을 갖는 기판;

   상기 화소영역들을 포함한 상기 기판의 전면에 형성된 제 1 전극층;

   상기 화소영역에 대응하는 제 1 전극층상에 형성된 유기발광층;

   상기 유기발광층상에 형성된 제 2 전극층;

   상기 각 화소영역의 둘레를 둘러싸며, 상기 제 1 전극층상에 형성된 다수개의 격벽들;

   상기 각 격벽들의 상측으로부터 각 격벽들 사이의 공간으로 돌출되어, 상기 제 1 전극층과 간격을 두고 마주보는 돌출부;

   상기 각 격벽들 사이에 마련된 공간의 제 1 전극층상에 형성되며, 가장자리가 상기 각 격벽의 돌출부에 의해서 가려지는 버스라인;

   상기 버스라인의 가장자리와 상기 돌출부 사이에 마련된 공간에 형성되며, 상기 돌출부가 가리는 버스라인의 가장자리 면적보다 더 적은 면적을 가리는 더미층; 및,

   상기 버스라인의 중심부에 형성되며, 상기 버스라인보다 더 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 용액 분리층의 양측이 상기 격벽을 향해 경사진 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치.
3. 다수개의 화소영역들을 갖는 기판;

   상기 화소영역들을 포함한 상기 기판의 전면에 형성된 제 1 전극층;

   상기 화소영역에 대응하는 제 1 전극층상에 형성된 유기발광층;

   상기 유기발광층상에 형성된 제 2 전극층;

   상기 각 화소영역의 둘레를 둘러싸며, 상기 제 1 전극층상에 형성된 다수개의 격벽들;

   상기 각 격벽들의 일측으로부터 각 격벽들 사이의 공간으로 돌출되어, 상기 공간내의 제 1 전극층과 간격을 두고 마주보는 돌출부;

   상기 공간내의 제 1 전극층의 가장자리와 상기 돌출부 사이에 형성되며, 상기 돌출부가 가리는 상기 공간내의 제 1 전극층의 가장자리 면적보다 더 적은 면적을 가리는 더미층; 및,

   상기 각 격벽들 사이에 마련된 공간내의 제 1 전극층상의 중심부에 형성되며, 상기 제 1 전극층보다 더 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 용액 분리층의 양측이 상기 격벽을 향해 경사진 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치.
5. 다수개의 화소영역들을 갖는 기판을 준비하는 단계;

   상기 화소영역들을 포함한 상기 기판의 전면에 제 1 전극층을 형성하는 단계;

   상기 화소영역을 제외한 상기 제 1 전극층의 상부에 버스라인을 형성하는 단계;

   상기 버스라인의 중심부에 위치하도록, 상기 버스라인상에 상기 버스라인보다 더 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 형성하는 단계;

   상기 용액 분리층을 덮도록 상기 버스라인의 전면에 더미층을 형성하는 단계;

   상기 화소영역의 둘레를 둘러싸도록 상기 제 1 전극층상에 격벽을 형성함과 아울러, 상기 격벽의 상측으로부터 돌출되어, 상기 더미층의 가장자리를 덮도록 돌출부를 형성하는 단계;

   상기 격벽 및 돌출부를 마스크로 하여 노출되는 상기 더미층의 중심부를 식각하고, 이때 언더컷이 되도록 상기 더미층을 식각하여 상기 용액 분리층을 노출시키는 공간을 단계;

   상기 화소영역이 위치하는 제 1 전극층상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및,

   상기 유기 발광층상에 제 2 전극층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치의 제조방법.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 더미층의 식각작업이 완료된 기판을 플라즈마 처리하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치의 제조방법.
7. 제 5 항에 있어서,

   상기 용액 분리층의 양측을 상기 격벽을 향해 경사지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치의 제조방법.
8. 다수개의 화소영역들을 갖는 기판을 준비하는 단계;

   상기 화소영역들을 포함한 상기 기판의 전면에 제 1 전극층을 형성하는 단계;

   상기 화소영역을 제외한 상기 제 1 전극층상에 상기 제 1 전극층보다 작은 표면 에너지를 갖는 용액 분리층을 형성하는 단계;

   상기 용액 분리층을 덮도록 상기, 상기 화소영역을 제외한 제 1 전극층상에 더미층을 형성하는 단계;

   상기 화소영역의 둘레를 둘러싸도록 상기 제 1 전극층상에 격벽을 형성함과 아울러, 상기 격벽의 상측으로부터 돌출되어, 상기 더미층의 가장자리를 덮도록 돌출부를 형성하는 단계;

   상기 격벽 및 돌출부를 마스크로 하여 노출되는 상기 더미층의 중심부를 식각하고, 이때 언더컷이 되도록 상기 더미층을 식각하여 상기 용액 분리층을 노출시키는 공간을 형성하는 단계;

   상기 화소영역이 위치하는 제 1 전극층상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및,

   상기 유기 발광층상에 제 2 전극층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치의 제조방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 더미층의 식각작업이 완료된 기판을 플라즈마 처리하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치의 제조방법.
10. 제 8 항에 있어서,

    상기 용액 분리층의 양측을 상기 격벽을 향해 경사지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시장치의 제조방법.

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