JP5984475B2

JP5984475B2 - マスクフレーム組立体の製造方法

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Inventors: 容煥金
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Description

本発明の一側面は、分割マスク及びこれを利用したマスクフレーム組立体の組立方法に関する。

一般的に、ディスプレイ装置のうち有機発光表示装置は、視野角が広くてコントラストが優れているだけでなく、応答速度が速いという長所を持っている。

有機発光表示装置は、アノードとカソードとに注入される正孔と電子とを発光層で再結合して発光する原理により色相を具現できるものであって、アノードとカソードとの間に発光層を挿入した積層型構造である。しかし、前記構造では高効率発光を得難いため、それぞれの電極と発光層との間に電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層、及び正孔注入層などの中間層を選択的に追加挿入して利用している。

一方、有機発光表示装置の電極と、発光層を含む中間層は色々な方法によって形成される。このうちの一つの方法が蒸着法である。蒸着方法を利用して有機発光表示装置を製造するためには、基板上に形成される薄膜などのパターンと同じパターンを持つファインメタルマスク（ＦＭＭ：Fine Metal Mask）を整列し、薄膜の原素材を蒸着して所望のパターンの薄膜を形成する。

このようなＦＭＭが大面積化すれば、パターン形成のためのエッチング誤差も大きくなり、自重による中央部の反り現象も激しくなるため、最近ではマスクを複数のスティック状にした後、フレームに付けて使用する分割マスクタイプのマスクフレーム組立体が好まれている。

この分割マスクを使用すれば、全体マスクフレーム組立体のうち、一部の分割マスクに問題が生じる場合、その当該分割マスクだけ入れ替えればよいという長所もある。

一方、このような分割マスクをフレームに付着する時には、分割マスクを分割マスクの長手方向に引っ張る過程を経る。もし、分割マスクが引っ張られていない状態でフレームに結合されれば、分割マスクのボディーに凸凹なウェーブが発生し、これは、以後の蒸着工程でマスクと基板との間の密着性を低下させて、精密な蒸着を阻害する要因として作用する。したがって、分割マスクをフレームに付着する時には、分割マスクを分割マスクの長手方向に引っ張った後にフレームに付着する。

最近の大型ディスプレイ装置の需要に対応するために分割マスクは、その長さが約１，８４０ｍｍレベルに大型化しており、各分割マスク毎に長手方向にウェーブが生じる問題があった。

本発明の一実施形態は、分割マスクのウェーブの発生を抑制できるように改善された分割マスクと、それを利用したマスクフレーム組立体の組立方法を提供する。

本発明の一実施形態による分割マスクは、蒸着用パターンが形成されたスティック本体部と、前記本体部の長手方向の両側端部からそれぞれの外側に延びた複数のクランピング部を備え、前記クランピング部は、前記スティック本体部の長手方向に沿って延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部と、前記少なくも一つ以上のサイドクランピング部の最外郭のサイドクランピング部の近傍に前記スティック本体の長手方向と幅方向との間の斜め方向に沿って延びて配される斜めクランピング部と備え、前記斜めクランピング部と前記最外郭のサイドクランピング部とがなす角度（θ）は、０°より大きく９０°より小さい（０°＜θ＜９０°）。

前記サイドクランピング部は、前記本体部から長手方向に沿って外側に延びる。前記サイドクランピング部は、前記本体部の一側から延びた第１サイドクランピング部と、前記一側に対向する前記本体部の他側から延びた第２サイドクランピング部と、で形成される。

前記第１サイドクランピング部と前記第２サイドクランピング部とは、同数で形成される。前記第１サイドクランピング部は、等間隔で形成される。前記第２サイドクランピング部は、等間隔で形成される。前記第１サイドクランピング部間の間隔と前記第２サイドクランピング部間の間隔とは、互いに同一である。前記第１サイドクランピング部と前記第２サイドクランピング部とは、互いに対応するように形成される。前記第１サイドクランピング部と第２サイドクランピング部とは、同数で形成される。

前記サイドクランピング部は、同一長に形成される。前記サイドクランピング部は、同一幅に形成される。

前記斜めクランピング部は、前記本体部の角領域から延びる。前記斜めクランピング部は、前記本体部の４つの角領域から延びるように形成される。前記斜めクランピング部それぞれと前記斜めクランピング部それぞれとに隣接した前記最外郭のサイドクランピング部間の角度は、いずれも同一である。前記斜めクランピング部は、同一長に形成される。前記斜めクランピング部は、同一幅に形成される。

前記本体部と前記サイドクランピング部との間と、前記本体部と前記斜めクランピング部との間が、マスクフレーム組立体のフレームに溶接される。前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部とは、前記フレームに溶接された後で除去される。

本発明の一実施形態によるマスクフレーム組立体の組立方法は、蒸着用パターンが形成されたスティック本体部、前記本体部の両側端部からそれぞれの外側に延びた複数のクランピング部を備え、前記クランピング部は、前記スティック本体部の長手方向に沿って延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部、及び前記少なくとも一つのサイドクランピング部の最外郭のサイドクランピング部の近傍に前記スティック本体部の長手方向と幅方向との間の斜め方向に沿って延びて配される斜めクランピング部がそれぞれ備えられた複数の分割マスクと、前記複数の分割マスクが接合されるフレームと、を用意する段階と、前記各分割マスクの前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部とを把持し、引張力を加えつつ前記本体部を前記フレームに溶接する段階と、を含む。

前記溶接が完了した後、前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部とを切断する段階をさらに含む。

前記本体部と前記フレームとの溶接時、前記本体部と前記サイドクランピング部との間、及び前記本体部と前記斜めクランピング部との間を前記フレームに溶接する。

前記斜めクランピング部と前記最外郭のサイドクランピング部とがなす角度（θ）は、０°＜θ＜９０°である。前記サイドクランピング部は、前記本体部から長手方向に沿って外側に延びる。

前記サイドクランピング部は、前記本体部の一側から延びた第１サイドクランピング部と、前記一側に対向する前記本体部の他側から延びた第２サイドクランピング部と、で形成される。前記第１サイドクランピング部と前記第２サイドクランピング部とは、同数で形成される。

前記第１サイドクランピング部は、等間隔で形成される。前記第２サイドクランピング部は、等間隔で形成される。前記第１サイドクランピング部間の間隔と前記第２サイドクランピング部間の間隔とは、互いに同一である。

前記第１サイドクランピング部と前記第２サイドクランピング部とは、互いに対応するように形成される。前記第１サイドクランピング部と第２サイドクランピング部とは、同数で形成される。前記サイドクランピング部は、同一長に形成される。前記サイドクランピング部は、同一幅に形成される。

前記斜めクランピング部は、前記本体部の角から延びる。前記斜めクランピング部は、前記本体部の４つの角から延びるように形成される。前記斜めクランピング部それぞれと前記斜めクランピング部それぞれとに隣接した前記最外郭のサイドクランピング部間の角度は、いずれも同一である。前記斜めクランピング部は、同一長に形成される。前記斜めクランピング部は、同一幅に形成される。

本発明の一実施形態によれば、分割マスクを引っ張った状態でフレームに結合させることができるのでウェーブを低減させることができ、したがって、これを蒸着作業に利用すれば、さらに安定的で精密なパターニングが可能になる。

本発明の一実施形態による分割マスクの平面図である。本発明の一実施形態による分割マスクの平面図である。本発明の他の実施形態による分割マスクの平面図である。図１に示した分割マスクとフレームとが結合されたマスクフレーム組立体を示す平面図である。図４に示したマスクフレーム組立体の組立過程を順次に示す図面である。図４に示したマスクフレーム組立体の組立過程を順次に示す図面である。図４に示したマスクフレーム組立体の組立過程を順次に示す図面である。図４に示したマスクフレーム組立体の組立過程を順次に示す図面である。

以下、添付した図面を参照して本発明の望ましい実施形態を詳細に説明すれば、次の通りである。

最近の大型ディスプレイ装置の需要に対応するために分割マスクは、その長さが約１，８４０ｍｍレベルに大型化しており、各分割マスク毎に長手方向にウェーブが生じる問題があった。すなわち、各分割マスクの長さが長くなるにつれて、長手方向に引っ張っている状態を維持できずに屈曲が生じるウェーブ形成問題が発生する。このようになれば、これらの分割マスクを利用して精密なパターンを蒸着せねばならない蒸着工程でも問題が生じる。

したがって、これらの分割マスクのウェーブ発生問題を抑制させうる方案が要求されている。

図１及び図２は、本発明の一実施形態による分割マスクを示す平面図であり、図４は、図１に示した分割マスクとフレームとが結合されたマスクフレーム組立体を示す平面図である。

図１及び図２を参照すれば、本発明の一実施形態による分割マスク１００は、フレーム（図４の３００）に複数個が溶接されてマスクフレーム組立体（図４の４００）を形成し、分割マスク１００は、ニッケル、ニッケル合金、ニッケル−コバルト合金などで形成できる。

本発明の一実施形態による分割マスク１００は、本体部１１０、サイドクランピング部１２０、及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを備える。

本体部１１０は、その内部にパターン１１１が形成されている。パターン１１１を通じて、蒸着物質は被蒸着体に蒸着される。本体部１１０は、フレーム（図４の３００）に溶接されて蒸着作業に使われるフレーム組立体４００を形成する部位であり、サイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、本体部１１０をフレーム３００に溶接する時に引っ張り張力を付与するために形成された部位であって、組立過程中に除去される。接合部（図４の１１５）は、本体部１１０と、サイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄとの間の境界領域であって、フレーム３００に溶接される領域である。

複数の分割マスク１００をフレーム３００に結合させれば、図４に示したようなマスクフレーム組立体４００が形成される。それぞれの分割マスク１００は、フレーム３００の開口３０１にパターン１１１が位置するように配された状態で、接合部１１５が溶接されることで固定され、サイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、点線で示したように溶接後に除去される。

一方、サイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、本体部１１０から外側に延びて形成される。さらに詳細には、サイドクランピング部１２０は、本体部１１０の一側から延びて形成される。すなわち、サイドクランピング部１２０は、本体部１１０の一側から本体部１１０の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って外側に延びて形成される。サイドクランピング部１２０は、第１及び２サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂで形成される。第１サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂは、本体部１１０の一側から外側方向（−Ｘ軸方向）に延びて形成され、第２サイドクランピング部１２２ａ、１２２ｂは、前記一側に対向する本体部１１０の他側から外側方向（Ｘ軸方向）に延びて形成される。

第１及び第２サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂは、同数で形成される。図１及び図２に示したように、第１サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂが２つ形成された場合には、第２サイドクランピング部１２２ａ、１２２ｂも２つ形成され、図３に示したように、第１サイドクランピング部２２１ａ、２２１ｂ、２２１ｃが３つ形成された場合には、第２サイドクランピング部２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃも３つ形成される。

第１サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ間の間隔ｔ１と、第２サイドクランピング部１２２ａ、１２２ｂ間の間隔ｔ２とは、同一でありうる。第１サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂそれぞれの長さは同一であり、第２サイドクランピング部１２２ａ、１２２ｂそれぞれの長さも同一に形成される。また、第１サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂそれぞれの長さと、第２サイドクランピング部１２２ａ、１２２ｂそれぞれの長さとは、同一でありうる。第１サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂの幅ｗ１、ｗ２は同一であり、第２サイドクランピング部１２２ａ、１２２ｂの幅ｗ３、ｗ４は同一であり、第１サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂの幅ｗ１、ｗ２と、第２サイドクランピング部１２２ａ、１２２ｂの幅ｗ３、ｗ４とはいずれも同一でありうる。

斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、サイドクランピング部１２０の両外郭に配される。すなわち、斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂそれぞれは、第１サイドクランピング部１２１ａと第１サイドクランピング部１２１ｂの外郭に配され、斜めクランピング部１３１ｃ、１３１ｄそれぞれは、第２サイドクランピング部１２２ａと第２サイドクランピング部１２２ｂの外郭に配される。

斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄそれぞれは、本体部１１０の４つの角領域１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄから延びるように形成される。

また、斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、サイドクランピング部１２０の最外郭のサイドクランピング部と所定の角度（θ）を持つように形成される。斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄとサイドクランピング部１２０の最外郭のサイドクランピング部との角度（θ）は、０°より大きく９０°より小さい（０°＜θ＜９０°）。すなわち、第１サイドクランピング部１２１ａと斜めクランピング部１３１ａとは角度θ１を持ち、第１サイドクランピング部１２１ｂと斜めクランピング部１３１ｂとは角度θ２を持ち、第２サイドクランピング部１２２ａと斜めクランピング部１３１ｃとは角度θ３を持ち、第２サイドクランピング部１２２ｂと斜めクランピング部１３１ｄとは角度θ４を持つ。角度θ１、θ２、θ３、θ４それぞれは、いずれも同一に形成される。

すなわち、斜めクランピング部１３１ａは、第１サイドクランピング部１２１ａと角度θ１を持つように、角領域１１０ａから延びて形成される。斜めクランピング部１３１ｂは、第１サイドクランピング部１２１ｂと角度θ２を持つように角領域１１０ｂから延びて形成される。斜めクランピング部１３１ｃは、第２サイドクランピング部１２２ａと角度θ３を持つように角領域１１０ｃから延びて形成される。斜めクランピング部１３１ｄは、第２サイドクランピング部１２２ｂと角度θ４を持つように角領域１１０ｄから延びて形成される。

斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄそれぞれは、同じ長さに形成され、同一幅に形成される。

前記のように、第１サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂは、第２サイドクランピング部１２２ａ、１２２ｂ及び斜めクランピング部１３１ｃ、１３１ｄと、本体部１１０を中心に互いに対称的に形成される。このように本体部１１０を中心としてクランピング部が互いに対称的に形成されることで、本体部１１０に引張力が均等に作用される。

分割マスク１００をフレーム３００に溶接する時には、引張器（図示せず）で分割マスク１００のサイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを把持して引き寄せた状態で、前記接合部１１５をフレーム３００に溶接するが、斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂと所定の角度θ１、θ２、θ３、θ４を持つように形成されるところ、本体部１１０の長手方向（Ｘ軸方向）だけでなく、本体部１１０の幅方向（Ｙ軸方向）にも引張力が印加される。したがって、本体部１１０の中央領域で本体部１１０が片寄ることを回避できる。本体部１１０が扁平に維持されるので、被蒸着体（図示せず）と分割マスク１００との密着性を向上させて蒸着時に発生しうるシャドー不良を低減させる。

図３は、本発明の他の実施形態による分割マスクの平面図である。図１及び図２では、第１サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂと第２サイドクランピング部１２２ａ、１２２ｂとがそれぞれ２つずつ形成されているが、図３に示した分割マスク２００は、第１サイドクランピング部２２１ａ、２２１ｂ、２２１ｃと第２サイドクランピング部２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃとがそれぞれ３つずつ形成されている。本発明はこれに限定されず、他の実施形態として、４つ以上の第１及び第２サイドクランピング部が形成される。

図３に示した分割マスク２００は、３個の第１サイドクランピング部２２１ａ、２２１ｂ、２２１ｃは互いに離隔して形成され、これらの間隔はいずれも同一である。３つの第２サイドクランピング部２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃは互いに離隔して形成され、これらの間隔はいずれも同一である。また、第１サイドクランピング部２２１ａ、２２１ｂ、２２１ｃ間の間隔と、第２サイドクランピング部２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃ間の間隔とは同一である。第１サイドクランピング部２２１ａ、２２１ｂ、２２１ｃと第２サイドクランピング部２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃそれぞれの幅がいずれも同一に形成され、それらそれぞれの長さも同一に形成される。

斜めクランピング部１３１ａは、最外郭の第１サイドクランピング部２２１ａと所定の角度をなすように形成され、斜めクランピング部１３１ｂは、最外郭の第１サイドクランピング部２２１ｃと所定の角度をなすように形成され、斜めクランピング部１３１ｃは、最外郭の第１サイドクランピング部２２２ａと所定の角度をなすように形成され、斜めクランピング部１３１ｄは、最外郭の第１サイドクランピング部２２２ｃと所定の角度をなすように形成される。斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄそれぞれとサイドクランピング部２２０間の所定の角度は、いずれも同一であり、前記所定の角度は０°より大きく９０°より小さい。

斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄそれぞれの幅はいずれも同一に形成され、また斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄそれぞれの長さもいずれも同一に形成される。

分割マスク１００を利用したマスクフレーム組立体４００の組立過程は、図５Ａないし図５Ｄに示したような順序で進められる。

まず、分割マスク１００とフレーム３００とを用意する。前記フレーム３００は組立体の外郭枠組を形成するものであって、中央に開口部３０１が形成された方形をなしている。このフレーム３００の互いに対向する一対の辺に、前記分割マスク１００の接合部１１５が溶接で固定される。

前記分割マスク１００は、細長いスティック状の部材であって、前記開口部３０１中に位置するパターン１１１が形成されており、本体部１１０とクランピング部１２０、１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄとの間の接合部１１５が、前述したようにフレーム３００に溶接される。

図５Ａは、最初の分割マスク１００をフレーム３００に結合させる過程を示したものであって、まず該当分割マスク１００の両端にあるサイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを引張器（図示せず）で把持して、外側にぴんと引っ張る。これにより、分割マスク１００には引張力Ｔが加えられるが、前述したように、斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂと所定の角度を成して形成されるため、本体部１１０の長手方向（Ｘ軸方向）だけでなく幅方向（Ｙ軸方向）に引張力が加えられる。これにより、分割マスク１００の本体部１１０にはウェーブが著しく低減して、平坦度の非常に向上した状態になる。この状態で、前記接合部１１５をフレーム３００に溶接して該分割マスク１００を固定させる。

そして、このように溶接が完了した後には、図５Ｂに示したように、接合部１１５外側のサイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを切断して除去する。斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは、サイドクランピング部１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂと所定の角度を成して形成されるので、そのまま置く場合、隣接した他の分割マスク１００の斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄと互いに干渉する恐れがある。したがって、次の分割マスク１００を溶接する前に、サイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄは切断して除去する。

このように最初の分割マスク１００が溶接完了した後には、図５Ｃに示したように、２番目の分割マスク１００の溶接を同じ過程で進める。すなわち、引張器で該分割マスク１００のサイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを把持して引張力Ｔを加え、その状態で接合部１１５をフレーム３００に溶接させる。斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄによって本体部１１０の長手方向と幅方向とに引張力Ｔが加えられ、したがって、ウェーブが著しく低減した状態で溶接が行われる。

そして、同様に溶接が完了した後には、図５Ｄに示したように、接合部１１５外側のサイドクランピング部１２０及び斜めクランピング部１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄを切断して除去する。

このような方式で、分割マスク１００を一つずつフレーム３００に溶接すれば、最終的に、図４に示したようなマスクフレーム組立体４００の組立てが完了する。

したがって、かかる構成の分割マスク１００を利用すれば、マスクフレーム組立体４００の組立て時に分割マスク１００に非常に強い引張力を与えつつフレーム３００に結合させることができるため、ウェーブ形成を抑制してさらに精密なマスクフレーム組立体４００を作ることができる。

前記マスクフレーム組立体４００は、有機発光膜のパターニング工程を含む各種薄膜蒸着用に使われる。

本発明は、図面に示した一実施形態を参考にして説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想により定められねばならない。

本発明は、マスクフレーム組立体関連の技術分野に好適に用いられる。

１００、２００分割マスク
１１０本体部
１１１パターン
１１５接合部
１２０サイドクランピング部
１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄ斜めクランピング部
３００フレーム
４００マスクフレーム組立体

Claims

パターンが形成された本体部、前記本体部の一側から延びた少なくとも一つ以上のサイドクランピング部、及び前記少なくとも一つ以上のサイドクランピング部の最外郭のサイドクランピング部に隣接して配される斜めクランピング部がそれぞれ備えられた複数の分割マスクと、前記複数の分割マスクが接合されるフレームと、を用意する段階と、
前記各分割マスクの前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部とを把持し、引張力を加えつつ前記本体部を前記フレームに溶接する段階と、
前記溶接が完了した後、前記サイドクランピング部と前記斜めクランピング部とを切断する段階を含み、
前記本体部を前記フレームに溶接する段階は、前記本体部と前記フレームとの溶接時、前記本体部と前記サイドクランピング部との間、及び前記本体部と前記斜めクランピング部との間を前記フレームに溶接し、
前記斜めクランピング部と前記サイドクランピング部とがなす角度（θ）は、０°＜θ＜９０°であるマスクフレーム組立体の製造方法。
前記サイドクランピング部は、前記本体部から長手方向に沿って外側に延びた請求項１に記載のマスクフレーム組立体の製造方法。
前記サイドクランピング部は、
前記本体部の一側から延びた第１サイドクランピング部と、
前記一側に対向する前記本体部の他側から延びた第２サイドクランピング部と、で形成される請求項２に記載のマスクフレーム組立体の製造方法。
前記第１サイドクランピング部と前記第２サイドクランピング部とは、同数で形成される請求項３に記載のマスクフレーム組立体の製造方法。
前記第１サイドクランピング部は、等間隔で複数個形成され、かつ前記第２サイドクランピング部も、等間隔で複数個形成される請求項３に記載のマスクフレーム組立体の製造方法。
前記第１サイドクランピング部と前記第２サイドクランピング部とは、互いに対応するように形成された請求項３に記載のマスクフレーム組立体の製造方法。
前記サイドクランピング部は、同一長に形成され、かつ同一幅に形成される請求項１に記載のマスクフレーム組立体の製造方法。
前記斜めクランピング部は、前記本体部の４つの角から延びるように形成される請求項１に記載のマスクフレーム組立体の製造方法。
前記斜めクランピング部それぞれと前記斜めクランピング部それぞれとに隣接した前記サイドクランピング部間の角度は、いずれも同一である請求項８に記載のマスクフレーム組立体の製造方法。
前記斜めクランピング部は、同一長に形成され、かつ同一幅に形成される請求項８に記載のマスクフレーム組立体の製造方法。