TW202026449A - 遮罩組件以及用於使用遮罩組件製造顯示設備的設備 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種遮罩組件、以及用於藉由使用遮罩組件製造顯示設備的設備。所述遮罩組件包含：遮罩框架；在遮罩框架上且包含複數個開口的遮罩板；在遮罩框架上且遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部份的至少二第一遮蔽板；以及在遮罩框架上且遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部份的至少二第二遮蔽板，至少二第一遮蔽板以及至少二第二遮蔽板藉由遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部份定義包含遮罩板中的複數個開口的一部份的沉積區域，且沉積區域被劃分為第一沉積區域以及第二沉積區域。

Description

遮罩組件以及用於使用遮罩組件製造顯示設備的設備
相關申請案之交互參考 本案主張於2018年9月28號在韓國智慧財產局(Korean Intellectual Property Office，KIPO)提交之韓國專利申請號10-2018-0116584之優先權及效益，其全部內容藉由引用併入本文。
一個或多個實施例的態樣關於一種設備，更具體地，尤其關於一種遮罩組件以及用於使用遮罩組件製造顯示設備的設備。
行動電子裝置已被廣泛地使用。平板個人電腦(PCs)以及像是智慧手機的小型電子裝置近來已被廣泛地用作行動電子裝置。
行動電子裝置包含用於提供像是影像的視覺訊息給使用者的顯示設備，以支持各種功能。近來，隨著用於驅動顯示設備的其他組件已被小型化，在行動電子裝置中的顯示設備的百分比已逐漸地增大，且結構已被開發為從平坦狀態彎曲預定角度。
顯示設備可包含顯示影像的顯示區域。顯示區域可被形成，以具有各種形狀，以便製造各種電子裝置。亦即，顯示區域可被形成，以具有不規則形狀，而不是矩形形狀。
用於形成具有不規則形狀的顯示區域的遮罩組件可藉由拉力熱變形(thermally deformed)或是變形(distorted)，由於熱變形或施加的拉力，使得現有的遮罩組件可被改變為具有與設計值不同的值。
根據一個或多個實施例的態樣，提供一種最小化或減少變形的遮罩組件、用於製造顯示設備的設備以及一種顯示設備。
另外的態樣將在下文的描述中部分地闡述，且部分地從該描述中將是顯而易見的，或是可藉由實踐所呈現的實施例而學習。
根據一個或多個實施例，遮罩(mask)組件包含：遮罩框架；在遮罩框架上且包含複數個開口的遮罩板；在遮罩框架上且遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部分的至少二第一遮蔽板，至少二第一遮蔽板彼此間隔開；以及在遮罩框架上且遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部分的至少二第二遮蔽板，至少二第二遮蔽板中的每一個被形成，以具有相對於至少二第一遮蔽板中的每一個的角度(例如，預定角度)，至少二第二遮蔽板彼此間隔開，其中至少二第一遮蔽板以及至少二第二遮蔽板藉由遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部分，來定義包含遮罩板中的複數個開口的一部分的沉積區域，其中沉積區域藉由穿過(pass through)由至少二第一遮蔽板中的兩個相鄰第一遮蔽板所形成的空間的中心且平行於至少二第一遮蔽板中的第一遮蔽板的縱向方向(longitudinal direction)的直線，劃分(divided)為第一沉積區域以及第二沉積區域，且第一沉積區域以及第二沉積區域的形狀彼此不同。
第一遮蔽板可包含：第一遮蔽板主體部分；以及由第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度(例如，預定角度)的第一突起。
第一突起的數量可以是複數個，其中複數個第一突起中(among)的兩個第一突起相對於第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位(located opposite each other)。
相對於第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位的兩個第一突起可具有相同的形狀。
第一遮蔽板以及第二遮蔽板中的至少一的一部分可對著(about)平行於第一遮蔽板或第二遮蔽板中的一個的縱向方向的虛擬中心線對稱(symmetric)。
第一遮蔽板以及第二遮蔽板可彼此垂直。
第二遮蔽板可包含：第二遮蔽板主體部分；以及由第二遮蔽板主體部分突出的第二突起。
第二突起的數量可以是複數個，其中複數個第二突起中的兩個第二突起相對於第二遮蔽板主體部分彼此相對地定位。
第一遮蔽板可包含：第一遮蔽板主體部分；以及由第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度(例如，預定角度)的第一突起。
第一突起以及第二突起中的至少一部分可彼此重疊。
第一突起以及第二突起可具有不同的形狀。
第一突起以及第二突起可具有不同的面積。
根據一個或多個實施例，一種用於製造顯示設備的設備包含：沉積源；面向沉積源以允許從沉積源噴射的(ejected)沉積材料穿過其中的遮罩組件；面向遮罩組件且支持在其上沉積有穿過遮罩組件的沉積材料的基板的基板支持部分，其中遮罩組件包含：遮罩框架；在遮罩框架上且包含複數個開口的遮罩板；在遮罩框架上且遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部分的至少二第一遮蔽板，至少二第一遮蔽板彼此間隔開；以及在遮罩框架上且遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部分的至少二第二遮蔽板，至少二第二遮蔽板中的每一個被形成，以具有相對於至少二第一遮蔽板中的每一個的角度(例如，預定角度)，至少二第二遮蔽板彼此間隔開，其中至少二第一遮蔽板以及至少二第二遮蔽板藉由遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部分來定義包含遮罩板中的複數個開口的一部分的沉積區域，其中沉積區域藉由穿過由至少二第一遮蔽板中的兩個相鄰第一遮蔽板所形成的空間的中心且平行於至少二第一遮蔽板中的第一遮蔽板的縱向方向的直線劃分為第一沉積區域以及第二沉積區域，第一沉積區域以及第二沉積區域的形狀彼此不同。
第一遮蔽板可包含：第一遮蔽板主體部分；以及由第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度(例如，預定角度)的第一突起。
第一突起可包含複數個第一突起，其中複數個第一突起中的兩個第一突起相對於第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位。
相對於第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位的兩個第一突起可具有相同的形狀。
第一遮蔽板以及第二遮蔽板中的至少一的一部分可對著平行於第一遮蔽板或第二遮蔽板中的一個的縱向方向的虛擬中心線對稱。
第一遮蔽板以及第二遮蔽板可彼此垂直。
第二遮蔽板可包含：第二遮蔽板主體部分；以及由第二遮蔽板主體部分突出的第二突起。
第二突起可包含複數個第二突起，其中複數個第二突起中的兩個第二突起相對於第二遮蔽板主體部分彼此相對地定位。
第一遮蔽板可包含：第一遮蔽板主體部分；以及由第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度(例如，預定角度)的第一突起。
第一突起以及第二突起中的至少一部分可彼此重疊。
第一突起以及第二突起可具有不同的形狀。
第一突起以及第二突起可具有不同的面積。
根據一個或多個實施例，一種製造顯示設備的方法包含：佈置(arranging)顯示基板以及遮罩組件在腔體(chamber)中；對準(aligning)顯示基板與遮罩組件；以及藉由供應來自面向遮罩組件的沉積源的沉積材料形成沉積材料圖樣在顯示基板上，其中遮罩組件包含：遮罩框架；在遮罩框架上且包含複數個開口的遮罩板；在遮罩框架上且遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部分的至少二第一遮蔽板，至少二第一遮蔽板彼此間隔開；以及在遮罩框架上且遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部分的至少二第二遮蔽板，至少二第二遮蔽板中的每一個被形成，以具有相對於至少二第一遮蔽板中的每一個的角度(例如，預定角度)，至少二第二遮蔽板彼此間隔開，其中至少二第一遮蔽板以及至少二第二遮蔽板藉由遮蔽遮罩板中的複數個開口的一部分來定義包含遮罩板中的複數個開口的一部分的沉積區域，其中沉積區域藉由穿過由至少二第一遮蔽板中的兩個相鄰第一遮蔽板所形成的空間的中心且平行於至少二第一遮蔽板中的第一遮蔽板的縱向方向的直線劃分為第一沉積區域以及第二沉積區域，第一沉積區域以及第二沉積區域的形狀彼此不同。
第一遮蔽板可包含：第一遮蔽板主體部分；以及由第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度(例如，預定角度)的第一突起。
第一突起可包含複數個第一突起，其中複數個第一突起中的兩個第一突起相對於第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位。
相對於第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位的兩個第一突起可具有相同的形狀。
第一遮蔽板以及第二遮蔽板中的至少一的一部分可對著平行於第一遮蔽板或第二遮蔽板中的一個的縱向方向的虛擬中心線對稱。
第一遮蔽板以及第二遮蔽板可彼此垂直。
第二遮蔽板可包含：第二遮蔽板主體部分；以及由第二遮蔽板主體部分突出的第二突起。
第二突起可包含複數個第二突起，其中複數個第二突起中的兩個第二突起相對於第二遮蔽板主體部分彼此相對地定位。
第一遮蔽板可包含：第一遮蔽板主體部分；以及由第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度(例如，預定角度)的第一突起。
第一突起以及第二突起的至少一部分可彼此重疊。
第一突起以及第二突起可具有不同的形狀。
第一突起以及第二突起可具有不同的面積。
根據一個或多個實施例，一種製造顯示設備的方法包含：佈置顯示基板以及遮罩組件在腔體中；對準顯示基板與遮罩組件；藉由供應來自面向遮罩組件的沉積源所的沉積材料形成沉積材料圖樣在顯示基板上，其中形成在顯示基板上的沉積材料圖樣用於形成顯示區域，顯示區域藉由穿過顯示區域中心的直線劃分為兩個區域，且顯示區域的兩個區域彼此不對稱(asymmetric)。
遮罩組件可定義沉積區域，沉積材料穿過沉積區域以沉積在顯示基板上，使得沉積區域對應於顯示區域。
遮罩組件可包含：在遮罩框架上且包含複數個開口的遮罩板；在遮罩框架上且遮蔽遮罩板的複數個開口的一部分的至少二第一遮蔽板，至少二第一遮蔽板彼此間隔開；以及在遮罩框架上且遮蔽遮罩板的複數個開口的一部分的至少二第二遮蔽板，至少二第二遮蔽板具有相對於至少二第一遮蔽板中的每一個的角度(例如，預定角度)，至少二第二遮蔽板彼此間隔開，其中至少二第一遮蔽板以及至少二第二遮蔽板定義沉積區域。
根據一個或多個實施例，一種製造顯示設備的方法包含：佈置顯示基板以及遮罩組件在腔體中；對準顯示基板與遮罩組件；藉由供應來自面向遮罩組件的沉積源的沉積材料形成沉積材料圖樣在顯示基板上，其中形成在顯示基板上的沉積材料圖樣用於形成顯示區域，顯示區域包含第一顯示區域以及第二顯示區域，當沉積材料的一部分被遮罩組件的第一遮蔽板的突起遮蔽時形成第一顯示區域，遮罩組件的第一遮蔽板的突起突入至(protruding into)藉由遮罩組件定義的沉積區域；，當沉積材料的一部分被遮罩組件的第二遮蔽板的突起遮蔽時形成第二顯示區域，遮罩組件的第二遮蔽板的突起突入至藉由遮罩組件定義的沉積區域。
本揭露可包含各種實施例以及修改，且其之一些實施例將在附圖中繪示並將在本文中進一步詳細描述。搭配附圖，本揭露及其所附方法的效果以及特徵從以下實施例的描述將變得顯而易見。然而，本揭露不限於以下描述的實施例，且可以各種模式來實施。
現在將更詳細地參考一些實施例，其示例在附圖中繪示。在附圖中，相同的元件由相同的元件符號表示，且將不賦予其重複的說明。
應當理解的是，雖然本文可使用術語「第一(first)」、「第二(second)」等來描述各種元件，但是這些元件不應受限於這些術語。這些術語用於將一個元件與另一個元件區分開。
如本文所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數形式「一(a)」、「一(an)」以及「該(the)」也旨在包含複數形式。
還應理解的是，本文所用的術語「包含(comprises)」及/或「包含(comprising)」指定特徵或組件之存在，但不排除一個或多個其他特徵或組件之存在或增加。
也應理解的是，當層、區域或元件被稱為「形成(formed on)」在另一層、區域或元件上時，其可直接或間接地形成在另一層、區域或元件上。亦即，舉例而言，可存在一個或多個中間層、區域或元件。
為了便於說明，可誇大元件的尺寸。換句話說，為了便於說明，可任意地繪示附圖中元件的尺寸以及厚度，因此以下實施例不限於此。
當某個實施例可不同地實現時，特定的製程順序可與經描述的順序不同。舉例而言，兩個連續描述的製程可實質上同時執行、或以與經描述的順序相反的順序執行。
應當理解的是，當層、區域或元件被稱為「連接(connected)」時，層、區域或元件可直接連接，或可以在其之間(therebetween)的一個或多個中間層、區域或元件間接連接。舉例而言，當層、區域或元件電連接時，層、區域或元件可直接電連接，或可以在其之間的一個或多個中間層、區域或元件間接電連接。
如本文所使用的，術語「及/或(and/or)」包含一個或多個相關聯的所列項目的任何以及所有組合。當像是「…中的至少一(at least one)」的表達置於元件列表之前時，是修飾整個元件列表，而非修飾列表中的單一元件。
為便於描述，本文中可使用空間相對術語，像是「之下 (beneath)」、「之下(below)」、「之下(lower)」、「之上(above)」、「之上(upper)」及其類似術語，以描述如圖中所繪示的一個元件或特徵與另一個元件或特徵的關係。但應當理解的是，除了附圖中描述的方位(orientation)之外，空間相對術語旨在涵蓋使用或操作中裝置的不同方位。舉例而言，如果附圖中的裝置被翻轉，則被描述為在其他元件或特徵「之下(below)」或「之下(beneath)」的元件將被定向(oriented)為在其他元件或特徵「之上(above)」。因此，例示性術語「之下(below)」能夠涵蓋下方以及上方兩個方位。裝置可以其他方位定向(旋轉90度或以其他方位)，且根據此解釋本文使用的空間相對描述。
除非另有定義，否則本文中使用的所有術語(包含技術術語以及科學術語)具有與本發明概念的例示性實施例的所屬技術領域的具有通常知識者通常理解的相同含義。應當進一步理解的是，除非在此明確定義，像是在常用詞典中定義的那些術語，應被解釋為具有與相關領域中的含義一致的含義，且將不會以理想化或過於正式的方式進行解釋。
第1圖是根據實施例的遮罩組件150的透視圖。
第2圖是繪示第1圖的第一遮蔽板的平面圖；第3圖是繪示第1圖的第二遮蔽板的平面圖；第4A圖是繪示一般遮罩組件的沉積區域的平面圖；以及第4B圖是繪示第1圖的遮罩組件150的沉積區域的平面圖。
參考第1圖至第4B圖，遮罩組件150可包含遮罩框架151、遮罩板152、第一遮蔽板153以及第二遮蔽板154。
在實施例中，遮罩框架151可被形成，使得複數個框架中的框架彼此連接以形成內部空間。在實施例中，遮罩框架151可具有框架形狀，所述框架形狀具有在其之中央的一個開口。在另一個實施例中，遮罩框架151可具有格子(lattice)形狀，像是具有複數個開口的視窗(window)框架。為便於說明，下文將假設一個開口被形成在遮罩框架151的中心處的情況下被進一步詳細描述。
至少二遮罩板152可被提供，且可被提供在遮罩框架151上以彼此間隔開。在這種情況下，遮罩板152可佈置(arranged)在第一方向(例如，第1圖的方向Y或方向X)上。為便於說明，下文將假設第一方向是第1圖的方向X的情況下被進一步詳細描述。
遮罩板152中的每一個可包含至少一開口152-1。特別地，複數個開口152-1可被形成在遮罩板152的縱向方向上。在實施例中，複數個開口152-1可以一間隔(interval)(例如，預定間隔)彼此間隔開，且可形成在遮罩板152的整個表面中。
第一遮蔽板153可位於遮罩框架151與遮罩板152之間。在實施例中，複數個第一遮蔽板153可被提供，且可位於遮罩框架151上以彼此間隔開。舉例而言，複數個第一遮蔽板153可在遮罩板152的縱向方向上彼此間隔開。而且，第一遮蔽板153可被形成，以具有相對於遮罩板152的角度(例如，預定角度)。舉例而言，第一遮蔽板153可佈置在垂直於遮罩板152的縱向方向的方向(例如，第1圖的方向X或方向Y)上。為便於說明，下文將假設第一遮蔽板153佈置在第1圖的方向Y上的情況下被進一步詳細描述。
在實施例中，第一遮蔽板153可對著(about)平行於第一遮蔽板153的縱向方向且穿過第一遮蔽板153的中心的第一中心線C1對稱。第一遮蔽板153可包含提供在遮罩框架151上的第一遮蔽板主體部分153-1以及由第一遮蔽板主體部分153-1突出的第一突起153-2。
第一遮蔽板主體部分153-1可具有直板(straight plate)形狀。在這種情況下，第一遮蔽板主體部分153-1可佈置在垂直於遮罩板152的縱向方向的方向(或第二方向，第1圖的方向Y)上。
第一突起153-2可由第一遮蔽板主體部分153-1在遮罩板152的縱向方向突出。在這種情況下，第一突起153-2可與第一遮蔽板主體部分153-1一起定義沉積區域S的邊界。在這種情況下，第一突起153-2可以各種形狀中的任意形狀定義沉積區域S的邊界。特別地，第一突起153-2可在沉積區域S的邊界中定義傾斜部分或彎曲部分，所述傾斜部分或彎曲部分具有相對於第一遮蔽板主體部分153-1的角度(例如，預定角度)。在這種情況下，第一突起153-2可遮蔽遮罩板152的複數個開口152-1的一部分。舉例而言，第一突起153-2可遮蔽佈置在沉積區域S的邊界(或邊緣)處的開口152-1的一部分。在這種情況下，沉積材料可僅穿過開口152-1的一部分。
在實施例中，第一突起153-2可由第一遮蔽板主體部分153-1的兩側突出，以具有相對於第一遮蔽板主體部分153-1的縱向方向的角度(例如，預定角度)。在實施例中，相對於第一遮蔽板主體部分153-1，兩個第一突起153-2可被提供在第一遮蔽板主體部分153-1的兩側。在這種情況下，位於第一遮蔽板主體部分153-1的兩側的兩個第一突起153-2可具有相同的形狀以及相同的尺寸。在實施例中，複數個第一突起153-2可被提供。在這種情況下，複數個第一突起153-2可被劃分成複數個群組，每個群組中包含兩個第一突起153-2，且每個群組的第一突起153-2可在第一遮蔽板主體部分153-1的縱向方向上彼此間隔開。在這種情況下，第一遮蔽板153的兩側可對著第一中心線C1對稱。
第二遮蔽板154可被定位，以具有相對於第一遮蔽板153的角度(例如，預定角度)。在實施例中，第二遮蔽板154可被佈置，以垂直於第一遮蔽板153。第二遮蔽板154可與第一遮蔽板153一起定義沉積區域S。在這種情況下，第二遮蔽板154可位於遮罩框架151與遮罩板152之間。在實施例中，複數個第二遮蔽板154可被提供，且複數個第二遮蔽板154可在第一遮蔽板153的縱向方向上彼此間隔開。
在實施例中，第二遮蔽板154可對著平行於第二遮蔽板154的縱向方向且穿過第二遮蔽板154的中心的第二中心線C2對稱。第二遮蔽板154可包含第二遮蔽板主體部分154-1以及第二突起154-2。
第二遮蔽板主體部分154-1可具有直板形狀。在這種情況下，第二遮蔽板主體部分154-1可位於遮罩板152的縱向方向上。
第二突起154-2可由第二遮蔽板主體部分154-1在第一遮蔽板主體部分153-1的縱向方向上突出。第二突起154-2可與第二遮蔽板主體部分154-1一起定義沉積區域S的邊界(或邊緣)。在這種情況下，第二突起154-2可以各種形狀中的任意形狀定義沉積區域S的邊界。舉例而言，第二突起154-2可在沉積區域S的邊界中定義傾斜部分或彎曲部分，所述傾斜部分或彎曲部分具有相對於第二遮蔽板主體部分154-1的角度 (例如，預定角度)。在這種情況下，如同第一突起153-2，第二突起154-2可遮蔽複數個開口152-1的一部分。
第二突起154-2可以不同於第一突起153-2。舉例而言，第二突起154-2的形狀可不同於第一突起153-2的形狀。在另一個實施例中，第一突起153-2以及第二突起154-2可具有相同的形狀以及不同的面積(或尺寸)。在這種情況下，第一突起153-2以及第二突起154-2可被形成以至少部分地彼此重疊。在另一個實施例中，複數個第一突起153-2中的僅一些可重疊於第二突起154-2。
第二突起154-2可由第二遮蔽板主體部分154-1突出，以具有相對於第二遮蔽板主體部分154-1的縱向方向的角度(例如，預定角度)。在實施例中，複數個第二突起154-2可被設置。在這種情況下，複數個第二突起154-2可被劃分為群組，每個群組中包含兩個第二突起154-2，且複數個群組可在第二遮蔽板主體部分154-1的縱向方向上彼此間隔開。而且，每個群組的兩個第二突起154-2可相對於第二遮蔽板主體部分154-1彼此相對地定位。在這種情況下，兩個相對的第二突起154-2可具有相同的形狀以及相同的尺寸。在這種情況下，第二遮蔽板154的兩側可對著第二中心線C2對稱。
複數個第一遮蔽板153以及複數個第二遮蔽板154可定義至少一沉積區域S。在這種情況下，一個沉積區域S可指沉積材料穿過位於由兩個相鄰的第一遮蔽板153以及兩個相鄰的第二遮蔽板154形成的空間中的複數個開口152-1的區域。沉積區域S可具有不包含矩形形狀或正方形形狀的不規則的形狀。舉例而言，沉積區域S可具有三角形形狀、多邊形形狀、橢圓形形狀或圓形形狀。在這種情況下，沉積區域S的不規則形狀可指在其中相對於第三中心線C3的位於第三中心線C3的兩側處的第一沉積區域S1以及第二沉積區域S2具有不同的形狀的情況。
沉積區域S可藉由平行於第一遮蔽板153且穿過沉積區域S的中心的第三中心線C3，被劃分為第一沉積區域S1以及第二沉積區域S2。在這種情況下，第一沉積區域S1以及第二沉積區域S2可具有不同的形狀。亦即，第一沉積區域S1以及第二沉積區域S2可對著第三中心線C3彼此不對稱。在實施例中，第一沉積區域S1的邊緣部分可以是圓的(round)。相反地，第二沉積區域S2的邊緣部分可以是傾斜的。
在實施例中，第一遮蔽板153、第二遮蔽板154以及遮罩板152可由不同的材料形成。舉例而言，第一遮蔽板153以及第二遮蔽板154可包含沃斯田鐵(Austenite)不銹鋼，且遮罩板152可包含鎳鐵合金(例如，不變鋼(Invar))。
在根據實施例的製造遮罩組件150的方法中，第一遮蔽板153以及第二遮蔽板154可位於遮罩框架151上，然後可固定到遮罩框架151。
更詳細地，在第二遮蔽板154位於遮罩框架151上之後，第二遮蔽板154可被拉伸。在這種情況下，由於第二遮蔽板154的兩側對著第二中心線C2彼此對稱，所以即使施加拉力也可防止扭曲(distortion)或局部變形(deformation)。另外，當沉積材料穿過第二遮蔽板154時，由於高溫下的沉積材料導致第二遮蔽板154的變形均勻地發生在第二遮蔽板154的整個範圍(some extent over)內，而且因為第二遮蔽板154的對稱形狀，所以第二遮蔽板154的兩側相對於第二中心線C2可均等地變形，因此可防止或實質上防止第二遮蔽板154的扭曲或過度的局部變形。
第二遮蔽板154的兩端可在被插入到遮罩框架151中的同時被固定到遮罩框架151。
第一遮蔽板153可位於遮罩框架151上，然後可固定到遮罩框架151上，如同第二遮蔽板154一樣。在這種情況下，張力也可被施加到第一遮蔽板153。在這種情況下，由於第一遮蔽板153的兩側對著第一中心線C1彼此對稱，所以當第一遮蔽板153被拉伸時，整個第一遮蔽板153可幾乎均等地變形。
通常，當僅藉由使用第一遮蔽板形成具有不規則形狀的沉積區域時，位於第一遮蔽板主體部分的兩側的第一突起的形狀必須彼此不同。在這種情況下，當第一遮蔽板被拉伸時或當第一遮蔽板被高溫沉積材料加熱時，由於第一遮蔽板的不對稱形狀，第一遮蔽板的各部分中的變化率彼此不同，從而形成具有不同於設計值的值的沉積區域。據此，由於在顯示基板上形成具有不同於設計形狀的發光區域，所以缺陷可能發生且品質可能降低。
然而，在本實施例中，由於第一遮蔽板153以及第二遮蔽板154被形成，使得第一遮蔽板153以及第二遮蔽板154中的每一個的兩側對著如上所述的平行於它們各自的縱向方向的中心線對稱，在拉伸或沉積材料的沉積期間的變形可被最小化或減少。此外，由於第二遮蔽板154的第二突起154-2重疊於第一遮蔽板153的第一突起153-2，因此具有不規則形狀的沉積區域S可被形成。
當第一遮蔽板153以及第二遮蔽板154被如上所述地放置時，第一突起153-2的至少一部分可重疊於第二突起154-2的至少一部分。在這種情況下，第二突起154-2的一部分可突出到第一突起153-2外部(outside)。據此，第二突起154-2可形成第二沉積區域S2的邊界，第二沉積區域S2的邊界不同於在第一沉積區域S1中由第一突起153-2形成的第一沉積區域S1的邊界。
在實施例中，第一遮蔽板153以及第二遮蔽板154可位於遮罩框架151上，然後遮罩板152可如上所述地被定位。在這種情況下，第一遮蔽板153以及第二遮蔽板154可交替地堆疊在遮罩框架151上，或是第二遮蔽板154以及第一遮蔽板153可交替地堆疊在遮罩框架151上。為便於說明，下文將假設遮罩框架151、第二遮蔽板154以及第一遮蔽板153被交替地堆疊的情況下進一步詳細地描述。
遮罩板152可位於與第一遮蔽板153以及第二遮蔽板154中的一個相同的方向上。為便於說明，下文將假設遮罩板152位於與第二遮蔽板154相同的方向上的情況下來進一步詳細描述。
被拉伸的遮罩板152可位於遮罩框架151上且可固定到遮罩框架151。
據此，由於當製造遮罩組件150時的第一遮蔽板153的變形被最小化或減少，因此相同或類似於經預先設計的(pre-designed)沉積區域的沉積區域S可被形成。
第5圖是使用第1圖的遮罩組件150製造顯示設備的設備的截面圖。
參考第5圖，根據實施例，用於製造顯示設備的設備100可包含腔體110、第一支持部分120，第二支持部分130、遮罩組件150、源(source)單元140、磁性單元160、視覺單元(vision unit)170以及壓力調節單元180。
內部空間可被形成在腔體110中，且腔體110可具有開口部分。在這種情況下，閘閥(gate valve)110-1可被提供在腔體110的開口部分處。在這種情況下，腔體110的開口部分可根據閘閥110-1的操作而打開或關閉。
第一支持部分120可允許顯示基板D被安裝在其上，且可支持顯示基板D。在實施例中，第一支持部分120可具有固定到腔體110之內(inside)的板狀。在另一個實施例中，第一支持部分120可允許顯示基板D被安裝在其上，且可在腔體110中線性穿梭(linearly shuttle)。在另一實施例中，第一支持部分120可包含固定到腔體110或為可升降的(elevatable)靜電吸盤(electrostatic chuck)或黏合吸盤。為便於說明，下文將假設第一支持部分120具有固定到腔體110之內的板狀的情況下進一步詳細描述。
遮罩組件150可被安裝在第二支持部分130上。在這種情況下，第二支持部分130可位於腔體110中。第二支持部分130可精細地調整遮罩組件150的位置。在這種情況下，第二支持部分130可包含其他的驅動器或對準單元以在不同的方向上移動遮罩組件150。
源單元140可面向遮罩組件150。在這種情況下，沉積材料可被容納在源單元140中，且可藉由施加熱量至沉積材料來蒸發或昇華沉積材料。源單元140可被固定到腔體110之內，或是可位於腔體110中以在一個方向上線性移動。為便於說明，下文將假設源單元140固定到腔體110之內的情況下進一步詳細描述。
磁性單元160可定位在腔體110中以面向顯示基板D。在這種情況下，磁性單元160可將磁力施加到遮罩板152，使得遮罩組件150被迫朝向顯示基板D。特別地，磁性單元160可防止或實質上防止遮罩板152的翹曲(warpage)，且可使遮罩板152與顯示基板D相鄰。而且，磁性單元160可均勻地保持在遮罩板152的縱向方向上的遮罩板152之間的間隔。
視覺單元170可位於腔體110上，且可獲得顯示基板D以及遮罩組件150的位置的影像。在實施例中，視覺單元170可包含用於獲得顯示基板D以及遮罩組件150的影像的照相機。顯示基板D以及遮罩組件150的位置可基於由視覺單元170獲得的影像來判斷(determine)，且第二支持部分130可基於影像來精細地調整遮罩組件150的位置。
壓力調節單元180可連接至腔體110，且可調節腔體110的內部壓力。舉例而言，壓力調節單元180可調節腔體110的內部壓力為等於或類似於大氣壓。另外，壓力調節單元180可調節腔體110的內部壓力為等於或類似於真空。
壓力調節單元180可包含連接至腔體110的連接管181以及被提供在連接管181上的幫浦(pump)182。在這種情況下，根據幫浦182的操作，可透過連接管181引入外部空氣，或可透過連接管181引導腔體110中的氣體至外部。
設備100可用於製造以下描述的顯示設備。更詳細地，當壓力調節單元180調節腔體110的內部壓力為等於或類似於大氣壓時，閘閥110-1可操作以打開腔體110的開口部分。
接著，顯示基板D可以由腔體110外部被引入到腔體110中。在這種情況下，顯示基板D可以被各種方式中的任意方式引入到腔體110中。舉例而言，顯示基板D可經由位於腔體110外部的機械手臂由腔體110外部引入到腔體110中。在另一實施例中，當第一支持部分120被形成為可關閉(shuttlable)時，第一支持部分120可由腔體110中取出，顯示基板D可透過位於外部的其他機械手臂安裝在第一支持部分120上，且第一支持部分120可由腔體110外部被引入到腔體110中。為便於說明，下文將假設顯示基板D透過位於腔體110外部的機械手臂由腔體110的外部被引入到腔體110中的情況下進一步詳細描述。
遮罩組件150可位於腔體110中。在另一個實施例中，如同顯示基板D一樣，遮罩組件150可由腔體110外部被引入到腔體110中。然而，為便於說明，下文將假設在其中遮罩組件150位於腔體110中的狀態下，僅顯示基板D由腔體110外部被引入到腔體110中的情況下進一步詳細描述。
一旦顯示基板D被引入到腔體110中，顯示基板D就可以被安裝在第一支持部分120上。在這種情況下，視覺單元170可獲得顯示基板D以及遮罩組件150的位置的影像。在實施例中，視覺單元170可獲得顯示基板D的第一對準標記以及遮罩組件150的第二對準標記的影像。
顯示基板D以及遮罩組件150的位置可基於第一對準標記以及第二對準標記來判斷。在這種情況下，設備100可包含其他的控制器(未示出)，且可判斷顯示基板D以及遮罩組件150的位置。
當顯示基板D以及遮罩組件150位置的判斷被完成時，第二支持部分130可微調遮罩組件150的位置。
接著，源單元140可操作以供應沉積材料到遮罩組件150，且穿過複數個開口152-1的沉積材料可被沉積在顯示基板D上。在這種情況下，幫浦182可吸收腔體110之內的氣體且可排放氣體到腔體110之外，從而使腔體110的內部壓力保持在等於或類似於真空的水平。
在這種情況下，沉積材料可穿過在沉積區域中的開口(未示出)且可被沉積在顯示基板D上。在這種情況下，遮罩組件150可提供與如上所述之經設計的沉積區域相同或類似的沉積區域。
據此，設備100可沉積沉積材料於相同或是類似於在顯示基板D上的經設計的區域上。另外，設備100可製造包含具有不規則形狀的發射區域的精確的顯示設備。
第6圖是繪示藉由第5圖的設備100製造的顯示設備的平面圖；且第7圖是沿第6圖的線段VII-VII截取的截面圖。
參考第6圖以及第7圖，顯示設備20可包含定義在基板21上的顯示區域DA以及位於顯示區域DA外部的非顯示區域NDA。在實施例中，有機發光裝置(OLED)28可位於顯示區域DA中，且電源線(未示出)可位於非顯示區域NDA中。另外，焊墊部分C可位於非顯示區域NDA中。
穿過沉積區域的複數個沉積材料圖樣(未示出)可位於顯示區域DA中。在這種情況下，顯示區域DA可具有不規則形狀。在實施例中，顯示區域DA可被形成使得顯示區域DA的兩側對著穿過顯示區域DA的中心的第四中心線C4彼此不對稱。在這種情況下，顯示區域DA的中心可以是連接顯示區域DA的邊界上的兩個隨機點的線段中的最長線段與最短線段彼此相交的點。另外，第四中心線C4可平行於第一遮蔽板(未示出)的第一中心線(未示出)。
顯示區域DA可藉由第四中心線C4被劃分為第一顯示區域DA1以及第二顯示區域DA2。在這種情況下，第一顯示區域DA1以及第二顯示區域DA2的形狀以及尺寸(或面積)可彼此不同。
顯示設備20可包含顯示基板D、位於顯示基板D上的中間層28-2以及位於中間層28-2上的相對電極(counter electrode)28-3。此外，顯示設備20可包含形成在相對電極28-3上的薄膜封裝層E。
顯示基板D可包含基板21、薄膜電晶體(TFT)、鈍化膜(passivation)27以及像素電極28-1。
基板21可由塑膠材料形成，或是可由像是不銹鋼(SUS)或鈦(Ti)的金屬材料形成。另外，基板21可由聚醯亞胺(polyimide，PI)形成。為便於說明，下文將假設基板21由PI形成的情況下進一步詳細描述。
TFT可被形成在基板21上，鈍化膜27可被形成以覆蓋TFT，且OLED28可被形成在鈍化膜27上。
由有機化合物及/或無機化合物形成的緩衝層22可藉由使用SiOx (x≥1)或SiNx (x ≥1)進一步形成在基板21的頂表面上。
在實施例中，在具有預定圖樣的主動層(active layer)23被形成在緩衝層22上之後，主動層23被閘極絕緣層(gate insulating layer)24覆蓋。主動層23包含源極區(source region)23-1以及汲極區(drain region)23-3，且進一步包含位於源極區23-1以及汲極區23-3之間的通道區23-2。
主動層23可包含各種材料中的任意材料。舉例而言，主動層23可包含像是非晶矽或結晶矽的無機半導體材料。替代地，主動層23可包含氧化物半導體。替代地，主動層23可包含有機半導體材料。然而，為便於說明，下文將假設主動層23由非晶矽形成的情況下進一步詳細描述。
在實施例中，主動層23可藉由形成非晶矽膜在緩衝層22上；結晶(crystallizing)非晶矽膜成多晶矽膜；以及圖樣化多晶矽膜而被形成。主動層23的源極區23-1以及汲極區23-3根據像是驅動TFT(未示出)或開關TFT(未示出)的TFT的類型而被雜質摻雜。
對應於主動層23的閘極電極25以及覆蓋閘極電極25的層間絕緣層26被形成在閘極絕緣層24的頂表面上。
在接觸孔H1被形成在層間絕緣層26以及閘極絕緣層24中之後，源極電極27-1以及汲極電極27-2被形成在層間絕緣層26上以分別接觸源極區23-1汲極區23-3。
鈍化膜27被形成在TFT上，且OLED28的像素電極28-1被形成在鈍化膜27上。像素電極28-1透過形成在鈍化膜27中的通孔(via hole)H2接觸TFT的汲極電極27-2。鈍化膜27可由無機材料及/或有機材料形成，且可具有單層或多層結構。鈍化膜27可被形成為平坦化膜以具有平坦的頂表面，而與下方膜(lower film)的曲率無關，或是可被形成以沿著下方膜的曲率彎曲。在例示性實施例中，鈍化膜27由透明絕緣材料形成以實現共振效果(resonance effect)。
像素電極28-1被形成在鈍化膜27上之後，由有機材料及/或無機材料製成的像素定義膜29被形成，以覆蓋像素電極28-1以及鈍化膜27，且像素定義膜29具有開口，像素電極28-1透過開口被暴露。
中間層(intermediate layer)28-2以及相對電極(counter electrode)28-3至少被形成在像素電極28-1上。在另一個實施例中，相對電極28-3可被形成在顯示基板D的整個表面上。在這種情況下，相對電極28-3可被形成在中間層28-2以及像素定義膜上。為便於說明，下文將假設相對電極28-3被形成在中間層28-2以及像素定義膜29上的情況下進一步詳細描述。
在實施例中，像素電極28-1用作陽極，而相對電極28-3用作陰極。然而，像素電極28-1以及相對電極28-3的極性可相反。
像素電極28-1以及相對電極28-3藉由中間層28-2彼此絕緣，且有機發射層藉由施加不同極性的電壓到中間層28-2來發光。
中間層28-2可包含有機發射層。可選地，中間層28-2可包含有機發射層，且可進一步包含電洞注入層(HIL)、電洞傳輸層、電子傳輸層以及電子注入層中的至少一。然而，本實施例不限於此，中間層28-2可包含有機發射層，且可進一步包含其他各種功能層(未示出)中的任意功能層。
在這種情況下，中間層28-2可藉由用於製造顯示設備20的設備100形成。
複數個中間層28-2可被提供，且複數個中間層28-2可形成顯示區域DA。特別地，複數個中間層28-2可形成具有除了矩形以及正方形以外的形狀的顯示區域DA。在這種情況下，複數個中間層28-2可在顯示區域DA中彼此間隔開。
複數個中間層28-2中的一些中間層的面積可不同於複數個中間層28-2中的其他中間層的面積。舉例而言，複數個中間層28-2中的一些中間層的面積可小於複數個中間層28-2中的其他中間層的面積。其的面積小於複數個中間層28-2中的其他中間層28-2的面積的中間層28-2可被形成在遮光部(shielding portion)的邊界 (未示出)。
一個單位像素可包含複數個子像素，且複數個子像素可發射各種顏色的光。舉例而言，複數個子像素可包含發出紅光、綠光以及藍光的子像素，或是可包含發出紅光、綠光、藍光以及白光的子像素(未示出)。
子像素可包含一個中間層28-2。在這種情況下，當一個子像素被形成時，中間層28-2可藉由設備100被形成。
薄膜封裝層E可包含複數個無機層，或是無機層以及有機層。
薄膜封裝層E的有機層可由聚合物形成，且在例示性實施例中，可具有由聚對苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate) 、聚醯亞胺、聚碳酸酯(polycarbonate) 、環氧樹脂(epoxy) 、聚乙烯(polyethylene) 、以及聚丙烯酸酯(polyacrylate)中的任意一個所形成的單層或多層結構。在例示性實施例中，薄膜封裝層E的有機層可由聚丙烯酸酯形成。在進一步的細節中，有機層可包含具有二丙烯酸酯類(diacrylate-based)的單體以及三丙烯酸酯類(triacrylate-based)的單體的經聚合的單體組合物(polymerized monomer composition)。單丙烯酸酯類(monoacrylate-based)的單體可進一步被包含在單體組合物中。另外，像是TPO的習知的光引發劑(photoinitiator) 可進一步被包含單體組合物中，但是本實施方式不限於此。
薄膜封裝層E的無機層可包含具有金屬氧化物或金屬氮化物的單層或多層結構。在實施例中，薄膜封裝層E的無機層可包含SiNx 、Al2 O3 、SiO2 以及TiO2 中的任意一種。
在實施例中，在薄膜封裝層E中暴露於外部的最上層可以是無機層，以防止或實質上防止濕氣滲透到OLED28。
薄膜封裝層E可包含在其中至少一有機層被插入在至少二無機層之間的至少一夾心(sandwich)結構。替代地，薄膜封裝層E可包含在其中至少一無機層被插入在至少二有機層之間的至少一夾心結構。替代地，薄膜封裝層E可包含在其中至少一有機層被插入在至少二無機層之間的夾心結構、以及在其中至少一無機層被插入在至少二有機層之間的夾心結構。
在實施例中，薄膜封裝層E可包含交替地形成在OLED28上的第一無機層、第一有機層以及第二無機層。
替代地，薄膜封裝層E可包含交替地形成在OLED28上的第一無機層、第一有機層、第二無機層、第二有機層以及第三無機層。
替代地，薄膜封裝層E可包含交替地形成在OLED28上的第一無機層、第一有機層、第二無機層、第二有機層、第三無機層、第三有機層以及第四無機層。
在實施例中，包含LiF的滷化(halogenated)金屬層可被進一步包含在OLED28以及第一無機層之間。當藉由使用濺鍍形成第一無機層時，鹵化金屬層可防止或實質上防止對OLED28的損壞。
第一有機層可被形成以具有小於第二無機層的面積。第二有機層可被形成以具有小於第三無機層的面積。
據此，顯示設備20可具有顯示區域DA，所述顯示區域DA具有除矩形以及正方形以外的形狀。此外，顯示設備20可具有相同或類似於經設計的顯示區域的顯示區域DA。
第8圖是繪示根據另一實施例的遮罩組件的第二遮蔽板的平面圖；且第9圖是繪示藉由使用包含第8圖的第二遮蔽板的遮罩組件製造的顯示設備的平面圖。
參考第8圖以及第9圖，遮罩組件(未示出)可包含遮罩框架(未示出)、第一遮蔽板(未示出)、第二遮蔽板154A以及遮罩板(未示出)。在這種情況下，遮罩框架、第一遮蔽板以及遮罩板可相同或類似於參考第1圖至第4圖的描述，因此將不賦予其重複的說明。
第二遮蔽板154A可包含第二遮蔽板主體部分154A-1以及第二突起154A-2。在這種情況下，第二遮蔽板主體部分154A-1以及第二突起154A-2可類似於第1圖至第4圖所述，且第二突起154A-2的形狀可不同第1圖至第4圖所述。在這種情況下，第二突起154A-2可具有類似於圓形形狀的一部分的形狀。在這種情況下，第二突起154A-2可被形成以相對於第一突起(未示出)且可遮蔽第一突起的一部分。
在這種情況下，第一遮蔽板的兩側可對著第一中心線(未示出)對稱，且第二遮蔽板154A的兩側可對著第二中心線C2對稱。如上所述，當第一遮蔽板以及第二遮蔽板154A被拉伸且被固定到遮罩框架時，第一遮蔽板以及第二遮蔽板154A中的至少一可以不被扭曲。
據此，遮罩組件可使沉積材料穿過其到達經設計的沉積區域。
當沉積材料藉由使用遮罩組件被沉積在顯示基板(未示出)上時，第9圖的顯示區域DA可被提供。在這種情況下，顯示設備20可以相同於第7圖的方式被形成。在這種情況下，非顯示區域NDA可位於顯示區域DA周圍，且焊墊部分C可位於非顯示區域NDA中。
顯示區域DA可藉由第四中心線C4被劃分為第一顯示區域DA1以及第二顯示區域DA2。在這種情況下，第一顯示區域DA1以及第二顯示區域DA2可具有如第9圖所示的不同形狀以及不同尺寸。在這種情況下，第一顯示區域DA1的角落可向內(inward)彎曲成圓的。相反地，第二顯示區域DA2的角落可向外(outward)彎曲成圓的。在這種情況下，第一顯示區域DA1的角落以及第二顯示區域DA2的角落中的至少一可具有至少一曲率半徑。在實施例中，當第一顯示區域DA1的角落具有一個曲率半徑且第二顯示區域DA2的角落具有一個曲率半徑時，第一顯示區域DA1的角落的曲率半徑以及第二顯示區域DA2的角落的曲率可彼此不同。在另一實施例中，當第一顯示區域DA1的角落具有複數個曲率半徑且第二顯示區域DA2的角落具有複數個曲率半徑時，第一顯示區域DA1的角落的曲率半徑中的至少一以及第二顯示區域DA2的角落的曲率半徑中的至少一可彼此不同。
據此，顯示設備20可具有顯示區域DA，所述顯示區域DA具有相同或類似於經設計形狀的精細的不規則形狀。
第10圖是繪示根據另一實施例的遮罩組件的第二遮蔽板的平面圖；且第11圖是繪示藉由使用包含第10圖的第二遮蔽板的遮罩組件製造的顯示設備的平面圖。
參考第10圖以及第11圖，遮罩組件(未示出)可包含遮罩框架(未示出)、第一遮蔽板(未示出) 、第二遮蔽板154B以及遮罩板(未示出)。在這種情況下，遮罩框架、第一遮蔽板以及遮罩板可相同或類似於第1圖至第4圖的描述，因此將不賦予其重複的說明。
第二遮蔽板154B可包含第二遮蔽板主體部分154B-1以及第二突起154B-2。在這種情況下，第二遮蔽板主體部分154B-1可類似於第1圖至第4圖所述，且第二突起154B-2的形狀可不同於第1圖至第4圖所述。在這種情況下，第二突起154B-2可具有四邊形(quadrangular)的形狀。在這種情況下，第二突起154B-2可遮蔽第一突起的一部分。
在這種情況下，第一遮蔽板的兩側可對著第一中心線(未示出)對稱，且第二遮蔽板154B的兩側可對著第二中心線C2對稱。在這種情況下，當第一遮蔽板以及第二遮蔽板154B如上所述地被拉伸且固定到遮罩框架(未示出)時，第一遮蔽板以及第二遮蔽板154B中的至少一不被扭曲。
據此，遮罩組件可使沉積材料穿過其到達經設計的沉積區域。
當沉積材料藉由使用遮罩組件被沉積在顯示基板(未示出)上時，第11圖的顯示區域DA可被提供。在這種情況下，顯示設備20可以相同於第7圖的方式被形成。在這種情況下，非顯示區域NDA可位於顯示區域DA周圍，且焊墊部分C可位於非顯示區域NDA中。
顯示區域DA可相對於第四中心線C4包含第一顯示區域DA1以及第二顯示區域DA2。在這種情況下，第一顯示區域DA1以及第二顯示區域DA2可具有如第11圖所示的不同形狀以及不同尺寸。舉例而言，第一顯示區域DA1的角落部分可以是階梯狀的(stepped)，第二顯示區域DA2的角落部分可以是圓的。
據此，顯示設備20可具有顯示區域DA，所述顯示區域DA具有相同或類似於經設計形狀的精細的不規則形狀。
第12圖是繪示根據另一實施例的遮罩組件的第一遮蔽板以及第二遮蔽板的平面圖；且第13圖是繪示藉由使用包含第12圖的第一遮蔽板以及第二遮蔽板的遮罩組件製造的顯示設備的平面圖。
參考第12圖以及第13圖，遮罩組件(未示出)可包含遮罩框架(未示出)、第一遮蔽板153C、第二遮蔽板154C以及遮罩板(未示出)。在這種情況下，遮罩框架以及遮罩板可相同或類似於關於第1圖至第4圖的描述，因此將不賦予其重複的說明。
第一遮蔽板153C可包含第一遮蔽板主體部分153C-1以及第一突起153C-2。在這種情況下，第一遮蔽板主體部分153C-1以及第一突起153C-2相同或類似於第1圖至第4圖所述，因此將不賦予其詳細的說明。
第二遮蔽板154C可包含第二遮蔽板主體部分154C-1以及第二突起154C-2。在這種情況下，第二遮蔽板主體部分154C-1以及第二突起154C-2可類似於第1圖至第4圖所述。在這種情況下，由於第二突起154C-2形成以相對於第一突起153C-2，因此第二突起154C-2可遮蔽第一突起153C-2的一部分。在這種情況下，第一突起153C-2的圓形部分以及第二突起154C-2的圓形部分的形狀可彼此不同。舉例而言，第一突起153C-2的圓形部分的曲率半徑R1以及第二突起154C-2的圓形部分的曲率半徑R2可彼此不同。
在這種情況下，第一遮蔽板153C的兩側可對著第一中心線C1對稱，且第二遮蔽板154C的兩側可對著第二中心線C2對稱。在這種情況下，如上所述，當第一遮蔽板153C以及第二遮蔽板154C被拉伸且固定到遮罩框架時，第一遮蔽板153C以及第二遮蔽板154C中的至少一不被扭曲。
據此，遮罩組件可使沉積材料穿過其到達經設計的沉積區域。
當沉積材料藉由使用遮罩組件被沉積在顯示基板(未示出)上時，第13圖的顯示區域DA可被提供。在這種情況下，顯示設備20可以形成第7圖相同的方式被形成。在這種情況下，非顯示區域NDA可位於顯示區域DA周圍，且焊墊部分C可位於非顯示區域NDA中。
顯示區域DA可藉由第四中心線C4被劃分為第一顯示區域DA1以及第二顯示區域DA2。在這種情況下，第一顯示區域DA1以及第二顯示區域DA2可具有與如第13圖所示的不同形狀以及不同尺寸。在這種情況下，第一顯示區域DA1的角落以及第二顯示區域DA2的角落可突出到顯示區域DA之外。在這種情況下，第一顯示區域DA1以及第二顯示區域DA2中的至少一可具有至少一曲率半徑。在實施例中，當第一顯示區域DA1具有一個曲率半徑R1'且第二顯示區域DA2具有一個曲率半徑R2'時，第一顯示區域DA1的曲率半徑R1'以及第二顯示區域DA2的曲率半徑R2'可彼此不同。在另一實施例中，當第一顯示區域DA1具有複數個曲率半徑R1'且第二顯示區域DA2具有複數個曲率半徑R2'時，第一顯示區域的曲率半徑R1'中的至少一以及第二顯示區域DA2的曲率半徑R2'中的至少一可彼此不同。特別地，當沉積材料被第一突起153C-2遮蔽時，第一顯示區域DA1可被形成。另外，當沉積材料被第二突起154C-2遮蔽時，第二顯示區域DA2可被形成。亦即，第一突起153C-2可影響第一顯示區域DA1的形成，且第二突起154C-2可影響第二顯示區域DA2的形成。
據此，顯示設備20可具有顯示區域DA，所述顯示區域DA具有相同或類似於經設計形狀的精細的不規則形狀。
根據本揭露的一個或多個實施例的遮罩組件可維持相同或類似於初始經設計形狀的形狀。
根據本揭露的一個或多個實施例的用於製造顯示設備的設備以及方法可製造具有顯示區域的顯示設備，所述顯示區域具有相同或類似於經設計形狀的不規則形狀。
根據本揭露的一個或多個實施例的用於製造顯示設備的設備以及方法可製造在其中的顯示區域的最外部不被扭曲的顯示設備。
雖然已參考附圖描述一個或多個實施例，但是所屬技術領域中具有通常知識者將理解的是，可在不脫離以下申請專利範圍中所闡述的精神以及範圍的情況下對形式以及細節進行各種改變。
100:設備 110:腔體 110-1:閘閥 120:第一支持部分 130:第二支持部分 140:源單元 150:遮罩組件 151:遮罩框架 152:遮罩板 152-1:開口 153,153C:第一遮蔽板 153-1,153C-1:第一遮蔽板主體部分 153-2,153C-2:第一突起 154,154A,154B,154C:第二遮蔽板 154-1,154A-1,154B-1,154C-1:第二遮蔽板主體部分 154-2,154A-2,154B-2,154C-2:第二突起 160:磁性單元 170:視覺單元 180:壓力調節單元 181:連接管 182:幫浦 20:顯示設備 21:基板 22:緩衝層 23:主動層 23-1:源極區 23-2:通道區 23-3:汲極區 24:閘極絕緣層 25:閘極電極 26:層間絕緣層 27:鈍化膜 27-1:源極電極 27-2:汲極電極 28:OLED 28-1:像素電極 28-2:中間層 28-3:相對電極 29:像素定義膜 C:焊墊部分 C1:第一中心線 C2:第二中心線 C3:第三中心線 C4:第四中心線 D:顯示基板 DA:顯示區域 DA1:第一顯示區域 DA2:第二顯示區域 E:薄膜封裝層 H1:接觸孔 H2:通孔 NDA:非顯示區域 R1,R1',R2,R2':曲率半徑 S:沉積區域 S1:第一沉積區域 S2:第二沉積區域 VII-VII:線段 X,Y,Z:方向
搭配附圖，這些及/或其他態樣從一些實施例的以下描述將變得顯而易見且更容易理解，其中： 第1圖是根據實施例的遮罩組件的透視圖； 第2圖是繪示第1圖的第一遮蔽板的平面圖； 第3圖是繪示第1圖的第二遮蔽板的平面圖； 第4A圖是繪示一般遮罩組件的沉積區域的平面圖； 第4B圖是繪示第1圖的遮罩組件的沉積區域的平面圖； 第5圖是用於使用第1圖的遮罩組件製造顯示設備的設備的截面圖； 第6圖是藉由使用第5圖的設備所製造的顯示設備的平面圖； 第7圖是沿著第6圖的VII-VII線截取的截面圖； 第8圖是繪示根據另一實施例的遮罩組件的第二遮蔽板的平面圖； 第9圖是藉由使用包含第8圖的第二遮蔽板的遮罩組件所製造的顯示設備的平面圖； 第10圖是繪示根據另一實施例的遮罩組件的第二遮蔽板的平面圖； 第11圖是藉由使用包含第10圖的第二遮蔽板的遮罩組件所製造的顯示設備的平面圖； 第12圖是繪示根據另一實施例的遮罩組件的第一遮蔽板以及第二遮蔽板的平面圖；以及 第13圖是藉由使用包含第12圖的第一遮蔽板以及第二遮蔽板的遮罩組件所製造的顯示設備的平面圖。
150:遮罩組件
151:遮罩框架
152:遮罩板
153:第一遮蔽板
154:第二遮蔽板
X,Y,Z:方向

Claims (24)

  1. 一種遮罩組件，其包含： 一遮罩框架； 一遮罩板，在該遮罩框架上且包含複數個開口； 至少二第一遮蔽板，在該遮罩框架上且遮蔽該遮罩板中的該複數個開口的一部份，且該至少二第一遮蔽板彼此間隔開；以及 至少二第二遮蔽板，在該遮罩框架上且遮蔽該遮罩板中的該複數個開口的一部份，該至少二第二遮蔽板中的每一個具有相對於該至少二第一遮蔽板中的每一個的角度，且該至少二第二遮蔽板彼此間隔開， 其中該至少二第一遮蔽板以及該至少二第二遮蔽板藉由遮蔽該遮罩板的該複數個開口的一部份來定義包含該遮罩板中的該複數個開口的一部份的一沉積區域， 其中該沉積區域藉由一直線劃分為一第一沉積區域以及一第二沉積區域，該直線穿過藉由該至少二第一遮蔽板中的兩個相鄰第一遮蔽板所形成的空間的中心且平行於該至少二第一遮蔽板中的該第一遮蔽板的縱向方向，且該第一沉積區域與該第二沉積區域的形狀彼此不同。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之遮罩組件，其中該第一遮蔽板包含： 一第一遮蔽板主體部分；以及 一第一突起，由該第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於該第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之遮罩組件，其中該第一突起的數量為複數個， 其中該複數個第一突起中的該兩個第一突起相對於該第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之遮罩組件，其中相對於該第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位的該兩個第一突起具有相同的形狀。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之遮罩組件，其中該至少二第一遮蔽板以及該至少二第二遮蔽板中的至少一種遮蔽板的一部份對著平行於該至少二第一遮蔽板或該至少二第二遮蔽板中的一個遮蔽板的縱向方向的虛擬中心線對稱。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之遮罩組件，其中該第一遮蔽板與該至少二第二遮蔽板中的該第二遮蔽板彼此垂直。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之遮罩組件，其中該至少二第二遮蔽板中的該第二遮蔽板包含： 一第二遮蔽板主體部分；以及 一第二突起，由該第二遮蔽板主體部分突起。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之遮罩組件，其中該第二突起的數量為複數個， 其中該複數個第二突起中的該兩個第二突起相對於該第二遮蔽板主體部分彼此相對地定位。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之遮罩組件，其中該第一遮蔽板包含： 一第一遮蔽板主體部分；以及 一第一突起，由該第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於該第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之遮罩組件，其中該第一突起與該第二突起中的至少一部分彼此重疊。
  11. 如申請專利範圍第9項所述之遮罩組件，其中該第一突起與該第二突起具有不同的形狀。
  12. 如申請專利範圍第9項所述之遮罩組件，其中該第一突起與該第二突起具有不同的面積。
  13. 一種用於製造顯示設備的設備，其中該設備包含： 一沉積源； 一遮罩組件，面向該沉積源以允許從該沉積源噴射的一沉積材料穿過其中；以及 一基板支持部分，面向該遮罩組件，且支持在其上沉積有穿過該遮罩組件的該沉積材料的一基板， 其中該遮罩組件包含： 一遮罩框架； 一遮罩板，在該遮罩框架上且包含複數個開口； 至少二第一遮蔽板，在該遮罩框架上且遮蔽該遮罩板中的該複數個開口的一部份，且該至少二第一遮蔽板彼此間隔開；以及 至少二第二遮蔽板，在該遮罩框架上且遮蔽該遮罩板中的該複數個開口的一部份，該至少二第二遮蔽板中的每一個被形成以具有相對於該至少二第一遮蔽板中的每一個的角度，且該至少二第二遮蔽板彼此間隔開， 其中該至少二第一遮蔽板以及該至少二第二遮蔽板藉由遮蔽該遮罩板的該複數個開口的一部份來定義包含該遮罩板的該複數個開口的一部份的一沉積區域， 其中該沉積區域藉由一直線劃分為一第一沉積區域以及一第二沉積區域，該直線穿過藉由該至少二第一遮蔽板中的兩個相鄰第一遮蔽板所形成的空間的中心且平行於該至少二第一遮蔽板中的該第一遮蔽板的縱向方向，且該第一沉積區域與該第二沉積區域的形狀彼此不同。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之設備，其中該第一遮蔽板包含： 一第一遮蔽板主體部分；以及 一第一突起，由該第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於該第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之設備，其中該第一突起的數量為複數個， 其中該複數個第一突起中的該兩個第一突起相對於該第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之設備，其中相對於該第一遮蔽板主體部分彼此相對地定位的該兩個第一突起具有相同的形狀。
  17. 如申請專利範圍第13項所述之設備，其中該至少二第一遮蔽板以及該至少二第二遮蔽板中的至少一種遮蔽板的一部份對著平行於該至少二第一遮蔽板或該至少二第二遮蔽板中的一個遮蔽板的縱向方向的虛擬中心線對稱。
  18. 如申請專利範圍第13項所述之設備，其中該第一遮蔽板與該第二遮蔽板彼此垂直。
  19. 如申請專利範圍第13項所述之設備，其中該至少二第二遮蔽板中的該第二遮蔽板包含： 一第二遮蔽板主體部分；以及 一第二突起，由該第二遮蔽板主體部分突起。
  20. 如申請專利範圍第19項所述之設備，其中該第二突起的數量為複數個， 其中該複數個第二突起中的該兩個第二突起相對於該第二遮蔽板主體部分彼此相對地定位。
  21. 如申請專利範圍第19項所述之設備，其中該第一遮蔽板包含： 一第一遮蔽板主體部分；以及 一第一突起，由該第一遮蔽板主體部分突出以具有相對於該第一遮蔽板主體部分的縱向方向的角度。
  22. 如申請專利範圍第21項所述之設備，其中該第一突起與該第二突起中的至少一部分彼此重疊。
  23. 如申請專利範圍第21項所述之設備，其中該第一突起與該第二突起具有不同的形狀。
  24. 如申請專利範圍第21項所述之設備，其中該第一突起與該第二突起具有不同的面積。
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