KR102205403B1

KR102205403B1 - 증착용 마스크 포장 용기

Info

Publication number: KR102205403B1
Application number: KR1020140135963A
Authority: KR
Inventors: 백대원
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2014-10-08
Filing date: 2014-10-08
Publication date: 2021-01-21
Also published as: US20160101900A1; US9522764B2; KR20160042319A

Abstract

본 발명의 일 실시예는 증착 물질을 통과시키기 위한 슬릿을 갖는 하나 이상의 마스크를 포장하는 마스크 포장 용기에 있어서, 제1 홈을 구비하는 바닥부와, 제2 홈을 구비하고 상기 바닥부를 덮도록 배치되는 덮개부와, 제1 홈을 덮도록 배치되는 제1 필름과, 제2 홈을 덮도록 배치되는 제2 필름과. 바닥부와 덮개부를 연결하는 연결부와, 제1 필름 및 제2 필름 사이에 개재되도록 배치되고, 하나 이상의 마스크의 폭 방향으로 연장하도록 형성되는 복수개의 개구부를 구비하는 복수개의 중간부재를 포함하는 마스크 포장 용기를 개시한다.

Description

증착용 마스크 포장 용기{Packing container for deposition mask}

본 발명의 실시예들은 증착용 마스크 포장 용기에 관한 것이다.

일반적으로 유기 발광 표시 장치는 애노드와 캐소드에 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 화상을 구현할 수 있는 디스플레이 장치로서, 애노드와 캐소드 사이에 발광층을 삽입한 적층형 구조이다. 그러나, 상기한 구조로는 고효율 발광을 얻기 어렵기 때문에 상기 두 전극 사이의 중간층으로서 상기 발광층과 함께 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층, 및 정공 주입층 등을 선택적으로 추가하여 이용하고 있다.

한편, 유기 발광 표시 장치의 전극들과 중간층은 여러 가지 방법으로 형성할 수 있는데, 이중 하나의 방법이 증착법이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조할 때에는, 형성하고자 하는 박막 패턴과 동일한 패턴을 가지는 증착용 마스크를 기판 위에 정렬하고, 그 증착용 마스크를 통해 기판에 박막의 원소재를 증착하여 소망하는 패턴의 박막을 형성하게 된다.

기판 상에 정밀한 패턴을 증착하기 위해서는, 증착용 마스크의 제조, 운송 및 보관 과정에서 이물이나 외부 충격으로 인한 증착용 마스크의 오염과 변형을 방지하는 것이 중요하다. 또한, 얇은 두께로 제작되는 증착용 마스크의 특성상 온도 변화로 인한 열변형으로부터 증착용 마스크를 보호할 필요성이 있다.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

본 발명의 실시예들은 마스크 포장 용기를 제공한다.

본 실시예에 있어서, 제1 필름은 소정의 탄성력을 갖도록 형성되고, 마스크를 지지하여 마스크의 높이 방향으로의 변형을 방지하는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 제2 필름은 소정의 탄성력을 갖도록 형성되고, 마스크를 지지하여 마스크의 높이 방향으로의 변형을 방지하는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 연결부는 바닥부와 덮개부를 연결하는 경첩 형상으로 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 복수개의 중간부재는 폴레에틸렌(polyethylene, PE), 폴리프로필렌(polypropylene, PP), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephtalate, PET) 중 하나로 이루어질 수 있다.

본 실시예에 있어서, 하나 이상의 마스크는 복수개의 중간부재 사이에 개재되도록 배치될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 복수개의 개구부는 0.1mm 내지 10mm의 폭을 갖도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 복수개의 개구부는 다각형의 형상을 갖도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 복수개의 개구부의 각 모서리 중 하나 이상은 소정의 곡률을 갖도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 복수개의 개구부는 타원형의 형상을 갖도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 복수개의 개구부는 복수개의 개구부의 폭 방향으로 복수개의 개구부를 가로지르도록 형성되어 복수개의 개구부를 분할하도록 형성되는 하나 이상의 분할부를 포함할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 하나 이상의 분할부는 0.1mm 내지 10mm의 폭을 갖도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 복수개의 개구부와 하나 이상의 분할부는 0도를 초과하고 90도 미만인 각을 이루도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 복수개의 개구부의 길이는 마스크의 폭에 대응하거나 마스크의 폭 보다 길도록 형성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 복수개의 개구부는 일정한 간격으로 이격되도록 형성될 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

본 발명의 실시예들에 관한 마스크 포장 용기에 따르면 마스크의 운송 및 보관 중에 발생하는 마스크의 열변형을 최소화할 수 있다.

도 1는 본 발명의 일 실시예에 관한 마스크 포장 용기를 개략적으로 도시한 분해사시도이다.
도 2a 내지 도 2d는 도 1의 중간부재의 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 3a 내지 도 3b는 도 1의 중간부재의 또 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 3a의 일부를 부분적으로 확대하여 나타낸 부분확대도이다.
도 5는 도 1의 마스크와 중간부재를 나타낸 평면도이다.
도 6은 도 1의 마스크 포장 용기의 측면을 나타내는 측면도 및 부분확대도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1는 본 발명의 일 실시예에 관한 마스크 포장 용기(10)를 개략적으로 도시한 분해사시도이다.

도 1을 참조하면, 마스크 포장 용기(10)는 바닥부(100)와, 덮개부(200)와, 제1 필름(300)과, 제2 필름(400)과, 연결부(500)와, 중간부재(600)를 포함한다.

상세히, 바닥부(100)는 제1 홈(110)을 구비하며, 제1 홈(110) 상에 차례대로 배치되는 제1 필름(300)과, 복수개의 중간부재(600) 및 마스크(M)를 지지한다. 제1 홈(110)은 마스크(M)의 운송 시 마스크 포장 부재(10)에 가해지는 충격에 의해 마스크(M)가 변형되는 것을 방지하기 위하여 형성되며, 마스크(M)보다 작은 길이를 가지도록 형성되어 제1 홈(110)의 양단에 제1 필름(300)이 안착되고, 제1 필름(300) 상에 복수개의 마스크(M)와 중간부재(600)가 차례대로 배치될 수 있다.

제1 필름(300)은 제1 홈(110)을 덮도록 제1 홈(110) 상에 안착되며, 소정의 탄성력을 갖도록 형성되어 마스크(M)의 높이 방향으로의 변형을 방지한다. 일반적으로 마스크(M)의 양단을 지지하는 제1 홈(110)의 길이가 마스크(M)의 길이보다 작으므로, 만약 마스크(M)가 마스크(M)의 높이 방향으로의 힘을 받아 휘어지게 되면 마스크(M)가 제1 홈(110) 내로 빨려 들어갈 수도 있다.

만약 마스크(M)가 제1 홈(110) 내로 빨려 들어갈 경우, 마스크(M)의 길이는 제1 홈(110)의 길이보다 작으므로 제1 홈(110)으로 인입된 마스크(M)는 제1 홈(110)에 끼게 되고, 마스크(M)가 제1 홈(110)에 끼인 채 시간이 흐르게 되면 마스크(M)에 영구적인 변형이 일어날 수도 있다.

제1 필름(300)은 소정의 탄성력을 가지도록 형성되어 제1 홈(110)과 마스크(M) 사이에 개재되므로, 마스크(M)가 높이 방향의 힘을 받아 휘어지는 경우에도 마스크(M)의 본래 형상을 지속적으로 유지할 수 있도록 복원력을 제공할 수 있다. 따라서, 제1 필름(300)을 제1 홈(110)을 덮도록 배치하여 마스크(M)를 지지하도록 하면, 마스크(M)가 제1 홈(110) 내로 빨려들어감으로써 영구적으로 마스크(M)의 형상이 변형되는 것을 방지할 수 있다.

다음으로, 덮개부(200)는 제2 홈(210)을 구비하며, 바닥부(100)와 바닥부(100) 상에 차례대로 배치되는 제1 필름(300)과, 복수개의 중간부재(600), 마스크(M) 및 제2 필름(400)을 덮도록 배치된다. 상술한 제1 홈(110)과 마찬가지로, 제2 홈(210) 또한 마스크(M)의 운송 시 마스크 포장 부재(10)에 가해지는 충격에 의해 마스크(M)가 변형되는 것을 방지하기 위하여 형성된다.

또한 제2 홈(210)은 마스크(M)보다 작은 길이를 가지도록 형성되어 양단에 제2 필름(400)이 안착되며, 제2 필름(400)은 덮개부(200)가 바닥부(100)와 제1 필름(300), 그리고 하나 이상의 마스크(M) 및 후술할 중간부재(600)의 적층구조를 덮을 때 가장 상측에 배치되는 중간부재(600)를 덮도록 배치된다.

제2 필름(400)은 제2 홈(210)을 덮도록 제2 홈(210) 상에 안착되며, 소정의 탄성력을 갖도록 형성되어 마스크(M)의 높이 방향으로의 변형을 방지한다. 이때, 덮개부(200)가 바닥부(100)를 덮는 경우에는 덮개부(200)와 바닥부(100)가 서로 대향하도록 배치되므로, 제2 필름(400)은 제2 홈(210)의 하측에 배치되어 제2 홈(210)과 중간부재(600) 사이에 개재된다.

일반적으로 마스크(M)의 양단을 지지하는 제2 홈(210)의 길이는 마스크(M)의 길이보다 작으므로, 만약 마스크(M)가 마스크(M)의 높이 방향으로의 힘을 받아 휘어지게 되면 마스크(M)가 제2 홈(210) 내로 빨려 들어갈 수도 있다.

만약 마스크(M)가 제2 홈(210) 내로 빨려 들어갈 경우, 마스크(M)의 길이가 제2 홈(210)의 길이보다 작으므로 제2 홈(210)으로 인입된 마스크(M)는 제2 홈(210) 사이에 끼게 되고, 마스크(M)가 제2 홈(210)에 끼인 채 시간이 흐르게 되면 마스크(M)에 영구적인 변형이 일어날 수도 있다.

제2 필름(400)은 소정의 탄성력을 가지도록 형성되어 제2 홈(210)과 마스크(M) 사이에 개재되므로, 마스크(M)가 높이 방향의 힘을 받아 휘어지는 경우에도 마스크(M)의 본래 형상을 지속적으로 유지할 수 있도록 복원력을 제공할 수 있다. 따라서, 제2 필름(400)을 제2 홈(210)을 덮도록 배치하여 마스크(M)를 지지하도록 하면, 마스크(M)가 제2 홈(210) 내로 빨려들어감으로써 영구적으로 마스크(M)의 형상이 변형되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 마스크 포장 용기(10)는 바닥부(100)와 덮개부(200)를 연결하는 연결부(500)를 포함한다. 연결부(500)는 바닥부(100)와 덮개부(200)에 각각 형성되는 제1 홈(110)과 제2 홈(210)이 대향하는 형태(도 2 참조)와, 그렇지 않은 형태(도 1 참조) 사이에서 바닥부(100)와 덮개부(200)가 연결부(500)를 중심으로 회전이동할 수 있도록 바닥부(100)와 덮개부(200)를 연결한다.

도 1과 도 2는 단면이 사다리꼴 형상을 갖는 연결부(500)를 도시하나, 이는 바닥부(100)와 연결부(200)의 형상에 대응하도록 형성된 것에 불과하다. 예를들어, 연결부(500)는 문과 문틀을 연결하는 경첩과 같이 경첩 형상으로 형성될 수도 있으며, 상술한 바와 같이 바닥부(100)와 덮개부(200)가 서로에 대해 회전이동할 수 있도록 바닥부(100)와 덮개부(200)를 고정 및 연결할 수 있는 어떠한 형태로 형성되어도 무방하다.

다음으로, 마스크 포장 용기(10)는 제1 필름(300) 및 제2 필름(400) 사이에 개재되도록 배치되는 복수개의 중간부재(600)를 포함한다. 중간부재(600)는 폴리에틸렌(polyethylene, PE), 폴리프로필렌(polypropylene, PP), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephtalate, PET) 중 하나로 이루어질 수 있다.

중간부재(600)의 재질로 사용되는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 및 폴리에틸렌 테레프탈레이트는 열가소성 플라스택 재질로서 마스크(M)의 일반적인 재질인 인바 합금(invar alloy)의 열팽창계수보다 약 60배 큰 열팽창계수를 갖는다. 따라서, 중간부재(600)와 마스크(M)를 상온에서 서로 접촉시킨 채로 포장하여 후에 온도가 낮은 환경에 노출시킬 경우, 얇은 판형상으로 제작되는 마스크(M)는 온도 강하로 인해 쉽게 수축하는 중간부재(600)의 형상을 따라 함께 수축된다.

이러한 현상은 외기 온도가 낮은 겨울철에 마스크(M)를 포장 및 운송할 때 주로 발생한다. 이렇게 낮은 온도의 외기에 노출되어 수축변형이 일어난 마스크 포장 용기(10)를 다시 상온의 창고에 입고할 경우에는, 열팽창계수가 큰 열가소성 플라스틱인 중간부재(600)는 다시 소성변형하여 수축하기 이전의 형태로 팽창된다. 하지만, 인바합금로 이루어진 마스크(M)는 소성변형하지 않아 이전에 온도 강하로 인해 변형된 그 형상을 계속 유지하게 되며, 결과적으로 마스크(M) 상에 주름이 발생하여 불량을 야기시키게 된다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예는 중간부재(600)의 열변형을 보상하기 위해 중간부재(600)에 개구부(610)를 형성하는 것을 특징으로 한다. 개구부(610)에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.

다시 도 1을 참조하면, 마스크(M)는 복수개의 중간부재(600) 사이에 개재되고, 이러한 중간부재(600)와 마스크(M)의 적층체가 복수개 반복되어 적층되는 모습을 나타낸다. 따라서, 마스크 포장 용기(10)의 바닥부(100)와 덮개부(200) 사이에는 복수개의 마스크(M)가 배치될 수 있으나, 본 발명의 일 실시예는 이에 한정되지 않고 하나의 마스크(M)를 포장할 수도 있다.

또한, 도 1은 제1 필름(300)과 제2 필름(400) 사이에 개재된 복수개의 마스크(M) 사이에 두개의 중간부재(600)가 배치되는 모습을 나타내고 있으나, 본 발명의 일 실시예는 이에 한정되지 않으며, 하나의 중간부재(600) 또는 두개를 초과하는 개수의 중간부재(600)가 복수개의 마스크(M) 사이 또는 제1 필름(300) 및 하나의 마스크(M) 사이, 그리고 제2 필름(400) 및 또 다른 하나의 마스크(M) 사이에 배치될 수 있다.

다음으로, 도 2a 내지 도 2d 및 도 3a와 도 3b를 참조하여 중간부재(600)에 형성되는 개구부(610)와 분할부(620)에 대해 설명하기로 한다.

도 2a 내지 도 2d는 도 1의 중간부재(600)의 다른 변형예를 나타내는 평면도이고, 도 3a 내지 도 3b는 도 1의 중간부재(600)의 또 다른 변형예를 나타내는 평면도이다.

먼저, 중간부재(600)는 마스크(M)의 폭 방향으로 연장하도록 형성되는 복수개의 개구부(610)를 구비할 수 있다. 이때, 복수개의 개구부(610)는 다각형 또는 타원 형상으로 형성될 수 있는데, 예를들어 도 2a의 참조부호 610a와 같이 직사각형 형상으로 형성될 수 있고, 도 2b의 참조부호 610b와 같이 양단이 두개의 변을 가짐으로써 육각형 형상으로 형성될 수도 있으며, 도 2c의 참조부호 610c와 같이 타원형으로 형성될 수도 있다. 한편, 복수개의 개구부(610)의 각 모서리 중 하나 이상은 소정의 곡률을 갖도록 형성될 수 있는데, 예를들어 도 2d는 양단의 면이 곡면으로 이루어진 개구부(610)를 나타낸다.

상세히, 복수개의 개구부(610)는 도 2a 내지 도 2d에 나타난 바와같이 일정한 간격으로 이격되도록 형성될 수 있으며, 본 발명의 일 실시예는 이에 한정되는 것이 아니며 서로 다른 간격으로 이격되도록 형성될 수도 있다.

한편, 개구부(610)는 0.1mm 내지 10mm의 폭을 갖도록 형성된다. 참조부호 L1은 개구부(610)의 폭을 의미한다. 개구부(610)가 0.1mm 내지 10mm의 폭을 갖도록 형성되는 이유는 다음과 같다.

뒤에서 상세히 설명하겠으나, 중간부재(600)에 개구부(610)를 형성하는 것은 중간부재(600)의 열변형으로 인해 생성되는 마스크(M)의 주름 현상을 개선하기 위함이다. 이러한 목적을 달성하기 위해서는 개구부(610)의 폭을 적절히 조절할 필요가 있다. 만약 개구부(610)의 폭이 필요 이상으로 클 경우에는 마스크(M)에 형성되는 패턴영역(PA)들 사이의 리브(R)가 개구부(610) 사이에 인입되어 마스크(M)가 영구적으로 변형될 수 있으며, 반대로 개구부(610)의 폭이 필요 이상으로 작을 경우에는 중간부재(600)의 열변형을 충분하게 보상할 수 없게된다. 따라서, 개구부(610)는 중간부재(600)의 열변형을 충분히 보상하여 중간부재(600)의 열변형으로 인해 마스크(M)에 주름이 형성되는 현상을 개선하기 위하여 0.1mm 내지 10mm의 폭을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.

더 상세히, 상기에 나타난 복수개의 개구부(610)는 폭 방향으로 복수개의 개구부(610)를 가로지르도록 형성되어, 복수개의 개구부(610)를 분할하도록 형성되는 하나 이상의 분할부(620)를 포함할 수도 있다. 도 3a는 하나의 개구부(620)에 하나의 분할부(620)가 형성되어 있는 모습을 나타낸 도면이고, 도 3b는 하나의 개구부(620)에 두개의 분할부(620)가 형성되어 있는 모습을 나타낸 도면이다.

도 4는 도 3a의 일부를 부분적으로 확대하여 나타낸 부분확대도이다.

도 4를 참조하면, 참조부호 L1은 개구부의 폭을 의미하고, 참조부호 L2는 분할부(620)의 폭을 의미한다. 상술한 바와 같이 개구부(610)의 폭(L1)은 0.1mm 내지 10mm인 것이 바람직하며, 분할부(620)의 폭(L2) 또한 개구부(610)의 폭(L1)에 대응하는 0.1mm 내지 10mm인 것이 바람직하다.

다음으로, 참조부호 α는 개구부(610)와 분할부(620)가 이루는 각을 의미한다. 개구부(610)와 분할부(620)는 서로 0도를 초과하고 90도 미만인 각을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.

도 5는 도 1의 마스크(M)와 중간부재(600)를 나타낸 평면도이다.

도 5를 참조하면, 복수개의 개구부(610)의 길이(L3)는 마스크(M)의 폭(L4)에 대응하거나 마스크(M)의 폭(L4)보다 길도록 형성된다. 도 5는 복수개의 개구부(610)의 길이(L3)가 마스크(M)의 폭(L4) 보다 긴 모습을 나타내는 도면이다.

여기에서, 개구부(610)의 길이(L3)가 마스크(M)의 폭(L4)에 대응하거나 더 긴 길이를 가져야 하는 이유는, 중간부재(600)의 열변형을 충분히 보상하여 중간부재(600)의 열변형으로 인해 마스크(M)에 주름이 형성되는 현상을 개선하기 위함이다. 만약 개구부(610)의 길이(L3)가 마스크(L4)의 폭 보다 작은 경우에는 중간부재(600)가 열변형으로 인해 수축하거나 팽창하는 경우 마스크(M)의 가장자리, 즉 개구부(610)가 존재하지 않는 영역에서 마스크(M)에 주름현상이 발생하게된다.

따라서, 열변형으로 인해 중간부재(600)가 수축 또는 팽창하면서 마스크(M)에 가하는 잔류응력으로 인한 주름을 개선하기 위해서는, 개구부(610)의 길이(L3)는 적어도 마스크(M)의 폭(L4)에 대응하거나 더 긴 길이를 갖도록 형성되어야 할 필요가 있다.

다음으로, 도 6을 참조하여 도 1의 마스크 포장 용기(10)가 복수개의 마스크(M)와 복수개의 중간부재(600), 제1 필름(300)과 제2 필름(400)을 수용하여, 덮개부(200)가 바닥부(100)을 덮어 복수개의 마스크(M)를 포장한 상태에 대해 설명하도록 한다.

도 6은 도 1의 마스크 포장 용기(10)의 측면을 나타내는 측면도 및 부분확대도이다.

먼저, 최하측에는 바닥부(100)가 배치된다. 제1 필름(300)은 배닥부(100)에 형성된 제1 홈(110)을 덮도록 바닥부(100) 상에 배치되며, 제1 필름(300) 상에는 복수개(도 6에서는 두개)의 중간부재(600)가 배치된다. 이때, 중간부재(600)는 도 1 내지 도 5에 나타난 개구부(610)와 도 3과 도 4에 나타난 분할부(620)를 구비한다. 복수개의 중간부재(600)가 제1 필름(300) 상에 배치된 후, 복수개의 중간부재(600) 상에는 마스크(M)가 배치된다. 그리고 마스크(M) 상에는 또 다시 복수개(도 6에서는 두개)의 중간부재(600)가 배치되며, 그 위에 또다시 마스크(M)와 복수개의 중간부재(600)가 배치됨으로써 중간부재(600)가 마스크(M)을 상하에서 덮어 마스크(M)를 외부의 충격으로부터 보호하는 역할을 한다.

상기 마스크(M)는 상술한 배열 방식을 따라 중간부재(600) 사이에 개재되며, 적게는 하나에서부터 많게는 열개까지 순차적으로 배치되어 마스크 포장 용기(10) 내에 포장될 수 있다.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

10: 마스크 포장 용기 400: 제2 필름
100: 바닥부 500: 연결부
110: 제1 홈 600: 중간부재
200: 덮개부 610: 개구부
210: 제2홈 620: 분할부
300: 제1 필름

Claims

증착 물질을 통과시키기 위한 슬릿을 갖는 하나 이상의 마스크를 포장하는 마스크 포장 용기에 있어서,
제1 홈을 구비하는 바닥부;
제2 홈을 구비하고, 상기 바닥부를 덮도록 배치되는 덮개부;
상기 제1 홈을 덮도록 배치되는 제1 필름;
상기 제2 홈을 덮도록 배치되는 제2 필름;
상기 바닥부와 상기 덮개부를 연결하는 연결부;
상기 제1 필름 및 제2 필름 사이에 개재되도록 배치되고, 상기 하나 이상의 마스크의 폭 방향으로 연장하도록 형성되는 복수개의 개구부를 구비하는 복수개의 중간부재;를 포함하는, 마스크 포장 용기.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 필름은 소정의 탄성력을 갖도록 형성되어 상기 마스크를 지지하고, 상기 마스크의 높이 방향으로의 변형을 방지하는 것을 특징으로 하는, 마스크 포장 용기.
제 1항에 있어서,
상기 제2 필름은 소정의 탄성력을 갖도록 형성되어 상기 마스크를 지지하고, 상기 마스크의 높이 방향으로의 변형을 방지하는 것을 특징으로 하는, 마스크 포장 용기.
제 1항에 있어서,
상기 연결부는 상기 바닥부와 상기 덮개부를 연결하는 경첩 형상으로 형성되는, 마스크 포장 용기.
제 1항에 있어서,
상기 복수개의 중간부재는 폴레에틸렌(polyethylene, PE), 폴리프로필렌(polypropylene, PP), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephtalate, PET) 중 하나로 이루어지는, 마스크 포장 용기.
제 1항에 있어서,
상기 하나 이상의 마스크는 상기 복수개의 중간부재 사이에 개재되도록 배치되는, 마스크 포장 용기.
제 1항에 있어서,
상기 복수개의 개구부는 0.1mm 내지 10mm의 폭을 갖도록 형성되는, 마스크 포장 용기.
제 1항에 있어서,
상기 복수개의 개구부는 다각형의 형상을 갖도록 형성되는, 마스크 포장 용기.
제 8항에 있어서,
상기 복수개의 개구부의 각 모서리 중 하나 이상은 소정의 곡률을 갖도록 형성되는, 마스크 포장 용기.
제 1항에 있어서,
상기 복수개의 개구부는 타원형의 형상을 갖도록 형성되는, 마스크 포장 용기.
제 8항 또는 제 10항에 있어서,
상기 복수개의 개구부는 상기 복수개의 개구부의 폭 방향으로 상기 복수개의 개구부를 가로지르도록 형성되어 상기 복수개의 개구부를 분할하도록 형성되는 하나 이상의 분할부를 포함하는, 마스크 포장 용기.
제 11항에 있어서,
상기 하나 이상의 분할부는 0.1mm 내지 10mm의 폭을 갖도록 형성되는, 마스크 포장 용기.
제 11항에 있어서,
상기 복수개의 개구부와 상기 하나 이상의 분할부는 0도를 초과하고 90도 미만인 각을 이루도록 형성되는, 마스크 포장 용기.
제 8항 또는 제 10항에 있어서,
상기 복수개의 개구부의 길이는 상기 마스크의 폭에 대응하거나 상기 마스크의 폭 보다 길도록 형성되는, 마스크 포장 용기.
제 1항에 있어서,
상기 복수개의 개구부는 일정한 간격으로 이격되도록 형성되는, 마스크 포장 용기.