JP7085157B2 - 蒸着マスク梱包体および蒸着マスク用梱包装置 - Google Patents

Description

本開示の実施の形態は、複数の貫通孔を含む蒸着マスクを梱包した蒸着マスク梱包体および蒸着マスク用梱包装置に関する。

近年、スマートフォンやタブレットＰＣ等の持ち運び可能なデバイスで用いられる表示装置に対して、高精細であること、例えば画素密度が５００ｐｐｉ以上であることが望まれている。また、持ち運び可能なデバイスにおいても、ウルトラハイディフィニションに対応することへの需要が高まっており、この場合、表示装置の画素密度が例えば８００ｐｐｉ以上であることが望まれている。

表示装置の中でも、応答性の良さ、消費電力の低さやコントラストの高さのため、有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、所望のパターンで配列された貫通孔が形成された蒸着マスクを用い、所望のパターンで画素を形成する方法が知られている。具体的には、はじめに、有機ＥＬ表示装置用の基板に対して蒸着マスクを密着させ、次に、密着させた蒸着マスクおよび基板を共に蒸着装置に投入し、有機材料を基板に蒸着させる蒸着工程を行う。この場合、高い画素密度を有する有機ＥＬ表示装置を精密に作製するためには、蒸着マスクの貫通孔の位置や形状を設計に沿って精密に再現することが望まれる。

蒸着マスクの製造方法としては、例えば特許文献１に開示されているように、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に貫通孔を形成する方法が知られている。例えば、はじめに、金属板の第１面上に第１レジストパターンを形成し、また金属板の第２面上に第２レジストパターンを形成する。次に、金属板の第１面のうち第１レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングして、金属板の第１面に第１開口部を形成する。その後、金属板の第２面のうち第２レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングして、金属板の第２面に第２開口部を形成する。この際、第１開口部と第２開口部とが通じ合うようにエッチングを行うことにより、金属板を貫通する貫通孔を形成することができる。蒸着マスクを作製するための金属板は、例えば、鉄合金などの母材を圧延することによって得られる。

その他にも、蒸着マスクの製造方法として、例えば特許文献２に開示されているように、めっき処理を利用して蒸着マスクを製造する方法が知られている。例えば特許文献２に記載の方法においては、はじめに、導電性を有する基材を準備する。次に、基材の上に、所定の隙間を空けてレジストパターンを形成する。このレジストパターンは、蒸着マスクの貫通孔が形成されるべき位置に設けられている。その後、レジストパターンの隙間にめっき液を供給して、電解めっき処理によって基材の上に金属層を析出させる。その後、金属層を基材から分離させることにより、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを得ることができる。このようにしてめっき処理を利用する場合には、貫通孔の高精細化を図ることができる。

特許第５３８２２５９号公報 特開２００１－２３４３８５号公報

蒸着マスクを輸送する際に、蒸着マスクを、プラスチックボードなどで作製された受け部（第１基部）と蓋部（第２基部）との間に挟持する場合がある。しかしながら、この場合、受け部と蓋部とから蒸着マスクにかかる圧力が部分的に不均一になる可能性がある。このことにより、外的振動が、受け部と蓋部を介して蒸着マスクに伝わると、蒸着マスクのうち圧力が比較的弱い部分が、受け部および蓋部に対して相対的に移動し、蒸着マスクが塑性変形し得るという問題がある。

ここで、蒸着マスクを用いて蒸着材料を基板上に成膜する場合、基板だけでなく蒸着マスクにも蒸着材料が付着する。例えば、蒸着材料の中には、蒸着マスクの法線方向に対して大きく傾斜した方向に沿って基板に向かうものも存在するが、そのような蒸着材料は、基板に到達するよりも前に蒸着マスクの貫通孔の壁面に到達して付着する。この場合、基板のうち蒸着マスクの貫通孔の壁面の近傍に位置する領域には蒸着材料が付着しにくくなり、この結果、付着する蒸着材料の厚みが他の部分に比べて小さくなってしまったり、蒸着材料が付着していない部分が生じてしまったりすることが考えられる。すなわち、蒸着マスクの貫通孔の壁面の近傍における蒸着が不安定になってしまうことが考えられる。この結果、有機ＥＬ表示装置の発光効率が低下してしまうことになる。

このような課題を解決するため、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の厚みを小さくすることが考えられる。なぜなら、金属板の厚みを小さくすることによって、蒸着マスクの貫通孔の壁面の高さを小さくすることができ、このことにより、蒸着材料のうち貫通孔の壁面に付着するものの比率を低くすることができるからである。

このように、有機ＥＬ表示装置の発光効率の低下を抑制するために蒸着マスクの厚みは薄くなる傾向にある。このため、厚みの薄い蒸着マスクであっても、輸送時の塑性変形が抑制されることが望まれている。

また、輸送時の温度変化によっても蒸着マスクが塑性変形し得るという問題もある。すなわち、受け部、蓋部、蒸着マスクの熱膨張率が異なる場合には、各部材の温度変化に起因する寸法変化が異なり、蒸着マスクがしわ状に塑性変形し得るという問題である。

本開示の実施の形態は、輸送時に蒸着マスクが塑性変形することを抑制できる蒸着マスク梱包体および蒸着マスク用梱包装置を提供することを目的とする。

本開示の第１の態様は、
第１基部と、
前記第１基部に対向する第２基部と、
前記第１基部と前記第２基部との間に配置され、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクと、
前記蒸着マスクの幅方向両側に配置されたスペーサと、
前記蒸着マスクと前記第２基部との間に配置された第１シートと、を備え、
前記第２基部は、平面視において前記蒸着マスクの長手方向における両端部の少なくとも一方に配置された凸部を有し、
前記凸部は、前記第１シートを押圧し、
前記凸部の周辺において、前記第１シートと前記第２基部との間に空隙が形成されている、蒸着マスク梱包体、
である。

本開示の第２の態様は、上述した第１の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記凸部は、平面視において、前記貫通孔に重なっていない。

本開示の第３の態様は、上述した第１の態様または第２の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記蒸着マスクは、前記長手方向における両端部に設けられた端部開口部を有し、
前記凸部は、平面視において、対応する前記端部開口部に重なる位置に配置されている。

本開示の第４の態様は、上述した第３の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記凸部は、平面視において、対応する前記端部開口部からはみ出していない。

本開示の第５の態様は、上述した第１の態様または第２の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記凸部は、前記蒸着マスクの幅方向に延びている。

本開示の第６の態様は、上述した第１の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記凸部は、前記蒸着マスクの長手方向に延びている。

本開示の第７の態様は、上述した第６の態様による蒸着マスク梱包体において、
平面視において前記蒸着マスクの長手方向における両端部に前記凸部が配置され、
一対の前記凸部は、一体化されて連続状に形成されている。

本開示の第８の態様は、上述した第１の態様～第７の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記凸部の硬度は、前記第１基部の硬度および前記第２基部の硬度よりも低い。

本開示の第９の態様は、上述した第１の態様～第８の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記スペーサの硬度は、前記第１基部の硬度および前記第２基部の硬度よりも高い。

本開示の第１０の態様は、
前記第１シートと前記第２基部との間に、第４シートが配置され、
前記第４シートの厚みは、前記第１シートの厚みよりも厚い。

本開示の第１１の態様は、
第１基部と、
前記第１基部に対向する第２基部と、
前記第１基部と前記第２基部との間に配置され、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクと、
前記蒸着マスクの幅方向両側に配置されたスペーサと、
前記蒸着マスクと前記第２基部との間に配置された第１シートと、を備え、
前記第１基部は、前記第２基部に対向する対向面を有し、
前記対向面は、前記第２基部の側に向かって凸となるように湾曲した湾曲面を含み、
前記湾曲面は、前記蒸着マスクの長手方向の一方の端縁から他方の端縁にわたって延びる、または前記蒸着マスクの幅方向の一方の側縁から他方の側縁にわたって延びる尾根線を含んでいる、蒸着マスク梱包体、
である。

本開示の第１２の態様は、上述した第１の態様～第１１の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記蒸着マスクと前記第１基部との間に配置された第２シートを更に備える。

本開示の第１３の態様は、上述した第１２の態様による蒸着マスク梱包体において、
前記第１シートと前記第２シートとの間に複数の前記蒸着マスクが積層され、
互いに隣り合う前記蒸着マスクの間に第３シートが配置されている、
ようにしてもよい。

本開示の第１４の態様は、
複数の貫通孔が形成された、長手方向を有する蒸着マスクを梱包する蒸着マスク用梱包装置であって、
第１基部と、
前記第１基部に対向する第２基部と、
前記第１基部と前記第２基部との間に配置された一対のスペーサであって、一対の前記スペーサの間に前記蒸着マスクが収容される収容空間を画定する一対のスペーサと、を備え、
前記第２基部は、平面視において前記収容空間の長手方向における両端部の少なくとも一方に配置された凸部を有している、蒸着マスク用梱包装置、
である。

本開示の第１５の態様は、
複数の貫通孔が形成された、長手方向を有する蒸着マスクを梱包する蒸着マスク用梱包装置であって、
第１基部と、
前記第１基部に対向する第２基部と、
前記第１基部と前記第２基部との間に配置された一対のスペーサであって、一対の前記スペーサの間に前記蒸着マスクが収容される収容空間を画定する一対のスペーサと、を備え、
前記第１基部は、前記第２基部に対向する対向面を有し、
前記対向面は、前記第２基部の側に向って凸となるように湾曲した湾曲面を含み、
前記湾曲面は、平面視において、前記収容空間の長手方向の一方の端縁から他方の端縁にわたって延びる、または前記収容空間の前記長手方向に直交する方向の一方の側縁から他方の側縁にわたって延びる尾根線を含んでいる、蒸着マスク用梱包装置、
である。

本開示の一実施の形態によれば、輸送時に蒸着マスクが塑性変形することを抑制できる。

本開示の一実施の形態による蒸着マスク装置を備えた蒸着装置を示す図である。 図１に示す蒸着マスク装置を用いて製造した有機ＥＬ表示装置（有機ＥＬ表示装置中間体）を示す断面図である。 本開示の一実施の形態による蒸着マスク装置を示す平面図である。 図３に示された蒸着マスクの有効領域を示す部分平面図である。 図４のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 図４のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図４のＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図５に示す貫通孔およびその近傍の領域を拡大して示す断面図である。 母材を圧延して、所望の厚みを有する金属板を得る工程を示す図である。 圧延によって得られた金属板をアニールする工程を示す図である。 蒸着マスクの製造方法の一例を全体的に説明するための模式図である。 金属板上にレジスト膜を形成する工程を示す図である。 レジスト膜に露光マスクを密着させる工程を示す図である。 レジスト膜を現像する工程を示す図である。 第１面エッチング工程を示す図である。 第１凹部を樹脂によって被覆する工程を示す図である。 第２面エッチング工程を示す図である。 図１８に続く第２面エッチング工程を示す図である。 長尺金属板から樹脂及びレジストパターンを除去する工程を示す図である。 蒸着マスクの有効領域を拡大して示す平面図である。 図２０の有効領域をＤ－Ｄ方向から見た断面図である。 図２１の蒸着マスクの部分拡大断面図である。 本開示の一実施の形態による蒸着マスク製造方法の一例を説明する図である。 本開示の一実施の形態による蒸着マスク製造方法の一例を説明する図である。 本開示の一実施の形態による蒸着マスク製造方法の一例を説明する図である。 本開示の一実施の形態による蒸着マスク製造方法の一例を説明する図である。 本開示の一実施の形態による蒸着マスク梱包体を示す斜視図である。 図２７の蒸着マスク梱包体を示す横断面図である。 図２７の蓋部を裏返して示す斜視図である。 図２７の受け部を示す斜視図である。 図２７に示す蒸着マスク梱包体の部分拡大断面図である。 図３１に示すＥ－Ｅ断面図である。 本開示の一実施の形態の第１の変形例による蒸着マスク梱包体を示す横断面図である。 本開示の一実施の形態の第２の変形例による蒸着マスク梱包体の部分拡大断面図である。 本開示の一実施の形態の第３の変形例による第２基部を裏返して示す斜視図である。 本開示の一実施の形態の第３の変形例による蒸着マスク梱包体の部分拡大断面図である。 本開示の一実施の形態の第３の変形例における図３２に相当する断面図である。 本開示の一実施の形態の第４の変形例による第２基部を裏返して示す斜視図である。 本開示の一実施の形態の第４の変形例における図３２に相当する断面図である。 本開示の一実施の形態の第５の変形例による第２基部を裏返して示す斜視図である。 本開示の一実施の形態の第５の変形例による第１基部を示す斜視図である。 本開示の一実施の形態の第５の変形例による蒸着マスク梱包体の部分拡大断面図である。 本開示の一実施の形態の第５の変形例における図３２に相当する断面図である。 本開示の一実施の形態の第６の変形例による第１基部を示す斜視図である。 本開示の一実施の形態の第６の変形例による蒸着マスク梱包体を示す縦断面図である。 本開示の一実施の形態の第６の変形例における図３２に相当する断面図である。 本開示の一実施の形態の実施例による環境試験および落下試験の結果を示す表である。

以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

なお、本明細書において、例えば、「板」との用語は、シートやフィルムと呼ばれ得るような部材と同等の意味を有するものとして使用している。

本明細書において、「平面視」とは、対称となる板状の部材を全体的かつ大局的に見た場合において、板状の部材の平面方向に直交する法線方向から見た状態を指す。例えば、ある板状の部材が「平面視において矩形状の形状を有する」とは、当該部材を法線方向から見たときに、当該部材が矩形状の形状を有していることを指す。

さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」、「同等」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。

なお、本開示の実施形態は、矛盾の生じない範囲で、その他の実施形態や変形例と組み合わせられ得る。また、その他の実施形態同士や、その他の実施形態と変形例も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられ得る。また、変形例同士も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられ得る。

また、本開示の実施形態において、製造方法などの方法に関して複数の工程を開示する場合に、開示されている工程の間に、開示されていないその他の工程が実施されてもよい。また、開示されている工程の順序は、矛盾の生じない範囲で任意である。

本明細書において、「～」という記号によって表現される数値範囲は、「～」という符号の前後に置かれた数値を含んでいる。例えば、「３４～３８質量％」という表現によって画定される数値範囲は、「３４質量％以上且つ３８質量％以下」という表現によって画定される数値範囲と同一である。

（蒸着装置）
まず、対象物に蒸着材料を蒸着させる蒸着処理を実施する蒸着装置９０について、図１を参照して説明する。図１に示すように、蒸着装置９０は、蒸着源（例えばるつぼ９４）、ヒータ９６、及び蒸着マスク装置１０を備える。るつぼ９４は、有機発光材料などの蒸着材料９８を収容する。ヒータ９６は、るつぼ９４を加熱して蒸着材料９８を蒸発させる。蒸着マスク装置１０は、るつぼ９４と対向するよう配置されている。

（蒸着マスク装置）
以下、蒸着マスク装置１０について説明する。図１に示すように、蒸着マスク装置１０は、蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０を支持するフレーム１５と、を備える。フレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように、蒸着マスク２０をその長手方向Ｄ１（第１の方向、図３参照）に引っ張った状態で支持する。蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、蒸着マスク２０が、蒸着材料９８を付着させる対象物である基板、例えば有機ＥＬ基板９２に対面するよう、蒸着装置９０内に配置される。以下の説明において、蒸着マスク２０の面のうち、有機ＥＬ基板９２側の面を第１面２０ａと称し、第１面２０ａの反対側に位置する面を第２面２０ｂと称する。このうち蒸着マスク２０の第２面２０ｂにフレーム１５が面している。

蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、有機ＥＬ基板９２の、蒸着マスク２０と反対側の面に配置された磁石９３を備えていてもよい。磁石９３を設けることにより、磁力によって蒸着マスク２０を磁石９３側に引き寄せて、蒸着マスク２０を有機ＥＬ基板９２に密着させることができる。

図３は、蒸着マスク装置１０を蒸着マスク２０の第１面２０ａ側から見た場合を示す平面図である。図３に示すように、蒸着マスク装置１０は、平面視において略矩形状の形状を有する複数の蒸着マスク２０を備え、各蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における一対の端部２０ｅにおいて、フレーム１５に溶接されて固定されている。

蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０を貫通する複数の貫通孔２５を含む。るつぼ９４から蒸発して蒸着マスク装置１０に到達した蒸着材料９８は、蒸着マスク２０の貫通孔２５を通って有機ＥＬ基板９２に付着する。これによって、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８を有機ＥＬ基板９２の表面に成膜することができる。

図２は、図１の蒸着装置９０を用いて製造した有機ＥＬ表示装置１００を示す断面図である。有機ＥＬ表示装置１００は、有機ＥＬ基板９２と、パターン状に設けられた蒸着材料９８を含む画素と、を備える。なお、図示はしないが、有機ＥＬ表示装置１００は、蒸着材料９８を含む画素に電気的に接続された電極を更に備えている。電極は、例えば、蒸着工程によって有機ＥＬ基板９２に蒸着材料９８を付着させる前に、有機ＥＬ基板９２に予め設けられている。また、有機ＥＬ表示装置１００は、蒸着材料９８を含む画素の周囲の空間を外部から封止する封止部材など、その他の構成要素を更に備えていてもよい。従って、図２の有機ＥＬ表示装置１００は、有機ＥＬ表示装置を製造する中間段階で生成される有機ＥＬ表示装置中間体であるとも言える。

なお、複数の色によるカラー表示を行いたい場合には、各色に対応する蒸着マスク２０が搭載された蒸着装置９０をそれぞれ準備し、有機ＥＬ基板９２を各蒸着装置９０に順に投入する。これによって、例えば、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に有機ＥＬ基板９２に蒸着させることができる。

ところで、蒸着処理は、高温雰囲気となる蒸着装置９０の内部で実施される場合がある。この場合、蒸着処理の間、蒸着装置９０の内部に保持される蒸着マスク２０、フレーム１５および有機ＥＬ基板９２も加熱される。この際、蒸着マスク２０、フレーム１５および有機ＥＬ基板９２は、各々の熱膨張係数に基づいた寸法変化の挙動を示すことになる。この場合、蒸着マスク２０やフレーム１５と有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数が大きく異なっていると、それらの寸法変化の差に起因した位置ずれが生じ、この結果、有機ＥＬ基板９２上に付着する蒸着材料９８の寸法精度や位置精度が低下してしまう。

このような課題を解決するため、蒸着マスク２０およびフレーム１５の熱膨張係数が、有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数と同等の値であることが好ましい。例えば、有機ＥＬ基板９２としてガラス基板が用いられる場合、蒸着マスク２０およびフレーム１５の主要な材料として、ニッケルを含む鉄合金を用いることができる。例えば、蒸着マスク２０を構成する金属板の材料として、３０質量％以上５４質量％以下のニッケルを含む鉄合金を用いることができる。ニッケルを含む鉄合金の具体例としては、３４質量％以上３８質量％以下のニッケルを含むインバー材、３０質量％以上３４質量％以下のニッケルに加えてさらにコバルトを含むスーパーインバー材、４８質量％以上５４質量％以下のニッケルを含む低熱膨張Ｆｅ－Ｎｉ系めっき合金などを挙げることができる。

なお蒸着処理の際に、蒸着マスク２０、フレーム１５および有機ＥＬ基板９２の温度が高温には達しない場合は、蒸着マスク２０およびフレーム１５の熱膨張係数を、有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数と同等の値にする必要は特にない。この場合、蒸着マスク２０を構成する材料として、上述の鉄合金以外の材料を用いてもよい。例えば、クロムを含む鉄合金など、上述のニッケルを含む鉄合金以外の鉄合金を用いてもよい。クロムを含む鉄合金としては、例えば、いわゆるステンレスと称される鉄合金を用いることができる。また、ニッケルやニッケル－コバルト合金など、鉄合金以外の合金を用いてもよい。

（蒸着マスク）
次に、蒸着マスク２０について詳細に説明する。図３～図５に示すように、蒸着マスク２０は、第１面２０ａから第２面２０ｂに延びる貫通孔２５が形成された有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含んでいてもよい。周囲領域２３は、有効領域２２を支持するための領域であり、有機ＥＬ基板９２へ蒸着されることを意図された蒸着材料９８が通過する領域ではない。例えば、有効領域２２は、蒸着マスク２０のうち、有機ＥＬ基板９２の表示領域に対面する領域である。

図３に示すように、有効領域２２は、例えば、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有する。なお図示はしないが、各有効領域２２は、有機ＥＬ基板９２の表示領域の形状に応じて、様々な形状の輪郭を有することができる。例えば各有効領域２２は、円形状の輪郭を有していてもよい。

図３に示すように、有効領域２２は、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１に沿って所定の間隔を空けて複数配列されていてもよい。一つの有効領域２２は、一つの有機ＥＬ表示装置１００の表示領域に対応する。このため、図１に示す蒸着マスク装置１０によれば、有機ＥＬ表示装置１００の多面付蒸着が可能である。図４に示すように、有効領域２２において複数の貫通孔２５は、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで規則的に配列されていてもよい。

図３に示すように、本実施の形態における蒸着マスク２０は、細長の矩形状に形成されており、複数の有効領域２２は、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１の中央部において、一列に配列されていてもよい。蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における両端部２０ｅには、有効領域２２は設けられておらず、各端部２０ｅには、端部開口部２４が設けられていてもよい。すなわち、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１において、複数の有効領域２２の両側に、端部開口部２４がそれぞれ設けられていてもよい。端部開口部２４は、蒸着マスク２０を厚み方向で貫通しており、本実施の形態では、平面視で、蒸着マスク２０の対応する端縁２０ｇから切り欠かれるような形状でＵ字状の輪郭を有するように形成されていてもよい。各端部開口部２４は蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２（第２の方向、長手方向Ｄ１に直交する方向）の中心に配置されている。このような端部開口部２４の幅方向Ｄ２の両側の部分が、張設治具の別々のクランプ（図示せず）に把持されて、蒸着マスク２０が張設されるようになっている。すなわち、蒸着マスク２０の端部２０ｅを、２つのクランプで把持して、引張力をそれぞれのクランプから付与することにより、張設時の蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置を調整しやすくしている。

以下、貫通孔２５及びその周囲の部分の形状について詳細に説明する。

（エッチング処理によって製造される蒸着マスク）
ここでは、蒸着マスク２０がエッチング処理によって形成される場合の、貫通孔２５及びその周囲の部分の形状について説明する。

図４は、エッチング処理によって製造された蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側から有効領域２２を拡大して示す平面図である。図４に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。貫通孔２５の一例について、図５～図７を主に参照して更に詳述する。図５～図７はそれぞれ、図４の有効領域２２のＡ－Ａ方向、Ｂ－Ｂ方向、Ｃ－Ｃ方向に沿った断面図である。なお、図５～図７において示す有効領域２２と周囲領域２３との境界線は一例であり、この境界線の位置は任意である。例えば、この境界線は、第２凹部３５が形成されていない領域（図５における最も左側の第２凹部３５よりも左側）に配置されていてもよい。

図５～図７に示すように、複数の貫通孔２５は、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った一方の側となる第１面２０ａから、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った他方の側となる第２面２０ｂへ貫通している。図示された例では、後に詳述するように、蒸着マスク２０の法線方向Ｎにおける一方の側となる金属板２１の第１面２１ａに第１凹部３０（または第１開口部３０）がエッチングによって形成され、蒸着マスク２０の法線方向Ｎにおける他方の側となる金属板２１の第２面２１ｂに第２凹部３５（または第２開口部３５）が形成される。第１凹部３０は、第２凹部３５に接続され、これによって第２凹部３５と第１凹部３０とが互いに通じ合うように形成される。貫通孔２５は、第２凹部３５と、第２凹部３５に接続された第１凹部３０とによって構成されている。

図５～図７に示すように、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側へ向けて、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第２凹部３５の開口面積は、しだいに小さくなっていく。同様に、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第１凹部３０の開口面積は、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側へ向けて、しだいに小さくなっていく。

図５～図７に示すように、第１凹部３０の壁面３１と、第２凹部３５の壁面３６とは、周状の接続部４１を介して接続されている。接続部４１は、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して傾斜した第１凹部３０の壁面３１と、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して傾斜した第２凹部３５の壁面３６とが合流する張り出し部の稜線によって、画成されている。そして、接続部４１は、蒸着マスク２０の平面視において貫通孔２５の開口面積が最小になる貫通部４２を画成する。

図５～図７に示すように、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った他方の側の面、すなわち、蒸着マスク２０の第１面２０ａ上において、隣り合う二つの貫通孔２５は、蒸着マスク２０の板面に沿って互いから離間している。すなわち、後述する製造方法のように、蒸着マスク２０の第１面２０ａに対応するようになる金属板２１の第１面２１ａ側から当該金属板２１をエッチングして第１凹部３０を作製する場合、隣り合う二つの第１凹部３０の間に金属板２１の第１面２１ａが残存するようになる。

同様に、図５及び図７に示すように、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った一方の側、すなわち、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側においても、隣り合う二つの第２凹部３５が、蒸着マスク２０の板面に沿って互いから離間していてもよい。すなわち、隣り合う二つの第２凹部３５の間に金属板２１の第２面２１ｂが残存していてもよい。以下の説明において、金属板２１の第２面２１ｂの有効領域２２のうちエッチングされずに残っている部分のことを、トップ部４３とも称する。このようなトップ部４３が残るように蒸着マスク２０を作製することにより、蒸着マスク２０に十分な強度を持たせることができる。このことにより、例えば搬送中などに蒸着マスク２０が破損してしまうことを抑制することができる。なおトップ部４３の幅βが大きすぎると、蒸着工程においてシャドーが発生し、これによって蒸着材料９８の利用効率が低下することがある。従って、トップ部４３の幅βが過剰に大きくならないように蒸着マスク２０が作製されることが好ましい。例えば、トップ部４３の幅βが２μｍ以下であることが好ましい。なおトップ部４３の幅βは一般に、蒸着マスク２０を切断する方向に応じて変化する。例えば、図５及び図７に示すトップ部４３の幅βは互いに異なることがある。この場合、いずれの方向で蒸着マスク２０を切断した場合にもトップ部４３の幅βが２μｍ以下になるよう、蒸着マスク２０が構成されていてもよい。

なお図６に示すように、場所によっては隣り合う二つの第２凹部３５が接続されるようにエッチングが実施されてもよい。すなわち、隣り合う二つの第２凹部３５の間に、金属板２１の第２面２１ｂが残存していない場所が存在していてもよい。また、図示はしないが、第２面２１ｂの全域にわたって隣り合う二つの第２凹部３５が接続されるようにエッチングが実施されてもよい。

図１に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、図５に二点鎖線で示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａが、有機ＥＬ基板９２に対面し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂが、蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置する。したがって、蒸着材料９８は、次第に開口面積が小さくなっていく第２凹部３５を通過して有機ＥＬ基板９２に付着する。図５において第２面２０ｂ側から第１面２０ａへ向かう矢印で示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４から有機ＥＬ基板９２に向けて有機ＥＬ基板９２の法線方向Ｎに沿って移動するだけでなく、有機ＥＬ基板９２の法線方向Ｎに対して大きく傾斜した方向に移動することもある。このとき、蒸着マスク２０の厚みが大きいと、斜めに移動する蒸着材料９８の多くは、貫通孔２５を通って有機ＥＬ基板９２に到達するよりも前に、第２凹部３５の壁面３６に到達して付着する。従って、蒸着材料９８の利用効率を高めるためには、蒸着マスク２０の厚みＴ０を小さくし、これによって、第２凹部３５の壁面３６や第１凹部３０の壁面３１の高さを小さくすることが好ましいと考えられる。すなわち、蒸着マスク２０を構成するための金属板２１として、蒸着マスク２０の強度を確保できる範囲内で可能な限り厚みの小さな金属板２１を用いることが好ましいと言える。この点を考慮し、本実施の形態において、好ましくは蒸着マスク２０の厚みＴ０は、８５μｍ以下に、例えば５μｍ以上且つ８５μｍ以下に設定される。または厚みＴ０は、８０μｍ以下に、例えば１０μｍ以上且つ８０μｍ、若しくは２０μｍ以上且つ８０μｍ以下に設定される。蒸着の精度をさらに向上させるため、蒸着マスク２０の厚みＴ０を、４０μｍ以下に、例えば１０以上且つ４０μｍ以下や２０以上且つ４０μｍ以下に設定してもよい。なお厚みＴ０は、周囲領域２３の厚み、すなわち蒸着マスク２０のうち第１凹部３０および第２凹部３５が形成されていない部分の厚みである。従って厚みＴ０は、金属板２１の厚みであると言うこともできる。

図５において、貫通孔２５の最小開口面積を持つ部分となる接続部４１と、第２凹部３５の壁面３６の他の任意の位置と、を通過する直線Ｌ１が、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対してなす最小角度が、符号θ１で表されている。すなわち、後述の図２１に示す場合と同様に、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側における貫通孔２５（第２凹部３５）の端部３８を通る蒸着材料９８の経路であって、有機ＥＬ基板９２に到達することができる経路のうち、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して角度θ１をなす経路が、符号Ｌ１で表されている。斜めに移動する蒸着材料９８を、壁面３６に到達させることなく可能な限り有機ＥＬ基板９２に到達させるためには、角度θ１を大きくすることが有利となる。角度θ１を大きくする上では、蒸着マスク２０の厚みＴ０を小さくすることの他にも、上述のトップ部４３の幅βを小さくすることも有効である。

図７において、符号αは、金属板２１の第１面２１ａの有効領域２２のうちエッチングされずに残っている部分（以下、リブ部とも称する）の幅を表している。リブ部の幅αおよび貫通部４２の寸法ｒ２は、有機ＥＬ表示装置の寸法および表示画素数に応じて適宜定められる。表１に、５インチの有機ＥＬ表示装置において、表示画素数、および表示画素数に応じたリブ部の幅αおよび貫通部４２の寸法ｒ２の値の一例を示す。

限定はされないが、本実施の形態による蒸着マスク２０は、４５０ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製する場合に特に有効なものである。以下、図８を参照して、そのような高い画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製するための蒸着マスク２０の寸法の一例について説明する。図８は、図５に示す蒸着マスク２０の貫通孔２５およびその近傍の領域を拡大して示す断面図である。

図８においては、貫通孔２５の形状に関連するパラメータとして、蒸着マスク２０の第１面２０ａから接続部４１までの、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った方向における距離、すなわち第１凹部３０の壁面３１の高さが符号ｒ１で表されている。さらに、第１凹部３０が第２凹部３５に接続する部分における第１凹部３０の寸法、すなわち貫通部４２の寸法が符号ｒ２で表されている。また図８において、接続部４１と、金属板２１の第１面２１ａ上における第１凹部３０の先端縁と、を結ぶ直線Ｌ２が、金属板２１の法線方向Ｎに対して成す角度が、符号θ２で表されている。

４５０ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製する場合、貫通部４２の寸法ｒ２は、好ましくは１０以上且つ６０μｍ以下に設定される。これによって、高い画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製することができる蒸着マスク２０を提供することができる。好ましくは、第１凹部３０の壁面３１の高さｒ１は、６μｍ以下に設定される。

次に、図８に示す上述の角度θ２について説明する。角度θ２は、金属板２１の法線方向Ｎに対して傾斜するとともに接続部４１近傍で貫通部４２を通過するように飛来した蒸着材料９８のうち、有機ＥＬ基板９２に到達することができる蒸着材料９８の傾斜角度の最大値に相当する。なぜなら、接続部４１を通って角度θ２よりも大きな傾斜角度で飛来した蒸着材料９８は、有機ＥＬ基板９２に到達するよりも前に第１凹部３０の壁面３１に付着するからである。従って、角度θ２を小さくすることにより、大きな傾斜角度で飛来して貫通部４２を通過した蒸着材料９８が有機ＥＬ基板９２に付着することを抑制することができ、これによって、有機ＥＬ基板９２のうち貫通部４２に重なる部分よりも外側の部分に蒸着材料９８が付着してしまうことを抑制することができる。すなわち、角度θ２を小さくすることは、有機ＥＬ基板９２に付着する蒸着材料９８の面積や厚みのばらつきの抑制を導く。このような観点から、例えば貫通孔２５は、角度θ２が４５度以下になるように形成される。なお図８においては、第１面２１ａにおける第１凹部３０の寸法、すなわち、第１面２１ａにおける貫通孔２５の開口寸法が、接続部４１における第１凹部３０の寸法ｒ２よりも大きくなっている例を示した。すなわち、角度θ２の値が正の値である例を示した。しかしながら、図示はしないが、接続部４１における第１凹部３０の寸法ｒ２が、第１面２１ａにおける第１凹部３０の寸法よりも大きくなっていてもよい。すなわち、角度θ２の値は負の値であってもよい。

次に、蒸着マスク２０を、エッチング処理によって製造する方法について説明する。

（金属板の製造方法）
はじめに、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法について説明する。

［圧延工程］
はじめに図９に示すように、ニッケルを含む鉄合金から構成された母材１５５を準備し、この母材１５５を、一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂを含む圧延装置１５６に向けて、矢印で示す方向に沿って搬送する。一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂの間に到達した母材１５５は、一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂによって圧延され、この結果、母材１５５は、その厚みが低減されるとともに、搬送方向に沿って伸ばされる。これによって、厚みｔ０の板材１６４Ｘを得ることができる。図９に示すように、板材１６４Ｘをコア１６１に巻き取ることによって巻き体１６２を形成してもよい。厚みｔ０の具体的な値は、好ましくは上述のように５μｍ以上且つ８５μｍ以下となっている。

なお図９は、圧延工程の概略を示すものに過ぎず、圧延工程を実施するための具体的な構成や手順が特に限られることはない。例えば圧延工程は、母材１５５を構成するインバー材の結晶配列を変化させる温度以上の温度で母材を加工する熱間圧延工程や、インバー材の結晶配列を変化させる温度以下の温度で母材を加工する冷間圧延工程を含んでいてもよい。また、一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂの間に母材１５５や板材１６４Ｘを通過させる際の向きが一方向に限られることはない。例えば、図９及び図１０において、紙面左側から右側への向き、および紙面右側から左側への向きで繰り返し母材１５５や板材１６４Ｘを一対の圧延ロール１５６ａ，１５６ｂの間に通過させることにより、母材１５５や板材１６４Ｘを徐々に圧延してもよい。

［スリット工程］
その後、板材１６４Ｘの幅が所定の範囲内になるよう、圧延工程によって得られた板材１６４Ｘの幅方向における両端をそれぞれ所定の範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい。このスリット工程は、圧延に起因して板材１６４Ｘの両端に生じ得るクラックを除去するために実施される。このようなスリット工程を実施することにより、板材１６４Ｘが破断してしまう現象、いわゆる板切れが、クラックを起点として生じてしまうことを防ぐことができる。

［アニール工程］
その後、圧延によって板材１６４Ｘ内に蓄積された残留応力（内部応力）を取り除くため、図１０に示すように、アニール装置１５７を用いて板材１６４Ｘをアニールし、これによって長尺金属板１６４を得る。アニール工程は、図１０に示すように、板材１６４Ｘや長尺金属板１６４を搬送方向（長手方向）に引っ張りながら実施されてもよい。すなわち、アニール工程は、いわゆるバッチ式の焼鈍ではなく、搬送しながらの連続焼鈍として実施されてもよい。

好ましくは上述のアニール工程は、非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気で実施される。ここで非還元雰囲気とは、水素などの還元性ガスを含まない雰囲気のことである。「還元性ガスを含まない」とは、水素などの還元性ガスの濃度が４％以下であることを意味している。また不活性ガス雰囲気とは、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガスなどの不活性ガスが９０％以上存在する雰囲気のことである。非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気でアニール工程を実施することにより、上述のニッケル水酸化物が長尺金属板１６４の第１面１６４ａや第２面１６４ｂに生成されることを抑制することができる。

アニール工程を実施することにより、残留歪がある程度除去された、厚みｔ０の長尺金属板１６４を得ることができる。なお厚みｔ０は通常、蒸着マスク２０の厚みＴ０に等しくなる。

なお、上述の圧延工程、スリット工程およびアニール工程を複数回繰り返すことによって、厚みｔ０の長尺の金属板１６４を作製してもよい。また図１０においては、アニール工程が、長尺金属板１６４を長手方向に引っ張りながら実施される例を示したが、これに限られることはなく、アニール工程を、長尺金属板１６４がコア１６１に巻き取られた状態で実施してもよい。すなわちバッチ式の焼鈍が実施されてもよい。なお、長尺金属板１６４がコア１６１に巻き取られた状態でアニール工程を実施する場合、長尺金属板１６４に、巻き体１６２の巻き取り径に応じた反りの癖がついてしまうことがある。従って、巻き体１６２の巻き径や母材１５５を構成する材料によっては、長尺金属板１６４を長手方向に引っ張りながらアニール工程を実施することが有利である。

［切断工程］
その後、長尺金属板１６４の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板１６４の幅を所望の幅に調整する切断工程を実施する。このようにして、所望の厚みおよび幅を有する長尺金属板１６４を得ることができる。

（蒸着マスクの製造方法）
次に、長尺金属板１６４を用いて蒸着マスク２０を製造する方法について、主に図１１～図１９を参照して説明する。以下に説明する蒸着マスク２０の製造方法では、図１１に示すように、長尺金属板１６４が供給され、この長尺金属板１６４に貫通孔２５が形成され、さらに長尺金属板１６４を断裁することによって枚葉状の金属板２１からなる蒸着マスク２０が得られる。

より具体的には、蒸着マスク２０の製造方法、帯状に延びる長尺の金属板１６４を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺の金属板１６４に施して、長尺金属板１６４に第１面１６４ａの側から第１凹部３０を形成する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺金属板１６４に施して、長尺金属板１６４に第２面１６４ｂの側から第２凹部３５を形成する工程と、を含んでいる。そして、長尺金属板１６４に形成された第１凹部３０と第２凹部３５とが互いに通じ合うことによって、長尺金属板１６４に貫通孔２５が作製される。図１２～図１９に示された例では、第１凹部３０の形成工程が、第２凹部３５の形成工程の前に実施され、且つ、第１凹部３０の形成工程と第２凹部３５の形成工程の間に、作製された第１凹部３０を封止する工程が、さらに設けられている。以下において、各工程の詳細を説明する。

図１１には、蒸着マスク２０を製造するための製造装置１６０が示されている。図１１に示すように、まず、長尺金属板１６４をコア１６１に巻き取った巻き体１６２が準備される。そして、このコア１６１が回転して巻き体１６２が巻き出されることにより、図１１に示すように帯状に延びる長尺金属板１６４が供給される。なお、長尺金属板１６４は、貫通孔２５を形成されて枚葉状の金属板２１、さらには蒸着マスク２０をなすようになる。

供給された長尺金属板１６４は、搬送ローラー１７２によって、エッチング装置（エッチング手段）１７０に搬送される。エッチング装置１７０によって、図１２～図１９に示された各処理が施される。なお本実施の形態においては、長尺金属板１６４の幅方向に複数の蒸着マスク２０が割り付けられるものとする。すなわち、複数の蒸着マスク２０が、長手方向において長尺金属板１６４の所定の位置を占める領域から作製される。この場合、好ましくは、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１が長尺金属板１６４の圧延方向に一致するよう、複数の蒸着マスク２０が長尺金属板１６４に割り付けられる。

まず、図１２に示すように、長尺金属板１６４の第１面１６４ａ上および第２面１６４ｂ上にネガ型の感光性レジスト材料を含むレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄを形成する。レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄを形成する方法としては、アクリル系光硬化性樹脂などの感光性レジスト材料を含む層が形成されたフィルム、いわゆるドライフィルムを長尺金属板１６４の第１面１６４ａ上および第２面１６４ｂ上に貼り付ける方法が採用される。

次に、レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄのうちの除去したい領域に光を透過させないようにした露光マスク１６８ａ、１６８ｂを準備し、露光マスク１６８ａ、１６８ｂをそれぞれ図１３に示すようにレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄ上に配置する。露光マスク１６８ａ、１６８ｂとしては、例えば、レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄのうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板が用いられる。その後、真空密着によって露光マスク１６８ａ、１６８ｂをレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄに十分に密着させる。なお感光性レジスト材料として、ポジ型のものが用いられてもよい。この場合、露光マスクとして、レジスト膜のうちの除去したい領域に光を透過させるようにした露光マスクが用いられる。

その後、レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄを露光マスク１６８ａ、１６８ｂ越しに露光する（露光工程）。さらに、露光されたレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄに像を形成するためにレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄを現像する（現像工程）。以上のようにして、図１４に示すように、長尺金属板１６４の第１面１６４ａ上に第１レジストパターン１６５ａを形成し、長尺金属板１６４の第２面１６４ｂ上に第２レジストパターン１６５ｂを形成することができる。なお現像工程は、レジスト膜１６５ｃ、１６５ｄの硬度を高めるための、または長尺金属板１６４に対してレジスト膜１６５ｃ、１６５ｄをより強固に密着させるためのレジスト熱処理工程を含んでいてもよい。レジスト熱処理工程は、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガスなどの不活性ガスの雰囲気において、例えば１００℃以上且つ４００℃以下で実施される。

次に、図１５に示すように、長尺金属板１６４の第１面１６４ａのうち第１レジストパターン１６５ａによって覆われていない領域を、第１エッチング液を用いてエッチングする第１面エッチング工程を実施する。例えば、第１エッチング液が、搬送される長尺金属板１６４の第１面１６４ａに対面する側に配置されたノズルから、第１レジストパターン１６５ａ越しに長尺金属板１６４第１面１６４ａに向けて噴射される。この結果、図１５に示すように、長尺金属板１６４のうちの第１レジストパターン１６５ａによって覆われていない領域で、第１エッチング液による浸食が進む。これによって、長尺金属板１６４の第１面１６４ａに多数の第１凹部３０が形成される。第１エッチング液としては、例えば塩化第２鉄溶液及び塩酸を含むものが用いられる。

その後、図１６に示すように、後の第２面エッチング工程において用いられる第２エッチング液に対する耐性を有した樹脂１６９によって、第１凹部３０が被覆される。すなわち、第２エッチング液に対する耐性を有した樹脂１６９によって、第１凹部３０が封止される。図１６に示す例において、樹脂１６９の膜が、形成された第１凹部３０だけでなく、第１面１６４ａ（第１レジストパターン１６５ａ）も覆うように形成されている。

次に、図１７に示すように、長尺金属板１６４の第２面１６４ｂのうち第２レジストパターン１６５ｂによって覆われていない領域をエッチングし、第２面１６４ｂに第２凹部３５を形成する第２面エッチング工程を実施する。第２面エッチング工程は、第１凹部３０と第２凹部３５とが互いに通じ合い、これによって貫通孔２５が形成されるようになるまで実施される。第２エッチング液としては、上述の第１エッチング液と同様に、例えば塩化第２鉄溶液及び塩酸を含むものが用いられる。

なお第２エッチング液による浸食は、長尺金属板１６４のうちの第２エッチング液に触れている部分において行われていく。従って、浸食は、長尺金属板１６４の法線方向Ｎ（厚み方向）のみに進むのではなく、長尺金属板１６４の板面に沿った方向にも進んでいく。ここで好ましくは、第２面エッチング工程は、第２レジストパターン１６５ｂの隣り合う二つの孔１６６ａに対面する位置にそれぞれ形成された二つの第２凹部３５が、二つの孔１６６ａの間に位置するブリッジ部１６７ａの裏側において合流するよりも前に終了される。これによって、図１８に示すように、長尺金属板１６４の第２面１６４ｂに上述のトップ部４３を残すことができる。

その後、図１９に示すように、長尺金属板１６４から樹脂１６９が除去される。樹脂１６９は、例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、除去することができる。アルカリ系剥離液が用いられる場合、図１９に示すように、樹脂１６９と同時にレジストパターン１６５ａ，１６５ｂも除去される。なお、樹脂１６９を除去した後、樹脂１６９を剥離させるための剥離液とは異なる剥離液を用いて、樹脂１６９とは別途にレジストパターン１６５ａ，１６５ｂを除去してもよい。

このようにして多数の貫通孔２５が形成された長尺金属板１６４は、当該長尺金属板１６４を狭持した状態で回転する搬送ローラー１７２，１７２により、切断装置（切断手段）１７３へ搬送される。なお、この搬送ローラー１７２，１７２の回転によって長尺金属板１６４に作用するテンション（引っ張り応力）を介し、上述した供給コア１６１が回転させられ、巻き体１６２から長尺金属板１６４が供給されるようになっている。

その後、多数の貫通孔２５が形成された長尺金属板１６４を切断装置（切断手段）１７３によって所定の長さおよび幅に切断することにより、多数の貫通孔２５が形成された枚葉状の金属板２１、すなわち蒸着マスク２０が得られる。

（めっき処理によって製造される蒸着マスク）
ところで、蒸着マスク２０は、めっき処理を利用して製造することもできる。そこで、以下に、めっき処理によって製造された蒸着マスク２０について説明する。ここでは、まず、蒸着マスク２０がめっき処理によって形成される場合の、貫通孔２５及びその周囲の部分の形状について説明する。

図２０は、めっき処理によって製造された蒸着マスク２０の第１面２０ａ側から有効領域２２を拡大して示す平面図である。図４に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。貫通孔２５の一例について図２１を主に参照して更に詳述する。図２１は、図２０の有効領域２２のＤ－Ｄ方向から見た断面図である。

図２１に示すように、蒸着マスク２０は、第１面２０ａを構成する第１金属層３２と、第１金属層３２上に設けられ、第２面２０ｂを構成する第２金属層３７と、を備える。蒸着材料９８を有機ＥＬ基板９２上に蒸着させる際（蒸着時）には、第２金属層３７が、上述したフレーム１５（図１等参照）の側に配置される。第１金属層３２には、所定のパターンで第１開口部３０が設けられており、また、第２金属層３７には、所定のパターンで第２開口部３５が設けられている。第１開口部３０と第２開口部３５とが互いに連通することにより、蒸着マスク２０の第１面２０ａから第２面２０ｂに延びる貫通孔２５が構成されている。

図２０に示すように、貫通孔２５を構成する第１開口部３０や第２開口部３５は、平面視において略多角形状になっていてもよい。ここでは第１開口部３０および第２開口部３５が、略四角形状、より具体的には略正方形状になっている例が示されている。また、図示はしないが、第１開口部３０や第２開口部３５は、略六角形状や略八角形状など、その他の略多角形状になっていてもよい。なお「略多角形状」とは、多角形の角部が丸められている形状を含む概念である。また図示はしないが、第１開口部３０や第２開口部３５は、円形状になっていてもよい。また、平面視において第２開口部３５が第１開口部３０を囲う輪郭を有する限りにおいて、第１開口部３０の形状と第２開口部３５の形状が相似形になっている必要はない。

図２１において、符号４１は、第１金属層３２と第２金属層３７とが接続される接続部を表している。また符号Ｓ０は、第１金属層３２と第２金属層３７との接続部４１における貫通孔２５の寸法を表している。なお図２１においては、第１金属層３２と第２金属層３７とが接している例を示したが、これに限られることはなく、第１金属層３２と第２金属層３７との間にその他の層が介在されていてもよい。例えば、第１金属層３２と第２金属層３７との間に、第１金属層３２上における第２金属層３７の析出を促進させるための触媒層が設けられていてもよい。

図２２は、図２１の第１金属層３２および第２金属層３７の一部を拡大して示す図である。図２２に示すように、蒸着マスク２０の第２面２０ｂにおける第２金属層３７の幅Ｍ２は、蒸着マスク２０の第１面２０ａにおける第１金属層３２の幅Ｍ１よりも小さくなっている。言い換えると、第２面２０ｂにおける貫通孔２５（第２開口部３５）の開口寸法Ｓ２は、第１面２０ａにおける貫通孔２５（第１開口部３０）の開口寸法Ｓ１よりも大きくなっている。以下、このように第１金属層３２および第２金属層３７を構成することの利点について説明する。

蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側から飛来する蒸着材料９８は、貫通孔２５の第２開口部３５および第１開口部３０を順に通って有機ＥＬ基板９２に付着する。有機ＥＬ基板９２のうち蒸着材料９８が付着する領域は、第１面２０ａにおける貫通孔２５の開口寸法Ｓ１や開口形状によって主に定められる。ところで、図２１及び図２２において第２面２０ｂ側から第１面２０ａへ向かう矢印Ｌ１で示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４から有機ＥＬ基板９２に向けて蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿って移動するだけでなく、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して大きく傾斜した方向に移動することもある。ここで、仮に第２面２０ｂにおける貫通孔２５の開口寸法Ｓ２が第１面２０ａにおける貫通孔２５の開口寸法Ｓ１と同一であるとすると、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対して大きく傾斜した方向に移動する蒸着材料９８の多くは、貫通孔２５を通って有機ＥＬ基板９２に到達するよりも前に、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ（図２１における第２金属層３７の上面）に付着してしまうとともに、貫通孔２５の第２開口部３５の壁面３６に到達して付着してしまう。このため、貫通孔２５を通過できない蒸着材料９８が多くなってしまう。従って、蒸着材料９８の利用効率を高めるためには、第２開口部３５の開口寸法Ｓ２を大きくすること、すなわち第２金属層３７の幅Ｍ２を小さくすることが好ましいと言える。

図２１において、第２金属層３７の壁面３６及び第１金属層３２の壁面３１に接する直線Ｌ１が、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対してなす最小角度が、符号θ１で表されている。斜めに移動する蒸着材料９８を、可能な限り有機ＥＬ基板９２に到達させるためには、角度θ１を大きくすることが有利となる。例えば、角度θ１を４５°以上にすることが好ましい。

角度θ１を大きくする上では、第１金属層３２の幅Ｍ１に比べて第２金属層３７の幅Ｍ２を小さくすることが有効である。また、図から明らかなように、角度θ１を大きくする上では、第１金属層３２の厚みＴ１や第２金属層３７の厚みＴ２を小さくすることも有効である。なお、第２金属層３７の幅Ｍ２、第１金属層３２の厚みＴ１や第２金属層３７の厚みＴ２を過剰に小さくしてしまうと、蒸着マスク２０の強度が低下し、このため搬送時や使用時に蒸着マスク２０が破損してしまうことが考えられる。例えば、蒸着マスク２０をフレーム１５に張設する際に蒸着マスク２０に加えられる引張り応力によって、蒸着マスク２０が破損してしまうことが考えられる。これらの点を考慮すると、第１金属層３２および第２金属層３７の寸法が以下の範囲に設定されることが好ましいと言える。これによって、上述の角度θ１を例えば４５°以上にすることができる。

・第１金属層３２の幅Ｍ１：５μｍ以上且つ２５μｍ以下
・第２金属層３７の幅Ｍ２：２μｍ以上且つ２０μｍ以下
・蒸着マスク２０の厚みＴ０：３μｍ以上且つ５０μｍ以下、より好ましくは３μｍ以上且つ５０μｍ以下、さらに好ましくは３μｍ以上且つ３０μｍ以下、さらに好ましくは３μｍ以上且つ２５μｍ以下
・第１金属層３２の厚みＴ１：５μｍ以下
・第２金属層３７の厚みＴ２：２μｍ以上且つ５０μｍ以下、より好ましくは３μｍ以上且つ５０μｍ以下、さらに好ましくは３μｍ以上且つ３０μｍ以下、さらに好ましくは３μｍ以上且つ２５μｍ以下
なお、本実施の形態において、蒸着マスク２０の厚みＴ０は、有効領域２２および周囲領域２３において同一である。

上述の開口寸法Ｓ０，Ｓ１，Ｓ２は、有機ＥＬ表示装置の画素密度や上述の角度θ１の所望値などを考慮して、適切に設定される。例えば、４００ｐｐｉ以上の画素密度の有機ＥＬ表示装置を作製する場合、接続部４１における貫通孔２５の開口寸法Ｓ０は、１５μｍ以上且つ６０μｍ以下に設定され得る。また、第１面２０ａにおける第１開口部３０の開口寸法Ｓ１は、１０μｍ以上且つ５０μｍ以下に設定され、第２面２０ｂにおける第２開口部３５の開口寸法Ｓ２は、１５μｍ以上且つ６０μｍ以下に設定され得る。

図２２に示すように、第１金属層３２によって構成される蒸着マスク２０の第１面２０ａには、窪み部３４が形成されていてもよい。窪み部３４は、めっき処理によって蒸着マスク２０を製造する場合に、後述するパターン基板５０の導電性パターン５２に対応して形成される。窪み部３４の深さＤは、例えば５０ｎｍ以上且つ５００ｎｍ以下である。好ましくは、第１金属層３２に形成される窪み部３４の外縁３４ｅは、第１金属層３２の端部３３と接続部４１との間に位置する。

次に、めっき処理によって蒸着マスク２０を製造する例について説明する。

（蒸着マスクの製造方法）
図２３～図２６は、蒸着マスク２０の製造方法を説明する図である。

〔パターン基板準備工程〕
まず、図２３に示すパターン基板５０を準備する。パターン基板５０は、絶縁性を有する基材５１と、基材５１上に形成された導電性パターン５２と、を有する。導電性パターン５２は、第１金属層３２に対応するパターンを有する。なお、蒸着マスク２０をパターン基板５０から分離させる後述する分離工程を容易化するため、パターン基板５０に離型処理を施しておいてもよい。

〔第１めっき処理工程〕
次に、導電性パターン５２が形成された基材５１上に第１めっき液を供給して、導電性パターン５２上に第１金属層３２を析出させる第１めっき処理工程を実施する。例えば、導電性パターン５２が形成された基材５１を、第１めっき液が充填されためっき槽に浸す。これによって、図２４に示すように、パターン基板５０上に、所定のパターンで第１開口部３０が設けられた第１金属層３２を得ることができる。

なお、めっき処理の特性上、図２４に示すように、第１金属層３２は、基材５１の法線方向に沿って見た場合に導電性パターン５２と重なる部分だけでなく、導電性パターン５２と重ならない部分にも形成され得る。これは、導電性パターン５２の端部５４と重なる部分に析出した第１金属層３２の表面にさらに第１金属層３２が析出するためである。この結果、図２４に示すように、第１開口部３０の端部３３は、基材５１の法線方向に沿って見た場合に導電性パターン５２と重ならない部分に位置するようになり得る。また、第１金属層３２のうち導電性パターン５２と接する側の面には、導電性パターン５２の厚みに対応する上述の窪み部３４が形成される。

導電性パターン５２上に第１金属層３２を析出させることができる限りにおいて、第１めっき処理工程の具体的な方法が特に限られることはない。例えば、第１めっき処理工程は、導電性パターン５２に電流を流すことによって導電性パターン５２上に第１金属層３２を析出させる、いわゆる電解めっき処理工程として実施されてもよい。若しくは、第１めっき処理工程は、無電解めっき処理工程であってもよい。

用いられる第１めっき液の成分は、第１金属層３２の特性に応じて適宜定められる。例えば第１金属層３２が、ニッケルを含む鉄合金によって構成される場合、第１めっき液として、ニッケル化合物を含む溶液と、鉄化合物を含む溶液との混合溶液を用いることができる。例えば、スルファミン酸ニッケルや臭化ニッケルを含む溶液と、スルファミン酸第一鉄を含む溶液との混合溶液を用いることができる。めっき液には、様々な添加剤が含まれていてもよい。添加剤としては、ホウ酸などのｐＨ緩衝剤、サッカリンナトリウなどの一次光沢剤、ブチンジオール、プロパギルアルコール、クマリン、ホルマリン、チオ尿素などの二次光沢剤、酸化防止剤や、応力緩和剤などが用いられ得る。このうち一次光沢剤は、硫黄成分を含んでいてもよい。

〔レジスト形成工程〕
次に、基材５１上および第１金属層３２上に、所定の隙間５６を空けてレジストパターン５５を形成するレジスト形成工程を実施する。図２５に示すように、レジスト形成工程は、第１金属層３２の第１開口部３０がレジストパターン５５によって覆われるとともに、レジストパターン５５の隙間５６が第１金属層３２上に位置するように実施される。

〔第２めっき処理工程〕
次に、レジストパターン５５の隙間５６に第２めっき液を供給して、第１金属層３２上に第２金属層３７を析出させる第２めっき処理工程を実施する。例えば、第１金属層３２が形成された基材５１を、第２めっき液が充填されためっき槽に浸す。これによって、図２６に示すように、第１金属層３２上に第２金属層３７を形成することができる。

第１金属層３２上に第２金属層３７を析出させることができる限りにおいて、第２めっき処理工程の具体的な方法が特に限られることとはない。例えば、第２めっき処理工程は、第１金属層３２に電流を流すことによって第１金属層３２上に第２金属層３７を析出させる、いわゆる電解めっき処理工程として実施されてもよい。若しくは、第２めっき処理工程は、無電解めっき処理工程であってもよい。

第２めっき液としては、上述の第１めっき液と同一のめっき液が用いられてもよい。若しくは、第１めっき液とは異なるめっき液が第２めっき液として用いられてもよい。第１めっき液の組成と第２めっき液の組成とが同一である場合、第１金属層３２を構成する金属の組成と、第２金属層３７を構成する金属の組成も同一になる。

〔レジスト除去工程〕
その後、レジストパターン５５を除去するレジスト除去工程を実施する。例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、レジストパターン５５を基材５１、第１金属層３２や第２金属層３７から剥離させることができる。

〔分離工程〕
次に、第１金属層３２および第２金属層３７の組み合わせ体を基材５１から分離させる分離工程を実施する。当該組み合わせ体が基材５１から分離される際には、導電性パターン５２上に、上述した離型処理によって形成された有機物の膜が形成されているため、組み合わせ体の第１金属層３２は、有機物の膜の表面から剥離され、導電性パターン５２は、有機物の膜とともに基材５１に残る。これによって、所定のパターンで第１開口部３０が設けられた第１金属層３２と、第１開口部３０に連通する第２開口部３５が設けられた第２金属層３７と、を備えた蒸着マスク２０を得ることができる。

以上の説明では、めっき処理によって形成される蒸着マスク２０が、第１金属層３２と第２金属層３７とによって構成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、めっき処理によって形成される蒸着マスク２０が、単一の金属層（図示せず）によって構成されていてもよい。

（蒸着マスク装置の製造方法）
次に、上述のようにして得られた蒸着マスク２０を用いて蒸着マスク装置１０を製造する方法について説明する。

まず、エッチング処理またはめっき処理によって上述のようにして準備された蒸着マスク２０をフレーム１５に溶接する溶接工程を実施する。これによって、蒸着マスク２０及びフレーム１５を備える蒸着マスク装置１０を得ることができる。得られた蒸着マスク２０は、張設された状態でフレーム１５に溶接されて、図３に示すような蒸着マスク装置１０が得られる。

（蒸着マスク梱包体および蒸着マスク用梱包装置）
次に、エッチング処理またはめっき処理によって得られた上述した蒸着マスク２０を梱包した蒸着マスク梱包体６０および蒸着マスク用梱包装置６０ａについて図２７～図３２を用いて説明する。蒸着マスク用梱包装置６０ａは、上述した蒸着マスク２０、すなわち、複数の貫通孔２５が形成された、長手方向Ｄ１を有する蒸着マスク２０を梱包する装置である。蒸着マスク梱包体６０は、主として、蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０が梱包された蒸着マスク用梱包装置６０ａと、を備えた構成である。ここで、図２８には、蒸着マスク梱包体６０の横断面が示されている。横断面とは、梱包される蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２（長手方向Ｄ１に直交する方向）に沿う断面を意味する。後述する図４５には第６の変形例における蒸着マスク梱包体６０の縦断面が示されているが、縦断面とは、梱包される蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１に沿う断面を意味する。

図２７及び図２８に示すように、本実施の形態による蒸着マスク梱包体６０は、第１基部と、第１基部の上方に設けられ、第１基部に対向する第２基部と、第１基部と第２基部との間に配置された蒸着マスク積層体８０と、を備えている。第１基部は、板状に形成された第１基板であってもよい。ここで基板とは、互いに反対側に設けられた一対の主面とが互いに平行であるとともに平坦状に形成されている板状の部材に限られることはない。例えば、一方の主面が平坦状に形成されている場合には、一対の主面は非平行であってもよく、または一方の主面は非平坦状に形成されていてもよい。第２基部も、第１基部と同様に、板状に形成された第２基板であってもよい。本実施の形態においては、第１基部の一例として、板状に形成された受け部６１を例にとるとともに、第２基部の一例として、板状に形成された蓋部６２を例にとって以下説明する。

蒸着マスク積層体８０は、上述した複数の蒸着マスク２０を有していてもよい。蒸着マスク積層体８０の詳細については後述する。上述した蒸着マスク用梱包装置６０ａは、蒸着マスク２０を含む蒸着マスク積層体８０を梱包するための装置である。この蒸着マスク用梱包装置６０ａは、主として、上述した受け部６１と、蓋部６２と、後述する一対のスペーサ６４と、を備えた構成となる。すなわち、蒸着マスク梱包体６０から蒸着マスク積層体８０、後述する蓋部側挿間シート８２および受け部側挿間シート８３を除いた構成が、蒸着マスク用梱包装置６０ａの構成である。

蒸着マスク積層体８０の各蒸着マスク２０は、受け部６１と蓋部６２で保持されている。本実施の形態では、受け部６１と蓋部６２とが別体に形成されて結束部によって結束されている。本実施の形態においては、結束部の一例として弾性ベルト６３を用いて以下説明する。この弾性ベルト６３の弾性力によって、受け部６１および蓋部６２が互いに押し付け合うようになっている。ここでは、受け部６１と蓋部６２とが２つの弾性ベルト６３によって結束されている例が示されているが、受け部６１と蓋部６２とが、輸送中等に互いにずれることを抑制できれば、弾性ベルト６３の個数は任意である。例えば、弾性ベルト６３を２個以上用いる場合には、受け部６１と蓋部６２が、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２を含む平面内で相対回転して互いにずれることを抑制することができる。また、受け部６１と蓋部６２とが蒸着マスク２０を保持することができれば、弾性ベルト６３を用いることに限られることはない。

受け部６１および蓋部６２は、１枚の材料シートで構成されてもよく、複数枚の材料シート（例えば、ポリプロピレンなどのプラスチック製の段ボールシート）が積層されて接着された構成としてもよい。プラスチック製の段ボールシートは、強度と質量の観点から、すなわち所望の強度を有するにも関わらず軽量であるという点から好適であり、一対のライナーと、ライナーの間に介在された波形状の横断面を有する中芯と、を含む構成を有している。複数枚の段ボールシートを積層する場合には、互いに隣り合う段ボールシートの中芯の波形状の尾根（または谷）が延びる方向が、互いに直交するように積層することが好適である。この場合、積層された段ボールシートから構成される受け部６１および蓋部６２の強度をそれぞれ向上させることができる。ポリプロピレン製の段ボールシートの例としては、例えば、住化プラステック社製のサンプライ、宇部エクシモ社製のダンプレート、シングルコーン、ツインコーン、または酒井化学工業社製のミナダン等が挙げられる。

また、受け部６１および蓋部６２は、静電気が発生することを抑制するために、帯電防止コーティングされていることが好ましい。より具体的には、受け部６１および蓋部６２に、帯電防止剤がコーティングされて、受け部６１および蓋部６２の両面に帯電防止層が形成されていてもよい。この場合、受け部６１および蓋部６２が帯電することを抑制でき、開梱時に蒸着マスク２０と後述する挿間シート８１、８２、８３とが静電作用により付着することを抑制できる。このような帯電防止剤の一例としては、界面活性剤や導電性ポリマー、カーボンブラック、金属等が挙げられる。あるいは、受け部６１の材料を、表層に導電層または帯電防止層が形成された材料や、帯電防止剤が練り込まれた材料にしてもよく、蓋部６２の材料を、表層に導電層または帯電防止層が形成された材料や、帯電防止剤が練り込まれた材料にしてもよい。例えば、上述のポリプロピレン製の段ボールシートにおいて、帯電防止や導電性を有したグレードのシートを採用してもよい。後述するスペーサ６４についても同様に帯電防止コーティングされていることが好ましく、あるいは、スペーサ６４の材料を、帯電防止剤が練り込まれた材料にしてもよい。

図２８および図３０に示すように、受け部６１は、蓋部６２に対向する第１対向面６５を有している。この第１対向面６５は、平坦状に形成されていてもよく、この第１対向面６５に蒸着マスク積層体８０が載置されている。一方、図２８および図２９に示すように、蓋部６２は、受け部６１に対向する第２対向面６６を有している。この第２対向面６６は、平坦状に形成されていてもよい。

受け部６１と蓋部６２は、平面視（後述）で互いに重なり合っていることが好ましい。蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における受け部６１および蓋部６２の寸法は、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における寸法に応じて任意に設定することができるが、例えば、下限は、１００ｍｍ以上であってもよく、３００ｍｍ以上であってもよく、５００ｍｍ以上であってもよく、７００ｍｍ以上であってもよい。また、上限は、１０００ｍｍ以下であってもよく、１５００ｍｍ以下であってもよく、２０００ｍｍ以下であってもよく、３０００ｍｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってもよく、７００ｍｍ以上３０００ｍｍ以下であってもよく、５００ｍｍ以上１５００ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１００ｍｍ以上７００ｍｍ以下であってもよく、３００ｍｍ以上５００ｍｍ以下であってもよく、５００ｍｍ以上７００ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０００ｍｍ以上３０００ｍｍ以下であってもよく、１５００ｍｍ以上２０００ｍｍ以下であってもよく、２０００ｍｍ以上３０００ｍｍ以下であってもよい。例えば、１００ｍｍ以上にすることにより、長手方向Ｄ１における所望の寸法を有する蒸着マスク２０を収容することができる。一方、例えば、３０００ｍｍ以下にすることにより、輸送中や保管中における蒸着マスク梱包体６０や蒸着マスク用梱包装置６０ａの変形を抑制することができる。

蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２における受け部６１および蓋部６２の寸法は、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２における寸法に応じて任意に設定することができるが、例えば、下限は、３０ｍｍ以上であってもよく、５０ｍｍ以上であってもよく、１００ｍｍ以上であってもよく、２００ｍｍ以上であってもよい。また、上限は、３００ｍｍ以下であってもよく、５００ｍｍ以下であってもよく、８００ｍｍ以下であってもよく、１０００ｍｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、３０ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってもよく、５０ｍｍ以上８００ｍｍ以下であってもよく、１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、３０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってもよく、５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってもよく、１００ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、３００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってもよく、３００ｍｍ以上８００ｍｍ以下であってもよく、５００ｍｍ以上８００ｍｍ以下であってもよい。例えば、３０ｍｍ以上にすることにより、幅方向Ｄ２における所望の寸法を有する蒸着マスク２０を収容することができる。一方、例えば、７００ｍｍ以下にすることにより、輸送中や保管中における蒸着マスク梱包体６０や蒸着マスク用梱包装置６０ａの変形を抑制することができる。

受け部６１の厚みは、例えば、例えば、下限は、０．５ｍｍ以上であってもよく、１．５ｍｍ以上であってもよく、５ｍｍ以上であってもよい。また、上限は、１０ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．５ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよく、１．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよく、５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．５ｍｍ以上５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下であってもよく、１．５ｍｍ以上５ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよい。。例えば、０．５ｍｍ以上にすることにより、輸送中や保管中における蒸着マスク梱包体６０や蒸着マスク用梱包装置６０ａの変形を抑制することができる。一方、例えば、４０ｍｍ以下にすることにより、蒸着マスク用梱包装置６０ａを人手で搬送可能な重さにすることができる。必要に応じて、複数枚の段ボールシートを重ねて受け部６１を構成する場合においても、上述した厚みの範囲にあることが好ましい。

蓋部６２の厚みは、例えば、下限は、０．５ｍｍ以上であってもよく、１．５ｍｍ以上であってもよく、５ｍｍ以上であってもよい。また、上限は、１０ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．５ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよく、１．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよく、５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．５ｍｍ以上５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下であってもよく、１．５ｍｍ以上５ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよい。。例えば、０．５ｍｍ以上にすることにより、輸送中や保管中における蒸着マスク梱包体６０や蒸着マスク用梱包装置６０ａの変形を抑制することができる。一方、例えば、４０ｍｍ以下にすることにより、蒸着マスク用梱包装置６０ａを人手で搬送可能な重さにすることができる。必要に応じて、複数枚の段ボールシートを重ねて蓋部６２を構成する場合においても、上述した厚みの範囲にあることが好ましい。

受け部６１と蓋部６２との間には、一対のスペーサ６４が介在されている。一対のスペーサ６４は、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の両側に配置されており、一対のスペーサ６４の間に蒸着マスク積層体８０の収容空間６４ａが画定されている。この収容空間６４ａは、収容される蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１に沿った長手方向Ｄ３を有している。スペーサ６４は、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２における側縁２０ｆに沿って、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１に延びており、後述する各挿間シート８１、８２、８３が蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２に移動することを規制している。本実施の形態では、スペーサ６４は、受け部６１および蓋部６２とは別体に形成されており、蓋部６２の第２対向面６６に接着剤などで接合されていてもよい。しかしながら、スペーサ６４は、受け部６１の第１対向面６５に接合されるようにしてもよい。スペーサ６４の材料は、受け部６１と蓋部６２とが弾性ベルト６３によって結束された際にかかる力に耐えることができれば特に限られることはない。例えば、質量の観点から、所望の強度を有するプラスチック材料（例えば、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアセタール、ポリオキシメチレン、MCナイロン、超分子ポリエチレン、エポキシなど）で形成されていてもよい。また、スペーサ６４の硬度は、受け部６１および蓋部６２の硬度よりも高くしてもよい。このことにより、蒸着マスク梱包体６０が受ける上下方向の力に対して剛性を高めることができ、蒸着マスク積層体８０に上下方向の力が加えられることを抑制できる。

スペーサ６４を蓋部６２に接合するための接着剤としては、硬化時の収縮を押さえた材料を用いた接着剤であることが好ましく、例えば、２液硬化型エポキシ系接着剤、ＵＶ硬化型エポキシ系接着剤または変性シリコーン系接着剤などを用いてもよい。また、接着剤の代わりに、粘着剤を用いてもよい。この場合、例えば、基材の両面に粘着剤による粘着層が形成された両面粘着テープを用いてもよい。基材には、例えば不織布、紙またはポリエステル等のプラスチックフィルムを用いてもよく、粘着剤には、例えばアクリル系樹脂を含む粘着剤を用いてもよい。

蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１におけるスペーサ６４の寸法は、受け部６１および蓋部６２と同様の寸法であってもよい。また、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２（収容空間６４ａにおける幅方向Ｄ４に相当）におけるスペーサ６４の寸法は、収容空間６４ａが形成できるように設定すればよい。収容空間６４ａの幅方向Ｄ４に沿う寸法は、梱包される蒸着マスク２０に応じて任意に設定することができる。例えば、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２に沿う寸法は、例えば、下限は、１０ｍｍ以上であってもよく、２０ｍｍ以上であってもよく、５０ｍｍ以上であってもよい。また、上限は、１００ｍｍ以下であってもよく、５００ｍｍ以下であってもよく、１０００ｍｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以上５００ｍｍ以下であってもよく、５０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよく、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下であってもよく、１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってもよく、５００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってもよい。この場合、収容空間６４ａの幅方向Ｄ４に沿う寸法は、例えば、下限は、１０ｍｍ以上であってもよく、２０ｍｍ以上であってもよく、５０ｍｍ以上であってもよい。また、上限は、１００ｍｍ以下であってもよく、５００ｍｍ以下であってもよく、１０００ｍｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以上５００ｍｍ以下であってもよく、５０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよく、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下であってもよく、１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってもよく、５００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であってもよい。例えば、１０ｍｍ以上にすることにより、さまざまな蒸着マスク２０の幅寸法に対応することができる。一方、例えば、１０００ｍｍ以下にすることにより、蒸着マスク２０とスペーサ６４との間に間隙を設けて、幅方向にずれた際の梱包体との接触を回避することができるとともに、蒸着マスク２０の取扱性を向上させることができる。

スペーサ６４の厚みは、例えば、例えば、下限は、１ｍｍ以上であってもよく、５ｍｍ以上であってもよく、１０ｍｍ以上であってもよく、２０ｍｍ以上であってもよい。また、上限は、３０ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以下であってもよく、６０ｍｍ以下であってもよく、８０ｍｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１ｍｍ以上８０ｍｍ以下であってもよく、５ｍｍ以上６０ｍｍ以下であってもよく、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよく、５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であってもよく、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であってもよく、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、３０ｍｍ以上８０ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以上６０ｍｍ以下であってもよく、３０ｍｍ以上６０ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以上８０ｍｍ以下であってもよい。例えば、５ｍｍ以上にすることにより、蒸着マスク積層体８０を収容した状態でも収容空間６４ａを十分に確保することができる。一方、例えば、４０ｍｍ以下にすることにより、蒸着マスク積層体８０の最下部の蒸着マスク２０にかかる重量を抑制し、輸送中や保管中におけるこの蒸着マスク２０の変形を抑制することができる。

図示しないが、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１の両側にも、スペーサ（図示せず）が配置されていてもよい。この場合、平面視において、蒸着マスク積層体８０の収容空間６４ａがスペーサで取り囲まれるように画定されるとともに、後述する各挿間シート８１、８２、８３が長手方向Ｄ１に移動することを規制している。

図２９および図３２に示すように、蓋部６２は、平面視において蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における両端部２０ｅの少なくとも一方に配置された凸部６７を有している。言い換えると、凸部６７は、平面視において、一対のスペーサ６４によって画定される上述した収容空間６４ａの長手方向Ｄ３における両端部の少なくとも一方に配置されている。ここで、図３２は、図３１のＥ－Ｅ線断面を示しているため、蒸着マスク２０の紙面奥側に受け部６１が配置され、蓋部６２は、紙面手前側に配置される。本実施の形態では、両端部２０ｅに配置される一対の凸部６７を蓋部６２が有している例を示しているが、蓋部６２にはいずれか一方の凸部６７は設けられていなくてもよい。

本実施の形態による凸部６７は、平面視において、蒸着時に蒸着材料９８が通過する貫通孔２５に重なっていなくてもよい。図３２に示すように、凸部６７は、平面視において（蒸着マスク２０の第１面２０ａまたは第２面２０ｂに垂直な方向から見たときに）、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における有効領域２２の両側に配置されている。より具体的には、各凸部６７は、平面視で蒸着マスク２０の対応する端部開口部２４に重なる位置に配置されており、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の中心に配置されている。そして、各凸部６７は、平面視において、対応する端部開口部２４からはみ出していない。また、各凸部６７は、後述する蓋部側挿間シート８２に接触する下面６７ａを含んでいる。凸部６７は、蓋部６２とは別体に形成されており、蓋部６２の第２対向面６６に接着剤などで接合されていてもよい。凸部６７の材料は、特に限られることはないが、プラスチック、ゴム、スポンジなどで作製されていてもよい。凸部６７の硬度は、受け部６１および蓋部６２の硬度よりも低くしてもよい。このことにより、凸部６７が蓋部側挿間シート８２を押圧する押圧力を効果的に弱めることができ、蒸着マスク２０が凸部６７から受ける力を弱めることができる。このため、輸送時の温度変化に対して、蒸着マスク２０がスムースに熱膨張または熱収縮することができ、蒸着マスク２０に熱応力が発生することを抑制することができる。このような凸部６７は、例えば、Ｃ／３以上Ｃ／６０以下の硬度を有するようにしてもよい。硬度をＣ／３以上にすることにより、凸部６７が蓋部側挿間シート８２を介して蒸着マスク２０を押圧して支持することができ、輸送時における蒸着マスク２０の上下方向の移動を効果的に抑制することができる。一方、硬度をＣ／６０以下にすることにより、凸部６７による押圧力が高くなりすぎることを抑制でき、蒸着マスク２０に熱応力が発生することを効果的に抑制することができる。なお、上述した凸部６７の硬度測定は、高分子計器社製のアスカーゴム硬度計Ｃ型を用いた、ＪＩＳ Ｋ７３１２による値である。また、凸部６７は、５０Ｎ以上の２５％圧縮硬さ（ＪＩＳ Ｋ６４００、Ｄ法）を有するようにしてもよい。２５％圧縮硬さを８０Ｎ以上とすることで、蒸着マスク２０への押圧を適切に維持することができる。

凸部６７の平面寸法は、蒸着マスク２０の端部開口部２４の大きさに応じて任意に設定することができる。蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における凸部６７の寸法は、例えば、５ｍｍ以上であってもよい。５ｍｍ以上にすることにより、凸部６７と受け部６１とによって蒸着マスク２０を支持することができ、輸送時に蒸着マスク２０の上下方向の移動を抑制することができるとともに、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２を含む平面内での移動を抑制することができる。

凸部６７の厚みは、例えば、下限は、０．１ｍｍ以上であってもよく、１ｍｍ以上であってもよく、５ｍｍ以上であってもよく、１０ｍｍ以上であってもよい。また、上限は、２０ｍｍ以下であってもよく、３０ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以下であってもよく、６０ｍｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．１ｍｍ以上６０ｍｍ以下であってもよく、１ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよく、５ｍｍ以上３０ｍｍ以下であってもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であってもよく、１ｍｍ以上５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以上５ｍｍ以下であってもよく、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、２０ｍｍ以上６０ｍｍ以下であってもよく、３０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよく、３０ｍｍ以上６０ｍｍ以下であってもよい。例えば、０．１ｍｍ以上にすることにより、凸部６７と受け部６１とによって蒸着マスク２０を支持することができ、輸送時に蒸着マスク２０の上下方向の移動を抑制することができる。一方、例えば、６０ｍｍ以下にすることにより、凸部６７が蓋部側挿間シート８２の端部開口部２４に重なる領域を過度に押圧することを抑制でき、蒸着マスク２０が凸部６７から受ける力を弱めることができる。

図２８および図３１に示すように、蒸着マスク積層体８０は、互いに積層された複数の蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０の第１面２０ａおよび第２面２０ｂに積層された複数の第３シートと、を有している。本実施の形態においては、第３シートの一例として中間挿間シート８１を例にとって以下説明する。本実施の形態では、複数の蒸着マスク２０と複数の中間挿間シート８１とが、交互に積層されており、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間に、中間挿間シート８１が配置されている。蒸着マスク積層体８０の最下段および最上段は、蒸着マスク２０になっている。

最下段でもなく最上段でもない蒸着マスク２０の第１面２０ａは、第１面２０ａに面している中間挿間シート８１で覆われ、第２面２０ｂは、第２面２０ｂに面している中間挿間シート８１で覆われている。このことにより、互いに隣り合う一方の蒸着マスク２０の貫通孔２５と、他方の蒸着マスク２０の貫通孔２５とが互いに引っ掛かって変形することを、各挿間シート８１で抑制している。

蒸着マスク積層体８０と蓋部６２との間には、第１シートが配置されている。本実施の形態においては、第１シートの一例として蓋部側挿間シート８２を例にとって以下説明する。この蓋部側挿間シート８２は、蒸着マスク積層体８０の最上段を構成する蒸着マスク２０に面して当該蒸着マスク２０を覆っている。このことにより、最上段の蒸着マスク２０の貫通孔２５の変形を抑制している。また、蒸着マスク積層体８０と受け部６１との間には、第２シートが配置されている。本実施の形態においては、第２シートの一例として受け部側挿間シート８３を例にとって以下説明する。この受け部側挿間シート８３は、蒸着マスク積層体８０の最下段を構成する蒸着マスク２０に面して、当該蒸着マスク２０を覆っている。このことにより、最下段の蒸着マスク２０の貫通孔２５の変形を抑制している。このようにして、蓋部側挿間シート８２と受け部側挿間シート８３との間に、蒸着マスク積層体８０が配置されている。

なお、蒸着マスク積層体８０と蓋部６２との間に配置される蓋部側挿間シート８２の枚数は任意である。すなわち、後述する空隙６８の寸法Ｇが所望の値となるように、蒸着マスク２０の厚みや枚数に応じて、蓋部側挿間シート８２の枚数は設定されてもよい。同様に、蒸着マスク積層体８０と受け部６１との間に配置される受け部側挿間シート８３の枚数は任意である。すなわち、後述する空隙６８の寸法Ｇが所望の範囲に収まるように、蒸着マスク２０の厚みや枚数に応じて、受け部側挿間シート８３の枚数は設定されてもよい。

蒸着マスク積層体８０を構成する蒸着マスク２０の枚数は、例えば、下限は、１枚以上であってもよく、５枚以上であってもよく、１０枚以上であってもよく、１５枚以上であってもよい。また、上限は、２０枚以下であってもよく、２５枚以下であってもよく、３０枚以下であってもよく、３５枚以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１枚以上３５枚以下であってもよく、５枚以上３０枚以下であってもよく、１０枚以上２５枚以下であってもよく、１５枚以上２０枚以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１枚以上１５枚以下であってもよく、５枚以上１０枚以下であってもよく、１枚以上１０枚以下であってもよく、５枚以上１５枚以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、２０枚以上３５枚以下であってもよく、２５枚以上３０枚以下であってもよく、２０枚以上３０枚以下であってもよく、２５枚以上３５枚以下であってもよい。

蒸着マスク２０の厚みは、例えば、下限は、１μｍ以上であってもよく、５μｍ以上であってもよく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。また、上限は、２５μｍ以下であってもよく、３０μｍ以下であってもよく、４０μｍ以下であってもよく、６０μｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１μｍ以上６０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、２０μｍ以上２５μｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１μｍ以上２０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上１０μｍ以下であってもよく、１μｍ以上１０μｍ以下であってもよく、５μｍ以上２０μｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、２５μｍ以上６０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、２５μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、３０μｍ以上６０μｍ以下であってもよい。

このような数値範囲として例示される蒸着マスク２０の枚数と厚みに応じて、空隙６８の寸法Ｇが所望の範囲に収まるように、蓋部側挿間シート８２および受け部側挿間シート８３の枚数が設定されればよい。

なお、蓋部側挿間シート８２を複数枚用いる場合には、少なくとも１枚の蓋部側挿間シート８２をＰＥＴフィルムで形成し、残りの蓋部側挿間シート８２をアクリル含浸紙や、その他の紙で形成してもよい。受け部側挿間シート８３を複数枚用いる場合には、少なくとも１枚の受け部側挿間シート８３をＰＥＴフィルムで形成し、残りの受け部側挿間シート８３をアクリル含浸紙や、その他の紙で形成してもよい。

蓋部側挿間シート８２を複数枚用いる場合には、互いに同一の材料（後述）かつ同一の厚さであったり、互いに同一の材料（後述）かつ異なる厚さ（薄かったり、厚かったり）であったり、互いに異なる材料（後述）かつ同一の厚さであったり、互いに異なる材料（後述）かつ異なる厚さ（薄かったり、厚かったり）であったりと様々な組み合わせで形成された蓋部側挿間シート８２を用いてもよい。また、蓋部側挿間シート８２の長手方向寸法（後述）や幅方向寸法についても互いに同一であったり、互いに異なっていたりしてもよく、様々な組み合わせで形成された蓋部側挿間シート８２を用いてもよい。

受け部側挿間シート８３についても、蓋部側挿間シート８２と同様に、互いに同一の材料（後述）かつ同一の厚さであったり、互いに同一の材料（後述）かつ異なる厚さ（薄かったり、厚かったり）であったり、互いに異なる材料（後述）かつ同一の厚さであったり、互いに異なる材料（後述）かつ異なる厚さ（薄かったり、厚かったり）であったりと様々な組み合わせで形成された蓋部側挿間シート８２を用いてもよい。また、受け部側挿間シート８３の長手方向寸法（後述）や幅方向寸法についても互いに同一であったり、互いに異なっていたりしてもよく、様々な組み合わせで形成された受け部側挿間シート８３を用いてもよい。

中間挿間シート８１、蓋部側挿間シート８２および受け部側挿間シート８３の両面は、平坦状に形成されていてもよく、各挿間シート８１、８２、～８３には、シート製造時に形成される微小な孔や凹凸などを除けば、孔や凹凸などは形成されていなくてもよい。各挿間シート８１、８２、～８３によって、蒸着マスク積層体８０から個々の蒸着マスク２０を取り出す際に、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制している。

蒸着マスク積層体８０における蒸着マスク２０は、同一の形状を有し、各蒸着マスク２０の有効領域２２が、積層方向に沿って見たときに重なるように配置されていることが好適であるが、これに限られない。蓋部６２の凸部６７を、有効領域２２が形成されていない蒸着マスク２０の端部２０ｅに配置することができれば、各蒸着マスク２０の有効領域２２の個数または形状は異なっていてもよい。

蓋部側挿間シート８２の上面に、蓋部６２の凸部６７の下面６７ａが接触し、蓋部側挿間シート８２が凸部６７に押圧されている。このことにより、蓋部側挿間シート８２の上面と蓋部６２の凸部６７の下面６７ａとの間の摩擦によって、蓋部側挿間シート８２が、凸部６７に対して平面方向に移動することが抑制される。

図３１に示すように、凸部６７の周辺においては、蓋部側挿間シート８２と蓋部６２の第２対向面６６との間には、空隙６８が形成されている。すなわち、一方の凸部６７から他方の凸部６７との間の領域を含む凸部６７の周囲において、蓋部側挿間シート８２と第２対向面６６との間に空隙６８が形成されている。このため、蒸着マスク２０の有効領域の上方には、この空隙６８が形成されている。この空隙６８は、蓋部側挿間シート８２と第２対向面６６の距離として所望の寸法Ｇを有している。この寸法Ｇは、凸部６７の高さに等しくてもよい。しかしながら、凸部６７の硬度が小さく柔らかい材料で形成されて、梱包後に凸部６７が上下方向に収縮している場合には、寸法Ｇは、凸部６７の非収縮時の高さよりも小さくなっていてもよい。なお、収容空間６４ａの高さはスペーサ６４によって画定されているため、凸部６７が収縮した場合であっても、蒸着マスク積層体８０の蒸着マスク２０の厚み若しくは枚数、または挿間シート８１、８２、８３の厚み若しくは枚数を調整することにより、凸部６７の周囲には空隙６８を形成することができる。この場合の寸法Ｇは、凸部６７の収縮時の高さであってもよく、当該高さよりも小さくてもよい。

中間挿間シート８１、蓋部側挿間シート８２および受け部側挿間シート８３には、蒸着マスク２０に梱包状態で加えられる力や、輸送時に加えられる衝撃をある程度吸収可能な可撓性を有していることが好ましい。また、各挿間シート８１、８２、８３は、蒸着マスク２０を含む蒸着マスク積層体８０を支持することができる程度の強度を有していることが好ましい。このような特性を有するシートであれば、各挿間シート８１、８２、８３には、共通のシートを使用することができる。例えば、各挿間シート８１、８２、８３には任意の厚みを有する任意のフィルム材料を用いることができるが、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムを好適に用いることができる。フィルム材料の厚みは、例えば、下限は、０．００１０ｍｍ以上であってもよく、０．００５０ｍｍ以上であってもよく、０．０１０ｍｍ以上であってもよく、０．０５０ｍｍ以上であってもよい。また、上限は、０．１０ｍｍ以下であってもよく、０．２０ｍｍ以下であってもよく、０．３０ｍｍ以下であってもよく、０．５０ｍｍ以下であってもよい。上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．００１０ｍｍ以上０．５０ｍｍ以下であってもよく、０．００５０ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下であってもよく、０．０１０ｍｍ以上０．２０ｍｍ以下であってもよく、０．０５０ｍｍ以上０．１０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．００１０ｍｍ以上０．０５０ｍｍ以下であってもよく、０．００５０ｍｍ以上０．０１０ｍｍ以下であってもよく、０．００１０ｍｍ以上０．０１０ｍｍ以下であってもよく、０．００５０ｍｍ以上０．０５０ｍｍ以下であってもよい。また、上記範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．１０ｍｍ以上０．５０ｍｍ以下であってもよく、０．２０ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下であってもよく、０．１０ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下であってもよく、０．２０ｍｍ以上０．５０ｍｍ以下であってもよい。例えば、挿間シート８１、８２、８３の厚みを０．０１０ｍｍ以上にすることにより、挿間シート８１、８２、８３の一方の面に積層された蒸着マスク２０の貫通孔２５による凹凸形状が、他方の面に出現することを抑制できる。また、挿間シート８１、８２、８３が破れることを抑制できるとともに、挿間シート８１、８２、８３を再利用することもでき、経済的である。例えば、一方、挿間シート８１、８２、８３の厚みを０．５０ｍｍ以下にすることにより、挿間シート８１、８２、８３の質量を低減し、蒸着マスク梱包体６０としての質量が増大することを抑制できる。また、ＰＥＴフィルムは、比較的硬くてしわが形成し難いため、蒸着マスク２０の塑性変形を効果的に抑制可能である。また、各挿間シート８１、８２、８３は、ＰＥＴフィルムの代わりに、紙などの繊維材料を用いてもよい。例えば、挿間シート８１、８２、８３は、アクリル含浸紙により形成されていてもよい。アクリル含浸紙を使用すると繊維から発生した異物が蒸着マスク２０へ転写することを抑制できる。

図３１および図３２に示すように、各挿間シート８１、８２、８３は、蒸着マスク２０の積層方向に沿って見たときに挿間シート８１、８２、８３の周縁が全周にわたって蒸着マスク２０からはみ出し可能な寸法を有していることが好適である。本実施の形態では、挿間シート８１、８２、８３の蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における寸法（長手方向全長）が、蒸着マスク２０の長手方向全長よりも大きく（例えば、０．１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の範囲内で大きく）、かつ、挿間シート８１、８２、８３の蒸着マスク２０の幅方向寸法が、蒸着マスク２０の幅方向寸法よりも大きく（例えば、０．１ｍｍ以上２０ｍｍ以下の範囲内で大きく）なっている。このことにより、蒸着マスク積層体８０において、挿間シート８１、８２、８３を、全周にわたって蒸着マスク２０からはみ出させることができ、互いに隣り合う蒸着マスク２０同士が直接的に接して重なり合うことを抑制できる。すなわち、挿間シート８１、８２、８３の長手方向全長が、蒸着マスク２０の長手方向全長よりも小さいと、挿間シート８１、８２、８３の一方の側にある蒸着マスク２０と他方の側にある蒸着マスク２０とが直接的に接して重なり合い、貫通孔２５が変形する可能性がある。また、挿間シート８１、８２、８３の幅方向寸法が、蒸着マスク２０の幅方向寸法よりも小さい場合にも同様にして、貫通孔２５が変形する可能性がある。これに対して本実施の形態によれば、挿間シート８１、８２、８３の長手方向全長が蒸着マスク２０の長手方向全長よりも大きく、かつ、挿間シート８１、８２、８３の幅方向寸法が蒸着マスク２０の幅方向寸法よりも大きいため、挿間シート８１、８２、８３の両側にある蒸着マスク２０同士が直接的に接して重なり合うことを抑制できる。このため、貫通孔２５が変形することを効果的に抑制できる。

各挿間シート８１、８２、８３は、静電気が発生することを抑制するために、帯電防止コーティングされていることが好ましい。より具体的には、挿間シート８１、８２、８３に、帯電防止剤がコーティングされて、挿間シート８１、８２、８３の両面に帯電防止層が形成されていてもよい。この場合、挿間シート８１、８２、８３が帯電することを抑制でき、開梱時に蒸着マスク２０と挿間シート８１、８２、８３とが静電作用により付着することを抑制できる。このような帯電防止剤の一例としては、界面活性剤や導電性ポリマー、カーボンブラック、金属等が挙げられる。挿間シート８１、８２、８３としては、例えば、商品名クリスパー（登録商標）として販売されている東洋紡株式会社製のポリエステル系合成紙Ｋ２３２３－１８８－６９０ｍｍが挙げられる。あるいは、挿間シート８１、８２、８３の材料を、帯電防止剤が練り込まれたアクリル含浸紙やフィルムにしてもよい。帯電防止剤が練り込まれたアクリル含浸紙としては、桜井社製のＡＳスタクリンが挙げられる。このような帯電防止処理により、梱包時に挿間シート８１～８３が帯電して異物が付着することを抑制し、蒸着マスク２０へ転写することを抑制できる。また、開梱時に挿間シート８１、８２、８３と蒸着マスク２０が静電作用により付着することを抑制できる。

蓋部側挿間シート８２は、蓋部６２の凸部６７や第２対向面６６には貼り付けられていない。また、受け部側挿間シート８３は、受け部６１の第１対向面６５には貼り付けられていない。このことにより、熱膨張時には、蓋部側挿間シート８２および受け部側挿間シート８３がスムースに熱膨張または熱収縮することが可能になっている。

図２８に示すように、蒸着マスク積層体８０を挟持した受け部６１および蓋部６２は、密封袋６９に密封されている。密封袋６９内は、大気圧より減圧されている。また、密封袋６９内には、乾燥剤７０（例えば、シリカゲル）が収納されており、密封袋６９内の水分を乾燥剤７０が吸着し、密封袋６９内の雰囲気の乾燥状態を維持している。このことにより、蒸着マスク２０が水分で変質することを抑制止している。なお、図２７では、密封袋６９は省略されている。

また、図２８に示すように、本実施の形態による蒸着マスク梱包体６０は、蒸着マスク２０に加えられる衝撃を検出する衝撃センサ７１を備えていてもよい。この場合、輸送中に蒸着マスク２０に加えられた衝撃を輸送後に確認することができる。このため、輸送中に所定値以上の衝撃が加えられた場合には、その蒸着マスク２０に不良が生じている可能性を推測することができ、蒸着マスク２０の輸送品質を向上させることができる。密封袋６９は段ボール箱７２に収容されており、この段ボール箱７２は、木箱７３で梱包されている。この木箱７３内に、図２８に示すように、衝撃センサ７１が取り付けることが好適であるが、これに限られることはない。衝撃センサ７１としては、例えば、SHOCKWATCH Inc.製のショックウォッチラベルＬ－３０（緑）を好適に用いることができる。

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。ここでは、蒸着マスク２０の梱包方法について説明する。

（蒸着マスク梱包方法）
まず、蒸着マスク用梱包装置６０ａとして、図２９に示す蓋部６２および図３０に示す受け部６１を準備する。また、蒸着マスク２０、並びに中間挿間シート８１、蓋部側挿間シート８２および受け部側挿間シート８３を準備する。受け部６１、蓋部６２、スペーサ６４および各挿間シート８１、８２、８３などは、変質などの利用上の問題が無いとみなされれば、再利用してもよい。

次に、図３１に示すように、受け部６１上に載置された蒸着マスク積層体８０を得る。

この場合、まず、受け部６１上に、受け部側挿間シート８３が載置される。受け部側挿間シート８３は、蓋部６２を受け部６１上に配置する際に一対のスペーサ６４によって画定された収容空間６４ａ内に収容可能な位置に配置される。続いて、受け部側挿間シート８３上に、蒸着マスク２０が載置される。この場合、受け部側挿間シート８３の周縁が全周にわたって蒸着マスク２０からはみ出すように蒸着マスク２０が配置される。また、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１の中心が受け部６１の長手方向の中心に位置付けられるとともに、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の中心が受け部６１の幅方向の中心に位置付けられるように、蒸着マスク２０は配置される。次に、蒸着マスク２０上に中間挿間シート８１が載置される。この場合、中間挿間シート８１は、受け部側挿間シート８３と平面視で重なるように配置される。その後、蒸着マスク２０の載置と中間挿間シート８１の載置とを繰り返すことにより、複数の蒸着マスク２０と複数の中間挿間シート８１とが交互に積層される。そして、最後に積層された蒸着マスク２０上に蓋部側挿間シート８２が載置される。蓋部側挿間シート８２は、受け部側挿間シート８３および中間挿間シート８１と平面視で重なるように配置される。

受け部６１上に載置された蒸着マスク積層体８０が得られた後、蒸着マスク積層体８０上に蓋部６２が配置される。このことにより、受け部６１と蓋部６２が対向し、蒸着マスク積層体８０の上下方向両側に受け部６１と蓋部６２が配置される。この場合、蓋部６２の凸部６７の下面６７ａが蓋部側挿間シート８２に接触する。

次に、図２７に示すように、受け部６１と蓋部６２とが弾性ベルト６３によって結束される。このことにより、弾性ベルト６３の弾性力によって、受け部６１と蓋部６２とが互いに押し付けられる。この場合、図３１に示すように、凸部６７が蓋部側挿間シート８２を押圧する。蒸着マスク２０には、この凸部６７からの押圧力が弱められて伝えられる。すなわち、本実施の形態では、図３２に示すように、凸部６７が、蒸着マスク２０の対応する端部開口部２４に重なる位置に配置されており、蓋部側挿間シート８２のうち端部開口部２４に重なる領域は、当該領域の下側の蒸着マスク２０で支持されていない。このことにより、凸部６７が蓋部側挿間シート８２の端部開口部２４に重なる領域を押圧すると、この領域が撓む。この撓み変形を介して蓋部側挿間シート８２が、下側に配置されている各蒸着マスク２０を押圧する。このようにして、凸部６７の押圧力の一部が蓋部側挿間シート８２に吸収され、凸部６７の押圧力が蒸着マスク２０に直接的に伝わることが抑制される。このため、蒸着マスク２０が凸部６７から受ける力が弱められる。

受け部６１と蓋部６２とが結束された後、図２８に示すように、受け部６１および蓋部６２が乾燥剤７０とともに密封袋６９に密封される。続いて、密封袋６９の開口から内部が真空引きされる。所定の真空度まで密封袋６９内の圧力が低下すると、密封袋６９の開口がシールされる。

密封袋６９で密封された受け部６１および蓋部６２は、図２８に示すように、段ボール箱７２に収容されて、この段ボール箱７２が木箱７３で梱包される。この際、木箱７３内に、衝撃センサ７１が取り付けられる。このようにして、本実施の形態による蒸着マスク梱包体６０が得られる。

次に、上述のようにして得られた蒸着マスク梱包体６０を輸送する場合について説明する。蒸着マスク梱包体６０を輸送している間、蒸着マスク２０に衝撃が加えられる場合がある。

例えば、この衝撃により蒸着マスク２０に上方に向く力が加えられる場合を考える。蒸着マスク２０は、上述したように、蓋部側挿間シート８２を介して凸部６７からの押圧力を受けている。このことにより、各蒸着マスク２０のうち長手方向Ｄ１における両端部が蓋部側挿間シート８２を介して凸部６７に支持されており、各蒸着マスク２０の上方への移動が抑制されている。また、この上方に向く力を受けた場合には、各蒸着マスク２０の有効領域２２が上方に撓む場合もある。しかしながら、各蒸着マスク２０は、蓋部側挿間シート８２によって支持されており、蒸着マスク２０の間には中間挿間シート８１が介在されている。このことにより、有効領域２２が上方に撓むことが抑制される。このため、蒸着マスク２０の変形を、弾性変形範囲内に留めることができ、輸送時の衝撃を受けた場合であっても、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

一方、輸送時の衝撃により蒸着マスク２０に下方に向く力が加えられる場合を考える。各蒸着マスク２０は、平坦な第１対向面６５を有する受け部６１に受け部側挿間シート８３を介して支持されている。このことにより、各蒸着マスク２０の下方への移動が抑制されるとともに、各蒸着マスク２０の有効領域２２が下方に撓むことも抑制される。このため、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

また、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間には中間挿間シート８１が介在されているため、互いに隣り合う蒸着マスク２０同士が、直接的に接して重なり合うことが回避されている。このため、輸送時の衝撃を受けた場合であっても、蒸着マスク２０同士が有効領域２２において噛み合うことが抑制されるとともに、互いに隣り合う蒸着マスク２０同士が、擦れることが抑制される。このようにして、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制できる。

輸送時に、周囲環境の変化により蒸着マスク梱包体６０の温度が変化する場合がある。この場合には、各蒸着マスク２０や各挿間シート８１、８２、８３が、それぞれ熱膨張したり熱収縮したりする。しかしながら、本実施の形態では、最上段の蒸着マスク２０と蓋部６２の凸部６７との間には、蓋部側挿間シート８２が介在されているとともに、最下段の蒸着マスク２０と受け部６１との間には、受け部側挿間シート８３が介在されている。そして、各蒸着マスク２０は凸部６７から力を受けているが、その力は、蓋部側挿間シート８２を介して受けるために弱められている。さらには、凸部６７の周辺において、蓋部側挿間シート８２と蓋部６２の第２対向面６６との間に空隙６８が形成されている。このため、蒸着マスク２０は、受け部６１および蓋部６２に対してスムースに熱膨張または熱収縮することができる。このため、蒸着マスク２０に熱応力が発生することが抑制される。

ところで、輸送後の蒸着マスク梱包体６０を開梱する場合には、上述した蒸着マスク２０の梱包方法とは逆の手順を踏めばよい。とりわけ、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間には中間挿間シート８１が介在されているため、蒸着マスク２０が、その下方に配置された蒸着マスク２０と噛み合うことが抑制されている。このため、蒸着マスク積層体８０から個々の蒸着マスク２０をスムースに取り出すことができる。このため、蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できるとともに、蒸着マスク２０の取扱性を向上させることができる。

このように本実施の形態によれば、蓋部６２と蒸着マスク２０との間に蓋部側挿間シート８２が配置され、平面視において蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における両端部に配置された凸部６７が、蓋部側挿間シート８２を押圧している。このことにより、凸部６７と受け部６１とによって蒸着マスク２０を支持することができ、輸送時に蒸着マスク２０の上下方向の移動を抑制することができる。また、凸部６７と蒸着マスク２０との間に配置された蓋部側挿間シート８２によって蒸着マスク２０を支持することができる。このため、蒸着マスク２０の上下方向の移動を抑制できるとともに蒸着マスク２０が上方に撓むことを抑制できる。この結果、輸送時に蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

また、本実施の形態によれば、蓋部６２の凸部６７が、蓋部側挿間シート８２を押圧していてもよい。このことにより、凸部６７の押圧力は、蓋部側挿間シート８２を介して蒸着マスク２０に伝わるため、蒸着マスク２０が凸部６７から受ける力を弱めることができる。また、凸部６７の周辺において、蓋部側挿間シート８２と蓋部６２の第２対向面６６との間に空隙６８が形成されている。このため、輸送時に温度が変化した場合であっても、蒸着マスク２０はスムースに熱膨張または熱収縮することができ、蒸着マスク２０に熱応力が発生することを抑制できる。このため、輸送時に蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。また、蓋部側挿間シート８２が蒸着マスク２０と蓋部６２の凸部６７との間に配置されているという点においても、蒸着マスク２０を蓋部６２に対してスムースに熱膨張または熱収縮させることができる。

また、本実施の形態によれば、蓋部６２の凸部６７が、平面視において、蒸着マスク２０の貫通孔２５に重なっていなくてもよい。このことにより、凸部６７が有効領域２２に形成された貫通孔２５に接触することを回避でき、貫通孔２５の変形を抑制できる。

また、本実施の形態によれば、蓋部６２の凸部６７が、平面視において、蒸着マスク２０の対応する端部開口部２４に重なる位置に配置されていてもよい。このことにより、凸部６７の押圧力の一部が、蓋部側挿間シート８２に吸収され、蒸着マスク２０が凸部６７から受ける力を効果的に弱めることができる。とりわけ、本実施の形態によれば、凸部６７が対応する端部開口部２４からはみ出していないことから、蒸着マスク２０が凸部６７から受ける力をより一層弱めることができる。このため、温度変化時の蒸着マスク２０を、より一層スムースに熱膨張または熱収縮させることができる。

また、本実施の形態によれば、蒸着マスク２０と受け部６１との間に受け部側挿間シート８３が配置されていてもよい。このことにより、温度変化時の蒸着マスク２０を、受け部６１に対してスムースに熱膨張または熱収縮させることができる。

また、本実施の形態によれば、蒸着マスク積層体８０において互いに隣り合う蒸着マスク２０の間に中間挿間シート８１が配置されていてもよい。このことにより、互いに隣り合う蒸着マスク２０同士が、直接的に接して重なり合うことが回避できる。このため、温度変化時の蒸着マスク２０を、他の蒸着マスク２０に対してスムースに熱膨張または熱収縮させることができ、蒸着マスク２０の塑性変形をより一層抑制することができる。

また、本実施の形態によれば、凸部６７の硬度が、受け部６１の硬度および蓋部６２の硬度よりも低くなっていてもよい。このことにより、蒸着マスク２０が凸部６７から受ける力を弱めることができる。このため、輸送時に温度が変化した場合であっても、蒸着マスク２０はスムースに熱膨張または熱収縮することができ、蒸着マスク２０に熱応力が発生することを効果的に抑制することができ、輸送時に蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制できる。

また、本実施の形態によれば、スペーサ６４の硬度が、受け部６１の硬度および蓋部６２の硬度よりも高くなっていてもよい。このことにより、スペーサ６４の硬度を高めることができ、蒸着マスク梱包体６０が受ける上下方向の力に対して剛性を高めることができる。このため、蒸着マスク２０上下方向の力が加えられることを抑制できる。

（第１の変形例）
なお、上述した本実施の形態においては、蒸着マスク積層体８０を挟持した受け部６１および蓋部６２は、密封袋６９に密封され、密封袋６９内に、乾燥剤７０が収納されていてもよい例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図３３に示すように、蒸着マスク積層体８０を挟持した受け部６１および蓋部６２が、２つの密封袋６９ａ、６９ｂで二重に密封されていてもよい。図３３に示す変形例では、蒸着マスク積層体８０を挟持した受け部６１および蓋部６２は、第１の密封袋６９ａで密封され、第１の密封袋６９ａが、第２の密封袋６９ｂで更に密封されている。

第１の密封袋６９ａ内は、大気圧より減圧されている。また、第１の密封袋６９ａ内には、脱酸素剤７０ａが収納されており、第１の密封袋６９ａ内に残存する酸素を脱酸素剤７０ａが吸収し、第１の密封袋６９ａ内の雰囲気から酸素を除去している。このことにより、蒸着マスク２０が酸素で変質すること（例えば、錆の発生すること）を抑制することができる。

第２の密封袋６９ｂ内は、大気圧より減圧されている。また、第２の密封袋６９ｂ内には、乾燥剤７０ｂが収納されており、第２の密封袋６９ｂ内の水分を乾燥剤７０ｂが吸着し、第２の密封袋６９ｂ内の雰囲気の乾燥状態を維持している。このことにより、第２の密封袋６９ｂから第１の密封袋６９ａ内に水分が侵入することを抑制し、蒸着マスク２０が水分で変質することを抑制することができる。

なお、第１の変形例においては、第２の密封袋６９ｂは、第１の密封袋６９ａで密封された１組の受け部６１および蓋部６２が密封されている例を示しているが、これに限られることはない。例えば、１つの第２の密封袋６９ｂで、各々が第１の密封袋６９ａで密封された複数組の受け部６１および蓋部６２が密封されていてもよい。

また、第１の密封袋６９ａには、脱酸素剤７０ａが収納されることに限られることはなく、脱酸素剤７０ａの代わりにまたは加えて、乾燥剤７０ｂが収納されていてもよい。同様に、第２の密封袋６９ｂには、乾燥剤７０ｂが収納されることに限られることはなく、乾燥剤７０ｂの代わりにまたは加えて、脱酸素剤７０ａが収納されていてもよい。また、第１の密封袋６９ａ内には、窒素ガスなどの不活性ガス又は非還元ガスが充填されるようにしてもよい。第２の密封袋６９ｂ内には、窒素ガスなどの不活性ガス又は非還元ガスが充填されるようにしてもよい。窒素ガスなどの不活性ガス又は非還元ガスの濃度は、８５％以上、９０％以上、または９５％以上であってもよい。

また、蒸着マスク積層体８０を挟持した受け部６１および蓋部６２が、３つ以上の密封袋で多重に密封されていてもよい。この場合、各袋内には、脱酸素剤および乾燥剤の少なくとも一方を収納してもよい。また、窒素ガスなどの不活性ガス又は非還元ガスが充填されるようにしてもよい。さらに、窒素ガスなどの不活性ガス又は非還元ガスの濃度は、８５％以上、９０％以上、または９５％以上であってもよい。また、脱酸素剤及び／又は乾燥剤の収納の有無と、窒素ガスなどの不活性ガス及び／又は非還元ガスの充填の有無は、様々な組み合わせを採用できる。

また、図２８に示す密封袋６９内に、乾燥剤７０だけでなく、脱酸素剤が収納されていてもよい。この場合、蒸着マスク２０が水分で変質することをより一層抑制するとともに酸素で変質することをより一層抑制することができる。

（第２の変形例）
また、上述した本実施の形態においては、受け部６１と蓋部６２との間に、受け部側挿間シート８３、蒸着マスク積層体８０および蓋部側挿間シート８２が配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図３４に示すように、受け部６１と受け部側挿間シート８３との間に、補助シート（押さえシートとも称される場合もある）が配置されていてもよい。本実施の形態においては、受け部６１と受け部側挿間シート８３との間の補助シート（第４シート）の一例として、受け部側補助シート８８を例にとって以下説明する。また、蓋部側挿間シート８２と蓋部６２との間に、他の補助シートが配置されていてもよい。本実施の形態においては、蓋部側挿間シート８２と蓋部６２との間の補助シート（第５シート）の一例として、蓋部側補助シート８９を例にとって以下説明する。受け部側補助シート８８および蓋部側補助シート８９の一方は、用いられなくてもよい。

受け部側補助シート８８および蓋部側補助シート８９の両面はそれぞれ、平坦状に形成されており、各補助シート８８、８９には、シート製造時に形成される微小な孔や凹凸などを除けば、孔や凹凸などは形成されていなくてもよい。蓋部側補助シート８９は、その自重で蒸着マスク２０を押圧している。このことにより、輸送時に蒸着マスク２０の上下方向の移動を抑制することができる。また、受け部側補助シート８８は、収容空間６４ａの高さを調整するためのものである。

受け部側補助シート８８および蓋部側補助シート８９には、蒸着マスク２０に梱包状態で加えられる力や、輸送時に加えられる衝撃をある程度吸収可能な可撓性を有していることが好ましい。また、各補助シート８８、８９は、蒸着マスク２０を含む蒸着マスク積層体８０を支持することができる程度の強度を有していることが好ましい。このような特性を有するシートであれば、各補助シート８８、８９には、共通のシートを使用することができる。例えば、各補助シート８８、８９には、任意の厚みを有する任意のフィルム材料を用いることができるが、各補助シート８８、８９の厚みは、挿間シート８１、８２、８３の厚みよりも厚くなっていてもよいし、薄くなっていてもよい。各補助シート８８、８９には、例えば、厚み１０μｍ以上３００μｍ以下のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリスチレンなどからなるシートを用いることができ、好ましくは１００μｍのＰＥＴフィルムを好適に用いることができる。蓋部側補助シート８９の厚みを１０μｍ以上にすることにより、蓋部側補助シート８９の質量を高めることができる。一方、蓋部側補助シート８９の厚みを３００μｍ以下にすることにより、蓋部側補助シート８９が過度に蒸着マスク積層体８０を押圧することを抑制できる。受け部側補助シート８８は、蓋部側補助シート８９と同様の厚みを持たせることで、シートを共通化させてもよい。補助シートに用いるＰＥＴフィルムは、フィラー入りのＰＥＴフィルムであってもよい。フィラーの材料の例としては、シリカ、炭酸カルシウムまたは酸化チタンなどの無機酸化物の粒子、カーボンブラック、金属粒子、金属繊維等が挙げられる。このようにして、補助シート８８、８９の質量を増大させることができ、蒸着マスク２０を押圧する効果を高めることができる。各補助シート８８、８９は、各挿間シート８１、８２、８３と同様に、帯電防止コーティングされていたり、帯電防止剤が練り込まれたりしていることが好ましい。また、上述のフィラー自体に導電性を持たせたり、フィラーを金属皮膜や酸化金属皮膜で覆う等によって導電性を持たせたりすることで、フィラーと帯電防止剤を兼ねてもよい。

また、図３１に示す蒸着マスク積層体８０においては、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間に、１枚の中間挿間シート８１が配置されている。しかしながら、このことに限られることはなく、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間に、２枚以上の中間挿間シート８１が配置されていてもよい。図３４に示す第２の変形例では、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間に、２枚の中間挿間シート８１が配置されている。このことにより、互いに隣り合う蒸着マスク２０同士が、直接的に接して重なり合うことをより一層回避することができる。このため、温度変化時の蒸着マスク２０を、他の蒸着マスク２０に対してスムースに熱膨張または熱収縮させることができ、蒸着マスク２０の塑性変形をより一層抑制することができる。互いに隣り合う蒸着マスク２０の間に、２枚以上の中間挿間シート８１が配置されるという点は、図３１に示す形態にも適用することができる。また、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間に２枚以上の中間挿間シート８１を配置する場合には、これらの中間挿間シート８１の材料は、同一でもよく、または異なっていてもよい。例えば、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間に２枚の中間挿間シート８１を配置する場合には、一方の中間挿間シート８１をＰＥＴフィルムで形成し、他方の中間挿間シート８１をアクリル含浸紙で形成してもよい。また、互いに隣り合う蒸着マスク２０の間に３枚の中間挿間シート８１を配置する場合には、少なくとも１枚の中間挿間シート８１をＰＥＴフィルムで形成し、残りの中間挿間シート８１をアクリル含浸紙や、その他の紙で形成してもよい。

中間挿間シート８１を複数枚用いる場合には、互いに同一の材料（後述）かつ同一の厚さであったり、互いに同一の材料（後述）かつ異なる厚さ（薄かったり、厚かったり）であったり、互いに異なる材料（後述）かつ同一の厚さであったり、互いに異なる材料（後述）かつ異なる厚さ（薄かったり、厚かったり）であったりと様々な組み合わせで形成された中間挿間シート８１を用いてもよい。また、中間挿間シート８１の長手方向寸法（後述）や幅方向寸法についても互いに同一であったり、互いに異なっていたりしてもよく、様々な組み合わせで形成された中間挿間シート８１を用いてもよい。

また、上述した本実施の形態においては、各凸部６７が、平面視で蒸着マスク２０の対応する端部開口部２４に重なる位置に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、凸部６７の少なくとも一部が蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における両端部に配置されていれば、各凸部６７の配置は任意である。

（第３の変形例）
例えば、図３５～図３７に示す第３の変形例のように、各凸部６７は、一部が対応する端部開口部２４に重なる位置に配置されるように、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２に延びて、端部開口部２４を横断するように配置される。この場合、各凸部６７は、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２に沿う長手方向を有することになり、蒸着マスク２０と凸部６７との接触面積を増大させることができる。このため、蒸着マスク２０の支持を安定化させることができる。また、蓋部６２の凸部６７からの押圧力を分散させることができる。このため、温度変化時には、蒸着マスク２０が、受け部６１および蓋部６２に対してスムースに熱膨張または熱収縮することができる。このため、蒸着マスク２０に熱応力が発生することを抑制でき、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制できる。なお、第３の変形例においても、凸部６７は、蒸着時に蒸着材料９８が通過する貫通孔２５に重なっていなくてもよい。凸部６７は、幅方向Ｄ２における端部開口部２４の両側に、蒸着材料９８が通過することを意図していない貫通孔が設けられている場合には、当該貫通孔には重なっていてもよい。

（第４の変形例）
また、例えば図３８および図３９に示す第４の変形例のように、各凸部６７は、その一部が対応する端部開口部２４に重なる位置に配置されるように、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１に延びていてもよい。第４の変形例では、一対の凸部６７が、一体化されて連続状に形成されている。この場合、一体化された凸部６７は、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１に沿って、一方の端縁２０ｇ（図３参照）から他方の端縁２０ｇにわたって形成されている。このことにより、蒸着マスク２０と凸部６７との接触面積をより一層増大させることができ、蒸着マスク２０の支持を安定化させることができる。また、蓋部６２の凸部６７からの押圧力を分散させることができる。このため、温度変化時には、蒸着マスク２０が、受け部６１および蓋部６２に対してスムースに熱膨張または熱収縮することができる。

また、第４の変形例では、一体化された凸部６７が、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の中心に配置されている。この場合、蒸着マスク２０の熱膨張による力を、凸部６７から遠くに配置されている蒸着マスク２０の一対の側縁２０ｆに逃がすことができる。この点においても、蒸着マスク２０をスムースに熱膨張させることができ、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制することができる。とりわけ、一体化された凸部６７が、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の中心に配置されていることから、蒸着マスク２０の熱膨張時の変形に対称性を持たせることができる。このため、蒸着マスク２０の塑性変形を効果的に抑制できる。

なお、第４の変形例では、一対の凸部６７が一体化されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、各々の凸部６７が、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１に延びながらも、一体化されていなくてもよい。さらに、平面視で蒸着マスク２０の両端部２０ｅに配置される一対の凸部６７の間に、他の凸部６７が１つまたは複数形成され、１列に断続的に配列されていてもよい。この場合、各凸部６７は、有効領域２２以外の領域（すなわち、周囲領域２３）に配置されるようにしてもよい。

（第５の変形例）
また、上述した本実施の形態においては、受け部６１の第１対向面６５が、平坦状に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。

例えば、図４０～図４３に示す第５の変形例のように、受け部６１の第１対向面６５は、蓋部６２の側に向かって凸となるように湾曲した湾曲面８４を含んでいてもよい。この湾曲面８４の湾曲形状は、真円や楕円の円弧の一部など、任意の曲線によって形成することができる。第５の変形例では、湾曲面８４は剛体として構成されている。湾曲面８４に対して蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の両側には、スペーサ６４が当接するスペーサ当接面８５が形成されている。

図４３に示すように、湾曲面８４は、平面視において、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１の一方の端縁２０ｇから他方の端縁２０ｇにわたって延びる尾根線８６を含んでいる。言い換えると、湾曲面８４の尾根線８６は、平面視において、一対のスペーサ６４によって画定される収容空間６４ａの一方の端縁から他方の端縁にわたって延びている。ここで尾根線８６とは、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１における各位置での横断面において湾曲面８４の最高点（蓋部６２に最も近い点）を結んだ線を意味している。このように第５の変形例では、図４２に示すように、湾曲面８４に載置された蒸着マスク２０および各挿間シート８１、８２、８３は、重力の影響を受けて湾曲面８４に沿って撓む。すなわち、蒸着マスク２０の一対の側縁２０ｆが蒸着マスク２０の幅方向中央部よりも下方に配置されるように蒸着マスク２０は撓む。このため、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の移動が湾曲面８４によって規制される。

第５の変形例においては、尾根線８６は、蓋部６２の第２対向面６６に対して平行に形成されている。すなわち、蓋部６２から湾曲面８４までの最小距離が、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１にわたって一定になっている。そして、湾曲面８４の尾根線８６が、蒸着マスク２０を長手方向Ｄ１に貫通して延びている。このことにより、蒸着マスク２０および各挿間シート８１、８２、８３の撓み形状を、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１にわたって均一化しており、蒸着マスク２０および各挿間シート８１、８２、８３が、２次元的に複雑な形状に撓むことを抑制している。このため、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制している。

第５の変形例では、図４０に示すように、蓋部６２は、図２９に示すような凸部６７を有しておらず、蓋部６２の第２対向面６６が蓋部側挿間シート８２（とりわけ、蓋部側挿間シート８２のうち尾根線８６に重なる部分）に接触している。このことにより、蓋部側挿間シート８２を第２対向面６６で支持することができる。このため、輸送時に蒸着マスク２０に上下方向の力が加えられた場合であっても、蒸着マスク２０の上下方向の移動を抑制することができる。また、蓋部側挿間シート８２が蒸着マスク２０に覆い被さっているため、蓋部側挿間シート８２によって蒸着マスク２０を支持することができる。このため、蒸着マスク２０の上下方向の移動を抑制できるとともに蒸着マスク２０が上方に撓むことを抑制できる。

また、第５の変形例では、上述したように、蓋部側挿間シート８２が第２対向面６６で支持されていることにより、蓋部６２からの押圧力を分散させることができる。このことにより、温度変化時には、蒸着マスク２０が、受け部６１および蓋部６２に対してスムースに熱膨張または熱収縮することができる。このため、蒸着マスク２０に熱応力が発生することを抑制でき、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制できる。

さらに、第５の変形例では、蓋部側挿間シート８２のうち尾根線８６に重なる部分が、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の中心に配置されている。この場合、蒸着マスク２０の熱膨張による力を、尾根線８６から遠くに配置されている蒸着マスク２０の一対の側縁２０ｆに逃がすことができる。この点においても、蒸着マスク２０をスムースに熱膨張させることができ、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制することができる。とりわけ、尾根線８６が、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の中心に配置されていることから、蒸着マスク２０の熱膨張時の変形に対称性を持たせることができる。このため、蒸着マスク２０の塑性変形を効果的に抑制できる。

なお、第５の変形例では、蓋部６２の第２対向面６６が蓋部側挿間シート８２（すなわち、蓋部側挿間シート８２のうち尾根線８６に重なる部分）に接触している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、第２対向面６６と蓋部側挿間シート８２との間に全体的に空隙が形成されて、蓋部側挿間シート８２が第２対向面６６に接触していなくてもよい。この場合であっても、蒸着マスク２０が受け部６１の湾曲面８４に沿って撓むことができるため、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の移動を湾曲面８４によって規制することができる。また、蓋部側挿間シート８２が蒸着マスク２０に覆い被さっているため、蓋部側挿間シート８２によって蒸着マスク２０を支持することができる。このため、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制できる。

また、湾曲面８４が剛体として構成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、湾曲面８４は弾力性を有していてもよい。この場合、輸送時に蒸着マスク２０に加えられる上下方向の力を吸収することができ、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制できる。例えば、受け部６１を、直方体状の受け部本体と、受け部本体の蓋部６２の側に設けられた湾曲部分とによって構成し、湾曲部分を、ゴムなどの弾力性のある材料で中実状または中空状に形成してもよい。受け部本体は、図３０に示すような受け部６１と同様に、剛性を有する材料（例えば、プラスチック製の段ボールシート）によって形成されていることが好ましい。後述する第６の変形例でも同様である。

また、図４４～図４６に示す第６の変形例のように、第１対向面６５の湾曲面８４が、第５の変形例とは異なる形状を有していてもよい。例えば、図４６に示すように、湾曲面８４が、平面視において、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の一方の側縁２０ｆから他方の側縁２０ｆにわたって延びる尾根線８７を含んでいてもよい。言い換えると、湾曲面８４の尾根線８７は、平面視において、一対のスペーサ６４によって画定される収容空間６４ａの長手方向に直交する方向の一方の側縁から他方の側縁にわたって延びている。ここでの尾根線８７とは、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２における各位置での縦断面において湾曲面８４の最高点（蓋部６２に最も近い点）を結んだ線を意味している。この場合においても、蒸着マスク２０および各挿間シート８１、８２、８３は、重力の影響を受けて湾曲面８４に沿って撓む。すなわち、蒸着マスク２０の一対の端縁２０ｇが蒸着マスク２０の長手方向中央部よりも下方に配置されるように蒸着マスク２０は撓む。このため、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１の移動が湾曲面８４によって規制される。

第６の変形例においても、尾根線８７は、蓋部６２の第２対向面６６に対して平行に形成されている。すなわち、蓋部６２から湾曲面８４までの最小距離が、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２にわたって一定になっている。そして、湾曲面８４の尾根線８７が、蒸着マスク２０を幅方向Ｄ２に貫通して延びている。このことにより、蒸着マスク２０および各挿間シート８１、８２、８３の撓み形状を、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２にわたって均一化しており、蒸着マスク２０および各挿間シート８１、８２、８３が、２次元的に複雑な形状に撓むことを抑制している。このため、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制している。

第６の変形例では、蓋部６２は、図２９に示すような凸部６７を有しておらず、蓋部６２の第２対向面６６が蓋部側挿間シート８２（とりわけ、蓋部側挿間シート８２のうち尾根線８７に重なる部分）に接触している。このことにより、蓋部側挿間シート８２を第２対向面６６で支持することができる。このため、輸送時に蒸着マスク２０に上下方向の力が加えられた場合であっても、蒸着マスク２０の上下方向の移動を抑制することができる。また、蓋部側挿間シート８２が蒸着マスク２０に覆い被さっているため、蓋部側挿間シート８２によって蒸着マスク２０を支持することができる。このため、蒸着マスク２０の上下方向の移動を抑制できるとともに蒸着マスク２０が上方に撓むことを抑制できる。

また、第６の変形例では、上述したように、蓋部側挿間シート８２が第２対向面６６で支持されていることにより、蓋部６２からの押圧力を分散させることができる。このことにより、温度変化時には、蒸着マスク２０が、受け部６１および蓋部６２に対してスムースに熱膨張または熱収縮することができる。このため、蒸着マスク２０に熱応力が発生することを抑制でき、蒸着マスク２０の塑性変形が抑制できる。

さらに、第６の変形例では、蓋部側挿間シート８２のうち尾根線８７に重なる部分が、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１の中心に配置されている。この場合、蒸着マスク２０の熱膨張による力を、尾根線８７から遠くに配置されている蒸着マスク２０の一対の端縁２０ｇに逃がすことができる。この点においても、蒸着マスク２０をスムースに熱膨張させることができ、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制することができる。とりわけ、尾根線８７が、蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１の中心に配置されていることから、蒸着マスク２０の熱膨張時の変形に対称性を持たせることができる。このため、蒸着マスク２０の塑性変形を効果的に抑制できる。

なお、第６の変形例では、蓋部６２の第２対向面６６が蓋部側挿間シート８２（とりわけ、蓋部側挿間シート８２のうち尾根線８７に重なる部分）に接触している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、第２対向面６６と蓋部側挿間シート８２との間に全体的に空隙が形成されて、蓋部側挿間シート８２が第２対向面６６に接触していなくてもよい。この場合であっても、蒸着マスク２０が受け部６１の湾曲面８４に沿って撓むことができるため、蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２の移動を湾曲面８４によって規制することができる。また、蓋部側挿間シート８２が蒸着マスク２０に覆い被さっているため、蓋部側挿間シート８２によって蒸着マスク２０を支持することができる。このため、蒸着マスク２０の塑性変形を抑制できる。

以上、本開示の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による蒸着マスク梱包体および蒸着マスク用梱包装置は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。

上述した本実施の形態においては、受け部６１と蓋部６２が、別体に形成されて弾性ベルト６３によって結束される例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、受け部６１と蓋部６２は、ヒンジ部（図示せず）を介して連結されて、受け部６１および蓋部６２がヒンジ部を介して折り曲げ可能になっていてもよい。弾性ベルト６３の弾性力によって、受け部６１および蓋部６２を互いに押し付け合うことができ、蒸着マスク２０を保持することができる。

また、上述した本実施の形態においては、受け部６１と蓋部６２との間に配置された蒸着マスク積層体８０が、複数の蒸着マスク２０を有している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、受け部６１と蓋部６２との間には１つだけの蒸着マスク２０が配置されるようにしてもよい。

図２７～図３２に示す実施の形態における蒸着マスク２０を梱包した蒸着マスク梱包体６０の環境試験および落下試験を行い、蒸着マスク２０の状態を確認した。

試験に用いた蒸着マスク２０は、図４～図１９に示すエッチング処理によって作製された蒸着マスク２０である。この蒸着マスク２０の材料は、３６質量％のニッケルを含むインバー材とした。いずれの蒸着マスク２０も、幅方向寸法を６７ｍｍ、長手方向全長を８５０ｍｍとした。蒸着マスク２０の厚みは、１５μｍとした。

図４７に示す実施例１および比較例１、２では、図２７～図３２に示す実施の形態と同様の構成の蒸着マスク梱包体６０を用いた。比較例１および２では蓋部６２に凸部６７を設けなかった。このうち比較例１では空隙６８を設けなかった。すなわち、蓋部側挿間シート８２を蓋部６２の第２対向面６６に当接させて、これらの間に空隙６８が形成されないようにした。比較例２では、凸部６７を設けないが、空隙６８の寸法を０．６ｍｍにした。

実施例１では蓋部６２に凸部６７を設けた。これにより形成される空隙６８の寸法Ｇ（図３１参照）を、実施例１では０．６ｍｍにした。

中間挿間シート８１、蓋部側挿間シート８２および受け部側挿間シート８３には、図４７に示すようにＰＥＴフィルムを用いた。

比較例１、２および実施例１のいずれにおいても、受け部６１は、厚みが１０ｍｍのポリプロピレン製の段ボールシート１枚で作製した。受け部６１の厚みは１０ｍｍとした。同じ段ボールシート１枚で蓋部６２を作製し、蓋部６２の厚みを１０ｍｍとした。

上述したように、実施例１では蓋部６２に凸部６７を設けた。凸部６７は、発泡ウレタンのスポンジで作製し、凸部６７の蒸着マスク２０の長手方向Ｄ１に沿う寸法を２０ｍｍ、幅方向Ｄ２に沿う寸法を１０ｍｍとした。凸部６７の厚みは、蓋部側挿間シート８２と蓋部６２の第２対向面６６との間に形成される空隙６８の寸法（ここでは、０．６ｍｍ）に応じて設定した。端部開口部２４の蒸着マスク２０の幅方向Ｄ２に沿う寸法は１０ｍｍとした。これにより、各凸部６７が、平面視で蒸着マスク２０の対応する端部開口部２４に重なる位置に配置されるとともに、対応する端部開口部２４からはみ出さないように配置した。

受け部６１の第１対向面６５上に、１枚の受け部側挿間シート８３を載置し、その上に、蒸着マスク２０と、中間挿間シート８１とを交互に積層して蒸着マスク積層体８０を作製し、蓋部側挿間シート８２を更に重ねた。比較例１、２および実施例１では、９枚の蒸着マスク２０と８枚の中間挿間シート８１を用いた。その後、蓋部６２を載置して、弾性ベルト６３を取り付け、本実施の形態による蒸着マスク梱包体６０を得た。蒸着マスク梱包体６０の作製は、室温が２５℃に管理された作業室で行った。

作製された蒸着マスク梱包体６０を、温度制御が可能な装置（図示せず）内に収容し、装置内の温度を変化させた。具体的には、まず、装置内の温度を－１０℃にして所定時間維持した。続いて、装置内の温度を上げて６０℃にして所定時間維持した。その後、装置内の温度を室温に戻し、装置から蒸着マスク梱包体６０を取り出した。そして、蒸着マスク梱包体６０の開梱を、室温が２５℃に管理された作業室で行った。

開梱後に、外観検査として、各蒸着マスク２０に、波状のしわが形成されているか否かを、目視（裸眼）により確認した。その結果を図４７に示す。図４７には、しわが確認できた蒸着マスク２０の枚数を示している。

目視確認した後、再び蒸着マスク２０を梱包して、落下試験を行った。落下試験は、硬い床面より６０ｃｍの高さから蒸着マスク梱包体６０を自然落下させた。この際の蒸着マスク梱包体６０の姿勢は、図２８における上下方向が鉛直方向となるように、受け部６１が下側に蓋部６２が上側となるようにした。この姿勢は、蒸着マスク梱包体６０が床面に着地した際にも維持されていた。落下させた後、蒸着マスク梱包体６０を開梱して、蒸着マスク２０に、凹みが形成されているか否かを、目視（裸眼）により確認した。その結果を図４７に示す。図４７には、凹みが確認できた蒸着マスク２０の枚数を示している。

図４７において比較例１で示すように、蓋部側挿間シート８２と蓋部６２の第２対向面６６との間に形成される空隙６８の寸法が０ｍｍである場合には、温度変化によるしわが、９枚全ての蒸着マスク２０で確認された。この場合、蒸着マスク２０の熱膨張または熱収縮がスムースに行うことができずに、しわが発生したものと考えられる。

比較例２では、蓋部６２に凸部６７を設けずに空隙６８の寸法を０．６ｍｍとしたため、温度変化によるしわは確認されなかった。これは、蓋部側挿間シート８２が蓋部６２に接触せずに、空隙６８が形成されていることによるものと考えられる。しかしながら、比較例２では、落下試験による凹みが２つの蒸着マスク２０で確認された。これは、蓋部側挿間シート８２が蓋部６２等によって支持されていないことによるものと考えられる。

これに対して、実施例１に示すように蓋部６２に凸部６７を設けた場合、落下試験による凹みが９枚全ての蒸着マスク２０で確認されなかった。これは、蓋部側挿間シート８２が凸部６７を介して蓋部６２によって支持されていることによるものと考えられる。

また、実施例１によれば、９枚全ての蒸着マスク２０で温度変化によるしわも確認されなかった。これは、凸部６７の周辺に空隙６８が設けられていることによるものと考えられる。実施例１では、空隙６８の寸法Ｇが０．６ｍｍであった。このため、０．６ｍｍ以上の空隙寸法Ｇがある場合には、６０℃の温度上昇が想定される場合であっても、蒸着マスク２０に塑性変形が発生することを効果的に抑制可能であることが確認できた。

なお、本実施例においては、エッチング処理によって作製された蒸着マスク２０を用いているが、めっき処理によって作製された蒸着マスク２０についても、少なくとも同様の結果が得られるものと考える。すなわち、上述したようにエッチング処理の蒸着マスク２０には、圧延材として作製された金属板２１が用いられるが、この金属板２１の結晶よりも、めっき処理で作製された蒸着マスク２０の結晶の方が細かくなる。このことにより、めっき処理の蒸着マスク２０の硬度や耐力は、金属板２１よりも大きくなる。従って、めっき処理で作製された蒸着マスク２０を用いた場合であっても、本実施例と同等あるいはそれ以上の結果が得られ、輸送時の蒸着マスク２０が塑性変形することを抑制することができるものと考える。

Claims (11)

1. 第１基部と、
   前記第１基部に対向する第２基部と、
   前記第１基部と前記第２基部との間に配置され、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクと、
   前記蒸着マスクの幅方向両側に配置されたスペーサと、
   前記蒸着マスクと前記第２基部との間に配置された第１シートと、を備え、
   前記第２基部は、平面視において前記蒸着マスクの長手方向における両端部の少なくとも一方に配置された凸部を有し、
   前記凸部は、前記第１シートを押圧し、
   前記凸部の周辺において、前記第１シートと前記第２基部との間に空隙が形成され、
   前記蒸着マスクは、前記長手方向における両端部に設けられた端部開口部を有し、
   前記凸部は、平面視において、対応する前記端部開口部に重なる位置に配置されている、蒸着マスク梱包体。
2. 前記凸部は、平面視において、前記貫通孔に重なっていない、請求項１に記載の蒸着マスク梱包体。
3. 前記凸部は、平面視において、対応する前記端部開口部からはみ出していない、請求項１または２に記載の蒸着マスク梱包体。
4. 前記凸部の硬度は、前記第１基部の硬度および前記第２基部の硬度よりも低い、請求項１～３のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
5. 前記スペーサの硬度は、前記第１基部の硬度および前記第２基部の硬度よりも高い、請求項１～４のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
6. 前記第１シートと前記第２基部との間に、第４シートが配置され、
   前記第４シートの厚みは、前記第１シートの厚みよりも厚い、請求項１～５のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
7. 第１基部と、
   前記第１基部に対向する第２基部と、
   前記第１基部と前記第２基部との間に配置され、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクと、
   前記蒸着マスクの幅方向両側に配置されたスペーサと、
   前記蒸着マスクと前記第２基部との間に配置された第１シートと、を備え、
   前記第１基部は、前記第２基部に対向する対向面を有し、
   前記対向面は、前記第２基部の側に向かって凸となるように湾曲した湾曲面を含み、
   前記湾曲面は、前記蒸着マスクの長手方向の一方の端縁から他方の端縁にわたって延びる、または前記蒸着マスクの幅方向の一方の側縁から他方の側縁にわたって延びる尾根線を含んでいる、蒸着マスク梱包体。
8. 前記蒸着マスクと前記第１基部との間に配置された第２シートを更に備えた、請求項１～７のいずれか一項に記載の蒸着マスク梱包体。
9. 前記第１シートと前記第２シートとの間に複数の前記蒸着マスクが積層され、
   互いに隣り合う前記蒸着マスクの間に第３シートが配置されている、請求項８に記載の蒸着マスク梱包体。
10. 複数の貫通孔が形成された、長手方向を有する蒸着マスクを梱包する蒸着マスク用梱包装置であって、
    第１基部と、
    前記第１基部に対向する第２基部と、
    前記第１基部と前記第２基部との間に配置された一対のスペーサであって、一対の前記スペーサの間に前記蒸着マスクが収容される収容空間を画定する一対のスペーサと、を備え、
    前記第２基部は、平面視において前記収容空間の長手方向における両端部の少なくとも一方に配置された凸部を有し、
    前記蒸着マスクは、前記長手方向における両端部に設けられた端部開口部を有し、
    前記凸部は、平面視において、対応する前記端部開口部に重なる位置に配置されている、蒸着マスク用梱包装置。
11. 複数の貫通孔が形成された、長手方向を有する蒸着マスクを梱包する蒸着マスク用梱包装置であって、
    第１基部と、
    前記第１基部に対向する第２基部と、
    前記第１基部と前記第２基部との間に配置された一対のスペーサであって、一対の前記スペーサの間に前記蒸着マスクが収容される収容空間を画定する一対のスペーサと、を備え、
    前記第１基部は、前記第２基部に対向する対向面を有し、
    前記対向面は、前記第２基部の側に向って凸となるように湾曲した湾曲面を含み、
    前記湾曲面は、平面視において、前記収容空間の長手方向の一方の端縁から他方の端縁にわたって延びる、または前記収容空間の前記長手方向に直交する方向の一方の側縁から他方の側縁にわたって延びる尾根線を含んでいる、蒸着マスク用梱包装置。

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