CN213444112U - 蒸镀掩模用盒体 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种蒸镀掩模用盒体，构成为收容蒸镀掩模，该蒸镀掩模包括形成有多个贯通孔的图案区域以及包围上述图案区域的周边区域，该蒸镀掩模用盒体具备：支撑部，包括当蒸镀掩模用盒体收容蒸镀掩模时对蒸镀掩模进行支撑的平坦的支撑面；盖部，包括当蒸镀掩模用盒体收容蒸镀掩模时与支撑部对置的对置面以及从对置面凹陷的凹部，从与支撑面对置的视点观察，以蒸镀掩模的图案区域位于上述凹部内、且周边区域延伸到凹部之外的方式对蒸镀掩模进行覆盖；以及标识，用于使盖部与支撑部相区别。

Description

蒸镀掩模用盒体

技术领域

本实用新型涉及一种为了搬运蒸镀掩模而使用的蒸镀掩模用盒体。

背景技术

用于搬运蒸镀掩模的蒸镀掩模用盒体(case)具备支撑部、以及与支撑部重合的盖部。盖部具有与支撑部对置的平坦面。支撑部在与盖部的平坦面对置的面具有凹部。凹部由具有挠性的膜覆盖。当在支撑部与盖部之间收容了蒸镀掩模的情况下，形成有多个贯通孔的图案区域隔着膜配置于凹部(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：国际公开第2018/061757号

然而，当在蒸镀掩模的搬运时对蒸镀掩模用盒体施加了振动的情况下，沿着支撑部与盖部对置的方向的力作用于蒸镀掩模，由此，蒸镀掩模的图案区域挠曲为朝向凹部的凸状。蒸镀掩模的这样的挠曲虽然能够通过对蒸镀掩模进行支撑的挠性的膜得以抑制，但根据施加于蒸镀掩模用盒体的振动的大小不同，有时蒸镀掩模与膜一起挠曲成导致蒸镀掩模的图案区域变形的程度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种在蒸镀掩模的搬运时能够抑制蒸镀掩模所具有的图案区域变形的蒸镀掩模用盒体。

用于解决上述课题的蒸镀掩模用盒体构成为收容蒸镀掩模，该蒸镀掩模包括形成有多个贯通孔的图案区域以及包围上述图案区域的周边区域，其特征在于，该蒸镀掩模用盒体具备：支撑部，包括当上述蒸镀掩模用盒体收容上述蒸镀掩模时对上述蒸镀掩模进行支撑的平坦的支撑面；盖部，包括当上述蒸镀掩模用盒体收容上述蒸镀掩模时与上述支撑部对置的对置面以及从上述对置面凹陷的凹部，从与上述支撑面对置的视点观察，以上述蒸镀掩模的上述图案区域位于上述凹部内、且上述周边区域延伸到上述凹部之外的方式对上述蒸镀掩模进行覆盖；以及标识，用于使上述盖部与上述支撑部相区别。

根据上述蒸镀掩模用盒体，具有凹部的盖部通过标识而容易被识别，因此容易以夹着蒸镀掩模而盖部位于支撑部上的方式相对于支撑部配置盖部。然后，通过平坦的支撑面来支撑蒸镀掩模，且盖部不与图案区域接触。因此，通过支撑面来抑制蒸镀掩模的挠曲，并且在经由蒸镀掩模用盒体而对蒸镀掩模施加了振动的情况下，能够抑制蒸镀掩模的图案区域与盖部接触。由此，能够抑制蒸镀掩模搬运时的图案区域变形，进而能够抑制图案区域中形成的贯通孔变形。

在上述蒸镀掩模用盒体中也可以还具备：一对紧固部，在上述蒸镀掩模用盒体的长边方向上，隔着上述凹部而在比上述凹部靠外侧的位置与上述盖部以及上述支撑部接触，由此将上述盖部紧固于上述支撑部。根据该蒸镀掩模用盒体，能够抑制由于紧固部为了将支撑部与盖部紧固而对蒸镀掩模用盒体作用的力而使蒸镀掩模的图案区域变形。

在上述蒸镀掩模用盒体也可以可还具备：缓冲部，在上述盖部的厚度方向上位于上述盖部与上述蒸镀掩模之间，覆盖上述盖部的上述凹部。根据该蒸镀掩模用盒体，通过缓冲部抑制了盖部的凹部与在对置面中位于凹部周围的部分之间的阶梯差使应力集中于蒸镀掩模的一部分。

在上述蒸镀掩模用盒体中也可以还具备：一对夹持部，当上述蒸镀掩模用盒体收容上述蒸镀掩模时，在上述支撑部与上述盖部对置的状态下，从上述盖部的上述对置面朝向上述支撑部突出，上述一对夹持部在上述蒸镀掩模用盒体的长边方向上以隔着上述凹部的方式位于比上述凹部靠外侧的位置，在上述蒸镀掩模的厚度方向上与上述支撑部一起夹着上述蒸镀掩模的上述周边区域，上述缓冲部覆盖上述盖部的上述凹部以及上述一对夹持部。

根据上述蒸镀掩模用盒体，通过支撑部和盖部所具备的夹持部来固定蒸镀掩模，因此即使对蒸镀掩模施加振动，在蒸镀掩模用盒体内蒸镀掩模也不易移动。因此，能够抑制图案区域的变形。

在上述蒸镀掩模用盒体中，也可以还具备将上述支撑部与上述盖部连接的铰接部。根据该蒸镀掩模用盒体，与不具有铰接部的情况相比，容易进行盖部相对于支撑部的定位。

在上述蒸镀掩模用盒体中也可以为，上述支撑部以及上述盖部分别由在侧面具有开口的塑料瓦楞板形成，在上述支撑部，上述塑料瓦楞板的上述开口位于上述支撑部的侧面，在上述盖部，上述塑料瓦楞板的上述开口位于上述盖部的侧面，上述盖部的上述开口以及上述支撑部的上述开口被封堵。

根据上述蒸镀掩模用盒体，由于位于盖部的侧面的开口以及位于支撑部的侧面的开口的两方被封堵，因此能够抑制异物堆积在开口内。

实用新型的效果

根据本实用新型，在蒸镀掩模的搬运时，能够抑制蒸镀掩模所具有的图案区域变形。

附图说明

图1是同时示出了蒸镀掩模用盒体打开的状态下的蒸镀掩模用盒体的构造、以及由蒸镀掩模用盒体搬运的对象即蒸镀掩模的构造的立体图。

图2是示出了蒸镀掩模用盒体关闭的状态下的蒸镀掩模用盒体的构造的立体图。

图3是同时示出了蒸镀掩模用盒体的构造、以及蒸镀掩模用盒体所收容的蒸镀掩模的构造的剖视图。

图4是同时示出了蒸镀掩模用盒体的构造、以及蒸镀掩模用盒体所收容的蒸镀掩模的构造的剖视图。

图5是示出了蒸镀掩模用盒体所具备的支撑部的构造的侧视图。

图6是示出了蒸镀掩模用盒体被梱包的状态的立体图。

图7是示出了蒸镀掩模用盒体的第一变更例的构造的剖视图。

图8是示出了蒸镀掩模用盒体的第一变更例的构造的剖视图。

图9是示出了蒸镀掩模用盒体的第一变更例的构造的剖视图。

图10是示出了蒸镀掩模用盒体的第二变更例的构造的立体图。

图11是示出了蒸镀掩模用盒体的第二变更例的构造的立体图。

图12是示出了蒸镀掩模用盒体的第三变更例的构造的立体图。

图13是示出了蒸镀掩模用盒体的第三变更例的构造的立体图。

符号的说明

10 蒸镀掩模用盒体

11 支撑部

11S 支撑面

12 盖部

12S 对置面

12Sa凹部

16 标识

17 紧固部

21 蒸镀掩模

21a 图案区域

21b 周边区域

22 无尘纸

23 PET膜

具体实施方式

参照图1至图6对蒸镀掩模用盒体的一个实施方式进行说明。

图1示出了蒸镀掩模用盒体打开的状态下的蒸镀掩模用盒体的构造。此外，在图1中，示意性地示出了蒸镀掩模用盒体所收容的蒸镀掩模的形状。

如图1所示那样，蒸镀掩模用盒体10是收容蒸镀掩模21的盒体。蒸镀掩模21包括形成有多个贯通孔21h的图案区域21a、以及包围图案区域21a的周边区域21b。蒸镀掩模用盒体10具备支撑部11以及盖部12。支撑部11包括当蒸镀掩模用盒体10收容蒸镀掩模21时对蒸镀掩模21进行支撑的平坦的支撑面11S。盖部12包括当蒸镀掩模用盒体10收容蒸镀掩模21时与支撑部11对置的对置面12S、以及从对置面12S凹陷的凹部12Sa。从与支撑面11S对置的视点观察时，盖部12以使支撑部11所支撑的蒸镀掩模21的图案区域21a位于凹部12Sa内、且周边区域21b延伸到凹部12Sa之外的方式对蒸镀掩模21进行覆盖。

蒸镀掩模用盒体10还具备缓冲部13、一对夹持部14以及铰接部15。缓冲部13在盖部12的厚度方向上位于盖部12与蒸镀掩模21之间，对盖部12的凹部12Sa进行覆盖。

在支撑部11与盖部12对置的状态下，一对夹持部14从盖部12的对置面12S朝向支撑部11突出。一对夹持部14在蒸镀掩模21的长边方向、即蒸镀掩模用盒体10的长边方向上，以隔着凹部12Sa的方式位于比凹部12Sa靠外侧的位置。一对夹持部14在蒸镀掩模21的厚度方向、即支撑部11与盖部12对置的方向上，与支撑部11一起夹着蒸镀掩模21的周边区域21b。在本实施方式中，缓冲部13对盖部12的凹部12Sa以及一对夹持部14进行覆盖。

根据蒸镀掩模用盒体10，由缓冲部13抑制了盖部12的凹部12Sa与对置面12S的位于凹部12Sa周围的部分之间的阶梯差使应力集中于蒸镀掩模21的一部分这一情况。此外，通过支撑部11和夹持部14而使蒸镀掩模21被固定，因此即使对蒸镀掩模21施加振动，在蒸镀掩模用盒体10内蒸镀掩模21也不易移动。因此，图案区域21a的变形得到抑制。此外，与蒸镀掩模用盒体10不具有铰接部15的情况相比，容易进行盖部12相对于支撑部11的定位。此外，与不具有铰接部15的情况相比，盖部12相对于支撑部11的位置被稳定地维持。

蒸镀掩模用盒体10由两张塑料瓦楞板形成。塑料瓦楞板具备多个中空部，每个中空部具有沿着与塑料瓦楞板的厚度方向正交的方向延伸的直线状。多个中空部在沿着塑料瓦楞板延展的平面的方向上排列。在制造蒸镀掩模用盒体10时，首先，使两张塑料瓦楞板贴合。此时，两张塑料瓦楞板被贴合为，一方的塑料瓦楞板所具有的中空部延伸的方向与另一方的塑料瓦楞板所具有的中空部延伸的方向交叉。一方的塑料瓦楞板所具有的中空部延伸的方向与另一方的塑料瓦楞板所具有的中空部延伸的方向优选正交。

通过将塑料瓦楞板的一部分切除，由此能够从两张塑料瓦楞板形成支撑部11、盖部12以及铰接部15。塑料瓦楞板例如由聚丙烯(PP)等合成树脂形成。各塑料瓦楞板的厚度例如可以为5mm以上15mm以下。

支撑部11以及盖部12分别具有沿着一个方向延伸的带状。在支撑部11中沿着长边方向延伸的一边，通过铰接部15而与在盖部12中沿着长边方向延伸的一边连接。

缓冲部13具有沿着盖部12的长边方向延伸的带状。缓冲部13由树脂膜形成。缓冲部13例如由聚对苯二甲酸(PET)等合成树脂形成。缓冲部13具有挠性。缓冲部13能够具有防带电性。在缓冲部13具有防带电性的情况下，缓冲部13的方阻可以为1.0×10¹⁰Ω/□以上9.0×10¹⁴Ω/□以下。缓冲部13的厚度例如可以为150μm以上300μm以下。

各夹持部14具有沿着蒸镀掩模用盒体10的宽度方向延伸的带状。夹持部14例如由树脂制的板部件形成。夹持部14优选由发泡性树脂形成。夹持部14例如由PP等合成树脂形成。夹持部14在由发泡性的PP形成的情况下，发泡倍率例如可以为1.3以上3.0以下，而密度例如可以为0.3g/cm³以上0.7g/cm³以下。夹持部14的厚度例如可以为100μm以上300μm以下。在蒸镀掩模用盒体10的宽度方向上，夹持部14的宽度优选为蒸镀掩模21的宽度以上。

夹持部14的面积根据蒸镀掩模用盒体10内所收容的蒸镀掩模21的尺寸而适当地变更。例如，夹持部14的宽度可以为10mm以上100mm以下，此外，夹持部14的长度可以为50mm以上350mm以下。此外，所谓夹持部14的宽度，是沿着蒸镀掩模用盒体10的长边方向的、夹持部14的长度。此外，所谓夹持部14的长度，是沿着蒸镀掩模用盒体10的宽度方向的、夹持部14的长度。夹持部14的长度优选为蒸镀掩模21的宽度的全长以上。

在盖部12中，对置面12S与凹部12Sa的底部之间的距离为凹部12Sa的深度。凹部12Sa的深度可以比一张塑料瓦楞板的厚度浅，可以与一张塑料瓦楞板的厚度相等，也可以比一张塑料瓦楞板的厚度深。

蒸镀掩模21为金属制。蒸镀掩模21例如可以为铁镍系合金制。在蒸镀掩模21的图案区域21a中形成有多个贯通孔21h，该贯通孔21h具有与在使用了蒸镀掩模21的状态下形成的图案的形状相对应的形状。各贯通孔21h具备在蒸镀掩模21的第一面上开口的第一开口、以及在蒸镀掩模21的第二面上开口的第二开口。从与蒸镀掩模21的第二面对置的视点观察，第二开口的大小大于第一开口的大小。在蒸镀掩模21被用于蒸镀的情况下，第一面与蒸镀对象对置，第二面与蒸镀源对置。在蒸镀掩模21中，周边区域21b的厚度例如可以为5μm以上30μm以下。周边区域21b不具有用于形成图案的贯通孔。

在蒸镀掩模21被收容在蒸镀掩模用盒体10中时，在蒸镀掩模21的厚度方向上，蒸镀掩模21被一对无尘纸22夹着。无尘纸22是用于抑制蒸镀掩模21与位于蒸镀掩模21周围的部件直接接触、由此抑制蒸镀掩模21产生损伤的衬纸。以夹着蒸镀掩模21的一对无尘纸22之中、靠近支撑部11的无尘纸22与蒸镀掩模21的第二面接触且靠近盖部12的无尘纸22与蒸镀掩模21的第一面接触的方式，蒸镀掩模21被一对无尘纸22夹着。此外，一对无尘纸22在蒸镀掩模21的厚度方向上被一对PET膜23夹着。

无尘纸22的厚度例如为50μm以上150μm以下。PET膜23的厚度例如为100μm以上300μm以下。PET膜23例如也可以具有白色。PET膜23可以由单层形成，也可以由多层形成。在PET膜23例如由两层形成的情况下，可以由透明层和白色层形成。

PET膜23能够具有防带电性。PET膜23的方阻可以为1.0×10¹⁰Ω/□以上9.0×10¹⁴Ω/□以下。由此，能够降低蓄积于PET膜23的静电，能够抑制由于静电的原因而导致尘埃附着于PET膜23。

此外，在蒸镀掩模用盒体10中，可以收容一张蒸镀掩模21，也可以一并收容多张蒸镀掩模21。无论在蒸镀掩模用盒体10收容一张蒸镀掩模21的情况、以及收容多张蒸镀掩模21的情况的哪种情况下，蒸镀掩模用盒体10都将各蒸镀掩模21以第一面相比于第二面位于靠近盖部12的位置的状态收容。

在一并收容多张蒸镀掩模21时，在蒸镀掩模21的厚度方向上，形成有多个通过各蒸镀掩模21被一对无尘纸22夹着而构成的掩模层叠体。然后，以PET膜23位于掩模层叠体与掩模层叠体之间、且PET膜23与支撑部11以及盖部12接触的方式，多张蒸镀掩模21、多张无尘纸22以及多张PET膜23重叠。当在蒸镀掩模用盒体10中收容多个蒸镀掩模21的情况下，在蒸镀掩模用盒体10的厚度方向上，最靠近支撑部11的蒸镀掩模21的第二面与支撑部11的支撑面11S对置。

图2示出了蒸镀掩模用盒体10关闭的状态下的蒸镀掩模用盒体10的构造。

如图2所示那样，蒸镀掩模用盒体10具备用于使盖部12与支撑部11相区别的标识16。在本实施方式中，标识16例如是粘贴在盖部12的与对置面12S相反侧的面即表面12F上的标签。在标签上记录有识别信息。识别信息例如可以是品名、批次编号、系列编号、以及蒸镀掩模21的数量等。

蒸镀掩模用盒体10还具备一对紧固部17。一对紧固部17在蒸镀掩模用盒体10的长边方向上，隔着凹部12Sa而在比凹部12Sa靠外侧的位置与盖部12及支撑部11接触，由此将盖部12紧固于支撑部11。因此，与一对紧固部17在蒸镀掩模用盒体10的长边方向上位于凹部12Sa内侧的情况相比，能够抑制由于紧固部17为了对支撑部11与盖部12进行紧固而对蒸镀掩模用盒体10作用的力而使蒸镀掩模21的图案区域21a变形这一情况。进而，能够抑制蒸镀掩模21所具有的贯通孔21h变形。

紧固部17例如是胶带。胶带例如能够具备由各种合成树脂形成的带状的主体部、以及形成在主体部所具有的一个面上的粘接层。

图3以及图4同时示出了蒸镀掩模用盒体10的截面构造以及蒸镀掩模21的截面构造。此外，在图3以及图4中，为了图示方便，省略无尘纸22以及PET膜23的图示。此外，在图3以及图4中，作为一个例子而示出了蒸镀掩模用盒体10收容一张蒸镀掩模21的状态。

图3示出了沿着与盖部12的表面12F正交且经过夹持部14的平面的、蒸镀掩模用盒体10的截面构造以及蒸镀掩模21的截面构造。图4示出了沿着与盖部12的表面12F正交且经过凹部12Sa的平面的、蒸镀掩模用盒体10的截面构造以及蒸镀掩模21的截面构造。

如图3所示那样，支撑部11由第一片材11a和第二片材11b形成。如上所述，第一片材11a以及第二片材11b分别为一张塑料瓦楞板。盖部12由第一片材12a和第二片材12b形成。如上所述，第一片材12a以及第二片材12b分别为一张塑料瓦楞板。支撑部11的第一片材11a与盖部12的第一片材12a是同一塑料瓦楞板中的相互不同的一部分。盖部12的第二片材11b与盖部12的第二片材12b是同一塑料瓦楞板中的相互不同的一部分。

第一片材11a、12a的厚度与第二片材11b、12b的厚度可以相等、也可以不同。在第一片材11a、12a的厚度与第二片材11b、12b的厚度不同的情况下，可以是第一片材11a、12a比第二片材11b、12b厚，也可以是第一片材11a、12a比第二片材11b、12b薄。此外，在将盖部12相对于支撑部11重合了时，第一片材11a、12a在蒸镀掩模用盒体10的厚度方向上位于第二片材11b、12b的内侧。因此，由于第一片材11a、12a比第二片材11b、12b厚，因此即使假设在第二片材11b、12b破损了的情况下，也能够通过第一片材11a、12a来保护蒸镀掩模用盒体10内所收容的蒸镀掩模21。

在支撑部11中沿着长边方向延伸的侧面是如下的锥形面：在盖部12位于支撑部11的上方的状态下，在沿着宽度方向的截面中，从支撑面11S向下方且是远离铰接部15的方向倾斜。此外，在支撑部11中沿着宽度方向延伸的侧面是如下的锥形面：在盖部12位于支撑部11的上方的状态下，在沿着长边方向的截面中，从支撑面11S向下方且是朝向夹持部14的方向倾斜。

在盖部12中沿着长边方向延伸的侧面是如下的锥形面：在盖部12位于支撑部11的上方的状态下，在沿着宽度方向的截面中，从对置面12S向上方且是远离铰接部15的方向倾斜。此外，在盖部122中沿着宽度方向延伸的侧面是如下的锥形面：在盖部12位于支撑部11的上方的状态下，在沿着长边方向的截面中，从对置面12S向上方且是朝向夹持部14的方向倾斜。

夹持部14在蒸镀掩模用盒体10的厚度方向上，经由缓冲部13而重合于蒸镀掩模21的周边区域21b。夹持部14位于盖部12的对置面12S中的仅一部分，因此盖部12的载荷集中于夹持部14。因此，通过蒸镀掩模21的周边区域21b由夹持部14和支撑部11夹着，由此与蒸镀掩模用盒体10不具有夹持部14的情况相比，蒸镀掩模用盒体10内的蒸镀掩模21的位置被稳固地固定。此外，盖部12的载荷偏向作用于蒸镀掩模21的周边区域21b，因此蒸镀掩模21的图案区域21a的变形得到抑制。

如图4所示那样，在蒸镀掩模用盒体10中收容了蒸镀掩模21的状态下，支撑部11的支撑面11S与蒸镀掩模21的图案区域21a接触。在图案区域21a中，形成有用于在蒸镀对象上形成图案的大量贯通孔21h。因此，在蒸镀掩模21中，图案区域21a的机械强度低于周边区域21b的机械强度。

在这一点上，根据蒸镀掩模用盒体10，图案区域21a由支撑面11S支撑，因此在蒸镀掩模21的搬运时，图案区域21a扭转、挠曲的情况得到抑制，由此图案区域21a的变形得到抑制。结果，在图案区域21a中形成的贯通孔21h的变形得到抑制。此外，由于支撑部11的支撑面11S为平坦面，因此在将蒸镀掩模21向蒸镀掩模用盒体10收容时，能够将蒸镀掩模21沿着支撑面11S配置。因此，与支撑部11具有凹部的情况相比，在将蒸镀掩模21向蒸镀掩模用盒体10收容时蒸镀掩模21产生褶皱等变形的情况得到抑制。

并且，如上所述，蒸镀掩模用盒体10以蒸镀掩模21的第二面与支撑部11接触的状态收容蒸镀掩模21。在此，在贯通孔21h中，第一开口对蒸镀图案的精度的贡献大于第二开口对蒸镀图案的精度的贡献。在这一点上，由于贯通孔21h的第一开口相对于支撑面11S未直接接触，因此能够在抑制由于与蒸镀掩模用盒体10接触而引起的第一开口的变形的同时，通过支撑部11来支撑图案区域21a。

与此相对，第一面中的被包含于图案区域21a的部分虽然与缓冲部13接触，但缓冲部13中的与该部分接触的部分未与盖部12接触。因此，经由盖部12传来的冲击不易施加于图案区域21a。因此，图案区域21a的变形得到抑制。

根据上述的蒸镀掩模用盒体10，支撑部11具有用于对图案区域21a进行支撑的平坦的支撑面11S，且盖部12具有用于避免与图案区域21a接触的凹部12Sa，由此能够良好地抑制图案区域21a的变形、进而抑制贯通孔21h的变形。

此外，当在蒸镀掩模用盒体10中收容多个蒸镀掩模21的情况下，包括多个蒸镀掩模21的层叠体由支撑部11支撑。由此，层叠体所包括的多个蒸镀掩模21所具有的图案区域21a的变形、进而贯通孔21h的变形得到抑制。

图5示出了在蒸镀掩模用盒体10关闭的状态下，从与支撑部11中的沿着宽度方向延伸的侧面对置的视点观察到的支撑部11的侧面构造。

如图5所示那样，此外，如上所述，支撑部11由第一片材11a和第二片材11b形成。在图5所示的例子中，第二片材11b所具有的中空部11bh沿着纸面的进深方向延伸。与此相对，第一片材11a所具有的中空部11ah沿着纸面的左右方向延伸。第二片材11b所具有的中空部11bh相对于第一片材11a所具有的中空部11ah正交。由此，与第一片材11a所具有的中空部11ah与第二片材11b所具有的中空部11bh平行的情况相比，能够提高蒸镀掩模用盒体10的机械强度。

在第二片材11b中，各中空部11bh的开口11bA位于支撑部11的侧面。各开口11bA被封堵。例如，在第二片材11b的加工时，通过对塑料瓦楞板加热，由此将各开口11bA封堵。此外，例如，通过将用于封堵位于支撑部11的侧面的开口11bA的材料埋入到中空部11bh，由此将各开口11bA封堵。此外，例如，通过在第二片材11b的侧面上粘贴粘接片，由此将各开口11bA封堵。

此外，第一片材11a的各中空部11ah在蒸镀掩模用盒体10的沿着长边方向延伸的侧面具有开口11aA。与第二片材11b的中空部11bh所具有的开口11bA同样，第一片材11a的中空部11ah所具有的开口11aA也被封堵。第一片材11a所具有的开口11aA通过第二片材11b的中空部11bh所具有的开口11bA所采用的方法中的任意方法来封堵。另外，将第一片材11a的开口11a封堵的方法可以是与将第二片材11b的开口11bA封堵的方法相同的方法，也可以是与其不同的方法

此外，位于盖部12的侧面的开口也与位于支撑部11的侧面的开口同样地被封堵。如此，在蒸镀掩模用盒体10中，位于盖部12的侧面的开口以及位于支撑部11的侧面的开口11aA、11bA的双方被封堵，因此能够抑制异物堆积在开口内。因此，能够抑制由于蒸镀掩模21的搬入而异物与蒸镀掩模21一起被带入设置有应用蒸镀掩模21的蒸镀装置的洁净室。

图6示出了蒸镀掩模用盒体10被从第一地点向第二地点搬运时的蒸镀掩模用盒体10的状态。第一地点例如是进行蒸镀掩模21的制造的地点，第二地点例如是使用蒸镀掩模21对蒸镀对象进行图案形成的地点。

如图6所示那样，在蒸镀掩模用盒体10被搬运时，蒸镀掩模用盒体10由外装31覆盖。外装31优选具有透光性，以便能够经由外装31而视觉辨认蒸镀掩模用盒体10所具有的标识16上记录的信息。外装31优选为透明或者半透明。外装31例如可以是由各种合成树脂形成的袋或片。由于蒸镀掩模用盒体10被外装31覆盖，因此能够抑制异物附着在蒸镀掩模用盒体10上。由此，能够抑制由于蒸镀掩模21的搬入而异物与蒸镀掩模21一起被带入设置有应用蒸镀掩模21的蒸镀装置的洁净室。

如以上说明的那样，根据蒸镀掩模用盒体的一个实施方式，能够得到以下所记载的效果。

(1)通过标识16能够容易地识别具有凹部12Sa的盖部12，因此容易以夹着蒸镀掩模21而使盖部12位于支撑部11上的方式相对于支撑部11配置盖部12。然后，由平坦的支撑面11S支撑蒸镀掩模21，且盖部12不与图案区域21a接触。因此，当在通过支撑面11S抑制蒸镀掩模21的挠曲的同时，经由蒸镀掩模用盒体10对蒸镀掩模21施加了振动的情况下，能够抑制蒸镀掩模21的图案区域21a与盖部12接触。由此，能够抑制蒸镀掩模21搬运时图案区域21a变形，进而抑制形成于图案区域21a的贯通孔21h变形。

(2)能够抑制由于紧固部17为了将支撑部11与盖部12紧固而对蒸镀掩模用盒体10作用的力使蒸镀掩模21的图案区域21a变形。

(3)通过缓冲部13能够抑制盖部12的凹部12Sa与对置面12S中位于凹部12Sa周围的部分之间的阶梯差使应力集中于蒸镀掩模21的一部分。

(4)通过支撑部11和夹持部14而使蒸镀掩模21被固定。因此，即使对蒸镀掩模21施加振动，在蒸镀掩模用盒体10内蒸镀掩模21也不易移动。因此，能够抑制图案区域21a变形。

(5)铰接部15将支撑部11与盖部12进行连接，因此与不具有铰接部15的情况相比，容易进行盖部12相对于支撑部11的定位。

(6)位于盖部12的侧面的开口以及位于支撑部11的侧面的开口11aA、11bA的双方被封堵，因此能够抑制异物堆积在开口内。

此外，上述的实施方式能够如以下那样变更并实施。

[外装]

·搬运蒸镀掩模用盒体10时，也可以不使用对蒸镀掩模用盒体10进行覆盖的外装31。

[支撑部]

·位于支撑部11的侧面的开口11aA、11bA也可以不被封堵。即使在该情况下，也可以得到符合上述(1)至(5)的效果。

[盖部]

·位于盖部12的侧面的开口也可以不被封堵。即使在该情况下，也可以得到符合上述(1)至(5)的效果。

[铰接部]

·蒸镀掩模用盒体10也可以不具有铰接部15。即，在蒸镀掩模用盒体10中，支撑部11也可以从盖部12分离。通过支撑部11与盖部12分离，例如，即使在蒸镀掩模用盒体10的搬运时蒸镀掩模用盒体10被加热，由此蒸镀掩模用盒体10膨胀了的情况下，能够抑制蒸镀掩模用盒体10产生变形。

此外，在蒸镀掩模用盒体10具有铰接部15的情况下，铰接部15被设计为，支撑部11与盖部12之间的距离成为与蒸镀掩模用盒体10所收容的蒸镀掩模21的张数相应的距离。此时，铰接部15被设计为，蒸镀掩模用盒体10在盖部12对蒸镀掩模21、无尘纸22、以及PET膜23的层叠体作用了大致均匀的力的状态下收容蒸镀掩模21。因此，在将比设计时所设定的张数少的张数的蒸镀掩模21收容于蒸镀掩模用盒体10的情况下，需要通过追加无尘纸22、PET膜23等而使层叠体的厚度变厚。

与此相对，在蒸镀掩模用盒体10不具有铰接部15的情况下，与蒸镀掩模用盒体10内所收容的蒸镀掩模21的张数无关，而支撑部11以及盖部12与蒸镀掩模21、无尘纸22、以及PET膜23的层叠体接触。因此，蒸镀掩模用盒体10能够在对层叠体作用了大致均匀的力的状态下收容蒸镀掩模21。

·如图7所示那样，铰接部15也可以具备支撑侧铰接部15a和盖侧铰接部15b。在铰接部15中，支撑侧铰接部15a通过连接部15a1而与支撑部11连接，盖侧铰接部15b通过连接部15b1而与盖部12连接。铰接部15还具备连接部15c，连接部15c将支撑侧铰接部15a与盖侧铰接部15b连接。铰接部15能够在连接部15c进行折弯。铰接部15以使支撑部11中的与支撑面11S相反侧的面与盖部12的表面12F对置的方式在连接部15c进行折弯。

如图8所示那样，在蒸镀掩模用盒体10打开的状态下，支撑部11、铰接部15、以及盖部12按照该顺序排列，并且支撑部11、铰接部15、以及盖部12能够位于同一平面上。蒸镀掩模用盒体10能够以连接部15c为起点进行折弯，由此，盖部12以连接部15c为旋转轴而向接近于盖部12的方向转动。此时，蒸镀掩模用盒体10所收容的蒸镀掩模21被维持为位于支撑面11S的状态。

如图9所示那样，通过盖部12的转动，在支撑部11与盖部12之间的连接被维持的状态下，支撑部11中的与支撑面11S相反侧的面与盖部12的表面12F对置。由此，支撑部11重合在盖部12上。此时，蒸镀掩模用盒体10所支撑的蒸镀掩模21也被维持为位于支撑面11S的状态。

蒸镀掩模用盒体10具备上述铰接部15，由此能够在维持蒸镀掩模用盒体10所收容的蒸镀掩模21位于支撑面11S上的状态的同时，将蒸镀掩模用盒体10打开，且将支撑部11重合到盖部12上。因此，能够在使蒸镀掩模21向蒸镀掩模用盒体10外部露出的同时，减小蒸镀掩模用盒体10的载置面积。

[夹持部]

·蒸镀掩模用盒体10也可以不具有夹持部14。即使在该情况下，也能够得到符合上述(1)至(3)、(5)以及(6)的效果。

[缓冲部]

·蒸镀掩模用盒体10也可以不具有缓冲部13。即使在该情况下，也能够得到符合上述(1)、(2)、以及(4)至(6)的效果。

[紧固部]

·蒸镀掩模用盒体10也可以不具有紧固部17。即使在该情况下，也能够得到符合上述(1)、以及(3)至(6)的效果。

[标识]

·标识16并不局限于标签，例如，也可以是通过对蒸镀掩模用盒体10进行印刷而形成的印刷部。或者，标识16也可以通过在蒸镀掩模用盒体10上形成的凹部以及凸部的至少一方来形成。

·只要通过标识16能够进行支撑部11和盖部12的区别即可，因此标识16也可以不位于盖部12的表面12F。例如，标识16也可以位于盖部12的侧面，也可以具有跨着盖部12的表面12F和盖部12的侧面的形状。此外，也可以位于盖部12的对置面12S。在标识16位于盖部12的对置面12S的情况下，盖部12需要为能够经由盖部12视觉辨认标识16的透光性。此外，标识16也可以位于支撑部11。在该情况下，标识16也可以位于支撑部11的侧面，也可以具有跨着支撑部11的侧面和支撑部11中的与支撑面11S相反侧的面的形状。

[加强板以及嵌合片]

·蒸镀掩模用盒体10也可以还具备以下说明的加强板以及嵌合片的至少一方。在以下参照的图10至图13中，为了便于图示，省略将支撑部11与盖部12相互连接的铰接部15的图示。此外，以下说明的蒸镀掩模用盒体10也可以不具备铰接部15。

如图10所示那样，蒸镀掩模用盒体10具备支撑侧加强板18和盖侧加强板19。支撑侧加强板18具有沿着支撑部11的长边方向延伸的矩形带状，在支撑侧加强板18上重合有支撑部11。盖侧加强板19具有沿着盖部12的长边方向延伸的矩形带状，在盖侧加强板19上重合有盖部12。

支撑部11以及盖部12例如为合成树脂制。支撑侧加强板18的刚性优选为支撑部11的刚性以上，但支撑侧加强板18的刚性也可以小于支撑部11的刚性。盖侧加强板19的刚性优选为盖部12的刚性以上，但盖侧加强板19的刚性也可以小于盖部12的刚性。

支撑侧加强板18具备一对嵌合片18a。嵌合片18a位于支撑侧加强板18的长边方向上的各端部。各嵌合片18a在支撑部11的厚度方向上比支撑部11的支撑面11S突出。嵌合片18a相对于支撑面11S的突出量与盖部12的厚度大致相等。嵌合片18a的突出量优选为盖部12的厚度以下。

盖侧加强板19具备一对嵌合片19a。嵌合片19a位于盖侧加强板19的长边方向上的各端部。各嵌合片19a在盖部12的厚度方向上比盖部12的对置面12S突出。嵌合片19a相对于对置面12S的突出量，可以为支撑部11的厚度以下，也可以大于支撑部11的厚度，且也可以低于支撑部11的厚度与支撑侧加强板18的厚度的总和。

沿着盖部12的长边方向的盖侧加强板19的长度比盖部12的长度长。由此，在盖部12的长边方向上，在嵌合片19a与盖部12之间形成有供支撑侧加强板18的嵌合片18a插入的空间。

图11示出了盖部12相对于支撑部11重合的状态。

如图11所示那样，盖部12重合于支撑部11，由此支撑侧加强板18的嵌合片18a插入到在盖部12与嵌合片19a之间形成的空间中。根据具备加强板18、19的蒸镀掩模用盒体10，能够提高支撑部11以及盖部12的机械强度。

因此，能够抑制由于对蒸镀掩模用盒体10作用的外力引起蒸镀掩模用盒体10变形。此外，由于加强板18、19具备嵌合片18a、19a，因此即使对蒸镀掩模用盒体10作用了振动等，盖部12相对于支撑部11的位置也不易偏移。由此，蒸镀掩模用盒体10容易被保持为关闭的状态。此外，容易进行盖部12相对于支撑部11的定位。此外，这些效果在蒸镀掩模用盒体10不具备铰接部15的情况下特别显著。

此外，在上述蒸镀掩模用盒体10中，支撑侧加强板18的嵌合片18a插入到在盖部12与嵌合片19a之间形成的空间中，但蒸镀掩模用盒体10也可以具有盖侧加强板19的嵌合片19a插入到在支撑部11与嵌合片18a之间形成的空间中的构造。此外，也可以是，嵌合片18a在支撑侧加强板18的宽度方向上的各端部各具有一个，并且，嵌合片19a在盖侧加强板19的宽度方向上的各端部各具有一个。

此外，支撑侧加强板18以及盖侧加强板19分别也可以仅具有一个嵌合片18a、19a。在该情况下，如下那样配置即可：从与盖部12对置的视点观察，支撑侧加强板18的嵌合片18a以及盖侧加强板19的嵌合片19a的双方与盖部12的相互对置的一对边的一方重合。

蒸镀掩模用盒体10也可以仅具备支撑侧加强板18和盖侧加强板19中的任一方。以下，参照图12以及图13，对蒸镀掩模用盒体10具备支撑侧加强板18而不具备盖侧加强板19的构成进行说明。

如图12所示那样，蒸镀掩模用盒体10具备支撑侧加强板18。从与支撑部11对置的视点观察，支撑侧加强板18具有与支撑部11大致相同的形状以及大致相同的大小。

蒸镀掩模用盒体10具备两个嵌合片19a。在盖部12具有的四个角部中的两个角部各具有一个嵌合片19a。在图12所示的例子中，两个嵌合片19a在四个角部中的在沿着长边方向延伸的盖部12的边上排列的两个角部各配有一个。此外，两个嵌合片19a也可以位于四个角部中的任意的两个角部。此外，蒸镀掩模用盒体10也可以具有三个或者四个嵌合片19a，也可以仅具有一个嵌合片19a。

在图12所示的例子中，从与盖部12对置的视点观察，各嵌合片19a具有L字状，但各嵌合片19a也可以具有U字状。各嵌合片19a在盖部12的厚度方向上比盖部12的对置面12S突出。嵌合片19a相对于对置面12S的突出量，可以小于支撑部11的厚度，也可以为支撑部11的厚度以上，且也可以为支撑部11的厚度与支撑侧加强板18的厚度的总和以下。

图13示出了盖部12相对于支撑部11重合的状态。

如图13所示那样，通过盖部12与支撑部11重合，从而各嵌合片19a嵌入到支撑侧加强板18与支撑部11的层叠体所具有的角部。各嵌合片19a嵌入到层叠体所具有的四个角部中的相互不同的角部。

因此，即使对蒸镀掩模用盒体10作用了振动等，盖部12相对于支撑部11的位置也不易偏移。由此，蒸镀掩模用盒体10容易保持关闭的状态。此外，容易进行盖部12相对于支撑部11的定位。此外，这些效果在蒸镀掩模用盒体10不具备铰接部15的情况下特别显著。

此外，蒸镀掩模用盒体10也可以具备嵌合片19a而不具备支撑侧加强板18。此外，蒸镀掩模用盒体10也可以具有位于盖部12的嵌合片19a、以及位于支撑部11且具有L字状或者U字状的嵌合片的双方。在该情况下，在支撑部11与盖部12重合的状态下，盖部12的嵌合片19a与支撑部11的嵌合片在蒸镀掩模用盒体10中位于相互不同的角部即可。此外，嵌合片也可以位于支撑部11所具备的角部而不位于盖部12所具备的角部。

在之前参照图10以及图11说明了的蒸镀掩模用盒体10中，从与盖部12对置的视点观察，支撑侧加强板18所具备的嵌合片18a、以及盖侧加强板19所具备的嵌合片19a的至少一方也可以具有L字状或者U字状。

[蒸镀掩模用盒体]

·蒸镀掩模用盒体10可以由一张塑料瓦楞板形成，也可以由三张以上的塑料瓦楞板形成。

·蒸镀掩模用盒体10也可以由具有沿着塑料瓦楞板的厚度方向延伸的多个中空部、且是排列为蜂窝状的多个中空部的塑料瓦楞板形成。

·蒸镀掩模用盒体10也可以不由塑料瓦楞板形成。在该情况下，蒸镀掩模用盒体10例如也可以通过由各种合成树脂形成的板部件来形成。或者，蒸镀掩模用盒体10也可以由金属制的板部件形成。

Claims (6)

1.一种蒸镀掩模用盒体，构成为收容蒸镀掩模，该蒸镀掩模包括形成有多个贯通孔的图案区域以及包围上述图案区域的周边区域，其特征在于，

该蒸镀掩模用盒体具备：

支撑部，包括当上述蒸镀掩模用盒体收容上述蒸镀掩模时对上述蒸镀掩模进行支撑的平坦的支撑面；

盖部，包括当上述蒸镀掩模用盒体收容上述蒸镀掩模时与上述支撑部对置的对置面以及从上述对置面凹陷的凹部，从与上述支撑面对置的视点观察，以上述蒸镀掩模的上述图案区域位于上述凹部内、且上述周边区域延伸到上述凹部之外的方式对上述蒸镀掩模进行覆盖；以及

标识，用于使上述盖部与上述支撑部相区别。

2.如权利要求1所述的蒸镀掩模用盒体，其特征在于，

还具备：

一对紧固部，在上述蒸镀掩模用盒体的长边方向上，隔着上述凹部而在比上述凹部靠外侧的位置与上述盖部以及上述支撑部接触，由此将上述盖部紧固于上述支撑部。

3.如权利要求2所述的蒸镀掩模用盒体，其特征在于，

还具备：

缓冲部，在上述盖部的厚度方向上位于上述盖部与上述蒸镀掩模之间，覆盖上述盖部的上述凹部。

4.如权利要求3所述的蒸镀掩模用盒体，其特征在于，

还具备：

一对夹持部，当上述蒸镀掩模用盒体收容上述蒸镀掩模时，在上述支撑部与上述盖部对置的状态下，从上述盖部的上述对置面朝向上述支撑部突出，上述一对夹持部在上述蒸镀掩模用盒体的长边方向上以隔着上述凹部的方式位于比上述凹部靠外侧的位置，在上述支撑部与上述盖部对置的方向上与上述支撑部一起夹着上述蒸镀掩模的上述周边区域，

上述缓冲部覆盖上述盖部的上述凹部以及上述一对夹持部。

5.如权利要求1至4中任一项所述的蒸镀掩模用盒体，其特征在于，

还具备：

铰接部，将上述支撑部与上述盖部连接。

6.如权利要求1至4中任一项所述的蒸镀掩模用盒体，其特征在于，

上述支撑部以及上述盖部分别由在侧面具有开口的塑料瓦楞板形成，

在上述支撑部，上述塑料瓦楞板的上述开口位于上述支撑部的侧面，

在上述盖部，上述塑料瓦楞板的上述开口位于上述盖部的侧面，

上述盖部的上述开口以及上述支撑部的上述开口被封堵。

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