KR102645913B1

KR102645913B1 - 증착 마스크용 케이스

Info

Publication number: KR102645913B1
Application number: KR1020227045931A
Authority: KR
Inventors: 다카오 마노; 다이 이시자카
Original assignee: 도판 홀딩스 가부시키가이샤
Priority date: 2019-10-03
Filing date: 2020-10-02
Publication date: 2024-03-11
Also published as: JP6904502B1; TWI785393B; TW202118709A; WO2021066143A1; KR20210153075A; KR20230008890A; CN213444112U; KR102483034B1; CN113840942A; JPWO2021066143A1

Abstract

복수의 관통공이 형성된 패턴 영역과, 패턴 영역을 둘러싸는 주변 영역을 포함하는 증착 마스크를 수용하도록 구성된 증착 마스크용 케이스이다. 증착 마스크용 케이스가 증착 마스크를 수용할 때에 증착 마스크를 지지하는 평탄한 지지면을 포함하는 지지부와, 증착 마스크용 케이스가 증착 마스크를 수용할 때에 지지부와 대향하는 대향면과, 대향면으로부터 오목한 오목부를 포함하고, 지지면과 대향하는 시점으로부터 보아, 증착 마스크의 패턴 영역이 오목부 내에 위치하고, 또한, 주변 영역이 오목부 외로까지 연장되도록 증착 마스크를 덮도록 구성된 덮개부와, 덮개부를 지지부로부터 구별하기 위한 표지를 구비한다.

Description

증착 마스크용 케이스{VAPOR DEPOSITION MASK CASE}

본 발명은, 증착 마스크를 반송하기 위해서 사용되는 증착 마스크용 케이스에 관한 것이다.

증착 마스크를 반송하기 위한 증착 마스크용 케이스는, 지지부와 지지부에 겹치는 덮개부를 구비하고 있다. 덮개부는, 지지부에 대향하는 평탄면을 가지고 있다. 지지부는, 덮개부의 평탄면과 대향하는 면에 오목부를 가지고 있다. 오목부는, 가요성을 갖는 필름에 의해 덮여 있다. 지지부와 덮개부 사이에 증착 마스크가 수용된 경우에는, 복수의 관통공이 형성된 패턴 영역이, 필름을 개재하여 오목부에 배치된다 (예를 들어, 특허문헌 1 을 참조).

국제 공개 제2018/061757호

그런데, 증착 마스크의 반송 시에 증착 마스크용 케이스에 진동이 가해진 경우에는, 지지부와 덮개부가 대향하는 방향을 따른 힘이 증착 마스크에 작용하고, 이로써, 증착 마스크의 패턴 영역은, 오목부를 향한 볼록상으로 휜다. 증착 마스크의 이러한 휨은, 증착 마스크를 지지하는 가요성의 필름에 의해 억제된다고는 해도, 증착 마스크용 케이스에 가해지는 진동의 크기에 따라서는, 증착 마스크의 패턴 영역을 변형시켜 버릴 정도로 증착 마스크가 필름과 함께 휘는 경우가 있다.

본 발명은, 증착 마스크의 반송 시에 있어서 증착 마스크가 갖는 패턴 영역의 변형을 억제 가능하게 한 증착 마스크용 케이스를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위한 증착 마스크용 케이스는, 복수의 관통공이 형성된 패턴 영역과, 상기 패턴 영역을 둘러싸는 주변 영역을 포함하는 증착 마스크를 수용하도록 구성된 증착 마스크용 케이스이다. 상기 증착 마스크용 케이스가 상기 증착 마스크를 수용할 때에 상기 증착 마스크를 지지하는 평탄한 지지면을 포함하는 지지부와, 상기 증착 마스크용 케이스가 상기 증착 마스크를 수용할 때에 상기 지지부와 대향하는 대향면과, 상기 대향면으로부터 오목한 오목부를 포함하고, 상기 지지면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 증착 마스크의 상기 패턴 영역이 상기 오목부 내에 위치하고, 또한, 상기 주변 영역이 상기 오목부 외로까지 연장되도록 상기 증착 마스크를 덮도록 구성된 덮개부와, 상기 덮개부를 상기 지지부로부터 구별하기 위한 표지를 구비한다.

상기 증착 마스크용 케이스에 의하면, 오목부를 가진 덮개부가 표지에 의해 용이하게 식별되기 때문에, 증착 마스크를 사이에 두고, 덮개부가 지지부 상에 위치하도록 지지부에 대해 덮개부를 배치하는 것이 용이하다. 그리고, 평탄한 지지면에 의해 증착 마스크가 지지되고, 또한, 패턴 영역에 덮개부가 접하지 않는다. 그 때문에, 지지면에 의해 증착 마스크의 휨을 억제하면서, 증착 마스크용 케이스를 개재하여 증착 마스크에 진동이 가해진 경우에, 증착 마스크의 패턴 영역이 덮개부에 접하는 것이 억제된다. 이로써, 증착 마스크의 반송 시에 있어서의 패턴 영역의 변형, 나아가서는, 패턴 영역에 형성된 관통공의 변형이 억제된다.

상기 증착 마스크용 케이스에서는, 상기 증착 마스크용 케이스의 길이 방향에 있어서, 상기 오목부를 사이에 두고, 상기 오목부보다 외측에 있어서 상기 덮개부 및 상기 지지부에 접함으로써, 상기 지지부에 상기 덮개부를 체결하는 1 쌍의 체결부를 추가로 구비하여도 된다. 이 증착 마스크용 케이스에 의하면, 체결부가 지지부와 덮개부를 체결하기 위해서 증착 마스크용 케이스에 대해 작용시키는 힘이, 증착 마스크의 패턴 영역을 변형시키는 것이 억제된다.

상기 증착 마스크용 케이스에 있어서, 상기 덮개부의 두께 방향에 있어서 상기 덮개부와 상기 증착 마스크 사이에 위치하고, 상기 덮개부의 상기 오목부를 덮는 완충부를 추가로 구비하여도 된다. 이 증착 마스크용 케이스에 의하면, 덮개부의 오목부와, 대향면 중에서 오목부의 주위에 위치하는 부분 사이의 단차가, 증착 마스크의 일부에 응력을 집중시키는 것을, 완충부가 억제한다.

상기 증착 마스크용 케이스에 있어서, 상기 증착 마스크용 케이스가 상기 증착 마스크를 수용할 때, 상기 지지부와 상기 덮개부가 대향하는 상태에서, 상기 덮개부의 상기 대향면으로부터 상기 지지부를 향하여 돌출된 1 쌍의 협지부이고, 상기 1 쌍의 협지부는, 상기 증착 마스크용 케이스의 길이 방향에 있어서, 상기 오목부를 사이에 두도록 상기 오목부보다 외측에 위치하고, 상기 증착 마스크의 두께 방향에 있어서, 상기 지지부와 함께 상기 증착 마스크의 상기 주변 영역을 사이에 두도록 구성되어 있는 상기 1 쌍의 협지부를 추가로 구비하고, 상기 완충부는, 상기 덮개부의 상기 오목부와 상기 1 쌍의 협지부를 덮어도 된다.

상기 증착 마스크용 케이스에 의하면, 지지부와 덮개부가 구비하는 협지부에 의해 증착 마스크가 고정되기 때문에, 증착 마스크에 진동이 가해져도, 증착 마스크용 케이스 내에 있어서 증착 마스크가 이동하기 어렵다. 그러므로, 패턴 영역의 변형이 억제된다.

상기 증착 마스크용 케이스에 있어서, 상기 지지부를 상기 덮개부에 접속하는 힌지부를 추가로 구비하여도 된다. 이 증착 마스크용 케이스에 의하면, 힌지부를 가지지 않는 경우에 비해, 지지부에 대한 덮개부의 위치 결정이 용이하다.

상기 증착 마스크용 케이스에 있어서, 상기 지지부 및 상기 덮개부는, 측면에 개구를 갖는 플라스틱 골판지에 의해 형성되고, 상기 지지부에 있어서, 상기 플라스틱 골판지의 상기 개구가, 상기 지지부의 측면에 위치하고, 상기 덮개부에 있어서, 상기 플라스틱 골판지의 상기 개구가, 상기 덮개부의 측면에 위치하고, 상기 덮개부의 상기 개구와, 상기 지지부의 상기 개구가 막혀 있어도 된다.

상기 증착 마스크용 케이스에 의하면, 덮개부의 측면에 위치하는 개구와, 지지부의 측면에 위치하는 개구의 양방이 막혀 있기 때문에, 개구 내에 이물질이 퇴적하는 것이 억제된다.

본 발명에 의하면, 증착 마스크의 반송 시에 있어서, 증착 마스크가 갖는 패턴 영역의 변형이 억제된다.

도 1 은 증착 마스크용 케이스가 개방된 상태에서의 증착 마스크용 케이스의 구조를 증착 마스크용 케이스에 의한 반송의 대상인 증착 마스크의 구조와 함께 나타내는 사시도이다.
도 2 는 증착 마스크용 케이스가 페쇄된 상태에서의 증착 마스크용 케이스의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 3 은 증착 마스크용 케이스의 구조를 증착 마스크용 케이스에 수용된 증착 마스크의 구조와 함께 나타내는 단면도이다.
도 4 는 증착 마스크용 케이스의 구조를 증착 마스크용 케이스에 수용된 증착 마스크의 구조와 함께 나타내는 단면도이다.
도 5 는 증착 마스크용 케이스가 구비하는 지지부의 구조를 나타내는 측면도이다.
도 6 은 증착 마스크용 케이스가 곤포된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 7 은 증착 마스크용 케이스의 제 1 변경예에 있어서의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 8 은 증착 마스크용 케이스의 제 1 변경예에 있어서의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 9 는 증착 마스크용 케이스의 제 1 변경예에 있어서의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 10 은 증착 마스크용 케이스의 제 2 변경예에 있어서의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 11 은 증착 마스크용 케이스의 제 2 변경예에 있어서의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 12 는 증착 마스크용 케이스의 제 3 변경예에 있어서의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 13 은 증착 마스크용 케이스의 제 3 변경예에 있어서의 구조를 나타내는 사시도이다.

도 1 내지 도 6 을 참조하여, 증착 마스크용 케이스의 일 실시형태를 설명한다.

도 1 은, 증착 마스크용 케이스가 개방된 상태에서의 증착 마스크용 케이스의 구조를 나타내고 있다. 또한, 도 1 에서는, 증착 마스크용 케이스에 수용되는 증착 마스크의 형상이 모식적으로 나타나 있다.

도 1 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 증착 마스크 (21) 를 수용하는 케이스이다. 증착 마스크 (21) 는, 복수의 관통공 (21h) 이 형성된 패턴 영역 (21a) 과, 패턴 영역 (21a) 을 둘러싸는 주변 영역 (21b) 을 포함하고 있다. 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 를 구비하고 있다. 지지부 (11) 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 증착 마스크 (21) 를 수용할 때에 증착 마스크 (21) 를 지지하는 평탄한 지지면 (11S) 을 포함하고 있다. 덮개부 (12) 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 증착 마스크 (21) 를 수용할 때에 지지부 (11) 와 대향하는 대향면 (12S) 과, 대향면 (12S) 으로부터 오목한 오목부 (12Sa) 를 포함하고 있다. 덮개부 (12) 는, 지지면 (11S) 과 대향하는 시점으로부터 보아, 지지부 (11) 에 지지된 증착 마스크 (21) 를, 패턴 영역 (21a) 이 오목부 (12Sa) 내에 위치하고, 또한, 주변 영역 (21b) 이 오목부 (12Sa) 외로까지 연장되도록 증착 마스크 (21) 를 덮는다.

증착 마스크용 케이스 (10) 는, 완충부 (13), 1 쌍의 협지부 (14), 및, 힌지부 (15) 를 추가로 구비하고 있다. 완충부 (13) 는, 덮개부 (12) 의 두께 방향에 있어서, 덮개부 (12) 와 증착 마스크 (21) 사이에 위치하고, 덮개부 (12) 의 오목부 (12Sa) 를 덮고 있다.

1 쌍의 협지부 (14) 는, 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 가 대향하는 상태에서, 덮개부 (12) 의 대향면 (12S) 으로부터 지지부 (11) 를 향하여 돌출되어 있다. 1 쌍의 협지부 (14) 는, 증착 마스크 (21) 의 길이 방향, 즉 증착 마스크용 케이스 (10) 의 길이 방향에 있어서, 오목부 (12Sa) 를 사이에 두도록 오목부 (12Sa) 보다 외측에 위치하고 있다. 1 쌍의 협지부 (14) 는, 증착 마스크 (21) 의 두께 방향에 있어서, 즉, 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 가 대향하는 방향에 있어서, 지지부 (11) 와 함께 증착 마스크 (21) 의 주변 영역 (21b) 을 사이에 둔다. 본 실시형태에 있어서, 완충부 (13) 는, 덮개부 (12) 의 오목부 (12Sa) 와 1 쌍의 협지부 (14) 를 덮고 있다.

증착 마스크용 케이스 (10) 에 의하면, 덮개부 (12) 의 오목부 (12Sa) 와, 대향면 (12S) 중에서 오목부 (12Sa) 의 주위에 위치하는 부분 사이의 단차가, 증착 마스크 (21) 의 일부에 응력을 집중시키는 것을, 완충부 (13) 가 억제한다. 또, 지지부 (11) 와 협지부 (14) 에 의해 증착 마스크 (21) 가 고정되기 때문에, 증착 마스크 (21) 에 진동이 가해져도, 증착 마스크용 케이스 (10) 내에 있어서 증착 마스크 (21) 가 이동하기 어렵다. 그 때문에, 패턴 영역 (21a) 의 변형이 억제된다. 또, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 힌지부 (15) 를 가지지 않는 경우에 비해, 지지부 (11) 에 대한 덮개부 (12) 의 위치 결정이 용이하다. 또, 힌지부 (15) 를 가지지 않는 경우에 비해, 지지부 (11) 에 대한 덮개부 (12) 의 위치가 안정적으로 유지된다.

증착 마스크용 케이스 (10) 는, 2 장의 플라스틱 골판지에 의해 형성되어 있다. 플라스틱 골판지는, 플라스틱 골판지의 두께 방향과 직교하는 방향을 따라 연장되는 직선상을 가진 중공부를 복수 구비하고 있다. 복수의 중공부는, 플라스틱 골판지가 확장되는 평면을 따른 방향에 있어서 배열되어 있다. 증착 마스크용 케이스 (10) 를 제조할 때에는, 먼저, 2 장의 플라스틱 골판지가 첩합된다. 이때에, 일방의 플라스틱 골판지가 갖는 중공부가 연장되는 방향과, 타방의 플라스틱 골판지가 갖는 중공부가 연장되는 방향이 교차하도록, 2 장의 플라스틱 골판지가 첩합된다. 일방의 플라스틱 골판지가 갖는 중공부가 연장되는 방향과, 타방의 플라스틱 골판지가 갖는 중공부가 연장되는 방향은, 직교하는 것이 바람직하다.

플라스틱 골판지의 일부를 절제함으로써, 2 장의 플라스틱 골판지로부터, 지지부 (11), 덮개부 (12), 및, 힌지부 (15) 가 형성된다. 플라스틱 골판지는, 예를 들어 폴리프로필렌 (PP) 등의 합성 수지에 의해 형성되어 있다. 각 플라스틱 골판지의 두께는, 예를 들어 5 mm 이상 15 mm 이하여도 된다.

지지부 (11) 및 덮개부 (12) 의 각각은, 하나의 방향을 따라 연장되는 띠상을 가지고 있다. 지지부 (11) 에 있어서 길이 방향을 따라 연장되는 한 변이, 힌지부 (15) 에 의해, 덮개부 (12) 에 있어서 길이 방향을 따라 연장되는 한 변에 접속되어 있다.

완충부 (13) 는, 덮개부 (12) 의 길이 방향을 따라 연장되는 띠상을 가지고 있다. 완충부 (13) 는, 수지 필름에 의해 형성되어 있다. 완충부 (13) 는, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET) 등의 합성 수지에 의해 형성되어 있다. 완충부 (13) 는, 가요성을 가지고 있다. 완충부 (13) 는, 대전 방지성을 가질 수 있다. 완충부 (13) 가 대전 방지성을 갖는 경우에는, 완충부 (13) 의 시트 저항은, 1.0 × 10¹⁰Ω/□ 이상 9.0 × 10¹⁴Ω/□ 이하여도 된다. 완충부 (13) 의 두께는, 예를 들어 150 ㎛ 이상 300 ㎛ 이하여도 된다.

각 협지부 (14) 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 폭 방향을 따라 연장되는 띠상을 가지고 있다. 협지부 (14) 는 예를 들어 수지제의 판부재에 의해 형성되어 있다. 협지부 (14) 는, 발포성의 수지에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 협지부 (14) 는, 예를 들어 PP 등의 합성 수지에 의해 형성되어 있다. 협지부 (14) 가, 발포성의 PP 에 의해 형성되어 있는 경우에는, 발포 배율이 예를 들어 1.3 이상 3.0 이하여도 되고, 밀도가 예를 들어 0.3 g/㎤ 이상 0.7 g/㎤ 이하여도 된다. 협지부 (14) 의 두께는, 예를 들어 100 ㎛ 이상 300 ㎛ 이하여도 된다. 증착 마스크용 케이스 (10) 의 폭 방향에 있어서, 협지부 (14) 의 폭은, 증착 마스크 (21) 의 폭 이상인 것이 바람직하다.

협지부 (14) 의 면적은, 증착 마스크용 케이스 (10) 내에 수용되는 증착 마스크 (21) 의 사이즈에 따라 적절히 변경된다. 예를 들어, 협지부 (14) 의 폭은 10 mm 이상 100 mm 이하여도 되고, 또, 협지부 (14) 의 길이는 50 mm 이상 350 mm 이하여도 된다. 또한, 협지부 (14) 의 폭이란, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 길이 방향을 따른 협지부 (14) 의 길이이다. 또, 협지부 (14) 의 길이란, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 폭 방향을 따른 협지부 (14) 의 길이이다. 협지부 (14) 의 길이는, 증착 마스크 (21) 의 폭에 있어서의 전체 길이 이상인 것이 바람직하다.

덮개부 (12) 에 있어서, 대향면 (12S) 과 오목부 (12Sa) 의 저부 사이의 거리가, 오목부 (12Sa) 의 깊이이다. 오목부 (12Sa) 의 깊이는, 1 장의 플라스틱 골판지의 두께보다 얇아도 되고, 1 장의 플라스틱 골판지의 두께와 동일해도 되고, 1 장의 플라스틱 골판지의 두께보다 깊어도 된다.

증착 마스크 (21) 는, 금속제이다. 증착 마스크 (21) 는, 예를 들어 철니켈계 합금제여도 된다. 증착 마스크 (21) 의 패턴 영역 (21a) 에는, 증착 마스크 (21) 를 사용한 상태에 의해 형성하는 패턴의 형상에 따른 형상을 갖는 관통공 (21h) 이 복수 형성되어 있다. 각 관통공 (21h) 은, 증착 마스크 (21) 의 제 1 면에서 개구되는 제 1 개구와, 증착 마스크 (21) 의 제 2 면에서 개구되는 제 2 개구를 구비하고 있다. 증착 마스크 (21) 의 제 2 면과 대향하는 시점으로부터 보아, 제 2 개구의 크기는, 제 1 개구의 크기보다 크다. 증착 마스크 (21) 가 증착에 사용되는 경우에는, 제 1 면은 증착 대상에 대향하고, 제 2 면은 증착원에 대향한다. 증착 마스크 (21) 에 있어서, 주변 영역 (21b) 의 두께는, 예를 들어 5 ㎛ 이상 30 ㎛ 이하여도 된다. 주변 영역 (21B) 은, 패턴을 형성하기 위한 관통공을 가지지 않는다.

증착 마스크 (21) 가 증착 마스크용 케이스 (10) 에 수용될 때에는, 증착 마스크 (21) 의 두께 방향에 있어서, 증착 마스크 (21) 가 1 쌍의 무진지 (22) 에 의해 사이에 두어진다. 무진지 (22) 는, 증착 마스크 (21) 가, 증착 마스크 (21) 의 주위에 위치하는 부재에 직접 접하는 것을 억제하고, 이로써, 증착 마스크 (21) 에 흠집이 생기는 것을 억제하기 위한 간지이다. 증착 마스크 (21) 를 사이에 두는 1 쌍의 무진지 (22) 중, 지지부 (11) 쪽의 무진지 (22) 에 증착 마스크 (21) 의 제 2 면이 접하고, 또한, 덮개부 (12) 쪽의 무진지 (22) 에 증착 마스크 (21) 의 제 1 면이 접하도록, 증착 마스크 (21) 가 1 쌍의 무진지 (22) 에 의해 사이에 두어진다. 또, 1 쌍의 무진지 (22) 는, 증착 마스크 (21) 의 두께 방향에 있어서, 1 쌍의 PET 필름 (23) 에 의해 사이에 두어진다.

무진지 (22) 의 두께는, 예를 들어 50 ㎛ 이상 150 ㎛ 이하이다. PET 필름 (23) 의 두께는, 예를 들어 100 ㎛ 이상 300 ㎛ 이하이다. PET 필름 (23) 은, 예를 들어, 백색을 가져도 된다. PET 필름 (23) 은, 단일의 층에 의해 형성되어도 되고, 복수의 층에 의해 형성되어도 된다. PET 필름 (23) 이 예를 들어 2 개의 층에 의해 형성되는 경우에는, 투명한 층과 백색의 층으로 형성되어도 된다.

PET 필름 (23) 은, 대전 방지성을 가질 수 있다. PET 필름 (23) 의 시트 저항은, 1.0 × 10¹⁰Ω/□ 이상 9.0 × 10¹⁴Ω/□ 이하여도 된다. 이로써, PET 필름 (23) 에 축적하는 정전기를 저감할 수 있고, 정전기에서 기인하여 PET 필름 (23) 에 티끌이나 먼지가 부착되는 것이 억제된다.

또한, 증착 마스크용 케이스 (10) 에는, 1 장의 증착 마스크 (21) 가 수용되어도 되고, 복수 장의 증착 마스크 (21) 가 한 번에 수용되어도 된다. 증착 마스크용 케이스 (10) 가 1 장의 증착 마스크 (21) 를 수용하는 경우, 및, 복수의 증착 마스크 (21) 를 수용하는 경우의 어느 경우여도, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 제 1 면이 제 2 면에 대해 덮개부 (12) 쪽에 위치하는 상태에서 각 증착 마스크 (21) 를 수용한다.

복수 장의 증착 마스크 (21) 가 한 번에 수용될 때에는, 증착 마스크 (21) 의 두께 방향에 있어서, 각 증착 마스크 (21) 가 1 쌍의 무진지 (22) 에 의해 사이에 두어진 마스크 적층체가 복수 형성된다. 그리고, 마스크 적층체와 마스크 적층체 사이에 PET 필름 (23) 이 위치하고, 또한, 지지부 (11) 및 덮개부 (12) 에 대해 PET 필름 (23) 이 접하도록, 복수 장의 증착 마스크 (21), 복수 장의 무진지 (22), 및, 복수 장의 PET 필름 (23) 이 겹쳐진다. 증착 마스크용 케이스 (10) 에 복수의 증착 마스크 (21) 가 수용된 경우에는, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 두께 방향에 있어서, 가장 지지부 (11) 쪽에 위치하는 증착 마스크 (21) 의 제 2 면이, 지지부 (11) 의 지지면 (11S) 에 대향한다.

도 2 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 폐쇄된 상태에서의 증착 마스크용 케이스 (10) 의 구조를 나타내고 있다.

도 2 가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 덮개부 (12) 를 지지부 (11) 로부터 구별하기 위한 표지 (16) 를 구비하고 있다. 본 실시형태에 있어서, 표지 (16) 는, 예를 들어, 덮개부 (12) 의 대향면 (12S) 과는 반대 측의 면인 표면 (12F) 에 첩부된 라벨이다. 라벨에는, 식별 정보가 기록되어 있다. 식별 정보는, 예를 들어, 품명, 로트 넘버, 시리얼 넘버, 및, 증착 마스크 (21) 의 수량 등이어도 된다.

증착 마스크용 케이스 (10) 는, 1 쌍의 체결부 (17) 를 추가로 구비하고 있다. 1 쌍의 체결부 (17) 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 길이 방향에 있어서, 오목부 (12Sa) 를 사이에 두고, 오목부 (12Sa) 보다 외측에 있어서 덮개부 (12) 및 지지부 (11) 에 접함으로써, 지지부 (11) 에 덮개부 (12) 를 체결한다. 그 때문에, 1 쌍의 체결부 (17) 가 증착 마스크용 케이스 (10) 의 길이 방향에 있어서, 오목부 (12Sa) 의 내측에 위치하는 경우에 비해, 체결부 (17) 가 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 를 체결하기 위해서 증착 마스크용 케이스 (10) 에 대해 작용시키는 힘이, 증착 마스크 (21) 의 패턴 영역 (21a) 을 변형시키는 것이 억제된다. 나아가서는, 증착 마스크 (21) 가 갖는 관통공 (21h) 의 변형이 억제된다.

체결부 (17) 는, 예를 들어 점착 테이프이다. 점착 테이프는, 예를 들어, 각종 합성 수지에 의해 형성된 띠상의 본체부와, 본체부가 갖는 1 개의 면에 형성된 점착층을 구비할 수 있다.

도 3 및 도 4 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 단면 구조를 증착 마스크 (21) 의 단면 구조와 함께 나타내고 있다. 또한, 도 3 및 도 4 에서는, 도시의 편의상, 무진지 (22) 및 PET 필름 (23) 의 도시를 생략하고 있다. 또, 도 3 및 도 4 에는, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 1 장의 증착 마스크 (21) 를 수용하고 있는 상태가 일례로서 나타나 있다.

도 3 은, 덮개부 (12) 의 표면 (12F) 에 직교하고, 또한, 협지부 (14) 를 통과하는 평면을 따른 증착 마스크용 케이스 (10) 의 단면 구조, 및, 증착 마스크 (21) 의 단면 구조를 나타내고 있다. 도 4 는, 덮개부 (12) 의 표면 (12F) 에 직교하고, 또한, 오목부 (12Sa) 를 통과하는 평면을 따른 증착 마스크용 케이스 (10) 의 단면 구조, 및, 증착 마스크 (21) 의 단면 구조를 나타내고 있다.

도 3 이 나타내는 바와 같이, 지지부 (11) 는, 제 1 시트 (11a) 와 제 2 시트 (11b) 로 형성되어 있다. 제 1 시트 (11a) 및 제 2 시트 (11b) 의 각각은, 상기 서술한 바와 같이, 1 장의 플라스틱 골판지이다. 덮개부 (12) 는, 제 1 시트 (12a) 와 제 2 시트 (12b) 로 형성되어 있다. 제 1 시트 (12a) 및 제 2 시트 (12b) 의 각각은, 상기 서술한 바와 같이, 1 장의 플라스틱 골판지이다. 지지부 (11) 의 제 1 시트 (11a) 와 덮개부 (12) 의 제 1 시트 (12a) 는, 동일한 플라스틱 골판지에 있어서의 서로 상이한 일부이다. 덮개부 (12) 의 제 2 시트 (11b) 와 덮개부 (12) 의 제 2 시트 (12b) 는, 동일한 플라스틱 골판지에 있어서의 서로 상이한 일부이다.

제 1 시트 (11a, 12a) 의 두께는, 제 2 시트 (11b, 12b) 의 두께와 동일해도 되고, 상이해도 된다. 제 1 시트 (11a, 12a) 의 두께가 제 2 시트 (11b, 12b) 의 두께와 상이한 경우에는, 제 1 시트 (11a, 12a) 가 제 2 시트 (11b, 12b) 보다 두꺼워도 되고, 제 1 시트 (11a, 12a) 가 제 2 시트 (11b, 12b) 보다 얇아도 된다. 또한, 제 1 시트 (11a, 12a) 는, 지지부 (11) 에 대해 덮개부 (12) 를 겹쳤을 때에, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 두께 방향에 있어서 제 2 시트 (11b, 12b) 의 내측에 위치한다. 그 때문에, 제 1 시트 (11a, 12a) 가 제 2 시트 (11b, 12b) 보다 두꺼운 것에 의해, 만일 제 2 시트 (11b, 12b) 가 파손된 경우여도, 제 1 시트 (11a, 12a) 에 의해, 증착 마스크용 케이스 (10) 내에 수용된 증착 마스크 (21) 를 보호할 수 있다.

지지부 (11) 에 있어서 길이 방향을 따라 연장되는 측면은, 덮개부 (12) 가 지지부 (11) 의 상방에 위치하는 상태에서는, 폭 방향을 따른 단면에 있어서, 지지면 (11S) 으로부터 하방 또한 힌지부 (15) 로부터 멀어지는 방향으로 경사진 테이퍼면이다. 또, 지지부 (11) 에 있어서 폭 방향을 따라 연장되는 측면은, 덮개부 (12) 가 지지부 (11) 의 상방에 위치하는 상태에서는, 길이 방향을 따른 단면에 있어서, 지지면 (11S) 으로부터 하방 또한 협지부 (14) 를 향하는 방향으로 경사진 테이퍼면이다.

덮개부 (12) 에 있어서 길이 방향을 따라 연장되는 측면은, 덮개부 (12) 가 지지부 (11) 의 상방에 위치하는 상태에서는, 폭 방향을 따른 단면에 있어서, 대향면 (12S) 으로부터 상방 또한 힌지부 (15) 로부터 멀어지는 방향으로 경사진 테이퍼면이다. 또, 덮개부 (12) 에 있어서 폭 방향을 따라 연장되는 측면은, 덮개부 (12) 가 지지부 (11) 의 상방에 위치하는 상태에서는, 길이 방향을 따른 단면에 있어서, 대향면 (12S) 으로부터 상방 또한 협지부 (14) 를 향하는 방향으로 경사진 테이퍼면이다.

협지부 (14) 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 두께 방향에 있어서, 완충부 (13) 를 개재하여 증착 마스크 (21) 의 주변 영역 (21b) 에 겹쳐 있다. 협지부 (14) 는, 덮개부 (12) 의 대향면 (12S) 에 있어서의 일부에만 위치하므로, 덮개부 (12) 의 하중은, 협지부 (14) 에 집중된다. 그 때문에, 증착 마스크 (21) 의 주변 영역 (21b) 이 협지부 (14) 와 지지부 (11) 로 사이에 두어짐으로써, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 협지부 (14) 를 가지지 않는 경우에 비해, 증착 마스크용 케이스 (10) 내에서의 증착 마스크 (21) 의 위치가 강고하게 고정된다. 또, 덮개부 (12) 의 하중은, 증착 마스크 (21) 의 주변 영역 (21b) 으로 편향되기 때문에, 증착 마스크 (21) 의 패턴 영역 (21a) 의 변형이 억제된다.

도 4 가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 증착 마스크 (21) 가 수용된 상태에 있어서, 지지부 (11) 의 지지면 (11S) 이 증착 마스크 (21) 의 패턴 영역 (21a) 에 접하고 있다. 패턴 영역 (21a) 에는, 증착 대상에 패턴을 형성하기 위한 다수의 관통공 (21h) 이 형성되어 있다. 그 때문에, 증착 마스크 (21) 에 있어서, 패턴 영역 (21a) 의 기계적인 강도는, 주변 영역 (21b) 의 기계적인 강도보다 낮다.

이 점에서, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 의하면, 패턴 영역 (21a) 이 지지면 (11S) 에 의해 지지되므로, 증착 마스크 (21) 의 반송 시에 있어서, 패턴 영역 (21a) 이 비틀리거나 휘거나 하는 것이 억제되고, 이로써, 패턴 영역 (21a) 의 변형이 억제된다. 결과적으로, 패턴 영역 (21a) 에 형성된 관통공 (21h) 의 변형이 억제된다. 또한, 지지부 (11) 의 지지면 (11S) 이 평탄면이므로, 증착 마스크 (21) 를 증착 마스크용 케이스 (10) 에 수용할 때에, 증착 마스크 (21) 를 지지면 (11S) 을 따라 배치하는 것이 가능하다. 그 때문에, 지지부 (11) 가 오목부를 갖는 경우에 비해, 증착 마스크 (21) 를 증착 마스크용 케이스 (10) 에 수용할 때에 증착 마스크 (21) 에 주름 등의 변형이 생기는 것이 억제된다.

또한, 상기 서술한 바와 같이, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 증착 마스크 (21) 의 제 2 면이, 지지부 (11) 에 접하는 상태에서, 증착 마스크 (21) 를 수용한다. 여기서, 관통공 (21h) 에서는, 증착 패턴의 정밀도에 대한 제 1 개구의 기여가, 증착 패턴의 정밀도에 대한 제 2 개구의 기여보다 크다. 이 점에서, 관통공 (21h) 의 제 1 개구가 지지면 (11S) 에 대해 직접 접하지 않기 때문에, 증착 마스크용 케이스 (10) 와의 접촉에서 기인한 제 1 개구의 변형을 억제하면서, 지지부 (11) 에 의해 패턴 영역 (21a) 을 지지하는 것이 가능하다.

이에 대하여, 제 1 면 중에서 패턴 영역 (21a) 에 포함되는 부분은, 완충부 (13) 에 접하고는 있지만, 완충부 (13) 중에서 당해 부분에 접하는 부분에는, 덮개부 (12) 가 접하고 있지 않다. 그 때문에, 덮개부 (12) 를 개재한 충격이, 패턴 영역 (21a) 에 가해지기 어렵다. 그러므로, 패턴 영역 (21a) 의 변형이 억제된다.

상기 서술한 증착 마스크용 케이스 (10) 에 의한 바와 같이, 지지부 (11) 가 패턴 영역 (21a) 을 지지하기 위한 평탄한 지지면 (11S) 을 갖고, 또한, 덮개부 (12) 가 패턴 영역 (21a) 과의 접촉을 피하기 위한 오목부 (12Sa) 를 가짐으로써, 패턴 영역 (21a) 의 변형, 나아가서는 관통공 (21h) 의 변형을 바람직하게 억제하는 것이 가능하다.

또한, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 복수의 증착 마스크 (21) 가 수용되는 경우에는, 복수의 증착 마스크 (21) 를 포함하는 적층체가, 지지부 (11) 에 의해 지지된다. 이로써, 적층체에 포함되는 복수의 증착 마스크 (21) 가 갖는 패턴 영역 (21a) 의 변형, 나아가서는 관통공 (21h) 의 변형이 억제된다.

도 5 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 폐쇄되어 있는 상태에 있어서, 지지부 (11) 에 있어서의 폭 방향을 따라 연장되는 측면과 대향하는 시점으로부터 본 지지부 (11) 의 측면 구조를 나타내고 있다.

도 5 가 나타내는 바와 같이, 또, 상기 서술한 바와 같이, 지지부 (11) 는, 제 1 시트 (11a) 와 제 2 시트 (11b) 로 형성되어 있다. 도 5 가 나타내는 예에서는, 제 2 시트 (11b) 가 갖는 중공부 (11bh) 는, 지면의 안쪽 방향을 따라 연장되어 있다. 이에 대하여, 제 1 시트 (11a) 가 갖는 중공부 (11ah) 는, 지면의 좌우 방향을 따라 연장되어 있다. 제 2 시트 (11b) 가 갖는 중공부 (11bh) 는, 제 1 시트 (11a) 가 갖는 중공부 (11ah) 에 대해 직교하고 있다. 이로써, 제 1 시트 (11a) 가 갖는 중공부 (11ah) 와, 제 2 시트 (11b) 가 갖는 중공부 (11bh) 가 평행인 경우에 비해, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 기계적인 강도를 높일 수 있다.

제 2 시트 (11b) 에 있어서, 각 중공부 (11bh) 의 개구 (11bA) 가, 지지부 (11) 의 측면에 위치하고 있다. 각 개구 (11bA) 는, 막혀 있다. 예를 들어, 제 2 시트 (11b) 의 가공 시에 있어서, 플라스틱 골판지에 열이 가해짐으로써, 각 개구 (11bA) 가 막힌다. 또, 예를 들어, 지지부 (11) 의 측면에 위치하는 개구 (11bA) 를 막기 위한 재료를 중공부 (11bh) 에 매립함으로써, 각 개구 (11bA) 가 막힌다. 또 예를 들어, 제 2 시트 (11b) 의 측면에 점착 시트가 첩부됨으로써, 각 개구 (11bA) 가 막힌다.

또, 제 1 시트 (11a) 의 각 중공부 (11ah) 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 길이 방향을 따라 연장되는 측면에 개구 (11aA) 를 가지고 있다. 제 2 시트 (11b) 의 중공부 (11bh) 가 갖는 개구 (11bA) 와 동일하게, 제 1 시트 (11a) 의 중공부 (11ah) 가 갖는 개구 (11aA) 도 막혀 있다. 제 1 시트 (11a) 의 중공부 (11ah) 가 갖는 개구 (11aA) 는, 제 2 시트 (11b) 의 중공부 (11bh) 가 갖는 개구 (11bA) 의 방법 중 어느 방법에 의해 막혀 있다. 또한, 제 1 시트 (11a) 의 개구 (11aA) 를 막는 방향과, 제 2 시트 (11b) 의 개구 (11bA) 를 막는 방법은 동일한 방법이어도 되고, 상이한 방법이어도 된다.

또한, 덮개부 (12) 의 측면에 위치하는 개구도, 지지부 (11) 의 측면에 위치하는 개구와 동일하게 막혀 있다. 이와 같이, 증착 마스크용 케이스 (10) 에서는, 덮개부 (12) 의 측면에 위치하는 개구와, 지지부 (11) 의 측면에 위치하는 개구 (11aA, 11bA) 의 양방이 막혀 있기 때문에, 개구 내에 이물질이 퇴적하는 것이 억제된다. 그러므로, 증착 마스크 (21) 의 반입에 의해, 증착 마스크 (21) 가 적용되는 증착 장치가 설치된 클린 룸에, 증착 마스크 (21) 와 함께 이물질이 반입되는 것이 억제된다.

도 6 은, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 제 1 거점으로부터 제 2 거점으로 반송될 때의 증착 마스크용 케이스 (10) 의 상태를 나타내고 있다. 제 1 거점은, 예를 들어 증착 마스크 (21) 의 제조가 실시되는 거점이며, 제 2 거점은, 예를 들어 증착 마스크 (21) 를 사용한 증착 대상에 대한 패턴의 형성이 실시되는 거점이다.

도 6 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 반송될 때에는, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 외장 (31) 에 의해 덮여 있다. 외장 (31) 은, 외장 (31) 을 개재하여 증착 마스크용 케이스 (10) 가 갖는 표지 (16) 에 기록된 정보를 시인하는 것이 가능한 광 투과성을 갖는 것이 바람직하다. 외장 (31) 은, 투명 또는 반투명인 것이 바람직하다. 외장 (31) 은, 예를 들어, 각종 합성 수지에 의해 형성된 봉투나 시트여도 된다. 증착 마스크용 케이스 (10) 가 외장 (31) 에 의해 덮임으로써, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 이물질이 부착되는 것이 억제된다. 이로써, 증착 마스크 (21) 의 반입에 의해, 증착 마스크 (21) 가 적용되는 증착 장치가 설치된 클린 룸에, 증착 마스크 (21) 와 함께 이물질이 반입되는 것이 억제된다.

이상 설명한 바와 같이, 증착 마스크용 케이스의 일 실시형태에 의하면, 이하에 기재된 효과를 얻을 수 있다.

(1) 오목부 (12Sa) 를 가진 덮개부 (12) 가 표지 (16) 에 의해 용이하게 식별되기 때문에, 증착 마스크 (21) 를 사이에 두고, 덮개부 (12) 가 지지부 (11) 상에 위치하도록 지지부 (11) 에 대해 덮개부 (12) 를 배치하는 것이 용이하다. 그리고, 평탄한 지지면 (11S) 에 의해 증착 마스크 (21) 가 지지되고, 또한, 패턴 영역 (21a) 에 덮개부 (12) 가 접하지 않는다. 그 때문에, 지지면 (11S) 에 의해 증착 마스크 (21) 의 휨을 억제하면서, 증착 마스크용 케이스 (10) 를 개재하여 증착 마스크 (21) 에 진동이 가해진 경우에, 증착 마스크 (21) 의 패턴 영역 (21a) 이 덮개부 (12) 에 접하는 것이 억제된다. 이로써, 증착 마스크 (21) 의 반송 시에 있어서의 패턴 영역 (21a) 의 변형, 나아가서는, 패턴 영역 (21a) 에 형성된 관통공 (21h) 의 변형이 억제된다.

(2) 체결부 (17) 가 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 를 체결하기 위해서 증착 마스크용 케이스 (10) 에 대해 작용시키는 힘이, 증착 마스크 (21) 의 패턴 영역 (21a) 을 변형시키는 것이 억제된다.

(3) 덮개부 (12) 의 오목부 (12Sa) 와, 대향면 (12S) 중에서 오목부 (12Sa) 의 주위에 위치하는 부분 사이의 단차가 증착 마스크 (21) 의 일부에 응력을 집중시키는 것이, 완충부 (13) 에 의해 억제된다.

(4) 지지부 (11) 와 협지부 (14) 에 의해 증착 마스크 (21) 가 고정된다. 그 때문에, 증착 마스크 (21) 에 진동이 가해져도, 증착 마스크용 케이스 (10) 내에 있어서 증착 마스크 (21) 가 이동하기 어렵다. 그러므로, 패턴 영역 (21a) 의 변형이 억제된다.

(5) 힌지부 (15) 가 지지부 (11) 를 덮개부 (12) 에 접속하고 있으므로, 힌지부 (15) 를 가지지 않는 경우에 비해, 지지부 (11) 에 대한 덮개부 (12) 의 위치 결정이 용이하다.

(6) 덮개부 (12) 의 측면에 위치하는 개구와, 지지부 (11) 의 측면에 위치하는 개구 (11aA, 11bA) 의 양방이 막혀 있기 때문에, 개구 내에 이물질이 퇴적하는 것이 억제된다.

또한, 상기 서술한 실시형태는, 이하와 같이 변경하여 실시할 수 있다.

[외장]

·증착 마스크용 케이스 (10) 의 반송 시에, 증착 마스크용 케이스 (10) 를 덮는 외장 (31) 이 사용되지 않아도 된다.

[지지부]

·지지부 (11) 의 측면에 위치하는 개구 (11aA, 11bA) 는, 막혀 있지 않아도 된다. 이 경우여도, 상기 서술한 (1) 내지 (5) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.

[덮개부]

·덮개부 (12) 의 측면에 위치하는 개구는, 막혀 있지 않아도 된다. 이 경우여도, 상기 서술한 (1) 내지 (5) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.

[힌지부]

·증착 마스크용 케이스 (10) 는, 힌지부 (15) 를 가지지 않아도 된다. 즉, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 있어서, 지지부 (11) 는, 덮개부 (12) 로부터 분리되어 있어도 된다. 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 가 분리되어 있음으로써, 예를 들어, 증착 마스크용 케이스 (10) 의 반송 시에 증착 마스크용 케이스 (10) 가 가열되고, 이로써 증착 마스크용 케이스 (10) 가 팽창한 경우여도, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 변형이 생기는 것이 억제된다.

또한, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 힌지부 (15) 를 갖는 경우에는, 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 사이의 거리가, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 수용하는 증착 마스크 (21) 의 장 수에 따른 거리가 되도록, 힌지부 (15) 가 설계된다. 이때에, 증착 마스크 (21), 무진지 (22), 및, PET 필름 (23) 의 적층체에 대해 덮개부 (12) 가 대략 균일한 힘을 작용시킨 상태에서, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 증착 마스크 (21) 를 수용하도록, 힌지부 (15) 가 설계된다. 그 때문에, 설계 시에 설정된 장 수보다 적은 장 수의 증착 마스크 (21) 를 증착 마스크용 케이스 (10) 에 수용하는 경우에는, 무진지 (22) 나 PET 필름 (23) 등을 추가함으로써, 적층체의 두께를 두껍게 할 필요가 있다.

이에 대하여, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 힌지부 (15) 를 가지지 않는 경우에는, 증착 마스크용 케이스 (10) 내에 수용되는 증착 마스크 (21) 의 장 수에 관계없이, 증착 마스크 (21), 무진지 (22), 및, PET 필름 (23) 의 적층체에 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 가 접한다. 그 때문에, 증착 마스크용 케이스 (10) 가, 적층체에 대해 대략 균일한 힘을 작용시킨 상태에서, 증착 마스크 (21) 를 수용할 수 있다.

·도 7 이 나타내는 바와 같이, 힌지부 (15) 는, 지지 측 힌지부 (15a) 와 덮개 측 힌지부 (15b) 를 구비하여도 된다. 힌지부 (15) 에 있어서, 지지 측 힌지부 (15a) 는 접속부 (15a1) 에 의해 지지부 (11) 에 접속되고, 덮개 측 힌지부 (15b) 는 접속부 (15b1) 에 의해 덮개부 (12) 에 접속되어 있다. 힌지부 (15) 는 접속부 (15c) 를 추가로 구비하고, 접속부 (15c) 는, 지지 측 힌지부 (15a) 를 덮개 측 힌지부 (15b) 에 접속하고 있다. 힌지부 (15) 는, 접속부 (15c) 에 있어서의 절곡이 가능하다. 힌지부 (15) 는, 지지부 (11) 에 있어서의 지지면 (11S) 과는 반대 측의 면과, 덮개부 (12) 의 표면 (12F) 을 대향시키도록, 접속부 (15c) 에 있어서 절곡된다.

도 8 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 개방된 상태에서는, 지지부 (11), 힌지부 (15), 및, 덮개부 (12) 가 기재된 순서로 배열되고, 또한, 지지부 (11), 힌지부 (15), 및, 덮개부 (12) 가 동일 평면 상에 위치하는 것이 가능하다. 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 접속부 (15c) 를 기점으로 하여 절곡되는 것이 가능하고, 이로써, 덮개부 (12) 가, 접속부 (15c) 를 회전축으로 하여, 덮개부 (12) 에 접근하는 방향으로 회동한다. 이때에, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 수용된 증착 마스크 (21) 는, 지지면 (11S) 에 위치한 상태로 유지된다.

도 9 가 나타내는 바와 같이, 덮개부 (12) 의 회동에 의해, 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 의 접속이 유지된 상태에서, 지지부 (11) 에 있어서의 지지면 (11S) 과는 반대 측의 면과, 덮개부 (12) 의 표면 (12F) 이 대향한다. 이로써, 지지부 (11) 가, 덮개부 (12) 상에 겹친다. 이때에도, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 지지된 증착 마스크 (21) 는, 지지면 (11S) 에 위치한 상태로 유지된다.

증착 마스크용 케이스 (10) 가 상기 서술한 힌지부 (15) 를 구비함으로써, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 수용된 증착 마스크 (21) 가 지지면 (11S) 상에 위치하는 상태를 유지하면서, 증착 마스크용 케이스 (10) 를 개방하고, 또한, 지지부 (11) 를 덮개부 (12) 상에 겹치는 것이 가능하다. 그 때문에, 증착 마스크 (21) 가 증착 마스크용 케이스 (10) 의 외부에 노출되면서, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 재치되는 면적을 작게 하는 것이 가능하다.

[협지부]

·증착 마스크용 케이스 (10) 는, 협지부 (14) 를 가지지 않아도 된다. 이 경우여도, 상기 서술한 (1) 내지 (3), (5) 및 (6) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.

[완충부]

·증착 마스크용 케이스 (10) 는, 완충부 (13) 를 가지지 않아도 된다. 이 경우여도, 상기 서술한 (1), (2), 및, (4) 내지 (6) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.

[체결부]

·증착 마스크용 케이스 (10) 는, 체결부 (17) 를 가지지 않아도 된다. 이 경우여도, 상기 서술한 (1), 및, (3) 내지 (6) 에 준한 효과를 얻을 수 있다.

[표지]

·표지 (16) 는 라벨에 한정하지 않고, 예를 들어, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 대한 인쇄에 의해 형성된 인쇄부여도 된다. 혹은, 표지 (16) 는, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 형성된 오목부 및 볼록부 중 적어도 일방에 의해 형성되어도 된다.

·표지 (16) 에 의해, 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 의 구별이 가능하면 되므로, 표지 (16) 는, 덮개부 (12) 의 표면 (12F) 에 위치하지 않아도 된다. 예를 들어, 표지 (16) 는, 덮개부 (12) 의 측면에 위치해도 되고, 덮개부 (12) 의 표면 (12F) 과 덮개부 (12) 의 측면에 걸치는 형상을 가져도 된다. 또, 덮개부 (12) 의 대향면 (12S) 에 위치해도 된다. 표지 (16) 가 덮개부 (12) 의 대향면 (12S) 에 위치하는 경우에는, 덮개부 (12) 는, 덮개부 (12) 를 개재하여 표지 (16) 를 시인하는 것이 가능한 광 투과성이 필요하다. 또, 표지 (16) 는, 지지부 (11) 에 위치해도 된다. 이 경우에는, 표지 (16) 는, 지지부 (11) 의 측면에 위치해도 되고, 지지부 (11) 의 측면과 지지부 (11) 에 있어서의 지지면 (11S) 과는 반대 측의 면에 걸치는 형상을 가져도 된다.

[보강판 및 끼워 맞춤편]

·증착 마스크용 케이스 (10) 는, 이하에 설명하는 보강판 및 끼워 맞춤편 중 적어도 일방을 추가로 구비하여도 된다. 이하에 있어서 참조하는 도 10 내지 도 13 에서는, 도시의 편의상, 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 를 서로 접속하는 힌지부 (15) 의 도시가 생략되어 있다. 또한, 이하에 설명하는 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 힌지부 (15) 를 구비하고 있지 않아도 된다.

도 10 이 나타내는 바와 같이, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 지지 측 보강판 (18) 과 덮개 측 보강판 (19) 을 구비하고 있다. 지지 측 보강판 (18) 은 지지부 (11) 의 길이 방향을 따라 연장되는 직사각형 띠상을 갖고, 지지 측 보강판 (18) 상에는, 지지부 (11) 가 겹쳐져 있다. 덮개 측 보강판 (19) 은 덮개부 (12) 의 길이 방향을 따라 연장되는 직사각형 띠상을 갖고, 덮개 측 보강판 (19) 상에는, 덮개부 (12) 가 겹쳐져 있다.

지지부 (11) 와 덮개부 (12) 는, 예를 들어 합성 수지제이다. 지지 측 보강판 (18) 의 강성은, 지지부 (11) 의 강성 이상인 것이 바람직하지만, 지지 측 보강판 (18) 의 강성은, 지지부 (11) 의 강성보다 작아도 된다. 덮개 측 보강판 (19) 의 강성은, 덮개부 (12) 의 강성 이상인 것이 바람직하지만, 덮개 측 보강판 (19) 의 강성은, 덮개부 (12) 의 강성보다 작아도 된다.

지지 측 보강판 (18) 은, 1 쌍의 끼워 맞춤편 (18a) 을 구비하고 있다. 끼워 맞춤편 (18a) 은, 지지 측 보강판 (18) 의 길이 방향에 있어서의 각 단부 (端部) 에 위치하고 있다. 각 끼워 맞춤편 (18a) 은, 지지부 (11) 의 두께 방향에 있어서, 지지부 (11) 의 지지면 (11S) 보다 돌출되어 있다. 지지면 (11S) 에 대한 끼워 맞춤편 (18a) 의 돌출량은, 덮개부 (12) 의 두께와 대략 동등하다. 끼워 맞춤편 (18a) 의 돌출량은, 덮개부 (12) 의 두께 이하인 것이 바람직하다.

덮개 측 보강판 (19) 은, 1 쌍의 끼워 맞춤편 (19a) 을 구비하고 있다. 끼워 맞춤편 (19a) 은, 덮개 측 보강판 (19) 의 길이 방향에 있어서의 각 단부에 위치하고 있다. 각 끼워 맞춤편 (19a) 은, 덮개부 (12) 의 두께 방향에 있어서, 덮개부 (12) 의 대향면 (12S) 보다 돌출되어 있다. 대향면 (12S) 에 대한 끼워 맞춤편 (19a) 의 돌출량은, 지지부 (11) 의 두께 이하여도 되고, 지지부 (11) 의 두께보다 크고, 또한, 지지부 (11) 의 두께와 지지 측 보강판 (18) 의 두께의 총합 미만이어도 된다.

덮개부 (12) 의 길이 방향을 따른 덮개 측 보강판 (19) 의 길이는, 덮개부 (12) 의 길이보다 길다. 이로써, 덮개부 (12) 의 길이 방향에 있어서, 끼워 맞춤편 (19a) 과 덮개부 (12) 사이에, 지지 측 보강판 (18) 의 끼워 맞춤편 (18a) 이 삽입되는 공간이 형성된다.

도 11 에는, 지지부 (11) 에 대해 덮개부 (12) 가 겹쳐진 상태가 나타나 있다.

도 11 이 나타내는 바와 같이, 덮개부 (12) 가 지지부 (11) 에 겹쳐짐으로써, 덮개부 (12) 와 끼워 맞춤편 (19a) 사이에 형성된 공간에, 지지 측 보강판 (18) 의 끼워 맞춤편 (18a) 이 삽입된다. 보강판 (18, 19) 을 구비하는 증착 마스크용 케이스 (10) 에 의하면, 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 의 기계적인 강도가 높아진다.

그 때문에, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 작용하는 외력에서 기인하여 증착 마스크용 케이스 (10) 가 변형되는 것이 억제된다. 또, 보강판 (18, 19) 이 끼워 맞춤편 (18a, 19a) 을 구비함으로써, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 진동 등이 작용해도, 지지부 (11) 에 대한 덮개부 (12) 의 위치가 어긋나기 어려워진다. 이로써, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 폐쇄된 상태로 유지되기 쉬워진다. 또, 지지부 (11) 에 대한 덮개부 (12) 의 위치 결정이 용이하다. 또한, 이들 효과는, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 힌지부 (15) 를 구비하고 있지 않은 경우에 특히 현저하다.

또한, 상기 서술한 증착 마스크용 케이스 (10) 에서는, 덮개부 (12) 와 끼워 맞춤편 (19a) 사이에 형성된 공간에 지지 측 보강판 (18) 의 끼워 맞춤편 (18a) 이 삽입되지만, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 지지부 (11) 와 끼워 맞춤편 (18a) 사이에 형성된 공간에 덮개 측 보강판 (19) 의 끼워 맞춤편 (19a) 이 삽입되는 구조를 가져도 된다. 또, 끼워 맞춤편 (18a) 이 지지 측 보강판 (18) 의 폭 방향에 있어서의 각 단부에 1 개씩 위치하고, 또한, 끼워 맞춤편 (19a) 이 덮개 측 보강판 (19) 의 폭 방향에 있어서의 각 단부에 1 개씩 위치해도 된다.

또, 지지 측 보강판 (18) 및 덮개 측 보강판 (19) 의 각각은, 끼워 맞춤편 (18a, 19a) 을 1 개만 구비하여도 된다. 이 경우에는, 지지 측 보강판 (18) 의 끼워 맞춤편 (18a) 과 덮개 측 보강판 (19) 의 끼워 맞춤편 (19a) 의 양방이, 덮개부 (12) 와 대향하는 시점으로부터 보아, 덮개부 (12) 에 있어서 서로 대향하는 1 쌍의 변의 일방에 겹치도록 배치되어 있으면 된다.

증착 마스크용 케이스 (10) 는, 지지 측 보강판 (18) 과 덮개 측 보강판 (19) 의 어느 일방만을 구비하여도 된다. 이하, 도 12 및 도 13 을 참조하여, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 지지 측 보강판 (18) 을 구비하는 한편으로, 덮개 측 보강판 (19) 을 구비하고 있지 않은 구성을 설명한다.

도 12 가 나타내는 바와 같이, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 지지 측 보강판 (18) 을 구비하고 있다. 지지부 (11) 와 대향하는 시점으로부터 보아, 지지 측 보강판 (18) 은, 지지부 (11) 와 대략 동일한 형상 및 대략 동일한 크기를 가지고 있다.

증착 마스크용 케이스 (10) 는, 2 개의 끼워 맞춤편 (19a) 을 구비하고 있다. 끼워 맞춤편 (19a) 은, 덮개부 (12) 가 갖는 4 개의 코너부 중 2 개의 코너부에 1 개씩 위치하고 있다. 도 12 가 나타내는 예에서는, 2 개의 끼워 맞춤편 (19a) 은, 4 개의 코너부 중에서, 길이 방향을 따라 연장되는 덮개부 (12) 의 1 변 상에 배열되는 2 개의 코너부에 1 개씩 위치하고 있다. 또한, 2 개의 끼워 맞춤편 (19a) 은, 4 개의 코너부 중 임의의 2 개의 코너부에 위치해도 된다. 또, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 3 개 또는 4 개의 끼워 맞춤편 (19a) 을 가져도 되고, 1 개의 끼워 맞춤편 (19a) 만을 가져도 된다.

도 12 가 나타내는 예에서는, 덮개부 (12) 와 대향하는 시점으로부터 보아, 각 끼워 맞춤편 (19a) 은 L 자상을 갖지만, 각 끼워 맞춤편 (19a) 은 U 자상을 가져도 된다. 각 끼워 맞춤편 (19a) 은, 덮개부 (12) 의 두께 방향에 있어서, 덮개부 (12) 의 대향면 (12S) 보다 돌출되어 있다. 대향면 (12S) 에 대한 끼워 맞춤편 (19a) 의 돌출량은, 지지부 (11) 의 두께 미만이어도 되고, 지지부 (11) 의 두께 이상, 또한, 지지부 (11) 의 두께와 지지 측 보강판 (18) 의 두께의 총합 이하여도 된다.

도 13 에는, 지지부 (11) 에 대해 덮개부 (12) 가 겹쳐진 상태가 나타나 있다.

도 13 이 나타내는 바와 같이, 덮개부 (12) 가 지지부 (11) 에 겹쳐짐으로써, 각 끼워 맞춤편 (19a) 이, 지지 측 보강판 (18) 과 지지부 (11) 의 적층체가 갖는 코너부에 끼워넣어진다. 각 끼워 맞춤편 (19a) 은, 적층체가 갖는 4 개의 코너부 중, 서로 상이한 코너부에 끼워넣어진다.

그 때문에, 증착 마스크용 케이스 (10) 에 진동 등이 작용해도, 지지부 (11) 에 대한 덮개부 (12) 의 위치가 어긋나기 어려워진다. 이로써, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 페쇄된 상태로 유지되기 쉬워진다. 또, 지지부 (11) 에 대한 덮개부 (12) 의 위치 결정이 용이하다. 또한, 이들 효과는, 증착 마스크용 케이스 (10) 가 힌지부 (15) 를 구비하고 있지 않는 경우에 특히 현저하다.

또한, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 끼워 맞춤편 (19a) 을 구비하는 한편으로, 지지 측 보강판 (18) 을 구비하고 있지 않아도 된다. 또, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 덮개부 (12) 에 위치하는 끼워 맞춤편 (19a) 과, 지지부 (11) 에 위치하고, 또한, L 자상 또는 U 자상을 가진 끼워 맞춤편의 양방을 가져도 된다. 이 경우에는, 지지부 (11) 와 덮개부 (12) 가 겹쳐진 상태에 있어서, 덮개부 (12) 의 끼워 맞춤편 (19a) 과 지지부 (11) 의 끼워 맞춤편이, 증착 마스크용 케이스 (10) 중에서, 서로 상이한 코너부에 위치하고 있으면 된다. 또, 끼워 맞춤편은, 지지부 (11) 가 구비하는 코너부에 위치하는 한편으로, 덮개부 (12) 가 구비하는 코너부에 위치하지 않아도 된다.

도 10 및 도 11 을 참조하여 앞서 설명한 증착 마스크용 케이스 (10) 에 있어서, 지지 측 보강판 (18) 이 구비하는 끼워 맞춤편 (18a), 및, 덮개 측 보강판 (19) 이 구비하는 끼워 맞춤편 (19a) 의 적어도 일방은, 덮개부 (12) 와 대향하는 시점으로부터 보아, L 자상 또는 U 자상을 가져도 된다.

[증착 마스크용 케이스]

·증착 마스크용 케이스 (10) 는, 1 장의 플라스틱 골판지에 의해 형성되어도 되고, 3 장 이상의 플라스틱 골판지에 의해 형성되어도 된다.

·증착 마스크용 케이스 (10) 는, 플라스틱 골판지의 두께 방향을 따라 연장되는 복수의 중공부이고, 허니콤상으로 배열되는 복수의 중공부를 가진 플라스틱 골판지에 의해 형성되어도 된다.

·증착 마스크용 케이스 (10) 는, 플라스틱 골판지에 의해 형성되어 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 예를 들어 각종 합성 수지에 의해 형성된 판부재로 형성되어도 된다. 혹은, 증착 마스크용 케이스 (10) 는, 금속제의 판부재로 형성되어도 된다.

10 : 증착 마스크용 케이스
11 : 지지부
11S : 지지면
12 : 덮개부
12S : 대향면
12Sa : 오목부
16 : 표지
17 : 체결부
21 : 증착 마스크
21a : 패턴 영역
21b : 주변 영역
22 : 무진지
23 : PET 필름

Claims

복수의 관통공이 형성된 패턴 영역과, 상기 패턴 영역을 둘러싸는 주변 영역을 포함하는 증착 마스크를 수용하도록 구성된 증착 마스크용 케이스로서,
상기 증착 마스크용 케이스가 상기 증착 마스크를 수용할 때에 상기 증착 마스크를 지지하는 평탄한 지지면을 포함하는 지지부와,
상기 증착 마스크용 케이스가 상기 증착 마스크를 수용할 때에 상기 지지부와 대향하는 대향면과, 상기 대향면으로부터 오목한 오목부를 포함하고, 상기 지지면과 대향하는 시점으로부터 보아, 상기 증착 마스크의 상기 패턴 영역이 상기 오목부 내에 위치하고, 또한, 상기 주변 영역이 상기 오목부 외로까지 연장되도록 상기 증착 마스크를 덮도록 구성된 덮개부와,
상기 덮개부를 상기 지지부로부터 구별하기 위한 표지와,
상기 덮개부의 두께 방향에 있어서 상기 덮개부와 상기 증착 마스크 사이에 위치하고, 상기 덮개부의 상기 오목부를 덮는 완충부와,
상기 증착 마스크용 케이스가 상기 증착 마스크를 수용할 때, 상기 지지부와 상기 덮개부가 대향하는 상태에서, 상기 덮개부의 상기 대향면으로부터 상기 지지부를 향하여 돌출된 1 쌍의 협지부이고, 상기 1 쌍의 협지부는, 상기 증착 마스크용 케이스의 길이 방향에 있어서, 상기 오목부를 사이에 두도록 상기 오목부보다 외측에 위치하고, 상기 지지부와 상기 덮개부가 대향하는 방향에 있어서, 상기 지지부와 함께 상기 증착 마스크의 상기 주변 영역을 사이에 두도록 구성되어 있는 상기 1 쌍의 협지부와,
상기 지지부를 상기 덮개부에 접속하는 힌지부를 구비하고,
상기 완충부는, 상기 덮개부의 상기 오목부와 상기 1 쌍의 협지부를 덮고,
상기 지지부 및 상기 덮개부는, 측면에 개구를 갖는 플라스틱 골판지에 의해 각각 형성되고,
상기 플라스틱 골판지는, 두께 방향과 직교하는 방향을 따라 연장되는 복수의 중공부를 구비하고,
상기 지지부에 있어서, 상기 플라스틱 골판지의 상기 개구가, 상기 지지부의 측면들 중 상기 중공부의 길이 방향에 수직하는 측면에 위치하고,
상기 덮개부에 있어서, 상기 플라스틱 골판지의 상기 개구가, 상기 덮개부의 측면들 중 상기 중공부의 길이 방향에 수직하는 측면에 위치하고,
상기 덮개부의 상기 개구와, 상기 지지부의 상기 개구가 막혀 있는
증착 마스크용 케이스.
제 1 항에 있어서,
상기 증착 마스크용 케이스의 길이 방향에 있어서, 상기 오목부를 사이에 두고, 상기 오목부보다 외측에 있어서 상기 덮개부 및 상기 지지부에 접함으로써, 상기 지지부에 상기 덮개부를 체결하는 1 쌍의 체결부를 추가로 구비하는
증착 마스크용 케이스.
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