KR20170038551A

KR20170038551A - 증착 마스크 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR20170038551A
Application number: KR1020150138075A
Authority: KR
Inventors: 이영종
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2015-09-30
Filing date: 2015-09-30
Publication date: 2017-04-07

Abstract

본 발명의 일 측면에 따르면, 제1 플레이트에 복수의 제1 슬롯을 형성하는 단계와; 제2 플레이트에 상기 복수의 제1 슬롯에 각각 상응하여 복수의 제2 슬롯을 형성하는 단계와; 서로 상응하는 상기 제1 슬롯과 상기 제2 슬롯의 일부가 중첩되어 마스크 패턴이 형성되도록 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트를 대면하여 접착시켜 마스크 본체를 형성하는 단계를 포함하는, 증착 마스크 제조 방법이 제공된다.

Description

증착 마스크 및 그 제조방법{Evaporation mask and method for manufacturing the same}

증착 마스크 및 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 증착 마스크의 마스크 패턴의 크기를 작게 하여 기판에 화소 증착 시 화소의 크기를 줄일 수 있는 증착 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

최근 디스플레이 소자로 액정 표시 소자(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel, PDP), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED) 등 평판 표시 소자(Flat Panel Display)가 널리 이용되고 있다.

이들 중, 유기 전계 발광 소자는, 투명한 ITO(Indium Tin Oxide) 양극막 위에 정공층, 발광층 및 전자층의 유기층, 금속음극막을 순차적으로 입혀서 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써 유기층에 적당한 에너지의 차이가 형성되어 자발광하는 원리를 가진다. 여기서, 정공층은 발광층에 정공을 생성하고 주입하는 유기층을 의미하고, 전자층은 발광층에 전자를 생성하고 주입하는 유기층을 의미하는데, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며 남는 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기물질의 도펀트의 양에 따라 나오는 빛의 파장을 조절할 수 있고 풀 컬러의 구현이 가능하다.

도 1은 정공층이 증착된 기판 상에 화소가 형성된 상태를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 A-A' 선에 따른 단면도이다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 풀 컬러 디스플레이를 구현하기 위해서는 기판(12)에 빛의 3원색인 빨강(Red, R), 초록(Green, G), 파랑(Blue, B)의 기본 화소(14)가 필요하고, 이 화소(14)에서 방출되는 빛들의 혼합을 통해 원하는 색상을 구현하게 된다. 이러한 RGB의 3원색이 하나의 화소(pixel)(14)을 이루어 발광층을 구성하게 된다.

발광층은 정공층 상에 R, G, B의 기본 화소 별로 증착이 이루어지는데, 발광층의 증착 시에는 기본 화소 별로 독립된 증착챔버에서 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask, FMM)를 사용하여 고정밀도로 화소를 형성하게 된다.

그러나, 미세한 화소를 증착하기 위해서는 메탈 마스크의 마스크 패턴이 매우 정교하여야 하나 현재 이러한 미세한 마스크 패턴의 형성이 매우 어려운 실정이다. 특히 유기 박막층을 이루는 발광층의 화소를 작게 하면 화소의 증착을 위한 메탈 마스크도 그에 동반하여 얇게 되는데 이에 따라 메탈 마스크의 강성이 저하되어 처짐이 크게 발생하는 문제가 있다.

대한민국 공개특허공보 제10-2005-0083448호 (2005.8.26 공개)

본 발명은 증착 마스크의 마스크 패턴의 크기를 작게 하여 기판에 화소 증착 시 화소의 크기를 줄일 수 있는 증착 마스크 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.

상기 증착 마스크 제조 방법은, 상기 마스크 본체의 단부를 인장하여 마스크 프레임에 결합하는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 플레이트의 열팽창계수는 상기 제2 플레이트의 열팽창계수보다 작을 수 있다.

상기 제1 슬롯의 폭과 상기 제2 슬롯의 폭은 동일하며, 상기 제1 슬롯 간의 이격 거리와 상기 제2 슬롯 간의 이격 거리가 동일할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 복수의 제1 슬롯이 형성되는 제1 플레이트와; 상기 복수의 제1 슬롯에 각각 상응하여 복수의 제2 슬롯이 형성되며, 상기 제1 슬롯과 상기 제2 슬롯의 일부가 중첩되어 마스크 패턴이 형성되도록 상기 제1 플레이트에 대면하여 접착되는 제2 플레이트를 포함하는, 증착 마스크가 제공된다.

상기 증착 마스크는, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 단부가 인장되어 결합되는 마스크 프레임을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 증착 마스크의 마스크 패턴의 크기를 작게 하여 기판에 화소 증착 시 화소의 크기를 줄일 수 있다.

도 1은 기판 상에 RGB 화소가 형성된 상태를 도시한 도면.
도 2는 도 1의 A-A'에 따른 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법의 순서도.
도 4 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크를 이용하여 화소를 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

이하, 본 발명에 따른 증착 마스크 및 그 제조 방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법의 순서도이며, 도 4 내지 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법을 설명하기 위한 흐름도이다. 그리고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크를 이용하여 화소를 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.

도 4 내지 도 12에는, 기판(12), 화소(14), 제1 슬롯(16), 제1 플레이트(18), 제2 슬롯(20), 제2 플레이트(22), 마스크 본체(24), 마스크 패턴(26), 마스크 프레임(28)이 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법은, 제1 플레이트(18)에 복수의 제1 슬롯(16)을 형성하는 단계와; 제2 플레이트(22)에 상기 복수의 제1 슬롯(16)에 각각 상응하여 복수의 제2 슬롯(20)을 형성하는 단계와; 서로 상응하는 상기 제1 슬롯(16)과 상기 제2 슬롯(20)의 일부가 중첩되어 마스크 패턴(26)이 형성되도록 상기 제1 플레이트(18)와 제2 플레이트(22)를 대면하여 접착시켜 마스크 본체(24)를 형성하는 단계와; 상기 마스크 본체(24)의 단부를 인장하여 마스크 프레임(28)에 결합하는 단계를 포함한다.

도 4 내지 도 11을 참조하여, 본 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법을 자세히 살펴 보기로 한다.

먼저, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(18)에 복수의 제1 슬롯(16)을 형성한다(S100). 도 4는 제1 슬롯(16)이 형성된 제1 플레이트(18)를 도시한 평면도이고, 있고, 도 5는 도 4의 B-B' 선에 따른 단면도이다.

제1 플레이트(18)는, 평판 상의 금속 재질로 이루어질 수 있으며, 제1 플레이트(18)는 복수의 제1 슬롯(16)이 격자 상으로 형성될 수 있다. 제1 슬롯(16)은 제1 플레이트(18)를 관통하여 형성되는 개구부로서, 복수의 제1 슬롯(16)의 폭과 제1 슬롯(16) 간의 이격 거리는 후술한 마스크 패턴(26)의 폭을 고려하여 설계 상에서 결정될 수 있다. 제1 슬롯(16)은 제1 플레이트(18)에 식각(etching) 방식으로 형성될 수 있는데, 식각 방식은 일반적으로 알려진 화학적 식각이나 물리적 식각 방식을 사용하므로 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.

최근 OLED 디스플레이의 고해상도에 대한 사용자의 요구가 증가하고 있는데, 이러한 고해상도를 구현하기 위해서는 미세한 화소(14)의 형성이 중요하다. 그러나, 미세한 화소(14)의 증착을 위해 플레이트에 바로 마스크 패턴(26)을 정밀하게 형성하는 것이 매우 어렵다.

본 실시예에서는, 마스크의 본체를 구성하는 금속성의 플레이트에 바로 미세한 마스크 패턴을 형성하지 않고, 미세한 마스크 패턴 보다는 큰 슬롯(16, 20)을 두 개의 플레이트(18, 22) 각각 형성하고, 두 개의 플레이트(18, 22) 를 겹쳐 슬롯(16, 20)의 일부가 중첩되어 마스크 패턴(26)이 형성되도록 함으로써 보다 정교한 마스크 패턴(26)을 형성할 수 있다. 이에 따라, 슬롯(16, 20)은 미세한 마스크 패턴(26)보다 크게 형성하여도 되기 때문에 슬롯(16, 20)을 보다 정교하게 형성할 수 있다. 또한, 슬롯(16, 20)을 정교하게 형성하기 위하여 플레이트(18, 22)를 얇게 하여도 두 개의 플레이트(18, 22)가 합착되어 마스크 본체(24)가 형성되기 때문에 강성을 확보할 수 있다.

그리고, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제2 플레이트(22)에 복수의 제1 슬롯(16)에 각각 상응하여 복수의 제2 슬롯(20)을 형성한다(S200). 도 6은 제2 슬롯(20)이 형성된 제2 플레이트(22)를 도시한 평면도이고, 도 7은 도 6의 C-C'선에 따른 단면도이다.

제2 플레이트(22)는 제1 플레이트(18)와 동일하게 평판 상의 금속 재질로 이루어질 수 있다. 다만, 제1 플레이트(18)와 제2 플레이트(22)는 열팽창계수가 서로 다른 금속 재질로 이루어질 수 있다. 제2 슬롯(20)은 제2 플레이트(22)를 관통하여 형성되는 개구부로서, 제2 슬롯(20)은 제1 슬롯(16)과 일부가 겹쳐져야 하기 때문에 제1 슬롯(16)의 각각에 상응하여 복수의 제2 슬롯(20)이 격자 상으로 제2 플레이트(22)에 형성될 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 슬롯(20) 또한 제1 슬롯(16)과 마찬가지로 식각 방식에 의해 제2 플레이트(22)에 형성될 수 있다.

마스크 본체(24)의 제조 상의 편의성을 위하여, 제1 슬롯(16)의 폭(S1)과 제2 슬롯(20)의 폭(S2)이 동일하고, 제1 슬롯(16) 간의 이격 거리(D1)와 제2 슬롯(20) 간의 이격 거리(D2)가 동일하게 제작할 수 있다. 이에 따라, 제1 슬롯(16)과 제2 슬롯(20)의 일부를 겹침으로써 일정한 폭(S3)의 마스크 패턴(26)과 마스크 패턴(26) 간의 이격 거리(D3)를 형성할 수 있다. 여기서, '동일하다'는 의미는 기하학적으로 완전히 동일함을 의미하는 것은 아니며, 슬롯의 위치 결정 상의 오차, 슬롯 형성 시의 오차 등을 고려하여 실질적으로 동일하게 형성한다는 의미이다.

그리고, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 서로 상응하는 제1 슬롯(16)과 제2 슬롯(20)의 일부가 중첩되어 마스크 패턴(26)이 형성되도록 제1 플레이트(18)와 제2 플레이트(22)를 대면하여 접착시켜 마스크 본체(24)를 형성한다(S300). 도 8은 마스크 패턴(26)이 형성된 마스크 본체(24)를 도시한 평면도이고, 도 9은 도 8의 D-D'선에 따른 단면도이다.

마스크 패턴(26)은 제1 슬롯(16)의 일부와 제2 슬롯(20)의 일부가 겹쳐 서로 형성되는 개구부로서 이러한 마스크 패턴(26)을 통해 유기물이 기판(12) 상에 증착 된다. 제1 슬롯(16)과 제2 슬롯(20)의 겹침 정도에 따라 마스크 패턴(26)의 폭이 결정되며 제1 슬롯(16)과 제2 슬롯(20)의 겹침 정도를 정밀하게 조절하는 경우 보다 미세한 폭을 갖는 마스크 패턴(26)의 형성이 가능하다. 제1 플레이트(18)와 제2 플레이트(22)간의 접착은 다양한 방법에 의해 이루어질 수 있는데, 접착제에 의한 접합이나 레이저 용접 혹은 저항 용접 등이 적용될 수 있다. 제1 플레이트(18)와 제2 플레이트(22)의 결합에 의해 마스크 패턴(26)이 형성되는 마스크 본체(24)가 형성된다.

한편, 제1 플레이트(18) 및 제2 플레이트(22)는 금속 성의 재질로 이루어질 수 있는데, 제1 플레이트(18)의 열팽창계수는 제2 플레이트(22)의 열팽창계수보다 작을 수 있다.

기판(12)에 대한 유기물의 증착은 진공 챔버의 상부에 기판(12)을 로딩하고 기판(12)의 하면에 대향하여 증착 마스크를 정렬시킨 후, 유기물이 담겨 있는 도가니를 기판(12)의 하단에 배치하고 도가니에 열을 가하여 도가니에서 승화되는 유기물을 기판(12) 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. 이 경우, 증착 마스크가 기판(12)의 하면에 배치되어 있기 때문에 자체 중량과 도가니의 열에 의해 마스크 본체(24)에 처짐이 발생하게 된다.

이러한 처짐을 최소화하기 위해 기판(12)의 하면에 대향하는 플레이트(본 실시예에서는 제2 플레이트(22)를 의미함)에 대해 도가니에 대향하는 플레이트(본 실시예에서는 제1 플레이트(18)를 의미함)를 열팽창계수가 작은 재질을 사용함으로써 도가니의 열에 따른 열팽창의 차이로 인해 마스크 본체(24)가 상향으로 휘게 하여 처짐을 최소화할 수 있다. 제1 플레이트(18) 및 제2 플레이트(22)는 니켈(Ni)과 철(Fe) 포함하는 합금으로 이루질 수 있다.

도 9에 따르면, 제1 플레이트(18), 제2 플레이트(22), 마스크 본체(24)의 두께가 두껍게 도시되어 있으나, 이는 설명의 편의를 위하여 강조하여 도시된 것으로 실제는 매우 얇게 형성된다.

그리고, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 마스크 본체(24)의 단부를 인장하여 마스크 프레임(28)에 결합한다(S400). 도 10은 본 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법에 따른 제조된 증착 마스크를 도시한 평면도이고, 도 11은 도 10의 E-E'선에 따른 단면도이다.

마스크 프레임(28)은 마스크 본체(24)의 형상에 상응하여 사각형의 틀 형태일 수 있으며 마스크 본체(24)의 단부를 잡아 당겨 마스크 본체(24)의 단부를 마스크 프레임(28)에 고정하게 된다. 상술한 바와 같이, 증착 마스크의 처짐을 최소화하기 위하여 마스크 본체(24)의 단부를 인장하여 마스크 프레임(28)에 고정하는 것이다.

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크를 이용하여 화소(14)를 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면으로서, 파선으로 도시된 영역은 G 및 B용 발광영역으로 G 및 B용 유기물이 증착되기 전을 도시하고 있고, 실선은 본 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법으로 제조된 증착 마스크를 이용하여 R용 유기물을 증착한 상태를 나타내고 있다. R, G, B 유기물이 서로 인접하여 증착되어 RGB의 3원색이 하나의 단위 화소(14)(14)를 형성하게 된다.

R, G, B용 유기물 각각은 독립된 증착챔버에서 기판(12)에 증착된다. 먼저, R용 유기물을 증착하기 위해 기판(12)에 본 실시예에 따른 증착 마스크를 정렬하고 R용 유기물을 기판(12) 상에 증착한다. R용 유기물의 증착이 완료되면 기판(12)은 다른 증착챔버로 이동하고, 서로 인접한 단위 화소(14)의 R용 유기물 사이에 G용 유기물을 증착하기 위한 마스크 패턴(26)이 위치하도록 기판(12)과 증착 마스크를 얼라인하여, G용 유기물에 대한 증착을 수행한다. G용 유기물의 증착이 완료되면 기판(12)은 다른 증착챔버로 이동하고, 서로 인접한 단위 화소(14)의 G용 유기물 사이에 B용 유기물을 증착하기 위한 마스크 패턴(26)이 위치하도록 기판(12)과 증착 마스크를 얼라인하여, G용 유기물에 대한 증착을 수행한다.

본 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법으로 제조되는 증착 마스크는, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 슬롯(16)이 형성되는 제1 플레이트(18)와; 상기 복수의 제1 슬롯(16)에 각각 상응하여 복수의 제2 슬롯(20)이 형성되며, 상기 제1 슬롯(16)과 상기 제2 슬롯(20)의 일부가 중첩되어 마스크 패턴(26)이 형성되도록 상기 제1 플레이트(18)에 대면하여 접착되는 제2 플레이트(22)와; 상기 제1 플레이트(18)와 상기 제2 플레이트(22)의 단부가 인장되어 결합되는 마스크 프레임(28)을 포함한다.

제1 슬롯(16)은 제1 플레이트(18)를 관통하여 형성되는 개구부이고 제2 슬롯(20)은 제2 플레이트(22)를 관통하여 형성되는 개구부로서, 제2 슬롯(20)은 제1 슬롯(16)과 일부가 겹쳐져야 하기 때문에 제1 슬롯(16)의 각각에 상응하여 복수의 제2 슬롯(20)이 격자 상으로 제2 플레이트(22)에 형성될 수 있다.

마스크 패턴(26)은 제1 슬롯(16)의 일부와 제2 슬롯(20)의 일부가 겹쳐 서로 형성되는 개구부로서 제1 플레이트(18)와 제2 플레이트(22)의 접합에 의해 마스크 패턴(26)이 형성되는 마스크 본체(24)가 형성된다.

제1 플레이트(18)와 제2 플레이트(22)간의 접착은 다양한 방법에 의해 이루어질 수 있는데, 접착제에 의한 접합이나 레이저 용접 혹은 저항 용접 등이 적용될 수 있다.

마스크 본체(24)는 증착 시 마스크 본체(24)의 처짐을 최소화하기 위하여 마스크 본체(24)의 단부를 인장하여 마스크 프레임(28)에 결합될 수 있다.

제1 플레이트(18) 및 제2 플레이트(22)는 열팽창계수가 서로 다른 금속 재질로 이루어질 수 있으며, 제1 플레이트(18)의 열팽창계수는 제2 플레이트(22)의 열팽창계수보다 작을 수 있다.

마스크 본체(24)의 제조 상의 편의성을 위하여, 제1 슬롯(16)의 폭(S1)과 제2 슬롯(20)의 폭(S2)이 동일하고, 제1 슬롯(16) 간의 이격 거리(D1)와 제2 슬롯(20) 간의 이격 거리(D2)가 동일하게 제작할 수 있다. 이에 따라, 제1 슬롯(16)과 제2 슬롯(20)의 일부를 겹침으로써 일정한 폭(S3)의 마스크 패턴(26)과 마스크 패턴(26) 간의 이격 거리(D3)를 형성할 수 있다.

본 실시예에 따른 에서는, 마스크의 본체를 구성하는 금속성의 플레이트에 바로 미세한 마스크 패턴(26)을 형성하지 않고, 미세한 마스크 패턴(26) 보다는 큰 슬롯을 두 개의 플레이트 각각 형성하고, 두 개의 플레이트를 겹쳐 슬롯의 일부가 중첩되어 마스크 패턴(26)이 형성되도록 함으로써 보다 정교한 마스크 패턴(26)을 형성할 수 있다. 이에 따라, 슬롯은 미세한 마스크 패턴(26)보다 크게 형성하여도 되기 때문에 슬롯을 보다 정교하게 형성할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.

10: 기판 14: 화소
16: 제1 슬롯 18: 제1 플레이트
20: 제2 슬롯 22: 제2 플레이트
24: 마스크 본체 26: 마스크 패턴
28: 마스크 프레임

Claims

제1 플레이트에 복수의 제1 슬롯을 형성하는 단계와;
제2 플레이트에 상기 복수의 제1 슬롯에 각각 상응하여 복수의 제2 슬롯을 형성하는 단계와;
서로 상응하는 상기 제1 슬롯과 상기 제2 슬롯의 일부가 중첩되어 마스크 패턴이 형성되도록 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트를 대면하여 접착시켜 마스크 본체를 형성하는 단계를 포함하는, 증착 마스크 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 마스크 본체의 단부를 인장하여 마스크 프레임에 결합하는 단계를 더 포함하는, 증착 마스크 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 플레이트의 열팽창계수는 상기 제2 플레이트의 열팽창계수보다 작은 것을 특징으로 하는, 증착 마스크 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 슬롯의 폭과 상기 제2 슬롯의 폭은 동일하며,
상기 제1 슬롯 간의 이격 거리와 상기 제2 슬롯 간의 이격 거리가 동일한 것을 특징으로 하는, 증착 마스크 제조 방법.
복수의 제1 슬롯이 형성되는 제1 플레이트와;
상기 복수의 제1 슬롯에 각각 상응하여 복수의 제2 슬롯이 형성되며, 상기 제1 슬롯과 상기 제2 슬롯의 일부가 중첩되어 마스크 패턴이 형성되도록 상기 제1 플레이트에 대면하여 접착되는 제2 플레이트를 포함하는, 증착 마스크.
제5항에 있어서,
상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 단부가 인장되어 결합되는 마스크 프레임을 더 포함하는, 증착 마스크.
제5항에 있어서,
상기 제1 플레이트의 열팽창계수는 상기 제2 플레이트의 열팽창계수보다 작은 것을 특징으로 하는, 증착 마스크.
제5항에 있어서
상기 제1 슬롯의 폭과 상기 제2 슬롯의 폭이 동일하고,
상기 제1 슬롯 간의 이격 거리와 상기 제2 슬롯 간의 이격 거리가 동일한 것을 특징으로 하는, 증착 마스크.