KR20060058456A - 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법 - Google Patents

평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 오픈 마스크와 상기 오픈 마스크의 개구부에 배열되는 마스크패턴부를 완충부재로 접합시켜 위치정밀도를 향상시키고 열팽창을 억제할 수 있는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 평판표시장치의 박막 증착용 마스크는 다수의 제1개구부를 구비하는 보강 부재와; 상기 보강 부재의 제1개구부에 각각 대응하여 배열되어, 상기 보강 부재에 의해 지지되는 마스크패턴부와; 상기 보강 부재의 제1개구부에 대응하는 다수의 제2개구부를 구비하며, 상기 보강 부재와 상기 마스크 패턴부를 접착시켜, 상기 보강 부재와 마스크 패턴부를 지지하기 위한 완충부재를 구비한다.

Description

평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법{Mask for depositing thin film of flat panel display and method for fabricating the same}
도 1은 종래의 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 사시도,
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 평면도,
도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 단면도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법을 설명하기 위한 공정순서도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도,
도 6a는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조공정중 전기도금법을 이용하여 마스크 패턴부를 형성하는 방법을 설명하기 위한 공정단면도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도,
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
200 : 마스크 300 : 프레임
400 : 피증착기판 500 : 마스크 프레임 조립체
210 : 마스크 패턴부 211 : 개구부
212 : 차폐부 220 : 오픈 마스크
230 : 완충부재 221, 231 : 개구부
본 발명은 평판표시장치의 박막 증착용 마스크에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 오픈 마스크와 상기 오픈 마스크의 개구부에 배열되는 마스크패턴부를 완충부재로 접합시킨 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
자발광소자인 유기전계 발광소자는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점으로 차세대 평판표시장치로서 주목을 받고 있다. 유기전계 발광소자는 애노드전극과 캐소드전극 그리고 두 전극사이의 발광층을 포함하는 유기막층을 구비한다. 유기막은 수분에 취약하여 통상적인 포토리소그라피방법으로 유기막층을 형성하는 것은 한계가 있기 때문에 증착방법 등을 이용하여 형성한다.
도 1은 종래의 평판표시장치의 박막을 증착하기 위한 증착 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도를 도시한 것이다. 도 1은 평판표시장치인 유기전계 발광표시장치의 유기막과 같은 박막을 증착하기 위한 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 종래의 마스크 프레임 조립체(100)는 패턴 마스크(110)와 상기 패턴 마스크(110)를 지지하기 위한 프레임(120)을 구비한다. 상기 프레임(120)는 상기 패턴 마스크(110)를 지지하기 위한 좌, 우 지지바(121)와 상, 하 지지바(122)를 구비하고, 단일의 개구부(123)를 구비한다.
상기 패턴 마스크(110)는 금속박판(111)으로 되어, 복수의 마스크 패턴부(112)를 구비한다. 이때, 패턴 마스크(10)는 피증착 기판(130)인 원판(mother board)에 유기전계 발광소자를 구비하는 복수개의 단위소자를 제조할 수 있도록 복수개의 마스크패턴부(112)를 구비한다.
각 복수개의 마스크패턴부(112)는 각 단위 소자에 대응하여 배열되어, 피증착기판(130)상에 증착될 단위소자의 박막과 동일한 패턴을 갖는 다수의 개구부(113)를 구비한다. 상기 패턴 마스크(110)는 각 변에서 인장력을 가해져 프레임(120)에 고정된다.
이때, 패턴 (110)를 격자상의 프레임(120)에 고정하는 경우, 인장력이 균일하게 가하여지고, 패턴 마스크(110)상의 마스크 패턴부(112)에 형성된 개구부(113)의 폭이 설정된 공차(tolerance) 범위내로 유지되도록 프레임에 고정되어야 한다.
종래의 대면적의 금속 박판 마스크는 균일한 인장력이 가하여지도록 프레임에 고정되어도 마스크 자체의 무게(自重)에 의해 처짐이 발생한다. 마스크의 처짐을 방지하기 위하여 인장력을 가하게 되면, 프레임(120)의 좌,우 지지바(121)가 내측으로 만곡되고, 상,하 지지바(122)가 상, 하측 방향으로 볼록하게 굴곡되어 변형되거나, 또는 프레임(120)의 좌,우 지지바(121)가 외측으로 볼록하게 굴곡되고, 상,하 지지바(122)가 내측 만곡하게 변형되는 문제점이 있었다.
이와같이 패턴 마스크(110)에 균일한 인장력을 가하여 프레임에 고정시키는 경우에도 마스크패턴부(12)의 개구부(12a)가 변형되고, 이로 인하여 기판상에 형성된 단위소자의 전극패턴(도면상에는 도시되지 않음)과 마스크패턴부(112)의 개구부(113)간에 오차가 발생되는 문제점이 발생하게 된다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 국내공개특허 제2003-0046090호 및 제2003-0093959호에는 프레임에 고정되는 마스크를 다수의 단위 마스크로 분할하고, 분할된 단위 마스크를 프레임에 인장력이 가하여 지도록 양단부를 고정시킨 유기전계 발광소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체가 개시되었다. 그러나, 상기 국내특허는 분할 마스크간의 간극문제 및 견고성 문제가 여전히 남아있다.
또한, 종래의 패턴 마스크(110)는 감광막을 이용한 포토공정으로 금속박판을 식각하여 마스크 패턴부(112)를 형성하는데, 이 경우에는 개구부의 정밀도 및 화소의 위치정밀도가 떨어지는 문제점이 있었다. 이를 해결하기 위하여 일본공개특허 제2002-055461호 및 국내 공개특허 제2003-0009324호에는 전기도금법을 이용한 메탈 마스크를 제조하는 방법이 개시되었다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 오픈 마스크와 오픈 마스크의 개구부에 배열되는 마스크 패턴부를 완충부재를 이용하여 접합시켜 줌으로써, 마스크의 견고성, 개구부의 정밀도 및 위치 정밀도를 향상시켜 줄 수 있는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 및 그의 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 다수의 제1개구부를 구비하는 보강 부재와; 상기 보강 부재의 제1개구부에 각각 대응하여 배열되어, 상기 보강 부재에 의해 지지되는 마스크패턴부와; 상기 보강 부재의 제1개구부에 대응하는 다수의 제2개구부를 구비하며, 상기 보강 부재와 상기 마스크 패턴부를 접착시켜, 상기 보강 부재와 마스크 패턴부를 지지하기 위한 완충부재를 구비하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크를 제공하는 것을 특징으로 한다.
상기 보강 부재는 열팽창계수가 작은 물질로 이루어진다. 상기 보강 부재는 인바 재질을 포함한다. 상기 완충부재는 도전성 물질을 포함한다. 상기 완충부재는 니켈-코발트 함금막을 포함한다.
상기 마스크 패턴부는 피증착기판에 증착될 박막과 동일한 패턴의 다수의 제3개구부와 다수의 차폐부를 구비하며, 상기 제3개구부는 상기 차폐부에 의해 한정된다.
또한, 본 발명은 피증착기판에 증착될 박막과 동일한 패턴을 구비하는 다수 의 제1개구부를 갖는 마스크와; 제2개구부를 구비하고, 상기 마스크를 지지하기 위한 프레임을 구비하며, 상기 마스크는 상기 다수의 제1개구부를 각각 구비하는 다수의 마스크 패턴부와; 다수의 제3개구부를 구비하고, 상기 다수의 마스크 패턴부가 각각 상기 제3개구부에 대응하여 배열되어 지지되는 오픈 마스크와; 상기 오픈 마스크에 대응하는 제4개구부를 구비하고, 상기 오픈 마스크와 상기 마스크 패턴부를 접착시켜, 상기 오픈 마스크와 마스크 패턴부를 지지하기 위한 완충부재를 구비하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 제공하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 베이스 메탈에 마스크패턴부를 형성하는 단계와; 상기 베이스 메탈상에 마스킹 물질을 형성하는 단계와; 상기 마스킹 물질중 상기 마스크 패턴부에 대응하는 부분을 제외한 부분에 보강 부재를 접착시키는 단계와; 상기 마스킹 물질중 상기 마스크 패턴부에 대응하는 부분을 제거하는 단계와; 상기 마스크 패턴부와 보강 부재를 완충부재로 접착시켜 주는 단계와; 상기 베이스 메탈을 분리시켜 주는 단계와; 상기 마스킹 물질을 제거하는 단계를 포함하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법을 제공하는 것을 특징으로 한다.
상기 보강 부재는 상기 마스크 패턴부에 대응하는 다수의 개구부를 구비하여, 상기 마스크 패턴부를 지지한다. 상기 보강 부재는 열팽창계수가 작은 물질로 이루어진다. 상기 보강 부재는 인바 재질을 포함한다.
상기 마스크 패턴부는 전주법에 의해 형성된다. 상기 완충부재는 전기도금법에 의해 형성된다.
상기 마스킹 물질을 형성하는 단계는 감광막을 상기 베이스물질을 도포한 다음 상기 마스크 패턴부에 대응하는 부분을 노광시켜 형성하는 것을 포함한다.
상기 마스킹물질에 보강 부재를 접착시키는 단계와 상기 마스크패턴부와 보강 부재를 접합시키는 단계사이에, 상기 마스킹물질중 마스크 패턴부에 대응하는 부분을 현상공정을 통해 제거하는 단계를 더 포함한다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 사시도를 도시한 것이다. 도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 평면도를 도시한 것이다. 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 단면도로서, 도 3a의 IIIb-IIIb 선에 따른 단면구조를 도시한 것이다.
도 2 및 도 3a 와 도 3b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크(200)는 다수의 개구부(221)를 구비하는 오픈 마스크(220)와 상기 오픈 마스크(220)의 개구부(221)에 배열되는 마스크 패턴부(210)를 구비한다. 상기 오픈 마스크(220)는 상기 다수의 개구부(221)중 일 방향으로 배열되는 개구부를 분리시켜 주기 위한 제1리브(225)와, 상기 일 방향과 교차하는 방향으로 배열되는 개구부를 분리시켜 주기 위한 제2리브(226)를 구비한다.
상기 마스크 패턴부(210)는 니켈-코발트(Ni-Co) 합금막으로 이루어지고, 상기 오픈 마스크(220)는 철(Fe)에 니켈(Ni)이 첨가된 Fe-Ni 합금막인 인바(invar) 재질로 이루어진다. 상기 오픈 마스크(220)의 개구부(221)는 피증착기판(도 7의 400)에 배열되는 다수의 단위소자에 대응하여 배열된다. 상기 오픈 마스크(220)는 개구부(221)에 각각 마스크 패턴부(210)가 배열되어, 마스크 패턴부(210)를 지지하는 보강리브의 역할을 한다.
여기서, 단위소자라 함은 단일의 원판(mother board)인 피증착기판을 스크라이브라인을 따라 절단하여 제조되는 하나의 표시장치를 의미한다. 즉, 상기 오픈 마스크(220)의 개구부에 배열되는 마스크 패턴부(210)는 하나의 표시장치를 구성하는 박막과 동일한 패턴을 갖는다.
상기 마스크 패턴부(210)는 피증착기판에 증착될 박막과 동일한 패턴을 갖는 다수의 개구부(212)와 다수의 차폐부(211)를 구비한다. 상기 다수의 개구부(212)는 다수의 차폐부(211)에 의해 한정된다. 본 발명의 실시예에서는 상기 개구부(212)가 슬롯형태를 갖는 것을 예시하였으나, 이에 반드시 한정되는 것이 아니라 피증착기판상에 증착될 박막의 패턴에 따라 다양한 형태를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 마스크(200)는 상기 오픈 마스크(220)와 상기 오픈 마스크(220)의 개구부(221)에 배열된 마스크 패턴부(210)를 접합시켜 주고, 상기 오픈 마스크(220)를 지지하기 위한 완충부재(230)를 더 구비한다.
상기 완충부재(230)는 상기 오픈 마스크(220)의 개구부(221)에 대응하는 다수의 개구부(231)를 구비하여, 상기 마스크 패턴부(210)를 오픈시켜 준다. 상기 완충부재(230)는 니켈-코발트(Ni-Co) 합금막과 같은 도전성 물질로 이루어진다.
본 발명의 실시예에서는 상기 완충부재(230)로 니켈-코발트(Ni-Co) 합금막을 사용하는 것을 예시하였으나, 이에 반드시 한정되는 것이 아니라 응력을 완화시켜 주고 열에 의한 변형을 방지할 수 있는 다른 종류의 열팽창계수가 작은 도전성 물질을 사용하는 것이 가능하다.
상기 완충부재(230)는 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 마스크패턴부(210)와 오픈 마스크(220)를 연결시켜 줄 수 있을 뿐만 아니라 상기 오픈 마스크(220)를 감싸도록 형성되어, 오픈 마스크(220)를 지지주고, 응력을 완충시켜 주는 역할을 한다.
상기한 바와같이, 본 발명의 마스크(200)는 상기 마스크 패턴부(210)가 상기 오픈 마스크(220)의 개구부(221)에 배열되어 지지되고, 또한 상기 마스크 패턴부(210)와 오픈 마스크(220)가 상기 완충부재(230)에 의해 연결 및 지지되는 3단구조를 가지므로, 마스크의 접합강도를 강화시켜 줄 수 있을 뿐만 아니라 응력을 완충시켜 줄 수 있다.
또한, 본 발명의 마스크(200)는 오픈 마스크(220)를 열팽창계수가 작인 인바(invar)재질을 사용하므로, 피증착기판상에 박막 증착시 온도변화에 상대적으로 덜 민감하게 되어 온도변화에 따른 마스크의 변형을 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 마스크(200)의 제조방법을 설명하기 위한 공정순서도를 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크의 제조방법은 전기도금법을 이용하여 베이스 메탈상에 마스크패턴부의 차폐부를 형성하는 단계(41)와, 마스크 패턴부(210)를 포함한 베이스 메탈상에 마스킹물질로서 감광막을 전면 도포하는 단계(42)와, 노광공정을 통하여 상기 감광막중 상기 마스크 패턴부(210)에 대응하 는 부분을 노광시켜 주는 단계(43)를 포함한다.
또한, 본 발명의 마스크 제조방법은 상기 감광막상에 상기 마스크 패턴부(210)를 지지하기 위한 보강 리브로서 상기 마스크 패턴부(210)에 대응하는 오픈 마스크(220)를 접착시키는 단계(44)와, 상기 감광막중 상기 마스크 패턴부(210)에 대응하는 노광된 부분을 현상공정을 통하여 제거하는 단계(45)를 더 구비한다.
또한, 본 발명의 마스크 제조방법은 베이스 메탈상의 마스크 패턴부(210)와 오픈 마스크(220)를 합착시켜 주기 위한 완충부재(230)를 전기도금법을 이용하여 형성하는 단계(46)와, 상기 베이스 메탈을 마스크 패턴부로부터 분리시키는 단계(47)와, 상기 남아있는 감광막을 제거하여 상기 마스크 패턴부의 차폐부에 의해 한정되는 개구부를 형성하는 단계를 더 구비한다.
또한, 본 발명의 마스크 제조방법은 상기한 바와같은 방식으로 제작된 마스크를 패턴 마스크로서 프레임에 합착시켜 마스크 프레임 조립체를 형성하는 단계(49)를 더 포함할 수도 있다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도를 도시한 것이다. 도 5a 내지 도 5f는 도 3a의 IIIb-IIIb 선에 따른 단면도를 도시한 것이다.
도 5a를 참조하면, 베이스 메탈(201)상에 다수의 개구부(203)를 구비하는 마스킹 물질로서 제1감광막(204)을 형성하고, 상기 제1감광막(204)의 개구부(203)에 전주법을 이용하여 마스크 패턴부(210)를 형성한다.
이때, 마스크 패턴부(210)는 도 2에 도시된 바와같은 다수의 차폐부(211)를 구비하며, 상기 차폐부(211)사이에 남아있는 감광막은 후속공정에서 제거되고, 상기 감광막(204)의 제거에 따라 형성되는 개구부는 상기 차폐부(211)에 의해 한정되는 상기 마스크 패턴부(210)의 개구부(212)가 된다.
전주법을 이용하여 베이스 메탈(201)상에 마스크패턴부(210)를 형성하는 방법을 도 6a 내지 도 6c을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 6a와 같이 상기 베이스 메탈(201)상에 제1감광막(204)을 도포하고, 상기 제1감광막(204)을 포토마스크(도면상에는 도시되지 않음)를 이용하여 노광 및 현상하여 도 6b에 도시된 바와 같이 개구부(203)를 형성한다.
이어서, 도 6c에 도시된 바와같이, 상기 감광막(204)의 개구부(203)내에 전기도금법과 같은 전주법을 이용하여 니켈-코발트(Ni-Co) 합금막으로 된 마스크 패턴부(210)의 차폐부(211)를 형성한다.
본 발명의 실시예에서는 마스크 패턴부(210)가 니켈-코발트(Ni-Co) 합금막으로 된 금속물질로 구성되는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것이 아니라 Fe-Ni 합금막인 인바물질 또는 Fe-Ni-Co 합금막인 코바(kovar) 물질 등 다양한 물질을 사용할 수 있다.
도 5b를 참조하면, 베이스 메탈(201)의 제1감광막(204)과 마스크 패턴부(210)의 차폐부(211)상에 제2감광막(213)을 도포한다. 도 5c를 참조하면, 노광공정을 수행하여 상기 제2감광막(213)중 상기 마스크 패턴부(210)에 대응하는 부분(213a)만을 노광시켜 준다. 상기 제2감광막(213)중 나머지 부분(213b)은 노광되지 않고 그대로 남아있다.
도 5d를 참조하면, 마스크 패턴부(210)를 보강리브와 접착시켜 준다. 본 발명의 실시예에서는 상기 보강 리브로서 인바 재질의 오픈 마스크(230)를 사용하여 상기 마스크 패턴부(210)를 지지하여 준다. 상기 오픈 마스크(220)는 열팽창계수가 작은 물질을 포함하며, Fe-Ni 합금막인 인바재질을 사용한다. 그러므로, 상기 오픈 마스크(220)로 열팽창계수가 작은 물질을 사용하므로, 증착시 열에 의한 마스크 패턴부의 변형을 방지할 수 있다.
상기 오픈 마스크(220)는 상기 마스크 패턴부(210)에 대응하는 부분에 다수의 개구부(221)를 구비한다. 이때, 상기 오픈 마스크(220)는 상기 감광막(213)중 노광되지 않은 부분(213a)과 합착되어 개구부(221)를 통해 상기 마스크 패턴부(210)에 대응하는 노광된 부분(213b)을 오픈시켜 준다.
상기 오픈 마스크(220)의 개구부(221)는 상기 제2감광막(213)중 노광된 부분(213a)에 대응하고, 이에 따라 상기 개구부(221)는 상기 마스크 패턴부(210)에 대응한다. 따라서, 후속공정에서 상기 제2감광막(213)의 제거시 상기 오픈 마스크(220)의 개구부(221)를 통해 상기 마스크 패턴부(210)을 오픈시켜 주게 된다.
도 5e를 참조하면, 상기 감광막(213)중 상기 오픈 마스크(220)의 개구부(221)에 의해 노출되는 부분 즉, 마스크 패턴부(210)에 대응하는 부분 으로서, 상기 노광공정을 통해 노광된 부분(213a)을 현상공정을 통해 제거한다.
도 5f를 참조하면, 상기 베이스 메탈(201)상에 형성된 마스크 패턴부(210)와 오픈 마스크(220)를 접착시켜 주기 위한 완충부재(230)를 형성한다. 상기 완충부재(230)는 니켈-코발트(Ni-Co) 합금막을 포함하며, 전기 도금법을 통해 형성된다.
이후에, 상기 베이스메탈(201)을 상기 마스크 패턴부(210)로부터 분리시키고, 남아있는 제1 및 제2감광막(204), (213)을 제거하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크(200)가 얻어진다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 분리 사시도를 도시한 것이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 마스크 프레임 조립체(500)는 패턴 마스크와 상기 패턴 마스크를 지지하기 위한 프레임(300)을 구비한다. 상기 패턴 마스크는 도 2와 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와같은 마스크(200)를 포함한다.
상기 프레임(300)은 상기 패턴 마스크(200)의 좌, 우를 지지하기 위한 지지바(311)와 상기 패턴 마스크(200)의 상, 하를 지지하기 위한 지지바(312)를 구비하며, 단일의 개구부(320)를 구비한다.
본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체(500)는 피증착기판(400)가 상기 패턴 마스크(200)와 정렬되어 소정의 박막을 증착한다. 이때, 상기 패턴 마스크(200)의 마스크 패턴부(210)가 돌출되어 피증착기판(400)과의 밀착력이 강화된다.
본 발명의 실시예에서 상기 패턴 마스크(200)는 도 7에 도시된 바와같은 구조를 갖는 것이 아니라, 마스크 패턴부(210)를 인바재질의 오픈 마스크로 지지해주고, 오픈 마스크와 마스크 패턴부를 완충부재로 지지해주는 다양한 형태의 구조를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예는 평판표시장치의 박막으로 유기전계 발광표시장치를 예시 하였으나, 이에 반드시 한정되는 것이 아니라 액정표시장치와 같은 평판표시장치의 박막을 증착하기 위한 마스크에는 모두 적용가능하다.
상기한 바와같은 본 발명의 실시예에 따른 마스크 및 그의 제조방법은 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 마스크 패턴부가 열팽창계수가 적은 인바재질의 오픈 마스크에 의해 지지되므로, 박막 증착시 온도에 의한 마스크의 변형을 방지할 수 있으며, 균일한 박막을 증착할 수 있다.
둘째, 마스크 패턴부와 오픈 마스크가 니켈-코발트(Ni-Co) 합금막에 의해 연결되어 지지되므로, 마스크의 견고성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 응력을 완충시켜 줄 수 있는 이점이 있다.
셋째, 패턴 마스크의 마스크 패턴부를 전기도금법과 같은 전주법을 이용하여 형성하여 줌으로써, 마스크 패턴부의 개구부의 정밀도 및 위치정밀도(accuracy)를 향상시켜 줄 수 있다.
넷째, 패턴 마스크의 마스크 패턴부가 오픈 마스크의 개구부에 직접 고정되는 것이 아니라 완충부재에 의해 고정되어 돌출되는 구조를 가지므로, 피증착기판과의 밀착력을 향상시켜 줄 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (21)

  1. 다수의 제1개구부를 구비하는 보강 부재와;
    상기 보강 부재의 제1개구부에 각각 대응하여 배열되어, 상기 보강 부재에 의해 지지되는 마스크패턴부와;
    상기 보강 부재의 제1개구부에 대응하는 다수의 제2개구부를 구비하며, 상기 보강 부재와 상기 마스크 패턴부를 접착시켜, 상기 보강 부재와 마스크 패턴부를 지지하기 위한 완충부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보강 부재는 열팽창계수가 작은 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크.
  3. 제2항에 있어서, 상기 보강 부재는 인바 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크.
  4. 제1항에 있어서, 상기 완충부재는 도전성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크.
  5. 제4항에 있어서, 상기 완충부재는 니켈-코발트 함금막을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크.
  6. 제1항에 있어서, 상기 마스크 패턴부는 피증착기판에 증착될 박막과 동일한 패턴의 다수의 제3개구부와 다수의 차폐부를 구비하며, 상기 제3개구부는 상기 차폐부에 의해 한정되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크.
  7. 피증착기판에 증착될 박막과 동일한 패턴을 구비하는 다수의 제1개구부를 갖는 마스크와;
    제2개구부를 구비하고, 상기 마스크를 지지하기 위한 프레임을 구비하며,
    상기 마스크는 상기 다수의 제1개구부를 각각 구비하는 다수의 마스크 패턴부와;
    다수의 제3개구부를 구비하고, 상기 다수의 마스크 패턴부가 각각 상기 제3개구부에 대응하여 배열되어 지지되는 오픈 마스크와;
    상기 오픈 마스크에 대응하는 제4개구부를 구비하고, 상기 오픈 마스크와 상기 마스크 패턴부를 접착시켜, 상기 오픈 마스크와 마스크 패턴부를 지지하기 위한 완충부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  8. 제7항에 있어서, 상기 오픈 마스크는 열팽창계수가 작은 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  9. 제7항에 있어서, 상기 오픈 마스크는 인바 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  10. 제7항에 있어서, 상기 완충부재는 도전성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  11. 제7항에 있어서, 상기 완충부재는 니켈-코발트 함금막을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  12. 베이스 메탈에 마스크패턴부를 형성하는 단계와;
    상기 베이스 메탈상에 마스킹 물질을 형성하는 단계와;
    상기 마스킹 물질중 상기 마스크 패턴부에 대응하는 부분을 제외한 부분에 보강 부재를 접착시키는 단계와;
    상기 마스킹 물질중 상기 마스크 패턴부에 대응하는 부분을 제거하는 단계와;
    상기 마스크 패턴부와 보강 부재를 완충부재로 접착시켜 주는 단계와;
    상기 베이스 메탈을 분리시켜 주는 단계와;
    상기 마스킹 물질을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시 장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 보강 부재는 상기 마스크 패턴부에 대응하는 다수의 개구부를 구비하여, 상기 마스크 패턴부를 지지하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 보강 부재는 열팽창계수가 작은 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 보강 부재는 인바 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
  16. 제12항에 있어서, 상기 마스크 패턴부는 전주법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
  17. 제12항에 있어서, 상기 완충부재는 도전성 금속물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
  18. 제13항에 있어서, 상기 완충부재는 니켈-코발트 함금막을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
  19. 제12항에 있어서, 상기 완충부재는 전기도금법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
  20. 제12항에 있어서, 상기 마스킹 물질을 형성하는 단계는 감광막을 상기 베이스물질을 도포한 다음 상기 마스크 패턴부에 대응하는 부분을 노광시켜 형성하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 마스킹물질에 보강 부재를 접착시키는 단계와 상기 마스크패턴부와 보강 부재를 접합시키는 단계사이에, 상기 마스킹물질중 마스크 패턴부에 대응하는 부분을 현상공정을 통해 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 박막 증착용 마스크의 제조방법.
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