KR20200013782A - 마스크 및 마스크 어셈블리 - Google Patents
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Abstract
본 출원은 마스크 및 마스크 어셈블리에 관한 것으로, 상기 마스크(100)는 마스크 본체(10); 상기 마스크 본체 상에 배치된 하나 이상의 서브 마스크(101)를 포함하며; 상기 서브 마스크는 증착 영역(12) 및 차단부(14)를 포함한다. 상기 증착 영역에서 상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라 상기 서브 마스크를 관통하는 제 1 증착홀(122)이 제공되며; 상기 차단부는 격리 영역(144) 및 더미 영역(142)을 포함하고, 더미 영역은 디스플레이 스크린의 이형의 영역에 대응하고, 상기 격리 영역은 상기 더미 영역과 상기 증착 영역 사이에 위치된다. 상기 서브 마스크의 두께 방향에서, 더미 영역에 제 2 증착홀(1422)이 제공되고, 상기 제 2 증착홀은 서브 마스크를 관통하고, 및/또는 상기 더미 영역에 하나 이상의 제 1 그루브(1421)가 제공되며, 상기 제 1 그루브의 깊이가 상기 서브 마스크의 두께보다 작다. 따라서, 차단부의 응력 집중이 감소되어, 마스크 본체는 인장되는 과정에서 균일한 힘을 받음으로써, 마스크 본체가 인장되는 과정에서 나타나는 주름 현상이 추가로 감소된다.
Description
본 출원은 디스플레이 기술 분야에 관한 것으로서, 특히 마스크 및 마스크 어셈블리에 관한 것이다.
유기 발광 다이오드(Organic Light-Emitting Diode, OLED)는 유기 전자 레이저 디스플레이 또는 유기 발광 반도체로 지칭되기도 한다. OLED는 낮은 구동 전압, 능동 발광, 넓은 시야각, 고효율, 빠른 응답속도, 풀 컬러 대면적 벽걸이형 디스플레이 및 플렉서블 디스플레이의 구현이 용이한 특징을 구비하기 때문에, 액정 디스플레이(LCD)를 점차적으로 대체하고 있는 추세이다.
OLED제조 기술에서, 진공 증착용 마스크는 중요한 부품으로서, 유기 재료가 기판 상에 증착되는 위치를 제어할 수 있다. 마스크는 주로 공통 금속 마스크 (CMM) 및 정밀 금속 마스크(FMM)를 포함하고, CMM은 공통층을 증착하기 위한 것이고, FMM은 발광층을 증착하기 위한 것이다.
본 발명자는, 이형의 디스플레이 스크린(즉, 디스플레이 스크린의 일 측변에 그루브 또는 홀을 갖는 스크린 본체)을 제작하는 과정에서, 종래 기술의 마스크가 인장 시 주름이 쉽게 생기며, 이로 인해 후속 공정에서 디스플레이 스크린의 픽셀 증착 위치의 정확도가 감소되는 것을 발견했다.
이를 기반으로, 본 출원은 마스크가 인장 시 주름이 쉽게 생기는 문제를 해결하고 후속 과정에서 디스플레이 스크린의 픽셀 증착 위치의 정확도를 향상시키기 위한 마스크 및 마스크 어셈블리를 제공한다.
상기 목적을 위해, 본 출원은 마스크를 제공한다. 상기 마스크는, 증착 소스에 대향하여 설치된 증착면 및 증착 소스에 배향하여 설치된 유리면을 구비하는 마스크 본체; 및 증착 영역 및 차단부를 포함하고, 상기 마스크 본체 상에 배치된 하나 이상의 서브 마스크를 포함하며, 상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라, 상기 증착 영역에 상기 서브 마스크를 관통하는 제 1 증착홀이 제공되며, 상기 차단부는 격리 영역 및 더미 영역을 포함하고, 상기 더미 영역은 디스플레이 스크린의 이형의 영역에 대응하며, 상기 격리 영역은 상기 더미 영역과 상기 증착 영역 사이에 위치하며, 상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라, 상기 더미 영역에 제 2 증착홀이 제공되고, 상기 제 2 증착홀은 상기 서브 마스크를 관통하고, 및/또는 상기 더미 영역에 하나 이상의 제 1 그루브가 제공되고, 상기 제 1 그루브의 깊이는 상기 서브 마스크의 두께보다 작다.
일 실시예에서, 상기 제 2 증착홀과 상기 제 1 증착홀의 형상은 동일하다.
일 실시예에서, 상기 제 2 증착홀은 상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라 서로 연통되도록 설치되는 제 1 하프에칭 홀 및 제 2 하프에칭 홀을 포함하며; 상기 제 1 하프에칭 홀은 상기 유리면에 제공되고, 상기 제 2 하프에칭 홀은 상기 증착면에 제공되며, 상기 제 1 하프에칭 홀은 상기 마스크 본체에서 상기 유리면에 가까운 일단으로부터 멀어지는 일단을 향하여 점진적으로 좁혀지고, 상기 제 2 하프에칭 홀은 상기 마스크 본체에서 상기 증착면에 가까운 일단으로부터 멀어지는 일단을 향하여 점진적으로 좁혀지면서 상기 제 1 하프에칭 홀과 연통된다.
일 실시예에서, 상기 제 1 하프에칭 홀의 개구의 서브 마스크 두께 방향을 따른 투영은 제 2 하프에칭 홀의 개구 내에 위치한다.
일 실시예에서, 상기 제 1 그루브는 상기 증착면 또는 상기 유리면에 배치된다.
일 실시예에서, 상기 제 1 그루브는 제 2 그루브 및 제 3 그루브를 포함하고, 상기 제 2 그루브는 상기 증착면에 설치되고, 상기 제 3 그루브는 상기 유리면에 설치된다. 상기 서브 마스크의 두께 방향으로, 상기 제 2 그루브의 바닥면과 상기 제 3 그루브의 바닥면 사이에 간격이 형성(즉, 연통하지 않음)된다.
일 실시예에서, 상기 제 1 그루브의 횡단면 형상은 다각형, 원형 또는 타원형이다.
일 실시예에서, 상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라, 상기 격리 영역에 하나 이상의 제 4 그루브가 제공되며, 상기 제 4 그루브의 깊이는 상기 서브 마스크의 두께보다 작다.
일 실시예에서, 상기 제 4 그루브는 상기 증착면 또는 상기 유리면에 설치된다.
일 실시예에서, 상기 제 4 그루브는 제 5 그루브 및 제 6 그루브를 포함하되, 상기 제 5 그루브는 상기 증착면에 배치되고, 상기 제 6 그루브는 상기 유리면에 배치된다. 상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라, 상기 제 5 그루브의 바닥면과 상기 제 6 그루브의 바닥면 사이에 간격이 형성된다.
일 실시예에서, 상기 제 5 그루브의 깊이가 제 6 그루브의 깊이보다 크거나 같다.
일 실시예에서, 상기 제 4 그루브의 횡단면 형상은 다각형, 원형 또는 타원형이다.
일 실시예에서, 상기 마스크 본체는 평면도에서 제 1 중심선 및 제 2 중심선을 가지며, 상기 제 1 중심선 및 상기 제 2 중심선은 서로에 수직이며; 상기 마스크 본체 상에 2개 세트의 상기 서브 마스크가 제공되며, 각 상기 세트의 서브 마스크는 하나 이상의 상기 서브 마스크를 포함하고, 서로 인접된 2개의 상기 서브 마스크 사이에 간격이 형성되며, 2개 세트의 상기 서브 마스크는 상기 제 1 중심선에 대해 축대칭되고, 2개 세트의 상기 서브 마스크는 상기 제 2 중심선에 대해 축대칭 된다.
일 실시예에서, 상기 제 2 중심선과 동일한 측에 위치한 상기 서브 마스크의 상기 차단부는 모두 제 2 중심선에 대향 또는 배향으로 설치된다.
일 실시예에서, 상기 마스크 본체 상에 복수의 서브 마스크가 제공되고, 상기 복수의 서브 마스크는 행 또는 어레이 형태로 배치되며;
상기 마스크 본체는 상기 복수의 서브 마스크를 두 세트의 서브 마스크로 분할하기 위한 가상 분할선을 구비하며, 상기 두 세트의 서브 마스크는 상기 가상 분할선의 일측에 위치한 제 1 서브 마스크 세트 및 상기 가상 분할선의 다른 일측에 위치한 제 2 서브 마스크 세트를 포함하며, 상기 제 1 서브 마스크 세트 및 상기 제 2 서브 마스크 세트는 각각 하나 이상의 서브 마스크를 포함하며;
상기 제 1 서브 마스크 세트 및 상기 제 2 서브 마스크 세트에서 각 서브 마스크는 상기 가상 분할선에 대향하는 일측에 상기 차단부를 각각 설치하고; 또는, 상기 제 1 서브 마스크 세트 및 상기 제 2 서브 마스크에서 각 서브 마스크는 상기 가상 분할선에 배향하는 일측에 상기 차단부를 각각 설치한다.
일 실시예에서, 상기 가상 분할선은 가상 직선이다.
일 실시예에서, 상기 마스크 본체 상에 복수의 서브 마스크가 제공되고, 상기 복수의 서브 마스크는 행 또는 어레이 형태로 배열되며;
동일 행에서 짝수개의 서로 인접한 상기 서브 마스크는 복수의 서로 인접한 서브 세트의 서브 마스크를 형성하고, 상기 서브 세트의 서브 마스크 각각은 2개의 인접 배치된 서브 마스크를 포함하며;
각 상기 서브 세트의 서브 마스크에서 2개의 서브 마스크의 서로 대향하는 일측에 각각 상기 차단부를 설치하고, 배향하는 일측에 상기 차단부를 설치하지 않으며; 또는, 각 상기 서브 세트의 서브 마스크에서 2개의 서브 마스크의 서로 대향하는 일측에 상기 차단부를 설치하지 않고, 배향하는 일측에 각각 상기 차단부를 설치한다.
일 실시예에서, 상기 격리 영역은 상기 증착 영역의 오목부의 윤곽선에 매칭되는 더미 라인이다.
마스크 어셈블리로서, 상기 마스크 어셈블리는 마스크 프레임, 서포팅 스트립 및 제 1 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 따른 마스크를 포함하고, 상기 서포팅 스트립은 상기 마스크 프레임에 고정 연결되고, 상기 하나 이상의 마스크는 상기 서포팅 스트립 상에 적층되어 배치된다.
일 실시예에서, 상기 격리 영역은 상기 증착 영역의 오목부의 윤곽선에 매칭되는 더미 라인이다.
본 출원에 의해 제공된 마스크 및 마스크 어셈블리에서, 차단부는 두 부분으로 나눠지고, 여기서, 더미 영역에 제 2 증착홀 및/또는 제 1 그루브가 제공되고, 상기 마스크는 사용되어 증착을 수행할 경우, 증착 재료는 제 1 증착홀 및 제 2 증착홀을 통해 기판 상으로 증착될 수 있고, 제 2 증착홀 및/또는 제 1 그루브를 제공함으로써, 차단부의 중량을 감소하고, 차단부 및 증착 영역의 중량 차이를 작게하여, 차단부의 응력 집중을 감소하며, 마스크 본체가 인장되는 과정에서 균일한 힘을 받게 함으로써, 인장 과정에서 마스크 본체의 주름 현상을 보다 감소한다. 또한, 더미 영역 및 증착 영역 사이에 격리 영역을 형성하여, 후속으로 제작되는 디스플레이 스크린의 절단 및 패키징이 용이해지도록 한다.
도 1은 본 출원의 일 실시예에 따른 마스크의 구조를 제시하는 도면이다.
도 2는 본 출원의 다른 일 실시예에 따른 마스크의 구조를 제시하는 도면이다.
도 3은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 구조를 제시하는 도면이다.
도 4는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 구조를 제시하는 도면이다.
도 5는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 구조를 제시하는 도면이다.
도 6은 본 출원의 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 7은 본 출원의 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 8은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 9는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 10은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 11은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 12는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 13은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 14는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 15는 본 출원의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 구조를 제시하는 도면이다.
도 2는 본 출원의 다른 일 실시예에 따른 마스크의 구조를 제시하는 도면이다.
도 3은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 구조를 제시하는 도면이다.
도 4는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 구조를 제시하는 도면이다.
도 5는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 구조를 제시하는 도면이다.
도 6은 본 출원의 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 7은 본 출원의 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 8은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 9는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 10은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 11은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 12는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 13은 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 14는 본 출원의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크의 부분 구조의 단면을 제시하는 도면이다.
도 15는 본 출원의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 구조를 제시하는 도면이다.
본 출원의 이해를 용이하게 하기 위해, 이하에서, 본 출원은 첨부 도면을 참조하여 보다 상세히 설명될 것이다. 본 출원의 보다 바람직한 실시예가 도면에 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 다양한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 오히려, 이들 실시예는 본 출원의 개시 내용의 이해가 보다 철저하게 되도록 제공된다.
배경기술에 기술된 바와 같이, 종래의 마스크 같은 경우, 인장 시 주름이 쉽게 생기는 문제가 있다. 본 발명자는 연구를 통해 이러한 문제의 근원을 발견하였다. 즉, 그루브를 갖는 스크린 본체는 제조하는 과정에서 해당 위치에 개부를 개설할 필요가 있으며, 다시말해 마스크 상에 차단부가 설치되며, 이때 차단부와 증착 영역의 구조는 큰 차이를 보이는데, 예를 들어, 증착 영역에 증착홀이 구비되지만 차단부는 증착홀이 없으며, 이럴 경우 차단부와 증착 영역의 중량(단위 면적당 중량)은 큰 차이를 보이게 되어, 차단부에 보다 쉽게 응력이 집중된다. 차단부에 응력이 집중될 경우, 불균일한 힘에 의해 주름이 생긴다.
이를 기반으로, 도1, 도2 및 도6을 참조하면, 본 출원의 일 실시예는 마스크 본체 (10)를 포함하는 마스크(100)를 제공한다. 마스크 본체 (10) 상에 하나 이상의 서브 마스크(101)를 설치하며, 서브 마스크(101)는 증착 영역(12) 및 차단부(14)를 포함하고, 서브 마스크(101)의 두께 방향을 따라 증착 영역(12)에 서브 마스크(101)를 관통하는 제 1 증착홀(122)이 제공되고, 증착 영역(12)은 디스플레이 패널 또는 디스플레이 스크린을 증착하도록 사용되며, 즉, 증착 영역(12)의 크기는 증착하고자 하는 디스플레이 패널 또는 디스플레이 스크린의 크기와 동일하다.
다른 일 실시예에서, 증착 영역(12)의 크기는 증착하고자 하는 디스플레이 패널 또는 디스플레이 스크린의 크기보다 약간 더 클 수 있으며, 마스크(100) 상에 기타 차단 구조를 추가로 설치하여 주름을 보다 감소시킬 수 있다.
도1, 도2 및 도6을 다시 참조할 경우, 차단부(14)는 더미 영역(142) 및 격리 영역(144)을 포함한다. 더미 영역(142)의 형상 및 위치는 이형의 디스플레이 스크린의 이형 영역(이형 영역은, 예를 들어, 그루브 또는 홀을 갖는 영역)에 대응되며, 격리 영역(144)은 더미 영역(142)과 증착 영역(12) 사이에 배치되고, 서브 마스크(101)의 두께 방향을 따라 더미 영역(142)에 서브 마스크(101)를 관통하는 제 2 증착홀(1422)이 제공된다.
따라서, 차단부(14)는 두개 영역으로 분할되되, 그 중 더미 영역(142)에 제 2 증착홀(1422)이 제공된다. 상기 마스크(100)를 사용하여 증착할 경우, 증착 재료는 제 1 증착홀(122) 및 제 2 증착홀(1422)를 통해 기판 상에 증착될 수 있고, 제 2 증착홀(1422)에 의해 차단부(14)의 중량을 감소시킬 수 있으며, 차단부(14) 및 증착 영역(12) 사이의 중량 차이는 작아지게 되고, 차단부(14)를 향한 응력 집중이 감소됨으로써, 마스크 본체(10)가 인장 과정에서 균일한 힘을 받게되어, 인장 과정에서 마스크 본체(10) 상에 나타나는 주름 현상을 추가로 감소시킬 수 있는 한편, 더미 영역(142) 및 증착 영역(12) 사이에 격리 영역(144)을 설치함으로써, 후속으로 제조되는 디스플레이에 대한 절단과 패키징에 유리해지도록 한다.
본 실시예에서, 마스크 본체(10)은, 예를 들어, 규칙적인 직육면체 또는 원형으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 다른 일 실시예에서, 마스크 본체(10)는 기타 불규칙적인 형상으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 마스크 본체(10)에서 서로 대향하는 두 변은 직선이고, 서로 대향하는 기타 두 변은 호형과 같은 불균칙적인 형상을 갖는다. 또한, 증착 영역(12)의 형상은, 예를 들어, 직사각형 또는 원형일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 증착 영역(12)이 직사각형인 경우, 증착 영역(12)의 하나의 측변 또는 복수의 측변 상에 오목부(예를 들어, 도1에서 차단부(14)로 둘러싸인 부분)을 설치한다. 차단부(14)의 형상은, 예를 들어, 호형의 차단부(14)이거나 다각형의 차단부(14)일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
구체적으로, 마스크 본체(10) 상에 두 세트의 서브 마스크(101)를 구비하며, 각 세트의 서브 마스크(101)는 하나 이상의 서브 마스크(101)를 포함하고, 서로 인접된 두 서브 마스크(101) 사이에 간격이 형성된다. 마스크 본체(10)는 제 1 중심선(11) 및 제 2 중심선(13)을 가지며, 제 1 중심선(11) 및 제 2 중심선(13)은 서로 수직이다. 바람직하게는, 두 세트의 서브 마스크(101)는 제 1 중심선(11)에 대해 각각 축대칭으로 배치되고, 두 세트의 서브 마스크(101)는 제 2 중심선(13)에 대해 각각 축대칭으로 배치된다. 도 1 내지 도 3에서, 한 세트(제 1 세트)의 서브 마스크(101)는 제 2 중심선(13)의 좌측에 위치하고, 다른 한 세트(제 두 세트)의 서브 마스크(101)는 제 2 중심선(13)의 우측에 위치한다. 도1 및 도2에서, 각 세트의 서브 마스크(101)는 각각 하나의 서브 마스크(101)를 포함한다. 도3에서, 각 세트의 서브 마스크(101)는 가로로 배열된 4개의 서브 마스크(101)를 포함한다. 물론, 다른 일 실시예에서, 각 세트의 서브 마스크(101)는 어레이 (예를 들어, 2행 2열 또는 이상) 형태로 배치된 서브 마스크(101)를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 두 세트의 서브 마스크(101)는 제 1 중심선(11) 및 제 2 중심선(13)에 대해 각각 축대칭으로 배치되며, 이때 제 1 중심선(11) 및 제 2 중심선(13)의 양측에 위치한 차단부(14)의 수량은 동일하며, 마스트 본체는 인장 과정에서 제 1 중심선(11) 및 제 2 중심선(13)을 기준으로 양측에서 균일한 힘을 받게된다. 따라서, 차단부(14)의 주름을 보다 감소시키고, 인장 정확도를 개선시키며, 후속으로 진행되는 디스플레이 스크린 픽셀의 증착 위치의 정확도를 향상시키면서, 디스플레이 스크린의 개구 영역(즉, 이형 영역)의 디스플레이 효과도 함께 향상시킨다.
일 실시예에서, 도1을 계속 참조하면, 제 1 방향(가로 방향 또는 좌우 방향)을 제 1 중심선(11)에 평행으로, 제 2 방향(세로 방향 또는 상하 방향)을 제 2 중심선(13)에 평행으로 설정하고, 마스크 본체(10) 상에 가로 방향을 따라 한 행의 서브 마스크(101)를 설치하는 것으로 가정하며, 도1에서의 마스크 본체(10)에서 좌우 양측변의 중심 연결선은 제 1 중심선(11)으로, 상하 양측변의 중심 연결선은 제 2 중심선(13)으로 설정할 경우, 제 2 중심선(13)과 동일한 측에 위치한 서브 마스크(101)의 차단부(14)는 모두 제 2 중앙선(13)에 배향으로 설치되거나, 또는 제 2 중앙선(13)과 동일한 측에 위치한 각 서브 마스크(101)의 차단부(14)는 각 서브 마스크(101) 상에서 제 2 중심선(13)으로부터 멀어지는 일측에 설치된다.
다른 일 실시예에서, 도2를 계속 참조하면, 마스크 본체(10) 상에서 가로 방향을 따라 한 행의 서브 마스크(101)를 설치하며, 도2에 따른 마스크 본체(10)에서 좌우 양측변의 중심 연결선은 제 1 중심선(11)으로, 상하 양측변의 중심 연결선은 제 2 중심선(13)으로 할 경우, 제 2 중심선(13)과 동일한 측에 위치한 서브 마스크(101)의 차단부(14)는 모두 제 2 중심선(13)에 대향으로 설치되며, 또는, 제 2중심선(13)과 동일한 측에 위치한 각 서브 마스크(101) 상의 차단부(14)는 모두 각 서브 마스크 시트(101)에서 제 2 중심선(13)에 인접한 일측에 설치된다.
다른 일 실시예에서, 도3을 계속 참조하면, 마스크 본체(10) 상에서 가로 방향을 따라 한 행의 서브 마스크(101)를 설치하며, 도 3에 따른 마스크 본체(10)에서 좌우 양측변의 중심 연결선을 제 1 중심선(11)으로, 상하 양측변의 중심 연결선을 제 2 중심선(13)으로 설정하는 경우, 제 2 중심선(13)과 동일한 측에 위치한 한 세트의 서브 마스크(101)는 하나 이상의 서브 마스크(101)를 포함할 수 있으며, 각 서브 세트의 서브 마스크(101)는 서로 인접한 2개의 서브 마스크(101)를 각각 포함하고, 각 서브 세트의 서브 마스크(101)에서 2개의 서브 마스크(101)의 차단부(14)는 서로 대향하도록 배치하는 것이 바람직하다.
또 다른 일 실시예에서, 도4를 계속 참조하면, 마스크 본체(10) 상에 복수 행의 서브 마스크(101)를 어레이 배열하며, 즉 복수의 서브 마스크(101)는 복수의 행열(가로 및 세로)로 배치된다. 각 행의 서브 마스크(101)의 복수의 서브 마스크(101)는 좌우 방향을 따라 순차적으로 비교적 균일하게 배열되고, 각 서로 인접한 2행의 서브 마스크(101) 사이의 간격은 비교적 균일하다. 도4에 따른 마스크 본체(10)에서 좌우 양측변의 중심 연결선을 제 1 중심선(11)으로, 상하 양측변의 중심 연결선을 제 2 중심선(13)으로 설정하는 경우, 제 2 중심선(13)과 동일한 측에 위치한 서브 마스크(101)의 차단부(14)는 모두 제 2 중심선(13)에 대향으로 배치하는 것이 바람직하다. 또한, 다른 일 실시예에서, 제 2 중심선(13)과 동일한 측에 위치한 서브 마스크(101)의 차단부(14)는 제 2 중심선(13)에 배향으로 배치될 수 있으며, 이로써 인장으로 인한 처짐의 양(the amount of sagging)을 보다 감소시켜 인장 주름을 개선한다. 다른 일 실시예에서, 각 행에서 제 2 중심선(13)과 동일한 측에 위치한 서브 마스크(101)는 하나 이상의 서브 세트의 서브 마스크(101)를 포함하도록 설치할 수 있고, 각 서브 세트의 서브 마스크(101)는 서로 인접한 2개의 서브 마스크를 각각 포함하며, 각 서브 세트의 서브 마스크(101)에서 2개의 서브 마스크(101)의 차단부(14)는 서로 대향하여 배치된다.
도 5를 참조하면, 다른 일 실시예에서, 두 세트의 서브 마스크(101)에 포함된 서브 마스크(101)의 총 수량이 여전히 짝수인 경우, 두 세트의 서브 마스크(101)는 하나의 중심선에 대해서만 대칭으로 배치될 수 있다. 도5에 따른 마스크 본체(10)의 좌우 양측변의 중심 연결선을 제 1 중심선(11)(도 5에서 미도시)으로, 상하 양측변의 중심 연결선은 제 2 중심선(13) (도 5에서 미도시)으로 설정하는 경우, 두 세트의 서브 마스크(101)는 제 1 중심선(11)에 대해 축대칭이지만, 제 2 중심선(13)에 대해 축대칭이 아니다. 또한, 다른 일 실시예에서, 두 세트의 서브 마스크(101)는 제 2 중심선(13)에 대해 축대칭이지만 제 1 중심선(11)에 대해 축대칭이 아닐 수 있다.
다른 일 실시예에서, 서브 마스크(101)의 수가 홀수일 경우, 서브 마스크(101)는 제 1 중심선 및 제 2 중심선 중의 하나에 대해 대칭이고, 다른 하나의 중심선에 대해 비대칭이다.
또한, 다른 일 실시예에서, 두 세트의 서브 마스크(101)는 제 1 중심선(11) 및 제 2 중심선(13)에 대해 비대칭으로 배치될 수 있다.
본 실시예에서, 격리 영역(144)은 증착 영역(12)의 오목부의 윤곽선에 매칭되는 더미 라인일 수 있고, 이로써 차단부(14) 전체는 더미부(142)에 의해 차지될 수 있다.
다른 일 실시예에서, 격리 영역(144)은 차단부(14)의 일부를 차지하며, 즉 이때의 격리 영역 (144)은 증착 영역(12)의 윤곽선에 매칭되는 더미 라인이 아닌, 실제 존재하는 격리 영역이다. 이럴 경우, 최종 얻게 될 디스플레이 스크린에서 격리 영역(122)에 대응하는 절단 영역의 범위가 절단 시 필요한 절단 및 패키징 마진을 충족하는 것을 보장하는 전제하에서, 차단부(14) 상의 격리 영역(144)에 의한 점유 비율은 제한되지 않는다. 여기서, 격리 영역(144)과 증착 영역(12)의 경계선은 이론상으로 이형의 디스플레이 영역을 형성하기 위한 디스플레이 스크린의 절단용 경계선이다. 격리 영역(144)은 차단부(14)의 일부를 차지할 경우, 기판에서 격리 영역(144)에 대응되는 위치에는 증착 재료가 증착되지 않으며, 증착 완료 후, 디스플레이 스크린에서 마스크(100)의 격리 영역(144)에 대응되는 위치에 대해 절단 및 패키징을 수행한다(즉, 디스플레이 스크린에서 더미 영역(142)에 대응되는 부분을 절단함). 대응한 격리 영역에 증착 재료가 없으므로, 물 및 산소의 침투가 발생하지 않기에, 우수한 후속 패키징 효과를 구현할 수 있다.
도 6을 계속 참조하면, 본 실시예에서, 제 1 증착홀(122)과 제 2 증착홀(1422)의 형상은 대체적으로 동일하며, 제 1 증착홀(122)과 제 2 증착홀(1422)이 복수 개일 경우, 더미 영역(142)에서 제 2 증착홀(1422)의 배열 및 증착 영역(12)에서 제 1 증착홀(122)의 배열 방식이 동일한 것이 바람직하며, 즉 격리 영역(144)을 제외한 더미 영역(142) 및 증착 영역(12)은 일체로서 간주될 수 있으며, 복수의 제 1 증착홀(122) 및 복수의 제 2 증착홀(1422)은 서로 간격을 두고 상기 일체로 형성된 더미 영역(142) 및 증착 영역(12) 상에 설치된다.
구체적으로, 상기 배열방식은 제 1 방향 및/또는 제 2 방향을 따른 더미 영역(142) 상의 제 2 증착홀(1422)의 배열이 증착 영역(12) 상의 제 1 증착홀(122)의 배열과 대체적으로 동일하다. 예를 들어, 제 1 증착홀(122)은 증착 영역(12) 상에 행으로 배열되고, 제 2 증착홀(1422)은 행으로 배열된 제 1 증착홀(122)을 따라 연장되고, 각 행에서 서로 인접한 2개의 제 2 증착홀(1422) 사이의 간격은 각 행에서 서로 인접한 2 개의 제 1 증착홀(122) 사이의 간격과 동일한 한편, 제 1 증착홀(122)은 증착 영역(12)에 열로 배열되고, 각 열에서 서로 인접한 2개의 제 2 증착홀(1422) 사이의 간격은 각 열에서 서로 인접한 2개의 제 1 증착홀(122) 사이의 간격과 동일하다.
다른 일 실시예에서, 제 1 증착홀(122) 및 제 2 증착홀(1422)의 형상 및 배열방식은 상이할 수 있고, 실제 상황에 따라 설정될 수 있으며, 여기에 제한되지 않는다. 예를 들어, 각 행에서 서로 인접한 2개의 제 2 증착홀(1422) 사이의 간격과 각 행에서 서로 인접한 2개의 제 1 증착홀(122) 사이의 간격이 상이하도록 설정되거나, 또는 각 열에서 서로 인접한 2개의 제 2 증착홀(1422) 사이의 간격과 각 열에서 서로 인접한 2개의 제 1 증착홀(122) 사이의 간격이 상이하도록 설정할 수 있다.
한편, 하나의 서브 마스크(101) 상의 제 1 증착홀(122) 및 제 2 증착홀(1422)은 각각 하나일 수 있다.
일 실시예에서, 제 1 증착홀(122)은 증착 영역(12)의 두께 방향을 따라 배치되고 서로 연통하는 제 1 하프에칭 홀(1222) 및 제 2 하프에칭 홀(1224)을 포함하고, 제 2 증착홀(1422)은 더미 영역(142)의 두께 방향으로 배치되고 서로 연통하는 제 1 하프에칭 홀(1222) 및 제 2 하프에칭 홀(1224)을 포함한다. 즉, 증착홀은 각각 유리면(16) 및 증착면(18)으로부터 2회의 하프에칭 방법에 의해 형성되며, 형성된 증착홀의 가장자리가 보다 매끄러워지도록 보장하여, 후속 공정에서 유기 재료에 대한 증착 효과가 보다 우수해지도록 한다. 본 실시예에서, 서브 마스크(101)의 두께 방향을 따라, 제 1 하프에칭 홀(1222) 및 제 2 하프에칭 홀(1224)의 세로 방향에서의 단면 형상은 상이하지만, 다른 일 실시예에서 제 1 하프에칭 홀(1222) 및 제 2 하프에칭 홀(1224)의 세로 방향에서의 단면 형상은 동일할 수 있다.
바람직하게는, 제 1 하프에칭 홀(1222)은 마스크 본체(10)의 유리면(16)에 배치되고, 제2 하프에칭 홀(1224)은 마스크 본체(10)의 증착면(18)에 배치되며, 여기서 유리면(18)은 마스크 본체(10) 상에서 증착 소스로부터 멀리 떨어진 면이고, 증착면(18)은 마스크 본체(10) 상에서 증착 소스에 가까운 면이며, 제 1 하프에칭 홀(1222)은 유리면(16)에 가까운 일단으로부터 유리면(16)에서 멀어지는 일단으로 점진적으로 좁혀지도록 형성되고, 제 2 하프에칭 홀(1222)은 증착면(18)에 가까운 일단으로부터 증착면(18)에서 멀어지는 일단으로 점진적으로 좁혀지도록 형성된다. 궁극적으로, 제 1 하프에칭 홀(1222) 및 제 2 하프에칭 홀(1224)은 마스크 본체(10)의 두께 방향을 따른 대체적인 중심 위치에서 서로 연통된다. 바람직하게는, 제 2 하프에칭 홀(1224)의 개구(즉, 증착면(18)에 대한 제 2 하프에칭 홀(1224)의 개구)의 크기는 제 1 하프에칭 홀(1222)의 개구(즉, 유리면(16)에 대한 제 1 하프에칭 홀(1222)의 개구)의 크기를 커버하며, 이로써 제 1하프에칭 홀(1222)을 통해 제 1 증착홀(122)로 들어가는 증착 재료가 제 1하프에칭 홀(1222)을 가득 충진시킬 수 있도록 한다. 즉, 제 1 하프에칭 홀(1222)의 서브 마스크(101)의 두께 방향(마스크 본체(10)의 두께 방향)을 따른 투영은 제 2 하프에칭 홀(1224)의 개구 내에 완전히 위치하도록 한다.
바람직하게는, 본 실시예에서, 제 1 하프에칭 홀(1222) 및 제 2하프에칭 홀(1224)의 횡단면 형상(종이 표면에 수직인 방향의 단면 형상)은 모두 직사각형이지만, 다른 일 실시예에서, 제 1하프에칭 홀(1222) 및 제 2하프에칭 홀(1224)의 횡단면 형상은 원형 또는 타원형일 수 있다.
다른 일 실시예에서, 도 7 내지 도 9를 참조하면, 서브 마스크(101)의 두께 방향에서, 더미 영역(142)에 하나 이상의 제 1 그루브(1421)가 제공되고, 제 1 그루브(1421)의 깊이는 서브 마스크(101)의 두께보다 작다.
이럴 경우, 차단부(14)는 두 부분으로 분할되고, 여기서 더미 영역(142)에 제 1 그루브(1421)를 제공한다. 제 1 그루브(1421)에 의해, 차단부(14)의 중량을 감소하고, 차단부(14) 및 증착 영역(12)의 중량 차이는 작아지게 되고, 차단부(14)를 향한 응력 집중이 감소됨으로써, 마스크 본체(10)가 인장 과정에서 균일한 힘을 받게되어, 인장 과정에서 마스크 본체(10) 상에 나타나는 주름 현상을 추가로 감소시킬 수 있는 한편, 더미 영역(142) 및 증착 영역(12) 사이에 격리 영역(144)을 설치함으로써, 후속 공정에서 디스플레이에 대한 절단과 패키징에 유리해지도록 한다.
구체적으로, 제 1 그루브(1421)는 이하에서 제시된 3가지 방법 중의 하나에 의해 더미 영역 (142)에 제공될 수 있다.
1. 제 1 그루브(1421)는 더미 영역(142)의 유리면(16)에만 제공된다(도7 참조);
2. 제 1 그루브(1421)는 더미 영역(142)의 증착면(18)에만 제공된다(도8 참조);
3. 제 1 그루브(1421)는 더미 영역(142)의 증착면(18) 및 유리면(16)에 동시에 제공된다 (도9 참조).
일 실시예에서, 제 1 그루브(1421)는 더미 영역(142)의 증착면에 제공된다. 즉, 제 1 그루브(1421)는 더미 영역(142)의 증착면에만 제공된다. 다른 일 실시예에서, 제 1 그루브(1421)는 더미 영역(142)의 유리면에만 제공될 수 있다(도7 참조).
구체적으로, 도8을 참조하면, 더미 영역(142)에 제공된 증착면(18)의 제 1 그루브(1421)는 하나이고, 하나의 제1 그루브(1421)는 전면 하프에칭 방법에 의해 더미 영역(142)의 증착면에 제공된다. 본 실시예에서, 제 1 그루브(1421)는 더미 영역(142)의 증착면 전체를 커버할수 있도록 구성되거나 또는 제 1 그루브(1421)는 더미 영역(142)의 증착면 대부분을 커버할수 있도록 구성될 수 있으며, 제 1 그루브(1421)의 횡단면 형상은 삼각형, 직사각형 또는 오각형 등과 같은 다각형을 사용하거나, 또는 원형 이나 타원형을 사용할 수 있다. 상기 제 1 그루브(1421)가 더미 영역(142)의 증착면 전체를 커버할 경우, 제 1 그루브(1421)의 바닥면은 차단부(14)에서 더미 영역(142)의 증착면과 같은 크기를 갖고, 이로써 제 1 그루브(1421)의 바닥면은 차단부(14)의 증착면으로서 기능할 수 있다.
다른 일 실시예에서, 더미 영역(142)의 증착면(18)에 2개 이상의 제 1 그루브(1421)를 제공하고, 각 서로 인접한 2개의 제 1 그루브(1421) 사이의 간격이 있으며, 상기 2개 이상의 제 1 그루브(1421)는 스트라이프 하프에칭(stripe half-etching) 또는 도트 하프에칭(dotted half-etching)의 방법에 의해 더미 영역(142)의 증착면(18)에 제공된다. 스트라이프 하프에칭을 사용할 경우, 제 1 그루브(1421)의 횡단면 형상은 스트립 형상이고; 도트 하프에칭을 사용할 경우, 제 1 그루브(1421)의 횡단면 형상은 원형 또는 타원형이다. 다른 일 실시예에서, 스트라이프 하프에칭을 사용할 경우, 제 1 그루브(1421)의 횡단면의 스트립의 장변은 마스크 본체(10)의 장변의 방향을 따라 연장되어, 마스크(100)의 인장 주름을 추가로 감소시킨다.
도 9를 참조하면, 또 다른 일 실시예에서, 제 1 그루브(1421)는 더미 영역(142)의 증착면(18)과 더미 영역 (142)의 유리면(16)에 동시에 제공된다. 즉, 더미 영역(142)의 증착면(18) 및 더미 영역(142)의 유리면(16)에 제 1 그루브(1421)가 모두 제공된다. 여기서, 더미 영역(142)의 증착면(18) 및 더미 영역(142)의 유리면(16)에 제 1 그루브(1421)를 모두 제공되는 경우와 전술한 실시예에 따른 더미 영역(142)의 증착면(18) 또는 유리면(16) 중의 하나 상에 제 1 그루브(1421)를 제공되는 경우를 서로 비교하면, 제 1 그루브(1421)가 제공된 증착면 또는 유리면의 경도는 제 1 그루브가 제공되지 않는 유리면 또는 증착면의 경도보다 작은 이유로 마스크 본체(10)가 부러지는 위험성이 어느 정도 존재하며, 이로 인하여 인장된 마스크 (100) 자체의 경도에 대한 영향을 줄일 수 있으며, 이에 따라 주름을 보다 감소시킬 수 있다.
바람직하게는, 제 1 그루브(1421)는 바닥면을 갖는 제 2 그루브 및 바닥면을 갖는 제 3 그루브를 포함하며, 더미 영역(142)의 증착면에 제 2 그루브가 제공되고, 더미 영역(142)의 유리면에 제 3 그루브가 제공된다. 제 2 그루브와 제 3 그루브는 더미 영역(142)의 두께 방형을 따라 서로 이격되어 배치된다. 즉, 제 2 그루브의 바닥면과 제 3 그루브의 바닥면 사이에 간격이 형성되며, 이로써 임의의 제 2 그루브와 임의의 제 3 그루브가 더미 영역(142)의 두께 방향에서 서로 연통되지 않도록 보장되며, 픽셀이 제 1 그루브를 통해 기판 상에 증착되는 것을 방지한다.
제 2 그루브 및 제 3 그루브의 더미 영역(142)의 두께 방향을 따른 깊이는 동일하거나 상이할 수 있고, 제 2 그루브 및 제 3 그루브의 횡단면 형상도 동일하거나 상이할 수 있다. 예를 들어, 제 2 그루브의 깊이가 제 3 그루브의 깊이보다 크거나, 제 2 그루브의 깊이가 제 3 그루브의 깊이와 같거나, 제 2 그루브의 깊이가 제 3 그루브의 깊이보다 작을 수 있다. 제 2 그루브 및 제 3 그루브의 깊이는 각각 서브 마스크(101) 두께의 절반이거나, 제 2 그루브 및 제 3 그루브의 깊이는 각각 서브 마스크(101)의 두께의 절반보다 크다.
일 실시예에서, 제 2 그루브 및 제 3 그루브는 각각 하나일 수 있다. 바람직하게는, 제 2 그루브는 서브 마스크(101)가 위치된 평면을 향한 제 1 투영(두께 방향의 투영)을 갖고, 제 3 그루브는 서브 마스크(101)가 위치한 평면을 향한 제 2 투영(두께 방향 투영)를 갖는다. 여기서, 제 1 투영 및 제 2 투영은 적어도 부분적으로 중첩되고, 제 2 그루브 및 제 3 그루브의 더미 영역(142)의 두께 방향을 따른 깊이의 합은 더미 영역(142)의 두께보다 작다.
바람직하게는, 제 2 그루브는 더미 영역(142)에서 증착면(18)의 대부분 또는 전체를 커버할 수 있고, 제 3 그루브는 더미 영역(142)에서 유리면(16)의 대부분 또는 전체를 커버할 수 있으며, 제 1 투영과 제 2 투영은 완전히 중첩된다. 다른 일 실시예에서, 제 1 투영과 제 2 투영은 완전히 중첩되지 않고, 예를 들어, 부분적으로 중첩될 수 있다.
또 다른 일 실시예에서, 제 2 그루브 및 제 3 그루브는 각각 2 개 이상일 수 있다. 구체적으로, 각 제 2 그루브는 서브 마스크(101)가 위치한 평면을 향한 제 1 투영을 갖고, 각 제 3 그루브 각각은 서브 마스크(101)가 위치한 평면을 향한 제 2 투영을 가지며, 제 1 투영 및 제 2 투영은 적어도 부분적으로 중첩되며, 제 2 그루브 및 제 3 그루브의 더미 영역(142) 두께 방향을 따른 깊이의 합은 더미 영역(142)의 두께보다 작다.
바람직하게는, 제 1 투영과 제 2 투영이 완전히 중첩될 수 있다. 다른 일 실시예에서, 제 1 투영과 제 2 투영은 완전히 중첩되지 않고, 부분적으로 중첩될 수 있다.
본 실시예에서, 제 2 그루브 및 제 3 그루브의 수는 동일하거나 상이할 수 있다. 예를 들어, 제 2 그루브는 2개이고, 제 3 그루브도 2개이거나, 또는 제 2 그루브는 2개이고, 제 3 그루브는 3개일 수 있다.
또 다른 일 실시예에서, 제 2 그루브 및 제 3 그루브는 각각 하나일 수 있다. 제 2 그루브는 서브 마스크(101)가 위치한 평면을 향한 제 1 투영을 갖고, 제 3 그루브는 서브 마스크(101)가 위치한 평면을 향한 제 2 투영을 가지며, 제 1 투영과 제 2 투영은 서로 중첩되지 않도록 배치된다.
바람직하게는, 제 1 투영 및 제 2 투영은 각각 복수 개이며, 제 1투영과 제 2 투영은 서로 교차하여 배치된다. 즉, 서브 마스크 (101)가 위치한 평면 상에서 제 2 그루브와 제 3 그루브는 서로 교차하여 배치하고, 각 제 1 투영과 각 제 2 투영은 서로 중첩하지 않고 분리되는 것이 바람직하다. 이럴 경우, 서로 인접한 제 2 그루브와 제 3 그루브의 깊이 합은 더미 영역(142)의 두께보다 크도록 설정할 수 있다. 이러한 설정은 더미 영역(142)이 두께 방향으로 관통되지 않도록 보장하여, 후속으로 수행되는 증착에 영향을 주지 않는다.
또 다른 일 실시예에서, 제 2 그루브 및 제 3 그루브는 각각 2개 이상일 수 있으며, 제 2 그루브는 더미 영역(142)이 위치한 평면을 향한 제 1 투영을 갖고, 제 3 그루브는 더미 영역(142)이 위치한 평면을 향한 제 2 투영을 갖는다. 제 1 투영과 제 2 투영은 서로 교차되도록 하고, 각 제 1 투영과 각 제 2 투영은 서로 중첩되지 않고 분리되는 것이 바람직하다. 이럴 경우, 서로 인접한 제 2 그루브와 제 3 그루브의 깊이 합은 더미 영역(142)의 두께보다 크게 설정될 수 있다. 이러한 설정은 더미 영역(142)이 두께 방향으로 관통되지 않도록 보장하여, 후속에서 수행되는 증착에 영향을 미치지 않는다.
다른 일 실시예에서, 더미 영역(142)에 제 2 증착홀(1422)과 제 1 그루브(1421)를 동시에 제공할 수 있다. 구체적으로, 제 2 증착홀(1422)과 제 1 그루브(1421)는 더미 영역 (142) 상에 이격되어 배치된다. 예를 들어,서로 인접한 2개의 제 2 증착홀(1422) 사이에 하나의 제 1 그루브(1421)가 배치되고, 서로 인접한 2개의 제 1 그루브(1421) 사이에 하나의 제 2 증착홀(1422)이 배치된다.
도10을 참조하면, 일 실시예에서, 차단부(14)와 증착 영역(12) 사이의 중량 차이가 작아지는 것을 보다 보장하기 위해, 하나 이상의 제 4 그루브(1442)가 차단부(14)의 격리 영역 (144)에서 두께 방향을 따라 하나 이상의 제 4 그루브(1442)를 배치하고, 그루브(1422)의 깊이는 서브 마스크(101)의 두께보다 작다. 제 4 그루브(1442)의 존재로 인해, 격리 영역(144)의 두께가 감소되며, 이에 의해 차단부(14)의 중량이 보다 감소하고, 차단부(14) 및 증착 영역(12)의 중량 차이는 작아지게 되어, 차단부(14)를 향한 응력 집중을 감소함으로써, 마스크 본체(10)는 인장 과정에서 균일한 힘을 받아 인장 중의 주름 현상을 감소시킬 수 있다.
구체적으로, 제 4 그루브(1442)는 하기의 3가지 방법 중의 하나를 이용하여 격리 영역(142)를 제공할 수 있다.
1. 제 4 그루브(1442)는 격리 영역(142)의 증착면 (18)에만 제공된다;
2, 제 4 그루브(1442)는 격리 영역(142)의 유리면(16)에만 제공된다;
3, 제 4 그루브(1442)는 격리 영역(142)의 증착면(18) 및 유리면(16)에 동시에 제공된다.
여기서 명시해야 할 것은, 격리 영역(142)의 증착면은 마스크 본체(10)의 증착면(18)의 일부이고, 격리 영역(142)의 유리면은 마스크 본체(10)의 유리면(16)의 일부이다.
도 10 및 도 11을 계속 참조하면, 일 실시예에서, 제 4 그루브(1442)는 격리 영역(144)의 유리면(16)에 제공된다. 즉, 제 4 그루브(1442)는 격리 영역(144)의 유리면(16)에만 제공된다. 바람직하게는, 격리 영역(144)의 증착면에 제공된 제 4 그루브(1442)는 하나이고, 하나의 제 4 그루브(1442)는 전면 하프에칭 방법으로 격리 영역(144)의 유리면에 제공된다. 다른 일 실시예에서, 격리 영역(144)의 유리면에 제공된 제 4 그루브(1442)는 2개 이상일 수 있고, 각 서로 인접한 2개의 제 4 그루브(1442) 사이에 간격이 있으며, 2개 이상의 제 4 그루브(1442)는 스트라이프 하프에칭 또는 도트 하프에칭 방법으로 격리 영역(144)의 유리면(16)에 제공된다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 다른 일 실시예에서, 제 4 그루브(1442)는 격리 영역(144)의 증착면(18)에 제공된다. 즉, 제 4 그루브(1442)는 격리 영역(144)의 증착면에만 제공된다. 바람직하게는, 격리 영역(144)의 증착면(18)에 제공된 제 4 그루브(1442)는 하나이고, 하나의 제 4 그루브(1442)는 전면 하프에칭 방법으로 격리 영역(144)의 증착면(18)에 제공된다. 본 실시예에서, 제 4 그루브(1442)는 격리 영역(144)의 증착면(18) 전체 또는 대부분 영역을 커버하도록 설치할 수 있으며, 제 4 그루브(1442)의 횡단면은 삼각형, 사각형 또는 오각형과 같은 다각형이나, 또는 원형 또는 타원형으로 구성될 수 있다. 전술한 바와 같이, 제 4 그루브(1422)가 격리 영역(144)의 증착면(18)의 전체를 커버할 경우, 제 4 그루브(1422)의 바닥면 크기와 격리 영역(144)의 증착면 크기는 동일할 수 있고, 이때 그루브(1422)의 바닥면은 격리 영역(144)의 증착면으로서 기능할 수 있다.
다른 일 실시예에서, 격리 영역(144)의 증착면(18)에 제공된 제 4 그루브(1442)는 2개 이상일 수 있고, 각 서로 인접한 2개의 제 4 그루브(1442) 사이에 간격이 있으며, 상기 2개 이상의 제 4 그루브(1442)는 스트라이프 하프에칭 또는 도트 하프에칭의 방법으로 격리 영역(144)의 증착면(18)에 제공된다. 스트라이프 하프에칭을 사용할 경우, 제 4 그루브(1442)의 횡단면 형상은 스트립 형상이고; 도트 하프에칭을 사용할 경우, 제 4 그루브(1442)의 횡단면 형상은 원형 또는 타원형이다. 다른 일 실시예에서, 제 4 그루브(1442)가 스트라이프 하프에칭을 사용할 경우, 제 4 그루브(1442)의 횡단면의 스트립의 장변은 마스크 본체(10)의 장변의 방향을 따라 연장되어, 인장 시 마스크(100)의 주름을 추가로 감소한다.
도 14를 참조하면, 또 다른 일 실시예에서, 제 4 그루브(1442)는 더미 영역(144)의 증착면(18)과 유리면(16)에 동시에 제공된다. 즉, 더미 영역(144)의 증착면(18) 및 유리면(16)에 각각 제 4 그루브(1442)가 제공된다. 여기서, 전술한 실시예에 따른 제 4 그루브(1442)는 더미 영역(144)의 증착면(18) 및 유리면(16) 중의 하나에 제공되는 경우에 비교하면, 더미 영역(144)의 증착면(18) 및 더미 영역(144)의 유리면에 제 4 그루브(1442)가 모두 제공되는 경우(제 4 그루브(1442)가 제공된 증착면 또는 유리면의 경도는 제 4 그루브가 없는 유리면 또는 증착면의 경도보다 작은 이유로, 마스크 본체(10)가 부러지는 위험성이 어느 정도 존재함), 마스크가 인장된 후, 마스크 (100) 자체의 경도에 대한 영향을 보다 감소하여, 주름을 추가로 감소한다.
바람직하게는, 제 4 그루브(1442)는 바닥면을 갖는 제 5 그루브 및 바닥면을 갖는 제 6 그루브를 포함하며, 더미 영역(144)의 증착면(18)에 제 5 그루브가 제공되고, 더미 영역(144)의 유리면(16)에 제 6 그루브가 제공된다. 제 5 그루브와 제 6 그루브는 더미 영역의 두께 방향을 따라 서로 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 제 5 그루브의 바닥면과 제 6 그루브의 바닥면 사이에 간격이 형성되어, 임의이 제 5 그루브와 임의의 제 6 그루브는 더미 영역 (144)의 두께 방향에서 서로 연통되지 않도록 보장하여, 픽셀이 격리 영역(144)에서 기판 상으로 증착되는 것을 방지한다.
제 5 그루브 및 제 6 그루브의 더미 영역(144) 두께 방향을 따른 깊이는 동일하거나 상이할 수 있고, 제 5 그루브 및 제 6 그루브의 횡단면 형상은 동일하거나 상이할 수 있다. 예를 들어, 제 5 그루브의 깊이는 제 6 그루브의 깊이보다 크거나, 제 5 그루브의 깊이는 제 6 그루브의 깊이와 같거나, 또는 제 5 그루브의 깊이는 제 6 그루브의 깊이보다 작을 수 있다. 제 5 그루브 및 제 6 그루브의 깊이는 각각 서브 마스크(101)의 두께의 절반일 수 있거나, 또는 제 5 그루브 및 제 6 그루브의 깊이는 각각 서브 마스크(101)의 두께의 절반보다 클 수 있다.
일 실시예에서, 제 5 그루브 및 제 6 그루브는 각각 하나일 수 있다. 구체적으로, 제 5 그루브는 격리 영역(144)이 위치한 평면에 향한 제 1 투영을 갖고, 제 6 그루브는 격리 영역(144)이 위치한 평면을 향한 제 2 투영을 갖는다. 제 1 투영 및 제 2 투영은 적어도 부분적으로 중첩되고, 제 5 그루브 및 제 6 그루브의 격리 영역(144)의 두께 방향을 따른 깊이의 합은 더미 영역(144)의 두께보다 작다.
바람직하게는, 제 5 그루브는 더미 영역(144)의 증착면(18)의 대부분 또는 전체를 커버할 수 있고, 제 6 그루브는 더미 영역(144)의 유리면(16)의 대부분 또는 전체를 커버할 수 있으며, 제 1 투영과 제 2 투영은 완전히 중첩된다. 다른 일 실시예에서, 제 1 투영과 제 2 투영은 완전히 중첩되지 않을 수 있으며, 예를 들어, 부분적으로 중첩될 수 있다.
또 다른 일 실시예에서, 제 5 그루브 및 제 6 그루브는 각각 2개 이상일 수 있다. 구체적으로, 제 5 그루브 각각은 격리 영역(144)이 위치한 평면을 향한 제 3 투영(두께 방향의 투영)을 갖고, 제 6 그루브 각각은 격리 영역(144)이 위치한 평면을 향한 제 4 투영(두께 방향의 투영)을 갖는다. 제 3 투영 및 제 4 투영은 적어도 부분적으로 중첩되며, 제 5 그루브 및 제 6 그루브의 더미 영역(144)의 두께 방향을 따른 깊이의 합은 더미 영역(144)의 두께보다 작다.
바람직하게는, 제 3 투영과 제 4 투영이 완전히 중첩될 수 있다. 다른 일 실시예에서, 제 3 투영과 제 4 투영은 완전히 중첩되지 않고 부분적으로 중첩될 수 있다.
본 실시예에서, 제 5 그루브 및 제 6 그루브의 수는 동일하거나 상이할 수 있으며, 예를 들어, 제 5 그루브의 수는 2개이고 제 6 그루브의 수도 2 개이며, 또는 제 5 그루브의 수는 2 개이고 제 6 그루브의 수는 3 개일 수 있다.
또 다른 일 실시예에서, 제 5 그루브 및 제 6 그루브는 각각 하나일 수 있다. 제 5 그루브는 격리 영역(144)에 위치한 평면을 향한 제 3 투영을 갖고, 제 6 그루브는 격리 영역(144)에 위치한 평면을 향한 제 4 투영을 가지며, 제 3 투영과 제 4 투영은 서로 중첩되지 않도록 배치된다.
바람직하게는, 제 3 투영 및 제 4 투영는 각각 복수개일 수 있고, 제 3투영과 제 4 투영은 서로 교차하여 배치된다. 즉, 격리 영역(144)이 위치한 평면 상에서 제 5 그루브와 제 6 그루브는 서로 교차하여 배치되며, 제 3 투영과 제 4 투영 각각은 서로 중첩하지 않고 분리되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 서로 인접한 제 5 그루브와 제 6 그루브의 깊이 합은 격리 영역(144)의 두께보다 크게 설정될 수 있다. 이러한 설정은 격리 영역(144)이 두께 방향으로 관통되지 않도록 하며, 후속으로 진행되는 증착에 영향을 주지 않는다.
또 다른 일 실시예에서, 제 5 그루브 및 제 6 그루브는 각각 2개 이상일 수 있으며, 제 5 그루브는 격리 영역(144)이 위치한 평면을 향한 제 1 투영을 갖고, 제 6 그루브는 격리 영역(144)이 위치한 평면을 향한 제 2 투영을 갖는다. 제 1 투영과 제 2 투영은 서로 교차하여 배치되며, 제 3 투영과 제 4 투영 각각은 서로 중첩되지 않고 분리되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 서로 인접한 제 5 그루브와 제 6 그루브의 깊이 합은 격리 영역(144)의 두께보다 크게 설정될 수 있다. 이러한 설정은 격리 영역(144)이 두께 방향으로 관통되지 않도록 하며, 후속으로 진행되는 증착에 영향을 주지 않는다.
다른 일 실시예에서, 격리 영역(144)에 제 3 증착홀을 설치하거나, 또는 격리 영역(144)에 제 3 증착홀과 제 4 그루브(1442)를 동시에 설치할 수 있다. 바람직하게는, 제 3 증착홀과 제 4 그루브(1442)은 격리 영역(144) 상에 이격되어 배치되며, 예를 들어, 각 서로 인접한 2개의 제 3 증착홀 사이에 하나의 제 4 그루브(1442)가 배치되고, 각 서로 인접한 2개의 제 4 그루브(1442) 사이에 하나의 제 4 증착홀이 배치된다.
본 출원에 의해 제공된 마스크는, 차단부(14)를 두 부분으로 분할하며, 더미 영역(142)에 제 2 증착홀(1422)이나 제 1 그루브(1421)를 제공한다. 상기 마스크(100)가 증착에 사용될 경우, 증착 재료는 제 1 증착홀(122) 및 제 2 증착홀(1422)을 통해 기판 상에 증착될 수 있으며, 제 2 증착홀(1422)이나 제 1그루브(1421)를 제공하여 차단부(14)의 중량을 감소시킬 수 있으며, 차단부(14)와 증착 영역(12) 사이의 중량 차이를 작아지게 하고 차단부(14)의 응력 집중을 감소시켜, 마스크 본체(10)가 인장 과정에서 균일한 힘을 받게 하며, 인장 과정에서 마스크 본체(10)의 주름 현상을 추가로 감소하는 한편, 더미 영역(142) 및 증착 영역(12) 사이에 격리 영역(144)을 배치하여 후속과정에서 제작된 디스플레이 스크린의 절단과 패키징에 유리하도록 한다.
도 15를 참조하면, 본 출원의 일 실시예는 마스크 프레임(20), 서포팅 스트립(30), 및 하나 이상의 상기 마스크(100)를 포함하는 마스크 어셈블리를 더 제공한다. 마스크(100)은 마스크 본체(10)를 포함하며, 마스크 본체(10) 상에 하나 이상의 서브 마스크(101)가 배치된다. 서포팅 스트립(30)은 마스크 프레임(20)에 고정 연결되고, 하나 이상의 마스크(100)가 서포팅 스트립(30) 상에 적층되어 배치되고, 마스크 프레임(30)에 고정 연결된다.
마스크 어셈블리는 작업하는 과정에서, 마스크(100)의 증착면은 증착 소스를 향하고, 마스크(100)의 유리면은 기판을 향하며, 서포팅 스트립(30)은 마스크(100)의 증착면 상에 위치되어 증착 과정에서 나타나는 마스크(100)의 처짐을 방지하고, 마스크(100)가 인장되는 과정에서 발생하는 주름 현상을 추가로 감소시킨다.
전술한 실시예의 기술적 특징은 임의로 조합될 수 있지만, 설명의 편의를 위해, 상기 실시예의 기술적 특징의 모든 가능한 조합은 설명되지 않으며, 이들 기술적 특징의 조합 사이에 모순이 없는 한, 모두 본 명세서의 범위로 간주한다.
전술한 실시예는 본 발명의 몇몇 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐이며, 그 설명은 보다 구체적이고 상세하지만, 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 해석되지 아니한다. 당업자는 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 이루어진 다양한 변화 및 수정은 본 발명의 청구범위에 속하는 것으로 이해되여야 한다. 따라서, 본 발명의 범위는 첨부된 청구 범위에 의해 결정된다.
Claims (20)
- 마스크로서,
증착 소스에 대향하여 설치된 증착면 및 증착 소스에 배향하여 설치된 유리면을 구비하는 마스크 본체; 및
증착 영역 및 차단부를 포함하고, 상기 마스크 본체 상에 배치된 하나 이상의 서브 마스크를 포함하며,
상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라, 상기 증착 영역에 상기 서브 마스크를 관통하는 제 1 증착홀이 제공되며,
상기 차단부는 격리 영역 및 더미 영역을 포함하고, 상기 더미 영역은 디스플레이 스크린의 이형의 영역에 대응하며, 상기 격리 영역은 상기 더미 영역과 상기 증착 영역 사이에 위치하며,
상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라, 상기 더미 영역에 제 2 증착홀이 제공되고, 상기 제 2 증착홀은 상기 서브 마스크를 관통하고, 및/또는 상기 더미 영역에 하나 이상의 제 1 그루브가 제공되고, 상기 제 1 그루브의 깊이는 상기 서브 마스크의 두께보다 작은 것인, 마스크. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 증착홀과 상기 제 1 증착홀의 형상은 동일한 것인, 마스크. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 증착홀은 상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라 서로 연통되도록 설치되는 제 1 하프에칭 홀 및 제 2 하프에칭 홀을 포함하며;
상기 제 1 하프에칭 홀은 상기 유리면에 제공되고, 상기 제 2 하프에칭 홀은 상기 증착면에 제공되며, 상기 제 1 하프에칭 홀은 상기 마스크 본체에서 상기 유리면에 가까운 일단으로부터 멀어지는 일단을 향하여 점진적으로 좁혀지고, 상기 제 2 하프에칭 홀은 상기 마스크 본체에서 상기 증착면에 가까운 일단으로부터 멀어지는 일단을 향하여 점진적으로 좁혀지면서 상기 제 1 하프에칭 홀과 연통되는 것인, 마스크. - 제 3 항에 있어서,
상기 제 1 하프에칭 홀의 개구의 서브 마스크 두께 방향을 따른 투영은 제 2 하프에칭 홀의 개구 내에 위치하는 것인, 마스크. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 그루브는 상기 증착면 또는 상기 유리면에 배치되는 것인, 마스크. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 그루브는 제 2 그루브 및 제 3 그루브를 포함하고, 상기 제 2 그루브는 상기 증착면에 배치되고, 상기 제 3 그루브는 상기 유리면에 배치되며; 상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라, 상기 제 2 그루브의 바닥면과 상기 제 3 그루브의 바닥면 사이에 간격이 형성되는 것인, 마스크. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 그루브의 횡단면 형상은 다각형, 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 하는 마스크. - 제 1 항에 있어서,
상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라, 상기 격리 영역에 하나 이상의 제 4 그루브가 제공되며, 상기 제 4 그루브의 깊이는 상기 서브 마스크의 두께보다 작은 것인, 마스크. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 4 그루브는 상기 증착면 또는 상기 유리면에 설치되는 것인, 마스크. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 4 그루브는 제 5 그루브 및 제 6 그루브를 포함하되, 상기 제 5 그루브는 상기 증착면에 설치되고, 상기 제 6 그루브는 상기 유리면에 설치되며; 상기 서브 마스크의 두께 방향을 따라, 상기 제 5 그루브의 바닥면과 상기 제 6 그루브의 바닥면 사이에 간격이 형성되는 것인, 마스크. - 제 10 항에 있어서,
상기 제 5 그루브의 깊이는 제 6 그루브의 깊이보다 크거나 같은 것인, 마스크. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 4 그루브의 횡단면 형상은 다각형, 원형 또는 타원형인 것인, 마스크. - 제 1 항에 있어서,
상기 마스크 본체는 평면도에서 제 1 중심선 및 제 2 중심선을 가지며, 상기 제 1 중심선 및 상기 제 2 중심선은 서로에 수직이며;
상기 마스크 본체 상에 2개 세트의 상기 서브 마스크가 제공되며, 각 상기 세트의 서브 마스크는 하나 이상의 상기 서브 마스크를 포함하고, 서로 인접된 2개의 상기 서브 마스크 사이에 간격이 형성되며, 2개 세트의 상기 서브 마스크는 상기 제 1 중심선에 대해 축대칭되고, 2개 세트의 상기 서브 마스크는 상기 제 2 중심선에 대해 축대칭되는 것인, 마스크. - 제 13 항에 있어서,
상기 제 2 중심선과 동일한 측에 위치한 상기 서브 마스크의 상기 차단부는 모두 제 2 중심선에 대향 또는 배향으로 설치되는 것인, 마스크. - 제 13 항에 있어서,
각 세트의 상기 서브 마스크는 하나 이상의 서브 세트 서브 마스크를 포함하고, 각 상기 서브 세트 서브 마스크는 2 개의 서로 인접한 상기 서브 마스크를 포함하며, 각 상기 서브 세트 서브 마스크에서 2개의 서로 인접한 상기 서브 마스크의 상기 차단부는 대향하여 설치되는 것인, 마스크. - 제 1항에 있어서,
상기 마스크 본체 상에 복수의 서브 마스크가 설치되고, 상기 복수의 서브 마스크는 행 또는 어레이 형태로 배치되며;
상기 마스크 본체는 상기 복수의 서브 마스크를 두 세트의 서브 마스크로 분할하기 위한 가상 분할선을 구비하며, 상기 두 세트의 서브 마스크는 상기 가상 분할선의 일측에 위치한 제 1 서브 마스크 세트 및 상기 가상 분할선의 다른 일측에 위치한 제 2 서브 마스크 세트를 포함하며, 상기 제 1 서브 마스크 세트 및 상기 제 2 서브 마스크 세트는 각각 하나 이상의 서브 마스크를 포함하며;
상기 제 1 서브 마스크 세트 및 상기 제 2 서브 마스크 세트에서 각 서브 마스크는 상기 가상 분할선에 대향하는 일측에 상기 차단부를 각각 설치하고; 또는, 상기 제 1 서브 마스크 세트 및 상기 제 2 서브 마스크에서 각 서브 마스크는 상기 가상 분할선에 배향하는 일측에 상기 차단부를 각각 설치하는 것인, 마스크. - 제 16항에 있어서,
상기 가상 분할선은 가상 직선인 것인, 마스크. - 제 1항에 있어서,
상기 마스크 본체 상에 복수의 서브 마스크가 제공되고, 상기 복수의 서브 마스크는 행 또는 어레이 형태로 배열되며;
동일 행에서 짝수개의 서로 인접한 상기 서브 마스크는 복수의 서로 인접한 서브 세트의 서브 마스크를 형성하고, 상기 서브 세트의 서브 마스크 각각은 2개의 인접 배치된 서브 마스크를 포함하며;
각 상기 서브 세트의 서브 마스크에서 2개의 서브 마스크의 서로 대향하는 일측에 각각 상기 차단부를 설치하고, 배향하는 일측에 상기 차단부를 설치하지 않으며; 또는, 각 상기 서브 세트의 서브 마스크에서 2개의 서브 마스크의 서로 대향하는 일측에 상기 차단부를 설치하지 않고, 배향하는 일측에 각각 상기 차단부를 설치하는 것인, 마스크. - 제 1항에 있어서,
상기 격리 영역은 상기 증착 영역의 오목부의 윤곽선에 매칭되는 더미 라인인 것을 특징으로 하는 마스크. - 마스크 어셈블리로서,
마스크 프레임, 서포팅 스트립 및 제 1 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 따른 마스크를 포함하고, 상기 서포팅 스트립은 상기 마스크 프레임에 고정 연결되고, 하나 이상의 상기 마스크는 상기 서포팅 스트립 상에 적층되어 배치되는 것인, 마스크 어셈블리.
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