WO2020242055A1 - 하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 - Google Patents

하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2020242055A1
WO2020242055A1 PCT/KR2020/005236 KR2020005236W WO2020242055A1 WO 2020242055 A1 WO2020242055 A1 WO 2020242055A1 KR 2020005236 W KR2020005236 W KR 2020005236W WO 2020242055 A1 WO2020242055 A1 WO 2020242055A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
mask
stick
structural
cell
stick mask
Prior art date
Application number
PCT/KR2020/005236
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
김정호
Original Assignee
주식회사 케이피에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이피에스 filed Critical 주식회사 케이피에스
Priority to CN202080032227.8A priority Critical patent/CN113785412A/zh
Priority to US17/601,352 priority patent/US20220181595A1/en
Publication of WO2020242055A1 publication Critical patent/WO2020242055A1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2051—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source
    • G03F7/2059—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam
    • G03F7/2063—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam for the production of exposure masks or reticles
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays

Definitions

  • the present invention relates to a hybrid stick mask and a method of manufacturing the same, a mask assembly including a hybrid stick mask, and an organic light emitting display device using the same, and more particularly, a hybrid stick mask for depositing a deposition material on a TFT glass, and manufacturing thereof A method, a mask assembly including a hybrid stick mask, and an organic light emitting display device using the same.
  • an organic light emitting device has the advantage of a wide viewing angle, excellent contrast, and a fast response speed. Accordingly, the area of use of organic light-emitting display devices (OLEDs) is gradually expanding.
  • the intermediate layer including the electrodes of the OLED and the emission layer can be formed by various methods, one of which is a deposition method.
  • the biggest difficulty in manufacturing high-resolution organic light-emitting display (OLED) in small and medium-sized organic light-emitting display (OLED) products is the organic material deposition process (deposition), which is the key to making RGB pixels in the organic light-emitting display (OLED) manufacturing process. ).
  • a fine metal mask (hereinafter referred to as “mask”) having the same pattern as the pattern of the thin film to be formed on the TFT glass is aligned and the raw material of the thin film is deposited to form a thin film having a desired pattern.
  • an organic material is heated in a deposition source located under a chamber, the heated organic material is sublimated, and deposited on a TFT glass through a mask located above.
  • the thickness of the mask is very thin, ranging from 5 ⁇ m to 30 ⁇ m, so if the mask is fixed without tensioning, deflection occurs in the direction of gravity, making it difficult to accurately reproduce the location of the hole. Eventually, it is separated from the TFT glass in the evaporation process, and as a result, color mixture defects occur.
  • the mask in order to maintain the TFT glass and flatness, the mask must be pulled tightly by applying a tensile force to maintain its elasticity.
  • To keep the mask taut make an additional wing for tensioning at the edge of the mask, and hold the wing part with a clamp that can apply tension and tension it.
  • a mask assembly is made by welding the overlapping portions of the mask edges to the frame.
  • AMOLED Active Matrix OLED
  • a large-area high-resolution display device is required.
  • UHD ultra-high resolution
  • a finer hole size and a denser gap between holes are required.
  • the thickness of the mask should also be thinner in order to refine the pixels for forming a high-resolution pattern and to prevent shadows, but there is a problem that it is difficult to implement a thickness less than a certain thickness with the currently commercialized technology.
  • stick mask In the conventional TFT glass ledger-sized mask, at present, several stick masks are tensioned and fixed to a frame and used in the form of a full mask assembly. In the case of stick mask, it is commercialized at the level of 500 ppi to 600 ppi, but it is difficult to implement more than that due to technical limitations.
  • stick masks have been manufactured using a wet etching method, and electroplating or laser processing methods are being attempted to make a thin film for high-resolution precision hole processing.
  • electroplating or laser processing methods are being attempted to make a thin film for high-resolution precision hole processing.
  • the size of the stick mask itself and the difficulty of tensile and welding of the thin film remain difficult to solve.
  • Republic of Korea Patent Publication No. 10-0534580 is a technology related to a deposition mask in which one or more pattern masks are individually fixed to a frame mask having one or more openings corresponding to the openings, and a plurality of openings are formed in a first direction.
  • a structural stick mask having a first bonding region provided along the periphery of the opening and having tensile fixing portions provided at both ends of the first direction so as to be fixed to the frame while a tensile force is applied is not disclosed.
  • One technical problem to be solved by the present invention is to provide a hybrid stick mask manufactured in an integrated form while dualizing the existing stick mask.
  • Another technical problem to be solved by the present invention is to provide a hybrid stick mask that overcomes the manufacturing limitations of the existing mask and the technical limitations of increasing the mask area, and improves the precision and mechanical strength of the mask.
  • Another technical problem to be solved by the present invention is to provide a hybrid stick mask capable of implementing a high-resolution and precise deposition pattern even with a large-area mask.
  • the present invention provides a hybrid stick mask.
  • the hybrid stick mask according to an embodiment of the present invention has a plurality of openings formed in a first direction and a first bonding region provided along a circumference of the opening, and the first direction is fixed to the frame while a tensile force is applied.
  • Stick masks for structures provided with tensile fixing portions at both ends of the;
  • a cell unit mask having a deposition area corresponding to the opening and a second bonding area formed along the periphery of the deposition area and bonded to the first bonding area.
  • Each of the cell unit masks may be individually coupled to the structural stick mask.
  • the structural stick mask may further include a reinforcing bar provided on a rear surface of a bonding surface with the cell unit mask to prevent a positional shift of the deposition region based on a position of the TFT of the TFT glass.
  • a plurality of the reinforcement bars may be arranged side by side apart from each other along the first direction.
  • the reinforcing rod may be formed of a reinforcing wall in a vertical direction surrounding a welding point between the cell unit mask and the structural stick mask.
  • a welding protrusion may protrude from a rear surface of a bonding surface with the cell unit mask.
  • a welding groove having a predetermined depth from a contact surface with the TFT glass may be stepped in the cell unit mask.
  • a welding protrusion may protrude from a base surface of the welding groove, and an upper end of the welding protrusion may be formed lower than the contact surface.
  • the cell unit mask may have a different coefficient of thermal expansion than the structural stick mask.
  • the cell unit mask may have a thickness different from that of the structural stick mask.
  • the deposition region includes a alignment hole through which the deposition material passes, and the alignment hole aligns the cell unit mask based on the TFT position of the TFT glass, and welding the cell unit mask You can determine the location.
  • the deposition region may be hole-processed by any one of wet etching, electroplating, and laser processing.
  • a plurality of openings formed to correspond to the deposition area of each cell unit mask in a first direction and a plurality of openings provided at both ends of the first direction to be fixed to the frame while a tensile force is applied. It includes a structural stick mask having a tensile fixing portion, and each of the cell unit masks may be individually coupled to the structural stick mask.
  • the structural stick mask further includes a reinforcing rod provided on the rear surface of the bonding surface with the cell unit mask to prevent the position of the deposition region from being shifted based on the position of the TFT in the first direction.
  • the present invention provides a method of manufacturing a hybrid stick mask.
  • a method of manufacturing a hybrid stick mask includes a structural stick mask stretching step of stretching a structural stick mask in a first direction; A cell-by-cell mask stretching step of stretching the cell-by-cell mask in the first direction or in a second direction orthogonal to the first direction and the first direction; A cell-by-cell mask alignment step of aligning the cell-by-cell mask so that the deposition area of the cell-by-cell mask corresponds to each opening of the structural stick mask; And a cell-based mask fixing step of fixing the cell-based mask to the structural stick mask, wherein in the stretching of the cell-based mask and the fixing of the cell-based mask, each of the cell-based masks is individually applied to the structural stick mask. Can be tensioned and fixed.
  • a welding protrusion may protrude from the lower surface of the structural stick mask.
  • a welding protrusion protrudes from the base of the welding groove of the cell-by-cell mask, and the The welding groove may be formed to have a predetermined depth from a contact surface with the TFT glass on one surface of the cell unit mask.
  • the present invention provides a mask assembly using a hybrid stick mask.
  • a mask assembly includes: a frame having an opening formed therein and a third bonding region formed along a circumference of the opening; And a plurality of hybrid stick masks having both ends fixed to the third bonding region in a state in which a tensile force is applied in the first direction, wherein the hybrid stick mask includes the hybrid stick mask of any one of claims 1 to 13 It can be formed using.
  • a support portion may be further provided between the frame and the hybrid stick mask in the first direction to support and fix the hybrid stick mask, and to block a gap between the hybrid stick masks adjacent to each other.
  • the present invention provides an organic light emitting display device formed using a hybrid stick mask.
  • An organic light emitting display device includes: a TFT glass; A plurality of thin film transistors disposed on the TFT glass; A plurality of pixel electrodes electrically connected to the thin film transistor; Deposition layers disposed on the pixel electrodes; And a counter electrode disposed on the deposition layers, wherein at least one of the thin film transistor, the pixel electrode, the deposition layer, and the counter electrode comprises the hybrid stick mask of any one of claims 1 to 13. It can be formed using.
  • a conventional stick mask type frame and a stick mask type tension system can be used as it is as a hybrid stick mask.
  • the existing stick mask by dividing the existing stick mask into a structural stick mask and a cell-by-cell mask, it is possible to manufacture it small and thin in a cell-by-cell mask unit, so that it is manufactured by electroplating or laser processing as well as conventional wet etching. This is possible, and there is an advantage of making a display device through a high-resolution mask.
  • the thickness of the deposition area of the cell-based mask can be reduced to enable high-resolution hole processing, while minimizing the shadow phenomenon, and supporting the structural stick.
  • the mask is thickened to prevent damage during tensioning and welding, and it is easy to implement a large-area organic light emitting display device with high resolution.
  • the ribs of the structural stick mask are not bent by the tensile force and the cell Since it is possible to minimize the positional deformation of the unit mask, there is an advantage of implementing a mask assembly having a large area.
  • the cell unit mask due to heat applied during the manufacturing process of the hybrid stick mask and the mask assembly and the deposition process inside the evaporator The occurrence of displacement can be relatively minimized.
  • the thickness between the structural stick mask and the cell unit mask by varying the thickness between the structural stick mask and the cell unit mask, it is possible to implement a cell unit mask that is thinner than that of the existing stick mask, so that the generation and reliability of a large area high resolution and precise deposition pattern can be improved. There is an advantage.
  • a welding protrusion occurs due to welding on the lower surface of the structural stick mask, which is the back surface of the contact surface with the TFT glass, so that the TFT glass adheres to the hybrid stick mask without lifting, thereby reducing deposition defects.
  • a welding groove is provided that is recessed to a certain depth from the contact surface, and a welding protrusion is formed on the base surface of the welding groove, but the upper end of the welding protrusion is formed lower than the contact surface, so that the contact surface with the TFT glass.
  • a tensile force can be applied to the cell unit mask in the first direction as well as the second direction, so that the total pitch of the mask can be more precisely controlled.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a hybrid stick mask according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a portion A-A' of FIG. 1.
  • FIG. 3 is a manufacturing process diagram showing a cell unit mask tensilely bonded to the structural stick mask according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view showing a structural stick mask according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a plan view illustrating a cell unit mask according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a perspective view showing a hybrid stick mask according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of a portion A-A' of FIG. 6.
  • FIG. 8 is a manufacturing process diagram showing a cell unit mask tensilely bonded to a structural stick mask according to a second embodiment of the present invention.
  • 9A and 9B are plan views illustrating a cell unit mask according to a second exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a perspective view showing a hybrid stick mask according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 10.
  • FIG. 12 is a partially enlarged cross-sectional view A-A' showing a hybrid stick mask bonded by a laser beam irradiated from a lower surface according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a manufacturing process diagram showing a cell unit mask tensilely bonded to a structural stick mask according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a bottom view showing a structural stick mask according to a third embodiment of the present invention.
  • 15A to 15C are schematic diagrams for explaining the effect of the reinforcing rod according to the third embodiment of the present invention.
  • 16 is a schematic diagram illustrating a process of assembling a reinforcement bar according to a third embodiment of the present invention.
  • 17 is a perspective view showing a hybrid stick mask according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 18 is a partially enlarged cross-sectional view A-A' showing a hybrid stick mask bonded by a laser beam irradiated from a lower surface according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 19 is a manufacturing process diagram showing a cell unit mask tensilely bonded to a structural stick mask according to a fourth embodiment of the present invention.
  • 20 is a bottom view showing a structural stick mask according to a fourth embodiment of the present invention.
  • 21 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a hybrid stick mask according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 22 is a perspective view showing a manufacturing process of the mask assembly according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 23 is a front cross-sectional view of a portion B-B' in FIG. 22.
  • FIG. 24 is a perspective view showing a manufacturing process of the mask assembly according to the second embodiment of the present invention.
  • 25 is a perspective view showing a manufacturing process of the mask assembly according to the third embodiment of the present invention.
  • 26 is a perspective view showing a manufacturing process of the mask assembly according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 27 is a front cross-sectional view of a portion B-B' in FIG. 26;
  • FIG. 28 is a perspective view showing a manufacturing process of the mask assembly according to the fifth embodiment of the present invention.
  • 29 is a perspective view showing a manufacturing process of the mask assembly according to the sixth embodiment of the present invention.
  • FIG. 30 is a perspective view showing a frame according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 31 is a schematic cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device manufactured using the hybrid stick mask of FIGS. 1 to 20.
  • first bonding region 113 tensile fixing portion
  • t1 Structural stick mask thickness
  • t2 Mask thickness per cell
  • the present invention provides a hybrid stick mask.
  • the hybrid stick mask according to an embodiment of the present invention has a plurality of openings formed in a first direction and a first bonding region provided along a circumference of the opening, and the first direction is fixed to the frame while a tensile force is applied.
  • Stick masks for structures provided with tensile fixing portions at both ends of the;
  • a cell unit mask having a deposition area corresponding to the opening and a second bonding area formed along the periphery of the deposition area and bonded to the first bonding area.
  • Each of the cell unit masks may be individually coupled to the structural stick mask.
  • a plurality of openings formed to correspond to the deposition area of each cell unit mask in a first direction and a plurality of openings provided at both ends of the first direction to be fixed to the frame while a tensile force is applied. It includes a structural stick mask having a tensile fixing portion, and each of the cell unit masks may be individually coupled to the structural stick mask.
  • a method of manufacturing a hybrid stick mask includes a structural stick mask stretching step of stretching a structural stick mask in a first direction; A cell-by-cell mask stretching step of stretching the cell-by-cell mask in the first direction or in a second direction orthogonal to the first direction and the first direction; A cell-by-cell mask alignment step of aligning the cell-by-cell mask so that the deposition area of the cell-by-cell mask corresponds to each opening of the structural stick mask; And a cell-based mask fixing step of fixing the cell-based mask to the structural stick mask, wherein in the cell-based mask stretching step and the cell-based mask fixing step, each of the cell-based masks is individually applied to the structural stick mask. Can be tensioned and fixed.
  • a mask assembly includes: a frame having an opening formed therein and a third bonding region formed along a circumference of the opening; And a plurality of hybrid stick masks having both ends fixed to the third bonding region in a state in which a tensile force is applied in the first direction, wherein the hybrid stick mask includes the hybrid stick mask of any one of claims 1 to 13 It can be formed using.
  • the present invention provides an organic light emitting display device formed using a hybrid stick mask.
  • An organic light emitting display device includes: a TFT glass; A plurality of thin film transistors disposed on the TFT glass; A plurality of pixel electrodes electrically connected to the thin film transistor; Deposition layers disposed on the pixel electrodes; And a counter electrode disposed on the deposition layers, wherein at least one of the thin film transistor, the pixel electrode, the deposition layer, and the counter electrode comprises the hybrid stick mask of any one of claims 1 to 13. It can be formed using.
  • first, second, and third are used to describe various elements, but these elements should not be limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another component. Therefore, what is referred to as a first component in one embodiment may be referred to as a second component in another embodiment.
  • first component in one embodiment may be referred to as a second component in another embodiment.
  • second component in another embodiment.
  • Each embodiment described and illustrated herein also includes its complementary embodiment.
  • 'and/or' is used to mean including at least one of the elements listed before and after.
  • connection is used to include both indirectly connecting a plurality of constituent elements and direct connecting.
  • the hybrid stick mask is used in a horizontal deposition system, but is not limited thereto.
  • the first direction refers to the Y-axis of the Cartesian coordinate system in the longitudinal direction of the hybrid stick mask
  • the second direction refers to the X-axis of the Cartesian coordinate system in the width direction of the hybrid stick mask
  • the Z-axis is sequential in the vertical direction.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a hybrid stick mask 100 according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view AA′ of FIG. 1
  • FIG. 3 is a structural stick according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view showing a structural stick mask according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 5 is a first embodiment of the present invention. It is a plan view showing the cell unit mask according to the.
  • the hybrid stick mask 100 may be used in a deposition process of depositing a deposition material on a TFT glass (not shown).
  • the substrate S may be a transparent material, such as a glass material, a plastic material, or a metal material, but in the present invention, a TFT glass (not shown) will be described as an example among various types of substrates S. Therefore, it is not limited thereto.
  • the hybrid stick mask 100 may include a structural stick mask 110 and a plurality of cell unit masks 120.
  • the hybrid stick mask 100 may have a structure in which a structural stick mask 110 and a cell unit mask 120 are vertically stacked on an upper surface thereof.
  • the hybrid stick mask 100 may be replaced by a cell unit mask 120 or a structural stick mask 110 to be described later.
  • the structural stick mask 110 has a total pitch, which is a manufacturing tolerance of the cell-unit mask 120, which will be described later. You can keep it constant.
  • the structural stick mask 110 may be fixed to the frame 200 while a tensile force is applied to support the cell unit mask 120.
  • a plurality of openings 111 may be formed in the structural stick mask 110 in a first direction.
  • the structural stick mask 110 may have a first bonding region 112 and a tensile fixing portion 113. Further, it may further include a welding protrusion 115.
  • the opening 111 may expose the deposition region 121 of the cell unit mask 120 in the Z direction.
  • the opening 111 may have a vertical penetrating shape.
  • the plurality of openings 111 may be spaced apart from each other by a rib.
  • the opening 111 may be formed in a size and shape corresponding to the deposition area 121 of the cell unit mask 120.
  • One opening 111 may correspond to each cell unit mask 120.
  • Each of the openings 111 may form a symmetrical arrangement along the first direction.
  • the opening 111 may be processed with a lower precision than the deposition area 121 of the cell-unit mask 120.
  • the opening 111 has a rectangular shape because of convenience in manufacturing and processing, but does not necessarily have a rectangular shape, such as when the size is different or irregular.
  • the opening edge surrounding the opening 111 may have an inclined surface that becomes narrower in the Z+ direction in order to increase the chamfering rate according to a predetermined thickness of the structural stick mask 110 according to the first embodiment.
  • the first bonding region 112 may support the cell-based mask 120 and provide an area bonded to the second bonding region 123 of the cell-based mask 120. .
  • the first bonding region 112 may be provided along the circumference of the opening 111.
  • the first bonding area 112 may support the cell unit mask 120 by making surface contact with the second bonding area 123 to be described later.
  • the structural stick mask 110 and the cell unit mask 120 may be bonded by welding between the first bonding area 112 and the second bonding area 123.
  • the first bonding region 112 may have a rectangular shape.
  • the first junction region 112 according to an embodiment may have different widths in the first direction and the second direction.
  • the tension fixing part 113 may be a region protruding from both ends of the structural stick mask 110.
  • the tension fixing part 113 may be a region to which clamp devices (not shown) provided at both ends of the first direction to apply a tensile force to the structural stick mask 110 are engaged.
  • the region in which the clamping device (not shown) is engaged in the tension fixing part 113 may have a wing shape symmetrically at the edges.
  • the tension fixing part 113 may include a region welded by a laser beam of a laser welding machine (not shown) provided at the upper portion in the Z direction.
  • the tension fixing part 113 may be fixed to the frame 200 by welding while a tensile force is applied.
  • a clamp device may be provided on each of the tensioning fixing portions 113 to tension the structural stick mask 110.
  • a clamp device (not shown) applies a tensile force to the tension fixing part 113 in the first direction
  • the structural stick mask 110 can be fixed to the frame 200 in a taut state.
  • the tension fixing part 113 may include a fixing area coupled to the frame 200. At this time, it may be fixed to the frame 200 by a method such as welding.
  • the welding protrusion 115 is the lower surface of the structural stick mask 110, that is, the structural stick mask 110 in order to increase the adhesion between the cell unit mask 120 and the TFT glass (not shown). ) May be formed to protrude on the rear surface of the bonding surface with the cell unit mask 120.
  • the laser beam is irradiated in the Z+ direction from the back surface of the bonding surface with the cell-based mask 120, as shown in FIGS. 2 and 3. I can.
  • the welding protrusion 115 may be formed at a welding point.
  • the welding point refers to a region in which the welding protrusion 115 is formed by a laser beam in order to combine each of the cell unit masks 120 and the structural stick masks 110.
  • a plurality of welding protrusions 115 may be provided at predetermined intervals at the welding point.
  • the laser welding device may be provided under the structural stick mask 110.
  • the welding protrusion 115 may be formed on the back surface of the bonding surface with the cell unit mask 120 by a laser beam irradiated by a laser welding device (not shown). Accordingly, irregularities due to separate welding are not generated on the contact surface 124 of the cell unit mask 120 facing the TFT glass (not shown) with the TFT glass. Accordingly, even though the welding process is performed, the TFT glass (not shown) and the hybrid stick mask 100 are adhered in close contact with each other in the deposition process, so that lifting does not occur, so that a shadow phenomenon can be minimized.
  • the structural stick mask 110 may have a stick shape having a constant length in the first direction.
  • the structural stick mask 110 may be manufactured with a manufacturing error lower than that of the cell unit mask 120.
  • the structural stick mask 110 can be manufactured with a lower manufacturing error compared to the existing stick mask.
  • the structural stick mask 110 may have a width (width), a shape, and a size that are symmetrical to each other so as to apply a uniform tensile force to the mask 120 for each cell.
  • the structural stick mask 110 may be made of a metal material including a steel component in which an attractive force acts on a magnetic body.
  • the structural stick mask 110 may have magnetic properties. Accordingly, when the hybrid stick mask 100 is in close contact with the TFT glass (not shown), an attractive force is applied to the hybrid stick mask 100 in the Z+ direction by the magnetic material provided thereon, so that the TFT glass (not shown) and the hybrid stick mask ( 100) It can increase the adhesion between the liver.
  • the structural stick mask 110 may have a thermal expansion coefficient different from that of the cell unit mask 120. More specifically, the structural stick mask 110 may have a relatively small coefficient of thermal expansion compared to the cell unit mask 120. Accordingly, since the structural stick mask 110 has a small coefficient of thermal expansion, distortion due to heat generated during the deposition process can be minimized.
  • the structural stick mask 110 may have a thickness different from that of the cell unit mask 120. More specifically, the structural stick mask 110 may have a thickness greater than or equal to a predetermined thickness compared to the cell unit mask 120. Unlike the cell unit mask 120, by relatively thickening the thickness of the structural stick mask 110, it is possible to prevent a positional misalignment during tensioning and welding, as well as damage due to tensioning and welding.
  • the structural stick mask 110 may have a thickness of 100 ⁇ m to 200 ⁇ m.
  • hybrid stick mask 100 which is a cell-unit mask 120.
  • the cell unit mask 120 in the cell unit mask 120, a deposition material passes through the deposition region 121 and is deposited on a TFT glass (not shown) in the deposition process step to form a thin film (metal layer or organic light-emitting layer, etc.) having a desired shape. ) To form.
  • the cell unit mask 120 may include a deposition region 121 and a second bonding region 123. Further, it may further include a positioning hole 122.
  • each of the cell unit masks 120 may be individually coupled to the structural stick mask 110.
  • each of the cell unit masks 120 may be intermittently disposed on the structural stick mask 110 in the first direction. That is, a plurality of cell unit masks 120 may be bonded to the structural stick mask 110 while being spaced apart from each other by a rib in the first direction.
  • the cell unit mask 120 may have a plate-like thin film shape.
  • the cell unit mask 120 may have a thickness of 5 ⁇ m to 25 ⁇ m.
  • the cell unit mask 120 may have one surface in surface contact with a TFT glass (not shown), and the other surface may be bonded to and supported by the structural stick mask 110.
  • the cell unit mask 120 may be provided on the upper surface of the structural stick mask 110 in the Z direction.
  • the deposition region 121 may be formed of a plurality of pattern holes through which the deposition material passes.
  • the deposition region 121 may have a location, size, and shape corresponding to the opening 111.
  • the deposition area 121 may have a smaller area than the opening 111 in the first direction and the second direction.
  • the opening 111 of the structural stick mask 110 may be formed larger than the deposition region 121 but smaller than the cell unit mask 120.
  • the deposition region 121 is presented as an arrangement of a plurality of holes, but may have a plurality of slit shapes.
  • the deposition area 121 may include a position alignment hole 122.
  • the deposition region 121 may be hole-processed by any one of wet etching, electroplating, and laser processing. That is, since the cell unit mask 120 can be manufactured to be small and thin, it is possible to process the cell unit mask 120 having the precise deposition area 121 by wet etching, electroplating, or laser processing.
  • the second bonding area 123 may provide a bonding area to the structural stick mask 110.
  • the second bonding region 123 may be provided along the periphery of the deposition region 121.
  • the second junction region 123 may be a region of the cell unit mask 120 excluding the deposition region 121.
  • the second bonding area 123 may be an area in surface contact with the first bonding area 112.
  • the second bonding area 123 may be supported by the first bonding area 112.
  • the structural stick mask 110 and the cell unit mask 120 may be bonded by welding between the first bonding area 112 and the second bonding area 123.
  • the area of the second junction area 123 may have a rectangular shape.
  • the second bonding region 123 according to an embodiment may have different widths in the first direction and the second direction.
  • the alignment hole 122 may be formed of selected holes among R, G, and B pixels of the OLED for passing the deposition material.
  • the alignment hole 122 may serve as a reference for aligning the cell unit mask 120 based on the TFT position of the TFT glass (not shown).
  • the alignment hole 122 may determine a welding position of the cell-based mask 120. Since the position alignment hole 122 of the cell unit mask 120 corresponds to the TFT position of the TFT glass (not shown), the position of each cell unit mask 120 can be aligned based on the absolute coordinate value of the TFT position. have.
  • the cell unit mask 120 may have a different coefficient of thermal expansion than the structural stick mask 110. More specifically, the cell unit mask 120 may have a relatively high coefficient of thermal expansion compared to the structural stick mask 110. Accordingly, when a tensile force is applied to the structural stick mask 110 in the first direction, the deformation applied to the structural stick mask 110 may be relatively less than that of the cell unit mask 120. Accordingly, it is possible to minimize a positional shift of the cell-based mask 120 having a large coefficient of thermal expansion while the structural stick mask 110 supports each of the cell-based masks 120.
  • the cell unit mask 120 may have a thickness different from that of the structural stick mask 110. More specifically, the cell unit mask 120 may have a relatively thin thickness compared to the structural stick mask 110. (t2 ⁇ t1) Accordingly, a stronger tensile force is applied to hold the structural stick mask 110 It can be pulled, and the sagging of the structural stick mask 110 can be relatively reduced compared to the cell unit mask 120. As a result, since the structural stick mask 110 supports each of the cell unit masks 120, sagging due to the self weight of the cell unit mask 120 may be minimized. In this case, the cell unit mask 120 may have a thickness of 5 ⁇ m to 25 ⁇ m.
  • hybrid stick mask 100 according to the second embodiment of the present invention will be described focusing on differences from the hybrid stick mask 100 according to the first embodiment of the present invention.
  • the omitted description may be replaced with the contents of the hybrid stick mask 100 of the first embodiment described with reference to FIGS. 1 to 5 above.
  • the cell unit mask 120 when the cell unit mask 120 is coupled to the structural stick mask 110, a laser beam is irradiated from the top so that the welding protrusion 126 is formed in the cell unit mask ( It may have a feature formed on the bottom of the welding groove 125 of 120).
  • FIG. 6 is a perspective view showing a hybrid stick mask according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 7 is a partial enlarged cross-sectional view of AA′ of FIG. 6,
  • FIG. 8 is a tensile strength on a structural stick mask according to a second embodiment of the present invention.
  • a manufacturing process diagram showing a unit cell mask to be bonded and FIGS. 9A and 9B are plan views showing a unit cell mask according to a second exemplary embodiment of the present invention.
  • a welding groove 125 may be formed.
  • the cell unit mask 120 according to the second exemplary embodiment has a thickness thicker than that of the cell unit mask 120 according to the first exemplary embodiment. That is, the cell unit mask 120 according to the second exemplary embodiment may have a thickness equal to or greater than a certain thickness so as not to affect durability of the cell unit mask 120 even when the welding groove 125 is formed.
  • the welding groove 125 is formed with the cell-based mask 120 due to the welding protrusion 126 formed by welding when the cell-based mask 120 and the structural stick mask 110 are joined. It is possible to prevent separation between TFT glasses (not shown). That is, the welding groove 125 may be provided to closely contact the cell unit mask 120 with the TFT glass (not shown) in a deposition process even when welding by a laser beam irradiated from the top. The welding groove 125 may be stepped to a predetermined depth from the contact surface 124 with the TFT glass, which is one surface of the cell mask 120.
  • the welding groove 125 may have a predetermined depth from the contact surface 124 with the TFT glass, and may be a region in which a welding protrusion 126 to be described later is formed. As shown in FIGS. 9A to 9B, the welding groove 125 having a step difference may be formed in various shapes on the top of the contact surface 124 with the TFT glass (not shown).
  • the welding protrusion 126 may protrude from the base surface of the welding groove 125.
  • the upper end of the welding protrusion 126 may be formed to be lower than the contact surface 124 with the TFT glass.
  • the contact surface 124 with the TFT glass is in the Z+ direction by t3 from the upper end of the welding protrusion 126.
  • hybrid stick mask 100 according to a third embodiment of the present invention will be described focusing on differences from the hybrid stick mask 100 according to the first embodiment of the present invention.
  • the omitted description may be replaced with the contents of the hybrid stick mask 100 of the first embodiment described with reference to FIGS. 1 to 5 above.
  • hybrid stick mask 100 In the hybrid stick mask 100 according to the third embodiment of the present invention, it is characterized in that it is a structural stick mask 110 provided with a reinforcing bar 114a.
  • FIG. 10 is a perspective view showing a hybrid stick mask 100 according to a third embodiment of the present invention
  • FIG. 11 is a cross-sectional view taken along AA′ of FIG. 10
  • FIG. 12 is a bottom surface irradiated according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a cell unit mask 120 tensilely bonded to the structural stick mask 110 according to the third embodiment of the present invention.
  • Fig. 14 is a diagram showing a manufacturing process
  • Fig. 14 is a bottom view showing a structural stick mask 110 according to a third embodiment of the present invention
  • Figs. 15A to 15C illustrate the effect of the reinforcing rod according to the third embodiment of the present invention.
  • Fig. 16 is a schematic diagram for explaining a bonding process of a reinforcement rod according to a third embodiment of the present invention.
  • the structural stick mask 110 may have a first bonding region 112 and a tensile fixing part 113. Further, it may further include a reinforcing bar (114a) and a welding protrusion (115).
  • the structural stick mask 110 may have a thickness different from that of the cell unit mask 120. More specifically, the structural stick mask 110 may have a thickness greater than or equal to a predetermined thickness compared to the cell unit mask 120. Unlike the cell unit mask 120, by relatively thickening the thickness of the structural stick mask 110, it is possible to prevent a positional misalignment during tensioning and welding, as well as damage due to tensioning and welding.
  • the structural stick mask 110 may have a thickness of 30 ⁇ m to 100 ⁇ m.
  • the reinforcing bar 114a may prevent the position of the cell unit mask 120, particularly the deposition region 121, to be described later. Accordingly, the deposition region 121 may have a coordinate value corresponding to a location of the TFT of the TFT glass (not shown).
  • the reinforcing bar 114a may be provided on the rear surface of the bonding surface with the cell unit mask 120. A plurality of reinforcing bars 114a may be arranged side by side apart from each other along the first direction.
  • the reinforcing bar 114a may have a thickness of a predetermined thickness or more so as to prevent a positional shift of the cell-based mask 120.
  • the reinforcing bar 114a may have a certain strength so as not to bend when combined with the cell unit mask 120.
  • the reinforcing bar 114a may have a low weight material so that sagging due to its own weight does not occur in the Z direction.
  • the reinforcing bar 114a may be made of a metal material including a steel component in which an attractive force acts on the magnetic body.
  • the structural stick mask 110 and the reinforcing rod 114a have magnetism, when the hybrid stick mask 100 is in close contact with the TFT glass (not shown), the hybrid stick mask 100 is attracted in the Z+ direction by the magnetic material provided on the upper part. By acting, it is possible to increase the adhesion between the TFT glass (not shown) and the hybrid stick mask 100.
  • the reinforcing rod 114a is a structural stick by a laser beam irradiated from a laser welding machine (not shown) provided on the back surface of the bonding surface of the structural stick mask 110, that is, under the structural stick mask 110. It may be welded to the mask 110.
  • the reinforcing bar 114a may be a reinforcing wall.
  • the reinforcing wall may be formed of a wall in a vertical direction surrounding the welding point. Welding protrusions may be formed on the lower surface of the reinforcing wall along the reinforcing wall at regular intervals to avoid interference with the welding joint for bonding to the cell unit mask 120.
  • the welding point may provide a bonding region by welding for bonding the cell-based mask 120 to the structural stick mask 110.
  • the area of the corresponding welding point to increase the bonding force between the structural stick mask 110 and the cell unit mask 120 It can be prepared by excluding.
  • the tensile force When a tensile force is applied to the structural stick mask 110 in the first direction, the tensile force is applied only to the edges in the first direction to become taut, and the tensile force is not applied to the ribs provided in the second direction, which is an area between the edges.
  • the cell unit mask 120 to which a tensile force is applied in the first direction or the first direction and the second direction may be coupled to the second opening 111 of the structural stick mask 110.
  • the tensile force applied to the cell unit mask 120 in the first direction is released at the same time as the coupling, the deformation in the (-) direction of the first direction as shown in FIG. 15B is applied to the rib to which the tensile force is not transmitted. Can happen.
  • the reinforcing rod 114a has a rib of the structural stick mask regardless of the presence or absence of a tensile force applied when each cell unit mask 120 to which a tensile force is applied is coupled to the structural stick mask 110. It can serve as a support to prevent deformation from occurring.
  • the welding protrusion 115 may be formed at a welding point, which is an area inside the reinforcing wall, as shown in FIGS. 11, 12, and 16.
  • a welding protrusion 115 may be formed at a welding point inside the reinforcing bar 114a by a laser welding device (not shown) provided under the structural stick mask 110.
  • hybrid stick mask 100 according to a fourth embodiment of the present invention will be described focusing on differences from the hybrid stick mask 100 according to the second and third embodiments of the present invention.
  • the omitted description may be replaced by the contents of the hybrid stick mask 100 of the first to third embodiments described in FIGS. 1 to 16 above.
  • hybrid stick mask 100 In the hybrid stick mask 100 according to the fourth embodiment of the present invention, it is characterized in that it is a structural stick mask 110 provided with a reinforcing bar 114b.
  • FIG. 17 is a perspective view showing a hybrid stick mask according to a fourth embodiment of the present invention
  • FIG. 18 is a portion AA′ showing a hybrid stick mask bonded by a laser beam irradiated from the lower surface according to the fourth embodiment of the present invention
  • Fig. 19 is an enlarged cross-sectional view
  • Fig. 19 is a manufacturing process diagram showing a cell-unit mask tensilely bonded to a structural stick mask according to a fourth embodiment of the present invention
  • Fig. 20 is a bottom view showing a structural stick mask according to the fourth embodiment of the present invention Is also.
  • the reinforcing bar 114b according to the fourth embodiment may have a rectangular parallelepiped shape and may have a predetermined thickness and width corresponding to the ribs of the structural stick mask 110.
  • a welding protrusion 126 may be formed on the rear surface of the bonding surface with the cell unit mask 120 for bonding with the reinforcing bar 114b.
  • the reinforcement table 114b and the structural stick mask 110 may be coupled by a laser beam provided under the reinforcement table 114b.
  • a welding groove 125 may be formed.
  • the cell unit mask 120 according to the fourth exemplary embodiment has a thickness thicker than that of the cell unit mask 120 according to the first or third exemplary embodiment. That is, the cell unit mask 120 according to the fourth exemplary embodiment may have a thickness of a certain thickness or more so as not to affect durability of the cell unit mask 120 even when the welding groove 125 is formed.
  • the welding groove 125 is separated between the cell mask 120 and the TFT glass (not shown) due to the welding protrusion 126 formed by welding when the cell mask 120 and the structural stick mask 110 are coupled. It can be prevented from occurring. That is, the welding groove 125 may be provided to closely contact the cell unit mask 120 with the TFT glass (not shown) in a deposition process even when welding by a laser beam irradiated from the top. The welding groove 125 may be stepped to a predetermined depth from the contact surface 124 with the TFT glass, which is one surface of the cell mask 120.
  • 21 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a hybrid stick mask according to an embodiment of the present invention.
  • the method of manufacturing the hybrid stick mask 100 includes a structural stick mask stretching step (s10), a cell-unit mask stretching step (s20), a cell-based mask alignment step (s30), and a cell-based mask fixing step. It may include (s40).
  • the structural stick mask 110 may be tensioned in the first direction using a clamp device (not shown).
  • a tensile force can be applied to the structural stick mask 110 by pulling each of the tensile fixing parts 113 in opposite directions while being bitten by a clamp device (not shown).
  • the cell-based mask 120 may be stretched in a first direction or in a first direction and a second direction.
  • a cell unit mask gripper (not shown) may apply a tensile force to each cell unit mask 120. That is, while a cell-unit mask gripper (not shown) supports one surface of the cell-unit mask 120 in a vertical direction, the cell-unit mask 120 may be stretched in the first direction or in the first direction and the second direction.
  • a cell mask gripper (not shown) is used to pull the cell mask 120 in the first direction while supporting one surface of the cell mask 120 in the vertical direction. This is an example.
  • the cell-by-cell mask 120 is moved so that the deposition area 121 of the cell-by-cell mask 120 corresponds to the opening 111 of the structural stick mask 110, 120) can be aligned to the TFT position of the TFT glass (not shown).
  • a cell-based mask gripper may move each of the cell-based masks 120 so that the deposition region 121 corresponds to the opening 111. That is, a cell-based mask gripper (not shown) may apply a tensile force to align the first position to correspond to the opening 111 while supporting the cell-based mask 120.
  • the second position may be aligned using a camera (not shown) for the second position alignment.
  • the camera (not shown) may be located under the hybrid stick mask 100. That is, using a camera (not shown), it is possible to check whether the center of the alignment hole 122 coincides with the TFT location center of the TFT glass (not shown) within 1 ⁇ m.
  • the cell unit mask 120 may be secondly aligned with the TFT position of the TFT glass (not shown).
  • the cell unit mask 120 may be fixed to the structural stick mask 110.
  • the second bonding area 123 may be mounted on the first bonding area 112 by moving the cell-based mask gripper (not shown) in the Z- direction and then bonded. In this case, it can be joined by welding.
  • the first bonding area 112 and the second bonding area 123 are performed by a laser welding machine (not shown). ) To form a welding protrusion 115 or 126 and can be joined.
  • the cell-by-cell masks 120 are positioned in the first direction or in the first and second directions, and in the cell-based mask fixing step (s40), the position is aligned in the Z direction. As a result, each of the cell unit masks 120 may be positioned.
  • the structural stick mask 110 is applied to the structural stick mask 110 by a laser beam irradiated from the bottom.
  • the welding protrusion 115 may protrude from the lower surface of the structural stick mask 110.
  • the structure stick mask 110 is applied to the structural stick mask 110 by a laser beam irradiated from the top.
  • the welding protrusion 126 may protrude from the base surface of the welding groove 125.
  • the welding groove 125 may be stepped to have a predetermined depth from the contact surface 124 with the TFT glass among one surface of the cell unit mask 120.
  • FIG. 22 is a perspective view showing a manufacturing process of the mask assembly according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. 23 is a front cross-sectional view of a portion BB' in FIG. 22
  • FIG. 24 is a mask assembly according to a second embodiment of the present invention Is a perspective view showing a manufacturing process of
  • FIG. 25 is a perspective view showing a manufacturing process of a mask assembly according to a third embodiment of the present invention
  • FIG. 26 is a perspective view showing a manufacturing process of a mask assembly according to a fourth embodiment of the present invention
  • 27 is a front cross-sectional view of a portion BB' in FIG. 26
  • FIG. 28 is a perspective view showing a manufacturing process of a mask assembly according to a fifth embodiment of the present invention
  • FIG. 29 is a A perspective view showing a manufacturing process of a mask assembly
  • FIG. 30 is a perspective view showing a frame according to an embodiment of the present invention.
  • the mask assembly 10 may provide a deposition pattern so that a deposition material may be deposited on a specific location of a TFT glass (not shown) during a deposition process.
  • the mask assembly 10 may include a frame 200 and a hybrid stick mask 100.
  • the frame 200 may support the hybrid stick mask 100.
  • the frame 200 may have an opening 210 formed in the center.
  • the frame 200 may have a third bonding region 220.
  • the frame 200 may have a metal material having high rigidity so that deformation by a compressive force acting in the tensile direction of the hybrid stick mask 100 does not occur.
  • the frame 200 may have a predetermined thickness and may have a square shape.
  • the opening 210 may expose the hybrid stick mask 100 in the Z direction.
  • the opening 210 may have a vertical penetrating shape.
  • the openings 210 cover a wider area than the respective deposition areas 121 in the first and second directions so as not to cause interference in the Z direction for each of the deposition areas 121 for each hybrid stick mask 100. It can be formed to have. Therefore, the opening 210 can be processed with low precision.
  • the opening 210 may have a square shape due to convenience in manufacturing and processing.
  • the third bonding area 220 has a shape surrounding the opening 210, supports one surface of the hybrid stick mask 100 and provides a bonding area with the hybrid stick mask 100. can do.
  • the bonding area of the hybrid stick mask may include an area bonded by surface contact with both ends of the hybrid stick mask 100, that is, the tension fixing part 113 in the first direction.
  • a plurality of support grooves may be formed in the third bonding area 220 in a second direction crossing the bonding area of the hybrid stick mask.
  • a pair of support grooves may be formed side by side in the first direction. The support grooves at both ends may accommodate the support part 230.
  • the support unit 230 supports the ribs of the hybrid stick mask 100 and may prevent sagging of the hybrid stick mask 100. Furthermore, a gap between the hybrid stick masks 100 adjacent to each other may be blocked.
  • the support part 230 may support the edge of each rib in parallel with the hybrid stick mask 100.
  • the support 230 may be interposed between the frame 200 and the hybrid stick mask 100.
  • the support part 230 may be provided in the first direction.
  • the support part 230 may have one end and the other end inserted in the support groove facing each other.
  • the height of the support part 230 may be the same as the thickness in which the support groove is formed. Accordingly, the support part 230 may support the hybrid stick mask 100 at the same height in the Z direction as the third bonding region 220.
  • the support part 230 may have a trapezoidal shape in which the width increases toward the Z+ direction so as not to interfere with the movement path of the material to be sublimated during the deposition process.
  • the omitted description will refer to the contents of the hybrid stick mask 100 according to the first to fourth embodiments of the present invention described with reference to FIGS. 1 to 20 above.
  • the tensile fixing part 113 may be fixed to the third bonding region 220 in a state in which a tensile force is applied in the first direction.
  • the hybrid stick mask 100 may be fixed to the frame 200 by a tensile fixing part 113 of the structural stick mask 110.
  • the hybrid stick mask 100 may be welded to the frame 200 by a laser beam of a laser welding machine (not shown) provided thereon in the Z direction.
  • the hybrid stick mask 100 is aligned and the frame 200 Can be fixed on.
  • the hybrid stick mask 100 may be manufactured by stretching the cell unit mask 120 to align it with the structural stick mask 110 and then fix it.
  • a clamping device may apply a tensile force to the tensile fixing part 113 to align the hybrid stick mask 100 so that the deposition region 121 comes to the TFT position of the TFT glass (not shown).
  • the aligned hybrid stick mask 100 may be moved in the Z direction to be seated on the third bonding area 220 of the frame 200.
  • the hybrid stick mask 100 may be welded to the frame 200 by a laser beam of a laser welding machine (not shown) provided at the upper portion in the Z direction to be coupled.
  • the mask assembly 10 according to the second, third, fifth and sixth embodiments of the present invention includes a frame 200 After the structural stick mask 110 is aligned and fixed, the cell unit mask 120 may be aligned and fixed to the structural stick mask 110. 24 and 28, or 25 and 29 show differences in welding directions when the cell-unit mask 120 is coupled to the structural stick mask 110.
  • the mask assembly 10 according to the second and fifth embodiments of the present invention illustrated in FIGS. 24 and 28 is a case in which a cell-unit mask 120 is welded to the structural stick mask 110 from the top surface, and FIG. In the mask assembly 10 according to the third and sixth embodiments of the present invention shown in 25 and 29, the cell mask 120 is welded to the structural stick mask 110 from the bottom surface.
  • a method of manufacturing the mask assembly 10 according to the second and fifth embodiments of the present invention as shown in FIGS. 24 and 28 is as follows.
  • Alignment of the structural stick mask 110 so that the openings 111 of the structural stick mask 110 are all inserted into the openings 210 of the frame 200 by applying a tensile force to the tensile fixing part 113 by a clamping device (not shown) I can make it.
  • the aligned structural stick mask 110 may be moved in the Z direction to be seated on the third bonding area 220 of the frame 200.
  • the structural stick mask 110 may be welded to the frame 200 by means of a laser beam of a laser welding machine (not shown) provided on the upper portion in the Z direction.
  • the opening 111 of the structural stick mask 110 by applying a tensile force in the first direction or in the first direction and the second direction while a cell-based mask gripper (not shown) supports one surface of the cell-based mask 120 in the vertical direction It can be aligned so that the deposition area 121 comes to.
  • the first bonding area 112 of the structural stick mask 110 and the second bonding area 123 of the cell unit mask 120 are welded to each other by a laser beam of a laser welding machine (not shown) provided on the upper part in the Z direction.
  • Each cell unit mask 120 may be coupled to the stick mask 110.
  • the welding protrusion 126 may be formed in the welding groove 125 of the contact surface 124 of the cell mask 120 with the TFT glass.
  • a method of manufacturing the mask assembly 10 according to the third and sixth embodiments of the present invention shown in FIGS. 25 and 29 is as follows.
  • Alignment of the structural stick mask 110 so that the openings 111 of the structural stick mask 110 are all inserted into the openings 210 of the frame 200 by applying a tensile force to the tensile fixing part 113 by a clamping device (not shown) I can make it.
  • the aligned structural stick mask 110 may be moved in the Z direction to be seated on the third bonding area 220 of the frame 200.
  • the structural stick mask 110 may be welded to the frame 200 by means of a laser beam of a laser welding machine (not shown) provided on the upper portion in the Z direction.
  • the opening 111 of the structural stick mask 110 by applying a tensile force in the first direction or in the first direction and the second direction while a cell-based mask gripper (not shown) supports one surface of the cell-based mask 120 in the vertical direction It can be aligned so that the deposition area 121 comes to.
  • the first bonding area 112 of the structural stick mask 110 and the second bonding area 123 of the cell unit mask 120 are welded to each other by a laser beam of a laser welding machine (not shown) provided at the lower part in the Z direction.
  • Each cell unit mask 120 may be coupled to the stick mask 110.
  • the welding protrusion 115 may be formed on the rear surface of the bonding surface of the cell unit mask in the structural stick mask 110.
  • An organic light emitting display device 1 according to another embodiment of the present invention manufactured using the hybrid stick mask 100 described above will be described as follows.
  • FIG. 31 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting display device 1 manufactured using the hybrid stick mask of FIGS. 1 to 20.
  • various components of the organic light emitting display device 1 may be formed on a substrate S.
  • the substrate S may be the substrate itself or a cut part of the substrate.
  • a common layer such as the buffer layer 1100, the gate insulating layer 1300, and the interlayer insulating layer 1500 may be formed on the entire surface of the substrate S. Furthermore, the patterned semiconductor layer 1200 including the channel region 1210, the source contact region 1220, and the drain contact region 1230 may be formed. A gate electrode 1400, a source electrode 1600, and a drain electrode 1700, which are constituent elements of the thin film transistor TFT, may be formed together with the patterned semiconductor layer 1200.
  • a planarization layer 1900 that is disposed on the passivation layer 1800 covering the thin film transistor TFT and the passivation layer 1800 and has a substantially flat top surface thereof may be formed on the entire surface of the substrate S.
  • a patterned pixel electrode 2100, a counter electrode 2300 corresponding approximately to the front surface of the substrate S, and interposed between the pixel electrode 2100 and the counter electrode 2300 include a light emitting layer.
  • the OLED may be formed to be positioned, including the interlayer 2200 of a multi-layered structure.
  • the intermediate layer 2200 may be a common layer substantially corresponding to the entire surface of the substrate S, which is a partial layer, unlike the illustrated one, and the other partial layer may be a patterned layer patterned to correspond to the pixel electrode 2100.
  • the pixel electrode 2100 may be electrically connected to the thin film transistor TFT through a via hole.
  • a pixel definition layer 2000 covering an edge of the pixel electrode 2100 and having an opening defining each pixel region may be formed on the planarization layer 1900 to substantially correspond to the entire surface of the substrate S.
  • At least some of the components may be formed using the hybrid stick mask or the hybrid stick mask manufacturing method according to the above-described embodiments.
  • the intermediate layer 2200 may be formed using the hybrid stick mask or mask assembly according to the above-described embodiments.
  • the intermediate layer 2200 may include a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), an emission layer (EML), an electron transport layer (ETL), An electron injection layer (EIL) or the like may be formed by using the hybrid stick mask or the hybrid stick mask manufacturing method according to the above-described embodiments.
  • HIL hole injection layer
  • HTL hole transport layer
  • EML emission layer
  • ETL electron transport layer
  • EIL electron injection layer

Abstract

하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크는, 제1 방향으로 복수개의 개구부가 형성되고 상기 개구부의 둘레를 따라 마련된 제1 접합영역을 가지며, 인장력이 가해진 상태에서 프레임에 고정되도록 상기 제1 방향의 양 단부에 인장 고정부가 마련된 구조용 스틱 마스크; 및 상기 개구부에 대응되는 증착영역과 상기 증착영역의 둘레를 따라 마련되고 상기 제1 접합영역에 접합되는 제2 접합영역을 가지는 셀 단위 마스크를 포함하며; 각각의 상기 셀 단위 마스크는 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 결합될 수 있다.

Description

하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치
본 발명은 하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치에 관련된 것으로, 보다 상세하게는 TFT 글라스 상에 증착물질을 증착하기 위한 하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치들 중에서도 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Device, OLED)는 시야각이 넓고, 콘트라스트(contrast)가 우수할 뿐만 아니라, 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다. 그에 따라 유기발광표시장치(OLED)의 사용 영역이 점차 확대되어 가는 추세이다.
이러한 유기발광표시장치(OLED)의 전극들과 발광층을 포함한 중간층은 여러 가지 방법에 의하여 형성 가능한데, 이 중 하나의 방법이 증착법(deposition)이다.
중소형 유기발광표시장치(OLED) 제품에서의 고해상도 유기발광표시장치(OLED)를 제조하는 데에 가장 큰 난관은 유기발광표시장치(OLED) 제조 공정에서 RGB 픽셀을 만드는 데 핵심인 유기물 증착 공정(deposition)에 있다. TFT 글라스 상에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask, 이하 ‘마스크’라 한다)를 위치정렬하고 박막의 원 소재를 증착하여 원하는 패턴의 박막을 형성한다. 이러한 증착 공정은 챔버(chamber) 하부에 위치한 증착 소스에서 유기물을 가열하고, 가열된 유기물을 승화시켜 상부에 위치한 마스크를 통과해 TFT 글라스에 증착하는 방법을 취한다.
TFT 글라스에 원하는 증착 패턴을 형성하기 위해서는, 마스크를 TFT 글라스와 이격이 없도록 밀착시키는 것이 중요하다. 이를 위해 마스크 상의 증착물질을 통과시키는 복수개의 홀 간 위치 정밀도를 엄격하게 재현해 고정시켜야 한다. 현재 마스크의 두께가 5㎛ ~ 30㎛로 매우 얇아, 마스크를 인장하지 않고 고정시킬 경우 중력방향으로 처짐이 발생해 홀의 위치를 정밀하게 재현하기 어렵다. 결국 증착 공정 상 TFT 글라스와 이격되게 되고, 결과적으로 혼색 불량을 발생시키게 된다.
따라서 TFT 글라스와 편평도가 유지되도록, 마스크에 인장력을 가해 팽팽하게 잡아당겨 탄력이 유지된 상태가 되어야 한다. 마스크를 팽팽하게 유지하기 위하여 마스크의 가장자리에 인장을 위한 추가적인 날개를 만들고 인장력을 가할 수 있는 클램프로 날개부분을 잡고 인장한다. TFT 글라스 상에 형성될 박막 등의 패턴과 일치하도록 마스크의 홀들을 위치정렬한 후, 프레임에 마스크 가장자리의 겹치는 부분을 용접하여 마스크 조립체를 만든다.
AMOLED(Active Matrix OLED) 패널의 경우, 양산용으로 6세대 하프 크기까지 와 있으나, 7세대, 8세대 등의 대면적화가 불가피하다. 이러한 대면적화가 이루어져야만 다면취 제작에 의한 대형 AMOLED 패널의 동시 제조가 가능하기 때문이다.
최근 다양한 전자기기에서 대면적의 고해상도 표시 장치가 요구된다. 초고해상도(UHD)의 패턴 형성을 위해 더 미세한 홀의 크기와 조밀한 홀 간 간격이 요구되는 실정이다. 고해상도의 패턴 형성을 위한 화소 미세화와 쉐도우(shadow) 방지를 위해 마스크의 두께 또한 얇아져야 하나, 현재 상용화된 기술로는 일정 두께 이하로 구현하기 어려운 문제점이 있었다.
고해상도의 정밀 홀 가공을 위하여 마스크를 얇게 제작할 경우, 마스크 자체에 웨이브가 생기고, 중력방향으로의 처짐에 의해 TFT 글라스의 증착 위치와 마스크의 홀 위치를 일치시키기 어렵다. 또한 증착 공정 상 TFT 글라스와 밀착되지 않는 문제점을 낳는다. 이를 보완하기 위해 마스크를 팽팽하게 인장한 채로, 용접 등으로 프레임에 고정시켜야 한다.
종래 TFT 글라스 원장 크기의 마스크에서, 현재는 여러 장의 스틱 마스크를 프레임에 인장, 고정하여 풀(full) 마스크 조립체 형태로 사용하고 있다. 스틱 마스크의 경우 500ppi ~ 600ppi 수준으로 상용화하고 있으나 그 이상은 기술적 한계로 구현하기 어려운 실정이다.
6세대 하프 크기를 구현하기 위해 두께 10㎛, 길이 약 1,100mm의 스틱 마스크를 길이 방향으로 인장할 경우 위치 정밀도를 맞추기가 어렵고, 인장으로 인해 찢기거나, 용접 고정시 용접되지 않는 문제점이 있었다. 또한 스틱 마스크의 재질인 인바를 이용해 압연 방식으로 얇게 제작하기도 어렵고 두께 정밀도도 떨어지는 등 기술적인 제약이 존재한다.
현재까지 스틱 마스크는 습식 에칭(wet etching) 방식으로 제작되고 있고, 고해상도의 정밀 홀가공을 위한 박막화를 위해 전주 도금 또는 레이저 가공 방식 등이 시도 중에 있다. 하지만 종래 스틱 마스크 형태로는 스틱 마스크 자체 크기와 박막의 인장과 용접의 어려움이 해결하기 어려운 과제로 남아 있다.
반복적 증착시 잔존하는 증착물질에 의해 증착 효율이 떨어져 수회 사용에 따른 세척과 용접부 손상으로 인한 스틱 마스크 교체는 유기발광 다이오드 발광장치 제조시 필수 공정에 해당한다. 기존 스틱 마스크의 개보수시 스틱 마스크 전체를 교체해야 하는 문제점이 있었다. 또한 이러한 교체시 정밀한 위치정렬을 요하나 이 또한 용이하지 않은 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-0534580호는, 하나 이상의 개구부를 구비하는 프레임 마스크에 하나 이상의 패턴 마스크가 개구부에 대응하여 개별적으로 고정되는 증착 마스크에 관한 기술로, 제1 방향으로 복수개의 개구부가 형성되고 상기 개구부의 둘레를 따라 마련된 제1 접합영역을 가지며, 인장력이 가해진 상태에서 프레임에 고정되도록 상기 제1 방향의 양 단부에 인장 고정부가 마련된 구조용 스틱 마스크는 개시되어 있지 않다. 각각의 단위 마스크 교체시 인접한 다른 단위 마스크에 영향을 끼쳐 추가로 개보수해야 하는 마스크 수가 늘어나는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 기존 스틱 마스크를 이원화하되 일체형으로 제작한 하이브리드 스틱 마스크를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 기존 마스크의 제조 한계 및 마스크 대면적화의 기술적 한계를 극복하고, 마스크의 정밀도 및 기계적인 강도를 향상시킨 하이브리드 스틱 마스크를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 대면적화된 마스크에 의해서도 고해상도의 정밀한 증착 패턴을 구현할 수 있는 하이브리드 스틱 마스크를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하이브리드 스틱 마스크를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크는, 제1 방향으로 복수개의 개구부가 형성되고 상기 개구부의 둘레를 따라 마련된 제1 접합영역을 가지며, 인장력이 가해진 상태에서 프레임에 고정되도록 상기 제1 방향의 양 단부에 인장 고정부가 마련된 구조용 스틱 마스크; 및 상기 개구부에 대응되는 증착영역과 상기 증착영역의 둘레를 따라 마련되고 상기 제1 접합영역에 접합되는 제2 접합영역을 가지는 셀 단위 마스크를 포함하며; 각각의 상기 셀 단위 마스크는 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 결합될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 구조용 스틱 마스크는, TFT 글라스의 TFT 위치를 기준으로 상기 증착영역의 위치 틀어짐을 잡아주기 위해 상기 셀 단위 마스크와의 접합면의 이면에 마련된 보강대를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 보강대는, 복수개가 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 나란하게 배열될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 보강대는 상기 셀 단위 마스크와 상기 구조용 스틱 마스크 간의 용접 포인트를 둘러싸는 수직 방향의 보강벽으로 이루어질 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 구조용 스틱 마스크에는 상기 셀 단위 마스크와의 접합면의 이면에 용접 돌기가 돌출 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 셀 단위 마스크에는 TFT 글라스와의 접촉면으로부터 일정 깊이를 가지는 용접 홈이 단차 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 용접 홈의 기저면에 용접 돌기가 돌출 형성되고, 상기 용접 돌기의 상단부는 상기 접촉면보다 낮게 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 셀 단위 마스크는 상기 구조용 스틱 마스크와 서로 다른 열팽창계수를 가질 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 셀 단위 마스크는 상기 구조용 스틱 마스크와 서로 다른 두께를 가질 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 증착영역은 증착 물질을 통과시키는 위치정렬 홀을 포함하며, 상기 위치정렬 홀은 TFT 글라스의 TFT 위치를 기준으로 상기 셀 단위 마스크를 위치정렬하고, 상기 셀 단위 마스크의 용접 위치를 결정할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 증착영역은 습식 에칭, 전주 도금 및 레이저 가공 중 어느 하나에 의하여 홀 가공될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크는, 제1 방향에서 각각의 셀 단위 마스크의 증착영역에 대응되도록 형성된 복수개의 개구부와 인장력이 가해진 상태에서 프레임에 고정되도록 상기 제1 방향의 양단에 마련된 인장 고정부를 가지는 구조용 스틱 마스크를 포함하되, 각각의 상기 셀 단위 마스크가 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 결합될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 구조용 스틱 마스크는, 상기 제1 방향으로의 TFT 위치를 기준으로 상기 증착영역의 위치 틀어짐을 잡아주기 위해 상기 셀 단위 마스크와의 접합면의 이면에 마련된 보강대를 더 포함할 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법은, 제1 방향으로 구조용 스틱 마스크를 인장하는 구조용 스틱 마스크 인장 단계; 상기 제1 방향 또는 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 상기 셀 단위 마스크를 인장하는 셀 단위 마스크 인장 단계; 상기 구조용 스틱 마스크의 개구부마다 셀 단위 마스크의 증착영역이 대응되도록 상기 셀 단위 마스크를 위치정렬하는 셀 단위 마스크 정렬 단계; 및 상기 구조용 스틱 마스크에 상기 셀 단위 마스크를 고정하는 셀 단위 마스크 고정 단계를 포함하며, 상기 셀 단위 마스크 인장 단계와 상기 셀 단위 마스크 고정 단계에서는 각각의 상기 셀 단위 마스크마다 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 인장 및 고정시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 셀 단위 마스크 고정 단계에서는, 하부에서 조사한 레이저 빔에 의해 상기 구조용 스틱 마스크에 상기 셀 단위 마스크가 결합시 상기 구조용 스틱 마스크의 하면에 용접 돌기가 돌출 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 셀 단위 마스크 고정 단계에서는, 상부에서 조사한 레이저 빔에 의해 상기 구조용 스틱 마스크에 상기 셀 단위 마스크가 결합시 상기 셀 단위 마스크의 용접 홈 기저면에 용접 돌기가 돌출 형성되고, 상기 용접 홈은 상기 셀 단위 마스크의 일면으로 TFT 글라스와의 접촉면으로부터 일정 깊이를 갖도록 단차 형성될 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하이브리드 스틱 마스크를 이용한 마스크 조립체를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 조립체는, 개구부가 형성되고 상기 개구부의 둘레를 따라 마련된 제3 접합영역을 가지는 프레임; 및 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태에서 양 단부가 상기 제3 접합영역에 고정된 복수개의 하이브리드 스틱 마스크를 포함하고, 상기 하이브리드 스틱 마스크는 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항의 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 방향으로 상기 프레임과 상기 하이브리드 스틱 마스크 사이에 마련되어 상기 하이브리드 스틱 마스크를 지지 고정하며, 서로 인접한 상기 하이브리드 스틱 마스크 사이의 틈새를 막아주는 지지부를 더 포함할 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 형성된 유기발광 디스플레이 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광 디스플레이 장치는, TFT 글라스; 상기 TFT 글라스 상에 배치된, 복수 개의 박막트랜지스터들; 상기 박막트랜지스터에 전기적으로 연결된 복수 개의 화소전극들; 상기 화소전극들 상에 배치된 증착층들; 및 상기 증착층들 상에 배치된 대향 전극을 포함하고, 상기 박막트랜지스터, 상기 화소전극, 상기 증착층 그리고 상기 대향 전극 중 적어도 어느 하나는 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항의 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 형성될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 하이브리드 스틱 마스크로 기존 스틱 마스크 방식의 프레임과 스틱 마스크 타입의 인장 시스템을 그대로 활용 가능한 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 기존 스틱 마스크를 구조용 스틱 마스크와 셀 단위 마스크로 이원화함으로써, 구조용 스틱 마스크와 셀 단위 마스크 간 제조 오차를 달리 가져가 제작의 편의성과 제작비용을 절감, 생산성 및 품질을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 기존 스틱 마스크를 구조용 스틱 마스크와 셀 단위 마스크로 이원화함으로써, 셀 단위 마스크 단위로 작고 얇게 제작이 가능해져 기존의 습식 에칭은 물론 전주도금이나 레이저 가공 등에 의해 제작이 가능해, 고해상도의 마스크를 통한 디스플레이 장치를 만들 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 구조용 스틱 마스크와 셀 단위 마스크 간의 두께 차이에 따라, 셀 단위 마스크의 증착영역 두께를 얇게 해 고해상도의 홀 가공이 가능하며 쉐도우 현상을 최소화하면서도, 지지하는 구조용 스틱 마스크를 두껍게 하여 인장 및 용접시 파손을 방지하고, 고해상으로 대면적의 유기발광 디스플레이 장치 구현이 손쉬워진 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 구조용 스틱 마스크의 두께를 두껍게 하거나 별도 보강대를 마련함으로써, 인장력이 가해진 셀 단위 마스크의 결합시에도 구조용 스틱 마스크의 리브(rib)가 인장력에 의해 휘어지지 않고 셀 단위 마스크의 위치 변형을 최소화할 수 있어 대면적의 마스크 조립체를 구현할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 구조용 스틱 마스크의 두께를 두껍게 하거나 별도 보강대를 마련함으로써, TFT 글라스와 하이브리드 스틱 마스크 간 밀착력을 높여 쉐도우(shadow) 현상을 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 구조용 스틱 마스크와 셀 단위 마스크 간 열팽창계수를 달리함으로써, 하이브리드 스틱 마스크 및 마스크 조립체의 제작 공정과 증착 기내부에서의 증착 공정 상 가해지는 열에 의한 셀 단위 마스크의 변위 발생을 상대적으로 최소화할 수 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 구조용 스틱 마스크와 셀 단위 마스크 간 두께를 달리함으로써, 기존 스틱 마스크보다 박막화된 셀 단위 마스크의 구현이 가능해 대면적의 고해상도 정밀한 증착 패턴의 생성성과 신뢰성을 높일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 복수개의 셀 단위 마스크를 포함하는 하이브리드 스틱 마스크에서 일부 셀 단위 마스크를 교체할 경우, 일 방향의 다른 셀 단위 마스크만 고려하면 되고 인접한 다른 하이브리드 스틱 마스크의 셀 단위 마스크와의 간섭 현상을 고려하지 않을 수 있어 유지 보수가 수월해진 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, TFT 글라스와의 접촉면에 대한 이면인 구조용 스틱 마스크의 하면에서 용접에 의한 용접 돌기가 발생함으로써, TFT 글라스가 하이브리드 스틱 마스크에 들뜸이 없이 밀착되어 증착 불량을 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 접촉면으로부터 일정 깊이로 함몰 형성된 용접 홈이 마련되고, 용접 홈의 기저면에 용접 돌기가 형성되나, 용접 돌기의 상단부가 접촉면보다 낮게 형성됨으로써, TFT 글라스와의 접촉면에서 TFT 글라스와의 들뜸이 없는 밀착되어 증착 불량을 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 각각의 셀 단위 마스크 단위로 구현함으로써, 제1 방향은 물론 제2 방향으로 셀 단위 마스크에 인장력을 가할 수 있어, 마스크의 토탈 피치를 더욱 정밀하게 제어할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A' 부분 확대단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크에 인장 접합되는 셀 단위 마스크를 보여주는 제조공정도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크를 보여주는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 셀 단위 마스크를 보여주는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크를 보여주는 사시도이다.
도 7은 도 6의 A-A' 부분 확대단면도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크에 인장 접합되는 셀 단위 마스크를 보여주는 제조공정도이다.
도 9a와 도 9b는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 셀 단위 마스크를 보여주는 평면도이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크를 보여주는 사시도이다.
도 11은 도 10의 A-A' 단면도이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시 예에 따라 하면에서 조사된 레이저 빔에 의해 접합된 하이브리드 스틱 마스크를 보여주는 A-A' 부분 확대단면도이다.
도 13은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크에 인장 접합되는 셀 단위 마스크를 보여주는 제조공정도이다.
도 14는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크를 보여주는 저면도이다.
도 15a 내지 도 15c는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 보강대의 작용효과를 설명하기 위한 개략도이다.
도 16은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 보강대의 결합과정을 설명하기 위한 개략도이다.
도 17은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크를 보여주는 사시도이다.
도 18은 본 발명의 제4 실시 예에 따라 하면에서 조사된 레이저 빔에 의해 접합된 하이브리드 스틱 마스크를 보여주는 A-A' 부분 확대단면도이다.
도 19은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크에 인장 접합되는 셀 단위 마스크를 보여주는 제조공정도이다.
도 20은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크를 보여주는 저면도이다.
도 21은 본 발명의 일 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법을 보여주는 순서도이다.
도 22는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이다.
도 23은 도 22에서 B-B' 부분의 정단면도이다.
도 24는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이다.
도 25는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이다.
도 26은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이다.
도 27은 도 26에서 B-B' 부분의 정단면도이다.
도 28은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이다.
도 29는 본 발명의 제6 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이다.
도 30은 본 발명의 일 실시 예에 따른 프레임을 보여주는 사시도이다.
도 31은 도 1 내지 도 20의 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 제조된 유기발광 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
1 : 유기발광 디스플레이 장치
10 : 마스크 조립체
100 : 하이브리드 스틱 마스크
110 : 구조용 스틱 마스크 111 : 개구부
112 : 제1 접합영역 113 : 인장 고정부
114a, 114b : 보강대 115 : 용접 돌기
120 : 셀 단위 마스크 121 : 증착영역
122 : 위치정렬 홀 123 : 제2 접합영역
124 : TFT 글라스와의 접촉면 125 : 용접 홈
126 : 용접 돌기
200 : 프레임 210 : 개구부
220 : 제3 접합영역 230 : 지지부
t1 : 구조용 스틱 마스크 두께 t2 : 셀 단위 마스크 두께
t3 : 접촉면과 용접 돌기 상단부 사이의 단차
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하이브리드 스틱 마스크를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크는, 제1 방향으로 복수개의 개구부가 형성되고 상기 개구부의 둘레를 따라 마련된 제1 접합영역을 가지며, 인장력이 가해진 상태에서 프레임에 고정되도록 상기 제1 방향의 양 단부에 인장 고정부가 마련된 구조용 스틱 마스크; 및 상기 개구부에 대응되는 증착영역과 상기 증착영역의 둘레를 따라 마련되고 상기 제1 접합영역에 접합되는 제2 접합영역을 가지는 셀 단위 마스크를 포함하며; 각각의 상기 셀 단위 마스크는 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 결합될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크는, 제1 방향에서 각각의 셀 단위 마스크의 증착영역에 대응되도록 형성된 복수개의 개구부와 인장력이 가해진 상태에서 프레임에 고정되도록 상기 제1 방향의 양단에 마련된 인장 고정부를 가지는 구조용 스틱 마스크를 포함하되, 각각의 상기 셀 단위 마스크가 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 결합될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법은, 제1 방향으로 구조용 스틱 마스크를 인장하는 구조용 스틱 마스크 인장 단계; 상기 제1 방향 또는 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 상기 셀 단위 마스크를 인장하는 셀 단위 마스크 인장 단계; 상기 구조용 스틱 마스크의 개구부마다 셀 단위 마스크의 증착영역이 대응되도록 상기 셀 단위 마스크를 위치정렬하는 셀 단위 마스크 정렬 단계; 및 상기 구조용 스틱 마스크에 상기 셀 단위 마스크를 고정하는 셀 단위 마스크 고정 단계를 포함하며, 상기 셀 단위 마스크 인장 단계와 상기 셀 단위 마스크 고정 단계에서는 각각의 상기 셀 단위 마스크마다 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 인장 및 고정시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 조립체는, 개구부가 형성되고 상기 개구부의 둘레를 따라 마련된 제3 접합영역을 가지는 프레임; 및 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태에서 양 단부가 상기 제3 접합영역에 고정된 복수개의 하이브리드 스틱 마스크를 포함하고, 상기 하이브리드 스틱 마스크는 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항의 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 형성될 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 형성된 유기발광 디스플레이 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 유기발광 디스플레이 장치는, TFT 글라스; 상기 TFT 글라스 상에 배치된, 복수 개의 박막트랜지스터들; 상기 박막트랜지스터에 전기적으로 연결된 복수 개의 화소전극들; 상기 화소전극들 상에 배치된 증착층들; 및 상기 증착층들 상에 배치된 대향 전극을 포함하고, 상기 박막트랜지스터, 상기 화소전극, 상기 증착층 그리고 상기 대향 전극 중 적어도 어느 하나는 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항의 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 형성될 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시 예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 하이브리드 스틱 마스크가 수평형 증착 시스템에 사용되는 것을 상정하나, 이에 한정하는 것은 아니다. 수평형 증착 시스템에서 제1 방향은 하이브리드 스틱 마스크의 길이방향으로 직교 좌표계의 Y축을 지칭하고, 제2 방향은 하이브리드 스틱 마스크의 폭 방향으로 직교 좌표계의 X축을 지칭하며, Z축에서는 수직 방향에서 차례대로 증착원, 하이브리드 스틱 마스크를 포함한 마스크 조립체와 피증착체인 TFT 글라스가 위치한다.
이하, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)를 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)를 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A' 부분 확대단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크(110)에 인장 접합되는 셀 단위 마스크(120)를 보여주는 제조공정도이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크를 보여주는 평면도이며, 도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 셀 단위 마스크를 보여주는 평면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)는, TFT 글라스(미도시)에 증착물질을 증착하는 증착 공정에 이용될 수 있다. 기판(S)은, 투명한 소재, 예컨대 글라스재, 플라스틱재, 또는 금속재일 수 있으나, 본 발명에서는 여러 다양한 종류의 기판(S) 중에서 TFT 글라스(미도시)를 예로 들어 설명하기로 한다. 따라서 이에 한정되는 것은 아니다.
하이브리드 스틱 마스크(100)는, 구조용 스틱 마스크(110)와 복수개의 셀 단위 마스크(120)를 포함할 수 있다. 수평형 증착 시스템에 의할 경우 하이브리드 스틱 마스크(100)는, 구조용 스틱 마스크(110)와 그 상면에 셀 단위 마스크(120)가 수직 방향으로 적층된 구조일 수 있다. 하이브리드 스틱 마스크(100)는, 후술할 셀 단위 마스크(120) 또는 구조용 스틱 마스크(110) 단위로 교체가 가능하다.
구조용 스틱 마스크(110)
도 1 내지 도 5, 도 22 내지 도 25를 참조하면 본 발명의 제1 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크(110)는, 후술할 셀 단위 마스크(120)의 제작공차인 토탈 피치(total pitch)를 일정하게 유지시킬 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110)는, 인장력이 가해진 상태에서 프레임(200)에 고정되어 셀 단위 마스크(120)를 지지할 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110)에는 제1 방향으로 복수개의 개구부(111)가 형성될 수 있다. 또한 구조용 스틱 마스크(110)는, 제1 접합영역(112)과 인장 고정부(113)를 가질 수 있다. 나아가 용접 돌기(115)를 더 포함할 수 있다.
다시 도 2 내지 도 5를 참조하면 개구부(111)는, 셀 단위 마스크(120)의 증착영역(121)을 Z방향으로 노출시킬 수 있다. 개구부(111)는, 수직 관통된 형상일 수 있다. 복수의 개구부(111)는, 서로 리브(rib)만큼 이격될 수 있다. 개구부(111)는, 셀 단위 마스크(120)의 증착영역(121)에 대응되는 크기와 형상으로 형성될 수 있다. 하나의 개구부(111)는, 각각의 셀 단위 마스크(120)에 대응될 수 있다. 각각의 개구부(111)는 제1 방향을 따라 대칭되는 배열을 이룰 수 있다. 개구부(111)는, 셀 단위 마스크(120)의 증착영역(121)보다 낮은 정밀도로 가공될 수 있다.
개구부(111)는, 제조 및 가공의 편의성 때문에 사각 형상을 가지나, 크기가 각기 다르거나 불규칙한 경우와 같이 반드시 사각 형상일 필요는 없다. 또한 개구부(111)를 감싸는 개구부 테두리는, 제1 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크(110)의 일정 두께에 따른 면취율을 높이기 위하여, Z+방향으로 갈수록 좁아지는 경사면을 가질 수 있다.
다시 도 4와 도 5를 참조하면 제1 접합영역(112)은, 셀 단위 마스크(120)를 지지하고 셀 단위 마스크(120)의 제2 접합영역(123)과 접합되는 영역을 제공할 수 있다. 제1 접합영역(112)은, 개구부(111)의 둘레를 따라 마련될 수 있다. 제1 접합영역(112)은, 후술할 제2 접합영역(123)과 면접촉하여 셀 단위 마스크(120)를 지지할 수 있다. 제1 접합영역(112)과 제2 접합영역(123) 간 용접에 의해 구조용 스틱 마스크(110)와 셀 단위 마스크(120)를 접합시킬 수 있다. 제1 접합영역(112)은 사각 형상을 가질 수 있다. 일 실시 예에 따른 제1 접합영역(112)은, 제1 방향과 제2 방향에서 각기 다른 폭을 가질 수 있다.
다시 도 4를 참조하면 인장 고정부(113)는, 구조용 스틱 마스크(110)의 가장자리 양단 돌출 연장된 영역일 수 있다. 인장 고정부(113)는, 구조용 스틱 마스크(110)에 인장력을 가하기 위해 제1 방향 양단에 마련된 클램프 장치(미도시)가 물리는 영역일 수 있다. 인장 고정부(113)에서 클램프 장치(미도시)가 물리는 영역은, 가장자리 서로 대칭적으로 날개 형상을 가질 수 있다. 인장 고정부(113)는, Z방향으로 상부에 마련된 레이저 용접기(미도시)의 레이저 빔에 의해 용접되는 영역을 포함할 수 있다. 인장 고정부(113)는, 인장력이 가해진 상태에서 용접에 의해 프레임(200)에 고정될 수 있다.
이 경우, 구조용 스틱 마스크(110)를 인장시키기 위해 인장 고정부(113) 각각에 클램프 장치(미도시)가 마련될 수 있다. 클램프 장치(미도시)가 제1 방향으로 인장 고정부(113)에 인장력을 가함으로써, 구조용 스틱 마스크(110)를 팽팽하게 잡아당긴 상태에서 프레임(200)에 고정시킬 수 있다. 인장 고정부(113)는, 프레임(200)과 결합되는 고정 영역을 포함할 수 있다. 이 때 용접 등의 방법으로 프레임(200)에 고정될 수 있다.
다시 도 2와 도 3을 참조하면 용접 돌기(115)는, 셀 단위 마스크(120)와 TFT 글라스(미도시) 사이의 밀착력을 높이기 위해 구조용 스틱 마스크(110)의 하면, 즉 구조용 스틱 마스크(110) 중 셀 단위 마스크(120)와의 접합면의 이면에 돌출 형성될 수 있다. 이를 위해서 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)를 결합시, 셀 단위 마스크(120)와의 접합면의 이면, 도 2와 도 3에 도시된 대로 하면에서 Z+방향으로 레이저 빔을 조사할 수 있다. 용접 돌기(115)는, 용접 포인트에 형성될 수 있다. 이 경우 용접 포인트는, 각각의 셀 단위 마스크(120)와 구조용 스틱 마스크(110)를 결합하기 위해 레이저 빔에 의해 용접 돌기(115)가 형성되는 영역을 의미한다. 복수개의 용접 돌기(115)가 용접 포인트에 일정 간격으로 마련될 수 있다.
레이저 용접 장치(미도시)는 구조용 스틱 마스크(110)의 하부에 마련될 수 있다. 레이저 용접 장치(미도시)에서 조사된 레이저 빔에 의해 셀 단위 마스크(120)와의 접합면의 이면에 용접 돌기(115)가 형성될 수 있다. 그에 따라 TFT 글라스(미도시)와 마주보는 셀 단위 마스크(120)의 TFT 글라스와의 접촉면(124)에는 별도 용접에 의한 요철을 발생시키지 않는다. 이에 따라 용접 공정을 거치더라도 증착 공정에서 TFT 글라스(미도시)와 하이브리드 스틱 마스크(100) 간 밀착시켜 부착해 들뜸이 발생하지 않아 쉐도우(shadow) 현상을 최소화할 수 있다.
다시 도 1과 도 3, 도 4를 참조하면 구조용 스틱 마스크(110)는, 제1 방향으로 일정한 길이를 가지는 스틱 형상일 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110)는, 셀 단위 마스크(120)보다 낮은 제작 오차로 제작될 수 있다. 또한 구조용 스틱 마스크(110)는, 기존의 스틱 마스크 대비 낮은 제작 오차로 제작할 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110)는, 셀 단위 마스크(120)에 균일한 인장력을 가할 수 있도록, 폭(너비)과 형태, 크기 등이 서로 대칭적일 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110)는, 자성체에 인력이 작용하는 스틸 성분이 포함된 금속 재질일 수 있다.
구조용 스틱 마스크(110)는 자성을 가질 수 있다. 이에 따라, 하이브리드 스틱 마스크(100)를 TFT 글라스(미도시)에 밀착시 상부에 마련된 자성체에 의해 하이브리드 스틱 마스크(100)에 Z+방향으로 인력을 작용시켜 TFT 글라스(미도시)와 하이브리드 스틱 마스크(100) 간 밀착력을 높일 수 있다.
일 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크(110)는, 셀 단위 마스크(120)와 서로 다른 열팽창계수를 가질 수 있다. 보다 구체적으로 구조용 스틱 마스크(110)는, 셀 단위 마스크(120)에 비해 상대적으로 작은 열팽창계수를 가질 수 있다. 이에 따라 구조용 스틱 마스크(110)는 열팽창계수가 작으므로, 증착 공정 중에 발생하는 열에 의함 뒤틀림을 최소화할 수 있다.
일 실시 예에 따르면 구조용 스틱 마스크(110)는, 셀 단위 마스크(120)와 서로 다른 두께를 가질 수 있다. 보다 구체적으로 구조용 스틱 마스크(110)는, 셀 단위 마스크(120)에 비해 상대적으로 일정 두께 이상으로의 두께를 가질 수 있다. 셀 단위 마스크(120)와 달리 상대적으로 구조용 스틱 마스크(110)의 두께를 두껍게 함으로써, 인장 및 용접시 위치 틀어짐은 물론 인장 및 용접에 따른 파손을 방지할 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110)는, 100㎛ 내지 200㎛의 두께를 가질 수 있다.
하이브리드 스틱 마스크(100)의 다른 구성인 셀 단위 마스크(120)에 대해 설명하기로 한다.
셀 단위 마스크(120)
도 1 내지 5를 참조하면 셀 단위 마스크(120)는, 증착 공정 단계에서 증착 물질이 증착영역(121)을 통과해 TFT 글라스(미도시) 상에 증착되어 원하는 모양의 박막(금속층 또는 유기발광층 등)을 형성시키게 한다. 도 5와 같이 셀 단위 마스크(120)는, 증착영역(121)과 제2 접합영역(123)을 포함할 수 있다. 나아가 위치정렬 홀(122)을 더 포함할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면 셀 단위 마스크(120)는, 각각이 개별적으로 구조용 스틱 마스크(110)에 결합될 수 있다. 이 경우 각각의 셀 단위 마스크(120)는, 서로 단속적으로 제1 방향에서 구조용 스틱 마스크(110)에 배치될 수 있다. 즉, 복수개의 셀 단위 마스크(120) 간에는 서로 제1 방향에서 리브(rib) 만큼 이격된 채로 구조용 스틱 마스크(110)에 접합될 수 있다. 셀 단위 마스크(120)는, 판상의 박막 형태를 가질 수 있다. 셀 단위 마스크(120)는, 5㎛ 내지 25㎛의 두께를 가질 수 있다. 셀 단위 마스크(120)는, 일면이 TFT 글라스(미도시)와 면접촉하고, 타면이 구조용 스틱 마스크(110)에 접합되어 지지될 수 있다. 일 실시 예에 따르면 수평형 증착 시스템에서 셀 단위 마스크(120)는, Z방향에서 구조용 스틱 마스크(110)의 상면에 마련될 수 있다.
다시 도 1과 도 2, 도 5를 참조하면 증착영역(121)은, 증착물질을 통과시키는 복수개의 패턴 홀로 이루어질 수 있다. 증착영역(121)은, 개구부(111)에 대응되는 위치와 크기, 형상을 가질 수 있다. 증착영역(121)은, 제1 방향 및 제2 방향에서 개구부(111)보다 작은 영역을 가질 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110)의 개구부(111)는, 증착영역(121)보다 크지만 셀 단위 마스크(120)보다는 작게 형성될 수 있다. 증착영역(121)은, 복수개의 홀들의 배열로 제시되어 있으나, 이외 복수 개의 슬릿형상을 가질 수 있다. 증착영역(121)은, 위치정렬 홀(122)을 포함할 수 있다.
증착영역(121)은 습식 에칭, 전주 도금 및 레이저 가공 중 어느 하나에 의하여 홀 가공될 수 있다. 즉, 셀 단위 마스크(120)를 작게 얇게 제작할 수 있게 됨으로써, 습식 에칭, 전주도금 방식, 레이저 가공에 의해 정밀한 증착영역(121)을 가지는 셀 단위 마스크(120)의 가공이 가능한 이점이 있다.
다시 도 5를 참조하면 제2 접합영역(123)은, 구조용 스틱 마스크(110)에 접합되는 영역을 제공할 수 있다. 제2 접합영역(123)은, 증착영역(121)의 둘레를 따라 마련될 수 있다. 제2 접합영역(123)은, 셀 단위 마스크(120)에서 증착영역(121)을 제외한 영역일 수 있다. 다시 도 3 내지 도 5를 참조하면 제2 접합영역(123)은, 제1 접합영역(112)과 면접촉하는 영역일 수 있다.
제2 접합영역(123)은, 제1 접합영역(112)에 의해 지지될 수 있다. 제1 접합영역(112)과 제2 접합영역(123) 간 용접에 의해 구조용 스틱 마스크(110)와 셀 단위 마스크(120)를 접합시킬 수 있다. 제2 접합영역(123)역은, 사각 형상을 가질 수 있다. 일 실시 예에 따른 제2 접합영역(123)은, 제1 방향과 제2 방향에서 각기 다른 폭을 가질 수 있다.
다시 도 5를 참조하면 위치정렬 홀(122)은, 증착 물질을 통과시키기 위한 유기발광표시장치(OLED)의 R, G, B 픽셀 중 선택된 홀들로 이루어질 수 있다. 또한 위치정렬 홀(122)은, TFT 글라스(미도시)의 TFT 위치를 기준으로 셀 단위 마스크(120)를 위치 정렬시키기 위한 기준이 될 수 있다. 위치정렬 홀(122)은, 셀 단위 마스크(120)의 용접 위치를 결정할 수 있다. 셀 단위 마스크(120)의 위치정렬 홀(122)은, TFT 글라스(미도시)의 TFT 위치에 대응되므로, TFT 위치의 절대 좌표값을 토대로 각각의 셀 단위 마스크(120)의 위치를 정렬시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면 셀 단위 마스크(120)는, 구조용 스틱 마스크(110)와 서로 다른 열팽창계수를 가질 수 있다. 보다 구체적으로 셀 단위 마스크(120)는, 구조용 스틱 마스크(110)에 비해 상대적으로 높은 열팽창계수를 가질 수 있다. 이에 따라 구조용 스틱 마스크(110)에 제1 방향으로 인장력이 가해질 경우 셀 단위 마스크(120)에 비해 구조용 스틱 마스크(110)에 가해지는 변형이 상대적으로 적을 수 있다. 이에 따라 구조용 스틱 마스크(110)가 각각의 셀 단위 마스크(120)를 지지한 상태에서 열팽창계수가 큰 셀 단위 마스크(120)의 위치 변이도 최소화할 수 있다.
일 실시 예에 따르면 셀 단위 마스크(120)는, 구조용 스틱 마스크(110)와 서로 다른 두께를 가질 수 있다. 보다 구체적으로 셀 단위 마스크(120)는, 구조용 스틱 마스크(110)에 비해 상대적으로 얇은 두께를 가질 수 있다.(t2 < t1) 이에 따라 더 강한 힘의 인장력을 가해 구조용 스틱 마스크(110)를 잡아당길 수 있고, 상대적으로 셀 단위 마스크(120)에 비해 구조용 스틱 마스크(110)의 처짐을 줄일 수 있다. 결과적으로 구조용 스틱 마스크(110)가 각각의 셀 단위 마스크(120)를 지지하고 있음으로, 셀 단위 마스크(120)의 자중에 의한 처짐도 최소화할 수 있다. 이 경우 셀 단위 마스크(120)는, 5㎛ 내지 25㎛의 두께를 가질 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 제1 실시 예의 하이브리드 스틱 마스크(100)와의 차이점을 중심으로 본 발명의 제2 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)를 설명하기로 한다. 생략된 설명은 위 도 1 내지 도 5에서 설명한 제1 실시 예의 하이브리드 스틱 마스크(100)의 내용으로 대체될 수 있다.
본 발명의 제2 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)는, 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)를 결합시 레이저빔이 상부에서 조사되어 용접 돌기(126)가 셀 단위 마스크(120)의 용접 홈(125)의 저면부에 형성되는 특징을 가질 수 있다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크를 보여주는 사시도이고, 도 7은 도 6의 A-A' 부분 확대단면도이고, 도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크에 인장 접합되는 셀 단위 마스크를 보여주는 제조공정도이며, 도 9a와 도 9b는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 셀 단위 마스크를 보여주는 평면도이다.
*
셀 단위 마스크(120)
도 6 내지 도 9b에 도시된 대로 제2 실시 예에 따른 셀 단위 마스크(120)는, 용접 홈(125)이 형성될 수 있다.
제2 실시 예에 따른 셀 단위 마스크(120)는, 제1 실시 예에 따른 셀 단위 마스크(120)에 비하여 두꺼운 두께를 가진 경우이다. 즉, 제2 실시 예에 따른 셀 단위 마스크(120)는, 용접 홈(125)을 형성하여도 셀 단위 마스크(120)의 내구성에 영향을 끼치지 않을 정도로 일정 두께 이상의 두께를 가질 수 있다.
다시 도 7과 도 8을 참조하면 용접 홈(125)은, 셀 단위 마스크(120)와 구조용 스틱 마스크(110) 간의 결합시 용접에 의해 형성된 용접 돌기(126)로 인해 셀 단위 마스크(120)와 TFT 글라스(미도시) 간 이격이 생기는 것을 막을 수 있다. 즉, 용접 홈(125)은, 상부에서 조사된 레이저빔에 의한 용접 결합시에도 증착 공정에서 셀 단위 마스크(120)를 TFT 글라스(미도시)와 이격이 없도록 밀착시키기 위해 마련될 수 있다. 용접 홈(125)은, 셀 단위 마스크(120)의 일면인 TFT 글라스와의 접촉면(124)으로부터 일정 깊이로 단차 형성될 수 있다.
도 7에 도시된 대로 용접 홈(125)은, TFT 글라스와의 접촉면(124)으로부터 일정 깊이를 갖으며, 후술할 용접 돌기(126)가 형성될 영역일 수 있다. 도 9a 내지 도 9b에 도시된 대로 단차를 가지는 용접 홈(125)은, TFT 글라스(미도시)와의 접촉면(124)의 상부에 다양한 형상으로 제작될 수 있다.
다시 도 7을 참조하면 용접 돌기(126)는, 용접 홈(125)의 기저면에 돌출 형성될 수 있다. 셀 단위 마스크(120)와 TFT 글라스(미도시) 사이의 밀착력을 높이기 위해 용접 돌기(126)의 상단부는 TFT 글라스와의 접촉면(124)보다 낮게 형성될 수 있다. Z방향에서 TFT 글라스와의 접촉면(124)은 용접 돌기(126) 상단부보다 t3만큼 Z+방향에 있다.
이하에서는, 본 발명의 제1 실시 예의 하이브리드 스틱 마스크(100)와의 차이점을 중심으로 본 발명의 제3 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)를 설명하기로 한다. 생략된 설명은 위 도 1 내지 도 5에서 설명한 제1 실시 예의 하이브리드 스틱 마스크(100)의 내용으로 대체될 수 있다.
본 발명의 제3 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)에서는, 보강대(114a)가 마련된 구조용 스틱 마스크(110)인 것을 특징으로 한다.
도 10은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)를 보여주는 사시도이고, 도 11은 도 10의 A-A' 단면도이고, 도 12는 본 발명의 제3 실시 예에 따라 하면에서 조사된 레이저 빔에 의해 접합된 하이브리드 스틱 마스크(100)를 보여주는 A-A' 부분 확대단면도이고, 도 13은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크(110)에 인장 접합되는 셀 단위 마스크(120)를 보여주는 제조공정도이고, 도 14는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크(110)를 보여주는 저면도이고, 도 15a 내지 도 15c는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 보강대의 작용효과를 설명하기 위한 개략도이며, 도 16은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 보강대의 결합과정을 설명하기 위한 개략도이다.
구조용 스틱 마스크(110)
도 10 내지 도 16을 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크(110)는, 제1 접합영역(112)과 인장 고정부(113)를 가질 수 있다. 나아가 보강대(114a)와 용접 돌기(115)를 더 포함할 수 있다.
제3 실시 예에 따르면 구조용 스틱 마스크(110)는, 셀 단위 마스크(120)와 서로 다른 두께를 가질 수 있다. 보다 구체적으로 구조용 스틱 마스크(110)는, 셀 단위 마스크(120)에 비해 상대적으로 일정 두께 이상으로의 두께를 가질 수 있다. 셀 단위 마스크(120)와 달리 상대적으로 구조용 스틱 마스크(110)의 두께를 두껍게 함으로써, 인장 및 용접시 위치 틀어짐은 물론 인장 및 용접에 따른 파손을 방지할 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110)는, 30㎛ 내지 100㎛의 두께를 가질 수 있다.
다시 도 11과 도 12, 도 14를 참조하면 보강대(114a)는, 후술할 셀 단위 마스크(120), 특히 증착영역(121)의 위치 틀어짐을 잡아줄 수 있다. 이로써 증착영역(121)은, TFT 글라스(미도시)의 TFT 위치에 대응되는 좌표값을 가질 수 있다. 보강대(114a)는, 셀 단위 마스크(120)와의 접합면의 이면에 마련될 수 있다. 보강대(114a)는, 복수개가 제1 방향을 따라 서로 이격되어 나란하게 배열될 수 있다. 보강대(114a)는, 셀 단위 마스크(120)의 위치 틀어짐을 잡아줄 수 있도록 일정 두께 이상의 두께를 가질 수 있다.
보강대(114a)는, 셀 단위 마스크(120)와의 결합시 휘어지지 않도록 일정한 강도를 가질 수 있다. 보강대(114a)는, Z방향으로 자중에 의한 처짐이 발생하지 않도록 저중량의 재질을 가질 수 있다. 바람직하게 보강대(114a)는, 자성체에 인력이 작용하는 스틸 성분이 포함된 금속 재질일 수 있다.
구조용 스틱 마스크(110)와 보강대(114a)가 자성을 가짐으로써, 하이브리드 스틱 마스크(100)를 TFT 글라스(미도시)에 밀착시 상부에 마련된 자성체에 의해 하이브리드 스틱 마스크(100)를 Z+방향으로 인력을 작용시켜 TFT 글라스(미도시)와 하이브리드 스틱 마스크(100) 간 밀착력을 높일 수 있다.
도 16에 도시된 대로 보강대(114a)는, 구조용 스틱 마스크(110)의 접합면의 이면, 즉 구조용 스틱 마스크(110)의 하부에 마련된 레이저 용접기(미도시)에서 조사된 레이저 빔에 의해 구조용 스틱 마스크(110)에 용접 결합될 수 있다.
제1 실시 예에 따른 보강대(114a)는, 보강벽일 수 있다. 보강벽은, 용접 포인트를 둘러싸는 수직 방향의 벽으로 이루어질 수 있다. 셀 단위 마스크(120)와의 접합을 위한 용접 조인트와의 간섭을 피하기 위해 보강벽을 따라 보강벽의 하면에 일정 간격으로 용접 돌기가 형성될 수 있다.
용접 포인트는, 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)를 결합하기 위한 용접에 의한 결합 영역을 제공할 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110) 하면, 즉 셀 단위 마스크(120)와의 접합면의 이면으로 레이저 빔을 조사시, 구조용 스틱 마스크(110)와 셀 단위 마스크(120) 간 결합력을 높이기 위해 해당 용접 포인트의 영역을 배제하여 마련될 수 있다.
제1 방향으로 구조용 스틱 마스크(110)에 인장력이 가해질 경우, 제1 방향에서 가장자리로만 인장력이 가해져 팽팽해지고 가장자리 사이 영역인 제2 방향으로 마련된 리브(rib)에는 인장력이 가해지지 않는다.
도 15b와 도 15c는 구조용 스틱 마스크(110)에 보강대(114a)가 없는 경우 각각의 셀 단위 마스크(120)를 구조용 스틱 마스크(110)의 첫 번째, 두 번째 개구부(111) 마다 인장, 정렬 및 용접시키는 경우를 상정한 도면이다.
구조용 스틱 마스크(110)의 두 번째 개구부(111)에 제1 방향 또는 제1 방향 및 제2 방향으로 인장력이 가해진 셀 단위 마스크(120)를 결합시킬 수 있다. 이때 특히 셀 단위 마스크(120)에 제1 방향으로 가해지던 인장력이 결합과 동시에 해제되면, 인장력이 전달되지 않는 리브(rib)에 도 15b에 도시된 대로 제1 방향의 (-) 방향으로 변형이 일어날 수 있다.
도 15c에 도시된 대로 구조용 스틱 마스크(110)의 첫 번째 개구부(111)에 제1 방향 또는 제1 방향 및 제2 방향으로 인장력이 가해진 셀 단위 마스크(120)를 결합시키는 경우, 결합과 동시에 셀 단위 마스크(120)에 가해지던 인장력이 해제되고 제1 방향의 가장자리를 제외한 리브(rib)가 도 15b와 반대 방향의 제1 방향의 (+) 방향으로 변형이 일어날 수 있다.
따라서 도 15a에 도시된 대로 보강대(114a)는 인장력이 가하여진 각각의 셀 단위 마스크(120)를 구조용 스틱 마스크(110)에 결합시 가해지는 인장력 유무에 무관하게 구조용 스틱 마스크의 리브(rib)가 변형이 일어나지 않도록 지지하는 역할을 할 수 있다.
용접 돌기(115)는, 도 11과 도 12, 도 16과 같이 보강벽 내부영역인 용접 포인트에 형성될 수 있다. 보강대(114a) 내측에 용접 돌기(115)를 마련함으로써, 구조용 스틱 마스크(110)와 보강대(114a) 간의 결합력은 물론, 구조용 스틱 마스크(110)와 셀 단위 마스크(120) 간의 결합력까지도 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
구조용 스틱 마스크(110)의 하부에 마련된 레이저 용접 장치(미도시)에 의해, 보강대(114a) 내부 용접 포인트에 용접 돌기(115)를 형성할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 제2 및 제3 실시 예의 하이브리드 스틱 마스크(100)와의 차이점을 중심으로 본 발명의 제4 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)를 설명하기로 한다. 생략된 설명은 위 도 1 내지 도 16에서 설명한 제1 내지 제3 실시 예의 하이브리드 스틱 마스크(100)의 내용으로 대체될 수 있다.
본 발명의 제4 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)에서는, 보강대(114b)가 마련된 구조용 스틱 마스크(110)인 것을 특징으로 한다.
도 17은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크를 보여주는 사시도이고, 도 18은 본 발명의 제4 실시 예에 따라 하면에서 조사된 레이저 빔에 의해 접합된 하이브리드 스틱 마스크를 보여주는 A-A' 부분 확대단면도이고, 도 19은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크에 인장 접합되는 셀 단위 마스크를 보여주는 제조공정도이며, 도 20은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크를 보여주는 저면도이다.
구조용 스틱 마스크(110)
도 17 내지 도 20에 도시된 대로 제4 실시 예에 따른 보강대(114b)는, 직육면체 형상으로 구조용 스틱 마스크(110)의 리브(rib)에 대응되는 일정 두께와 폭을 가질 수 있다. 제4 실시 예에 따른 구조용 스틱 마스크(110)는, 보강대(114b)와의 결합을 위해 셀 단위 마스크(120)와의 접합면의 이면에 용접 돌기(126)가 형성될 수 있다. 이 경우 보강대(114b)의 하부에 마련된 레이저 빔에 의해 보강대(114b)와 구조용 스틱 마스크(110)를 결합시킬 수 있다.
셀 단위 마스크(120)
다시 도 17 내지 도 20에 도시된 대로 제4 실시 예에 따른 셀 단위 마스크(120)는, 용접 홈(125)이 형성될 수 있다.
제4 실시 예에 따른 셀 단위 마스크(120)는, 제1 또는 제3 실시 예에 따른 셀 단위 마스크(120)에 비하여 두꺼운 두께를 가진 경우이다. 즉, 제4 실시 예에 따른 셀 단위 마스크(120)는, 용접 홈(125)을 형성하여도 셀 단위 마스크(120)의 내구성에 영향을 끼치지 않을 정도로 일정 두께 이상의 두께를 가질 수 있다.
용접 홈(125)은, 셀 단위 마스크(120)와 구조용 스틱 마스크(110) 간의 결합시 용접에 의해 형성된 용접 돌기(126)로 인해 셀 단위 마스크(120)와 TFT 글라스(미도시) 간 이격이 생기는 것을 막을 수 있다. 즉, 용접 홈(125)은, 상부에서 조사된 레이저빔에 의한 용접 결합시에도 증착 공정에서 셀 단위 마스크(120)를 TFT 글라스(미도시)와 이격이 없도록 밀착시키기 위해 마련될 수 있다. 용접 홈(125)은, 셀 단위 마스크(120)의 일면인 TFT 글라스와의 접촉면(124)으로부터 일정 깊이로 단차 형성될 수 있다.
이하에서는, 도 2와 도 3, 도 7, 도 8, 도 12, 도 13, 도 18, 도 19를 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)의 제조 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 21은 본 발명의 일 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법을 보여주는 순서도이다.
도 21에 도시된 대로, 하이브리드 스틱 마스크(100)의 제조 방법은, 구조용 스틱 마스크 인장 단계(s10)와 셀 단위 마스크 인장 단계(s20), 셀 단위 마스크 정렬 단계(s30), 셀 단위 마스크 고정 단계(s40)를 포함할 수 있다.
구조용 스틱 마스크 인장 단계(s10)에서는, 클램프 장치(미도시)를 이용해 구조용 스틱 마스크(110)를 제1 방향으로 인장시킬 수 있다. 구조용 스틱 마스크(110)에서 각각의 인장 고정부(113)를 클램프 장치(미도시)에 물린 채 서로 반대방향으로 잡아당김으로써, 구조용 스틱 마스크(110)에 인장력을 가할 수 있다.
셀 단위 마스크 인장 단계(s20)에서는, 셀 단위 마스크(120)를 제1 방향 또는 제1 방향 및 제2 방향으로 인장할 수 있다. 셀 단위 마스크 인장 단계(s30)에서는, 셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)가 각각의 셀 단위 마스크(120)에 인장력을 가할 수 있다. 즉, 셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)가 수직 방향에서 셀 단위 마스크(120)의 일면을 지지한 채로 제1 방향 또는 제1 방향 및 제2 방향으로 셀 단위 마스크(120)를 인장시킬 수 있다.
도 3과 도 8, 도 13, 도 19에서는, 셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)가 수직 방향에서 셀 단위 마스크(120)의 일면을 지지한 채로 제1 방향에서 셀 단위 마스크(120)를 인장시키는 것을 예로 들고 있다.
셀 단위 마스크 정렬 단계(s30)에서는, 셀 단위 마스크(120)의 증착영역(121)이 구조용 스틱 마스크(110)의 개구부(111)에 대응되도록 셀 단위 마스크(120)를 이동하고 셀 단위 마스크(120)를 TFT 글라스(미도시)의 TFT 위치에 정렬시킬 수 있다.
보다 구체적으로 셀 단위 마스크 정렬 단계(s30)에서는, 증착영역(121)이 개구부(111)에 대응되도록 셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)가 각각의 셀 단위 마스크(120)를 이동시킬 수 있다. 즉 셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)가 인장력을 가해 셀 단위 마스크(120)를 지지한 채로 개구부(111)에 대응되도록 제1 위치정렬 시킬 수 있다.
셀 단위 마스크 정렬 단계(s30)에서는, 제2 위치정렬을 위해 카메라(미도시)를 이용해 제2 위치정렬 시킬 수 있다. 카메라(미도시)는, 하이브리드 스틱 마스크(100)의 하부에 위치할 수 있다. 즉, 카메라(미도시)를 이용해 위치정렬 홀(122)의 중심이 TFT 글라스(미도시)의 TFT 위치 중심과 1um 이내로 일치되는지 여부를 확인할 수 있다. 셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)의 위치를 제1 방향 또는 제2 방향에서 미세 조정하여 셀 단위 마스크(120)를 TFT 글라스(미도시)의 TFT 위치로 제2 위치정렬시킬 수 있다.
셀 단위 마스크 고정 단계(s40)에서는, 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)를 고정시킬 수 있다. 셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)를 Z- 방향으로 이동해 제1 접합영역(112)에 제2 접합영역(123)을 안착 후 접합시킬 수 있다. 이 경우 용접에 의해 접합할 수 있다. 셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)가 셀 단위 마스크(120)를 구조용 스틱 마스크(110)에 밀착시킨 상태에서, 레이저 용접기(미도시)에 의해 제1 접합영역(112)과 제2 접합영역(123)에 용접 돌기(115 또는 126)를 형성하며 접합시킬 수 있다.
즉, 셀 단위 마스크 정렬 단계(s30)에서는, 제1 방향 또는 제1 방향 및 제2 방향으로 셀 단위 마스크(120)를 위치 정렬하고, 셀 단위 마스크 고정 단계(s40)에서는, Z 방향으로 위치 정렬해, 각각의 셀 단위 마스크(120)를 위치 정렬시킬 수 있다.
도 2와 도 3, 도 12와 도 13에 도시된 대로 제1 또는 제3 실시 예에 따른 셀 단위 마스크 고정 단계(s40)에서는, 하부에서 조사한 레이저 빔에 의해 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)가 결합시, 구조용 스틱 마스크(110)의 하면에 용접 돌기(115)가 돌출 형성될 수 있다.
도 7과 도 8, 도 18, 도 19에 도시된 대로 제2 또는 제4 실시 예에 따른 셀 단위 마스크 고정 단계(s40)에서는, 상부에서 조사한 레이저 빔에 의해 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)가 결합시, 용접 홈(125)의 기저면에 용접 돌기(126)가 돌출 형성될 수 있다. 이 때 용접 홈(125)은, 셀 단위 마스크(120)의 일면 중, TFT 글라스와의 접촉면(124)으로부터 일정 깊이를 갖도록 단차 형성될 수 있다.
이하에서는 하이브리드 스틱 마스크(100)를 포함하는 마스크 조립체(10)에 대해 설명하기로 한다.
도 22는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이고, 도 23은 도 22에서 B-B' 부분의 정단면도이고, 도 24는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이고, 도 25는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이고, 도 26은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이고, 도 27은 도 26에서 B-B' 부분의 정단면도이고, 도 28은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이고, 도 29는 본 발명의 제6 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 공정을 보여주는 사시도이며, 도 30은 본 발명의 일 실시 예에 따른 프레임을 보여주는 사시도이다.
마스크 조립체(10)
도 22 내지 도 29를 참조하면 마스크 조립체(10)는, 증착 공정 중 증착 물질이 TFT 글라스(미도시)의 특정 위치에 증착될 수 있도록 증착패턴을 제공할 수 있다. 마스크 조립체(10)는, 프레임(200)과 하이브리드 스틱 마스크(100)를 포함할 수 있다.
프레임(200)
도 22 내지 도 30을 참조하면 본 발명의 일 실시 예에 따른 프레임200)은, 하이브리드 스틱 마스크(100)를 지지할 수 있다. 프레임(200)은, 중앙에 개구부(210)가 형성될 수 있다. 또한 프레임(200)은, 제3 접합영역(220)을 가질 수 있다. 프레임(200)은, 하이브리드 스틱 마스크(100)의 인장방향으로 작용하는 압축력에 의한 변형이 일어나지 않도록 강성이 큰 금속 재질을 가질 수 있다. 프레임(200)은, 일정 두께를 가지며, 사각 형상을 가질 수 있다.
다시 도 22 내지 도 30을 참조하면 개구부(210)는, 하이브리드 스틱 마스크(100)를 Z방향으로 노출시킬 수 있다. 개구부(210)는, 수직 관통된 형상일 수 있다. 개구부(210)는, 하이브리드 스틱 마스크(100)마다 각각의 증착영역(121)을 Z방향으로 간섭을 일으키지 않도록, 제1 방향 및 제2 방향으로 각각의 증착영역(121)들보다 더 넓은 영역을 갖도록 형성될 수 있다. 따라서 개구부(210)는, 낮은 정밀도로 가공될 수 있다. 개구부(210)는, 제조 및 가공의 편의성 때문에 사각 형상을 가질 수 있다.
다시 도 22 내지 도 30을 참조하면 제3 접합영역(220)은, 개구부(210)를 둘러싸는 형상으로, 하이브리드 스틱 마스크(100)의 일면을 지지하고 하이브리드 스틱 마스크(100)와의 접합영역을 제공할 수 있다. 하이브리드 스틱 마스크의 접합영역은, 제1 방향에서 하이브리드 스틱 마스크(100)의 양단, 즉 인장 고정부(113)와 면접촉하여 접합되는 영역을 포함할 수 있다. 제3 접합영역(220)에는, 하이브리드 스틱 마스크의 접합영역과 교차하는 제2 방향으로 복수개의 지지홈이 형성될 수 있다. 한 쌍의 지지홈은, 제1 방향으로 나란하게 형성될 수 있다. 양단의 지지홈은, 지지부(230)를 수용할 수 있다.
다시 도 22 내지 도 30을 참조하면 지지부(230)는, 하이브리드 스틱 마스크(100)의 리브(rib)를 지지하며, 하이브리드 스틱 마스크(100)의 처짐을 방지할 수 있다. 나아가 서로 인접한 하이브리드 스틱 마스크(100) 사이의 틈새를 막아줄 수 있다.
지지부(230)는, 하이브리드 스틱 마스크(100)와 나란하게 각각의 리브(rib) 가장자리를 지지할 수 있다. 지지부(230)는, 프레임(200)과 하이브리드 스틱 마스크(100) 사이에 개재될 수 있다. 지지부(230)는, 제1 방향으로 마련될 수 있다. 지지부(230)는, 마주보는 지지홈 내 일단과 타단이 삽입될 수 있다. 지지부(230)의 높이는, 지지홈이 형성된 두께와 같을 수 있다. 따라서 지지부(230)는, 제3 접합영역(220)과 Z방향에서 동일 높이로 하이브리드 스틱 마스크(100)를 지지할 수 있다.
지지부(230)는, 증착 공정시 승화되는 물질의 이동 경로를 간섭하지 않기 위하여, Z+방향으로 갈수록 너비가 넓어지는 사다리꼴 형상을 가질 수 있다.
하이브리드 스틱 마스크(100)
생략된 설명은 위 도 1 내지 도 20에서 설명한 본 발명의 제1 내지 제4 실시 예에 따른 하이브리드 스틱 마스크(100)에 관한 내용을 원용하기로 한다.
하이브리드 스틱 마스크(100)는, 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태에서 인장 고정부(113)가 제3 접합영역(220)에 고정될 수 있다. 하이브리드 스틱 마스크(100)는, 구조용 스틱 마스크(110)의 인장 고정부(113)에 의해 프레임(200)에 고정될 수 있다. 하이브리드 스틱 마스크(100)는, Z방향으로 상부에 마련된 레이저 용접기(미도시)의 레이저 빔에 의해 프레임(200)에 용접될 수 있다.
아래에서는 마스크 조립체(10)에서 프레임(200)과 하이브리드 스틱 마스크(100)의 결합구조를 설명하기로 한다.
도 22, 도 23, 도 26 및 도 27에 도시된 대로 본 발명의 제1 실시 예 및 제4실시 예에 따른 마스크 조립체(10)에서는, 하이브리드 스틱 마스크(100)를 정렬하여, 프레임(200)에 고정시킬 수 있다.
셀 단위 마스크(120)를 인장하여 구조용 스틱 마스크(110)에 정렬시킨 뒤 고정시켜 하이브리드 스틱 마스크(100)를 제조할 수 있다.
클램프 장치(미도시)가 인장 고정부(113)에 인장력을 가하여 TFT 글라스(미도시)의 TFT 위치에 증착영역(121)이 오도록 하이브리드 스틱 마스크(100)를 정렬시킬 수 있다. 정렬된 하이브리드 스틱 마스크(100)를 Z방향으로 이동시켜 프레임(200)의 제3 접합영역(220)에 안착시킬 수 있다. Z방향으로 상부에 마련된 레이저 용접기(미도시)의 레이저 빔에 의해 하이브리드 스틱 마스크(100)를 프레임(200)에 용접해 결합시킬 수 있다.
도 24와 도 25, 도 28, 도 29에 도시된 대로 본 발명의 제2 실시 예, 제3 실시 예, 제5 실시 예 및 제6 실시 예에 따른 마스크 조립체(10)는, 프레임(200)에 구조용 스틱 마스크(110)를 정렬하여 고정시킨 뒤, 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)를 정렬하여 고정시킬 수 있다. 도 24와 도 28 또는 도 25와 도 29는 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)를 결합시 용접 방향의 차이를 보여준다. 도 24와 도 28에 도시된 본 발명의 제2 실시 예 및 제5 실시 예에 따른 마스크 조립체(10)는 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)를 상면에서 용접하는 경우이며, 도 25와 도 29에 도시된 본 발명의 제3 실시 예 및 제6 실시 예에 따른 마스크 조립체(10)는 구조용 스틱 마스크(110)에 셀 단위 마스크(120)를 하면에서 용접하는 경우이다.
도 24 및 도 28과 같은 본 발명의 제2 실시 예 및 제5 실시 예에 따른 마스크 조립체(10)의 제조 방법은 아래와 같다.
클램프 장치(미도시)가 인장 고정부(113)에 인장력을 가하여 구조용 스틱 마스크(110)의 개구부(111)가 모두 프레임(200)의 개구부(210) 안에 들어오도록 구조용 스틱 마스크(110)를 정렬시킬 수 있다. 정렬된 구조용 스틱 마스크(110)를 Z방향으로 이동시켜 프레임(200)의 제3 접합영역(220)에 안착시킬 수 있다. Z방향으로 상부에 마련된 레이저 용접기(미도시)의 레이저 빔에 의해 구조용 스틱 마스크(110)를 프레임(200)에 용접해 결합시킬 수 있다.
셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)가 수직 방향에서 셀 단위 마스크(120)의 일면을 지지한 채로 제1 방향 또는 제1 방향 및 제2 방향으로 인장력을 가하여 구조용 스틱 마스크(110)의 개구부(111)에 증착영역(121)이 오도록 정렬시킬 수 있다.
Z방향으로 상부에 마련된 레이저 용접기(미도시)의 레이저 빔에 의해 구조용 스틱 마스크(110)의 제1 접합영역(112)와 셀 단위 마스크(120)의 제2 접합영역(123)을 용접해 구조용 스틱 마스크(110)에 각각의 셀 단위 마스크(120)를 결합시킬 수 있다. 이 경우 용접돌기(126)는, 셀 단위 마스크(120)의 TFT 글라스와의 접촉면(124) 중 용접 홈(125) 내부에 형성될 수 있다.
도 25와 도 29에 도시된 본 발명의 제3 실시 예 및 제6 실시 예에 따른 마스크 조립체(10)의 제조 방법은 아래와 같다.
클램프 장치(미도시)가 인장 고정부(113)에 인장력을 가하여 구조용 스틱 마스크(110)의 개구부(111)가 모두 프레임(200)의 개구부(210) 안에 들어오도록 구조용 스틱 마스크(110)를 정렬시킬 수 있다. 정렬된 구조용 스틱 마스크(110)를 Z방향으로 이동시켜 프레임(200)의 제3 접합영역(220)에 안착시킬 수 있다. Z방향으로 상부에 마련된 레이저 용접기(미도시)의 레이저 빔에 의해 구조용 스틱 마스크(110)를 프레임(200)에 용접해 결합시킬 수 있다.
셀 단위 마스크 그리퍼(미도시)가 수직 방향에서 셀 단위 마스크(120)의 일면을 지지한 채로 제1 방향 또는 제1 방향 및 제2 방향으로 인장력을 가하여 구조용 스틱 마스크(110)의 개구부(111)에 증착영역(121)이 오도록 정렬시킬 수 있다.
Z방향으로 하부에 마련된 레이저 용접기(미도시)의 레이저 빔에 의해 구조용 스틱 마스크(110)의 제1 접합영역(112)와 셀 단위 마스크(120)의 제2 접합영역(123)을 용접해 구조용 스틱 마스크(110)에 각각의 셀 단위 마스크(120)를 결합시킬 수 있다. 이 경우 용접 돌기(115)는, 구조용 스틱 마스크(110)에서 셀 단위 마스크의 접합면의 이면에 형성될 수 있다.
위에서 살펴본 하이브리드 스틱 마스크(100)를 이용하여 제조된, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 유기발광 디스플레이 장치(1)를 설명하면 다음과 같다.
도 31은 도 1 내지 도 20의 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 제조된 유기발광 디스플레이 장치(1)를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 31을 참조하면, 유기발광 디스플레이 장치(1)의 각종 구성요소는 기판(S) 상에 형성될 수 있다. 이 경우 기판(S)은 기판 자체이거나 기판의 절단된 일부일 수도 있다.
버퍼층(1100), 게이트절연막(1300), 층간절연막(1500) 등과 같이 공통층이 기판(S)의 전면에 형성될 수 있다. 나아가 채널 영역(1210), 소스컨택영역(1220) 및 드레인컨택영역(1230)을 포함하는 패터닝된 반도체층(1200)이 형성될 수도 있다. 이러한 패터닝된 반도체층(1200)과 함께 박막트랜지스터(TFT)의 구성요소가 되는 게이트전극(1400), 소스전극(1600) 및 드레인전극(1700)이 형성될 수 있다.
또한, 이러한 박막트랜지스터(TFT)를 덮는 보호막(1800)과 보호막(1800) 상에 위치하며 그 상면이 대략 평탄한 평탄화막(1900)이 기판(S)의 전면에 형성될 수 있다. 이러한 평탄화막(1900) 상에는 패터닝된 화소전극(2100), 기판(S)의 전면에 대략 대응하는 대향 전극(2300), 그리고 화소전극(2100)과 대향 전극(2300) 사이에 개재되며 발광층을 포함하는 다층 구조의 중간층(2200)을 포함하는, OLED가 위치하도록 형성될 수 있다. 물론 중간층(2200)은 도시된 것과 달리 일부 층인 기판(S)의 전면에 대략 대응하는 공통층일 수 있고, 다른 일부 층은 화소전극(2100)에 대응하도록 패터닝된 패턴층일 수 있다. 화소전극(2100)은 비아홀을 통해 박막트랜지스터(TFT)에 전기적으로 연결될 수 있다. 물론 화소전극(2100)의 가장자리를 덮으며 각 화소영역을 정의하는 개구를 갖는 화소정의막(2000)이 기판(S)의 전면에 대략 대응하도록 평탄화막(1900) 상에 형성될 수 있다.
이와 같은 유기발광 디스플레이 장치(1)의 경우, 상술한 실시 예들에 따른 하이브리드 스틱 마스크 또는 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법을 이용하여 각 구성요소들 중 적어도 일부가 형성될 수 있다.
상술한 실시 예들에 따른 하이브리드 스틱 마스크 또는 마스크 조립체를 이용하여 중간층(2200)을 형성할 수 있다. 예컨대, 중간층(2200)이 포함할 수 있는 홀 주입층(HIL, Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL, Hole Transport Layer), 발광층(EML, Emission Layer), 전자 수송층(ETL, Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL, Electron Injection Layer) 등을 전술한 실시 예들에 따른 하이브리드 스틱 마스크 또는 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법을 이용하여 형성할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.

Claims (19)

  1. 제1 방향으로 복수개의 개구부가 형성되고 상기 개구부의 둘레를 따라 마련된 제1 접합영역을 가지며, 인장력이 가해진 상태에서 프레임에 고정되도록 상기 제1 방향의 양 단부에 인장 고정부가 마련된 구조용 스틱 마스크; 및
    상기 개구부에 대응되는 증착영역과 상기 증착영역의 둘레를 따라 마련되고 상기 제1 접합영역에 접합되는 제2 접합영역을 가지는 셀 단위 마스크를 포함하며;
    각각의 상기 셀 단위 마스크는 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 결합된, 하이브리드 스틱 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구조용 스틱 마스크는,
    TFT 글라스의 TFT 위치를 기준으로 상기 증착영역의 위치 틀어짐을 잡아주기 위해 상기 셀 단위 마스크와의 접합면의 이면에 마련된 보강대를 더 포함하는, 하이브리드 스틱 마스크.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 보강대는, 복수개가 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되어 나란하게 배열된, 하이브리드 스틱 마스크.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 보강대는 상기 셀 단위 마스크와 상기 구조용 스틱 마스크 간의 용접 포인트를 둘러싸는 수직 방향의 보강벽으로 이루어진, 하이브리드 스틱 마스크.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 구조용 스틱 마스크에는 상기 셀 단위 마스크와의 접합면의 이면(裏面)에 용접 돌기가 돌출 형성된, 하이브리드 스틱 마스크.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 셀 단위 마스크에는 TFT 글라스와의 접촉면으로부터 일정 깊이를 가지는 용접 홈이 단차 형성된, 하이브리드 스틱 마스크.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 용접 홈의 기저면에 용접 돌기가 돌출 형성되고,
    상기 용접 돌기의 상단부는 상기 접촉면보다 낮게 형성된, 하이브리드 스틱 마스크.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 셀 단위 마스크는 상기 구조용 스틱 마스크와 서로 다른 열팽창계수를 가지는, 하이브리드 스틱 마스크.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 셀 단위 마스크는 상기 구조용 스틱 마스크와 서로 다른 두께를 가지는, 하이브리드 스틱 마스크.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 증착영역은 증착 물질을 통과시키는 위치정렬 홀을 포함하며,
    상기 위치정렬 홀은 TFT 글라스의 TFT 위치를 기준으로 상기 셀 단위 마스크를 위치정렬하고, 상기 셀 단위 마스크의 용접 위치를 결정하는, 하이브리드 스틱 마스크.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 증착영역은 습식 에칭, 전주 도금 및 레이저 가공 중 어느 하나에 의하여 홀 가공된, 하이브리드 스틱 마스크.
  12. 제1 방향에서 각각의 셀 단위 마스크의 증착영역에 대응되도록 형성된 복수의 개구부와 인장력이 가해진 상태에서 프레임에 고정되도록 상기 제1 방향의 양단에 마련된 인장 고정부를 가지는 구조용 스틱 마스크를 포함하되,
    각각의 상기 셀 단위 마스크가 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 결합되는, 하이브리드 스틱 마스크.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 구조용 스틱 마스크는,
    상기 제1 방향으로의 TFT 위치를 기준으로 상기 증착영역의 위치 틀어짐을 잡아주기 위해 상기 셀 단위 마스크와의 접합면의 이면에 마련된 보강대를 더 포함하는, 하이브리드 스틱 마스크.
  14. 제1 방향으로 구조용 스틱 마스크를 인장하는 구조용 스틱 마스크 인장 단계;
    상기 제1 방향 또는 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 상기 셀 단위 마스크를 인장하는 셀 단위 마스크 인장 단계;
    상기 구조용 스틱 마스크의 개구부마다 상기 셀 단위 마스크의 증착영역이 대응되도록 상기 셀 단위 마스크를 위치정렬하는 셀 단위 마스크 정렬 단계; 및
    상기 구조용 스틱 마스크에 상기 셀 단위 마스크를 고정하는 셀 단위 마스크 고정 단계를 포함하며,
    상기 셀 단위 마스크 인장 단계와 상기 셀 단위 마스크 고정 단계에서는 각각의 상기 셀 단위 마스크마다 개별적으로 상기 구조용 스틱 마스크에 인장 및 고정시키는, 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 셀 단위 마스크 고정 단계에서는,
    하부에서 조사한 레이저 빔에 의해 상기 구조용 스틱 마스크에 상기 셀 단위 마스크가 결합시 상기 구조용 스틱 마스크의 하면에 용접 돌기가 돌출 형성되는, 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 셀 단위 마스크 고정 단계에서는,
    상부에서 조사한 레이저 빔에 의해 상기 구조용 스틱 마스크에 상기 셀 단위 마스크가 결합시 상기 셀 단위 마스크의 용접 홈 기저면에 용접 돌기가 돌출 형성되고,
    상기 용접 홈은 상기 셀 단위 마스크의 일면으로 TFT 글라스와의 접촉면으로부터 일정 깊이를 갖도록 단차 형성되는, 하이브리드 스틱 마스크의 제조 방법.
  17. 개구부가 형성되고 상기 개구부의 둘레를 따라 마련된 제3 접합영역을 가지는 프레임; 및
    제1 방향으로 인장력이 가해진 상태에서 양 단부가 상기 제3 접합영역에 고정된 복수개의 하이브리드 스틱 마스크를 포함하고,
    상기 하이브리드 스틱 마스크는 제 1 항 내지 제13 항 중 어느 한 항의 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 형성된, 마스크 조립체.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제1 방향으로 상기 프레임과 상기 하이브리드 스틱 마스크 사이에 마련되어 상기 하이브리드 스틱 마스크를 지지 고정하며, 서로 인접한 상기 하이브리드 스틱 마스크 사이의 틈새를 막아주는 지지부를 더 포함하는, 마스크 조립체.
  19. TFT 글라스;
    상기 TFT 글라스 상에 배치된, 복수 개의 박막트랜지스터들;
    상기 박막트랜지스터에 전기적으로 연결된 복수 개의 화소전극들;
    상기 화소전극들 상에 배치된 증착층들; 및
    상기 증착층들 상에 배치된 대향 전극을 포함하고,
    상기 박막트랜지스터, 상기 화소전극, 상기 증착층 그리고 상기 대향 전극 중 적어도 어느 하나는 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항의 하이브리드 스틱 마스크를 이용하여 형성된, 유기발광 디스플레이 장치.
PCT/KR2020/005236 2019-05-24 2020-04-21 하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 WO2020242055A1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202080032227.8A CN113785412A (zh) 2019-05-24 2020-04-21 混合掩模版条及其制造方法、包括混合掩模版条的掩模版组件及利用此的有机发光显示装置
US17/601,352 US20220181595A1 (en) 2019-05-24 2020-04-21 Hybrid stick mask and manufacturing method therefor, mask assembly including hybrid stick mask, and organic light emitting display device using same

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190061079A KR102083947B1 (ko) 2019-05-24 2019-05-24 하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치
KR10-2019-0061079 2019-05-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2020242055A1 true WO2020242055A1 (ko) 2020-12-03

Family

ID=70466102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2020/005236 WO2020242055A1 (ko) 2019-05-24 2020-04-21 하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20220181595A1 (ko)
KR (1) KR102083947B1 (ko)
CN (1) CN113785412A (ko)
TW (1) TWI744890B (ko)
WO (1) WO2020242055A1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113272467B (zh) * 2019-11-12 2023-07-28 京东方科技集团股份有限公司 掩模板
JP2021175824A (ja) * 2020-03-13 2021-11-04 大日本印刷株式会社 有機デバイスの製造装置の蒸着室の評価方法、評価方法で用いられる標準マスク装置及び標準基板、標準マスク装置の製造方法、評価方法で評価された蒸着室を備える有機デバイスの製造装置、評価方法で評価された蒸着室において形成された蒸着層を備える有機デバイス、並びに有機デバイスの製造装置の蒸着室のメンテナンス方法
CN111394692B (zh) * 2020-05-09 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版
KR20220077308A (ko) 2020-12-01 2022-06-09 삼성디스플레이 주식회사 마스크
KR20230010121A (ko) * 2021-07-09 2023-01-18 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체를 포함한 증착 설비 및 마스크 조립체 리페어 방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100010251A (ko) * 2008-07-22 2010-02-01 엘지디스플레이 주식회사 분할 마스크 조립체
US20110185966A1 (en) * 2010-02-02 2011-08-04 Lee Il Hyun Mask assembly
US20150027367A1 (en) * 2011-04-25 2015-01-29 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition
KR20180087824A (ko) * 2017-01-25 2018-08-02 주식회사 티지오테크 프레임 일체형 마스크 및 그 제조방법
KR20190025433A (ko) * 2017-09-01 2019-03-11 주식회사 티지오테크 프레임 일체형 마스크의 제조 방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100534580B1 (ko) 2003-03-27 2005-12-07 삼성에스디아이 주식회사 표시장치용 증착 마스크 및 그의 제조방법
KR102263604B1 (ko) * 2014-12-03 2021-06-10 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR102278606B1 (ko) * 2014-12-19 2021-07-19 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR20180032717A (ko) * 2016-09-22 2018-04-02 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
CN109778116B (zh) * 2019-03-28 2021-03-02 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜版及其制作方法、掩膜版组件

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100010251A (ko) * 2008-07-22 2010-02-01 엘지디스플레이 주식회사 분할 마스크 조립체
US20110185966A1 (en) * 2010-02-02 2011-08-04 Lee Il Hyun Mask assembly
US20150027367A1 (en) * 2011-04-25 2015-01-29 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition
KR20180087824A (ko) * 2017-01-25 2018-08-02 주식회사 티지오테크 프레임 일체형 마스크 및 그 제조방법
KR20190025433A (ko) * 2017-09-01 2019-03-11 주식회사 티지오테크 프레임 일체형 마스크의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR102083947B1 (ko) 2020-04-24
US20220181595A1 (en) 2022-06-09
TW202044579A (zh) 2020-12-01
TWI744890B (zh) 2021-11-01
CN113785412A (zh) 2021-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2020242055A1 (ko) 하이브리드 스틱 마스크와 이의 제조 방법, 하이브리드 스틱 마스크를 포함하는 마스크 조립체 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치
WO2020013386A1 (ko) 발광 장치 및 이를 구비한 표시 장치
WO2020166986A1 (en) Display module having glass substrate on which side wirings are formed and manufacturing method of the same
WO2020226316A1 (en) Transfer apparatus and method of manufacturing micro led display using the same
WO2020013403A1 (ko) 발광 장치, 그의 제조 방법, 및 이를 포함한 표시 장치
WO2017171309A1 (ko) 증착용 마스크 및 이를 이용한 oled 패널
WO2020027395A1 (ko) 이차 전지 제조 설비 및 이를 사용한 이차 전지 제조 방법
WO2020050558A1 (ko) 증착용 마스크 및 이의 제조 방법
WO2020080624A1 (ko) 표시 장치
WO2020222445A1 (ko) 디스플레이용 기판
WO2021029568A1 (ko) 디스플레이용 기판
WO2021002622A1 (en) Micro led display module and method of manufacturing the same
EP3847699A1 (en) Display module having glass substrate on which side wirings are formed and manufacturing method of the same
WO2020141652A1 (ko) 잉크젯 프린팅 장치, 쌍극자 정렬 방법 및 표시 장치의 제조 방법
WO2019083338A1 (ko) 산화물 반도체 박막 트랜지스터 및 그 제조방법
WO2021054550A1 (en) Device for self-assembling semiconductor light-emitting diodes
WO2021054548A1 (en) Substrate chuck for self-assembling semiconductor light-emitting diodes
WO2020076021A1 (ko) 마스크 지지 템플릿과 그의 제조 방법 및 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
WO2018139822A1 (ko) 반도체 도너 기판과, 반도체 도너 기판의 제조 방법과, 유기 발광 장치의 제조 방법 및 도너 기판 모듈
WO2022005033A1 (ko) 잉크젯 프린팅 장치
WO2021225341A1 (ko) 측면 배선이 형성된 글라스 기판을 구비한 디스플레이 모듈 및 그 제조 방법
WO2021125446A1 (ko) 게이트 드라이버 및 이를 포함하는 표시 장치
WO2011074734A1 (ko) 씰패턴이 형성되는 기판과 씰패턴의 형성방법 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법
WO2019066095A1 (ko) 디스플레이 디바이스
WO2019059684A2 (ko) 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 20814618

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 20814618

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1