WO2019059684A2 - 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치 - Google Patents

요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치 Download PDF

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WO2019059684A2
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donor
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강경태
이호년
강희석
이상호
황준영
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한국생산기술연구원
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    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass

Definitions

  • the present invention relates to a donor substrate assembly in which a recessed unit is formed, and an apparatus for manufacturing an organic light emitting display using the same. More particularly, the present invention relates to an apparatus for manufacturing a donor substrate assembly and an organic light emitting display.
  • fine metal mask FMM
  • LITI laser induced thermal image
  • ink-jet ink-jet
  • white OLED + color filter methods are used to form pixels of organic light emitting diodes have.
  • the FMM method is a method of depositing an organic material on a target substrate through a thin metal mask (see FIG. 1).
  • the FMM method is a method of forming pixels one by one by depositing an organic material in a vacuum atmosphere, and has already undergone much research. Therefore, according to the FMM method, an OLED having generally excellent quality can be produced.
  • the organic material does not move vertically to the target substrate when moving toward the target substrate (Glass) for deposition, a dead space may occur (see Fig. 2 (a)).
  • the metal mask is large, the large metal mask is likely to be warped (see Fig. 2 (b)). When the metal mask is warped, it is difficult to form a pixel at a desired position, and the yield of OLED is lowered. That is, it is difficult to manufacture a large-area OLED by the FMM method.
  • the LITI method is a method in which a laser is irradiated onto a film containing an organic substance and the organic substance is transferred from the film to the target substrate.
  • the edge portions of the transferred organic pattern are not uniform (edge roughness), and it is difficult to form a high resolution pixel (refer to FIG. 3 (a)).
  • the organic material is less transferred at the boundary of the pixel portion (Edge open, see Fig. 3 (b)).
  • the Ink-jet method is a printing method in which a luminescent ink is dropped onto a target substrate.
  • Ink-jet process is advantageous for large-area OLED manufacturing because it does not require vacuum, complicated process, or many facilities.
  • it is difficult to control the spreading of the dropped ink, and it is difficult to form fine pixels.
  • the degree of spread of the ink dropped depending on the surface state of the target substrate is different, and it is difficult to form a uniform pixel (see FIG. 4). Therefore, it is difficult to form high-resolution pixels by the ink-jet method.
  • White OLED + Color Filter method is to form an OLED (white OLED) emitting white light and then place a color filter on the white OLED like LCD. White light passes through a color filter to show a specific color.
  • White OLED + Color Filter method is not a method to directly form pixels with organic materials, but it can manufacture large area OLED and high resolution pixel formation. However, in order to form a white OLED, a process for forming a highly complicated laminated structure is required (see FIG. 5), and a large amount of organic materials must be used. And White OLEDs have low power efficiency. In addition, the brightness of the white light falls after passing through the color filter.
  • QLED quantum dot light emitting diode
  • PeLED Perovskite Light Emitting Diode
  • Perovskite materials are expected to be advantageous for large-area display production because of their ease of synthesis and high extinction coefficient.
  • Patent Document 1 Korean Patent No. 10-1182442 (Registered on Mar. 09, 2012)
  • a pattern unit extending in the longitudinal direction of the base unit and having a plurality of partition units spaced apart from each other in the width direction of the base unit so as to form a recessed unit; A well portion which is located at one side or both sides of the pattern portion and into which the organic material is dropped; And a plurality of donor substrates including a photo-thermal conversion unit provided between the base and the pattern unit are combined to form a donor substrate assembly.
  • the pattern unit may include an inorganic material or an organic material.
  • the inorganic material may include at least one material selected from the group consisting of silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, aluminum oxide, zinc oxide, and indium tin oxide.
  • the organic material may be selected from the group consisting of a polyacrylic resin, an epoxy resin, a phenol resin, a polyamide resin, a polyimide resin, an unsaturated polyester resin, a polyphenylene resin, a polyphenylene sulfide resin, And at least one material selected from the group consisting of benzocyclobutene.
  • the metal coating layer may be formed to have a thickness that allows the neighboring partition units to be spaced apart, and may extend along the surface of the pattern unit.
  • the ceramic coating layer may be formed to a thickness that allows the neighboring partition units to be spaced apart, and may extend along the surface of the pattern unit or the metal coating layer .
  • the photo-thermal conversion unit may include a single layer structure made of a material containing at least one of molybdenum (Mo), chromium (Cr), titanium (Ti), tin (Sn), and tungsten .
  • Mo molybdenum
  • Cr chromium
  • Ti titanium
  • Sn tin
  • tungsten tungsten
  • the photo-thermal conversion unit may include: a first metal layer stacked on the base portion; An oxide layer stacked on the first metal layer; And a second metal layer stacked on the oxide layer, wherein the first metal layer is thinner than the second metal layer.
  • the first metal layer and the second metal layer are made of a material including at least one of molybdenum (Mo), chrome (Cr), titanium (Ti), tin (Sn), and tungsten And the like.
  • the oxide layer may be formed of at least one of a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, aluminum oxide, and indium tin oxide (ITO).
  • the well portion may include: a first wall extending in a longitudinal direction of the base portion from a pair of partition units located at both ends of the base portion; And a second wall connected to one end of the pair of first walls, wherein the organic material is dropped in an inner region surrounded by the first wall, the second wall and the pattern portion.
  • the donor substrate is continuously coupled to the donor substrate in the matrix direction on the same plane to form the donor substrate assembly.
  • the pattern unit may further include a protruding unit provided at an upper portion of the partition unit, the protruding unit being provided at an edge of the well unit.
  • a pattern unit extending in the longitudinal direction of the base unit and having a plurality of partition units spaced apart from each other in the width direction of the base unit so as to form a recessed unit;
  • a photo-thermal conversion unit provided between the base unit and the pattern unit;
  • a hydrophobic thin film layer formed on an upper surface of the partition unit to form a donor substrate assembly, wherein the donor substrate assembly is formed by combining the plurality of donor substrates.
  • the metal coating layer may be formed to have a thickness that allows the neighboring partition units to be spaced apart, and may extend along the surface of the pattern unit.
  • the ceramic coating layer may be formed to a thickness that allows the neighboring partition units to be spaced apart, and may extend along the surface of the pattern unit or the metal coating layer .
  • the photo-thermal conversion unit may include a single layer structure made of a material containing at least one of molybdenum (Mo), chromium (Cr), titanium (Ti), tin (Sn), and tungsten .
  • Mo molybdenum
  • Cr chromium
  • Ti titanium
  • Sn tin
  • tungsten tungsten
  • the photo-thermal conversion unit may include: a first metal layer stacked on the base portion; An oxide layer stacked on the first metal layer; And a second metal layer stacked on the oxide layer, wherein the first metal layer is thinner than the second metal layer.
  • the donor substrate may be formed by forming a plurality of donor substrates on the same plane and continuously connecting the donor substrates in the matrix direction.
  • a method of manufacturing a light emitting diode using a donor substrate assembly comprising the steps of: a) preparing the donor substrate assembly; b) dripping an organic material into the well portion and injecting an organic material into each of the recessed units; c) covering the target substrate on top of the donor substrate assembly; And d) sequentially irradiating each of the donor substrates with light to transfer the organic material injected into the recessed unit to the target substrate, wherein the organic material transferred onto the target substrate forms an organic layer
  • the present invention also provides a method of manufacturing a light emitting diode using a donor substrate assembly in which a recessed unit is formed.
  • a method of manufacturing a light emitting diode using a donor substrate assembly comprising the steps of: a) preparing the donor substrate assembly; b) dripping an organic material into the pattern unit and injecting an organic material into each recess unit; c) covering the target substrate on top of the donor substrate assembly; And d) sequentially irradiating each of the donor substrates with light to transfer the organic material injected into the recessed unit to the target substrate, wherein the organic material transferred onto the target substrate forms an organic layer
  • the present invention also provides a method of manufacturing a light emitting diode using a donor substrate assembly in which a recessed unit is formed.
  • an organic light emitting display comprising: a donor substrate; A transfer unit connected to the lower unit and configured to transfer the organic material to a target substrate aligned on an upper portion of the donor substrate; A light irradiation unit for irradiating light toward the donor substrate located at the transfer unit and transferring the organic material to a target substrate; A cleaning unit for recovering and cleaning the donor substrate from the transfer unit; And a deposition unit for depositing a target substrate on the target substrate and for providing and recovering the target substrate to the transfer unit.
  • the present invention also provides an apparatus for manufacturing an organic light emitting display using the donor substrate.
  • the donor substrate includes a base portion; A pattern unit extending in the longitudinal direction of the base unit and having a plurality of partition units spaced apart from each other in the width direction of the base unit so as to form a recessed unit; And a photo-thermal conversion unit provided between the base unit and the pattern unit.
  • the pattern unit may include an inorganic material or an organic material.
  • the inorganic material may include at least one material selected from the group consisting of silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, aluminum oxide, zinc oxide, and indium tin oxide.
  • the organic material may be selected from the group consisting of a polyacrylic resin, an epoxy resin, a phenol resin, a polyamide resin, a polyimide resin, an unsaturated polyester resin, a polyphenylene resin, a polyphenylene sulfide resin, And at least one material selected from the group consisting of benzocyclobutene.
  • the organic material loaded on the donor substrate is injected into the recessed unit by a capillary force.
  • the dropping section may include: a dropping chamber in which the donor substrate, which is cleaned by the cleaning section, is carried in; A loading stage on which the donor substrate carried in the loading chamber is seated; A dropping nozzle for dropping the organic material onto the donor substrate; A material tank for supplying an organic material to the dropping nozzle; And a dry unit for drying the organic material dropped on the donor substrate.
  • the transfer unit may include: a transfer chamber in which the organic material is transferred to the target substrate; And a load lock chamber provided at one side of the transfer chamber, the load lock chamber being configured to carry the donor substrate into the transfer chamber and carry the transfer substrate out of the transfer chamber.
  • the transfer unit may further include a deposition gate formed on the deposition unit side of the transfer chamber and configured to carry the target substrate into the transfer chamber and carry the target substrate from the transfer chamber .
  • the transferring unit may be configured to transfer a donor substrate formed on one side of the load lock chamber, from which the organic material is dropped into the load lock chamber, A first load lock gate arranged to carry out transfer of the donor substrate; And a transfer member which is formed on the other side of the load lock chamber to take out the donor substrate from which the organic material is dropped from the load lock chamber to the transfer chamber and to transfer the donor substrate from the transfer chamber to the load lock chamber, 2 load-lock gate.
  • the cleaning section includes: a cleaning chamber into which the donor substrate is introduced; A shower head provided in the cleaning chamber and spraying a cleaning liquid toward an upper portion of the donor substrate; And a water tank provided below the shower head to receive the cleaning liquid sprayed from the showerhead.
  • the cleaning section includes: a cleaning stage in which the donor substrate, which has been cleaned by the showerhead, is transferred and seated; And a blower installed on the cleaning stage to remove foreign substances remaining on the donor substrate.
  • a cleaning liquid supply tank provided to supply a cleaning liquid to the showerhead; And a cleaning liquid recovery tank for recovering the cleaning liquid contained in the water tank to the cleaning liquid supply tank.
  • a method of manufacturing an organic light emitting display using an organic light emitting diode (OLED) display comprising: a) dripping an organic material into the donor substrate; b) transferring the donor substrate and the target substrate onto which the organic material is dropped to the transfer unit; c) transferring the organic material loaded on the donor substrate to the target substrate; d) transferring the donor substrate to the cleaner, and transferring the target substrate to the deposition unit; e) cleaning the donor substrate transferred to the cleaning section; And f) transferring the cleaned donor substrate to the dropping unit, wherein the organic material transferred to the target substrate forms an organic layer.
  • OLED organic light emitting diode
  • the donor substrate is repeatedly circulated and recycled to the lower portion, the transfer portion, and the cleaning portion according to the steps a) to f).
  • an organic light emitting display manufactured by an apparatus for manufacturing an organic light emitting display using a donor substrate.
  • an organic light emitting display manufactured by a method of manufacturing an organic light emitting display using an organic light emitting diode display using a donor substrate.
  • the effect of the present invention according to the above configuration can be transferred to the target substrate in a shape corresponding exactly to the recessed unit.
  • a metal coating layer having a high thermal conductivity is disposed on the upper surface of the base.
  • the metal coating layer can contribute to completely transfer the light emitting ink within a short time without leaving the light emitting ink in the recessed unit.
  • a ceramic coating layer is disposed on a surface of the base portion or the metal coating layer.
  • the ceramic coating layer may protect the base portion or the metal coating layer from external impurities.
  • the precision and the uniformity of the light emission pattern to be formed are high, so that it is possible to form a high-resolution pixel and manufacture a large area light emitting diode.
  • the structure of the donor substrate is simple, and it is easy to manufacture the donor substrate assembly, which is economical.
  • the organic material dropped in the well portion of the donor substrate is moved to the recessed unit by the capillary force and is seated, so that the organic material is located only inside the recessed unit. Then, the photo-thermal conversion portion is provided only at the lower portion of the pattern portion. Therefore, even if light is irradiated to the entire donor substrate, the organic material can be transferred to the target substrate only in a shape corresponding to the shape of the groove unit. Therefore, a conventional barrier rib layer or a light reflecting layer for transferring the organic material to the target substrate in a specific pattern by irradiating the donor substrate with light in a specific pattern is unnecessary.
  • the organic material dropped on one side of the donor substrate and seated inside the one groove unit is extended toward the groove unit side along the groove unit by the capillary force.
  • no additional equipment is required to extend the organic material from one side of the unit to the other side.
  • the donor substrate since all of the dropped organic materials are transferred to the target substrate, the donor substrate can be recycled and the used donor substrate can be cleaned and recycled, which is economical.
  • FIG. 1 is a conceptual view showing a conventional FMM method.
  • FIG. 2 is a view showing a problem of the conventional FMM method.
  • 3 is a view showing a problem of the conventional LITI method.
  • FIG. 4 is a conceptual view showing a conventional Ink-jet method.
  • FIG. 5 is a structural view showing a complicated laminate used in the conventional white OLED + color filter method.
  • FIG. 6 is a perspective view of a donor substrate according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the donor substrate shown in Fig. 6 taken along line A-A 'and B-B'.
  • FIG. 8 is a perspective view of a donor substrate on which a protruding unit according to an embodiment of the present invention is formed.
  • FIG. 9 is a view illustrating an example of a flow of an organic material in a donor substrate according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a photo-thermal conversion unit according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating a donor substrate on which a metal coating layer and a ceramic coating layer are formed according to an embodiment of the present invention.
  • FIGS. 12 and 13 are top views of a donor substrate assembly according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a perspective view of a donor substrate according to another embodiment of the present invention.
  • 15 is a cross-sectional view taken along line C-C 'of the donor substrate of FIG.
  • 16 is an exemplary view showing a flow of an organic material in a donor substrate according to another embodiment of the present invention.
  • 17 is a cross-sectional view illustrating a photo-thermal conversion unit according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view illustrating a donor substrate having a metal coating layer and a ceramic coating layer according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 19 is a top view of a donor substrate assembly according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 19 is a top view of a donor substrate assembly according to another embodiment of the present invention.
  • 20 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a donor substrate assembly and a light emitting diode using the same according to an embodiment of the present invention.
  • 21 is a flowchart illustrating a process of a donor substrate assembly and a method of manufacturing a light emitting diode using the same according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 22 is a schematic diagram showing a target substrate according to an embodiment of the present invention and another embodiment.
  • FIG. 23 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a donor substrate assembly and a light emitting diode using the same according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 24 is a flowchart illustrating a process of a donor substrate assembly and a method of manufacturing a light emitting diode using the same according to another embodiment of the present invention.
  • 25 is an exemplary view of an apparatus for manufacturing an organic light emitting display using a donor substrate according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 26 is an exemplary illustration of an enemy base according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 27 is an exemplary view of a transfer unit and a light irradiation unit according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 28 is an exemplary view of a cleaning unit according to an embodiment of the present invention.
  • 29 is a flowchart of a method of manufacturing an organic light emitting display of an apparatus for manufacturing an organic light emitting display using a donor substrate according to an embodiment of the present invention.
  • a most preferred embodiment of the donor substrate assembly in which the groove unit of the present invention is formed comprises a base portion; A pattern unit including a plurality of partition units spaced apart from each other in the width direction of the base unit so as to extend in a longitudinal direction of the base unit and including organic or inorganic materials; A well portion which is located at one side or both sides of the pattern portion and into which the organic material is dropped; And a plurality of donor substrates including a photo-thermal conversion unit provided between the base and the pattern unit to form a donor substrate assembly, wherein the photo-thermal conversion unit includes at least one of molybdenum (Mo), chromium (Cr), titanium (Ti) A first metal layer stacked on an upper portion of the base portion, an oxide layer stacked on an upper portion of the first metal layer, and a second metal layer stacked on the first metal layer, wherein the first metal layer is formed of a material including at least one of tin (Sn) and tungsten (W) And a second metal layer stacked on the oxide
  • a donor substrate for dropping an organic material onto a donor substrate which is one embodiment of the present patent
  • a transfer unit connected to the lower unit and configured to transfer the organic material to a target substrate aligned on an upper portion of the donor substrate
  • a light irradiation unit for irradiating light toward the donor substrate located at the transfer unit and transferring the organic material to a target substrate
  • the cleaning unit for recovering and cleaning the donor substrate from the transfer unit is exemplified as a cluster type chamber system, but can also be applied to an in-line type chamber system.
  • FIG. 6 is a perspective view of a donor substrate according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line A-A 'and B-B' of the donor substrate of FIG.
  • a donor substrate assembly 10a having a groove unit includes a base 110, a pattern unit 120, a well 130, and a photo-thermal conversion unit 140 And a plurality of donor substrates 100 including a plurality of donor substrates 100.
  • the base 110 may be provided in the form of a substrate on which the organic material L is received and the organic material L is transferred onto the target substrate 20 (see FIG. 21).
  • the organic material (L) may be a light emitting ink, but it is not limited thereto, and may include all materials to be transferred to the target substrate (20).
  • the pattern unit 120 is divided into a plurality of partition units arranged in the width direction of the base unit 110 so as to extend in the longitudinal direction of the base unit 110 and to form a groove unit 122 121).
  • the partitioning unit 121 may protrude toward the upper portion of the base 110 to form a groove unit 122 between adjacent partitioning units 121.
  • the pattern unit 120 may include an inorganic material or an organic material.
  • the inorganic material may include at least one material selected from the group consisting of silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, aluminum oxide, zinc oxide, and indium tin oxide.
  • the organic material may be selected from the group consisting of a polyacrylic resin, an epoxy resin, a phenol resin, a polyamide resin, a polyimide resin, an unsaturated polyester resin, a polyphenylene resin, a polyphenylene sulfide resin, and benzocyclobutene At least one material selected from the group consisting of:
  • FIG. 8 is a perspective view of a donor substrate on which a protruding unit according to an embodiment of the present invention is formed.
  • the pattern unit 120 may further include a protruding unit 123.
  • the protruding unit 123 may be provided at an upper portion of the partitioning unit 121, and may be provided at a side edge of the well unit 120.
  • the protruding unit 123 provided in this way can prevent the organic material L dropped on the well part 120 from splashing or moving to the upper part of the partitioning unit 121.
  • the organic material (L) can be transferred to the target substrate (20) only in a predetermined pattern.
  • the protruding unit 123 may be made of a hydrophilic material or a hydrophobic material, and preferably a hydrophobic material such as a fluorine-based polymer and gold (Au).
  • the well part 130 is located on one side or both sides of the pattern part 120 and organic material may be dropped.
  • the well portion 130 includes a first wall 131 and a second wall 132.
  • the first wall 131 may extend in the longitudinal direction of the base 110 from a pair of the partitioning units 121 located at both ends of the base 110.
  • the second wall 132 may be formed by connecting one end of a pair of the first walls 131.
  • the well portion 130 is formed with an inner region surrounded by the first wall 131, the second wall 132, and the pattern portion 120, and the organic material may be dropped into the inner region .
  • FIG. 9 is a view illustrating an example of a flow of an organic material in a donor substrate according to an embodiment of the present invention.
  • the organic material L may be dropped into the well portion 130.
  • the organic material L dropped into the well portion 130 may flow into one side of the recessed unit 122 by capillary force and expand to the other side of the recessed unit 122.
  • the organic material L is uniformly filled in only the inside of the recessed unit 122 of the pattern unit 120.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a photo-thermal conversion unit according to an embodiment of the present invention.
  • the photo-thermal conversion unit 140 may be provided between the base unit 110 and the pattern unit 120. Referring to FIG. 6 to 10, the photo-thermal conversion unit 140 may be provided between the base unit 110 and the pattern unit 120. Referring to FIG. 6 to 10, the photo-thermal conversion unit 140 may be provided between the base unit 110 and the pattern unit 120. Referring to FIG. 6
  • the photo-thermal converting unit 140 may be formed of a single metal layer or a plurality of metal layers.
  • the photo-thermal conversion unit 140 may be formed of a metal such as Mo, Cr, Ti, Sn, W, Or a single layer structure made of a material containing at least one of metals.
  • the photo-thermal conversion unit 140 When the photo-thermal conversion unit 140 is formed of a plurality of metal layers, the photo-thermal conversion unit 140 includes a first metal layer 141 stacked on the base 110, a first metal layer 141, An oxide layer 142 stacked on top of the oxide layer 142 and a second metal layer 143 stacked on the oxide layer 142.
  • the first metal layer 141 and the second metal layer 143 may be made of a material including at least one of molybdenum (Mo), chromium (Cr), titanium (Ti), tin (Sn), and tungsten Lt; / RTI >
  • the first metal layer 141 may be thinner than the second metal layer 143. Specifically, when the first metal layer 141 adjacent to the base 110 is thick, the light irradiated from the lower portion of the base 110 may not be absorbed and the light-heat conversion may not be performed properly. Therefore, the first metal layer 141 may be thinner than the second metal layer 143 to improve the absorption rate of light passing through the base 110.
  • the oxide layer 142 may be formed of at least one of a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, aluminum oxide, and indium tin oxide (ITO).
  • the photothermal conversion unit 140 converts the light irradiated from the lower portion of the base unit 110 into heat and transmits the heat to the recessed unit 122 to thereby heat the organic material L received in the recessed unit 122. [ Can be transferred to the target substrate (20).
  • the target substrate 20 may be formed in the shape of the recessed unit 122,
  • FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating a donor substrate on which a metal coating layer and a ceramic coating layer are formed according to an embodiment of the present invention.
  • the donor substrate 100 is formed to have a thickness that allows the adjacent partitioning units 121 to be spaced apart from each other, and is formed of metal extending along the surface of the patterning unit 120, Coating layer 150 may be further included.
  • the metal coating layer 150 may be formed of a material having a high thermal conductivity and may transmit heat transmitted from the photo-thermal converting unit 140 more quickly. Therefore, the metal coating layer 150 can be transferred to the target substrate 20 in a short time without leaving the organic material L in the recessed unit 122.
  • the donor substrate 100 is formed to have a thickness enough to keep the neighboring partition units 121 apart from each other and extend along the surface of the pattern unit 120 or the metal coating layer 150 And may further include a ceramic coating layer 160.
  • the ceramic coating layer 160 may include at least one material selected from the group consisting of silica (SiO2), silicon nitride (SiNx), and alumina (Al2O3).
  • the ceramic coating layer 160 may be formed by depositing ceramic through physical vapor deposition or chemical vapor deposition.
  • the ceramic coating layer 160 may protect the base 110 from external impurities.
  • the ceramic coating layer 160 may prevent the base 110 from being oxidized.
  • FIGS. 12 and 13 are top views of a donor substrate assembly according to an embodiment of the present invention.
  • the donor substrate 100 provided in the above-described manner can be continuously coupled to the donor substrate assembly 10a in the matrix direction on the same plane.
  • FIG. 12 is a view illustrating an example in which the donor substrate 110 having the well 130 formed on only one side of the base 110 is coupled in the row direction. And the donor substrate on which the gate insulating layer 130 is formed is coupled in the row direction.
  • the donor substrate assembly 10a thus formed is highly precise and uniform in the light emission pattern to be formed, and thus it is possible to form a high-resolution pixel and manufacture a large area light emitting diode.
  • the structure of the donor substrate 100 is simple, and the donor substrate assembly 10a is easy to manufacture, which is economical.
  • FIG. 14 is a perspective view of a donor substrate according to another embodiment of the present invention
  • FIG. 15 is a cross-sectional view of a donor substrate taken along line C-C 'of FIG.
  • a donor substrate assembly 10b having a groove unit includes a base portion 210, a pattern portion 220, a hydrophobic thin film layer 230, a photo-thermal conversion portion 240, And a plurality of donor substrates 200 including a plurality of donor substrates 200.
  • the base 210 may be provided in the form of a substrate on which an organic material L is placed and an organic material L is transferred onto the target substrate 20 (see FIG. 21).
  • the organic material (L) may be a light emitting ink, but it is not limited thereto, and may include all materials to be transferred to the target substrate (20).
  • the pattern unit 220 includes a plurality of partitioning units 210 extending in the longitudinal direction of the base unit 210 and spaced apart from each other in the width direction of the base unit 210 so as to form a groove unit 222, 221).
  • the partitioning unit 221 protrudes toward the upper part of the base 210 to form a groove unit 222 between the adjacent partitioning units 221.
  • the hydrophobic thin film layer 230 is formed on the upper surface of the partition unit 221 and may be formed of a hydrophobic material.
  • the hydrophobic thin film layer 230 is formed so that the organic material L dropped onto the partition unit 221 is separated from the concave unit 220 222, respectively.
  • 16 is an exemplary view showing a flow of an organic material in a donor substrate according to another embodiment of the present invention.
  • the organic material L may be dropped onto the pattern unit 220.
  • the organic material L dropped onto the hydrophobic thin film layer 230 formed on the upper surface of the partitioning unit 221 among the organic materials L dropped onto the pattern unit 220 is guided by the capillary force, (Not shown). Therefore, the organic material L may be uniformly filled in only the inside of the recessed unit 222 of the pattern unit 220.
  • 17 is a cross-sectional view illustrating a photo-thermal conversion unit according to another embodiment of the present invention.
  • the photo-thermal conversion unit 240 may be provided between the base unit 210 and the pattern unit 220.
  • the photo-thermal converting unit 240 may be formed of a single metal layer or a plurality of metal layers.
  • the photo-thermal conversion unit 240 may be formed of a metal such as molybdenum (Mo), chromium (Cr), titanium (Ti), tin (Sn), tungsten (W) Or a single layer structure made of a material containing at least one of metals.
  • Mo molybdenum
  • Cr chromium
  • Ti titanium
  • Sn tin
  • W tungsten
  • the photo-thermal conversion unit 240 When the photo-thermal conversion unit 240 is formed of a plurality of metal layers, the photo-thermal conversion unit 240 includes a first metal layer 241 stacked on the base 210, a first metal layer 241, An oxide layer 242 stacked on top of the oxide layer 242 and a second metal layer 243 stacked on top of the oxide layer 242.
  • the first metal layer 241 and the second metal layer 243 may be formed of a material containing at least one of molybdenum (Mo), chromium (Cr), titanium (Ti), tin (Sn), and tungsten Lt; / RTI >
  • the first metal layer 241 may be thinner than the second metal layer 243. Specifically, when the first metal layer 241 adjacent to the base 210 is thick, the light irradiated from the lower portion of the base 210 may not be absorbed and the light-heat conversion may not be performed properly. Accordingly, the first metal layer 241 may be thinner than the second metal layer 243 to improve the absorption rate of light passing through the base 210.
  • the oxide layer 242 may be formed of at least one of a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, aluminum oxide, and indium tin oxide (ITO).
  • the photothermal conversion unit 240 converts the light irradiated from the lower portion of the base unit 210 into heat and transmits the heat to the recessed unit 222 so that the organic material L housed in the recessed unit 222 Can be transferred to the target substrate (20).
  • the target substrate 20 may be formed in the shape of the recessed unit 222,
  • FIG. 18 is a cross-sectional view illustrating a donor substrate having a metal coating layer and a ceramic coating layer according to another embodiment of the present invention.
  • the donor substrate 200 is formed to have a thickness capable of maintaining a state in which the neighboring partitioning units 221 are spaced apart from each other, and the metal coating layer 220, which extends along the surface of the pattern unit 220, (250).
  • the metal coating layer 250 may be formed of a material having a high thermal conductivity, and may transmit heat transmitted from the light-heat converting unit 240 more quickly. Therefore, the metal coating layer 250 can be transferred to the target substrate 20 in a short time without leaving the organic material L in the recessed unit 222.
  • the donor substrate 200 is formed to have a thickness enough to keep the neighboring partitioning units 221 apart from each other and extend along the surface of the pattern unit 220 or the metal coating layer 250 And may further include a ceramic coating layer 260.
  • the ceramic coating layer 260 may include at least one material selected from the group consisting of silica (SiO2), silicon nitride (SiNx), and alumina (Al2O3).
  • the ceramic coating layer 260 may be formed by depositing a ceramic through physical vapor deposition or chemical vapor deposition.
  • the ceramic coating layer 260 may protect the base 210 from external impurities.
  • the ceramic coating layer 260 may prevent the base 210 from being oxidized.
  • FIG. 19 is a top view of a donor substrate assembly according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 19 is a top view of a donor substrate assembly according to another embodiment of the present invention.
  • the donor substrate 200 provided in the above-described form may be continuously coupled to the donor substrate assembly 10b in the matrix direction on the same plane.
  • the donor substrate assembly 10b thus formed is highly precise and uniform in the light emission pattern to be formed, enabling high resolution pixel formation and large area light emitting diode manufacture.
  • the structure of the donor substrate 200 is simple, and the donor substrate assembly 10b is easy to manufacture, which is economical.
  • FIG. 20 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a light emitting diode using the same according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 21 is a cross-sectional view illustrating a donor substrate assembly and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 22 is a schematic diagram showing a target substrate according to an embodiment of the present invention and another embodiment.
  • a method of fabricating a light emitting diode using a donor substrate assembly in which a recessed unit according to an embodiment is formed may firstly perform step S110 of preparing the donor substrate assembly.
  • the donor substrate assembly 10a may be prepared by coupling a plurality of donor substrates 100 in the row direction.
  • an organic material may be dripped into the well portion and an organic material may be injected into each well (S120).
  • An organic material L may be dripped into the well portion 130 provided in each donor substrate 100 in a step S120 of dripping organic materials into the well portions and injecting organic materials into the respective recessed units.
  • the organic material L dropped onto the well portion 130 is injected into one side of the recessed unit 122 by capillary phenomenon and extends to the other side of the recessed unit 122, The inside can be filled.
  • the step of covering the target substrate on the donor substrate assembly may be performed.
  • the target substrate 20 may be aligned and positioned on the donor substrate assembly 10a in a step S130 of covering the target substrate on the donor substrate assembly. That is, the position of the target substrate 20 may be aligned with the position where the organic material L filled in the inside of the groove unit 122 is to be transferred.
  • step S140 of sequentially irradiating each donor substrate with light to transfer the organic material injected into the recessed unit to the target substrate Can be performed.
  • step S140 the light source 30 irradiates light toward the lower part of the base part 110 in a step S140 of sequentially irradiating the respective donor substrates with light and transferring the organic material injected into the recessed units to the target substrate
  • the irradiated light can reach the photo-thermal converting unit 140 through the base unit 110.
  • the light reaching the photo-thermal converting unit 140 may be converted into heat and transmitted to the groove unit 122.
  • the heat transferred to the recessed unit 122 may evaporate the organic material L located inside the recessed unit 122 and transfer the organic material L to the target substrate 20 positioned on the upper side .
  • the light source 30 may be a xenon lamp, but is not limited thereto.
  • the light source 30 may individually irradiate light to each of the donor substrates 100 constituting the donor substrate assembly 10a.
  • a moving means for moving the light source 30 or the donor substrate assembly 10a in parallel may be further provided.
  • the organic material transferred to the target substrate may form an organic layer (not shown).
  • the organic layer may be a light emitting layer, a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, an electron injecting layer, or the like.
  • the target substrate 20 includes a substrate 21, a buffer layer 22, a thin film transistor 23 for driving a light emitting diode, a gate insulating film 24, an interlayer insulating film 25, a passivation film 26, a pixel defining layer 27, a pixel electrode 28, and an organic layer 29.
  • the thin film transistor 23 includes a semiconductor layer 23a, a gate electrode 23c, a source electrode 23b, and a drain electrode 23d.
  • the substrate 21 may be a rigid substrate such as glass or a flexible substrate such as a polymer film.
  • the buffer layer 22 is formed on the upper surface of the substrate 21.
  • the buffer layer 22 is made of an inorganic material. Specifically, the buffer layer 22 may include SiO2 or SiNx.
  • the buffer layer 22 provides a flat surface for forming a pixel circuit, and moisture and foreign matter can be prevented from penetrating into the pixel circuit.
  • the thin film transistor 23 and a capacitor (not shown) are formed on the buffer layer 22.
  • the semiconductor layer 23a may be formed of polysilicon or an oxide semiconductor. Further, the semiconductor layer 23a includes a channel region which is not doped with an impurity, and a source region and a drain region which are doped with an impurity.
  • the gate insulating film 24 is formed between the semiconductor layer 23a and the gate electrode 23c.
  • the interlayer insulating film 25 is formed between the gate electrode 23c and the source and drain electrodes 23b and 23d.
  • the passivation film 26, the pixel defining layer 27, the pixel electrode 28 and the organic layer 29 are formed on the source and drain electrodes 23b and 23d.
  • a light emission pattern may be formed between the pixel defining layer 27 and the surface of the organic layer 29.
  • FIG. 23 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a donor substrate assembly and a light emitting diode using the same according to another embodiment of the present invention
  • FIG. 24 is a view illustrating a donor substrate assembly having a groove unit according to another embodiment of the present invention
  • a method of fabricating a light emitting diode using a donor substrate assembly in which a recessed unit according to another embodiment is formed may firstly perform step S210 of preparing the donor substrate assembly.
  • the donor substrate assembly 10b may be prepared by coupling a plurality of the donor substrates 200 in the matrix direction.
  • an organic material may be dripped into the pattern unit and an organic material may be injected into the individual unit (S220).
  • An organic material L may be dripped into the pattern unit 220 provided on each donor substrate 200 in a step S220 of dripping the organic material into the pattern unit and injecting the organic material into each recess unit have.
  • the organic material L dropped in the partition unit 221 of the pattern unit 220 is injected into the recessed unit 222 by capillary phenomenon to fill the inside of the recessed unit 222 .
  • the organic material L may be injected into the recessed unit 222 without remaining on the upper part of the partitioning unit 221 by the hydrophobic thin film layer 230.
  • the step S230 of covering the target substrate on the upper part of the donor substrate assembly may be performed.
  • the target substrate 20 may be aligned and positioned on the donor substrate assembly 10b in a step S230 of covering the target substrate on the donor substrate assembly. That is, the position of the target substrate 20 may be aligned corresponding to the position where the organic material L filled in the recessed unit 222 is to be transferred.
  • step S240 of sequentially irradiating each donor substrate with light and transferring the organic material injected into the recessed unit to the target substrate Can be performed.
  • the light source 30 emits light toward the lower portion of the base portion 210 in step S240 of sequentially irradiating the respective donor substrates with light and transferring the organic material injected into the recessed units to the target substrate
  • the irradiated light can reach the photo-thermal conversion unit 240 through the base unit 210.
  • the light reaching the photo-thermal conversion unit 240 may be converted into heat and transmitted to the groove unit 222.
  • the heat transferred to the recessed unit 222 can evaporate the organic material L located inside the recessed unit 222 and transfer the organic material L to the target substrate 20 positioned on the upper side .
  • the light source 30 may be a xenon lamp, but is not limited thereto.
  • the light source 30 may be provided to individually irradiate the respective donor substrates 200 constituting the donor substrate assembly 10b with light.
  • a moving means for moving the light source 30 or the donor substrate assembly 10b in parallel may be further provided.
  • the organic material transferred to the target substrate may form an organic layer (not shown).
  • the organic layer may be a light emitting layer, a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, an electron injecting layer, or the like.
  • 25 is an exemplary view of an apparatus for manufacturing an organic light emitting display using a donor substrate according to an embodiment of the present invention.
  • the term donor substrate 100 should be understood to include both the donor substrates 100 and 200 and the donor substrate assemblies 10a and 10b described above. That is, the donor substrate used in the organic light emitting display manufacturing apparatus 1000 using the donor substrate may be the donor substrate 100, 200 or the donor substrate assembly 10a, 10b.
  • an apparatus 1000 for fabricating an organic light emitting display using a donor substrate includes a lower portion 1100, a transfer portion 1200, a light irradiation portion 1300, a deposition portion 1400, and a cleaning portion 1500 .
  • FIG. 26 is an exemplary illustration of an enemy base according to an embodiment of the present invention.
  • the red bottom 1100 is provided to drop organic materials on the donor substrate 100 and includes a dropping chamber 1110, a dropping stage 1120, a dropping nozzle 1130, a material tank 1140 And a dry unit 1150.
  • the loading chamber 1110 is provided so that the donor substrate 100 cleaned by the cleaning unit 1500 can be carried into the inside.
  • the loading stage 1120 is provided inside the loading chamber 1110 and the donor substrate 100 loaded into the loading chamber 1110 can be seated. At this time, the donor substrate 100 may be seated on the upper surface of the loading stage 1120 such that the groove unit 122 faces upward.
  • the dropping nozzle 1130 may be provided to drop the organic material onto the donor substrate 100. More specifically, the dropping nozzle 1130 may be provided to drop the organic material onto the donor substrate 100 placed on the dropping stage 1120.
  • the dropping stage 1120 can be heated to dry the organic material dropped on the donor substrate assembly 10a.
  • the organic material loaded on the donor substrate 100 may be accommodated inside the groove unit 122 by a capillary force.
  • the technique of allowing the organic material to flow into and receive the recessed unit 122 is the same as that described above, so a detailed description thereof will be omitted.
  • the material tank 1140 may be provided to store the organic material therein.
  • the dropping nozzle 1130 may be connected to the dropping nozzle 1130 to supply the organic material to be dropped onto the donor substrate 100.
  • the dry unit 1150 is provided in the loading chamber 1110 and may be provided to dry the organic material dropped on the donor substrate 100. Specifically, the dry unit 1150 may be provided to apply heat or wind to the organic material dropped to dry the organic material loaded on the donor substrate 100. Also, the dry unit 1150 may provide a gas so that the dropped organic material can be easily dropped into the recessed unit 122.
  • the dry unit 1150 may be provided on the inner side of the drop chamber 1110, but is not limited thereto. If the dry unit 1150 is capable of drying the organic material loaded on the donor substrate 100 Can all be included. For example, the dry unit 1150 may be provided to control the temperature inside the loading chamber 1110 to a temperature at which the organic material can be dried.
  • FIG. 27 is an exemplary view of a transfer unit and a light irradiation unit according to an embodiment of the present invention.
  • the transfer unit 1200 may be provided to transfer the organic material to the target substrate 20 aligned with the upper portion of the donor substrate 100, have.
  • the transfer section 1200 includes a transfer chamber 1210, a deposition gate 1220, a load lock chamber 1230, a first load lock gate 1240, and a second load lock gate 1250.
  • the transfer chamber 1210 may be provided to transfer the organic material to the target substrate 20. Specifically, the transfer chamber 1210 may be provided with the target substrate 20 and the donor substrate 100 therein. The target substrate 20 may be aligned on the donor substrate 100.
  • the deposition gate 1220 is formed on the deposition unit 1400 side of the transfer chamber 1210 and the target substrate 20 is transferred into the transfer chamber 1210, And may be provided to carry out the target substrate 20. That is, the deposition gate 1220 is provided between the transfer chamber 1210 and the deposition unit 1400 so that the target substrate 20 can be transferred into the transfer chamber 1210 or transferred to the deposition unit 1400 can do.
  • the load lock chamber 1230 is provided at one side of the transfer chamber 1210 and may be configured to carry the donor substrate 100 into the transfer chamber 1210 and to remove the transfer substrate from the transfer chamber 1210 .
  • the load lock chamber 1230 may be provided to carry the donor substrate 100 provided from the red lower portion 1100 and to take the transferred donor substrate 100 to the transfer chamber 1210 have.
  • the load lock chamber 1230 transfers the transferred donor substrate 100 from the transfer chamber 1210 and transfers the transferred donor substrate 100 to the cleaning unit 1500 .
  • the first load lock gate 1240 is formed on one side of the load lock chamber 1230 and the donor substrate 100 in which the organic material is dripped from the red lower chamber 1100 into the load lock chamber 1230 is transferred And to transfer the transferred donor substrate 100 from the load lock chamber 1230 to the cleaner 1500.
  • the second load lock gate 1250 is formed on the other side of the load lock chamber 1230 and the donor substrate 100 in which the organic material is dropped from the load lock chamber 1230 to the transfer chamber 1210 is taken out And transfer the transferred donor substrate 100 from the transfer chamber 1210 to the load lock chamber 1230.
  • the light irradiation unit 1300 may be provided to transfer the organic material to the target substrate 20 by irradiating light toward the donor substrate 100 located at the transfer unit 1200.
  • the light irradiation unit 1300 includes a light irradiation chamber 1310, a lamp unit 1320, a lamp power 1330, and a cooling unit 1340.
  • the upper and the light irradiation chambers 1310 are provided to receive the lamp unit 1320, the lamp power 1330 and the cooling unit 1340 therein and may be provided under the transfer unit 1200 .
  • the lamp unit 1320 is provided inside the light irradiation chamber 1310 and may be provided to irradiate light toward the donor substrate 100 aligned with the transfer unit 1200. As described above, the light irradiated to the donor substrate 100 is converted into heat through the photo-thermal converting unit 140, and the organic material accommodated in the recessed unit 1220 is dried to the target substrate 20 It can be transferred. The organic material transferred to the target substrate 20 may form the organic layer.
  • the lamp unit 1320 may be a xenon flash lamp, but is not limited thereto.
  • the lamp power 1330 is provided inside the light irradiation chamber 1310 and is connected to the lamp unit 1320 to provide power for driving the lamp unit 1320.
  • the cooling unit 1340 may be provided to receive the lamp unit 1320 to reduce the heat generated when the lamp unit 1320 irradiates the light, It is possible to prevent a failure from occurring.
  • the deposition unit 1400 may be provided to deposit the target substrate 20 on the target substrate 20 and to provide and recover the target substrate 20 to the transfer unit 1200.
  • the deposition unit 1400 includes a transfer chamber 1410 and a deposition chamber 1420.
  • the transfer chamber 1410 is connected to the transfer unit 1200 and may transfer the organic material to the target substrate 20 by providing the target substrate 20 to the transfer unit 1200.
  • the transfer chamber 1410 can collect the transferred target substrate 20 from the transfer unit 1200.
  • the transport chamber 1410 may provide the target substrate 20 to the deposition chamber 1420 or may recover the target substrate 20 from the deposition chamber 1420 to perform the deposition process.
  • the transfer chamber 1410 may include a transfer unit for performing the above-described functions.
  • the deposition chamber 1420 may be provided on the outer surface of the transfer chamber 1410 and may be provided along the circumferential direction of the transfer chamber 1410.
  • the deposition chamber 1420 may receive the target substrate 20 from the transfer chamber 1410 and perform a deposition process on the target substrate 20.
  • FIG. 28 is an exemplary view of a cleaning unit according to an embodiment of the present invention.
  • the cleaning unit 1500 may be configured to recover and clean the donor substrate 100 from the transfer unit 1200 and may include a cleaning chamber 1510, a showerhead 1520, a cleaning liquid supply tank 1530, A cleaning liquid recovery tank 1540, a cleaning liquid recovery tank 1550, a cleaning stage 1560 and a blower 1570.
  • the cleaning chamber 1510 may be provided so that the donor substrate 100 recovered from the transfer unit 1200 is loaded therein.
  • the showerhead 1520 is provided inside the cleaning chamber 1510 and can spray the cleaning liquid toward the upper portion of the donor substrate 100. Specifically, the organic material dropped on the donor substrate 100 is transferred from the transfer unit 1200 to the target substrate 20. At this time, some organic material may remain in the donor substrate 100. Accordingly, the showerhead 1520 may spray the cleaning liquid toward the donor substrate 100 to remove all of the organic materials remaining on the donor substrate 100.
  • the cleaning liquid supply tank 1530 may store the cleaning liquid therein and may be connected to the showerhead 1520 to supply the cleaning liquid to the showerhead 1520.
  • the water tank 1540 may be provided under the shower head 1520 to receive the cleaning liquid sprayed from the showerhead 1520.
  • the donor substrate 100 carried into the cleaning chamber 1510 may be provided on the upper portion of the cleaning liquid accommodated in the water tank 1540.
  • the water tank 1540 may accommodate the cleaning liquid sprayed from the showerhead 1520 and the organic material remaining on the donor substrate 100.
  • the cleaning liquid recovery tank 1550 may be provided to recover the cleaning liquid contained in the water tank 1540 to the cleaning liquid supply tank 1530.
  • the cleaning liquid collection tank 1550 may be configured to recover the cleaning liquid contained in the water tank by the cleaning liquid supply tank 1530 and recycle it.
  • the cleaning liquid recovery tank 1550 further includes a filter unit for removing foreign substances such as organic materials contained in the cleaning liquid when the cleaning liquid contained in the water tank 1540 is recovered by the cleaning liquid supply tank 1530 .
  • the cleaning stage 1560 is provided inside the cleaning chamber 1510 and is provided at one side of the water tank 1540 so that the donor substrate 100 cleaned by the shower head 1520 is transferred and seated .
  • the blower 1570 may be provided to remove foreign matter remaining on the donor substrate 100 mounted on the cleaning stage 1560. Specifically, the blower 1570 may blow air on the donor substrate 100 to remove residual foreign matter not removed through the cleaning liquid.
  • blower 1570 may be dried to remove moisture on the donor substrate 100 through the wind.
  • the blower 1570 can prevent the organic layer from generating voids or the like when the organic material is transferred to the target substrate 20 by drying the donor substrate 100.
  • the apparatus 1000 for manufacturing an organic light emitting display using the donor substrate according to the present invention circulates the donor substrate 100 through the lower portion 1100, the transfer portion 1200, and the cleaning portion 1500, So that the donor substrate 100 can be automatically recycled.
  • 29 is a flowchart of a method of manufacturing an organic light emitting display of an apparatus for manufacturing an organic light emitting display using a donor substrate according to an embodiment of the present invention.
  • a method of manufacturing an organic light emitting display of an apparatus for manufacturing an organic light emitting display using a donor substrate may first carry out a step (S 1100) of dripping an organic material onto the donor substrate carried in the lower substrate.
  • the organic lower material 1200 may drop organic materials into the donor substrate 100.
  • the organic material may flow into the recessed unit 122 by the capillary force.
  • the step S1200 of transferring the donor substrate and the target substrate onto which the organic material is dropped may be performed to the transfer unit .
  • the transfer unit 1200 transfers the organic material to the donor substrate 100, And the target substrate 20 located in the deposition unit 1400 can be carried into the inside.
  • the transfer unit 1200 may align the donor substrate 100 and the target substrate 20, which have been transferred into the transfer unit 1200, at predetermined positions.
  • transferring the organic material loaded on the donor substrate to the target substrate may be performed .
  • the photo-thermal conversion unit 140 irradiates And convert the light into heat so as to transfer the dried organic material located in the groove unit 122 to the target unit 20.
  • the organic material transferred to the target substrate 20 may form the organic layer.
  • the donor substrate After transferring the organic material dropped onto the donor substrate to the target substrate (S1300), the donor substrate is transferred to the cleaner, and the target substrate is transferred to the deposition unit (S1400) have.
  • the donor substrate 100 on which the transfer process has been completed is conveyed to the cleaner 1500,
  • the target substrate 20 may be transported to the deposition unit 1400.
  • cleaning the donor substrate transferred to the cleaning unit (S1500) may be performed.
  • the cleaning unit 1500 may remove residues such as organic materials remaining on the donor substrate 100 by spraying a cleaning liquid.
  • the step of transferring the cleaned donor substrate to the loading unit may be performed.
  • the donor substrate 1100 may be provided with the donor substrate 100 cleaned and dried from the cleaning unit 1500.
  • the organic lower layer 1100 may drop the organic material onto the donor substrate 100 again.
  • the donor substrate 100 repeatedly circulates the organic lower part 1100, the transfer part 1200, and the cleaning part 1500, So that it can be provided.
  • a method of manufacturing an organic light emitting display of an organic light emitting display manufacturing apparatus using a donor substrate includes the steps of (S1100) dropping an organic material onto the donor substrate carried in the lower portion, (S1600) may be sequentially and repeatedly performed so that the donor substrate 100 is automatically recycled.
  • donor substrate assembly 100 donor substrate
  • partition unit 122 partition unit 122:
  • protruding unit 130
  • first wall 132 second wall
  • photo-thermal conversion unit 141 first metal layer
  • oxide layer 143 second metal layer
  • donor substrate assembly 200 donor substrate
  • base portion 220 pattern portion
  • partition unit 222 partition unit 222:
  • hydrophobic thin film layer 240 photo-
  • metal coating layer 260 ceramic coating layer
  • Transfer section 1210 Transfer chamber
  • first load lock gate 1250 second load lock gate
  • Lamp unit 1330 Lamp power
  • Cooling unit 1400 Cooling unit 1400:
  • Transfer chamber 1420 Deposition chamber

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Abstract

본 발명은 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 경제적으로 도너기판어셈블리 및 발광 다이오드를 제조하기 위한 위한 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 발광 다이오드 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 구성은 베이스부; 상기 베이스부의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛이 형성되도록 상기 베이스부의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛을 갖는 패턴부; 상기 패턴부의 일측 또는 양측에 위치하며, 유기재료가 적하되는 웰부; 및 상기 베이스부와 상기 패턴부 사이에 마련되는 광열변환부를 포함하는 복수의 도너기판을 결합하여 도너기판어셈블리를 형성하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 제공한다.

Description

요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
본 발명은 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 경제적으로 도너기판어셈블리 및 유기발광 디스플레이를 제조하기 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diode, 유기 발광 다이오드)의 화소를 형성하는 방법에는 FMM(Fine Metal Mask)법, LITI(Laser Induced Thermal Image)법, Ink-jet법, White OLED+Color Filter법 등이 있다.
FMM법은 얇은 금속 마스크(mask)를 통해 유기물을 타겟기판(Glass)에 증착하는 방법이다(도 1 참조). FMM법은 진공 분위기에서 유기물을 증착하여 화소를 하나하나씩 형성하는 방법으로, 이미 많은 연구가 진행된 방법이다. 따라서 FMM법에 따르면, 일반적으로 품질이 우수한 OLED가 제조될 수 있다. 그러나 유기물이 증착을 위해 타겟기판(Glass)을 향해 이동할 때 타겟기판에 수직으로 이동하지 않으므로, Dead Space가 생길 수 있다(도 2(a) 참조). 또한, 금속 마스크가 대형인 경우, 그 대형 금속 마스크는 휘어지기 쉽다(도 2(b) 참조). 금속 마스크가 휘어지면, 원하는 위치에 화소를 형성하기 어려워 OLED 수율이 떨어지게 된다. 즉, FMM법으로는 대면적 OLED를 제조하기 어렵다.
LITI법은 레이저를 유기물이 포함된 필름에 조사하여, 유기물을 필름에서 타겟기판으로 전사하는 방법이다. 그러나 LITI법에 따르면, 전사된 유기물 패턴의 에지(edge) 부분이 균일하지 못해(Edge roughness), 고해상도 화소 형성이 어렵다(도 3(a) 참조). 또한, 유기물이 화소부 경계에서는 덜 전사된다(Edge open, 도 3(b) 참조).
Ink-jet법은 발광 잉크를 타겟기판에 적하하는 프린팅 방법이다. Ink-jet법은 진공, 복잡한 공정, 또는 많은 설비를 요하지 않으므로 대면적 OLED 제조에 유리하다. 그러나 Ink-jet법에 따르면, 적하된 잉크가 퍼지는 것을 제어하기 어려워 미세한 화소를 형성하기 어렵다. 또한 적하된 잉크가 타겟기판의 표면 상태에 따라 퍼지는 정도가 달라, 균일한 화소를 형성하기 어렵다(도 4 참조). 따라서 Ink-jet법으로는 고해상도 화소 형성이 어렵다.
White OLED+Color Filter법은 백색광을 내는 OLED(White OLED)를 형성한 다음, White OLED 상부에 LCD의 경우처럼 Color Filter를 위치시키는 방법이다. 백생광은 Color Filter를 통과하여 특정 색상을 나타낸다. White OLED+Color Filter법은 유기물로 직접 화소를 형성하는 방법은 아니나, 대면적 OLED 제조와 고해상도 화소 형성이 가능하다. 그러나 White OLED를 형성하기 위해서는 상당히 복잡한 적층 구조를 형성하는 공정이 필요하고(도 5 참조), 많은 양의 유기물이 사용되어야 한다. 그리고 White OLED는 전력 효율이 낮다. 또한 백색광은 Color Filter 통과 후 휘도가 떨어진다.
한편, 최근에는 양자점(Quantum Dot) 물질을 발광 소자로 이용하는 QLED(Quantum dot Light Emitting Diode, 양자점 발광 다이오드)에 대한 연구가 진행되고 있다. 유기물을 발광 소자로 이용하는 OLED의 경우, 여러 가지 색상을 나타내기 위해 유기물의 종류가 바뀌어야 하는 반면, QLED의 경우, 양자점의 크기 변경만으로도 다양한 색상이 구현될 수 있다.
또한, 최근에는 태양전지에서 사용되는 페로브스카이트 재료를 발광 소자로 이용하는 PeLED(Perovskite Light Emitting Diode)에 대한 연구가 진행되고 있다. 페로브스카이트 재료는 합성이 용이하고 흡광 계수가 높기 때문에, 대면적 디스플레이 생산에 유리할 것으로 예측되고 있다.
QLED나 PeLED의 화소 형성에 있어서도, OLED의 경우와 마찬가지로, 상술된 문제점들이 나타날 수 있다.
(선행특허문헌 1) 한국등록특허 제10-1182442호(2012. 09. 06. 등록)
상기와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은 경제적으로 도너기판어셈블리 및 유기발광 디스플레이를 제조하기 위한 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 베이스부; 상기 베이스부의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛이 형성되도록 상기 베이스부의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛을 갖는 패턴부; 상기 패턴부의 일측 또는 양측에 위치하며, 유기재료가 적하되는 웰부; 및 상기 베이스부와 상기 패턴부 사이에 마련되는 광열변환부를 포함하는 복수의 도너기판을 결합하여 도너기판어셈블리를 형성하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 패턴부는, 무기물 또는 유기물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 무기물은 산화 규소, 질화 규소, 산질화 규소, 산화 알루미늄, 산화 아연, 및 산화 인듐 주석으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 유기물은 폴리아크릴계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리이미드계 수지, 불포화 폴리에스테르계 수지, 폴리페닐렌계 수지, 폴리페닐렌설파이드계 수지, 및 벤조사이클로부텐으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 이웃한 상기 구획유닛이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부의 표면을 따라 연장 형성되는 금속코팅층을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 이웃한 상기 구획유닛이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부 또는 상기 금속코팅층의 표면을 따라 연장 형성되는 세라믹코팅층을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 광열변환부는, 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 중 하나 이상의 금속을 포함하는 재질로 이루어진 단일층 구조인 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 광열변환부는, 상기 베이스부의 상부에 적층되는 제1 금속층; 상기 제1 금속층의 상부에 적층되는 산화물층; 및 상기 산화물층의 상부에 적층되는 제2 금속층을 포함하며, 상기 제1 금속층은 상기 제2 금속층보다 두께가 얇은 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1 금속층 및 상기 제2 금속층은 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 중 하나 이상의 금속을 포함하는 재질로 이루어진 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 산화물층은, 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 실리콘 산질화막, 산화알루미늄, ITO(Indium Tin Oxide) 중 어느 하나 이상으로 이루어진 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 웰부는, 상기 베이스부의 양단측에 위치한 한 쌍의 구획유닛으로부터 상기 베이스부의 길이 방향으로 연장된 제1 벽체; 및 한 쌍의 상기 제1 벽체의 일단부를 연결한 제2 벽체를 포함하며, 상기 제1 벽체, 상기 제2 벽체 및 상기 패턴부로 둘러싸인 내측 영역에 상기 유기재료가 적하되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 도너기판은, 동일 평면 상에 행열 방향으로 복수개가 연속적으로 결합되어 상기 도너기판어셈블리를 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 패턴부는, 상기 구획유닛의 상부에 마련되되, 상기 웰부측 가장자리에 마련되는 돌출유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 베이스부; 상기 베이스부의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛이 형성되도록 상기 베이스부의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛을 갖는 패턴부; 상기 베이스부와 상기 패턴부 사이에 마련되는 광열변환부; 및 상기 구획유닛의 상면에 형성되는 소수성 박막층을 포함하는 복수개의 도너기판 결합하여 도너기판어셈블리를 형성하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 이웃한 상기 구획유닛이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부의 표면을 따라 연장 형성되는 금속코팅층을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 이웃한 상기 구획유닛이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부 또는 상기 금속코팅층의 표면을 따라 연장 형성되는 세라믹코팅층을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 광열변환부는, 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 중 하나 이상의 금속을 포함하는 재질로 이루어진 단일층 구조인 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 광열변환부는, 상기 베이스부의 상부에 적층되는 제1 금속층; 상기 제1 금속층의 상부에 적층되는 산화물층; 및 상기 산화물층의 상부에 적층되는 제2 금속층을 포함하며, 상기 제1 금속층은 상기 제2 금속층보다 두께가 얇은 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 도너기판은, 동일 평면 상에 행열 방향으로 복수개가 연속적으로 결합되어 도너기판어셈블리를 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법에 있어서, a) 상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계; b) 상기 웰부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계; c) 상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계; 및 d) 각각의 상기 도너기판에 순차적으로 광을 조사하여 상기 요홈유닛에 주입된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계를 포함하며, 상기 타겟기판에 전사된 유기재료는 유기층을 형성하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법을 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법에 있어서, a) 상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계; b) 상기 패턴부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계; c) 상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계; 및 d) 각각의 상기 도너기판에 순차적으로 광을 조사하여 상기 요홈유닛에 주입된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계를 포함하며, 상기 타겟기판에 전사된 유기재료는 유기층을 형성하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법을 제공한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 도너기판에 유기재료를 적하하는 적하부; 상기 적하부와 연결되며, 상기 도너기판의 상부에 정렬된 타겟기판에 상기 유기재료의 전사가 이루어지도록 마련된 전사부; 상기 전사부에 위치한 상기 도너기판을 향해 광을 조사하여 타겟기판에 상기 유기재료를 전사하는 광조사부; 상기 전사부로부터 상기 도너기판을 회수하여 세정하는 세정부; 및 상기 타겟기판에 대한 증착 공정이 이루어지고, 상기 타겟기판을 상기 전사부에 제공 및 회수하는 증착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 도너기판은, 베이스부; 상기 베이스부의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛이 형성되도록 상기 베이스부의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛을 갖는 패턴부; 상기 베이스부와 상기 패턴부 사이에 마련되는 광열변환부를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 패턴부는, 무기물 또는 유기물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 무기물은 산화 규소, 질화 규소, 산질화 규소, 산화 알루미늄, 산화 아연, 및 산화 인듐 주석으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 유기물은 폴리아크릴계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리이미드계 수지, 불포화 폴리에스테르계 수지, 폴리페닐렌계 수지, 폴리페닐렌설파이드계 수지, 및 벤조사이클로부텐으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 도너기판에 적하된 유기재료는 모세관력에 의해 상기 요홈유닛에 주입되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 적하부는, 상기 세정부에 의해 세정된 상기 도너기판이 내부로 반입되는 적하챔버; 상기 적하챔버에 반입된 상기 도너기판이 안착되는 적하스테이지; 상기 도너기판에 상기 유기재료를 적하하는 적하노즐; 상기 적하노즐에 유기재료를 공급하는 재료탱크; 및 상기 도너기판에 적하된 유기재료를 건조시키는 드라이유닛을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 전사부는, 상기 타겟기판에 대한 유기재료의 전사가 이루어지는 전사챔버; 및 상기 전사챔버의 일측에 마련되며, 상기 도너기판을 상기 전사챔버에 반입하고, 상기 전사챔버로부터 반출하도록 이루어진 로드락챔버를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 전사부는, 상기 전사챔버의 상기 증착부측에 형성되며, 상기 전사챔버에 상기 타겟기판을 반입하고, 상기 전사챔버로부터 상기 타겟기판을 반출하도록 이루어진 증착게이트를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 전사부는, 상기 로드락챔버의 일측에 형성되며, 상기 적하부에서 상기 로드락챔버로 유기재료가 적하된 도너기판을 반입하고, 상기 로드락챔버에서 상기 세정부로 전사가 완료된 도너기판을 반출하도록 마련된 제1 로드락게이트; 및 상기 로드락챔버의 타측에 형성되며, 상기 로드락챔버에서 상기 전사챔버로 유기재료가 적하된 도너기판을 반출하고, 상기 전사챔버에서 상기 로드락챔버로 전사가 완료된 도너기판을 반입하도록 마련된 제2 로드락게이트를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 세정부는, 상기 도너기판이 반입되는 세정챔버; 상기 세정챔버 내에 마련되며, 상기 도너기판의 상부를 향해 세정액을 분사하는 샤워헤드; 및 상기 샤워헤드로부터 분사된 세정액을 수용하도록 상기 샤워헤드의 하부에 마련된 수조를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 세정부는, 상기 샤워헤드에 의해 세정된 상기 도너기판이 이송되어 안착되는 세정스테이지; 상기 세정스테이지에 안착된 상기 도너기판 상에 잔류한 이물질을 제거하도록 마련된 블로워를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 샤워헤드에 세정액을 공급하도록 마련된 세정액공급조; 및 상기 수조에 수용된 세정액을 상기 세정액공급조로 회수하는 세정액회수조를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법에 있어서, a) 상기 적하부에 반입된 상기 도너기판에 유기재료를 적하하는 단계; b) 상기 유기재료가 적하된 상기 도너기판 및 상기 타겟기판을 상기 전사부로 이송하는 단계; c) 상기 도너기판에 적하된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계; d) 상기 도너기판을 상기 세정부로 이송하고, 상기 타겟기판을 상기 증착부로 이송하는 단계; e) 상기 세정부로 이송된 상기 도너기판을 세정하는 단계; 및 f) 상기 세정된 도너기판을 상기 적하부로 이송하는 단계를 포함하며, 상기 타겟기판에 전사된 유기재료는 유기층을 형성하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 a) 내지 f) 단계에 따라, 상기 도너기판은 상기 적하부, 상기 전사부, 상기 세정부를 반복 순환하며 재활용되도록 마련된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치에 의해 제조된 유기발광 디스플레이를 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법에 의해 제조된 유기발광 디스플레이를 제공한다.
상기와 같은 구성에 따르는 본 발명의 효과는, 요홈유닛에 정확히 대응하는 형상으로 발광 잉크가 타겟기판에 전사될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 베이스부 상면에 열전도도가 높은 금속코팅층이 위치한다. 상기 금속코팅층은, 발광 잉크를 요홈유닛 내에 남기지 않고 단시간 내에 전부 전사시키는데 기여할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 베이스부 또는 금속코팅층 상면에 세라믹코팅층이 위치한다. 상기 세라믹코팅층은 상기 베이스부 또는 상기 금속코팅층을 외부의 불순물로부터 보호할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 형성되는 발광 패턴의 정밀도 및 균일도가 높아, 고해상도 화소 형성과 대면적 발광 다이오드 제조가 가능하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 도너기판의 구조가 단순하여, 도너기판어셈블리를 제조하기 용이하여 경제적이다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 도너기판의 웰부에 적하된 유기재료가 모세관력에 의해 요홈유닛으로 이동되어 안착되기 때문에 유기재료는 요홈유닛 내부에만 위치하게 된다. 그리고, 광열변환부는 패턴부의 하부에만 마련된다. 따라서, 도너기판 전체에 광이 조사되더라도 요홈유닛 형상에 대응하는 형상으로만 타겟기판에 유기재료가 전사될 수 있다. 따라서 도너기판에 특정 패턴으로 광을 조사하여 특정 패턴으로 타겟기판에 유기재료를 전사하기 위한 종래의 격벽층이나 광반사층이 불필요하다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 도너기판의 일측에 적하되어 요홈유닛 일측 내부에 안착한 유기재료가 모세관력에 의해 요홈유닛을 따라 요홈유닛 타측으로 확장된다. 따라서 유기재료를 요홈유닛 일측에서 타측으로 확장하기 위한 추가 장비가 불필요하다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 적하된 유기재료가 모두 타겟기판으로 전사되므로, 도너기판이 재활용될 수 있으며, 사용한 도너기판을 세정하여 재활용할 수 있어 경제적이다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 종래의 FMM법을 나타낸 개념도이다.
도 2는 종래의 FMM법의 문제점을 나타낸 도면이다.
도 3은 종래의 LITI법의 문제점을 나타낸 도면이다.
도 4는 종래의 Ink-jet법을 나타낸 개념도이다.
도 5는 종래의 White OLED+Color Filter법에 사용된 복잡한 적층체를 나타낸 구조도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판의 사시도이다.
도 7은 도 6의 도너기판의 A-A’ 및 B-B’의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 돌출유닛이 형성된 도너기판의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판의 유기재료의 흐름을 나타낸 예시도이다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 광열변환부를 나타낸 단면예시도이다.
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 금속코팅층 및 세라믹코팅층이 형성된 도너기판을 나타낸 단면예시도이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판어셈블리를 상부에서 바라본 예시도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도너기판의 사시도이다.
도 15는 도 14의 도너기판의 C-C’의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도너기판의 유기재료의 흐름을 나타낸 예시도이다.
도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광열변환부를 나타낸 단면예시도이다.
도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 금속코팅층 및 세라믹코팅층이 형성된 도너기판을 나타낸 단면예시도이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도너기판어셈블리를 상부에서 바라본 예시도이다.
도 20은 본 발명의 일실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 발광 다이오드 제조방법의 순서도이다.
도 21은 본 발명의 일실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 발광 다이오드 제조방법의 공정순서도이다.
도 22는 본 발명의 일실시예 및 다른 실시예에 따른 타겟기판을 나타낸 모식도이다.
도 23은 본 발명의 다른 실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 발광 다이오드 제조방법의 순서도이다.
도 24는 본 발명의 다른 실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 발광 다이오드 제조방법의 공정순서도이다.
도 25는 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 예시도이다.
도 26은 본 발명의 일실시예에 따른 적하부의 예시도이다.
도 27은 본 발명의 일실시예에 따른 전사부 및 광조사부의 예시도이다.
도 28은 본 발명의 일실시예에 따른 세정부의 예시도이다.
도 29는 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법의 순서도이다.
본 발명인 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리의 가장 바람직한 일 실시예는, 베이스부; 상기 베이스부의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛이 형성되도록 상기 베이스부의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛을 가지며, 유기물 또는 무기물을 포함하여 이루어지는 패턴부; 상기 패턴부의 일측 또는 양측에 위치하며, 유기재료가 적하되는 웰부; 및 상기 베이스부와 상기 패턴부 사이에 마련되는 광열변환부를 포함하는 복수의 도너기판을 결합하여 도너기판어셈블리를 형성하며, 상기 광열변환부는 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 중 하나 이상의 금속을 포함하는 재질로 이루어진 단일층 구조이며, 상기 광열변환부는 상기 베이스부의 상부에 적층되는 제1 금속층, 상기 제1 금속층의 상부에 적층되는 산화물층 및 상기 산화물층의 상부에 적층되는 제2 금속층을 포함하고, 상기 제1 금속층은 상기 제2 금속층보다 두께가 얇은 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 본 특허의 일실시예인 도너기판에 유기재료를 적하하는 적하부; 상기 적하부와 연결되며, 상기 도너기판의 상부에 정렬된 타겟기판에 상기 유기재료의 전사가 이루어지도록 마련된 전사부; 상기 전사부에 위치한 상기 도너기판을 향해 광을 조사하여 타겟기판에 상기 유기재료를 전사하는 광조사부; 상기 전사부로부터 상기 도너기판을 회수하여 세정하는 세정부는 클러스터(Cluster) 타입의 챔버 시스템에 예시이나, 인라인(In-line) 타입의 챔버 시스템에서도 적용될 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판의 사시도이고, 도 7은 도 6의 도너기판의 A-A’ 및 B-B’의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 6 및 도 7에 도시된 것처럼, 일실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리(10a)은 베이스부(110), 패턴부(120), 웰부(130), 광열변환부(140)를 포함한 복수의 도너기판(100)의 결합으로 이루어질 수 있다.
상기 베이스부(110)는 상부에 유기재료(L)가 수용되었다가 타겟기판(20, 도 21 참조)을 향해 상기 유기재료(L)를 전사할 수 있는 기판 형태로 마련될 수 있다. 여기서, 상기 유기재료(L)는 발광잉크일 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 상기 타겟기판(20)에 전사되는 물질을 모두 포함할 수 있다.
상기 패턴부(120)는 상기 베이스부(110)의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛(122)이 형성되도록 상기 베이스부(110)의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛(121)을 가질 수 있다.
즉, 상기 구획유닛(121)은 상기 베이스부(110)의 상부를 향해 돌출되어 형성되어, 이웃한 상기 구획유닛(121) 사이에 요홈유닛(122)이 형성되도록 할 수 있다.
또한, 상기 패턴부(120)는, 무기물 또는 유기물을 포함하여 이루어질 수 있다.
구체적으로, 상기 무기물은 산화 규소, 질화 규소, 산질화 규소, 산화 알루미늄, 산화 아연, 및 산화 인듐 주석으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 유기물은 폴리아크릴계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리이미드계 수지, 불포화 폴리에스테르계 수지, 폴리페닐렌계 수지, 폴리페닐렌설파이드계 수지, 및 벤조사이클로부텐으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 돌출유닛이 형성된 도너기판의 사시도이다.
도 8을 더 참조하면, 상기 패턴부(120)는 돌출유닛(123)을 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 돌출유닛(123)은 상기 구획유닛(121)의 상부에 마련되되, 상기 웰부(120)측 가장자리에 마련될 수 있다. 이처럼 마련된 상기 돌출유닛(123)은 상기 웰부(120)에 적하된 상기 유기재료(L) 상기 구획유닛(121)의 상부로 튀거나, 이동하는 것을 방지할 수 있다. 그리고 그 결과, 상기 유기재료(L)는 정해진 패턴으로만 상기 타겟기판(20)에 전사될 수 있다.
여기서, 상기 돌출유닛(123)은 친수성 재료 또는 소수성 재료로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는, 불소계 고분자 및 금(Au) 등의 소수성 재료일 수 있다.
상기 웰부(130)는 상기 패턴부(120)의 일측 또는 양측에 위치하며, 유기재료가 적하되도록 마련될 수 있다. 상기 웰부(130)는 제1 벽체(131) 및 제2 벽체(132)를 포함한다.
상기 제1 벽체(131)는 상기 베이스부(110)의 양단측에 위치한 한 쌍의 상기 구획유닛(121)으로부터 상기 베이스부(110)의 길이 방향으로 연장되어 마련될 수 있다.
상기 제2 벽체(132)는 한 쌍의 상기 제1 벽체(131)의 일단부를 연결하여 마련될 수 있다.
이처럼, 상기 웰부(130)는 상기 제1 벽체(131), 상기 제2 벽체(132) 및 상기 패턴부(120)로 둘러싸인 내측 영역이 형성되며, 상기 내측 영역에 상기 유기재료가 적하될 수 있다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판의 유기재료의 흐름을 나타낸 예시도이다.
도 9를 참조하면, 먼저, 상기 유기재료(L)는 상기 웰부(130)에 적하될 수 있다. 그리고, 상기 웰부(130)에 적하된 상기 유기재료(L)는 모세관력에 의해 상기 요홈유닛(122)의 일측으로 유입되어 상기 요홈유닛(122)의 타측으로 확장될 수 있다. 이처럼, 상기 유기재료(L)는 상기 패턴부(120) 중 상기 요홈유닛(122)의 내측에만 균일하게 채워지도록 마련된다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 광열변환부를 나타낸 단면예시도이다.
도 6 내지 도 10을 참조하면, 상기 광열변환부(140)는 상기 베이스부(110)와 상기 패턴부(120) 사이에 마련될 수 있다.
상기 광열변환부(140)는 단일 금속층으로 이루어지거나 복수의 금속층으로 이루어질 수 있다.
구체적으로, 상기 광열변환부(140)가 단일 금속층으로 이루어진 경우, 상기 광열변환부(140)는, 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 중 하나 이상의 금속을 포함하는 재질로 이루어진 단일층 구조일 수 있다.
또한, 상기 광열변환부(140)가 복수의 금속층으로 이루어진 경우, 상기 광열변환부(140)는 상기 베이스부(110)의 상부에 적층되는 제1 금속층(141), 상기 제1 금속층(141)의 상부에 적층되는 산화물층(142) 및 상기 산화물층(142)의 상부에 적층되는 제2 금속층(143)을 포함할 수 있다.
상기 제1 금속층(141) 및 상기 제2 금속층(143)은 각각 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 중 하나 이상의 금속을 포함하는 재질로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 제1 금속층(141)은 상기 제2 금속층(143)보다 두께가 얇은 것을 특징으로 할 수 있다. 구체적으로, 상기 베이스부(110)와 인접한 상기 제1 금속층(141)이 두꺼울 경우, 상기 베이스부(110)의 하부에서 조사된 광이 흡수되지 않아 광열변환이 제대로 이루어지지 않을 수 있다. 따라서, 상기 제1 금속층(141)은 상기 베이스부(110)를 통과한 광의 흡수율을 향상시키기 위해 상기 제2 금속층(143)보다 얇게 구성될 수 있다.
상기 산화물층(142)은, 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 실리콘 산질화막, 산화알루미늄, ITO(Indium Tin Oxide) 중 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있다.
이처럼 마련된 상기 광열변환부(140)는 상기 베이스부(110)의 하부에서 조사된 광을 열로 변환하여 상기 요홈유닛(122)에 전달함으로써, 상기 요홈유닛(122)에 수용된 상기 유기재료(L)를 상기 타겟기판(20)에 전사할 수 있다.
그리고, 상기 광열변환부(140)는 상기 웰부(130)의 하부에는 위치하지 않고, 상기 패턴부(120)의 하부에만 위치하기 때문에, 상기 요홈유닛(122)의 형상대로 상기 타겟기판(20)에 상기 유기재료(L)가 전사되도록 할 수 있다.
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 금속코팅층 및 세라믹코팅층이 형성된 도너기판을 나타낸 단면예시도이다.
*도 11을 더 참조하면, 상기 도너기판(100)은 이웃한 상기 구획유닛(121)이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부(120)의 표면을 따라 연장 형성되는 금속코팅층(150)을 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 금속코팅층(150)은 열전도도가 높은 소재로 마련되어 상기 광열변환부(140)로부터 전달되는 열을 더 빠르게 전달할 수 있다. 따라서, 상기 금속코팅층(150)은 유기재료(L)가 요홈유닛(122) 내에 남지 않고 단시간 내에 전부 상기 타겟기판(20)에 전사되도록 할 수 있다.
그리고, 상기 도너기판(100)은 이웃한 상기 구획유닛(121)이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부(120) 또는 상기 금속코팅층(150)의 표면을 따라 연장 형성되는 세라믹코팅층(160)을 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 세라믹코팅층(160)은 실리카(SiO2), 질화규소(SiNx), 및 알루미나(Al2O3)로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하여 마련될 수 있다. 그리고, 상기 세라믹코팅층(160)은 세라믹이 물리 기상 증착법 또는 화학 기상 증착법을 통해 증착되어 형성될 수 있다. 이처럼 마련된 상기 세라믹코팅층(160)은 상기 베이스부(110)를 외부의 불순물로부터 보호할 수 있다. 일 예로, 상기 세라믹코팅층(160)은 상기 베이스부(110)가 산화되는 문제를 방지할 수 있다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판어셈블리를 상부에서 바라본 예시도이다.
도 12 및 도 13에 도시된 것처럼, 전술한 형태로 마련된 상기 도너기판(100)은, 동일 평면 상에 행열 방향으로 복수개가 연속적으로 결합되어 상기 도너기판어셈블리(10a)을 형성할 수 있다.
구체적으로, 도 12는 상기 베이스부(110)의 일측에만 상기 웰부(130)가 형성된 도너기판(110)을 행열 방향으로 결합한 예시도이고, 도 13은 상기 베이스부(110)의 양측에 상기 웰부(130)가 형성된 도너기판을 행열 방향으로 결합한 예시도이다.
이처럼 마련된 도너기판어셈블리(10a)은 형성되는 발광 패턴의 정밀도 및 균일도가 높아, 고해상도 화소 형성과 대면적 발광 다이오드 제조가 가능하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 도너기판(100)의 구조가 단순하여, 상기 도너기판어셈블리(10a)을 제조하기 용이하여 경제적이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도너기판의 사시도이고, 도 15는 도 14의 도너기판의 C-C’의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 14 및 도 15에 도시된 것처럼, 다른 실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리(10b)은 베이스부(210), 패턴부(220), 소수성박막층(230), 광열변환부(240)를 포함한 복수의 도너기판(200)의 결합으로 이루어질 수 있다.
상기 베이스부(210)는 상부에 유기재료(L)가 수용되었다가 타겟기판(20, 도 21 참조)을 향해 상기 유기재료(L)를 전사할 수 있는 기판 형태로 마련될 수 있다. 여기서, 상기 유기재료(L)는 발광잉크일 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 상기 타겟기판(20)에 전사되는 물질을 모두 포함할 수 있다.
상기 패턴부(220)는 상기 베이스부(210)의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛(222)이 형성되도록 상기 베이스부(210)의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛(221)을 가질 수 있다.
즉, 상기 구획유닛(221)은 상기 베이스부(210)의 상부를 향해 돌출되어 형성되어, 이웃한 상기 구획유닛(221) 사이에 요홈유닛(222)이 형성되도록 할 수 있다.
상기 소수성박막층(230)은 상기 구획유닛(221)의 상면에 형성되며, 소수성 소재로 마련될 수 있다. 이처럼 마련된 상기 소수성박막층(230)은 상기 패턴부(220)의 상부에 상기 유기재료(L)가 적하되었을 때, 상기 구획유닛(221)의 상부에 적하된 유기재료(L)가 상기 요홈유닛(222)에 주입되도록 할 수 있다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도너기판의 유기재료의 흐름을 나타낸 예시도이다.
도 16을 참조하면, 먼저, 상기 유기재료(L)는 상기 패턴부(220)에 적하될 수 있다. 그리고, 상기 패턴부(220)에 적하된 상기 유기재료(L) 중 상기 구획유닛(221)의 상면에 형성된 상기 소수성박막층(230)에 적하된 유기재료(L)는 모세관력에 의해 상기 요홈유닛(222)의 내측으로 유입될 수 있다. 따라서, 상기 유기재료(L)는 상기 패턴부(220) 중 상기 요홈유닛(222)의 내측에만 균일하게 채워지도록 마련될 수 있다.
도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광열변환부를 나타낸 단면예시도이다.
도 14 내지 도 17을 참조하면, 상기 광열변환부(240)는 상기 베이스부(210)와 상기 패턴부(220) 사이에 마련될 수 있다.
상기 광열변환부(240)는 단일 금속층으로 이루어지거나 복수의 금속층으로 이루어질 수 있다.
구체적으로, 상기 광열변환부(240)가 단일 금속층으로 이루어진 경우, 상기 광열변환부(240)는, 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 중 하나 이상의 금속을 포함하는 재질로 이루어진 단일층 구조일 수 있다.
또한, 상기 광열변환부(240)가 복수의 금속층으로 이루어진 경우, 상기 광열변환부(240)는 상기 베이스부(210)의 상부에 적층되는 제1 금속층(241), 상기 제1 금속층(241)의 상부에 적층되는 산화물층(242) 및 상기 산화물층(242)의 상부에 적층되는 제2 금속층(243)을 포함할 수 있다.
상기 제1 금속층(241) 및 상기 제2 금속층(243)은 각각 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 중 하나 이상의 금속을 포함하는 재질로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 제1 금속층(241)은 상기 제2 금속층(243)보다 두께가 얇은 것을 특징으로 할 수 있다. 구체적으로, 상기 베이스부(210)와 인접한 상기 제1 금속층(241)이 두꺼울 경우, 상기 베이스부(210)의 하부에서 조사된 광이 흡수되지 않아 광열변환이 제대로 이루어지지 않을 수 있다. 따라서, 상기 제1 금속층(241)은 상기 베이스부(210)를 통과한 광의 흡수율을 향상시키기 위해 상기 제2 금속층(243)보다 얇게 구성될 수 있다.
상기 산화물층(242)은, 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 실리콘 산질화막, 산화알루미늄, ITO(Indium Tin Oxide) 중 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있다.
이처럼 마련된 상기 광열변환부(240)는 상기 베이스부(210)의 하부에서 조사된 광을 열로 변환하여 상기 요홈유닛(222)에 전달함으로써, 상기 요홈유닛(222)에 수용된 상기 유기재료(L)를 상기 타겟기판(20)에 전사할 수 있다.
그리고, 상기 광열변환부(240)는 상기 웰부(230)의 하부에는 위치하지 않고, 상기 패턴부(220)의 하부에만 위치하기 때문에, 상기 요홈유닛(222)의 형상대로 상기 타겟기판(20)에 상기 유기재료(L)가 전사되도록 할 수 있다.
도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 금속코팅층 및 세라믹코팅층이 형성된 도너기판을 나타낸 단면예시도이다.
도 18을 더 참조하면, 상기 도너기판(200)은 이웃한 상기 구획유닛(221)이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부(220)의 표면을 따라 연장 형성되는 금속코팅층(250)을 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 금속코팅층(250)은 열전도도가 높은 소재로 마련되어 상기 광열변환부(240)로부터 전달되는 열을 더 빠르게 전달할 수 있다. 따라서, 상기 금속코팅층(250)은 유기재료(L)가 요홈유닛(222) 내에 남지 않고 단시간 내에 전부 상기 타겟기판(20)에 전사되도록 할 수 있다.
그리고, 상기 도너기판(200)은 이웃한 상기 구획유닛(221)이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부(220) 또는 상기 금속코팅층(250)의 표면을 따라 연장 형성되는 세라믹코팅층(260)을 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 세라믹코팅층(260)은 실리카(SiO2), 질화규소(SiNx), 및 알루미나(Al2O3)로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하여 마련될 수 있다. 그리고, 상기 세라믹코팅층(260)은 세라믹이 물리 기상 증착법 또는 화학 기상 증착법을 통해 증착되어 형성될 수 있다. 이처럼 마련된 상기 세라믹코팅층(260)은 상기 베이스부(210)를 외부의 불순물로부터 보호할 수 있다. 일 예로, 상기 세라믹코팅층(260)은 상기 베이스부(210)가 산화되는 문제를 방지할 수 있다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도너기판어셈블리를 상부에서 바라본 예시도이다.
도 19에 도시된 것처럼, 전술한 형태로 마련된 상기 도너기판(200)은, 동일 평면 상에 행열 방향으로 복수개가 연속적으로 결합되어 상기 도너기판어셈블리(10b)을 형성할 수 있다.
이처럼 마련된 도너기판어셈블리(10b)은 형성되는 발광 패턴의 정밀도 및 균일도가 높아, 고해상도 화소 형성과 대면적 발광 다이오드 제조가 가능하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 도너기판(200)의 구조가 단순하여, 상기 도너기판어셈블리(10b)을 제조하기 용이하여 경제적이다.
도 20은 본 발명의 일실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 발광 다이오드 제조방법의 순서도이고, 도 21은 본 발명의 일실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 발광 다이오드 제조방법의 공정순서도이며, 도 22는 본 발명의 일실시예 및 다른 실시예에 따른 타겟기판을 나타낸 모식도이다.
도 20 내지 도 22에 도시된 것처럼, 일실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법은 먼저, 상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계(S110)을 수행할 수 있다.
상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계(S110)에서, 상기 도너기판(100)을 행열 방향으로 복수개를 결합하여 형성된 도너기판어셈블리(10a)을 준비할 수 있다.
상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계(S110) 이후에는, 상기 웰부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계(S120)를 수행할 수 있다.
상기 웰부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계(S120)에서, 각각의 상기 도너기판(100)에 마련된 상기 웰부(130)에는 유기재료(L)가 적하될 수 있다. 그리고, 상기 웰부(130)에 적하된 상기 유기재료(L)는 모세관현상에 의해 상기 요홈유닛(122)의 일측으로 주입되어 상기 요홈유닛(122)의 타측으로 확장되면서 상기 요홈유닛(122)의 내측을 채울 수 있다.
상기 웰부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계(S120) 이후에는, 상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계(S130)를 수행할 수 있다.
상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계(S130)에서, 상기 도너기판어셈블리(10a)의 상부에 상기 타겟기판(20)을 정렬하여 위치시킬 수 있다. 즉, 상기 타겟기판(20)의 위치는, 상기 요홈유닛(122)의 내측에 채워진 유기재료(L)가 전사될 위치에 대응하여 정렬되도록 할 수 있다.
상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계(S130) 이후에는, 각각의 상기 도너기판에 순차적으로 광을 조사하여 상기 요홈유닛에 주입된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계(S140)를 수행할 수 있다.
각각의 상기 도너기판에 순차적으로 광을 조사하여 상기 요홈유닛에 주입된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계(S140)에서, 상기 베이스부(110)의 하부를 향해 광원(30)이 광을 조사하면, 조사된 광은 상기 베이스부(110)를 통과하여 광열변환부(140)에 도달할 수 있다. 그리고, 상기 광열변환부(140)에 도달한 광은 열로 변환되어 상기 요홈유닛(122)에 전달될 수 있다. 상기 요홈유닛(122)에 전달된 열은 상기 요홈유닛(122)의 내측에 위치한 유기재료(L)를 증발시켜 상부에 위치한 상기 타겟기판(20)에 상기 유기재료(L)를 전사시킬 수 있다.
여기서, 상기 광원(30)은 제논 램프일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 그리고, 상기 광원(30)은 도너기판어셈블리(10a)을 구성하는 각각의 도너기판(100)에 개별적으로 광을 조사할 수 있다. 이를 위해, 상기 광원(30) 또는 상기 도너기판어셈블리(10a)를 평행하게 이동시킬 수 있는 이동수단이 더 마련될 수 있다.
그리고, 상기 타겟기판에 전사된 유기재료는 유기층(미도시)을 형성할 수 있다. 여기서, 상기 유기층은, 발광층, 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 등일 수 있다.
한편, 본 발명의 이해를 돕기 위해, 도22를 참조하여 본 발명에 따른 상기 타겟기판(20)을 설명하도록 한다.
도 22에 도시된 것처럼, 상기 타겟기판(20)은 기판(21), 버퍼층(22), 발광 다이오드 구동을 위한 박막 트랜지스터(23), 게이트 절연막(24), 층간 절연막(25), 패시베이션막(26), 화소 정의막(27), 화소 전극(28), 및 유기층(29)을 포함한다.
상기 박막 트랜지스터(23)는 반도체층(23a), 게이트 전극(23c), 소스 전극(23b), 및 드레인 전극(23d)을 포함한다.
상기 기판(21)은 유리와 같은 강성(rigid) 기판 또는 고분자 필름과 같은 가요성(flexible) 기판일 수 있다.
상기 버퍼층(22)은 상기 기판(21) 상면에 형성된다. 상기 버퍼층(22)은 무기물로 구성된다. 구체적으로, 상기 버퍼층(22)은 SiO2 또는 SiNx를 포함할 수 있다. 상기 버퍼층(22)은 화소 회로를 형성하기 위한 평탄면을 제공하고, 화소 회로로 수분과 이물질이 침투하는 것을 억제할 수 있다.
상기 박막 트랜지스터(23) 및 커패시터(미도시)가 상기 버퍼층(22) 상부에 형성된다.
상기 반도체층(23a)은 폴리실리콘 또는 산화물 반도체로 구성될 수 있다. 또한, 상기 반도체층(23a)은 불순물로 도핑되지 않은 채널 영역과, 불순물로 도핑된 소스 영역 및 드레인 영역을 포함한다.
상기 게이트 절연막(24)은 상기 반도체층(23a)과 상기 게이트 전극(23c) 사이에 형성된다.
상기 층간 절연막(25)은 상기 게이트 전극(23c)과 상기 소스?드레인 전극(23b, 23d) 사이에 형성된다.
상기 패시베이션막(26), 상기 화소 정의막(27), 상기 화소 전극(28), 및 상기 유기층(29)은 상기 소스?드레인 전극(23b, 23d) 상부에 형성된다. 상기 화소 정의막(27) 사이, 그리고 상기 유기층(29) 표면에는 발광 패턴이 형성될 수 있다.
도 23은 본 발명의 다른 실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 발광 다이오드 제조방법의 순서도이고, 도 24는 본 발명의 다른 실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리 및 이를 이용한 발광 다이오드 제조방법의 공정순서도이다.
도 22 내지 도 24에 도시된 것처럼, 다른 실시예에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법은 먼저, 상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계(S210)을 수행할 수 있다.
상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계(S210)에서, 상기 도너기판(200)을 행열 방향으로 복수개를 결합하여 형성된 도너기판어셈블리(10b)을 준비할 수 있다.
상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계(S210) 이후에는, 상기 패턴부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계(S220)를 수행할 수 있다.
상기 패턴부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계(S220)에서, 각각의 상기 도너기판(200)에 마련된 상기 패턴부(220)에는 유기재료(L)가 적하될 수 있다. 그리고, 상기 패턴부(220) 중 구획유닛(221)에 적하된 상기 유기재료(L)는 모세관현상에 의해 상기 요홈유닛(222)의 내측으로 주입되어 상기 상기 요홈유닛(222)의 내측을 채울 수 있다. 이때, 상기 유기재료(L)는 상기 소수성 박막층(230)에 의해 상기 구획유닛(221)의 상부에 잔류하지 않고 모두 상기 요홈유닛(222)의 내측으로 주입될 수 있다.
상기 패턴부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계(S220) 이후에는, 상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계(S230)를 수행할 수 있다.
상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계(S230)에서, 상기 도너기판어셈블리(10b)의 상부에 상기 타겟기판(20)을 정렬하여 위치시킬 수 있다. 즉, 상기 타겟기판(20)의 위치는, 상기 요홈유닛(222)의 내측에 채워진 유기재료(L)가 전사될 위치에 대응하여 정렬되도록 할 수 있다.
상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계(S230) 이후에는, 각각의 상기 도너기판에 순차적으로 광을 조사하여 상기 요홈유닛에 주입된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계(S240)를 수행할 수 있다.
각각의 상기 도너기판에 순차적으로 광을 조사하여 상기 요홈유닛에 주입된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계(S240)에서, 상기 베이스부(210)의 하부를 향해 광원(30)이 광을 조사하면, 조사된 광은 상기 베이스부(210)를 통과하여 광열변환부(240)에 도달할 수 있다. 그리고, 상기 광열변환부(240)에 도달한 광은 열로 변환되어 상기 요홈유닛(222)에 전달될 수 있다. 상기 요홈유닛(222)에 전달된 열은 상기 요홈유닛(222)의 내측에 위치한 유기재료(L)를 증발시켜 상부에 위치한 상기 타겟기판(20)에 상기 유기재료(L)를 전사시킬 수 있다.
여기서, 상기 광원(30)은 제논 램프일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 그리고, 상기 광원(30)은 도너기판어셈블리(10b)을 구성하는 각각의 도너기판(200)에 개별적으로 광을 조사하도록 마련될 수 있다. 이를 위해, 상기 광원(30) 또는 상기 도너기판어셈블리(10b)를 평행하게 이동시킬 수 있는 이동수단이 더 마련될 수 있다.
그리고, 상기 타겟기판에 전사된 유기재료는 유기층(미도시)을 형성할 수 있다. 여기서, 상기 유기층은, 발광층, 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 등일 수도 있다.
도 25는 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 예시도이다.
이하, 도 25를 참조하여, 전술한 바와 같이 마련된 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치(1000)를 설명하도록 한다.
그리고, 이하, 도너기판(100)이라는 용어는 전술한 도너기판(100, 200) 및 도너기판어셈블리(10a, 10b)를 모두 포함한 것으로 이해되어야 한다. 즉, 상기 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치(1000)에 사용되는 도너기판은 전술한 상기 도너기판(100, 200)일 수도 있고, 상기 도너기판어셈블리(10a, 10b)일 수도 있다.
도 25에 도시된 것처럼, 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치(1000)는 적하부(1100), 전사부(1200), 광조사부(1300), 증착부(1400) 및 세정부(1500)를 포함한다.
도 26은 본 발명의 일실시예에 따른 적하부의 예시도이다.
도 26에 도시된 것처럼, 상기 적하부(1100)는 도너기판(100)에 유기재료를 적하하도록 마련되며, 적하챔버(1110), 적하스테이지(1120), 적하노즐(1130), 재료탱크(1140) 및 드라이유닛(1150)을 포함한다.
상기 적하챔버(1110)는 상기 세정부(1500)에 의해 세정된 상기 도너기판(100)이 내부로 반입될 수 있도록 마련된다.
상기 적하스테이지(1120)는 상기 적하챔버(1110)의 내부에 마련되며, 상기 적하챔버(1110)의 내부로 반입된 상기 도너기판(100)이 안착될 수 있다. 이때, 상기 도너기판(100)은 상기 요홈유닛(122)이 상부를 향하도록 상기 적하스테이지(1120)의 상면에 안착될 수 있다.
상기 적하노즐(1130)은 상기 도너기판(100)에 상기 유기재료를 적하하도록 마련될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 적하노즐(1130)은 상기 적하스테이지(1120) 상에 안착된 상기 도너기판(100)에 상기 유기재료를 적하하도록 마련될 수 있다. 그리고, 상기 적하스테이지(1120)는 가열이 가능하도록 마련되어 도너기판어셈블리(10a)에 적하된 유기재료를 건조시킬 수 있다. 상기 도너기판(100)에 적하된 유기재료는 모세관력에 의해 상기 요홈유닛(122)의 내측에 수용될 수 있다. 상기 유기재료가 상기 요홈유닛(122)에 유입되어 수용되는 기술은 전술한 방식과 동일하기 때문에 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
상기 재료탱크(1140)는 내부에 상기 유기재료를 저장하도록 마련될 수 있다. 그리고, 상기 적하노즐(1130)과 연결되어 상기 적하노즐(1130)이 상기 도너기판(100)에 적하할 상기 유기재료를 공급할 수 있다.
상기 드라이유닛(1150)은 상기 적하챔버(1110)의 내부에 마련되며, 상기 도너기판(100)에 적하된 유기재료를 건조시키도록 마련될 수 있다. 구체적으로, 상기 드라이유닛(1150)은 상기 도너기판(100)에 적하된 유기재료를 건조시키도록 적하된 상기 유기재료에 열을 가하거나 바람을 제공하도록 마련될 수 있다. 또한, 상기 드라이유닛(1150)은 가스를 제공하여 적하된 유기재료가 상기 요홈유닛(122)에 용이하게 적하되도록 할 수도 있다.
상기 드라이유닛(1150)은 도시된 바와 같이, 적하챔버(1110)의 내측면에 마련될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 상기 도너기판(100)에 적하된 상기 유기재료를 건조시킬 수 있는 위치라면 모두 포함될 수 있다. 일 예로, 상기 드라이유닛(1150)은 상기 적하챔버(1110)의 내부의 온도를 상기 유기재료가 건조될 수 있는 온도로 제어하도록 마련될 수도 있다.
도 27은 본 발명의 일실시예에 따른 전사부 및 광조사부의 예시도이다.
도 27에 도시된 것처럼, 상기 전사부(1200)는 상기 적하부(1100)와 연결되며, 상기 도너기판(100)의 상부에 정렬된 타겟기판(20)에 상기 유기재료를 전사하도록 마련될 수 있다.
상기 전사부(1200)는 전사챔버(1210), 증착게이트(1220), 로드락챔버(1230), 제1 로드락게이트(1240) 및 제2 로드락게이트(1250)를 포함한다.
상기 전사챔버(1210)는 상기 타겟기판(20)에 대한 유기재료의 전사가 이루어지도록 마련될 수 있다. 구체적으로, 상기 전사챔버(1210)는 내부에 상기 타겟기판(20) 및 상기 도너기판(100)이 반입되도록 마련될 수 있다. 그리고, 상기 타겟기판(20)은 상기 도너기판(100)의 상부에 정렬되어 위치될 수 있다.
상기 증착게이트(1220)는 상기 전사챔버(1210)의 상기 증착부(1400)측에 형성되며, 상기 전사챔버(1210)에 상기 타겟기판(20)을 반입하고, 상기 전사챔버(1210)로부터 상기 타겟기판(20)을 반출하도록 마련될 수 있다. 즉, 상기 증착게이트(1220)는 상기 전사챔버(1210)와 상기 증착부(1400) 사이에 마련되어 상기 타겟기판(20)이 상기 전사챔버(1210)로 반입되거나 상기 증착부(1400)로 반출되도록 할 수 있다.
상기 로드락챔버(1230)는 상기 전사챔버(1210)의 일측에 마련되며, 상기 도너기판(100)을 상기 전사챔버(1210)에 반입하고, 상기 전사챔버(1210)로부터 반출하도록 마련될 수 있다.
구체적으로, 상기 로드락챔버(1230)는 상기 적하부(1100)로부터 제공된 상기 도너기판(100)을 반입하고, 반입된 상기 도너기판(100)을 상기 전사챔버(1210)로 반출하도록 마련될 수 있다. 그리고, 상기 로드락챔버(1230)는 전사가 완료된 상기 도너기판(100)을 상기 전사챔버(1210)로부터 제공받아 반입하고, 반입된 상기 도너기판(100)을 상기 세정부(1500)를 향해 반출하도록 마련될 수 있다.
상기 제1 로드락게이트(1240)는 상기 로드락챔버(1230)의 일측에 형성되며, 상기 적하부(1100)에서 상기 로드락챔버(1230)로 유기재료가 적하된 도너기판(100)을 반입하고, 상기 로드락챔버(1230)에서 상기 세정부(1500)로 전사가 완료된 도너기판(100)을 반출하도록 마련될 수 있다.
상기 제2 로드락게이트(1250)는 상기 로드락챔버(1230)의 타측에 형성되며, 상기 로드락챔버(1230)에서 상기 전사챔버(1210)로 유기재료가 적하된 도너기판(100)을 반출하고, 상기 전사챔버(1210)에서 상기 로드락챔버(1230)로 전사가 완료된 도너기판(100)을 반입하도록 마련될 수 있다.
상기 광조사부(1300)는 상기 전사부(1200)에 위치한 상기 도너기판(100)을 향해 광을 조사하여 상기 타겟기판(20)에 상기 유기재료를 전사하도록 마련될 수 있다.
상기 광조사부(1300)는 광조사챔버(1310), 램프유닛(1320), 램프파워(1330) 및 냉각유닛(1340)을 포함한다.
상과 광조사챔버(1310)는 내부에 상기 램프유닛(1320), 상기 램프파워(1330) 및 상기 냉각유닛(1340)을 수용하도록 마련되며, 상기 전사부(1200)의 하부에 마련될 수 있다.
상기 램프유닛(1320)은 상기 광조사챔버(1310)의 내부에 마련되며, 상기 전사부(1200)에 정렬된 상기 도너기판(100)을 향해 광을 조사하도록 마련될 수 있다. 그리고, 상기 도너기판(100)에 조사된 광은 전술한 바와 같이, 광열변환부(140)를 통해 열로 변환되어 상기 요홈유닛(1220)에 수용되어 건조된 유기재료를 상기 타겟기판(20)에 전사할 수 있다. 그리고, 상기 타겟기판(20)에 전사된 상기 유기재료는 상기 유기층을 형성할 수 있다.
상기 램프유닛(1320)은 제논 플래쉬 램프(xenon flash lamp)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 램프파워(1330)는 상기 광조사챔버(1310)의 내부에 마련되며, 상기 램프유닛(1320)과 연결되어 상기 램프유닛(1320)에 구동을 위한 동력을 제공할 수 있다.
상기 냉각유닛(1340)은 내부에 상기 램프유닛(1320)을 수용하도록 마련될 수 있으며, 상기 램프유닛(1320)이 광을 조사할 때 발생되는 열을 저감시켜 상기 램프유닛(1320)에 열로 인한 고장이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기 증착부(1400)는 상기 타겟기판(20)에 대한 증착 공정이 이루어지고, 상기 타겟기판(20)을 상기 전사부(1200)에 제공 및 회수하도록 마련될 수 있다. 그리고, 상기 증착부(1400)는 반송챔버(1410) 및 증착챔버(1420)를 포함한다.
상기 반송챔버(1410)는 상기 전사부(1200)와 연결되며, 상기 전사부(1200)에 상기 타겟기판(20)을 제공하여 상기 타겟기판(20)에 유기재료가 전사되도록 할 수 있다. 그리고, 상기 반송챔버(1410)는 전사가 완료된 상기 타겟기판(20)을 상기 전사부(1200)로부터 회수할 수 있다.
또한, 상기 반송챔버(1410)는 상기 증착챔버(1420)에 상기 타겟기판(20)을 제공하거나 상기 증착챔버(1420)로부터 상기 타겟기판(20)을 회수하여 증착 공정이 이루어지도록 할 수 있다.
그리고, 상기 반송챔버(1410)는 상술한 기능을 수행하기 위한 이송유닛을 포함할 수 있다.
상기 증착챔버(1420)는 상기 반송챔버(1410)의 외측면에 복수개로 마련될 수 있으며, 상기 반송챔버(1410)의 원주 방향을 따라 마련될 수 있다.
그리고, 상기 증착챔버(1420)는 상기 반송챔버(1410)로부터 상기 타겟기판(20)을 제공받아 상기 타겟기판(20)에 대한 증착공정을 수행할 수 있다.
도 28은 본 발명의 일실시예에 따른 세정부의 예시도이다.
상기 세정부(1500)는 상기 전사부(1200)로부터 상기 도너기판(100)을 회수하여 세정하도록 마련될 수 있으며, 세정챔버(1510), 샤워헤드(1520), 세정액공급조(1530), 수조(1540), 세정액회수조(1550), 세정스테이지(1560) 및 블로워(1570)를 포함한다.
상기 세정챔버(1510)는 내부에 상기 전사부(1200)로부터 회수한 상기 도너기판(100)이 반입되도록 마련될 수 있다.
상기 샤워헤드(1520)는 상기 세정챔버(1510)의 내부에 마련되며, 상기 도너기판(100)의 상부를 향해 세정액을 분사할 수 있다. 구체적으로, 상기 도너기판(100)에 적하된 유기재료는 상기 전사부(1200)에서 상기 타겟기판(20)에 전사된다. 이때, 상기 도너기판(100)에는 일부 유기재료가 잔류할 수 있다. 따라서, 상기 샤워헤드(1520)는 상기 도너기판(100)에 잔류한 유기재료를 모두 제거하도록 상기 도너기판(100)을 향해 세정액을 분사할 수 있다.
상기 세정액공급조(1530)는 내부에 세정액이 저장되며, 상기 샤워헤드(1520)와 연결되어 상기 샤워헤드(1520)에 세정액을 공급하도록 마련될 수 있다.
상기 수조(1540)는 상기 샤워헤드(1520)로부터 분사된 세정액을 수용하도록 상기 샤워헤드(1520)의 하부에 마련될 수 있다. 그리고, 상기 세정챔버(1510)에 반입된 상기 도너기판(100)은 상기 수조(1540)에 수용된 세정액의 상부에 마련될 수 있다. 이처럼 마련된 상기 수조(1540)는 상기 샤워헤드(1520)로부터 분사된 세정액과 상기 도너기판(100)에 잔류한 유기재료를 내부에 수용할 수 있다.
상기 세정액회수조(1550)는 상기 수조(1540)에 수용된 세정액을 상기 세정액공급조(1530)로 회수하도록 마련될 수 있다. 구체적으로, 상기 세정액회수조(1550)는 상기 수조에 수용된 세정액을 다시 세정액공급조(1530)로 회수하여 재활용하도록 할 수 있다.
또한, 상기 세정액회수조(1550)는 상기 수조(1540)에 수용된 세정액을 상기 세정액공급조(1530)로 회수할 때, 상기 세정액에 포함된 유기재료 등의 이물질을 제거하기 위한 필터유닛이 더 마련될 수도 있다.
상기 세정스테이지(1560)는 상기 세정챔버(1510)의 내부에 마련되되, 상기 샤워헤드(1520)에 의해 세정된 상기 도너기판(100)이 이송되어 안착되도록 상기 수조(1540)의 일측에 마련될 수 있다.
상기 블로워(1570)는 상기 세정스테이지(1560)에 안착된 상기 도너기판(100) 상에 잔류한 이물질을 제거하도록 마련될 수 있다. 구체적으로, 상기 블로워(1570)는 상기 도너기판(100) 상에 세정액을 통해서 제거되지 않은 잔여 이물질을 제거하도록 상기 도너기판(100)에 바람을 가할 수 있다.
또한, 상기 블로워(1570)는 바람을 통해 상기 도너기판(100) 상에 물기가 제거되도록 건조시킬 수 있다. 상기 블로워(1570)는 이처럼 상기 도너기판(100)을 건조시켜 유기재료가 상기 타겟기판(20)에 전사되었을 때, 유기층에 공극 등이 생기는 문제를 방지할 수 있다.
이처럼, 본 발명에 따른 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치(1000)는 상기 도너기판(100)을 상기 적하부(1100), 상기 전사부(1200), 상기 세정부(1500)를 순환하며 이동하도록 함으로써, 상기 도너기판(100)을 자동으로 재활용하도록 할 수 있다.
도 29는 본 발명의 일실시예에 따른 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법의 순서도이다.
도 29에 도시된 것처럼, 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법은 먼저, 상기 적하부에 반입된 상기 도너기판에 유기재료를 적하하는 단계(S1100)를 수행할 수 있다.
상기 적하부에 반입된 상기 도너기판에 유기재료를 적하하는 단계(S1100)에서 상기 적하부(1200)는 상기 도너기판(100)에 유기재를 적하할 수 있다. 그리고, 상기 도너기판(100)에 유기재료가 적하되면, 모세관력에 의해 상기 요홈유닛(122)에 상기 유기재료가 유입되어 채워질 수 있다.
상기 적하부에 반입된 상기 도너기판에 유기재료를 적하하는 단계(S1100) 이후에는, 상기 유기재료가 적하된 상기 도너기판 및 상기 타겟기판을 상기 전사부로 이송하는 단계(S1200)를 수행할 수 있다.
상기 유기재료가 적하된 상기 도너기판 및 상기 타겟기판을 상기 전사부로 이송하는 단계(S1200)에서, 상기 전사부(1200)는 상기 적하부(1100)에서 유기재료가 적하된 상기 도너기판(100)을 내부로 반입하고, 상기 증착부(1400)에 위치한 상기 타겟기판(20)을 내부로 반입할 수 있다. 그리고, 상기 전사부(1200)는 내부로 반입된 상기 도너기판(100) 및 상기 타겟기판(20)을 기설정된 위치에 정렬시킬 수 있다.
상기 유기재료가 적하된 상기 도너기판 및 상기 타겟기판을 상기 전사부로 이송하는 단계(S1200) 이후에는, 상기 도너기판에 적하된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계(S1300)를 수행할 수 있다.
상기 도너기판에 적하된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계(S1300)에서, 상기 광조사부(1300)가 상기 도너기판(100)을 향해 광을 조사하면 상기 광열변환부(140)는 조사된 광을 열로 변환시켜 상기 요홈유닛(122)에 위치한 건조된 유기재료를 상기 타겟유닛(20)에 전사시킬 수 있다. 그리고, 상기 타겟기판(20)에 전사된 상기 유기재료는 상기 유기층을 형성할 수 있다.
상기 도너기판에 적하된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계(S1300) 이후에는, 상기 도너기판을 상기 세정부로 이송하고, 상기 타겟기판을 상기 증착부로 이송하는 단계(S1400)를 수행할 수 있다.
상기 도너기판을 상기 세정부로 이송하고, 상기 타겟기판을 상기 증착부로 이송하는 단계(S1400)에서, 전사 공정이 완료된 상기 도너기판(100)은 상기 세정부(1500)로 반송되고, 유기층이 형성된 상기 타겟기판(20)은 상기 증착부(1400)로 반송될 수 있다.
상기 도너기판을 상기 세정부로 이송하고, 상기 타겟기판을 상기 증착부로 이송하는 단계(S1400) 이후에는, 상기 세정부로 이송된 상기 도너기판을 세정하는 단계(S1500)를 수행할 수 있다.
상기 세정부로 이송된 상기 도너기판을 세정하는 단계(S1500)에서, 상기 세정부(1500)는 상기 도너기판(100)에 잔류한 유기재료 등의 잔류물을 세정액을 분사하여 제거할 수 있다.
상기 세정부로 이송된 상기 도너기판을 세정하는 단계(S1500) 이후에는, 상기 세정된 도너기판을 상기 적하부로 이송하는 단계(S1600)를 수행할 수 있다.
상기 세정된 도너기판을 상기 적하부로 이송하는 단계(S1600)에서, 상기 적하부(1100)는 상기 세정부(1500)로부터 세정 및 건조된 상기 도너기판(100)을 제공받을 수 있다.
그리고, 상기 적하부(1100)는 다시 상기 도너기판(100)에 상기 유기재료를 적하할 수 있다.
이처럼, 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법은 상기 도너기판(100)이 상기 적하부(1100), 상기 전사부(1200), 상기 세정부(1500)를 반복 순환하며 재활용되도록 마련된 것을 특징으로 할 수 있다.
즉, 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치의 유기발광 디스플레이 제조방법은 상기 적하부에 반입된 상기 도너기판에 유기재료를 적하하는 단계(S1100) 내지 상기 세정된 도너기판을 상기 적하부로 이송하는 단계(S1600)가 순차적으로 반복 수행되면서 상기 도너기판(100)을 자동으로 재활용하도록 마련될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
<부호의 설명>
10a: 도너기판어셈블리 100: 도너기판
110: 베이스부 120: 패턴부
121: 구획유닛 122: 요홈유닛
123: 돌출유닛 130: 웰부
131: 제1 벽체 132: 제2 벽체
140: 광열변환부 141: 제1 금속층
142: 산화물층 143: 제2 금속층
150: 금속코팅층 160: 세라믹코팅층
10b: 도너기판어셈블리 200: 도너기판
210: 베이스부 220: 패턴부
221: 구획유닛 222: 요홈유닛
230: 소수성 박막층 240: 광열변환부
250: 금속코팅층 260: 세라믹코팅층
1000: 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치
1100: 적하부 1110: 적하챔버
1120: 적하스테이지 1130: 적하노즐
1140: 재료탱크 1150: 드라이유닛
1200: 전사부 1210: 전사챔버
1220: 증착게이트 1230: 로드락챔버
1240: 제1 로드락게이트 1250: 제2 로드락게이트
1300: 광조사부 1310: 광조사챔버
1320: 램프유닛 1330: 램프파워
1340: 냉각유닛 1400: 증착부
1410: 반송챔버 1420: 증착챔버
1500: 세정부 1510: 세정챔버
1520: 샤워헤드 1530: 세정액공급조
1540: 수조 1550: 세정액회수조
1560: 세정스테이지 1570: 블로워

Claims (20)

  1. 베이스부;
    상기 베이스부의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛이 형성되도록 상기 베이스부의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛을 가지며, 유기물 또는 무기물을 포함하여 이루어지는 패턴부;
    상기 패턴부의 일측 또는 양측에 위치하며, 유기재료가 적하되는 웰부; 및
    상기 베이스부와 상기 패턴부 사이에 마련되는 광열변환부를 포함하는 복수의 도너기판을 결합하여 도너기판어셈블리를 형성하며,
    상기 광열변환부는 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 중 하나 이상의 금속을 포함하는 재질로 이루어진 단일층 구조이며,
    상기 광열변환부는 상기 베이스부의 상부에 적층되는 제1 금속층, 상기 제1 금속층의 상부에 적층되는 산화물층 및 상기 산화물층의 상부에 적층되는 제2 금속층을 포함하고, 상기 제1 금속층은 상기 제2 금속층보다 두께가 얇은 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 무기물은 산화 규소, 질화 규소, 산질화 규소, 산화 알루미늄, 산화 아연, 및 산화 인듐 주석으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기물은 폴리아크릴계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리이미드계 수지, 불포화 폴리에스테르계 수지, 폴리페닐렌계 수지, 폴리페닐렌설파이드계 수지, 및 벤조사이클로부텐으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리.
  4. 제 1 항에 있어서, 이웃한 상기 구획유닛이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부의 표면을 따라 연장 형성되는 금속코팅층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리.
  5. 제 4 항에 있어서,
    이웃한 상기 구획유닛이 이격된 상태를 유지할 수 있는 두께로 형성되며, 상기 패턴부 또는 상기 금속코팅층의 표면을 따라 연장 형성되는 세라믹코팅층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 웰부는,
    상기 베이스부의 양단측에 위치한 한 쌍의 구획유닛으로부터 상기 베이스부의 길이 방향으로 연장된 제1 벽체; 및
    한 쌍의 상기 제1 벽체의 일단부를 연결한 제2 벽체를 포함하며,
    상기 제1 벽체, 상기 제2 벽체 및 상기 패턴부로 둘러싸인 내측 영역에 상기 유기재료가 적하되는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴부는,
    상기 구획유닛의 상부에 마련되되, 상기 웰부측 가장자리에 마련되는 돌출유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 구획유닛의 상면에 형성되는 소수성 박막층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리.
  9. 제 1 항에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법에 있어서,
    a) 상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계;
    b) 상기 웰부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계;
    c) 상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계; 및
    d) 각각의 상기 도너기판에 순차적으로 광을 조사하여 상기 요홈유닛에 주입된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계를 포함하며,
    상기 타겟기판에 전사된 유기재료는 유기층을 형성하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법.
  10. 제 8 항에 따른 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법에 있어서,
    a) 상기 도너기판어셈블리를 준비하는 단계;
    b) 상기 패턴부에 유기재료를 적하하여 각 요홈유닛에 유기재료를 주입하는 단계;
    c) 상기 도너기판어셈블리의 상부에 타겟기판을 덮는 단계; 및
    d) 각각의 상기 도너기판에 순차적으로 광을 조사하여 상기 요홈유닛에 주입된 유기재료를 상기 타겟기판에 전사하는 단계를 포함하며,
    상기 타겟기판에 전사된 유기재료는 유기층을 형성하는 것을 특징으로 하는 요홈유닛이 형성된 도너기판어셈블리를 이용한 발광 다이오드 제조방법.
  11. 도너기판에 유기재료를 적하하는 적하부;
    상기 적하부와 연결되며, 상기 도너기판의 상부에 정렬된 타겟기판에 상기 유기재료의 전사가 이루어지도록 마련된 전사부;
    상기 전사부에 위치한 상기 도너기판을 향해 광을 조사하여 타겟기판에 상기 유기재료를 전사하는 광조사부;
    상기 전사부로부터 상기 도너기판을 회수하여 세정하는 세정부; 및
    상기 타겟기판에 대한 증착 공정이 이루어지고, 상기 타겟기판을 상기 전사부에 제공 및 회수하는 증착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 도너기판은,
    베이스부;
    상기 베이스부의 길이 방향으로 연장되어 마련되되, 요홈유닛이 형성되도록 상기 베이스부의 폭 방향으로 상호 이격되어 복수개로 마련되는 구획유닛을 가지며, 무기물 또는 유기물을 포함하여 이루어지는 패턴부;
    상기 베이스부와 상기 패턴부 사이에 마련되는 광열변환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 도너기판에 적하된 유기재료는 모세관력에 의해 상기 요홈유닛에 주입되는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 적하부는,
    상기 세정부에 의해 세정된 상기 도너기판이 내부로 반입되는 적하챔버;
    상기 적하챔버에 반입된 상기 도너기판이 안착되는 적하스테이지;
    상기 도너기판에 상기 유기재료를 적하하는 적하노즐;
    상기 적하노즐에 유기재료를 공급하는 재료탱크; 및
    상기 도너기판에 적하된 유기재료를 건조시키는 드라이유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 전사부는,
    상기 타겟기판에 대한 유기재료의 전사가 이루어지는 전사챔버; 및
    상기 전사챔버의 일측에 마련되며, 상기 도너기판을 상기 전사챔버에 반입하고, 상기 전사챔버로부터 반출하도록 이루어진 로드락챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 전사부는,
    상기 전사챔버의 상기 증착부측에 형성되며, 상기 전사챔버에 상기 타겟기판을 반입하고, 상기 전사챔버로부터 상기 타겟기판을 반출하도록 이루어진 증착게이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 전사부는,
    상기 로드락챔버의 일측에 형성되며, 상기 적하부에서 상기 로드락챔버로 유기재료가 적하된 도너기판을 반입하고, 상기 로드락챔버에서 상기 세정부로 전사가 완료된 도너기판을 반출하도록 마련된 제1 로드락게이트; 및
    상기 로드락챔버의 타측에 형성되며, 상기 로드락챔버에서 상기 전사챔버로 유기재료가 적하된 도너기판을 반출하고, 상기 전사챔버에서 상기 로드락챔버로 전사가 완료된 도너기판을 반입하도록 마련된 제2 로드락게이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 세정부는,
    상기 도너기판이 반입되는 세정챔버;
    상기 세정챔버 내에 마련되며, 상기 도너기판의 상부를 향해 세정액을 분사하는 샤워헤드; 및
    상기 샤워헤드로부터 분사된 세정액을 수용하도록 상기 샤워헤드의 하부에 마련된 수조를 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 세정부는,
    상기 샤워헤드에 의해 세정된 상기 도너기판이 이송되어 안착되는 세정스테이지;
    상기 세정스테이지에 안착된 상기 도너기판 상에 잔류한 이물질을 제거하도록 마련된 블로워를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 샤워헤드에 세정액을 공급하도록 마련된 세정액공급조; 및
    상기 수조에 수용된 세정액을 상기 세정액공급조로 회수하는 세정액회수조를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도너기판을 이용한 유기발광 디스플레이 제조장치.
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Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012227244A (ja) * 2011-04-18 2012-11-15 Toray Ind Inc 転写用ドナー基板
KR101405502B1 (ko) * 2011-08-26 2014-06-27 주식회사 엔씰텍 줄 가열을 이용한 유기막 증착 장치 및 이를 이용한 유기전계발광표시 소자의 제조 장치
JP2013191553A (ja) * 2012-02-16 2013-09-26 Toray Ind Inc 転写用ドナー基板およびデバイス基板の製造方法
KR20140090458A (ko) * 2013-01-09 2014-07-17 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20150007740A (ko) * 2013-07-12 2015-01-21 삼성디스플레이 주식회사 전사용 도너 기판 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112157407A (zh) * 2020-09-30 2021-01-01 靖江先锋半导体科技有限公司 晶圆传输装置及底座的加工方法

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