CN109778112B - 张网夹具及金属掩膜版的张网方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供张网夹具及金属掩膜版的张网方法，其中张网夹具包括：转轴基座，所述转轴基座具有圆轴表面，所述圆轴表面沿其长度方向设有一承载平台，所述承载平台的表面设有复数个定位脚；压夹盖板，设于所述承载平台上方，所述压夹盖板面向所述承载平台的第一表面设有复数个定位孔，所述复数个定位脚可与所述复数个定位孔对应嵌套；随所述压夹盖板下压，所述复数个定位孔分别对应套设所述复数个定位脚，所述压夹盖板的第一表面与所述承载平台的表面压合。采用本发明的张网夹具，对金属掩膜版张网时可以有效提高金属掩膜版张网的平坦度、减小褶皱，进而可以提升AMOLED器件的蒸镀效果。

Description

张网夹具及金属掩膜版的张网方法

技术领域

本发明涉及显示器件的蒸镀技术领域，尤其涉及一种张网夹具及金属掩膜版的张网方法。

背景技术

AMOLED(Active-Matrix Organic Light Emitting Diode，有源矩阵有机发光二极体)显示屏幕因其特有的自发光、色度好、更轻薄、可柔性显示等优点，已经逐渐进入消费者的视野，在制作AMOLED器件的有机材料部分时，存在蒸镀法、悬涂法及喷墨打印法等，其中，蒸镀法具备精度高、稳定性好等优点，被业界广泛使用。

在采用蒸镀法制作AMOLED器件时，通常需要借用金属掩膜版来掩膜制备预设的图案。在AMOLED器件的蒸镀工艺中，金属掩膜版形态的好坏通常对蒸镀结果有着至关重要的影响。目前制备金属掩膜版常用的方法是将多条子金属掩膜版经过拉力、焊接等张网步骤分别固定到支撑框上，进而得到整版金属掩膜版。常见的子金属掩膜版的形状及施力方法示意如图1，采用两个张网夹具11和12夹持子金属掩膜版12的两端(因版图限制，图中只示意出第一端，即上端，这不应视为对本发明的限制)、沿着拉力F1和F2方向移动，起到对子金属掩膜版12施加拉力的作用。

在这种张网方法中，拉力F1和F2分别通过张网夹具11和张网夹具12传导进入子金属掩膜版13，在图示的区域131、区域132与区域133的应力分布很难控制均匀。尤其张网夹具11和张网夹具12很难控制成完全对称的情况，这样会使分布不均匀的应力继续传导，进入掩膜图案区134，致使掩膜图案区134产生不均匀的变形，并且经常会在垂直于金属掩膜版13的方向上表现为褶皱。采用这样的金属掩膜版13进行蒸镀，褶皱较大的区域蒸镀出的图案往往会微观表现出变形、偏移等现象，宏观则表现为非均匀、缺色、混色等问题，影响AMOLED制程良率。

可见，以目前的金属掩膜版设计以及搭载的张网方法，张网后的金属掩膜版经常不可避免的存在褶皱，超过一定高度、数量的褶皱则会产生蒸镀混色等不良影响，因此，避免金属掩膜版的张网褶皱是十分必要的。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种张网夹具以及金属掩膜版的张网方法，以有效减少或避免金属掩膜版在张网过程中产生褶皱，进而降低AMOLED器件蒸镀混色风险，提高良率。

根据本发明的一个方面，提供一种张网夹具，包括：转轴基座，所述转轴基座具有圆轴表面，所述圆轴表面沿其长度方向设有一承载平台，所述承载平台的表面设有复数个定位脚；压夹盖板，设于所述承载平台上方，所述压夹盖板面向所述承载平台的第一表面设有复数个定位孔，所述复数个定位脚可与所述复数个定位孔对应嵌套；随所述压夹盖板下压，所述复数个定位孔分别对应套设所述复数个定位脚，所述压夹盖板的第一表面与所述承载平台的表面压合。

优选地，所述压夹盖板的两端部分别通过升降轴与所述转轴基座的两侧壁连接；所述升降轴的第一端与所述压夹盖板的端部固定连接，所述升降轴的第二端在所述转轴基座的侧壁开设的槽道中上下滑动，带动所述压夹盖板相对于所述转轴基座上抬或下压。

优选地，所述转轴基座内部设有驱动电机，所述驱动电机驱动所述转轴基座绕其中心轴旋转。

优选地，所述复数个定位脚在所述承载平台的表面沿其长度方向左右对称分布，对应地，所述复数个定位孔在所述压夹盖板的第一表面沿其长度方向左右对称分布。

优选地，所述复数个定位脚沿所述承载平台的表面的长度方向至少分布为第一排定位脚和第二排定位脚，所述第一排定位脚和所述第二排定位脚分别错位排列，对应地，所述复数个定位孔沿所述压夹盖板的第一表面的长度方向至少分布为第一排定位孔和第二排定位孔，所述第一排定位孔和所述第二排定位孔分别错位排列。

优选地，上述的张网夹具还包括：机轴，所述机轴具有第一端与所述转轴基座的侧壁连接，所述机轴具有第二端与一张网机台连接，所述机轴可带动所述张网夹具相对于所述张网机台上、下、左、右移动。

优选地，所述机轴与所述转轴基座的侧壁的连接点与所述转轴基座的中心轴位于同一直线。

优选地，所述转轴基座的侧壁与所述机轴的第一端转动连接，所述转轴基座可带动所述张网夹具相对于所述机轴的第一端顺时针或逆时针转动。

根据本发明的另一个方面，提供一种金属掩膜版的张网方法，使用上述的张网夹具，所述张网方法包括：提供一掩膜框架，将所述掩膜框架放置于一张网机台上；提供一金属掩膜版，所述金属掩膜版的相对两端部分别设有复数个通孔，所述复数个通孔的排列方式与所述张网夹具的复数个定位脚的排列方式对应，且可相互嵌套；上抬所述压夹盖板，使所述压夹盖板与所述承载平台之间预留出空间；将所述金属掩膜版的两端部分别置于两个所述张网夹具的承载平台上，使所述金属掩膜版的复数个通孔分别对应套设所述承载平台的复数个定位脚；下压所述压夹盖板，使所述压夹盖板的复数个定位孔分别对应套设所述承载平台的复数个定位脚，所述压夹盖板的第一表面与所述承载平台的表面压合，将所述金属掩膜版的两端部夹紧；反向转动两个所述张网夹具的转轴基座，通过所述金属掩膜版的两端部拉伸所述金属掩膜版，以及，将拉伸后的所述金属掩膜版对位贴覆于所述掩膜框架。

优选地，所述转轴基座的转动角度小于等于360°，使所述金属掩膜版在所述转轴基座的圆轴表面不重叠覆盖。

有鉴于此，本发明与现有技术相比的有益效果在于：采用本发明的张网夹具对金属掩膜版进行张网，使得金属掩膜版的形态完整、更加稳定，有利于应力均匀地传导；张网夹具对金属掩膜版的夹持方法为整个边缘夹取，也使得金属掩膜版的受力更加均匀；转动张网的过程中，金属掩膜版受力的同时又可通过与转轴基座的圆轴表面接触，来进一步摊平褶皱，因此，本本发明提供的设计对于减少或避免金属掩膜版的张网褶皱非常有利。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出现有技术中金属掩膜版的张网示意图；

图2示出本发明示例性实施例中一种张网夹具的第一状态主视图；

图3示出图1所示张网夹具的第一状态立体图；

图4示出图1所示张网夹具的第一状态俯视图；

图5示出图1所示张网夹具的第一状态侧视图；

图6示出本发明示例性实施例中一种张网夹具的第二状态主视图；

图7示出图6所示张网夹具的第二状态立体图；

图8示出图6所示张网夹具的第二状态侧视图；

图9示出本发明示例性实施例中一种张网夹具的第三状态侧视图；

图10示出本发明示例性实施例中一种金属掩膜版的示意图；

图11示出张网夹具与金属掩膜版的端部对位匹配夹持的示意图；

图12示出两个张网夹具夹持金属掩膜版的示意图；

图13示出本发明示例性实施例中金属掩膜版的张网方法的步骤示意图；

图14示出张网方法中放置金属掩膜版的立体图；

图15示出图14所示的放置金属掩膜版的侧视图；

图16示出张网方法中夹紧金属掩膜版的立体图；

图17示出图16所示的夹紧金属掩膜版的侧视图；

图18示出张网方法中拉伸金属掩膜版的侧视图；

图19示出将多条金属掩膜版通过张网方法固定到掩膜框架的示意图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。

所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员应意识到，没有特定细节中的一个或更多，或者采用其它的方法、组元等，也可以实践本发明的技术方案。在某些情况下，不详细示出或描述公知结构或者操作以避免模糊本发明。

图2示出本发明示例性实施例中一种张网夹具的第一状态主视图，图3示出图1所示张网夹具的第一状态立体图，图4示出图1所示张网夹具的第一状态俯视图，图5示出图1所示张网夹具的第一状态侧视图。结合图2至图5所示，本实施例中张网夹具包括：

转轴基座21，具有圆轴表面，圆轴表面沿其长度方向设有一承载平台210，承载平台210的表面设有复数个定位脚211；压夹盖板22，设于承载平台210上方，压夹盖板22面向承载平台210的第一表面220设有复数个定位孔221，该复数个定位脚211可与该复数个定位孔221对应嵌套。其中，定位孔221可以是贯穿压夹盖板22的通孔，也可以是高度等于或略大于定位脚211的高度的盲孔。定位孔221的截面直径稍大于定位脚211的截面直径，以保证定位孔221可以套设在定位脚211外且不会松动。其二者截面直径均可在2～4mm之间取值。另外，由于本发明的张网夹具主要用于夹持金属掩膜版，因此配合金属掩膜版的尺寸，压夹盖板22的长度可优选设为100mm～150mm，转轴基座21的长度(也即承载平台210的长度)可比压夹盖板22的长度多出0～10mm。

进一步的，压夹盖板22的两端部分别通过升降轴23与转轴基座21的两侧壁连接；升降轴23的第一端231与压夹盖板22的端部固定连接，升降轴23的第二端232在转轴基座21的侧壁开设的槽道212中上下滑动，带动压夹盖板22相对于转轴基座21上抬或下压。具体可参照图2、图3或图5，两根升降轴23分别用于连接压夹盖板22的两端部和转轴基座21的两侧壁。其中，升降轴23与压夹盖板22的端部之间的连接方式为固定连接，升降轴23与转轴基座21的侧壁之间的连接方式为通过升降轴23的凸起部(未详细标示)与转轴基座21的槽道212之间上下滑动连接。这样，升降轴23可带动压夹盖板22相对于转轴基座21上抬或下压，呈现出如图2～图5所示的张网夹具的第一状态(打开状态)，以及如图6～图8所示的张网夹具的第二状态(闭合状态)。

其中，升降轴23的升、降动作由设置在转轴基座21内部的驱动电机(图中未示出)驱动。驱动电机控制升降轴23上升，即可呈现如图2～图5所示的张网夹具的打开状态，驱动电机控制升降轴23下降，即可呈现如图6～图8所示的张网夹具的闭合状态。并且，当张网夹具闭合，也即压夹盖板22的第一表面220与转轴基座21的承载平台210表面压合，且复数个定位孔221对应套设复数个定位脚211时，驱动电机可进一步控制升降轴23固定不动，从而进一步确保压夹盖板22与转轴基座21之间压合夹紧。

进一步的，转轴基座21内部设置的驱动电机还驱动转轴基座21绕其中心轴旋转，从而呈现出如图9所示的张网夹具的第三状态(转动状态)。

在本实施例优选的实施方式中，复数个定位脚211在承载平台210的表面沿其长度方向左右对称分布，对应地，复数个定位孔221在压夹盖板22的第一表面210沿其长度方向左右对称分布。这样，当用张网夹具夹持金属掩膜版时，金属掩膜版的端部可被夹持于张网夹具的中央，确保后续张网过程中金属掩膜版可以被均匀地拉伸。更进一步的，复数个定位脚211沿承载平台210的表面的长度方向至少分布为第一排定位脚和第二排定位脚，且第一排定位脚和第二排定位脚分别错位排列，对应的，复数个定位孔221沿压夹盖板22的第一表面220的长度方向至少分布为第一排定位孔和第二排定位孔，且第一排定位孔和第二排定位孔分别错位排列。采用至少两排定位脚和定位孔的配合设置，使得金属掩膜版的端部的被夹持区域面积增大，从而在后续张网拉伸时，受力面增大，避免单排排布方式引起的局部受力过大导致褶皱。

图6示出本发明示例性实施例中一种张网夹具的第二状态主视图，图7示出图6所示张网夹具的第二状态立体图，图8示出图6所示张网夹具的第二状态侧视图。结合图6至图8所示，本实施例中，当张网夹具处于夹紧状态时，压夹盖板22与转轴基座21之间存在一极小的间隙，其原因在于，实际在使用时，金属掩膜版的端部被夹持在压夹盖板22与转轴基座21之间，金属掩膜版即被夹持在压夹盖板22的第一表面220与转轴基座21的承载平台210之间，压夹盖板22的第一表面220通过金属掩膜版与转轴基座21的承载平台210压合夹紧。这将在下文结合张网方法详细阐述。

图9示出本发明示例性实施例中一种张网夹具的第三状态(转动状态)侧视图。如图9所示，压夹盖板22与转轴基座21压合夹紧后，驱动电机驱动转轴基座21旋转，实现对金属掩膜版张网拉伸。转轴基座21的转动范围在±360°，使金属掩膜版在转轴基座21的圆轴表面不重叠覆盖。

其中，在图1～图9所示的张网夹具中，还包括一机轴24，连接在转轴基座21的侧壁。机轴24具有第一端与转轴基座21的侧壁连接，机轴24具有第二端与张网设备的张网机台连接，机轴24可带动转轴基座21相对于张网机台上、下、左、右平移。也即，机轴24既是转轴基座21的支撑，也是转轴基座21与张网设备的张网机台的连接路径，在张网设备中，张网夹具所在的位置经常需要移动，因此，通过机轴24带动转轴基座21，进而带动张网夹具相对于张网机台上、下、左、右平移。进一步的，机轴24与转轴基座21的侧壁的连接点与转轴基座21的中心轴位于同一直线。转轴基座21的侧壁与机轴24的第一端转动连接，转轴基座21可带动压夹盖板22，进而带动张网夹具相对于机轴24的垂直方向顺时针或逆时针转动。

图10示出本发明示例性实施例中一种金属掩膜版的示意图，如图10所示，本实施例的金属掩膜版4在其相对的两端部41(图中因版图限制，只绘制出金属掩膜版4的一个端部，这不应视为对本发明的限制)分别设有复数个通孔410。为保证张网效果，金属掩膜版4上的通孔410沿金属掩膜版4的中线43左右对称分布，更确切地说，该复数个通孔410的排列方式与上述的张网夹具的复数个定位脚211的排列方式对应，且可相互嵌套。金属掩膜版4上的图案区域42位于两端部中间，也即图示的端部41下方。

图11示出张网夹具与金属掩膜版的端部对位匹配夹持的示意图，图12示出两个张网夹具夹持金属掩膜版的示意图。如图11和图12所示，金属掩膜版4的两端部41分别置于两个张网夹具的承载平台210上(同上，附图11中只绘制出金属掩膜版4的一个端部41与张网夹具的承载平台210的配合方式，另一端部的配合方式与该端部的配合方式完全相同)，使金属掩膜版4的复数个通孔410分别对应套设承载平台210的复数个定位脚221。需注意，金属掩膜版4的宽度并不一定等于承载平台210的长度，因此在夹持金属掩膜版4时，需确保金属掩膜版4的中线43与转轴基座21的中线213重合，使金属掩膜版4位于转轴基座21的中央，确保后续张网拉伸时左右两侧受力均匀。

如图12，两个张网夹具分别夹持住金属掩膜版4的两端部后，可将金属掩膜版4对应张网到位于其下方的置于一张网机台5上的掩膜框架6上。其中，张网机台5是张网机主体(或称为张网设备，未示出)的一部分，张网夹具通过机轴24与张网机主体连接。具体张网方法将在下文的实施例中阐述。

在其他实施例中，为进一步增大受力均匀性，可以在金属掩膜版4的四个端部分别设置于张网夹具的定位脚221对应配对的通孔410。在夹持金属掩膜版4时，可以采用四个张网夹具分别夹持金属掩膜版4的四个分别设有通孔410的端部，使得金属掩膜版4在被张网拉伸时的受力均匀地来自四个端部，进一步提升张网的平坦度。

图13示出本发明示例性实施例中金属掩膜版的张网方法的步骤示意图，图14示出本发明示例性实施例中金属掩膜版的张网方法的放置金属掩膜版的立体图，图15示出图14所示的张网方法的放置金属掩膜版的侧视图，图16示出金属掩膜版的张网方法的夹持金属掩膜版的立体图，图17示出图16所示的张网方法的夹持金属掩膜版的侧视图，图18示出金属掩膜版的张网方法的拉伸金属掩膜版的侧视图。结合图13～图18所示，本实施例中张网方法主要包括放置金属掩膜版步骤、夹持金属掩膜版步骤、拉伸金属掩膜版步骤。需指出的是，图14～图18同样仅示意了金属掩膜版4的一个端部与张网夹具之间的配合方式，其整体的示意图可参照图12所示。

在放置金属掩膜版之前，会进行一些准备步骤，包括：步骤S101、提供一掩膜框架，将该掩膜框架放置于张网设备的张网机台上；且张网机台通过机轴24带动张网夹具平移至与掩膜框架的位置对应。步骤S102、提供一金属掩膜版4，该金属掩膜版4的相对两端部分别设有复数个通孔410，复数个通孔410的排列方式与张网夹具的复数个定位脚211的排列方式对应，且可相互嵌套。

然后，进行放置金属掩膜版步骤，参照图13和图14图15所示，包括：步骤S103、张网夹具中的转轴基座21的承载平台210处于水平状态，压夹盖板22上升至一定高度，保证压夹盖板22的第一表面220与转轴基座21的承载平台210上的定位脚211最上端的预留空间足够用来放置金属掩膜版4。步骤S104、将金属掩膜版4的两端部41分别置于两个张网夹具的承载平台210上，使金属掩膜版4的复数个通孔410分别对应套设承载平台210的复数个定位脚211。

接着，执行夹持金属掩膜版步骤，参照图13和图15图16所示，包括：步骤S105、下压压夹盖板22，使压夹盖板22的复数个定位孔221分别对应套设承载平台210的复数个定位脚211，压夹盖板22的第一表面220与承载平台210的表面压合，从而将金属掩膜版4的两端部41夹紧。具体的，是通过控制升降轴23的升降来控制压夹盖板22与转轴基座21的距离大小，实现紧压的状态或有距离的状态。为保证后续对金属掩膜版4施力均匀，金属掩膜版4的中心应与转轴基座21的中心重合。

进一步的，执行拉伸金属掩膜版步骤，参照图13和图17所示，包括：步骤S106、反向转动两个张网夹具的转轴基座21(也即，图示的张网夹具的转轴基座21沿箭头所示方向顺时针转动，而位于金属掩膜版4的另一端部的张网夹具的转轴基座21逆时针转动)，通过金属掩膜版4的两端部41拉伸金属掩膜版4。以及，步骤S107、通过机轴24平移将拉伸后的金属掩膜版4对位贴覆于掩膜框架。其中，转轴基座21的转动角度小于等于360°，使金属掩膜版4在转轴基座21的圆轴表面不重叠覆盖。转轴基座21的转动速度优选为0.0001rad/s～0.002rad/s。在金属掩膜版4被压夹盖板22的第一表面220和转轴基座21的承载平台210紧紧夹持的状态下，转轴基座21进行转动，通过转轴基座21转动的动作使金属掩膜版4逐渐被拉紧，起到对金属掩膜版4施加拉力的作用。同时，在转动过程中，金属掩膜版4与转轴基座21的圆轴表面的接触面积逐渐变大，有利于减小或摊平褶皱。在施力步骤中，可以通过控制转轴基座21转动的角度来控制金属掩膜版4被拉伸的程度，也可以控制机轴24的平移来控制金属掩膜版4被拉伸的程度。

图19示出将多条金属掩膜版通过张网方法固定到掩膜框架的示意图。参照图19所示，可将多条金属掩膜版4(每条金属掩膜版4具有若干掩膜区域)通过上述的张网方法固定到掩膜框架6上，每条金属掩膜版4通过两个张网夹具分别夹持其两端部实现张网和移动，张网夹具通过机轴24与张网机主体(未示出)连接。具体的，张网夹具通过转轴基座21转动来拉伸金属掩膜版4后，通过机轴24带动张网夹具和金属掩膜版4相对于张网机台5上、下、左、右移动，从而使得金属掩膜版4被张网固定到放置于张网机台5上的掩膜框架6的特定位置。

本实施例中，金属掩膜版4在张网拉伸过程中形态完整、更加稳定，有利于应力均匀地传导；张网夹具对金属掩膜版4的夹持方法为整个边缘夹取，也使得金属掩膜版4的受力更加均匀；转动转轴基座21的过程中，金属掩膜版4受力的同时又可通过与转轴基座21的圆轴表面接触，来进一步摊平褶皱。

综上，本发明的张网夹具以及金属掩膜版的张网方法，可以有效提高金属掩膜版张网的平坦度、减小褶皱，进一步提升AMOLED蒸镀效果、降低混色风险，提高AMOLED制程良率。

另外，本发明的设计并不局限于示意图所示的图样，如金属掩膜版4上的通孔410的设计，包括通孔410的形状、大小、行数等，对应的，张网夹具上的定位脚211和定位孔221的设计；张网夹具各部件的形状、尺寸、比例的变化都在本专利提供的设计范围内。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims (8)

1.一种张网夹具，其特征在于，包括：

转轴基座，所述转轴基座具有圆轴表面，所述圆轴表面沿其长度方向设有一承载平台，所述承载平台的表面设有复数个定位脚，所述复数个定位脚沿所述承载平台的表面的长度方向左右对称分布，且所述复数个定位脚沿所述承载平台的表面的长度方向至少分布为第一排定位脚和第二排定位脚，所述第一排定位脚和所述第二排定位脚分别错位排列；

压夹盖板，设于所述承载平台上方，所述压夹盖板面向所述承载平台的第一表面设有复数个定位孔，所述复数个定位孔沿所述压夹盖板的第一表面的长度方向左右对称分布，且所述复数个定位孔沿所述压夹盖板的第一表面的长度方向至少分布为第一排定位孔和第二排定位孔，所述第一排定位孔和所述第二排定位孔分别错位排列，所述复数个定位脚可与所述复数个定位孔对应嵌套；

随所述压夹盖板下压，所述复数个定位孔分别对应套设所述复数个定位脚，所述压夹盖板的第一表面与所述承载平台的表面压合。

2.如权利要求1所述的张网夹具，其特征在于，所述压夹盖板的两端部分别通过升降轴与所述转轴基座的两侧壁连接；

所述升降轴的第一端与所述压夹盖板的端部固定连接，所述升降轴的第二端在所述转轴基座的侧壁开设的槽道中上下滑动，带动所述压夹盖板相对于所述转轴基座上抬或下压。

3.如权利要求1所述的张网夹具，其特征在于，所述转轴基座内部设有驱动电机，所述驱动电机驱动所述转轴基座绕其中心轴旋转。

4.如权利要求1所述的张网夹具，其特征在于，还包括：

机轴，所述机轴具有第一端与所述转轴基座的侧壁连接，所述机轴具有第二端与一张网机台连接，所述机轴可带动所述张网夹具相对于所述张网机台上、下、左、右移动。

5.如权利要求4所述的张网夹具，其特征在于，所述机轴与所述转轴基座的侧壁的连接点与所述转轴基座的中心轴位于同一直线。

6.如权利要求4所述的张网夹具，其特征在于，所述转轴基座的侧壁与所述机轴的第一端转动连接，所述转轴基座可带动所述张网夹具相对于所述机轴的第一端顺时针或逆时针转动。

7.一种金属掩膜版的张网方法，其特征在于，使用如权利要求1-6任意一项所述的张网夹具，所述张网方法包括：

提供一掩膜框架，将所述掩膜框架放置于一张网机台上；

提供一金属掩膜版，所述金属掩膜版的相对两端部分别设有复数个通孔，所述复数个通孔的排列方式与所述张网夹具的复数个定位脚的排列方式对应，且可相互嵌套；

上抬所述压夹盖板，使所述压夹盖板与所述承载平台之间预留出空间；

将所述金属掩膜版的两端部分别置于两个所述张网夹具的承载平台上，使所述金属掩膜版的复数个通孔分别对应套设所述承载平台的复数个定位脚；

下压所述压夹盖板，使所述压夹盖板的复数个定位孔分别对应套设所述承载平台的复数个定位脚，所述压夹盖板的第一表面与所述承载平台的表面压合，将所述金属掩膜版的两端部夹紧；

反向转动两个所述张网夹具的转轴基座，通过所述金属掩膜版的两端部拉伸所述金属掩膜版，以及

将拉伸后的所述金属掩膜版对位贴覆于所述掩膜框架。

8.如权利要求7所述的张网方法，其特征在于，所述转轴基座的转动角度小于等于360°，使所述金属掩膜版在所述转轴基座的圆轴表面不重叠覆盖。

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