JP2014177665A - 成膜マスクおよび成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この成膜マスクは、シート状の長方形マスク(19a,19b,19c)と、マスク補強板(21,21)と、長方形マスク(19a,19b,19c)の両端を支持するマスク枠(8)と、長方形マスク(19a,19b,19c)の両端に設けられたマスク補強板(21,21)に形成された円形の貫通孔(20)に挿通され周面が貫通孔(20)の内周面に点接触するピン(23)を有し、マスク枠(8)から支持され、かつピン(23)の基端に対して先端を、装着された長方形マスク(19a,19b,19c)の長手方向に回動させた設定位置で保持するマスク加張機構(22)とを設けたことを特徴とする。
【選択図】図7
Description
ウインドウ34を備えたベースプレート35に、多数のスリットを形成した有効部36Aを有したマスク36を配置し、マスク36の一端をマスククランプ37でベースプレート35に固定し、他端を移動自在なスライダ38に固定し、スライダ38に圧縮コイルバネ39でばね力を付与して、マスク36を加張する。加張されたマスク36の上に、基板クランプ手段40により基板41を取り付けて、成膜を行う。
図14に示すように、所定の位置に成膜するためのマスク開口46を有した大型マスク47の片方の端面を固定側マスククランプ48にクランプし、ボルト49により固定側マスククランプ48をベースプレート(図示せず)に固定することで、マスク端面を固定する。このあと、固定したマスク端面と対面の辺全体を移動側マスククランプ50によりクランプし、一定の加張力を大型マスク47に付与した状態で、ボルト51により移動側マスククランプ50を前記ベースプレートに固定することで、大型マスク47が加張される。
前記特許文献1に記載された従来の構成のように、極薄のマスク端面全体をクランプし、スライダ機構により一方向に加張する方式では、1m以上の寸法がある大型マスクの固定端全体に対して、垂直な方向に加張できるスライダ機構を設けるには、固定側クランプと高精度の平行度を維持できる移動側クランプの固定機構や、非常に高精度かつ剛性の高いスライダ機構の機械加工と組み付け加工が必要となる。また、マスク形状によっては、マスクの個々の箇所の強度が異なるため、スライダ機構によりマスク端部全体を同一方向に、一定の荷重で加張すると、マスクに皺や撓みが生じる。
(実施の形態1)
図1〜図8は本発明の実施の形態1を示す。
この成膜装置は、基板取り出し室1、マスク位置合わせ室2、成膜室3を有しており、それぞれの部屋は、個別に真空度を調整できるように、第1ゲート4、第2ゲート5、第3ゲート6により区分けされている。
マスク本体7がセットされているマスク枠8は、搬送キャリア9にネジなどの着脱可能な構成により、固定されている。マスク枠8と同等もしくはそれ以上に広い開口を有している搬送キャリア9は、マスク枠8,基板支持台10,磁石プレート11を載せてこれを搬送するための十分な剛性と強度を有している。
マスク枠8と基板支持台10との相対位置がずれないように、マスク枠8は、基板支持台10が接触する箇所は、粗さを持たせるための表面処理、あるいはゴム状の構成を有しており、搬送キャリア9がマスク位置合わせ室2や成膜室3を移動中に、基板支持台10がマスク枠8上で位置ズレを起こすことはない。
図3はマスク加張機構22の構成図である。
成膜マスクは、マスク本体7と、マスク枠8の他に、マスク補強板21とマスク加張機構22を有している。マスク本体7の各長方形マスク19a,19b,19cは、マスク加張機構22を介してマスク枠8から支持されている。ここでは長方形マスク19aの場合の支持構造を説明する。長方形マスク19b,19cの場合も長方形マスク19aの場合と同じである。
図6(a)に示すマスク長辺をLL1、マスク短辺をLL2の寸法を持つ長方形マスク19aは、マスク端面からX方向,Y方向にそれぞれ、d1,d2の位置に円の中心を持つように、直径Dの円形の貫通孔20が設けられており、長さLの領域により、基板をマスクできる。長方形マスク19aの長さLは、基板外形寸法のL1、あるいはL2以上の寸法を有しており、長方形マスク19aの各辺の寸法は、式(1)(2)で示される。
マスク短辺:LL2 = 2 × d2 ・・・(2)
また、長方形マスク19aの両端には、X方向に2×d1、Y方向に2×d2で囲われる領域にマスクの補強板を取り付ける領域を設けている。X方向に加張した場合にY方向にマスクが撓まないように、0.1mm程度の厚みの極薄の長方形マスクの場合は、マスク短辺:LL2の長さは200mm以下であることが望ましい。
マスクへの貫通孔20と同等の穴径をもつマスク補強板21によりマスク端部を上下から挟みこむことでマスク補強されており、貫通孔20に円柱状のピン23を通し、マスク加張機構22に接続し、各マスクをマスク枠8に保持する。なお、図8では、説明のために、これらを分離して図示しているが、実際にはこれらを重ね合わせてマスク本体7として用いる。
図10と図11は本発明の実施の形態2を示す。
実施の形態1では図2(b)に見られるように、X軸方向に長い長方形マスク19a,19bの上に、Y軸方向に長い1枚の長方形マスク19cが配置されていたが、この実施の形態2では図9のように、長方形マスク19a,19bの上に、Y軸方向に長い複数枚、ここでは5枚の長方形マスク19c1〜19c5を配置することで、多品種少量生産へ対応するために、基板の様々な場所に成膜、あるいはマスクにより非成膜とする場所を設けることが必要になり、多数のマスクを使用している点だけが異なっている。
このように、長方形マスク19a,19bの上に、5枚の長方形マスク19c1〜19c5が配置されている場合には、長方形マスク19c1〜19c5に適切な加張を施した場合でも、各長方形マスク19c1〜19c5の重みが下側の長方形マスク19a,19bに影響し、長方形マスク19a,19bが図9のように下側に撓む。
ステップS1では、基板取り出し室1からマスク位置合わせ室2へ投入された基板支持台10を、基板12の成膜面を下向きになるように、マスク位置合わせ室2の所定の位置で、基板支持台10を保持する。
かかる構成の成膜装置によれば、複数のマスクに十分な加張力を作用させることできず、多少の撓みが長方形マスクに生じていても、マスク支持台32により水平に長方形マスクを保持したまま、基板12と長方形マスクの位置合わせ、および基板12と長方形マスクの密着が可能となるため、大型の基板12に対しても、滲みのない高精度な成膜を施すことができる。
2 マスク位置合わせ室
3 成膜室
4 第1ゲート
5 第2ゲート
6 第3ゲート
7 マスク本体
8 マスク枠
9 搬送キャリア
10 基板支持台
11 磁石プレート
12 基板
13 上昇下降機構
14 磁石
15 キャリア上下機構
16 材料源
17a 機種Aの成膜領域
17b 機種Bの成膜領域
18a,18b マスク領域
19a,19b,19c,19d,19c1〜19c5 長方形マスク
20 貫通孔
21 マスク補強板
22 マスク加張機構
23 ピン
24 ピン接続体
25 回転軸
26 張力調整用ネジ
27 位置調整ネジ
28 位置決めマーク
29 圧縮バネ
30 小型試験片
31 小さな開口
32 マスク支持台
33 制御装置
Claims (4)
- 材料源と成膜対象の基板の間に配置されて、前記基板の表面の成膜領域を露出させるとともに前記成膜領域以外を複数枚の長方形マスクで覆う成膜マスクであって、
形状が長方形でシート状の前記長方形マスクと、
前記長方形マスクの長手方向の両端に設けられたマスク補強板と、
前記マスク補強板を介して複数枚の前記長方形マスクの両端を支持するマスク枠と、
前記長方形マスクの両端に設けられた前記マスク補強板に形成された円形の貫通孔に挿通され周面が前記貫通孔の内周面に点接触するピンを有し、マスク枠から支持され、かつ前記ピンの基端に対して先端を、装着された前記長方形マスクの長手方向に回動させた設定位置で保持するマスク加張機構とを設けた
成膜マスク。 - 前記マスク加張機構は、装着された前記長方形マスクの短手方向に位置変更が可能に前記マスク枠に取り付けられている
請求項1記載の成膜マスク。 - 請求項1記載の成膜マスクを、材料源と成膜対象の基板の間に配置した
成膜装置。 - 請求項1に記載されている成膜マスクの前記長方形マスクを下方から支持できる昇降可能なマスク支持台を有し、
前記マスク支持台により前記長方形マスクを支持した状態で、基板と前記長方形マスクの位置合わせを行い、前記基板の被成膜面とは反対側から、前記長方形マスクを磁力により吸着して前記基板に密着させた後、成膜処理を実施するよう運転する制御装置を設けた
請求項3に記載の成膜装置。
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