WO2011132325A1

WO2011132325A1 - マスク

Info

Publication number: WO2011132325A1
Application number: PCT/JP2010/058644
Authority: WO
Inventors: 裕子加藤; 正志菊池; 厚治亀崎; 智彦岡山; 英介堀; 美穂清水; 慶子阿部; 圭介下田; 謙次江藤
Original assignee: 株式会社アルバック
Priority date: 2010-04-21
Filing date: 2010-05-21
Publication date: 2011-10-27
Also published as: TWI499353B; JPWO2011132325A1; TW201138537A; JP5674767B2

Abstract

　有機ＥＬ表示装置の製造工程で用いられる、従来より薄いシャドーマスク部を有するマスクを提供する。基板６が真空処理装置１０内に搬入され、マスク１と基板６との位置合わせが行われる。マスク１は、枠体８と、枠体８上に配置される金属からなるテープ状のシャドーマスク部２と、シャドーマスク部２の一端を固定する取付装置３と、シャドーマスク部２の他端部を水平方向から鉛直方向に変換する変換部材４と、他端に取り付けられた重り５とを有しており、重り５によってシャドーマスク部２に張力が印加される。シャドーマスク部２は、張力により弛まないので基板６との間に反応プラズマが入らない。従来より薄いシャドーマスク部２によって、マスク１の周辺部分にある基板６表面も、より均一に成膜する事が出来る。

Description

マスク

　本発明は、有機ＥＬディスプレイ製造過程の技術分野にかかり、特に基板上に陰を形成するマスクに関するものである。

　現在、有機ＥＬ(Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ)表示装置は、電極に印加された電圧により有機ＥＬ薄膜が励起し、励起したエネルギーを光に変換することにより表示される装置である。有機ＥＬ薄膜自身が熱を発生しないで光を放出するのでバックライトが不用であるため、さらなる省エネ化と薄型化が実現可能であり、注目されている。

　有機ＥＬ表示装置の製造過程において、真空処理装置内に表面に配線が配置されたガラス基板等の基板が搬入され、基板上にマスクが配置される。

　マスクは、ガラス基板上に形成された配線が成膜され、覆われるのを防ぐために配置される。マスクと基板は、機械的に又はマスク及び基板に設けられたアライメントマークをＣＣＤカメラ等で観察することにより位置合わせが行われた後、プラズマＣＶＤ、蒸着、スパッタリング等で陽陰電極、有機ＥＬ薄膜や保護膜の成膜が行われる。

　ガラス基板上には、ガラス基板を分割するためのスクライブラインが設けられている。成膜後はスクライブラインに沿って分割される。

　現在は、このマスクは、主にアルミナ(Ａｌ₂Ｏ₃)等のセラミックを用いて製作されている。

　アルミナ等のマスクのシャドーマスク部を使用する場合に、基板上のシャドーマスク部近傍では、アルミナのマスクの厚さによって反応プラズマが遮られて成膜されず、各シャドーマスク部間の中央付近にある薄膜の膜厚より薄くなってしまうという問題点がある。
特開２００４-３３５１２３号公報

　本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、従来より薄いシャドーマスク部によって、均一に成膜する事が出来るマスクを提供することである。

　上記課題を解決するために、本発明は、基板表面に配置され成膜対象物に非成膜領域を形成するマスクであって、テープ状又はシート状のシャドーマスク部と、前記シャドーマスク部の他端部に取り付けられた張力発生部とを有し、前記張力発生部によって前記シャドーマスク部の両端の間に張力を印加するマスクである。
　本発明は、前記シャドーマスク部は、前記張力発生部によって、前記張力の方向に沿って引き延ばされ、元の長さに戻ろうとする復元力が生じているマスクである。
　本発明は、前記張力発生部は、前記枠体に対して前記張力を発生させる方向に移動可能に構成されたマスクである。
　本発明は、前記張力発生部は、前記シャドーマスク部の片面に接触する第一の挟持部材と、前記シャドーマスク部の反対側の面に接触する第二の挟持部材とを有し、互いに嵌合する凹部形状と凸部形状のうち、一方が前記第一の挟持部材に設けられ、他方が第二の挟持部材に設けられ、前記第一、第二の挟持部材で前記シャドーマスクを挟むように構成されたマスクである。
　本発明は、前記張力発生部は重りを有し、前記シャドーマスク部は、一端が固定され、他端には前記重りが接続され、前記重りの重量によって、前記張力が生成されるマスクである。
　本発明は、前記シャドーマスク部の厚さが０．０５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満であるマスクである。

　本発明により、基板上のシャドーマスク部の周辺部分において、より均一に有機ＥＬ薄膜を成膜することができる。

成膜装置内に配置された本発明の重りによりシャドーマスク部に張力が印加されるマスクの断面図 (ａ)：本発明の第一例であり、重りによりシャドーマスク部に張力が印加されるマスクの平面図(ｂ)：基板上の発光エリアの拡大図本発明の第二例のマスクであり、(ａ)：第一の挟持部材の平面図　　(ｂ)：シャドーマスク部の平面図　　(ｃ)：第二の挟持部材の平面図　　(ｄ)：第一の挟持部材のＡ－Ａ線切断断面図　　(ｅ)：シャドーマスク部のＢ－Ｂ線切断断面図　　(ｆ)：第二の挟持部材のＣ－Ｃ線切断断面図二個の挟持装置によってシャドーマスク部に張力が印加された本発明のマスクの断面図二個の挟持装置によってシャドーマスク部に張力が印加された本発明のマスクの平面図本発明の第三例のマスクであり、弛みを無くす前の、(ａ)：平面図　　(ｂ)：Ｄ－Ｄ線切断断面図本発明の第三例のマスクであり、弛みを無くした状態の、(ａ)：平面図　　(ｂ)：Ｅ－Ｅ線切断断面図その第一、第二の挟持部材を、(ａ)：離間させた側面図　　(ｂ)：密着させた側面図 (ａ)～(ｃ)：第三例のマスクを形成する手順を説明するための取付装置とシャドーマスク部の側面図取付装置とシャドーマスク部の部分的平面図であり、(ａ)：弛みを無くす前　　(ｂ)：弛みを無くした状態本発明の第四例のマスクであり、弛みを無くす前の、(ａ)：平面図　　(ｂ)：Ｆ－Ｆ線切断断面図本発明の第四例のマスクであり、弛みを無くした状態の、(ａ)：平面図　　(ｂ)：Ｇ－Ｇ線切断断面図

　１、５０……マスク　２……シャドーマスク部　　３……固定部材　　４……変換部材　　５……重り　　６……基板　　７……基板支持台　　８、３４、６０……枠体　　　９……成膜室　１０……真空処理装置　　１１…真空排気装置　　１２…ガス導入装置　　　１３……ＲＦ電極（シャーワープレート）　　２０……発光エリア　　２１……透明電極　　２２……有機ＥＬ薄膜　　３１……第一の挟持部材　　３２……第二の挟持部材３３……固定螺子　　　３６、６３……挟持装置　　３７……スクライブライン

　図１の符号１０は、真空処理装置であり、真空処理装置１０は、成膜室９と、真空排気装置１１とガス導入装置１２を有しており、真空排気装置１１によって成膜室９の内部を真空排気した後に、ガス導入装置１２を動作させ、反応ガスを導入すると成膜室９内部を所望圧力の反応ガス雰囲気にすることができる。
　成膜室９内部には、基板６が配置された基板支持台７とマスク１が配置されている。

　成膜室９の内部には、ＲＦ電極（シャーワープレート）１３などの成膜手段が配置されており、ガス導入装置１２を動作させ、成膜室９の内部にガスを導入し、プラズマＣＶＤによって、基板６及びマスク１の表面に薄膜が形成されるように構成されている。

　マスク１は、金属または耐熱性樹脂からなるテープ状又はシート状のシャドーマスク部２と、固定部材３と、変換部材４と、重り５と、枠体８を有している。マスクの厚さは、マスクの開口付近において飛来する成膜物質の斜め成分に対する影響を考慮すると薄いことが好ましい。しかし、マスクの伸びや耐久性、クリーニングの可否を考慮すると、シャドーマスク部２の厚さは０．０５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満であることが好ましい。シャドーマスク部２の材質は、金属として、例えば、低膨張アルミ、その他、耐食性、耐熱性を満たす金属が使用可能である。また、耐食性、耐熱性を満たし、テープ状又はシート状に形成できれば、金属又は耐熱性樹脂に限定されない。例えば、耐食処理した薄膜ガラス、石英等も使用可能である。耐食処理した薄膜ガラスは厚さ５０～２００μｍのものも使用可能である。

　固定部材３は、例えば、枠体８に形成された穴と穴にねじ込み可能な螺子で構成されており、シャドーマスク部２の一端には穴が設けられており、シャドーマスク部２の穴に螺子をねじ込むことにより、シャドーマスク部２を枠体８に固定する。

　シャドーマスク部２の一端は、固定部材３によって保持され、水平方向に伸びている。変換部材４は、固定部材３が配置されている枠体８の辺とは反対側の枠体８の辺上に固定されている。変換部材４は、角部が丸められており、水平方向から鉛直下方に向けて湾曲しているので、シャドーマスク部２の他端に、重り５が取り付けられると、シャドーマスク部２は、水平方向から変換部材４の丸められた角部と接触し、鉛直下向きに変換される。

　シャドーマスク部２は、放電により熱が加わり、昇温し、伸びて基板６とシャドーマスク部２の間にプラズマが入らないように、重り５に引っ張られるシャドーマスク部２の伸びの量が、熱による伸びの量より大きくなるように重り５の重さは決められている。

　シャドーマスク部２は、重り５に引っ張られるので、弛まず基板６の表面と密着する。
　シャドーマスク部２は張力が印加された状態で基板６と密着するので、基板６を成膜をするときにシャドーマスク部２と基板６の間に成膜物質が入らない。

　マスク１に対して基板６が配置された基板支持台７を相対的に移動させて、機械的に位置合わせを行い、位置合わせをした後に、成膜室９の内部にガス導入装置１２からガスを導入し、プラズマを発生させ、プラズマＣＶＤ法により成膜すると、シャドーマスク部２によりマスクされていない基板６の表面に薄膜が形成される。本件においては、成膜方法は特に限定されず、スパッタリング、ＣＶＤ、蒸着など公知の技術が適用可能である。

　マスク１に対する基板６の位置合わせは、機械的な方法ではなく、ＣＣＤカメラ等によってアライメントマークを観察しながら行ってもよい。
　図２(ａ)は、マスク１と基板６の平面図である。基板６の表面のマスク１が配置されていない場所には、発光エリア２０が形成されている。

　縦方向は図示していないが、基板６上の各発光エリア２０間にはスクライブライン３７が設けられている。

　図２(ｂ)は、その発光エリア２０の拡大図であり、発光エリア２０内では、基板６の表面に、透明電極２１が成膜され、透明電極２１の表面に、有機ＥＬ薄膜２２が積層している。図示はしていないが有機ＥＬ薄膜２２の表面には、陰極が成膜され、陰極表面には保護膜が成膜される。

　保護膜を成膜後、基板６はスクライブライン３７に沿って切断されると有機ＥＬ素子が生成される。
　図３(ａ)は、リング状凹部を有し、リング形状の第一の挟持部材３１の平面図、同図(ｄ)はそのＡ－Ａ線切断断面図であり、図３(ｂ)は、シャドーマスク部２の平面図、同図(ｅ)はそのＢ－Ｂ線切断断面図であり、図３(ｃ)は、リング状の突部を有し、リング形状の第二の挟持部材３２の平面図、同図(ｆ)はそのＣ－Ｃ線切断断面図である。

　図４は、本発明のマスクの他の例であり、真空処理装置１０は図示していない。マスク５０は、金属または耐熱性樹脂から成り、伸び、曲げが可能なテープ状のシャドーマスク部２と、シャドーマスク部２よりも厚く、剛性を有する枠体３４と、同様に、それぞれ剛性を有する第一の挟持部材３１と、第二の挟持部材３２と、固定螺子３３とから成る挟持装置３６を有している。

　ここではシャドーマスク部２の両端にはマスク螺子穴４３が形成されており、枠体３４上の一辺と反対側の一辺には、それぞれ枠体穴４７が設けられている。
　枠体３４の両方の枠体穴４７とその周囲の上で、リング状の凹部から成る第一の嵌合形状４２が上に向けられた第一の挟持部材３１と、シャドーマスク部２のマスク螺子穴４３が形成された部分と、リング状の凸部から成る第二の嵌合形状４６が下に向けられた第二の挟持部材３２とがこの順序で、枠体３４側から並んで積層配置され、積層された各部材は、穴が連通する位置で重ねられ、シャドーマスク部２は、枠体３４の開口上に渡って配置されている。
　又は、リング状の凸部から成る第一の嵌合形状４２が上に向けられた第一の挟持部材３１と、シャドーマスク部２のマスク螺子穴４３が形成された部分と、凹部から成る第二の嵌合形状４６が下に向けられた第二の挟持部材３２とがこの順序で、枠体３４側から並んで積層配置され、積層された各部材は、穴が連通する位置で重ねられている。

　要するに、第一の挟持部材３１は、上方に向く面に、凹形状又は凸形状の形状の第一の嵌合形状４２が設けられており、下方を向く面に、凹形状又は凸形状の形状が第一の挟持部材３１とは逆になっている第二の嵌合形状４６が形成された第二の挟持部材３２が第一の挟持部材３１上に配置されている。
　第一の嵌合形状４２と第二の嵌合形状４６とは、いずれか一方が凹形状であり、他方が凸形状であり、第一の嵌合形状４２と第二の嵌合形状４６とが嵌合すればよいが、ここでは、第一の嵌合形状４２は、凹形状であり、第二の嵌合形状４６は凸形状である。

　第一の挟持部材３１は、枠体３４上の一辺の枠体穴４７の周囲上と、反対側の一辺の枠体穴４７の周囲上に配置されている。
　第一の挟持部材３１には第一の固定穴４１が設けられており、同様に、第二の挟持部材３２には第二の固定穴４５が設けられている。
　上述したように、シャドーマスク部２の両端には、マスク螺子穴４３が設けられており、枠体３４の枠体穴４７と枠体穴４７の周囲を含む領域上に下方から第一の挟持部材３１と、シャドーマスク部２の端部と、第二の挟持部材３２とが、この順序で重ね合わせられると、シャドウマスク部２の両端が、第一の挟持部材３１と第二の挟持部材３２に挟まれる。

　第一の挟持部材３１と、シャドーマスク部２の端部と、第二の挟持部材３２とが、枠体３４上で、第一の固定穴４１と、マスク螺子穴４３と、第二の固定穴４５とが、枠体穴４７の上方に位置し、各穴４１、４３、４５、４７が互いに連通して一つの螺子穴を形成するようにされている。
　各穴４１、４３、４５、４７には螺子溝が設けられており、その螺子穴には固定螺子３３が螺子留め挿入される。
　この状態では、固定螺子３３は、上方から、第二の挟持部材３２と、シャドウマスク部２の端部と、第一の挟持部材３１とを貫通し、固定螺子３３の下端部が、枠体３４に挿入されており、固定螺旋３３は枠体３４に対して静止されており、シャドーマスク部２のマスク螺子穴４３の位置は、枠体３４に対して移動しないようになっている。

　従って、第一の嵌合形状４２と第二の嵌合形状４６とが、両端のマスク螺子穴４３に固定螺子３３が挿入され、マスク螺子穴４３の位置が枠体３４上で静止され、第一の嵌合形状４２と第二の嵌合形状４６との間にシャドーマスク部２のマスク螺子穴４３の部分の一部が配置された状態で第一の嵌合形状４２と第二の嵌合形状４６とが嵌合されると、シャドーマスク部２の一部が、第一の嵌合形状４２と第二の嵌合形状４６の形状に沿って変形し、シャドーマスク部２は伸び、伸びた部分が元の長さに復元しようとする力によって、枠体３４の開口上に位置するシャドーマスク部２には両端から引っ張る力が加わり、弛まないように張られる。

　簡単に言うと、連通された穴には、固定螺旋３３をねじ込み、枠体のネジ穴と契合させ、固定螺旋の螺旋頭で積層された第一の挟持部材３１と、第二の挟持部材３２と、シャドーマスク部２とを押さえてその両端を固定すると、第一の挟持部材３１と第二の挟持部材３２とは、シャドーマスク部２を長くし、シャドーマスク部２には張力が印加される。
　従って、第二の挟持部材３２と、第一の挟持部材３１と、固定螺子３３と、枠体３４の枠体穴４７とが、シャドーマスク部２の一端を固定する固定装置であり、また、固定螺子３３と、枠体３４の枠体穴４７とが、シャドーマスク部２の他端部に取り付けられた張力発生部である。
　図５は、マスク５０と基板６の平面図である。

　固定螺子３３でシャドーマスク部２を枠体３４に固定するのではなく、シャドーマスク部２の両端を枠体３４に固定して、固定された両端の間を第一の挟持部材３１と第二の挟持部材３２とで挟み、嵌合させてシャドーマスク部２を伸ばし、張力を発生させてもよい。
　また、シャドーマスク部２の一端は、マスク螺子穴４３に固定螺子３３を挿入してシャドーマスク部２の一端を固定し、他端を第一の挟持部材３１と第二の挟持部材３２とで挟み、嵌合させて引っ張る力を生じさせても良い。

　なお、上記の説明では、成膜手段を上、基板を下に配置し、マスク手段をその間に設置しているが、これに限定されず、成膜手段を下、基板を上に設置しマスク手段をその間に設置しても良い。もしくは、成膜手段と基板を縦に設置し、マスクをその間に設置し、下方向に張力を掛けても良い。

　なお、上記の説明では、第一の挟持部材３１と第二の挟持部材３２とがリング状の例が示されたが、リング状の形状に限定されず、一方が凹部、他方が凸部である、第一の嵌合形状４２と第二の嵌合形状４６とを有すれば矩形その他の形状でもよい。また、凹部、凸部の間にシャドーマスク部２を挟んで、シャドーマスク部２に張力を与えながらシャドーマスク部２を固定することもできる。

　また、シャドーマスク部２に張力を与える方法は、一端が固定されたシャドーマスク部２の他端を枠体に対して移動可能な移動部材に固定し、この移動部材を枠体に対して移動させてシャドーマスク部２に張力を掛けることもできる。例えば、シャドーマスク部２の他端が固定された移動部材の位置を、ネジにより枠体に対してシャドーマスク部２に張力が掛かる方向に移動させ、シャドーマスク部２に張力を掛けてもよい。

　上記例では、第一の挟持部材３１と第二の挟持部材３２とから成る張力部材を、一本のシャドーマスク部２の両端に一個ずつ設けたが、一台の張力部材が複数のシャドーマスク部２を固定し、また、引っ張る力を生じさせても良い。

　図６のマスク８１は、その例であり、該マスク８１は、複数のテープ状のシャドーマスク部２と、枠体６０とを有している。
　枠体６０はシャドーマスク部２よりも厚みが厚く、剛性を有しており、枠体６０の一辺と、その一辺と平行な反対側に位置する一辺には、枠体６０よりも厚みの薄い取り付け部６１がそれぞれ配置されている。

　シャドーマスク部２の長さは、取り付け部６１が配置された枠体６０の一辺と反対側の一辺との間の距離よりも長くされており、シャドーマスク部２の一端は、枠体６０の一辺の取り付け部６１上に位置し、他端は、枠体６０の反対側の一辺の取り付け部６１上に位置するようにされている。従って、シャドーマスク部２は、枠体６０の開口６９上に渡って配置されている。

　両方の取り付け部６１上には、一台の挟持装置６３がそれぞれ配置されている。
　挟持装置６３は、一個の第一の挟持部材６４と、一個の第二の挟持部材６５とを有しており、第一の挟持部材６４には、第一の固定穴が複数個形成され、第二の挟持部材６５には、第二の固定穴が複数個形成されている。

　図８(ａ)、(ｂ)に挟持装置６３の側面を拡大した図を示す。
　図８(ａ)を参照し、第一の挟持部材６４の複数の第一の固定穴と、第二の挟持部材６５の複数の第二の固定穴は、第二の挟持部材６５を第一の挟持部材６４上に配置して各第一の固定穴と各第二の固定穴が一対一に連通できるように配置されており、同図(ｂ)に示すように、第二の固定穴から固定螺子６７を挿入し、回転させながらマスク螺子穴４３と第一の固定穴とを通し、第二の挟持部材６５を第一の挟持部材６４に押し付けることができる。

　図９(ａ)～(ｃ)は、シャドーマスク部２を挟持装置６３に取り付けるときの手順を説明するための図であり、先ず、固定螺子６７を取り外した状態で、複数のシャドーマスク部２の端部を重ならないように一個の挟持装置６３の第一の挟持部材６４と第二の挟持部材６５の間に配置し、一対一に連通する一組の第一の固定穴と第二の固定穴と、その一組に隣接し、一対一に連通する他の組の第一の固定穴と第二の固定穴との間の位置に一枚のシャドーマスク部２の端部を配置する。

　この例では、マスク螺子穴４３は使用しないので、シャドーマスク部２にマスク螺子穴４３が形成されていなくてもよい。

　図９(ａ)は、シャドーマスク部２を第一の挟持部材６４上に配置した状態を示しており、符号７４は第一の固定穴、符号７５は第二の固定穴を示している。第二の固定穴７５は貫通孔である。

　次に、第二の挟持部材６５をシャドーマスク部２の端部上に乗せ、第一の固定穴７４と第二の固定穴７５とを連通させ、第二の固定穴７５から固定螺子６７を挿入し、回転させながらマスク螺子穴４３と第一の固定穴７４とを通し、第二の挟持部材６５を第一の挟持部材６４に押し付けると、シャドーマスク部２は、第二の挟持部材６５と第一の挟持部材６４とで挟まれる。

　第一の挟持部材６４と第二の挟持部材６５の互いに向かい合う面には、それぞれ第一の嵌合部７１と第二の嵌合部７２が形成されている。第一の嵌合部７１と第二の嵌合部７２のうち、一方は凹形状であり、他方は凸形状であり、第一の嵌合部７１と第二の嵌合部７２とは互いに嵌合するようになっている。

　第一の螺子穴には螺子溝が設けられており、間にシャドーマスク部２の両端を挟んで固定螺子６７をねじ込んで第二の嵌合部７２を第一の嵌合部７１に嵌合させて押し付けると、シャドーマスク部２は両端部を挟持装置６３にそれぞれ固定される。

　図９(ｂ)はその状態を示している。第一の嵌合部７１と第二の嵌合部７２は、枠体６０の開口６９よりも外側に位置しており、シャドーマスク部２の挟まれた部分の間の部分が、開口６９に渡って配置される。

　挟持装置６３は、枠体６０に接触するか、枠体６０との間の隙間を小さくするように配置されているが、嵌合した状態でも、シャドーマスク部２の開口６９上の部分には、まだ弛みがある。

　挟持装置６３には、張力発生部が設けられており、シャドーマスク部２の一端と他端に張力を印加し、シャドーマスク部２の端部を、端部間の距離が大きくなるように移動させると、シャドーマスク部２の弛みが無くなり、その状態を維持するように挟持装置６３を静止させると、シャドーマスク２によってパターニングされた薄膜を形成することができる。

　ここでは、張力発生部は、挟持装置６３の表面のうち、枠体６０に接触する面と、その反対側の面とに開口を有する張力用螺子穴と、張力用螺子穴に配置された張力用螺子６８とを有しており、張力用螺子６８内には螺子溝が設けられている。
　枠体６０と近接して配置し、反対側の開口から張力用螺子６８をねじ込んで枠体６０方向に移動させ、張力用螺子６８の先端を枠体６０に当接させる。図９(ｂ)と、その平面図の図１０(ａ)は、その状態を示している。

　挟持装置６３は、枠体６０に対して移動可能な状態にあり、張力用螺子６８の先端を枠体６０に当接させ、張力用螺子６８を更にねじ込むと、張力用螺子６８は、枠体６０への方向には移動できず、挟持装置６３が枠体６０から離間する方向に移動する。

　張力用螺子６８は、複数本挟持装置６３に設けられ、各張力用螺子６８をねじ込むことで、挟持装置６３を、枠体６０から、長さ方向の各部分において均一に離間させることができる。このとき、枠体６０の開口６９上の各シャドーマスク部２の弛みが無くなった後伸びるから、各シャドーマスク部２に伸びが生じたところで張力用螺子６８のねじ込みを終了させる。

　図９(ｃ)と、その平面図の図１０(ｂ)と、全体の平面図の図７は、その状態を示しており、張力用螺子６８のねじ込みによって生じた挟持装置６３の移動により、挟持装置６３と枠体６０との間に隙間Ｓが形成されており、各シャドーマスク部２は、開口６９上で弛み無く張られ、シャドーマスク部２の伸びの復元力によって、張力用螺子６８が枠体６０に押し付けられることで、挟持装置６３が枠体６０に固定されている。

　なお、図７では、シャドーマスク部２の一端の挟持装置６３と、他端の挟持装置６３のうち、一つの挟持装置６３の張力用螺子６８がねじ込み移動されているが、両方の挟持装置６３の張力用螺子６８をねじ込み、シャドーマスク部２の端部を固定した二台の挟持装置６３の両方を、枠体６０から離間するように移動させてもよい。

　この挟持装置６３については、第一の固定穴７４と第二の固定穴７５よりも枠体６０に近い位置に、第一の嵌合部７１と第二の嵌合部７２とが形成されているので、固定螺子６７の位置よりも内側にシャドーマスク部２を配置し、第一の嵌合部７１と第二の嵌合部７２とでシャドーマスク部２を挟んで固定することができる。

　図１１のマスク８２は、格子状に形成された薄い金属箔や樹脂箔から成り、可撓性を有するシャドーマスク部５２であり、外周が四辺形状であるが、上記シャドーマスク部２と同じ形状の部分を複数個有している。
　そして、このシャドーマスク部５２は、その四辺形状の平行な二辺付近の部分を、二台の挟持装置６３で挟み、上述したように、第一の嵌合部７１と第二の嵌合部７２とでシャドーマスク部５２の両端を固定し、少なくとも一方の挟持装置６３の張力用螺子６８を回転させ、図１２に示すように、その挟持装置６３を枠体６０から離間する方向に移動させて、シャドーマスク部５２を伸ばし、開口６９上に弛みが生じないようにされている。
　挟持装置６３は枠体６０に押し付けられて固定されている。

　このように、本発明は、細長のシャドーマスク部２を用いたマスクに限定されるものではない。
　張力用螺子６８を有する上記挟持装置６３は、一台で複数のテープ状のシャドーマスク部２の一端を固定したが、一本のテープ状のシャドーマスク部２の幅よりも少し長く、張力用螺子６８を有する取付装置を形成し、シャドーマスク部２毎に、別々に引っ張るようにしてもよい。
　なお、上記例では、シャドーマスク部２、５２の両端に、それぞれ挟持装置６３を取り付けたが、シャドーマスク部２、５２は、一端を枠体６０に固定し、他端に挟持装置６３を取り付けて、張力用螺子６３によって挟持装置６３を枠体６０から離間する方向に移動させて、シャドーマスク部２、５２の弛みを無くすようにしても良い。

Claims

　基板表面に配置され成膜対象物に非成膜領域を形成するマスクであって、
　テープ状又はシート状のシャドーマスク部と、
　前記シャドーマスク部の他端部に取り付けられた張力発生部とを有し、
　前記張力発生部によって前記シャドーマスク部の両端の間に張力を印加するマスク。
　前記シャドーマスク部は、前記張力発生部によって、前記張力の方向に沿って引き延ばされ、元の長さに戻ろうとする復元力が生じている請求項１記載のマスク。
　前記張力発生部は、前記枠体に対して前記張力を発生させる方向に移動可能に構成された請求項２記載のマスク。
　前記張力発生部は、前記シャドーマスク部の片面に接触する第一の挟持部材と、前記シャドーマスク部の反対側の面に接触する第二の挟持部材とを有し、
　互いに嵌合する凹部形状と凸部形状のうち、一方が前記第一の挟持部材に設けられ、他方が第二の挟持部材に設けられ、前記第一、第二の挟持部材で前記シャドーマスクを挟むように構成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のマスク。
　前記張力発生部は重りを有し、前記シャドーマスク部は、一端が固定され、他端には前記重りが接続され、前記重りの重量によって、前記張力が生成される請求項２記載のマスク。
　前記シャドーマスク部の厚さが０．０５ｍｍ以上２．０ｍｍ未満である請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載のマスク。