KR20160063874A - 화학기상 증착용 마스크 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 페이스 실(face seal) 봉지구조를 적용한 유기전계발광 표시장치에 있어, 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 관한 것이다.
본 발명의 화학기상 증착용 마스크는 TFT 패드부를 가리는 바(bar)를 구비한다. 본 발명의 화학기상 증착용 마스크는 바의 일측에 웜 기어(worm gear)를 구비하여 고온과 플라즈마에 의해 늘어진 바를 주기적으로 당겨 팽팽한 상태를 유지하도록 함으로써 바의 들뜸을 개선하여 불량을 감소시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 화학기상 증착용 마스크는 TFT 패드부를 가리는 바(bar)를 구비한다. 본 발명의 화학기상 증착용 마스크는 바의 일측에 웜 기어(worm gear)를 구비하여 고온과 플라즈마에 의해 늘어진 바를 주기적으로 당겨 팽팽한 상태를 유지하도록 함으로써 바의 들뜸을 개선하여 불량을 감소시키는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 페이스 실(face seal) 봉지구조를 적용한 유기전계발광 표시장치에 있어, 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 관한 것이다.
최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하는 경량 박형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다.
이러한 평판표시장치 분야에서, 지금까지는 가볍고 전력소모가 적은 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device; LCD)가 가장 주목받는 디스플레이 장치였지만, 액정표시장치는 발광소자가 아니라 수광소자이며 밝기, 명암비(contrast ratio) 및 시야각 등에 단점이 있기 때문에 이러한 단점을 극복할 수 있는 새로운 디스플레이 장치에 대한 개발이 활발하게 전개되고 있다.
새로운 디스플레이 장치 중 하나인 유기전계발광 표시장치는 자체발광형이기 때문에 액정표시장치에 비해 시야각과 명암비 등이 우수하다. 또한, 백라이트(backlight)가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하고, 소비전력 측면에서도 유리하다. 그리고, 직류 저전압 구동이 가능하고 응답속도가 빠르다는 장점이 있다.
이하, 유기전계발광 표시장치의 기본적인 구조 및 동작 특성에 대해서 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 일반적인 유기발광다이오드의 발광원리를 설명하는 다이어그램이다.
일반적으로 유기전계발광 표시장치는 도 1과 같이, 유기발광다이오드를 구비한다.
이때, 유기발광다이오드는 화소전극인 양극(anode)(18)과 공통전극인 음극(cathode)(28) 및 이들 사이에 형성된 유기층(30a, 30b, 30c, 30d, 30e)을 구비한다.
그리고, 유기층(30a, 30b, 30c, 30d, 30e)은 정공주입층(Hole Injection Layer; HIL)(30a), 정공수송층(Hole Transport Layer; HTL)(30b), 발광층(Emission Layer; EML)(30c), 전자수송층(Electron Transport Layer; ETL)(30d) 및 전자주입층(Electron Injection Layer; EIL)(30e)을 포함한다.
양극(18)과 음극(28)에 구동전압이 인가되면 정공수송층(30b)을 통과한 정공과 전자수송층(30d)을 통과한 전자가 발광층(30c)으로 이동되어 엑시톤(exciton)을 형성하고, 그 엑시톤이 안정한 상태로 되면서 에너지가 빛으로 전환되며 빛을 발산하게 된다.
유기전계발광 표시장치는 전술한 구조의 유기발광다이오드를 가지는 서브-픽셀을 매트릭스 형태로 배열하고 그 서브-픽셀들을 데이터전압과 스캔전압으로 선택적으로 제어함으로써 화상을 표시한다.
이때, 유기전계발광 표시장치는 수동 매트릭스(passive matrix) 방식 또는 스위칭소자로써 TFT를 이용하는 능동 매트릭스(active matrix) 방식으로 나뉘어진다. 이 중 능동 매트릭스 방식은 능동소자인 박막 트랜지스터를 선택적으로 턴-온(turn on)시켜 서브-픽셀을 선택하고 스토리지 커패시터에 유지되는 전압으로 서브-픽셀의 발광을 유지한다.
이와 같이 구동되는 일반적인 유기전계발광 표시장치는 다수의 TFT와 유기발광다이오드가 형성된 기판과 기판 위에 형성되는 봉지층(encapsulation layer)으로 이루어진다.
유기전계발광 표시장치의 특성상 봉지구조는 투과율이 좋고 투명한 물질들을 이용한 적층 구조를 가져야 한다. 이때, 페이스 실(face seal) 봉지구조를 적용한 경우의 봉지층을 구체적으로 설명하면, 음극이 형성된 기판 위에는 봉지수단으로 1차 보호막과 유기막 및 2차 보호막이 차례대로 형성되어 있다.
이와 같이 일반적인 유기전계발광 표시장치는 외부에서 유입되는 공기나 수분을 차단하여 TFT와 유기발광다이오드를 보호하기 위해 봉지층을 구비하는데, 현재의 페이스 실 봉지구조에서는 1차, 2차 보호막으로 플라즈마화학기상증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition; PECVD)을 이용한 실리콘질화막(SiNx)을 이용한다.
도 2는 보호막을 증착하는데 사용되는 플라즈마 장비를 예를 들어 보여주는 도면으로서, PECVD 장비를 예를 들어 보여주고 있다.
도 2를 참조하면, 플라즈마 장비(40)는 가스 주입부(46) 및 배기부(43)를 가지는 진공 챔버(41)내에 가스를 확산시키는 디퓨저(diffuser)(42)를 포함하여 이루어진다.
상부전극(44)과 피증착 기판(1)을 홀딩하는 하부전극(45)이 일정간격 이격되어 대향하고 있다.
상부전극(44)은 RF(Radio Frequency) 파워를 공급하는 매칭박스(미도시)와 연결된다. 하부전극(45)은 RF 파워를 접지시키는 그라운드(ground) 전압이 연결된다.
상부전극(44)의 내측에 포함된 디퓨저(42)는 가스 주입부(46)를 통해 공급되는 반응 가스의 플로우(flow)를 조절한다.
하부전극(45)은 피증착 기판(1)에 열에너지를 공급하는 히터를 포함한다.
상부전극(44)에 RF 전압을 인가하면 상부전극(44)과 하부전극(45)의 사이에 RF에 의해 발생된 플라즈마의 고에너지 전자가 가스와 충돌하면서 화학 반응을 일으켜 기판(1)에 실리콘 질화막이 증착된다.
일반적으로 유기전계발광 표시장치는 액정표시장치와는 달리 수분과 산소에 취약하기 때문에 액정표시장치의 제조공정에서 사용되는 에칭(etching)을 사용하지 못해 증착 시 마스크(50)가 필요하다.
이러한 화학기상 증착용 마스크(50)는 기판(10)에 고정되는 틀 형태의 프레임(frame)(52)과 TFT 패드부에는 실리콘 질화막이 증착되지 않도록 TFT 패드부를 가리는 바(bar)(51)로 이루어진다.
이때, PECVD 공정 중에 고온과 플라즈마에 의해 마스크(50)가 손상을 받아 변형이 발생하게 된다. 또한, 플라즈마와 세정 시 주입된 NF3 가스에 의해 마스크(50)가 부식되고 강도가 약해져서 들뜨게 된다.
이와 같이 마스크(50), 특히 바(51)의 손상이나 들뜸으로 인해 TFT 패드부에 실리콘 질화막이 증착되는 증착 불량이 발생한다.
이를 해결하기 위해 주기적으로 마스크(50)를 교체하여야 하며, 그 결과 비용이 증가한다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 바의 들뜸을 개선하도록 한 화학기상 증착용 마스크를 제공하는데 목적이 있다.
기타, 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크는 유기전계발광 표시장치의 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 있어, 기판에 고정되는 틀 형태의 프레임, 프레임의 일측에서 다른 일측을 가로지르는 다수의 바(bar) 및 바의 일측에 구비되어 바를 당겨 팽팽한 상태를 유지하는 웜 기어(worm gear)를 포함하여 구성될 수 있다.
바는 기판의 TFT 패드부를 가릴 수 있다.
웜 기어는 프레임의 개방된 영역에 구비되며, 서로 직교하는 웜과 웜 휠(worm wheel)로 구성될 수 있다.
웜과 웜 휠은 각각 제 1 축과 제 2 축에 연결될 수 있다.
제 1 축과 제 2 축은 프레임에 서로 직교하도록 장착될 수 있다.
제 2 축의 양측은 회전할 수 있도록 프레임에 장착될 수 있다.
바의 일측은 제 2 축에 고정되며, 제 2 축의 회전에 따라 바의 일측이 제 2 축의 외주면을 따라 감겨 팽팽한 상태를 유지할 수 있다.
바의 다른 일측은 프레임에 고정될 수 있다.
제 1 축의 일측은 회전할 수 있도록 프레임에 장착될 수 있다.
제 1 축의 다른 일측은 수직으로 꺾여 제 1 축을 회전시키는 손잡이를 구성할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크는 바의 일측에 웜 기어를 구비하여 고온과 플라즈마에 의해 늘어진 바를 주기적으로 당겨 팽팽한 상태를 유지하도록 함으로써 바의 들뜸을 개선하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 바의 들뜸의 개선으로 불량이 30%이상 감소되고, 마스크 교체에 필요한 비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.
도 1은 유기발광다이오드의 발광원리를 설명하는 다이어그램.
도 2는 보호막을 증착하는데 사용되는 플라즈마 장비를 예를 들어 보여주는 도면.
도 3은 유기전계발광 표시장치의 구조를 예시적으로 보여주는 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 구조를 개략적으로 보여주는 평면도.
도 5a 및 도 5b는 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 확대하여 보여주는 도면.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크를 확대하여 보여주는 도면.
도 7은 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 개략적으로 보여주는 사시도.
도 2는 보호막을 증착하는데 사용되는 플라즈마 장비를 예를 들어 보여주는 도면.
도 3은 유기전계발광 표시장치의 구조를 예시적으로 보여주는 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 구조를 개략적으로 보여주는 평면도.
도 5a 및 도 5b는 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 확대하여 보여주는 도면.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크를 확대하여 보여주는 도면.
도 7은 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 개략적으로 보여주는 사시도.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 화학기상 증착용 마스크의 바람직한 실시예를 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장될 수 있다.
소자(element) 또는 층이 다른 소자 또는 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않는 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below, beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 따라서 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
본 발명은 페이스 실(face seal) 봉지구조를 적용한 유기전계발광 표시장치에 있어, 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 관한 것으로 우선, 유기전계발광 표시장치에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 유기전계발광 표시장치의 구조를 예시적으로 보여주는 단면도이다.
도 3을 참조하면, 유기전계발광 표시장치는 화소부와 TFT 패드부가 정의되는 기판(101)과 화소부를 덮으면서 기판(101) 위에 형성되는 봉지층(110)을 포함한다.
기판(101)으로 폴리이미드(polyimide; PI) 기판을 적용할 수 있으며, 이 경우 그 배면에는 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate; PET)로 이루어진 백 필름이 부착될 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
봉지층(110) 위에는 외부로부터 입사된 광의 반사를 막기 위한 편광판(미도시)이 점착층을 통해 부착될 수 있다.
도시하지 않았지만, 기판(101)의 화소부에는 화소들이 매트릭스 형태로 배치되며, 화소부의 외측에는 화소들을 구동시키기 위한 스캔 드라이버와 데이터 드라이버 등의 구동소자 및 기타 부품들이 위치한다.
기판(101)의 TFT 패드부에는 전술한 스캔 드라이버와 데이터 드라이버로 전기 신호를 전달하기 위한 패드전극들이 위치한다.
봉지층(110)은 기판(101)에 형성된 유기발광다이오드(130)들과 구동회로들 위에 형성되어 유기발광다이오드(130)들과 구동회로들을 외부로부터 밀봉하여 보호한다.
이러한 봉지층(110)을 구체적으로 설명하면, 일 예로 음극(128)이 형성된 기판(101) 위에 봉지수단으로 1차 보호막(113a)과 유기막(113b) 및 2차 보호막(113c)이 차례대로 형성될 수 있다.
1차 보호막(113a)의 경우 무기절연막으로 이루어져 있어 하부 TFT 단차에 의해 단차를 가지게 되나, 그 상부에 위치하는 유기막(113b)이 평탄화 역할을 하기 때문에 2차 보호막(113c)은 하부 막에 의한 단차에 영향을 받지 않게 된다. 또한, 폴리머로 이루어진 유기막(113b)의 두께가 충분히 두껍기 때문에 이물에 의한 크랙(crack)도 보완해 줄 수 있다.
2차 보호막(113c)이 형성된 기판(101) 전면에는 봉지를 위해 다층으로 이루어진 보호필름(115)이 대향하여 위치하게 되며, 기판(101)과 보호필름(115) 사이에는 투명하며 접착 특성을 갖는 점착제(114)가 개재되어 있다.
이때, 본 발명의 실시예의 경우에는 봉지층(110)의 1차, 2차 보호막(113a, 113c)의 증착, 일 예로 실리콘질화막(SiNx)의 증착에 PECVD의 화학기상증착 장비를 이용할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 대기압화학기상증착(Atmosphere Pressure Chemical Vapor Deposition; APCVD) 장비나 저압화학기상증착(Low Pressure Chemical Vapor Deposition; LPCVD) 장비, 또는 Thermal CVD 장비나 PCVD 장비 등도 사용 가능하다.
이 경우 전술한 바와 같이 필요한 영역, 즉 TFT 패드부를 제외한 화소부에만 실리콘질화막을 증착하기 위해 마스크를 사용하게 되며, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 구조를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 확대하여 보여주는 도면이다.
그리고, 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크를 확대하여 보여주는 도면이다.
도 7은 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크의 A부분을 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 화학기상 증착용 마스크(150)는 기판에 고정되는 틀 형태의 프레임(152)과 TFT 패드부를 가리는 바(151)로 이루어진다.
일 예로, 마스크(150)는 0.05T의 인바(invar) 재질로 구성될 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
인바는 철 63.5%에 니켈 36.5%를 첨가하여 열팽창계수가 작은 합금을 말하며, 온도 변화에 거의 치수가 변하지 않는 특성을 가지고 있다.
다만, 이러한 특성에도 불구하고 화학기상증착 장비의 고온과 플라즈마, 그리고 세정 시 사용되는 NF3 가스에 의해 마스크(150) 강도가 약해지고 바(151)가 늘어나게 된다.
이에 따라 기존에는 TFT 패드부에도 실리콘질화막이 증착되고, 이는 유기전계발광 표시장치의 신뢰성에 큰 영향을 끼친다. 또한, 이러한 문제를 해결하기 위해 주기적으로 마스크를 교체해야 하기 때문에 제작비용이 증가한다.
그래서, 이러한 문제점을 해결하고자 본 발명의 마스크(150)는 바(151)의 일측(일 예로, 도 4의 우측)에 웜 기어(worm gear)를 구비하여 고온과 플라즈마에 의해 늘어진 바(151)를 주기적으로 당겨 팽팽한 상태를 유지하도록 함으로써 바(151)의 들뜸을 개선하는 것을 특징으로 한다.
이때, 바(151)의 다른 일측(일 예로, 도 4의 좌측)은 마스크(150)의 프레임(152)에 용접(welding)되어 고정된다.
웜 기어는 서로 다른 평면에서 수직으로 만나는 두 축 사이에 회전운동을 전달하는 톱니바퀴이다. 한 줄 또는 여러 줄로 된 나사 모양의 이(tooth)를 가진 웜과 평평한 톱니바퀴 모양의 웜 휠로 구성된다.
도 5a와 도 5b 및 도 7을 참조하면, 프레임(152)의 개방된 영역에 웜(153a)과 웜 휠(154a)이 서로 직교하고 있으며, 웜(153a)과 웜 휠(154a)은 각각 제 1 축(153)과 제 2 축(154)에 연결되어 있다.
즉, 웜(153a)과 웜 휠(154a)은 프레임(152)에 홈을 파서 서로 직교하도록 장착된다.
이때, 제 1 축(153)과 제 2 축(154)은 서로 직교하며, 제 1 축(153) 위에 제 2 축(154)이 놓여질 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제 2 축(154) 위에 제 1 축(153)이 놓여질 수도 있다.
제 2 축(154)의 양측은 회전할 수 있도록 프레임(152)에 장착된다.
제 2 축(154)에는 바(151)의 일측이 용접되어 고정되며, 제 2 축(154)의 회전에 따라 바(151)의 일측이 제 2 축(154)의 외주면을 따라 감기게 된다. 즉, 바(151)의 일측은 프레임(152)에 용접되지 않고 길게 제작되어 제 2 축(154)에 용접된다.
제 1 축(153)의 일측은 회전할 수 있도록 프레임(152)에 장착되며, 다른 일측은 수직으로 꺾여 제 1 축(153)을 회전시킬 수 있는 손잡이(155)를 구성할 수 있다.
즉, 작업자는 손잡이(155)를 통해 제 1 축(153)을 회전시킬 수 있으며, 제 1 축(153)은 웜(153a)이 결합되어 있어 웜(153a)과 치합하는 웜 휠(154a)에 회전력을 전달한다. 그리고, 웜 휠(154a)의 회전에 따라 바(151)의 일측이 제 2 축(154)의 외주면을 따라 감기게 된다.
이와 같이 손잡이(155)를 돌리면, 제 1 축(153)뿐만 아니라 바(151)가 용접된 제 2 축(154)이 자동으로 회전한다. 따라서, 바(151)가 어떤 외부의 힘에 의해 강도가 약해져 늘어나거나 늘어지게 되면, 작업자는 손잡이(155)를 돌려 바(151)가 항상 팽팽해지도록 할 수 있다.
제 1 축(153)과 제 2 축(154) 중 적어도 하나의 축은 일 방향으로만 회전할 수 있도록 제 1 축(153) 및/또는 제 2 축(154)에 추가적인 고정수단(미도시)이 구비될 수 있다. 즉, 작업자가 손잡이(155)를 돌려 바(151)를 당기는 경우 바(151)에 텐션(tension)이 작용하며, 이러한 텐션에 의해 바(151)가 원래대로 회복하려고 제 1 축(153) 및/또는 제 2 축(154)이 역회전을 할 수 있다. 고정수단은 이러한 제 1 축(153) 및/또는 제 2 축(154)의 역회전을 방지하는 역할을 한다.
웜 휠(154a)은 제 2 축(154)과 별도의 장치로 구성되어 제 2 축(154)과 결합될 수도 있고, 제 2 축(154)의 외주면을 따라 웜 휠(154a)을 형성하여 제 2 축(154)과 일체로 하는 것도 가능하다.
참고로, 도 5b는 웜(153a)과 웜 휠(154a)이 치합된 상태를 보여주고 있다. 웜(153a)은 단일 톱니(one tooth) 및 소정의 리드각(lead angle)을 갖는다.
다른 예로, 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 프레임(252)의 개방된 영역에 웜(253a)과 웜 휠(254a)이 서로 직교하고 있으며, 웜(253a)과 웜 휠(254a)은 각각 제 2 축(254)과 제 1 축(253)에 연결되어 있다.
이때, 제 1 축(253)과 제 2 축(254)은 서로 직교하며, 제 2 축(254) 위에 제 1 축(253)이 놓여질 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제 1 축(253) 위에 제 2 축(254)이 놓여질 수도 있다.
제 2 축(254)의 양측은 회전할 수 있도록 프레임(252)에 장착된다.
제 2 축(254)에는 바(251)의 일측이 용접되어 고정되며, 제 2 축(254)의 회전에 따라 바(251)의 일측이 제 2 축(254)의 외주면을 따라 감기게 된다.
제 1 축(253)의 일측은 회전할 수 있도록 프레임(252)에 장착되며, 다른 일측은 수직으로 꺾여 제 1 축(253)을 회전시킬 수 있는 손잡이(255)를 구성할 수 있다.
즉, 작업자는 손잡이(255)를 통해 제 1 축(253)을 회전시킬 수 있으며, 제 1 축(253)은 웜 휠(254a)이 결합되어 있어 웜 휠(254a)과 치합하는 웜(253a)에 회전력을 전달한다. 그리고, 웜(253a)의 회전에 따라 바(251)의 일측이 제 2 축(254)의 외주면을 따라 감기게 된다.
전술한 바와 같이 제 1 축(253)과 제 2 축(254) 중 적어도 하나의 축은 일 방향으로만 회전할 수 있도록 제 1 축(253) 및/또는 제 2 축(254)에 추가적인 고정수단(미도시)이 구비될 수 있다.
웜 휠(254a)은 제 1 축(253)과 별도의 장치로 구성되어 제 1 축(253)과 결합될 수도 있고, 제 1 축(253)의 외주면을 따라 웜 휠(254a)을 형성하여 제 1 축(253)과 일체로 하는 것도 가능하다.
참고로, 도 6b는 웜(253a)과 웜 휠(254a)이 치합된 상태를 보여주고 있다. 웜(253a)은 단일 톱니 및 소정의 리드각을 갖는다.
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.
101 : 기판
110 : 봉지층
113a : 1차 보호막 113b : 유기막
113c : 2차 보호막 130 : 유기발광다이오드
150 : 마스크 151,251 : 바
152,252 : 프레임 153,253 : 제 1 축
153a,253a : 웜 154,254 : 제 2 축
154a,254a : 웜 휠 155,255 : 손잡이
113a : 1차 보호막 113b : 유기막
113c : 2차 보호막 130 : 유기발광다이오드
150 : 마스크 151,251 : 바
152,252 : 프레임 153,253 : 제 1 축
153a,253a : 웜 154,254 : 제 2 축
154a,254a : 웜 휠 155,255 : 손잡이
Claims (10)
- 유기전계발광 표시장치의 봉지용 보호막을 증착하는데 사용되는 화학기상 증착용 마스크에 있어,
기판에 고정되는 틀 형태의 프레임;
상기 프레임의 일측에서 다른 일측을 가로지르는 다수의 바(bar); 및
상기 바의 일측에 구비되어 상기 바를 당겨 팽팽한 상태를 유지하는 웜 기어(worm gear)를 포함하는 화학기상 증착용 마스크. - 제 1 항에 있어서, 상기 바는 상기 기판의 TFT 패드부를 가리는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.
- 제 1 항에 있어서, 상기 웜 기어는 상기 프레임의 개방된 영역에 구비되며, 서로 직교하는 웜과 웜 휠(worm wheel)로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.
- 제 3 항에 있어서, 상기 웜과 웜 휠은 각각 제 1 축과 제 2 축에 연결되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.
- 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 축과 제 2 축은 상기 프레임에 서로 직교하도록 장착되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.
- 제 4 항에 있어서, 상기 제 2 축의 양측은 회전할 수 있도록 상기 프레임에 장착되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.
- 제 4 항에 있어서, 상기 바의 일측은 상기 제 2 축에 고정되며, 상기 제 2 축의 회전에 따라 상기 바의 일측이 상기 제 2 축의 외주면을 따라 감겨 팽팽한 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.
- 제 7 항에 있어서, 상기 바의 다른 일측은 상기 프레임에 고정되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.
- 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 축의 일측은 회전할 수 있도록 상기 프레임에 장착되는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.
- 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 축의 다른 일측은 수직으로 꺾여 상기 제 1 축을 회전시키는 손잡이를 구성하는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착용 마스크.
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Citations (3)
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2014
- 2014-11-27 KR KR1020140167703A patent/KR102265206B1/ko active IP Right Grant
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