JP2005339858A - マスク構造体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】引張り力を付与した状態で支持フレーム2に固定されるマスク構造体であって、メタルマスク1と基板5との密着面を基準面としたときに、メタルマスク1は基準面よりも基板5に対して反対側に位置する部位で支持フレーム2に固定されている。
【選択図】図1
Description
前記メタルマスクと基板との密着面を基準面としたときに、前記メタルマスクは該基準面よりも前記基板に対して反対側に位置する部位で前記支持フレームに固定されていることを特徴とする。
前記メタルマスクと基板との密着面を基準面としたときに、前記メタルマスクを該基準面よりも前記基板に対して反対側に位置する部位で前記支持フレームに固定することを特徴とする。
前記メタルマスクと基板との密着面を基準面としたときに、該基準面よりも前記基板に対して反対側に位置する部位で前記メタルマスクが前記支持フレームに固定されているマスク構造体を用い、該メタルマスクの前記基準面に基板を密着させて有機膜を成膜することを特徴とする。
図1は、実施例1の有機ELディスプレイパネルの製造装置に用いるメタルマスク1及び支持フレーム2の構造を示しており、具体的には、メタルマスク1と基板5との密着性を高めることを目的としたメタルマスク1と支持フレーム2の接触面に関する概略図である。
図2は、実施例2の有機ELディスプレイパネルの製造装置に用いるメタルマスク1及び支持フレーム2の構造を示しており、具体的には、メタルマスク1と基板5との密着性を高めることを目的としたメタルマスク1と支持フレーム2との接触面に関する模式図であり、上記実施例1において、支持フレーム2の形状を変えて本発明を適用した例である。
図3は、実施例3の有機ELディスプレイパネルの製造装置に用いるメタルマスク1及び支持フレーム2の構造を示しており、具体的には、メタルマスク1と基板5との密着性を高めることを目的としたメタルマスク1と支持フレーム2との接触面に関する模式図であり、上記実施例1において、支持フレーム2の形状を変えて本発明を適用した例である。
図4は、実施例4の有機ELディスプレイパネルの製造装置に用いるメタルマスク1及び支持フレーム2の構造を示しており、具体的には、メタルマスク1と基板5との密着性を高めることを目的としたメタルマスク1と支持フレーム2との接触面に関する模式図であり、上記実施例1において、支持フレーム2の形状を変えて本発明を適用した例である。
図5は、実施例5の有機ELディスプレイパネルの製造装置に用いるメタルマスク1及び支持フレーム2の構造を示しており、具体的には、メタルマスク1と基板5との密着性を高めることを目的としたメタルマスク1と支持フレーム2との接触面に関する模式図であり、上記実施例1において、支持フレーム2の形状を変えて本発明を適用した例である。
図6は、実施例6の有機ELディスプレイパネルの製造装置に用いるメタルマスク1及び支持フレーム2の構造を示しており、具体的には、メタルマスク1と基板5との密着性を高めることを目的としたメタルマスク1と支持フレーム2との接触面に関する模式図で、上記実施例1において、支持フレーム2の形状を変えて本発明を適用した例である。
図7は、実施例7の有機ELディスプレイパネルの製造装置に用いるメタルマスク1及び支持フレーム2の構造を示しており、具体的には、メタルマスク1と基板5との密着性を高めることを目的としたメタルマスク1と支持フレーム2との接触面に関する模式図で、上記実施例1において、支持フレーム2の形状を変えて本発明を適用した例である。
実施例1乃至実施例7において製造したマスク構造体を用いて、フルカラー有機ELディスプレイパネルの製作を行った。表8は、その結果を従来技術との比較において示しており、表8中の◎、○及び×の意味を以下に示す。
◎:蒸着エリア全面にわたり良好なパターニングができた。
○:蒸着エリア隅に一部斑が生じたが良好なパターニングができた。
×:蒸着エリアに無視できない欠陥が生じた。
2 支持フレーム
3 スポット溶接
4 表示エリア
5 基板
6 蒸着源
7 真空チャンバー
8 段部
9 R加工部
10 傾斜部
11 段部
12 段部
13 傾斜部
14 R加工部
Claims (3)
- メタルマスクに引張り力を付与した状態で支持フレームに固定されるマスク構造体において、
前記メタルマスクと基板との密着面を基準面としたときに、前記メタルマスクは該基準面よりも前記基板に対して反対側に位置する部位で前記支持フレームに固定されていることを特徴とするマスク構造体。 - メタルマスクに引張り力を付与した状態で支持フレームに固定するマスク構造体の製造方法において、
前記メタルマスクと基板との密着面を基準面としたときに、前記メタルマスクを該基準面よりも前記基板に対して反対側に位置する部位で前記支持フレームに固定することを特徴とするマスク構造体の製造方法。 - メタルマスクに引張り力を付与した状態で支持フレームに固定されたマスク構造体を用いた有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造方法において、
前記メタルマスクと基板との密着面を基準面としたときに、該基準面よりも前記基板に対して反対側に位置する部位で前記メタルマスクが前記支持フレームに固定されているマスク構造体を用い、該メタルマスクの前記基準面に基板を密着させて有機膜を成膜することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造方法。
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