JP2010503222A - 局所的なヘテロコンタクトを生成するための方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
半導体材料(特にシリコン)から成る従来の太陽電池(「Goetzberger3」の図1)は、光によって生成された電荷キャリアが、互いに分離した後に、互いに再結合することが可能なように形成されている。これは通常、pn接合によって行なわれる(p型およびn型導電層を接触させることによって、電荷キャリアを分離させる電界が生じる。)。互いに分離した電荷キャリアを、p型またはn型層から外部に導いて電気的に利用可能にするためには、生じる損失を可能な限りわずかにした電気コンタクトを、両方の層の上にそれぞれ1つずつ取り付ける必要がある。そして、残り全ての半導体表面は、該表面にわずかな再結合しか生じないように処理される必要がある。つまり、この表面は、パッシベーションされていなければならない。
1.2 高性能−シリコン−太陽電池
1.PERZ−セル(Passivated Emitter Rear Locally Diffused)(「Green98」の図1)は、裏面に、パッシベーションされた大きな面と、小さなベースコンタクト面とを有している。このコンタクト面には、シリコン材料が高濃度でドープされている。この拡散されたコンタクト面には、例えこの表面を極めて小さく形成したとしても、常に望ましくない再結合が生じる。このようなセルを作成するには、次のプロセスステップが不可欠である。
・全面的に、表面パッシベーション(SiO2、SiNX:a−Si:H、a−SiC:H、浮遊接合)を生成する。
・ベースの、後にコンタクトが形成される位置にて、上記表面パッシベーションを局所的に開口する(まずフォトリソグラフィを行い、その後、エッチング法、湿式化学法、レーザアブレーション法、機械的方法等によってマスキングする。)。
・様々な方法(蒸着法、スパッタ法、液相から析出する方法、ペーストを用いたシルクスクリーン等)によって、金属を成長させる。極めて低いコンタクト抵抗を得るためには、まず、このコンタクトが形成される位置に高濃度でドープする。そして、金属を上述のように堆積させ、その後、場合によっては余った金属を除去する(リフトオフ法)。
2.LFC法(Laser Fired Contacts、「Glunz04」の図1)では、シリコン基板上において、全面的にパッシベーションさせた非導電性層が用いられる。この層の上には、金属層が全面的に堆積される。この二重層を、レーザにより局所的に溶融することによって、コンタクトさせる。溶融していない面は、そのパッシベーション作用を保持する。
3.COSIMA法(Contacts to the a-Si-Passivated Surfaces by means of Annealing、[Plagwitz05]の図1)では、非結晶シリコン(a−Si:H)から成る全面に亘るパッシベーションが用いられる。この非結晶シリコンの上には、アルミニウムが局所的に蒸着されている。加熱することによって、このアルミニウムの下には、良好な導電性を有する、アルミニウムで高濃度にドープされたシリコン層が形成される。最初にアルミニウムが成長されていなかった面は、コンタクトされていない面を引き続きパッシベーションする。
4.ヘテロ接合太陽電池([Schmidt06])およびHIT太陽電池(−Heterojunction with Intrinsic Thin Layer、[Maruyama06]の図1)では、コンタクト面は、基板の正面または裏面と同じ程度の大きさとなっている。この太陽電池のヘテロ構造は、良好なコンタクトを形成するだけでなく、同時にコンタクト面での再結合を極めて少なく維持する。
5.IBC(Interdigitated Back Contacts)−バックコンタクト−太陽電池([Mulligan04]の図1)では、エミッタコンタクトおよびベースコンタクトは、両方とも太陽電池の裏面に配置されており、グリッドフィンガおよび集合母線(これは通常、太陽電池の表面の8%までを覆っている。)による遮光損失を回避している。
1.2.1 上述の方法の欠点
1に関して
・パッシベーション層の局所的な開口について、
−フォトリソグラフィによる開口は、極めて手間がかかり、化学薬品は高価であり、不要な溶剤が多く生じる。このため、この方法は高コストである。
−レーザアブレーションによる開口も、設備投資費および維持費(照明、冷房)が高いため、高コストである。
−機械的な開口の特徴は、表面が損傷されるということである。これによって、後に形成されるコンタクトに、大きな再結合損失が生じる。
・後にコンタクトが形成される場所を局所的にドープすることは、手間がかかると共に高コストである。また、このコンタクトに再結合が生じる(飽和電流J0>1000fA/cm2)。
・高濃度ドープ領域(〜1017cm−3)において、電流損を引き起こす吸収作用が、自由電荷キャリアによって生じる。
2に関して
・シリコンを局所的に溶融させることにより、損失の原因となる高電圧および結晶欠陥が生じることがある。
・コンタクトに再結合が生じる(飽和電流J0>1000fA/cm2)。
・高濃度ドープ領域(〜1017cm−3)において、電流損を引き起こす吸収作用が、自由電荷キャリアによって生じる。
・設備投資費(レーザ)および維持費(照明、冷房)が高くなる。
3に関して
・COSIMA−コンタクトは、高いコンタクト抵抗を生じさせる。
・アルミニウムを局所的に蒸着させなければならない。これには手間がかかり、高コストである。
・コンタクトは、p型シリコンのみに機能する。
4に関して
1.ウェハ表面が極めて良好にパッシベーションされる。
2.高濃度でドープされている。
3.導電性が良好である。
4.吸収作用がわずかである(これは、TCO(透明な導電性酸化物)のようなエミッタにも当てはまる。)。
5.欠陥密度がわずかである。
6.極めて薄い(約5nm)。
7.表面粗度が低い。
8.面が均一な層厚を有している。
9.TCOへのコンタクトが良好である。
5に関して
1.3 市販の高性能−シリコン−太陽電池
06]である(最新の実験用セルの効率はSANYOよりも高いが、知られていない。大量生産された太陽電池は、17.7%のモジュールの場合、21.5%の効率を有している[SP-220
06])。
1.3.1 HIT−太陽電池の効率を向上させるために必要な措置
1.3.2 バックコンタクト−太陽電池の効率を向上させるために必要な措置
2 新しい考え
2.1 新規点
・最初にシリコンウェハを完全にパッシベーションし、その後、コンタクトを形成する場所をプラズマエッチング法によって開口させる。
・このプラズマエッチング法は、線状および/または点状の開口部を局所的に有する張力をかけた薄い伸縮性の膜によって、または、線状および/または点状の開口部を局所的に有するマスクを載せることによって行う。
・同一のマスクを、局所的ヘテロコンタクトの堆積プロセスに用いる。
・この局所的ヘテロコンタクトは、光を透過させるように形成可能である。
・この局所的ヘテロコンタクトは、高い内部反射を有するように形成可能である。
・この局所的ヘテロコンタクトによって生じる電気損失は、従来の拡散されたコンタクトまたは拡散された局所的コンタクトよりも少ない。よって、これまでに達成された太陽電池効率よりも高い効率を実現するのに適している。
・重なり合った2つのマスクを用いることによって、バックコンタクト太陽電池を、フォトリソグラフィ、拡散法、および、湿式化学法を使わずに生成可能である。
・バックコンタクト太陽電池の場合、エミッタコンタクトおよびベースコンタクトは、両方とも太陽電池の裏面にある。著者に公知なSANYOの全ての特許では、正面に1つのコンタクトがあると共に、裏面にもう1つのコンタクトがある太陽電池しか記載されていない。
・個々のエッチングおよび堆積プロセスにおいて、正確な位置決めをする必要がない(自己整合)。
・前工程のプラズマプロセスのプラズマ−残留物の取り残しが、最小化される(2.6章参照)。
・高い拡散距離を実現するために、追加的なプロセスステップとして、サンプルを、同一のマスクを介して局所的に水素プラズマに曝し、これによる熱ドナーによって、ドーピング勾配を生成する。バックコンタクト太陽電池では、安価なチョクラルスキ材料を用いる場合、エミッタコンタクトとベースコンタクトとの間のより大きな間隔を用いる。従来のWrap-Through型太陽電池の場合、捕獲確率は向上する。
2.2 新規の方法
2.2.1 プラズマエッチング法、および、シャドーマスクによる堆積法
2.2.2 シャドーマスクを介した熱ドナーの利用による、局所的なドリフト電界の生成
2.3 各方法に典型的な要件
・高い太陽電池効率のために重要な表面パッシベーション層は、破損されてはならない。破損されると、効率損失が生じる[Breitenstein06]。パッシベーション層および該パッシベーション層上に直接載せるシャドーマスク材料の層厚と硬度とに応じて、ここでは、さらなる開発が求められている。
このパッシベーションは、通常、極めて硬い材料(SiO2、SiN:H、a−Si:H、a−SiCx、SiCx、または類似のもの)から構成されている。ところがこれらを傷つけずに扱うには、シャドーマスクをそっと載せる必要がある。または、シャドーマスクを、柔らかい、例えば高分子層でコーティングしてもよい。柔らかいコーティングを設けることが可能な場合、または、完全に1つの重合体から成る薄い箔を用いる場合も、このようにすれば問題が生じることはない。金属箔を用いる場合も、硬いパッシベーション層の場合は、この箔が薄く(弾力性がある)、パターニングプロセス(レーザ、水ジェット等によるマスクの開口)によってもバリが生じていないならば、何の危険もない。場合によっては、存在するバリをエッチングまたは研磨によって除去してもよい。
このコンタクトの開口部は、光の方を向いた側にあるので、その部分のパッシベーションは厚い。パッシベーションの上に、硬い保護層を成長させて、これを機械的に安定させてもよい。
・張力をかけた箔またはマスクを、サンプル上の全体的且つ全面的に、マスクのアンダーエッチングが生じない程度に厚く載せる必要がある。このため、エミッタコンタクトとベースコンタクトとが接触し合っていない場合には、局所的にショートが生じる(図1、加圧されていないシャドーマスク(42)による局所的なショート(3)。マスクの下のエミッタ(11)とBSF(71)との間のコンタクト。)。
マスクが加圧されていない場所では、マスクのエッジからのエッチングおよび堆積速度は急速に下がる。その結果、コンタクトは、場合によっては幅が少し広がる、および/または、パッシベーション層は少し薄くなる。このマスクを極めてひどい状態で載せると、ショートが発生する。
適したプロセスパラメータを選択することによって、エッチングプロセスを、エッチング方向がウェハの表面に対して可能な限り垂直に向くように行う。[Jansen95]には、このような方法が、シリコンプロセス用に記載されている(これは、例えば、a−Si:Hから成るパッシベーション層をエッチバックすることが好適である。図8)。
エミッタとベースコンタクトとの間にショートが生じたとしても、ショートを形成する層厚は、極めて少ないであろう。TCOおよび/または金属を成長させた後、短いエッチングプロセスを全面的に行うことによって、このショートを回避することが可能である。さらに、個々のプラズマエッチングプロセスのエッチング選択性のために、望ましくない他の層のエッチングは回避され得る(TCOまたは金属が、コンタクトをマスキングする。選択的なエッチングプロセス(54)を短時間行うことによる、エミッタ(11)とBSF(71)との間のショート(3)の回避。TCO(81)は、コンタクトをマスキングする。図3、TCO(81)の下では、エミッタ(11)およびBSF(71)は除去されていない)。
・サンプルはマスクと共に、様々なプロセス装置内に輸送される。これによってマスクがずれることがあってはならない。
これは、厚いシャドーマスクを用いる場合の機械的に解決可能な要件を示している。張力をかけたマスクの場合、ずれることは不可能である(図4、パッシベーションされたウェハ(8)を、凹状に湾曲したキャリア(5)上に載せ、これらを、引張力(9)によって引っ張られている箔(7)に力(15)を加えることによって加圧する。これによって、ウェハおよび箔は、キャリアのアーチに適合する。この箔は、加圧された状態で載っており、もうずれることはない。この箔の局所的な開口部(45)を介して、エッチングおよび堆積プロセスを行うことが可能である。)。
・このプロセスでは、できる限り残留物の無い表面を生成する必要がある。この表面は、太陽電池特性に悪い影響を与え得る表面損失をわずかしか有していない。[Stangl01、Stangl03]には、a−Si:H/c−Siのpn接合における欠陥の影響について記載されている。
周知のプラズマエッチングプロセスでは、エッチング残留物が残る場合が多く、この残留物は除去される必要がある[Zhang00]。1つの可能性について[Lim98]が記載している。
この可能性とは、エッチング残留物を、連続エッチング(連続して行うプロセスであり、2番目のプロセスは、最初のプロセスの残留物だけを除去する。)によって除去するという可能性である。
利用可能な太陽電池は、極めて強烈なプラズマエッチングプロセスを用いて、且つ、これらの残留物を除去せずに生成することも可能である[Salsuro01、Tucci01]。
SANYOの特許[SANYO03a]には、どのようにシリコン表面の残留物を除去および/または補償するかについて記載されている。
[Glunz06]には、その場でまずプラズマプロセスによってウェハの汚れを取り、その後SiCxで、表面をパッシベーションすることが記載されている。この方法では、素晴らしい結果が得られている。
2.4 利点
2.4.1 バックコンタクト−太陽電池に対する利点
・エミッタコンタクトおよびベ−スコンタクトは、ド−パントを拡散させる代わりに、シャドーマスクを介してヘテロ構造−コンタクトを堆積させることによって形成される。
−SUNPOWERおよびSANYO以外のプロセスである(知的財産権の侵害ではない?!)。
−コンタクトにおける飽和電流が少ないため、電圧レベルが高い(記録セルは、719mVの無負荷電圧を有する。最高値は730mV未満である[Maruyama06])[Swanson05](HIT−コンタクトの飽和電流は、J0=18fA/cm2に達し、拡散法では、たったJ0=1000fAにしか達しない。)。
−HIT−太陽電池の、性能に関する温度係数は、−0.25%/℃(実験用セル)または−0.28%/℃(大量生産)である。これは、従来の太陽電池(〜−0.45%/℃)またはバックコンタクト太陽電池(〜−0.38%/℃)よりも低い[Taguchi05]。
・コンタクト面は、Sunpower A300よりも大きい。これは、HITコンタクトが、半導体コンタクト/金属よりも、係数40だけ低い飽和電流を有しているからである[Swanson05]。
−より大きなパタ−ンによって、別のメタライゼーションとのアラインメントを容易に行うことが可能である(TCO上に低温度−シルクスクリーンメタライゼーションを行う[Windgassen05]、または、はんだ付けによるセル連結を行う代わりに、接着によってTCOへのセル連結を行う[Scherff06]。)。
−より大きなコンタクト面とは、太陽電池の直列抵抗に関して生じる問題がわずかであることを意味している。
・汚染を拡散させることに常に結びつく高温度ステップを行う必要がない。
−拡散距離には悪影響を与えない。
−リン拡散を行わない(作業工程が多い)。
−ホウ素拡散を行わない(作業工程が多いホウ素ドーピングの最上層(Boron-Rich-Layer)を、場合によっては再び除去する必要がある。)。
−表面をSiO2によってパッシベーションする必要がある場合、たった850℃で湿式酸化法を行うことによってもパッシベーションが行われ得る。
・裏面の内部反射が極めて良好である。
−a−Si:H/金属コンタクトの代わりにa−Si:H/TCO/金属コンタクトを用いる場合、TCOの屈折率が低いため(ITO、ZnO、nは1.8未満)、極めて高い内部反射を実現可能である(Sunpowerは、反射が良好な金属を有するコンタクト構造に関する特許を有している。)。
−層構造に応じて、コンタクト間の面にも、極めて高い内部反射を実現可能である(例えば、SiO2または屈折率が低い他の材料によって、または、屈折率が低い第1の層を有する多層システムによって。)。
・プロセスが極めて簡素である。
−フォトリソグラフィを用いない。
・シャドーマスクを用いる。
・低コストである。
−必要なプロセス装置の数が少ない。理想的には、全プラズマプロセスを、1つのチャンバ内で行う(これは単に予想である。a)我々の3チャンバ式装置は、残留物による影響はまだ現れていない。これはおそらく、我々のプロセスが、少ない水素希釈で行われているため、析出は、決定的にはa−Si:H層の堆積によって特徴付けられ、水素の比率が高いエッチングによって特徴付けられることは少ないからと思われる。b)カウンタ−ドープされた層を堆積させる複数の工程の間に、例えば、パッシベ−ション層を開口するためのエッチングプロセスを行う。このプロセスは、その前に堆積させた別のドーピングの層の残りを除去するためのものである。c)重なり合った2つのマスクを用いる場合(バックコンタクト太陽電池)、ソ−スを再堆積のために覆う。)。これは、プラズマ−エッチングプロセスおよびマスクの交換によって、前のプロセスによる物質の残留物が最小化されるからである。
・時間の短縮。
−より高い処理能力。
−プロセス時間がより短いことによる、良好なプロセス制御。
・少ないウェハの破損。
−単結晶ウェハを用いているため、ウェハの破損が少ない。
−該ウェハが無拘束に移動されるため、ウェハの破損が少ない。
−該ウェハが頻繁にキャリア内におよびキャリアから分別されることがないため、ウェハの破損が少ない。
−該ウェハが箔の下に固定されているため、ウェハの破損が少ない(シャドー箔を用いる場合、該ウェハは、シリンダ形のキャリアの円柱面上に置かれ、該シャドー箔は該キャリアの上で引っ張られる。必要なたわみは極めて低い(シリンダの半径は3m未満)。これは、350μmの厚さのウェハであっても問題ない。ウェハが、所定の半径内のみで湾曲可能であるため、局所的に高い機械的張力がかかることはない。この張力は、面の上で均一に分散している。ウェハは、実際には一種のコルセットの中で引っ張られている。このコルセットがないと、作用する力は放射面状に変形し、局所的な極めて大きな機械的張力を生じさせる。この張力は、その後破損を引き起こす。)(図13)。
・(1つのマスクだけがその上の別のマスクと)自己整合するため、プロセスステップの数が少ない。よって、
−設備投資費および維持費が少ない。
−欠陥となり得る原因が少ない。
・深いドーピング勾配を、極めて短時間で生成可能である。
−例えば300μmの深度を、550℃において20分で生成可能である。
−これによって、深いドリフト電界が生成され、電荷キャリアがコンタクトに向かって流れることを改善する。拡散距離は、1または2オーダの大きさのドーピング濃度勾配の場合に、例えば係数3〜10だけ上昇する[Weber97]。このため、電荷キャリアの耐用年数は、約1または2オーダの大きさだけ長くなる。
−TD−ドリフト電界によって拡散距離が上昇されるので、品質の悪いCz−材料(酸素を多く有する材料)を用いることが可能である。磁石で引き付けたmCzシリコンまたは高価な浮遊帯シリコンを用いる必要はない。
−コンタクト同士の間隔は、大きく離れていてもよい(単純なアラインメント)。
・厚いウェハを利用可能である。
−これによって裏面の反射率が低減され、IRがより良好に収集され得る(薄いウェハでは、a−Si:H層上のTCOが良好に反射する。上記を参照)。
−ウェハの破損が少ない。
・薄いウェハを利用可能である。
−表面再結合が良好であるため、薄いウェハを利用可能である。
−裏面の反射特性が極めて良好であるため、薄いウェハを利用可能である。
・メタライゼーションを用いる必要がない。
−セル連結物としての金属箔を、TCO−層上に、導電性のポリマー接着剤で直接接着する。金属箔は、くしの形をした構造を有しており、これは、バックコンタクト太陽電池の「Interdigitated Contacts」に相当するものである(コンタクト箔は、エンボス加工によっても、波線またはワッフル形に構成することが可能である。これは、コンタクトストリップとウェハとの膨張係数が異なるために生じる引張応力を低減させるように機能する。)。図32および図33を参照。
−銀、多層システム[MulliganPAT06]、または銀ペーストを用いない。例えば、銅箔、またはアルミニウム箔を用いることが可能である。
・光の方を向いた面を、完全に新規に構成することが可能である。ここで、任意の反射防止層(ARC)を用いることが可能である。このARCは導電性である必要はない。よって、
−TCO−横伝導性に左右されない。導電性が少ない場合、TCO−層厚は、80nmよりも厚くなる(反射が大きくなる)、または、グリッドフィンガ間隔が短くなる(遮光部分が多くなる)。これらによって、発光損失が起こる。
−光学特性に左右されない(TCOでは自由キャリア吸収が起こらない)。従って、短波における吸収損失が少ない([Maruyama06]の図9参照)。
−a−Si:H/TCOとTCO/金属コンタクトとのコンタクト特性に左右されない。薄すぎるa−Si:H層の場合(例えば5nm未満)、大きなa−Si:H/TCOビルトイン電位が生じるため、該層の空乏化が引き起こり得る。これによって、無負荷電圧が低減し、積層欠陥が生じる。これは、より厚いa−Si:H層を堆積させることによってのみ、部分的に補償可能である([Stangl03]の図5aおよび図5b。層厚が増えると、正面の吸収損失の原因にもなる。
−TCOの屈折率に左右されない。ZnO、ITOといった、高導電性および同時に光学スペクトル領域において高透明性を有するTCOでは、屈折率は、ほとんど変化しない(nは1.9未満)。誘電性ARCを用いることによって、反射率および吸収率の低い二重層ARCを形成可能である。このため、正面の構造化を省くことが可能であり、これによって、正面の境界面−欠陥密度を最小化する。
−さらに、多層−ARCを、極めて良好な光学特性および極めて良好な表面パッシベ−ションに調整することが可能である(例えば、a−Si:H/a−SiN:H、a−Si:H/SiOx、SiO2/a−SiN:H、a−SiCx/SiC、a−SiCx/a−SiN:H等)。
・コンタクトは、シルクスクリーンによって形成可能である。
−エミッタコンタクトおよびベ−スコンタクトは、印刷法によって形成可能である。
−必要なペーストは、完全なバックコンタクト(従来の太陽電池およびHIT−太陽電池では一般的)の場合よりも少ない。
−わずかな量のペーストしか必要でない。これは、フィンガの幅もより大きくなるからである(特別なペースト、二重印刷、または、ホットメルトは必要ない。)。
−アスペクト比は、重要な役割を果たさない(SANYOは、0.5未満に作成している。市販の低温度ペーストは、わずか0.1未満である。)。
−ITO上で直接使用する従来の低温度−シルクスクリーンでは、RC=2−3mΩ/cm2の低いコンタクト抵抗が実現されている[Windgassen05]。RWTH-Aachenが開発した新規のペーストでは、RC<0.1mΩ/cm2が得られた[Windgassen、2006年8月のインタビュ−]。
・母線およびグリッドフィンガは必要ない。
−母線およびグリッドフィンガによっては遮光されない(SANYOの遮光は〜7.6%、→〜2.8mA;50フィンガ未満(間隔2mm)×85μm×10cm〜=4.25cm2、グリッドによる遮光+10cm×2×〜1.7mm=3.4cm2[Taguchi05]。さらに、次の利点がある。
・アスペクト比が高く、コンタクト抵抗が少なく、導電性が高いと同時に、長期に亘って安定性を有し、低い硬化温度で硬化するシルクスクリーンペーストを開発する必要はない。
・シルクスクリーンペーストの硬化条件と、TCOのスパッタプロセス(紫外線およびプラズマ欠陥)とは、pn接合を破損する。
−シルクスクリーンペーストを裏面で用いることによって、このような、アスペクト比、コンタクト抵抗、および比導電率の悪いペーストを用いてもよい(開発の重点が他の点(例えば長期に亘る安定性、取り扱い等)に置かれているので、低コストである。)。
−大きなウェハ(例えば20cm×20cm)を、直列抵抗損失(母線、グリッド)を生じさせることなく利用可能である。
2.4.2 その他
・ウェハ表面全体(コンタクトも)がパッシベーションされる。J0を増大させるために、パッシベ−ションを本来よりも低下させる必要はない。
・ヘテロ構造および電界効果によって、表面およびエッジを極めて良好にパッシベーションすることが可能である。
・正面および裏面を異なるようにパッシベーションしてもよい。例えば、正面を電界効果によって行い(SUNPOWERのように)、背面を電界効果を用いずに行ってもよい(逆転層を貫通するコンタクトの場合も問題ない)。
・逆転層への分路は必要ない[Dauwe02]。
−真性のa−Si:H、a−SiCx、SiCx等の層を用いるため、分路は必要ない。
−逆転層を生じさせる層を用いる必要がある場合、ドリフト電界を用いると、分路作用は少ない(2.2.2章)。これは、コンタクト領域が、少数電荷キャリアのドリフト電界のために空乏化されるからである。
・接着させたセル連結物が可能である。
−バックコンタクト太陽電池を用いる場合、簡素な連結技術が可能である。
−HIT−コンタクト上にTCOを堆積させるならば、セル連結物を、直接接着させることができる(その後はもう、メタライゼーションは必要ない)。
−接着位置は、太陽電池の裏面にあり、紫外線から保護されている。よって、該接着位置は、長期に亘って安定する。
−セル連結物の接着面は、太陽電池の裏面にあるため、大きくてもよい。
・ポリマー接着剤が、良好なコンタクトTCOを提供する。
−これによって、メタライゼーションを省くことができる。
−セル連結物(例えば、銅箔)は、導電性の接着剤で、直接TCO−層上に接着される[Scherff06b]。
・周辺の損失が生じない。
−日射が少ない場合の利点[Glunz02]。
−ウェハエッジの周囲はパッシベーションされている(酸化ウェハの場合だけではない)。
−n型基板を用いる場合、ヘテロ−pn接合は、界面欠陥に対してそれほど敏感ではない[Stangl01]。
・光に誘発される劣化がない。
−FZシリコンウェハまたはn型Cz−シリコンウェハを用いる場合、光に誘発される劣化がない。
−拡散されたホウ素エミッタまたはホウ素BSFを有するCz−ウェハの場合のように、コンタクトは劣化しない。
・例えばa−SiC:H/SiN:Hの裏面の場合、裏面のフォング(Phong)指数が高いことが可能である(より正反射する)[Hermle05]。
・エミッタおよびベースを平滑な(研磨された)表面上に堆積させて、より少ない境界面欠陥密度を得ることが可能である。
・両面受光型太陽電池は、a−Si:H/TCO/金属(細長いコンタクトe)を用いる場合に可能である(図31を参照。導電性のTCO−層(81)は、薄いエミッタコンタクト(72)およびBSFコンタクト(71)の電流を収集し、これを金属フィンガ(94または95)に導く。裏面は、広範囲に亘って透明である。)。
・[Maruyama06]およびUni Stuttgartによれば、高価なRCAプロセスは必要ないとされている[Jensen02]。
・ウェハ内にはたくさんの水素が存在している(熱ドナーを生成するためのH2−プラズマの後)。
−この水素は、ドリフト電界を生成する間に、欠陥をパッシベーションする(原子状水素は極めて急速に拡散する、つまり、TDが生成されるよりももっと早く拡散する。)。この水素は、正面まで拡散され、該正面の境界面をパッシベーションする。
・エミッタおよびBSFヘテロコンタクトとして、nc−Siコンタクトを堆積させるだけで十分であり、TCOを堆積させる必要はない。
−これは処理が容易である。
−良好な導電性を得ることができる[Farrokh-Baroughi06]。
・ウェハが歪まない。
−曲がった形、ワッフル形、または波形のセル連結物と一緒に接着させたコンタクトを用いる場合、ウェハは歪まない。
2.5 請求項に関するさらなる実施形態
請求項1について
表面パッシベーションされた半導体材料上において、半導体材料の表面パッシベーション層を、プラズマエッチング法によって、張力をかけた箔の開口部を介して局所的に開口し、上記張力をかけた箔を、その後、ヘテロコンタクトのさらなる堆積プロセス用、および/または、さらなるプラズマプロセス用のマスキングとして利用することを特徴とする、局所的なヘテロコンタクトを生成するための方法およびその装置。」
−任意の水素プロセスおよび堆積プロセスのようなエッチングプロセスにも、同一の箔が用いられ、この箔は、全プロセスの間、サンプル上に残留し得る。
−このマスキングを、各プロセスのために、新たに位置決めする必要はない。
−上記サンプルは、移動時には、固定された状態で引っ張られていることから、移動時に揺れることによって、損傷され得ない(太陽電池を製造するには、多くのプロセスステップが必要である。このため、通常、太陽電池は、ベルトコンベアに載って移動されたり、または、ロボットによって仕分けされる。)。
請求項2
請求項3
請求項4
請求項5
請求項6
請求項7
請求項8
請求項9
請求項10
請求項11
請求項12
請求項13
請求項14
請求項15
請求項16
請求項17
請求項18
請求項19
実施形態
2.6 局所的なヘテロ−(HIT−)バックコンタクトを有する太陽電池
1について:時間のかかると共に材料費の高い湿式化学洗浄法と、時間のかかる拡散プロセスとを、その場で行うプラズマ洗浄とエミッタ−プラズマ堆積法とに置き換えることが可能である[Tucci01]。
2について:時間のかかると共に材料費の高い湿式化学洗浄法と、時間のかかる熱酸化法とを、その場で行うプラズマ洗浄法と、良好にパッシベーションされた層、例えばSiCx[Glunz06]、または、a−Si:H、SiN:H、a−SiC:H、若しくは、同様な層をプラズマ堆積することによるパッシベーション工程とに置き換えることが可能である。
5aについて:少数キャリア−耐用年数が極めて長いウェハ(浮遊帯−シリコンまたは高価なチョクラルスキ−シリコン)を用いる場合、プロセスステップ5aを省いてもよい。
5bについて:ドープされた層の欠陥密度が低い場合も、(i)a−Si:H層を省くことが可能である[Schmidt06]。
5bについて:TCOは通常n型であるため、高濃度にドープされた(n)μc−Si:H層を省くことが可能である。この場合にも、(n)a−Si:H/TCOにおいて高いコンタクト抵抗を得ることはない。
5bについて:最近ではp型TCOも知られるようになった。このTCOを用いる場合、高濃度にドープされた(p)μc−Si:H層を省くことが可能である。この場合でも、(p)a−Si:H/TCOにおいて高いコンタクト抵抗を得ることはない。
2.7 HIT−BACK太陽電池用のプロセス
Claims (19)
- 表面パッシベーションされた半導体材料上において、半導体材料の表面パッシベーション層を、プラズマエッチング法によって、張力をかけた箔の開口部を介して局所的に開口し、上記張力をかけた箔を、その後、ヘテロコンタクト、TCO、若しくは金属のさらなる堆積プロセス用、および/または、さらなるプラズマプロセス用のマスキングとして利用することを特徴とする、局所的なヘテロコンタクトを生成するための方法およびその装置。
- 上記張力をかけた箔の代わりに、上に載せたマスクを用いることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 請求項1または2に記載の張力をかけられた箔またはマスクを、出来る限り密着して載せ、アンダーエッチングまたはマスキングの下の堆積を回避することを特徴とする、請求項1および2に記載の方法。
- 上記表面パッシベーション層の上に載っている、請求項1または2に記載の第1のマスクの上に、上記第1のマスクの開口部の一部を覆う1つまたは複数のさらなるマスクを載せるまたは張ることを特徴とする、請求項1〜3に記載の方法。
- 上記表面パッシベーション層は、用いられる半導体基板と共に、可能な限り低い表面再結合速度を有する1つの材料から構成されていることを特徴とする、請求項1〜4に記載の方法。
- 太陽電池正面上のパッシベーション層を、裏面とは別の材料または別の材料ラミネートから構成することを特徴とする、請求項1〜5に記載の方法。
- 可能な限り上記表面パッシベーション層だけをエッチバックして、そこにプラズマ残留物および/または基板材料の傷が残らないことを特徴とする、請求項1〜6に記載の方法。
- 上記プラズマエッチングプロセスは、前の堆積プロセスのプラズマ残留物を一緒に除去するように選択されていることを特徴とする、請求項1〜7に記載の方法。
- 堆積させたヘテロ構造コンタクトを、可能な限り高い太陽電池効率を実現するように構成することを特徴とする、請求項1〜8に記載の方法。
- 高い内部反射を実現するように、ヘテロコンタクトを形成することを特徴とする、請求項1〜9に記載の方法。
- 上記ヘテロコンタクトは光透過性であることを特徴とする、請求項1〜10に記載の方法。
- 上記ヘテロコンタクト上に、最後の層として、1つまたは複数の金属層を成長させることを特徴とする、請求項1〜11に記載の方法。
- 異なるヘテロコンタクト(エミッタコンタクトまたはベースコンタクト)上に、異なるTCO層を成長させることを特徴とする、請求項1〜12に記載の方法。
- 上記TCO上に、導電性接着剤で、セル連結物を直接接着させることを特徴とする、請求項1〜13に記載の方法。
- 接着させた上記セル連結物は、ヘテロコンタクトに沿って細長くなっており、従ってTCO面の一部を覆っておらず、光を透過させることを特徴とする、請求項1〜14に記載の方法。
- 上記セル連結物は、ヘビ状に曲がっているか、または、波形若しくはワッフル形にエンボス加工されていることを特徴とする、請求項1〜15に記載の方法。
- 上記表面パッシベーションを開口した後、後にコンタクトを形成する領域を、水素プラズマに曝し、同時に、200℃と800℃との間、好ましくは300℃と600℃との間の温度まで加熱することを特徴とする、請求項1〜16に記載の方法。
- 上記水素プラズマを第1のステップにおいて行い、焼き戻しをプロセスの後の時点で行うことを特徴とする、請求項1〜17に記載の方法。
- 状況によっては生じる、上記水素プラズマが原因の基板のプラズマ破損を、1つまたは複数のプラズマエッチングプロセスによって除去することを特徴とする、請求項1〜18に記載の方法。
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