CN109423604B - 蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置 - Google Patents

蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置 Download PDF

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Abstract

蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置。蒸镀掩模装置的制造方法具有：准备步骤，准备包含从第1面到第2面的多个贯通孔的蒸镀掩模；以及焊接步骤，在包含正面和与正面对置的背面的框架的正面上焊接蒸镀掩模。

Description

蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置
技术领域
本公开的一个实施方式涉及具有形成有多个贯通孔的蒸镀掩模和支承蒸镀掩模的框架的蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置。
背景技术
近年来，针对智能手机和平板PC等可携带器件中使用的显示装置，要求高精细，例如要求像素密度为500ppi以上。并且，在可携带器件中，针对与超全高清对应的需要提高，该情况下，要求显示装置的像素密度例如为800ppi以上。
在显示装置中，由于响应性优良、消耗电力低、对比度高，有机EL显示装置受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，公知有使用形成有以期望图案排列的贯通孔的蒸镀掩模、以期望图案形成像素的方法。具体而言，首先，使蒸镀掩模与有机EL显示装置用的基板紧密贴合，接着，将紧密贴合的蒸镀掩模和基板一起投入蒸镀装置中，进行使有机材料蒸镀在基板上的蒸镀步骤。该情况下，为了精密地制作具有高像素密度的有机EL显示装置，要求按照设计精密地再现蒸镀掩模的贯通孔的位置和形状。
进行使有机材料等蒸镀材料蒸镀在基板上的蒸镀步骤的蒸镀装置具有蒸镀掩模装置，该蒸镀掩模装置包含蒸镀掩模和支承蒸镀掩模的框架。框架在拉伸蒸镀掩模的状态下支承该蒸镀掩模，以使得蒸镀掩模不会翘曲。蒸镀掩模通过焊接固定在框架上。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特许第5382259号公报
专利文献2：日本特开2001-234385号公报
为了使蒸镀材料以期望图案高精度地蒸镀在基板上，优选蒸镀掩模的厚度较小。但是，在减小蒸镀掩模的厚度的情况下，在拉伸蒸镀掩模的状态下将其支承在框架上时，有时在蒸镀掩模中产生翘曲或波纹形状。因此，蒸镀掩模与框架的紧密贴合性降低，在蒸镀掩模与框架的非紧密贴合部中产生焊接不良，由此，认为无法充分确保蒸镀掩模的焊接部的强度。特别是在蒸镀掩模的厚度较小的情况下，该焊接部的强度可能成为问题。
发明内容
本公开的目的在于，提供能够有效解决这种课题的蒸镀掩模装置的制造方法和蒸镀掩模装置的制造装置。
本公开的一个实施方式是一种蒸镀掩模装置的制造方法，其具有：准备步骤，准备包含从第1面到第2面的多个贯通孔的蒸镀掩模；以及焊接步骤，在包含正面和与所述正面对置的背面的框架的所述正面上焊接所述蒸镀掩模，所述蒸镀掩模具有构成一对端部的一对耳部，所述一对耳部分别包含焊接在所述框架的所述正面上的焊接部、以及位于所述焊接部与所述蒸镀掩模的所述端部之间的延伸部，所述焊接步骤具有以下步骤：对所述蒸镀掩模施加张力，以使得所述焊接部的所述第2面与所述框架的所述正面接触，并且，所述延伸部的所述第2面至少局部相比于所述框架的所述正面更靠所述框架的所述背面侧；以及在对所述蒸镀掩模施加了所述张力的状态下，使所述蒸镀掩模的焊接部与所述框架接合。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在使所述焊接部与所述框架接合的步骤中，从所述第1面侧照射激光。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述框架在所述第1面的法线方向上移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，通过夹具支承所述蒸镀掩模。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，所述夹具是夹钳。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，通过所述夹钳夹持所述蒸镀掩模的所述延伸部。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，所述夹钳具有夹持所述一对耳部中的一个耳部的所述延伸部的第1夹钳、以及夹持所述一对耳部中的另一个耳部的所述延伸部的第2夹钳。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方在所述第1面的法线方向上移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方沿着所述第1面的面方向移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，所述框架包含在所述正面与所述背面之间延伸的外侧面，在所述正面与所述外侧面之间设置有连结所述正面和所述外侧面的连结面。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在沿着所述第1面的法线方向的截面中进行观察时，所述连结面的轮廓具有至少局部向所述蒸镀掩模凸出的圆弧形状，所述圆弧形状的曲率半径为0.1mm以上。
本公开的一个实施方式是一种蒸镀掩模装置的制造装置，其用于制造蒸镀掩模装置，该蒸镀掩模装置具有包含从第1面到第2面的多个贯通孔的蒸镀掩模、以及包含面向所述蒸镀掩模的所述第2面的正面和与所述正面对置的背面的框架，其中，所述制造装置具有：夹具，其支承所述蒸镀掩模；以及工作台，其与所述框架接触，所述蒸镀掩模具有构成一对端部的一对耳部，所述一对耳部分别包含焊接在所述框架的所述正面上的焊接部、以及位于所述焊接部与所述蒸镀掩模的所述端部之间的延伸部，所述夹具支承所述蒸镀掩模的所述延伸部，在所述夹具支承所述蒸镀掩模的状态下，所述焊接部的所述第2面与所述框架的所述正面接触，并且，所述延伸部的所述第2面的至少局部相比于所述框架的所述正面更靠所述框架的所述背面侧。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述工作台能够在所述第1面的法线方向上移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述夹具是夹持所述蒸镀掩模的所述延伸部的夹钳。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述夹钳具有夹持所述蒸镀掩模的所述一对耳部中的一个耳部的所述延伸部的第1夹钳、以及夹持所述一对耳部中的另一个耳部的所述延伸部的第2夹钳。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够在所述第1面的法线方向上移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够沿着所述第1面的面方向移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述框架包含在所述正面与所述背面之间延伸的外侧面，在所述正面与所述外侧面之间设置有连结所述正面和所述外侧面的连结面。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，在沿着所述第1面的法线方向的截面中进行观察时，所述连结面的轮廓具有至少局部向所述蒸镀掩模凸出的圆弧形状，所述圆弧形状的曲率半径为0.1mm以上。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述制造装置还具有焊接装置，该焊接装置相互接合所述蒸镀掩模和所述框架。
本公开的一个实施方式是一种蒸镀掩模装置的制造方法，其中，所述蒸镀掩模装置包含：蒸镀掩模，其具有第1面、与所述第1面对置的第2面、从所述第1面到所述第2面的多个贯通孔；以及框架，其具有第3面和与所述第3面对置的第4面，所述蒸镀掩模装置的制造方法具有以下步骤：准备所述蒸镀掩模；所述第2面中的至少一部分与所述第3面接触，并且，在从所述第1面的法线方向观察的情况下，使所述蒸镀掩模中的不与所述框架重合的部分的所述第2面中的至少一部分相比于所述第3面更靠所述第4面侧，对所述蒸镀掩模施加张力；以及将所述蒸镀掩模焊接在所述框架上。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在将所述蒸镀掩模焊接在所述框架上的步骤中，从所述第1面侧照射激光。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述框架在所述第1面的法线方向上移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，通过夹具支承所述蒸镀掩模。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，所述夹具是夹钳。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，所述夹钳具有第1夹钳和隔着所述蒸镀掩模位于所述第1夹钳的相反侧的第2夹钳。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方在所述第1面的法线方向上移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方沿着所述蒸镀掩模的所述第1面的面方向移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，所述框架包含在所述第3面与所述第4面之间延伸的第5面，在所述第3面与所述第5面之间设置有连结所述第3面和所述第5面的第6面。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造方法中，也可以是，在沿着所述第1面的法线方向的截面中进行观察时，所述第6面的轮廓具有至少局部向所述蒸镀掩模凸出的圆弧形状，所述圆弧形状的曲率半径为0.1mm以上。
本公开的一个实施方式是一种蒸镀掩模装置的制造装置，其中，所述蒸镀掩模装置包含：蒸镀掩模，其具有第1面、与所述第1面对置的第2面、从所述第1面到所述第2面的多个贯通孔；以及框架，其具有第3面和与所述第3面对置的第4面，所述蒸镀掩模装置的制造装置具有：夹具，其支承所述蒸镀掩模；以及工作台，其与所述框架接触，在所述蒸镀掩模中，所述第2面中的至少一部分与所述第3面接触，并且，在从所述第1面的法线方向观察的情况下，所述蒸镀掩模中的不与所述框架重合的部分的所述第2面中的至少一部分相比于所述第3面更靠所述第4面侧。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述工作台能够在所述第1面的法线方向上移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述夹具是夹钳。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述夹钳具有第1夹钳和隔着所述蒸镀掩模位于所述第1夹钳的相反侧的第2夹钳。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够在所述第1面的法线方向上移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够沿着所述第1面的面方向移动。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述框架包含在所述第3面与所述第4面之间延伸的第5面，在所述第3面与所述第4面之间设置有连结所述第3面和所述第4面的第6面。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，在沿着所述第1面的法线方向的截面中进行观察时，所述第6面的轮廓具有至少局部向所述蒸镀掩模凸出的圆弧形状，所述圆弧形状的曲率半径为0.1mm以上。
在本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置中，也可以是，所述制造装置还具有焊接装置，该焊接装置相互接合所述蒸镀掩模和所述框架。
根据本公开的一个实施方式，能够抑制在蒸镀掩模中产生翘曲或波纹形状。
附图说明
图1A是示出具有本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的蒸镀装置的图。
图1B是示出使用图1A所示的蒸镀掩模装置制造的有机EL显示装置的剖视图。
图2是示出本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的俯视图。
图3是放大示出图2所示的蒸镀掩模装置的耳部的俯视图(与图2的III部对应的俯视图)。
图4A是示出蒸镀掩模装置的耳部形成的接合部的一个变形例的俯视图。
图4B是示出蒸镀掩模装置的耳部形成的接合部的一个变形例的俯视图。
图4C是示出蒸镀掩模装置的耳部形成的接合部的一个变形例的俯视图。
图4D是示出蒸镀掩模装置的耳部形成的接合部的一个变形例的俯视图。
图4E是示出蒸镀掩模装置的耳部形成的接合部的一个变形例的俯视图。
图5A是从VA-VA方向观察图3的蒸镀掩模装置的剖视图。
图5B是放大示出图5A所示的焊接痕的剖视图(与图5A的VB部对应的剖视图)。
图5C是示出焊接痕的一个变形例的剖视图。
图5D是示出焊接痕的一个变形例的剖视图。
图6是放大示出蒸镀掩模的中间部的俯视图。
图7是从VII-VII方向观察图6的中间部的剖视图。
图8是示出本公开的一个实施方式的蒸镀掩模装置的制造装置的俯视图。
图9A是从IX-IX方向观察图8的蒸镀掩模装置的制造装置的剖视图。
图9B是放大示出图9A的夹钳的剖视图。
图9C是用于说明图9A的夹钳的固定部和可动部的剖视图。
图9D是示出夹钳的固定部和可动部的一个变形例的俯视图。
图10是示出对母材进行压延而得到具有期望厚度的金属板的步骤的图。
图11是示出对通过压延而得到的金属板进行退火的步骤的图。
图12是用于整体地说明蒸镀掩模的制造方法的一例的示意图。
图13是示出在金属板上形成抗蚀图案的步骤的图。
图14是示出第1面蚀刻步骤的图。
图15是示出第2面蚀刻步骤的图。
图16是示出从金属板去除树脂和抗蚀图案的步骤的图。
图17A是说明焊接步骤的图。
图17B是说明焊接步骤的图。
图17C是示出测定接合部的焊接强度的方法的一例的图。
图18A是说明本公开的一个实施方式的焊接步骤的图。
图18B是说明本公开的一个实施方式的焊接步骤的图。
图19A是说明本公开的一个实施方式的焊接步骤的图。
图19B是说明本公开的一个实施方式的焊接步骤的图。
图20A是示出使蒸镀材料蒸镀在有机EL基板上的步骤的图。
图20B是示出使蒸镀材料蒸镀在有机EL基板上的步骤的图。
图21是示出使蒸镀材料蒸镀在有机EL基板上的步骤的图。
图22A是示出框架的一个变形例的剖视图。
图22B是示出框架的一个变形例的剖视图。
图22C是示出框架的一个变形例的剖视图。
图22D是示出框架的一个变形例的剖视图。
图23是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图24是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图25是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图26A是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图26B是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图27是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图28是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图29是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图30是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图31是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图32是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图33是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
图34是示出蒸镀掩模装置的制造装置的一个变形例的剖视图。
具体实施方式
下面，参照附图对本公开的一个实施方式进行说明。另外，在本案件说明书所附的附图中，为了便于图示和容易理解，根据实物适当地变更比例尺和纵横的尺寸比等而夸张地示出。
另外，以下所示的实施方式是本公开的实施方式的一例，本公开并不限定于这些实施方式进行解释。并且，能够适当组合应用以下所示的实施方式和变形例。并且，能够组合多个实施方式彼此，或者组合多个变形例彼此，或者组合多个实施方式和多个变形例。
图1A～图21是用于说明本公开的一个实施方式的图。在以下实施方式及其变形例中，以为了在制造有机EL显示装置时以期望图案在基板上构图有机材料而使用的蒸镀掩模的制造方法为例进行说明。但是，不限于这种应用，能够对各种用途中使用的蒸镀掩模的制造方法应用本公开。
另外，在本说明书中，“板”、“片”、“膜”的用语不是仅根据称呼的差异而相互区分。例如，“板”是包含能够称为片或膜这样的部件的概念。
并且，“板面(片面、膜面)”是指在整体且全局地观察作为对象的板状(片状、膜状)部件时与作为对象的板状部件(片状部件、膜状部件)的平面方向一致的面。并且，针对板状(片状、膜状)部件使用的法线方向是指针对该部件的板面(片面、膜面)的法线方向。
进而，本说明书中使用的形状、几何学的条件和物理特性以及确定它们程度的例如“平行”、“垂直”、“相同”、“同等”等用语、长度、角度和物理特性的值等不限于严格意义，包含能够期待同样功能的程度的范围来解釈。
(蒸镀装置)
首先，参照图1A对实施使蒸镀材料蒸镀在对象物上的蒸镀处理的蒸镀装置90进行说明。如图1A所示，蒸镀装置90具有蒸镀源(例如坩埚94)、加热器96和蒸镀掩模装置10。坩埚94收容有机发光材料等蒸镀材料98。加热器96对坩埚94进行加热而使蒸镀材料98蒸发。蒸镀掩模装置10配置成与坩埚94对置。
(蒸镀掩模装置)
下面，对蒸镀掩模装置10进行说明。如图1A所示，蒸镀掩模装置10具有蒸镀掩模20和支承蒸镀掩模20的框架15。框架15在其面方向上拉伸蒸镀掩模20的状态下支承该蒸镀掩模20，以使得蒸镀掩模20不会翘曲。如图1A所示，蒸镀掩模装置10配置在蒸镀装置90内，以使得蒸镀掩模20与附着有蒸镀材料98的对象物即基板、例如有机EL基板92相面对。在以下的说明中，将蒸镀掩模20的面中的有机EL基板92侧的面称为第1面20a，将位于第1面20a的相反侧的面称为第2面20b。其中，框架15的正面15a面向蒸镀掩模20的第2面20b。
如图1A所示，蒸镀掩模装置10也可以具有配置在有机EL基板92的与蒸镀掩模20相反的一侧的面上的磁铁93。通过设置磁铁93，通过磁力使蒸镀掩模20向磁铁93侧靠近，能够使蒸镀掩模20与有机EL基板92紧密贴合。
图2是示出从蒸镀掩模20的第1面20a侧观察蒸镀掩模装置10的情况的俯视图。如图2所示，蒸镀掩模装置10具备具有俯视为大致矩形状的形状的多个蒸镀掩模20，各蒸镀掩模20在位于蒸镀掩模20的长度方向上的一对端部20e附近的后述焊接部17a处，通过焊接固定在框架15上。
如图1A所示，蒸镀掩模20包含贯通蒸镀掩模20的多个贯通孔25。从坩埚94蒸发而到达蒸镀掩模装置10的蒸镀材料98穿过蒸镀掩模20的贯通孔25而附着于有机EL基板92。由此，能够以与蒸镀掩模20的贯通孔25的位置对应的期望图案将蒸镀材料98成膜在有机EL基板92的正面上。
图1B是示出使用图1A的蒸镀装置90制造的有机EL显示装置100的剖视图。有机EL显示装置100具有有机EL基板92和包含呈图案状设置的蒸镀材料98的像素。另外，在图1B的有机EL显示装置100中，省略对包含蒸镀材料98的像素施加电压的电极等。并且，在有机EL基板92上呈图案状设置蒸镀材料98的蒸镀步骤之后，在图1B的有机EL显示装置100中，还能够设置有机EL显示装置的其他结构要素。因此，图1B的有机EL显示装置100能够称为有机EL显示装置的中间体。
另外，在希望进行多个颜色的彩色显示的情况下，分别准备搭载了与各颜色对应的蒸镀掩模20的蒸镀装置90，依次将有机EL基板92投入各蒸镀装置90中。由此，例如，能够依次使红色用有机发光材料、绿色用有机发光材料和蓝色用有机发光材料蒸镀在有机EL基板92上。
但是，有时在成为高温环境的蒸镀装置90的内部实施蒸镀处理。该情况下，在蒸镀处理的期间内，还对蒸镀装置90的内部保持的蒸镀掩模20、框架15和有机EL基板92进行加热。此时，蒸镀掩模20、框架15和有机EL基板92示出基于各自的热膨胀系数的尺寸变化的举动。该情况下，当蒸镀掩模20、框架15和有机EL基板92的热膨胀系数大幅不同时，产生由于它们的尺寸变化的差异而引起的位置偏移，其结果，附着于有机EL基板92上的蒸镀材料的尺寸精度和位置精度降低。
为了解决这种课题，优选蒸镀掩模20和框架15的热膨胀系数是与有机EL基板92的热膨胀系数同等的值。例如，在使用玻璃基板作为有机EL基板92的情况下，作为蒸镀掩模20和框架15的主要材料，能够使用包含镍的铁合金。关于铁合金，除了镍以外，还可以包含钴。例如，作为构成蒸镀掩模20的金属板的材料，能够使用镍和钴的含有量合计为30质量％以上且50质量％以下、并且钴的含有量为0质量％以上且6质量％以下的铁合金。作为包含镍或镍和钴的铁合金的具体例，能够举出包含34质量％以上且38质量％以下的镍的因瓦合金材料、除了30质量％以上且34质量％以下的镍以外还包含钴的超因瓦合金材料、包含48质量％以上且54质量％以下的镍的低热膨胀Fe-Ni系镀敷合金等。
另外，在蒸镀处理时，在蒸镀掩模20、框架15和有机EL基板92的温度未达到高温的情况下，不需要使蒸镀掩模20和框架15的热膨胀系数成为与有机EL基板92的热膨胀系数同等的值。该情况下，作为构成蒸镀掩模20的材料，也可以使用上述铁合金以外的材料。例如，可以使用包含铬的铁合金等、上述包含镍的铁合金以外的铁合金。作为包含铬的铁合金，例如能够使用所谓被称为不锈钢的铁合金。并且，也可以使用镍或镍-钴合金等铁合金以外的合金。
(蒸镀掩模)
接着，对蒸镀掩模20进行详细说明。如图2所示，蒸镀掩模20具有构成蒸镀掩模20的长度方向上的一对端部20e的一对耳部17、以及位于一对耳部17之间的中间部18。
(耳部)
首先，对耳部17进行详细说明。耳部17是蒸镀掩模20中的固定在框架15上的部分。在本实施方式中，耳部17在第2面20b侧通过焊接固定在框架15上。在以下的说明中，将耳部17和框架15中的通过焊接而相互接合的部分称为接合部19。
图3是放大示出蒸镀掩模装置10的耳部17及其周边部分的俯视图。该耳部17包含焊接在框架15的正面15a上的焊接部17a、以及位于焊接部17a与蒸镀掩模20的端部20e之间的延伸部17b。在本实施方式中，焊接部17a对应于蒸镀掩模20的长度方向上由图3的虚线(双点划线)包围的区域，延伸部17b对应于图3的虚线(双点划线)中的端部20e侧的虚线与端部20e之间的区域。其中，焊接部17a是形成有接合部19的部分。耳部17的焊接部17a中形成的接合部19包含焊接痕19a。焊接痕19a是指由于将蒸镀掩模20的第2面20b焊接在框架15上而形成在蒸镀掩模20和框架15的一部分上的痕迹。例如，如图3所示，接合部19包含沿着蒸镀掩模20的宽度方向并列的多个点状的焊接痕19a。例如，在沿着蒸镀掩模20的宽度方向的各位置，通过后述焊接装置76对耳部17间歇地呈点状照射激光，由此形成这种多个点状的焊接痕19a。
另外，俯视的焊接痕19a的配置和形状没有特别限定。例如，如图4A所示，焊接痕19a可以沿着蒸镀掩模20的宽度方向呈线状延伸。例如，在沿着蒸镀掩模20的宽度方向的各位置，对耳部17连续地呈线状照射激光，由此形成这种焊接痕19a。该情况下，焊接痕19a沿着蒸镀掩模20的宽度方向呈线状延伸，由此能够提高焊接强度。
并且，例如，如图4B所示，焊接痕19a也可以包含形成为点状的第1焊接痕191a和形成为线状的第2焊接痕192a。在图示的例子中，焊接痕19a包含多个第1焊接痕191a和多个第2焊接痕192a，第1焊接痕191a和第2焊接痕192a沿着蒸镀掩模20的宽度方向规则地即交替地配置。该情况下，例如各个第2焊接痕192a的形状可以相互不同。并且，第1焊接痕191a可以仅为一个，第2焊接痕192a也可以仅为一个。该情况下，焊接痕19a包含形成为线状的第2焊接痕192a，由此能够提高焊接强度。
并且，例如，如图4C所示，第1焊接痕191a和第2焊接痕192a也可以沿着蒸镀掩模20的宽度方向不规则地配置。在图示的例子中，蒸镀掩模20的宽度方向上相互相邻的第2焊接痕192a之间配置的第1焊接痕191a的个数相互不同。另外，该情况下，例如各个第2焊接痕192a的形状也可以相互不同。并且，蒸镀掩模20的宽度方向上相互相邻的第2焊接痕192a之间配置的第1焊接痕191a的个数是任意的。该情况下，例如在蒸镀掩模20的希望提高焊接强度的部分，能够选择性地提高焊接痕19a的密度。
并且，例如，如图4D所示，多个点状的焊接痕19a也可以沿着蒸镀掩模20的宽度方向形成多列。在图示的例子中，焊接痕19a沿着蒸镀掩模20的宽度方向形成2列。另外，焊接痕19a也可以沿着蒸镀掩模20的宽度方向形成3列，还可以形成4列。该情况下，多个点状的焊接痕19a沿着蒸镀掩模20的宽度方向形成多列，由此能够提高焊接强度。
进而，例如，如图4E所示，焊接痕19a也可以沿着蒸镀掩模20的宽度方向形成为框状。该情况下，焊接痕19a沿着蒸镀掩模20的宽度方向形成，因此，能够提高焊接强度。
图5A是从VA-VA方向观察图3的蒸镀掩模装置的剖视图。如图5A所示，焊接痕19a从耳部17的第1面20a经由第2面20b到达框架15。焊接痕19a是蒸镀掩模20的耳部17和框架15中的、焊接时熔融的部分(即熔融区域19f)固化后的部分，包含耳部17的从第1面20a到第2面20b的部分和框架15的一部分。该焊接痕19a相互接合蒸镀掩模20的耳部17和框架15。在焊接痕19a中，在焊接后熔融区域19f的温度降低而使熔融区域19f固化时，产生材料的晶化。例如，焊接痕19a包含跨越耳部17和框架15的晶粒。例如，如图5B所示，该焊接痕19a也可以形成为从蒸镀掩模20的第1面20a突出。
并且，如图5C所示，焊接痕19a也可以形成为焊接痕19a的上表面19b与蒸镀掩模20的第1面20a位于同一平面上。进而，如图5D所示，焊接痕19a也可以形成为相对于蒸镀掩模20的第1面20a向第2面20b侧凹陷。这些情况下，在使蒸镀材料98蒸镀在有机EL基板92上时，能够提高蒸镀掩模20与有机EL基板92之间的紧密贴合性。
并且，如图2～图5A所示，延伸部17b延伸到比框架15的后述外侧面15c更靠外侧。如图2中箭头A所示，“外侧”是在蒸镀掩模20的长度方向上远离蒸镀掩模20的中心线CL的一侧。这里，蒸镀掩模20的中心线CL是在与蒸镀掩模20的长度方向垂直的方向上延伸的直线中的、穿过将蒸镀掩模20的长度方向上的一对端部20e间二等分的中间点C(参照图2)的直线。该延伸部17b是支承在后述夹具700上的部分，在本实施方式中，是被夹钳72夹持的部分。
另外，在图5A中，利用虚线示出蒸镀处理时与蒸镀掩模20紧密贴合的有机EL基板92。如图5A所示，有机EL基板92可以延伸到蒸镀掩模20中的形成有接合部19的部分。
(中间部)
接着，对中间部18进行说明。如图2、图3和图5A所示，中间部18包含形成有从第1面20a到第2面20b的贯通孔25的有效区域22、以及包围有效区域22的周围区域23。周围区域23是用于支承有效区域22的区域，不是意图蒸镀在有机EL基板92上的蒸镀材料穿过的区域。例如，有效区域22是蒸镀掩模20中的与有机EL基板92的显示区域相面对的区域。
如图2所示，有效区域22例如具有俯视为大致四边形形状、更准确地讲俯视为大致矩形状的轮廓。另外，虽然没有图示，但是，各有效区域22能够根据有机EL基板92的显示区域的形状而具有各种形状的轮廓。例如，各有效区域22可以具有圆形状的轮廓。
如图2所示，中间部18包含沿着蒸镀掩模20的长度方向隔开规定间隔排列的多个有效区域22。一个有效区域22对应于一个有机EL显示装置100的显示区域。因此，根据图1A所示的蒸镀掩模装置10，能够进行有机EL显示装置100的多面蒸镀。
下面，对中间部18进行详细说明。图6是放大示出中间部18的俯视图，图7是从VII-VII方向观察图6的中间部18的剖视图。如图6所示，多个贯通孔25在有效区域22中沿着相互垂直的两个方向分别以规定间距规则地排列。
下面，对有效区域22进行详细说明。图6是从蒸镀掩模20的第2面20b侧放大示出有效区域22的俯视图。如图6所示，在图示的例子中，各有效区域22中形成的多个贯通孔25在该有效区域22中沿着相互垂直的两个方向分别以规定间距排列。
图7是图6的有效区域22的沿着VII-VII方向的剖视图。如图7所示，多个贯通孔25从蒸镀掩模20的第1面20a向第2面20b贯通。在图示的例子中，如后面详细叙述的那样，在作为蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N上的一侧的金属板64的第1面64a上通过蚀刻形成有第1凹部30，在作为该法线方向N上的另一侧的金属板64的第2面64b上形成有第2凹部35。第1凹部30与第2凹部35连接，由此，形成为第2凹部35和第1凹部30相互相通。贯通孔25由第2凹部35和与第2凹部35连接的第1凹部30构成。如图6和图7所示，第1凹部30的壁面31和第2凹部35的壁面36经由周状的连接部41连接。连接部41描绘蒸镀掩模20的俯视时贯通孔25的开口面积最小的贯通部42。
如图7所示，在蒸镀掩模20的第1面20a侧，相邻的两个贯通孔25沿着金属板64的第1面64a相互分开。在蒸镀掩模20的第2面20b侧，相邻的两个第2凹部35也可以沿着金属板64的第2面64b相互分开。即，可以在相邻的两个第2凹部35之间残留金属板64的第2面64b。在以下的说明中，将金属板64的第2面64b的有效区域22中的未被蚀刻而残留的部分称为顶部43。通过制作蒸镀掩模20以使得这种顶部43残留，能够使蒸镀掩模20具有充分的强度。由此，例如，能够在输送中等抑制蒸镀掩模20破损。另外，当顶部43的宽度β过大时，在蒸镀步骤中产生遮挡，由此，有时蒸镀材料98的利用效率降低。因此，优选制作蒸镀掩模20以使得顶部43的宽度β不会过大。
如图1A所示，在蒸镀掩模装置10收容在蒸镀装置90中的情况下，如图7中双点划线所示，蒸镀掩模20的第1面20a与有机EL基板92相面对，蒸镀掩模20的第2面20b位于保持蒸镀材料98的坩埚94侧。因此，蒸镀材料98穿过开口面积逐渐减小的第2凹部35而附着于有机EL基板92。如图7中从第2面20b侧朝向第1面20a的箭头所示，蒸镀材料98不仅从坩埚94朝向有机EL基板92沿着蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N移动，有时还在相对于该法线方向N大幅倾斜的方向上移动。此时，当蒸镀掩模20的厚度较大时，倾斜移动的蒸镀材料98容易勾挂在顶部43、第2凹部35的壁面36或第1凹部30的壁面31上，其结果，无法穿过贯通孔25的蒸镀材料98的比率增多。因此，为了提高蒸镀材料98的利用效率，认为优选减小蒸镀掩模20的厚度t，由此，减小第2凹部35的壁面36和第1凹部30的壁面31的高度。即，作为用于构成蒸镀掩模20的金属板64，可以说优选使用在能够确保蒸镀掩模20的强度的范围内厚度t尽可能较小的金属板64。考虑这点，在本实施方式中，蒸镀掩模20的厚度t例如为30μm以下，优选为25μm以下，更加优选为20μm以下。另一方面，当蒸镀掩模20的厚度过小时，蒸镀掩模20的强度降低，蒸镀掩模20容易产生损伤和变形。考虑这点，蒸镀掩模20的厚度t优选为5μm以上。蒸镀掩模20的厚度t可以为8μm以上，可以为10μm以上，可以为12μm以上，可以为13μm以上，可以为15μm以上。蒸镀掩模20的厚度t的范围可以由上述多个上限的候选值中的任意一方和上述多个下限的候选值中的任意一方的组合来决定。例如，蒸镀掩模20的厚度t的范围可以为5μm以上30μm以下，可以为8μm以上25μm以下，可以为10μm以上20μm以下，可以为13μm以上20μm以下，可以为15μm以上20μm以下。并且，蒸镀掩模20的厚度t的范围可以由上述多个上限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，蒸镀掩模20的厚度t的范围可以为20μm以上25μm以下。并且，蒸镀掩模20的厚度t的范围可以由上述多个下限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，蒸镀掩模20的厚度t的范围可以为13μm以上15μm以下。另外，厚度t是周围区域23的厚度、即蒸镀掩模20中的未形成第1凹部30和第2凹部35的部分的厚度。因此，厚度t可以说是金属板64的厚度。
在图7中，穿过作为贯通孔25的具有最小开口面积的部分的连接部41和第2凹部35的壁面36的其他任意位置的直线L1相对于蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N所成的最小角度用标号θ1表示。为了使倾斜移动的蒸镀材料98不到达壁面36而尽可能到达有机EL基板92，增大角度θ1是有利的。在增大角度θ1的基础上，减小蒸镀掩模20的厚度t，而且减小上述顶部43的宽度β也是有效的。
在图7中，标号α表示金属板64的第1面64a的有效区域22中的未被蚀刻而残留的部分(以下也称为肋部)的宽度。肋部的宽度α和贯通部42的尺寸r根据有机EL显示装置的尺寸和显示像素数来适当决定。例如，肋部的宽度α为5μm以上且40μm以下，贯通部42的尺寸r为10μm以上且60μm以下。
另外，在图6和图7中，示出在相邻的两个第2凹部35之间残留金属板64的第2面64b的例子，但是不限于此。虽然没有图示，但是，也可以实施蚀刻以使得相邻的两个第2凹部35连接。即，在相邻的两个第2凹部35之间，也可以存在未残留金属板64的第2面64b的场所。
(框架)
接着，对框架15进行详细说明。如图1A和图2～图5A所示，框架15包含正面(即第3面)15a、与正面15a对置的背面(即第4面)15b、在正面15a与背面15b之间延伸的外侧面(即第5面)15c。如图5A所示，在沿着蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N的截面中进行观察时，正面15a和背面15b在与法线方向N垂直的方向上相互平行地延伸。在沿着蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N的截面中进行观察时，外侧面15c在法线方向N上延伸，与正面15a和背面15b垂直地连接。在这种框架15上形成有从正面15a到背面15b的贯通孔15d。在蒸镀时，从坩埚94蒸发的蒸镀材料98穿过框架15的贯通孔15d而附着于有机EL基板92。另外，在沿着蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N的截面中进行观察时，外侧面(即第5面)15c也可以相对于法线方向N倾斜地延伸。
(蒸镀掩模装置的制造装置)
下面，对蒸镀掩模装置10的制造装置(以下记为制造装置)70进行说明。如图8～图9B所示，制造装置70具有与框架15接触的工作台71以及支承蒸镀掩模20的夹具700。
其中，工作台71构成为能够在三维方向上移动，并且，经由能够以与蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N垂直的规定转动轴为中心转动的驱动部73支承在基座74上，构成为至少能够在法线方向N上移动。此时，工作台71的移动范围例如可以设定为30μm以上90μm以下的范围内。另外，该工作台71通过对驱动部73进行驱动，构成为能够在与法线方向N垂直的水平方向(蒸镀掩模20的第1面20a的面方向)上移动，并且，例如构成为能够变更相对于地面的角度，如后所述，能够对配置在框架15上的蒸镀掩模20的水平方向上的位置等进行调整。该情况下，驱动部73例如可以使用气缸、液压缸、伺服马达等使工作台71移动。
夹具700支承蒸镀掩模20的延伸部17b。本实施方式的夹具700是夹钳72。该夹钳72构成为夹持蒸镀掩模20的延伸部17b。夹钳72经由沿着蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N延伸的支柱75支承在基座74上。在本实施方式中，设置有多个夹钳72。例如，制造装置70构成为通过2个夹钳72夹持一个延伸部17b。该情况下，2个夹钳72相互平行配置。这样，通过该多个夹钳72夹持一个延伸部17b，由此，能够大致均匀地对蒸镀掩模20的面方向施加张力。另外，相对于一个延伸部17b，把持延伸部17b的夹钳72的个数是任意的，可以是一个，也可以是3个以上。
这种夹钳72具有第1夹钳72A和隔着蒸镀掩模20位于第1夹钳72A的相反侧的第2夹钳72B。换言之，具有夹持蒸镀掩模20的一对耳部17中的一个耳部17的延伸部17b的第1夹钳72A、以及夹持一对耳部17中的另一个耳部17的延伸部17b的第2夹钳72B。另外，在以下的说明中，在对第1夹钳72A和第2夹钳72B中相通的结构、功能、动作等进行说明的情况下，将第1夹钳72A和第2夹钳72统称为夹钳72。
如图9B所示，各个夹钳72具有安装在支柱75上的固定部72a、以能够经由安装在固定部72a上的支承部72b转动的方式安装的可动部72c。其中，固定部72a例如经由气缸、液压缸、伺服马达等驱动单元77安装在支柱75上。因此，通过对驱动单元77进行驱动，夹钳72构成为能够沿着蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N和蒸镀掩模20的第1面20a的面方向移动。该情况下，如图9C所示，夹钳72的固定部72a和可动部72c的相互对置的面721a、721c形成为平面状。
另外，夹钳72的固定部72a的面721a和可动部72c的面721c的形状没有特别限定。例如，如图9D所示，面721a和面721c可以具有凹凸形状。面721a和面721c具有凹凸形状，由此，能够有效地对蒸镀掩模20施加张力。此时，凹凸形状的高度H1和高度H2(最突出的部分与最凹陷的部分之差)例如可以为0.01mm以上，可以为0.05mm以上，可以为0.10mm以上，可以为0.50mm以上，可以为1.00mm以上。并且，凹凸形状的高度H1和高度H2可以为3.00mm以下，可以为2.50mm以下，可以为2.00mm以下。凹凸形状的高度H1和高度H2可以由上述多个上限的候选值中的任意一方和上述多个下限的候选值中的任意一方的组合来决定。例如，凹凸形状的高度H1和高度H2可以为0.01mm以上3.00mm以下，可以为0.05mm以上2.50mm以下，可以为1.00mm以上2.00mm以下。并且，凹凸形状的高度H1和高度H2可以由上述多个上限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，凹凸形状的高度H1和高度H2可以为2.00mm以上2.50mm以下。并且，凹凸形状的高度H1和高度H2可以由上述多个下限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，凹凸形状的高度H1和高度H2可以为0.01mm以上0.50mm以下。并且，面721a和面721c可以具有相互不同的凹凸形状。凹凸形状的高度H1和高度H2分别为0.01mm以上，由此，能够有效地对蒸镀掩模20施加张力。并且，凹凸形状的高度H1和高度H2分别为3.00mm以下，由此，在夹钳72夹持蒸镀掩模20时，能够抑制对蒸镀掩模20中的由夹钳72夹持的部分施加局部的力。
这种夹钳72的可动部72c转动，由此，在固定部72a与可动部72c之间夹持蒸镀掩模20的延伸部17b，或者从固定部72a与可动部72c之间释放延伸部17b。
并且，夹具700构成为在支承蒸镀掩模20的状态下，焊接部17a的第2面20b与框架15的正面15a接触，并且，延伸部17b的第2面20b的至少局部相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧。换言之，在蒸镀掩模20中，第2面20b中的至少一部分与框架15的正面(即第3面)15a接触，并且，在从蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N观察的情况下，使蒸镀掩模20中的不与框架15重合的部分的第2面20b中的至少一部分相比于正面(即第3面)15a更靠背面(即第4面)15b侧。在本实施方式中，夹钳72构成为夹持蒸镀掩模20的延伸部17b，在夹钳72夹持蒸镀掩模20的状态下，焊接部17a的第2面20b与框架15的正面15a接触，并且，延伸部17b的第2面20b的至少局部相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧。这样，夹具700(本实施方式中为夹钳72)在其面方向上张紧蒸镀掩模20，以使得配置在框架15的正面15a上的蒸镀掩模20不会产生翘曲或波纹形状。这里，在本说明书中，“张紧”意味着施加张力。例如，在其面方向上张紧蒸镀掩模20意味着对蒸镀掩模20施加沿着其面方向的张力。
并且，如图9A所示，制造装置70还具有使蒸镀掩模20的焊接部17a与框架15接合的焊接装置76。该焊接装置76例如可以是照射激光L的激光装置。该情况下，作为激光L，例如能够使用由YAG激光装置生成的YAG激光(波长355nm、532nm、1064nm)。作为YAG激光装置，例如能够使用具有在YAG(钇铝石榴石)中添加了Nd(钕)的晶体作为振荡用介质的装置。
接着，对制造蒸镀掩模装置10的方法进行说明。首先，对制造蒸镀掩模装置10的蒸镀掩模20的方法进行说明。
(蒸镀掩模的制造方法)
金属板的制造方法
首先，对为了制造蒸镀掩模而使用的金属板的制造方法进行说明。
(溶解步骤)
首先，准备铁和镍以及其他原材料。例如，准备各原材料，以使得相对于原材料整体的铁的比率和镍的比率分别为大约64重量％和大约36重量％。接着，根据需要对各原材料进行粉碎后，实施利用溶解炉溶解各原材料的溶解步骤。例如，利用电弧放电等气体放电来溶解各原材料并进行混合。由此，能够得到金属板用的母材。
溶解时的温度根据原材料进行设定，但是，例如为1500℃以上。溶解步骤可以包含为了进行脱氧、脱水、脱氮等而将铝、锰、硅等投入溶解炉中的步骤。并且，溶解步骤可以在低于大气压的低压状态下、在氩气等惰性气体的环境下实施。
(研削步骤)
可以在从溶解炉取出母材后，实施削取母材的正面的研削步骤。由此，能够去除水垢等氧化物的覆膜。此时，具体的研削方法没有特别限定，但是，能够采用使砂轮旋转来切削母材的正面的所谓研磨法、将母材推入切削器具中来切削母材的正面的所谓推入法等。可以实施研削步骤以使得母材的厚度均匀。
(压延步骤)
接着，如图10所示，实施对由包含镍的铁合金构成的母材60进行压延的压延步骤。例如，朝向包含一对压延辊(工作辊)66a、66b的压延装置66，沿着箭头D1所示的方向进行输送。到达一对压延辊66a、66b之间的母材60通过一对压延辊66a、66b进行压延，其结果，母材60减小了其厚度，并且沿着输送方向伸长。由此，能够得到具有规定厚度的金属板64。如图10所示，也可以通过将金属板64卷绕在芯61上而形成卷绕体62。
另外，图10只不过示出压延步骤的概略，用于实施压延步骤的具体结构和步骤没有特别限定。例如，压延步骤可以包含以使构成母材60的铁合金的晶体排列变化的温度以上的温度对母材进行加工的热压延步骤、以使铁合金的晶体排列变化的温度以下的温度对母材进行加工的冷压延步骤。并且，使母材60和金属板64穿过一对压延辊66a、66b之间时的朝向不限于一个方向。例如，在图10中，可以以从纸面左侧到右侧的朝向和从纸面右侧到左侧的朝向使母材60和金属板64反复穿过一对压延辊66a、66b之间，由此，逐渐对母材60和金属板64进行压延。
并且，在冷压延步骤中，可以对母材60与压延辊66a、66b之间供给煤油等冷却剂。由此，能够控制母材的温度。
(退火步骤)
然后，为了去除由于压延而蓄积在金属板64内的残留应力，如图11所示，可以使用退火装置67对金属板64进行退火。如图11所示，可以一边在输送方向(长度方向)上拉伸金属板64一边实施退火步骤。即，退火步骤也可以不是所谓间歇式退火，而作为同时进行输送的连续退火来实施。该情况下，优选设定温度和输送速度，以使得抑制金属板64产生弯曲等变形。通过实施退火步骤，能够得到以某种程度去除了残留变形的金属板64。
(切割步骤)
然后，可以实施分别在规定范围内切落通过压延步骤而得到的金属板64的宽度方向上的两端以使得金属板64的宽度在规定范围内的切割步骤。为了去除可能由于压延而在金属板64的两端产生的裂痕，来实施该切割步骤。通过实施这种切割步骤，能够防止以裂痕为起点而产生金属板64破裂的现象、即所谓板裂。并且，也可以在上述退火步骤之前实施该切割步骤。
另外，也可以通过多次反复进行上述压延步骤、退火步骤和切割步骤中的至少2个步骤，制作规定厚度的长条状的金属板64。并且，在图11中，示出一边在长度方向上拉伸金属板64一边实施退火步骤的例子，但是不限于此，也可以在金属板64卷绕在芯61上的状态下实施退火步骤。即，可以实施间歇式退火。另外，在金属板64卷绕在芯61上的状态下实施退火步骤的情况下，有时在金属板64中出现基于卷绕体62的卷绕径的弯曲波纹。因此，根据卷绕体62的卷绕径和构成母材60的材料，一边在长度方向上拉伸金属板64一边实施退火步骤是有利的。
(外观检查步骤)
并且，可以在压延步骤之后或退火步骤之后，实施检查金属板64的外观的外观检查步骤。外观检查步骤可以包含使用自动检查机检查金属板64的外观的步骤。并且，外观检查步骤可以包含目视检查金属板64的外观的步骤。
(形状检查步骤)
并且，可以在压延步骤之后或退火步骤之后，实施检查金属板64的形状的形状检查步骤。例如，可以使用三维测定器，在金属板64的规定区域内测厚度方向上的金属板64的正面的位置。
蒸镀掩模的制造方法
接着，主要参照图12～图16对使用通过上述步骤得到的金属板64制造蒸镀掩模20的方法进行说明。图12是示出使用金属板64制造蒸镀掩模20的处理装置80的图。首先，准备将金属板64卷绕在芯61上的卷绕体62。然后，使该芯61旋转而使卷绕体62退卷，由此，如图12所示，供给呈带状延伸的金属板64。
被供给的金属板64通过输送辊85依次朝向加工装置82、分离装置83进行输送。加工装置82实施对金属板64进行加工而在金属板64上形成贯通孔25的加工步骤。另外，在本实施方式中，在金属板64上形成与多张蒸镀掩模20对应的多个贯通孔25。换言之，对金属板64分配多张蒸镀掩模20。分离装置83实施使金属板64中的形成有与一张蒸镀掩模20对应的多个贯通孔25的部分从金属板64分离的分离步骤。这样，能够得到纸张状的蒸镀掩模20。
(加工步骤)
参照图13～图16对加工步骤进行说明。首先，在金属板64的第1面64a上和第2面64b上形成包含感光性抗蚀材料的抗蚀膜。例如，将包含酪素等感光性抗蚀材料的涂布液涂布在金属板64上，然后，使涂布液干燥，由此形成抗蚀膜。或者，通过在金属板64上粘贴干膜，也可以形成抗蚀膜。接着，对抗蚀膜进行曝光和显影。由此，如图13所示，能够在金属板64的第1面64a上形成第1抗蚀图案65a，在金属板64的第2面64b上形成第2抗蚀图案65b。
接着，如图14所示，实施使用第1蚀刻液对金属板64的第1面64a中的未由第1抗蚀图案65a覆盖的区域进行蚀刻的第1面蚀刻步骤。例如，从配置在与被输送的金属板64的第1面64a相面对的一侧的喷嘴越过第1抗蚀图案65a朝向金属板64的第1面64a喷射第1蚀刻液。其结果，如图14所示，在金属板64中的未由第1抗蚀图案65a覆盖的区域中进行基于第1蚀刻液的侵蚀。由此，在金属板64的第1面64a上形成多个第1凹部30。作为第1蚀刻液，例如使用包含氯化铁溶液和盐酸的蚀刻液。
接着，如图15所示，实施对金属板64的第2面64b中的未由第2抗蚀图案65b覆盖的区域进行蚀刻而在第2面64b上形成第2凹部35的第2面蚀刻步骤。实施第2面蚀刻步骤，直到第1凹部30和第2凹部35相互相通，由此形成贯通孔25为止。作为第2蚀刻液，与上述第1蚀刻液同样，例如使用包含氯化铁溶液和盐酸的蚀刻液。另外，在第2面蚀刻步骤时，如图15所示，也可以通过针对第2蚀刻液具有耐性的树脂69包覆第1凹部30。
然后，如图16所示，从金属板64去除树脂69。例如，通过使用碱性剥离液，能够去除树脂69。在使用碱性剥离液的情况下，如图16所示，还与树脂69同时去除抗蚀图案65a、65b。另外，也可以在去除了树脂69后，使用与用于剥离树脂69的剥离液不同的剥离液，独立于树脂69来去除抗蚀图案65a、65b。
(分离步骤)
然后，使金属板64中的形成有与一张蒸镀掩模20对应的多个贯通孔25的部分从金属板64分离，由此能够得到蒸镀掩模20。
(蒸镀掩模检查步骤)
另外，也可以在上述分离步骤之后，实施检查蒸镀掩模20的蒸镀掩模检查步骤。在蒸镀掩模检查步骤中，例如，可以检查在构成蒸镀掩模20的金属板64的正面是否存在局部突起或凹陷等变形部。
(蒸镀掩模的焊接步骤)
接着，实施将如上所述得到的蒸镀掩模20焊接在框架15上的焊接步骤。由此，能够得到具有蒸镀掩模20和框架15的蒸镀掩模装置10。
但是，本案件发明人进行专心研究后发现，与厚度较大的蒸镀掩模20相比，厚度较小的蒸镀掩模20的刚性较低，因此，在框架15上张紧蒸镀掩模20的状态下进行配置时，存在产生翘曲或波纹形状的倾向。并且发现，该情况下，在蒸镀掩模20与框架15之间产生间隙，接合部19的焊接强度降低。下面，参照图17A和图17B对在框架15上焊接厚度较小的蒸镀掩模20的情况下看到的现象进行说明。
首先，在厚度较小的蒸镀掩模20的情况下，根据蒸镀掩模20的厚度t和激光L的光点直径S，大致描绘的熔融材料19g的体积较小。因此，熔融材料19g中的与框架15的材料混合的熔融材料19g的体积较小。并且，如图17A和图17B所示，在蒸镀掩模20与框架15之间存在间隙G1、G2的状态下，在对蒸镀掩模20照射了激光L的情况下，成为熔融材料19g由于重力而朝向框架15垂下的状态。这里，图17B中的蒸镀掩模20与框架15之间的间隙G2比图17A中的蒸镀掩模20与框架15之间的间隙G1宽，图17B中的熔融材料19g与框架15接触的部分的直径S2比图17B中的熔融材料19g与框架15接触的部分的直径S1小。这样，蒸镀掩模20与框架15之间的间隙越宽，则熔融材料19g与框架15接触的面积越小。在熔融材料19g与框架15接触的面积较小的情况下，很难将通过激光L进行加热而得到的热传递到框架15。因此，认为框架15的材料熔融的体积较小，接合部19中的焊接强度较低。另外，接合部19的焊接强度较低的理由不限于上述理由。
另外，焊接强度是指从框架15剥离通过接合部19焊接在框架15上的蒸镀掩模20的耳部17所需要的力的大小。图17C中示出测定接合部19的焊接强度的方法的一例。在焊接强度的测定步骤中，首先，将切出蒸镀掩模20的耳部17的一部分而得到的样本17S焊接在框架15上。接着，如图17C所示，对样本17S的长度方向上的端部施加沿着框架15的正面15a的法线方向的方向(图17C中的上方向)上的拉伸力E。该情况下，样本17S断裂或样本17S从框架15剥离时的拉伸力E是接合部19的焊接强度。
(本实施方式的焊接步骤)
为了解决现有的焊接步骤中的上述课题，在本实施方式中，提出了利用夹持蒸镀掩模20的延伸部17b的蒸镀掩模装置10的制造装置70来实施焊接步骤。下面，参照图18A～图19B对本实施方式的焊接步骤进行说明。
首先，如图18A所示，在框架15上配置蒸镀掩模20的耳部17，以使得第2面20b面向框架15。接着，如图18B所示，通过夹具700支承蒸镀掩模20。在本实施方式中，通过夹钳72夹持蒸镀掩模20的延伸部17b。该情况下，夹钳72中的第1夹钳72A夹持一对耳部17中的一个耳部的延伸部17b，第2夹钳72B夹持一对耳部17中的另一个耳部的延伸部17b。此时，例如，第1夹钳72A和第2夹钳72B可以同时夹持耳部17的延伸部17b。并且，也可以在第1夹钳72A夹持一个耳部的延伸部17b后，第2夹钳72B夹持另一个耳部的延伸部17b，或者，也可以在第2夹钳72B夹持另一个耳部的延伸部17b后，第1夹钳72A夹持一个耳部的延伸部17b。另外，此时，可以预先对夹钳72的位置进行调整，以使得在夹钳72夹持延伸部17b的状态下，延伸部17b的第2面20b相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧。并且，也可以在通过夹钳72夹持蒸镀掩模20的延伸部17b后，在框架15上配置耳部17。
接着，制造装置70进行蒸镀掩模20的定位。该情况下，准备形成有校准标记的玻璃分划尺(未图示)，使夹钳72在与蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N垂直的水平方向(第1面20a的面方向)上移动，以使得根据校准标记将蒸镀掩模20定位在规定位置。这样，进行蒸镀掩模20的临时定位，并且，在张紧状态下保持蒸镀掩模20。接着，对驱动部73进行驱动，对工作台71的位置和例如相对于地面的角度进行调整，由此，根据玻璃分划尺的校准标记进行蒸镀掩模20的定位。此时，可以通过独立驱动各个夹钳72而对蒸镀掩模20的位置进行调整，也可以同时驱动各个夹钳72而对蒸镀掩模20的位置进行调整。另外，也可以不使用玻璃分划尺，制造装置70进行蒸镀掩模20的定位。该情况下，可以通过使用任意的定位单元来进行蒸镀掩模20的定位，例如可以在制造装置70中读入设计坐标，调整蒸镀掩模20的位置以使其到达设计坐标。进而，在制造装置70进行蒸镀掩模20的定位的情况下，也可以与夹具700一起使制造装置70的工作台71在第1面20a的法线方向N和面方向上移动。
接着，如图19A所示，蒸镀掩模20的第2面20b中的至少一部分与框架15的正面(即第3面)15a接触，并且，在从第1面20a的法线方向N观察的情况下，使蒸镀掩模20中的不与框架15重合的部分的第2面20b中的至少一部分相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面(即第4面)15b侧，对蒸镀掩模20施加张力。即，对蒸镀掩模20施加张力，以使得焊接部17a的第2面20b与框架15的正面15a接触，并且，延伸部17b的第2面20b的至少局部相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧(图19A中的下方)。此时，例如，使框架15向蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N中的从第2面20b朝向第1面20a的方向移动。该情况下，通过对驱动部73进行驱动，使制造装置70的工作台71上升，使框架15移动。此时，工作台71朝向上方的移动距离例如可以为0.001mm以上，可以为0.01mm以上，可以为0.03mm以上。并且，工作台71朝向上方的移动距离可以为2.00mm以下，可以为1.50mm以下，可以为1.20mm以下。工作台71朝向上方的移动距离可以由上述多个上限的候选值中的任意一方和上述多个下限的候选值中的任意一方的组合来决定。例如，工作台71朝向上方的移动距离可以为0.001mm以上2.00mm以下，可以为0.01mm以上1.50mm以下，可以为0.03mm以上1.20mm以下。并且，工作台71朝向上方的移动距离可以由上述多个上限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，工作台71朝向上方的移动距离可以为1.20mm以上1.50mm以下。并且，工作台71朝向上方的移动距离可以由上述多个下限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，工作台71朝向上方的移动距离可以为0.01mm以上0.03mm以下。
但是，在本实施方式中，在夹具700(这里为夹钳72)夹持蒸镀掩模20的状态下，焊接部17a的第2面20b与框架15的正面15a接触，并且，延伸部17b的第2面20b的至少局部相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧。由此，能够向比框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧(图19A中的下方)拉伸蒸镀掩模20。并且，此时，对延伸部17b中的比框架15的外侧面15c更向外侧延伸的部分施加张力，成为向框架15的背面15b侧拉伸该部分的状态。因此，成为蒸镀掩模20整体向框架15的背面15b侧按压的状态，能够提高蒸镀掩模20的中间部18的焊接部17a与框架15的紧密贴合性。因此，能够在其面方向上有效地张紧蒸镀掩模20，并且，能够提高蒸镀掩模20与框架15的紧密贴合性。其结果，能够抑制蒸镀掩模20产生翘曲或波纹形状。
接着，如图19B所示，实施使蒸镀掩模20的焊接部17a与框架15接合的接合步骤。该情况下，在对蒸镀掩模20施加张力的状态下，使蒸镀掩模20的焊接部17a与框架15接合。此时，例如，通过焊接装置76从蒸镀掩模20的第1面20a侧照射激光L。由此，如图5A所示，蒸镀掩模20的耳部17的一部分和框架15的一部分熔融，形成从耳部17的第1面20a经由第2面20b到达框架15的熔融区域19f。该熔融区域19f跨越耳部17和框架15。
作为激光L，例如能够使用由YAG激光装置生成的YAG激光。作为YAG激光装置，例如能够使用具有在YAG(钇铝石榴石)中添加了Nd(钕)的晶体作为振荡用介质的装置。该情况下，生成波长大约为1064nm的激光作为基波。并且，使基波穿过非线性光学晶体，由此生成波长大约为532nm的第2高谐波。并且，使基波和第2高谐波穿过非线性光学晶体，由此生成波长大约为355nm的第3高谐波。
YAG激光的第3高谐波容易被包含镍的铁合金吸收。因此，在蒸镀掩模20的耳部17和框架15包括包含镍的铁合金的情况下，为了高效地使蒸镀掩模20的耳部17和框架15的一部分熔融，优选激光L包含YAG激光的第3高谐波。
激光L的照射结束后，熔融区域19f的温度降低，熔融区域19f固化而成为焊接痕19a。由此，蒸镀掩模20的耳部17和框架15通过焊接痕19a而相互接合。这样，能够得到具有框架15和通过接合部19而与框架15接合的蒸镀掩模20的蒸镀掩模装置10。
〔蒸镀材料的蒸镀方法〕
接着，主要参照图20A～图21对使用通过上述步骤得到的蒸镀掩模装置10将蒸镀材料98蒸镀在有机EL基板92上的蒸镀材料的蒸镀方法进行说明。
首先，如图20A所示，准备通过上述步骤得到的蒸镀掩模装置10。此时，准备收容有蒸镀材料98的坩埚94和加热器96，准备蒸镀装置90。
并且，准备有机EL基板92。
接着，如图20B所示，在蒸镀掩模装置10的蒸镀掩模20上设置有机EL基板92。此时，例如直接观察有机EL基板92的未图示的校准标记和蒸镀掩模20的未图示的校准标记，进行有机EL基板92的定位以使得该校准标记彼此重合，并且在蒸镀掩模装置10上设置有机EL基板92。
接着，使蒸镀材料98蒸镀在设置在蒸镀掩模装置10的蒸镀掩模20上的有机EL基板92上。此时，例如，如图21所示，在有机EL基板92的与蒸镀掩模装置10相反的一侧的面上配置有磁铁93。这样，通过设置磁铁93，通过磁力使蒸镀掩模装置10向磁铁93侧靠近，能够使蒸镀掩模20与有机EL基板92紧密贴合。接着，通过未图示的排气单元对蒸镀装置90的内部进行排气，以使得蒸镀装置90的内部成为高真空状态。接着，加热器96对坩埚94进行加热而使蒸镀材料98蒸发。然后，从坩埚94蒸发而到达蒸镀掩模装置10的蒸镀材料98穿过蒸镀掩模20的贯通孔25而附着于有机EL基板92(参照图1)。
这样，以与蒸镀掩模20的贯通孔25的位置对应的期望图案将蒸镀材料98蒸镀在有机EL基板92上。
根据本实施方式，制造装置70具有夹持延伸部17b的夹钳72。并且，关于夹钳72，在夹钳72夹持蒸镀掩模20的状态下，焊接部17a的第2面20b与框架15的正面15a接触，并且，延伸部17b的第2面20b的至少局部相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧。换言之，在蒸镀掩模20中，第2面20b中的至少一部分与框架15的正面(即第3面)15a接触，并且，在从蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N观察的情况下，蒸镀掩模20中的不与框架15重合的部分的第2面20b中的至少一部分相比于框架15的正面(即第3面)15a更靠背面(即第4面)15b侧。由此，能够向比框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧拉伸蒸镀掩模20。因此，在张紧蒸镀掩模20时，能够提高蒸镀掩模20与框架15的紧密贴合性。其结果，能够抑制蒸镀掩模20产生翘曲或波纹形状。并且，能够使蒸镀掩模20与框架15紧密贴合，因此，能够提高蒸镀掩模20的焊接部的焊接强度。
并且，根据本实施方式，工作台71能够在法线方向N上移动。由此，能够对框架15与夹钳72的位置关系进行调节。由此，能够对蒸镀掩模20中产生的拉伸张力进行调节，能够更加有效地抑制蒸镀掩模20中产生翘曲或波纹形状。
另外，能够对上述实施方式施加各种变更。下面，根据需要，参照附图对变形例进行说明。在以下的说明和以下说明所使用的附图中，针对能够与上述实施方式同样构成的部分，使用与针对上述实施方式中的对应部分使用的标号相同的标号，省略重复说明。并且，在显而易见在变形例中也能够得到上述实施方式中得到的作用效果的情况下，有时省略其说明。
(蒸镀掩模的制造方法的变形例)
在上述本实施方式和变形例中，说明了通过蚀刻来制作蒸镀掩模20的例子。但是，为了制作蒸镀掩模20而采用的方法不限于蚀刻。例如，如上述专利文献2所公开的那样，也可以通过镀敷处理在金属板上形成贯通孔25，由此制作蒸镀掩模20。
(耳部的变形例)
在上述本实施方式和变形例中，示出蒸镀掩模20的耳部17的厚度和中间部18的厚度相同的例子。但是不限于此，耳部17的厚度和中间部18的厚度也可以不同。
(框架的变形例)
在上述本实施方式和变形例中，说明了在沿着蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N的截面进行观察时，框架15的外侧面15c与正面15a垂直地连接的例子。但是不限于此，如图22A所示，也可以在正面(即第3面)15a与外侧面(即第5面)15c之间设置有连结正面(即第3面)15a和外侧面(即第5面)15c的连结面(即第6面)15e。另外，在图22A所示的例子中，在沿着蒸镀掩模20的第1面20a的法线方向N的截面进行观察时，正面15a平行于与法线方向N垂直的方向而延伸，外侧面15c在法线方向N上延伸。而且，连结面15e设置在正面15a与外侧面15c之间。该情况下，连结面15e可以是所谓倒角的部分。
但是，有时在实施使蒸镀掩模20与框架15接合的接合步骤之前，实施对框架15的面方向上的蒸镀掩模20的位置进行调整的位置调整步骤。此时，认为蒸镀掩模20与正面15a和外侧面15c连接的部分接触。并且，认为在对蒸镀掩模20施加张力的张紧步骤时，对蒸镀掩模20中的与正面15a和外侧面15c连接的部分接触的部分施加局部的力。
与此相对，根据本变形例，通过形成连结面15e，能够平滑地连接正面15a和外侧面15c，在位置调整步骤时，在蒸镀掩模20与框架15接触时、通过夹钳72张紧蒸镀掩模20时，能够抑制对蒸镀掩模20施加局部的力。因此，能够减小蒸镀掩模20与框架15之间的摩擦，能够抑制蒸镀掩模20受到损伤。
并且，该情况下，在沿着第1面20a的法线方向N观察的情况下，连结面(即第6面)15e的轮廓具有至少局部向蒸镀掩模20凸出的圆弧形状，优选圆弧形状的曲率半径R为0.01mm以上，更加优选为0.1mm以上。通过使曲率半径R为0.01mm以上，在通过夹钳72张紧蒸镀掩模20时，能够抑制对蒸镀掩模20施加局部的力，能够有效减少作用于蒸镀掩模20的摩擦力。并且，通过使曲率半径R为0.1mm以上，在通过夹钳72张紧蒸镀掩模20时，能够进一步抑制对蒸镀掩模20施加局部的力，能够更加有效减少作用于蒸镀掩模20的摩擦力。并且，优选圆弧形状的曲率半径R为2.00m以下，更加优选为1.50mm以下。通过使曲率半径R为2.00mm以下，能够平滑地连接正面15a和外侧面15c，在位置调整步骤时，在蒸镀掩模20与框架15接触时、通过夹钳72张紧蒸镀掩模20时，能够抑制对蒸镀掩模20施加局部的力。并且，通过使曲率半径R为1.50mm以下，能够更加平滑地连接正面15a和外侧面15c，在位置调整步骤时，在蒸镀掩模20与框架15接触时、通过夹钳72张紧蒸镀掩模20时，能够进一步抑制对蒸镀掩模20施加局部的力。
这种曲率半径R例如可以为0.01mm以上，可以为0.05mm以上，可以为0.15mm以上，可以为0.20mm以上。并且，曲率半径R可以为2.00mm以下，可以为1.50mm以下，可以为1.00mm以下，可以为0.50mm以下。曲率半径R可以由上述多个上限的候选值中的任意一方和上述多个下限的候选值中的任意一方的组合来决定。例如，曲率半径R可以为0.01mm以上2.00mm以下，可以为0.05mm以上1.50mm以下，可以为0.15mm以上1.00mm以下，可以为0.20mm以上0.50mm以下。并且，曲率半径R可以由上述多个上限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，曲率半径R可以为0.50mm以上1.50mm以下。并且，曲率半径R可以由上述多个下限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，曲率半径R可以为0.01mm以上0.20mm以下。
并且，在沿着第1面20a的法线方向N观察的情况下，该连结面(即第6面)15e的轮廓可以具有各种形状。例如，如图22B所示，在沿着第1面20a的法线方向N观察的情况下，连结面(即第6面)15e的轮廓可以形成为直线状。
并且，在沿着第1面20a的法线方向N观察的情况下，连结面(即第6面)15e的轮廓可以具有凹凸形状。例如，如图22C所示，在沿着第1面20a的法线方向N观察的情况下，连结面(即第6面)15e的轮廓可以形成为阶梯差。该情况下，在位置调整步骤时，在蒸镀掩模20与框架15接触时、通过夹钳72张紧蒸镀掩模20时，能够进一步抑制对蒸镀掩模20施加局部的力。因此，能够减少蒸镀掩模20与框架15之间的摩擦，能够进一步抑制蒸镀掩模20受到损伤。进而，例如，如图22D所示，在沿着第1面20a的法线方向N观察的情况下，连结面(即第6面)15e的轮廓可以具有波纹形状。该情况下，在位置调整步骤时，在蒸镀掩模20与框架15接触时、通过夹钳72张紧蒸镀掩模20时，能够更加有效地抑制对蒸镀掩模20施加局部的力。因此，能够减少蒸镀掩模20与框架15之间的摩擦，能够更加有效地抑制蒸镀掩模20受到损伤。这些情况下，此时，凹凸形状的高度H3(最突出的部分与最凹陷的部分之差)例如可以为0.01mm以上，可以为0.05mm以上，可以为0.10mm以上，可以为0.50mm以上，可以为1.00mm以上。并且，凹凸形状的高度H3可以为3.00mm以下，可以为2.50mm以下，可以为2.00mm以下。凹凸形状的高度H3可以由上述多个上限的候选值中的任意一方和上述多个下限的候选值中的任意一方的组合来决定。例如，凹凸形状的高度H3可以为0.01mm以上3.00mm以下，可以为0.05mm以上2.50mm以下，可以为1.00mm以上2.00mm以下。并且，凹凸形状的高度H3可以由上述多个上限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，凹凸形状的高度H3可以为2.00mm以上2.50mm以下。并且，凹凸形状的高度H3可以由上述多个下限的候选值中的任意2个候选值的组合来决定。例如，凹凸形状的高度H3可以为0.01mm以上0.50mm以下。并且，凹凸形状的高度H3为0.01mm以上，由此，能够提高凹凸形状的成形性，能够容易地形成连结面15e。并且，凹凸形状的高度H3为3.00mm以下，由此，在位置调整步骤时，在蒸镀掩模20与框架15接触时、通过夹钳72张紧蒸镀掩模20时，能够进一步抑制对蒸镀掩模20施加局部的力。因此，能够减少蒸镀掩模20与框架15之间的摩擦，能够进一步抑制蒸镀掩模20受到损伤。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第1变形例)
在上述本实施方式中，示出使制造装置70的工作台71在第1面20a的法线方向N上移动的例子。但是不限于此，例如，也可以使夹具700在第1面20a的法线方向N上移动。该情况下，例如，可以使第1夹钳72A和第2夹钳72B中的至少一方在第1面20a的法线方向N上移动。
该情况下，如图23所示，通过对驱动单元77进行驱动，使夹钳72在第1面20a的法线方向N上移动。由此，能够使第1夹钳72A和第2夹钳72B中的至少一方在第1面20a的法线方向N上移动。该情况下，能够对框架15与夹钳72的位置关系进行调节，能够对蒸镀掩模施加张力，以使得焊接部17a的第2面20b与框架15的正面15a接触，并且，延伸部17b的第2面20b的至少局部相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧。在这些第1夹钳72A和第2夹钳72B分别能够在第1面20a的法线方向N上移动的情况下，可以构成为分别协作进行移动，也可以构成为独立进行移动。另外，该情况下，也可以与夹具700一起使制造装置70的工作台71在第1面20a的法线方向N上移动。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第2变形例)
在上述变形例中，示出在对蒸镀掩模20施加张力的张紧步骤中、使第1夹钳72A和第2夹钳72B中的至少一方在第1面20a的法线方向N上移动的例子。但是不限于此，例如，也可以使夹具700沿着第1面20a的面方向移动。该情况下，例如，可以使第1夹钳72A和第2夹钳72B中的至少一方沿着第1面20a的面方向移动。此时，例如，也可以使第1夹钳72A和第2夹钳72B中的至少一方在第1夹钳72A和第2夹钳72B相互分开的方向上移动。
该情况下，如图24所示，通过对驱动单元77进行驱动，使第1夹钳72A和第2夹钳72B中的至少一方在蒸镀掩模20的第1面20a的面方向上移动。该情况下，能够对框架15与夹钳72的位置关系进行调节，能够对蒸镀掩模施加张力，以使得焊接部17a的第2面20b与框架15的正面15a接触，并且，延伸部17b的第2面20b的至少局部相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧。另外，该情况下，也可以使夹具700在蒸镀掩模20的第1面20a的面方向上移动，并且在第1面20a的法线方向N上移动。进而，也可以与夹具700一起使制造装置70的工作台71在第1面20a的法线方向N上移动。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第3变形例)
并且，在上述本实施方式中，示出制造装置70制造的蒸镀掩模装置10使用对框架15分配多个蒸镀掩模20的蒸镀掩模装置10的例子。但是不限于此，如图25所示，蒸镀掩模装置10也可以使用具有呈格子状配置的多个有效区域22的一个蒸镀掩模20。该情况下，制造装置70也可以具有与蒸镀掩模20的4边对应的夹钳72，以使得在蒸镀掩模20的4边夹持耳部17的延伸部17b。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第4变形例)
并且，在上述本实施方式中，例如，示出制造装置70构成为通过2个夹钳72夹持一个延伸部17b的例子。但是不限于此，如图26A所示，相对于一个延伸部17b，把持延伸部17b的夹钳72的个数可以是一个。该情况下，也能够对蒸镀掩模施加张力，以使得焊接部17a的第2面20b与框架15的正面15a接触，并且，延伸部17b的第2面20b的至少局部相比于框架15的正面15a更靠框架15的背面15b侧。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第5变形例)
并且，如图26B所示，相对于一个延伸部17b，把持延伸部17b的夹钳72的个数可以是3个。该情况下，能够更加有效地对蒸镀掩模20施加张力。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第6变形例)
并且，在上述本实施方式中，示出制造装置70通过2个夹钳72夹持一个延伸部17b、且2个夹钳72相互平行配置的例子。但是不限于此，如图27所示，2个夹钳72也可以配置成随着朝向蒸镀掩模20的外侧而相互分离。该情况下，能够沿着第1面20a的面方向更加有效地对蒸镀掩模20施加张力。因此，能够进一步提高蒸镀掩模20与框架15的紧密贴合性。其结果，能够更加有效地抑制蒸镀掩模20产生翘曲或波纹形状。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第7变形例)
并且，如图28所示，也可以通过2个第1夹钳72A夹持蒸镀掩模20的一对耳部17中的一个耳部17的延伸部17b，通过一个第2夹钳72B夹持蒸镀掩模20的一对耳部17中的另一个耳部17的延伸部17b。该情况下，2个第1夹钳72A也可以配置成，2个夹钳72A随着朝向蒸镀掩模20的外侧而相互分离。另外，虽然没有图示，但是，也可以通过一个第1夹钳72A夹持蒸镀掩模20的一对耳部17中的一个耳部17的延伸部17b，通过2个第2夹钳72B夹持蒸镀掩模20的一对耳部17中的另一个耳部17的延伸部17b。并且，该情况下，2个第2夹钳72B也可以配置成，2个夹钳72B随着朝向蒸镀掩模20的外侧而相互分离。该情况下，能够沿着第1面20a的面方向有效地对蒸镀掩模20施加张力。因此，能够进一步提高蒸镀掩模20与框架15的紧密贴合性。其结果，能够有效地抑制蒸镀掩模20产生翘曲或波纹形状。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第8变形例)
并且，在上述本实施方式中，示出夹具700是夹钳72、且夹钳72夹持蒸镀掩模20的例子。但是不限于此，如图29所示，也可以构成为在蒸镀掩模20的第1面20a上形成凹部20c，夹钳72的可动部72c与凹部20c嵌合。该情况下，夹钳72能够支承蒸镀掩模20，因此，能够对蒸镀掩模20施加张力。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第9变形例)
并且，在上述本实施方式中，示出夹具700是夹钳72的例子。但是不限于此，如图30所示，夹具700也可以由支承板721构成。该情况下，通过将蒸镀掩模20焊接在支承板721上，能够将蒸镀掩模20固定在支承板721上。另外，标号722表示由于将蒸镀掩模20焊接在支承板721上而在蒸镀掩模20和支承板721的一部分中形成的痕迹。该情况下，夹具700能够牢固地支承蒸镀掩模20，因此，能够进一步提高蒸镀掩模20与框架15的紧密贴合性。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第10变形例)
并且，如图31所示，蒸镀掩模20也可以通过粘接剂723固定在支承板721上。该情况下，夹具700能够牢固地支承蒸镀掩模20，因此，能够进一步提高蒸镀掩模20与框架15的紧密贴合性。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第11变形例)
并且，如图31所示，夹具700也可以是支承板721和从支承板721突出的突起724。该情况下，在蒸镀掩模20的第2面20b上形成凹部20c，突起724与凹部20c嵌合。由此，夹具700能够支承蒸镀掩模20。该情况下，通过简便的构造，夹具700能够支承蒸镀掩模20，并且，在从夹具700取下蒸镀掩模20时，能够容易地取下蒸镀掩模20。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第12变形例)
并且，如图32所示，夹具700也可以由支承板721和螺栓725构成。该情况下，通过将蒸镀掩模20螺栓紧固在支承板721上，能够将蒸镀掩模20固定在支承板721上。该情况下，夹具700能够牢固地支承蒸镀掩模20，因此，能够进一步提高蒸镀掩模20与框架15的紧密贴合性。
(蒸镀掩模装置的制造装置的第13变形例)
并且，在上述本实施方式中，夹具700也可以由支承板721和磁铁726构成。该情况下，通过磁力使蒸镀掩模20与支承板721紧密贴合，由此，夹具700能够支承蒸镀掩模20。该情况下，通过简便的构造，夹具700能够支承蒸镀掩模20，并且，在从夹具700取下蒸镀掩模20时，能够容易地取下蒸镀掩模20。

Claims (24)

1.一种蒸镀掩模装置的制造方法，具有：
准备步骤，准备包含从第1面到第2面的多个贯通孔的蒸镀掩模；以及
焊接步骤，在框架的正面上焊接所述蒸镀掩模，该框架包含所述正面和与所述正面对置的背面，
所述蒸镀掩模具有构成一对端部的一对耳部，
所述一对耳部分别包含焊接在所述框架的所述正面上的焊接部、以及位于所述焊接部与所述蒸镀掩模的所述端部之间的延伸部，
所述焊接步骤具有以下步骤：
对所述蒸镀掩模施加张力，使得所述焊接部的所述第2面与所述框架的所述正面接触，并且，所述延伸部的所述第2面的至少局部相比于所述框架的所述正面更靠所述框架的所述背面侧；以及
在对所述蒸镀掩模施加了所述张力的状态下，使所述蒸镀掩模的所述焊接部与所述框架接合，
在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，通过夹钳夹持所述蒸镀掩模的所述延伸部，所述夹钳具有夹持所述一对耳部中的一个耳部的所述延伸部的第1夹钳、以及夹持所述一对耳部中的另一个耳部的所述延伸部的第2夹钳，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方在所述第1面的法线方向上移动，
在所述焊接部形成有接合部，该接合部是所述耳部和所述框架相互接合的部分，
所述接合部包含焊接痕，
所述焊接痕以相对于所述第1面向所述第2面凹陷的方式形成。
2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
在使所述焊接部与所述框架接合的步骤中，从所述第1面侧照射激光。
3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述框架在所述第1面的法线方向上移动。
4.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方沿着所述第1面的面方向移动。
5.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
所述框架包含外侧面，该外侧面在所述正面与所述背面之间延伸，在所述正面与所述外侧面之间设置有连结所述正面和所述外侧面的连结面。
6.根据权利要求5所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
在沿着所述第1面的法线方向的截面中进行观察时，所述连结面的轮廓具有至少局部向所述蒸镀掩模凸出的圆弧形状，所述圆弧形状的曲率半径为0.1mm以上。
7.一种蒸镀掩模装置的制造装置，其用于制造蒸镀掩模装置，该蒸镀掩模装置具有蒸镀掩模以及框架，该蒸镀掩模包含从第1面到第2面的多个贯通孔，该框架包含面向所述蒸镀掩模的所述第2面的正面和与所述正面对置的背面，其中，所述制造装置具有：
夹具，其支承所述蒸镀掩模；以及
工作台，其与所述框架接触，
所述蒸镀掩模具有构成一对端部的一对耳部，
所述一对耳部分别包含焊接在所述框架的所述正面上的焊接部、以及位于所述焊接部与所述蒸镀掩模的所述端部之间的延伸部，
所述夹具支承所述蒸镀掩模的所述延伸部，
在所述夹具支承所述蒸镀掩模的状态下，所述焊接部的所述第2面与所述框架的所述正面接触，并且，所述延伸部的所述第2面的至少局部相比于所述框架的所述正面更靠所述框架的所述背面侧，
所述夹具是夹持所述蒸镀掩模的所述延伸部的夹钳，所述夹钳具有夹持所述蒸镀掩模的所述一对耳部中的一个耳部的所述延伸部的第1夹钳、以及夹持所述一对耳部中的另一个耳部的所述延伸部的第2夹钳，所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够在所述第1面的法线方向上移动，
在所述焊接部形成有接合部，该接合部是所述耳部和所述框架相互接合的部分，
所述接合部包含焊接痕，
所述焊接痕以相对于所述第1面向所述第2面凹陷的方式形成。
8.根据权利要求7所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
所述工作台能够在所述第1面的法线方向上移动。
9.根据权利要求7所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够沿着所述第1面的面方向移动。
10.根据权利要求7或8所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
所述框架包含外侧面，该外侧面在所述正面与所述背面之间延伸，在所述正面与所述外侧面之间设置有连结所述正面和所述外侧面的连结面。
11.根据权利要求10所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
在沿着所述第1面的法线方向的截面中进行观察时，所述连结面的轮廓具有至少局部向所述蒸镀掩模凸出的圆弧形状，所述圆弧形状的曲率半径为0.1mm以上。
12.根据权利要求7或8所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
所述制造装置还具有焊接装置，该焊接装置相互接合所述蒸镀掩模和所述框架。
13.一种蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
所述蒸镀掩模装置包含：
蒸镀掩模，其具有第1面、与所述第1面对置的第2面、以及从所述第1面到所述第2面的多个贯通孔；以及
框架，其具有第3面和与所述第3面对置的第4面，
所述蒸镀掩模包含焊接在所述框架的所述第3面上的焊接部，
所述蒸镀掩模装置的制造方法具有以下步骤：
准备所述蒸镀掩模；
使所述第2面中的至少一部分与所述第3面接触，并且，在从所述第1面的法线方向观察的情况下，使所述蒸镀掩模中的不与所述框架重合的部分的所述第2面中的至少一部分相比于所述第3面更靠所述第4面侧，对所述蒸镀掩模施加张力；以及
将所述蒸镀掩模焊接在所述框架上，
在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，通过夹钳支承所述蒸镀掩模，所述夹钳具有第1夹钳和隔着所述蒸镀掩模位于所述第1夹钳的相反侧的第2夹钳，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方在所述第1面的法线方向上移动，
在所述焊接部形成有接合部，该接合部是所述蒸镀掩膜和所述框架相互接合的部分，
所述接合部包含焊接痕，
所述焊接痕以相对于所述第1面向所述第2面凹陷的方式形成。
14.根据权利要求13所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
在将所述蒸镀掩模焊接在所述框架上的步骤中，从所述第1面侧照射激光。
15.根据权利要求13或14所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述框架在所述第1面的法线方向上移动。
16.根据权利要求13所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
在对所述蒸镀掩模施加张力的步骤中，使所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方沿着所述蒸镀掩模的所述第1面的面方向移动。
17.根据权利要求13或14所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
所述框架包含第5面，该第5面在所述第3面与所述第4面之间延伸，在所述第3面与所述第5面之间设置有连结所述第3面和所述第5面的第6面。
18.根据权利要求17所述的蒸镀掩模装置的制造方法，其中，
在沿着所述第1面的法线方向的截面中进行观察时，所述第6面的轮廓具有至少局部向所述蒸镀掩模凸出的圆弧形状，所述圆弧形状的曲率半径为0.1mm以上。
19.一种蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
所述蒸镀掩模装置包含：
蒸镀掩模，其具有第1面、与所述第1面对置的第2面以及从所述第1面到所述第2面的多个贯通孔；以及
框架，其具有第3面和与所述第3面对置的第4面，
所述蒸镀掩模包含焊接在所述框架的所述第3面上的焊接部，
所述蒸镀掩模装置的制造装置具有：
夹具，其支承所述蒸镀掩模；以及
工作台，其与所述框架接触，
在所述蒸镀掩模中，所述第2面中的至少一部分与所述第3面接触，并且，在从所述第1面的法线方向观察的情况下，所述蒸镀掩模中的不与所述框架重合的部分的所述第2面中的至少一部分相比于所述第3面更靠所述第4面侧，
所述夹具是夹钳，所述夹钳具有第1夹钳和隔着所述蒸镀掩模位于所述第1夹钳的相反侧的第2夹钳，所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够在所述第1面的法线方向上移动，
在所述焊接部形成有接合部，该接合部是所述蒸镀掩膜和所述框架相互接合的部分，
所述接合部包含焊接痕，
所述焊接痕以相对于所述第1面向所述第2面凹陷的方式形成。
20.根据权利要求19所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
所述工作台能够在所述第1面的法线方向上移动。
21.根据权利要求19所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
所述第1夹钳和所述第2夹钳中的至少一方能够沿着所述第1面的面方向移动。
22.根据权利要求19或20所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
所述框架包含第5面，该第5面在所述第3面与所述第4面之间延伸，在所述第3面与所述第4面之间设置有连结所述第3面和所述第4面的第6面。
23.根据权利要求22所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
在沿着所述第1面的法线方向的截面中进行观察时，所述第6面的轮廓具有至少局部向所述蒸镀掩模凸出的圆弧形状，所述圆弧形状的曲率半径为0.1mm以上。
24.根据权利要求19或20所述的蒸镀掩模装置的制造装置，其中，
所述制造装置还具有焊接装置，该焊接装置相互接合所述蒸镀掩模和所述框架。
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