JP2015137391A - 基板保持装置および成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上記トレイは、基板を支持する支持面を有する。
上記マスクは、上記支持面に対向して配置され、上記支持面に支持された上記基板の非成膜領域を被覆する。
上記クランプ機構は、上記トレイと上記マスクとを分離可能に結合する。
上記パッド部は、上記トレイに配置され、上記支持面に支持された上記基板を弾性的に支持する。
上記蒸発源は、上記成膜室に配置される。
上記搬送機構は、トレイと、マスクと、クランプ機構と、パッド部とを含み、上記トレイを上記蒸発源と対向する成膜位置へ搬送する。上記トレイは、基板を支持する支持面を有する。上記マスクは、上記支持面に対向して配置され、上記支持面に支持された上記基板の非成膜領域を被覆する。上記クランプ機構は、上記トレイと上記マスクとを分離可能に結合する。上記パッド部は、上記トレイに配置され、上記支持面に支持された上記基板を弾性的に支持する。
上記トレイは、基板を支持する支持面を有する。
上記マスクは、上記支持面に対向して配置され、上記支持面に支持された上記基板の非成膜領域を被覆する。
上記クランプ機構は、上記トレイと上記マスクとを分離可能に結合する。
上記パッド部は、上記トレイに配置され、上記支持面に支持された上記基板を弾性的に支持する。
これにより、トレイ上の複数の位置で基板を弾性的に支持することが可能となるため、基板を安定に保持することができる。
これにより、各々のパッド部材において基板の多点支持が可能となる。
これにより、各々の凸部の支持面からの突出量によって、基板の保持力を容易に調整することができる。
これにより基板に対するマスクの押圧力の面内均一化を図ることができる。
これによりクランプユニットの小型化と、構成の簡素化を図ることができる。
上記蒸発源は、上記成膜室に配置される。
上記搬送機構は、トレイと、マスクと、クランプ機構と、パッド部とを含み、上記トレイを上記蒸発源と対向する成膜位置へ搬送する。上記トレイは、基板を支持する支持面を有する。上記マスクは、上記支持面に対向して配置され、上記支持面に支持された上記基板の非成膜領域を被覆する。上記クランプ機構は、上記トレイと上記マスクとを分離可能に結合する。上記パッド部は、上記トレイに配置され、上記支持面に支持された上記基板を弾性的に支持する。
これにより、成膜位置が蒸発源の上方に設定される成膜装置においても、基板とマスクの位置合わせを容易に行うことが可能となる。
成膜装置100は、成膜室10と、蒸発源20と、搬送機構30と、シャッタ機構40と、コントローラ50とを有する。成膜装置100は、通過成膜方式の真空蒸着装置を構成する。
成膜室10は、排気バルブ101を介して真空ポンプ102に接続されており、内部が所定の真空圧に減圧あるいは維持されることが可能な密閉構造を有する。
蒸発源20は、成膜室10に配置される。蒸発源20は、成膜室10の底部の略中央部に配置されており、成膜位置P0を通過する基板Wに蒸着させる蒸着材料の蒸気を発生させる。蒸着材料の蒸気は、基板Wの搬送ライン30Tに直交する軸線20Tを中心とする所定の立体角で、成膜位置P0を通過するトレイ32上の基板Wへ向けて放出される。
シャッタ機構40は、コントローラ50からの制御信号を受けて開閉するシャッタ板を有する。シャッタ機構40は、基板Wが成膜位置P0へ達したときシャッタ板を開放し、蒸発源20から成膜位置P0へ蒸着材料の蒸気を到達させる。またシャッタ機構40は、基板Wが成膜位置P0を通過したときシャッタ板を閉塞し、蒸発源20から成膜位置P0へ向かう蒸気の流れを遮断する。
コントローラ50は、典型的にはコンピュータで構成され、成膜室10の外部に配置される。コントローラ50は、蒸発源20、搬送機構30、シャッタ機構40、マスク装着部111、姿勢変換部112、ゲートバルブG1,G2等を含む成膜装置100全体の動作を制御する。
搬送機構30は、基板Wを保持可能なキャリア31(基板保持装置)を有する。搬送機構30は、蒸発源20と対向する成膜位置P0を含む所定の搬送ライン30Tに沿って、キャリア31を一定速度で搬送する。
図3は、キャリア31の構成を概略的に示す分解斜視図である。図4は、トレイ32の概略平面図である。
続いて、成膜装置100の典型的な動作について説明する。
11,12…処理室
20…蒸発源
30…搬送機構
31…キャリア
32…トレイ
32a…支持面
32c…凹部
33…クランプ機構
34…パッド部
40…シャッタ機構
50…コントローラ
100…成膜装置
111…マスク装着部
112…姿勢変換部
330…クランプユニット
331…第1の係合部材
332…第2の係合部材
340…パッド部材
342…凸部
P0…成膜位置
M…マスク
W…基板
Claims (8)
- 基板を支持する支持面を有するトレイと、
前記支持面に対向して配置され、前記支持面に支持された前記基板の非成膜領域を被覆するマスクと、
前記トレイと前記マスクとを分離可能に結合するクランプ機構と、
前記トレイに配置され、前記支持面に支持された前記基板を弾性的に支持するパッド部と
を具備する基板保持装置。 - 請求項1に記載の基板保持装置であって、
前記パッド部は、前記マスクに対向して配置された複数のパッド部材を含む
基板保持装置。 - 請求項2に記載の基板保持装置であって、
前記複数のパッド部材は、弾性材料で構成された錐体状の複数の凸部をそれぞれ有する
基板保持装置。 - 請求項3に記載の基板保持装置であって、
前記トレイは、複数のパッド部材が配置され前記支持面に設けられた凹部をさらに有し、
前記複数の凸部は、自然状態において前記支持面よりも前記マスク側へ突出する高さを有する
基板保持装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板保持装置であって、
前記クランプ機構は、前記支持面に支持された前記基板の周囲に配置された複数のクランプユニットを含む
基板保持装置。 - 請求項5に記載の基板保持装置であって、
前記複数のクランプユニットは、
前記トレイに配置された第1の係合部材と、
前記マスクに配置され、前記第1の係合部材に対して着脱可能に構成された第2の係合部材とをそれぞれ有する
基板保持装置。 - 成膜室と、
前記成膜室に配置された蒸発源と、
基板を支持する支持面を有するトレイと、前記支持面に対向して配置され前記支持面に支持された前記基板の非成膜領域を被覆するマスクと、前記トレイと前記マスクとを分離可能に結合するクランプ機構と、前記トレイに配置され前記支持面に支持された前記基板を弾性的に支持するパッド部とを含み、前記トレイを前記蒸発源と対向する成膜位置へ搬送する搬送機構と
を具備する成膜装置。 - 請求項7に記載の成膜装置であって、
前記支持面が前記トレイの上面側に位置する第1の姿勢と、前記支持面が前記トレイの下面側に位置する第2の姿勢とを選択的に切り替える姿勢変換部をさらに具備する
成膜装置。
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