KR101893708B1 - 기판 재치 장치, 기판 재치 방법, 성막 장치, 성막 방법, 얼라인먼트 장치, 얼라인먼트 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

[과제] 유기 EL 디스플레이의 제조에 있어서 기판을 재치체에 재치할 때의 뒤틀림을 저감시킨다.
[해결 수단] 기판의 주연부를 협지하기 위한 복수의 협지구를 가지는 협지 수단과, 기판을 재치체 상에 재치하기 위한 재치 수단을 가지는 기판 재치 장치로서, 협지 수단은, 복수의 협지구의 협지력을 가변하는 협지력 가변 수단을 갖고, 협지력 가변 수단은, 복수의 협지구 중 일부의 협지구의 협지력을, 그 외의 협지구와는 독립하여 가변하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치를 이용한다.

Description

기판 재치 장치, 기판 재치 방법, 성막 장치, 성막 방법, 얼라인먼트 장치, 얼라인먼트 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법{SUBSTRATE MOUNTING APPARATUS, SUBSTRATE MOUNTING METHOD, FILM FORMATION APPARATUS, FILM FORMATION METHOD, ALIGNMENT APPARATUS, ALIGNMENT METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE}
본 발명은, 기판 재치 장치, 기판 재치 방법, 성막 장치, 성막 방법, 얼라인먼트 장치, 얼라인먼트 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 EL 디스플레이 등의 전자 디바이스 제조에 있어서, 기판에 유기 재료를 증착 시키는 공정이 있다. 증착 장치는 증착 공정에 있어서, 기판의 주연부(4변)를 지지 또는 협지하는 기판 보유지지 유닛에 의해, 기판을 지지하고 있다. 또한, 기판 보유지지 유닛은, 기판을 지지한 상태에서, 기판을 마스크 등의 재치체(載置體)에 접촉 및 재치(올려놓기)시킨다. 여기서, 기판의 외주 중, 한쪽의 대향 변부(예를 들어 장변부)에서는 기판을 협지하고, 다른쪽의 대향 변부(예를 들어 단변부)에서는 협지하지 않고 지지만 한다. 특허문헌 1에는, 증착에 의해 유기 EL 디스플레이를 제조하는 장치의 일례가 기재되어 있다.
일본 특허공개 제2009-277655호 공보
상기의, 유기 재료 등을 증착할 때의 협지 공정에 있어서, 성막 영역을 기판 중앙부에 마련하는 관계상, 기판을 협지할 수 있는 것은 기판의 주연부로 한정되어 있다. 그 때문에, 기판 자체의 중량에 의해 중앙부에 처짐이 발생하는 경우가 있다. 특히 최근, 기판의 대형화, 박형화가 진행되고 있어, 기판을 재치할 때의 자중에 의한 처짐의 영향이 커지고 있다. 처짐이 발생한 상태로 기판을 재치체에 재치하면, 기판에 뒤틀림이 발생하고, 그 뒤틀림을 얼라인먼트에 의해 수정하기 위해 시간이 걸리거나, 제조 품질이 저하되거나 할 우려가 있다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 유기 EL 디스플레이의 제조에 있어 기판을 재치체에 재치할 때의 뒤틀림을 저감하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 위해, 본 발명은 이하의 구성을 채용한다. 즉,
기판의 주연을 협지하기 위한 복수의 협지구를 가지는 협지 수단과,
기판을 재치체 상에 재치하기 위한 재치 수단을 가지는 기판 재치 장치로서,
상기 협지 수단은, 상기 복수의 협지구의 협지력을 가변하는 협지력 가변 수단을 더 갖고,
상기 협지력 가변 수단은, 상기 복수의 협지구 중 일부의 협지구의 협지력을, 그 외의 협지구와는 독립하여 가변하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치이다.
본 발명은 또한, 이하의 구성을 채용한다. 즉,
기판의 주연을 협지하기 위한 복수의 협지구를 가지는 협지 수단과,
기판을 재치체 상에 재치하기 위한 재치 수단을 가지는 기판 재치 장치로서,
상기 협지 수단은, 상기 복수의 협지구의 협지력을 가변하는 협지력 가변 수단을 갖고,
상기 협지력 가변 수단은, 상기 복수의 협지구의 협지력을, 협지구별로 각각 독립하여 가변하는 협지력 가변 수단인 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치이다.
본 발명은 또한, 이하의 구성을 채용한다. 즉,
기판의 주연부를 복수의 협지구로 협지하는 협지 공정과,
협지된 기판을 재치체 상에 재치하는 재치 공정을 가지는 기판 재치 방법으로서,
상기 협지 공정은, 복수의 협지구 중, 일부의 협지구의 협지력과 그 외의 협지구의 협지력을 다르게 하여, 기판을 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법이다.
본 발명은 또한, 이하의 구성을 채용한다. 즉,
기판의 주연을 협지구로 협지하는 협지 공정과,
협지된 기판을 재치체 상에 재치하는 재치 공정을 가지는 기판 재치 방법으로서,
상기 협지 공정은, 상기 협지구로, 기판의 주연 중 1변 내를 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법이다.
본 발명에 따르면, 유기 EL 디스플레이의 제조에 있어 기판을 재치체에 재치할 때의 뒤틀림을 저감할 수 있다.
도 1은 전자 디바이스의 제조 장치의 구성의 일부를 모식적으로 나타내는 평면도.
도 2는 성막 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도.
도 3은 기판 보유지지 유닛의 사시도.
도 4는 유기 EL 표시장치의 구조를 나타내는 도면.
도 5는 실시예 1에 있어서의 기판의 협지 및 재치 처리의 흐름을 나타내는 도면.
도 6은 실시예 1에 있어서 기판에 걸리는 협지력을 나타내는 평면도.
도 7은 실시예 2에 있어서의 기판 보유지지 유닛 및 협지 기구의 구성을 나타내는 도면.
도 8은 실시예 3에 관한 기판의 협지 및 재치 처리의 흐름을 나타내는 도면.
도 9는 실시예 4에 관한 기판의 협지 및 재치 처리의 흐름을 나타내는 도면.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시형태 및 실시예를 설명한다. 다만, 이하의 실시형태 및 실시예는 본 발명의 바람직한 구성을 예시적으로 나타내는 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 그러한 구성으로 한정하지 않는다. 또한, 이하의 설명에 있어서의, 장치의 하드웨어 구성 및 소프트웨어 구성, 처리 플로우, 제조 조건, 치수, 재질, 형상 등은, 특히 특정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 그러한 바로만 한정하는 취지의 것은 아니다.
본 발명은, 기판 상에 박막을 형성하는 성막 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이며, 특히, 기판의 고정밀 반송 및 위치 조정을 위한 기술에 관한 것이다. 본 발명은, 평행 평판의 기판의 표면에 진공 증착에 의해 소망하는 패턴의 박막(재료층)을 형성하는 장치에 바람직하게 적용할 수 있다. 기판의 재료로서는, 유리, 수지, 금속 등의 임의의 재료를 선택할 수 있으며, 또한, 증착 재료로서도, 유기 재료, 무기 재료(금속, 금속 산화물 등) 등의 임의의 재료를 선택할 수 있다. 또한, 유기막뿐 아니라 금속막을 성막하는 것도 가능하다. 본 발명의 기술은, 구체적으로는, 유기 전자 디바이스(예를 들어, 유기 EL 표시장치, 박막 태양전지), 광학 부재 등의 제조 장치에 적용 가능하다. 그 중에서도, 유기 EL 표시장치의 제조 장치는, 기판의 대형화 또는 표시 패널의 고정세화에 의해 기판의 반송 정밀도 및 기판과 마스크의 얼라인먼트 정밀도의 향상이 한층 더 요구되고 있기 때문에, 본 발명의 바람직한 적용예의 하나이다.
<제조 장치 및 제조 프로세스>
도 1은, 전자 디바이스의 제조 장치의 구성의 일부를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 1의 제조 장치는, 예를 들어, 스마트폰용의 유기 EL 표시장치의 표시 패널의 제조에 이용된다. 스마트폰용의 표시 패널의 경우, 예를 들어 약 1800㎜×약 1500㎜, 두께 약 0.5㎜의 사이즈의 기판에 유기 EL의 성막을 실시한 후, 해당 기판을 다이싱하여 복수의 작은 사이즈의 패널이 제작된다.
전자 디바이스의 제조 장치는, 일반적으로, 도 1에 나타내는 바와 같이, 복수의 성막실(111, 112)과, 반송실(110)을 갖는다. 반송실(110) 내에는, 기판(10)을 보유지지하여 반송하는 반송 로봇(119)이 설치되어 있다. 반송 로봇(119)은, 예를 들어, 다관절 암에, 기판을 보유지지하는 로봇 핸드가 장착된 구조를 갖는 로봇으로서, 각 성막실에의 기판(10)의 반입/반출을 행한다.
각 성막실(111, 112)에는 각각 성막 장치(증착 장치라고도 부른다)가 설치되어 있다. 반송 로봇(119)과의 기판(10)의 전달, 기판(10)과 마스크의 상대 위치의 조정(얼라인먼트), 마스크 상으로의 기판(10)의 고정, 성막(증착) 등의 일련의 성막 프로세스는, 성막 장치에 의해 자동으로 행해진다. 각 성막실의 성막 장치는, 증착원의 차이나 마스크의 차이 등 세부적인 점에서 상이한 부분은 있지만, 기본적인 구성(특히, 기판의 반송이나 얼라인먼트에 관련되는 구성)은 거의 공통되고 있다. 이하, 각 성막실의 성막 장치의 공통 구성에 대해 설명한다.
<성막 장치>
도 2는, 성막 장치의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다. 이하의 설명에 있어서는, 연직 방향을 Z 방향으로 하는 XYZ 직교 좌표계를 이용한다. 성막 시에 기판은 수평면(XY 평면)과 평행하게 되도록 고정되는 것으로 하고, 이 때의 기판의 짧은 길이 방향(단변에 평행한 방향)을 X 방향, 긴 길이 방향(장변에 평행한 방향)을 Y 방향으로 한다. 또한, Z 축 주위로의 회전각을 θ로 나타낸다.
성막 장치는, 진공 챔버(200)를 갖는다. 진공 챔버(200)의 내부는, 진공 분위기 또는 질소 가스 등의 불활성 가스 분위기로 유지되고 있다. 진공 챔버(200)의 내부에는, 대략, 기판 보유지지 유닛(210)과, 마스크(220)와, 마스크대(221)와, 냉각판(230)과, 증착원(240)이 설치된다. 기판 보유지지 유닛(210)은, 반송 로봇(119)으로부터 수취한 기판(10)을 보유지지·반송하는 수단으로서, 기판 홀더라고도 부른다. 마스크(220)는, 기판(10) 상에 형성하는 소정 패턴의 박막 패턴에 대응하는 개구 패턴을 갖는 메탈 마스크로서, 틀 형상의 마스크대(221) 위에 고정되고 있다. 성막 시에는 마스크(220) 위에 기판(10)이 재치된다. 따라서, 마스크(220)는 기판(10)을 재치하는 재치체로서의 역할도 담당한다. 냉각판(230)은, 성막 시에 기판(10)(의 마스크(220)와는 반대측의 면)에 밀착하여, 기판(10)의 온도 상승을 억제함으로써 유기 재료의 변질이나 열화를 억제하는 부재이다. 냉각판(230)이 마그넷판을 겸하고 있어도 좋다. 마그넷판이란, 자력에 의해 마스크(220)를 끌어당김으로써, 성막 시의 기판(10)과 마스크(220)의 밀착성을 높이는 부재이다. 증착원(240)은, 증착 재료, 히터, 셔터, 증발원의 구동 기구, 증발 레이트 모니터 등으로 구성된다(모두 도시하지 않음).
진공 챔버(200)의 위(외측)에는, 기판 Z 액추에이터(250), 클램프 Z 액추에이터(251), 냉각판 Z 액추에이터(252), X 액추에이터(도시하지 않음), Y 액추에이터(도시하지 않음), θ 액추에이터(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 이들 액추에이터는, 예를 들어, 모터와 볼 나사, 모터와 리니어 가이드 등으로 구성된다. 기판 Z 액추에이터(250)는, 기판 보유지지 유닛(210)의 전체를 승강(Z 방향 이동)시키기 위한 구동 수단이다. 클램프 Z 액추에이터(251)는, 기판 보유지지 유닛(210)의 협지 기구(후술함)를 개폐시키기 위한 구동 수단이다. 냉각판 Z 액추에이터(252)는, 냉각판(230)을 승강시키기 위한 구동 수단이다. X 액추에이터, Y 액추에이터, θ 액추에이터(이하, 통칭하여 "XYθ 액추에이터"라고 부른다)는 기판(10)의 얼라인먼트를 위한 구동 수단이다. XYθ 액추에이터는, 기판 보유지지 유닛(210) 및 냉각판(230)의 전체를, X 방향 이동, Y 방향 이동, θ 회전시킨다. 또한, 본 실시형태에서는, 마스크(220)를 고정한 상태로 기판(10)의 X, Y, θ를 조정하는 구성으로 하였지만, 마스크(220)의 위치를 조정하거나 또는 기판(10)과 마스크(220)의 양자의 위치를 조정함으로써 기판(10)과 마스크(220)의 얼라인먼트를 행하여도 된다.
진공 챔버(200)의 위(외측)에는, 기판(10) 및 마스크(220)의 얼라인먼트를 위해, 기판(10) 및 마스크(220) 각각의 위치를 측정하는 카메라(260, 261)가 설치되어 있다. 카메라(260, 261)는, 진공 챔버(200)에 설치된 창을 통해, 기판(10)과 마스크(220)를 촬영한다. 그 화상으로부터 기판(10) 상의 얼라인먼트 마크 및 마스크(220) 상의 얼라인먼트 마크를 인식함으로써, 각각의 XY 위치나 XY 면내에서의 상대 어긋남을 계측할 수 있다. 단 시간에 고정밀의 얼라인먼트를 실현하기 위하여, 개략적으로 위치 맞춤을 행하는 제1 얼라인먼트("러프(rough) 얼라인먼트”라고도 칭함)와, 고정밀도로 위치 맞춤을 행하는 제2 얼라인먼트("파인(fine) 얼라인먼트"라고도 칭함)의 2 단계의 얼라인먼트를 행하는 것이 바람직하다. 그 경우, 저해상이지만 광시야의 제1 얼라인먼트용의 카메라(260)와 협시야이지만 고해상의 제2 얼라인먼트용의 카메라(261)의 2 종류의 카메라를 사용하면 좋다. 본 실시형태에서는, 기판(10) 및 마스크(220) 각각에 대하여, 대향하는 한 쌍의 변의 2군데에 부착된 얼라인먼트 마크를 2대의 제1 얼라인먼트용의 카메라(260)로 측정하고, 기판(10) 및 마스크(220)의 4 코너에 부착된 얼라인먼트 마크를 4대의 제2 얼라인먼트용의 카메라(261)로 측정한다.
성막 장치는, 제어부(270)를 갖는다. 제어부(270)는, 기판 Z 액추에이터(250), 클램프 Z 액추에이터(251), 냉각판 Z 액추에이터(252), XYθ 액추에이터, 및 카메라(260, 261)의 제어 외에, 기판(10)의 반송 및 얼라인먼트, 증착원의 제어, 성막의 제어 등의 기능을 갖는다. 제어부(270)는, 예를 들어, 프로세서, 메모리, 스토리지, I/O 등을 갖는 컴퓨터에 의해 구성 가능하다. 이 경우, 제어부(270)의 기능은, 메모리 또는 스토리지에 기억된 프로그램을 프로세서가 실행함으로써 실현된다. 컴퓨터로서는, 범용의 퍼스널 컴퓨터를 이용해도 되고, 임베디드형 컴퓨터 또는 PLC(programmable logic controller)를 이용해도 된다. 또는, 제어부(270)의 기능의 일부 또는 전부를 ASIC나 FPGA와 같은 회로로 구성하여도 된다. 또한, 성막 장치별로 제어부(270)가 설치되어 있어도 좋고, 하나의 제어부(270)가 복수의 성막 장치를 제어해도 된다.
또한, 기판(10)의 보유지지·반송 및 얼라인먼트에 관련되는 구성 부분(기판 보유지지 유닛(210), 기판 Z 액추에이터(250), 클램프 Z 액추에이터(251), XYθ 액추에이터, 카메라(260, 261), 제어부(270) 등)은, "기판 재치 장치", "기판 협지 장치", "기판 반송 장치" 등으로도 부른다.
<기판 보유지지 유닛>
도 3을 참조하여 기판 보유지지 유닛(210)의 구성을 설명한다. 도 3은 기판 보유지지 유닛(210)의 사시도이다.
기판 보유지지 유닛(210)은, 협지 기구(협지구라고도 부른다)에 의해 기판(10)의 주연부를 협지함으로써, 기판(10)을 보유지지·반송하는 수단이다. 구체적으로는, 기판 보유지지 유닛(210)은, 기판(10)의 4변 각각을 아래로부터 지지하는 복수의 지지구(300)가 설치된 지지 틀(301)과, 각 지지구(300)와의 사이에서 기판(10)을 사이에 두고 끼우는 복수의 가압구(302)가 설치된 클램프 부재(303)를 갖는다. 한 쌍의 지지구(300)와 가압구(302)로 하나의 협지 기구가 구성된다. 도 3의 예에서는, 기판(10)의 단변을 따라 3개의 지지구(300)가 배치되고 장변을 따라 6개의 협지 기구{지지구(300)와 가압구(302)의 쌍}가 배치되어, 장변 2변을 협지하는 구성으로 되어 있다. 다만, 협지 기구의 구성은 도 3의 예에 한정되지 않고, 처리 대상이 되는 기판의 사이즈나 형상 또는 성막 조건 등에 맞추어, 협지 기구의 수나 배치를 적절히 변경하여도 된다. 또한, 지지구(300)는 "받침 갈고리" 또는 "핑거"라고도 불리고, 가압구(302)는 "클램프"라고도 불린다.
반송 로봇(119)으로부터 기판 보유지지 유닛(210)으로의 기판(10)의 전달은 예를 들어 다음과 같이 행해진다. 우선, 클램프 Z 액추에이터(251)에 의해 클램프 부재(303)를 상승시켜, 가압구(302)를 지지구(300)로부터 이격시킴으로써, 협지 기구를 해방 상태로 한다. 반송 로봇(119)에 의해 지지구(300)와 가압구(302)의 사이에 기판(10)을 도입한 후, 클램프 Z 액추에이터(251)에 의해 클램프 부재(303)를 하강시키고, 가압구(302)를 소정의 가압력으로 지지구(300)에 대해 누른다. 이에 의해, 가압구(302)와 지지구(300) 사이에서 기판(10)이 협지된다. 이 상태에서 기판 Z 액추에이터(250)에 의해 기판 보유지지 유닛(210)을 구동함으로써, 기판(10)을 승강(Z 방향 이동)시킬 수 있다. 또한, 클램프 Z 액추에이터(251)는 기판 보유지지 유닛(210)과 함께 상승/하강하기 때문에, 기판 보유지지 유닛(210)이 승강하더라도 협지 기구의 상태는 변화하지 않는다. 이러한 구성을, 기판 승강 수단이라고도 부른다. 기판 승강 수단은, 제어부나 액추에이터 등도 포함한 재치 수단에 포함된다고 생각해도 좋다. 또한, 마스크(220)를 승강시키는 재치체 승강 수단을 설치하는 것에 의해서도, 마스크(220)와 기판(10)을 접촉시킬 수 있다. 또한, 기판 승강 수단과 함께 재치체 승강 수단을 설치해도 좋다.
또한, 도 3의 부호 '101'은, 기판(10)의 4 코너에 부착된 제2 얼라인먼트용의 얼라인먼트 마크를 나타내고, 부호 '102'는, 기판(10)의 단변 중앙에 부착된 제1 얼라인먼트용의 얼라인먼트 마크를 나타내고 있다.
<전자 디바이스의 제조 방법의 실시예>
다음으로, 본 실시형태의 성막 장치를 이용한 전자 디바이스의 제조 방법의 일례를 설명한다. 이하, 전자 디바이스의 예로서 유기 EL 표시장치의 구성 및 제조 방법을 예시한다.
우선, 제조하는 유기 EL 표시장치에 대해 설명한다. 도 4(a)는 유기 EL 표시장치(60)의 전체도, 도 4(b)는 1 화소의 단면 구조를 나타내고 있다.
도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 표시장치(60)의 표시 영역(61)에는, 발광 소자를 복수 구비한 화소(62)가 매트릭스 형태로 복수 배치되어 있다. 상세 내용은 후술하지만, 발광소자의 각각은, 한 쌍의 전극에 끼워진 유기층을 구비한 구조를 가지고 있다. 또한, 여기서 말하는 화소란, 표시 영역(61)에 있어서 소망하는 색 표시를 가능하게 하는 최소 단위를 지칭한다. 본 실시예에 관한 유기 EL 표시장치의 경우, 서로 다른 발광을 나타내는 제1 발광소자(62R), 제2 발광소자(62G), 제3 발광소자(62B)의 조합에 의해 화소(62)가 구성되어 있다. 화소(62)는, 적색 발광소자, 녹색 발광소자, 청색 발광소자의 조합으로 구성되는 경우가 많지만, 황색 발광소자, 시안 발광소자, 백색 발광소자의 조합이어도 되며, 적어도 1색 이상이면 특히 제한되는 것은 아니다.
도 4(b)는, 도 4(a)의 A-B선에 있어서의 부분 단면 모식도이다. 화소(62)는, 기판(63) 상에, 제1 전극(양극)(64), 정공 수송층(65), 발광층(66R, 66G, 66B), 전자 수송층(67), 제2 전극(음극)(68)을 구비한 유기 EL 소자를 가지고 있다. 이들 중 정공 수송층(65), 발광층(66R, 66G, 66B), 전자 수송층(67)이 유기층에 해당한다. 또한, 본 실시형태에서는, 발광층(66R)은 적색을 발하는 유기 EL층, 발광층(66G)는 녹색을 발하는 유기 EL층, 발광층(66B)은 청색을 발하는 유기 EL층이다. 발광층(66R, 66G, 66B)은, 각각 적색, 녹색, 청색을 발하는 발광소자(유기 EL 소자라고 부르는 경우도 있음)에 대응하는 패턴으로 형성되어 있다. 또한, 제1 전극(64)은, 발광소자별로 분리되어 형성되어 있다. 정공 수송층(65)과 전자 수송층(67)과 제2 전극(68)은, 복수의 발광소자(62R, 62G, 62B)와 공통으로 형성되어 있어도 좋고, 발광소자별로 형성되어 있어도 좋다. 또한, 제1 전극(64)과 제2 전극(68)이 이물에 의해 단락되는 것을 방지하기 위하여, 제1 전극(64) 사이에 절연층(69)이 설치되어 있다. 또한, 유기 EL층은 수분이나 산소에 의해 열화되기 때문에, 수분이나 산소로부터 유기 EL 소자를 보호하기 위한 보호층(70)이 설치되어 있다.
유기 EL층을 발광소자 단위로 형성하기 위해서는, 마스크를 통해 성막하는 방법이 이용된다. 최근, 표시 장치의 고정밀화가 진행되고 있어, 유기 EL층의 형성에는 개구의 폭이 수십 ㎛의 마스크가 이용된다. 이러한 마스크를 이용한 성막의 경우, 마스크가 성막 중에 증발원으로부터 열을 받아 열 변형하면 마스크와 기판과의 위치가 어긋나 버려, 기판 상에 형성되는 박막의 패턴이 소망하는 위치로부터 어긋나 형성되어 버린다. 이에, 이들 유기 EL층의 성막에는 본 발명에 관한 성막 장치(진공 증착 장치)가 매우 적절하게 이용된다.
다음으로, 유기 EL 표시장치의 제조 방법의 예에 대해 구체적으로 설명한다.
우선, 유기 EL 표시장치를 구동하기 위한 회로(도시하지 않음) 및 제1 전극(64)이 형성된 기판(63)을 준비한다.
제1 전극(64)이 형성된 기판(63) 위에 아크릴 수지를 스핀 코트로 형성하고, 아크릴 수지를 리소그래피법에 의해, 제1 전극(64)이 형성된 부분에 개구가 형성되도록 패터닝하여 절연층(69)을 형성한다. 이 개구부가, 발광소자가 실제로 발광하는 발광 영역에 상당한다.
절연층(69)이 패터닝된 기판(63)을 제1 성막 장치에 반입하여 기판 보유지지 유닛으로 기판을 보유지지하고, 정공 수송층(65)을, 표시 영역의 제1 전극(64) 위에 공통층으로서 성막한다. 정공 수송층(65)은 진공 증착에 의해 성막된다. 실제로는 정공 수송층(65)은 표시 영역(61)보다 큰 사이즈로 형성되기 때문에, 고정밀의 마스크는 필요치 않다.
다음으로, 정공 수송층(65)까지 형성된 기판(63)을 제2 성막 장치에 반입하고, 기판 보유지지 유닛으로 보유지지한다. 기판과 마스크의 얼라인먼트를 행하고, 기판을 마스크 상에 재치하여, 기판(63)의 적색을 발하는 소자를 배치하는 부분에 적색을 발하는 발광층(66R)을 성막한다. 본 예에 의하면, 마스크와 기판을 양호하게 중첩시켜 맞출 수 있어, 고정밀도로 성막을 행할 수 있다.
발광층(66R)의 성막과 마찬가지로, 제3 성막 장치에 의해 녹색을 발하는 발광층(66G)을 성막하고, 나아가 제4 성막 장치에 의해 청색을 발하는 발광층(66B)을 성막한다. 발광층(66R, 66G, 66B)의 성막이 완료된 후, 제5 성막 장치에 의해 표시 영역(61)의 전체에 전자 수송층(67)을 성막한다. 전자 수송층(67)은 3색의 발광층(66R, 66G, 66B)에 공통의 층으로서 형성된다.
전자 수송층(67)까지 형성된 기판을 스퍼터링 장치로 이동시켜, 제2 전극(68)을 성막하고, 그 후 플라스마 CVD 장치로 이동시켜 보호층(70)을 성막하여, 유기 EL 표시장치(60)를 완성한다.
절연층(69)이 패터닝된 기판(63)을 성막 장치로 반입하고 나서부터 보호층(70)의 성막이 완료될 때까지는, 수분이나 산소를 포함한 분위기에 노출되면, 유기 EL 재료로 이루어진 발광층이 수분이나 산소에 의해 열화될 우려가 있다. 따라서, 본 예에 있어서, 성막 장치 간의 기판의 반입 반출은, 진공 분위기 또는 불활성 가스 분위기 하에서 행해진다.
이와 같이 하여 얻어진 유기 EL 표시장치는, 발광 소자마다 발광층이 양호한 정밀도로 형성된다. 따라서, 상기 제조 방법을 이용하면, 발광층의 위치 어긋남에 기인하는 유기 EL 표시장치의 불량 발생을 억제할 수 있다.
<실시예 1>
도 5(a)~(e)는, 본 발명의 실시예 1에 관한 기판의 협지 및 재치 처리의 흐름을 나타내는 도면이다. 각 도면은, 협지된 기판(10)을 도 3에 나타내는 기판 보유지지 유닛으로 재치체에 재치하는 모습을 순차적으로 나타내고 있고, 기판 보유지지 유닛 및 기판(10)을 도 3의 XZ 평면에서 절단한 단면도이다. 또한 필요에 따라, 협지 기구의 4변 중 한쪽의 장변측(도 5의 좌측)에 배치된 가압구에 부호 '302a', 그와 대향하는 장변측(도 5의 우측)에 배치된 가압구에 부호 '302b'를 붙여 구별한다.
도 5(a)는, 반송 로봇(119)에 의해 기판(10)이 지지구(300)와 가압구(302) 사이에 도입되어, 기판(10)의 주연부(10a)가 지지구(300)에 의해 지지된 상태이다. 도 5(a)의 상태에서는 기판(10)이 고정되어 있지 않기 때문에, 기판(10)의 중앙이 처져 있다.
도 5(b)에서는, 제어부(270)의 제어에 따라 클램프 Z 액추에이터(251)가 클램프 부재(303)를 하강시킴으로써, 가압구(302a 및 302b)가 하강하여, 지지구(300)와의 사이에서 기판(10)을 협지한다. 여기서, 제어부(270)는, 1변 내(한쪽의 장변측)의 가압구(302a)와 지지구(300) 사이에는 통상대로의 협지력을 발생시키지만(도면 중, "통상"이라고 기재한 하향 화살표), 대향하는 다른쪽의 장변측의 가압구(302b)와 지지구(300) 사이에는, 통상보다 약한 협지력을 발생시키던지, 협지력이 발생하지 않도록 한다(도면 중, "약 또는 Free"라고 기재한 하향 화살표). 이러한 제어는 예를 들어, 클램프 Z 액추에이터(251)에 의한 가압력을 좌우에서 변경함으로써 실시할 수 있다. 이와 같이 협지력이 가변인 것에 의해, 본 발명의 제어가 가능하다. 이러한 협지력을 가변하는 제어를 가능하게 하는 제어부나 각 액추에이터를, 협지력 가변 수단이라 칭해도 좋다.
가압구(302a)와 지지구(300) 사이의 협지력은, 기판(10)이 쉽게 어긋나지 않는 힘이 바람직하다. 한편, 가압구(302b)와 지지구(300) 사이의 협지력은 기판(10)에 어느 정도의 힘이 작용했을 때, 가압구(302b)와 지지구(300) 사이에 있는 기판(10)이 어긋나 협지 위치가 변하는 정도의 힘이 바람직하다. 또한, 협지 기구가 기판(10)을 보유지지하는 협지력에는, 가압구(302a, 302b)에 걸리는 힘 외에, 기판(10)과 협지 기구 사이의 마찰력도 기여하고 있으므로, 가압구(302b)에 걸리는 힘을 제어할 때에는, 마찰력도 가미하는 것이 바람직하다.
도 5(c)는, 도 5(b)와 같이 한쪽측의 협지력이 약하거나 제로인 상태에서, 기판 Z 액추에이터(250)가 기판(10)을 하강시켜, 기판(10)이 재치체인 마스크(220)에 접촉한 상태를 나타낸다.
도 5(d)는, 도 5(c)의 상태로부터, 기판 Z 액추에이터(250)가 기판(10)을 더 하강시켜, 기판(10)과 마스크(220)의 접촉 영역이 증대된 상태를 나타낸다. 이 때, 마스크(220)로부터의 응력과 기판 중앙에 생겨 있던 처짐에 의해 기판(10)의 형상이 변화하여, 뒤틀림이 생기고 있음을 알 수 있다. 종래의 협지 방법 및 재치 방법에서는, 이 형상 변화가, 기판(10)의 얼라인먼트에 시간을 요하는 원인이 되고 있었다.
그러나 본 발명에서는, 가압구(302b)와 지지구(300) 사이의 협지력이, 가압구(302a)와 지지구(300) 사이의 협지력보다 약하거나 제로로 되고 있다. 그 때문에 도 5(d)에 나타내는 바와 같이, 마스크(220)로부터의 응력에 의해, 가압구(302b)와 지지구(300) 사이의 기판(10)에, 화살표「501」로 가리키는 방향의 어긋남 힘이 발생한다. 그 결과, 도 5(e)에 나타내는 바와 같이 기판(10)의 처짐이나 뒤틀림이 해소되어, 기판(10)과 마스크(220)의 접촉 상태가 개선된다.
도 6(a)는, 협지 기구에 의해 기판(10)이 통상대로 협지된 모습을 나타내며, 도 3의 기판 보유지지 유닛을 Z 축의 위쪽 방향으로부터 본 평면도이다. 도 3의 설명에서 말한 것처럼, 단변 측에 있어서는, 기판의 주연부(10a)가 지지구(300)에 올려져 있는 뿐, 협지는 되어 있지 않다. 또한, 장변 측에 있어서는, 기판의 주연부(10a)가, 지지구(300)와 가압구(302) 사이에 협지되고 있다.
도 6(b)는, 도 5(b)에 의해 설명한 협지의 모습을 나타낸다. 도면 중, 좌측의 장변에 있어서는, 기판의 주연부(10a)가, 통상의 협지력으로 지지구(300)와 가압구(302a) 사이에 협지되어 있다. 한편, 도면 중 우측의 장변에 있어서는, 기판의 주연부(10a)가, 좌변보다 약한 협지력으로 협지되어 있던가, 협지되어 있지 않다. 이에 의해, 기판(10)이 마스크(220)에 접촉한 후, 화살표「501」로 가리키는 방향으로 어긋남 힘이 발생한다.
본 실시예의 협지 기구(협지 장치)를 이용한 협지 방법, 이러한 협지 기구를 포함하는 기판 재치 장치를 이용한 기판 재치 방법에 의하면, 기판(10)을 재치체인 마스크(220)에 재치했을 때의 뒤틀림이, 협지력이 약한 쪽(또는 협지력이 제로인 쪽)으로 기판(10)이 어긋나는 것에 의해 저감 또는 해소된다. 바꾸어 말하면, 재치 시에 기판(10)이 어긋나는 방향이 일정하게 되어, 어긋남 방식(어긋남 양이나 방향)에 재현성이 생긴다. 이에 의해, 마스크(220)와 기판(10)과의 얼라인먼트를 양호하게 실시 가능하게 되기 때문에, 얼라인먼트 시간 단축 및 얼라인먼트 정밀도 향상이라는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 협지 장치와 얼라인먼트에 이용하는 카메라, 상대 위치를 조정하는 위치 조정 수단(액추에이터 등)을 합쳐, 얼라인먼트 기구로 생각할 수도 있다.
또한, 본 실시예의 협지력 제어는, 제1 얼라인먼트 전, 제1 얼라인먼트와 제2 얼라인먼트 사이, 제2 얼라인먼트 후, 어느 장면에 있어서도 적용할 수 있다.
<실시예 2>
실시예 1에서 설명한 바와 같은, 기판(10)의 장변 중 한쪽에 통상의 협지력을 걸고, 다른쪽에 통상보다 약한 협지력을 걸도록(또는 협지력을 제로로 하도록) 하는 제어라면, 도 3에 나타낸 기판 보유지지 유닛이 구비한 협지 기구에 의해 실현할 수 있다. 본 실시예에서는, 보다 정밀한 협지력 제어를 행하여 기판(10)의 뒤틀림을 저감하는 구성에 대해 설명한다.
도 7(a)는, 본 실시예에 관한 기판 보유지지 유닛의 주요 부분을 나타낸 모식도이다. 기판 보유지지 유닛에는, 각각이 서로 독립한 복수의 협지 기구를 구비하고 있다. 도 7(a)에서는 기판(10)의 양 장변측에 복수의 협지 기구가 배치되고, 양 단변측의 구성은 생략되어 있다. 그러나 단변 측에도 협지 기구를 설치해도 좋고, 도 3과 마찬가지로, 단변측에는 지지구(300)만을 설치해도 상관없다.
도 7(b)는, 본 실시예에 관한 협지 기구를 1개 추출한 것이다. 각각의 협지 기구는 지지체(305)에 의해 지지된, 가압구(302) 및 지지구(300)를 구비하고 있다. 예를 들어, 제어부(270)의 제어에 따라, 지지체(305)에 조립된 개별 Z 액추에이터(도시하지 않음)가 가압구(302)를 Z 방향으로 승강시킴에 의해, 가압구(302)와 지지구(300) 사이의 협지력이 변화한다.
예를 들어, 가압구(302)와 지지구(400)의 상태를, 기판(10)의 어긋남이 발생하지 않는 통상의 협지력이 걸려 있는 상태, 어느 정도의 힘이 더해지면 기판(10)이 어긋나는 약한 협지력이 걸려 있는 상태, 협지력이 걸려 있지 않은(협지력이 제로인) 상태의 사이에서 전환하는 것이 가능하다. 즉, 도 7(c)에 나타내는 바와 같이, 가압구(302)와 지지구(300) 사이의 협지력을 약하게, 또는 제로로 함으로써, 기판(10)을 재치했을 때에, 화살표「501」로 가리키는 방향으로 어긋남 힘이 발생한다.
협지 기구의 개별 제어의 일례를 설명한다. 도 7(a)에는 각 장변에 8개의 협지 기구가 도시되어 있는데, 이 중 한 변에 있어서, 중앙의 4개를 통상의 협지력으로 하고, 단부의 4개를 약한 협지력으로 한다. 또한, 이에 대향하는 변에 있어서는, 협지력을 약하게 하거나, 제로로 한다. 이에 의해, 재치에 의해 발생한 뒤틀림이, 협지력이 약한(또는 제로인) 쪽의 장변 방향만이 아니라, 단변 방향으로도 해소되기 쉽게 된다.
이상과 같이, 본 실시예의 구성에 의하면, 복수 설치한 협지 기구별로 협지력을 제어함으로써, 기판(10)이 재치체인 마스크(220)에 재치되었을 때의 어긋남의 양이나 방향을 정밀하게 제어할 수 있게 된다.
또한, 본 실시예의 협지 기구를 이용한 협지력 제어는, 제1 얼라인먼트 전, 제1 얼라인먼트와 제2 얼라인먼트 사이, 제2 얼라인먼트 후, 어느 장면에 있어서도 적용할 수 있다.
<실시예 3>
도 8(a)~(e)는, 본 발명의 실시예 3에 관한 기판의 협지 및 재치 처리의 흐름을 나타내는 도면이다. 각 도면은, 협지된 기판(10)을 도 3에 나타내는 기판 보유지지 유닛으로 재치체에 재치하는 모습을 순차적으로 나타내고 있고, 기판 보유지지 유닛 및 기판(10)을 도 3의 XZ 평면에서 절단한 단면도이다. 도 5와 공통되는 부재에는 같은 부호를 붙인다.
도 8(a)는, 반송 로봇(119)의 로봇 핸드에 의해, 기판(10)이 지지구(300)와 가압구(302) 사이에 도입된 상태이다. 또한, 기판(10)의 단변측의 주연부는, 단변측용의 지지구(300)로 지지되고 있다.
도 8(b)에서는, 로봇 핸드가 후퇴함으로써 기판(10)의 장변측의 주연부가 지지구(300)로 지지됨과 함께, 제어부(270)의 제어에 따라 클램프 Z 액추에이터(251)가 클램프 부재(303)를 하강시킴으로써, 가압구(302a 및 302b)가 하강하여, 지지구(300)와의 사이에 기판(10)을 협지한다. 이 때, 지지구(300)에 의해 지지되지 않는 영역에 있어서는, 기판(10)에 처짐이 발생하고 있다. 도 8(b)에 있어서, 도 5(b)와 마찬가지로, 가압구(302a) 측에 강한 협지력이 발생하고, 가압구(302b) 측에 약한 협지력이 발생하는(또는 협지력이 발생하지 않는) 제어를 행한다. 가압구(302a) 측의 협지력과 가압구(302b) 측의 협지력의 바람직한 관계는, 도 5(b)에서의 설명과 마찬가지이다. 즉, 가압구(302b) 측에서는, 기판(10)에 걸리는 힘에 의한, 가압구(302b)와 지지구(300)의 사이에 있는 기판(10)이 이동 가능한 정도의 힘이 바람직하다.
또한, 본 실시예의 기판 보유지지 유닛은, 기판(10)의 중앙부를 지지하는 중앙 지지구(306)를 구비하고 있다. 중앙 지지구(306)가 제어부(270)의 제어에 따라 Z 방향 상하로 이동함으로써, 기판(10)의 처짐을 어느 정도 저감할 수 있다. 도 8(c)는, 한쪽측의 장변의 협지력이 약하거나 제로인 상태에서 중앙 지지구(306)가 상승하여, 화살표「501」의 방향으로 어긋남 힘이 발생한다. 여기서, 기판(10)에 걸려 있는 협지력은, 기판(10)이 이동가능한 정도 후부터이기 때문에, 기판(10)이 우측으로 어긋난다. 이에 의해, 기판(10)의 처짐의 일부가 해소된다.
도 8(d)에 있어서, 기판 Z 액추에이터(250)가 기판(10)을 하강시켜, 기판(10)이 마스크(220)에 재치된다. 이 때, 마스크(220)로부터의 응력에 의해, 가압구(302b)와 지지구(300) 사이의 기판(10)에, 화살표「501」로 가리키는 방향의 어긋남 힘이 다시 발생한다. 그 결과, 도 8(e)에 나타내는 바와 같이 기판(10)의 처짐이나 뒤틀림이 해소되어, 기판(10)과 마스크(220)의 접촉 상태가 개선된다.
또한, 도 8(e)에 있어서, 카메라(260, 261)에 의한 얼라인먼트 마크의 촬상 결과에 기초하여 제2 얼라인먼트를 행하여, 한층 더 기판(10)과 마스크(220)의 상대 위치를 조정하는 것도 바람직하다. 그 때, 가압구(302b) 측의 협지력을 통상의 값으로 하여도 좋다. 이에 의해, 기판(10)이 안정된 상태에서 얼라인먼트를 실시할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예의 협지 기구(협지 장치)를 이용한 협지 방법, 이러한 협지 기구를 포함하는 기판 재치 장치를 이용한 기판 재치 방법에 의하면, 중앙 지지구(306)의 이동에 의한 기판(10)의 어긋남과, 마스크(220)로의 재치에 의한 기판(10)의 어긋남이라고 하는 복수의 단계를 거쳐 기판(10)의 뒤틀림이 양호하게 저감된다. 그 결과, 얼라인먼트 시간 단축 및 얼라인먼트 정밀도 향상이라는 효과를 얻을 수 있다
또한, 본 실시예의 협지력 제어는, 제1 얼라인먼트 전, 제1 얼라인먼트와 제2 얼라인먼트 사이, 제2 얼라인먼트 후, 어느 장면에 있어서도 적용할 수 있다.
<실시예 4>
도 9(a)~(f)는, 본 발명의 실시예 4에 관한 기판의 협지 및 재치 처리의 흐름을 나타내는 도면이다. 각 도면은, 협지된 기판(10)을 도 3에 나타내는 기판 보유지지 유닛으로 재치체에 재치하는 모습을 순차적으로 나타내고 있으며, 기판 보유지지 유닛 및 기판(10)을 도 3의 XZ 평면에서 절단한 단면도이다. 도 5, 도 8과 공통되는 부재에는 같은 부호를 붙인다.
도 9(a)는, 도 8(a)와 마찬가지로, 로봇 핸드에 의해 기판(10)이 지지구(300)와 가압구(302) 사이에 도입된 상태를 나타낸다.
도 9(b)에서는, 로봇 핸드가 후퇴함으로써 기판(10)의 장변측의 주연부가 지지구(300)로 지지된다.
도 9(c)에서는, 제어부(270)의 제어에 따라 클램프 Z 액추에이터(251)가 클램프 부재(303)를 하강시킴으로써, 가압구(302a 및 302b)가 하강하여, 지지구(300)와의 사이에 기판(10)을 협지한다. 도 9(c)에 있어서도, 가압구(302a) 측에 강한 협지력이 발생하고, 가압구(302b) 측에 약한 협지력이 발생하는(또는 협지력이 발생하지 않는) 제어를 행한다. 또한, 도 9(c)에 있어서는, 중앙 지지구(306)가 Z 방향으로 상승하여 기판(10)과 접촉함으로써 화살표「501」의 방향으로 어긋남 힘이 발생하여, 기판(10)이 지면(紙面) 상 우측으로 어긋나 있다. 이에 의해, 기판(10)의 처짐의 일부가 해소되고 있다.
도 9(d)는, 본 실시예에 특유의 조작으로서, 기판(10)을 마스크(220)에 재치하기 전에, 카메라(260)에 의한 얼라인먼트 마크의 촬상 결과에 기초하여 기판(10)과 마스크(220)의 상대 위치를 조정하는 제1 얼라인먼트를 행하고 있다. 이와 같이, 기판(10)이 마스크(220)에 접촉하기 전에 제1 얼라인먼트를 행함으로써, 그 후, 마스크(220)로의 접촉 후에 행해지는 제2 얼라인먼트의 정밀도가 향상된다.
도 9(e)에 있어서, 기판 Z 액추에이터(250)의 동작에 의해 기판(10)이 마스크(220)에 재치된다. 이 때, 마스크(220)로부터의 응력에 의해, 가압구(302b)와 지지구(300) 사이의 기판(10)에, 화살표「501」로 가리키는 방향의 어긋남 힘이 다시 발생한다. 그 결과, 도 9(f)에 나타내는 바와 같이 기판(10)의 처짐이나 뒤틀림이 해소되고, 기판(10)과 마스크(220)의 접촉 상태가 개선된다. 또한, 도 9(f)에 있어서, 카메라(261)에 의한 얼라인먼트 마크의 촬상 결과에 기초하여 제2 얼라인먼트를 행하여, 한층 더 기판(10)과 마스크(220)와의 상대 위치를 조정하는 것도 바람직하다. 이 때, 가압구(302b) 측의 협지력을 통상의 값으로 하여도 좋다. 이에 의해, 기판(10)의 협지 위치가 고정 가능하게 되고, 또한, 대향하는 양 변의 협지력이 같아지게 되기 때문에, 안정적으로 얼라인먼트를 실시할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예의 협지 기구(협지 장치)를 이용한 협지 방법, 이러한 협지 기구를 포함하는 기판 재치 장치를 이용한 기판 재치 방법에 의하면, 중앙 지지구(306)의 이동에 의한 기판(10)의 어긋남과, 제1 얼라인먼트와, 마스크(220)로의 재치에 의한 기판(10)의 어긋남이라고 하는 복수의 단계를 거쳐 기판(10)의 위치 어긋남이나 뒤틀림이 양호하게 저감된다. 그 결과, 얼라인먼트 시간 단축 및 얼라인먼트 정밀도 향상이라고 하는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 실시예의 협지력 제어는, 제1 얼라인먼트 전, 제1 얼라인먼트와 제2 얼라인먼트 사이, 제2 얼라인먼트 후, 어느 장면에 있어서도 적용할 수 있다.
10: 기판
210: 기판 보유지지 유닛
220: 마스크
251: 기판 Z 액추에이터
270: 제어부
300: 지지구
302: 가압구

Claims (31)

  1. 기판의 주연부를 상기 기판의 두께 방향에 있어서 협지하기 위한 복수의 협지구를 가지는 협지 수단과,
    상기 기판을 재치체 상에 재치하기 위한 재치 수단을 가지는 기판 재치 장치로서,
    상기 협지 수단은, 상기 복수의 협지구의 협지력을 가변하는 협지력 가변 수단을 갖고,
    상기 협지력 가변 수단은, 상기 복수의 협지구 중 제1 협지구의 협지력을, 상기 복수의 협지구 중 제2 협지구와는 독립하여 가변하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 협지구는, 상기 기판의 주연부 중 한 변 내를 협지하는 협지구이며, 상기 제2 협지구는, 상기 기판의 주연부 중 상기 한 변과 대향한 변 내를 협지하는 협지구인 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 협지구는, 상기 기판의 주연부 중 제1변 내를 협지하는 복수의 협지구 중 일부이며, 상기 제2 협지구는, 상기 기판의 주연부 중 상기 제1변과 대향한 제2변 내를 협지하는 복수의 협지구 중 일부인 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 협지력 가변 수단은, 상기 제1 협지구의 협지력을, 상기 제2 협지구의 협지력과 다르게 하는 협지력 가변 수단인 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1변 내를 협지하는 상기 복수의 협지구의 각각의 협지력이, 상기 제2변 내를 협지하는 상기 복수의 협지구의 각각의 협지력보다 강한 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 협지력 가변 수단은, 상기 제1변 내를 협지하는 상기 복수의 협지구에 포함되는 제3 협지구의 협지력을, 상기 제1 협지구의 협지력과 다르게 하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 협지 수단의 협지구는, 상기 기판을 지지하기 위한 지지구와, 상기 기판을 상기 지지구에 가압하기 위한 가압구를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 재치 수단은, 상기 기판을 승강시키기 위한 기판 승강 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 재치 수단은, 상기 재치체를 승강시키기 위한 재치체 승강 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 재치 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 기판 재치 장치와,
    상기 기판과 상기 재치체의 상대 위치를 조정하기 위한 위치 조정 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 재치체는, 상기 기판 상에 소정 패턴의 성막을 행하기 위해서 이용되는, 상기 소정 패턴을 가지는 마스크인 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 장치.
  12. 제11항에 기재된 얼라인먼트 장치를 갖고, 상기 기판 상에 상기 소정 패턴의 성막을 행하는 것을 특징으로 하는 성막 장치.
  13. 기판의 주연부를 복수의 협지구로 상기 기판의 두께 방향에 있어서 협지하는 협지 공정과,
    협지된 상기 기판을 재치체에 재치하는 재치 공정을 가지는 기판 재치 방법으로서,
    상기 협지 공정은, 복수의 협지구 중 제1 협지구의 협지력과 제2 협지구의 협지력을 다르게 하여, 상기 기판을 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 협지 공정은, 상기 제1 협지구로 상기 기판의 주연부 중 제1변 내를 협지하고, 상기 제2 협지구로 상기 기판의 주연부 중 상기 제1변과 대향한 제2변 내를 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 협지 공정은, 상기 제1 협지구와 상기 제2 협지구 중 한쪽의 협지구가, 협지하고 있는 상기 기판의 협지 위치가 이동 가능한 협지력으로 상기 기판을 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 협지 위치가 이동 가능한 협지력은, 상기 재치 공정에 있어서 상기 재치체로부터 상기 기판에 걸리는 힘에 의해, 협지 위치가 이동 가능한 협지력인 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 재치 공정은, 상기 기판을 상기 재치체에 재치한 후에, 상기 제1 협지구와 상기 제2 협지구가, 같은 협지력으로 상기 기판을 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 재치 공정은, 상기 기판을 상기 재치체에 재치한 후에, 상기 제1 협지구와 상기 제2 협지구가, 상기 기판의 협지 위치를 고정 가능한 협지력으로 상기 기판을 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  19. 기판의 주연부를 협지구로 상기 기판의 두께 방향에 있어서 협지하는 협지 공정과,
    협지된 상기 기판을 재치체에 재치하는 재치 공정을 가지는 기판 재치 방법으로서,
    상기 협지 공정은, 상기 기판의 주연부 중 제1변 내를 상기 협지구로 협지하고, 상기 기판의 주연부 중 상기 제1변과 대향한 제2변 내를 협지하지 않는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 협지 공정은, 상기 협지구의 복수로, 상기 제1변 내를 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  21. 제19항에 있어서,
    상기 재치 공정은, 상기 기판을 재치체에 재치한 후에, 상기 협지구로 상기 기판의 주연부 중 제1변 내를 협지하고, 그 외의 협지구로 상기 기판의 주연부 중 상기 제2변 내를 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 협지구와 상기 그 외의 협지구는, 상기 기판을 상기 재치체에 재치한 후에는, 같은 협지력으로 상기 기판을 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  23. 제21항에 있어서,
    상기 협지구와 상기 그 외의 협지구는, 상기 기판을 상기 재치체에 재치한 후에는, 상기 기판의 협지 위치가 고정 가능한 협지력으로 상기 기판을 협지하는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  24. 제13항에 있어서,
    상기 재치 공정 전에, 상기 기판과 상기 재치체의 상대 위치를 조정하는 위치 조정 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 재치 방법.
  25. 제13항에 기재된 기판 재치 방법에 의해, 상기 기판을 상기 재치체에 재치한 후에, 상기 기판과 상기 재치체의 상대 위치를 조정하는 위치 조정 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 방법.
  26. 제13항에 기재된 기판 재치 방법에 의해, 상기 기판을 상기 재치체에 재치한 후에, 상기 기판을 상기 재치체로부터 이격시켜, 상기 기판과 상기 재치체의 상대 위치를 조정하는 위치 조정 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 방법.
  27. 제25항 또는 제26항에 있어서,
    상기 재치체는, 상기 기판에 소정 패턴의 성막을 행하기 위해 이용되는, 상기 소정 패턴을 갖는 마스크인 것을 특징으로 하는 얼라인먼트 방법.
  28. 기판에 소정 패턴의 성막을 행하는 성막 방법으로서, 제27항에 기재된 얼라인먼트 방법에 의해, 상기 기판과 상기 마스크의 상대 위치의 조정을 행한 후에, 상기 기판에 상기 소정 패턴의 성막을 행하는 것을 특징으로 하는 성막 방법.
  29. 기판에 형성된 유기막 및 금속막 중 적어도 일방의 막을 가지는 전자 디바이스의 제조 방법으로서,
    제28항에 기재된 성막 방법에 의해 상기 적어도 일방의 막이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스의 제조 방법.
  30. 전자 디바이스의 제조 방법으로서,
    제13항 내지 제24항 중 어느 한 항에 기재된 기판 재치 방법에 의해, 상기 기판을 상기 재치체에 재치한 후에, 상기 기판에 성막하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스의 제조 방법.
  31. 제30항에 있어서,
    상기 전자 디바이스가, 유기 EL 표시장치의 표시 패널인 것을 특징으로 하는 전자 디바이스의 제조 방법.
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