JP5373825B2 - フレキシブルフィルムのパターニングシステム - Google Patents
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Description
可動エレメント4のサイズの目安は5×5mmから50×50mmである。このエレメントが1つの方向だけに動くようなことが起こる場合は、1つのエレメントの最大の長さがテーブルのサイズであってよく、ただしその幅は5mmと50mmの間である。
個々の密着強化層の厚さは、フィルムを支持する面を平坦にするように、可動エレメントの高さの違いを補償するために用いてよい。このように、これらの層の高さを変えることにより、可動エレメントの高さの違いが補償される。
この弛み易さは、可動エレメントの間のギャップの幅の増大につれて増加する。ギャップの幅が増加すると、ある曲げ半径を持ったフィルムは、このギャップの中に容易に垂れ下がる。
さらに、この弛み易さはギャップの長さの増大につれて増加する。格子の配置に依存して、このギャップは複数の可動エレメントに沿って延伸する。ギャップの長さの増大は、フィルムのたるみが単一の曲面となることを促進する。単一曲面は1つの軸に沿って曲がっている面である。単一曲面の曲げは、フィルムにおける変形が非常に少ないので、比較的扱い易い。
ギャップの長さの減少は、フィルムを強制的にいわゆる複曲面(double-curved bending)の曲げにする。複曲面は、少なくとも2つの軸にそって曲がっている面である。複曲面の曲げは、単一曲面の曲げに比べ、さらに大きなフィルム変形を必要とし、したがって実現することは、はるかに難しい。したがって、これらのエレメントにジグザグのエッジを設けることにより、ギャップが複数のエレメントに沿って揃って延伸することが回避され、フィルムの垂れ下がりが最少となる。
四角形の可動エレメントの嵌合側にジグザグが設けられている場合(図2C)、ギャップの延伸は、局所的には四角形の一辺よりも小さく、これによりこのパターンをとりわけ比較的薄いフィルム(目安として5−20μm)に適したものとしている。
図2Bの六角形エレメントによる構成は、ギャップの長さが六角形の一辺に沿ったものであることを示している。このギャップの長さは複数の四角形の構成でのギャップの長さとジグザグの間のギャップの長さとの間にあり、したがって平均的な厚さ(目安として50−200μm)のフィルムに適している。
個々の磁気エレメント14は、動的な磁気力が発生されるようにアドレスされるようにしてもよい。この磁気ウェーブの伝搬速度はフィルム5の所望の移送速度に同期している。このようにして、フィルム5はリール12を回転することなく移送される(「静的移動」)。
1つの実施形態では、このアライメントシステム11は、フィルム5上に設けられたマーカーパターンを検出するために配置されている。たとえば、露光によってフィルム5は変形した状態となり、フィルム5に備えられたアライメントマーカー9、9’、9”および変形の目安が測定される。このアライメントマーカー9、9’、9”は事前に露光されて、パターニングされた層に含まれるようにしてもよい。図3Aは、フィルム5における変形した状態にあるこれらのマーカー9、9’、9”を示す。
アライメントシステム11は、変形したフィルム5において、測定されたマーカー9、9’、9”を所望のマーカーパターンに関して位置合わせすることによって、変形補償システム3を制御する。好ましいマーカーパターンは、図3Bに示すように、変形していない状態のフィルム5から測定される。この好ましいマーカーパターンはまた、変形状態におけるマーカー9、9’、9”の位置からも決定することができる。これは、たとえば好ましいマーカーパターンにおいて、マーカー9、9’、9”の間隔に比べて変形が小さい場合に、実施可能である。
この好ましいマーカーパターンはテーブルの上に突出していてよい。
本システムにフィルム5を供給するために、本システムはフィルム供給装置(不図示)を備える。
もう1つの実施形態では、本システムをスキャナー型の方法で動作するようにしてもよい。この動作モードでは、フィルム5および照射手段は互いに相対的に移動し、照射されているフィルム5の一部のみがテーブルにクランプ固定される。この動作モードは3つの点で有利である。第1に、画像の大きさは画像システムの大きさで決定されない。第2に、画像の継ぎ合わせが最少となり、第3に連続的な処理フローが可能である。レーザー直描パターニングまたはマスクレス露光システムを用いて連続パターニングシステムを提供できる。
異なるタイプの粒子形状は以下のように用いられる。
− 製造プロセスの最適化
− 異方性を導入して、様々な方向でのクランプ固定特性をコントロールする。たとえば機械動作方向または横方向の特性を改善する、または基板に平行な力を改善する。
− 長い粒子を同じ方向に揃えることによって、導電特性を増強する。
− 粒子の(ポリマー)フィルムへの接着を改善する。
フィルム5に磁気粒子20を導入することの1つの有利性は、特定の粒子の密度を選択することによって、クランプ固定力が影響されるということである。フィルムにおける磁性粒子20のもう1つの有利性は、この磁性粒子20がフィルムにおける水/湿気のバリヤとなることである。
もう1つの有利性は、真空クランプ固定が真空引の穴の近くでのみ可能であるのに対して、磁気力のスイッチングのオン・オフは速くかつ全面に渡り印加できることである。真空クランプ固定の不利な点は、必要な圧力を維持するために、真空引きの穴から空気を除去しなければならないことである。これは大きな真空力のスポットを生じさせ、従って基板の変形を生じさせる。
磁気クランプ固定の場合は、フィルムとテーブルの間の気泡を避けるように、穴または溝がクランプに設けられている。
Claims (19)
- フレキシブルフィルム(5)における変形を補償するためのテーブル(1)であって、
支持ベース(2)と
変形補償システム(3)とを備え、
前記変形補償システムは、前記ベース(2)に支持された複数の可動エレメント(4)を備え、前記可動エレメントは前記フレキシブルフィルムを支持するための面を形成し、前記可動エレメントは前記フィルム(5)をクランプ固定するためのクランプ(6)を備え、
前記可動エレメント(4)は、前記クランプ固定されたフィルムを引き延ばして所定の形状となるように、前記フィルム(5)を支持するための前記面に対し平行に個別に可動となっていることを特徴とするテーブル(1)。
- 請求項1に記載のテーブルにおいて、
前記複数の可動エレメント(4)は、可動エレメントの格子を形成するように、実質的にテーブル(1)の全面に渡って規則的に分布していることを特徴とするテーブル。
- 請求項1に記載のテーブルにおいて、
前記可動エレメント(4)は、最小の距離が2から20μmの間の範囲であって、そして最大の距離が50から500μmの間の範囲のギャップによって隔てられていることを特徴とするテーブル。
- 請求項3に記載のテーブルにおいて、
前記ギャップが複数のエレメントに沿って揃って延伸することを回避し、前記フィルムの弛みを最小とするために、前記エレメントはジグザグのエッジを持つことを特徴とするテーブル。
- 請求項1に記載のテーブルにおいて、
前記可動エレメント(4)は、さらに、前記可動エレメントを動かすためのアクチュエータ(7)を備えることを特徴とするテーブル。
- 請求項1に記載のテーブルにおいて、
前記可動エレメント(4)は、さらに、フィルム(5)への前記クランプ(6)の把持を改善するための密着強化層(8)を備えることを特徴とするテーブル。
- 請求項6に記載のテーブルにおいて、
前記密着強化層(8)は摩擦増加層であることを特徴とするテーブル。
- 請求項6に記載のテーブルにおいて、
個々の前記密着強化層の厚さは、前記フィルムを支持する面が平坦となるように、前記可動エレメントの高さの違いを補償することを特徴とするテーブル。
- 請求項1に記載のテーブルにおいて、
前記クランプ(6)は磁気クランプであることを特徴とするテーブル。
- 請求項1に記載のテーブルにおいて、
前記クランプ(6)は真空クランプであることを特徴とするテーブル。
- フレキシブルフィルム(5)をパターニングするためのシステム(10)であって、
前記フィルムを供給するためのフィルム供給装置と、
請求項1に記載のテーブルと、
前記テーブルに渡って少なくとも部分的に前記フィルムを動かす移送手段と、
前記テーブルの上で前記フィルムの部分をパターニングするために配置されたパターニングユニットと、
前記テーブルに設けられて、前記変形補償システム(3)に通信で接続されているアライメントシステム(11)とを備えることを特徴とするシステム(10)。
- 請求項11に記載のシステムにおいて、
前記アライメントシステム(11)は、前記フィルム(5)の上に設けられたマーカーパターン(9、9’、9”)を検出するように配置されていることを特徴とするシステム。
- 請求項11に記載のシステムにおいて、
オープンリール式(“reel-to-reel”)の製造プロセスに使用されるように、前記移送手段は少なくとも2つのリール(12)を備えることを特徴とするシステム。
- 請求項13に記載のシステムにおいて、
前記リールの少なくとも1つは複数の磁気エレメント(14)を備え、各々の磁気エレメント(14)は、前記フィルム(5)の移送を制御するように個別にアドレス可能となっていることを特徴とするシステム。
- 請求項11乃至14のいずれか1項に記載のシステムにおいて、
前記パターニングユニットは照射手段(13)を備えることを特徴とするシステム。
- フレキシブルフィルムをパターニングする方法(15)であって、
フレキシブルフィルムをパターニングするためのシステムを用い、前記システムは前記フィルム(5)における変形を補償するためのテーブルを備え、前記テーブルは支持ベース(2)と変形補償システム(3)とを備え、前記変形補償システムは前記ベース(2)によって支持された複数の可動エレメント(4)を備え、前記可動エレメントは前記フィルムを支持するための面を形成し、前記可動エレメントはフィルムをクランプ固定するクランプ(6)を備え、前記方法は以下のステップ、
フレキシブルフィルムをパターニングするためのシステムを提供するステップ(16)と、
フィルムを供給するステップ(17)と、
前記フィルムを前記可動エレメント(4)にクランプ固定するステップと、
前記フィルムを所定の形状に引き延ばすように、前記可動エレメントを前記フィルム(5)に対し平行に個別に動かすステップと、
前記テーブルの上で前記フィルムをパターニングするステップ(18)とを含むことを特徴とする方法。
- 請求項16に記載の方法において、
前記フィルム(5)に対し直角に前記可動エレメント(4)を個別に動かして、前記フィルムを前記所定の形状となるように引き延ばすステップをさらに備えることを特徴とする方法。
- 請求項16に記載の方法において、
前記フィルム(5)は、前記フィルムを磁気的にクランプ固定するための磁性部分(19)を備えることを特徴とする方法。
- 請求項18に記載の方法において、
前記磁性部分(19)は、クランプ固定力を局所的に調整するための磁性粒子(20)を備えることを特徴とする方法。
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