TWI399123B - The organic EL element manufacturing step is a metal sheet mechanism - Google Patents

Description

有機EL元件製造步驟用金屬薄板之貼框裝置

本發明係關於，例如，將在有機EL元件製造步驟中所使用的蒸鍍遮罩上所使用，如具有具備多數個狹縫之開口部的金屬薄板般之極薄且具有剛性不同的領域之有機EL元件製造步驟用金屬薄板，在無撓曲之平坦狀態下固定於框的一種裝置。

以往，在有機EL元件製造中進行真空蒸鍍，其蒸鍍遮罩是使用具有具備多數個狹縫之開口部的金屬薄板。然後在蒸鍍時將其蒸鍍遮罩，藉由磁鐵等安裝在具備有比上述開口部更大的開口部之剛性大的框上。但是近年來，圖型化之微細化的進展，使形成於開口部之狹縫變微細，且蒸鍍遮罩本身之板厚亦變薄之時，僅使用磁鐵等將蒸鍍遮罩固定於框上，在開口部上會產生撓曲或歪斜，因而會有無法維持狹縫精度的問題。因此，本申請人首先開發出：將蒸鍍遮罩安裝於框的狀態下，可將該蒸鍍遮罩保持朝向開口部之狹縫方向伸張的狀態，之蒸鍍遮罩的保持治具(參照特許文獻1)。使用該保持治具時，可使構成開口部之狹縫的細線部分保持朝向長度方向伸張的狀態，因此可將狹縫保持為直線狀且保持於一定間距上，因此有可獲得高精細圖型化之優點。

然而，特許文獻1中所記載的蒸鍍遮罩，在一個蒸鍍遮罩上僅形成一個開口部，因此有生產性不佳的問題。因 而，為了提高生產性，如第22圖所示，應可考慮使用一個蒸鍍遮罩上形成複數個開口部2之附設多面的遮罩1，使用固定夾具3及可動夾具4將該遮罩的兩端夾持，可動夾具4如箭頭記號所示，可保持朝向開口部2之狹縫方向伸張的狀態。但是，具備多數個開口部2之附設多面的遮罩1，藉夾具3,4將其兩端夾持來伸張之時，開口部與非開口部的剛性不同，不論是否將遮罩之全寬均等地伸張，在開口部上會產生歪斜或撓曲，因而無法獲得所要之狹縫圖型，而且，亦證實各開口部之位置精度不佳。例如，有機EL元件製造所使用的蒸鍍用附設多面之遮罩的情況，在各開口部之位置方面雖然要求±10μm以下的總間距，但是卻難以達成如此的尺寸精度。

因而，在解決本問題點的方法上，如第23圖所示，本申請人首先開發出：在形成複數個開口部2之附設多面的遮罩1A之4邊上事先形成安裝部5，將該安裝部5捲繞在設置於框的捲軸上，將該捲軸往上捲動，來將附設多面的遮罩1A朝向縱橫兩方向伸張，以作成保持平坦狀態之構成的附設多面之遮罩裝置(參照特許文獻2)。該附設多面之遮罩裝置，是將附設多面之遮罩1A朝向縱橫兩方向伸張，因此使附設多面之遮罩1A作成平坦且各開口部之狹縫可排列成平行，因此有可獲得附設多面且精細圖型化之優點。

然而，特許文獻2中所記載的附設多面之遮罩裝置，在附設多面之遮罩為薄而容易歪斜的情況等，在開口部產生歪斜或撓曲，而有無法獲得所要的狹縫圖型之問題。並且，該附設多面之遮罩裝置，是為在框的4邊上分別設置捲軸，來捲繞附設多面之遮罩1A之4邊的安裝部5，因此亦有構造複雜且成本高的問題。

[特許文獻1]日本特開2003-68453號公報

[特許文獻2]日本特開2003-332056號公報

本發明是鑑於相關問題點而開發者，其課題在提供一種：將如蒸鍍用之附設多面之遮罩般，如具有具備多數個狹縫之複數個開口部般之具有剛性不同的領域的金屬薄板，在無撓曲且將開口部等保持於所要的尺寸精度之狀態下，固定於簡單構造的框上之方法及裝置。

本發明是一種金屬薄板之貼框裝置，是使矩形之金屬薄板於被伸張的狀態下被固定於矩形之框上的貼框裝置，其特徵為：具備有：在上述框及配置於其上之上述金屬薄板之4邊各個上，以複數個均等地定位而設置的複數個板伸張單元，各板伸張單元具有：將金屬薄板加以夾持的夾具、及夾具移動手段，用以移動該夾具以使該夾具將伸張力作用於被夾持的金屬薄板上，在金屬薄板之相鄰2邊之間的角落部附近，設置有追加板伸張單元，該追加板伸張單元具有：將金屬薄板加以夾持的夾具、及使該夾具朝相鄰2邊之各方向移動的夾具移動手段。

本發明是一種金屬薄板之貼框裝置，其中：追加板伸張單元，更具有：第一基部構件、及在該第一基部構件上平行於金屬薄板，且保持可朝伸張力附加方向上朝直角方向移動之第二基部構件、及在該第二基部構件上，保持可朝對金屬薄板之伸張力附加方向平行地移動之夾具支持台，上述夾具及將其開閉之夾具開閉機構是被保持於上述夾具支持台上，上述夾具移動手段，是將夾具支持台及第二基部構件連結，以使上述夾具支持台相對於第二基部構件為朝伸張力附加方向移動。

本發明是一種金屬薄板之貼框裝置，其中：追加板伸張單元，更具有：基部構件、及在該基部構件上可保持平行地朝金屬薄板之伸張力附加方向移動之第一夾具支持台、及在該第一夾具支持台上平行於上述金屬薄板，且保持可朝伸張力附加方向上朝直角方向移動之第二夾具支持台，上述夾具及將其開閉之夾具開閉機構是被保持於上述第二夾具支持台上，上述夾具移動手段，是將第一夾具支持台及基部構件連結，以使上述第一夾具支持台相對於上述基部構件為朝伸張力附加方向移動。

本發明是一種金屬薄板之貼框裝置，其中：追加板伸張單元，更具有：基部構件、及在該基部構件上可保持平行地朝金屬薄板之伸張力附加方向移動之夾具支持台，上述夾具是在上述夾具支持台上，平行於以上述夾具所夾持的金屬薄板，且被保持可朝伸張力附加方向上朝直角方向移動，將上述夾具開閉之夾具開閉機構是被保持於上述夾具支持台上，上述夾具移動手段，是將上述夾具支持台及基部構件連結，以使上述夾具支持台相對於上述基部構件為朝伸張力附加方向移動。

根據本發明的話，將金屬薄板之4邊分別由複數個夾具夾持，並將伸張力作用於金屬薄板上，來使金屬薄板作成無歪斜或撓曲的狀態之際，夾持金屬薄板的角落部附近之夾具，可朝向與伸張方向成直角的方向移動，因此挾持角落部而配置的夾具不會互相干涉，故金屬薄板的角落部亦可拉伸到預定之位置。將金屬薄板保持在無歪斜或撓曲之狀態，且亦包括角落部在內可位於預定之尺寸精度範圍內，因而可在該狀態下固定於框。如此一來，將金屬薄板固定於框上形成的金屬薄板，金屬薄板為保持在無歪斜或撓曲之狀態、且金屬薄板內之各部之位置(例如，具有複數個開口部之金屬薄板中之各開口部的位置)，亦包括角落部在內而保持在預定之尺寸精度範圍內，使用該金屬薄板而例如進行蒸鍍時，可正確地進行微細圖型之蒸鍍。

第1實施形態

本發明適用於必須保持歪斜或撓曲之平坦狀態的任意之金屬薄板，尤其是適用於作為要求精密度之有機EL元件製造用之蒸鍍用附設多面遮罩而使用的金屬薄板較佳。以下，將舉有機EL元件製造中作為蒸鍍用附設多面遮罩而使用的金屬薄板為例，而說明本發明之較佳實施形態

第1圖是本發明之第1實施形態的金屬薄板的貼框裝置之概略平面圖，第2圖是顯示藉由該貼框裝置進行貼框動作之程序的概略剖面圖，第3圖是顯示該貼框裝置所處理的金屬薄板及框之概略立體圖，第4圖是顯示貼框後之金屬薄板及框之概略立體圖，第5圖是顯示將該貼框裝置中的板伸張‧框押壓單元、夾具打開的狀態之概略側面圖，第6圖(a)、(b)是顯示該板伸張‧框押壓單元、在不同的作動狀態下之概略側面圖。

第3圖中，符號11是作為蒸鍍遮罩來使用的矩形金屬薄板，其中，具有多數個狹縫12a的開口部12形成複數個、且縱橫地並列。符號13是安裝金屬薄板11用的金屬製之框，具備有包含形成金屬薄板11之多數個開口部12之領域大小的開口部14。金屬薄板11在縱橫兩方向均作成比框13更大的尺寸，在大致對應於框13之外周緣的位置上，形成折曲容易且可切斷的易切斷線15。而易切斷線15具備可承受施加於金屬薄板11上的伸張力之強度。

藉由點焊焊接等將該金屬薄板11固定於框13上，藉由利用易切斷線15將該周緣部分切斷、除去，可形成第4圖所示之蒸鍍遮罩裝置17。在此所使用的金屬薄板11之厚度、開口部12之尺寸、其上所形成的狹縫之尺寸等雖然並未特別加以限定，但是代表性的尺寸方面，例如可為：金屬薄板11之厚度為30~200μm，開口部12之尺寸是長度為50~70mm，寬度為30~50mm，狹縫之寬度為50~100μm，構成狹縫之金屬細線的寬度為100~150μm。

第1圖中，全體以參考符號20表示的金屬薄板之貼框裝置，具備有：配置於既定位置上之矩形框13及配置於其上的金屬薄板11之各個4邊上複數個均等並列地設置之板伸張‧框押壓單元21、及保持該板伸張‧框押壓單元21的支持軌道22。支持軌道22平行於配置在既定位置上之金屬薄板11之各邊而配置。各板伸張‧框押壓單元21保持可移動於該支持軌道22上，沿著該支持軌道22移動到所要位置，且為可固定於該位置上的構造。

各板伸張‧框押壓單元21，如第5圖、第6圖所示，具備有：可移動於支持軌道22上且可保持在所要位置上固定之形態的支持台24、在該支持台24上經由直動導件25朝水平且在金屬薄板11之邊11a上可保持朝直角方向移動之移動台26、設置於該移動台26上來夾持金屬薄板11之夾具27，為具備有固定於移動台26上之固定爪27a及可對該固定爪27a開閉的可動爪27b之夾具27、使該夾具27以經由肘節關節28開閉的方式所設置的空氣氣缸等之壓缸裝置29、使移動台26相對於支持台往復移動的方式而設置的空氣氣缸等之壓缸裝置30、固定於支持台24上的補助支持台32、在該補助支持台32上經由直動導件33而保持與移動台同方向地移動之框押住構件34、使該框押住構件34對支持台24及補助支持台32往復移動的方式所設置的空氣氣缸等之壓缸裝置35、及以限制移動台26的前進位置(移動台26朝向金屬薄板11之中心的方向移動之際的移動界限位置)及框押住構件34的後退位置(框押住構件34從框13朝向遠離的方向移動之際的移動界限位置)的方式所設置的止板36等。

連結到移動台26的壓缸裝置30，如第6(b)圖所示，是使其活塞桿30a伸出的方式而作動時使移動台26向箭頭記號A方向移動，使箭頭記號A方向之伸張力作用於以夾具27夾持的金屬薄板11上者，是使伸張力作用於以夾具27夾持的金屬薄板11上的方式而構成移動該夾具的夾具移動手段。框押住構件34，是為具備有支持框13的支持面34，同時夾具27在朝向與施加於金屬薄板11上的伸張力之方向A為相反方向的箭頭記號B方向移動時，可將箭頭記號B方向的押壓力作用在框13上之構造。

在此，從上方看金屬薄板11及框13的狀態，框押住構件34將押壓力作用在框13上之領域，是框13之中的夾具27在重疊於伸張金屬薄板11的領域之領域上(對應的領域上)，以可產生箭頭記號B方向的彈性變形之方式而設定者。較佳為，框押住構件34將押壓力作用於框13上之領域的中心，是夾具27為重疊於將金屬薄板11伸張之領域的中心之位置的方式而設定。連結到框押住構件34的壓缸裝置35，是使其活塞桿35a以伸出的方式來作動時，使框押住構件34朝向箭頭記號B方向移動，來使與賦予金屬薄板11上的伸張力為相反方向之押壓力作用在框13上者，框押住構件是構成：使押壓力作用於上述框上的方式，而移動上述框押住構件的框押住構件移動手段。

第1圖中，金屬薄板11之4邊11a所分別設置的複數個板伸張‧框押壓單元21，是配置與位於預定位置的金屬薄板11之開口部12及非開口部12b成對應，分別設置之夾具27的寬度，是使金屬薄板11之開口部12並列的領域及無開口部之領域，可良好地分別伸張之方式而決定。藉由此構成，可使金屬薄板11之開口部12朝縱方向並列的領域及朝橫方向並列的領域，及在無開口部之位置上朝縱方向延伸之領域及朝橫方向延伸的領域，分別使用個別的夾具27而良好地伸張。

複數個板伸張‧框押壓單元21上分別所設置的伸張力賦予用之壓缸裝置30(參照第5圖、第6圖)中，是以個別調整伸張力的方式，經由調節器而接續到作動流體供給配管。並且，該作動流體供給配管中，是以可使全部之壓缸裝置同時作動的方式，而設置共同的開閉閥，而且使各壓缸裝置之作動時序可分別地調整的方式，亦在連到各壓缸裝置的作動流體供給配管中設置速度控制器。複數個板伸張‧框押壓單元21上分別所設置的押壓力賦予用之壓缸裝置35，亦接續到作動流體供給配管。在該作動流體供給配管，是以可同時調整全部的壓缸裝置35之押壓力的方式，而設置共同的調節器。而，該作動流體供給配管，亦以可個別調整各壓缸裝置35所致之押壓力的方式，而設置調節器。

但是，雖然上述板伸張‧框押壓單元21，是持有將金屬薄板11伸張的板伸張功能、及將框13押壓的押壓功能之一體構造，但是亦可使持有由固定爪27a、夾具27、及壓缸裝置29,30所構成的板伸張功能之板伸張單元21a、及由框押住構件34及壓缸裝置35所構成的框押住單元21b各自獨立地設置。

其次，將說明使用上述構成之貼框裝置20對金屬薄板的框之安裝動作。在打開各板伸張‧框押壓單元21的狀態(參照第5圖)下，使框13承靠於框押住構件34上，在其上放置金屬薄板11，並使用複數個夾具27將其4邊加以夾持。該狀態是為第1圖、第2(a)圖及第6(a)圖所示的狀態。其次，如第6(b)圖所示，將作動流體供給到伸張力賦予用之壓缸裝置30中，來使活塞桿30a伸出，以使夾具27朝箭頭記號A方向移動，來使伸張力作用於金屬薄板11上。因而，如第1圖所示，金屬薄板11藉由多數個夾具27而向縱橫兩方向伸張。在此狀態下，以目視檢查金屬薄板11的表面狀態，若有歪斜或撓曲的話，調整連結到將該領域伸張之夾具27的壓缸裝置30之作動流體壓力，而調整成使金屬薄板11為無歪斜或撓曲之平坦狀態、且開口部12之狹縫12平行地排列的狀態。並且，檢查形成於金屬薄板11之各開口部12的位置，使各開口部進入預定尺寸精度內的位置之方式，而調整各壓缸裝置30的作動流體壓力。依上述，可作成使金屬薄板11為無歪斜或撓曲之平坦狀態，且使各開口部位於預定尺寸精度範圍內的狀態。

其次，如第6(b)圖所示，將作動流體供給到押壓力賦予用之壓缸裝置35中，來使活塞桿35a伸出，以使框13朝箭頭記號B方向押壓。在此，使框13朝箭頭記號B方向押壓的押壓力，是事先設定為大致等於夾具27作用於金屬薄板11上的伸張力。因而，框13朝箭頭記號B方向彈性變形，來產生相反方向的復原力。在此狀態下，如第2(b)圖所示，使用雷射焊接機40將金屬薄板11點焊於框13上。該點焊是將雷射焊接機40依序地在所要的點焊位置進行移動。因而，金屬薄板11之複數個地點藉由點焊焊接部42(參照第1圖)而固定於框13上。其後，如第2(c)圖所示，打開夾具27而解除對金屬薄板11之夾持，使框押住構件34後退而解除對框13之押壓。

然而，藉由夾具27將金屬薄板11朝向箭頭記號A方向伸張之時在該金屬薄板11上產生箭頭記號B方向之伸張力(復原力)。因此，打開夾具27之時，如第2(d)圖所示，在金屬薄板11上所產生箭頭記號B方向之伸張力，為直接作用於框13上，而使框13朝向箭頭記號B方向伸張。若，對框13未施加絲毫的押壓力之時，該框13藉由本身的剛性而支撐金屬薄板11之箭頭記號B方向的伸張力，此時框13藉由金屬薄板11而朝向箭頭記號B方向伸張而產生彈性變形。雖然事先將框13的剛性設定為極大之時，該彈性變形為幾乎可忽略之微小項目，但是實際應用上為了輕量化、降低成本等，不得不將框13的剛性作成小某程度，此時，產生無法忽略的彈性變形，伴隨於此，金屬薄板11收縮，使內部已產生的伸張力降低。因而，金屬薄板11產生歪斜或撓曲，且各開口部12之狹縫12a之平行度會走樣，而無法獲得所要的狹縫圖型，或者各開口部12之位置變成走樣。

相對於此，本實施形態中，將金屬薄板11固定於框13上之際，使箭頭記號B方向的押壓力作用於框13上而彈性變形，故在框13上產生箭頭記號A方向的復原力。因此，將金屬薄板11固定於框13，在打開金屬薄板11及框13之際，將金屬薄板11上產生朝向箭頭記號B方向的伸張力，變成藉由框13上所產生之箭頭記號B的復原力及框13的剛性而支撐，即使框13的剛性為小之時，框13亦不會在金屬薄板11上伸張而朝向箭頭記號A方向更進一步地變形。從而，金屬薄板11不會收縮，使施加於金屬薄板11上的伸張力保持原樣。如此一來，即使框13的剛性為小之時，亦可保持金屬薄板11於無歪斜或撓曲的狀態，且保持各開口部於位於所要之尺寸精度範圍內的狀態。換言之，使用剛性為小且價廉的框13，可保持金屬薄板11於無歪斜或撓曲的狀態，且可保持各開口部於位於所要之尺寸精度範圍內的狀態。

在此，框押住構件34施加於框13的押壓力，事先設定為大致等於夾具27作用於金屬薄板11上的伸張力時，可使金屬薄板11上的伸張力和在框13上產生的復原力抵消，因而較佳。然而，即使兩者或多或少有差異時，框13本身具備有某個程度的剛性，因此不會有問題。可將藉由框押住構件34而施加於框13上的押壓力，和夾具27施加於金屬薄板11上的伸張力的差，事先設定為伸張力之±30%左右以內的話即可。

將金屬薄板11固定於框13上，將夾具27打開且使框押住構件34後退而解除框的押壓之後，利用易切斷線15將金屬薄板11的周緣部分除去。依上述，如第4圖所示，可製造出將金屬薄板11固定於框13上所構成的蒸鍍遮罩裝置17。在所製成的蒸鍍遮罩裝置17中，可保持金屬薄板11於無歪斜或撓曲的狀態，且使各開口部12之狹縫12a亦正確地保持於排列平行的狀態，而且各開口部12的位置亦保持於所要之尺寸精度內。如此一來，藉由使用該蒸鍍遮罩裝置17進行蒸鍍時，可正確地進行微細圖型的蒸鍍。

而，雖然在上述的動作說明中，是使金屬薄板11藉由多數個夾具27伸張以調整成平坦狀態之後，將押壓力作用於框13上，但是將押壓力作用於框13上的時期並未限定於此，藉由夾具27將伸張力作用時，亦可同時地使押壓力作用。又，雖然在上述實施形態中，是將伸張力作用於金屬薄板11上的壓缸裝置30和將押壓力作用於框13上的壓缸裝置35個別地設置，但是本發明並不限定於此，亦可使用共同的壓缸裝置。以下，將說明此情況的實施形態。

第7圖是顯示本發明其它實施形態的貼框裝置中所使用中之板伸張‧框押壓單元21A的視圖。在該板伸張‧框押壓單元21A中，支持台24A上安裝補助支持台32A，經由直動導件33將框押住構件34A可移動地保持在補助支持台32A上，使該框押住構件34A藉由連結桿50而連結到壓缸裝置30A之活塞桿30a上。壓缸裝置30A使其氣缸30b被保持於保持夾具27的移動台26上。藉由此構成，將壓缸裝置30A作動時，可使移動台26及框押住構件34A朝向互相遠離的方向(箭頭記號A方向及箭頭記號B方向)及靠近之方向移動，且此時可將賦予移動台26及框押住構件34A的力作成相同的力。而，符號55是將連結桿50朝向圖中之右方押壓而使框押住構件34A回復到後退位置用的彈簧。其它的構造是與第5,6圖所示的實施形態之板伸張‧框押壓單元21相同。第7圖所示的板伸張‧框押壓單元21A是用來取代第1圖所示的貼框裝置20中的板伸張‧框押壓單元21。

採用第7圖所示之板伸張‧框押壓單元21A的貼框裝置之中，亦使框13承靠於框押住構件34A上，在其上放置金屬薄板11，並使用夾具27加以夾持。其次，如第7(b)圖所示，將壓缸裝置30A使其活塞桿30a朝向伸出的方向作動，並且將框押住構件34A朝向箭頭記號B方向移動。因而，藉由夾具27來使伸張力作用於金屬薄板11上，同時可將等於該伸張力大小的押壓力經由框押住構件34A而施加於框13上。接著，將施加在金屬薄板11的各個4邊上分別均等地配置之複數個夾具27上之伸張力加以調整，來使金屬薄板作成於無歪斜或撓曲的狀態，且使各開口部作成位於預定之尺寸精度範圍內的狀態之後，將該金屬薄板11點焊於框13上而固定。此時，在重疊於夾具27將伸張力作用於金屬薄板11上之領域上的框13之領域中，框押住構件34A將等於該伸張力大小的押壓力加以作用而產生彈性變形，因此在金屬薄板11及框13上分別產生相同大小且互成相反方向的復原力，因此，在將金屬薄板11及框13釋放之際，金屬薄板11的復原力與框13之復原力互相抵消，而不會有框13在金屬薄板11被伸張而變形之事，從而，金屬薄板11不會收縮，保持施加預定之伸張力後的狀態。如此一來，使用剛性為小且價廉的框13，可保持金屬薄板11於無歪斜或撓曲的狀態，且使各開口部保持位於所要之尺寸精度範圍內的狀態。

第7圖所示之板伸張‧框押壓單元21A中，藉由共同的壓缸裝置30，可進行對金屬薄板11之伸張力賦予及對框13之押壓力賦予，因而使裝置構造或控制系統簡單化，同時可使賦予金屬薄板11的伸張力與賦予框13的押壓力作成相等，將金屬薄板11固定於框13上，可更進一步地防止隨後開放之後的金屬薄板11之收縮，因而可獲得：可保持金屬薄板於無歪斜或撓曲的狀態，且使各開口部保持於位於所要之尺寸精度範圍內之狀態的優點。

第8圖是顯示本發明又另外一個實施形態的貼框裝置中所使用之板伸張‧框押壓單元21B的視圖。在該板伸張‧框押壓單元21B中，將支持台24B的寬度擴大，在其上面設置長的軌道57，經由直動導件25使移動台26可移動地保持於該軌道57上，同時經由直動導件33將框押住構件34A保持可移動。接著，使該框押住構件34B藉由連結桿50B而連結到保持於移動台26上的壓缸裝置30B之活塞桿30a上。其它構造是與第7圖所示之板伸張‧框押壓單元21B相同。在第8圖之板伸張‧框押壓單元21B中，如第8(b)圖所示，亦藉由將壓缸裝置30B作動，使移動台26及保持於其上的夾具27朝向箭頭記號A方向移動，同時使框押住構件34B朝向箭頭記號B方向移動，藉由夾具27來使伸張力作用於金屬薄板11上，同時可將等於該伸張力大小的押壓力經由框押住構件34B而施加於框13上。該實施形態中，藉由將移動台26及框押住構件34B可移動地保持於軌道57上時，可獲得構造簡單化的優點。

第9圖是顯示本發明更另一個實施形態的貼框裝置中所使用中之板伸張‧框押壓單元21C的視圖。在該板伸張‧框押壓單元21C中，經由直動導件60將補助移動台61可移動地保持在支持台24C上，經由直動導件25使移動台26可移動地保持於該補助移動台61上。接著，補助移動台61上安裝有框押住構件34C，將壓缸裝置30C之氣缸30b安裝於移動台26上，同時將其活塞桿30a連結到該補助移動台61上。並且，亦設置使框押住構件34C回復到後退位置用的彈簧63。其它構造是與第7圖所示之板伸張‧框押壓單元21B相同。在第9圖之板伸張‧框押壓單元21C中，如第9(b)圖所示，亦藉由將壓缸裝置30C作動，使移動台26及保持於其上的夾具27朝向箭頭記號A方向移動，同時使框押住構件34C經由補助移動台61而朝向箭頭記號B方向移動，藉由夾具27來使伸張力作用於金屬薄板11上，同時可將等於該伸張力大小的押壓力經由框押住構件34C而施加於框13上。該實施形態中，藉由將補助移動台61及移動台26重疊地配置，可獲得使板伸張‧框押壓單元21C之寬度被作成小的優點。

第10圖是本發明之更另一實施形態的貼框裝置20D之概略平面圖。本實施形態的貼框裝置20D中，位於預定位置上的金屬薄板11之各個4邊上，配置複數個板伸張‧框押壓單元21。並且在金屬薄板11之相鄰2邊11a間的角落部11b上配置追加板伸張‧框押壓單元21d，其它構造是與第1圖之實施形態相同。在第10圖所示的實施形態中，亦藉由各板伸張‧框押壓單元21及追加板伸張‧框押壓單元21d之夾具27而夾持金屬薄板11，伸張後調整為平坦，並固定於押壓狀態之框上。此時，將金屬薄板11首先藉由配置在角落部11b之追加板伸張‧框押壓單元21d的夾具27向對角線方向拉緊，其次，藉由4邊的板伸張‧框押壓單元21向縱橫兩方向伸張。依此方式，首先，將金屬薄板11的4個角落部11b向對角線方向拉緊時，可使金屬薄板11全體被拉伸，同時將角落部11b配置在夾住位置的夾具27之間的干涉作成小之時，可使縱橫兩方向的拉伸力作用在金屬薄板11全面上。因而，可獲得：可保持金屬薄板於毫無歪斜或撓曲的狀態，且使開口部12保持於位於所要之尺寸精度的位置之優點。

而，亦可使角落部11b之追加板伸張‧框押壓單元21d，由僅具有板伸張功能的板伸張單元來取代。

以上，雖然已說明本發明的較佳實施形態，但是本發明並不限定於該等之實施形態，在專利申請範圍所記載的範圍內可作種種變更。例如，將伸張力作用於夾具所夾持的金屬薄板上的方式而移動該夾具的夾具移動手段，或框押住構件將押壓力作用在上述框上的方式，而使上框押住構件移動的框押住構件移動手段，並不限定於實施形態所示的壓缸裝置，亦可變更為利用馬達者。並且，在上述實施形態中，供給到分別賦予伸張力到複數個板伸張‧框押壓單元21及追加板伸張‧框押壓單元21d的夾具27上之壓缸裝置30的作動流體壓力，可個別地調整，各夾具27將賦予金屬薄板11的伸張力作成可個別調整。該構成可精密地調整施加於金屬薄板11上的伸張力，因此即使在容易產生歪斜或撓曲之金屬薄板11上，亦可獲得可保持伸張成極為平坦的狀態之優點。然而本發明並不限定於此構成，例如，使用比較容易地保持於伸張成平坦狀態的金屬薄板11之情形，將配置於各邊11a上之複數個夾具27，例如亦可將對應於開口部12的夾具作為第1組，將對應於非開口部12b的夾具作為第2組的方式，而區分成複數個組，而將連結到各組之夾具的壓缸裝置之作動流體壓力作成共同地調整。

並且，配置於金屬薄板11之各邊11a的板伸張‧框押壓單元21、21B、21C等，並不一定限於將個別夾具配置在對應於於開口部12及非開口部12b之位置上的情況，亦可加上將開口部及非開口部適宜地組合，而變更為夾持寬廣的寬度，或者可夾持更細分的領域之方式，而變更為使用更多的夾具。無論如何，只要因應於所使用的金屬薄板之特性，使該金屬薄板可保持於伸張成無歪斜或撓曲的狀態之方式，而決定板伸張‧框押壓單元之夾具的使用數或配置即可。又，在上述實施形態中，雖然分別在金屬薄板11之4邊11a配置複數個板伸張‧框押壓單元，但是並不限定於此，亦可變更為僅在互相對向的2邊配置複數個板伸張‧框押壓單元。但是，在此情況，較佳為使開口部12的狹縫平行地排列之方式，而在和狹縫同方向的兩端上配置複數個板伸張‧框押壓單元。

第2實施形態

本發明，雖然可適用於：將有保持於無歪斜或撓曲之平坦狀態的需要之任意矩形金屬遮罩(亦稱金屬薄板)安裝在矩形的框架(亦稱框)之情況，但是尤其以適用於作為要求精密度之有機EL元件製造用之蒸鍍用附設多面遮罩的金屬蒸罩為較佳。以下，將以機EL元件製造中作為蒸鍍用附設多面遮罩而使用的金屬遮罩為例，而說明本發明之較佳實施形態。

第20圖是藉由後述實施形態的框架安裝裝置(亦稱金屬薄板的貼框裝置)所處理的金屬遮罩及框狀之框架之概略立體圖，第21圖是將金屬遮罩安裝於框架上而形成的遮罩單元之概略立體圖。

在第20圖中，符號101是作為蒸鍍遮罩使用的直角四邊形之金屬遮罩(亦稱金屬薄板)，是將複數個遮罩部(開口部)102縱橫地並列所形成。各遮罩部(開口部)102，是為具備有可進行蒸鍍之多數個微小的狹縫102a者。各遮罩部102中狹縫的形狀、配置可為任意，例如，可為將細長狹縫狀之狹縫平行地並列者、將長孔狀之狹縫朝縱方向並列同時平行地並列者等。符號103為安裝金屬遮罩101用的剛性大之框架，具備有：包含形成有金屬遮罩101之多數個遮罩部102的領域(稱為有效領域)之大小的開口部104。金屬遮罩101是作成比框架103朝向縱橫兩方向更大的尺寸，在大致對應於框架103的外周緣之位置上，形成可藉由折曲而容易切斷的易切斷線105。而，易切斷線105是為具備可承受施加於金屬遮罩101上之伸張力的強度者。金屬遮罩101的厚度、遮罩部102的尺寸、形成於其上之多數個微小的開口部之尺寸等，雖然並未特別限定，但是作為代表性者，金屬遮罩101的厚度可為30~200μm，遮罩部102之尺寸可為長度50~70mm、寬度可為30~50mm、狹縫102a的寬度可為40~100μm，平行地配置之開口部間之無孔部分的寬度可為80~200μm等。金屬遮罩101藉由點焊等而固定於框架103上，藉由利用易切斷線105將其周緣部分切斷，除去時，可形成第21圖所示之遮罩單元108。

第11圖是本發明之實施形態的金屬遮罩之框架安裝裝置的概略平面圖，第12圖是第11圖所顯示的框架安裝裝置之概略剖面圖，第13圖(a)、(b)是顯示設置在該框架安裝裝置上之張力單元113在不同作動狀態的概略側面圖，第14圖(a)、(b)是顯示該框架安裝裝置中設置在夾持金屬遮罩之角落部附近的位置上之張力單元113A，在不同作動狀態的概略側面圖，第15圖是第14(b)圖之V-V箭頭方向看去之概略正面圖。

在第11圖、第12圖中，將全體以參考符號110表示的金屬遮罩之框架安裝裝置(亦稱金屬薄板之貼框裝置)，具備有：支持台111、在該支持台111上可夾持金屬遮罩101之各個4邊的複數個地點而施加張力之方式，而配置的複數個張力單元113,113A。在此處，張力單元113A是配置於夾持金屬遮罩101之角落部附近的位置上者，張力單元113是配置於其它領域上者。

即，金屬遮罩101成矩形，在相鄰兩邊101a之間的角落部101b附近設置張力單元113A，張力單元113則配置於其它領域上。

並且，亦可稱張力單元113為板伸張單元，張力單元113A亦可稱為追加板伸張單元。

張力單元113，如第13圖放大所示，具備有：在設置於支持台111的支持軌道114上藉由可調整安裝位置的形態而固定之基部構件115、在該基部構件115上經由直動導件116而朝向金屬遮罩之伸張力附加方向保持可移動的夾具支持台117、設置於夾具支持台117上而夾持金屬遮罩101的夾具118、使夾具118開閉的夾具開閉機構119、使伸張力作用於夾具118所夾持的金屬遮罩101上的方式而使保持夾具118的夾具支持台117相對於基部構件115移動的夾具移動手段123等。

夾具118具備有：固定於夾具支持台117上的固定爪118a、及相對於其可開閉的可動爪118b。夾具開閉機構119具備有：肘節機構120、經由該肘節機構120而將可動爪118b開閉的壓缸裝置等之壓缸機構121。肘節機構120具備有：在安裝於夾具支持台117上的支持板117a上以銷120a為中心而保持可旋轉的第1柄120b、在支持板117a上以銷120c為中心而保持可旋轉的第2柄120d、將第1柄120b及第2柄120d連結的連桿120e等，壓缸機構121連結到第1柄120b上，夾具118之可動爪118b在第2柄120d上保持可轉動。又，在第2柄120d的前端安裝有支持可動爪118b之背面的調整螺絲120f，藉由該調整螺絲120f，如第13(b)圖所示，使夾具118在閉位置時，將可動爪118b的高度位置作成可調整。而，雖然圖示省略，但是如第13(a)圖所示，亦設置有彈簧，將第2柄120d向上方轉動以打開可動爪118b的狀態中，用以將可動爪118b保持於接觸在調整螺絲120f上的位置。利用該些構成，藉由壓缸機構121可使第1柄120b往復轉動來將夾具118開閉，且第13(b)圖所示之閉位置上，可藉由固定爪118a及可動爪118b來將金屬遮罩101強固地夾持。

夾具移動手段123是為使夾具支持台117相對於基部構件115作往復移動者，本實施形態中是使用空氣氣缸。該夾具移動手段123，如第13(b)圖所示，藉由使夾具支持台117朝向箭頭記號A方向移動，可對夾具118所夾持的金屬遮罩101施加朝向箭頭記號A方向的伸張力。而，雖然在此處是使用空氣氣缸作為夾具移動手段123，但是並不限定於此，亦可使用油壓缸或伺服馬達等。

在基部構件115上安裝有支持框架103的框架支件125。框架支件125，是配置成：藉由在其上放置框架103，而使框架103定位於水平面內之既定位置上，同時框架103的上面，在夾持於夾具118上且被賦予張力的金屬遮罩101上大致為相接觸的位置上，朝向上下方向亦可定位。又，框架支件125，亦作為限制夾具支持台117的前進位置用之止件而作用。

以夾持金屬遮罩101之角落部附近的方式而配置的張力單元113A，如第14圖、第15圖所示，具備有：在設置於支持台111的支持軌道114上藉由可調整安裝位置的形態而固定之第1基部構件115A、在該第1基部構件115A上經由直動導件127而平行於夾具118所夾持的金屬遮罩101且相對於金屬遮罩之伸張力附加方向為朝直角方向保持可移動的第2基部構件115B、在該第2基部構件115B上經由直動導件116而朝向金屬遮罩之伸張力附加方向(與後述之夾具支持台117的移動方向為相同方向)保持可移動的夾具支持台117、設置於夾具支持台117上而夾持金屬遮罩101的夾具118、具備有使夾具118經由肘節機構120而開閉的空氣氣缸等之壓缸機構121的夾具開閉機構119、使伸張力作用於夾具118所夾持的金屬遮罩101上的方式而使保持夾具118的夾具支持台117相對於第2基部構件115B移動的夾具移動手段123、及支持框架103的框架支件125等。

在此處，使第2基部構件115B藉由直動導件127而作成可相對於夾具支持台117之移動方向為朝直角方向移動，夾具支持台117及保持於其上的夾具118，可朝向伸張力附加於金屬遮罩101的方向A及與其為直角的B-B方向移動。而，在第1基部構件115A與第2基部構件115B之間，設置有位置復歸彈簧，B-B方向的力作用於第2基部構件115B之時，可容許第2基部構件115B之移動，該力消失時則回復到原來的中央位置。框架支件125保持於第1基部構件115A上。其它構造上，是與第13圖所示的張力單元113相同。

第11圖、第12圖中，張力單元113,113A，是使金屬遮罩101之各邊分別藉由複數個張力單元113,113A夾持且在該邊上可使張力朝直角方向施加的方式地配置。又，夾持金屬遮罩101之各邊的方式而配置的複數個張力單元113,113A之夾具118，是在金屬遮罩101之遮罩部102及非遮罩部102b上整體配置，從而，在形成金屬遮罩101之遮罩部102的縱方向上延伸的領域及橫方向延伸的領域，及無遮罩的縱方向上延伸的領域及橫方向延伸的領域，分別可藉由各自的夾具118而伸張而賦予張力。

是使賦予金屬遮罩101的張力可個別調整的方式，而在複數個張力單元113,113A上分別所設置的夾具移動手段123上，設置有藉由夾具移動手段123之驅動力而進行個別調整的調整手段(未圖示)。更具體上，在構成夾具移動手段123的空氣氣缸接續空氣供給配管，該空氣供給配管中設置有可將各空氣氣缸的供給壓力個別地調整之調節器以作為調整手段。而，使全部的張力單元113之夾具移動手段(空氣氣缸)123可同時作動的方式，而在連結到該些空氣氣缸的空氣供給配管中，經由共同的開閉閥而供給空氣，並且以可調整各空氣氣缸的作動時序之方式，在各空氣氣缸的空氣供給配管中亦可設置速度控制器。

其次，將說明上述構成的金屬遮罩之框架安裝裝置110的金屬遮罩安裝動作。如第13圖(a)、第14圖(a)所示，將夾具支持台117位於前進位置，且在打開夾具118的狀態下，首先，將框架103保持在複數個張力單元113,113A之框架支件125上，其次，在其上放置金屬遮罩101，使其4邊藉由複數個張力單元113之夾具118而加以夾持。此時，使用複數個定位銷(未圖示)事先使金屬遮罩101對框架103定位。其次，將加壓空氣輸送到連結於各夾具支持台117上的夾具移動手段(空氣氣缸)123，來使各夾具118從金屬遮罩101分離的方向移動，在金屬遮罩101上藉由多數個夾具而向縱橫兩方向施加小的伸張力，以將金屬遮罩101作成輕微張開的狀態，在該狀態下卸下定位銷，其後，在金屬遮罩101上施加大的伸張力。該狀態是為第13圖(b)、第14圖(b)所示的狀態。而，即使從金屬遮罩101上卸下定位銷時，金屬遮罩101相對於框架103的位置並不變動，因而可保持相對於金屬遮罩101之框架103於所要的定位精度。

如上述，藉由配置於金屬遮罩101之4邊的張力單元113，而分別夾持金屬遮罩101之4邊，施加伸張力時，如第11圖所示，金屬遮罩101藉由多數個夾具118而向縱橫兩方向伸張。在該狀態下，以目視檢查金屬遮罩101之表面狀態，若有歪斜或撓曲的話，將連結到伸張該領域的夾具118的夾具移動手段(空氣氣缸)123之作動流體壓力進行調整，而調整成可保持金屬遮罩101於無歪斜或撓曲的平坦狀態，且使遮罩部102之開口部為平行地排列的狀態。並且，檢查形成於金屬遮罩101上之各遮罩部102的位置，使各遮罩部102進入預定的尺寸精度內之位置的方式，而調整各夾具移動手段(空氣氣缸)123之作動流體壓力。該調整動作之際，如第16圖所示，夾持金屬遮罩101之角落部且配置於其附近的張力單元113A,113A，夾具118,118將箭頭記號A方向、箭頭記號B方向之伸張力施加到金屬遮罩101上，因此，各張力單元113A之夾具118所夾持的部分金屬遮罩101，藉由配置於夾持角落部且相鄰之邊上的張力單元113之伸張力，朝向夾具118的伸張方向之直角方向(B方向或A方向)伸張，該力為作用在夾具118上。然而，在張力單元113A中，支持夾具118的夾具支持台117(參照第14圖、第15圖)，是可相對於金屬遮罩的伸張力附加方向為朝直角方向地移動，因而在金屬遮罩101上被伸張而移動。因此，可使金屬遮罩101之角落部被拉伸到預定的尺寸，並可使有效領域之角落部位於所要之點P上。如此一來，可使金屬遮罩101作成於無歪斜或撓曲的狀態，且各遮罩部102、包括配置於角落部之遮罩部102可位於預定之尺寸精度範圍內。

其次，在該狀態下，如第12圖所示，使用雷射焊接機130將金屬遮罩101點焊到框架103上。該點焊是使雷射焊接機130依序地在所要的點焊位置進行移動。因而，金屬遮罩101之複數個地點藉由點焊焊接部132(參照第11圖)而固定於框103上。其後，打開夾具118而解除對金屬遮罩101之夾持，金屬遮罩101之周緣部分利用易切斷線105而除去。因而，如第21圖所示，可製成將金屬遮罩101固定於框架103上之構成的遮罩單元108。在所製成的遮罩單元108中，保持金屬遮罩101於無歪斜或撓曲的狀態，且使各遮罩部102之開口部正確地保持於平行地排列的狀態，並且各遮罩部102之位置亦保持於預定之尺寸精度內。如此一來，使用該遮罩單元108進行蒸鍍時，可正確地進行微細圖型之蒸鍍。例如，將玻璃基板等的被蒸鍍基材安裝在該遮罩單元108上，設置蒸鍍機，藉由進行有機EL元件之有機層或陰極之蒸鍍，可使微細圖型之蒸鍍在位置精度良好情況下進行，故可形成高品質之有機層或陰極。

而，在上述實施形態中，使夾具118相對於金屬遮罩的伸張力附加方向為朝直角方向地移動的張力單元113A，雖然是1個配置於各邊之角落部上最近位置，但是張力單元113A之設置個數可適宜地增減，視情況而定，亦可將所有的張力單元作為張力單元113A。並且，在上述實施形態中，雖然張力單元113A為了將夾具118作成相對於金屬遮罩的伸張力附加方向為朝直角方向地移動，而將保持夾具支持台117或夾具移動手段123的第2基部構件115B，作成相對於伸張力附加方向為朝直角方向地移動，但是本發明並不限定於此，只要至少夾具118可相對於伸張力附加方向為朝直角方向移動的話即可。以下，將說明本發明中可使用的張力單元之另一例。

第17圖所示之張力單元113B，在第13圖所示之張力單元113中是將夾具支持台117分割成上下之第1夾具支持台117A及第2夾具支持台117B，在兩者之間設置直動導件134，將第2夾具支持台117B作成平行於夾具118所夾持的金屬遮罩101且可相對於金屬遮罩的伸張力附加方向為朝直角方向移動，將夾具118及夾具開閉機構119保持於第2夾具支持台117B上，並將夾具移動手段123連結到第1夾具支持台117A者。而，亦設置有：使第2夾具支持台117B相對於第1夾具支持台117A復歸到中央位置的位置復歸彈簧(未圖示)。其它的構造，是與第13圖所示之張力單元113相同。該張力單元113B中，夾具118亦為可相對於金屬遮罩的伸張力附加方向為朝直角方向地移動，因此藉由將其使用於夾持金屬遮罩101之角落部附近時，可使金屬遮罩101之角落部毫無障礙地被拉伸到預定之尺寸位置。

第18圖、第19圖所示之張力單元113C，可使夾具118A相對於固定爪118Aa及固定爪118Aa而構成經由銷136可轉動的可動爪118Ab，使該夾具118A相對於夾具支持台117經由直動導件138作成平行於夾具118A所夾持的金屬遮罩101且可相對於金屬遮罩的伸張力附加方向為朝直角方向移動。而，亦設置有：使夾具118A相對於夾具支持台117復歸到中央位置的位置復歸彈簧。又，在夾具支持台117上，保持有具備將夾具118A開閉之肘節機構120A及連桿機構121的夾具開閉機構119A。該肘節機構120A具備有：在安裝於夾具支持台117上的支持板117a上以銷120a為中心而保持可旋轉的第1柄120b、在支持板117a上以銷120c為中心而保持可旋轉的第2柄120d、將第1柄120b及第2柄120d連結的連桿120e等，壓缸機構121連結到第1柄120b上，在第2柄120d上安裝有將夾具118A之可動爪118Ab推壓到閉位置用的調整螺絲120g。該調整螺絲120g，如第18(b)圖所示，亦作成將夾具118A位於閉位置時之利用可動爪118Ab之鎖緊力而可調整。並且，為了與第2柄120d之往復轉動連動而將可動爪118Ab開閉，使兩者連結的方式亦設置有扭轉螺旋彈簧140。其它之構造與第13圖所示的張力單元113相同。在該張力單元113C中，夾具118C亦為可相對於金屬遮罩的伸張力附加方向為直角方向地移動，因此藉由將其使用於夾持金屬遮罩101之角落部101b附近時，可使金屬遮罩101之角落部毫無障礙地被拉伸到預定之尺寸位置。

如上述，雖然已說明本發明之較佳實施形態，但是本發明並不限定於這些實施形態，在申請專利範圍內可作種種變更。例如，在上述實施形態中，供給到分別將伸張力賦予複數個夾具118上的夾具移動手段(空氣氣缸)123中的作動流體壓力，作成可個別調整，以使各夾具18賦予金屬遮罩101的伸張力可個別調整。該構成可精密地調整施加於金屬遮罩101上的伸張力，因此即使在容易產生歪斜或撓曲之金屬遮罩101上，亦可獲得可保持伸張成極為平坦的狀態之優點。然而本發明並不限定於此構成，例如，使用比較容易地保持於伸張成平坦狀態的金屬遮罩之情形，將配置於各邊之複數個夾具，例如亦可將對應於遮罩部的夾具作為第1組，將對應於非遮罩部的夾具作為第2組的方式，而區分成複數個組，而將連結到各組之夾具的壓缸裝置之作動流體壓力作成共同地調整。

並且，配置於金屬遮罩101之各邊的張力單元113、113A(或113B、113C)，並不一定限於將個別夾具118在分別吻合於遮罩部102及非遮罩部102b的位置上之方式來配置情況，亦可加上將遮罩部102及非遮罩部102b適宜地組合，而變更為夾持寬廣的寬度，或者可夾持更細分的領域之方式，而變更為使用更多的夾具。無論如何，因應於所使用的金屬遮罩之特性，使該金屬遮罩可保持於伸張成無歪斜或撓曲的狀態之方式，而決定張力單元(之夾具)的使用數或配置即可。

又，雖然已分別各個地說明上述第1實施形態及第2實施形態，但是因應於需要亦可將第1實施形態及第2實施形態組合。

例如，亦可使用在第2實施形態中之第11圖所示的張力單元113A，用來取代第1實施形態之第10圖所示的追加板伸張‧框押壓單元21d。

11．．．金屬薄板

11a,101a．．．金屬薄板之邊

12．．．開口部

12a．．．狹縫

13,103．．．框

14,104．．．開口部

15,105．．．易切斷線

17．．．蒸鍍遮罩裝置

20,20D．．．貼框裝置

21,21A,21B,21C．．．板伸張‧框押壓單元

21a．．．板伸張單元

21b．．．框押住單元

22．．．支持軌道

24,24A,24B,24C．．．支持台

25．．．直動導件

26．．．移動台

27,118．．．夾具

27a．．．固定爪

27b．．．可動爪

28．．．肘節關節

29,30,35,30A,30B,30C．．．壓缸裝置

30a,35a．．．活塞

30b．．．氣缸

32,32A．．．補助支持台

34,34A,34B,34C．．．框押住構件

25,33,60．．．直動導件

36．．．止板

40,150．．．雷射焊接機

42,132．．．點焊焊接部

50,50B．．．連結桿

55．．．彈簧

57．．．軌道

61．．．補助移動台

21d．．．板伸張‧框押壓單元

11b,101b．．．角落部

101．．．金屬遮罩

102b．．．非遮罩部

102．．．遮罩部

103．．．框架

104．．．開口部

108．．．遮罩單元

111．．．支持台

113,113A,113B,113C．．．張力單元

114．．．支持軌道

117．．．夾具支持台

117A．．．第1夾具支持台

117B．．．第2夾具支持台

115．．．基部構件

116．．．直動導件

118,118A．．．夾具

119,119A．．．夾具開閉機構

123．．．夾具移動手段

118a,118Aa．．．固定爪

118b,118Ab．．．可動爪

120,120A．．．肘節機構

121．．．壓缸機構

120b．．．第1柄

120d．．．第2柄

120e．．．連桿

120a,120c,136．．．銷

120f,120g．．．調整螺絲

110．．．框架安裝裝置

125．．．框架支件

115A．．．第1基部構件

115B．．．第2基部構件

127,134,138．．．直動導件

101b．．．角落部

第1圖是本發明之第1實施形態的金屬薄板之貼框方法及裝置之概略平面圖。

第2圖是顯示藉由第1圖所示之貼框裝置進行的貼框動作之程序的概略剖面圖。

第3圖是顯示藉由第1圖所示之貼框裝置所處理的金屬薄板及框之概略立體圖。

第4圖是顯示貼框後之金屬薄板及框之概略立體圖。

第5圖是顯示將使用於第1圖之貼框裝置中的板伸張‧框押壓單元、夾具打開的狀態之部分剖面概略側面圖。

第6圖(a)、(b)是將顯示第5圖所示之板伸張‧框押壓單元、框關閉的狀態及不同的作動狀態之部分剖面概略側面圖。

第7圖(a)、(b)是將其它實施形態中所使用之板伸張‧框押壓單元、夾具關閉的狀態及不同的作動狀態之部分剖面概略側面圖。

第8圖(a)、(b)是將更另外實施形態中所使用之板伸張‧框押壓單元、夾具關閉的狀態及不同的作動狀態之部分剖面概略側面圖。

第9圖(a)、(b)是將又另外實施形態中所使用之板伸張‧框押壓單元、夾具關閉的狀態及不同的作動狀態之部分剖面概略側面圖。

第10圖是本發明之更另外實施形態的金屬薄板之貼框裝置之概略平面圖。

第11圖是本發明之第2實施形態的金屬遮罩(金屬薄板)之構架安裝裝置(貼框裝置)的概略平面圖。

第12圖是第11圖所顯示的框安裝裝置之概略剖面圖。

第13圖(a)、(b)是顯示設置在第11圖所顯示的框安裝裝置上之張力單元，在不同作動狀態的概略側面圖。

第14圖(a)、(b)是顯示設置在第11圖所顯示的框安裝裝置上之張力單元，在不同作動狀態的概略側面圖。

第15圖是第14(b)圖之V-V箭頭方向看去之概略正面圖。

第16圖是說明將第11圖所顯示的框安裝裝置中之金屬遮罩的角落部領域，藉由複數個張力單元伸張之狀態的概略平面圖。

第17圖(a)、(b)是顯示另外實施形態中所使用的張力單元在不同作動狀態之部分剖面概略側面圖。

第18圖(a)、(b)是顯示更另外實施形態中所使用的張力單元在不同作動狀態之部分剖面概略側面圖。

第19圖(a)、(b)是顯示第18圖所示之張力單元的夾具及其附近的部分之概略正面圖及概略側面圖。

第20圖是金屬遮罩及框狀的框之概略立體圖。

第21圖是將金屬遮罩安裝於框上而形成的遮罩單元之概略立體圖。

第22圖是顯示將附設多面的蒸鍍遮罩的兩端，分別藉由1個夾具而夾持且伸張的狀態之概略平面圖。

第23圖是顯示以往的附設多面蒸鍍遮罩的1例之概略立體圖。

11．．．金屬薄板

12．．．開口部

12a．．．狹縫

21b．．．框押住單元

13．．．框

20．．．貼框裝置

21．．．板伸張‧框押壓單元

22．．．支持軌道

27．．．夾具

42．．．點焊焊接部

Claims (4)

1. 一種有機EL元件製造步驟用金屬薄板之貼框裝置，是使矩形之金屬薄板於被伸張的狀態下被固定於矩形之框上的貼框裝置，其特徵為：具備有：在上述框及配置於其上之上述金屬薄板之4邊各個上，以複數個均等地定位而設置的複數個板伸張單元；各板伸張單元具有：將金屬薄板加以夾持的夾具、及夾具移動裝置，用以移動該夾具以使該夾具將伸張力作用於被夾持的金屬薄板上；在金屬薄板之相鄰2邊之間的角落部附近，設置有追加板伸張單元；該追加板伸張單元具有：將金屬薄板加以夾持的夾具、及使該夾具朝相鄰2邊之各方向移動的夾具移動裝置。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之有機EL元件製造步驟用金屬薄板之貼框裝置，其中：追加板伸張單元，更具有：第一基部構件、及在該第一基部構件上平行於金屬薄板，且保持可朝伸張力附加方向上朝直角方向移動之第二基部構件、及在該第二基部構件上，保持可朝對金屬薄板之伸張力附加方向平行地移動之夾具支持台； 上述夾具及將其開閉之夾具開閉機構是被保持於上述夾具支持台上，上述夾具移動裝置，是將夾具支持台及第二基部構件連結，以使上述夾具支持台相對於第二基部構件為朝伸張力附加方向移動。
3. 如申請專利範圍第1項所記載之有機EL元件製造步驟用金屬薄板之貼框裝置，其中：追加板伸張單元，更具有：基部構件、及在該基部構件上可保持平行地朝金屬薄板之伸張力附加方向移動之第一夾具支持台、及在該第一夾具支持台上平行於上述金屬薄板，且保持可朝伸張力附加方向上朝直角方向移動之第二夾具支持台；上述夾具及將其開閉之夾具開閉機構是被保持於上述第二夾具支持台上，上述夾具移動裝置，是將第一夾具支持台及基部構件連結，以使上述第一夾具支持台相對於上述基部構件為朝伸張力附加方向移動。
4. 如申請專利範圍第1項所記載之有機EL元件製造步驟用金屬薄板之貼框裝置，其中：追加板伸張單元，更具有：基部構件、及在該基部構件上可保持平行地朝金屬薄板之伸張力附加方向移動之夾具支持台；上述夾具是在上述夾具支持台上，平行於以上述夾具所夾持的金屬薄板，且被保持可朝伸張力附加方向上朝直角方向移動，將上述夾具開閉之夾具開閉機構是被保持於上述夾具支持台上，上述夾具移動裝置，是將上述夾具支 持台及基部構件連結，以使上述夾具支持台相對於上述基部構件為朝伸張力附加方向移動。