KR20070052281A - 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법 및 장치 - Google Patents

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KR20070052281A
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Abstract

금속 박판(11)의 각 변(11a)을 복수의 클램프(27)로 파지한다. 이 클램프(27)로 금속 박판(11)을 잡아당김과 더불어 각 클램프에 의한 인장력을 조정함으로써 금속 박판(11)을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 평탄한 상태로 보유지지한다. 동시에 프레임(13)을 금속 박판(11)에 가해지는 인장력과는 반대방향으로 같은 큰 힘으로 압압해서 탄성변형시켜 놓고, 이 상태에서 금속 박판(11)을 프레임(13)에 점용접기(40)로 용접해서 고정한다. 금속 박판(11) 및 프레임(13)을 개방했을 때에, 금속 박판(11)에 남겨져 있는 인장력을 프레임(13)의 복원력으로 상쇄시켜, 프레임(13)이 금속 박판(11)에 의해 잡아 당겨져 변형되는 것을 방지하여, 프레임(13)에서 금속 박판(11)이 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 보유지지될 수가 있다.

Description

금속 박판을 프레임에 부착하는 방법 및 장치 {Method and device for mounting thin metal plate on frame}
본 발명은, 예컨대 유기 EL소자를 제조하는 공정에 쓰이는 증착 마스크에 사용되는, 다수의 슬릿을 구비한 개구부를 가진 금속 박막과 같은 극히 얇고 강성이 다른 영역을 구비한 금속 박판을, 왜곡이 없는 평탄한 상태로 프레임에 부착해서 고정하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
종래, 유기 EL소자를 제조하는 데에 진공증착이 행해지고 있는바, 그 증착 마스크로서, 다수의 슬릿을 구비한 개구부를 가진 금속 박판이 사용되고 있다. 그리고, 증착에 있어서는 그 증착 마스크를 상기 개구부보다 큰 개구를 가진 강성이 큰 프레임에 자석 등으로 부착하고 있다. 그러나, 근래에 들어 패터닝의 미세화가 진행되어, 개구부에 형성되어 있는 슬릿이 미세해지고 증착 마스크의 판 두께 자체도 얇아지게 되면, 증착 마스크를 단지 프레임에 자석 등을 이용해서 고정하는 것만으로는 개구부에 왜곡이나 느슨해짐이 생겨, 슬릿 정밀도가 유지될 수가 없다고 하는 문제가 생기게 된다. 그리하여, 본 출원인은 먼저 증착 마스크를 프레임에 부 착시킨 상태에서 그 증착 마스크를 개구부의 슬릿방향으로 잡아당긴 상태로 보유지지할 수 있는 증착 마스크의 보유지지치구를 개발한바 있다(특허문헌 1 참조). 이 보유지지치구를 이용하면, 개구부의 슬릿을 구성하는 세선부분(細線部分)을 길이방향으로 잡아당긴 상태로 보유지지할 수 있기 때문에, 슬릿을 직선상으로 그리고 일정 피치로 보유지지 할 수가 있어, 세밀도가 높은 패터닝이 가능하다고 하는 이점이 있게 된다.
그러나, 특허문헌 1에 기재된 증착 마스크는, 1매의 증착 마스크에 1개의 개구부만 형성되도록 되어 있기 때문에, 생산성이 나쁘다고 하는 문제점이 있었다. 그 때문에, 생산성을 높이는 데에는, 도 22에 도시된 것과 같이, 1매의 증착 마스크에 복수 개의 개구부(2)를 형성한 다면부착 마스크(1)를 쓰면 좋은바, 이 마스크의 양단을 고정클램프(3)와 가동클램프(4)로 파지하고서, 가동클램프(4)를 화살표로 나타낸 것과 같이 개구부(2)의 슬릿방향으로 잡아당긴 상태로 보유지지하면 좋다. 그러나, 다수의 개구부(2)를 구비한 다면부착 마스크(1)에서는, 그 양단을 클램프(3, 4)로 파지해서 잡아당기면, 마스크의 전체 폭을 균등하게 잡아당겼음에도 불구하고, 개구부와 비개구부(非開口部)에서 강성(剛性)이 다르기 때문에, 개구부에 왜곡이나 느슨해짐이 생겨 소망하는 슬릿 패턴이 얻어지지 않고, 더구나 각 개구부의 위치정밀도도 나빠진다는 것이 판명되었다. 예컨대, 유기 EL소자의 제조에 이용되는 증착용 다면부착 마스크의 경우, 각 개구부의 위치에 관해 ±10㎛ 이하의 토탈 피치가 요구되기는 하지만, 그와 같은 치수정밀도를 달성하는 것은 곤란하다.
그리하여, 이러한 문제점을 해결하기 위해, 본 출원인은 이미 도 23에 도시 된 것과 같이, 복수의 개구부(2)를 형성한 다면부착 마스크(1A)의 4개 변에 부착부(5)를 형성시켜 놓고, 이 부착부(5)를 프레임에 설치되어 있는 권취축(卷取軸)에 감아, 이 권취축을 감아올림으로써 다면부착 마스크(1A)를 종횡 양방향으로 잡아당겨 평탄한 상태로 보유지지하는 구성으로 된 다면부착 마스크장치를 개발한바 있다(특허문헌 2 참조). 이 다면부착 마스크장치에서는, 다면부착 마스크(1A)를 종횡 양방향으로 잡아당기도록 되어 있기 때문에, 다면부착 마스크(1A)를 비교적 평탄하게 하고 각 개구부의 슬릿을 평행하게 가지런해지도록 할 수가 있어, 다면부착이면서 세밀도 높은 패터닝이 가능하다고 하는 이점이 있게 된다.
그러나, 특허문헌 2에 기재된 다면부착 마스크장치라 하더라도, 다면부착 마스크가 얇고 왜곡되기 쉬운 경우 등에는 개구부에 왜곡이나 느슨해짐이 생겨, 소망하는 슬릿 패턴이 얻어지지 않는다고 하는 문제가 생기게 된다. 또, 이 다면부착 마스크장치에서는, 프레임의 4개 변에 각각 권취축을 설치해서 다면부착 마스크(1A)의 4개 변의 부착부(5)를 감아올리는 구조이기 때문에, 구조가 복잡해서 고비용으로 된다고 하는 문제도 있었다.
특허문헌 1 : 일본국 특개 2003-68453호 공보
특허문헌 2 : 일본국 특개 2003-332056호 공보
본 발명은 이러한 문제점에 비추어 이루어진 것으로, 증착용 다면부착 마스크와 같이 다수의 슬릿을 구비한 복수의 개구부를 갖도록 한 강성이 다른 영역을 구비한 금속 박판을, 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태이면서 개구부 등을 소망하는 치수정밀도를 유지한 상태로 간단한 구조의 프레임에 부착해서 고정하는 방법 및 이 방법의 실시에 이용되는 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명은, 4각 형상의 금속 박판을 4각 형상의 프레임 상에 위치시키는 공정과, 상기 금속 박판의 적어도 상호 마주보는 2개 변을 각각 복수의 클램프로 파지하고서 인장력을 가해 상기 금속 박판을 잡아당긴 상태로 하는 인장공정과, 상기 프레임 중 각 클램프가 금속 박판에 인장력을 작용시키고 있는 영역에 대응하는 영역에 상기 금속 박판에 가해지는 인장력과는 반대 방향의 탄성변형이 생기게 하도록 상기 프레임에 압압력을 가하는 압압공정과, 잡아 당겨진 상태의 금속 박판을 압압된 상태의 프레임에 고정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법이다.
본 발명은, 인장공정에서 상기 금속 박판의 4개 변을 각각 클램프로 잡아당기고, 압압공정에서 상기 프레임의 4개 변을 각각 압압하는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법이다.
본 발명은, 상기 클램프로, 금속 박판에 가해지는 인장력과, 상기 프레임 중 상기 클램프가 인장력을 가하는 영역에 대응하는 영역에 가하는 압압력을 같아지도록 한 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법이다.
본 발명은, 상기 금속 박판이 다수의 슬릿을 가짐과 더불어 나란히 배치된 복수의 4각 형상의 개구부를 포함하고, 상기 복수의 클램프는 개구부와 비개구부에 대응해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법이다.
본 발명은, 인장공정에서, 금속 박판의 이웃하는 2개 변 사이의 코너부 근방을 클램프로 파지하되, 이 클램프가 이웃하는 각 2개 변의 방향으로 이동할 수 있게 코너부를 잡아당기도록 하는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법이다.
본 발명은, 4각 형상의 금속 박판을 잡아당긴 상태에서 4각 형상의 프레임에 고정하도록 된 프레임 부착장치에서, 상기 프레임 및 그 위에 배치되는 상기 금속 박판의 적어도 마주보는 2개 변의 각각에, 복수 개씩 위치하도록 설치된 복수의 판 당김유니트 및 복수의 프레임 누름유니트를 갖추되, 각각의 판 당김유니트는, 상기 금속 박판을 파지하는 클램프와, 이 클램프가 파지한 금속 박판에 인장력을 작용시키도록 클램프를 이동시키는 클램프 이동수단을 갖고, 각각의 프레임 누름유니트는, 상기 프레임 중 상기 클램프가 금속 박판에 인장력을 작용시키고 있는 영역에 대응하는 영역에 상기 클램프에 의한 인장력과는 반대방향의 탄성변형이 생기게 하도록, 상기 프레임에 압압력을 작용시킬 수 있도록 배치된 프레임 누름부재와, 이 프레임 누름부재가 상기 프레임에 압압력을 작용시키도록 상기 프레임 누름부재를 이동시키는 프레임 누름부재 이동수단을 가진 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
상기 판 당김유니트 및 프레임 누름유니트는, 상기 프레임 및 그 위에 배치되는 상기 금속 박판의 4개 변의 각각에 복수 개씩 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 상기 판 당김유니트 및 상기 프레임 누름유니트는 일체로 성형되고, 상기 판 당김유니트의 클램프 이동수단 및 상기 프레임 누름유니트의 프레임 누름부재 이동수단은 공통의 실린더장치를 갖추고 있고, 이 실린더장치가 상기 클램프 및 프레임 누름부재에 대해 양자를 상호 떨어지는 방향 및 접근시키는 방향으로 이동시키도록 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 상기 프레임 누름부재가 상기 프레임을 올려놓아 지지하는 지지면을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 상기 금속 박판이 다수의 슬릿을 가짐과 더불어 나란히 배치된 복수의 4각 형상의 개구부를 포함하고, 상기 복수의 클램프는 개구부와 비개구부에 대응해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 상기 복수의 판 당김유니트의 클램프 이동수단이 부여하는 인장력이 각각의 판 당김유니트마다 조정할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 금속 박판의 이웃하는 2개 변 사이의 코너부 근방에 추가 판 당김유니트가 설치되고, 이 추가 판 당김유니트는 금속 박판을 파지하는 클램프와, 이 클램프를 이웃하는 2개 변의 방향으로 이동시키는 클램프 이동수단을 가진 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 추가 판 당김유니트가, 제1베이스부재와, 이 제1베이스부재에서 금속 박판에 평행하고 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 제2베이스부재와, 이 제2베이스부재에서 금속 박판으로의 인장력 부가방향에 평행하게 이동할 수 있도록 보유지지된 클램프 지지대를 더 갖고서, 상기 클램프 및 이를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 클램프 지지대를 제2베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 클램프 지지대와 제2베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 추가 판 당김유니트가, 베이스부재와, 이 베이스부재에서 금속 박판의 인장력 부가방향으로 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 제1클램프 지지대와, 이 제1클램프 지지대에서 상기 금속 박판에 평행하고 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 제2클램프 지지대를 더 갖고서, 상기 클램프 및 이를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 제2클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 제1클램프 지지대를 상기 베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 제1클램프 지지대와 베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 추가 판 당김유니트가, 베이스부재와, 이 베이스부재에서 금속 박판의 인장력 부가방향에 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 클램프 지지대를 더 갖고서, 상기 클램프가 상기 클램프 지지대에서 상기 클램프로 파지한 금속 박판에 평행하고 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지되고, 상기 클램프를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 클램프 지지대를 상기 베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 클램프 지지대와 베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 4각 형상의 금속 박판을 4각 형상의 프레임 상에 위치시키는 공정과, 금속 박판의 4개 변을 복수의 클램프로 파지하고 인장력을 가해 금속 박판을 잡아당긴 상태로 하는 인장공정과, 잡아 당겨진 상태의 금속 박판을 압압된 상태의 프레임에 고정하는 공정을 갖추되, 인장공정에서 금속 박판의 이웃하는 2개 변 사이의 코너부 근방을 클램프에 의해 파지하고, 이 클램프는 이웃하는 2개 변의 각 방향으로 이동할 수 있도록 코너부를 잡아당기는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법이다.
본 발명은, 4각 형상의 금속 박판을 잡아당긴 상태에서 4각 형상의 프레임에다 고정하는 프레임 부착장치에서, 상기 프레임 및 이 위에 배치되는 상기 금속 박판의 4개 변의 각각에 복수 개씩 위치하도록 설치된 복수의 판 당김유니트를 갖추되, 각각의 판 당김유니트가 상기 금속 박판을 파지하는 클램프와, 이 클램프가 파지한 금속 박판에 인장력을 작용시키도록 클램프를 이동시키는 클램프 이동수단을 갖고, 금속 박판의 이웃하는 2개 변 사이의 코너부 근방에 추가 판 당김유니트가 설치되고서, 이 추가 판 당김유니트는 금속 박판을 파지하는 클램프와, 이 클램프를 이웃하는 2개 변의 각 방향으로 이동시키는 클램프 이동수단을 가진 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 추가 판 당김유니트가, 제1베이스부재와, 이 제1베이스부재에서 금속 박판에 평행하고 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 제2베이스부재와, 이 제2베이스부재에서 금속 박판으로의 인장력 부가방향으로 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 클램프 지지대를 더 갖고서, 상기 클램프 및 이를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 클램프 지지대를 제2베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 클램프 지지대와 제2베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 추가 판 당김유니트가, 베이스부재와, 이 베이스부재에서 금속 박판의 인장력 부가방향으로 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 제1클램프 지지대와, 이 제1클램프 지지대에서 상기 금속 박판에 평행하고 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 제2클램프 지지대를 더 갖고서, 상기 클램프 및 이를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 제2클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 제1클램프 지지대를 상기 베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 제1클램프 지지대와 베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
본 발명은, 추가 판 당김유니트가, 베이스부재와, 이 베이스부재에서 금속 박판의 인장력 부가방향에 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 클램프 지지대를 더 갖고서, 상기 클램프가 상기 클램프 지지대에서 상기 클램프가 파지한 금속 박판에 평행하고 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지되고, 상기 클램프를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 클램프 지지대를 상기 베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 클램프 지지대와 베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치이다.
상기와 같은 본 발명의 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법은, 4각 형상의 금속 박판을 프레임에 고정할 때에, 금속 박판의 적어도 상호 마주보는 2개 변의 각각을 복수의 클램프로 파지하고서 인장력을 가함으로써 금속 박판을 당긴 상태로 하고 있기 때문에, 금속 박판의 강성이 다른 영역을 각 영역의 강성에 적합한 장력으로 잡아당길 수가 있게 된다. 이에 의해, 금속 박판을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 평탄한 상태로 유지하고, 개구부를 갖는 경우 그 개구부를 소망하는 치수정밀도를 유지한 위치에 보유지지할 수가 있다. 이 때문에 금속 박판을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 유지하고, 개구부 등을 소망하는 치수정밀도로 유지한 상태에서 점용접 등을 이용해서 프레임에 고정할 수 있게 된다. 더구나, 이때, 프레임은 금속 박판에 가해지는 인장력의 방향과는 반대방향으로 압압해서 탄성변형이 생기게 하도록 되어 있기 때문에, 프레임에는 압압력과는 반대방향의 복원력이 생기게 된다. 이 때문에 프레임에 금속 박판을 점용접 등으로 고정한 후, 금속 박판 및 프레임을 해방시키면, 금속 박판에 남아있는 인장력을 프레임에 남은 복원력이 지탱하게 된다. 이에 따라 프레임의 강성이 작더라도, 금속 박판에 남겨져 있는 인장력에 의해 프레임이 좋지 않게 변형되거나 금속 박판이 수축되어 인장력이 작아지게 된다고 하는 일이 없게 되어, 금속 박판이 소망하는 인장력을 가한 상태로 유지될 수 있게 된다. 그 결과, 강성이 낮고 간단한 구조의 프레임을 이용하더라도, 그 프레임에 금속 박판을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 유지할 수가 있고, 개구부 등을 소망하는 치수정밀도로 유지한 상태에서 고정하며, 그 상태로 보유지지할 수가 있다.
본 발명에 따른 방법을 실시함에 있어, 상기 클램프를 금속 박판의 4개 변의 각각에 배치해서 상기 금속 박판을 종횡 양방향으로 잡아당기고, 상기 프레임의 4개 변을 각각 종횡 양방향으로 압압하는 구성으로 해 놓으면, 금속 박판을 한층 더 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 잡아당겨 프레임에 고정할 수 있다고 하는 효과가 얻어진다.
상기 클램프로 금속 박판에 가하는 인장력과 프레임에 가해지는 압압력과는 다소 다른 값이 되더라도, 프레임 자체가 강성을 구비하고 있기 때문에 그다지 큰 지장은 생기지 않는다. 그러나 이 인장력과 압압력을 같은 크기로 해 놓으면, 금속 박판에 남은 인장력을 프레임에 남은 복원력으로 지탱할 수가 있어, 프레임 및 금속 박판을 해방시킨 후에 금속 박판이나 프레임이 변형되는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 이 때문에, 프레임에 고정한 금속 박판을 한층 더 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 유지하고, 개구부 등을 소망하는 치수정밀도로 유지한 상태로 보유지지할 수가 있다고 하는 효과가 있게 된다.
금속 박판에 인장력을 작용시키는 클램프의 배치는 금속 박판의 강성의 분포에 대응해서 적절히 정하면 좋은바, 금속 박판이 유기 EL소자의 제조에 이용하는 다면부착 마스크와 같이 다수의 슬릿을 포함하고 4각 형상의 개구부가 나란히 형성된 구성인 경우에는, 복수의 클램프를 개구부와 비개구부에 맞추어 배치해 놓는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성으로 하면, 강성이 크게 다른 개구부와 비개구부를 각각 별개의 클램프로 잡아당길 수 있기 때문에, 금속 박판을 극히 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 보유지지할 수 있게 된다.
본 발명의 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치는, 소정 위치에 배치되는 4각 형상의 프레임 및 그 위에 배치되는 4각 형상의 금속 박판의 적어도 마주보는 2개 변의 각각에 복수 개씩의 판 당김유니트와 프레임 누름유니트가 설치된 구성으로 되어 있기 때문에, 금속 박판의 적어도 마주보는 2개 변의 각각을 복수 개의 클램프로 파지해서 인장력을 작용시켜, 금속 박판을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 평탄한 상태로 유지하고, 개구부를 갖고 있는 경우 그 개구부를 소망하는 치수정밀도를 유지한 위치에 보유지지할 수 있게 된다. 또, 프레임에는 금속 박판에 가해지는 인장력과는 반대방향의 압압력을 가한 상태로 할 수 있어서, 이 상태에서 금속 박판을 프레임에 점용접 등으로 고정함으로써, 금속 박판을 왜곡이나 느슨해짐이 없고, 개구부 등을 소망하는 치수정밀도로 유지한 상태로 프레임에 보유지지하도록 할 수가 있게 된다. 또한 금속 박판이나 프레임을 해방시킨 후에도, 금속 박판을 왜곡이나 느슨해짐이 없고, 개구부 등을 소망하는 치수정밀도를 유지한 상태로 보유지지할 수가 있다.
여기서, 상기 판 당김유니트와 프레임 누름유니트를 금속 박판 및 프레임의 4개 변 각각에 배치해 놓으면, 금속 박판을 종횡 양방향으로 잡아당겨 한층 더 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 될 수가 있고, 그 상태로 프레임에 고정되어 보유지지되도록 할 수가 있다.
상기 판 당김유니트에 설치되어 있는 클램프 이동수단과, 프레임 누름유니트에 설치되어 있는 프레임 누름부재 이동수단으로는, 에어실린더와 같은 실린더장치를 사용하는 것이 부여하는 힘을 용이하게 조정할 수가 있기 때문에 바람직하다. 실린더장치를 이용할 때에는 클램프 이동수단 및 프레임 누름부재 이동수단으로 각각 별개의 실린더장치를 이용하여도 좋으나, 상기 클램프 이동수단 및 프레임 누름부재 이동수단으로 공통의 실린더장치를 이용하고서, 이 실린더장치를 상기 클램프 및 프레임 누름부재에 대해 양자를 상호 떨어지는 방향 및 접근하는 방향으로 이동시키도록 연결한 구성으로 하는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성으로 하면, 공통의 실린더장치에 의해 클램프와 프레임 누름부재에 동시에 인장력 및 압압력을 작용시킬 수가 있어, 구조를 간략화할 수 있음과 더불어 부여하는 인장력과 압압력을 같아지게 할 수가 있다.
상기 프레임 누름부재에는 프레임을 올려놓아 지지하는 지지면을 마련해 놓는 것이 바람직한바, 이에 따라 프레임을 지지하기 위한 전용의 장치를 설치할 필요가 없게 되어 장치의 간략화가 도모될 수 있게 된다.
1개의 변에 설치되는 복수의 판 당김유니트 및 프레임 누름유니트의 배치는, 금속 박판을 파지해서 잡아당기기 위한 클램프가 금속 박판의 강성의 분포에 대응하는 적절한 위치에 있도록 정하면 된다. 금속 박판이, 유기 EL소자의 제조에 이용하는 다면부착 마스크와 같이, 다수의 슬릿을 포함함과 더불어 4각 형상의 개구부를 나란히 형성한 구성인 경우에는, 복수의 판 당김유니트 및 프레임 누름유니트를 개구부와 비개구부에 맞추어 배치해 놓는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성으로 하면 금속 박판의 강성이 크게 다른 개구부와 비개구부를 각각 별개의 클램프로 잡아당길 수가 있기 때문에, 금속 박판을 거의 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 잡아당겨 보유지지할 수가 있다.
복수의 판 당김유니트의 클램프 이동수단에 의한 인장력은, 각각의 판 당김유니트마다 조정할 수 있는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 금속 박판에 가해지는 인장력을 장소에 대응해서 정밀하게 조정할 수가 있어, 금속 박판을 한층 더 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 잡아당겨 프레임에 고정할 수 있다.
본 발명에 의하면, 금속 박판의 4개 변을 각각 복수의 클램프로 파지하여 금속 박판에 인장력을 작용시켜 금속 박판을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 했을 때, 금속 박판의 코너부 근방을 파지한 클램프가 인장방향과는 직각인 방향으로 이동할 수 있기 때문에, 코너부를 사이에 두고 배치된 클램프가 상호 간섭하지를 않아, 금속 박판의 코너부도 소정의 위치까지 잡아늘일 수가 있게 된다. 또, 금속 박판을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 유지하고, 코너부도 포함해서 소정의 치수정밀도 범위 내로 위치시킬 수 있게 되어, 그 상태로 프레임에 고정할 수 있게 된다. 그 결과, 금속 박판을 프레임에 부착시켜 형성한 금속 박판에서는, 금속 박판이 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로, 금속 박판 내의 각 부의 위치(예컨대, 복수의 개구부를 가진 금속 박판에서는 각 개구부의 위치)가 코너부를 포함해서 소정의 치수정밀도 내에 유지되어 있어서, 이 금속 박판을 이용해서 예컨대 증착을 실행함으로써 미세한 패턴의 증착을 정확하게 실행할 수가 있게 된다.
도 1은, 본 발명의 제1실시예에 따른 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치의 개략평면도,
도 2의 (a) ~ (d)는, 도 1에 나타낸 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에 의한 부착동작의 순서를 나타낸 개략단면도,
도 3은, 도 1에 나타낸 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에서 취급하는 금속 박판과 프레임을 나타낸 개략사시도,
도 4는, 프레임 부착 후의 금속 박판과 프레임을 나타낸 개략사시도,
도 5는, 도 1의 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에 이용하고 있는 판 당김유니트·프레임 누름유니트를, 클램프를 벌린 상태에서 나타낸 부분 단면 개략측면도,
도 6의 (a) 및 (b)는, 도 5에 나타낸 판 당김유니트·프레임 누름유니트를, 클램프를 닫은 상태에서 다른 작동상태로 나타낸 부분 단면 개략측면도,
도 7의 (a) 및 (b)는, 다른 실시예에 이용되는 판 당김유니트·프레임 누름유니트를, 클램프를 닫은 상태에서 다른 작동상태로 나타낸 부분 단면 개략측면도,
도 8의 (a) 및 (b)는, 또 다른 실시예에 이용되는 판 당김유니트·프레임 누름유니트를, 클램프를 닫은 상태에서 다른 작동상태로 나타낸 부분 단면 개략측면 도,
도 9의 (a) 및 (b)는, 또 다른 실시예에 이용되는 판 당김유니트·프레임 누름유니트를, 클램프를 닫은 상태에서 다른 작동상태로 나타낸 부분 단면 개략측면도,
도 10은, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치의 개략평면도,
도 11은, 본 발명의 제2실시예에 따른 메탈마스크(금속 박판)를 프레임에 부착하는 장치의 개략평면도,
도 12는, 도 11에 나타낸 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치의 개략단면도,
도 13의 (a) 및 (b)는, 도 11에 나타낸 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에 설치되어 있는 텐션유니트를 다른 작동상태로 나타낸 개략측면도,
도 14의 (a) 및 (b)는, 도 11에 나타낸 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에 설치되어 있는 텐션유니트를 다른 작동상태로 나타낸 개략측면도,
도 15는, 도 14의 (b)의 Ⅴ-Ⅴ 화살표 방향에서 본 개략정면도,
도 16은, 도 11에 나타낸 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에서 메탈마스크의 코너영역을 복수의 텐션유니트로 잡아당긴 상태를 설명하는 개략평면도,
도 17의 (a) 및 (b)는, 다른 실시예에 이용되는 텐션유니트를 다른 작동상태로 나타낸 부분 단면 개략측면도.
도 18의 (a) 및 (b)는, 또 다른 실시예에 이용되는 텐션유니트를 다른 작동상태로 나타낸 부분 단면 개략측면도,
도 19의 (a) 및 (b)는, 각각 도 18에 나타낸 텐션유니트의 클램프 및 그 근방 부분을 나타낸 개략정면도 및 개략측면도,
도 20은, 메탈마스크 및 프레임의 개략사시도,
도 21은, 메탈마스크를 프레임에 부착시켜 형성한 마스크 유니트의 개략사시도,
도 22는, 다면부착 증착 마스크의 양단을 각각 1개의 클램프로 파지해서 잡아당긴 상태를 나타낸 개략평면도,
도 23은, 종래의 다면부착 증착 마스크의 한 예를 나타낸 개략 사시도이다.
(제1실시예)
본 발명은, 왜곡이나 느슨해짐이 없는 평탄한 상태로 보유지지할 필요가 있는 임의의 금속 박판에 대해 적용할 수 있으나, 특히 정밀함을 요구하는 유기 EL소자 제조용의 증착용 다면부착 마스크로 사용되는 금속 박판에 적용하는 것이 바람직하다. 이하, 유기 EL소자를 제조함에 있어 증착용 다면부착 마스크로 사용되는 금속 박판을 예로 들어 본 발명의 적합한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치의 개략평면도, 도 2는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에 의한 부착동작의 순서를 나타낸 개략단면도, 도 3은 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에서 취급하는 금속 박판 및 프레임을 나타낸 개략사시도, 도 4는 프레임을 부착한 후의 금속 박판과 프레임을 나타낸 개략사시도, 도 5는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에 이용하고 있는 판 당김유니트·프레임 누름유니트를, 클램프를 벌린 상태에서 나타낸 개략측면도, 도 6의 (a) 및 (b)는 판 당김유니트·프레임 누름유니트를 다른 작동 상태로 나타낸 개략측면도이다.
도 3에서, 참조부호 11은 증착 마스크로 사용되는 4각 형상의 금속 박판으로서, 그 중에 다수의 슬릿(12a)를 가진 개구부(12)가 복수 개 종횡으로 나란히 형성되어 있다. 참조부호 13은 금속 박판(11)을 부착시키기 위한 4각 형상의 금속제 프레임으로서, 금속 박판(11)의 다수의 개구부(12)를 형성한 영역을 포함하는 크기의 개구부(14)를 구비하고 있다. 금속 박판(11)은, 프레임(13)보다도 종횡 양방향 모두가 큰 사이즈로 만들어져 있고, 프레임(13)의 외주가장자리에 대략 대응하는 위치에 절곡(折曲)됨으로써 용이하게 절단을 할 수 있는 용이절단선(15)이 형성되어 있다. 한편, 상기 용이절단선(15)은 금속 박판(11)에 가해지는 인장력에는 견딜 수 있는 강도를 갖도록 되어 있다.
이 금속 박판(11)을 프레임(13)에 점용접 등으로 고정하고서, 그 주위 가장자리부분을 용이절단선(15)을 이용해서 절단하여 제거함으로써, 도 4에 나타나 있는 증착 마스크장치(17)를 형성할 수 있다. 여기서 쓰이는 금속 박판(11)의 두께, 개구부(12)의 치수, 거기에 형성된 슬릿의 치수 등은 특히 한정되지 않는바, 대표적인 것으로는, 금속 박판(11)의 두께가 30 ~ 200㎛, 개구부(12)의 치수는 길이가 50 ~ 70mm, 폭이 30 ~ 50mm, 슬릿의 폭이 50 ~ 100㎛, 슬릿을 구성하는 금속세선의 폭이 100 ~ 150㎛인 것 등을 예시될 수 있다.
도 1에서, 전체를 참조부호 20으로 나타낸 금속 박판의 프레임 부착장치는, 소정 위치에 배치되는 4각 형상의 프레임(13) 및 그 위에 배치되는 4각 형상의 금속 박판(11)의 4개 변의 각각에 복수 개씩 나란히 설치된 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)와, 이 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)를 보유지지하는 지지레일(22)을 구비하고 있다. 지지레일(22)은 소정 위치에 배치된 금속 박판(11)의 각 변에 평행하도록 배치되어 있다. 각각의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)는 그 지지레일(22)로 이동할 수 있도록 보유지지되어 있어서, 지지레일(22)을 따라 소망하는 위치로 이동되고 그 위치에 고정될 수 있는 구조로 되어 있다.
각각의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)는, 도 5 및 도 6에 도시된 것과 같이, 지지레일(22)로 이동할 수 있고 소망하는 위치에 고정될 수 있는 형태로 보유지지된 지지대(24)와, 그 지지대(24)에 직동안내부재(直動案內部材;25)를 매개로 수평이면서 금속 박판(11)의 변(11a)에 직각인 방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 이동대(26)와, 이 이동대(26)에 설치되어 금속 박판(11)을 파지하는 클램프(27)로서 이동대(26)에 고정된 고정편(27a)과 이 고정편(27a)에 대해 개폐가능한 가동편(27b)을 구비한 클램프(27)와, 이 클램프(27)를 토글죠인트(28)를 매개로 개폐시키도록 설치된 에어실린더 등의 실린더장치(29)와, 지지대(24)에 대해 이동대(26)를 왕복이동시키도록 설치된 에어실린더 등의 실린더장치(30)와, 지지대(24)에 고정된 보조지지대(32)와, 이 보조지지대(32)에 직동안내부재(33)를 매개로 이동대(26)와 같은 방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 프레임 누름부재(34)와, 이 프레임 누름부재(34)를 지지대(24) 및 보조지지대(32)에 대해 왕복이동시키도록 설치된 에어실린더 등의 실린더장치(35)와, 이동대(26)의 전진위치(이동대(26)가 금속 박판(11)의 중심을 향한 방향으로 이동했을 때의 이동한계위치) 및 프레임 누름부재(34)의 후퇴위치(프레임 누름부재(34)가 프레임(13)으로부터 멀어지는 방향으 로 이동했을 때의 이동한계위치)를 규제하도록 설치된 스토퍼판(stopper plate;36) 등을 구비하고 있다.
이동대(26)에 연결되어 있는 실린더장치(30)는, 도 6의 (b)에 도시된 것과 같이, 그 피스톤 로드(30a)를 신장하도록 작동시켰을 때에 이동대(26)를 화살표 A방향으로 이동시켜, 클램프(27)에 의해 파지(把持)되어 있는 금속 박판(11)에 화살표 A방향의 인장력을 작용시킬 수 있는 것으로, 클램프(27)에 파지된 금속 박판(11)에 인장력을 작용시키도록 클램프(27)를 이동시키는 클램프 이동수단을 구성하게 된다. 프레임 누름부재(34)는 프레임(13)을 지지하는 지지면(34a)을 구비함과 더불어, 클램프(27)가 금속 박판(11)에 가해지는 인장력의 방향(A)과는 역방향인 화살표 B방향으로 이동했을 때에 프레임(13)에 화살표 B방향의 압압력을 작용시킬 수 있는 구조로 되어 있다.
여기서, 금속 박판(11) 및 프레임(13)을 위에서 바라본 상태에서, 프레임 누름부재(34)가 프레임(13)에 압압력을 작용시키는 영역은, 프레임(13) 중 클램프(27)가 금속 박판(11)을 잡아당기고 있는 영역과 겹쳐지는 영역(대응하는 영역)에 화살표 B방향의 탄성변형이 생기게 할 수 있도록 정해진 영역이다. 바람직하기는, 프레임 누름부재(34)가 프레임(13)에 압압력을 작용시키는 영역의 중심이, 클램프(27)가 금속 박판(11)을 잡아당기고 있는 영역의 중심에 겹쳐지는 위치로 되도록 정해져 있다. 프레임 누름부재(34)에 연결되어 있는 실린더장치(35)는, 그 피스톤 로드(35a)를 신장시키도록 작동했을 때에 프레임 누름부재(34)를 화살표 B방향으로 이동시켜, 프레임(13)에 금속 박판(11)에 부여하는 인장력과는 반대방향의 압 압력을 작용시킬 수 있는 것으로, 프레임 누름부재가 상기 프레임에 압압력을 작용시키도록 프레임 누름부재를 이동시키는 프레임 누름부재 이동수단을 구성한다.
도 1에서, 금속 박판(11)의 4개의 변(11a)에 각각 설치되어 있는 복수의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)는, 소정 위치에 놓여지는 금속 박판(11)의 개구부(12)와 비개구부(12b)에 맞춰진 위치가 되도록 배치되어 있는바, 각각에 설치되어 있는 클램프(27)의 폭은, 금속 박판(11)의 개구부(12)가 나란히 배치해 있는 영역 및 개구부가 없는 영역을 각각 양호하게 잡아당길 수 있도록 정해져 있다. 이러한 구성에 의해, 금속 박판(11)의 개구부(12)가 종방향으로 나란히 있는 영역 및 횡방향으로 나란히 있는 영역과, 개구부가 없는 위치에서 종방향으로 뻗은 영역 및 횡방향으로 뻗은 영역을, 각각 별개의 클램프(27)로 양호하게 잡아당길 수가 있게 된다.
복수의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)에 각각 설치되어 있는 인장력 부여용 실린더장치(30;도 5 및 도 6 참조)에는, 각각 별개로 인장력을 조정할 수 있도록 레귤레이터를 매개로 작동유체 공급배관이 접속되어 있다. 또, 이 작동유체 공급배관에는, 전부의 실린더장치를 동시에 작동시킬 수 있도록 공통의 개폐밸브가 설치되어 있고, 각 실린더장치의 작동 타이밍을 각각 조정할 수 있도록 각 실린더장치로 작동유체를 공급하는 작동유체 공급배관에는 스피드 콘트롤러도 설치되어 있다. 복수의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)에 각각 설치되어 있는 압압력부여용 실린더장치(35)에도 작동유체 공급배관이 접속되어 있다. 이 작동유체 공급배관에는, 전부의 실린더장치(35)의 압압력을 동시에 조정할 수 있도록 공통의 레 귤레이터가 설치되어 있다. 한편, 이 작동유체 공급배관에도 각 실린더장치(35)에 의한 압압력을 개별적으로 조정할 수 있도록 레귤레이터를 설치하여도 좋다.
그런데 앞에서 설명한 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)는, 금속 박판(11)을 잡아당기는 판 당김기능과 프레임(13)을 누르는 압압기능을 가진 일체구조를 갖도록 되어 있으나, 고정편(27a)과 클램프(27) 및 실린더장치(29, 30)로 구성되는 판 당김기능을 가진 판 당김유니트(21a)와, 프레임 누름부재(34) 및 실린더장치(35)로 구성되는 프레임 누름유니트(21b)를 각각 독립해서 설치하여도 좋다.
다음에는, 상기 구성의 프레임 부착장치(20)를 이용한 금속 박판을 프레임에 부착하는 동작을 설명한다. 각각의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)의 클램프(27)를 벌린 상태(도 5 참조)에서, 프레임 누름부재(34)의 지지면(34a)에 프레임(13)을 올려놓고 그 위에 금속 박판(11)을 실어 그의 4개 변을 복수의 클램프(27)로 파지한다. 이 상태가 도 1과 도 2의 (a) 및 도 6의 (a)에 나타낸 상태이다. 다음에, 도 6의 (b)에 도시된 것과 같이, 인장력 부여용 실린더장치(30)에 작동유체를 공급해서 피스톤 로드(30a)를 신장시켜 클램프(27)를 화살표 A방향으로 이동시켜, 금속 박판(11)에 인장력을 작용시킨다. 이에 따라, 도 1에 도시된 것과 같이, 금속 박판(11)이 다수의 클램프(27)에 의해 종횡 양방향으로 잡아 당겨지게 된다. 이 상태에서, 금속 박판(11)의 표면상태를 눈으로 보고 검사하여, 왜곡이나 느슨해짐이 있으면, 그 영역을 잡아당기고 있는 클램프(27)에 연결된 실린더장치(30)로의 작동유체압을 조정해서, 금속 박판(11)을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 평탄한 상태이면서 개구부(12)의 슬릿(12a)이 평행하게 당겨져 가지런해지는 상태로 조정한다. 또, 금속 박판(11)에 형성되어 있는 각 개구부(12)의 위치를 검사하여, 각 개구부가 소정의 치수정밀도 내의 위치에 들도록 각 실린더장치(30)로의 작동유체압을 조정한다. 이상으로, 금속 박판(11)을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태이면서 각 개구부가 소정의 치수정밀도 범위 내에 위치하는 상태가 되도록 할 수가 있다.
다음에, 도 6의 (b)에 도시된 것과 같이, 압압력부여용 실린더장치(35)에 작동유체를 공급해서 피스톤 로드(35a)를 신장시켜 프레임 누름부재(34)를 화살표 B방향으로 이동시켜, 프레임(13)을 화살표 B방향으로 압압한다. 여기서, 프레임(13)을 화살표 B방향으로 압압하는 압압력은, 클램프(27)가 금속 박판(11)에 작용시키고 있는 인장력과 대략 같아지도록 설정해 놓는다. 이에 따라, 프레임(13)은 화살표 B방향으로 탄성변형이 되어, 그 반대방향의 복원력이 생기게 된다. 이 상태에서, 도 2의 (b)에 도시된 것과 같이, 금속 박판(11)을 프레임(13)에 레이저 용접기(40)를 이용해서 점용접을 한다. 이 점용접은, 레이저 용접기(40)를 차례차례 소망하는 점용접 위치로 이동시켜 실행한다. 이에 따라, 금속 박판(11)의 복수 개소가 점용접부(42;도 1 참조)에 의해 프레임(13)에 고정되게 된다. 그 후, 도 2의 (c)에 도시된 것과 같이, 클램프(27)를 개방해서 금속 박판(11)의 파지를 해제하고, 프레임 누름부재(34)를 후퇴시켜 프레임(13)에 대한 압압을 해제한다.
그런데, 클램프(27)에서 금속 박판(11)을 화살표 A방향으로 잡아당기고 있을 때, 이 금속 박판(11)에는 화살표 B방향의 인장력(복원력)이 생기고 있다. 이 때문에, 클램프(27)를 개방하면, 도 2의 (d)에 도시된 것과 같이, 금속 박판(11)에 생 기는 화살표 B방향의 인장력이 프레임(13)에 직접 작용하게 되어, 프레임(13)을 화살표 B방향으로 잡아당기게 된다. 만일, 프레임(13)에 대해서 압압력을 전혀 가하지 않은 경우에는, 그 프레임(13)이 자신의 강성에 의해 금속 박판(11)의 화살표 B방향 인장력을 지탱하게 되지만, 이 경우 프레임(13)이 금속 박판(11)에서 화살표 B방향으로 잡아 당겨짐으로써 탄성변형이 생기게 한다. 프레임(13)의 강성을 대단히 크게 설정해 놓으면, 이 탄성변형은 무시할 수 있을 정도로 미소한 것으로 되지만, 실용상은 경량화, 코스트 삭감 등을 위해 프레임(13)의 강성은 어느 정도밖에 작게 할 수가 없는 바, 이 경우 프레임(13)에 무시할 수 없는 탄성변형이 생기게 되고, 거기에 수반해서 금속 박판(11)이 수축되어 내부에 생겨 있던 인장력이 저하되게 된다. 이에 따라, 금속 박판(11)에 왜곡이나 느슨해짐이 생겨, 개구부(12)의 슬릿(12a)의 평형도가 흐트러져 소망하는 슬릿 패턴이 얻어지지 않는다거나 각 개구부(12)의 위치가 흐트러질 수가 있다.
이에 대해, 본 실시예에서는 금속 박판(11)을 프레임(13)에 고정할 때, 프레임(13)에는 화살표 B방향의 압압력을 작용시켜 탄성변형시키고 있기 때문에, 프레임(13)에는 화살표 A방향의 복원력이 생기게 된다. 이 때문에, 금속 박판(11)을 프레임(13)에 고정하고서 금속 박판(11) 및 프레임(13)을 개방했을 때, 금속 박판(11)에 화살표 B방향으로 생기는 인장력을 프레임(13)에 생기는 화살표 A방향의 복원력 및 프레임(13)의 강성으로 지탱하게 되어, 프레임(13)의 강성이 작더라도 프레임(13)이 금속 박판(11)으로 잡아 당겨져 화살표 A방향으로 다시 변형이 된다고 하는 일은 없게 된다. 따라서, 금속 박판(11)이 수축되지 않아, 금속 박판(11) 에 부가되어 있던 인장력은 그대로 유지되게 된다. 그 결과, 프레임(13)의 강성이 작더라도, 금속 박판(11)을 왜곡이나 느슨해짐의 없는 상태로 보유지지하고, 각 개구부가 소정의 치수정밀도 범위 내에 위치하는 상태로 보유지지할 수가 있다. 환언하면, 강성이 작은 염가의 프레임(13)을 이용해서 금속 박판(11)을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 보유지지하고, 각 개구부가 소정의 치수정밀도 범위 내에 위치하는 상태로 보유지지할 수가 있게 된다.
여기서, 프레임 누름부재(34)가 프레임(13)에 가하는 압압력은, 클램프(27)가 금속 박판(11)에 가하는 인장력과 같도록 설정해 놓는 것이, 금속 박판(11)의 인장력을 프레임(13)에 생기는 복원력으로 상쇄할 수가 있기 때문에 바람직하다. 그러나, 다소 양자 사이에 차이가 있어도, 프레임(13) 자체가 어느 정도의 강성을 구비하고 있기 때문에 지장은 없다. 프레임 누름부재(34)에 의해 프레임(13)에 가해지는 압압력은, 클램프(27)가 금속 박판(11)에 가하는 인장력과의 차이가 그 인장력의 ±30% 정도 이내로 되도록 설정해두면 좋다.
금속 박판(11)을 프레임(13)에 고정하고, 클램프(27)를 개방하고 프레임 누름부재(34)를 후퇴시켜 프레임의 압압을 해제한 후에는, 금속 박판(11)의 주위 가장자리부분을 용이절단선(15)을 이용해서 제거한다. 이상으로부터, 도 4에 도시된 것과 같이, 프레임(13)에 금속 박판(11)을 고정한 구성의 증착 마스크장치(17)가 제조된다. 얻어진 증착 마스크장치(17)에서는, 금속 박판(11)이 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태이면서 개구부(12)의 슬릿(12a)이 정확하게 평행하게 가지런해진 상태로 유지되어 있고, 각 개구부(12)의 위치도 소정의 치수정밀도 내로 유지되어 있 다. 그 결과, 이 증착 마스크장치(17)를 이용해서 증착을 실행함으로써, 미세한 패턴의 증착을 정확하게 실행할 수가 있다.
한편, 상기한 동작설명에서는, 금속 박판(11)을 다수의 클램프(27)로 잡아당겨 평탄한 상태로 정돈한 후 프레임(13)에 압압력을 작용시키고 있으나, 프레임(13)에 압압력을 작용시킬 시기는 이에 한하지 않고, 클램프(27)에 의한 인장력을 작용시킬 때 동시에 압압력을 작용시키도록 하여도 좋다. 그리고, 상기 실시예에서는, 금속 박판(11)에 인장력을 작용시키기 위한 실린더장치(30)와 프레임(13)에 압압력을 작용시키는 실린더장치(35)가 별개로 설치되어 있으나, 본 발명은 이 구성에 한정되지 않고, 공통의 실린더장치를 이용할 수도 있다. 이하, 이러한 경우의 실시예를 설명한다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에 이용되는 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21A)를 나타낸 것이다. 이 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21A)에서는, 지지대(24A)에 보조지지대(32A)가 부착되고, 이 보조지지대(32A)에 직동안내부재(33)를 매개로 프레임 누름부재(34A)가 이동할 수 있게 보유지지되고, 이 프레임 누름부재(34A)가 연결로드(50)에 의해 실린더장치(30A)의 피스톤 로드(30a)에 연결되어 있다. 실린더장치(30A)는 그의 실린더(30b)를 클램프(27)를 보유지지한 이동대(26)에 보유지지시키고 있다. 이러한 구성에 의해, 실린더장치(30A)를 작동시킴으로써, 이동대(26)와 프레임 누름부재(34A)를 상호 떨어지는 방향(화살표 A방향 및 화살표 B방향) 및 가까운 방향으로 이동시킬 수가 있고, 이때 이동대(26)와 프레임 누름부재(34A)에 부여하는 힘을 같 아지게 할 수가 있다. 한편, 참조부호 55는 연결로드(50)를 도면에서 오른쪽 방향으로 밀어 프레임 누름부재(34A)를 후퇴위치로 되돌리기 위한 스프링이다. 기타의 구조는 도 5 및 도 6에 도시한 실시예의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)와 마찬가지이다. 도 7에 나타낸 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21A)는, 도 1에 나타낸 프레임 부착장치(20)에서의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21) 대신 쓰이게 된다.
도 7에 도시된 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21A)를 이용한 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에서도, 프레임 누름부재(34A) 상에 프레임(13)을 올려놓고 그 위에 금속 박판(11)을 실어 클램프(27)로 파지하게 된다. 다음에, 도 7의 (b)에 도시된 것과 같이, 실린더장치(30A)를 그 피스톤 로드(30a)가 신장되는 방향으로 작동시켜 이동대(26) 및 거기에 보유지지된 클램프(27)를 화살표 A방향으로 이동시킴과 더불어 프레임 누름부재(34A)를 화살표 B방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 클램프(27)로 금속 박판(11)에다 인장력을 작용시킴과 더불어, 그 인장력과 같은 크기의 압압력을 프레임 누름부재(34A)를 매개로 프레임(13)에 가할 수 있다. 그리고, 금속 박판(11)의 4개의 변에 각각 복수 개씩 배치되어 있는 클램프(27)로 가해지는 인장력을 조정해서 금속 박판(11)을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태이면서 각 개구부가 소정의 치수정밀도 범위 내에 위치하는 상태로 한 후, 그 금속 박판(11)을 프레임(13)에 점용접을 해서 고정한다. 이때, 클램프(27)가 금속 박판(11)에 인장력을 작용시키고 있는 영역과 겹쳐지는 프레임(13)의 영역에, 그 인장력과 같은 크기의 압압력을 프레임 누름부재(34A)가 작용시켜 탄성변형시키고 있 기 때문에, 금속 박판(11)과 프레임(13)에는 각각 같은 크기이고 상호 반대방향인 복원력이 생기는바, 이 때문에 금속 박판(11) 및 프레임(13)을 개방했을 때, 금속 박판(11)의 복원력(인장력)은 프레임(13)의 복원력으로 상쇄되어, 프레임(13)이 금속 박판(11)에서 잡아 당겨져 변형되는 일이 없고, 따라서 금속 박판(11)은 수축되지 않고 소정의 인장력이 가해진 상태로 유지된다. 그 결과, 강성이 작은 염가의 프레임(13)을 이용해서, 금속 박판(11)을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태이면서 각 개구부가 소정의 치수정밀도 범위 내에 위치하는 상태로 보유지지할 수 있다.
도 7에 도시된 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21A)에서는, 공통의 실린더장치(30A)로 금속 박판(11)에 대한 인장력 부여와 프레임(13)에 대한 압압력 부여를 실행할 수 있어서, 장치구조나 제어계를 간략화할 수 있음과 더불어, 금속 박판(11)에 부여하는 인장력과 프레임(13)에 부여하는 압압력을 같아지도록 할 수가 있고, 금속 박판(11)을 프레임(13)에 고정한 다음 개방시킨 후의 금속 박판(11)의 수축을 한층 확실하게 방지해서, 금속 박판(11)을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 보유지지하고, 각 개구부가 소정의 치수정밀도 범위 내에 위치하는 상태로 보유지지할 수가 있다고 하는 이점이 있게 된다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에 이용되는 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21B)를 나타낸 것이다. 이 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21B)에서는, 지지대(24B)의 폭을 넓게 해서 그 상부면에 긴 레일(57)을 설치하고, 그 레일(57)에 직동안내부재(25)를 매개로 이동대(26)를 이동할 수 있게 보유지지시킴과 더불어 직동안내부재(33)를 매개로 프레 임 누름부재(34B)를 이동할 수 있게 보유지지하도록 되어 있다. 그리고, 이 프레임 누름부재(34B)를 연결로드(50B)를 매개로 이동대(26)에 보유지지되어 있는 실린더장치(30B)의 피스톤 로드(30a)에 연결하도록 되어 있다. 기타의 구조는 도 7에 나타낸 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21A)와 마찬가지로 되어 있다. 도 8의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21B)에서도, 도 8의 (b)에 도시된 것과 같이, 실린더장치(30B)를 작동시킴으로써, 이동대(26) 및 거기에 보유지지된 클램프(27)를 화살표 A방향으로 이동시킴과 더불어 프레임 누름부재(34B)를 화살표 B방향으로 이동시켜, 클램프(27)에 의해 금속 박판(11)에 인장력을 작용시킴과 더불어, 그 인장력과 같은 크기의 압압력을 프레임 누름부재(34B)를 매개로 프레임(13)에 가해줄 수가 있게 된다. 이 실시예에서는, 이동대(26)와 프레임 누름부재(34B)를 공통의 레일(57)로 이동할 수 있게 보유지지시킴으로써, 구조를 간략화할 수 있는 이점이 있게 된다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치에 이용되는 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21C)를 나타낸 것이다. 이 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21C)에서는, 지지대(24C) 상에 직동안내부재(60)를 매개로 보조이동대(61)를 이동할 수 있게 보유지지시키고, 그 보조이동대(61) 상에 직동안내부재(25)를 매개로 이동대(26)를 이동할 수 있게 보유지지하도록 되어 있다. 그리고, 보조이동대(61)에 프레임 누름부재(34C)를 부착시키고, 이동대(26)에는 실린더장치(30C)의 실린더(30b)를 부착시킴과 더불어 그 피스톤 로드(30a)를 보조이동대(61)에 연결하도록 되어 있다. 또, 프레임 누름부재(34C)를 후퇴위치로 되 돌리기 위한 스프링(63)도 설치되어 있다. 기타의 구조는, 도 7에 도시된 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21B)와 마찬가지이다. 도 9의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21C)에서도, 도 9의 (b)에 도시된 것과 같이, 실린더장치(30C)를 작동시킴으로써, 이동대(26) 및 거기에 보유지지된 클램프(27)를 화살표 A방향으로 이동시킴과 더불어 보조이동대(61)를 매개로 프레임 누름부재(34C)를 화살표 B방향으로 이동시켜, 클램프(27)에 의해 금속 박판(11)에 인장력을 작용시킴과 더불어, 그 인장력과 같은 크기의 압압력을 프레임 누름부재(34C)를 매개로 프레임(13)에 가해줄 수가 있다. 이 실시예에서는, 보조이동대(61)와 이동대(26)를 겹쳐 배치함으로써, 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21C)의 폭을 작게 할 수 있는 이점이 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치(20D)를 나타낸 개략평면도이다. 이 실시예에 따른 프레임 부착장치(20D)에서는, 소정 위치에 놓여지는 금속 박판(11)의 4개의 변에 각각 복수의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)를 배치하도록 되어 있다. 또 금속 박판(11)의 이웃하는 2개의 변(11a) 사이의 코너부(11b)에 추가 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21D)가 배치되어 있다. 기타의 구성은 도 1의 실시예와 마찬가지이다. 도 10에 도시된 실시예에서도, 금속 박판(11)을 각각의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21) 및 추가 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21D)의 클램프(27)로 파지하고 잡아당겨 평탄하게 정돈하여, 압압상태의 프레임에 고정하게 된다. 이때, 금속 박판(11)을 먼저 코너부(11b)에 배치되어 있는 추가 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21D)의 클램프(27)로 대각선방향으로 잡아당긴 다음에, 4개 변의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21)의 클램프(27)로 종횡 양방향으로 잡아당긴다. 이와 같이, 먼저 금속 박판(11)의 4개의 코너부(11b)를 대각선 방향으로 잡아당김으로써, 금속 박판(11)을 전체적으로 잡아늘일 수가 있고, 그 후 각 변(11a)을 잡아당김으로써, 코너부(11b)를 사이에 끼우는 위치에 배치된 클램프(27)끼리의 간섭을 적게 해가면서 금속 박판(11) 전체면에 종횡방향의 인장력을 작용시킬 수가 있다. 이에 따라, 금속 박판(11)을 거의 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 보유지지하고, 개구부(12)를 소망하는 치수정밀도를 유지한 위치에 보유지지시켜, 그 상태로 프레임(13)에 고정할 수 있다고 하는 이점이 있게 된다.
한편, 코너부(11b)의 추가 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21D)를, 판 당김 기능만을 가진 추가 판 당김유니트에 대신해서 사용하여도 좋다.
이상으로, 본 발명의 적합한 실시예에 대해 설명하였으나, 본 발명은 이들의 실시예에 한정되지 않고, 특허청구의 범위의 기재의 범위 내에서 여러 가지로 변경하여 실시할 수도 있다. 예컨대, 클램프가 파지한 금속 박판에 인장력을 작용시키도록 클램프를 이동시키는 클램프 이동수단이나 프레임 누름부재가 프레임에 압압력을 작용시키도록 상기 프레임 누름부재를 이동시키는 프레임 누름부재 이동수단은, 실시예에 나타낸 실린더장치에 한하지 않고, 모터를 이용한 것 등으로 변경하여도 좋다. 또, 상기한 실시예에서는, 복수의 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21) 및 추가 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21D)의 클램프(27)에 각각 인장력을 부여하기 위한 실린더장치(30)로 공급되는 작동유체압을 개별적으로 조정할 수 있도록 되어 있고, 각 클램프(27)가 금속 박판(11)에 부여하는 인장력을 개별적 으로 조정할 수 있도록 되어 있다. 이와 같은 구성은, 금속 박판(11)에 가해지는 인장력을 정밀하게 조정할 수 있기 때문에, 왜곡이나 느슨해짐이 생기기 쉬운 금속 박판(11)이더라도, 극히 평탄한 상태로 잡아당겨 보유지지할 수 있는 이점이 있게 된다. 그러나, 본 발명은 이러한 구성에 한하지 않고, 예컨대 비교적 용이하게 평탄한 상태로 잡아당겨 보유지지할 수 있는 금속 박판(11)을 이용하는 경우에는, 각 변(11a)에 배치된 복수의 클램프(27)를, 예컨대 개구부(12)에 대응한 클램프를 제1세트로 하고, 비개구부(12b)에 대응한 클램프(27)를 제2세트로 하도록 복수의 세트로 나누어 각 세트의 클램프에 연결된 실린더장치로 공급되는 작동유체압을 공통으로 조정하도록 하여도 좋다.
또, 금속 박판(11)의 각 변(11a)에 배치하는 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21, 21A, 21B, 21C) 등은, 반드시 각각의 클램프(27)가 개구부(12)와 비개구부의 각각에 맞춰진 위치가 되도록 배치하는 경우에 한하지 않고, 개구부와 비개구부를 적절히 조합해서, 넓은 폭을 파지하도록 변경하던지, 보다 더 세세하게 분할한 영역을 파지할 수 있도록, 더 많은 클램프를 이용한다고 하는 변경을 가하여도 좋다. 어떻든, 사용하는 금속 박판의 특성에 대응해서 그 금속 박판을 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 잡아당겨 보유지지할 수 있도록 판 당김유니트·프레임 누름유니트의 클램프의 사용 수나 배치를 정하면 좋다. 그리고, 상기한 실시예에서는, 금속 박판(11)의 4개 변(11a)에 각각 복수의 판 당김유니트·프레임 누름유니트를 배치하였으나, 이에 한하지 않고 상호 대면하는 2개 변에만 복수의 판 당김유니트·프레임 누름유니트를 배치하도록 변경하여도 좋다. 단, 이 경우에는 개구부(12) 의 슬릿을 평행하게 잡아 가지런해지게 할 수 있도록, 슬릿과 같은 방향의 양단에 복수의 판 당김유니트·프레임 누름유니트를 배치하는 것이 바람직하다.
(제2실시예)
본 발명은, 왜곡이나 느슨해짐이 없는 평탄한 상태로 보유지지할 필요가 있는 임의의 4각형 메탈마스크(금속 박판이라고도 함)를 4각형 프레임형상의 프레임에 부착시키는 경우에 대해 적용할 수 있는바, 특히 정밀함을 요구하는 유기 EL소자 제조용의 증착용 다면부착 마스크로 사용되는 메탈마스크에 적용하는 것이 바람직하다. 이하, 유기 EL소자 제조에서의 증착용 다면부착 마스크로 사용하는 메탈마스크를 예로 들어 본 발명의 적합한 실시예를 설명한다.
도 20은 뒤에 설명하는 실시예에 따른 프레임 부착장치(금속 박판의 프레임 부착장치라고도 함)에서 취급하는 메탈마스크 및 프레임형상의 프레임을 나타낸 개략사시도이고, 도 21은 메탈마스크를 프레임에 고정시켜 형성한 마스크 유니트를 나타낸 개략사시도이다.
도 20에서, 참조부호 101은 증착 마스크로 사용되는 직각사변형 형상의 메탈마스크로서, 복수의 마스크부(개구부;102)가 종횡으로 나란히 형성되어 있다. 각 마스크부는 증착을 허용하는 다수의 미소한 슬릿(102a)을 구비한 것이다. 각 마스크부(102)에서의 슬릿의 형상과 배열은 임의로서, 예컨대 가늘고 긴 형상의 슬릿을 평행하게 나란히 배열한 것, 슬롯 형상의 슬릿을 종방향으로 나란히 함과 더불어 평행으로 배열한 것 등을 들 수가 있다. 참조부호 103은 메탈마스크(101)를 부착시키기 위한 강성이 큰 프레임으로서, 메탈마스크(101)의 다수의 마스크부(102)를 형 성한 영역(유효영역이라고 함)을 포함하는 크기의 개구(104)를 구비하고 있다. 메탈마스크(101)는 프레임(103)보다도 종횡 양방향 모두에서 큰 사이즈로 만들어져 있어, 프레임(103)의 외주 가장자리에 대략 대응하는 위치에, 절곡됨으로써 용이하게 절단할 수 있는 용이절단선(105)이 형성되어 있다. 한편, 용이절단선(105)은 메탈마스크(101)에 가해지는 인장력에는 견딜 수 있는 강도를 갖도록 된 것이다. 메탈마스크(101)의 두께, 마스크부(102)의 치수, 거기에 형성한 다수의 미소한 개구부의 치수 등은 특히 한정되는 것은 아니지만, 대표적인 것으로, 메탈마스크(101)의 두께는 30 ~ 200㎛, 마스크부(102)의 치수는 길이가 50 ~ 70mm, 폭이 30 ~ 50mm, 슬릿(102a)의 폭이 40 ~ 100㎛, 평행하게 배열된 개구부 사이의 구멍 없는 부분의 폭이 80 ~ 200㎛ 등으로 된 것을 예시할 수 있다. 메탈마스크(101)를 프레임(103)에 점용접 등으로 고정하고, 그 주위 가장자리부분을 용이절단선(105)을 이용해서 절단하여 제거함으로써, 도 21에 나타낸 마스크 유니트(108)를 형성할 수가 있다.
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 메탈마스크의 프레임 부착장치의 개략평면도, 도 12는 그 프레임 부착장치의 개략단면도, 도 13의 (a) 및 (b)는 그 프레임 부착장치에 설치되어 있는 텐션유니트(113)를 다른 작동상태로 나타낸 개략측면도, 도 14의 (a) 및 (b)는 그 프레임 부착장치에서 메탈마스크의 코너부 근방을 파지하는 위치에 설치되어 있는 텐션유니트(113A)를 다른 작동상태로 나타낸 개략측면도, 도 15는 도 14의 (b)에 나타낸 텐션유니트(113A)를 화살표 V-V방향으로 바라본 개략정면도이다.
도 11 및 도 12에서, 전체를 참조부호 110으로 나타낸 메탈마스크의 프레임 부착장치(금속 박판의 프레임 부착장치라고도 함)는, 지지대(111)와, 이 지지대(111)에 메탈마스크(101)의 4개 변의 각각의 복수의 곳을 파지해서 텐션을 가할 수 있도록 배치된 복수의 텐션유니트(113, 113A)를 구비하고 있다. 여기서, 텐션유니트(113A)는 메탈마스크(101)의 코너부 근방을 파지하는 위치에 배치된 것이고, 텐션유니트(113)는 기타의 영역에 배치된 것이다.
즉, 메탈마스크(101)는 4각형을 이루고, 이웃하는 2개 변(101a) 사이의 코너부(101b) 근방에 텐션유니트(113A)가 설치되고, 텐션유니트(113)는 기타의 영역에 배치되어 있다.
또, 텐션유니트(113)를 판 당김유니트로도 할 수가 있고, 텐션유니트(113A)를 추가 판 당김유니트로도 할 수가 있다.
텐션유니트(113)는, 도 13에 확대하여 나타낸 것과 같이, 지지대(111)에 설치된 지지레일(114)에 부착위치를 조정할 수 있는 형태로 고정된 베이스부재(115)와 이 베이스부재(115)에 직동안내부재(116)를 매개로 메탈마스크에 인장력을 부가하는 방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 클램프 지지대(117)와, 클램프 지지대(117)에 설치되어 메탈마스크(101)를 파지하는 클램프(118)와, 이 클램프(118)를 개폐하는 클램프 개폐기구(119)와, 클램프(118)가 파지한 메탈마스크(101)에 인장력을 작용시키도록 클램프(118)를 보유지지한 클램프 지지대(117)를 베이스부재(115)에 대해 이동시키는 클램프 이동수단(123) 등을 구비하고 있다.
클램프(118)는 클램프 지지대(117)에 고정된 고정편(118a)과, 이에 대해 개 폐가능한 가동편(118b)을 구비하고 있다. 클램프 개폐기구(119)는 토글기구(120)와, 이 토글기구(120)를 매개로 클램프(118)의 가동편(118b)을 개폐하는 에어실린더 등의 실린더기구(121)를 구비하고 있다. 토글기구(120)는, 클램프 지지대(117)에 부착된 지지판(117a)에 핀(120a)을 중심으로 해서 선회할 수 있도록 보유지지된 제1레버(120b)와, 지지판(117a)에 핀(120c)을 중심으로 해서 선회할 수 있도록 보유지지된 제2레버(120d) 및, 이들 제1레버(120b)와 제2레버(120d)를 연결하는 링(120e) 등을 갖추고 있고, 제1레버(120b)에는 실린더기구(121)가 연결되고, 제2레버(120d)에는 클램프(118)의 가동편(118b)이 선회할 수 있도록 보유지지되어 있다. 다시, 제2레버(120d)의 선단에는 가동편(118b)의 배면을 지지하는 조정나사(120f)가 부착되어 있어서, 이 조정나사(120f)에 의해, 도 13의 (b)에 도시된 것과 같이, 클램프(118)를 닫힌 위치로 했을 때의 가동편(118b)의 높이위치를 조정할 수 있게 되어 있다. 한편, 도시는 생략되어 있으나, 도 13의 (a)에 도시된 것과 같이, 제2레버(120d)를 위쪽으로 선회시켜 가동편(118b)을 벌린 상태에서도 가동편(118b)을 조정나사(120f)에 접촉한 위치에 보유지지하기 위한 스프링이 설치되어 있다. 이들의 구성에 의해, 실린더기구(121)에서 제1레버(120b)를 왕복 선회시켜 클램프(118)를 개폐할 수가 있고, 도 13의 (b)에 나타낸 닫힌 위치에서는, 메탈마스크(101)를 고정편(118a)과 가동편(118b)으로 강고하게 파지할 수가 있게 된다.
클램프 이동수단(123)은 클램프 지지대(117)를 베이스부재(115)에 대해 왕복이동시키는 것으로, 이 실시예에서는 에어실린더가 사용되고 있다. 이 클램프 이동수단(123)이, 도 13의 (b)에 도시된 것과 같이, 클램프 지지대(117)를 화살표 A방 향으로 이동시킴으로써, 클램프(118)로 파지되어 있는 메탈마스크(101)에 대해 화살표 A방향의 인장력을 부가할 수가 있다. 한편, 클램프 이동수단(123)으로서 여기서는 에어실린더를 이용하고 있지만, 이에 한하지 않고 유압실린더나 서보모터 등을 이용하여도 좋다.
베이스부재(115)에는 프레임(103)을 지지하는 프레임받침(125)이 부착되어 있다. 이 프레임받침(125)은 그 위에 프레임(103)을 올려놓는 것으로, 프레임(103)을 수평면 내의 소정 위치에 위치결정함과 더불어 프레임(103)의 상부면이 클램프(118)에 파지되어 인장력을 부여하고 있는 메탈마스크(101)에 대략 접하는 위치가 되도록 상하방향으로도 위치결정할 수 있도록 배치되어 있다. 그리고, 프레임받침(125)은 클램프 지지대(117)의 전진위치를 규제하기 위한 스토퍼로도 작용한다.
메탈마스크(101)의 코너부 근방을 파지하도록 배치된 텐션유니트(113A)는, 도 14 및 도 15에 도시된 것과 같이, 지지대(111)에 설치된 지지레일(114)에 부착위치를 조정할 수 있는 형태로 고정된 제1베이스부재(115A)와, 이 제1베이스부재(115A)에 직동안내부재(127)를 매개로 클램프(118)에 파지된 메탈마스크(101)에 평행하면서 메탈마스크에 인장력을 부가하는 방향에 대해 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 제2베이스부재(115B)와, 이 제2베이스부재(115B)에 직동안내부재(116)를 매개로 메탈마스크로의 인장력 부가방향(뒤에 설명하는 클램프 지지대(117)의 이동방향과 같은 방향)으로 이동할 수 있게 보유지지된 클램프 지지대(117)와, 클램프 지지대(117)에 설치되어 메탈마스크(101)를 파지하는 클램프(118)와, 이 클램프(118)를 토글기구(120)를 매개로 해서 개폐하는 에어실린더 등의 실린더기구(121)를 구비한 클램프 개폐기구(119)와, 클램프(118)가 파지한 메탈마스크(101)에 인장력을 작용시키도록, 클램프(118)를 보유지지한 클램프 지지대(117)를 제2베이스부재(115B)에 대해 이동시키는 클램프 이동수단(123)과, 프레임(103)을 지지하는 프레임받침(125) 등을 구비하고 있다.
여기서, 제2베이스부재(115B)를 직동안내부재(127)로 클램프 지지대(117)의 이동방향에 대해 직각방향으로 이동할 수 있도록 함으로써, 클램프 지지대(117) 및 거기에 보유지지된 클램프(118)가 메탈마스크(101)에 인장력을 부가하는 방향(A) 및 거기에 직각인 B-B방향으로 이동할 수 있다. 한편, 제1베이스부재(115A)와 제2베이스부재(115B)의 사이에는, 제2베이스부재(115B)에 B-B방향의 힘이 작용했을 때에는 제2베이스부재(115B)의 이동을 허용하지만, 그 힘이 없어졌을 때에는 원래의 중앙위치로 되돌리기 위한 위치복귀 스프링이 설치되어 있다. 프레임받침(125)은 제1베이스부재(115A)에 보유지지되어 있다. 기타의 구조는, 도 13에 나타낸 텐션유니트(113)와 마찬가지이다.
도 11 및 도 12에서, 텐션유니트(113 및 113A)는, 메탈마스크(101)의 각 변을 각각 복수의 텐션유니트(113, 113A)로 파지해서 그 변에 직각방향으로 인장력을 가할 수 있도록 배치되어 있다. 그리고, 메탈마스크(101)의 각 변을 파지하도록 배치되어 있는 복수의 텐션유니트(113, 113A)의 클램프(118)는, 메탈마스크(101)의 마스크부(102)와 비마스크부(102b)에 맞춰져 배치되어 있고, 이에 따라 메탈마스크(101)의 마스크부(102)를 형성한 종방향으로 뻗은 영역 및 횡방향으로 뻗은 영역과, 마스크부가 없는 종방향으로 뻗은 영역 및 횡방향으로 뻗은 영역을, 각각 별개 의 클램프(118)로 잡아당겨 인장력을 부여할 수가 있다.
복수의 텐션유니트(113, 113A)에 각각 설치되어 있는 클램프 이동수단(123)에는, 메탈마스크(101)에 부여하는 인장력을 개별적으로 조정할 수 있도록 그 클램프 이동수단(123)에 의한 구동력을 개별적으로 조정하는 조정수단(도시되지 않음)이 설치되어 있다. 보다 구체적으로는, 클램프 이동수단(123)을 구성하는 에어실린더에는 에어 공급배관이 접속되어 있고, 이 에어 공급배관에 각 에어실린더로 공급되는 압력을 개별적으로 조정할 수 있는 레귤레이터가 조정수단으로서 설치되어 있다. 한편, 전부의 텐션유니트(113)의 클램프 이동수단(에어실린더;123)을 동시에 작동시킬 수 있도록, 이들 에어실린더에 연결되어 있는 에어 공급배관에는 공통의 개폐밸브를 매개로 에어가 공급되도록 되어 있고, 각 에어실린더의 작동 타이밍을 조정할 수 있도록 각 에어실린더로 에어를 공급하는 배관에 스피드 콘트롤러도 설치되어 있다.
다음에는, 상기와 같이 구성된 메탈마스크의 프레임 부착장치(110)에 의한 메탈마스크 부착동작을 설명한다. 도 13의 (a) 및 도 14의 (a)에 도시된 것과 같이, 클램프 지지대(117)를 전진위치로 하고, 클램프(118)를 벌린 상태에서, 먼저 복수의 텐션유니트(113, 113A)의 프레임받침(125)에 프레임(103)을 보유지지시킨 다음, 그 위에 메탈마스크(101)를 실어 그 4개 변을 복수의 텐션유니트(113)의 클램프(118)로 파지한다. 이때, 복수의 위치결정 핀(도시되지 않음)을 이용해서 프레임(103)에 대해 메탈마스크(101)를 위치결정해 놓는다. 다음, 각 클램프 지지대(117)에 연결되어 있는 클램프 이동수단(123)에 가압된 에어를 보내 각 클램 프(118)를 메탈마스크(101)로부터 떨어지는 방향으로 이동시켜, 메탈마스크(101)에 다수의 클램프에 의해 종횡 양방향으로 작은 인장력을 가해 메탈마스크(101)를 가볍게 당겨진 상태로 하고, 그 상태로 위치결정 핀을 뽑은 후, 메탈마스크(101)에 큰 인장력을 가한다. 이 상태가 도 13의 (b) 및 도 14의 (b)에 나타내어진 상태이다. 한편, 메탈마스크(101)로부터 위치결정 핀을 뽑아내어도, 프레임(103)에 대한 메탈마스크(101)의 위치는 거의 변동하지 않고, 메탈마스크(101)의 프레임(103)에 대한 소망하는 위치결정 정밀도가 유지될 수 있게 된다.
이상과 같이, 메탈마스크(101)의 4개 변에 배치된 텐션유니트(113)로 메탈마스크(101)의 4개 변을 각각 파지하고 인장력을 가함으로써, 도 11에 도시된 것과 같이, 메탈마스크(101)가 다수의 클램프(118)에 의해 종횡 양방향으로 잡아 당겨지게 된다. 이 상태에서, 메탈마스크(101)의 표면상태를 눈으로 보고 검사하여, 왜곡이나 느슨해짐이 있으면, 그 영역을 잡아당기고 있는 클램프(118)에 연결된 클램프 이동수단(123)에 작용하는 작동유체압을 조정하여, 메탈마스크(101)를 왜곡이나 느슨해짐이 없는 평탄한 상태이면서 마스크부(102)의 개구부가 평행하게 당겨져 가지런해진 상태로 되도록 조정한다. 또, 메탈마스크(101)에 형성되어 있는 각 마스크부(102)의 위치를 검사하여, 각 마스크부(102)가 소정의 치수정밀도 내의 위치에 들도록 각 클램프 이동수단(123)에 작용하는 작동유체압을 조정한다. 이 조정동작을 할 때, 도 16에 도시된 것과 같이, 메탈마스크(101)의 코너부를 사이에 두고 그 근방에 배치되어 있는 텐션유니트(113A, 113A)에서는, 클램프(118, 118)가 메탈마스크(101)에 화살표 A방향 및 B방향의 인장력을 가해 잡아늘이고 있어서, 그 때문 에 각 텐션유니트(113A)의 클램프(118)에 의해 파지되어 있는 부분의 메탈마스크(101)는, 코너부를 사이에 두고 인접한 변에 배치된 텐션유니트(113A)에 의한 인장력에 의해 클램프(118)에 의한 인장방향에 직각인 방향(B방향 혹은 A방향)으로 잡아 당겨지고, 그 힘이 클램프(118)에 작용하게 된다. 그러나, 텐션유니트(113A)에서는, 클램프(118)를 지지하고 있는 클램프 지지대(117;도 14와 도 15 참조)가 메탈마스크로의 인장력 부가방향에 대해 직각방향으로 이동할 수 있기 때문에, 메탈마스크(101)에 잡아 당겨져 이동하게 된다. 이 때문에, 메탈마스크(101)의 코너부를 소정의 치수까지 잡아늘일 수가 있어서, 유효영역의 코너부를 소망하는 점(P)에 위치시킬 수 있게 된다. 그 결과, 메탈마스크(101)를 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태이면서 각 마스크부(102)가, 코너부에 배치되어 있는 마스크부(102)도 포함해서, 소정의 치수정밀도 범위 내에 위치하는 상태가 되도록 할 수가 있다.
다음, 그 상태에서, 도 12에 도시된 것과 같이, 메탈마스크(101)를 프레임(103)에다 레이저 용접기(130)를 이용해서 점용접을 한다. 이 점용접은 레이저 용접기(130)를 차례차례 소망하는 점용접 위치로 이동시켜 실행한다. 이에 따라, 메탈마스크(101)의 복수 개소가 점용접부(132;도 11 참조)에 의해 프레임(103)에 고정되게 된다. 그 후, 클램프(118)를 개방해서 메탈마스크(101)의 파지를 해제하고, 메탈마스크(101)의 주위 가장자리부분을 용이절단선(105)을 이용해서 제거한다. 이상으로, 도 21에 도시된 것과 같이, 프레임(103)에 메탈마스크(101)를 고정시킨 구성의 마스크 유니트(108)가 만들어지게 된다. 얻어진 마스크 유니트(108)에서는, 메탈마스크(101)가 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태이면서 각 마스크부(102) 의 개구부가 정확하게 평행하게 가지런해진 상태로 유지되어 있고, 각 마스크부(102)의 위치도 소정의 치수정밀도 내로 유지될 수 있게 된다. 그 결과, 이 마스크 유니트(108)를 이용해서 증착을 실행함으로써, 미세한 패턴의 증착을 정확하게 실행할 수 있다. 예컨대, 이 마스크 유니트(108)에 유리기판 등의 피증착기재를 부착시켜 증착기에 세트하고, 유기 EL소자의 유기층 또는 캐소드 전극의 증착을 실행함으로써, 미세한 패턴의 증착을 위치정밀도가 좋게 실행할 수 있어, 고품질의 유기층 또는 캐소드 전극을 형성할 수가 있다.
한편, 상기 실시예에서는 클램프(118)를 메탈마스크로의 인장력 부가방향에 직각인 방향으로 이동할 수 있도록 된 텐션유니트(113A)를 각 변의 코너부에 가장 가까운 위치에 1개를 배치하고 있으나, 텐션유니트(113A)의 설치 개수는 적절히 증감시킬 수가 있고, 경우에 따라서는 모든 텐션유니트를 텐션유니트(113A)로 하여도 좋다. 또, 상기 실시예에서는, 텐션유니트(113A)에서, 클램프(118)를 메탈마스크로의 인장력 부가방향에 직각인 방향으로 이동할 수 있도록 하였기 때문에, 클램프 지지대(117)나 클램프 이동수단(123)을 보유지지한 제2베이스부재(115B)를 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있도록 되어 있으나, 본 발명은 이 구성에 한하지 않고 적어도 클램프(118)가 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수가 있으면 좋다. 이하, 본 발명에 사용할 수 있는 텐션유니트의 다른 예를 설명한다.
도 17에 도시된 텐션유니트(113B)는, 도 13에 도시된 텐션유니트(113)에 서의 클램프 지지대(117)를 상하의 제1클램프 지지대(117A)와 제2클램프 지지대(117B)로 분할하고, 양자 사이에 직동안내부재(134)를 설치해서, 제2클램프 지지 대(117B)를 클램프(118)로 파지한 메탈마스크(101)에 평행하면서 메탈마스크로의 인장력 부가방향에 직각인 방향으로 이동할 수 있도록 하고, 클램프(118) 및 클램프 개폐기구(119)를 제2클램프 지지대(117B)에 보유지지시키고, 클램프 이동수단(123)을 제1클램프 지지대(117A)에 연결한 것이다. 한편, 제2클램프 지지대(117B)를 제1클램프 지지대(117A)에 대한 중앙위치로 되돌리기 위한 위치복귀 스프링(도시되지 않음)도 설치되어 있다. 기타의 구조는, 도 13에 도시된 텐션유니트(113)와 마찬가지이다. 이 텐션유니트(113B)에서도, 클램프(118)가 메탈마스크로의 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있기 때문에, 이를 메탈마스크(101)의 코너부 근방을 파지하는 위치에 이용함으로써, 메탈마스크(101)의 코너부를 지장 없는 소정의 치수위치로 잡아늘일 수가 있게 된다.
도 18 및 도 19에 도시된 텐션유니트(113C)는, 클램프(118A)를 고정편(18Aa)과, 이 고정편(118Aa)에 대해 핀(136)을 매개로 선회할 수 있는 가동편(118Ab)으로 구성하여, 이 클램프(118A)를 클램프 지지대(117)에 대해 직동안내부재(138)를 매개로, 클램프(118A)로 파지한 메탈마스크(101)에 평행하면서 메탈마스크로의 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 한편, 클램프(118A)를 클램프 지지대(117)에 대한 중앙위치로 되돌리기 위한 위치복귀 스프링도 설치되어 있다. 그리고, 클램프 지지대(117)에는, 클램프(118A)를 개폐하기 위해 토글기구(120A)와 실린더기구(121)를 구비한 클램프 개폐기구(119A)가 보유지지되어 있다. 이 토글기구(120A)는, 클램프 지지대(117)에 부착된 지지판(117a)에 핀(120a)을 중심으로 해서 선회할 수 있도록 보유지지된 제1레버(120b)와, 지지판(117a)에 핀(120c)을 중심으로 해서 선회할 수 있도록 보유지지된 제2레버(120d) 및, 이들 제1레버(120b)와 제2레버(120d)를 연결하는 링(120e) 등을 갖추고 있는바, 제1레버(120b)에는 실린더기구(121)가 연결되고, 제2레버(120d)에는 클램프(118A)의 가동편(118Ab)을 닫힘 위치로 밀어붙이기 위한 조정나사(120g)가 부착되어 있다. 이 조정나사(120g)도, 도 18의 (b)에 도시된 것과 같이, 클램프(118A)를 닫힌 위치로 했을 때의 가동편(118Ab)에 의한 체결력을 조정할 수 있게 되어 있다. 또, 제2레버(120b)의 왕복 선회에 연동해서 가동편(118Ab)을 개폐시키기 위해 양자를 연결하도록 비틀림 코일스프링(140)도 설치되어 있다. 기타의 구조는 도 13에 나타낸 텐션유니트(113)와 마찬가지이다. 이 텐션유니트(113C)에서도, 클램프(118C)가 메탈마스크로의 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있기 때문에, 이를 메탈마스크(101)의 코너부(101b) 근방을 파지하는 위치에 이용함으로써, 메탈마스크(101)의 코너부를 지장 없는 소정의 치수위치로 잡아늘일 수가 있다.
이상으로, 본 발명의 적합한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 이들의 실시예로 한정되지 않고, 특허청구의 범위의 기재의 범위 내에서 여러 가지로 변경해서 실시할 수가 있다. 예컨대, 상기 실시예에서는, 복수의 클램프(118)에 각각 인장력을 부여하기 위한 클램프 이동수단(에어실린더;123)으로 공급되는 작동유체압을 개별적으로 조정할 수 있도록 해서 각 클램프(118)가 메탈마스크(101)에 부여하는 인장력을 개별적으로 조정할 수 있게 되어 있다. 이러한 구성은, 메탈마스크(101)에 가해지는 인장력을 정밀하게 조정할 수 있기 때문에, 왜곡이나 느슨해짐이 생기기 쉬운 메탈마스크(101)라 하더라도, 극히 평탄한 상태로 잡아당겨 보유지지시킬 수 있는 이점이 있지만, 본 발명은 이 구성에 한하지 않고, 예컨대 비교적 용이하게 평탄한 상태로 잡아당겨 보유지지할 수 있는 메탈마스크를 이용하는 경우에는, 각 변에 배치한 복수의 클램프를, 예컨대 마스크부에 대응한 클램프를 제1세트로 하고, 비마스크부에 대응한 클램프를 제2세트로 하도록 복수의 세트로 나누어 각 세트의 클램프에 연결된 실린더장치로의 작동유체압을 공통으로 조정하도록 하여도 좋다.
또, 메탈마스크(101)의 각 변에 배치하는 텐션유니트(113, 113A 또는 113 B, 113C)는, 반드시 각각의 클램프(118)가 마스크부(102)와 비마스크부의 각각에 맞춰진 위치로 되도록 배치하는 경우에 한하지 않고, 마스크부(102)와 비마스크부(102b)를 적절히 조합해서 넓은 폭을 파지하도록 변경하던지, 더 세세히 분할한 영역을 파지할 수 있도록 더 많은 클램프를 이용한다고 하는 변경을 가하여도 좋다. 어떻든, 사용하는 메탈마스크의 특성에 대응해서, 그 메탈마스크를 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로 잡아당겨 보유지지할 수 있도록 텐션유니트(의 클램프)의 사용 수나 배치를 정하면 좋다.
한편, 상기의 제1실시예 및 제2실시예를 각각 별개로 설명하였으나, 제1실시예 및 제2실시예를 필요에 따라 조합해서 실시하여도 좋다.
예컨대 제1실시예에서, 도 10에 도시된 추가 판 당김유니트·프레임 누름유니트(21D) 대신, 제2실시예에서의 도 11에 도시된 텐션유니트(113A)를 사용하여도 좋다.
이상과 같이 본 발명에 의하면, 금속 박판이 왜곡이나 느슨해짐이 없는 상태로, 금속 박판 내의 각 부의 위치가 코너부를 포함해서 소정의 치수정밀도 내에 유지되어 있어서, 이 금속 박판을 이용해서 예컨대 증착을 실행함으로써 미세한 패턴의 증착을 정확하게 실행할 수가 있게 된다.

Claims (20)

  1. 4각 형상의 금속 박판을 4각 형상의 프레임 상에 위치시키는 공정과,
    상기 금속 박판의 적어도 상호 마주보는 2개 변의 각각을 복수의 클램프로 파지하고서 인장력을 가해 상기 금속 박판을 잡아 당겨진 상태로 하는 인장공정과,
    상기 프레임 중 각 클램프가 금속 박판에 인장력을 작용시키고 있는 영역에 대응하는 영역에 상기 금속 박판에 가해지는 인장력과는 반대방향의 탄성변형이 생기도록 상기 프레임에 압압력을 가하는 압압공정 및,
    잡아 당겨진 상태의 금속 박판을 압압된 상태의 프레임에 고정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 인장공정에서, 상기 금속 박판의 4개 변의 각각을 클램프로 잡아당기고, 압압공정에서 상기 프레임의 4개 변을 각각 압압하는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 클램프로 금속 박판에 가하는 인장력과, 상기 프레임 중 상기 클램프가 인장력을 가하는 영역에 대응하는 영역에 가하는 압압력을 같아지게 한 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 금속 박판은 다수의 슬릿을 가짐과 더불어 나란히 배치된 복수의 4각 형상의 개구부를 포함하고, 상기 복수의 클램프는 개구부와 비개구부에 대응해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법.
  5. 제2항에 있어서, 상기 인장공정에서, 금속 박판의 이웃하는 2개 변 사이의 코너부 근방을 클램프로 파지하고, 이 클램프는 이웃하는 2개 변의 각 방향으로 이동할 수 있도록 코너부를 잡아당기는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법.
  6. 4각 형상의 금속 박판을 잡아당긴 상태에서 4각 형상의 프레임에 고정하는 프레임 부착장치에서,
    상기 프레임 및 그 위에 배치되는 상기 금속 박판의 적어도 서로 마주보는 2개 변의 각각에, 복수 개씩 위치하도록 설치된 복수의 판 당김유니트 및 복수의 프레임 누름유니트를 갖추되,
    상기 각각의 판 당김유니트는, 상기 금속 박판을 파지하는 클램프와, 이 클 램프가 파지한 금속 박판에 인장력을 작용시키도록 클램프를 이동시키는 클램프 이동수단을 갖고,
    상기 각각의 프레임 누름유니트는, 상기 프레임 중 상기 클램프가 금속 박판에 인장력을 작용시키고 있는 영역에 대응하는 영역에, 상기 클램프에 의한 인장력과는 반대방향의 탄성변형이 생기게 하도록, 상기 프레임에 압압력을 작용시킬 수 있도록 배치된 프레임 누름부재와, 이 프레임 누름부재가 상기 프레임에 압압력을 작용시키도록 상기 프레임 누름부재를 이동시키는 프레임 누름부재 이동수단을 가진 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 판 당김유니트 및 프레임 누름유니트는, 상기 프레임 및 그 위에 배치되는 상기 금속 박판의 4개 변의 각각에, 복수 개씩 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 판 당김유니트 및 프레임 누름유니트는 일체로 성형되고,
    상기 판 당김유니트의 클램프 이동수단 및 상기 프레임 누름유니트의 프레임 누름부재 이동수단은 공통의 실린더장치를 갖추고 있되, 이 실린더장치가 상기 클램프 및 프레임 누름부재에 대해 양자를 상호 떨어지는 방향 및 접근하는 방향으로 이동시키도록 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 프레임 누름부재는 상기 프레임을 실어 지지하는 지지면을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 금속 박판은 다수의 슬릿을 가짐과 더불어 나란히 배치된 복수의 4각 형상 개구부를 포함하고, 상기 복수의 클램프는 개구부와 비개구부에 대응해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  11. 제6항에 있어서, 상기 복수의 판 당김유니트의 클램프이동수단이 부여하는 인장력은 각각의 판 당김유니트마다 조정할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  12. 제7항에 있어서, 금속 박판의 이웃하는 2개 변 사이의 코너부 근방에 추가 판 당김유니트가 설치되되,
    이 추가 판 당김유니트는, 금속 박판을 파지하는 클램프와, 이 클램프를 이웃하는 2개 변의 각 방향으로 이동시키는 클램프 이동수단을 가진 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 추가 판 당김유니트는, 제1베이스부재와, 이 제1베이스부재에서 금속 박판에 평행하고 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 제2베이스부재와, 이 제2베이스부재에서 금속 박판으로의 인장력 부가방향으로 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 클램프 지지대를 더 갖고서,
    상기 클램프 및 이를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 클램프 지지대에 보유지지되어, 상기 클램프 이동수단이 상기 클램프 지지대를 제2베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 클램프 지지대와 제2베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  14. 제12항에 있어서, 상기 추가 판 당김유니트는, 베이스부재와, 이 베이스부재에서 금속 박판의 인장력 부가방향으로 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 제1클램프 지지대와, 이 제1클램프 지지대에서 상기 금속 박판에 평행하면서 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 제2클램프 지지대를 더 갖고서,
    상기 클램프 및 이를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 제2클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 제1클램프 지지대를 상기 베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 제1클램프 지지대와 베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  15. 제12항에 있어서, 상기 추가 판 당김유니트는, 베이스부재와, 이 베이스부재에서 금속 박판의 인장력 부가방향으로 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 클램프 지지대를 더 갖고서,
    상기 클램프가 이 클램프로 파지한 금속 박판에 평행하면서 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 상기 클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 클램프 지지대를 상기 베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 클램프 지지대와 베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  16. 4각 형상의 금속 박판을 4각 형상의 프레임 상에 위치시키는 공정과,
    금속 박판의 4개 변을 복수의 클램프로 파지하고서 인장력을 가해 금속 박판을 잡아 당겨진 상태로 하는 인장공정과,
    잡아 당겨진 상태의 금속 박판을 압압된 상태의 프레임에 고정하는 공정을 갖추되,
    상기 인장공정에서 금속 박판의 이웃하는 2개 변 사이의 코너부 근방을 클램프로 파지하고, 이 클램프는 이웃하는 2개 변의 각 방향으로 이동할 수 있도록 코너부를 잡아당기는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 방법.
  17. 4각 형상의 금속 박판을 잡아당긴 상태로 4각 형상의 프레임에 고정하는 프레임 부착장치에서,
    상기 프레임 및 그 위에 배치되는 상기 금속 박판의 4개 변의 각각에, 복수 개씩 위치하도록 설치된 복수의 판 당김유니트를 갖추되,
    상기 각각의 판 당김유니트는, 상기 금속 박판을 파지하는 클램프와, 이 클램프가 파지한 금속 박판에 인장력을 작용시키도록 클램프를 이동시키는 클램프 이동수단을 갖고,
    금속 박판의 이웃하는 2개 변 사이의 코너부 근방에 추가 판 당김유니트가 설치되고,
    이 추가 판 당김유니트는 금속 박판을 파지하는 클램프와, 이 클램프를 이웃하는 2개 변의 각 방향으로 이동시키는 클램프 이동수단을 가진 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 추가 판 당김유니트는, 제1베이스부재와, 이 제1베이스부재에서 금속 박판에 평행하면서 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 제2베이스부재와, 이 제2베이스부재에서 금속 박판으로의 인장력 부가방향으로 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 클램프 지지대를 더 갖고서,
    상기 클램프 및 이를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 클램프 지지대를 제3베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 클램프 지지대와 제2베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  19. 제17항에 있어서, 상기 추가 판 당김유니트는, 베이스부재와, 이 베이스부재에서 금속 박판의 인장력부가 방향으로 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 제1클램프 지지대와, 이 제1클램프 지지대에서 상기 금속 박판에 평행하면서 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 보유지지된 제2클램프 지지대를 더 갖고서,
    상기 클램프 및 이를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 제2클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 제1클램프 지지대를 상기 베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 제1클램프 지지대와 베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
  20. 제17항에 있어서, 상기 추가 판 당김유니트는, 베이스부재와, 이 베이스부재에서 금속 박판의 인장력 부가방향으로 평행하게 이동할 수 있게 보유지지된 클램프 지지대를 더 갖고서,
    상기 클램프가 이 클램프로 파지한 금속 박판에 평행하면서 인장력 부가방향에 직각방향으로 이동할 수 있게 상기 클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프를 개폐하는 클램프 개폐기구가 상기 클램프 지지대에 보유지지되고, 상기 클램프 이동수단이 상기 클램프 지지대를 상기 베이스부재에 대해 인장력 부가방향으로 이동시키도록 클램프 지지대와 베이스부재에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 박판을 프레임에 부착하는 장치.
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101272299B1 (ko) * 2011-08-25 2013-06-07 (주)한 송 Ａｍｏｌｅｄ 패널 제작용 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치
KR101352353B1 (ko) * 2012-08-31 2014-01-16 주식회사 힘스 클램핑 장치
KR101374759B1 (ko) * 2012-10-10 2014-03-17 주식회사 케이피에스 마스크 프레임의 가압 변형장치
CN106148892B (zh) * 2016-07-25 2019-04-02 京东方科技集团股份有限公司 一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置
JP7240623B2 (ja) * 2018-11-30 2023-03-16 大日本印刷株式会社 蒸着マスク装置の製造装置及び蒸着マスク装置の製造方法
KR102600425B1 (ko) * 2019-01-02 2023-11-09 에이피에스홀딩스 주식회사 박판 지지장치 및 박판 처리 장치
CN114346717B (zh) * 2021-12-22 2024-02-27 中国电子科技集团公司第十四研究所 一种控制单边开缝薄壁波导腔体加工变形夹具组合

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0373950A (ja) * 1989-08-14 1991-03-28 Fujitsu Ltd 露光用マスクの製造方法
JP3076800B1 (ja) * 1999-06-08 2000-08-14 三谷電子工業株式会社 スクリーンマスク
JP3598927B2 (ja) * 1999-12-27 2004-12-08 松下電器産業株式会社 シャドウマスク組立体の製造方法および陰極線管の製造方法
US6878208B2 (en) * 2002-04-26 2005-04-12 Tohoku Pioneer Corporation Mask for vacuum deposition and organic EL display manufactured by using the same
JP4173722B2 (ja) * 2002-11-29 2008-10-29 三星エスディアイ株式会社 蒸着マスク、これを利用した有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子
JP2004311336A (ja) * 2003-04-10 2004-11-04 Dainippon Printing Co Ltd 金属薄板の枠貼り方法及び装置

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