JP5958690B2 - 成膜方法 - Google Patents
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Description
11 真空チャンバー
12 成膜用マスク装置
13 成膜対象物
14 スパッタリングターゲット
15 真空排気手段
16 プロセスガス供給手段
100 マスク部
101 マスク
101a、101b マスク梁部
101c マスク外周部
102、102a、102b、102c マスク加張機構
103 マスク枠
104 固定部
105 軸
106 第1移動体
107 第2移動体
108 バネ
200 マグネットプレート部
201、201a、201b、201c マグネットピン
202 ピン
203 ストッパ
300 保持部
Claims (3)
- 成膜対象物の被成膜面にマスクの複数の開口部を介して成膜材料を堆積させることで、前記成膜対象物上に成膜する成膜方法であって、
前記マスクの開口部が、前記開口部の外周を形成するマスク外周部および前記マスクの内側に形成され互いに交差して前記開口部が形成されているマスク梁部のうちの、前記マスク梁部に対応して前記マスク外周部の周囲に配置された加張機構により前記マスク梁部を加張する加張工程と、前記マスク梁部に対応して配置された複数個の磁石部により前記マスクを磁力吸着する吸着工程と、を繰り返し行った後に、
前記マスク外周部に対応して前記マスク外周部の周囲に配置された第2加張機構により前記マスク外周部を加張する加張工程と、前記マスク外周部に対応して配置された複数個の磁石部により前記マスクを磁力吸着する第2吸着工程を行い、
更に、前記マスクの複数の前記開口部を介して前記成膜対象物の被成膜面に成膜する、ことを特徴とする成膜方法。 - 前記加張工程と前記吸着工程とを、前記マスクの中央部から前記マスクの外周部に向けて繰り返し行った後に、
前記マスクの複数の開口部を介して前記成膜対象物の被成膜面に成膜する、
ことを特徴とする請求項1記載の成膜方法。 - 前記マスクが複数種類の形状の開口部を有する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の成膜方法。
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