KR100823943B1 - 유기 ｅｌ 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 및 이를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법과 이로부터 제조된 분할타입 일체형 마스크 조립체 - Google Patents

유기 ｅｌ 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 및 이를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법과 이로부터 제조된 분할타입 일체형 마스크 조립체 Download PDF

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서용호
최영묵
윤영석
오세정
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주식회사 에닉스
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Abstract

본 발명은 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 및 이를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법과 이로부터 제조된 분할타입 일체형 마스크 조립체에 관한 것으로, 그 목적은 다양한 크기와 형태를 가진 마스크 모델에 대응 가능한 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 마스크 정렬 및 고정장치와 이를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법과 이로부터 제조된 분할타입 일체형 마스크조립체를 제공하는 데 있다.
본 발명의 구성은 유기 EL 능동 및 수동형 평판 디스플레이 제조 공정의 마스크 및 프레임 정렬 일체화 공정 중, 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비하여 유기 EL 평판 디스플레이를 제작하는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치에 있어서, 다양한 규격과 형태를 가지는 원장 및 분할마스크에 장력을 가하여, 마스크 프레임에 마스크를 정렬 및 고정시키도록 마스크의 4면에 대응하여 장력을 인가하는 원장 및 분할 마스크 스트레칭 부(1)와; 원장 또는 분할 마스크 및 프레임을 작업공간으로 이송하여 로딩 및 언로딩 기능과 프레임 압축기능 및 ITO 패턴 글래스 공급 기능을 가진 마스크 및 프레임 카트부(2)와; 원장 또는 분할 마스크를 정위치에 정렬되게 측정 후 프레임과 용접하는 레이저 용접 및 Master CCD 측정부(3)와; 분할마스크 작업을 위해 마스크 4면 중 일측면의 마스크 스트레칭 부(1)를 후진시키는 마스크 스트레칭부 후진모터부(4);를 포함하여 구성된 장치와 이를 이용한 방법과 여기에 사용되는 분할타입 일체형 마스크를 그 기술적 사상의 특징으로 한다.
Figure R1020070076711
장력기, 유기EL, 평판디스플레이. 원장마스크, 분할타입일체형마스크

Description

유기 ＥＬ 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 및 이를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법과 이로부터 제조된 분할타입 일체형 마스크 조립체{Multi-model mask holding apparatus in the process of the OLED display and manufacturing method of multi-model mask assembly using thereof and manufactured division type, mask assembly thereof}
본 발명은 유기 ＥＬ 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 및 이를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법과 이로부터 제조된 분할타입 일체형 마스크 조립체에 관한 것으로, 자세하게는 여러 크기와 형태를 가지는 마스크에 대응되는 마스크 고정 장치와 이를 이용한 다양한 마스크조립체 제조방법 그리고 이러한 마스크 정렬 및 고정장치로부터 제조되는 분할타입일체형 마스크조립체에 관한 것이다.
유기 전자 발광 소자는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르고 소비전력이 적은 장점을 가지고 있어 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다.
상기한 유기 전자 발광 소자를 이용한 종래의 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정 중 증착용 마스크 고정장치의 구성은 진공 내에서 유기물을 증착소스에 장착하여, 히터에 열을 인가한 후 마스크, 글라스 척킹 플레이트(Glass Chucking Plate) 사이에 글라스(패널)를 두고 마그네트에 자력을 인가하면 마스크의 자력을 이용하여, 글라스 평탄도를 유지케 하여 증착하는 방법으로 별도의 기구적 스트랫칭이나 다른 장력은 인가되지 않으므로 별도의 장치 구성은 없다.
상기한 종래 기술의 문제점으로는 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정 중 증착용 마스크 고정장치에 의한 방법이 일렉트로 포밍(Electro Forming)에 의해 제작된 평면 Ni 마스크와 평면 패널, 패널 키핑판(Keeping Plate), 및 그 위에 마그네트(Magnet)를 설치하여, 마스크(Mask)와 얇은 패널인 글라스를 키핑플레이트 위에 견고히 고정하고 증착하는 방법을 사용하고 있는데, 이와 같은 방법으로는 소형 약 5"정도의 풀 칼라(Full Color)에 대응되는 수준으로 그 이상의 크기에 적용하기가 어렵다는 문제점이 있다.
이와 같은 문제점을 해결한 것으로 대한민국 특허등록 제 10-397635호(명칭 "유기 ＥＬ 평판 디스플레이 제작공정 중 증착용 마스크 고정장치 및 고정방법)에 있어서 대형 인치에 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정 중 사용되는 증착용 마스크 고정장치를 대형 인치 대응이 가능하도록 마스크 주름 및 진공 내 패널의 처짐을 방지하도록 마스크에 장력을 가하고 글라스 패널을 처짐 없이 고정함으로써 대 형인치 대응 가능한 고정장치 및 방법을 제공하고 있다.
상기한 대한민국 특허 등록 제 10-397635호와 같은 종래의 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정에 사용되는 증착용 마스크 정렬 및 고정장치는 유기 EL 평판 각 세대(1세대 ~ 4세대)에 따른 전용의 단 모델 적용으로 인하여 모델 대응성이 떨어지고, 이에 따라 각 세대별 원장에 따른 다수 장치의 필요성으로 투자비의 증가가 필요하다는 문제점(도 9 참조)과,
또한 일부 모델을 제외한 대부분의 모델도 소형 대응에 국한하기 때문에 향후 TV용 대면적 양산에 한계가 있다는 것과,
또한 상기와 같은 종래 기술의 장력 방식은 홀(Hole) 기준으로 타켓 스트레칭(Target Stretching)하는 방식으로, 장력 후 프레임에 고정 전 장력이 제대로 되었는지 평가가 되지 않고, 작업 후에 측정하여 보상하는 방식을 적용함으로써, 다량의 마스크 및 프레임이 필요하고 양품을 만들어 내는 시간도 많이 걸리는 단점과,
또한 상기와 같은 종래 기술의 장치에 사용되는 클램프는 일정규격을 가지는 원장 마스크(Mask)에 전용되는 구조로 고정장치가 마스크 모델에 구속받아 다양한 모델 개발 및 양산 적용이 어렵다는 구조적인 단점이 있다.
또한 종래에는 능동형 유기 EL 소자에서는 마스크 각 개구부와 ITO Pattern간 위치 결정성이 ± 5um이하여야 하는데 기존 Target Shetching으로서는 ± 8um 수준으로 그 실현이 곤란하다는 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 종래 증착용 마스크 고정장치에서 사용되는 단모델 소형 대응 마스크 및 프레임 고정 방식을, 다양한 크기와 형태를 가진 마스크 모델(원장 Full Color , Open Mask 및 분할 타입 일체형 마스크)에 대응 가능한 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 마스크 정렬 및 고정장치를 제공하는 데 있다.
또한 본 발명의 다른 목적은 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 마스크 고정장치를 구비하여 마스크 조립체를 제조시 대형 모델에서의 정도 향상을 위해 마스크 스트레칭시 아이티오 글래스 다이렉트 패턴 메칭(ITO Glass Direct Pattern Matching)공정을 포함하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 마스크 고정장치를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법을 제공하는 데 있다. 이러한 아이티오 글래스 다이렉트 패턴 메칭은 종래 능동형 유기 EL 소자에서 마스크 각 개구부와 ITO Pattern간 위치 결정성이 ± 5um이하여야 하는 기술적인 문제를 ITO 직접 Matching 을 통해 실현하였다.
또한 본 발명의 다른 목적은 증착용 마스크 정렬 및 고정장치에 공급되는 마스크를 종래 원장마스크 및 분할마스크의 단점을 해결한 분할타입 일체형 마스크를 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 유기 EL 능동 및 수동형 평판 디스플레이 제조 공정의 마스크 및 프레임 정렬 일체화 공정 중, 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비하여 유기 EL 평판 디스플레이를 제작하는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치에 있어서,
다양한 규격과 형태를 가지는 원장 마스크, 분할마스크 및 분할타입 일체형 마스크 중 어느 하나에 장력을 가하여, 마스크 프레임에 마스크를 정렬 및 고정시키도록 마스크의 4면에 대응하여 장력을 인가하는 원장 및 분할 마스크 스트레칭 부와;
원장 또는 분할 마스크 및 프레임을 작업공간으로 이송하여 로딩 및 언로딩 기능과 프레임 압축기능 및 ITO 패턴 글래스 공급 기능을 가진 마스크 및 프레임 카트부와;
원장 또는 분할 마스크를 정위치에 정렬되게 측정 후 프레임과 용접하는 레이저 용접 및 Master CCD 측정부와;
분할마스크 작업을 위해 마스크 4면 중 일측면의 마스크 스트레칭 부를 후진시키는 마스크 스트레칭부 후진모터부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치를 제공함으로써 달성된다.
또한 상기와 같은 장치를 구비한 본 발명의 다모델 마스크조립체 제조방법은 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비하여 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정중 증착용 마스크를 정렬하여 프레임과 고정한 후 용접하여 마스크 조립체를 제작하는 방법에 있어서,
아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)를 마스크 및 프레임 카트부에 로 딩한 후 진공흡착하여 고정하는 단계와:
이후 마스크 및 프레임 카트부에 다양한 크기를 가지는 원장 마스크 중에서 선택된 하나의 마스크를 로딩하는 단계와;
이후 마스크 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
이후 공급된 원장 마스크에 따라 원장 고정용 마스크 고정용 클램프가 전진하는 단계와;
이후 레이저용접 및 CCD측정부의 CCD 카메라로 스트레칭 홀(Stretching Hole) 기준으로 정렬(Align)하는 단계와;
이후 정렬이 끝나면 원장 마스크를 클램프하는 단계와;
이후 클램프로 원장마스크를 예비 스트레칭(Pre-Stretching)한 후, CCD 카메라로 마스터 패널(Master Panel)의 기준 홀 타겟(Fiducial Hole Target) 기준으로 마스크의 스트레칭 홀(Stretching Hole)이 일치될 때까지 스트레칭(Stretching)을 반복하여 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching)하는 원장 마스크 1차 스트레칭 단계와;
이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)의 셀(Cell)위치로 이동하여 원장 마스크(Mask)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
이후 원장 마스크의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 마스크 및 프레임 카트부를 하강 및 원위치하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부에 프레임을 로딩하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부를 마스크 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
이후 프레임이 스트레칭 완료된 원장 마스크에 접촉되어 용접위치에 오도록 상승하는 단계와;
이후 레이저 용접 및 Master CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 원장 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측으로 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 레이저 용접이 완료되면 클램프를 해제하여 원위치하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트를 원위치하는 단계와;
이후 제작된 원장 마스크 프레임 조립체를 언로딩하여 작업을 마치는 단계:를 거쳐 다양한 크기를 가지는 원장 마스크와 프레임을 조립하는 방법을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법을 제공함으로써 달성된다.
또한 상기와 같은 장치를 구비한 본 발명의 다모델 마스크조립체 제조방법은 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비하여 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정중 증착용 마스크를 정렬하여 프레임과 고정한 후 용접하여 마스크 조립체를 제작하는 방법에 있어서,
아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)를 마스크 및 프레임 카트부에 로딩한 후 진공흡착하여 고정하는 단계와:
이후 마스크 및 프레임 카트부에 프레임을 로딩하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부에서 프레임의 장변 센터부를 압축함으로써 이후 분할 마스크를 용접 후 압축해제시 분할 마스크의 내부 셀(Cell)의 뒤틀어짐이 없이 균일하게 정렬되도록 압축하는 단계와;
이후 분할마스크 n장 중의 하나를 마스크 및 프레임 카트부에 로딩하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부에 로딩된 압축된 프레임 및 분할 마스크를 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
이후 분할 마스크를 클램핑하기 위해 제 1, 2, 3 마스크 스트레칭부는 작동을 중지하고, 제 4 마스크 스트레칭부는 마스크 스트레칭 후진모터부는 후진하여 작업공간에서 분리한 후 제 1, 2 마스크 스트레칭부의 일측단에 설치된 제 5 마스크 스트레칭부의 분할용클램프 이송지지대가 분할용클램프 이송지지대 모터의 작동에 의해 분할용마스크 크기에 맞게 전진하여 분할 마스크 고정용 클램프와 이 분할 마스크 고정용 클램프의 구동에 의해 공급된 개별 분할 마스크를 클램핑하는 단계와;
이후 레이저용접 및 CCD측정부의 CCD 카메라로 스트레칭 홀(Stretching Hole) 기준으로 정렬(Align)하는 단계와;
이후 정렬이 끝나면 분할 마스크를 클램프하는 단계와;
이후 클램프로 분할마스크를 예비 스트레칭(Pre-Stretching)한 후, CCD 카메라로 마스터 패널(Master Panel)의 기준 홀 타겟(Fiducial Hole Target) 기준으로 마스크의 스트레칭 홀(Stretching Hole)이 일치될 때까지 스트레칭(Stretching)을 반복하여 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching)하는 1/n번째 분할 마스크 1차 스트레칭 단계와;
이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)의 셀(Cell)위치로 이동하여 분할 마스크(Mask)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
이후 분할 마스크의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 레이저 용접 및 Master CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 1/n번째 분할 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측으로 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부를 하강하여 원위치하는 단계와;
이후 조립될 또 다른 분할 마스크가 n개 있으면 상기 분할마스크 n장 중의 하나를 마스크 및 프레임 카트부에 로딩하는 단계를 n회 반복하는 단계와;
이후 압축된 프레임 장변 센터의 압축을 해제하는 단계와;
이후 최종 마스크 프레임 조립체의 레이저 용접이 완료되면 제 5 마스크 스트레칭부의 분할 마스크 고정용 클램프를 해제하여 원위치하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부를 원위치하는 단계와;
이후 제작된 분할 마스크 프레임 조립체를 언로딩하여 작업을 마치는 단계:를 거쳐 다양한 크기를 가지는 분할 마스크와 프레임을 조립하는 방법을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법을 제공함으로써 달성된다.
또한 상기와 같은 장치를 구비한 본 발명의 다모델 마스크조립체 제조방법은 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비하여 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정중 증착용 마스크를 정렬하여 프레임과 고정한 후 용접하여 마스크 조립체를 제작하는 방법에 있어서,
아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)를 마스크 및 프레임 카트부에 로딩한 후 진공흡착하여 고정하는 단계와:
이후 마스크 및 프레임 카트부에 브리지타입 프레임을 로딩하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부에서 브리지타입 프레임의 장변 센터부를 압축함으로써 이후 분할타입일체형 마스크를 용접 후 압축해제시 분할 타입일체형 마스크의 내부 셀(Cell)의 뒤틀어짐이 없이 균일하게 정렬되도록 압축하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부에 다양한 크기를 가지는 분할타입 일체형 마스크 중에서 선택된 하나의 마스크를 로딩하는 단계와;
이후 마스크 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
이후 공급된 분할타입일체형 마스크에 따라 원장 고정용 마스크 고정용 클램 프가 전진하는 단계와;
이후 레이저용접 및 CCD측정부의 CCD 카메라로 스트레칭 홀(Stretching Hole) 기준으로 정렬(Align)하는 단계와;
이후 정렬이 끝나면 분할타입일체형 마스크를 클램프하는 단계와;
이후 클램프로 분할타입 일체형 마스크를 예비 스트레칭(Pre-Stretching)한 후, CCD 카메라로 마스터 패널(Master Panel)의 기준 홀 타겟(Fiducial Hole Target) 기준으로 마스크의 스트레칭 홀(Stretching Hole)이 일치될 때까지 스트레칭(Stretching)을 반복하여 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching)하는 분할타입 일체형 마스크 1차 스트레칭 단계와;
이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)의 셀(Cell)위치로 이동하여 분할타입일체형 마스크(Mask)의 내부 셀마스크(52)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
이후 분할타입 일체형 마스크중 내부 셀 마스크의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 레이저 용접 및 CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 1/n번째 분할타입 일체형 마스크의 셀 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브에 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 또 다른 분할 타입 일체형 마스크 중 셀 마스크가 n개 있으면 상기
아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와 셀 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브에 레이저 용접을 실시하는 단계를 n회 반복하는 단계와;
이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)의 셀(Cell)위치로 이동하여 분할타입일체형 마스크(Mask)의 일측 정렬 마스크와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
이후 분할타입 일체형 마스크중 일측 정렬 마스크의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 레이저 용접 및 CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 분할타입 일체형 마스크의 일측 정렬 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브에 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 분할타입 일체형 마스크의 타측 정렬 마스크에 대한 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와 타측 정렬 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브에 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 압축된 브리지타입 프레임 장변 센터의 압축을 해제하는 단계와;
이후 클램프를 해제하여 원위치하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트를 원위치하는 단계와;
이후 제작된 분할 타입 일체형 마스크 프레임 조립체를 언로딩하여 작업을 마치는 단계:를 거쳐 다양한 크기를 가지는 분할타입 일체형 마스크와 브리지타입 프레임을 조립하는 방법을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법을 제공함으로써 달성된다.
또한 본 발명은 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비한 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정중 증착용 마스크 정렬 및 고정장치에 의해 제조되는 마스크조립체에 있어서,
양 측면을 이루는 시트(Sheet)인 정렬마스크(Align Mask, 51)와 정렬마스크(Align Mask, 51) 사이에 위치한 다수개의 셀 마스크(cell mask, 52) 간은 일정 간격으로 이격되어 분할 구성하되, 각 마스크 간은 에지(Edge) 부분은 하프에칭으로 마스크 간이 붙어있게 구성되고, 상기 정렬 및 셀 마스크의 상하부에는 각각 마스크 로딩을 위한 기준이 되는 마스크 로딩홀, 마스크 클램핑시 틀어짐을 방지하는 마스크 얼라인 홀, 분할마스크 용접 후 커팅을 위한 커팅라인이 형성된 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask)와;
이 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask)의 하부쪽에 용접되어 조립되고, 중앙부에 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask)의 중앙부와 용접되는 브리지리브(81)가 형성된 브리지 타입 프레임;으로 구성된 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치에 의해 제조되는 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask) 조립체를 제공함으로써 달성된다.
본 발명은 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 마스크 고정장치는 종래 단 모델 소형 대응 마스크 및 프레임 고정 방식을, 클램프의 배열을 자동으로 변경하여 다모델(1세대~n세대) 대응이 가능한 구조로 구성하였으며, 적용모델 또한 대형 모델 및 QVGA, VGA급 고정세 모델 적용 및 TV용 원장 적용 등 다양한 모델 생산이 가능한 방식이라는 장점과,
또한 본 발명은 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 마스크 고정장치를 이용한 제조방법은 종래 마스크 고정장치에서 장력 방식을 홀(Hole) 기준으로 타켓 스트레칭(Target Stretching)하던 방식을, 증착공정에 직접사용하고 있는 아이티오 글래스(ITO Glass)를 적용하여 글래스(Glass)와 마스크(Mask)를 패턴 다이렉트 메칭(Pattern Direct Matching)하여 공정상의 오차를 줄일 수 있는 공정을 포함하여 능동형 유기광 소자 패널(Panel)이 겪는 열적 변화를 안은 정도 메칭(matching), 다양한 마스크 조립체를 제조할 수 있다는 장점과,
또한 본 발명은 마스크(Mask)의 원장 및 분할 타입(Type)의 마스크를 같이 적용할 수 있는 구조로 구성되어 있어 종래기술의 장치 및 모델에 구속받는 부분을 해소하였다는 장점을 가진 유용한 발명으로 산업상 그 이용이 크게 기대되는 발명인 것이다.
이하 본 발명의 실시 예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 시스템 구성도를 도시하고 있는데, 도시된 바와 같이 본 발명의 구성은 기본적인 구성은 일반적인 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정중 증착용 마스크 고정장치와 같이 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비한다.
구체적인 본 발명의 구성은 다양한 규격과 형태를 가지는 원장 마스크 및 분할마스크에 장력을 가하여, 마스크 프레임에 마스크를 고정시키도록 마스크의 4면에 대응하여 장력을 인가하는 원장 및 분할 마스크 스트레칭 부(1)와;
원장 또는 분할 마스크 및 프레임을 작업공간으로 이송하여 로딩 및 언로딩하는 마스크 및 프레임 카트부(2)와;
원장 또는 분할 마스크를 정위치에 정렬되게 측정 후 프레임과 용접하는 레이저 용접 및 Master CCD 측정부(3)와;
분할마스크 작업을 위해 마스크 4면 중 일측면의 마스크 스트레칭 부(1)를 후진시키는 마스크 스트레칭부 후진모터부(4);를 포함하여 구성된다.
상기 원장 및 분할 마스크 스트레칭 부(1), 마스크 및 프레임 카트부(2), 레이저 용접 및 Master CCD 측정부(3), 마스크 스트레칭부 후진모터부(4)는 도시된 바와 같이 고정장치의 바디(9)에 설치된다.
또한 상기 도 1의 정면도, 평면도 및 측면도 중 타 도면에 있는 일부 도시가 생략된 부분이 있는데, 이는 도면 설명상 편의를 위해 생략된 것이다.
상기 원장 및 분할 마스크 스트레칭 부(1)는 고정장치 바디(9)의 상부면에 설치되는데, 로딩된 원장 또는 분할 타입 일체형 마스크의 4면에 대응하여 클랭핑하도록 고정장치 바디(9)의 가운데 형성된 작업공간인 공간부 4면에 위치하여 각각 설치된다.
보다 구체적으로 설명하면 원장 및 분할 마스크 스트레칭 부(1)는 원장 마스크 및 분할타입 일체형 마스크의 4면에 대응하도록 제1, 2, 3, 4 마스크 스트레칭부(11, 12, 13, 14)로 구성된다.
상기 제 1, 2, 3, 4 마스크 스트레칭부(11, 12, 13, 14)는 예를 들어 1세대에서 4세대까지의 각기 다양한 원장 또는 분할타입 일체형 마스크 크기에 대응하여 작업할 수 있도록 위치가 고정된 원장 마스크 고정용 클램프(1000)와 이를 구동시키는 원장 마스크 고정용 클램프모터(1001)가 이송지지대 위에 설치된다.
상기 이송지지대는 다수개로 설치되는데 중앙에 위치하여 가장 최소 크기를 가지는 원장에 대응하는 제 1 이송지지대(110)와, 제 1 이송지지대 양측에 설치된 제 2 이송지지대(120)와, 제 2 이송지지대 양측에 설치된 제 3 이송지지대(130)로 구성된다.
상기 제 1, 2, 3 이송지지대(110, 120, 130)는 후방부에 설치된 제 1, 2, 3,이송지지대모터(111, 121, 131)에 의해 전후진하여 다양한 크기의 원장 크기에 따라 대응하여 클램핑하게 된다.
또한 상기 제1, 2 마스크 스트레칭부(11, 12)는 각각 제 4 마스크 스트레칭 부(14) 쪽에 순차적으로 로딩되어 공급되는 분할 마스크에 대응하도록 제 5 마스크 스트레칭부(15)가 형성되는데, 제 5 마스크 스트레칭부(15)는 분할용클램프 이송지지대(140)와 이 분할용클램프 이송지지대(140) 전후진 시키도록 후방에 분할용클램프 이송지지대 모터(141)가 설치되어 구성된다. 분할용클램프 이송지지대(140)의 상부면에는 분할 마스크 고정용 클램프(2000)와 이 분할 마스크 고정용 클램프(2000)를 구동시키는 분할 마스크 고정용 클램프 모터(2001)가 설치된다.
상기 마스크 및 프레임 카트부(2)는 고정장치 바디(9)에 형성된 이동공간 및 작업공간인 공간부를 통해 수평이동 및 상하이동하여 다양한 크기의 규격(도면상에서는 1~4세대 원장 마스크만 표기되지만 이러한 특정 세대 크기만을 한정하지는 않는다.) 및 형태를 가진 원장 마스크, 분할 마스크, 프레임 및 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)를 작업공간에 로딩하고 개별 얼라인 한 후, 레이저 용접된 마스크 조립체를 언로딩하도록 구성된다.
또한, 본 발명의 마스크 및 프레임 카트부(2)는 미도시 되었지만 원장 마스크, 분할 마스크, 프레임과 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)를 작업공간에 로딩하고 개별 얼라인하기 위해 원장 마스크 및 분할 마스크를 로딩하고 얼라인하는 x, y, θ 테이블(도 5참조)과, 이보다 작은 크기를 가지고 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)를 로딩하고 얼라인하는 x, y, θ 테이블을 더 포함하여 구성된다. 여기서 θ 테이블은 x, y 테이블을 회전시키는 테이블이다. 또한 도면중 z테이블은 승하강 시키는 테이블이다.(도 5참조)
나머지 마스크 및 프레임 카트부(2)의 구체적인 구동수단 종래의 일반적인 장치 구성과 유사하므로 자세한 설명은 생략한다.
상기 레이저 용접 및 Master CCD 측정부(3)는 CCD 카메라와 레이저 용접건이 동일 리니어 서보 위에 장착되어 각각 개별 기능을 수행할 수 있도록 구성된다.
나머지 구체적인 레이저 용접 및 Master CCD 측정부(3)의 구동을 위한 장치 구성은 종래의 일반적인 장치구성과 유사하므로 자세한 설명은 생략한다.
상기 마스크 스트레칭 후진모터부(4)는 단일의 크기를 가지는 원장 마스크가 아닐 경우 분할 마스크 공급을 위해 마스크 4면에 대응하는 마스크 스트레칭부 중 일면의 마스크 스트레칭부를 잡아 후진시키는 장치로 고정장치 바디(9)의 상부면에 형성된 가이드부(41)를 따라 전후진하게 구성된다. 후진 시키는 이유는 후진 안할 경우 분할 마스크 작업시 마스크 및 프레임 카트부(2) 위의 프레임과 분할 마스크 간에 간섭이 생기기 때문이다.
도 2a는 본 발명에 따른 원장 마스크 사용시의 다모델 대응 개념도인데, 도 1에 도시된 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 마스크 정렬 및 고정장치가 세대를 달리하는 다양한 크기의 원장을 공급받아 고정작업을 하는 개념을 나타낸 것이다.
좌측의 것은 가장 큰 원장이 공급되었을 때, 가운데는 그 보다 작은 원장이 공급되었을때, 우측은 가장 작은 원장이 공급되었을 때의 클램프 및 이송지지대의 전후진 모습을 보인 것이다.
구체적으로 좌측의 것은 가장 큰 원장마스크가 공급됐을 때로, 제 1, 2, 3, 4, 5 마스크 스트레칭부(11, 12, 13, 14, 15)의 각각의 마스크 스트레칭부를 구성하는 가장 최소 크기를 가지는 원장에 대응하는 제 1 이송지지대(110)와, 제 1 이송지지대 양측에 설치된 제 2 이송지지대(120)와, 제 2 이송지지대 양측에 설치된 제 3 이송지지대(130) 그리고 제 1, 2 마스크 스트레칭부(11, 12) 측면에 설치된분할용클램프 이송지지대(140)가 모두 동일 선상에 위치함을 알 수 있다.
두번째는 중간 크기 원장 마스크에 대응하는 것으로, 제 1, 2, 3, 4 마스크 스트레칭부(11, 12, 13, 14)의 각각의 마스크 스트레칭부를 구성하는 가장 최소 크기를 가지는 원장에 대응하는 제 1 이송지지대(110)와, 제 1 이송지지대 양측에 설치된 제 2 이송지지대(120)가 그 후방부에 설치된 제 1, 2 이송지지대모터(111, 121)에 의해 전진하여 중간 크기의 원장 마스크를 클램핑하는 것임을 알 수 있다.
우측은 가장 최소 크기를 가지는 원장 마스크에 대응하는 것으로, 제 1, 2, 마스크 스트레칭부(11, 12)의 제 1 이송지지대(110)만 그 후방부에 설치된 제 1 이송지지대모터(111)에 의해 조금더 전진하고,
제 3, 4 마스크 스트레칭부(13, 14)는 상기 제 1, 2, 마스크 스트레칭부(11, 12)의 제 2 이송지지대(120)가 후진한 간격만큼 가장 최소 크기를 가지는 원장에 대응하는 제 1 이송지지대(110)와, 제 1 이송지지대 양측에 설치된 제 2 이송지지대(120)가 그 후방부에 설치된 제 1, 2 이송지지대모터(111, 121)에 의해 전진하여 중간 크기의 원장 마스크를 클램핑하는 것임을 알 수 있다.
도 2b는 본 발명에 따른 분할 마스크 사용시의 다모델 대응 개념도를 도시하고 있는데, 다양한 크기의 분할 마스크가 로딩되어 순차적으로 스트레칭 및 용접될때의 개념도를 설명한 것이다.
분할마스크가 로딩되어 순차적으로 공급되면 제 1, 2, 3 마스크 스트레칭부(11, 12, 13)는 작동을 중지하고, 제 4 마스크 스트레칭부(14)는 마스크 스트레칭 후진모터부(4)는 후진하여 작업공간에서 분리된다.
제 4 마스크 스트레칭부(14)가 작업공간에서 후진되면, 제 1, 2 마스크 스트레칭부(11, 12)의 일측단에 설치된 제 5 마스크 스트레칭부(15)의 분할용클램프 이송지지대(140)가 분할용클램프 이송지지대 모터(141)의 작동에 의해 분할용마스크 크기에 맞게 전진하여 분할 마스크 고정용 클램프(2000)와 이 분할 마스크 고정용 클램프(2000)의 구동에 의해 공급된 개별 분할 마스크를 하나씩 클램프하여 순차적으로 스트레칭 및 용접하게 된다.
도면 중 좌측은 가장 큰 분할마스크 크기가 공급되었을 때의 모습이고, 우측은 가장 작은 분할 마스크가 공급되었을 때의 작업모습이다.
도 3a는 본 발명에 따른 원장 마스크 고정작업의 동작 흐름도를 도시하고 있는데, 도시된 바와 같이 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩한 후 진공흡착하여 고정하는 단계와:
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 다양한 크기를 가지는 원장 마스크 중에서 선택된 하나의 마스크(5)를 로딩하는 단계와;
이후 마스크 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
이후 공급된 원장 마스크에 따라 원장 고정용 마스크 고정용 클램프가 전진하는 단계와;
이후 레이저용접 및 CCD측정부(3)의 CCD 카메라로 스트레칭 홀(Stretching Hole) 기준으로 정렬(Align)하는 단계와;
이후 정렬이 끝나면 원장 마스크를 클램프하는 단계와;
이후 클램프로 원장마스크를 예비 스트레칭(Pre-Stretching)한 후, CCD 카메라로 마스터 패널(Master Panel, 7)의 기준 홀 타겟(Fiducial Hole Target) 기준으로 마스크의 스트레칭 홀(Stretching Hole)이 일치될 때까지 스트레칭(Stretching)을 반복하여 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching)하는 원장 마스크 1차 스트레칭 단계와;
이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라(4, 5)를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 셀(Cell)위치로 이동하여 원장 마스크(Mask)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
이후 원장 마스크의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 마스크 및 프레임 카트부를 하강 및 원위치하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 프레임을 로딩하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)를 마스크 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
이후 프레임이 스트레칭 완료된 원장 마스크에 접촉되어 용접위치에 오도록 상승하는 단계와;
이후 레이저 용접 및 Master CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 원장 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측으로 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 레이저 용접이 완료되면 클램프를 해제하여 원위치하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트를 원위치하는 단계와;
이후 제작된 원장 마스크 프레임 조립체를 언로딩하여 작업을 마치는 단계:로 구성된다.
도 3b는 본 발명에 따른 분할 마스크 고정작업의 동작 흐름도인데, 도시된 바와 같이 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩한 후 진공흡착하여 고정하는 단계와:
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 프레임을 로딩하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에서 프레임의 장변 센터부를 압축함으로써 이후 분할 마스크를 용접 후 압축해제시 분할 마스크의 내부 Cell의 뒤틀어짐이 없이 균일하게 정렬되도록 압축하는 단계와;
이후 분할마스크 n장 중의 하나를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩된 압축된 프레임 및 분할 마스크를 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
이후 분할 마스크를 클램핑하기 위해 제 1, 2, 3 마스크 스트레칭부(11, 12, 13)는 작동을 중지하고, 제 4 마스크 스트레칭부(14)는 마스크 스트레칭 후진모터부(4)는 후진하여 작업공간에서 분리한 후 제 1, 2 마스크 스트레칭부(11, 12)의 일측단에 설치된 제 5 마스크 스트레칭부(15)의 분할용클램프 이송지지대(140)가 분할용클램프 이송지지대 모터(141)의 작동에 의해 분할용마스크 크기에 맞게 전진하여 분할 마스크 고정용 클램프(2000)와 이 분할 마스크 고정용 클램프(2000)의 구동에 의해 공급된 개별 분할 마스크를 클램핑하는 단계와;
이후 레이저용접 및 CCD측정부(3)의 CCD 카메라로 스트레칭 홀(Stretching Hole) 기준으로 정렬(Align)하는 단계와;
이후 정렬이 끝나면 분할 마스크를 클램프하는 단계와;
이후 클램프로 분할마스크를 예비 스트레칭(Pre-Stretching)한 후, CCD 카메라로 마스터 패널(Master Panel, 7)의 기준 홀 타겟(Fiducial Hole Target) 기준으로 마스크의 스트레칭 홀(Stretching Hole)이 일치될 때까지 스트레칭(Stretching) 을 반복하여 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching)하는 1/n번째 분할 마스크 1차 스트레칭 단계와;
이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라(4, 5)를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 셀(Cell)위치로 이동하여 분할 마스크(Mask)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
이후 분할 마스크의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 레이저 용접 및 Master CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 1/n번째 분할 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측으로 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)를 하강하여 원위치하는 단계와;
이후 조립될 또 다른 분할 마스크가 n개 있으면 상기 분할마스크 n장 중의 하나를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩하는 단계를 n회 반복하는 단계와;
이후 압축된 프레임 장변 센터의 압축을 해제하는 단계와;
이후 최종 마스크 프레임 조립체의 레이저 용접이 완료되면 제 5 마스크 스트레칭부(15)의 분할 마스크 고정용 클램프(2000)를 해제하여 원위치하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)를 원위치하는 단계와;
이후 제작된 분할 마스크 프레임 조립체를 언로딩하여 작업을 마치는 단계:로 구성된다.
도 3c는 본 발명에 따른 분할 마스크 고정작업의 동작 흐름도인데, 도시된 바와 같이 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩한 후 진공흡착하여 고정하는 단계와:
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 브리지타입 프레임을 로딩하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에서 브리지타입 프레임의 장변 센터부를 압축함으로써 이후 분할타입일체형 마스크를 용접 후 압축해제시 분할 타입일체형 마스크의 내부 셀(Cell)의 뒤틀어짐이 없이 균일하게 정렬되도록 압축하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 다양한 크기를 가지는 분할타입 일체형 마스크 중에서 선택된 하나의 마스크(5)를 로딩하는 단계와;
이후 마스크 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
이후 공급된 분할타입일체형 마스크에 따라 원장 고정용 마스크 고정용 클램프가 전진하는 단계와;
이후 레이저용접 및 CCD측정부(3)의 CCD 카메라로 스트레칭 홀(Stretching Hole) 기준으로 정렬(Align)하는 단계와;
이후 정렬이 끝나면 분할타입일체형 마스크를 클램프하는 단계와;
이후 클램프로 분할타입 일체형 마스크를 예비 스트레칭(Pre-Stretching)한 후, CCD 카메라로 마스터 패널(Master Panel, 7)의 기준 홀 타겟(Fiducial Hole Target) 기준으로 마스크의 스트레칭 홀(Stretching Hole)이 일치될 때까지 스트레칭(Stretching)을 반복하여 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching)하는 분할타입 일체형 마스크 1차 스트레칭 단계와;
이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라(4, 5)를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 셀(Cell)위치로 이동하여 분할타입일체형 마스크(Mask)의 내부 셀마스크(52)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
이후 분할타입 일체형 마스크중 내부 셀 마스크(52)의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 레이저 용접 및 CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 1/n번째 분할타입 일체형 마스크의 셀 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브(81)에 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 또 다른 분할 타입 일체형 마스크 중 셀 마스크(52)가 n개 있으면 상기
아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와 셀 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브(81)에 레이저 용접을 실시하는 단계를 n회 반복하는 단계와;
이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라(4, 5)를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 셀(Cell)위치로 이동하여 분할타입일체형 마스크(Mask)의 일측 정렬 마스크(51)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
이후 분할타입 일체형 마스크중 일측 정렬 마스크(51)의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 레이저 용접 및 CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 분할타입 일체형 마스크의 일측 정렬 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브(81)에 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 분할타입 일체형 마스크의 타측 정렬 마스크에 대한 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와 타측 정렬 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브(81)에 레이저 용접을 실시하는 단계와;
이후 압축된 브리지타입 프레임 장변 센터의 압축을 해제하는 단계와;
이후 클램프를 해제하여 원위치하는 단계와;
이후 마스크 및 프레임 카트를 원위치하는 단계와;
이후 제작된 분할 타입 일체형 마스크 프레임 조립체를 언로딩하여 작업을 마치는 단계:로 구성된다.
도 4는 본 발명에 따른 홀(Hole) 기준 스트래칭(Stretching) 구성도로, 도시된 바와 같이 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct Matching) 전에 예비 스트레칭(Pre-Stretching)을 하기 위한 방법으로, 마스터 패널(Master Panel,7)에 기준 홀(Fiducial Hole)이 형성된 것이 보이고, 이것을 이용하여 마스크(Mask, 5)에 형성된 스트레칭홀(Stretching Hole)을 CCD 카메라로 메칭하도록 구성되어 있다.
도 5는 본 발명에 따른 아이티오 메칭(ITO Matching) 구성도로, 마스크(Mask, 5)를 증착 공정상에 적용되고 있는 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)를 적용하여 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct Matching)을 하는 방법으로, 마스크(Mask, 5), 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6), 프레임(8) 그리고 마스크 스트레칭 부의 클램프 및 상부의 CCD 카메라가 도시되어 있다.
상기와 같은 공정과 같이 마스크의 스트레칭을 공정상에 적용하고 있는 아이티오 패턴 글래스를 적용하여 메칭하기 때문에 홀 기준 스트래칭만 할때 보다 공정 오차를 상쇄할 수 있어 정도가 향상되고, 또한 스트래칭 후에 패턴과 메칭 상태가 바로 확인되기 때문에 바로 보상하여 조정 가능하다.
도 6은 본 발명의 장치에 사용되는 원장 마스크(Mask)의 일례를 보인 형상도인데, 본 발명의 장치는 다양한 세대의 원장 마스크 크기에 대응하게 구성되는데, 원장 마스크의 형태는 그 크기에 관계없이 도시된 바와 같은 구성을 가진다.
즉, 그 구성은 내부에 다수의 셀(Cell)이 상하 좌우로 일정 간격을 가지고 배열되고, 원장 마스크의 외곽으로는 커팅라인(Cutting Line)이 형성되어 있다. 또한 커팅라인(Cutting Line)이 외곽으로는 마스크로딩홀(A)과 스트레칭 홀(B)가 형성되어 있다.
또한 도면에는 각 부분에 대한 단면이 도시되어 있는데, 개별 셀 내에 형성된 스트라이프는 양면 에칭되어 있고, 스트레칭 홀은 양면에칭으로 관통되어 마스크 타겟스트레칭시 사용하는 홀이고, 마스크 로딩홀은 마스크를 마스크 카트에 로딩할 때 기준이되는 홀이며, 하프 에칭된 컷팅라인은 마스크 용접후 마스크 유효면 외주를 잘라내기 위한 라인이다
도 7은 본 발명의 장치에 사용되는 기존 분할 마스크(Mask)의 일례를 보인 형상도를 도시하고 있는데, 본 발명의 장치는 이와 같은 종래의 분할타입 마스크도 사용가능하다. 하지만 이와 같은 종래의 분할타입 마스크는 취급이 어렵고 제작시간이 과다하게 소요되는 단점이 있다. 단지 마스크를 분할 낱장기준으로 매번 얼라인하여 용접하기 때문에 원장 마스크보다 얼라인 정도는 향상되는 장점이 있다. 이와 같은 분할 타입 마스크의 문제점은 후술되는 본 발명의 분할 타입 일체형 마스크를 사용하면 원장 마스크 및 분할타입 마스크의 단점을 모두 해소하게 된다.
도 8은 본 발명의 장치에 사용되는 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask)의 일례를 보인 형상도인데, 도시된 바와 같이 분할 일체형 마스크(Mask)의 형상 및 여기에 결합되는 브릿지(Bridge) 타입 프레임과 이들이 용접된 모습과, 용접에 따른 분할타입 일체형 마스크의 스트레칭 개념도를 나타내고 있다.
이와 같은 본 발명의 분할 타입 일체형 마스크를 사용하면 전술한 도 6의 일반적인 원장 마스크와 도 7에 보인 분할 마스크 사용시 문제될 수 있는 정도와 작업시간 과다에 의한 수율 저하 등의 문제를 해결할 수 있다.
구체적으로 본원 발명에서 새로 도입된 분할타입 일체형 마스크 구조는 양 측면을 이루는 시트(Sheet)인 정렬마스크(Align Mask, 51)와 정렬마스크(Align Mask, 51) 사이에 위치한 다수개의 셀 마스크(cell mask, 52) 간은 일정 간격으로 이격되어 분할 구성하되, 각 마스크 간은 에지(Edge) 부분은 도면중 B에 도시된 바와 같이 하프에칭으로 마스크 간이 붙어있게 구성된다.
또한 상기 정렬 및 셀 마스크에는 마스크 로딩을 위한 기준이 되는 마스크 로딩홀, 마스크 클램핑시 틀어짐을 방지하는 마스크 얼라인 홀, 분할마스크 용접 후 커팅을 위한 커팅라인이 형성된다.
이러한 분할타입 일체형 마스크를 적용한 스트레칭 방법은 분할 일체형 마스크 시트를 마스크 및 프레임 카트부에 로딩하여 마스크 스트레칭부로 이동 및 상승하여 분할마스크 고정용 클램프를 사용하여 내부 시트인 셀 마스크, 정렬 마스크 순으로 정렬 및 아이티오 패턴 메칭(ITO Pattern Matching) 하여 스트레칭하여 개별 용접한다. 이때 프레임에 형성된 브릿지 리브(81) 부분도 함께 용접하여 고정한다.
이러한 분할 타입 일체형 마스크 사용시의 때의 장점은 파인 마스크(Fine Mask) 세정시 수명(Life Time)은 분할보다 길고, 정도는 원장보다 좋게 된다. 즉, 종래 분할 타입 마스크 작업시보다 작업시간이 많이 단축되고, 정도는 분할타입 마스크 정도로 확보하면서 내부 셀(Cell)의 변형을 최소화 할수 있으며, 얼라인 정도가 틀어지지 않게 된다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 시스템 구성도이고,
도 2a는 본 발명에 따른 원장 마스크 사용시의 다모델 대응 개념도이고,
도 2b는 본 발명에 따른 분할 마스크 사용시의 다모델 대응 개념도이고,
도 3a는 본 발명에 따른 원장 마스크 고정작업의 동작 흐름도이고,
도 3b는 본 발명에 따른 분할 마스크 고정작업의 동작 흐름도이고,
도 4는 본 발명에 따른 홀(Hole) 기준 스트래칭(Stretching) 구성도이고,
도 5는 본 발명에 따른 아이티오 메칭(ITO Matching) 구성도이고,
도 6은 본 발명의 장치에 사용되는 원장 마스크(Mask)의 일례를 보인 형상도이고,
도 7은 본 발명의 장치에 사용되는 분할 마스크(Mask)의 일례를 보인 형상도이고,
도 8은 본 발명의 장치에 사용되는 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask)의 일례를 보인 형상도이고,
도 9는 종래 다모델의 원장 마스크 작업시의 전용 클램프 모습을 보인 개념도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
(1) : 원장 및 분할 마스크 스트레칭 부
(2) : 마스크 및 프레임 카트부
(3) : 레이저 용접 및 Master CCD 측정부
(4) : 마스크 스트레칭부 후진모터부
(5) : 마스크
(6) : 아이티오 패턴 글래스
(7) : 마스터 패널
(8) : 프레임
(9) : 고정장치 바디
(11, 12, 13, 14, 15) : 제 1, 2, 3, 4, 5 마스크 스트레칭부
(41) : 가이드부
(51) : 정렬마스크
(52) : 셀마스크
(81) : 브리지리브
(110, 120, 130) : 제 1, 2, 3 이송지지대
(111, 121, 131) : 제 1, 2, 3,이송지지대모터
(140) : 분할용클램프 이송지지대
(141) : 분할용클램프 이송지지대 모터
(1000) : 원장 마스크 고정용 클램프
(1001) : 원장 마스크 고정용 클램프모터
(2000) : 분할 마스크 고정용 클램프
(2001) : 분할 마스크 고정용 클램프 모터

Claims (11)

  1. 유기 EL 능동 및 수동형 평판 디스플레이 제조 공정의 마스크 및 프레임 정렬 일체화 공정 중, 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비하여 유기 EL 평판 디스플레이를 제작하는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치에 있어서,
    다양한 규격과 형태를 가지는 원장 마스크, 분할마스크 및 분할타입 일체형 마스크 중 어느 하나에 장력을 가하여, 마스크 프레임에 마스크를 정렬 및 고정시키도록 마스크의 4면에 대응하여 장력을 인가하는 원장 및 분할 마스크 스트레칭 부(1)와;
    원장 또는 분할 마스크 및 프레임을 작업공간으로 이송하여 로딩 및 언로딩 기능과 프레임 압축기능 및 ITO 패턴 글래스 공급 기능을 가진 마스크 및 프레임 카트부(2)와;
    원장 또는 분할 마스크를 정위치에 정렬되게 측정 후 프레임과 용접하는 레이저 용접 및 Master CCD 측정부(3)와;
    분할마스크 작업을 위해 마스크 4면 중 일측면의 마스크 스트레칭 부(1)를 후진시키는 마스크 스트레칭부 후진모터부(4);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 원장 및 분할 마스크 스트레칭 부(1)는 원장 마스크 및 분할타입 일체형마스크의 4면에 대응하도록 제1, 2, 3, 4 마스크 스트레칭부(11, 12, 13, 14) 및
    제1, 2 마스크 스트레칭부(11, 12)의 측면인 제 4 마스크 스트레칭부(14) 쪽에 설치된 분할 마스크에 대응하도록 제 5 마스크 스트레칭부(15)로 구성된 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1, 2, 3, 4 마스크 스트레칭부(11, 12, 13, 14)는 각각 다양한 원장 마스크 크기에 대응하여 작업하도록 중앙에 위치하여 가장 최소 크기를 가지는 원장에 대응하는 제 1 이송지지대(110)와, 제 1 이송지지대 양측에 설치된 제 2 이송지지대(120)와, 제 2 이송지지대 양측에 설치된 제 3 이송지지대(130)로 구성되어, 그 후방부에 설치된 제 1, 2, 3,이송지지대모터(111, 121, 131)에 의해 전후진하여 다양한 크기의 원장 크기에 따라 대응하도록 구성되고,
    상기 각 제 1, 2, 3 이송지지대(110, 120, 130) 상부면에는 원장 마스크 고정용 클램프(1000)와 이를 구동시키는 원장 마스크 고정용 클램프모터(1001)가 다수개 설치된 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 제 5 마스크 스트레칭부(15)는 분할용클램프 이송지지대(140)와 이 분할용클램프 이송지지대를(140) 전후진 시키도록 후방에 분할용클램프 이송지지대 모터(141)가 설치되어 구성되고,
    상기 분할용클램프 이송지지대(140)의 상부면에는 분할 마스크 고정용 클램프(2000)와 이 분할 마스크 고정용 클램프(2000)를 구동시키는 분할 마스크 고정용 클램프 모터(2001)가 설치된 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 마스크 및 프레임 카트부(2)는 원장 마스크, 분할 마스크, 프레임과 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)를 작업공간에 로딩하고 개별 얼라인하기 위해 원장 마스크 및 분할 마스크를 로딩하고 얼라인하는 x, y, θ 테이블과, 이보다 작은 크기를 가지고 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass)를 로딩하고 얼라인하는 x, y, θ 테이블을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 마스크 스트레칭 후진모터부(4)는 분할 마스크 작업시 제 4 마스크 스트레칭부(14)를 고정장치 바디(9)의 상부면에 형성된 가이드부(41)를 따라 전후진하게 구성한 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 분할타입 일체형마스크는 양 측면을 이루는 시트(Sheet)인 정렬마스크(Align Mask, 51)와 정렬마스크(Align Mask, 51) 사이에 위치한 다수개의 셀 마스크(cell mask, 52) 간은 일정 간격으로 이격되어 분할 구성하되, 각 마스크 간은 에지(Edge) 부분은 하프에칭으로 마스크 간이 붙어있게 구성되고, 상기 정렬 및 셀 마스크의 상하부에는 각각 마스크 로딩을 위한 기준이 되는 마스크 로딩홀, 마스크 클램핑시 틀어짐을 방지하는 마스크 얼라인 홀, 분할마스크 용접 후 커팅을 위한 커팅라인이 형성된 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치.
  8. 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비하여 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정중 증착용 마스크를 정렬하여 프레임과 고정한 후 용접하여 마스크 조립체를 제작하는 방법에 있어서,
    제 1항 내지 6항 중 어느 한 항에 따른 장치를 구비한 후, 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩한 후 진공흡착하여 고정하는 단계와:
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 다양한 크기를 가지는 원장 마스크 중에서 선택된 하나의 마스크(5)를 로딩하는 단계와;
    이후 마스크 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
    이후 공급된 원장 마스크에 따라 원장 고정용 마스크 고정용 클램프가 전진하는 단계와;
    이후 레이저용접 및 CCD측정부(3)의 CCD 카메라로 스트레칭 홀(Stretching Hole) 기준으로 정렬(Align)하는 단계와;
    이후 정렬이 끝나면 원장 마스크를 클램프하는 단계와;
    이후 클램프로 원장마스크를 예비 스트레칭(Pre-Stretching)한 후, CCD 카메라로 마스터 패널(Master Panel, 7)의 기준 홀 타겟(Fiducial Hole Target) 기준으로 마스크의 스트레칭 홀(Stretching Hole)이 일치될 때까지 스트레칭(Stretching)을 반복하여 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching)하는 원장 마스크 1차 스트레칭 단계와;
    이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라(4, 5)를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 셀(Cell)위치로 이동하여 원장 마스크(Mask)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
    이후 원장 마스크의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 마스크 및 프레임 카트부를 하강 및 원위치하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 프레임을 로딩하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)를 마스크 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
    이후 프레임이 스트레칭 완료된 원장 마스크에 접촉되어 용접위치에 오도록 상승하는 단계와;
    이후 레이저 용접 및 Master CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 원장 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측으로 레이저 용접을 실시하는 단계와;
    이후 레이저 용접이 완료되면 클램프를 해제하여 원위치하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트를 원위치하는 단계와;
    이후 제작된 원장 마스크 프레임 조립체를 언로딩하여 작업을 마치는 단계:를 거쳐 다양한 크기를 가지는 원장 마스크와 프레임을 조립하는 방법을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법.
  9. 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비하여 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정중 증착용 마스크를 정렬하여 프레임과 고정한 후 용접하여 마스크 조립체를 제작하는 방법에 있어서,
    제 1항 내지 7항 중 어느 한 항에 따른 장치를 구비한 후, 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩한 후 진공흡착하여 고정하는 단계와:
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 프레임을 로딩하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에서 프레임의 장변 센터부를 압축함으로써 이후 분할 마스크를 용접 후 압축해제시 분할 마스크의 내부 셀(Cell)의 뒤틀어짐이 없이 균일하게 정렬되도록 압축하는 단계와;
    이후 분할마스크 n장 중의 하나를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩된 압축된 프레임 및 분할 마스크를 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
    이후 분할 마스크를 클램핑하기 위해 제 1, 2, 3 마스크 스트레칭부(11, 12, 13)는 작동을 중지하고, 제 4 마스크 스트레칭부(14)는 마스크 스트레칭 후진모터부(4)를 후진하여 작업공간에서 분리한 후 제 1, 2 마스크 스트레칭부(11, 12)의 일측단에 설치된 제 5 마스크 스트레칭부(15)의 분할용클램프 이송지지대(140)가 분할용클램프 이송지지대 모터(141)의 작동에 의해 분할용마스크 크기에 맞게 전진하여 분할 마스크 고정용 클램프(2000)와 이 분할 마스크 고정용 클램프(2000)의 구동에 의해 공급된 개별 분할 마스크를 클램핑하는 단계와;
    이후 레이저용접 및 CCD측정부(3)의 CCD 카메라로 스트레칭 홀(Stretching Hole) 기준으로 정렬(Align)하는 단계와;
    이후 정렬이 끝나면 분할 마스크를 클램프하는 단계와;
    이후 클램프로 분할마스크를 예비 스트레칭(Pre-Stretching)한 후, CCD 카메라로 마스터 패널(Master Panel, 7)의 기준 홀 타겟(Fiducial Hole Target) 기준으로 마스크의 스트레칭 홀(Stretching Hole)이 일치될 때까지 스트레칭(Stretching)을 반복하여 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching)하는 1/n번째 분할 마스크 1차 스트레칭 단계와;
    이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라(4, 5)를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 셀(Cell)위치로 이동하여 분할 마스크(Mask)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
    이후 분할 마스크의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 레이저 용접 및 Master CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 1/n번째 분할 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측으로 레이저 용접을 실시하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)를 하강하여 원위치하는 단계와;
    이후 조립될 또 다른 분할 마스크가 n개 있으면 상기 분할마스크 n장 중의 하나를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩하는 단계를 n회 반복하는 단계와;
    이후 압축된 프레임 장변 센터의 압축을 해제하는 단계와;
    이후 최종 마스크 프레임 조립체의 레이저 용접이 완료되면 제 5 마스크 스트레칭부(15)의 분할 마스크 고정용 클램프(2000)를 해제하여 원위치하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)를 원위치하는 단계와;
    이후 제작된 분할 마스크 프레임 조립체를 언로딩하여 작업을 마치는 단계:를 거쳐 다양한 크기를 가지는 분할 마스크와 프레임을 조립하는 방법을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법.
  10. 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비하여 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정중 증착용 마스크를 정렬하여 프레임과 고정한 후 용접하여 마스크 조립체를 제작하는 방법에 있어서,
    제 1항 내지 7항 중 어느 한 항에 따른 장치를 구비한 후, 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)를 마스크 및 프레임 카트부(2)에 로딩한 후 진공흡착하여 고정하는 단계와:
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 브리지타입 프레임을 로딩하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에서 브리지타입 프레임의 장변 센터부를 압축함으로써 이후 분할타입일체형 마스크를 용접 후 압축해제시 분할 타입일체형 마스크의 내부 셀(Cell)의 뒤틀어짐이 없이 균일하게 정렬되도록 압축하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트부(2)에 다양한 크기를 가지는 분할타입 일체형 마스크 중에서 선택된 하나의 마스크(5)를 로딩하는 단계와;
    이후 마스크 스트레칭 부로 이동 및 상승하는 단계와;
    이후 공급된 분할타입일체형 마스크에 따라 원장 고정용 마스크 고정용 클램프가 전진하는 단계와;
    이후 레이저용접 및 CCD측정부(3)의 CCD 카메라로 스트레칭 홀(Stretching Hole) 기준으로 정렬(Align)하는 단계와;
    이후 정렬이 끝나면 분할타입일체형 마스크를 클램프하는 단계와;
    이후 클램프로 분할타입 일체형 마스크를 예비 스트레칭(Pre-Stretching)한 후, CCD 카메라로 마스터 패널(Master Panel, 7)의 기준 홀 타겟(Fiducial Hole Target) 기준으로 마스크의 스트레칭 홀(Stretching Hole)이 일치될 때까지 스트레칭(Stretching)을 반복하여 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching)하는 분할타입 일체형 마스크 1차 스트레칭 단계와;
    이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라(4, 5)를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 셀(Cell)위치로 이동하여 분할타입일체형 마스크(Mask)의 내부 셀마스크(52)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
    이후 분할타입 일체형 마스크중 내부 셀 마스크(52)의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 레이저 용접 및 CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 1/n번째 분할타입 일체형 마스크의 셀 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브(81)에 레이저 용접을 실시하는 단계와;
    이후 또 다른 분할 타입 일체형 마스크 중 셀 마스크(52)가 n개 있으면 상기
    아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와 셀 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브(81)에 레이저 용접을 실시하는 단계를 n회 반복하는 단계와;
    이후 홀(Hole) 기준 스트레칭(Stretching) CCD 카메라(4, 5)를 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 셀(Cell)위치로 이동하여 분할타입일체형 마스크(Mask)의 일측 정렬 마스크(51)와 아이티오 패턴 글래스(ITO Pattern Glass, 6)의 내부 셀(Cell) 기준 메칭(Matching)하여 차이나는 부분을 클램프로 조정하는 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와;
    이후 분할타입 일체형 마스크중 일측 정렬 마스크(51)의 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching)이 끝나면 레이저 용접 및 CCD 측정부의 레이저 용접건을 사용하여 분할타입 일체형 마스크의 일측 정렬 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브(81)에 레이저 용접을 실시하는 단계와;
    이후 분할타입 일체형 마스크의 타측 정렬 마스크에 대한 아이티오 다이렉트 메칭(ITO Direct matching) 단계와 타측 정렬 마스크 커팅라인(Cutting Line) 외측 및 프레임의 중앙에 형성된 브리지리브(81)에 레이저 용접을 실시하는 단계와;
    이후 압축된 브리지타입 프레임 장변 센터의 압축을 해제하는 단계와;
    이후 클램프를 해제하여 원위치하는 단계와;
    이후 마스크 및 프레임 카트를 원위치하는 단계와;
    이후 제작된 분할 타입 일체형 마스크 프레임 조립체를 언로딩하여 작업을 마치는 단계:를 거쳐 다양한 크기를 가지는 분할타입 일체형 마스크와 브리지타입 프레임을 조립하는 방법을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법.
  11. 마스크 스트레칭부, 마스크 및 프레임의 로딩 및 언로딩부 및 레이저용접 및 CCD 측정부를 구비한 유기 EL 평판 디스플레이 제작 공정 중 증착용 마스크 정렬 및 고정장치에 의해 제조되는 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask) 조립체에 있어서,
    양 측면을 이루는 시트(Sheet)인 정렬마스크(Align Mask, 51)와 정렬마스크(Align Mask, 51) 사이에 위치한 다수개의 셀 마스크(cell mask, 52) 간은 일정 간격으로 이격되어 분할 구성하되, 각 마스크 간은 에지(Edge) 부분은 하프에칭으로 마스크 간이 붙어있게 구성되고, 상기 정렬 및 셀 마스크의 상하부에는 각각 마스크 로딩을 위한 기준이 되는 마스크 로딩홀, 마스크 클램핑시 틀어짐을 방지하는 마스크 얼라인 홀, 분할마스크 용접 후 커팅을 위한 커팅라인이 형성된 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask)와;
    이 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask)의 하부쪽에 용접되어 조립되고, 중앙부에 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask)의 중앙부와 용접되는 브리지리브(81)가 형성된 브리지 타입 프레임;으로 구성된 것을 특징으로 하는 유기 EL 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장 및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치에 의해 제조되는 분할 타입(Type) 일체형 마스크(Mask) 조립체.
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