KR102130446B1 - 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치 - Google Patents

마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102130446B1
KR102130446B1 KR1020190019796A KR20190019796A KR102130446B1 KR 102130446 B1 KR102130446 B1 KR 102130446B1 KR 1020190019796 A KR1020190019796 A KR 1020190019796A KR 20190019796 A KR20190019796 A KR 20190019796A KR 102130446 B1 KR102130446 B1 KR 102130446B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
block
lever
gripper
frame assembly
Prior art date
Application number
KR1020190019796A
Other languages
English (en)
Inventor
최영묵
윤영석
하연식
Original Assignee
주식회사 한송네오텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 한송네오텍 filed Critical 주식회사 한송네오텍
Priority to KR1020190019796A priority Critical patent/KR102130446B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102130446B1 publication Critical patent/KR102130446B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H01L51/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L51/00—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass

Abstract

본 발명은 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치에 관한 것으로, 그 목적은 프레임에 용접되는 다양한 무게와 크기를 가지는 마스크에 대응하여 간격이 조정되는 2개의 그리퍼가 한쌍으로 구성되어 싱글 또는 듀얼모드로 작동되면서 실린더를 이용한 수평가압부가 힌지 회전하는 회전레버부를 가압하여 상측 클램프 죠와 하측 클팸프죠를 맞물리도록 구성하여 정밀하고 강한 파지력을 제공할 수 있는 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 구성은 프레임에 이송된 마스크를 파지하여 로딩하고 장력을 인가하는 그리퍼 장치에 있어서, 실린더 가압방식으로 마스크 파지력을 제공하고, 선택적으로 싱글 또는 듀얼 모드로 작동하는 2개의 그리퍼(1)와; 상기 그리퍼가 듀얼모드로 작동시 마스크폭에 따라 그리퍼간의 간격을 조절하는 간격조절부(2);로 구성된 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치를 발명의 특징으로 한다.

Description

마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치{Pitch adjustable large dual gripper for manufacturing mask frame assembly}
본 발명은 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치에 관한 것으로, 자세하게는 대형 OLED 디스플레이용 마스크프레임 어셈블리 제조 장치에 사용되는 그리퍼를 핀치가 조정되는 2개의 그리퍼로 구성하여 다양한 마스크(또는 스틱, 이하'마스크'라 칭함) 크기에 대응할 수 있고, 새로운 방식으로 강한 파지력을 제공할 수 있도록 구성된 대형 듀얼 그리퍼 장치에 관한 것이다.
최근 다양한 용도의 디스플레이 소자로 각광받고 있는 OLED(유기발광다이오드)는 반응속도가 박막 트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 보다 월등히 빠르고, 별도의 백라이트 없이 자체 발광이 가능하여 LCD 보다 구조가 단순하여 부품이 적어 제조시 LCD 대비 두께와 무게를 대폭 줄일 수 있으며, 넓은 시야각과 저전력 소비 구조를 자랑하는 차세대 디스플레이이다.
이러한 OLED는 AM방식(능동)과 PM방식(수동)으로 나뉘는데, 특히 AMOLED는 각 화소마다 TFT와 커패시터가 있으며 소비전력, 수명, 해상도 측면 모두에서 우수하기 때문에, TFT의 제작으로 인해 제조비용이 높아진다는 단점을 딛고, 현재 각 분야의 활발한 개발과 양산 시도가 이어지고 있다.
OLED 방식 디스플레이를 제조하기 위해서는 먼저 프레임에 마스크를 용접시켜 마스크프레임 어셈블리를 제조하게 되는데 이러한 마스크프레임 어셈블리 제조 장치는 보통 프레임을 로딩하여 장치의 중심부에 위치를 고정하고, 위치 정렬된 프레임 위에 마스크랙에 적재된 마스크를 그리퍼를 이용하여 필요로 하는 프레임 상부 위치까지 로딩하여 센서를 이용하여 정확한 위치로 정렬시킨 후 센터링 위치가 정확히 맞았을 경우 마스크의 양측면에 위치한 그리퍼를 이용해 장력을 인가한 상태에서 겐트리에 매달린 용접장치를 프레임과 마스크가 위치정렬된 위치까지 이동하여 센서를 이용해 정밀하게 용접위치 측정 후 용접기를 하강시켜 용접하고 다시 센서를 이용해 프레임에 용접된 마스크의 용접품질을 측정하는 순서로 마스크프레임 어셈블리를 제조하도록 구성된다.
한편, 최근에는 대형 또는 초대형 OLED 디스플레이의 수요가 급속히 높아지고 있는 추세인데 이러한 수요를 만족하기 위해서는 안정적인 수율로 고품질의 제품을 생산하는 기술이 필요하다.
이러한 대형 또는 초대형 OLED 디스플레이를 제조하기 위해서는 대형 프레임을 구비후 이러한 크기의 프레임을 가로지르도록 무게, 폭 및 크기가 커진 마스크를 로딩하여 처짐이나 미끄러짐 없이 충분한 장력을 인가하여 파지한 상태에서 용접하는 기술이 매우 중요하다.
하지만 종래의 마스크프레임 어셈블리 장치는 프레임에 로딩된 마스크의 양측면에서 파지한 후 장력을 인가하는 그리퍼가 주로 양측면에서 1개씩 위치하도록 구성되어 마스크의 폭이 커진 마스크에 균일한 장력을 인가하기 어렵고, 만약 각 측면당 2개의 그리퍼를 이용하여 구성해도 각기 작동하는 그리퍼 구조상 균일한 장력을 인가하기가 어렵고, 특정 폭을 가진 광폭의 마스크에 전용되는 장치로 구성시 다양한 폭을 가진 마스크에 범용으로 사용할 수 없다는 구조적인 문제점이 있다.
또한 종래의 그리퍼는 무겁고 큰 폭과 긴 길이를 가지는 마스크를 파지시 구조적인 단점으로 인해 충분한 파지력을 제공하기 어렵다는 문제점이 있어서 정밀한 마스크프레임 어셈블리를 제조하는데 큰 어려움이 있다.
이하 구체적으로 살펴본다.
도 10은 종래 그리퍼를 보인 예시도인데, 도시된 바와 같이 종래의 그리퍼는 마스크에 파지력을 제공하는 구성이 하모닉드라이브(Harmonic Drive) 모터, 타이밍풀리, 타이밍벨트, 타이밍벨트, 볼스크류(Ball Screw), 클램프죠(Clamp jaw)로 구성되어 하모닉드라이브 모터에 의한 토크제어 및 타미밍풀리(Pulley)와 타이밍 벨트간의 동력전달을 통해 볼 스크류가 회전 구동하면서 클램프 죠가 상하 이동하면서 마스크를 파지(Clamping)하도록 구성된다.
하지만 이와 같은 종래의 그리퍼는 경량의 폭이 좁은 마스크를 파지할때는 상관없지만 무게가 크거나 폭이 넓고 길이가 긴 마스크일 경우 그리퍼에서 미끌어지거나 강한 장력을 인가하지 못해 마스크를 프레임의 정위치에 정렬시킨 후 용접시 충분한 장력이 인가되지 않은 상태로 용접되어 제조된다는 단점과,
하모닉드라이브(Harmonic Drive) 모터를 이용한 장력인가 구조로 인한 발열이 심해 장비의 정밀도가 떨어진다는 단점이 있다.
이로인해 제조된 마스크프레임 어셈블리의 품질이 떨어져 이를 이용해 제조된 대형 OLED 디스플레이의 품질과 수율이 좋지 못하다는 구조적인 문제점이 있다.
따라서 상기와 같은 종래 그리퍼의 구조적인 문제점을 해결할 기술의 필요성이 대두되고 있다.
한국 등록특허공보 등록번호 10-1272299(2013.05.31) 한국 등록특허공보 등록번호 10-0941007(2010.02.01) 한국 등록특허공보 등록번호 10-0823943(2008.04.15) 한국 등록특허공보 등록번호 10-0397635(2003.08.28)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 프레임에 용접되는 다양한 무게와 크기를 가지는 마스크에 대응하여 간격이 조정되는 2개의 그리퍼가 한쌍으로 구성되어 싱글 또는 듀얼 모드로 작동되면서 실린더를 이용한 수평가압부가 힌지 회전하는 회전레버부를 가압하여 상측 클램프 죠와 하측 클팸프죠를 맞물리도록 구성하여 정밀하고 강한 파지력을 제공할 수 있는 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 프레임에 이송된 마스크를 파지하여 로딩하고 장력을 인가하는 그리퍼 장치에 있어서,
실린더 가압방식으로 마스크 파지력을 제공하고, 선택적으로 싱글 또는 듀얼 모드로 작동하는 2개의 그리퍼와;
상기 그리퍼가 듀얼모드로 작동시 마스크폭에 따라 그리퍼간의 간격을 조절하는 간격조절부;로 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치를 제공함으로써 달성된다.
바람직한 실시예로, 상기 그리퍼는 수평방향으로 압력을 제공하는 수평가압부와, 수평가압부의 가압에 의해 하향 회전하는 회전레버부와, 회전레버부의 회전방향에 따라 승하강하는 상측 클램프죠 및 상측 클램프죠와 맞물리게 고정된 하측 클램프죠로 구성되어 마스크를 파지하는 파지부;를 포함하여 구성될 수 있다.
바람직한 실시예로, 상기 그리퍼는
하부가 간격조절부의 엘엠 블록 및 볼스크류 블록과 체결되고, 상부에는 복수개의 엘엠블록이 가이드되는 엘엠가이드가 설치된 베이스플레이트부와;
상기 엘엠블록 중 어느 하나에 설치되어 전후진 하도록 하부블록과 상부블록으로 구성되고, 파지부가 설치된 이송블록부와;
상기 이송블록부를 전후진시키는 동력전달부;를 포함하여 구성될 수 있다.
바람직한 실시예로, 상기 수평가압부는 이송블록부의 상부블록에 설치된 실린더와, 실리더의 로드 전단에 설치되어 로드가 전진시 회전레버부의 하측가이드롤러를 수평가압하는 가압편으로 구성될 수 있다.
바람직한 실시예로, 상기 회전레버부는 레버와, 레버의 후단에서 하부블록과 힌지결합하는 힌지와, 레버에 설치되어 수평가압부의 가압편을 통해 가압력을 인가받으면서 접촉시 회전하게 구성된 하측 가이드롤러와, 레버 상부방향으로 탄성력을 제공하여 수평가압부의 가압편을 통한 압력이 해제되면 레버를 원래의 위치로 복원시키는 스프링으로 구성될 수 있다.
바람직한 실시예로, 상기 레버는 후단에 하부블록에 수납되게 절곡된 힌지부가 형성되고, 전단에 하측 가이드롤러가 거치되는 거치부가 형성되고, 전단 하부에는 스프링이 수납되는 스프링홀이 형성될 수 있다.
바람직한 실시예로, 상기 상측 클램프죠 및 하측 클램프죠는 맞물리는 면 중 적어도 어느 한쪽 면에는 미끄럼방지 가공처리될 수 있다.
바람직한 실시예로, 상기 하부블록은 일지점에 수납부가 형성되어 레버의 힌지부가 수납되고, 수납부 좌우측면으로는 힌지홀이 형성되어 힌지가 체결되고, 전방 상면에는 스프링 홀이 형성되어 스프링이 수납되고, 전단부에는 턱이 돌출형성되어 파지부의 하측 클램프죠가 체결되어 고정되도록 구성될 수 있다.
바람직한 실시예로, 상기 상부블록은 전방부에 롤러거치부가 형성되어 상측 가이드롤러가 핀에 의해 축결합되게 구성되어 가압편을 가이드하면서 회전하도록 구성될 수 있다.
바람직한 실시예로, 상기 상부블록의 롤러거치부 상부쪽에는 마스크의 진입 유무를 센싱하는 센서가 구성될 수 있다.
바람직한 실시예로, 상기 간격조절부는 간격조절판과; 간격조절판의 상부 좌우측에 각각 설치된 엘엠가이드와; 각 엘엠가이드에 설치되어 가이드되면서 상부에 위치한 각 그리퍼를 지지하는 각 베이스플레이트와 결합된 엘엠블록과; 간격조절판의 상부에 설치되고, 중심을 기준으로 양측이 서로 다른 방향으로 가공된 나사산이 가공된 볼스크류와; 상기 볼스크류의 서로 다른방향으로 가공된 나사산에 각각 설치되어 상부에 위치한 각 그리퍼의 베이스플레이트와 결합되어 이동시키는 볼스크류블록과; 상기 볼스크류와 축결합된 커플러와; 상기 커플러와 축결합된 감속기 및 상기 감속기에 회전력을 제공하는 서보모터로 구성될 수 있다.
상기와 같은 특징을 갖는 본 발명은 대형 OLED 디스플레이용 마스크 프레임어셈블리 제조시 프레임에 용접되는 다양한 무게와 크기를 가지는 마스크에 대응하도록 핀치가 조정되는 2개의 그리퍼가 한쌍으로 구성되어 싱글 또는 듀얼모드로 작동되어 2개의 그리퍼 중 어느 하나를 이용하여 1개의 마스크를 파지하거나, 2개의 그리퍼를 이용하여 1개의 그리퍼가 대응할 수 없는 폭을 가진 마스크를 파지하거나 또는 그리퍼간의 간격(피치)를 임의의 간격으로 조정하여 임의의 폭을 가진 마스크를 파지할 수 있다는 장점을 가진다.
또한 본 발명은 대형 OLED 디스플레이용 마스크 프레임 어셈블리의 프레임에 용접되는 무거운 마스크를 파지하여 강한 장력을 인가할 수 있도록 개별 그리퍼를 수평가압부와 회전레버부로 구성하여 실린더에 의해 작동되는 수평가압부에 의해 가압되어 회전된 회전레버부 끝단에 형성된 상측 클램프 죠(Clamp jaw)가 하부에 위치한 하측 클램프 죠와 맞물리도록 구성하여 강한 파지력을 제공한다는 장점을 가진다.
또한 본 발명은 상기와 같은 구조로 장력을 인가함으로써 발열량이 적어 정밀한 파지력을 제공한다는 장점을 가진다.
상기한 장점들을 가진 본 발명은 다양한 무게와 폭을 가지는 마스크를 파지 후 프레임에 위치 정렬 후 용접할 때 그리퍼가 강한 장력을 인가한 상태에서 싱글 또는 듀얼모드로 안정적으로 파지할 수 있어서 마스크가 그리퍼에서 미끄러지거나 처지는 것을 방지하면서도 발열량이 적어 안정적으로 정밀하게 용접할 수 있어서 대형 디스플레이용 마스크 프레임 어셈블리가 정밀하게 제조되고, 이를 이용하면 고품질의 대형 OLED 디스플레이를 높은 수율로 생산할 수 있는 유용한 발명으로 산업상 그 이용이 크게 기대되는 발명인 것이다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 전체 구성을 보인 사시도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 전체 구성을 보인 평면도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 개별 그리퍼 구성을 보인 사시도이고,
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 개별 그리퍼 내부 구성을 보인 사시도이고,
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 내부 구성을 보인 구조도이고,
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따라 1개의 그리퍼를 이용해 싱글모드로 마스크를 파지하고 있는 모습을 보인 사시도이고,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따라 2개의 그리퍼를 이용해 듀얼모드로 마스크를 파지하고 있는 모습을 보인 사시도이고,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따라 2개의 그리퍼를 이용한 피치 조절을 보인 사시도이고,
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따라 2개의 그리퍼를 이용한 피치 조절을 보인 평면도이고,
도 10은 종래 그리퍼를 보인 예시도이다.
이하 본 발명의 실시 예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 전체 구성을 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 전체 구성을 보인 평면도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 개별 그리퍼 구성을 보인 사시도이고, 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 개별 그리퍼 내부 구성을 보인 사시도이고, 도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치의 내부 구성을 보인 구조도이다.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 마스크프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치는 대형 마스크프레임 어셈블리 제조장치에 설치되어 마스크에 장력을 인가하면서 파지하는 장치로, 실린더 가압방식으로 마스크 파지력을 제공하고, 선택적으로 싱글 또는 듀얼 모드로 작동하는 2개의 그리퍼(1)와; 상기 그리퍼가 듀얼모드로 작동시 마스크폭에 따라 그리퍼간의 간격을 조절하는 간격조절부(2);로 구성된다.
상기 그리퍼(1)는, 하부가 간격조절부의 엘엠 블록 및 볼스크류 블록과 체결되고, 상부에는 복수개의 엘엠블록이 가이드되는 엘엠가이드가 설치된 베이스플레이트부(11)와; 상기 엘엠블록 중 어느 하나에 설치되어 전후진 하는 이송블록부(12)와; 상기 이송블록부를 전후진시키는 동력전달부(13)와; 상기 이송블록부에 설치되고, 수평방향으로 압력을 제공하는 수평가압부(141)와 수평가압부의 가압에 의해 하향 회전하는 회전레버부(142)와 회전레버부의 회전방향에 따라 승하강하는 상측 클램프죠(143) 및 상측 클램프죠와 맞물리게 고정된 하측 클램프죠(144)로 구성되어 마스크를 파지하는 파지부(14)로 구성된다.
상기 베이스플레이트부(11)는 하부가 간격조절부(2)의 엘엠블록(23) 및 볼스크류블록(25)과 체결되고, 상부에는 복수개의 엘엠블록(112)이 가이드되는 엘엠가이드(111)가 설치되는데,
상기 엘엠블록(112) 중 어느 하나에는 이송블록부(12)가 설치되어 전후진하게 구성된다. 이때 이송블록부(12)가 설치된 엘엠블록(112)은 한 실시예로 2개 이상 구비되어 안정적으로 하중을 지지하도록 구성할 수 있다.
상기 엘엠블록(112) 중 이송블록부(12)가 설치되지 않은 엘엠블록에는 동력전달부(13)의 볼스크류블록(134)이 설치되어 가이되도록 구성한다.
또한 베이스플레이트부의 상면 중 엠가이드(111)가 설치되지 않은 지점에는 지지베어링(113)과 지지프레임(114)이 설치되어 동력전달부를 지지하게 구성된다.
상기 지지베어링(113)은 볼스크류(135)가 관통되어 하중이 지지되면서 회전하도록 설치되고, 상기 지지프레임(114)은 감속기(137)의 하중이 지지되도록 설치된다.
상기 이송블록부(12)는 하부블록(121)과 상부블록(122)이 상하로 체결되어 구성된다.
상기 하부블록(121)은 후단 좌우측에 홀(121a)이 형성되어 동력전달부(13)의 로드셀과 체결된 연결된 일측 아이볼트가 체결되어 전후진력을 인가받도록 구성된다. 이를 위해 후단 일부가 로드셀의 전진시를 위해 홈이 가공된다.
또한 하부블록(121)은 일지점에 수납부(121b)가 형성되어 레버의 힌지부(1421)가 수납되고, 수납부(121b) 좌우측면으로는 힌지홀(121c)이 형성되어 힌지가 체결되고, 전방 상면에는 스프링 홀(121d)이 형성되어 스프링이 수납되게 된다.
이와 같은 구성에 의해 파지부(14)를 구성하는 회전레버부(142)의 레버가 수납부(121b)에 수납된 상태에서 레버 후단에 축결합된 힌지가 힌지홀(121c)에 체결되어 이를 중심으로 회전하게 구성되고, 스프링 홀(121d)에는 코일 스프링이 수납되어 레버를 상승시키는 탄성력을 제공하게 된다.
또한 하부블록(121)은 전단부에 턱(121e)이 돌출 형성되어 파지부(14)의 하측 클램프죠(144)가 체결되어 고정되도록 구성된다.
상기 상부블록(122)은 내부가 빈공간으로 형성된 덮개로 하부블록에 볼트 등의 체결수단으로 고정되어 후단에서는 수평가압부의 실린더가 체결되어 내부 공간으로 돌출된 실린더 로드의 수평이동 공간부를 제공하고, 하부가 개방된 내부 공간은 회전레버부(142)의 레버가 회전시 상승할 수 있는 공간부를 제공한다.
또한 상부블록(122)의 전방부에는 롤러거치부(122a)가 형성되어 상측 가이드롤러(122b)가 핀에 의해 축결합되게 구성되어 수평가압부의 실린더가 작동하여 실린더 로드가 그 전단에 설치된 가압편을 전진시킬때 가압편의 상부쪽의 움직임을 안정적으로 가이드하면서 회전하도록 구성된다.
또한 상부블록의 롤러거치부(122a) 상부쪽에는 상측 가이드롤러(122b) 보다 더 돌출되게 설치되어 하부에 위치하게 될 마스크의 진입 유무를 센싱하도록 센서(123)가 부착될 수 있다. 센서의 종류는 시각센서 또는 각종 근접센서 등 마스크의 유무를 파악할 수 있으면 어떤 센서를 사용해도 된다.
상기 동력전달부(13)는 이송블록부(12)의 하부블록 후단에 설치된 일측 아이볼트(131)와, 상기 아이볼트와 체결되어 인가되는 장력을 측정함과 동시에 전후진력을 인가하는 로드셀(132)과, 상기 로드셀의 타측에 설치된 타측 아이볼트(133)와, 상기 타측 아이볼트와 연결되고 베이스플레이트부(11)의 엘엠가이드에 설치된 엘엠블록의 상부에 설치된 볼스크류블록(134)과, 상기 볼스크류블록에 회전력을 인가하여 전후진 시키는 볼스크류(135)와, 상기 볼스크류와 축결합된 커플러(136)와, 상가 커플러와 축결합되어 회전력을 감속시키는 감속기(137)와, 상기 감촉기와 축결합되어 회전력을 제공하는 서보모터(138)로 구성된다.
상기 볼스크류(135)는 베이스플레이트부(11)에 설치된 지지베어링(113)에 의해 하중이 지지되면서 회전하도록 설치되고, 상기 감속기는 베이스플레이트에 설치된 지지프레임(114)에 의해 하중이 지지되도록 설치된다.
상기 파지부(14)의 수평가압부(141)는 이송블록부(12)의 상부블록(122)에 설치된 실린더(141a)와, 실리더의 로드 전단에 설치되어 로드가 전진시 회전레버부(142)를 수평가압하는 가압편(142b)으로 구성된다.
이와 같이 구성된 수평가압부는 실린더에 공압이 제공되면 실린더로드가 전진하면서 그 끝단에 설치된 가압편(142b)이 회전레버부(142)를 구성하는 레버의 일측 전단에 설치된 하측 가이드롤러와 접촉하게 되고, 이후 가압편의 전진하는 정도에 따라 하측 가이드롤러는 레버의 타측에 설치된 힌지를 중심으로 하향 회전하게 된다.
이때 하측 가이드롤러는 일측방향으로 회전하기 때문에 가압편의 접촉에 따른 파손이 일어나지 않으면서 가이드하게 된다. 또한 가압편의 상측에 위치한 상측 가이드롤러도 함께 회전하면서 안정적인 전진이 이루어지도록 가이드하게 된다.
반대로 공압이 빠지게 되면 실린더로드가 후진하게 되고, 이와 동시에 가압편(142b)에 의해 하부쪽으로 하강되었던 레버는 압력이 점차 해제되면서 레버의 하부 일측에 설치된 스프링에 의해 탄성적으로 상승하면서 회전하여 그 위치가 점차 복원되게 된다.
상기 회전레버부(142)는 후단에는 하부블록에 수납되게 절곡된 힌지부(1421)가 형성되고 전단에는 하측 가이드롤러가 거치되는 거치부(1422)와 전단 하부에 형성되어 스프링이 수납되는 스프링홀(1423)이 형성된 레버(142a)가 구비된다.
또한 레버의 후단 힌지부에서 하부블록과 힌지결합하는 힌지(142b)가 구비된다.
또한 레버의 타측 롤러거치부에 설치되어 수평가압부(141)의 가압편을 통해 가압력을 인가받으면서 접촉시 회전하게 구성된 하측 가이드롤러(142c)가 구비된다.
또한 레버 하부에 형성된 스프링홀과 하부블록에 형성된 스프링홀에 수납되어 레버 상부방향으로 탄성력을 제공하여 수평가압부(141)의 가압편을 통한 압력이 해제되면 레버를 원래의 위치로 복원시키는 스프링(142d)이 구비된다.
상기 상측 클램프죠(143)는 레버의 거치부(1422) 하단에 설치되어 레버가 하향회전시 실린더의 가압력만큼 하측 클램프죠(144)와 맞물리면서 마스크를 강하게 가압하여 파지하게 된다.
상기 하측 클램프죠(144)는 하부블록의 전단에 돌출된 턱에 설치되어 상측 클램프죠(143)와 맞물리면서 마스크를 강하게 가압하여 파지하게 된다.
상기 상측 클램프죠 및 하측 클램프죠는 맞물리는 면 중 적어도 어느 한쪽 면에는 미끄럼방지 가공처리된다.
상기 간격조절부(2)는 본체를 이루는 간격조절판(21)이 하부에 구비된다.
또한 간격조절판의 상부 좌우측에 각각 설치된 엘엠가이드(22)가 구비된다.
또한 각 엘엠가이드에 설치되어 가이드되면서 상부에 위치한 각 그리퍼를 지지하는 각 베이스플레이트와 결합된 엘엠블록(23)이 구비된다.
또한 간격조절판의 상부에 설치되고, 중심을 기준으로 양측이 서로 다른 방향으로 가공된 나사산이 가공된 볼스크류(24)가 구비된다.
또한 상기 볼스크류의 서로 다른방향으로 가공된 나사산에 각각 설치되어 상부에 위치한 각 그리퍼의 베이스플레이트와 결합되어 이동시키는 볼스크류 블록(25)이 구비된다.
또한 상기 볼스크류와 축결합된 커플러(26)가 구비된다.
또한 상기 커플러와 축결합된 감속기(27) 및 상기 감속기에 회전력을 제공하는 서보모터(28)가 구비된다.
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따라 1개의 그리퍼를 이용해 싱글모드로 마스크를 파지하고 있는 모습을 보인 사시도이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따라 2개의 그리퍼를 이용해 듀얼모드로 마스크를 파지하고 있는 모습을 보인 사시도이고, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따라 2개의 그리퍼를 이용한 피치 조절을 보인 사시도이고, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따라 2개의 그리퍼를 이용한 피치 조절을 보인 평면도이다.
도시된 바와 같이 본 발명은 1개의 그리퍼가 파지할 수 있는 마스크(500)가 제공되면 2개의 그리퍼 중 어느 하나의 그리퍼만 작동시켜 파지하게 작동할 수 있다.
또한 1개의 그리퍼가 파지할 수 없는 넓은 폭의 마스크(500)가 제공되었을 경우 만약 피치 조절되지 않은 기본 상태로 파지할 수 있으면 2개의 그리퍼를 듀얼모드로 작동하여 파지할 수 있다.
또한 1개의 그리퍼가 파지할 수 없는 넓은 폭의 마스크(500)가 제공되었을 경우 만약 피치 조절되지 않은 기본 상태의 2개의 그리퍼로 파지할 수 없을 경우는 간격조절부(2)를 작동시켜 임의의 마스크(500) 폭에 대응하는 듀얼모드로 작동하게 된다.
즉, 중심을 기준으로 양측이 서로 다른 방향으로 가공된 나사산이 가공된 볼스크류(24)를 2개의 엘엠블록(23)이 서로 멀어지는 회전방향으로 회전시켜 2개의 그리퍼(1)간의 간격을 정밀하게 벌려 파지하면 된다.
상기 설명은 편의상 일측에 위치한 그리퍼 위주로 설명하였지만 상기와 같은 작동은 마스크의 다른측면을 파지하고 있는 반대편에도 동일하게 대칭 설치된 그리퍼가 위치하여 동일한 작동을 함은 주지의 사실이다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
(1) : 그리퍼 (2) : 간격조절부
(11) : 베이스플레이트부 (12) : 이송블록부
(13) : 동력전달부 (14) : 파지부
(21) : 간격조절판 (22) : 엘엠가이드
(23) : 엘엠블록 (24) : 볼스크류
(25) : 볼스크류블록 (26) : 커플러
(27) : 감속기 (28) : 서보모터
(111) : 엘엠가이드 (112) : 엘엠블록
(113) : 지지베어링 (114) : 지지프레임
(121) : 하부블록 (121a) : 홀
(121b) : 수납부 (121c) : 힌지홀
(121d) : 스프링 홀 (121e) : 턱
(122) : 상부블록 (122a) : 롤러거치부
(122b) : 상측 가이드롤러 (123) : 센서
(131) : 아이볼트 (132) : 로드셀
(133) : 아이볼트 (134) : 볼스크류블록
(135) : 볼스크류 (136) : 커플러
(137) : 감속기 (138) : 서보모터
(141) : 수평가압부 (141a) : 실린더
(142b) : 가압편 (142) : 회전레버부
(142a) : 레버 (142b) : 힌지
(142c) : 하측 가이드롤러 (142d) : 스프링
(143) : 상측 클램프죠 (144) : 하측 클램프죠
(500) : 마스크 (1421) : 힌지부
(1422) : 거치부 (1423) : 스프링홀

Claims (11)

  1. 프레임에 이송된 마스크를 파지하여 로딩하고 장력을 인가하는 그리퍼 장치에 있어서,
    실린더 가압방식으로 마스크 파지력을 제공하고, 선택적으로 싱글 또는 듀얼 모드로 작동하는 2개의 그리퍼(1)와;
    상기 그리퍼가 듀얼모드로 작동시 마스크폭에 따라 그리퍼간의 간격을 조절하는 간격조절부(2);로 구성하되,
    상기 그리퍼(1)는 수평방향으로 압력을 제공하는 수평가압부(141)와, 수평가압부의 가압에 의해 하향 회전하는 회전레버부(142)와, 회전레버부의 회전방향에 따라 승하강하는 상측 클램프죠(143) 및 상측 클램프죠와 맞물리게 고정된 하측 클램프죠(144)로 구성되어 마스크를 파지하는 파지부(14);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 그리퍼(1)는
    하부가 간격조절부의 엘엠 블록 및 볼스크류 블록과 체결되고, 상부에는 복수개의 엘엠블록이 가이드되는 엘엠가이드가 설치된 베이스플레이트부(11)와;
    상기 엘엠블록 중 어느 하나에 설치되어 전후진 하도록 하부블록(121)과 상부블록(122)으로 구성되고, 파지부(14)가 설치된 이송블록부(12)와;
    상기 이송블록부를 전후진시키는 동력전달부(13);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 수평가압부(141)는 이송블록부(12)의 상부블록(122)에 설치된 실린더(141a)와, 실리더의 로드 전단에 설치되어 로드가 전진시 회전레버부(142)의 하측가이드롤러를 수평가압하는 가압편(142b)으로 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 회전레버부(142)는 레버(142a)와, 레버의 후단에서 하부블록과 힌지결합하는 힌지(142b)와, 레버에 설치되어 수평가압부(141)의 가압편을 통해 가압력을 인가받으면서 접촉시 회전하게 구성된 하측 가이드롤러(142c)와, 레버 상부방향으로 탄성력을 제공하여 수평가압부(141)의 가압편을 통한 압력이 해제되면 레버를 원래의 위치로 복원시키는 스프링(142d)으로 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 레버는 후단에 하부블록에 수납되게 절곡된 힌지부(1421)가 형성되고, 전단에 하측 가이드롤러가 거치되는 거치부(1422)가 형성되고, 전단 하부에는 스프링이 수납되는 스프링홀(1423)이 형성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 상측 클램프죠 및 하측 클램프죠는 맞물리는 면 중 적어도 어느 한쪽 면에는 미끄럼방지 가공처리된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
  8. 청구항 3에 있어서,
    상기 하부블록(121)은 일지점에 수납부가 형성되어 레버의 힌지부(1421)가 수납되고, 수납부 좌우측면으로는 힌지홀이 형성되어 힌지가 체결되고, 전방 상면에는 스프링 홀이 형성되어 스프링이 수납되고, 전단부에는 턱이 돌출형성되어 파지부의 하측 클램프죠가 체결되어 고정되도록 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
  9. 청구항 3에 있어서,
    상기 상부블록은 전방부에 롤러거치부(122a)가 형성되어 상측 가이드롤러(122b)가 핀에 의해 축결합되게 구성되어 가압편을 가이드하면서 회전하도록 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 상부블록의 롤러거치부(122a) 상부쪽에는 마스크의 진입 유무를 센싱하는 센서가 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 간격조절부(2)는
    간격조절판(21)과; 간격조절판의 상부 좌우측에 각각 설치된 엘엠가이드(22)와; 각 엘엠가이드에 설치되어 가이드되면서 상부에 위치한 각 그리퍼를 지지하는 각 베이스플레이트와 결합된 엘엠블록(23)과; 간격조절판의 상부에 설치되고, 중심을 기준으로 양측이 서로 다른 방향으로 가공된 나사산이 가공된 볼스크류(24)와; 상기 볼스크류의 서로 다른방향으로 가공된 나사산에 각각 설치되어 상부에 위치한 각 그리퍼의 베이스플레이트와 결합되어 이동시키는 볼스크류블록(25)과; 상기 볼스크류와 축결합된 커플러(26)와; 상기 커플러와 축결합된 감속기(27) 및 상기 감속기에 회전력을 제공하는 서보모터(28)로 구성된 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치.
KR1020190019796A 2019-02-20 2019-02-20 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치 KR102130446B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190019796A KR102130446B1 (ko) 2019-02-20 2019-02-20 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190019796A KR102130446B1 (ko) 2019-02-20 2019-02-20 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102130446B1 true KR102130446B1 (ko) 2020-07-06

Family

ID=71571123

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190019796A KR102130446B1 (ko) 2019-02-20 2019-02-20 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102130446B1 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102193019B1 (ko) * 2020-07-21 2020-12-18 풍원정밀(주) 스틱 마스크의 편평도 유지를 위한 인장기 및 이를 갖는 oled 마스크 제조장치
KR20220084518A (ko) * 2020-12-14 2022-06-21 주식회사 에스에프에이 이차전지 제조용 이재장치 및 이를 이용한 이차전지 제조용 이송시스템
KR20230174484A (ko) * 2022-06-21 2023-12-28 주식회사 비즈플러스글로벌 로봇 절곡시스템용 하이브리드 그리퍼
KR102640238B1 (ko) * 2023-07-31 2024-02-23 (주)템스코 고성능 텐션 그리퍼 유니트와 패턴센싱 오토무빙(엔코더)기반의 피치 조절 유니트를 이용한 oled 메탈 마스크 인장 시스템
KR102640242B1 (ko) * 2023-07-31 2024-02-23 (주)템스코 Oled 메탈 마스크용 대각 그리퍼

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100397635B1 (ko) 2001-08-09 2003-09-13 박수관 유기 ｅｌ 평판 디스플레이 제작공정중 증착용 마스크고정장치 및 고정방법
KR100823943B1 (ko) 2007-07-31 2008-04-22 주식회사 에닉스 유기 ｅｌ 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 및 이를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법과 이로부터 제조된 분할타입 일체형 마스크 조립체
KR20090061299A (ko) * 2007-12-11 2009-06-16 삼성전자주식회사 마스크 핸들링 장치
KR100941007B1 (ko) 2009-09-28 2010-02-05 (주)한 송 대면적 ａｍｏｌｅｄ 모바일 혹은 ｔｖ 원장 다면취 패널 제작용 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리의 제조방법
KR101272299B1 (ko) 2011-08-25 2013-06-07 (주)한 송 Ａｍｏｌｅｄ 패널 제작용 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100397635B1 (ko) 2001-08-09 2003-09-13 박수관 유기 ｅｌ 평판 디스플레이 제작공정중 증착용 마스크고정장치 및 고정방법
KR100823943B1 (ko) 2007-07-31 2008-04-22 주식회사 에닉스 유기 ｅｌ 평판 디스플레이 제작공정에 사용되는 다모델 대응 증착용 원장및 분할 마스크의 정렬 및 고정장치 및 이를 이용한 다모델 마스크조립체 제조방법과 이로부터 제조된 분할타입 일체형 마스크 조립체
KR20090061299A (ko) * 2007-12-11 2009-06-16 삼성전자주식회사 마스크 핸들링 장치
KR100941007B1 (ko) 2009-09-28 2010-02-05 (주)한 송 대면적 ａｍｏｌｅｄ 모바일 혹은 ｔｖ 원장 다면취 패널 제작용 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리의 제조방법
KR101272299B1 (ko) 2011-08-25 2013-06-07 (주)한 송 Ａｍｏｌｅｄ 패널 제작용 분할 마스크 프레임 어셈블리 제조 장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102193019B1 (ko) * 2020-07-21 2020-12-18 풍원정밀(주) 스틱 마스크의 편평도 유지를 위한 인장기 및 이를 갖는 oled 마스크 제조장치
KR20220084518A (ko) * 2020-12-14 2022-06-21 주식회사 에스에프에이 이차전지 제조용 이재장치 및 이를 이용한 이차전지 제조용 이송시스템
KR102524887B1 (ko) * 2020-12-14 2023-04-24 주식회사 에스에프에이 이차전지 제조용 이재장치 및 이를 이용한 이차전지 제조용 이송시스템
KR20230174484A (ko) * 2022-06-21 2023-12-28 주식회사 비즈플러스글로벌 로봇 절곡시스템용 하이브리드 그리퍼
KR102643745B1 (ko) * 2022-06-21 2024-03-05 주식회사 비즈플러스글로벌 로봇 절곡시스템용 하이브리드 그리퍼
KR102640238B1 (ko) * 2023-07-31 2024-02-23 (주)템스코 고성능 텐션 그리퍼 유니트와 패턴센싱 오토무빙(엔코더)기반의 피치 조절 유니트를 이용한 oled 메탈 마스크 인장 시스템
KR102640242B1 (ko) * 2023-07-31 2024-02-23 (주)템스코 Oled 메탈 마스크용 대각 그리퍼

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102130446B1 (ko) 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치
US7578776B1 (en) Apparatus for changing bits of machine tool
JP2010266010A (ja) ベルトテンション調整装置
JP6144135B2 (ja) 形材用牽引装置
CN110562711B (zh) 应用于自动生产运输线上可翻转及自动传输的装置
KR20160111601A (ko) 스크라이빙 장치
CN110355483B (zh) 激光切割设备
KR101545498B1 (ko) 기능성 필름 커팅장치
CN111633366B (zh) 一种h型钢组立设备
KR102525334B1 (ko) 스크라이빙 장치
WO2011106959A1 (zh) 移动式旋转装载机构
EP2500312B1 (en) Heavy load cassette transfer device and transfer method
KR20150066031A (ko) 기능성 필름 커팅장치
CN210365893U (zh) 夹紧组件和搬运装置
JP6762605B2 (ja) 金型分離反転装置
KR102605918B1 (ko) 스크라이빙 장치
CN219839441U (zh) 一种机械砖石装卸装置
KR102571055B1 (ko) 스크라이빙 방법 및 스크라이빙 장치
CN216862691U (zh) 一种手提袋传送装置
CN209764583U (zh) 一种液晶玻璃基板圆弧调节装置
KR102626399B1 (ko) 스크라이빙 장치
CN211569480U (zh) 一种集装箱整体装车用物料限位机构
KR102626398B1 (ko) 스크라이빙 장치
KR20180069173A (ko) 기판 파지 유닛 및 이를 구비하는 스크라이빙 장치
KR102459066B1 (ko) 필름가이드롤러 표면 가공기

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant