KR102193019B1 - 스틱 마스크의 편평도 유지를 위한 인장기 및 이를 갖는 oled 마스크 제조장치 - Google Patents

스틱 마스크의 편평도 유지를 위한 인장기 및 이를 갖는 oled 마스크 제조장치 Download PDF

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KR102193019B1
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풍원정밀(주)
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Abstract

본 발명은 OLED 마스크 제조용 인장기를 제공한다. 상기 인장기는 판 상을 이루며, 금속으로 형성되는 스틱 마스크의 양단을 그립하는 한 쌍의 클램프와, 상기 한 쌍의 클램프를 벌어지는 방향을 따라 설정된 인장력을 가하여 상기 스틱 마스크를 인장시키는 구동기를 포함하는 OLED 마스크 제조용 인장기에 있어서, 상기 한 쌍의 클램프 각각은, 하단 클램프와, 상기 하단 클램프의 상부에 배치되는 상단 클램프와, 상기 하단 클램프와 상기 상단 클램프를 서로 오므려지도록 하여 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 그립시키는 클램프 구동기를 포함하되, 상기 상단 클램프와 상기 하단 클램프는, 상기 스틱 마스트의 폭 방향을 따라 일정의 볼록한 곡률을 이루도록 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 그립한다. 또한 본 발명은 상기의 인장기를 갖는 OLED 마스크 제조 장치도 제공한다.

Description

스틱 마스크의 편평도 유지를 위한 인장기 및 이를 갖는 OLED 마스크 제조장치{Stick mask stretcher and Apparatus for manufacturing the OLED mask having the same}
본 발명은 스틱 마스크의 편평도 유지를 위한 인장기 및 이를 갖는 OLED 마스크 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 진공 증착 공정은 반도체 소자의 제조나 평판 디스플레이 소자의 제조에 널리 사용된다.
상기 진공 증착 공정은 진공 챔버 상에서 유기물질이 들어있는 증착셀에 열을 인가하고, 유기물질을 기화시켜 유리 기판에 증착시키는 방법이다.
이때 유리기판 중 원하는 위치에 유기물질이 증착될 수 있도록 OLED 마스크(패턴 마스트)를 이용한다.
상기 OLED 마스크(패턴 마스크)에는 목적한 패턴 셀이 형성된다.
도 1은 종래의 OLED 마스크 제조장치의 구성을 보여주는 도면이다.
도 1을 참조 하면, 종래의 OLED 마스크 제조장치는 챔버(C)를 갖는다. 상기 챔버(C)는 일정의 진공이 형성되는 내부 공간을 갖는다.
상기 챔버(C)는 프레임(40)을 갖는다. 상기 프레임(40)의 중앙은 개방된다.
스틱 마스크(10)는 상기 프레임(40)의 상단에 안착된다. 상기 스틱 마스크(10)는 일정의 폭과 길이를 이루는 직사각 판 상으로 형성된다.
여기서 상기 스틱 마스크(10)는 다수로 구비된다. 다수의 스틱 마스크(10)는 프레임(40) 상에 격자 배열을 이루도록 배치된다.
각각의 스틱 마스크(10)의 양측부는 프레임(40)의 양측을 따라 돌출된다. 여기서 상기 각각의 스틱 마스크(10)는 직사각 판상을 이루며 일정의 두께를 갖는다.
각각의 스틱 마스크(10)는 프레임(40)의 상단에 안착되어 상방으로 상기 두께 만큼 돌출된다.
한편 인장기는 상기 프레임(40)의 측부에 위치되도록 상기 챔버(C)의 내부에 배치된다. 상기 인장기는 실린더와 클램프(30)를 갖는다. 상기 실린더는 신축되는 축을 갖는다. 상기 클램프(30)는 바이스와 같은 장치로서, 상기 실린더의 축의 단부에 설치된다.
상기 인장기는 다수로 구비되며, 각각의 스틱 마스크(10)의 양단을 그립한 상태로 스틱 마스크(10)가 편평해지도록 인장시킨다.
이러한 스틱 마스크들(10)의 상단에는 글래스(G)가 안착된다.
또한 상기 챔버(C)는 용접부(미도시)를 갖는다. 상기 용접부는 일정의 인장력으로 인장된 스틱 마스크들(10)의 에지 영역과 프레임(40)을 용접한다.
이러한 구성을 갖는 종래의 인장기의 구동을 설명한다.
도 2는 종래의 인장기의 구동상태를 보여주는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조 하면 일정 면적을 갖는 스틱 마스크들(10)과 프레임(40)은 로딩장치를 통해 챔버의 내부 공간으로 로딩된다.
인장기들의 클램프(30)는 스틱 마스크들(10)의 양단 다수 위치를 그립한다. 상기 인장기들 각각의 클램프(30)에는 스틱 마스크들(10)의 양단이 삽입되는 홈이 형성된다. 상기 클램프(30)는 바이스와 같은 장치로서 상기 홈에 끼워진 스틱 마스크(10)의 양단을 그립한다.
그리고 프레임(40)은 승강 장치의 구동에 의해 얼라인 위치로 위치된다. 상기 프레임(40)의 상단에는 스틱 마스크들(10)의 하단이 안착된다.
상기 스틱 마스크들(10)의 양단은 프레임(40)의 외측부로 돌출된 상태를 이룬다.
챔버(C)의 상부에는 카메라가 설치된다. 상기 카메라는 패턴이 형성된 마스크에 대한 영상을 취득하고, 이를 제어부로 전송한다.
제어부는 스틱 마스크들(10)의 패턴과 기설정된 실제 패턴의 위치값이 일치되도록 인장기들을 구동시켜 스틱 마스크들(10)의 양단을 그립한 상태로 외측으로 당겨 스틱 마스크들(10)을 인장시킨다.
이때, 실질적으로 스틱 마스크들(10) 각각은 직사각 판상으로 형성되기 때문에, 인장시 폭 방향을 따르는 단면을 기준으로 중앙부가 함몰되는 오목한 형상으로 형상이 변형된다. 이에 따라 스틱 마스크(10)는 길이 방향을 따르는 양측 에지가 중앙부에 비해 상측을 따라 돌출되는 형상을 이룬다.
이의 상태에서 해당 스틱 마스크(10)의 상단에 글래스(G)가 안착되는 경우, 상측으로 돌출된 스틱 마스크(10)의 양측단에 의해 글래스(G)의 하단이 충돌되어 찍히는 문제가 있다. 이에 따라 글래스(G)는 스틱 마스크(10)의 상단에 안착되기 이전에 그 하단이 손상되는 문제가 발생된다.
또한 강제로 글래스(G)를 스틱 마스크(10)의 상단이 안착시키는 경우, 글래스(G)의 하단에 상기 찍힘이 발생된 위치에서 힘이 더 가해지기 때문에 글래스(G) 전체에 균열이 발생될 수도 있는 문제를 갖는다.
이러한 상태에서 용접부를 사용하여 프레임과 스틱 마스크(10)를 서로 용접하는 경우, 상기와 같이 찍힘이 발생된 상태에서 프레임(40)과 스틱 마스크(10)의 양단 용접되기 때문에 제품 불량이 발생되는 문제가 있다.
또한 종래의 스틱 마스크(10)는 프레임(40)의 상단에 면접촉을 이루어 안착된 상태로 인장이 이루어짐에 따라 인장시 인장되는 방향을 안정적으로 유지할 수 없는 문제가 있을 수도 있다.
또한 종래의 용접이 이루어지는 영역을 형성하도록 프레임(40)의 상단에 안착되는 스틱 마스크(10) 에지 영역에서, 스틱 마스크(10)의 에지 영역이 상기와 같이 상방으로 휘는 변형이 발생되는 경우 용접부가 정상적으로 형성되지 못하는 문제점도 있다.
본 발명과 관련된 선행문헌에는 대한민국 공개특허 공개번호 제10-2019-0090177호가 있다.
상기의 문제들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 제 1목적은 인장시 스틱 마스크의 변형을 보상하여 일정의 편평도를 이루도록 하기 위해 스틱 마스크의 양단을 상방으로 볼록한 형상의 곡률을 이루도록 그립한 상태로 인장시킬 수 있는 스틱 마스크의 편평도 유지를 위한 인장기 및 이를 갖는 OLED 마스크 제조장치를 제공함에 있다.
또한 본 발명의 제 2목적은 스틱 마스크와 프레임의 상단을 동일 평면을 이루도록 하여 인장시 스틱 마스크의 변형을 방지하여 글래스와의 간섭으로 인해 글래스가 파손되지 않도록 할 수 있는 스틱 마스크의 편평도 유지를 위한 인장기 및 이를 갖는 OLED 마스크 제조장치를 제공함에 있다.
상술한 본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
상기의 과제를 달성하기 위해, 본 발명은 OLED 마스크 제조용 인장기를 제공한다.
상기 OLED 마스크 제조용 인장기는 판 상을 이루며, 금속으로 형성되는 스틱 마스크의 양단을 그립하는 한 쌍의 클램프와, 상기 한 쌍의 클램프를 벌어지는 방향을 따라 설정된 인장력을 가하여 상기 스틱 마스크를 인장시키는 구동기를 포함하는 OLED 마스크 제조용 인장기에 있어서,
상기 한 쌍의 클램프 각각은, 하단 클램프와, 상기 하단 클램프의 상부에 배치되는 상단 클램프와, 상기 하단 클램프와 상기 상단 클램프를 서로 오므려지도록 하여 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 그립시키는 클램프 구동기를 포함하되,
상기 상단 클램프와 상기 하단 클램프는,
상기 스틱 마스트의 폭 방향을 따라 일정의 볼록한 곡률을 이루도록 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 그립한다.
여기서 상기 하단 클램프의 상면부에는,
상기 곡률을 이루는 곡률부가 형성되고,
상기 상단 클램프의 하면부에는,
상기 곡률부와 형합되는 상기 곡률을 이루는 곡률홈이 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 곡률은,
상기 설정된 인장력이 상기 스틱 마스크의 에지 양단에 가해져 상기 스틱 마스크가 상기 폭 방향을 따라 휘어짐에 따라 형성되는 변형 곡률에 따라 설정되되,
상기 곡률은,
상기 변형 곡률과 역을 이루는 반대 곡률로 설정되는 것이 바람직하다.
또한 상기 하단 클램프는,
상기 하단 지지 몸체와, 상기 하단 지지 몸체의 상단에 탈착 가능하도록 결합되며, 상단에 상기 곡률부가 형성되는 하단 교체 몸체를 포함하고,
상기 상단 클램프는,
상기 상단 지지 몸체와, 상기 상단 지지 몸체의 하단에 탈착 가능하도록 결합되며, 하단에 상기 곡률홈이 형성되는 상단 교체 몸체를 포함하는 것이 바람직하다.
특히, 상기 하단 클램프는,
상방을 따라 개방되는 하부홈이 형성되는 하단 클램프 몸체와,
상기 하부홈의 상단 테두리에 양단이 지지되는 제 1그립판과,
상기 제 1머리부와, 상기 제 1머리부로부터 연장되는 제 1체결 몸체와, 상기 제 1체결 몸체의 끝단에 형성된 제 1걸림 몸체를 구비하는 제 1조절 부재를 구비하되,
상기 제 1머리부는 상기 하단 클램프 몸체의 하부에 노출되고,
상기 제 1체결 몸체는 상기 하단 클램프 몸체에 형성된 제 1체결홀에 체결되고,
상기 제 1걸림 몸체는 상기 제 1그립판의 하단 중앙에 제자리 회전 가능하도록 결합되고,
상기 상단 클램프는,
하방을 따라 개방되는 상부홈이 형성되는 상단 클램프 몸체와,
상기 상부홈의 하단 테두리에 양단이 지지되는 제 2그립판과,
상기 제 2머리부와, 상기 제 2머리부로부터 연장되는 제 2체결 몸체와, 상기 제 2체결 몸체의 끝단에 형성된 제 2걸림 몸체를 구비하는 제 2조절 부재를 구비하되,
상기 제 2머리부는 상기 상단 클램프 몸체의 상부에 노출되고,
상기 제 2체결 몸체는 상기 상단 클램프 몸체에 형성된 제 2체결홀에 체결되고,
상기 제 2걸림 몸체는 상기 제 2그립판의 하단 중앙에 제자리 회전 가능하도록 결합된다.
여기서 상기 제 1머리부는 제 1모터의 제 1모터축과 축 연결 방식으로 결합되고,
상기 제 2머리부는 제 2모터의 제 2모터축과 축 연결 방식으로 결합되고,
상기 스틱 마스크의 상부에 배치되어 인장되는 상기 스틱 마스크의 편평도를 측정하고, 측정된 상기 편평도를 제어부로 전송하는 센서가 설치되고,
상기 제어부는,
측정된 상기 편평도가 기설정되는 기준 편평도에 이르도록, 상기 제 1,2모터를 사용하여 제 1,2모터축을 정역방향을 따라 동시에 회전시켜,
상기 제 1,2그립판의 곡률을 가변시킴에 따라, 그립된 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 가변된 상기 곡률을 이루도록 그립시킨다.
다른 실시예에 따라 본 발명은 OLED 마스크 제조장치를 제공한다.
상기 OLED 마스크 제조장치는 내부 공간이 형성되는 챔버; 상기 챔버의 내부에 배치되며, 스틱 마스크가 안착되는 프레임 부; 및, 상기 프레임 부의 외측부에 배치되며, 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 설정된 형상을 이루도록 변형시켜 그립하고, 설정된 인장력으로 상기 스틱 마스크를 인장시키는 인장기;를 포함한다.
여기서 상기 설정된 형상은,
설정된 곡률을 이루는 볼록한 형상을 이루는 것이 바람직하다.
그리고 상기 인장기는,
판 상을 이루며, 금속으로 형성되는 스틱 마스크의 양단을 그립하는 한 쌍의 클램프와,
상기 한 쌍의 클램프를 벌어지는 방향을 따라 설정된 인장력을 가하여 상기 스틱 마스크를 인장시키는 구동기를 구비하되,
상기 한 쌍의 클램프 각각은,
하단 클램프와,
상기 하단 클램프의 상부에 배치되는 상단 클램프와,
상기 하단 클램프와 상기 상단 클램프를 서로 오므려지도록 하여 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 그립시키는 클램프 구동기를 포함하되,
상기 상단 클램프와 상기 하단 클램프는,
상기 스틱 마스트의 폭 방향을 따라 일정의 볼록한 곡률을 이루도록 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 그립하는 것이 바람직하다.
또한 상기 프레임 부의 테두리부에는 일정 깊이를 이루는 배치홈을 포함하고,
상기 한 쌍의 클램프 각각은,
상기 배치홈에 배치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 프레임 부는,
중앙에 공간을 이루며 상단이 평면을 이루는 상단 몸체와,
상기 상단 몸체의 테두리에서 하향 경사지는 경사 몸체와,
상기 경사 몸체의 테두리에 연결되며, 평면을 이루는 하단 몸체를 구비하되,
상기 배치홈은,
상기 경사 몸체와 상기 하단 몸체의 사이에 형성되고,
상기 상단 몸체에는,
상기 스틱 마스크가 안착되는 안착홈이 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 안착홈의 깊이는,
상기 스틱 마스크의 두께와 동일하게 형성되는 것이 바람직하다.
특히, 상기 상단 몸체에는,
메인 홈이 형성되고,
상기 안착홈이 형성되는 안착 몸체가 상기 메인 홈에 배치되고,
상기 메인홈의 다수 위치에는,
스크류 방식의 승강바들이 배치되고,
상기 승강바들의 상단은, 상기 안착 몸체의 하단에 제자리 회전 가능하게 배치되고,
상기 승강바들의 하단은, 상기 상단 몸체의 하단을 관통하고,
관통되는 상기 승강바들 각각의 하단은 모터들 각각의 모터축에 탈착 가능하게 결합된다.
여기서 상기 제 1머리부는 제 1모터의 제 1모터축과 축 연결 방식으로 결합되고,
상기 제 2머리부는 제 2모터의 제 2모터축과 축 연결 방식으로 결합되고,
상기 스틱 마스크의 상부에 배치되어 인장되는 상기 스틱 마스크의 편평도를 측정하고, 측정된 상기 편평도를 제어부로 전송하는 센서가 설치되고,
상기 제어부는,
측정된 상기 편평도가 기설정되는 기준 편평도에 이르도록, 상기 제 1,2모터를 사용하여 제 1,2모터축을 정역방향을 따라 동시에 회전시켜,
상기 제 1,2그립판의 곡률을 가변시킴에 따라, 그립된 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 가변된 상기 곡률을 이루도록 그립시킨다.
또한 상기 챔버의 상단에는,
상기 스틱 마스크의 상면 다수 위치까지의 제 1거리값들 측정하고, 측정된 상기 제 1거리값들 제어부로 전송하는 다수의 제 1거리 센서와,
상기 상단 몸체의 상단까지의 제 2거리값을 측정하고, 측정된 상기 제 2거리값을 상기 제어부로 전송하는 제 2거리 센서가 설치되고,
상기 제어부는,
상기 제 1거리값들을 평균 처리하여 평균 거리값을 산출하고,
산출된 상기 평균 거리값이 상기 제 2거리값과 동일해지도록 상기 모터들을 구동시켜 상기 안착 몸체의 승강 위치를 가변적으로 조절한다.
또한 상기 상단 몸체의 하단에는 전자석이 배치되고,
상기 전자석은 전류 제공기로부터 전류값을 전송받아 자화되고,
상기 제어부는,
상기 전자석이 자화됨에 따라 발생되는 자력이 상기 인장력 보다 일정 수준 이하를 이루도록 상기 전류 제공기의 구동을 제어하되,
상기 스틱 마스크를 설정된 인장 조건으로 인장이 완료된 이후에,
상기 자력이 상기 인장력 보다 일정 수준 이상을 이루도록 상기 전류 제공기의 구동을 제어한다.
또한 상기 프레임 부의 하부에는,
롤링 장치가 배치되되,
상기 롤링 장치는,
회전축에 회전 가능하게 설치되는 롤러와,
회전축의 양단을 지지하는 지지대와,
상기 지지대를 승강시키는 승강기와,
상기 승강기를 수평 방향을 따라 이동을 안내하는 이동 레일과,
상기 승강기를 상기 이동 레일을 따라 이동시키는 리니어 모터를 구비하되,
상기 제어부는,
상기 스틱 마스크가 인장이 이루어지는 동안에,
상기 롤러가 상기 스틱 마스크 하면에 접촉되도록 상기 승강부를 사용하여 상기 지지대를 상승시키고, 상기 리니어 모터를 사용하여 상기 롤러가 상기 안착홈에 안착된 상기 스틱 마스크의 하면을 구름 접촉한 상태에서 왕복 이동되도록 상기 승강기를 이동시키도록 제어한다.
상기의 해결 수단에 의해 본 발명은 인장시 스틱 마스크의 변형을 보상하여 일정의 편평도를 이루도록 하기 위해 스틱 마스크의 양단을 상방으로 볼록한 형상의 곡률을 이루도록 그립한 상태로 인장시킬 수 있는 효과를 갖는다.
또한 본 발명은 스틱 마스크와 프레임의 상단을 동일 평면을 이루도록 하여 인장시 스틱 마스크의 변형을 방지하여 글래스와의 간섭으로 인해 글래스가 파손되지 않도록 할 수 있는 효과를 갖는다.
상술한 효과들과 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 종래의 OLED 마스크 제조장치의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 종래의 인장기의 구동상태를 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 OLED 마스크 제조용 인장기의 배치 상태를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 인장기에 의해 스틱 마스크가 그립된 상태를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 상단 클램프와 하단 클램프를 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 상단 클램프와 하단 클램프를 보여주는 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 인장기를 사용하여 스틱 마스크를 인장시키는 과정을 보여주는 도면들이다.
도 8은 본 발명에 따른 인장기의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 인장기의 또 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 인장기를 갖는 OLED 마스크 제조장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 11은 본 발명에 따른 프레임 부에 스틱 마스크가 안착되는 상태를 보여주는 일부 단면도이다.
도 12는 본 발명에 따른 프레임 부의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 13은 본 발명에 따른 프레임 부의 또 다른 예를 보여주는 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
이하에서 기재의 "상부 (또는 하부)" 또는 기재의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 구비 또는 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 기재의 상면 (또는 하면)에 접하여 구비 또는 배치되는 것을 의미한다.
또한, 상기 기재와 기재 상에 (또는 하에) 구비 또는 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성을 포함하지 않는 것으로 한정하는 것은 아니다.
이하, 첨부되는 도면들을 참조하여, 본 발명에 따른 OLED 마스크 제조용 인장기 및 이를 갖는 OLED 마스크 제조 장치를 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 OLED 마스크 제조용 인장기의 배치 상태를 보여주는 도면이다.
도 3을 참조 하면, 본 발명에 따른 스틱 마스크(10)는 다수로 구비된다. 다수의 스틱 마스크(10) 각각은 일정 폭과 길이를 갖는 직사각 판 상으로 형성된다. 상기 스틱 마스크(10)는 금속으로 형성된다.
상기 스틱 마스트들(10)은 격자 배열을 이루도록 사각틀 형상으로 형성된 프레임 부(600) 상에 안착된다.
각각의 스틱 마스크들(10)의 양단은 프레임 부(600)의 외측 영역으로 돌출된다.
상기 스틱 마스크들(10) 각각의 양단은 인장기(1)에 의해 그립 및 인장될 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 인장기에 의해 스틱 마스크가 그립된 상태를 보여주는 도면이다.
도 4를 참조 하면 본 발명에 따른 OLED 마스크 제조용 인장기(1)는 판 상을 이루며, 금속으로 형성되는 스틱 마스크(10)의 양단을 그립하는 한 쌍의 클램프(100)와, 상기 한 쌍의 클램프(100)를 벌어지는 방향을 따라 설정된 인장력을 가하여 상기 스틱 마스크(10)를 인장시키는 구동기(200)를 포함한다.
상기 한 쌍의 클램프(100) 각각은 하단 클램프(110)와, 상기 하단 클램프(110)의 상부에 배치되는 상단 클램프(120)와, 상기 하단 클램프(110)와 상기 상단 클램프(120)를 서로 오므려지도록 하여 상기 스틱 마스크(10)의 에지 양단을 그립시키는 클램프 구동기(130)를 구비한다.
상기 상단 클램프(120)와 상기 하단 클램프(110)는 상기 스틱 마스크(10)의 길이 방향을 따라 일정의 볼록한 곡률을 이루도록 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 그립한다.
여기서 한 쌍의 클램프(100)는 각각의 하우징(140)의 내부에 구비된다.
또한 상기 구동기(200)는 신축되는 축(211)과, 상기 축(211)을 수평을 따리 신축시키는 실린더(210)를 갖는다. 그리고 상기 축(211)은 각각의 하우징(140)의 외측부에 결합된다.
이를 통해 각각의 실린더(210)가 축(211)을 외측 방향을 따라 잡아당기면 각각의 하우징(140)을 서로 멀어지는 방향을 따라 수평 이동된다. 이에 각각의 클램프(100)에 양단이 그립된 스틱 마스크(10)는 인장될 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 상단 클램프와 하단 클램프를 보여주는 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 상단 클램프와 하단 클램프를 보여주는 단면도이다.
도 5 및 도 6을 참조 하면 상기 하단 클램프(110)의 상면부에는 상기 곡률을 이루는 곡률부(111)가 형성된다.
상기 상단 클램프(120)의 하면부에는 상기 곡률부(111)와 형합되는 상기 곡률을 이루는 곡률홈(121)이 형성된다.
여기서 상기 곡률은 상기 설정된 인장력이 상기 스틱 마스크(10)의 에지 양단에 가해져 상기 스틱 마스크(10)가 상기 폭 방향을 따라 휘어짐에 따라 형성되는 변형 곡률에 따라 설정된다.
즉, 상기 곡률은 상기 변형 곡률과 역을 이루는 반대 곡률로 설정된다.
즉 상기 하단 클램프(110)의 상면부에 형성된 곡률부(111)의 곡률과 상기 상단 클램프(120)의 하면부에 형성된 곡률홈(121)의 곡률은 서로 동일하되, 서로 형합되도록 구성된다.
도 7은 본 발명에 따른 인장기를 사용하여 스틱 마스크를 인장시키는 과정을 보여주는 도면들이다.
스틱 마스크(10)의 에지 양단은 각각의 클램프(100)에 의해 그립된다.
이때 각각의 클램프(100)는 스틱 마스크(10)의 에지 양단을 상방으로 볼록한 일정의 곡률을 이루도록 그립한다.
즉 스틱 마스크(10)의 에지 양단이 상기 상단 및 하단 클램프(120, 110)의 사이에 그립되는 경우, 스틱 마스크(10)의 에지 양단은 서로 형합되는 곡률부(111) 및 곡률홈(121)에 의해 상방으로 볼록하도록 설정된 곡률로 형상이 변형되어 그립될 수 있다.
여기서 도 1,2에 도시된 인장기를 사용하여 인장이 가해지는 경우 상기 스틱 마스크는 그 폭 방향을 따라 중앙부가 오목하고 길이 방향을 따르는 양측 에지라인이 상방으로 휘어지는 즉 U형상으로 휨이 발생되는 특성을 갖는다.
즉 스틱 마스크는 그 양단에서 일정의 인장이 가해지는 경우 길이 방향을 따라 종단면이 U형상을 이루도록 변형된다. 여기서 상기 휨이 발생되는 곡률을 변형 곡률이라 한다.
이에 본 발명은 상기 변형 곡률에 역을 이루는 곡률 형상을 상기 곡률부(111) 및 곡률홈(121)을 형성하여 스틱 마스크(10)의 에지 양단을 그립한다.
이에 따라 도 4 및 도 7의 (a)를 참조 하면, 본 발명에 따른 각각의 스틱 마스크(10)의 에지 양단은 인장이 이루어지기 전에 각각의 클램프(100)에 의해 상방으로 볼록한 곡률을 이루도록 그립될 수 있다.
그리고 각각의 클램프(100)를 사용하여 상기 스틱 마스크(10)를 설정된 인장을 이루도록 인장시키는 경우, 상기 스틱 마스크(10)의 미리 휘어진 곡률 형상은 상기 곡률이 점진적으로 줄어들면서 편평한 면을 이루도록 변형된다.
즉 본 발명은 인장시 상술한 변형 곡률 형상이 편평한 면을 이루도록 보정될 수 있도록 스틱 마스크(10)의 에지 양단을 볼록한 곡률을 이루도록 그립하여 미리 역으로 형상을 변형시킨 이후에 인장을 하도록 하는 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 인장기의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 8을 참조 하면 본 발명에 따른 하단 클램프(150)는 상기 하단 지지 몸체(151)와, 상기 하단 지지 몸체(151)의 상단에 탈착 가능하도록 결합되며, 상단에 곡률부(152a)가 형성되는 하단 교체 몸체(152)를 포함한다.
상기 상단 클램프(160)는 상기 상단 지지 몸체(161)와, 상기 상단 지지 몸체(161)의 하단에 탈착 가능하도록 결합되며, 하단에 상기 곡률홈(162a)이 형성되는 상단 교체 몸체(162)를 포함한다.
이의 구성을 통해 상단 및 하단 클램프(160, 150)에서 상단 및 하단 교체 몸체(161, 151)는 탈거 가능할 수 있다.
즉 다른 곡률을 이루는 곡률부(152a)를 갖는 다른 하단 교체 몸체와 다른 곡률의 곡률홈(162a)을 갖는 다른 상단 교체 몸체를 사용하도록 할 수 있다.
이에 따라 해당 스틱 마스크(10)의 양단 에지를 그립하는 경우 다른 곡률을 이루어 그립하도록 할 수 있다.
상술한 바와 같이 직사각 판 상으로 형성되는 스틱 마스크(10)는 그 양단에서 인장이 이루어지는 경우 U형상의 변형이 발생된다. 여기서 상기 변형은 스틱 마스크의 두께 또는 길이 및 폭에 따라 다른 변형 곡률을 형성한다.
이러한 경우 다른 변형 곡률을 보정하도록 역을 이루는 다른 곡률이 설정되어야 한다. 이때 상술한 바와 같이 다른 곡률을 이루는 곡률부 및 곡률홈을 갖는 상단 및 하단 교체 몸체를 교체 하여 이를 해결할 수도 있다.
도 9는 본 발명에 따른 인장기의 또 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 9를 참조 하면 본 발명에 따른 하단 클램프(170)는 상방을 따라 개방되는 하부홈(171a)이 형성되는 하단 클램프 몸체(171)와, 상기 하부홈(171a)의 상단 테두리에 양단이 지지되는 제 1그립판(172)과, 상기 제 1머리부(173a)와, 상기 제 1머리부(173a)로부터 연장되는 제 1체결 몸체(173b)와, 상기 제 1체결 몸체(173b)의 끝단에 형성된 제 1걸림 몸체(173c)를 구비하는 제 1조절 부재(173)를 구비한다.
상기 제 1머리부(173a)는 상기 하단 클램프 몸체(171)의 하부에 노출된다.
상기 제 1체결 몸체(173b)는 상기 하단 클램프 몸체(171)에 형성된 제 1체결홀(h1)에 체결된다.
상기 제 1걸림 몸체(173c)는 상기 제 1그립판(172)의 하단 중앙에 제자리 회전 가능하도록 결합된다.
그리고 상기 상단 클램프(180)는 하방을 따라 개방되는 상부홈(181a)이 형성되는 상단 클램프 몸체(181)와, 상기 상부홈(181a)의 하단 테두리에 양단이 지지되는 제 2그립판(182)과, 상기 제 2머리부(183a)와, 상기 제 2머리부(183a)로부터 연장되는 제 2체결 몸체(183b)와, 상기 제 2체결 몸체(183b)의 끝단에 형성된 제 2걸림 몸체(183c)를 구비하는 제 2조절 부재(183)를 구비한다.
상기 제 2머리부(183a)는 상기 상단 클램프 몸체(181)의 상부에 노출된다.
상기 제 2체결 몸체(183b)는 상기 상단 클램프 몸체(181)에 형성된 제 2체결홀(h2)에 체결된다
상기 제 2걸림 몸체(183c)는 상기 제 2그립판(182)의 하단 중앙에 제자리 회전 가능하도록 결합된다.
여기서 상기 제 1머리부(173a)는 제 1모터(M1)의 제 1모터축과 축 연결 방식으로 결합된다.
상기 제 2머리부(183a)는 제 2모터의 제 2모터축(M2)과 축 연결 방식으로 결합된다.
상기 스틱 마스크(10)의 상부에 배치되어 인장되는 상기 스틱 마스크(10)의 편평도를 측정하고, 측정된 상기 편평도를 제어부(900)로 전송하는 센서(910)가 설치된다.
상기 제어부(900)는 측정된 상기 편평도가 기설정되는 기준 편평도에 이르도록, 상기 제 1,2모터(M1, M2)를 사용하여 제 1,2모터축을 정역방향을 따라 동시에 회전시켜, 상기 제 1,2그립판(172, 182)의 곡률을 가변시킴에 따라, 그립된 상기 스틱 마스크(10)의 에지 양단을 가변된 상기 곡률을 이루도록 그립시킨다.
상기 구성을 참조 하면 제 1,2그립판(172, 182)은 스틱 마스크(10)의 에지 양단을 일정의 곡률을 이루도록 그립하여 스틱 마스크(10)를 미리 변형시킨다.
이어 스틱 마스크(10)의 양단은 상술한 바와 같이 인장이 이루어진다. 이와 동시에 스틱 마스크(10)는 상기 곡률에 역을 이루도록 변형이 점진적으로 이루어진다.
또한 상기 센서(910)는 상기 스틱 마스크(10)의 상면의 편평도를 측정하고, 이를 제어부(900)로 전송한다.
상기 제어부(900)에는 기준 편평도가 설정된다.
상기 제어부(900)는 측정되는 편평도가 기설정되는 기준 편평도에 이르도록, 상기 제 1,2모터(M1, M2)를 사용하여 제 1,2모터축을 정역방향을 따라 동시에 회전시켜, 상기 제 1,2그립판(172, 182)의 곡률을 가변시켜 스틱 마스크(10)의 형상을 인장과 동시에 가변시킨다.
따라서 본 발명은 인장시 스틱 마스크(10)의 편평도를 더 빠른 시간에 이루도록 할 수 있다.
더하여 각각의 클램프(100)에서 제 1,2그립판(172, 182)을 사용하여 상술한 바와 같이 곡률 형상의 가변이 가능하도록 스틱 마스크(10)의 에지 양단을 그립함으로써, 도 8에 기재된 바와 같이 상단 및 하단 교체 몸체를 교체하지 않고도 다양한 곡률에 대응하도록 할 수도 있다.
상기의 구성 및 작용에 따라 상술한 바와 같이 인장 전 미리 역으로 변형을 이루어 인장시 스틱 마스트를 편평하게 이룰 수 있다. 그리고 이와 같은 스틱 마스크의 상단에 글래스가 안착되는 경우, 글래스의 하단이 스틱 마스트의 양단측 돌출된 에지에 찍히는 문제를 해결할 수 잇다.
또한 글래스가 스틱 마스크의 상단에 안착되는 경우 균일한 접촉력을 형성하여 글래스 전체에 균열이 발생지 않을 수 있다.
또한 클램프가 스틱 마스크의 에지를 스틱 마스크의 폭 방향을 따라 볼록한 형상으로 그립하기 때문에 일정 이상의 인장력으로 잡아 당기는 경우, 프레임 상단에 안착된 스틱 마스크의 일부분이 상방으로 휘어져 편평함을 이루도록 할 수 있다.
또한 본 발명은 인장시 스틱 마스크가 일정의 편평도를 이루도록 하게 때문에 프레임과 스틱 마스크의 에지 간에 형성되는 용접부를 정상적으로 형성할 수 있다.
다음은 상기와 같이 구성되는 인장기를 포함하는 OLED 마스크 제조장치를 설명한다.
도 10은 본 발명의 인장기를 갖는 OLED 마스크 제조장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 11은 본 발명에 따른 프레임 부에 스틱 마스크가 안착되는 상태를 보여주는 일부 단면도이다.
도 10을 참조 하면 본 발명의 인장기를 갖는 OLED 마스크 제조장치는 내부 공간이 형성되는 챔버(2)와, 상기 챔버(2)의 내부에 배치되며, 스틱 마스크(10)가 안착되는 프레임 부(600)와, 상기 프레임 부(600)의 외측부에 배치되며 상기 스틱 마스크(10)의 에지 양단을 설정된 형상을 이루도록 변형시켜 그립하고, 설정된 인장력으로 상기 스틱 마스크를 인장시키는 인장기(1)를 포함한다.
상기 인장기(1)의 구성은 도 3 내지 도 9를 참조 하여 설병한 바와 동일하기 때문에 설명을 생략하기로 한다.
여기서 상기 설정된 형상은 설정된 곡률을 이루는 볼록한 형상을 이룬다.
도 11을 참조 하면 상기 프레임 부(600)의 테두리부에는 일정 깊이를 이루는 배치홈(601)을 포함한다.
본 발명에 따른 인장기(1)의 클램프들(100)은 상기 배치홈(601)에 배치된다.
이를 통해 클램프들(100)이 프레임 부(600)의 테두리부에 일정 깊이를 이루도록 형성되는 배치홈(601)에 배치됨에 따라 클램프들(100)이 프레임 부(600)의 상방으로 일정 수준 이상으로 돌출되어 배치되는 문제를 해결할 수 있다.
이에 따라 전체 장치 사이즈 축소를 가능하게 함과 아울러 프레임 부(600)의 상방으로 돌출되는 클램프(100)가 다른 구성인 용접부 또는 글래스를 승강시키는 장치와의 충돌을 미연에 방지할 수도 있다.
본 발명에 따른 프레임 부(600)의 구성을 더 설명한다.
도 11을 참조 하면 상기 프레임 부(600)는 중앙에 공간을 이루며 상단이 평면을 이루는 상단 몸체(610)와, 상기 상단 몸체(610)의 테두리에서 하향 경사지는 경사 몸체(620)와, 상기 경사 몸체(620)의 테두리에 연결되며, 평면을 이루는 하단 몸체(630)로 구성된다.
상기 상단 몸체(610), 경사 몸체(620), 하단 몸체(630)는 일체를 이루어 형성된다.
여기서 배치홈(601)은 상기 경사 몸체(620)와 상기 하단 몸체(630)의 사이에 형성된다.
또한 본 발명에 따른 상단 몸체(610)에는 스틱 마스크(10)가 안착되는 안착홈(611)이 형성된다.
상기 안착홈(611)은 상기 상단 몸체(610)의 내측에서 외측을 관통하도록 형성된다.
그리고 상기 안착홈(611)의 깊이(D)는 상기 스틱 마스크(10)의 두께(t)와 동일하게 형성된다.
상기 안착홈(611)은 프레임 부(600)의 상단에 스틱 마스크(10)가 안착되는 경우 상기 스틱 마스크(10)가 삽입될 수 있는 홈으로 사용된다.
상기 안착홈(611)의 깊이(D)가 스틱 마스크(10)의 두께(t)와 동일하게 때문에 상기 스틱 마스크(10)가 안착홈(611)에 안착되면 스틱 마스트(10)의 상면은 상기 프레임 부(600)의 상면과 실질적으로 동일평면을 이룰 수 있다.
이를 통해 스틱 마스크(10)와 프레임 부(600)의 상단을 동일 평면을 이루도록 하여 인장시 스틱 마스크(10)의 변형을 방지하여 글래스(G)와의 간섭으로 인해 글래스(G)가 파손되지 않도록 할 수 있다.
또한 스틱 마스크(10)를 프레임 부(600)의 테두리에 형성되는 안착홈(611)에 안착된 상태로 인장을 이루지 때문에 스틱 마스크(10)의 인장 방향을 안내하여 스틱 마스크(10)의 인장 방향이 틀어지는 등의 문제를 방지할 수 도 있다.
도 12는 본 발명에 따른 프레임 부의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 12를 참조 하면 상기 상단 몸체(610)에는 메인 홈(610a)이 형성된다.
상기 안착홈(610a)이 형성되는 안착 몸체(640)가 상기 메인 홈(610a)에 배치된다.
상기 메인홈(610a)의 다수 위치에는 스크류 방식의 승강바들(650)이 배치된다.
상기 승강바들(650)의 상단은, 상기 안착 몸체(640)의 하단에 제자리 회전 가능하게 배치된다.
상기 승강바(650)는 안착 몸체를 관통하면서 스크류 체결되어 모터(M)의 구동에 따라 회전되면서 승강된다.
상기 승강바들(650)의 하단은, 상기 상단 몸체(610)의 하단을 관통하고, 관통되는 상기 승강바들(650) 각각의 하단은 모터들(M) 각각의 모터축에 탈착 가능하게 결합된다.
또한 상기 챔버(2)의 상단에는 상기 스틱 마스크(10)의 상면 다수 위치까지의 제 1거리값들 측정하고, 측정된 상기 제 1거리값들 제어부(900)로 전송하는 다수의 제 1거리 센서(920)와, 상기 상단 몸체(610)의 상단까지의 제 2거리값을 측정하고, 측정된 상기 제 2거리값을 상기 제어부(900)로 전송하는 제 2거리 센서(930)가 설치된다.
상기 제어부(900)는 상기 제 1거리값들을 평균 처리하여 평균 거리값을 산출하고, 산출된 상기 평균 거리값이 상기 제 2거리값과 동일해지도록 상기 모터들(M)을 구동시켜 상기 안착 몸체(640)의 승강 위치를 가변적으로 조절한다.
도 13은 본 발명에 따른 프레임 부의 또 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 13을 참조 하면 본 발명에 따른 상단 몸체(610)의 하단에는 전자석(800)이 배치된다.
상기 전자석(800)은 전류 제공기(810)로부터 전류값을 전송받아 자화된다.
상기 제어부(900)는 상기 전자석이 자화됨에 따라 발생되는 자력이 상기 인장력 보다 일정 수준 이하를 이루도록 상기 전류 제공기(810)의 구동을 제어한다.
상기 제어부(900)는 상기 스틱 마스크(10)를 설정된 인장 조건으로 인장이 완료된 이후에, 상기 자력이 상기 인장력 보다 일정 수준 이상을 이루도록 상기 전류 제공기(810)의 구동을 제어한다.
이를 통해 스틱 마스크(10)의 인장이 이루어진 이후에 스틱 마스크(10)의 에지와 프레임 부(600)를 자력으로 고정시키고, 용접을 이루도록 하여 용접부의 틀어짐들의 문제를 해결할 수도 있다.
도 14는 본 발명에 따른 스틱 마스크의 편평도를 물리적으로 형성하는 예를 보여주는 도면이다.
도 14를 참조 하면 상기 프레임 부(600)의 하부에는 롤링 장치(800)가 배치된다.
상기 롤링 장치(800)는 회전축(811)에 회전 가능하게 설치되는 롤러(810)와, 회전축(811)의 양단을 지지하는 지지대(820)와, 상기 지지대(820)를 승강시키는 승강기(830)와, 상기 승강기(830)를 수평 방향을 따라 이동을 안내하는 이동 레일(840)과, 상기 승강기(830)를 상기 이동 레일(840)을 따라 이동시키는 리니어 모터(850)를 구비한다. 상기 롤러(810)는 회전축(811)에 축 연결 방식으로 연결되는 모터축을 갖는 회전 모터(812)의 구동에 의해 회전될 수 도 있다. 상기 회전 모터(812)는 제어부(900)의 제어에 의해 구동된다.
또한 상기 롤러(810)의 외면에는 금속면과의 마찰을 줄일 있는 슬립층(미도시)이 코팅되어 처리될 수도 있다.
상기 제어부(900)는 상기 스틱 마스크(10)가 인장이 이루어지는 동안에, 상기 롤러(810)가 상기 스틱 마스크(10) 하면에 접촉되도록 상기 승강기(830)를 사용하여 상기 지지대(820)를 상승시키고, 상기 리니어 모터(850)를 사용하여 상기 롤러(810)가 상기 안착홈(611)에 안착된 상기 스틱 마스크(10)의 하면과 구름 접촉한 상태에서 왕복 이동되도록 상기 승강기(830)를 이동시키도록 제어한다.
이를 통해 스틱 마스크(10)의 인장이 이루어지는 동안에 스틱 마스크(10)가 하방으로 오목하도록 추가로 변형이 발생되는 문제를 해결할 수 도 있다.
이상, 본 발명에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.
그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 전해져서는 안 되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1 : 인장기
100 : 클램프
110 : 하단 클램프
111 : 곡률부
120 : 상단 클램프
121 : 곡률홈
130 : 클램프 구동기
140 : 하우징
200 : 구동기
210 : 실린더
211 : 축
600 : 프레임 부
610 : 상단 몸체
610a : 배치홈
611 : 안착홈
620 : 경사 몸체
630 : 하단 몸체

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 내부 공간이 형성되는 챔버;
    상기 챔버의 내부에 배치되며, 스틱 마스크가 안착되는 프레임 부; 및,
    상기 프레임 부의 외측부에 배치되며, 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 설정된 형상을 이루도록 변형시켜 그립하고, 설정된 인장력으로 상기 스틱 마스크를 인장시키는 인장기;를 포함하되,
    상기 인장기는,
    판 상을 이루며, 금속으로 형성되는 스틱 마스크의 양단을 그립하는 한 쌍의 클램프와,
    상기 한 쌍의 클램프를 벌어지는 방향을 따라 설정된 인장력을 가하여 상기 스틱 마스크를 인장시키는 구동기를 구비하되,
    상기 한 쌍의 클램프 각각은,
    하단 클램프와,
    상기 하단 클램프의 상부에 배치되는 상단 클램프와,
    상기 하단 클램프와 상기 상단 클램프를 서로 오므려지도록 하여 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 그립시키는 클램프 구동기를 포함하고,
    상기 설정된 형상은,
    설정된 곡률을 이루는 볼록한 형상을 이루고,
    상기 상단 클램프와 상기 하단 클램프는,
    상기 스틱 마스크의 폭 방향을 따라 일정의 볼록한 곡률을 이루도록 상기 스틱 마스크의 에지 양단을 그립하고,
    상기 프레임 부의 테두리부에는 일정 깊이를 이루는 배치홈을 포함하고,
    상기 한 쌍의 클램프 각각은,
    상기 배치홈에 배치되고,
    상기 프레임 부는,
    중앙에 공간을 이루며 상단이 평면을 이루는 상단 몸체와,
    상기 상단 몸체의 테두리에서 하향 경사지는 경사 몸체와,
    상기 경사 몸체의 테두리에 연결되며, 평면을 이루는 하단 몸체를 구비하되,
    상기 배치홈은,
    상기 경사 몸체와 상기 하단 몸체의 사이에 형성되고,
    상기 상단 몸체에는,
    상기 스틱 마스크가 안착되는 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 OLED 마스크 제조장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 5항에 있어서,
    상기 안착홈의 깊이는,
    상기 스틱 마스크의 두께와 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 OLED 마스크 제조장치.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004363037A (ja) * 2003-06-06 2004-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd シャドウマスクの架張装置及びその架張方法
KR20140062790A (ko) * 2012-11-15 2014-05-26 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
KR102130446B1 (ko) * 2019-02-20 2020-07-06 주식회사 한송네오텍 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004363037A (ja) * 2003-06-06 2004-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd シャドウマスクの架張装置及びその架張方法
KR20140062790A (ko) * 2012-11-15 2014-05-26 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
KR102130446B1 (ko) * 2019-02-20 2020-07-06 주식회사 한송네오텍 마스크 프레임 어셈블리 제조용 간격 조절형 대형 듀얼 그리퍼 장치

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