KR101354445B1 - 마스크프레임어셈블리 제조 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마스크프레임어셈블리 제조 방법 및 장치에 관한 것으로, 그 목적은 마더글라스를 마스크프레임어셈블리 제조장치의 상부에 위치시킴으로써 마더글라스의 패턴과 AMOLED 소스가 증착된 유리기판의 패턴이 동일하도록 하여 AMOLED 패널의 품질과 수율을 높일 수 있는 마스크프레임어셈블리 제조방법 및 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 구성은 마스크와 마더글라스를 매칭하여 마스크를 프레임에 용접하여 AMOLED소스를 증착하기 위한 마스크프레임어셈블리를 제조하는 방법에 있어서, 프레임 상부에 위치한 마스크의 상부쪽에 마더글라스를 위치시켜 정렬시킨 후, 프레임에 마스크를 용접하도록 하여 AMOLED 소스 증착시 마더글라스 패턴과 동일한 패턴으로 증착되도록 한 마스크프레임어셈블리 제조 방법 및 이를 수행하는 장치를 발명의 특징으로 한다.

Description

마스크프레임어셈블리 제조 방법 및 장치{Manufacturing method and apparatus of mask frame assembly}

본 발명은 마스크프레임어셈블리 제조 방법 및 장치에 관한 것으로, 자세하게는 AMOLED 소스 증착시 마더글라스 패턴과 동일한 패턴으로 증착되도록 상부에 마더글라스를 배치시킨 AMOLED 패널용 마스크프레임어셈블리 제조 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 이송된 분할 마스크 또는 원장 마스크의 패턴을 마스크 상부쪽에 위치시킨 마더글라스를 통해 매칭시킴으로써 AMOLED 증착 소스를 마스크 프레임 어셈블리를 통해 증착 대상 유리기판에 증착시 패턴의 역전(미러링, 대칭) 현상이 일어나지 않도록 하여 고품질의 AMOLED 패널을 생산할 수 있도록 한 기술에 관한 것이다.

OLED(유기발광다이오드)는 반응속도가 박막트랜지스터액정표시장치(TFT LCD)보다 월등히 빠르다. 또 자체 발광으로 백라이트 없이 두께와 무게를 3분의 1이나 줄일 수 있으며 넓은 시야각과 저전력 소비 구조를 자랑하는 차세대 디스플레이이다.

이러한 OLED는 AM방식(능동)과 PM방식(수동)으로 나뉜다. PMOLED는 AMOLED에 비해 제작단가가 낮고, 소비전력, 수명과 해상도에 한계가 있다. AMOLED는 각 화소마다 TFT와 커패시터가 있으며 소비전력, 수명, 해상도 측면 모두에서 우수하기 때문에, TFT의 제작으로 인해 제조비용이 높아진다는 단점을 딛고, 현재 각 분야의 활발한 개발과 양산 시도가 이어지고 있다. 무엇보다 AMOLED의 강점은 무엇보다 화질 경쟁력이다. 최대 경쟁자인 LCD에 비해 색 재현율은 30% 포인트나 높고 명암비는 20배나 뛰어나다. LCD의 최대 약점인 동영상의 잔상현상도 AMOLED에서는 찾아볼 수 없다. 이는 LCD가 백라이트라는 간접광원을 액정, 컬러필터 등을 통과시키며 다소 복잡하게 화면을 연출하는 반면에 AMOLED는 유기물질이 자체 발광해 곧바로 자연색의 화면을 재현하기 때문이다. 더욱이 OLED는 LCD와 비교해 구조가 단순해 제조시 부품 측면에서 매우 유리하다는 장점이 있다.

이러한 AMOLED 패널, 특히 4세대 이상의 AMOLED 패널을 대량으로 제작하기 위해서는 고정세를 가지면서 AMOLED를 증착시킬 수 있는 AMOLED용 마스크프레임 어셈블리 제작이 필요한데, 종래 마더글라스를 이용하여 패턴을 매칭시켜 제작된 마스크프레임 어셈블리를 이용하여 AMOLED 소스를 증착시킨 유리기판은 마더글라스의 패턴 모양과 대비시 대칭된 형상을 가지게 되어 품질이 저하되는 문제점이 발생하곤 하였다. 물론 이와 같은 대칭 형상은 미세한 대칭현상을 말하지만 고정밀 해상도를 요구하는 AMOLED 패널을 기준시 미세한 픽셀 하나라도 불량이 나게 되면 정상 제품으로 판매될 수 없기 때문에 양산 수율을 떨어뜨리게 되므로 이에 대한 품질 개선 공정이 요구되고 있는 실정이다. 하지만 이를 해결하기 위해서는 여러 가지 해결해야될 문제점이 있어 왔다.

즉, 종래에는 마더글라스를 하부에 위치시킨 상태에서 패턴 매칭을 함으로 써 AMOLED 소스 증착시의 패턴의 역전현상이 발생하여 전극이 형성된 증착 대상 유리기판에서 AMOLED 소스의 칼라 믹싱(Color mixing) 현상 즉, R, G, B 칼라가 겹쳐져서 믹싱 되는 현상이 발생할 수 있다는 문제점과,

또한 종래에는 마더글라스를 하부에 위치시킨 상태에서 분할마스크의 패턴을 매칭후 용접함으로써 마더글라스 패턴에 보정사항이 있더라도 AMOLED 소스 증착시의 패턴 역전 현상 때문에 보정에 의한 효과가 없어 분할마스크가 로딩될 때마다 매번 마더글라스와 분할마스크를 CCD 촬영하여 매칭할 수 밖에 없다는 문제점과,

또한 분할마스크에 형성된 스트라이프 또는 홀과 마더글라스에 형성된 패턴을 이용하여 매칭시 공급된 분할마스크의 변형이 있을 경우 이를 펴준후 매칭을 해야 하는데 종래에는 매번 변형 정도를 육안 확인 후 이를 그리퍼를 이용 보정하는데 따른 생산 시간(Tact time)의 증가와 같은 문제가 있어 왔다.

도 12는 종래 마스크프레임어셈블리 제조시 마스크 하부에 마더글라스가 장치된 구성을 보인 예시도이고, 도 13은 종래 마스크프레임어셈블리를 이용 유기물 증착기에서 AMOLED를 제조하는 원리를 보인 예시도이고, 도 14는 종래 마더글라스 패턴과 AMOED 소스가 증착된 유리기판 간의 패턴 역전현상을 보인 예시도이고, 도 15는 종래 방법에 따라 제조된 마스크프레임어셈블리 사용에 의한 AMOLED 패널에서 발생된 칼라 믹싱현상을 보인 예시도이다.

도시된 바와 같이 종래 마스크프레임어셈블리 제조장치는 하부에 마더글라스를 고정시키고, 그 위에 프레임을 위치시킨 후 분할마스크 또는 원장 방식 마스크를 로딩시킨후 CCD가 마더글라스 패턴을 기준으로 마스크를 매칭하여 정렬시킨후 분할 마스크 또는 원장 방식 마스크를 프레임에 장력을 인가한 상태에서 용접하여 마스크프레임어셈블리를 제조하게 된다.

이와 같이 제조된 마스크프레임어셈블리는 AMOLED 소스가 구비된 유기증착기 내부에 설치되어 AMOED 소스를 유리기판에 증착시키게 된다.

하지만 이와 같은 종래의 증착 방식은 도시된 바와 같이 마더글라스 패턴과 AMOED 소스가 증착된 유리기판 간의 패턴 역전현상이 일어나게 되고, 이러한 역전 현상 때문에 유리기판에 형성된 전극 소자와 정확히 매칭되지 않아 이웃하는 칼라와 믹싱 현상이 일어날 수 있고, 이러한 칼라 믹싱 현상은 선명한 화질을 제공하지 못하는 불량 픽셀이 발생됨으로 인해 양산 수율을 떨어뜨리게 되고, 결국에는 AMOLED 패널의 단가를 높이거나 제조사의 수익을 떨어뜨리게 된다.

이는 종래와 같은 마더글라스의 하부 배치를 통한 패턴 정렬에서 나타날 수 밖에 없는 구조적인 문제이다.

즉, 마더글라스를 기준으로 한 마스크를 일치시키는 보정은 가능하지만 마더글라스 자체의 에러로 인한 보정 사항이 발생하도라도 역전현상 때문에 마더글라스에 형성된 패턴의 보정 자체가 무의미 하기 때문이다.

따라서 정밀한 패터 매칭 및 마더글라스 패턴의 보정을 위한 제조방법이 요구되고 있는 실정이다.

참고로 도시된 패턴의 역전 현상은 이해를 돕기위해 극단적으로 도시된 것으로 실제 패턴의 역전현상은 수 ㎛ 정도의 미세한 차이를 가진다. 하지만 이와 같은 미세한 차이가 고 해상도의 패널에서는 커다란 품질 차이를 나타내게 된다.

도 16 종래 분할마스크의 변형된 형태를 보인 예시도이다.

또한 종래 마더글라스에 형성된 패턴을 기준으로 상부에 위치한 마스크를 매칭시 발생할 수 있는 또 다른 문제점으로는 이송된 마스크 형상이 균일한 사각형태를 가지지 않고 변형된 형상을 가질때의 교정문제이다. 즉, 그리퍼가 파지한 면을 제외한 길이방향 기준 양측면의 형상이 외력을 받아 도시된 바와 같은 화살표 방향의 변형방향과 같이 중앙부가 오목하거나 그 반대로 볼록한 형태 또는 한쪽으로 치우처진 형상, 길이방향 일측만 양쪽으로 늘어난 형상, 일측 방향으로만 가운데가 들어가거나 볼록한 형상 등등과 같이 불균일한 형태로 이송될 경우가 있어, 이러한 변형된 마스크는 내부에 형성된 셀의 형상이 틀어지게 됨으로 매칭전에 교정하여 펴줌으로써 정밀한 매칭이 이루어 질수 있다.

이를 위해 종래에는 분할 마스크 하부에 위치한 마더글라스를 기준으로 매칭시 그 형태에 변형이 있을 경우 정밀한 매칭을 위해 그리퍼를 파지하고 있는 복수개의 그리퍼에 가해지는 장력을 서로 다르게 인가하여 마스크에 형성된 셀의 형태를 균일한 셀 형태로 만든 후 마더글라스와 마스크 간을 매칭하였다. 교정방법은 일일이 이송된 분할마스크의 형태를 육안 관찰하여 변형 형상을 판단후 수작업으로 그리퍼의 장력을 조절하여 보정함으로써 균일한 형상의 마스크를 만든후 매칭 작업을 수행하였다. 하지만 이와 같은 종래의 교정 방법은 자동화된 교정이 아니어서 교정하는 시간이 오래 걸려 전체 생산시간(Tact Time)이 늘어나는 문제점이 있었다. 따라서 이러한 분할마스크의 교정시간을 줄여 생산시간을 단축시킬 수 있는 공정이 요구되고 있는 실정이다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 마더글라스를 마스크프레임어셈블리 제조장치의 상부에 위치시킴으로써 마더글라스의 패턴과 AMOLED 소스가 증착된 유리기판의 패턴이 동일하도록 하여 AMOLED 패널의 품질과 수율을 높일 수 있는 마스크프레임어셈블리 제조방법 및 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 마더글라스를 마스크프레임어셈블리 제조장치의 상부에 위치시켜 마스크를 매칭시켜 정렬시 마더글라스의 패턴을 촬영하여 절대 좌표로 사용함으로써 마더글라스의 이동에 따른 이송 오차 및 마더글라스의 패턴 오류를 보상토록 하여 생산 시간을 단축시킨 마스크프레임어셈블리 제조방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 마더글라스를 마스크프레임어셈블리 제조장치의 상부에 위치시켜 제조시 로딩된 마스크의 형상을 촬영하여 마스크 패턴에 변형이 있을 경우 이를 기 저장된 패턴 형상과 비교하여 해당 패턴 형상에 따른 장력 조절값을 그리퍼에 자동으로 제공하여 교정함으로써 생산시간(Tact time)을 단축시킨 제조방법을 제공하는 데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은, 마스크와 마더글라스를 매칭하여 마스크를 프레임에 용접하여 AMOLED 소스를 증착하기 위한 마스크프레임어셈블리를 제조하는 방법에 있어서,

프레임 상부에 위치한 마스크의 상부쪽에 마더글라스를 위치시켜 정렬시킨 후, 프레임에 마스크를 용접하도록 하여 AMOLED 소스 증착시 마더글라스 패턴과 동일한 패턴으로 증착되도록 하며,

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a) 프레임이 위치할 상부쪽에 마더글라스를 로딩하는 단계와;

b) 마더글라스 상부에 CCD를 로딩후 촬영하여 마더글라스의 형상과 마더글라스에 형성된 패턴에 대한 절대좌표계 정보를 컨트롤러에 저장하는 단계와;

c) 마더글라스를 언로딩하는 단계와;

d) 그리퍼에 파지된 프레임을 로딩하는 단계와;

e) 이송된 프레임의 상부에 위치한 CCD가 프레임을 촬영하여 컨트롤러에 저장된 마더글라스의 절대좌표와 비교하여 프레임을 파지하고 있는 그리퍼의 위치 및 장력을 조절하여 프레임을 정렬(Align)하는 단계와;

f) 위치가 정렬된 프레임 상부에 그리퍼로 파지하여 마스크를 이송하는 단계와;

g) 컨트롤러에 저장된 마더글라스 패턴의 절대좌표를 이용하여 CCD가 하부에 위치한 마스크를 촬영하여 마스크를 파지하고 있는 그리퍼의 위치 및 장력을 조절하여 마스크를 정렬(Align)하는 단계와;

h) 정렬된 마스크를 프레임에 용접하는 단계와;

i) 이후 용접된 상태를 CCD로 촬영하여 PPA(Pixel Position Accuracy)측정하는 단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크프레임어셈블리 제조방법을 제공함으로써 달성된다.

본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 이송된 마스크가 분할마스크 일 경우 상기 f) 단계에서 h)단계를 반복하여 마스크프레임어셈블리를 제조할 수 있다.

본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 g)단계는 하부에 위치한 마스크의 셀에 형성된 스트라이프 또는 홀의 중심에 대한 가상 중심선을 기준으로 겹쳐진 마더글라스의 패턴이 중심에 오도록 정렬하는 단계로, 이를 위해 마스크를 파지하고 있는 그리퍼를 이동하여 위치를 고정하는 단계와, 이후 마스크를 잡아당겨 장력을 인가하는 단계로 이루질 수 있다.

본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 이송된 마스크의 형상에 변형이 있을 경우, 이송된 마스크를 CCD로 촬영하는 단계와; 촬영된 마스크의 형상 정보를 가지고 사전에 컨트롤러에 저장된 변형 마스크 형태에 대한 정형화된 샘플 정보와 매칭되는지 비교하는 단계와; 매칭된 정보가 있으면 해당 형태에 따른 그리퍼의 이송 및 장력 조절 정보를 가지고 이송된 마스크를 교정하는 단계;를 더 포함할 수 있다.

본 발명은 바람직한 실시예로,

상기 정형화된 샘플 정보는, "

"와 같은 마스크 형태를 포함할 수 있다.

또한 본 발명은 다른 실시 양태로,

상부에 탑재된 수평 이동형 그리퍼를 이송시키는 한쌍의 마스크 이송용 리니어서보모터와;

상기 한쌍의 마스크 이송용 리니어서보모터 상부에 각각 탑재되어 마스크 로딩장치로부터 인계받은 마스크를 파지후 프레임이 설치된 위치까지 수평이동 후 인장력을 가하면서 위치를 정렬하는 복수개의 분할마스크 그리퍼를 구비한 수평 이동형 그리퍼 장치와;

프레임 공급장치를 통해 이송된 프레임을 업다운 및 고정시키는 프레임 업다운 장치와;

상기 한쌍의 마스크 이송용 리니어서보모터로부터 상부쪽에 일정거리 이격되어 동일방향으로 각각 설치된 한쌍의 이송레일과;

상기 한쌍의 이송레일 간을 가로 질러 설치되어, X축 이송장치, Y축 이송장치, Z축 이송장치를 구비하여 탑재장비를 X축, Y축, Z축 방향으로 이송시키는 제 1 이송장치와;

상기 한쌍의 이송레일 간을 가로 질러 설치되되, 상기 제 1 이송장치가 설치되지 않은 쪽에 위치하고, X축 이송장치, Y축 이송장치, Z축 이송장치를 구비하여 탑재장비를 X축, Y축, Z축 방향으로 이송시키는 제 2 이송장치와;

상기 제 1 이송장치의 Z축 이송장치에 설치된, CCD 카메라, 레이저변위센서및 레이저용접장치로 이루어진 비전 및 레이저 용접장치와;

상기 제 2 이송장치의 Z축 이송장치에 설치된, 마더글라스를 파지하는 마더글라스 홀딩장치;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마스크프레임어셈블리 제조 장치를 제공함으로써 달성된다.

본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 마더글라스 홀딩장치는 마더글라스를 양측에서 파지하는 그리퍼 방식 또는 상부에서 진공 흡입하는 석션 방식 중 어느 하나의 방식으로 구성할 수 있다.

상기와 같은 본 발명은 4세대 이상의 대면적화가 가능한 AMOLED 패널 제작을 위한 마더글라스를 마스크프레임어셈블리 제조장치의 상부에 위치시킴으로써 마더글라스의 패턴과 AMOLED 소스가 증착된 유리기판의 패턴이 동일하도록 하여 AMOLED 패널의 품질과 수율을 높일 수 있다는 장점과,

또한 본 발명은 마더글라스를 마스크프레임어셈블리 제조장치의 상부에 위치시켜 제조시 로딩된 마스크의 형상을 촬영하여 마스크 패턴에 변형이 있을 경우 이를 기 저장된 패턴 형상과 비교하여 해당 패턴 형상에 따른 장력 조절값을 그리퍼에 자동으로 제공하여 교정함으로써 생산시간(Tact time)을 단축시킬수 있다는 장점과,

또한 본 발명은 마더글라스를 마스크프레임어셈블리 제조장치의 상부에 위치시켜 마스크를 매칭시켜 정렬시 마더글라스의 패턴을 촬영하여 절대 좌표로 사용함으로써 마더글라스의 이동에 따른 이송 오차 및 마더글라스의 패턴 오류를 보상토록 하여 생산 시간을 단축시킬 수 있다는 장점을 가진 유용한 발명으로 산업상 그 이용이 크게 기대되는 발명이다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따라 마더글라스가 마스크 상부에 위치한 모습을 보인 개략도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 마더글라스의 셀 패턴과 제조된 마스크프레임어셈블리를 이용하여 AMOLED 소스를 증착시킨 유리기판의 셀 패턴을 비교한 예시도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 마스크프레임어셈블리의 제조 공정을 보인 흐름도이고,
도 4는 본 발명의 한 실시예인 도 3의 제조공정에 추가로 이송된 마스크의 교정단계를 포함한 마스크프레임어셈블리의 제조 공정을 보인 흐름도이고,
도 5는 본 발명의 교정단계에 사용되는 정형화된 변형 마스크의 형태를 보인 예시도이고,
도 6은 본 발명에 따라 상부에 위치시킨 마더글라스가 마스크 매칭을 위해 이동시 발생하는 오차를 보인 예시도이고,
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 마더글라스의 절대좌표를 이용한 마스크프레임어셈블리의 제조 공정을 보인 흐름도이고,
도 8은 본 발명의 다른 실시예인 도 7의 제조공정에 추가로 이송된 마스크의 교정단계를 포함한 마스크프레임어셈블리의 제조 공정을 보인 흐름도이고,
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 마더글라스를 상부에 위치시키게 구성된 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 평면 구성도이고,
도 10은 본 발명의 한 실시예에 따른 마더글라스를 상부에 위치시키게 구성된 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 정면 구성도이고,
도 11은 본 발명의 한 실시예에 따른 마더글라스를 상부에 위치시키게 구성된 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 측면 구성도이고,
도 12는 종래 마스크프레임어셈블리 제조시 마스크 하부에 마더글라스가 장치된 구성을 보인 예시도이고,
도 13은 종래 마스크프레임어셈블리를 이용 유기물 증착기에서 AMOLED를 제조하는 원리를 보인 예시도이고,
도 14는 종래 마더글라스 패턴과 AMOED 소스가 증착된 유리기판 간의 패턴 역전현상을 보인 예시도이고,
도 15는 종래 방법에 따라 제조된 마스크프레임어셈블리 사용에 의한 AMOLED 패널에서 발생된 칼라 믹싱현상을 보인 예시도이고,
도 16 종래 분할마스크의 변형된 형태를 보인 예시도이다.

이하 본 발명의 실시 예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따라 마더글라스가 마스크 상부에 위치한 모습을 보인 개략도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 마더글라스의 셀 패턴과 제조된 마스크프레임어셈블리를 이용하여 AMOLED 소스를 증착시킨 유리기판의 셀 패턴을 비교한 예시도이다.

도시된 바와 같이 본 발명은 마스프레임어셈블리를 제작하기 위한 프레임과 그 상부에 그리퍼로 파지되어 이송되어 마스크가 위치하고, 그 마스크 상부에 마더글라스 홀딩장치에 의해 파지된 마더글라스가 위치하여 매칭되도록 배치되어 정렬되는 구조임을 알 수 있다. 이와 같은 상하 배치 구조는 종래처럼 프레임 하부에 마더글라스 지그를 설치하고 그 위에 마더글라스를 안치한 다음, 프레임에 이송된 마스크를 마더글라스에 형성된 패턴을 기준으로 매칭하여 정렬(Align)하는 공정이 필요없게 됨으로써 마더글라스 지그에 마더글라스를 설치하는 공정도 필요없게 된다.

이와 같이 마더글라스를 프레임 및 마스크 상부에 위치시켜 마스크를 마더글라스와 매칭하게 되면, 제조된 마스크프레임어셈블리를 이용하여 AMOLED 소스를 유리기판에 증착하게 되면 종래 방법과 달리 마스크에 형성된 셀의 패턴이 역전(미러링)되지 않아 전극이 형성된 유리기판에 원하는 위치에 AMOLED 소스가 증착되어 R,G,B 칼라에 의한 픽셀이 형성되게 된다. 이때 각 픽셀이 이루는 패턴은 마더글라스의 패턴과 동일한 패턴을 이루게 되어 칼라 믹싱 현상이 발생하지 않게 됨으로써 고품질의 AMOLED 패널이 높은 수율로 생산되게 된다.

도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 마스크프레임어셈블리의 제조 공정을 보인 흐름도이다. 도시된 바와 같이 본 발명의 한 실시예에 따른 마스크프레임 어셈블리 제조단계는,

a) 프레임이 위치할 상부쪽에 마더글라스를 로딩하는 단계(S100)와;

b) 그리퍼에 파지된 프레임을 마더글라스 하부쪽에 로딩하는 단계(S101)와;

c) 상부에 위치한 마더글라스와 하부에 위치한 프레임 간을 CCD로 촬영하여 프레임을 파지하고 있는 그리퍼의 위치 및 장력을 조절하여 프레임을 정렬(Align)하는 단계(S102)와;

d) 마더글라스를 언로딩하는 단계(S103)와;

e) 위치가 정렬된 프레임 상부에 그리퍼로 파지하여 마스크를 이송하는 단계(S104)와;

f) 마더글라스를 마스크 상부쪽에 로딩하는 단계(S105)와;

g) CCD로 마더글라스의 패턴을 기준으로 하부에 위치한 마스크를 촬영하여 마스크를 파지하고 있는 그리퍼의 위치 및 장력을 조절하여 마스크를 정렬(Align)하는 단계(S106)와;

h) 정렬된 마스크를 프레임에 용접하는 단계(S107)와;

i) 이후 용접된 상태를 CCD로 촬영하여 PPA(Pixel Position Accuracy)측정하는 단계(S108);를 포함하여 이루어진다.

상기와 같은 마스크프레임어셈블리 제조 단계는 원장 방식 마스크를 이용하여 마스크프레임어셈블리를 제조하는 경우이고, 분할 마스크를 사용할 경우는 상기 e) 단계에서 i)단계를 반복하여 마스크프레임어셈블리를 제조한다.

상기 각 단계의 제어는 컨트롤러(미도시됨)에 의해 제어된다. 이와 같은 컨트롤러는 본 발명과 같은 정밀 제어 제조장치에 일상적으로 구비되는 것으로, 각 단계를 처리하는 프로그램이 내장된 PC 또는 전용 장치 등의 형태로 구비될 수 있다.

상기 a) 단계에서 마더글라스는 그리퍼에 의해 파지하거나 진공흡입 수단을 사용하여 로딩하는 방법을 사용하면 된다.

상기 g)단계는 하부에 위치한 마스크의 셀에 형성된 스트라이프 또는 홀의 중심에 대한 가상 중심선을 기준으로 겹쳐진 마더글라스의 패턴이 중심에 오도록 정렬하는 단계로, 이를 위해 마스크를 파지하고 있는 그리퍼를 이동하여 위치를 고정하는 단계와, 이후 마스크를 잡아당겨 장력을 인가하는 단계로 이루어진다.

이때 마스크 매칭은 전체 셀을 촬영하여 수집된 데이터를 통해 마스크를 개별셀 또는 전체 셀을 수동으로 매칭한다. 이때의 쵤영이라함은 후술되는 CCD로 촬영하여 PPA(Pixel Position Accuracy)측정하는 단계와 같다. 이때의 촬영은 즉, 용접 전에 교정을 위함이고, 용접후 측정은 용접 후 틀어짐이 발생되었는지를 검사하는 단계이다.

상기와 같이 프레임 및 마스크의 상부쪽에 마더글라스를 위치시키게 되면 맏글라스의 패턴과 상기 방법에 따라 제조된 마스크프레임어셈블리를 이용하여 AMOLED 소스를 유리기판에 증착시 도시된 바와 같이 패턴의 역전 현상이 일어나지 않고 동일한 패턴을 가진 고품질의 AMOLED 패널이 제작되게 된다.

도 4는 본 발명의 한 실시예인 도 3의 제조공정에 추가로 이송된 마스크의 교정단계를 포함한 마스크프레임어셈블리의 제조 공정을 보인 흐름도이고, 도 5는 본 발명의 교정단계에 사용되는 정형화된 변형 마스크의 형태를 보인 예시도이다.

본 발명은 마스크 상부에 마더글라스를 위치시켜 마스크프레임어셈블리를 제작시 마더글라스와 마스크간을 매칭하기전에 이송된 마스크의 형상에 변형이 있을 경우, 매칭전에 교정하는 단계를 더 포함하여 이루어진다. 이와 같은 교정단계가 이루어지지 않으면 매칭작업시 마스크 자체의 변형량이 큼으로 인해 마스크에 형성된 셀 및 셀안에 형성된 스트라이프 또는 홀의 매칭자체가 불가능할 수 있기 때문이다.

이를 위해 종래에는 이송된 마스크의 변형된 형상을 육안 확인후 일반적인 사각 형상이 되도록 교정작업을 하였다. 하지만 이와 같은 방법은 매번 이송된 마스크의 형상에 따라 변형 정도를 파악 후 수동으로 그리퍼를 이송하거나 장력을 인가하여 펴주는데 많은 시간이 소요되어 전체 생산시간(Tact time)이 늘어 난다는 단점이 있었다.

하지만 본 발명은 이와 같은 종래 방법과 달리 획기적인 교정방법을 제공함으로써 생산시간(Tact time)을 획기적으로 줄였다. 이하 구체적으로 살펴본다.

본 발명에 따른 마스크 교정방법은,

상기 도 3에 도시된 e) 단계에 의해 마스크가 이송된 후 수행하는 단계이다. 즉, 이송된 마스크를 CCD로 촬영하는 단계(S105a)와;

촬영된 마스크의 형상 정보를 가지고 사전에 컨트롤러에 저장된 변형 마스크 형태에 대한 정형화된 샘플 정보와 매칭되는지 비교하는 단계(S105b)와;

매칭된 정보가 있으면 해당 형태에 따른 그리퍼의 이송 및 장력 조절 정보를 가지고 이송된 마스크를 교정하는 단계(S105c);로 이루어 진다.

상기 기 저장된 형상정보는 사전에 여러 가지 형태의 대표적인 변형된 마스크의 형상정보를 말하는 것으로 이러한 정보는 마스크프레임어셈블리 제조장치를 제어하는 컨트롤러의 저장장치(롬 또는 하드디스크 또는 SSD등의 보조기억장치 또는 기타 기록 가능한 저장매체)에 저장되어 있는 정보로, 해당 단계가 되면 컨트롤러가 상기한 단계를 통해 저장된 값을 검색하여 비교하게 된다.

예시적인 변형된 마스크의 형태는 도시된 바와 같이 외력에 의해 변형 방향으로 변형된 정형적인 형태를 저장하여 이에 대한 변형력의 반대방향으로 마스크가 교정되도록 그리퍼의 이동 및 장력을 조절 자동화된 교정이 이루어지도록 하면 된다. 이러한 형태 외에도 정형적인 형태를 가지는 형태가 더 저장될 수 있음은 당연하다.

또한 교정정보라 함은 변형된 형상을 가지는 마스크를 일반적인 형상으로 교정하는데 필요한 마스크를 파지하고 있는 복수개의 그리퍼들에 인가되는 힘 등의 제어에 관한 작동관련 교정정보를 말한다.

즉, 도시된 바와 같은 정형적인 마스크 형상이 인식되었을 경우 자동으로 교정작업이 이루어지도록 한 교정 정보는 특정 형상의 마스크일때 작동하는 그리퍼 이송장치의 이송거리와 이송된 그리퍼의 개별 장력 인가를 위한 그리퍼 실린더의 유압 인가량등이 저장된 정보를 말한다. 이러한 교정정보에 따라 마스크를 물고 있는 그리퍼들이 작동하게 되면 변형된 마스크가 최대한 일반적인 사각 형태의 마스크 형상을 가지도록 자동 교정되게 된다.

예를 들어 그리퍼 이송에 관한 교정을 보면, 이송된 마스크의 형상이 평행사변형 형태라고 치면 어느 일측변 방향의 그리퍼들은 정지한 상태에서 마주보는 측의 그리퍼들이 이송하여 서로간의 위치가 마주보도록 함으로써 교정할수 있는 것이고,

마찬가지로 마스크의 길이 방향으로 측변들이 오목하거나 볼록할 경우는 그리퍼의 이송아 아닌 그리퍼의 장력을 조절하여 해결하는 것으로, 이는 해당 모양을 정상화 할수 있게 사전에 다단계에 걸친 교정순서와 장력 값들을 불러와 그리퍼의 장력을 인가하거나 해제하는 작업을 수행하게 작동시키면 된다. 구체적인 교정값은 각 마스크의 변형된 형태나 정도에 따라 다르므로 구체적인 설명은 생략한다.

도 6은 본 발명에 따라 상부에 위치시킨 마더글라스가 마스크 매칭을 위해 이동시 발생하는 오차를 보인 예시도이고, 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따라 마더글라스의 절대좌표를 이용한 마스크프레임어셈블리의 제조 공정을 보인 흐름도이다.

상기 도 3에 도시된 마스크프레임어셈블리 제조방법은 마더글라스를 마스크의 상부에 위치시키는 방법으로 마더글라스에 형성된 패턴과 이후 마더글라스를 상부위 위치한 상태로 제조된 마스크프레임어셈블리를 이용하여 증착기에서 AMOLED소스를 증착시킴으로써 증착된 유리기판의 패턴이 역전되지 않고 동일한 패턴을 가지도록 하여 유리기판에 형성된 전극과 증착된 AMOLED의 각 R, G, B 칼라가 칼라 믹싱 없이 증착되어 고품질의 AMOLED 패널을 제조하는 획기적인 제조방법이라는 많은 장점을 가진 제조방법이다.

다만, 이와 같은 제조방법은 도시된 바와 같이 마더글라스가 마스크와의 매칭을 위해 자주 반복 이송하다보면 이송 오차가 생길수 있어서, 이에 대한 보정이 필요하므로 약간의 시간이 지체되게 된다. 따라서 이에 대한 개선 단계를 가진 제조방법이다. 구체적으로 절대좌표를 이용한 각 단계별로 설명한다.

이를 위해 본 발명의 다른 실시예는,

a) 프레임이 위치할 상부쪽에 마더글라스를 로딩하는 단계(S200)와;

b) 마더글라스 상부에 CCD를 로딩후 촬영하여 마더글라스의 형상과 마더글라스에 형성된 패턴에 대한 절대좌표계 정보를 컨트롤러에 저장하는 단계(S201)와;

c) 마더글라스를 언로딩하는 단계(S202)와;

d) 그리퍼에 파지된 프레임을 로딩하는 단계(S203)와;

e) 이송된 프레임의 상부에 위치한 CCD가 프레임을 촬영하여 컨트롤러에 저장된 마더글라스의 절대좌표와 비교하여 프레임을 파지하고 있는 그리퍼의 위치 및 장력을 조절하여 프레임을 정렬(Align)하는 단계(S204)와;

f) 위치가 정렬된 프레임 상부에 그리퍼로 파지하여 마스크를 이송하는 단계(S205)와;

g) 컨트롤러에 저장된 마더글라스 패턴의 절대좌표를 이용하여 CCD가 하부에 위치한 마스크를 촬영하여 마스크를 파지하고 있는 그리퍼의 위치 및 장력을 조절하여 마스크를 정렬(Align)하는 단계(S206)와;

h) 정렬된 마스크를 프레임에 용접하는 단계(S207)와;

i) 이후 용접된 상태를 CCD로 촬영하여 PPA(Pixel Position Accuracy)측정하는 단계(S208);를 포함하여 이루어진다.

상기와 같은 마스크프레임어셈블리 제조 단계는 원장 방식 마스크를 이용하여 마스크프레임어셈블리를 제조하는 경우이고, 분할 마스크를 사용할 경우는 상기 f) 단계에서 h)단계를 반복하여 마스크프레임어셈블리를 제조한다.

상기 각 단계의 제어는 컨트롤러(미도시됨)에 의해 제어된다. 이와 같은 컨트롤러는 본 발명과 같은 정밀 제어 제조장치에 일상적으로 구비되는 것으로, 각 단계를 처리하는 프로그램이 내장된 PC 또는 전용 장치 등의 형태로 구비될 수 있다.

상기에서 절대좌표라 함은 CCD에 촬영된 마더글라스의 형상과 마더글라스에 형성된 패턴 및 그 형상을 나타내는 모든 X,Y 좌표 값을 말한다.

상기 g)단계에서의 마스크 매칭은 전체 셀을 촬영하여 수집된 데이터를 통해 마스크를 개별셀 또는 전체 셀을 수동으로 매칭한다. 이때의 쵤영이라함은 후술되는 CCD로 촬영하여 PPA(Pixel Position Accuracy)측정하는 단계와 같다. 이때의 촬영은 즉, 용접 전에 교정을 위함이고, 용접후 측정은 용접 후 틀어짐이 발생되었는지를 검사하는 단계이다.

또한 이와 같은 제조방법은 이송된 마스크의 마스크의 교정방법을 포함하여 구성할 수 있음은 물론이다. 도 8은 본 발명의 다른 실시예인 도 7의 제조공정에 추가로 이송된 마스크의 교정단계를 포함한 마스크프레임어셈블리의 제조 공정을 보인 흐름도이다.

본 발명에 따른 마스크 교정방법은,

상기 도 7에 도시된 f) 단계에 의해 마스크가 이송된 후 수행하는 단계로,

이송된 마스크를 CCD로 촬영하는 단계(205a)와;

촬영된 마스크의 형상 정보를 가지고 사전에 컨트롤러에 저장된 변형 마스크 형태에 대한 정형화된 샘플 정보와 매칭되는지 비교하는 단계(205b)와;

매칭된 정보가 있으면 해당 형태에 따른 그리퍼의 이송 및 장력 조절 정보를 가지고 이송된 마스크를 교정하는 단계(205c);로 이루어 진다.

상기 기 저장된 형상정보는 사전에 여러 가지 형태의 대표적인 변형된 마스크의 형상정보를 말하는 것으로 이러한 정보는 마스크프레임어셈블리 제조장치를 제어하는 컨트롤러에 저장되어 있는 정보로, 해당 단계가 되면 컨트롤러가 상기한 단계를 통해 저장된 값을 검색하여 비교하게 된다.

또한 교정정보라 함은 변형된 형상을 가지는 마스크를 일반적인 형상으로 교정하는데 필요한 마스크를 파지하고 있는 복수개의 그리퍼들에 작동 대한 교정정보를 말한다.

즉, 정형적인 마스크 형상이 인식되었을 경우 자동으로 교정작업이 이루어지도록 한 교정 정보는 특정 형상의 마스크일때 작동하는 그리퍼 이송장치의 이송거리와 이송된 그리퍼의 개별 장력 인가를 위한 그리퍼 실린더의 유압 인가량등이 저장된 정보를 말한다. 이러한 교정정보에 따라 마스크를 물고 있는 그리퍼들이 작동하게 되면 변형된 마스크가 최대한 일반적인 사각 형태의 마스크 형상을 가지도록 자동 교정되게 된다.

예를 들어 그리퍼 이송에 관한 교정을 보면, 이송된 마스크의 형상이 평행사변형 형태라고 치면 어느 일측변 방향의 그리퍼들은 정지한 상태에서 마주보는 측의 그리퍼들이 이송하여 서로간의 위치가 마주보도록 함으로써 교정할수 있는 것이고,

마찬가지로 마스크의 길이 방향으로 측변들이 오목하거나 볼록할 경우는 그리퍼의 이송아 아닌 그리퍼의 장력을 조절하여 해결하는 것으로, 이는 해당 모양을 정상화 할수 있게 사전에 다단계에 걸친 교정순서와 장력 값들을 불러와 그리퍼의 장력을 인가하거나 해제하는 작업을 수행하게 작동시키면 된다. 구체적인 교정값은 각 마스크의 변형된 형태나 정도에 따라 다르므로 구체적인 설명은 생략한다.

도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 마더글라스를 상부에 위치시키게 구성된 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 평면 구성도이고, 도 10은 본 발명의 한 실시예에 따른 마더글라스를 상부에 위치시키게 구성된 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 정면 구성도이고, 도 11은 본 발명의 한 실시예에 따른 마더글라스를 상부에 위치시키게 구성된 마스크 프레임 어셈블리 장치를 보인 개략적인 측면 구성도이다.

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 마스크 프레임 어셈블리 장치는, 상부에 탑재된 수평 이동형 그리퍼(2)를 이송시키는 한쌍의 마스크 이송용 리니어서보모터(1)와;

상기 한쌍의 마스크 이송용 리니어서보모터 상부에 각각 탑재되어 마스크 로딩장치(8)로부터 인계받은 마스크(81)를 파지후 프레임이 설치된 위치까지 수평이동 후 인장력을 가하면서 위치를 정렬하는 복수개의 분할마스크 그리퍼(21)를 구비한 수평 이동형 그리퍼 장치(2)와;

프레임 공급장치(미도시됨)를 통해 이송된 프레임(31)을 업다운 및 고정시키는 프레임 업다운 장치(3)와;

상기 한쌍의 마스크 이송용 리니어서보모터(1)로부터 상부쪽에 일정거리 이격되어 동일방향으로 각각 설치된 한쌍의 이송레일(4)과;

상기 한쌍의 이송레일(4) 간을 가로 질러 설치되어, X축 이송장치(51a), Y축 이송장치(52a), Z축 이송장치(53a)를 구비하여 탑재장비를 X축, Y축, Z축 방향으로 이송시키는 제 1 이송장치(5a)와;

상기 한쌍의 이송레일(4) 간을 가로 질러 설치되되, 상기 제 1 이송장치(5a)가 설치되지 않은 쪽에 위치하고, X축 이송장치(51b), Y축 이송장치(52b), Z축 이송장치(53b)를 구비하여 탑재장비를 X축, Y축, Z축 방향으로 이송시키는 제 2 이송장치(5b)와;

상기 제 1 이송장치(5a)의 Z축 이송장치(53a)에 설치된, CCD 카메라(61), 레이저변위센서 및 레이저용접장치(62)로 이루어진 비전 및 레이저 용접장치(6)와;

상기 제 2 이송장치(5b)의 Z축 이송장치(53b)에 설치된, 마더글라스를 파지하는 마더글라스 홀딩장치(7);를 포함하여 구성된다.

상기 수평 이동형 그리퍼(2)는 리니어서보모터(1)를 구성하는 가이드 레일(11) 및 가이드 레일 상부에 설치된 가이드블록(12) 상부에 복수개의 분할마스크 그리퍼(21)가 연동되어 이송되도록 구성된다.

그 외 미설명된 분할마스크 그리퍼를 작동시키는 실린더 및 가이드 레일상에서 전후진 시키는 모터 등의 구성은 통상적인 장치이므로 구체적인 설명은 생략한다.

상기 한쌍의 이송레일(4) 간을 가로 질러 설치되어, X,Y,Z 방향으로 이송하는 제 1 이송장치(5a)는 수평 이동형 그리퍼(2)와 동일방향으로 이동하는 가이드레일 및 가이드블록으로 이루어진 한쌍의 X축 이송장치(51a)와, 한쌍의 X축 이송장치의 가이드블록간을 가로질러 형성된 가이드레일 및 가이드블록으로 이루어진 Y축 이송장치(52a)와, Y축 이송장치의 가이드블록에 설치되어 상하로 승하강하도록 구성된 Z축 이송장치(53a)로 구성되고, 이 Z축 이송장치에는 CCD 카메라(61), 레이저변위센서 및 레이저용접장치(62)로 이루어진 비전 및 레이저 용접장치(6)가 장치되게 된다.

이러한 이송장치의 구동원리 역시 일반적인 구성이라 통상의 지식을 가진자가 도면을 통해 용이하게 실시 할 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다.

상기 한쌍의 이송레일(4) 간을 가로 질러 설치되되, 상기 제 1 이송장치(5a)가 설치되지 않은 쪽에 위치하고, X,Y,Z 방향으로 이송하는 제 2 이송장치(5b)는 수평 이동형 그리퍼(2)와 동일방향으로 이동하는 가이드레일 및 가이드블록으로 이루어진 한쌍의 X축 이송장치(51b)와, 한쌍의 X축 이송장치의 가이드블록간을 가로질러 형성된 가이드레일 및 가이드블록으로 이루어진 Y축 이송장치(52b)와, Y축 이송장치의 가이드블록에 설치되어 상하로 승하강하도록 구성된 Z축 이송장치(53b)로 구성되고, 이 Z축 이송장치에는 마더글라스를 파지하는 마더글라스 홀딩장치(7);가 설치된다. 이때 마더글라스 홀딩장치(7)는 마더글라스를 양측에서 파지하는 그리퍼 방식 또는 상부에서 진공 흡입하는 석션 방식 중 어느 것을 사용해도 된다.

또한 도면에서 미설명 되었으나 본 발명의 장치 구성은 클린룸안에 설치되는 것으로, 이는 고도의 청정도를 요구하는 반도체나 TV 또는 마스크프레임 제조공정에서 일상적으로 이루어지는 환경이므로 구체적인 설명은 생략한다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
(1) : 리니어서보모터 (2) : 수평 이동형 그리퍼 장치
(3) : 프레임 업다운 장치 (4) : 이송레일
(5a) : 제 1 이송장치 (5b) : 제 2 이송장치
(6) : 비전 및 레이저 용접장치 (7) : 마더글라스 홀딩장치
(8) : 마스크 로딩장치 (11) : 가이드 레일
(12) : 가이드블록 (21) : 마스크 그리퍼
(31) : 마더글라스 (51a, 51b) : X축 이송장치
(52a, 52b) : Y축 이송장치 (53a, 53b) : Z축 이송장치
(61) : 낙사조명장치가 설치된 카메라
(62) : 레이저변위센서 및 레이저용접장치
(81) : 분할마스크 (82) : 프레임

Claims (10)

1. 마스크와 마더글라스를 매칭하여 마스크를 프레임에 용접하여 AMOLED소스를 증착하기 위한 마스크프레임어셈블리를 제조하는 방법에 있어서,
   프레임 상부에 위치한 마스크의 상부쪽에 마더글라스를 위치시켜 정렬시킨 후, 프레임에 마스크를 용접하도록 하여 AMOLED 소스 증착시 마더글라스 패턴과 동일한 패턴으로 증착되도록 하며,
   a) 프레임이 위치할 상부쪽에 마더글라스를 로딩하는 단계와;
   b) 마더글라스 상부에 CCD를 로딩후 촬영하여 마더글라스의 형상과 마더글라스에 형성된 패턴에 대한 절대좌표계 정보를 컨트롤러에 저장하는 단계와;
   c) 마더글라스를 언로딩하는 단계와;
   d) 그리퍼에 파지된 프레임을 로딩하는 단계와;
   e) 이송된 프레임의 상부에 위치한 CCD가 프레임을 촬영하여 컨트롤러에 저장된 마더글라스의 절대좌표와 비교하여 프레임을 파지하고 있는 그리퍼의 위치 및 장력을 조절하여 프레임을 정렬(Align)하는 단계와;
   f) 위치가 정렬된 프레임 상부에 그리퍼로 파지하여 마스크를 이송하는 단계와;
   g) 컨트롤러에 저장된 마더글라스 패턴의 절대좌표를 이용하여 CCD가 하부에 위치한 마스크를 촬영하여 마스크를 파지하고 있는 그리퍼의 위치 및 장력을 조절하여 마스크를 정렬(Align)하는 단계와;
   h) 정렬된 마스크를 프레임에 용접하는 단계와;
   i) 이후 용접된 상태를 CCD로 촬영하여 PPA(Pixel Position Accuracy)측정하는 단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크프레임어셈블리 제조 방법.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 이송된 마스크가 분할마스크 일 경우 상기 f) 단계에서 h)단계를 반복하여 마스크프레임어셈블리를 제조하는 것을 특징으로 하는 마스크프레임어셈블리 제조 방법.
   
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 g)단계는 하부에 위치한 마스크의 셀에 형성된 스트라이프 또는 홀의 중심에 대한 가상 중심선을 기준으로 겹쳐진 마더글라스의 패턴이 중심에 오도록 정렬하는 단계로, 이를 위해 마스크를 파지하고 있는 그리퍼를 이동하여 위치를 고정하는 단계와, 이후 마스크를 잡아당겨 장력을 인가하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크프레임어셈블리 제조 방법.
   
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 이송된 마스크의 형상에 변형이 있을 경우,
   이송된 마스크를 CCD로 촬영하는 단계와;
   촬영된 마스크의 형상 정보를 가지고 사전에 컨트롤러에 저장된 변형 마스크 형태에 대한 정형화된 샘플 정보와 매칭되는지 비교하는 단계와;
   매칭된 정보가 있으면 해당 형태에 따른 그리퍼의 이송 및 장력 조절 정보를 가지고 이송된 마스크를 교정하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크프레임어셈블리 제조 방법.
   
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 정형화된 샘플 정보는, "

   

   "와 같은 마스크 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크프레임어셈블리 제조 방법.
   
9. 상부에 탑재된 수평 이동형 그리퍼(2)를 이송시키는 한쌍의 마스크 이송용 리니어서보모터(1)와;
   상기 한쌍의 마스크 이송용 리니어서보모터 상부에 각각 탑재되어 마스크 로딩장치(8)로부터 인계받은 마스크(81)를 파지후 프레임이 설치된 위치까지 수평이동 후 인장력을 가하면서 위치를 정렬하는 복수개의 분할마스크 그리퍼(21)를 구비한 수평 이동형 그리퍼 장치(2)와;
   프레임 공급장치를 통해 이송된 프레임(31)을 업다운 및 고정시키는 프레임 업다운 장치(3)와;
   상기 한쌍의 마스크 이송용 리니어서보모터(1)로부터 상부쪽에 일정거리 이격되어 동일방향으로 각각 설치된 한쌍의 이송레일(4)과;
   상기 한쌍의 이송레일(4) 간을 가로 질러 설치되어, X축 이송장치(51a), Y축 이송장치(52a), Z축 이송장치(53a)를 구비하여 탑재장비를 X축, Y축, Z축 방향으로 이송시키는 제 1 이송장치(5a)와;
   상기 한쌍의 이송레일(4) 간을 가로 질러 설치되되, 상기 제 1 이송장치(5a)가 설치되지 않은 쪽에 위치하고, X축 이송장치(51b), Y축 이송장치(52b), Z축 이송장치(53b)를 구비하여 탑재장비를 X축, Y축, Z축 방향으로 이송시키는 제 2 이송장치(5b)와;
   상기 제 1 이송장치(5a)의 Z축 이송장치(53a)에 설치된, CCD 카메라(61), 레이저변위센서 및 레이저용접장치(62)로 이루어진 비전 및 레이저 용접장치(6)와;
   상기 제 2 이송장치(5b)의 Z축 이송장치(53b)에 설치된, 마더글라스를 파지하는 마더글라스 홀딩장치(7);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마스크프레임어셈블리 제조 장치.
   
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 마더글라스 홀딩장치(7)는 마더글라스를 양측에서 파지하는 그리퍼 방식 또는 상부에서 진공 흡입하는 석션 방식 중 어느 하나의 방식으로 구성된 것을 특징으로 하는 마스크프레임어셈블리 제조 장치.
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

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