JP6461235B2 - 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 - Google Patents
基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6461235B2 JP6461235B2 JP2017101234A JP2017101234A JP6461235B2 JP 6461235 B2 JP6461235 B2 JP 6461235B2 JP 2017101234 A JP2017101234 A JP 2017101234A JP 2017101234 A JP2017101234 A JP 2017101234A JP 6461235 B2 JP6461235 B2 JP 6461235B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- support
- mounting
- moving
- tools
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 416
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 80
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 19
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 48
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 41
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 25
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 25
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 13
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002560 therapeutic procedure Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
Description
基板の周縁を支持する複数の支持具を含む支持手段と、
基板を載置体の上に載置する載置手段と、
を備え、
前記複数の支持具は、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なっていることを特徴とする。
基板の周縁を支持する複数の支持具を含む支持手段と、
前記複数の支持具のうちの少なくとも一部を、その他の支持具とは独立して移動させる支持具移動手段と、
基板を載置体の上に載置する載置手段と、
を備える。
基板の周縁を複数の支持具により支持する支持工程と、
前記基板を載置体の上に載置する載置工程と、
を含み、
前記複数の支持具は、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なっていることを特徴とする。
基板の周縁を複数の支持具で支持する支持工程と、
前記複数の支持具のうちの少なくとも一部を、その他の支持具とは独立して移動させる支持具移動工程と、
基板を載置体の上に載置する載置工程と、
を含む。
本発明の技術は、具体的には、有機電子デバイス(例えば、有機EL表示装置、薄膜太陽電池)、光学部材などの製造装置に適用可能である。なかでも、有機EL表示装置の製造装置は、基板の大型化あるいは表示パネルの高精細化により基板の搬送精度及び基板とマスクのアライメント精度のさらなる向上が要求されているため、本発明の好ましい適用例の一つである。
図1は、電子デバイスの製造装置の構成の一部を模式的に示す上視図である。図1の製造装置は、例えば、スマートフォン用の有機EL表示装置の表示パネルの製造に用いられる。スマートフォン用の表示パネルの場合、例えば約1800mm×約1500mm、厚み約0.5mmのサイズの基板に有機ELの成膜を行った後、該基板をダイシングして複数の小サイズのパネルが作製される。
図2は、成膜装置の構成を模式的に示す断面図である。以下の説明においては、鉛直方向をZ方向とするXYZ直交座標系を用いる。成膜時に基板は水平面(XY平面)と平行となるよう固定されるものとし、このときの基板の短手方向(短辺に平行な方向)をX方向、長手方向(長辺に平行な方向)をY方向とする。またZ軸まわりの回転角をθで表す。
チュエータ251、冷却板Zアクチュエータ252、Xアクチュエータ(不図示)、Yアクチュエータ(不図示)、θアクチュエータ(不図示)が設けられている。これらのアクチュエータは、例えば、モータとボールねじ、モータとリニアガイドなどで構成される。基板Zアクチュエータ250は、基板保持ユニット210の全体を昇降(Z方向移動)させるための駆動手段(基板昇降手段)である。クランプZアクチュエータ251は、基板保持ユニット210の挟持機構(後述)を開閉させるための駆動手段である。冷却板Zアクチュエータ252は、冷却板230を昇降させるための駆動手段である。Xアクチュエータ、Yアクチュエータ、θアクチュエータ(以下まとめて「XYθアクチュエータ」と呼ぶ)は基板10のアライメントのための駆動手段である。XYθアクチュエータは、基板保持ユニット210及び冷却板230の全体を、X方向移動、Y方向移動、θ回転させる。なお、本実施形態では、マスク220を固定した状態で基板10のX,Y,θを調整する構成としたが、マスク220の位置を調整し、又は、基板10とマスク220の両者の位置を調整することで、基板10とマスク220のアライメントを行ってもよい。
図3を参照して基板保持ユニット210の構成を説明する。図3は基板保持ユニット210の斜視図である。
図4(a)〜4(d)は、基板保持ユニット210が基板10を搬送ロボットから受け取ってマスク(載置体)220の上に載置する際における、支持具300による基板10の支持方法を説明する図である。
、支持具402と404の間では、基板10は自重によって下向きに撓む。短辺部におけるその他の支持具の間での基板10の撓みは、支持具402と404の間での撓みよりも小さくなる。
る。位置合わせの際には、基板10(基板保持ユニット210)の位置を調整してもよいし、マスク220の位置を調整してもよいし、基板10とマスク220の両者の位置を調整してもよい。
本実施例では、基板10に対して実施例1とは異なる撓み方を与える。図10(a)〜10(d)は、基板保持ユニット210が基板10を搬送ロボットから受け取ってマスク(載置体)220の上に載置する際における、支持具300による基板10の支持方法を説明する図である。
本実施例では、基板10に対して実施例2と同様の撓み方を与えるが、その方法が異なる。図11(a)〜11(d)は、基板保持ユニット210が基板10を搬送ロボットから受け取ってマスク(載置体)220の上に載置する際における、支持具300による基板10の支持方法を説明する図である。
本実施例では、基板10に対して実施例2,3と同様の異なる撓み方を与えるが、その方法が異なる。図12(a)〜12(d)は、基板保持ユニット210が基板10を搬送ロボットから受け取ってマスク(載置体)220の上に載置する際における、支持具300による基板10の支持方法を説明する図である。
支持具の配置は、基板10に対して一律の撓み方を与えられるような配置である限り、特に限定されない。例えば、一部の支持具間の距離(3次元距離)が他の支持具間の距離と異なるようにすることで、基板10に対して一律の撓み方を与えてもよい。採用可能な支持具の配置を、一部の支持具間での基板10の撓みが、その他の支持具間での撓みよりも大きくなるような配置と特定することもできる。あるいは、採用可能な支持具の配置を、支持具間の間隔が非等間隔な配置と特定することもできる。また、採用可能な支持具の配置を、複数の支持具を均等に配置した場合の仮想的な位置を基準位置としたときに、少なくとも1つの支持具が前記基準位置と異なる位置にあるような配置と特定することもできる。
上記の実施例の説明において、支持具の移動は省略してもかまわない。したがって、基板保持ユニット210は、支持具移動機構304を備えなくてもよい。例えば、実施例1の変形例として、中央の支持具403がその他の支持具よりも低い位置に固定されていてもよい。支持具の間隔が異なれば、基板10を保持したときの撓み方を同一とすることができ、基板10をマスク220に載置する際の載置位置のばらつきを抑制できる。
てもかまわない。あるいは、基板10がマスク体へ載置されている状態で、基板の10のつかみ直し(挟持の解除および再挟持)を行ってもよい。
次に、本実施形態の成膜装置を用いた電子デバイスの製造方法の一例を説明する。以下、電子デバイスの例として有機EL表示装置の構成及び製造方法を例示する。
れた基板63を準備する。
250 基板Zアクチュエータ
300,401〜405 支持具
304 支持具移動機構
Claims (49)
- 基板の周縁を支持する複数の支持具を含む支持手段と、
前記基板を載置体の上に載置する載置手段と、
を備える基板載置装置であって、
前記複数の支持具は、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なっていることを特徴とする基板載置装置。 - 前記複数の支持具は、前記基板の周縁を支持した際に、前記一部の支持具間での前記基板の撓みが、その他の支持具間での前記基板の撓みよりも大きくなるように、配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載の基板載置装置。
- 前記複数の支持具は、前記基板の同一の辺を支持する支持具の間で、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なっている、ことを特徴とする請求項1または2に記載の基板載置装置。
- 前記複数の支持具は、前記基板の少なくとも一辺において、中央の少なくとも1つの支持具がその他の支持具よりも下方向に配置されている、ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の基板載置装置。
- 前記複数の支持具は、前記基板の短辺を支持する支持具の間で、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なっている、ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の基板載置装置。
- 基板の周縁を支持する複数の支持具を含む支持手段と、
前記複数の支持具のうちの少なくとも一部を、その他の支持具とは独立して移動させる支持具移動手段と、
基板を載置体の上に載置する載置手段と、
を備え、
前記支持具移動手段は、一部の支持具間の距離が他の支持具間の距離と異なるように、前記少なくとも一部の支持具を移動させる、ことを特徴とする基板載置装置。 - 前記支持具移動手段は、前記基板を搬送ロボットから受け取る際に、前記少なくとも1つの支持具が前記基板と接触しないように、前記少なくとも1つの支持具を移動させる、ことを特徴とする請求項6に記載の基板載置装置。
- 前記支持具移動手段は、前記基板を搬送ロボットから受け取った後に、前記少なくとも1つの支持具を移動させて前記基板に接触させる、ことを特徴とする請求項7に記載の基板載置装置。
- 基板の周縁を支持する複数の支持具を含む支持手段と、
前記複数の支持具のうちの少なくとも一部を、その他の支持具とは独立して移動させる支持具移動手段と、
基板を載置体の上に載置する載置手段と、
を備え、
前記支持具移動手段は、前記基板を搬送ロボットから受け取る際に、前記少なくとも1つの支持具が前記基板と接触しないように、前記少なくとも1つの支持具を移動させる、ことを特徴とする基板載置装置。 - 前記支持具移動手段は、前記基板を搬送ロボットから受け取った後に、前記少なくとも1つの支持具を移動させて前記基板に接触させる、ことを特徴とする請求項9に記載の基板載置装置。
- 前記支持具移動手段は、一部の支持具間の距離が他の支持具間の距離と異なるように、前記少なくとも一部の支持具を移動させる、ことを特徴とする請求項9または10に記載の基板載置装置。
- 前記支持具移動手段は、前記基板の周縁を支持具により支持した際に、一部の支持具間での前記基板の撓みが、その他の支持具間での前記基板の撓みよりも大きくなるように、前記少なくとも一部の支持具を移動させる、ことを特徴とする請求項6から11のいずれか1項に記載の基板載置装置。
- 前記支持具移動手段は、前記基板の同一の辺を支持する支持具の間で、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なるように、前記少なくとも一部の支持具を移動させる、ことを特徴とする請求項6から12のいずれか1項に記載の基板載置装置。
- 前記支持具移動手段は、前記基板を搬送ロボットから受け取る際に、前記基板の少なくとも一辺における中央の少なくとも1つの支持具が前記基板と接触しないように、前記中央の少なくとも1つの支持具を移動させる、ことを特徴とする請求項6から13のいずれか1項に記載の基板載置装置。
- 前記支持具移動手段は、前記基板を搬送ロボットから受け取った後に、前記中央の少なくとも1つの支持具を移動させて前記基板に接触させる、ことを特徴とする請求項14に記載の基板載置装置。
- 前記支持具移動手段は、前記基板を前記載置体に載置した状態で、前記中央の少なくとも1つの支持具をその他の支持具を同じ高さに移動させる、ことを特徴とする請求項14または15に記載の基板載置装置。
- 前記載置手段は、前記基板を昇降させる基板昇降手段を含む、ことを特徴とする請求項1から16のいずれか1項に記載の基板載置装置。
- 前記載置手段は、前記載置体を昇降させる載置体昇降手段を含む、ことを特徴とする請求項1から17のいずれか1項に記載の基板載置装置。
- 前記基板と前記載置体の相対位置を調整する位置調整手段をさらに備える、ことを特徴とする請求項1から18のいずれか1項に記載の基板載置装置。
- 前記載置体は、前記基板上に所定パターンの成膜を行うために用いられるマスクである、ことを特徴とする請求項1から19のいずれか1項に記載の基板載置装置。
- 請求項1から20のいずれか1項に記載の基板載置装置と、
前記基板に成膜する成膜手段と、
を備える成膜装置。 - 基板の周縁を複数の支持具により支持する支持工程と、
前記基板を載置体の上に載置する載置工程と、
を含む基板載置方法であって、
前記複数の支持具は、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なっていることを特徴とする基板載置方法。 - 前記複数の支持具は、前記基板の周縁を支持した際に、前記一部の支持具間での前記基板の撓みが、その他の支持具間での前記基板の撓みよりも大きくなるように、配置されている、ことを特徴とする請求項22に記載の基板載置方法。
- 前記複数の支持具は、前記基板の同一の辺を支持する支持具の間で、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なっている、ことを特徴とする請求項22または23に記載の基板載置方法。
- 前記複数の支持具は、前記基板の少なくとも一辺において、中央の少なくとも1つの支持具がその他の支持具よりも下方向に配置されている、ことを特徴とする請求項22から24のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 前記複数の支持具は、前記基板の短辺を支持する支持具の間で、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なっている、ことを特徴とする請求項22から25のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 基板の周縁を複数の支持具で支持する支持工程と、
前記複数の支持具のうちの少なくとも一部を、その他の支持具とは独立して移動させる支持具移動工程と、
基板を載置体の上に載置する載置工程と、
を含み、
前記支持具移動工程では、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なるように、前記少なくとも一部の支持具を移動させる、ことを特徴とする基板載置方法。 - 前記支持具移動工程は、前記基板を搬送ロボットから受け取る際に、前記少なくとも1つの支持具が前記基板と接触しないように、前記少なくとも1つの支持具を移動させる工程を含む、ことを特徴とする請求項27に記載の基板載置方法。
- 前記支持具移動工程は、前記基板を搬送ロボットから受け取った後に、前記少なくとも1つの支持具を移動させて前記基板に接触させる工程を含む、ことを特徴とする請求項2
8に記載の基板載置方法。 - 基板の周縁を複数の支持具で支持する支持工程と、
前記複数の支持具のうちの少なくとも一部を、その他の支持具とは独立して移動させる支持具移動工程と、
基板を載置体の上に載置する載置工程と、
を含み、
前記支持具移動工程は、前記基板を搬送ロボットから受け取る際に、前記少なくとも1つの支持具が前記基板と接触しないように、前記少なくとも1つの支持具を移動させる工程を含む、ことを特徴とする基板載置方法。 - 前記支持具移動工程は、前記基板を搬送ロボットから受け取った後に、前記少なくとも1つの支持具を移動させて前記基板に接触させる工程を含む、ことを特徴とする請求項30に記載の基板載置方法。
- 前記支持具移動工程では、一部の支持具間の距離が他の支持具間の距離と異なるように、前記少なくとも一部の支持具を移動させる、ことを特徴とする請求項30または31に記載の基板載置方法。
- 前記支持具移動工程では、前記基板の周縁を支持具により支持した際に、一部の支持具間での前記基板の撓みが、その他の支持具間での前記基板の撓みよりも大きくなるように、前記少なくとも一部の支持具を移動させる、ことを特徴とする請求項27から32のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 前記支持具移動工程では、前記基板の同一の辺を支持する支持具の間で、一部の支持具間の距離が、他の支持具間の距離と異なるように、前記少なくとも一部の支持具を移動させる、ことを特徴とする請求項27から33のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 前記支持具移動工程は、前記載置工程の前、前記載置工程の後、または、前記載置工程の前と後に行われる、請求項27から34のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 前記支持具移動工程は、
前記少なくとも一部の支持具を、前記基板と接触しない位置まで移動させる第一工程と、
前記少なくとも一部の支持具を、前記基板と接触する位置まで移動させる第二工程と、
を含む、請求項27から35のいずれか1項に記載の基板載置方法。 - 前記支持具移動工程は、前記基板を搬送ロボットから受け取る際に、前記基板の少なくとも一辺における中央の少なくとも1つの支持具が前記基板と接触しないように、前記中央の少なくとも1つの支持具を移動させる工程を含む、ことを特徴とする請求項27から36のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 前記支持具移動工程は、前記基板を搬送ロボットから受け取った後に、前記中央の少なくとも1つの支持具を移動させて前記基板に接触させる工程を含む、ことを特徴とする請求項37に記載の基板載置方法。
- 前記支持具移動工程は、前記基板を前記載置体に載置した状態で、前記中央の少なくとも1つの支持具をその他の支持具を同じ高さに移動させる工程を含む、ことを特徴とする請求項37または38に記載の基板載置方法。
- 前記載置工程では、前記基板を昇降させる、ことを特徴とする請求項22から39のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 前記載置工程では、前記載置体を昇降させる、ことを特徴とする請求項22から40のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 前記載置工程の前に、前記載置体の表面に平行な方向における、前記基板と前記載置体との相対位置を調整する第1の位置調整工程をさらに含む、ことを特徴とする請求項22から41のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 前記載置工程の後に、前記載置体の表面に平行な方向における、前記基板と前記載置体との相対位置を調整する第2の位置調整工程をさらに含む、ことを特徴とする請求項22から42のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 前記第2の位置調整工程は、
前記基板が前記載置体に載置された状態で前記基板と前記載置体との相対的なズレを計測する工程と、
前記基板を前記載置体から離間する工程と、
計測された前記相対的なズレに基づき、前記載置体の表面に平行な方向における、前記基板と前記載置体との相対位置を調整する工程と、
を含むことを特徴とする請求項43に記載の基板載置方法。 - 前記載置体は、前記基板上に所定パターンの成膜を行うために用いられるマスクである、ことを特徴とする請求項22から44のいずれか1項に記載の基板載置方法。
- 基板上に所定パターンの成膜を行う成膜方法であって、
請求項22から45のいずれか1項に記載の基板載置方法により、前記基板を前記載置体の上に載置する工程と、
前記基板に成膜する成膜工程と、
を含む成膜方法。 - 基板上に形成された有機膜を有する電子デバイスの製造方法であって、
請求項46に記載の成膜方法により前記有機膜が形成されることを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 基板上に形成された金属膜を有する電子デバイスの製造方法であって、
請求項46に記載の成膜方法により前記金属膜が形成されることを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 前記電子デバイスが、有機EL表示装置の表示パネルであることを特徴とする請求項47または48に記載の電子デバイスの製造方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017101234A JP6461235B2 (ja) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
KR1020170178995A KR101975123B1 (ko) | 2017-05-22 | 2017-12-26 | 기판 재치 장치, 성막 장치, 기판 재치 방법, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
CN201810485128.XA CN108517505B (zh) | 2017-05-22 | 2018-05-21 | 基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法 |
CN202010369462.6A CN111485216A (zh) | 2017-05-22 | 2018-05-21 | 基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法 |
CN202010361030.0A CN111519158B (zh) | 2017-05-22 | 2018-05-21 | 基板载置装置、成膜装置、基板载置方法、成膜方法和电子器件的制造方法 |
KR1020190047613A KR102241187B1 (ko) | 2017-05-22 | 2019-04-24 | 기판 지지 장치, 기판 재치 장치, 성막 장치, 기판 지지 방법, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
KR1020210046413A KR20210042297A (ko) | 2017-05-22 | 2021-04-09 | 기판 지지 장치, 기판 재치 장치, 성막 장치, 기판 지지 방법, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017101234A JP6461235B2 (ja) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018241707A Division JP6821641B2 (ja) | 2018-12-25 | 2018-12-25 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018197361A JP2018197361A (ja) | 2018-12-13 |
JP6461235B2 true JP6461235B2 (ja) | 2019-01-30 |
Family
ID=63427333
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017101234A Active JP6461235B2 (ja) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6461235B2 (ja) |
KR (3) | KR101975123B1 (ja) |
CN (3) | CN111519158B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10916464B1 (en) | 2019-07-26 | 2021-02-09 | Applied Materials, Inc. | Method of pre aligning carrier, wafer and carrier-wafer combination for throughput efficiency |
US11189516B2 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-30 | Applied Materials, Inc. | Method for mask and substrate alignment |
US11414740B2 (en) | 2019-06-10 | 2022-08-16 | Applied Materials, Inc. | Processing system for forming layers |
US11538706B2 (en) | 2019-05-24 | 2022-12-27 | Applied Materials, Inc. | System and method for aligning a mask with a substrate |
US11631813B2 (en) | 2019-03-15 | 2023-04-18 | Applied Materials, Inc. | Deposition mask and methods of manufacturing and using a deposition mask |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102411995B1 (ko) * | 2018-09-21 | 2022-06-21 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 정전척 시스템, 성막장치, 흡착 및 분리방법, 성막방법 및 전자 디바이스의 제조방법 |
JP7269000B2 (ja) * | 2018-12-26 | 2023-05-08 | キヤノントッキ株式会社 | 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機elパネルの製造システム |
KR102133900B1 (ko) * | 2018-12-27 | 2020-07-15 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 얼라인먼트 시스템, 성막 장치, 성막 방법, 및 전자 디바이스 제조방법 |
JP7290988B2 (ja) * | 2019-04-26 | 2023-06-14 | キヤノントッキ株式会社 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法および電子デバイスの製造方法 |
JP7244411B2 (ja) * | 2019-12-25 | 2023-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP7113861B2 (ja) * | 2020-03-13 | 2022-08-05 | キヤノントッキ株式会社 | マスク取付装置、成膜装置、マスク取付方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 |
JP7106608B2 (ja) * | 2020-08-26 | 2022-07-26 | キヤノントッキ株式会社 | マーク検出装置、アライメント装置、成膜装置、マーク検出方法、および、成膜方法 |
JP2024035289A (ja) * | 2022-09-02 | 2024-03-14 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜装置の駆動方法、及び成膜方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4084393B2 (ja) * | 2000-01-31 | 2008-04-30 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 部品実装装置および部品実装方法 |
CN1723741B (zh) * | 2002-12-12 | 2012-09-05 | 株式会社半导体能源研究所 | 发光装置、制造装置、成膜方法及清洁方法 |
JP2006321575A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ディスプレイパネルの製造装置および製造方法 |
JP2006344675A (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板の位置決め方法及び装置 |
KR20070046375A (ko) * | 2005-10-31 | 2007-05-03 | 주성엔지니어링(주) | 기판과 마스크 정렬 장치 및 정렬 방법 |
JP4773834B2 (ja) * | 2006-02-03 | 2011-09-14 | キヤノン株式会社 | マスク成膜方法およびマスク成膜装置 |
JP4795899B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2011-10-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置機構および基板受け渡し方法 |
WO2008139876A1 (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Ulvac, Inc. | 位置合わせ装置、成膜装置 |
KR101517020B1 (ko) | 2008-05-15 | 2015-05-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기전계발광표시장치의 제조장치 및 제조방법 |
WO2010106958A1 (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-23 | 株式会社アルバック | 位置合わせ方法、蒸着方法 |
JP2011100917A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Nikon Corp | 基板受け渡し装置、露光装置、デバイス製造方法、及び基板受け渡し方法 |
JP5539154B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2014-07-02 | キヤノン株式会社 | アライメント方法、アライメント装置、及び有機el素子製造装置 |
JP2012140671A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Canon Tokki Corp | 成膜装置 |
WO2013065429A1 (ja) * | 2011-11-04 | 2013-05-10 | 株式会社ニコン | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
JP2013161946A (ja) * | 2012-02-06 | 2013-08-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
KR101898064B1 (ko) * | 2012-08-10 | 2018-09-13 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판이송모듈 |
KR101407421B1 (ko) * | 2013-05-01 | 2014-06-17 | 주식회사 에스에프에이 | 기판 증착 시스템 |
KR102039416B1 (ko) * | 2013-05-16 | 2019-11-04 | 주식회사 선익시스템 | 기판 합탈착 장치 |
KR101479943B1 (ko) * | 2013-10-29 | 2015-01-12 | 주식회사 에스에프에이 | 기판과 마스크의 얼라인 시스템 및 얼라인 방법 |
KR20150092421A (ko) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 정렬장치 및 기판 정렬방법 |
JP6308877B2 (ja) * | 2014-06-06 | 2018-04-11 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置 |
JP2016167378A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | パイオニア株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP6276816B2 (ja) * | 2015-10-01 | 2018-02-07 | キヤノントッキ株式会社 | 基板引張装置、成膜装置、膜の製造方法及び有機電子デバイスの製造方法 |
-
2017
- 2017-05-22 JP JP2017101234A patent/JP6461235B2/ja active Active
- 2017-12-26 KR KR1020170178995A patent/KR101975123B1/ko active IP Right Grant
-
2018
- 2018-05-21 CN CN202010361030.0A patent/CN111519158B/zh active Active
- 2018-05-21 CN CN201810485128.XA patent/CN108517505B/zh active Active
- 2018-05-21 CN CN202010369462.6A patent/CN111485216A/zh active Pending
-
2019
- 2019-04-24 KR KR1020190047613A patent/KR102241187B1/ko active IP Right Grant
-
2021
- 2021-04-09 KR KR1020210046413A patent/KR20210042297A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11631813B2 (en) | 2019-03-15 | 2023-04-18 | Applied Materials, Inc. | Deposition mask and methods of manufacturing and using a deposition mask |
US11189516B2 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-30 | Applied Materials, Inc. | Method for mask and substrate alignment |
US11538706B2 (en) | 2019-05-24 | 2022-12-27 | Applied Materials, Inc. | System and method for aligning a mask with a substrate |
US11414740B2 (en) | 2019-06-10 | 2022-08-16 | Applied Materials, Inc. | Processing system for forming layers |
US10916464B1 (en) | 2019-07-26 | 2021-02-09 | Applied Materials, Inc. | Method of pre aligning carrier, wafer and carrier-wafer combination for throughput efficiency |
US11183411B2 (en) | 2019-07-26 | 2021-11-23 | Applied Materials, Inc. | Method of pre aligning carrier, wafer and carrier-wafer combination for throughput efficiency |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101975123B1 (ko) | 2019-05-03 |
CN111519158A (zh) | 2020-08-11 |
CN111485216A (zh) | 2020-08-04 |
KR102241187B1 (ko) | 2021-04-15 |
KR20190050939A (ko) | 2019-05-14 |
KR20210042297A (ko) | 2021-04-19 |
CN108517505A (zh) | 2018-09-11 |
CN111519158B (zh) | 2023-03-28 |
CN108517505B (zh) | 2020-06-02 |
KR20180127897A (ko) | 2018-11-30 |
JP2018197361A (ja) | 2018-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6461235B2 (ja) | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | |
JP6999769B2 (ja) | 成膜装置、制御方法、及び電子デバイスの製造方法 | |
JP6611389B2 (ja) | アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | |
JP6393802B1 (ja) | 基板載置装置、基板載置方法、成膜装置、成膜方法、アライメント装置、アライメント方法、および、電子デバイスの製造方法 | |
JP6724086B2 (ja) | アライメント方法、アライメント装置、これを含む真空蒸着方法及び真空蒸着装置 | |
JP6448067B2 (ja) | 基板載置方法、基板載置機構、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | |
JP6351918B2 (ja) | 基板載置方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 | |
JP7247013B2 (ja) | アライメント方法、これを用いた蒸着方法及び電子デバイスの製造方法 | |
JP6468540B2 (ja) | 基板搬送機構、基板載置機構、成膜装置及びそれらの方法 | |
JP7244401B2 (ja) | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | |
JP7296303B2 (ja) | アライメントシステム、成膜装置、成膜方法、電子デバイスの製造方法、および、アライメント装置 | |
JP7202329B2 (ja) | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 | |
JP6821641B2 (ja) | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | |
JP7440356B2 (ja) | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 | |
JP7438865B2 (ja) | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 | |
JP2021073373A (ja) | 基板載置方法、電子デバイスの製造方法、基板保持装置、及び電子デバイスの製造方法 | |
WO2024034236A1 (ja) | アライメント装置、成膜装置、制御方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 | |
JP2022083681A (ja) | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181101 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6461235 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |