JP7269000B2 - 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機elパネルの製造システム - Google Patents
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Description
本実施例のアライメントを行う構成は、上述の主に図1~図8、図10(a)、(b)、(c)~図14(a)、(b)、(c)で説明したものと同じである。また、成膜システム全体は、図15に示した構成であるものとする。本実施例のアライメントで用いた基板1は、1500mm×925mm×厚さ0.5mmのガラス基板である。通常の生産においては基板1には有機ELディスプレイ用のTFTが形成されているが、本実施例においてはアライメント動作を検証すべく、アライメントマークと各電極パターンのみが無アルカリガラス状に形成された基板を用いた。
以下では、実施例1におけるアライメント動作を行った後の成膜動作を詳細に説明する。
Claims (16)
- 基板の第1辺に沿って基板を支持する、上下動可能な第1基板支持部と、
前記第1辺と対向する第2辺に沿って前記基板を支持する、上下動可能な第2基板支持部と、
前記基板の、前記第1辺および前記第2辺と交差する第3辺および第4辺を、前記基板の前記第1辺および前記第2辺の中間で支持する、第3基板支持部と、
前記基板を前記第1基板支持部に向かって押圧可能な第1押圧部と、
前記基板を前記第2基板支持部に向かって押圧可能な第2押圧部と、
前記基板を前記第3基板支持部に向かって押圧可能な第3押圧部と、
を用いて前記基板を移動させ、前記基板をマスクの上に載置する基板載置方法であって、
前記第1基板支持部と前記第2基板支持部とで前記基板を支持し、前記基板をその自重によって下方に凸なU字形状に撓んだ湾曲姿勢を形成する姿勢制御工程と、
前記U字形状の底部において、前記基板の前記第3基板支持部の側に設けられた基板のアライメントマークと前記マスクの前記第3基板支持部の側に設けられたマスクのアライメントマークとが共に撮像装置の被写界深度に含まれる状態を形成するように、前記基板を前記第3基板支持部および前記第3押圧部とによって保持し、かつ、前記第1基板支持部および前記第1押圧部と前記第2基板支持部および前記第2押圧部とによって前記基板の前記第1辺と前記第2辺とを保持し、前記湾曲姿勢を保って前記第1基板支持部、前記第2基板支持部および前記第3基板支持部を前記マスクに向かって下降させる基板下降工程と、
前記基板のアライメントマークと前記マスクのアライメントマークとを前記撮像装置により撮像して前記基板と前記マスクの相対位置情報を取得し、前記基板と前記マスクの位置ずれ量を計測する計測工程と、
前記計測工程で計測した前記位置ずれ量が所定のしきい値を超える場合、前記計測工程で取得した相対位置情報に基づき、前記基板と前記マスクの位置ずれ量が減少するように前記第1基板支持部、前記第2基板支持部および前記第3基板支持部によって前記基板を移動させるアライメント工程と、
前記計測工程で計測した前記位置ずれ量が所定のしきい値以下の場合、前記第1基板支持部、前記第2基板支持部および前記第3基板支持部により前記基板を前記マスクに向かって下降させ、前記基板を前記マスクに載置する載置工程と、を含み、
前記載置工程において、前記U字形状の底部の領域が前記基板と前記マスクとが接触する前に、前記第3基板支持部と前記第3押圧部とによる前記基板の押圧を解除する基板載置方法。 - 請求項1に記載の基板載置方法において、前記載置工程において、前記U字形状の底部の領域が前記基板と前記マスクとが接触する前に、前記第3基板支持部と前記第3押圧部とが前記基板を押圧する位置から退避可能に構成されている基板載置方法。
- 請求項1または2に記載の基板載置方法において、前記撮像装置により撮像される前記基板の撮像範囲が高低差1mm以内の範囲の部位を含む基板載置方法。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の基板載置方法において、前記基板のアライメントマークが、前記基板の前記第3辺および前記第4辺に沿ってそれぞれ配置された第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークを含み、前記第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークが、前記第1辺と前記第2辺との中心線に沿って配置される基板載置方法。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の基板載置方法において、前記基板のアライメントマークが、前記基板の前記第3辺および前記第4辺に沿ってそれぞれ配置された第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークを含み、前記第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークが、前記第1辺と前記第2辺との中心線の、前記第1辺の側と、前記第2辺の側と、にそれぞれ配置される基板載置方法。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載の基板載置方法において、前記撮像装置が、前記第3基板支持部の上方に配置されている基板載置方法。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載の基板載置方法において、前記載置工程の後、前記撮像装置、あるいはさらに前記基板の上部の他の部位に配置された他の撮像装置を用いて、前記基板と前記マスクとを撮像して取得した前記基板と前記マスクの相対位置情報に基づき、前記基板と前記マスクの位置ずれ量を取得し、計測した前記位置ずれ量が所定のしきい値を超える場合、前記第1基板支持部および前記第1押圧部と、前記第2基板支持部および前記第2押圧部と、を前記基板を押圧した状態で上昇させて前記基板を前記湾曲姿勢に移行させた後、前記第3押圧部で前記基板を押圧して、前記計測工程、前記アライメント工程、および前記載置工程を実行する基板載置方法。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載の基板載置方法により前記基板を前記マスクに載置した後、前記基板に成膜材料を付着させる成膜工程を含む成膜方法。
- 基板の第1辺に沿って基板を支持する、上下動可能な第1基板支持部と、前記第1辺と対向する第2辺に沿って前記基板を支持する、上下動可能な第2基板支持部と、前記基板の、前記第1辺および前記第2辺と交差する第3辺および第4辺を、前記基板の前記第1辺および前記第2辺の中間で支持する、第3基板支持部と、前記基板を前記第1基板支持部に向かって押圧可能な第1押圧部と、前記基板を前記第2基板支持部に向かって押圧可能な第2押圧部と、前記基板を前記第3基板支持部に向かって押圧可能な第3押圧部と、マスクと、撮像装置と、成膜源と、制御部と、を備え、
前記制御部が、
前記第1基板支持部と前記第2基板支持部とで前記基板を支持し、前記基板をその自重によって下方に凸なU字形状に撓んだ湾曲姿勢を形成する姿勢制御工程と、
前記U字形状の底部において、前記基板の前記第3基板支持部の側に設けられた基板のアライメントマークと前記マスクの前記第3基板支持部の側に設けられたマスクのアライメントマークとが共に撮像装置の被写界深度に含まれる状態を形成するように、前記基板を前記第3基板支持部および前記第3押圧部とによって保持し、かつ、前記第1基板支持部および前記第1押圧部と前記第2基板支持部および前記第2押圧部とによって前記基板の前記第1辺と前記第2辺とを保持し、前記湾曲姿勢を保って前記第1基板支持部、前記第2基板支持部および前記第3基板支持部を前記マスクに向かって下降させる基板下降工程と、
前記基板のアライメントマークと前記マスクのアライメントマークとを前記撮像装置により撮像して前記基板と前記マスクの相対位置情報を取得し、前記基板と前記マスクの位置ずれ量を計測する計測工程と、
前記計測工程で計測した前記位置ずれ量が所定のしきい値を超える場合、前記計測工程で取得した相対位置情報に基づき、前記基板と前記マスクの位置ずれ量が減少するように前記第1基板支持部、前記第2基板支持部および前記第3基板支持部によって前記基板を移動させるアライメント工程と、
前記計測工程で計測した前記位置ずれ量が所定のしきい値以下の場合、前記第1基板支持部、前記第2基板支持部および前記第3基板支持部により前記基板を前記マスクに向かって下降させ、前記基板を前記マスクに載置する載置工程と、
前記載置工程の後、前記成膜源から前記基板に成膜材料を付着させて成膜する成膜工程と、を実行し、
前記載置工程において、前記U字形状の底部の領域が前記基板と前記マスクとが接触する前に、前記第3基板支持部と前記第3押圧部とによる前記基板の押圧を解除する成膜装置。 - 請求項9に記載の成膜装置において、前記載置工程において、前記U字形状の底部の領域が前記基板と前記マスクとが接触する前に、前記第3基板支持部と前記第3押圧部とが前記基板を押圧する位置から退避可能に構成されている成膜装置。
- 請求項9または10に記載の成膜装置において、前記撮像装置により撮像される前記基板の撮像範囲が高低差1mm以内の範囲の部位を含む成膜装置。
- 請求項9から11のいずれか1項に記載の成膜装置において、前記基板のアライメントマークが、前記基板の前記第3辺および前記第4辺に沿ってそれぞれ配置された第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークを含み、前記第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークが、前記第1辺と前記第2辺との中心線に沿って配置される成膜装置。
- 請求項9から11のいずれか1項に記載の成膜装置において、前記基板のアライメントマークが、前記基板の前記第3辺および前記第4辺に沿ってそれぞれ配置された第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークを含み、前記第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークが、前記第1辺と前記第2辺との中心線の、前記第1辺の側と、前記第2辺の側と、にそれぞれ配置される成膜装置。
- 請求項9から13のいずれか1項に記載の成膜装置において、前記撮像装置が、前記第3基板支持部の上方に配置されている成膜装置。
- 請求項9から14のいずれか1項に記載の成膜装置において、前記載置工程の後、前記撮像装置、あるいはさらに前記基板の上部の他の部位に配置された他の撮像装置を用いて、前記基板と前記マスクとを撮像して取得した前記基板と前記マスクの相対位置情報に基づき、前記基板と前記マスクの位置ずれ量を取得し、計測した前記位置ずれ量が所定のしきい値を超える場合、前記第1基板支持部および前記第1押圧部と、前記第2基板支持部および前記第2押圧部と、を前記基板を押圧した状態で上昇させて前記基板を前記湾曲姿勢に移行させた後、前記第3押圧部で前記基板を押圧して、前記計測工程、前記アライメント工程、および前記載置工程を実行する成膜装置。
- 請求項9から15のいずれか1項に記載の成膜装置を複数、備え、少なくとも1つの前記成膜装置が前記成膜工程において前記成膜源から前記基板に有機材料を蒸着する有機ELパネルの製造システム。
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Citations (2)
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