KR102209482B1 - 텐션마스크 프레임 어셈블리의 제조장치에 장착된 업룩 리뷰카메라의 초점 높이 조절을 위한 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용한 업룩 리뷰카메라의 초점 위치 조절방법 - Google Patents

텐션마스크 프레임 어셈블리의 제조장치에 장착된 업룩 리뷰카메라의 초점 높이 조절을 위한 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용한 업룩 리뷰카메라의 초점 위치 조절방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에서, 업룩 리뷰카메라의 초점 높이를 보정시와 마스크 프레임 제작시의 초점 높이를 일치시켜 업룩 리뷰카메라의 초점 높이차에 따른 마스크 홀 위치의 측정오차를 줄이는 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용하는 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치, 및 상기 퀄츠 윈도우를 이용하여 업룩 리뷰카메라의 초점 위치를 보정하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명은, 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치에서 업룩 리뷰카메라의 위치 좌표값을 보정판을 이용하여 보정하되, 상기 보정판을 이용함으로써 생기는, 보정시와 텐션 마스크 프레임의 제조시의 업룩 리뷰카메라의 초점 위치의 차이를 해소하기 위해, 업룩 리뷰카메라에 장착되는 퀄츠 윈도우를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 퀄츠 윈도우는 보정시에는 업룩 리뷰카메라에 장착되지 않으며, 텐션 마스크 프레임의 제조시에만 업룩 리뷰카메라에 장착된다. 퀄츠 윈도우는, 퀄츠판으로 이루어지되, 두께가 상기 보정판의 보정패턴 표시 퀄츠판과 동일한 두께이다.
본 발명은 보정시 업룩 리뷰카메라의 초점위치와 프레임 마스크 제작시 업룩 리뷰카메라의 초점위치를 일치시켜 마스크 홀의 위치를 측정하는데 z축에 의해 발생하는 위치 오차를 줄이게 하며, 이에 따라. 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조업계 요구수준인 ±1um 이내 마스크 홀의 측정오차를 만족할 수 있다.

Description

텐션마스크 프레임 어셈블리의 제조장치에 장착된 업룩 리뷰카메라의 초점 높이 조절을 위한 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용한 업룩 리뷰카메라의 초점 위치 조절방법{A quartz window for adjusting the focus height of the uplook review camera mounted on tension mask assembly manufacture equipments, and the method adjusting the focus height}
본 발명은 디스플레이장치, 반도체장치 등의 제조공정에 사용되는 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리를 제조하는 장치에서 마스크 홀의 위치를 측정하는 비젼 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 장치들 중에 유기발광표시장치(OLED; Organic Light Emitting Diode)는 시야각이 넓고, 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다.
OLED는 양극과 음극에서 주입된 정공과 전자가 내부의 유기 발광층에서 만나 재결합되면서 가시광선 영역의 빛을 발하여 인간에게 필요한 정보를 표시하는 디스플레이 소자를 말한다. 자발광 소자인 OLED는 액정표시장치(LCD; Liquid Crystal Display)와 달리 백라이트 장치(BLU; Backlight Unit)가 필요 없고 구조가 간단하여 두께가 얇고 매우 가볍다. 또한, LCD에 비해 빠른 응답 속도와 넓은 시야각을 가져, 모든 각도에서 높은 명암비와 화질을 구현할 수 있다. 게다가 전체 패널의 광투과율도 LCD의 3배 수준인 23%에 달하고 유연한 기판에도 적용 가능하여 투명 디스플레이와 플렉시블 디스플레이를 구현하는데도 최적이다. 이러한 장점들을 바탕으로 OLED는 LCD 이후의 디스플레이 산업을 석권할 차세대 기술로써 큰 각광을 받고 있다. 반면 OLED는 유기물이 주요한 구성물로 사용되기 때문에 수분과 산소에 취약하여 근본적으로 수명이 짧고, 현재는 LCD에 비해 가격이 비싸며 고해상도와 대면적화에 어려움이 있다.
OLED의 전극들과, 발광층을 포함한 중간층은 여러 가지 방법에 의하여 형성시킬 수 있는데, 이중 하나의 방법은 증착법이다. 증착법을 이용하여 OLED를 제조하기 위해서는 기판상에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask, FMM)를 정렬하고, 박막의 원소재를 증착하여 소망하는 패턴의 박막을 형성하게 된다.
이러한 파인 메탈 마스크가 대면적화되면 패턴 형성을 위한 에칭 오차도 커지므로 최근에는 마스크를 여러 개의 스틱(stick) 형상으로 만든 후 프레임에 붙여서 사용하는 분할 마스크 타입의 프레임 조립체가 선호되는 추세에 있다. 이 분할 마스크를 사용하면 전체 마스크 프레임 조립체 중 일부 분할 마스크에 문제가 생길 경우 그 해당 분할 마스크만 교체하면 된다는 장점도 있다.
도 1은 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 1로, 분할 마스크를 프레임에 조립되는 종래의 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치(10)를 나타낸다.
일반적으로 종래의 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치(10)는 분할 마스크(11)를 인장하는 클램프(13), 분할 마스크(11) 내의 홀의 위치를 측정하는 리뷰카메라(14), 프레임(12)에 분할 마스크(11)를 용접하기 위한 레이저용접기(15)로 구성되어 진다. 도 1에서와 같이, 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치(10)는 중앙에 놓여 있는 사각틀 형상의 프레임(12)을 중심으로 마주보는 한 쌍의 y축 레일(22), y축 레일(22)을 따라 이동하도록 y축 레일(22)에 장착된 한 쌍의 y슬라이더(24), 한 쌍의 슬라이더(24)에 걸쳐 배치되는 x축 레일(26), x축레일(26)을 따라 이동하도록 x축 레일(26)에 장착된 x슬라이더(28)를 포함한다. 리뷰카메라(14) 및 레이저용접기(15)는 x슬라이더(28)에 고정되어 x축 레일을 따라 이동한다. 결과적으로 리뷰카메라(14)는 x축과 y축을 따라 이동하면서 프레임(12)에 장착된 분할마스크(11)의 홀을 촬영할 수 있다.
스마트폰용 OLED의 생산성을 높이기 위해서는 증착용 글래스 사이즈가 큰 것이 좋다. 증착용 글래스 사이즈가 커짐에 따라 프레임(12)의 사이즈가 증가한다. 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치(10)는 6세대(GH) 크기 이상의 글래스에 증착하기 위해 다수의 분할마스크(11)가 장력을 부여된 상태로 부착된 큰 사이즈의 프레임(12)에 용접한다. 이때, x축레일(26), x슬라이더(28), 리뷰카메라(14), 레이저 용접기(15) 등으로 이루어진 x슬라이더 어셈블리의 길이는 예를 들면 3,275mm, 하중은 약 295Kg의 무게이다.
텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에서 x축레일의 중력변형을 보면, 도 2에서와 같이, 295Kg의 하중이 x축레일(26)에 가해질 때 중력에 의해 x축레일(26)은 중심에서 아래 방향으로 20.38um 처지게 된다. 이 경우에 리뷰카메라(14)는 촬영의 중심 위치가 이동하게 되어 분할마스크(11)의 홀 위치가 이동하는 에러가 발생하게 된다.
이러한 하향 측정 방식을 사용하는 종래의 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치(10)는 6GH 이상의 크기를 가진 텐션마스크 프레임 어셈블리를 제작할 때 업계 요구수준인 ±1um 이내 마스크 홀의 측정오차를 만족할 수 없다.
또한, x슬라이더(28)는 에어베어링으로 일정한 갭을 유지할 수 있어야 x축레일(26)을 따라 이동하는 속도를 최대인 200mm/sec로 구동할 수 있다. 그러나 x슬라이더(28)는 x축레일(26)의 중력변형에 의해 일정한 갭을 유지하기 어려워 최대 속도를 내기 어렵기 때문에, 측정속도 및 용접속도 저하에 따른 생산성이 저하되는 문제가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, 텐션마스크의 홀 측정 오차를 줄이고 측정 속도의 저하를 방지할 수 있도록 업룩 리뷰 카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치를 사용할 수 있다.
도 3은 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 3으로, 분할 마스크를 프레임에 조립하는 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치를 나타낸다.
텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치(100)는 업룩 리뷰 카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치는 베이스(110)와, 베이스(110)의 상면으로부터 이격된 높이의 위치에 텐션마스크 프레임 어셈블리를 지지하는 프레임지지부(120)와, 프레임지지부(120)의 상부에서 텐션마스크를 상기 프레임의 장변에 용접하는 용접기, 상기 용접기를 지지하는 용접슬라이더 및 상기 용접슬라이더를 프레임의 장변 방향을 따라 안내하는 용접레일을 가진 용접부(130)와, 프레임지지부(120)의 하부에서 텐션마스크의 홀을 촬영하는 카메라, 상기 카메라를 지지하는 촬영 슬라이더, 및 상기 촬영 슬라이더를 프레임의 종축 및 횡축 방향을 따라 안내하는 카메라 레일을 가진 촬영부(140)로 구성된다.
또한 상기 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치는, 상기 종축 및 횡축 방향을 따라 안내하는 카메라 레일에서 촬영부의 위치 좌표값을 보정하기 위한 보정판이 필요하다.
일반적으로, 보정판은 상면에 일정한 거리에 동일한 크기 및 형태를 가진 패턴(이하 ‘보정패턴’이라 칭하겠다)이 새겨져 있다.
그런데, 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치내 온도변화에 따라 촬영부(140)의 위치 좌표값의 오차가 생길 수 있다. 이를 위해, 보정판의 재질로 퀄츠(quartz, 석영)를 사용하여 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치내 온도변화에 따른 상기 촬영부의 위치 좌표값의 오차를 줄일 수 있다.
일반적으로, 텐션마스크 프레임 어셈블리의 제조장치에서 촬영부(업룩 리뷰카메라)의 위치 좌표값을 보정하기 위해, 보정판을 고정해야 하며, 이때 보정판을 하우징 케이스에 올려놓고 전체를 완전하게 고정시키지 않고 일부만을 고정시키며, 이렇게 고정된 보정판을 뒤집는 것이 어렵다.
그런데 업룩 리뷰 카메라를 사용하여 아래에서 위로 보도록 이루어지되, 퀄츠를 통과하여 보정패턴을 보게 된다. 이경우에 업룩 카메라의 초점위치가 퀄츠 두께에 의해 이동하게 된다. 이 때문에 마스크 프레임 제작시에 마스크의 홀의 위치를 측정하기 위한 업룩 리뷰카메라의 초점 높이가 보정시와 마스크 프레임 제작시와 다르게 된다. 보정은 업룩카메라의 초점이 맺히는 높이별로 차이가 나기 때문에, 보정시 업룩 리뷰카메라의 초점 위치와 마스크 프레임 제작시 업룩 리뷰카메라의 초점 높이를 일치시킬 필요가 있다.
따라서 업룩 리뷰카메라의 초점위치를 일치시키기 위해, 업룩 카메라 렌즈위에 보정판의 퀄츠와 동일한 두께의 퀄츠판(즉, 퀄츠 윈도우)을 장착하여 일치시키는 퀄츠 윈도우가 장착된 업룩 리뷰카메라가 요망된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에서, 업룩 리뷰카메라의 초점 높이를 보정시와 마스크 프레임 제작시의 초점 높이를 일치시켜 업룩 리뷰카메라의 초점 높이차에 따른 마스크 홀 위치의 측정오차를 줄이는 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용하는 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치, 및 상기 퀄츠 윈도우를 이용하여 업룩 리뷰카메라의 초점 위치를 보정하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 보정판의 퀄츠 두께와 동일한 두께로 이루어진 퀄츠 윈도우를, 업룩 카메라 렌즈 상면 위에 장착하여 사용하되, 보정시에는 상기 퀄츠 윈도우를 업룩 카메라 렌즈상면위에 장착하지 않고 보정판을 통해 업룩 카메라 렌즈의 초점을 보정하고, 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에서 프레임 마스크 제작시에는 업룩 카메라 렌즈 상면 위에 상기 퀄츠 윈도우를 장착하여 업룩 카메라를 사용하도록 하는, 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용하여 업룩 리뷰카메라의 초점위치를 보정하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 디스플레이장치, 반도체장치 등의 제조공정에 사용되는 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치에서 마스크 홀의 위치를 측정하는 비젼 시스템에 있어서, 보정시 업룩 리뷰카메라의 초점위치와 프레임 마스크 제작시 업룩 리뷰카메라의 초점위치를 일치시켜 마스크 홀의 위치를 측정하는데 z축에 의해 발생하는 위치 오차를 줄이게 하는, 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용하여 업룩 리뷰카메라의 초점 위치를 보정하는 방법을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치에서, 업룩 리뷰카메라의 위치 좌표값을 보정판을 이용하여 보정하되, 상기 보정판을 이용함으로써 생기는, 보정시와 텐션 마스크 프레임의 제조시의 업룩 리뷰카메라의 초점 위치의 차이를 해소하기 위해, 업룩 리뷰카메라에 장착되는 퀄츠 윈도우를 포함하는 것을 특징으로 한다.
보정판은 상면에 보정패턴이 새겨져 있는 보정패턴 표시 퀄츠(석영)판을 포함한다.
업룩 리뷰카메라에서, 촬상소자부의 위에 장착된 렌즈부의 위에, 퀄츠 윈도우가 장착된다.
퀄츠 윈도우는 보정시에는 업룩 리뷰카메라에 장착되지 않으며, 텐션 마스크 프레임의 제조시에만 업룩 리뷰카메라에 장착된다.
퀄츠 윈도우는, 퀄츠판으로 이루어지되, 두께가 보정패턴 표시 퀄츠(석영)판과 동일한 두께이다.
업룩 리뷰카메라의 렌즈부의 외측을 둘러싸고 있는 퀄츠 윈도우 고정부를 더 구비하되, 퀄츠 윈도우 고정부의 상단의 테두리에는 퀄츠 윈도우를 상기 렌즈부의 상단에 장착 및 탈착이 가능하도록 이루어진 퀄츠 윈도우 결합수단을 구비한다.
퀄츠 윈도우 결합수단은 턱 또는 홈으로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 업룩 리뷰카메라에 장착되되 퀄츠판으로 이루어진 퀄츠 윈도우를 특징으로 한다.
또한, 본 발명은, 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치에서, 업룩 리뷰카메라의 위치 좌표값을 보정패턴 표시 퀄츠판을 이용하여 보정한, 업룩 리뷰카메라를 이용하여 텐션 마스크 프레임을 제조할 때에, 업룩 리뷰카메라의 촬상소자부의 위에 장착된 렌즈부의 위에, 퀄츠판으로 이루어진 퀄츠 윈도우가 장착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에서, 업룩 리뷰카메라의 초점 높이를 보정시와 마스크 프레임 제작시의 초점 높이를 일치시켜 업룩 리뷰카메라의 초점 높이차에 따른 마스크 홀 위치의 측정오차를 줄이는 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용하여 업룩 리뷰카메라의 초점 위치를 보정하는 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 보정판의 퀄츠 두께와 동일한 두께로 이루어진 퀄츠 윈도우를, 업룩 카메라 렌즈 상면 위에 장착하여 사용하되, 보정시에는 상기 퀄츠 윈도우를 업룩 카메라 렌즈상면위에 장착하지 않고 보정판을 통해 업룩 카메라 렌즈의 초점을 보정하고, 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에서 프레임 마스크 제작시에는 업룩 카메라 렌즈 상면 위에 상기 퀄츠 윈도우를 장착하여 업룩 카메라를 사용하도록 하는, 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용하여 업룩 리뷰카메라의 초점위치를 보정하는 방법을 제공한
즉, 디스플레이장치, 반도체장치 등의 제조공정에 사용되는 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치에서 마스크 홀의 위치를 측정하는 비젼 시스템에 있어서, 본 발명은, 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용하여 업룩 리뷰카메라의 초점 위치를 보정하는 방법을 제공하여, 보정시 업룩 리뷰카메라의 초점위치와 프레임 마스크 제작시 업룩 리뷰카메라의 초점위치를 일치시켜 마스크 홀의 위치를 측정하는데 z축에 의해 발생하는 위치 오차를 줄이게 한다.
또한, 본 발명에 따른 퀄츠 윈도우가 장착된 업룩 리뷰카메라를 사용하는 경우에, 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조업계 요구수준인 ±1um 이내 마스크 홀의 측정오차를 만족할 수 있다.
도 1은 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 1로, 종래의 일례의 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 2로, 도 1의 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에서 x축레일의 중력변형을 나타낸 도면이다.
도 3은 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 3으로, 분할 마스크를 프레임에 조립하는 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치를 나타낸다.
도 4는 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 4로, 도 3의 촬영부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 5는 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 5로, 도 4에서 카메라 레일의 중력변형을 나타낸 도면이다.
도 6은 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에 사용되는 보정판의 일예이다.
도 7은 본 발명의 퀄츠 윈도우의 일예를 나타낸다.
도 8은 도 7의 퀄츠 윈도우가 장착된 업룩 리뷰카메라를 설명하기 위한 설명도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 텐션마스크 프레임 어셈블리의 제조장치에 장착된 업룩 리뷰카메라의 초점 높이 조절을 위한 퀄츠 윈도우와, 상기 퀄츠 윈도우를 이용한 업룩 리뷰카메라의 초점 위치 조절방법에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명은, 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 3으로, 분할 마스크를 프레임에 조립하는 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에 적용되는 것으로, 우선, 도 3의 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에 관해서 보충설명한다.
도 3에서와 같이, 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치(100)는 베이스(110), 프레임지지부(120), 용접부(130), 및 촬영부(140)를 포함한다.
베이스(110)는 평평한 평면을 가진 장방형 블록으로 바닥에 수평 조정을 위한 수평조정받침부(112)를 가진다.
프레임지지부(120)는 베이스(110) 상에 간격을 두고 나란히 배치한 한 쌍의 종축 지지블록(122) 및 한 쌍의 종축 지지블록(122)을 가로지르도록 간격을 두고 고정되는 한 쌍의 횡축 지지블록(124)을 포함한다. 따라서, 한 쌍의 종축 지지블록(122)과 한 쌍의 횡축 지지블록(124)은 상방이 개방된 공간(121)이 형성된다. 한 쌍의 종축 지지블록(122)의 상면과 한 쌍의 횡축 지지블록(124)의 상면은 대략 수평을 이루도록 하여 사각틀 형상의 프레임지지대(126)를 배치한다. 결과적으로, 프레임지지대(126)는 사각틀 형상의 프레임(12)을 이격된 높이의 위치에 지지할 수 있다. 프레임지지대(126)의 외곽에는 텐션마스크를 잡아당겨 텐션을 부여하는 클램프(128)가 지지되는 사각틀 형상의 클램프 지지대(123)가 배치된다.
용접부(130)는 베이스(110)를 사이에 두고 배치되는 격자상 블록지지대(131), 상기 블록지지대(131)의 상면에 베이스(110)의 장변을 따라 나란 배치된 한 쌍의 레일지지블록(132), 상기 한 쌍의 레일지지블록(132)의 상면에 배치된 한 쌍의 종축용접레일(133), 상기 한 쌍의 종축용접레일(133)을 따라 이동하는 한 쌍의 종축용접슬라이더(134), 한 쌍의 종축용접슬라이더(134)에 걸쳐 배치되는 횡축용접레일(135), 횡축용접레일(135)에 이격 배치된 한 쌍의 용접기(136)를 포함한다. 여기서, 한 쌍의 용접기(136)는 제조공정 중에 적용하는 횡축용접레일(135)을 따라 이동할 필요는 없으며, 사전에 프레임(12)의 크기에 따라 적절한 위치로 설정될 수 있다. 한 쌍의 레일지지블록(132)은 격자상 블록지지대(131) 대신에 베이스(110) 상에 배치될 수도 있다. 용접기(136)는 예를 들면 레이저 용접기로 구현될 수 있고, 프레임(12)의 장변을 따라 이동하면서 인장 상태의 분할마스크(11)를 프레임(12)의 장변프레임에 레이저 용접한다.
촬영부(140)는 프레임지지부의 하부에서 텐션마스크의 홀을 촬영하기 위한 수단으로, 프레임지지부(120)의 종축지지블록(122)과 횡축 지지블록(124)에 의해 구획되는 공간 내의 베이스(110)에 배치된다.
도 4는 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 4로, 도 3의 촬영부의 구조를 나타내는 도면이다.
촬영부(140)는 프레임(12)의 장변방향을 따라 배치된 종축 카메라 레일(141), 종축 카메라 레일(141)을 따라 이동하는 종축 촬영 슬라이더(142), 종축 촬영 슬라이더(142)에 프레임(12)의 단변 방향을 따라 배치된 횡축 카메라 레일(143), 횡축 카메라 레일(143)을 따라 이동하는 횡축 촬영 슬라이더(144) 및 횡축 촬영 슬라이더(144)에 장착된 카메라(145)를 포함한다. 종축 촬영 슬라이더(142)와 횡축 촬영 슬라이더(144)는 에어베어링 타입으로서 리니어 모터에 의해 구동될 수 있다. 여기서, 횡축 카메라 레일(143)은 베이스(110)에 설치되고, 종축 촬영 슬라이더(142)는 횡축 카메라 레일(143)을 따라 이동하는 횡축 촬영 슬라이더(144)에 배치되고, 카메라(145)는 종축 촬영 슬라이더(142)에 장착될 수도 있다. 상술한 촬영부(140)의 구조는 하나의 실시예 일뿐이며, 다양한 구조로 구현될 수 있다.
도 5는 국내 공개특허공보 제10-2018-0042933호의 도 5로, 도 4에서 카메라 레일의 중력변형, 즉, 횡축 카메라 레일(143)의 중력 변형을 나타낸 도이다. 여기서, 횡축 촬영 슬라이더(144)에 장착되는 카메라(145)를 포함한 부가장치들의 하중을 35Kg으로 가정할 때, 중력에 의한 변형량은 최대 44nm로서 업계에서 요구하는 1㎛ 이내의 측정 오차를 만족할 수 있으며, 또한, 중력에 의한 변형량이 매우 적어 에어 갭을 일정하게 유지할수 있다. 따라서, 횡축 카메라 레일(143)을 따라 이동하는 횡축 촬영 슬라이더(144)의 속도 저하가 거의 발생하지 않아 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 6은 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치에 사용되는 보정판의 일예이다.
도 6의 (a)는 보정판의 사시도이고, 도 6의 (b)는 도 6의 (a)의 평면도를 나타낸다.
보정판(600)는 테두리부(610)의 내측에 보정패턴 표시 퀄츠(석영)판(620)를 구비한다.
퀄츠(석영)판의 상면에는 눈금 또는 보정패턴이 새겨져 있다.
퀄츠(석영)판(미도시)은, 온도변화에 따라 석영의 화학조성과 형태가 유지되는 성질을 이용하여, 텐션 마스크 프레임 어셈블리 제조장치내 온도변화에 따라 일정하게 형태를 유지하므로, 온도변화에 따라 생기는 촬영부(140)의 위치 좌표값의 오차를 줄일 수 있다.
업룩 리뷰 카메라(145)가 아래에서 위로 보기 때문에 퀄츠를 통과하여 보정패턴을 보게 되는 데, 이때문에 업룩 카메라의 초점 위치가 퀄츠 두께, 즉, 보정패턴 표시 퀄츠(석영)판(620)의 두께에 의해 이동하게 된다. 따라서 보정시에는 보정판(600)을 사용하여 보정하고, 실제 마스크 프레임 제작시에는 보정판(600)을 사용하는 것이 아니므로, 즉, 보정판(600)을 촬영하는 것이 아니므로, 보정시와 마스크 프레임 제작시에는, 퀄츠 두께, 즉, 보정패턴 표시 퀄츠(석영)판(620)의 두께에 따른 오차(즉, 초점 위치 변동)가 발생하게 된다. 다시말해, 보정시와 마스크 프레임 제작시에, 마스크의 홀의 위치를 측정하기 위한 업룩 리뷰카메라의 초점 높이가, 보정시와 마스크 프레임 제작시가 서로 다르게 된다.
따라서, 업룩 리뷰카메라의 초점위치를 일치시키기 위해, 마스크 프레임 제작시에도 퀄츠 두께 만큼의 보완이 필요하다.
그래서 본 발명에서는 업룩 카메라 렌즈의 위, 다시말해 업룩 카메라 렌즈의 앞단에 보정패턴 표시퀄츠(석영)판(620)의 두께와 동일한 두께를 가지고 있는 퀄츠판, 즉, 퀄츠 윈도우을 두어서, 상기 오차의 문제를 해결하는 것을 제안한다. 특히, 본 발명에서는, 업룩 카메라 렌즈의 앞단에 장착되는, 보정패턴 표시퀄츠(석영)판(620)의 두께와 동일한 두께를 가지고 있는 석영판을, 설명의 편의상 "퀄츠 윈도우"라 명명한다.
예를들어 보정패턴 표시퀄츠(석영)판(620)의 두께가 50mm이라면, 퀄츠 윈도우(777)의 두께도 50mm이다.
도 7은 본 발명의 퀄츠 윈도우의 일예를 나타내며, 도 8은 도 7의 퀄츠 윈도우가 장착된 업룩 리뷰카메라를 설명하기 위한 설명도이다.
퀄츠 윈도우(777)는 보정판(600)의 보정패턴 표시퀄츠(석영)판(620)의 두께와 동일한 두께를 가지는 퀄츠(석영)판으로, 마스크 프레임 제작시에 업룩 카메라 렌즈의 위(앞단)에 장착된다.
도 7에서는 퀄츠 윈도우(777)를 원형판으로 나타내었으나, 이로써 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니며, 이는 업룩 카메라 렌즈의 크기, 형태 등에 따라 달라 질 수 있다.
도 8에서와 같이, 업룩 카메라(145)는 업룩 카메라 촬상부(710), 업룩 카메라 렌즈부(720), 퀄츠 윈도우 고정부(730)를 포함한다.
업룩 카메라 촬상부(710)는 업룩 카메라 촬상소자(미도시)가 내장되어 있으며, 업룩 카메라 렌즈부(720)를 통해 들어온 광(빛)에 의한 상을 촬상하는 수단이다.
업룩 카메라 렌즈부(720)는 업룩 카메라 촬상부(710)의 앞단(즉, 위)에 장착되어 있으며, 내측에 렌즈(722) 및 렌즈 지지수단(721)을 포함하고 있다. 도 7에서는 1개의 렌즈를 나타내고 있지만 이로써 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니며, 상황에 따라 선택적으로 다수개의 렌즈를 사용할 수 있다. 렌즈(722) 에는 적어도 대물렌즈를 포함하며, 상기 대물렌즈는 대물렌즈를 통해 입사된 광이 업룩 카메라 촬상소자(미도시)에 상을 맺도록 하기 위한 렌즈이다.
업룩 카메라 렌즈부(720)의 외측에, 퀄츠 윈도우(777)를 업룩 카메라 렌즈부(720)의 상단에 고정하기 위한 수단인, 퀄츠 윈도우 고정부(730)를 구비한다.
도 8에서는 퀄츠 윈도우 고정부(730)가 업룩 카메라 렌즈부(720)의 외측을 둘러싼 원통형으로 이루어져 있으나, 이로써 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니며, 경우에 따라서는 다수개의 스틱 또는 다수개의 띠에 의해, 퀄츠 윈도우(777)를 업룩 카메라 렌즈부(720)에 고정할 수 있다. 경우에 따라서 다수개의 스틱 또는 다수개의 띠는 나무 울타리와 같은 형태로 이루어질 수 있다.
퀄츠 윈도우 고정부(730)의 상단의 테두리에는 퀄츠 윈도우(777)를 업룩 카메라 렌즈부(720)의 상단에 장착하거나 탈착이 가능하도록 이루어진, 퀄츠 윈도우 결합수단(750)을 구비한다.
퀄츠 윈도우 결합수단(750)은 턱 또는 홈 형태로 이루어질 수 있다. 도 7에서 퀄츠 윈도우 결합수단(750)은 턱형태를 이루나 이로써 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니며, 퀄츠 윈도우 결합수단(750)은 업룩 카메라 렌즈부(720)의 앞단에 퀄츠 윈도우(777)를 장착하거나 탈착할 수 있는 어떠한 구조라도 상관없다.
경우에 따라서는 퀄츠 윈도우(777)의 측면에는 퀄츠 윈도우 고정부(730)와 결합하기 위한 구조물, 예를 들어 턱 또는 홈(미도시)을 구비할 수 있다.
본 발명에서 퀄츠 윈도우(777)는 탈부착이 가능하도록 함으로써 보정시와 마스크 프레임 제작시에, 업룩 리뷰 카메라의 초점위치를 일치하게 한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다 따라서, 본 발명의 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10 : 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치 11 : 분할 마스크
12 : 프레임 13 : 클램프
14 : 리뷰카메라 15 : 레이저용접기
22 : y축 레일 24 : y슬라이더
24 : 한 쌍의 슬라이더 26 : x축 레일
28 : x슬라이더 100 : 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조장치
110 : 베이스 112 : 수평조정받침부
120 : 프레임지지부 121 : 개방된 공간
122 : 종축 지지블록 123 : 클램프 지지대
124 : 횡축 지지블록 126 : 프레임지지대
130 : 용접부 131 : 블록지지대
132 : 레일지지블록 133 : 종축용접레일
134 : 종축용접슬라이더 135 : 횡축용접레일
136 : 용접기 140 : 촬영부
142 : 종축 촬영 슬라이더 143 : 횡축 카메라 레일
144 : 횡축 촬영 슬라이더 145 : 카메라
600 : 보정판 620 : 퀄츠판
710 : 업룩 카메라 촬상부 720 : 업룩 카메라 렌즈부
721 : 렌즈 지지수단 722 : 렌즈
730 : 퀄츠 윈도우 고정부 750 : 퀄츠 윈도우 결합수단
777 : 퀄츠 윈도우

Claims (10)

  1. 업룩 리뷰카메라가 부착된 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치에서
    업룩 리뷰카메라의 위치 좌표값을 보정판을 이용하여 보정하되,
    상기 보정판을 이용함으로써 생기는, 보정시와 텐션 마스크 프레임의 제조시의 업룩 리뷰카메라의 초점 위치의 차이를 해소하기 위해, 업룩 리뷰카메라에 장착되는 퀄츠 윈도우를 포함하며
    업룩 리뷰카메라에서, 촬상소자부의 위에 장착된 렌즈부의 위에, 퀄츠 윈도우가 장착되며,
    업룩 리뷰카메라의 렌즈부의 외측을 둘러싸고 있는 퀄츠 윈도우 고정부를 더 구비하되,
    퀄츠 윈도우 고정부의 상단의 테두리에는 퀄츠 윈도우를 상기 렌즈부의 상단에 장착 및 탈착이 가능하도록 이루어진 퀄츠 윈도우 결합수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    보정판은 상면에 보정패턴이 새겨져 있는 보정패턴 표시 퀄츠(석영)판을 포함하는 것을 특징으로 하는 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서,
    퀄츠 윈도우는 보정시에는 업룩 리뷰카메라에 장착되지 않으며,
    텐션 마스크 프레임의 제조시에만 업룩 리뷰카메라에 장착되는 것을 특징으로 하는 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    퀄츠 윈도우는, 퀄츠판으로 이루어지되,
    두께가 보정패턴 표시 퀄츠(석영)판과 동일한 두께인 것을 특징으로 하는 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    퀄츠 윈도우 결합수단은 턱 또는 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치.
  8. 제1항, 제2항, 제4항, 제5항, 제7항 중 어느 한 항의 텐션마스크 프레임 어셈블리 제조 장치에 사용되는 업룩 리뷰카메라에 장착되는 퀄츠판으로 이루어진 퀄츠 윈도우.
  9. 삭제
  10. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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