TWI612169B - 用於薄膜蒸氣沉積的遮罩組件及其製造方法 - Google Patents

Abstract

一種遮罩組件包含用於形成開口的框架，以及當張力施加於其時固定於框架且形成複數個圖樣開口的遮罩。框架包含用於形成開口的框架主體、以及裝載以在框架主體上的至少一方向為可移動的複數個移動部件。當張力施加於移動部件時，遮罩固定於移動部件。

Description

用於薄膜蒸氣沉積的遮罩組件及其製造方法

本發明的實施例大致上是關於一種遮罩組件，且更具體地，是關於一種用於有機發光層或金屬層的薄膜沉積製程的遮罩組件，以及其製造方法。

平板顯示器，液晶顯示器(liquid crystal displays,LCD)和有機發光二極體(organic light emitting diode,OLED)顯示器是習知的顯示器。平板顯示器包括預定圖樣的金屬層，且在有機發光二極體(OLED)顯示器的一例中，預定圖樣的有機發光層形成於各像素。使用遮罩組件的沉積方法作為形成金屬層以及有機發光層的方法可被應用。

遮罩組件包含具有待沉積的金屬層以及有機發光層的相似形狀的圖樣開口的遮罩，以及用於支撐遮罩的框架。隨著遮罩變大，形成圖樣開口的蝕刻誤差會上升且遮罩的中心會因自體重力下垂，因此在張力被施加於遮罩的同時，遮罩透過焊接被固定於框架。

然而，要控制固定於框架的遮罩的張力是不可能的。不利地，需要大量的時間以及工作量以拉伸遮罩且將遮罩焊接在框架上，更甚者，在拉伸以及焊接過程中有問題的遮罩將被丟棄。此外，用於沉積製程的遮 罩可能產生圖樣開口均勻度下降以及像素位置的精確度的問題。若遮罩具有這樣的問題，其將被從框架移除並接著丟棄。

在此背景技術部分揭露的上述資訊僅用於增強對所描述背景技術的理解，因此其可能包含不形成本國家具有通常知識者已習知之技術資訊。

所描述的技術致力於提供一種用於在遮罩被固定到框架時控制遮罩的張力，且降低所丟棄遮罩的數量之遮罩框架，以及其製造方法。

本發明的實施例提供一種遮罩組件，其包括含有用於形成開口的框架主體的框架、及裝載在框架主體上在至少一方向上為可移動的複數個移動部件，以及用於形成複數個圖樣開口且在張力施加於其時固定於移動部件的遮罩。

遮罩在第一方向及交叉第一方向之一第二方向上拉伸，且被固定於移動部件。

框架主體係包含平行於第一方向之一對第一直線，以及平行於第二方向之一對第二直線。

移動部件提供用於該對第一直線及該對第二直線，且各移動部件之移動方向及替換為獨立控制。

移動部件包含裝載在該對第一直線中且在第二方向上滑動的複數個第一移動部件、以及裝載在該對第二直線中且在第一方向上滑動的複數個第二移動部件。

移動部件包含複數個第三移動部件，裝載在框架主體之一角隅且在第三方向上滑動。

移動部件分別包含：包含遮罩固定側的遮罩固定單元；以及固定於框架主體、結合於遮罩固定單元、且控制遮罩固定單元之移動的移動控制器。

移動控制器包括含有移動導軌的控制器主體；固定於遮罩固定單元朝向框架主體之背部的內螺紋，以及裝載在控制器主體內且結合於內螺紋的控制螺桿。

遮罩固定單元形成用於接收控制器主體的接收器以及對應於移動導軌之導向槽。

第一移動部件之控制螺桿平行於第二方向，且第二移動部件之控制螺桿平行於第一方向。

第一方向以及第二方向為遮罩之寬度方向。

第三移動部件之控制螺桿平行於第三方向。

第三方向為遮罩之對角線方向。

複數個移動部件分別包括含有遮罩固定側的遮罩固定單元；以及第一移動控制器及第二移動控制器，裝載在框架主體及遮罩固定單元之間，且分別在第一方向上及第二方向上移動遮罩固定單元。

第一移動控制器固定於框架主體，第二移動控制器提供在第一移動控制器及遮罩固定單元之間，且支架提供在第一移動控制器及第二移動控制器之間。

第一移動控制器包括含有第一移動導軌的第一控制器主體、 固定於支架背部之第一內螺紋、以及裝載在第一控制器主體內且結合於第一內螺紋之第一控制螺桿。

第二移動控制器包括含有第二移動導軌的第二控制器主體、固定於遮罩固定單元背部之第二內螺紋、以及裝載在第二控制器主體內且結合於第二內螺紋之第二控制螺桿。

第一控制螺桿平行於第二方向，且第二控制螺桿平行於第一方向。

第一方向以及第二方向為遮罩之寬度方向。

支架形成用於接收第一控制主體之第一接收器、以及對應於第一移動導軌之第一導向槽。

遮罩固定單元形成用於接收第二控制主體之第二接收器、以及對應於第二移動導軌之第二導向槽。

另一實施例提供一種用於製造遮罩組件之方法，包含提供含有框架主體及裝載在框架主體上以在至少一方向上為可移動的複數個移動部件的框架；當張力被施加於遮罩時固定遮罩於移動部件；以及藉由滑動移動部件之至少其中之一控制遮罩之張力。

框架主體包含四直線，移動部件提供用於四直線，且各移動部件之移動方向及位移為獨立地控制。

由遮罩的張力造成的壓縮應力被施加於移動部件，且移動部件在壓縮應力被施加於其之方向上滑動以控制遮罩之張力。

移動部件在交錯壓縮應力被施加於其之方向之方向上滑動以改變形成在遮罩中之圖樣開口之位置。

遮罩組件控制在焊接過程中產生問題的遮罩的張力，且減少了圖樣開口不均勻及像素位置的準確度降低的遮罩，從而修復上述問題並取得好品質的產品。因此，丟棄的遮罩數量減少以降低製造成本，且更換遮罩的時間減少以增加連續運轉沉積器的時間，從而提高了生產率。

100、200‧‧‧遮罩組件

10‧‧‧遮罩

15‧‧‧圖樣開口

21‧‧‧開口

20、201‧‧‧框架

22‧‧‧框架主體

30、40‧‧‧移動部件

23‧‧‧第一直線

24‧‧‧第二直線

31‧‧‧第一移動部件

32‧‧‧第二移動部件

33‧‧‧第三移動部件

34‧‧‧遮罩固定單元

341‧‧‧遮罩固定側

342‧‧‧接收器

343‧‧‧導向槽

35‧‧‧移動控制器

36‧‧‧控制器主體

361‧‧‧移動導軌

37‧‧‧內螺紋

38‧‧‧控制螺桿

41‧‧‧遮罩固定單元

42‧‧‧第一移動控制器

43‧‧‧第二移動控制器

44‧‧‧支架

411‧‧‧遮罩固定側

412‧‧‧第二接收器

413‧‧‧第二導向槽

441‧‧‧第一接收器

442‧‧‧第一導向槽

451‧‧‧第一控制器主體

452‧‧‧第二控制器主體

455‧‧‧第一移動導軌

456‧‧‧第二移動導軌

461‧‧‧第一內螺紋

462‧‧‧第二內螺紋

471‧‧‧第一控制螺桿

472‧‧‧第二控制螺桿

當藉由結合附圖參考下文中的詳細描述來更佳的理解本發明，本發明更完整的理解，以及許多伴隨本發明之優點將是顯而易見的，在附圖中，類似的元件符號代表相同或相似的元件，其中：第1圖係根據本發明原理示出建構作為第一實施例的遮罩組件的爆炸斜視圖；第2圖係根據本發明原理示出建構作為第一實施例的遮罩組件的平面俯視圖；第3圖示出第1圖的A部分的放大圖；第4圖示出取自沿第3圖中所示的線IV-IV的遮罩固定單元以及移動單元的剖視圖；第5圖示出了根據本發明原理建構作為第二實施例的遮罩組件的平面俯視圖；第6圖示出第5圖中所示之移動部件的斜視圖；第7圖示出在第6圖示出的第一移動部件以及支架的剖視圖；第8圖示出在第6圖示出的第二移動部件以及遮罩固定單元 的剖視圖；第9圖示出根據本發明的原理建構作為實施例的用於製造遮罩組件的方法的製程流程圖；第10圖示出第9圖中所示第二階段的遮罩組件的剖視圖；第11圖以及第12圖示出第9圖中第三階段的遮罩組件的剖視圖。

本發明將參考附圖在下文中更詳細的描述，其中示出本發明的例示性實施例。本領域具有通常知識者將了解，所描述的實施例可在不脫離本發明的精神以及範疇下以各種方式進行修改。

除非明確描述為相反的，用詞「包含(comprise)」以及變化如「包含(comprises)」或「包含(comprising)」將被理解為暗示包含所陳述的元件但不排除任何其它元件。在本說明書中，除非明確描述為相反，用詞「包含(comprise)」以及變化如「包含(comprises)」或「包含(comprising)」將被理解為暗示包含所陳述的元件但不排除任何其它元件。此外，在本說明書中，目標部分的上部表示目標部分的上部或下部，並不意味著目標部分總是位於根據重力方向的上側。

第1圖以及第2圖分別示出爆炸斜視圖以及建構作為第一實施例的遮罩組件組合狀態的平面俯視圖。

參考第1圖以及第2圖，遮罩組件100包含用於形成複數個圖樣開口15的遮罩10、以及用於形成用於暴露複數個圖樣開口15的開口21並支撐遮罩10的框架20。框架20包含框架主體22以及裝載在框架主 體22上的複數個移動部件30，且遮罩10透過焊接固定於移動部件30。

遮罩10形成為四邊形金屬薄板，且形成複數個圖樣開口15。圖樣開口15配置了複數個精細開口，使得薄膜可穿過其被沉積。因此，在沉積製程中，沉積材料通過圖樣開口15且被沉積在基板(未繪示於圖中)上以期望形狀形成薄膜(例如，金屬層或有機發光層)。

一個圖樣開口15對應於一個平板顯示裝置(例如，OLED顯示器)。在這種情況下，對應於複數個平板顯示器的圖樣可透過使用一遮罩組件100的單一製程被同時的沉積。即，遮罩組件100對應於一主基板，且對應於平板顯示裝置的圖樣可被同時的形成在主基板上。

遮罩10在二寬度方向上被拉伸。在第1圖以及第2圖中，遮罩的水平寬度方向被示出為第一方向，且垂直於水平方向的寬度方向被示出為第二方向。第一方向交錯第二方向。卡固裝置(未示出)可以裝載在各遮罩10的四邊，從而拉伸遮罩10。

框架20包含具有開口21在其之中心中的四邊形框架主體22，且裝載在框架主體22的一側上的複數個移動部件30朝向遮罩10。遮罩10透過焊接固定於移動部件30而非框架主體22。

框架主體22包含平行於第一方向的一對第一直線23以及平行於第二方向的一對第二直線24。第一直線23可依遮罩10的形狀長於第二直線24。形成在遮罩10中的複數個圖樣開口15被提供對應於框架主體22的開口21。

張力施加於其之遮罩10被固定於移動部件30，因此壓縮應力在遮罩10的拉伸方向(第一方向以及第二方向)上被施加於框架主體22。因此，框架主體22可以具有剛性強的金屬材料製造，例如不銹鋼，使其可不由壓縮應力而變形。

複數個移動部件30分別被裝載於一對第一直線23以及一對第二直線24，且其被裝載以在框架主體22上為可依一方向移動的。

詳細地，移動部件30包含裝載在一對第一直線23上的複數個第一移動部件31以及裝載在一對第二直線24上的複數個第二移動部件32。壓縮應力根據遮罩10的張力在第二方向上施加於複數個第一移動部件31，且壓縮應力根據遮罩10的張力在第一方向上施加於複數個第二移動部件32。

第一移動部件31在框架主體上被裝載成可在壓縮應力施加的第二方向上移動，從而根據第二方向控制遮罩10的張力。第二移動部件32被裝載成可在壓縮應力施加的第二方向上移動，從而根據第一方向控制遮罩10的張力。

在這種情況下，複數個第一移動部件31以及複數個第二移動部件32的移動方向以及位移藉由下文中描述的移動控制器而獨立地控制。因此，當遮罩10固定於複數個移動部件30時，遮罩組件100可將不同的形變施加於遮罩10的各個部份。即，遮罩以對於遮罩10特定部分所期望的方向以及期望的位移移動，特定部分的張力需要被控制，使得遮罩10的張力可以準確的方式控制。

第3圖示出第1圖的A部分的放大圖，且第4圖示出沿第3圖中所示的線IV-IV所取的遮罩固定單元以及移動單元的剖視圖。

參考第3圖以及第4圖，第一移動部件31包含含有含遮罩10焊接於其上之遮罩固定側341的遮罩固定單元34，以及裝載在框架主體22以及遮罩固定單元34之間的移動且控制遮罩固定單元34的移動方向以及位移的移動控制器35。移動控制器35固定於框架主體22，且遮罩固定單元34在移動控制器35上依第二方向滑動。用於接收移動控制器35 的接收器342形成在遮罩固定單元34上。

移動控制器35包含含有一對移動導軌361的控制器主體36、固定於朝向框架主體22的遮罩固定單元34的後部的內螺紋37、以及裝載在控制器主體36中且內螺紋37與其結合之控制螺桿38。

一對移動導軌361以及控制螺桿38均平行於第二方向，且對應於該對移動導軌361的導向槽343形成在遮罩固定單元34的接收器342中。控制螺桿38藉由操作器手動操作，或其是與外部電源(未繪示於圖中)結合，且其之旋轉方向以及旋轉量為自動控制的。

當控制螺桿38沿一方向轉動時，內螺紋37結合於控制螺桿38且遮罩固定單元34固定於內螺紋37在第二方向上滑動。在此例中，移動導軌361以及導向槽343引導遮罩固定單元34的移動。遮罩固定單元34的移動量與控制螺桿38的旋轉量成正比。遮罩固定單元34的移動方向以及位移可根據控制螺桿38的旋轉方向以及旋轉量而準確的控制。

移動控制器35的配置並不限於所述實施例，且任何用於在框架主體22上移動遮罩固定單元34以及改變移動方向及位移的配置均為適用的。

參考第1圖以及第2圖，第二移動部件32具有等價於第一移動部件31的配置，除了控制螺桿以及一對移動導軌沿第一方向設置，且滑動方向為第一方向。

移動部件30被提供在框架主體22的角隅，且包含在第三方向上移動之至少一第三移動部件33。第三方向為遮罩10的對角線方向，且相對於第一方向以及第二方向具有預定角度。第三移動部件具有等價於第一移動部件的配置，除了控制螺桿以及一對移動導軌沿第三方向設置，且滑動方向為第三方向。

因此，遮罩組件控制在焊接過程中產生問題的遮罩的張力，且減少了圖樣開口不均勻及像素位置的準確度降低的遮罩，並修復上述問題。其結果是，丟棄遮罩的數量下降使生產成本更低，且替換遮罩的時間下降以提升連續操作沉積器的時間並從而提升生產率。

第5圖示出了根據本發明工作原理建構作為第二實施例的遮罩組件的平面俯視圖。

參考第5圖，根據第二實施例的遮罩組件200具有類似於根據第一實施例的遮罩組件的配置，除了複數個移動部件40沿第一方向以及第二方向滑動。相同於在第一實施中的元件將具有相同的元件符號，且與第一實施例的差別將在下文描述。

在第一實施例中的複數個移動部件依滑動方向而分類為第一移動部件、第二移動部件、以及第三移動部件，且在第二實施例中的複數個移動部件40具有相同配置的移動控制器，且其並非沿一方向而是沿二方向滑動(既在第一方向且在第二方向)。

第6圖示出第5圖中所示之移動部件的斜視圖、第7圖示出在第6圖中沿線VII-VII所取第一移動部件以及支架的剖視圖、以及第8圖示出在第6圖中沿線VIII-VIII所取之第二移動部件以及遮罩固定單元的剖視圖。第6圖至第8圖例示了移動部件40裝載在框架201的第二直線24上。

參考第6圖至第8圖，移動部件40包含含有遮罩10焊接於其上之遮罩固定側411的遮罩固定單元41，以及提供在框架主體22及遮罩固定單元41之間之第一移動控制器42以及第二移動控制器43。第一移動控制器42提供在第二移動控制器43的下方，且用於支撐第二移動控制器43的支架44被提供在第一移動控制器42以及第二移動控制器43之 間。

第一移動控制器42固定於框架主體22上，且裝載於其上的支架44、第二移動控制器43、以及遮罩固定單元藉由第一移動控制器42以第一方向滑動。用於接收第一移動控制器42的第一接收器441形成在支架44上。

第一移動控制器42包含含有一對第一移動導軌455第一控制器主體451、固定於朝向第一控制器主體451的支架44背部的第一內螺紋461、以及裝載在第一控制器主體451中且與第一內螺紋461結合的第一控制螺桿471。第一移動導軌455及第一控制螺桿471平行於第一方向，且對應於第一移動導軌455的第一導向槽442形成在第一接收器441中。

第二移動控制器43固定於支架44，且遮罩固定單元41藉由第二移動控制器43沿第二方向滑動。用於接收第二移動控制器43的第二接收器412形成在遮罩固定單元41的背部。

第二移動控制器43包括含有一對第二移動導軌456的第二控制器主體452、固定於朝向第二控制器主體452的遮罩固定單元41背部的第二內螺紋462、以及裝載在第二控制器主體452且與第二內螺紋462結合的第二控制螺桿472。第二移動導軌456以及第二控制螺桿472均平行於第二方向，且對應於第二移動導軌456的第二導向槽413形成在遮罩固定單元41的第二接收器412中。

當第一控制螺桿471沿一方向旋轉時，結合於第一控制螺桿471的第一內螺紋461、固定於第一內螺紋461的支撐件44、第二移動控制器43、以及遮罩固定單元41沿第一方向滑動。遮罩固定單元41沿第一方向的移動方向以及位移可根據第一控制螺桿471的旋轉方向以及旋轉量 被準確的控制。

當第二控制螺桿472沿一方向旋轉時，結合於第二控制螺桿472的第二內螺紋462以及固定於第二內螺紋462的遮罩固定單元41沿第二方向滑動。遮罩固定單元41沿第二方向的移動方向以及位移可根據第二控制螺桿472的旋轉方向以及旋轉量被準確的控制。

參考第5圖以及第6圖，考量移動部件裝載在框架201的第一直線23，支架44、第二移動控制器42、以及遮罩固定單元41藉由第一移動控制器42沿第一方向移動，且遮罩固定單元41藉由第二移動控制器43沿第一方向移動。

在根據第二實施例的遮罩組件200中，遮罩10固定於框架201且遮罩10的邊緣可沿遮罩10的拉伸方向及其之交錯方向移動。因此，遮罩10的張力可藉由將遮罩10沿期望的方向以及期望的位移控制用於需要控制張力的遮罩10的特定部分，且圖樣開口15的位置(參考第1圖)可藉由在交錯拉伸方向的方向上移動遮罩10而控制。

現將描述一種製造遮罩組件的方法。

第9圖示出根據本發明的原理建構作為實施例用於製造遮罩組件的方法的製程流程圖。

參考第9圖，一種用於製造遮罩組件的方法包含提供以框架主體以及複數個移動部件配置的框架(S10)、將遮罩固定於移動部件同時施加張力於遮罩(S20)、以及藉由滑動移動部件的至少其中之一而控制遮罩的張力(S30)。

在根據第一實施例的遮罩組件中，遮罩的張力是藉由在遮罩拉伸的方向上滑動移動部件來控制。在根據第二實施例的遮罩組件中，遮 罩的張力以及圖樣開口的位置是藉由在遮罩拉伸的方向以及其交錯的方向上滑動移動部件來控制。

第10圖示出沿第2圖的線X-X所取之遮罩組件的剖視圖。第10圖示出第9圖中所示之第二階段。

參考第2圖以及第10圖，遮罩透過焊接固定於複數個移動部件30同時張力沿第一方向以及第二方向施加。在此實例中，遮罩10並非固定於框架主體22而是移動部件30，因此在遮罩10固定於框架20後，張力為可改變的。即，遮罩10的張力可在遮罩10固定於框架20後被控制，且張力可在其用於沉積製程多次之後控制。

第11圖以及第12圖示出第9圖中第三階段的遮罩組件的剖視圖。第11圖以及第12圖示出根據第一實施例的遮罩組件。

參考第11圖，當遮罩10的張力需要被提升時，控制螺桿被操縱以使第一移動部件31能滑動離開開口21的中心。遮罩10的末端沿第一移動部件31移動以提升在第二方向上的張力。

參考第12圖，當遮罩10的張力需要被降低時，控制螺桿被操縱以使第一移動部件31向開口21的中心滑動。遮罩10沿第一移動部件31移動以降低在第二方向上的張力。在兩種情況下參考第11圖以及第12圖所示，張力可根據第一移動部件31的位移被適當的控制。

第11圖以及第12圖示出二第一移動部件31提供在遮罩10的兩端同時以相同的位移移動的情況，且除此之外，一第一移動部件可為可移動的，且當二第一移動部件31一起移動時，二第一移動部件31的位移可為不同的。

參考第2圖，在相似於第一移動部件31的方式中，遮罩10 在第一方向上的張力可藉由控制第二移動部件32的滑動而提升或降低。遮罩10在第三方向上的張力可藉由控制第三移動部件33的滑動而被提升或降低。

此處，個別的移動部件30的移動方向以及位移被獨立的控制，因此遮罩10的張力可根據位置，藉由對遮罩10需要控制張力的特定部分，以期望的方向及位移移動遮罩10來準確的控制。

參考第5圖，在根據第二實施例的遮罩組件200中，移動部件40分別在第一方向以及第二方向上滑動。因此，遮罩10的張力可藉由在遮罩10的拉伸方向上滑動移動部件40來控制，且遮罩開口15的位置可藉由在交錯拉伸方向(參考第1圖)的方向上滑動移動部件40來控制。

雖然本揭露已經結合目前被認為是實用的例示性實施例進行了描述，應當理解的是本發明並不限於所公開的實施例，相反的，意在涵蓋包含在所附之發明申請專利範圍的精神與範疇內的各種修改以及等價的配置。

100‧‧‧遮罩組件

10‧‧‧遮罩

15‧‧‧圖樣開口

21‧‧‧開口

20‧‧‧框架

22‧‧‧框架主體

30‧‧‧移動部件

23‧‧‧第一直線

24‧‧‧第二直線

31‧‧‧第一移動部件

32‧‧‧第二移動部件

33‧‧‧第三移動部件

Claims (7)

1. 一種遮罩組件，其包含：一框架，係包含形成一開口的一框架主體，及裝載在該框架主體上的複數個移動部件，各該複數個移動部件在至少一方向上為可移動的；以及一遮罩，係包含複數個圖樣開口且固定於該複數個移動部件；其中該遮罩在一第一方向及交叉該第一方向之一第二方向上拉伸，且固定於該複數個移動部件，以及該至少一方向係平行於該第一方向或該第二方向；其中該框架主體係包含平行於該第一方向之一對第一直線，以及平行於該第二方向之一對第二直線，以及該複數個移動部件係提供用於該對第一直線及該對第二直線，且各該複數個移動部件之移動方向及位移係獨立地控制；其中各該複數個移動部件係包含：一遮罩固定單元，係包含一遮罩固定側；以及一第一移動控制器及一第二移動控制器，係裝載在該框架主體及該遮罩固定單元之間，且分別在該第一方向上及該第二方向上移動該遮罩固定單元。
2. 如申請專利範圍第1項所述之遮罩組件，其中該第一移動控制器係固定於該框架主體， 該第二移動控制器係提供在該第一移動控制器及該遮罩固定單元之間，以及一支架係提供在該第一移動控制器及該第二移動控制器之間。
3. 如申請專利範圍第2項所述之遮罩組件，其中該第一移動控制器包含含有一第一移動導軌之一第一控制器主體、固定於該支架之一背部之一第一內螺紋、及裝載在該第一控制器主體內且結合於該第一內螺紋之一第一控制螺桿，以及該第二移動控制器包含包含一第二移動導軌之一第二控制器主體、固定於該遮罩固定單元之一背部之一第二內螺紋、及裝載在該第二控制器主體內且結合於該第二內螺紋之一第二控制螺桿。
4. 如申請專利範圍第3項所述之遮罩組件，其中該第一控制螺桿係平行於該第二方向，該第二控制螺桿係平行於該第一方向，以及該第一方向及該第二方向係為該遮罩之寬度方向。
5. 如申請專利範圍第3項所述之遮罩組件，其中該支架形成用於接收該第一控制主體之一第一接收器、及對應於該第一移動導軌之一第一導向槽，以及該遮罩固定單元形成用於接收該第二控制主體之一第二接收器、及對應於該第二移動導軌之一第二導向槽。
6. 一種用於製造遮罩組件之方法，該方法係包含：提供包含一框架主體及在至少一方向上為可移動的且裝載在該框架主體上的複數個移動部件的一框架；當一張力施加於一遮罩時固定該遮罩於該複數個移動部件；以及藉由滑動該複數個移動部件之至少其中之一控制該遮罩之該張力；其中該框架主體包含四直線，以及該複數個移動部件係提供用於該四直線，且各該複數個移動部件之移動方向及位移係獨立地控制；其中若由該遮罩的該張力造成的一壓縮應力施加於該複數個移動部件，該複數個移動部件在該壓縮應力被施加於其的一方向上滑動以控制該遮罩之該張力。
7. 如申請專利範圍第6項所述之方法，其中該複數個移動部件在交錯該壓縮應力被施加於其之該方向之一方向上滑動以改變形成在該遮罩中之一圖樣開口之一位置。