KR102208779B1 - 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 oled용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법 - Google Patents

인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 oled용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법 Download PDF

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Abstract

마스크 시트의 가장자리를 따라 배열된 클램핑 홀들을 인식하여 인장 클램프를 순차적으로 자동 배치시키는 자동화 방식으로 인장을 수행하는 것에 의해 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법은 (a) 더미 영역의 네 모서리 부분에 각각 배치된 제1 클램핑 홀과, 상기 더미 영역의 장변 및 단변 중앙 부분에 각각 배치된 제2 클램핑 홀을 갖는 마스크 시트를 준비하는 단계; (b) 상기 마스크 시트의 제1 클램핑 홀과 대응되는 위치를 인장 클램프로 그립한 후, 상기 인장 클램프를 이용하여 마스크 시트를 1차 인장하는 단계; 및 (c) 상기 마스크 시트의 제2 클램핑 홀과 대응되는 위치를 인장 클램프로 그립한 후, 상기 인장 클램프를 이용하여 마스크 시트를 2차 인장하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법{METAL MASK FOR ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DEPOSITION HAVING EFFECT OF REDUCING TENSILE TIME AND IMPROVING TENSILE QUALITY AND METHOD OF TENSIONING THE SAME}
본 발명은 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마스크 시트의 가장자리를 따라 배열된 클램핑 홀들을 인식하여 인장 클램프를 순차적으로 자동 배치시키는 자동화 방식으로 인장을 수행하는 것에 의해 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법에 관한 것이다.
유기발광 표시장치(OLED, Organic Light-Emitting Diode)는 TV, PC, 태블릿 PC, 스마트폰, 스마트워치, 차량 계기판 등에 구비되는 디스플레이 장치로서 널리 이용되고 있다. 이러한 OLED는 빛을 발광하는 발광층이 유기 화합물로 이루어진다.
OLED 제조 공정은 박막의 메탈 마스크를 기판에 밀착시켜서 원하는 위치에 유기물을 증착하는 방법이 주로 사용된다.
종래의 OLED 제조 공정에서는 메탈 마스크를 스틱 형태, 플레이트 형태 등으로 제조한 후, 메탈 마스크를 마스크 프레임 상에 용접하여 고정시키게 된다. 이후, 마스크 프레임에 용접된 메탈 마스크의 더미 영역을 트림 라인을 따라 절단하여 제거하게 된다.
종래의 메탈 마스크는 일정한 인장력으로 인장을 실시한 후, 마스크 프레임 상에 용접에 의하여 고정되게 된다.
그러나, 종래에는 일정한 인장력으로 인장을 실시하기 위해 인장 클램프로 메탈 마스크를 그립하는 과정시, 작업자의 육안으로 그립 위치를 설정하였다. 이로 인해, 종래에는 인장 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라 인장 위치의 어긋남으로 인해 인장 품질이 저하되는 문제가 있었다.
관련 선행 문헌으로는 대한민국 등록특허공보 제10-1869889호(2018.06.25. 공고)가 있으며, 상기 문헌에는 펨토초 레이저를 이용한 오픈 마스크 조립체 제조 방법, 이에 따라 제조된 오픈 마스크 조립체, 및 오픈 마스크 조립체 제조 장치가 기재되어 있다.
본 발명의 목적은 마스크 시트의 가장자리를 따라 배열된 클램핑 홀들을 인식하여 인장 클램프를 순차적으로 자동 배치시키는 자동화 방식으로 인장을 수행하는 것에 의해 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법은 (a) 더미 영역의 네 모서리 부분에 각각 배치된 제1 클램핑 홀과, 상기 더미 영역의 장변 및 단변 가장자리 부분에 각각 배치된 제2 클램핑 홀을 갖는 마스크 시트를 준비하는 단계; (b) 상기 마스크 시트의 제1 클램핑 홀과 대응되는 위치를 인장 클램프로 그립한 후, 상기 인장 클램프를 이용하여 마스크 시트를 1차 인장하는 단계; 및 (c) 상기 마스크 시트의 제2 클램핑 홀과 대응되는 위치를 인장 클램프로 그립한 후, 상기 인장 클램프를 이용하여 마스크 시트를 2차 인장하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 (a) 단계에서, 상기 마스크 시트는 복수의 마스크 패턴이 배치되는 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 상기 더미 영역을 가지며, 상기 마스크 셀 영역에는 복수의 마스크 패턴을 둘러싸는 격자 구조로 배열된 복수의 리브가 배치된다.
여기서, 상기 제1 및 제2 클램핑 홀 각각은 상기 복수의 마스크 패턴과 동일한 공정에서 식각 공정으로 함께 형성된다.
아울러, 상기 복수의 리브는 제1 방향으로 배열되는 제1 리브와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 제2 리브를 갖는다.
상기 제1 클램핑 홀은 상기 마스크 시트의 더미 영역 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 상기 제1 및 제2 리브가 교차하는 지점에 배치되고, 상기 제2 클램핑 홀은 상기 제1 및 제2 리브와 각각 대응되는 위치에 배치되어 있다.
상기 (c) 단계 이후, (d) 상기 마스크 시트의 네 모서리 부분과 장변 및 단변 가장자리 중앙 부분 사이에 각각 배치된 제3 클램핑 홀에 인장 클램프를 장착하여 상기 마스크 시트를 3차 인장하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 인장 클램프는 상기 인장 클램프를 제어하는 제어부를 통하여, 상기 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀의 위치를 인식하여 자동으로 상기 마스크 시트를 그립한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크는 복수의 마스크 패턴이 배치된 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 더미 영역을 갖는 마스크 시트; 상기 마스크 시트의 더미 영역의 네 모서리 부분에 각각 배치된 제1 클램핑 홀; 및 상기 더미 영역의 장변 및 단변 가장자리 부분에 각각 배치된 제2 클램핑 홀;을 포함하며, 상기 제1 및 제2 클램핑 홀 각각은 상기 마스크 시트의 제1 면 및 상기 제1 면에 반대되는 제2 면을 관통하도록 형성된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 마스크 시트는 복수의 마스크 패턴이 배치되는 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 상기 더미 영역을 가지며, 상기 마스크 셀 영역에는 복수의 마스크 패턴을 둘러싸는 격자 구조로 배열된 복수의 리브가 배치되고, 상기 복수의 리브는 제1 방향으로 배열되는 제1 리브와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 제2 리브를 갖는다.
아울러, 상기 제1 클램핑 홀은 상기 마스크 시트의 더미 영역 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 상기 제1 및 제2 리브가 교차하는 지점에 배치되고, 상기 제2 클램핑 홀은 상기 제1 및 제2 리브와 각각 대응되는 위치에 배치되어 있다.
또한, 상기 마스크 시트의 네 모서리 부분과 장변 및 단변 가장자리 중앙 부분 사이에 각각 배치된 제3 클램핑 홀;을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법은 마스크 시트의 더미 영역 가장자리를 따라 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀이 각각 배치되어 있는 상태이므로, 인장 클램프를 이용한 인장시, 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀의 위치를 인식하여 자동으로 인장 클램프로 그립할 수 있게 된다.
이 결과, 본 발명에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법은 마스크 시트의 가장자리를 따라 배열된 클램핑 홀들을 인식하여 인장 클램프로 그립한 상태에서 자동화 방식으로 인장하는 것에 의해 인장 시간을 단축시킬 수 있으면서도 인장 품질을 향상시킬 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 OLED용 메탈 마스크를 나타낸 평면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED용 메탈 마스크를 인장 클램프로 그립한 상태를 나타낸 모식도.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 4는 본 발명의 일 변형예에 따른 OLED용 메탈 마스크를 나타낸 평면도.
도 5는 도 4의 A 부분을 확대하여 나타낸 평면도.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명의 다른 변형예에 따른 OLED용 메탈 마스크를 나타낸 평면도.
도 8은 도 7의 B 부분을 확대하여 나타낸 평면도.
도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 OLED용 메탈 마스크 인장 방법을 나타낸 공정 순서도.
도 11 내지 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 OLED용 메탈 마스크 인장 방법을 나타낸 공정 모식도.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 및 이의 인장 방법에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
(실시예)
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 OLED용 메탈 마스크를 나타낸 평면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED용 메탈 마스크를 인장 클램프로 그립한 상태를 나타낸 모식도이며, 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크(100)는 마스크 시트(120), 제1 클램핑 홀(H1) 및 제2 클램핑 홀(H2)을 포함한다.
마스크 시트(120)는 제1 면(120a) 및 제1 면(120a)에 반대되는 제2 면(120b)을 갖는다. 이때, 마스크 시트(120)는 SUS 300계열, SUS 400계열, Ni 합금 등의 재질이 이용될 수 있는데, 이는 유기물을 증착하는 공정의 고온 환경에서 메탈 마스크의 변형을 최소화할 수 있는 효과가 있기 때문이다.
이러한 마스크 시트(120)는 복수의 마스크 패턴(126)이 배치된 마스크 셀 영역(MA)과, 마스크 셀 영역(MA)의 외측에 배치된 더미 영역(DA)을 갖는다.
보다 구체적으로 설명하면, 마스크 시트(120)는 더미부(122), 지지부(124) 및 복수의 마스크 패턴(126)을 갖는다.
마스크 시트(120)의 더미부(122)는 더미 영역(DA)에 배치되며, 플레이트 형태를 갖는다.
마스크 시트(120)의 지지부(124)는 마스크 셀 영역(MA)에 배치되며, 복수의 마스크 패턴(126)을 둘러싸는 격자 구조로 배열되어 복수의 리브(125)를 갖는다.
이때, 복수의 리브(125)는 제1 방향으로 배열되는 제1 리브(125a)와, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 제2 리브(125b)를 가질 수 있다. 여기서, 제1 방향은 가로 방향일 수 있고, 제2 방향은 세로 방향일 수 있다.
복수의 마스크 패턴(126)은 마스크 셀 영역(MA)에 배치되며, 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제2 면(120b)을 관통할 수 있다. 즉, 복수의 마스크 패턴(126)은 각 셀 별로 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제2 면(120b)을 관통하도록 배치되어 있을 수 있다. 아울러, 복수의 마스크 패턴(126)은 각 셀 별로 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제2 면(120b)의 일부만을 관통하도록 배치되어 있을 수도 있다.
제1 클램핑 홀(H1)은 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA)의 네 모서리 부분에 각각 배치된다. 이러한 제1 클램핑 홀(H1)은 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제1 면(120a)에 반대되는 제2 면(120b)을 관통하도록 형성된다. 제1 클램핑 홀(H1)은 화학적 에칭 방식인 포토리소그라피법에 의해 복수의 마스크 패턴(126)과 동일 공정으로 함께 형성되는 것이 바람직하다.
제2 클램핑 홀(H2)은 더미 영역(DA)의 장변 및 단변 중앙 부분에 각각 배치된다. 이러한 제2 클램핑 홀(H2)은 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제1 면(120a)에 반대되는 제2 면(120b)을 관통하도록 형성된다. 제2 클램핑 홀(H2)은, 제1 클램핑 홀(H1)과 마찬가지로, 화학적 에칭 방식인 포토리소그라피법에 의해 복수의 마스크 패턴(126)과 동일 공정으로 함께 형성되는 것이 바람직하다.
제1 클램핑 홀(H1)은 제1 직경을 가질 수 있고, 제2 클램핑 홀(H2)은 제1 직경과 동일한 제2 직경을 가질 수 있다.
이때, 제1 클램핑 홀(H1)은 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA) 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 제1 및 제2 리브(125a, 125b)가 교차하는 지점에 배치되는 것이 바람직하다. 아울러, 제2 클램핑 홀(H2)은 제1 및 제2 리브(125a, 125b)와 각각 대응되는 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이, 제1 및 제2 클램핑 홀(H1, H2)이 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA) 네 모서리 부분 중 제1 및 제2 리브(125a, 125b)가 교차하는 지점과, 제1 및 제2 리브(125a, 125b)가 위치하는 부분과 대응되도록 배치되는 것에 의해, 인장 클램프(10)로 마스크 시트(120)를 그립한 상태에서 제1 방향(X) 및 제1 방향(X)과 교차하는 제2 방향(Y)으로 인장이 실시되는 것이 바람직하다. 이는 복수의 마스크 패턴(126)이 배치되는 부분과 달리, 제1 및 제2 리브(125a, 125b)가 배치되거나 교차하는 부분이 상대적으로 강도가 높아 인장 클램프(10)를 이용하여 마스크 시트(120)를 인장할 시 인장력을 분산시킬 수 있기 때문이다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크(100)는 제3 클램핑 홀(H3)을 더 포함할 수 있다.
제3 클램핑 홀(H3)은 마스크 시트(120)의 네 모서리 부분과 장변 및 단변 중앙 부분 간의 사이 부분에 각각 배치된다. 즉, 제3 클램핑 홀(H3)은 마스크 시트(120)의 네 모서리 부분과 장변 중앙 부분과의 이격된 사이와, 마스크 시트(120)의 네 모서리 부분과 단변 중앙 부분과의 이격된 사이에 각각 배치될 수 있다. 이때, 제3 클램핑 홀(H3)은 제1 및 제2 직경과 동일한 제3 직경을 가질 수 있다.
이러한 제3 클램핑 홀(H3)은, 제1 및 제2 클램핑 홀(H1, H2)과 마찬가지로, 마스크 시트(120)의 제1 면(120a) 및 제1 면(120a)에 반대되는 제2 면(120b)을 관통하도록 형성된다. 제3 클램핑 홀(H3)은, 제1 및 제2 클램핑 홀(H1, H2)과 마찬가지로, 화학적 에칭 방식인 포토리소그라피법에 의해 복수의 마스크 패턴(126)과 동일 공정으로 함께 형성되는 것이 바람직하다.
이와 같이, 본 발명의 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀(H1, H2, H3)은 복수의 마스크 패턴(126)을 형성하는 과정시 복수의 마스크 패턴(126)과 동일한 공정에서 함께 형성되기 때문에 추가적인 식각 마스크를 사용할 필요가 없어 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀(H1, H2, H3)을 형성하기 위한 추가 비용이 발생하지 않는다.
본 발명의 실시예는 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA) 가장자리를 따라 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀(H1, H2, H3)이 각각 배치되어 있는 상태이므로, 인장 클램프(10)를 이용한 인장시, 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀(H1, H2, H3)의 위치를 인식하여 자동으로 인장 클램프(10)로 그립할 수 있게 된다.
이때, 본 발명의 실시예에서는 제1 클램핑 홀(H1) 부분을 인장 클램프(10)로 1차 인장하고, 제2 클램핑 홀(H2) 부분을 인장 클램프(10)로 2차 인장한 후, 제3 클램핑 홀(H3) 부분을 인장 클램프(10)로 3차 인장하는 방식으로 인장이 수행될 수 있다.
전술한 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크는 마스크 시트의 더미 영역 가장자리를 따라 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀이 각각 배치되어 있는 상태이므로, 인장 클램프를 이용한 인장시, 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀의 위치를 인식하여 자동으로 인장 클램프로 그립할 수 있게 된다.
이 결과, 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크는 마스크 시트의 가장자리를 따라 배열된 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀을 인식하여 인장 클램프로 순차적으로 그립한 상태에서 자동화 방식으로 인장을 수행하는 것에 의해 인장 시간을 단축시킬 수 있으면서도 인장 품질을 향상시킬 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
(변형예)
도 4는 본 발명의 일 변형예에 따른 OLED용 메탈 마스크를 나타낸 평면도이고, 도 5는 도 4의 A 부분을 확대하여 나타낸 평면도이며, 도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 변형예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크(200)는 마스크 시트(220), 제1 클램핑 홀(H1), 제2 클램핑 홀(H2), 제3 클램핑 홀(H3) 및 응력 완화 패턴(240)을 포함한다.
본 발명의 일 변형예에 따른 마스크 시트(220), 제1 클램핑 홀(H1), 제2 클램핑 홀(H2) 및 제3 클램핑 홀(H3)은 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 본 발명의 실시예에 따른 마스크 시트, 제1 클램핑 홀, 제2 클램핑 홀 및 제3 클램핑 홀과 실질적으로 동일하므로, 중복 설명은 생략하고 차이점 위주로 설명하도록 한다.
본 발명의 일 변형예에 따른 응력 완화 패턴(240)은 마스크 시트(220)의 더미 영역(DA)에 배치된다.
이러한 응력 완화 패턴(240)은, 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀(H1, H2, H3)과 마찬가지로, 마스크 시트(220)의 제1 면(220a) 및 제1 면(220a)에 반대되는 제2 면(220b)을 관통하도록 형성된다.
보다 구체적으로 설명하면, 응력 완화 패턴(240)은 제1 클램핑 홀(H1)과 대응되는 위치의 더미 영역(DA)에 배치되어, 제1 클램핑 홀(H1) 보다 외측에 배치될 수 있다. 아울러, 응력 완화 패턴(240)은 제2 및 제3 클램핑 홀(H2, H3)과 각각 대응되는 위치의 더미 영역(DA)에도 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이, 응력 완화 패턴(240)이 복수의 리브(225)가 배치되는 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀(H1, H2, H3)과 각각 대응되는 위치에 배치되어, 마스크 시트(220)의 가장자리 부분으로 집중되는 응력을 분산시키게 된다.
여기서, 응력 완화 패턴(240)은 복수의 마스크 패턴(226) 및 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀(H1, H2, H3)과 함께 형성된다. 즉, 응력 완화 패턴(240)은 화학적 에칭 방식인 포토리소그라피법에 의해 복수의 마스크 패턴(226) 및 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀(H1, H2, H3)과 동일 공정으로 형성될 수 있다.
이러한 응력 완화 패턴(240)은, 평면상으로 볼 때, 사각형, 삼각형, 오각형 및 원형 중 어느 하나의 형상을 가질 수 있으며, 이 중 사각형 형상을 갖는 것이 바람직하다.
특히, 마스크 시트(220)의 네 모서리 부분과 대응되는 위치에 배치되는 응력 완화 패턴(240)은 제1 클램핑 홀(H1)을 기준으로 외곽으로 갈수록 면적이 점진적으로 증가하는 형태로 형성되는 것이 바람직한데, 이는 마스크 시트(220)의 최 외곽 가장자리 부분으로 응력이 보다 더 집중되기 때문이다.
이와 같이, 본 발명의 일 변형예에서는 응력이 집중되는 마스크 시트(220)의 네 모서리 부분과 네 가장자리 부분에 응력 완화 패턴(240)이 배치되는 것에 의해, 마스크 시트(220)의 네 모서리 부분과 복수의 리브(225) 부분에 집중되는 응력을 완화시킬 수 있게 된다.
즉, 본 발명의 일 변형예에서, 마스크 시트(220)는 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀(H1, H2, H3)이 각각 배치되는 마스크 시트(220)의 네 모서리 부분과 네 가장자리 부분을 인장 클램프(10)를 이용하여 순차적으로 그립한 상태에서 제1 방향(X) 및 제1 방향(X)과 교차하는 제2 방향(Y)으로 인장이 실시되는 것이 바람직하다. 이는 복수의 마스크 패턴(226)이 배치되는 부분과 달리, 복수의 리브(225)가 배치되는 부분이 상대적으로 강도가 높아 인장력을 분산시킬 수 있기 때문이다.
이와 같이, 본 발명의 일 변형예에서는 마스크 시트(220)의 네 모서리 부분과 네 가장자리 부분에만 관통 홀 구조의 응력 완화 패턴(240)이 배치되므로, 마스크 시트(220)의 네 모서리 부분과 네 가장자리 부분에서의 응력을 최소화할 수 있게 된다.
이와 같이, 본 발명의 일 변형예에서는 인장력이 집중되는 마스크 시트(220)의 네 모서리 부분과 네 가장자리 부분에서의 응력 완화로 인장 클램프(10)를 이용한 인장시, 마스크 시트(220)의 네 모서리 부분과 네 가장자리 부분으로 인가되는 인장력 완화로 마스크 시트(220)에 변형이 발생하는 것을 최소화시킬 수 있으므로 모서리 부분의 위치 정확도를 향상시킬 수 있게 된다.
전술한 본 발명의 일 변형예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크는, 본 발명의 실시예와 마찬가지로, 마스크 시트의 가장자리를 따라 배열된 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀을 인식하여 인장 클램프로 순차적으로 그립한 상태에서 자동화 방식으로 인장을 수행하는 것에 의해 인장 시간을 단축시킬 수 있으면서도 인장 품질을 향상시킬 수 있게 된다.
아울러, 본 발명의 일 변형예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크는 마스크 시트의 더미 영역 가장자리를 따라 관통 홀 구조의 응력 완화 패턴이 더 배치된다.
이에 따라, 본 발명의 일 변형예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크는 인장력이 집중되는 마스크 시트의 최 외곽 모서리 부분에서의 응력 완화로 인장 클램프를 이용한 인장시, 마스크 시트의 네 모서리 부분에 변형이 발생하는 것을 최소화시킬 수 있으므로 모서리 부분의 위치 정확도를 향상시킬 수 있게 된다.
한편, 도 7은 본 발명의 다른 변형예에 따른 OLED용 메탈 마스크를 나타낸 평면도이고, 도 8은 도 7의 B 부분을 확대하여 나타낸 평면도이며, 도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.
도 7 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 다른 변형예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크(300)는 마스크 시트(320), 제1 클램핑 홀(H1), 제2 클램핑 홀(H2), 제3 클램핑 홀(H3) 및 응력 완화 패턴(340)을 포함한다.
본 발명의 다른 변형예에 따른 마스크 시트(320), 제1 클램핑 홀(H1), 제2 클램핑 홀(H2) 및 제3 클램핑 홀(H3)은 도 4 내지 도 6을 참조하여 설명한 본 발명의 일 변형예에 따른 마스크 시트, 제1 클램핑 홀, 제2 클램핑 홀 및 제3 클램핑 홀과 실질적으로 동일하므로, 중복 설명은 생략하고 차이점 위주로 설명하도록 한다.
본 발명의 다른 변형예에 따른 응력 완화 패턴(340)은 마스크 시트(320)의 제1 면(320a)으로부터 제2 면(320b) 방향으로 일부 두께를 제거한 하프톤 패턴 구조를 갖는다. 이러한 응력 완화 패턴(340)은 하프톤 마스크를 이용한 선택적인 에칭 방식에 의해 복수의 마스크 패턴(326)과 동일한 공정으로 형성될 수 있다.
이러한 하프톤 패턴 구조를 갖는 응력 완화 패턴(340)은 마스크 시트(320)의 더미 영역(DA) 네 모서리 부분에 배치되어, 마스크 시트(320) 네 모서리 부분의 응력을 완화시킨다.
이때, 응력 완화 패턴(340)은 마스크 시트(320)의 더미 영역(DA) 네 모서리 부분에서 복수개가 규칙적인 반복 배열 구조를 갖는 것이 바람직하다. 이와 같이, 응력 완화 패턴(340)을 규칙적인 반복 배열 구조로 배치시키는 것에 의해, 적정 강도를 확보할 수 있으면서도 마스크 시트(320)의 더미 영역(DA) 네 모서리 부분에서의 응력을 균일하게 분산시키는 것이 가능해질 수 있다.
본 발명의 다른 변형예에서, 마스크 시트(320)는 복수의 리브(325)와 대응되는 위치의 네 모서리 부분을 인장 클램프(10)로 그립한 상태에서 제1 방향(X) 및 제1 방향(X)과 교차하는 제2 방향(Y)으로 인장이 실시되는 것이 바람직하다. 이는 복수의 마스크 패턴(326)이 배치되는 부분과 달리, 복수의 리브(325)가 배치되는 부분이 상대적으로 강도가 높아 인장력을 분산시킬 수 있기 때문이다.
이와 같이, 본 발명의 다른 변형예에서는 마스크 시트(320)의 네 모서리 부분에만 복수개가 규칙적인 반복 배열 구조를 갖는 하프톤 패턴 구조의 응력 완화 패턴(340)이 배치되므로, 적정 강도를 확보할 수 있으면서도 마스크 시트(320)의 네 모서리 부분에서의 응력을 최소화할 수 있게 된다.
이에 따라, 본 발명의 다른 변형예는 인장력이 집중되는 마스크 시트(320)의 최 외곽 네 모서리 부분에서의 응력 완화로 인장 클램프(10)를 이용한 인장시, 마스크 시트(320)의 네 모서리 부분으로 인가되는 인장력 완화로 마스크 시트(320)에 변형이 발생하는 것을 최소화시킬 수 있으므로, 모서리 부분의 위치 정확도를 향상시킬 수 있게 된다.
전술한 본 발명의 다른 변형예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크는, 본 발명의 실시예와 마찬가지로, 마스크 시트의 가장자리를 따라 배열된 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀을 인식하여 인장 클램프로 순차적으로 그립한 상태에서 자동화 방식으로 인장을 수행하는 것에 의해 인장 시간을 단축시킬 수 있으면서도 인장 품질을 향상시킬 수 있게 된다.
아울러, 본 발명의 다른 변형예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크는 마스크 시트의 더미 영역 가장자리를 따라 하프톤 패턴 구조의 응력 완화 패턴이 더 배치된다.
이에 따라, 본 발명의 다른 변형예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크는 인장력이 집중되는 마스크 시트의 최 외곽 모서리 부분에서의 응력 완화로 인장 클램프를 이용한 인장시, 적정 강도를 확보할 수 있으면서도 마스크 시트의 네 모서리 부분에 변형이 발생하는 것을 최소화시킬 수 있으므로 모서리 부분의 위치 정확도를 향상시킬 수 있게 된다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법에 대하여 설명하도록 한다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 OLED용 메탈 마스크 인장 방법을 나타낸 공정 순서도이고, 도 11 내지 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 OLED용 메탈 마스크 인장 방법을 나타낸 공정 모식도이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법은 마스크 시트 준비 단계(S110), 1차 인장 단계(S120) 및 2차 인장 단계(S130)를 포함한다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법은 3차 인장 단계(S140)를 더 포함할 수 있다.
마스크 시트 준비
도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 마스크 시트 준비 단계(S110)에서는 더미 영역(DA)의 네 모서리 부분에 각각 배치된 제1 클램핑 홀(H1)과, 더미 영역(DA)의 장변 및 단변 중앙 부분에 각각 배치된 제2 클램핑 홀(H2)을 갖는 마스크 시트(120)를 준비한다.
마스크 시트(120)는 제1 면 및 제1 면에 반대되는 제2 면을 갖는다. 이때, 마스크 시트(120)는 SUS 300계열, SUS 400계열, Ni 합금 등의 재질이 이용될 수 있는데, 이는 유기물을 증착하는 공정의 고온 환경에서 메탈 마스크의 변형을 최소화할 수 있는 효과가 있기 때문이다.
이러한 마스크 시트(120)는 복수의 마스크 패턴(126)이 배치된 마스크 셀 영역(MA)과, 마스크 셀 영역(MA)의 외측에 배치된 더미 영역(DA)을 갖는다.
보다 구체적으로 설명하면, 마스크 시트(120)는 더미부(122), 지지부(124) 및 복수의 마스크 패턴(126)을 갖는다.
마스크 시트(120)의 더미부(122)는 더미 영역(DA)에 배치되며, 플레이트 형태를 갖는다.
마스크 시트(120)의 지지부(124)는 마스크 셀 영역(MA)에 배치되며, 복수의 마스크 패턴(126)을 둘러싸는 격자 구조로 배열되어 복수의 리브(125)를 갖는다.
이때, 복수의 리브(125)는 제1 방향으로 배열되는 제1 리브(125a)와, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 제2 리브(125b)를 가질 수 있다. 여기서, 제1 방향은 가로 방향일 수 있고, 제2 방향은 세로 방향일 수 있다.
복수의 마스크 패턴(126)은 마스크 셀 영역(MA)에 배치되며, 마스크 시트(120)의 제1 면 및 제2 면을 관통할 수 있다. 즉, 복수의 마스크 패턴(126)은 각 셀 별로 마스크 시트(120)의 제1 면 및 제2 면을 관통하도록 배치되어 있을 수 있다. 아울러, 복수의 마스크 패턴(126)은 각 셀 별로 마스크 시트(120)의 제1 면 및 제2 면의 일부만을 관통하도록 배치되어 있을 수도 있다.
제1 클램핑 홀(H1)은 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA) 네 모서리 부분에 각각 배치되고, 제2 클램핑 홀(H2)은 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA) 장변 및 단변 중앙 부분에 각각 배치된다.
이러한 제1 및 제2 클램핑 홀(H1, H2) 각각은 마스크 시트(120)의 제1 면 및 제1 면에 반대되는 제2 면을 관통하도록 형성된다. 제1 및 제2 클램핑 홀(H1, H2) 각각은 화학적 에칭 방식인 포토리소그라피법에 의해 복수의 마스크 패턴(126)과 동일 공정으로 함께 형성되는 것이 바람직하다.
여기서, 제1 클램핑 홀(H1)은 제1 직경을 가질 수 있고, 제2 클램핑 홀(H2)은 제1 직경과 동일한 제2 직경을 가질 수 있다.
이때, 제1 클램핑 홀(H1)은 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA) 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 제1 및 제2 리브(125a, 125b)가 교차하는 지점에 배치되는 것이 바람직하다. 아울러, 제2 클램핑 홀(H2)은 제1 및 제2 리브(125a, 125)와 각각 대응되는 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
1차 인장
도 10 및 도 12에 도시된 바와 같이, 1차 인장 단계(S120)에서는 마스크 시트(120)의 제1 클램핑 홀(H1)과 대응되는 위치를 인장 클램프(10)로 그립한 후, 제1 클램핑 홀(H1) 부분을 그립하는 인장 클램프(10)를 이용하여 마스크 시트(120)를 1차 인장한다.
본 단계에서, 인장 클램프(10)는 인장 클램프(10)를 제어하는 제어부를 통하여, 제1 클램핑 홀(H1)의 위치를 인식하여 자동으로 마스크 시트(120)를 그립하게 된다.
이와 같이, 본 발명에서는 제1 클램핑 홀(H1)이 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA) 네 모서리 부분 중 제1 및 제2 리브(125a, 125b)가 교차하는 지점에 배치되는 것에 의해, 인장 클램프(10)로 마스크 시트(120)를 그립한 상태에서 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)으로 1차 인장이 실시된다.
이때, 제1 및 제2 리브(125a, 125b)가 교차하는 부분은 상대적으로 강도가 높아 인장 클램프(10)를 이용하여 마스크 시트(120)를 1차 인장할 시 인장력을 균일하게 분산시킬 수 있으므로 마스크 시트(120)의 변형을 최소화할 수 있게 된다.
2차 인장
도 10 및 도 13에 도시된 바와 같이, 2차 인장 단계(S130)에서는 마스크 시트(120)의 제2 클램핑 홀(H2)과 대응되는 위치를 인장 클램프(10)로 그립한 후, 제2 클램핑 홀(H2) 부분을 그립하는 인장 클램프(10)를 이용하여 마스크 시트(120)를 2차 인장한다.
본 단계에서, 인장 클램프(10)는 인장 클램프(10)를 제어하는 제어부를 통하여, 제2 클램핑 홀(H2)의 위치를 인식하여 자동으로 마스크 시트(120)를 그립하게 된다.
이와 같이, 본 발명에서는 제2 클램핑 홀(H2)이 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA) 중 제1 및 제2 리브(125a, 125b)와 각각 대응되는 위치에 배치되는 것에 의해, 인장 클램프(10)로 마스크 시트(120)를 그립한 상태에서 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)으로 2차 인장이 실시된다.
이때, 제1 및 제2 리브(125a, 125b)와 대응되는 위치는 상대적으로 강도가 높아 인장 클램프(10)를 이용하여 마스크 시트(120)를 2차 인장할 시 인장력을 균일하게 분산시킬 수 있으므로 마스크 시트(120)의 변형을 최소화할 수 있게 된다.
3차 인장
도 10 및 도 14에 도시된 바와 같이, 3차 인장 단계(S140)에서는 마스크 시트(120)의 네 모서리 부분과 장변 및 단변 가장자리 중앙 부분 사이에 각각 배치된 제3 클램핑 홀(H3)에 인장 클램프(10)를 장착하여 마스크 시트(120)를 3차 인장한다.
이러한 3차 인장 단계(S140)는 반드시 실시되는 것은 아니며, 필요에 따라 생략될 수도 있다. 즉, 3차 인장은 마스크 시트(120)가 일정 면적 이상의 대면적일 경우에 한하여 실시될 수 있다.
여기서, 제3 클램핑 홀(H3)은 마스크 시트(120)의 네 모서리 부분과 장변 및 단변 중앙 부분 간의 사이 부분에 각각 배치된다. 즉, 제3 클램핑 홀(H3)은 마스크 시트(120)의 네 모서리 부분과 장변 중앙 부분과의 이격된 사이와, 마스크 시트(120)의 네 모서리 부분과 단변 중앙 부분과의 이격된 사이에 각각 배치될 수 있다.
이러한 제3 클램핑 홀(H3)은, 제1 및 제2 클램핑 홀(H1, H2)과 마찬가지로, 마스크 시트(120)의 제1 면 및 제1 면에 반대되는 제2 면을 관통하도록 형성된다. 제3 클램핑 홀(H3)은, 제1 및 제2 클램핑 홀(H1, H2)과 마찬가지로, 화학적 에칭 방식인 포토리소그라피법에 의해 복수의 마스크 패턴(126)과 동일 공정으로 함께 형성되는 것이 바람직하다.
본 단계에서, 인장 클램프(10)는 인장 클램프(10)를 제어하는 제어부를 통하여, 제3 클램핑 홀(H3)의 위치를 인식하여 자동으로 마스크 시트(120)를 그립하게 된다.
이와 같이, 본 발명에서는 제3 클램핑 홀(H3)이 마스크 시트(120)의 더미 영역(DA) 중 제1 및 제2 리브(125a, 125b)와 각각 대응되는 위치에 배치되는 것에 의해, 인장 클램프(10)로 마스크 시트(120)를 그립한 상태에서 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)으로 3차 인장이 실시된다.
이때, 제1 및 제2 리브(125a, 125b)와 대응되는 위치는 상대적으로 강도가 높아 인장 클램프(10)를 이용하여 마스크 시트(120)를 3차 인장할 시 인장력을 균일하게 분산시킬 수 있으므로 마스크 시트(120)의 변형을 최소화할 수 있게 된다.
전술한 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법은 마스크 시트의 더미 영역 가장자리를 따라 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀이 각각 배치되어 있는 상태이므로, 인장 클램프를 이용한 1차, 2차 및 3차 인장시, 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀의 위치를 각각 인식하여 자동으로 인장 클램프로 그립할 수 있게 된다.
이 결과, 본 발명의 실시예에 따른 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법은 마스크 시트의 가장자리를 따라 배열된 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀을 인식하여 인장 클램프로 순차적으로 그립한 상태에서 자동화 방식으로 1차, 2차 및 3차 인장을 수행하는 것에 의해 인장 시간을 단축시킬 수 있으면서도 인장 품질을 향상시킬 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 이러한 변경과 변형은 본 발명이 제공하는 기술 사상의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명에 속한다고 할 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 이하에 기재되는 청구범위에 의해 판단되어야 할 것이다.
S110 : 마스크 시트 준비 단계
S120 : 1차 인장 단계
S130 : 2차 인장 단계
S140 : 3차 인장 단계
100 : OLED용 메탈 마스크 120 : 마스크 시트
122 : 더미부 124 : 지지부
125 : 리브 126 : 마스크 패턴
H1 : 제1 클램핑 홀 H2 : 제2 클램핑 홀
H3 : 제3 클램핑 홀 MA : 마스크 셀 영역
DA : 더미 영역

Claims (11)

  1. (a) 더미 영역의 네 모서리 부분에 각각 배치된 제1 클램핑 홀과, 상기 더미 영역의 장변 및 단변 중앙 부분에 각각 배치된 제2 클램핑 홀을 갖는 마스크 시트를 준비하는 단계;
    (b) 상기 마스크 시트의 제1 클램핑 홀과 대응되는 위치를 인장 클램프로 그립한 후, 상기 인장 클램프를 이용하여 마스크 시트를 1차 인장하는 단계;
    (c) 상기 마스크 시트의 제2 클램핑 홀과 대응되는 위치를 인장 클램프로 그립한 후, 상기 인장 클램프를 이용하여 마스크 시트를 2차 인장하는 단계; 및
    (d) 상기 마스크 시트의 네 모서리 부분과 장변 및 단변 중앙 부분 간의 사이 부분에 각각 배치된 제3 클램핑 홀에 인장 클램프를 장착하여 상기 마스크 시트를 3차 인장하는 단계;를 포함하며,
    상기 마스크 시트는 복수의 마스크 패턴이 배치되는 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 상기 더미 영역을 가지며, 상기 마스크 셀 영역에는 복수의 마스크 패턴을 둘러싸는 격자 구조로 배열된 복수의 리브가 배치되고,
    상기 복수의 리브는 제1 방향으로 배열되는 제1 리브와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 제2 리브를 갖고,
    상기 제1 클램핑 홀은 상기 마스크 시트의 더미 영역 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 상기 제1 및 제2 리브가 교차하는 지점에 배치되고, 상기 제2 클램핑 홀 및 제3 클램핑 홀 각각은 상기 제1 및 제2 리브와 각각 대응되는 위치에 배치되며,
    상기 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀과 각각 대응되는 위치의 더미 영역에 배치되어, 상기 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀 보다 외측에 각각 배치되는 응력 완화 패턴이 더 배치되되, 상기 응력 완화 패턴은 마스크 시트의 제1 면 및 제1 면에 반대되는 제2 면을 관통하도록 형성되고,
    상기 마스크 시트의 네 모서리 부분과 대응되는 위치에 배치되는 응력 완화 패턴은 제1 클램핑 홀을 기준으로 외곽으로 갈수록 면적이 점진적으로 증가하는 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀 각각은
    상기 복수의 마스크 패턴과 동일한 공정에서 식각 공정으로 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 인장 클램프는
    상기 인장 클램프를 제어하는 제어부를 통하여, 상기 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀의 위치를 인식하여 자동으로 상기 마스크 시트를 그립하는 것을 특징으로 하는 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크 인장 방법.
  8. 복수의 마스크 패턴이 배치된 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 더미 영역을 갖는 마스크 시트;
    상기 마스크 시트의 더미 영역의 네 모서리 부분에 각각 배치된 제1 클램핑 홀;
    상기 더미 영역의 장변 및 단변 중앙 부분에 각각 배치된 제2 클램핑 홀; 및
    상기 마스크 시트의 네 모서리 부분과 장변 및 단변 중앙 부분 간의 사이 부분에 각각 배치된 제3 클램핑 홀;을 포함하며,
    상기 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀 각각은 상기 마스크 시트의 제1 면 및 상기 제1 면에 반대되는 제2 면을 관통하도록 형성되고,
    상기 마스크 시트는 복수의 마스크 패턴이 배치되는 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 상기 더미 영역을 가지며,
    상기 마스크 셀 영역에는 복수의 마스크 패턴을 둘러싸는 격자 구조로 배열된 복수의 리브가 배치되고, 상기 복수의 리브는 제1 방향으로 배열되는 제1 리브와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되는 제2 리브를 갖고,
    상기 제1 클램핑 홀은 상기 마스크 시트의 더미 영역 네 모서리 부분에 각각 배치되어, 상기 제1 및 제2 리브가 교차하는 지점에 배치되고, 상기 제2 클램핑 홀 및 제3 클램핑 홀 각각은 상기 제1 및 제2 리브와 각각 대응되는 위치에 배치되며,
    상기 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀과 각각 대응되는 위치의 더미 영역에 배치되어, 상기 제1, 제2 및 제3 클램핑 홀 보다 외측에 각각 배치되는 응력 완화 패턴이 더 배치되되, 상기 응력 완화 패턴은 마스크 시트의 제1 면 및 제1 면에 반대되는 제2 면을 관통하도록 형성되고,
    상기 마스크 시트의 네 모서리 부분과 대응되는 위치에 배치되는 응력 완화 패턴은 제1 클램핑 홀을 기준으로 외곽으로 갈수록 면적이 점진적으로 증가하는 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 인장 시간 단축 및 인장 품질 향상 효과를 갖는 OLED용 메탈 마스크.
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